KR20130102954A - The cassette jig of etching machine - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: A cassette jig for an etching device is provided to reduce the impact during an etching process of glass by the flowing of the glass by tightly supporting a glass substrate using a guide and a seating roll on a supporting plate and a seating plate. CONSTITUTION: A cassette jig for an etching device includes a base (10), a supporting unit (20), and a seating unit (30). The base is installed in a thin flat plate square frame shape, and includes at least one fixing groove (11,15). The supporting unit is installed to be moved and fixed by installing a supporting plate (21) on the fixing grooves, and tightly supports a glass substrate (G) to the left and right sides. The seating unit is installed to be moved and fixed by installing a seating plate (31) on the fixing grooves, and tightly supports the glass substrate to the lower side. The supporting unit and the seating unit include one unit selected from more than one guide (41) and seating roll (45).

Description

에칭기의 카세트 지그{The cassette jig of etching machine}The cassette jig of etching machine

본 발명은 에칭기의 카세트 지그에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 글라스를 박형화하기 위한 에칭에 있어 글라스의 유동에 의한 충격을 완화시켜 파손 및 손상을 막고, 지그에 의한 불균일한 에칭을 방지하여 안정적이면서 효과적인 에칭이 가능함과 함께 이로 인해 제품 불량율을 최소화하여 생산성이 향상되고, 장치의 부분 조절에 따른 다양한 크기를 지닌 글라스에 대체 가능하여 활용성이 극대화되면서 대량 생산에 적합한 에칭기의 카세트 지그에 관한 것이다.The present invention relates to a cassette jig of an etching machine, and more particularly, in the etching for thinning the glass, the impact caused by the flow of the glass is alleviated to prevent breakage and damage, and the non-uniform etching by the jig is prevented. The present invention relates to a cassette jig of an etching machine suitable for mass production while being able to effectively etch, thereby minimizing product defect rate, improving productivity, and replacing it with glass having various sizes according to partial adjustment of the device, thereby maximizing utilization. .

최근에는 LCD(Liquid Crystal Display Device), PDP(Plasma Display Panel), ELD(Electro Luminescent Display), VFD(Vacuum Fluorescent Display)등 여러 가지 평판 디스플레이 장치에 관한 연구가 활발히 이루어지고 있다. 그 중에서도 액정 디스플레이(LCD)장치가 여러 가지의 단점에도 불구하고 화질이 우수하며 저전력이라는 점에서 텔레비전, 노트북, 휴대용 단말장치와 같은 표시장치에 널리 채용되고 있다.Recently, research on various flat panel display devices such as liquid crystal display device (LCD), plasma display panel (PDP), electro luminescent display (ELD), and vacuum fluorescent display (VFD) has been actively conducted. Among them, a liquid crystal display (LCD) device is widely used in display devices such as televisions, notebooks, and portable terminal devices in view of excellent image quality and low power despite various disadvantages.

이와 같은 디스플레이 장치에 있어서 크기와 함께 중량을 줄이는 것은 장치 개발에 중요한 과제로 인식되어 평판 디스플레이 장치의 크기와 중량을 줄이는 방법으로는 여러 가지 방법이 있을 수 있으나, 가장 기본 구성요소이면서도 중량이 가장 큰 글라스 기판의 중량을 줄이는 것이 연구되고 있다. 이러한 글라스 기판의 중량을 줄이는 방법으로는 글라스 기판을 박형화(식각)하여 두께를 얇게 함으로써 박판 형태로 제작하는 것이다. 글라스 기판의 박판화(slimming)하는 기술로는 크게 기계 연마법과 화학적 에칭법이 있으며, 기계 연마법은 디스플레이 개발 초기에 아주 얇은 슬림 패널이 요구되지 않아서 많이 사용되었으나 최근에는 초슬림 제품의 요구에 따라서 생산성이 우수한 화학적 에칭법이 사용된다.In this display device, reducing weight along with size is recognized as an important task in device development, and there are various ways to reduce the size and weight of the flat panel display device, but it is the most basic component and the largest weight. Reducing the weight of glass substrates has been studied. As a method of reducing the weight of the glass substrate, the glass substrate is thinned (etched) and manufactured in a thin plate form by making the thickness thin. The techniques for slimming glass substrates include mechanical polishing and chemical etching, and mechanical polishing has been widely used since very thin slim panels were not required in the early stage of display development. Excellent chemical etching methods are used.

