KR20130101284A - Optoelectrofluidic control device integrated with hydrogel microwell arrays and manipulation method of microparticle and microdroplet using the same - Google Patents

Optoelectrofluidic control device integrated with hydrogel microwell arrays and manipulation method of microparticle and microdroplet using the same Download PDF

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Abstract

PURPOSE: An optoelectrofluidic control device integrated with hydrogel microwell arrays and a method for manipulating microparticles and microdroplets using the same are provided to selectively collect the microdroplets by performing a programmable capture and discharge process on the microparticles and the microdroplets at low electrical energy. CONSTITUTION: An optoelectrofluidic device (1) is placed in a light irradiation path. The optoelectrofluidic device includes hydrogel microwell arrays (10). The hydrogel microwell arrays independently capture microparticles and microdroplets. Light from a light source (80) is irradiated to the optoelectrofluidic device. A power source device (60) applies a voltage to the optoelectrofluidic device.

Description

수화젤 마이크로웰 어레이가 집적된 광전기유체제어장치 및 이를 이용한 미세입자 또는 미세유체방울 구동방법{OPTOELECTROFLUIDIC CONTROL DEVICE INTEGRATED WITH HYDROGEL MICROWELL ARRAYS AND MANIPULATION METHOD OF MICROPARTICLE AND MICRODROPLET USING THE SAME}Opto-ELECTROFLUIDIC CONTROL DEVICE INTEGRATED WITH HYDROGEL MICROWELL ARRAYS AND MANIPULATION METHOD OF MICROPARTICLE AND MICRODROPLET USING THE SAME}

본 발명은 수화젤 마이크로웰 어레이가 집적된 광전기유체소자를 포함한 광전기유체제어장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 수화젤 마이크로웰 어레이 내에서 미세입자 또는 미세유체방울이 포획되고, 빛에 의해 유도된 유전영동(Dielectrophoresis) 및 전기습윤(Electrowetting) 원리를 이용하여 미세입자 또는 미세유체방울을 구동시키는 수화젤 마이크로웰 어레이가 집적된 광전기유체소자를 포함한 광전기유체제어장치 및 이를 이용한 미세입자와 미세유체방울의 구동방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a photovoltaic fluid control device including an optoelectronic fluid device in which a hydrogel microwell array is integrated, and more particularly, microparticles or droplets are trapped in a hydrogel microwell array and are induced by light. Optoelectronic fluid control device including an optoelectronic fluid device incorporating a hydrogel microwell array that drives microparticles or microfluidic droplets using dielectrophoresis and electroettetting principles, and microparticles and microfluidic droplets using the same It relates to a driving method.

최근 마이크로미터 단위의 다수의 미세구조가 배열된 미세유체 소자 내에서 단일 세포 및 미세입자를 빠른 속도로 특정 미세구조 내에 포획하고 주위 환경을 변화시키면서 나타나는 결과에 대해서 현미경을 통해 실시간으로 관찰하는 자동화된 미세유체 시스템이 많은 각광을 받고 있다. 특히, 단일 세포 및 미세입자에 대한 단시간 내에 높은 포획률을 달성하기 위하여 마이크로웰 어레이(microwell array) 등 새로운 디자인이 계속 제안되고 있다.Automated microscopic observation of real-time results through microscopic capture of single cells and microparticles within specific microstructures and changes in the surrounding environment in microfluidic devices with multiple micrometer arrays. Microfluidic systems are in the spotlight. In particular, new designs, such as microwell arrays, continue to be proposed in order to achieve high capture rates in a short time for single cells and microparticles.

포획된 단일 세포 및 미세입자를 선택적으로 구동하고 선별하기 위해서 미세유체 밸브의 집적을 통한 기계적 유체 제어(J Am Chem Soc 129, 8825, 2007), 평판전극의 집적을 통한 유전영동과 전기습윤 원리를 이용한 전기적 조작(Lab Chip 11, 1292, 2011), 레이저를 이용한 광학 집게(optical tweezer)(Anal Chem 79, 9321, 2007) 등 다수의 미세유체제어 방법이 제안되었다.Mechanical fluid control through the integration of microfluidic valves (J Am Chem Soc 129, 8825, 2007), selective electrophoretic and electrowetting principles through the integration of plate electrodes, to selectively drive and screen captured single cells and microparticles. A number of microfluidic control methods have been proposed, including electrical manipulation (Lab Chip 11, 1292, 2011) and optical tweezers using laser (Anal Chem 79, 9321, 2007).

미세유체 밸브를 이용할 경우에는 복잡한 공정과정 및 구동과정이 필요하고, 유전영동이나 전기습윤과 같은 기술의 경우에는 고정된 미세전극이 포함된 소자를 제작하기 위한 패터닝 등의 고비용의 공정과정이 동반되며 복잡한 배선작업이 필요하다. 또한, 광학 집게와 같은 광학 소자를 이용하는 경우에는 레이저 등을 구동하기 위한 복잡한 장치 구성이 필요하고 높은 광학 및 전기적 에너지에 따른 광손상(Photodamage)이 우려된다. 뿐만 아니라, 상기와 같은 기술은 소자의 특성상 휴대용 장치의 개발에는 부적합하다.In case of using microfluidic valve, complicated process and driving process are required, and in case of technology such as dielectric electrophoresis or electrowetting, expensive process such as patterning to manufacture a device including a fixed microelectrode is accompanied. Complex wiring work is required. In addition, when using an optical element such as an optical forceps, a complicated device configuration for driving a laser or the like is required, and photodamage due to high optical and electrical energy is concerned. In addition, such a technique is not suitable for the development of a portable device due to the characteristics of the device.

수화젤(hydrogel)은 수용성 고분자가 물리적 혹은 화학적 공유결합에 의하여 3차원의 가교를 형성하고 있는 구조로서, 다량의 물을 함유할 수 있는 물질이다. 이는 다양한 수용성 고분자로부터 제작될 수 있기 때문에 화학적 조성 및 물성을 다양하게 조절할 수 있으며 UV 및 다양한 화학적 가교 반응을 통하여 제작방법이 용이하다. 특히, 높은 물 함유율과 세포 외 기질(extracellular matrix)과의 물리화학적인 유사성으로 인하여 높은 생체적합성을 갖기 때문에 단일 세포 및 생체분자의 포획, 세포의 장시간 배양 등에 다양하게 적용될 수 있다.Hydrogel is a structure in which a water-soluble polymer forms a three-dimensional crosslink by physical or chemical covalent bonds, and may contain a large amount of water. Since it can be produced from a variety of water-soluble polymers can be controlled in a variety of chemical composition and physical properties, and the manufacturing method is easy through UV and various chemical crosslinking reaction. In particular, since it has high biocompatibility due to the high water content and physicochemical similarity with the extracellular matrix, it can be variously applied to the capture of single cells and biomolecules and long-term culture of cells.

따라서, 본 발명이 해결하고자 하는 과제는 수화젤 마이크로웰 어레이가 집적된 광전기유체소자 내에서 다양한 종류의 미세입자와 미세유체방울을 포획하고, 휴대용으로 제작할 수 있는 간단한 광학 시스템과 비교적 낮은 전압으로 포획된 미세입자 및 미세유체방울의 프로그램화된 구동 및 선별회수 등을 가능하게 하는 수화젤 마이크로웰 어레이가 집적된 광전기유체제어장치를 제공하는 것이다.Accordingly, the problem to be solved by the present invention is to capture various types of microparticles and microfluidic droplets in the photovoltaic fluid device in which the hydrogel microwell array is integrated, and to capture them at a relatively low voltage and a simple optical system that can be manufactured portable. The present invention provides a photovoltaic fluid control device incorporating a hydrogel microwell array that enables programmed driving, selective recovery, and the like of fine particles and droplets.

또한, 본 발명이 해결하고자 하는 과제는 상기 광전기유체제어장치를 이용하여 미세입자와 미세유체방울을 구동할 수 있는 미세입자 또는 미세유체방울의 구동방법을 제공하는 것이다.In addition, the problem to be solved by the present invention is to provide a method for driving microparticles or microfluidic droplets capable of driving microparticles and microfluidic droplets by using the optoelectronic fluid control device.

본 발명은 상기 과제를 달성하기 위하여,In order to achieve the above object,

빛이 조사되는 경로에 위치하고, 주입되는 미세입자 또는 미세유체방울을 독립적으로 포획할 수 있는 수화젤 마이크로웰 어레이가 집적된 광전기유체소자;A photovoltaic fluid device having a hydrogel microwell array integrated in a path to which light is irradiated and capable of independently capturing injected microparticles or microfluidic droplets;

상기 수화젤 마이크로웰 어레이가 집적된 광전기유체소자에 빛을 조사하는 광원; 및A light source for irradiating light onto the photovoltaic fluid device in which the hydrogel microwell array is integrated; And

상기 광전기유체소자에 전압을 인가하는 전원장치;를 포함하는 광전기유체제어장치를 제공한다.It provides a photovoltaic fluid control device comprising a; a power supply device for applying a voltage to the photovoltaic fluid element.

본 발명의 일 실시예에 의하면, 상기 광원으로부터 조사된 빛의 경로에는 상기 빛의 패턴을 변화시키기 위한 디스플레이 장치를 더 포함할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the light path irradiated from the light source may further include a display device for changing the pattern of the light.

본 발명의 다른 일 실시예에 의하면, 상기 디스플레이 장치와 상기 광전기유체소자 사이에는 디스플레이 장치로부터 출력되는 패턴이 변화된 빛을 집광시키는 하나 이상의 집광 렌즈를 더 포함할 수 있다.According to another embodiment of the present invention, the display device and the opto-electronic fluid element may further include one or more condensing lens for condensing the light is changed in the pattern output from the display device.

본 발명의 다른 일 실시예에 의하면, 상기 수화젤은 알지네이트, 젤라틴, 콜라겐, 키토산, 폴리에틸렌글리콜(PEG) 및 폴리(N-이소프로필아크릴아마이드)(PNIPAM) 중에서 선택되는 고분자 물질일 수 있다.According to another embodiment of the present invention, the hydrogel may be a polymer material selected from alginate, gelatin, collagen, chitosan, polyethylene glycol (PEG) and poly (N-isopropylacrylamide) (PNIPAM).

본 발명의 다른 일 실시예에 의하면, 상기 미세입자 및 미세 유체 방울은 세포, 단백질 및 나노 크기의 고분자성 입자 중에서 선택되는 1종 이상을 포함하는 것일 수 있다.According to another embodiment of the present invention, the microparticles and microfluidic droplets may include one or more selected from cells, proteins and nano-sized polymeric particles.

본 발명의 다른 일 실시예에 의하면, 상기 광전기유체소자는,According to another embodiment of the present invention, the optoelectronic fluid device,

상기 빛이 조사되는 면에 위치하고, 빛이 조사되는 영역에만 선택적으로 전압이 인가되어 전류가 도통되는 광전도성층;A photoconductive layer positioned on the surface to which the light is irradiated, the voltage being selectively applied only to a region to which the light is irradiated so that a current is conducted;

상기 광전도성층 상부 표면에 형성되고, 미세입자 및 미세유체방울을 독립적으로 포획할 수 있는 수화젤 마이크로웰 어레이;A hydrogel microwell array formed on an upper surface of the photoconductive layer and capable of independently capturing microparticles and microfluidic droplets;

상기 광전도성층 하면에 부착되는 하부 접지층과 상기 광전도성층 상부 대향되는 면에 이격되어 위치하는 상부 접지층; 및An upper ground layer spaced apart from a lower ground layer attached to the lower surface of the photoconductive layer and a surface facing the upper surface of the photoconductive layer; And

상기 상부 접지층과 상기 광전도성층을 이격시키는 스페이서;를 포함할 수 있다.And a spacer spaced apart from the upper ground layer and the photoconductive layer.