이러한, 화학적 원리를 이용하는 화학적 에칭법으로는 에칭액의 공급과 반응 생성물 확산 등에 따라서 디핑법(deeping), 스프레이법(spraying), 제트플로우법(jet-flowing) 등으로 구분되는데, 이와 같은 에칭법을 통하여 글라스 기판을 식각하기 위해서는 글라스 기판을 단독으로 투입하지 않고 다수개가 하나의 카세트 지그에 적층(적재) 수납되어 동시에 식각이 진행된다.Such chemical etching methods using chemical principles are classified into deeping, spraying, and jet-flowing according to the supply of etching solution and diffusion of reaction products. In order to etch the glass substrate through the glass substrate, a plurality of the glass substrates are stacked (loaded) in one cassette jig without being fed alone, and etching is simultaneously performed.

이와 관련된 선행기술로, 한국 등록특허공보 제10-0150124호 "액정표시장치 글라스 적재용 카세트 및 지그", 한국 등록특허공보 제10-0188137호 "액정 표시 장치 글라스 적재용 카세트", 한국 등록특허공보 제10-0760256호 "스프레이 에칭 시스템용 지그", 한국 등록특허공보 제10-0861876호 "LCD 대면적 글라스 식각장치 및 식각방법", 한국 등록특허공보 제10-1068113호 "유리기판 에칭장치" 등이 알려져 있다. As a related art, Korean Patent Publication No. 10-0150124 "Cassette and Jig for Loading Glass of Liquid Crystal Display Device", Korean Patent Publication No. 10-0188137 "Cassette for Loading Glass for Liquid Crystal Display Device", Korean Registered Patent Publication 10-0760256 "Jig for Spray Etching System", Korean Patent Publication No. 10-0861876 "LCD Large Area Glass Etching Device and Etching Method", Korean Patent Publication No. 10-1068113 "Glass Substrate Etching Device", etc. This is known.

그러나 상기한 선행기술문헌들은 대부분 글라스 기판을 적재하는 과정에서 측면부가 파손되어 부서지는 등 글라스 기판의 손상을 가져오는 단점이 있고, 글라스 기판을 고정하는 접촉면이 면접촉한 상태에서 에칭이 수행되기 때문에 해당 면접촉한 부분에서 에칭이 완벽하게 수행되지 아니하여 불완전한 에칭으로 인하여 해당 글라스 기판의 불량을 야기하는 요인으로 작용되는 단점이 있다.However, the above-mentioned prior art documents have the disadvantage of causing damage to the glass substrate, such as breakage of the side part in the process of loading the glass substrate, and the etching is performed in a state where the contact surface fixing the glass substrate is in surface contact. Since the etching is not performed completely in the surface contact portion, there is a disadvantage in that it acts as a factor causing the defect of the glass substrate due to incomplete etching.

따라서 글라스를 얼마만큼 균일하게 식각함과 함께 글라스를 파손시키지 않고 식각하는 것이 중요하다. 즉 글라스의 크기가 커지면서 균일한 식각의 어려움, 작업 중에 발생하는 글라스의 휨 현상, 인접한 글라스 간의 충돌로 인한 파손 결함, 글라스 하중의 증가로 인한 파손 등이 중요한 문제로 대두되고 있다.Therefore, it is important to etch the glass uniformly and to etch it without breaking the glass. That is, as the size of the glass increases, the difficulty of uniform etching, the warpage of the glass occurring during the work, the failure defect due to the collision between adjacent glass, the damage caused by the increase of the glass load has emerged as an important problem.