본 발명의 다른 일 실시예에 의하면, 상기 상부 및 하부 접지층은 광전도성층에 인가되는 전압으로부터 상기 광전기유체소자에 전기장을 형성시킬 수 있으며, 상기 스페이서에 의해 이격된 공간에는 미세입자 및 미세유체방울이 주입될 수 있다.According to another embodiment of the present invention, the upper and lower ground layers may form an electric field in the photovoltaic fluid element from a voltage applied to the photoconductive layer, and the microparticles and the microfluid in the space spaced by the spacers. Droplets can be injected.

본 발명의 다른 일 실시예에 의하면, 상기 광전도성층은 상기 전원장치를 이용하여 전압을 인가하는 평판 전극; 및 상기 빛이 조사된 영역에만 선택적으로 전압을 인가시키도록 하는 광전도성 물질;을 포함할 수 있다.According to another embodiment of the present invention, the photoconductive layer includes a flat plate electrode for applying a voltage using the power supply; And a photoconductive material for selectively applying a voltage only to the region to which the light is irradiated.

본 발명의 다른 일 실시예에 의하면, 상기 평판 전극은 투명한 전도성 물질로 이루어질 수 있으며, 상기 광전도성 물질은 수소화된 진성의 비정질 실리콘, 황화카드뮴 및 npn 포토트랜지스터 중에서 선택되는 어느 하나로 이루어질 수 있다.According to another embodiment of the present invention, the plate electrode may be made of a transparent conductive material, the photoconductive material may be made of any one selected from hydrogenated intrinsic amorphous silicon, cadmium sulfide and npn phototransistor.

본 발명의 다른 일 실시예에 의하면, 상기 광전도성층은 상기 광전도성 물질과 상기 평판 전극 사이에 상기 광전도성 물질과 상기 전극 사이의 접촉 저항을 줄이기 위한 도핑된 중간층을 더 포함할 수 있으며, 상기 중간층은 비정질 실리콘 또는 몰리브덴으로 이루어질 수 있다.According to another embodiment of the present invention, the photoconductive layer may further include a doped intermediate layer for reducing contact resistance between the photoconductive material and the electrode between the photoconductive material and the plate electrode. The intermediate layer may consist of amorphous silicon or molybdenum.

본 발명의 다른 일 실시예에 의하면, 상기 광전도성층은 상기 광전도성 물질상에 광전도성 물질을 보호하기 위하여 보호층을 더 포함할 수 있으며, 상기 보호층은 질소화 실리콘 또는 산화 실리콘으로 이루어질 수 있다.According to another embodiment of the present invention, the photoconductive layer may further include a protective layer to protect the photoconductive material on the photoconductive material, and the protective layer may be made of silicon nitride or silicon oxide. have.

본 발명의 다른 일 실시예에 의하면, 상기 광전도성층은 상기 보호층 상에 흡착 방지층을 더 포함할 수 있으며, 상기 흡착 방지층은 무정형 불소중합체(Amorphous fluoropolymer)로 이루어질 수 있다.According to another embodiment of the present invention, the photoconductive layer may further include an adsorption prevention layer on the protective layer, and the adsorption prevention layer may be made of an amorphous fluoropolymer.

본 발명의 다른 일 실시예에 의하면, 상기 상부 및 하부 접지층은 투명한 전도성 물질로 이루어질 수 있다.According to another embodiment of the present invention, the upper and lower ground layers may be made of a transparent conductive material.

본 발명의 다른 일 실시예에 의하면, 상기 광전기유체소자의 상부 접지층에는, 연속적인 미세유동을 유도하기 위하여 미세입자 또는 미세유체방울을 포함하는 미세 유체를 수화젤 마이크로웰 어레이상에 주입할 수 있는 복수 개의 주입부; 및According to another embodiment of the present invention, in the upper ground layer of the optoelectronic fluid device, microfluids including microparticles or microfluidic droplets may be injected onto the hydrogel microwell array to induce continuous microfluidic flow. A plurality of injection portions; And

상기 조사된 빛에 의해 상기 수화젤 마이크로웰 어레이로부터 배출되는 미세입자 또는 미세유체방울을 회수할 수 있는 복수 개의 배출부;가 연통되어 설치되어 있을 수 있다.A plurality of discharge parts for recovering the fine particles or micro-fluid droplets discharged from the hydrogel microwell array by the irradiated light; may be in communication with each other.

본 발명의 다른 일 실시예에 의하면, 상기 전압이 인가되고 상기 빛이 조사될 때, 상기 수화젤 마이크로웰 어레이내의 상기 미세입자 또는 미세유체방울이 전기영동 또는 전기습윤에 의해서 상기 빛이 조사된 영역 방향으로 움직이거나, 그 반대 방향으로 움직이게 되는 것일 수 있다.According to another embodiment of the present invention, when the voltage is applied and the light is irradiated, the area of the microparticles or microfluidic droplets in the hydrogel microwell array is irradiated with the light by electrophoresis or electrowetting. May be moved in the opposite direction or in the opposite direction.

본 발명의 다른 일 실시예에 의하면, 상기 빛이 조사된 영역 방향으로 움직인 상기 미세입자 또는 미세유체방울은 상기 수화젤 마이크로웰 어레이 내부로 포획될 수 있다.According to another embodiment of the present invention, the microparticles or microfluidic droplets moving in the direction in which the light is irradiated may be captured into the hydrogel microwell array.

본 발명의 다른 일 실시예에 의하면, 상기 빛이 조사된 반대 방향으로 움직인 상기 미세입자 또는 미세유체방울은 상기 수화젤 마이크로웰 어레이 외부로 배출될 수 있다.According to another embodiment of the present invention, the microparticles or microfluidic droplets moved in the opposite direction to which the light is irradiated may be discharged to the outside of the hydrogel microwell array.

본 발명의 다른 일 실시예에 의하면, 상기 빛이 조사되는 위치를 제어함에 따라 상기 주입된 미세입자 또는 미세유체방울이 상기 수화젤 마이크로웰 어레이 외부로 배출되는 방향성을 조절할 수 있다.According to another embodiment of the present invention, the direction in which the injected microparticles or microfluidic droplets are discharged to the outside of the hydrogel microwell array may be controlled by controlling the position where the light is irradiated.

본 발명의 다른 일 실시예에 의하면, 상기 전원장치로부터 인가되는 전압은 교류 또는 직류 전압일 수 있다.According to another embodiment of the present invention, the voltage applied from the power supply device may be an AC or DC voltage.

본 발명의 다른 일 실시예에 의하면, 상기 교류 전압이 인가될 경우, 주파수에 따라 상기 미세입자 또는 미세유체방울의 구동 방향이 변경되고, 상기 직류 전압이 인가될 경우, 전기영동에 의해 상기 수화젤 마이크로웰 어레이 내에서 상기 미세입자 또는 미세유체방울이 이동된다.
According to another embodiment of the present invention, when the AC voltage is applied, the driving direction of the microparticles or microfluidic droplets is changed according to the frequency, and when the DC voltage is applied, the hydrogel is electrophoresis. The microparticles or microfluidic droplets are moved within the microwell array.

또한, 본 발명은 상기 수화젤 마이크로웰 어레이가 집적된 광전기유체소자를 포함하는 광전기유체제어장치를 이용한 미세입자와 미세유체방울 구동방법에 있어서,In addition, the present invention provides a method for driving microparticles and droplets using an optoelectronic fluid control device including an optoelectronic fluid device in which the hydrogel microwell array is integrated.

(a) 수화젤 마이크로웰 어레이가 집적된 광전기유체소자에 미세입자 또는 미세유체방울을 주입하는 단계;(a) injecting microparticles or microfluidic droplets into the optoelectronic fluid device in which the hydrogel microwell array is integrated;

(b) 상기 수화젤 마이크로웰 어레이에 주입된 미세입자 또는 미세유체방울을 포획하는 단계;(b) capturing microparticles or microfluidic droplets injected into the hydrogel microwell array;

(c) 상기 광전기유체소자에 광원으로부터 빛을 조사하고 전압을 인가하여 상기 미세입자 또는 미세유체방울을 구동하여 배출시키는 단계;를 포함하는 미세입자와 미세유체방울 구동방법을 제공한다.and (c) irradiating light from a light source to the optoelectronic fluid device and applying a voltage to drive and discharge the microparticles or microfluidic droplets.

본 발명의 일 실시예에 의하면, 상기 (c) 단계는 상기 광원에서 조사되는 빛을 상기 미세입자 또는 미세유체방울의 구동을 위한 특정 영역으로 조사하여 미세입자 또는 미세유체방울을 구동하여 배출시킬 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the step (c) may emit the light emitted from the light source to a specific area for driving the microparticles or microfluidic droplets to drive and discharge the microparticles or microfluidic droplets. have.

본 발명의 일 실시예에 의하면, 상기 (c) 단계는 상기 빛을 조사하고 전압을 인가할 경우 상기 미세입자 또는 미세유체방울이 전기영동 또는 전기습윤에 의해 상기 특정 영역을 향해 움직이거나 그 반대 방향으로 움직일 수 있다.According to an embodiment of the present invention, in the step (c), when the light is irradiated and voltage is applied, the microparticles or microfluidic droplets move toward the specific region by electrophoresis or electrowetting or vice versa. I can move it.

본 발명에 따른 수화젤 마이크로웰 어레이가 집적된 광전기유체소자를 포함한 광전기유체제어장치를 이용한 미세입자와 미세유체방울 구동방법을 이용하면, 간단한 광학 장치를 이용하여 비교적 낮은 전기적 에너지로 미세입자 및 미세유체방울의 프로그램화 포획 및 배출을 수행할 수 있으며, 이를 통해 서로 다른 종류의 미세입자 또는 서로 다른 두 개 이상의 시료를 가지는 미세유체방울의 선별적 회수가 가능하다. 또한, 제작이 용이하고 높은 생체 적합성을 가지는 수화젤 마이크로웰 어레이를 이용하면 세포 및 생체분자 등의 시료를 조작해야 하는 생물학적 응용 및 분석 분야에 이용될 수 있을 것이다. 특히, 대면적에서 다수의 미세방울을 동시에 구동할 수 있다는 장점은 초고속 스크리닝(High-throughput screening)에 기여할 수 있을 것이라 기대한다.By using the microparticles and the microfluidic droplet driving method using the photovoltaic fluid control device including the photovoltaic fluid element in which the hydrogel microwell array is integrated according to the present invention, the microparticles and the microparticles can be formed with a relatively low electrical energy using a simple optical device. Programmable capture and discharge of fluid droplets can be performed, thereby allowing selective recovery of different types of microparticles or microfluidic droplets having two or more different samples. In addition, the hydrogel microwell array, which is easy to manufacture and has high biocompatibility, may be used in biological applications and analytical fields that require manipulation of samples such as cells and biomolecules. In particular, it is expected that the advantage of being able to simultaneously drive a large number of microdrops in a large area may contribute to high-throughput screening.