한국 등록특허공보 제10-0150124호 "액정표시장치 글라스 적재용 카세트 및 지그"Korean Patent Publication No. 10-0150124 "Cassette and Jig for Loading Glass of Liquid Crystal Display Device" 한국 등록특허공보 제10-0188137호 "액정 표시 장치 글라스 적재용 카세트"Korean Patent Publication No. 10-0188137 "Cassette for Loading Liquid Crystal Display Device" 한국 등록특허공보 제10-0760256호 "스프레이 에칭 시스템용 지그"Korean Patent Publication No. 10-0760256 "Jig for Spray Etching System" 한국 등록특허공보 제10-0861876호 "LCD 대면적 글라스 식각장치 및 식각방법"Korean Patent Publication No. 10-0861876 "LCD Large Area Glass Etching Device and Etching Method" 한국 등록특허공보 제10-1068113호 "유리기판 에칭장치"Korean Patent Publication No. 10-1068113 "Glass Substrate Etching Equipment"

상기와 같은 종래의 문제점들을 근본적으로 개선하기 위한 본 발명의 목적은, 글라스를 박형화하기 위한 에칭에 있어 글라스의 유동에 의한 충격을 완화시켜 파손 및 손상을 막고, 지그에 의한 불균일한 에칭을 방지하여 안정적이면서 효과적인 에칭이 가능함과 함께 이로 인해 제품 불량율을 최소화하여 생산성이 향상되고, 장치의 부분 조절에 따른 다양한 크기를 지닌 글라스에 대체 가능하여 활용성이 극대화되면서 대량 생산에 적합한 에칭기의 카세트 지그를 제공하려는데 있다.An object of the present invention for fundamentally improving the conventional problems as described above, in the etching for thinning the glass to mitigate the impact caused by the flow of the glass to prevent breakage and damage, and to prevent uneven etching by the jig Stable and effective etching is possible, and this minimizes product defect rate and improves productivity, and it is possible to substitute for glass of various sizes according to the part control of the device. I'm trying to provide.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 글라스 기판을 박형화하기 위해 적재 수납하는 카세트 지그에 있어서: 얇은 평판의 사각틀 형태로 개재되고, 적어도 하나 이상의 고정홈을 구비하는 베이스; 상기 베이스의 고정홈에 지지판을 개재하여 각각 이동/고정 가능하게 장착되고, 글라스 기판을 좌우로 긴밀하게 지지하는 지지부; 및 상기 베이스의 고정홈에 안착판을 개재하여 각각 이동/고정 가능하게 장착되고, 글라스 기판을 하부로 긴밀하게 안착하는 안착부;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a cassette jig for storing a thin glass substrate, the base including: a base interposed in the form of a thin plate and having at least one fixing groove; A support part mounted on the fixing groove of the base so as to be movable / fixed to each other via a support plate and closely supporting the glass substrate from side to side; And a seating part mounted in the fixing groove of the base via a seating plate so as to be movable / fixed to each other and closely seating the glass substrate downward.

이때, 본 발명의 상기 지지부와 안착부는 글라스 기판을 긴밀하게 지지하면서 안착하도록 하나 이상의 가이드와 안착롤 중에서 택일하여 구비하는 것을 특징으로 한다.At this time, the support portion and the seating portion of the present invention is characterized in that it is provided alternatively from one or more guides and seating roll to be seated while supporting the glass substrate closely.

이때, 본 발명의 상기 가이드는 지지판 상에 볼트와 너트에 의해 체결되고, 글라스 기판을 유도하기 위한 경사면과 함께 안착위치를 잡아주는 가이드홈을 구비하는 것을 특징으로 한다.At this time, the guide of the present invention is fastened by a bolt and a nut on the support plate, characterized in that it comprises a guide groove for holding the seating position with the inclined surface for guiding the glass substrate.

또한, 본 발명의 상기 안착롤은 지지판과 안착판 상에 형성되는 유동홈과, 상기 유동홈에 맞물려 스프링의 탄성력에 의해 유동하는 유동판과, 상기 유동판에 체결되어 글라스 기판의 하중을 지지하면서 점접촉을 유도하여 원활히 안착하는 롤러를 구비하는 것을 특징으로 한다.In addition, the seating roll of the present invention is a flow groove formed on the support plate and the seating plate, the flow plate is engaged with the flow groove flows by the elastic force of the spring, and is fastened to the flow plate while supporting the load of the glass substrate It characterized in that it comprises a roller for inducing point contact smoothly seated.