도 1은 본 발명에 따른 수화젤 마이크로웰 어레이가 집적된 광전기유체소자의 구조 및 내부를 나타낸 단면도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 수화젤 마이크로웰 어레이가 집적된 광전기유체소자의 제조공정을 나타낸 공정도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 수화젤 마이크로웰 어레이가 집적된 광전기유체소자에서 수화젤 마이크로웰 어레이에 의해서 미세입자 및 미세유체방울이 포획된 결과를 보여주는 개념도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 수화젤 마이크로웰 어레이가 집적된 광전기유체소자에서 미세입자 및 미세유체방울의 선별적 배출 결과를 보여주는 개념도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 수화젤 마이크로웰 어레이가 집적된 광전기유체소자에 주입부 및 배출부를 추가하여 상기 미세입자 및 미세유체방울의 선별적 배출 및 회수의 실시예를 보여주는 개념도이다.
도 6은 본 발명에 따른 수화젤 마이크로웰 어레이가 집적된 광전기유체소자를 이용한 미세입자 구동장치에 발생되는 전기장을 시뮬레이션한 개념도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 수화젤 마이크로웰 어레이가 집적된 광전기유체소자에서 미세입자 및 미세유체방울의 배출 방향성을 조절하는 실시예을 보여주는 개념도이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 단일 미세입자의 구동 및 배출 결과를 보여주는 이미지이다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 서로 다른 미세입자의 구동 및 배출 결과를 보여주는 이미지이다.1 is a cross-sectional view showing the structure and interior of a photovoltaic fluid device integrated with a hydrogel microwell array according to the present invention.
2 is a process diagram illustrating a manufacturing process of an optoelectronic fluid device integrated with a hydrogel microwell array according to an exemplary embodiment of the present invention.
3 is a conceptual diagram illustrating a result of capturing microparticles and microfluidic droplets by a hydrogel microwell array in an optoelectronic fluid device in which a hydrogel microwell array is integrated according to an embodiment of the present invention.
4 is a conceptual diagram illustrating a selective discharge of microparticles and microfluidic droplets in an optoelectronic fluid device in which a hydrogel microwell array is integrated according to an embodiment of the present invention.
FIG. 5 is a conceptual diagram illustrating an embodiment of selective discharge and recovery of the microparticles and microfluidic droplets by adding an injection unit and an discharge unit to an optoelectronic fluid device in which a hydrogel microwell array is integrated according to an embodiment of the present invention. .
FIG. 6 is a conceptual diagram simulating an electric field generated in a microparticle driving apparatus using an optoelectronic fluid device integrated with a hydrogel microwell array according to the present invention.
FIG. 7 is a conceptual view illustrating an embodiment of controlling the emission direction of microparticles and microfluidic droplets in an optoelectronic fluid device in which a hydrogel microwell array is integrated according to an embodiment of the present invention.
8 is an image showing the driving and discharge results of a single microparticle according to an embodiment of the present invention.
9 is an image showing the driving and discharge results of different microparticles according to an embodiment of the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세하게 설명한다. 우선, 도면들 중 동일한 구성요소 또는 부품들은 가능한 한 동일한 참조부호를 나타내고 있음에 유의해야 한다. 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지기능 혹은 구성에 대한 구체적인 설명은 본 발명의 요지를 모호하게 하지 않기 위해 생략한다.
Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. First, it should be noted that the same components or parts among the drawings denote the same reference numerals whenever possible. In the following description of the present invention, a detailed description of known functions and configurations incorporated herein will be omitted so as not to obscure the subject matter of the present invention.

본 발명은 기존의 복잡한 소자와 장치 구성 대신에, 간단한 구성을 지닌 광전기유체소자와 수화젤 마이크로웰 어레이를 집적함으로써 간단한 광학 장치의 구현이 가능하도록 하고, 또한 비교적 낮은 전기적 에너지로 수화젤 마이크로웰 어레이 내에 포획된 미세입자 및 미세유체방울의 프로그램화 구동이 가능하도록 하며, 소자 제작에 필요한 시간과 비용을 절약할 수 있으며, 외부 에너지로부터 시료의 손상을 최소화할 수 있도록 한 것을 특징으로 한다.
The present invention enables the implementation of a simple optical device by integrating a photovoltaic fluid element and a hydrogel microwell array having a simple configuration instead of a conventional complicated device and device configuration, and also a hydrogel microwell array with relatively low electrical energy. Programmable driving of the microparticles and microfluid droplets trapped inside is possible, saves the time and cost required for device fabrication, and minimizes damage to the sample from external energy.

하기 도 1은 본 발명에 따른 수화젤 마이크로웰 어레이가 집적된 광전기유체소자의 구조 및 내부 구성 요소를 분리하여 개략적으로 도시한 단면도이다.1 is a cross-sectional view schematically illustrating the structure and internal components of an optoelectronic fluid device integrated with a hydrogel microwell array according to the present invention.

하기 도 1에서 보는 바와 같이, 본 발명에 따른 수화젤 마이크로웰 어레이가 집적된 광전기유체소자(1)는 수화젤 마이크로웰 어레이(10), 광전도성층(20), 상부 및 하부 접지층(30a, 30b) 및 스페이서(70)를 포함하여 이루어진다.As shown in FIG. 1, the optoelectronic fluid device 1 in which the hydrogel microwell array is integrated according to the present invention includes a hydrogel microwell array 10, a photoconductive layer 20, upper and lower ground layers 30a. , 30b) and a spacer 70.

보다 구체적으로는 상기 빛이 조사되는 면에 위치하고, 빛이 조사되는 영역에만 선택적으로 전압이 인가되어 전류가 도통되는 광전도성층(20), 상기 광전도성층(20) 상부 표면에 형성되고, 미세입자 또는 미세유체방울(50)을 독립적으로 포획할 수 있는 수화젤 마이크로웰 어레이(10), 상기 광전도성층(20) 하면에 부착되는 하부 접지층(30a)과 상기 광전도성층 상부 대향되는 면에 이격되어 위치하는 상부 접지층(30b) 및 상기 상부 접지층(30b)과 상기 광전도성층을 이격시키는 스페이서(70)를 포함하여 구성된다.More specifically, the photoconductive layer 20 is disposed on the surface to which light is irradiated, and a voltage is selectively applied only to a region to which light is irradiated so that a current is conducted. Hydrogel microwell array 10 capable of independently capturing particles or microfluidic droplets 50, a lower ground layer 30a attached to a lower surface of the photoconductive layer 20, and a surface opposing the upper surface of the photoconductive layer And an upper ground layer 30b spaced apart from each other, and a spacer 70 spaced apart from the upper ground layer 30b and the photoconductive layer.

또한, 광전도성층은 상기 전원장치를 이용하여 전압을 인가하는 평판 전극(211) 및 상기 빛이 조사된 영역에만 선택적으로 전압을 인가시키도록 하는 광전도성 물질(210)을 포함하고, 상기 광전도성 물질(210)과 상기 평판 전극(211) 사이에는 상기 광전도성 물질(210)과 상기 전극(211) 사이의 접촉 저항을 줄이기 위한 도핑된 중간층(212)을 포함하며, 상기 광전도성 물질(210)상에는 광전도성 물질(210)을 보호하기 위하여 보호층(213)을 더 포함하고, 상기 보호층(213) 상에는 흡착방지층(214)을 포함한다.In addition, the photoconductive layer includes a planar electrode 211 for applying a voltage using the power supply device and a photoconductive material 210 for selectively applying a voltage only to a region to which the light is irradiated. Between the material 210 and the plate electrode 211 includes a doped intermediate layer 212 to reduce the contact resistance between the photoconductive material 210 and the electrode 211, the photoconductive material 210 The protective film 213 may further include a protective layer 213 to protect the photoconductive material 210, and the anti-adsorption layer 214 may be included on the protective layer 213.

상기 수화젤 마이크로웰 어레이(10)는 알지네이트, 폴리에틸렌글리콜(PEG, Polyethylene glycol), 젤라틴, 콜라겐, 폴리(N-이소프로필아크릴아마이드(PNIPAM, Poly(N-isopropylacrylamide)), 키토산 등의 고분자 물질의 수화젤로 이루어질 수 있다.The hydrogel microwell array 10 is formed of a polymer material such as alginate, polyethylene glycol (PEG, polyethylene glycol), gelatin, collagen, poly (N-isopropylacrylamide), chitosan, and the like. It may be made of a hydrogel.

본 발명의 일 구현예에 의하면, 상기 수화젤 마이크로웰 어레이(10) 위에 미세유체(40)에 포함된 미세입자 또는 미세유체방울(50)을 떨어트려 주면, 상기 미세입자 또는 미세유체방울(50)의 침전 현상에 의해 상기 수화젤 마이크로웰 어레이(10) 내에 포획된다. 상기 미세입자 또는 미세유체방울(50)은 세포, 단백질 및 나노 크기의 입자 상태로 제공되어야 하는 고분자성 입자 중 하나 이상을 포함할 수 있다.According to the exemplary embodiment of the present invention, when the microparticles or microfluidic droplets 50 included in the microfluidic 40 are dropped on the hydrogel microwell array 10, the microparticles or microfluidic droplets 50 Trapped in the hydrogel microwell array 10 by the precipitation phenomenon. The microparticles or microfluidic droplets 50 may include one or more of the polymeric particles to be provided in the form of cells, proteins and nano-sized particles.

상기 수화젤 마이크로웰 어레이(10)의 높이 및 너비는 특정한 목적에 따라 조절하여 형성할 수 있다. 상기 미세입자 또는 미세유체방울(50)의 크기 및 상기 수화젤 마이크로웰 어레이(10)의 크기에 따라 복수의 미세입자 및 미세방울이 독립적으로 포획될 수 있다. 상기 스페이서(70)는 상기 광전도성층(20)과 상기 접지층(30)을 이격시키는 역할을 한다.
The height and width of the hydrogel microwell array 10 may be adjusted and formed according to a specific purpose. According to the size of the microparticles or microfluidic droplets 50 and the size of the hydrogel microwell array 10, a plurality of microparticles and microdrops may be independently captured. The spacer 70 serves to space the photoconductive layer 20 from the ground layer 30.

하기 도 2는 본 발명에 따른 수화젤 마이크로웰 어레이가 집적된 광전기유체소자의 제조공정을 나타낸 공정도이다.Figure 2 is a process chart showing the manufacturing process of the hydrogel microwell array integrated photoelectric fluid device according to the present invention.

먼저, 포토레지스트(201)가 패터닝된 실리콘 웨이퍼(202) 위에 PDMS 중합체(203)를 이용하여 몰드를 제작한다.First, a mold is fabricated using the PDMS polymer 203 on the silicon wafer 202 on which the photoresist 201 is patterned.

포토레지스트(201)는 반도체 또는 평판형 소자의 공정에 사용되는 것이라면 특별히 한정하지 않으며, 상기 포토레지스트의 형성방법 역시 상기 공정에서 사용되는 방법이라면 특별히 한정하지 않으나, UV(Ultra Violet)가 조사된 부분만 경화되는 음성 포토레지스트인 SU-8이 바람직하며, 디자인 및 공정조건에 따라 포토레지스트의 길이, 너비 및 높이가 조절될 수 있다.The photoresist 201 is not particularly limited as long as it is used in a semiconductor or flat panel device process, and the method of forming the photoresist is not particularly limited as long as it is a method used in the above process, but is irradiated with UV (Ultra Violet). SU-8, a negative cured photoresist, is preferred, and the length, width, and height of the photoresist may be adjusted according to design and process conditions.