한편, 이에 앞서 본 명세서 및 특허청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니 되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다. 따라서 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일 실시예에 불과할 뿐이고, 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.It should be understood, however, that the terminology or words of the present specification and claims should not be construed in an ordinary sense or in a dictionary, and that the inventors shall not be limited to the concept of a term It should be construed in accordance with the meaning and concept consistent with the technical idea of the present invention based on the principle that it can be properly defined. Therefore, the embodiments described in the present specification and the configurations shown in the drawings are merely the most preferred embodiments of the present invention, and not all of the technical ideas of the present invention are described. Therefore, It is to be understood that equivalents and modifications are possible.

이상의 구성 및 작용에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 의한 카세트 지그는 글라스를 박형화하기 위한 에칭에 있어 글라스의 유동에 의한 충격을 완화시켜 파손 및 손상을 막고, 지그에 의한 불균일한 에칭을 방지하여 안정적이면서 효과적인 에칭이 가능함과 함께 이로 인해 제품 불량율을 최소화하여 생산성이 향상되고, 장치의 부분 조절에 따른 다양한 크기를 지닌 글라스에 대체 가능하여 활용성이 극대화되면서 대량 생산에 적합한 효과를 제공한다.As described in the above configuration and operation, the cassette jig according to the present invention is stable by mitigating the impact caused by the flow of glass in etching for thinning the glass, preventing breakage and damage, and preventing uneven etching by the jig. In addition to this, it is possible to effectively etch, thereby minimizing product defect rate and improving productivity, and it is possible to substitute for glass of various sizes according to the partial adjustment of the device, thereby maximizing utilization and providing a suitable effect for mass production.

도 1은 본 발명에 따른 카세트 지그의 정면에서 나타내는 구성도.
도 2는 본 발명에 따른 카세트 지그의 측면에서 나타내는 구성도.
도 3은 본 발명에 따른 카세트 지그의 평면에서 나타내는 구성도.
도 4는 본 발명에 따른 카세트 지그의 주요부를 나타내는 사시도.
도 5는 도 4의 카세트 지그의 주요부를 단면하여 나타내는 구성도.1 is a configuration diagram showing the front of a cassette jig according to the present invention.
2 is a block diagram showing the side of the cassette jig according to the present invention.
3 is a block diagram showing a planar view of a cassette jig according to the present invention;
4 is a perspective view showing a main part of a cassette jig according to the present invention;
Fig. 5 is a configuration diagram showing the main part of the cassette jig of Fig. 4 in cross section.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 상세하게 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

본 발명은 글라스 기판(G)을 박형화하기 위해 적재 수납하는 카세트 지그에 관련되며, 크게 베이스(10), 지지부(20), 안착부(30)를 주요 구성으로 한다. The present invention relates to a cassette jig for carrying and stacking a glass substrate (G) in order to be thin. The main configuration is mainly composed of a base (10), a support portion (20), and a seating portion (30).

본 발명에 따르면 얇은 평판의 사각틀 형태로 개재되는 베이스(10)에 적어도 하나 이상의 고정홈(11)(15)을 구비한다. 베이스(10)는 도 1 내지 도 3처럼 대략 사면(전후좌우) 및 상하면이 개방된 프레임 형태로 이루어지고, 대략 얇은 평판의 사각틀로 직육면체의 외관으로 구성된다. 즉 베이스(10)는 도 1a 및 도 1b처럼 전면과 후면 및 상면이 개방되고, 좌측과 우측 및 하면에 후술하는 지지부(20)와 안착부(30)가 각각 설치된다. 이러한 베이스(10)는 상부와 하부 프레임 상에 하나 이상의 고정홈(11)(15)이 각각 구비되는데, 고정홈(11)(15) 상에 지지부(20)와 안착부(30)가 각각 설치된다.According to the present invention, at least one fixing groove 11 and 15 is provided in the base 10 interposed in the form of a thin flat rectangular frame. The base 10 is formed in the shape of a frame having approximately four slopes (front, rear, left and right) and an open top and bottom, as shown in FIGS. That is, the base 10 has front, rear, and top surfaces opened as shown in FIGS. 1A and 1B, and support parts 20 and seating parts 30, which will be described later, are installed on left, right, and bottom surfaces, respectively. The base 10 is provided with one or more fixing grooves 11 and 15 on the upper and lower frames, respectively, the support portion 20 and the seating portion 30 are installed on the fixing grooves 11 and 15, respectively. do.

또, 본 발명에 따르면 상기 베이스(10)의 고정홈(11)에 지지판(21)을 개재하여 각각 이동/고정 가능하게 장착되는 지지부(20)는 글라스 기판(G)을 좌우로 긴밀하게 지지한다. 지지부(20)는 글라스 기판(G)을 좌우, 즉 글라스 기판(G)의 폭에 대응하여 긴밀하게 지지하는 역할을 수행하고, 후술하는 안착부(30)와 연계하여 글라스 기판(G)을 적재 수납하여 에칭작업을 수행한다. 지지부(20)는 도 1 내지 도 3처럼 지지판(21)이 개재되어 베이스(10)의 좌우측에 설치되는데, 우측은 베이스(10)로부터 고정되어 기준이 되고, 좌측은 베이스(10)로부터 이동(좌우로)이 가능하여 글라스 기판(G)의 크기에 대응하여 부분 조절된다. 이러한 지지부(20)의 지지판(21)은 도 1a 및 도 1b처럼 다양한 크기를 지닌 글라스 기판(G)에 대응하여 베이스(10)의 고정홈(11)에 의해 이동하면서 고정되어 활용성이 극대화된다.In addition, according to the present invention, the support parts 20 mounted on the fixing grooves 11 of the base 10 via the support plates 21 so as to be movable / fixed, respectively, closely support the glass substrate G from side to side. . The support unit 20 serves to closely support the glass substrate G to the left and right, that is, corresponding to the width of the glass substrate G, and load the glass substrate G in association with the mounting portion 30 to be described later. It is stored and etched. The support part 20 is installed on the left and right sides of the base 10 with the support plate 21 interposed therebetween as shown in FIGS. 1 to 3, and the right side is fixed from the base 10 and becomes a reference, and the left side moves from the base 10 ( Left and right) is possible to be partially adjusted to correspond to the size of the glass substrate (G). The support plate 21 of the support unit 20 is fixed while moving by the fixing groove 11 of the base 10 corresponding to the glass substrate G having various sizes as shown in FIGS. 1A and 1B to maximize usability. .

또한, 본 발명에 따르면 상기 베이스(10)의 고정홈(15)에 안착판(31)을 개재하여 각각 이동/고정 가능하게 장착되는 안착부(30)는 글라스 기판(G)을 하부로 긴밀하게 안착한다. 안착부(30)는 글라스 기판(G)을 상하, 즉 글라스 기판(G)의 높이에 대응하여 긴밀하게 안착하는 역할을 수행하고, 상기의 지지부(20)와 연계하여 글라스 기판(G)을 적재 수납하여 에칭작업을 수행한다. 안착부(30)는 도 1 내지 도 3처럼 안착판(31)이 개재되어 베이스(10)의 하부면에 설치되고, 도 1a처럼 베이스(10)의 고정홈(15)에 설치되어 이동(상하로) 및 고정 가능하여 글라스 기판(G)의 크기에 대응하여 부분 조절된다. 이러한 지지부(20)의 지지판(21)은 도 1a처럼 베이스(10)의 고정홈(15)에 장착 가능할 뿐 아니라, 필요에 따라 도 1b처럼 고정홈(15) 상에 스페이서(도면번호 미부여)를 다양한 크기를 지닌 글라스 기판(G)에 대응하여 베이스(10)의 고정홈(21)에 의해 이동하면서 고정되어 활용성이 극대화된다.In addition, according to the present invention, the seating portions 30 which are mounted to the fixing grooves 15 of the base 10 through the seating plate 31 so as to be movable / fixed, respectively, may be closely connected to the glass substrate G downward. Settle down. The seating portion 30 serves to closely seat the glass substrate G up and down, that is, corresponding to the height of the glass substrate G, and load the glass substrate G in association with the support portion 20. It is stored and etched. The seating portion 30 is installed on the lower surface of the base 10 with the mounting plate 31 interposed therebetween as shown in FIGS. 1 to 3, and is installed and moved in the fixing groove 15 of the base 10 as shown in FIG. 1A. And fixed) so as to be partially adjusted corresponding to the size of the glass substrate G. The support plate 21 of the support 20 is not only mountable to the fixing groove 15 of the base 10 as shown in FIG. 1A, but also a spacer (not given a number) on the fixing groove 15 as shown in FIG. 1B as necessary. It is fixed while moving by the fixing groove 21 of the base 10 in response to the glass substrate (G) having various sizes to maximize the utilization.