다음으로 PDMS 미세채널(204)을 유리 기판(205)에 부착 후 미세채널 내에 수화젤(206)을 주입한다.Next, after attaching the PDMS microchannel 204 to the glass substrate 205, the hydrogel 206 is injected into the microchannel.

그리고, 주입된 수화젤(206)의 가교 반응(207)을 유도하여 미세채널 내에서 고체화시킨다. 일례로, PEG의 경우에는 UV를 조사하여 가교 반응을 유도하고, 알지네이트의 경우 칼슘 이온이 포함된 물질을 추가로 주입하여 가교 반응을 유도할 수 있다.Then, the crosslinking reaction 207 of the injected hydrogel 206 is induced to solidify in the microchannel. For example, PEG may induce a crosslinking reaction by irradiating UV, and in the case of alginate, a crosslinking reaction may be induced by further injecting a substance containing calcium ions.

이후 상기 PDMS 미세채널(204)을 제거하면 수화젤 마이크로웰 어레이(208)가 제조된다.After removing the PDMS microchannel 204, the hydrogel microwell array 208 is manufactured.

상기 광전도성층(30)은 투명한 전도성 물질(예를 들면, ITO(Indium tin oxide) 또는 금 박막과 같은 투명전극)로 이루어진 평판 전극(211) 및 빛이 조사된 영역에만 선택적으로 전압을 인가하는 광전도성 물질(210)을 포함할 수 있다. 또한, 접지층(30a, 30b) 역시 상술한 평판 전극(211)과 동일한 물질로 제조될 수 있다.The photoconductive layer 30 selectively applies a voltage only to a flat electrode 211 made of a transparent conductive material (for example, a transparent electrode such as indium tin oxide (ITO) or a gold thin film) and a region to which light is irradiated. It may include a photoconductive material 210. In addition, the ground layers 30a and 30b may also be made of the same material as the flat electrode 211 described above.

상기 광전도성 물질(210)은 포토 트랜지스터 특성을 가지는 비정질 실리콘 또는 황화카드뮴(CdS)으로 이루어지는데, 유리 기판상에 투명한 전극인 상기 ITO 전극(211)이 일정 패턴으로 증착되고 나서, 그 상부면에 상기 비정질 실리콘이 증착된다.The photoconductive material 210 is formed of amorphous silicon or cadmium sulfide (CdS) having photo transistor characteristics. The ITO electrode 211, which is a transparent electrode, is deposited on a glass substrate in a predetermined pattern, and then The amorphous silicon is deposited.

또한, 상기 광전도성 물질(210)과 상기 ITO 전극(211) 사이에는 중간층(212)이 형성될 수 있으며, 이 중간층은 도핑된 비정질 실리콘(Doped amorphous silicon) 또는 몰리브덴(Molybden)으로 제조될 수 있다. 그리고, 상기 광전도성 물질(210)을 보호하기 위해 상기 광전도성 물질(210) 상에 보호층(213)이 형성될 수 있으며, 상기 보호층(213)은 질화 실리콘(Silicon nitride) 또는 산화 실리콘(Silicon oxide)으로 제조될 수 있다. 또한, 미세방울의 흡착현상을 방지하기 위하여 상기 보호층(213) 상에 Cytonix 社의 FluoroPel, Asahi Glass社의 CYTOP, DuPont 社의 Teflon AF 등과 같은 무정형 불소중합체(Amorphous fluoropolymer)로 이루어진 흡착 보호층(214)이 형성될 수 있다.In addition, an intermediate layer 212 may be formed between the photoconductive material 210 and the ITO electrode 211, and the intermediate layer may be made of doped amorphous silicon or molybdenum. . In addition, a protective layer 213 may be formed on the photoconductive material 210 to protect the photoconductive material 210, and the protective layer 213 may be formed of silicon nitride or silicon oxide. Silicon oxide). In addition, an adsorption protective layer made of amorphous fluoropolymer (Amorphous fluoropolymer) such as FluoroPel of Cytonix, CYTOP of Asahi Glass, Teflon AF of DuPont, etc. 214 may be formed.

상기 수화젤 마이크로웰 어레이(208)는 핀셋 등을 이용하여 자유자재로 조작 및 운반 가능하므로, 상기 광전도성층(20) 상에 올려놓는다.Since the hydrogel microwell array 208 can be freely manipulated and transported using tweezers or the like, the hydrogel microwell array 208 is placed on the photoconductive layer 20.

이후 상기 광전도성층(20)과 상기 상부 접지층(30b)을 이격시키기 위한 스페이서(70)가 포함된 상기 상부 접지층(30b)을 상기 수화젤 마이크로웰 어레이(208)가 포함된 광전도성층(20) 상에 적층시키면 본 발명에 수화젤 마이크로웰 어레이가 집적된 광전기유체소자가 제조된다.
Thereafter, the photoconductive layer including the hydrogel microwell array 208 is formed on the upper ground layer 30b including the spacer 70 for separating the photoconductive layer 20 from the upper ground layer 30b. When stacked on (20), an optoelectronic fluid device in which the hydrogel microwell array is integrated in the present invention is manufactured.