이와 같이, 도 1a와 도 1b에 도시된 것처럼 베이스(10)의 고정홈(11)(12)을 통하여 지지판(21)과 안착판(31)이 이동 및 고정되어 다양한 크기를 지닌 글라스 기판(G)에 대응하여 조절 가능함에 따라 지그의 활용성이 극대화되면서 대량 생산에 적합하다.As such, as shown in FIGS. 1A and 1B, the support plate 21 and the seating plate 31 are moved and fixed through the fixing grooves 11 and 12 of the base 10. It is suitable for mass production while maximizing the utility of jig according to the adjustment.

이때, 본 발명의 상기 지지부(20)와 안착부(30)는 글라스 기판(G)을 긴밀하게 지지하면서 안착하도록 하나 이상의 가이드(41)와 안착롤(45) 중에서 택일하여 구비한다. 지지부(20)와 안착부(30)는 도 4a 및 도 4b처럼 다수의 글라스 기판(G)을 적재 수납 가능한 바, 이는 글라스 기판(G)을 긴밀하게 지지하면서 안착 가능하도록 가이드(41)와 안착롤(45)을 구비한다. 필요에 따라 가이드(41)와 안착롤(45)은 어느 하나 이상을 택일하거나 혼합하여 사용 가능하다할 것이다. 한편 본 발명에서 도시된 것처럼 지지부(20)의 지지판(21) 상에는 가이드(41)와 안착롤(45)이 구비되고, 안착부(30)의 안착판(31) 상에는 안착롤(45)이 각각 구비된다. 이는 지지부(20)에 의해 글라스 기판(G)의 폭을 대응하여 긴밀하게 지지하고, 안착부(30)에 의해 글라스 기판(G)의 높이에 대응하여 긴밀하게 안착한다.In this case, the support part 20 and the seating part 30 of the present invention may be provided as one of at least one guide 41 and the seating roll 45 to be seated while closely supporting the glass substrate G. The support part 20 and the seating part 30 can accommodate a plurality of glass substrates G as shown in FIGS. 4A and 4B, and they are seated with the guide 41 so as to be seated while supporting the glass substrates G closely. The roll 45 is provided. If necessary, the guide 41 and the seating roll 45 may be one or more selected or mixed. Meanwhile, as shown in the present invention, a guide 41 and a seating roll 45 are provided on the support plate 21 of the support part 20, and a seating roll 45 is respectively provided on the seating plate 31 of the seating part 30. It is provided. This is closely supported by the support portion 20 to correspond to the width of the glass substrate G, and is seated closely by the seating portion 30 corresponding to the height of the glass substrate G.

여기서, 본 발명의 상기 가이드(41)는 지지판(21) 상에 볼트와 너트에 의해 체결되고, 글라스 기판(G)을 유도하기 위한 경사면(42)과 함께 안착위치를 잡아주는 가이드홈(43)을 구비한다. 가이드(41)는 도 4b 및 도 5(a)처럼 지지판(21)에 글라스 기판(G)을 적재하기 위해 유도하는 역할을 수행하는 바, 경사면(42)과 가이드홈(43)으로 이루어진다. 경사면(42)은 도시된 것처럼 양면이 경사진 형태로 형성되어 글라스 기판(G)을 가이드홈(43)으로 유도한다. 그리고 가이드홈(43)은 경사면(42)에 의해 유도된 글라스 기판(G)을 안착위치를 잡아준다. 이러한 가이드(41)는 후술하는 안착롤(45)과 연계하여 글라스 기판(G)을 긴밀하게 지지하면서 안착하고, 도시된 것처럼 글라스 기판(G)과 점접촉에 의해 지그에 의한 불균일한 에칭이 방지된다.Here, the guide 41 of the present invention is fastened by a bolt and a nut on the support plate 21, the guide groove 43 for holding the mounting position with the inclined surface 42 for guiding the glass substrate (G) It is provided. The guide 41 serves to guide the glass substrate G on the support plate 21 as shown in FIGS. 4B and 5A, and includes an inclined surface 42 and a guide groove 43. As shown, the inclined surface 42 is formed to be inclined at both sides to guide the glass substrate G to the guide groove 43. The guide groove 43 holds the seating position of the glass substrate G guided by the inclined surface 42. The guide 41 is seated while closely supporting the glass substrate G in connection with a mounting roll 45 to be described later, and as shown, uneven etching by a jig is prevented by point contact with the glass substrate G. do.

또한, 본 발명의 상기 안착롤(45)은 지지판(21)과 안착판(31) 상에 형성되는 유동홈(46)과, 상기 유동홈(46)에 맞물려 스프링(47)의 탄성력에 의해 유동하는 유동판(48)과, 상기 유동판(48)에 체결되어 글라스 기판(G)의 하중을 지지하면서 점접촉을 유도하여 원활히 안착하는 롤러(49)를 구비한다. 안착롤(45)은 도 4b 및 도 5(a)처럼 지지판(21)에 글라스 기판(G)을 적재하기 위해 지지하면서 안착하는 역할을 수행하는 바, 유동홈(46)과 유동판(48) 및 롤러(49)로 이루어진다. 유동홈(46)은 지지판(21) 및 안착판(31) 상에 형성되고, 유동판(48)은 스프링(47)의 탄성력에 의해 유동홈(46)으로 좌우로 유동한다. 그리고 롤러(49)는 스프링(47)의 탄성력에 의해 글라스 기판(G)의 유동에 의한 충격을 완화시켜 파손 및 손상을 막을 뿐만 아니라, 도시된 것처럼 글라스 기판(G)과 점접촉에 의해 지그에 의한 불균일한 에칭이 방지되어 안정적이면서 효과적인 에칭이 가능함과 함께 이로 인해 제품 불량율을 최소화하여 생산성이 향상된다.In addition, the seating roll 45 of the present invention is a flow groove 46 formed on the support plate 21 and the seating plate 31 and the flow groove 46 is engaged by the flow force of the spring 47 by the elastic force And a roller 49 fastened to the fluid plate 48 to guide the point contact while supporting the load of the glass substrate G, thereby smoothly seating the fluid plate 48. The seating rolls 45 serve to support and mount the glass substrate G on the support plate 21 as shown in FIGS. 4B and 5A, and the flow groove 46 and the flow plate 48 are provided. And a roller 49. Flow groove 46 is formed on the support plate 21 and the seating plate 31, the flow plate 48 flows left and right to the flow groove 46 by the elastic force of the spring (47). The roller 49 not only prevents damage and damage by the impact of the flow of the glass substrate G by the elastic force of the spring 47, but also prevents damage and damage to the jig by point contact with the glass substrate G as shown. Non-uniform etching is prevented and stable and effective etching is possible, thereby minimizing product defect rate and improving productivity.

이처럼, 도 4 내지 도 5에 도시된 것처럼 지지판(21)과 안착판(31) 상에 가이드(41)와 안착롤(45)에 의해 글라스 기판(G)을 점접촉으로 긴밀하게 지지하면서 안착하는 동시에 글라스 기판(G)의 유동에 의한 충격을 완화시켜 파손 및 손상을 막을 뿐만 아니라, 지그에 의한 불균일한 에칭이 방지되어 안정적이면서 효과적인 에칭이 가능하다.As such, as shown in FIGS. 4 to 5, the guide plate 41 and the seating roll 45 are supported on the support plate 21 and the seating plate 31 while closely seating the glass substrate G in point contact. At the same time, the impact caused by the flow of the glass substrate G is alleviated to prevent breakage and damage as well as to prevent uneven etching by the jig, thereby enabling stable and effective etching.

이와 같이, 본 발명의 카세트 지그는 글라스를 박형화하기 위한 에칭에 있어 글라스의 유동에 의한 충격을 완화시켜 파손 및 손상을 막고, 지그에 의한 불균일한 에칭을 방지하여 안정적이면서 효과적인 에칭이 가능함과 함께 이로 인해 제품 불량율을 최소화하여 생산성이 향상되고, 장치의 부분 조절에 따른 다양한 크기를 지닌 글라스에 대체 가능하여 활용성이 극대화되면서 대량 생산에 적합하다.As described above, the cassette jig of the present invention prevents breakage and damage by mitigating impact caused by the flow of glass in etching for thinning the glass, and prevents uneven etching by the jig, thereby enabling stable and effective etching. Productivity is improved by minimizing product defect rate, and can be replaced with glass of various sizes according to the partial control of the device, which is suitable for mass production while maximizing utilization.

본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것은 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 변형예 또는 수정예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 해야 할 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims. It is therefore intended that such variations and modifications fall within the scope of the appended claims.

10: 베이스 11,15: 고정홈
20: 지지부 21: 지지판
30: 안착부 31: 안착판
41: 가이드 42: 경사면
43: 가이드홈 45: 안착롤
46: 유동홈 47: 스프링
48: 유동판 49: 롤러
G: 글라스 기판10: base 11,15: fixing groove
20: support 21: support plate
30: seating portion 31: seating plate
41: guide 42: slope
43: guide groove 45: seating roll
46: flow groove 47: spring
48: fluid plate 49: roller
G: glass substrate

Claims (4)

글라스 기판(G)을 박형화하기 위해 적재 수납하는 카세트 지그에 있어서:
얇은 평판의 사각틀 형태로 개재되고, 적어도 하나 이상의 고정홈(11)(15)을 구비하는 베이스(10);
상기 베이스(10)의 고정홈(11)에 지지판(21)을 개재하여 각각 이동/고정 가능하게 장착되고, 글라스 기판(G)을 좌우로 긴밀하게 지지하는 지지부(20); 및
상기 베이스(10)의 고정홈(15)에 안착판(31)을 개재하여 각각 이동/고정 가능하게 장착되고, 글라스 기판(G)을 하부로 긴밀하게 안착하는 안착부(30);를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 에칭기의 카세트 지그.In the cassette jig for storing the thin substrate in order to thin the glass substrate (G):
A base 10 interposed in the form of a rectangular flat plate and having at least one fixing groove 11 and 15;
A support part 20 mounted on the fixing groove 11 of the base 10 via a support plate 21 so as to be movable / fixed, and closely supporting the glass substrate G from side to side; And
And a seating part 30 mounted on the fixing groove 15 of the base 10 via a mounting plate 31 so as to be movable / fixed, and closely seating the glass substrate G downward. The cassette jig of an etching machine characterized by the above-mentioned. 제1항에 있어서,
상기 지지부(20)와 안착부(30)는 글라스 기판(G)을 긴밀하게 지지하면서 안착하도록 하나 이상의 가이드(41)와 안착롤(45) 중에서 택일하여 구비하는 것을 특징으로 하는 에칭기의 카세트 지그.The method of claim 1,
The supporter 20 and the seating part 30 are alternatively provided with one or more of one or more guides 41 and the mounting rolls 45 to be seated while supporting the glass substrate G closely. . 제2항에 있어서,
상기 가이드(41)는 지지판(21) 상에 볼트와 너트에 의해 체결되고, 글라스 기판(G)을 유도하기 위한 경사면(42)과 함께 안착위치를 잡아주는 가이드홈(43)을 구비하는 것을 특징으로 하는 에칭기의 카세트 지그.The method of claim 2,
The guide 41 is fastened to the support plate 21 by a bolt and a nut, and has a guide groove 43 for holding the seating position together with the inclined surface 42 for guiding the glass substrate (G). Cassette jig of etching machine to be used. 제2항에 있어서,
상기 안착롤(45)은 지지판(21)과 안착판(31) 상에 형성되는 유동홈(46)과, 상기 유동홈(46)에 맞물려 스프링(47)의 탄성력에 의해 유동하는 유동판(48)과, 상기 유동판(48)에 체결되어 글라스 기판(G)의 하중을 지지하면서 점접촉을 유도하여 원활히 안착하는 롤러(49)를 구비하는 것을 특징으로 하는 에칭기의 카세트 지그.The method of claim 2,
The seating roll 45 has a flow groove 46 formed on the support plate 21 and the seating plate 31 and a flow plate 48 meshed with the flow groove 46 to flow by the elastic force of the spring 47. And a roller (49) fastened to the flow plate (48) to support the load of the glass substrate (G) and smoothly seat by inducing point contact.
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