본 발명은 상기 수화젤 마이크로웰 어레이가 집적된 광전기유체소자를 포함하는 광전기유체제어장치를 이용한 미세입자와 미세유체방울 구동방법에 있어서, (a) 수화젤 마이크로웰 어레이가 집적된 광전기유체소자에 미세입자 및 미세유체방울을 주입하는 단계, (b) 상기 수화젤 마이크로웰 어레이에 주입된 미세입자 및 미세유체방울을 포획하는 단계, (c) 상기 광전기유체소자에 광원으로부터 빛을 조사하고 전압을 인가하여 상기 미세입자 및 미세유체방울을 구동하여 배출시키는 단계를 포함하는 미세입자와 미세유체방울 구동방법을 제공하고, 이하에서 이에 대해서 첨부된 도면을 참조하여 구체적으로 설명한다.
The present invention relates to a method for driving microparticles and droplets using an optoelectronic fluid control apparatus including an optoelectronic fluid device in which the hydrogel microwell array is integrated, comprising: (a) a photovoltaic fluid device in which the hydrogel microwell array is integrated; Injecting microparticles and microfluidic droplets, (b) capturing the microparticles and microfluidic droplets injected into the hydrogel microwell array, and (c) irradiating light from a light source to the optoelectronic fluid device and applying a voltage. The present invention provides a method for driving microparticles and microfluidic droplets, the method including driving and discharging the microparticles and microfluidic droplets, which will be described below in detail with reference to the accompanying drawings.

하기 도 3은 본 발명에 따른 수화젤 마이크로웰 어레이가 집적된 광전기유체소자를 포함한 광전기유체제어장치를 이용하여 미세입자 및 미세유체방울의 포획 결과를 도시한 도면이다.3 is a view showing a capture result of microparticles and microfluid droplets by using an optoelectronic fluid control apparatus including an optoelectronic fluid device integrated with a hydrogel microwell array according to the present invention.

본 발명에 따른 광전기유체제어장치는 상기 수화젤 마이크로웰 어레이(10)에 빛(82)을 조사하는 광원(80)을 포함할 수 있다.The photoelectric fluid control apparatus according to the present invention may include a light source 80 for irradiating light 82 to the hydrogel microwell array 10.

상기 광원(80)은 사용자가 원하는 영역 및 형상으로 명암을 형성시킬 수 있으며, 상기 하부 접지층(30a) 및 광전도성층(20)과 평행하게 배열되어 입사되도록 구비된다. 이를 위하여, 상기 광원(80)은 상기 광전기유체소자(1)에 전기장을 형성시키고 제어하며, 상기 광전기유체소자(1)에 주입되는 미세입자 또는 미세유체방울(50)을 조작하기 위한 것으로서, 할로겐 램프, 발광 다이오드 및 레이져 중 선택되는 어느 하나일 수 있고, 본 발명의 바람직한 구현예에 의하면 파장의 범위가 가시광 영역인 것이 바람직하다.The light source 80 may form a contrast in a region and a shape desired by a user, and may be arranged to be incident in parallel with the lower ground layer 30a and the photoconductive layer 20. To this end, the light source 80 forms and controls an electric field in the optoelectronic fluid device 1, and manipulates the fine particles or the microfluid droplet 50 injected into the optoelectronic fluid device 1, and halogen. It may be any one selected from a lamp, a light emitting diode and a laser, and according to a preferred embodiment of the present invention, it is preferable that the wavelength range is in the visible light region.

또한, 상기 광원(80)으로부터 조사된 빛의 경로에는 상기 빛(82)의 패턴을 변화시키기 위한 디스플레이 장치(미도시)를 더 포함할 수 있고, 상기 디스플레이 장치는 DMD(Digital Micromirror Device), LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel), OLED(Organic Light Emitting Diode), 레이저 등이 적용될 수 있으며, 일정 신호로 사용자가 원하는 영역에 상기 빛(82)을 입사시키도록 부분적으로 발광하거나 또는 일정 신호로 사용자가 원하는 패턴을 형성시켜, 패턴이 비추는 부분에 상기 빛(82)을 입사시킬 수도 있으며, 패턴이 비추는 영역에는 명(明), 그 외의 부분에는 암(暗)을 형성시킬 수 있는 장치로 대체되는 것도 바람직하다.In addition, the path of the light irradiated from the light source 80 may further include a display device (not shown) for changing the pattern of the light 82, the display device may be a digital micromirror device (DMD), LCD (Liquid Crystal Display), Plasma Display Panel (PDP), Organic Light Emitting Diode (OLED), laser, etc. may be applied, and partially emit light to inject the light 82 into a desired area with a predetermined signal, or By forming a pattern desired by a user with a predetermined signal, the light 82 may be incident on a portion where the pattern shines, and a light may be formed on a region where the pattern shines, and a dark portion may be formed on other portions. It is also preferable to replace it with a device.

또한, 상기 디스플레이 장치를 통과한 빛을 집광시키기 위해 하나 이상의 집광 렌즈(81)가 설치될 수 있다.In addition, one or more condenser lenses 81 may be installed to condense the light passing through the display device.

전원장치(60)에 의해 인가되는 전압은 교류 또는 직류 전압일 수 있으며, 교류 전압이 인가될 경우 주파수에 따라 미세입자 또는 미세유체방울(50)의 구동방향이 변경될 수 있다. 그리고, 직류 전압이 인가될 경우 전기영동에 의해 미세입자 또는 미세유체방울(50)이 이동될 수 있다.The voltage applied by the power supply device 60 may be an alternating current or a direct current voltage, and when the alternating voltage is applied, the driving direction of the fine particles or the microfluidic droplet 50 may be changed according to the frequency. In addition, when a DC voltage is applied, the microparticles or the microfluidic droplets 50 may be moved by electrophoresis.

상기 광원(80)으로부터 빛(82)이 조사되어 전압이 인가되었을 때, 상기 수화젤 마이크로웰 어레이(10) 부근에 주입된 상기 미세입자 또는 미세유체방울(50)은 전기영동 또는 전기습윤에 의해 빛이 조사된 영역의 방향 또는 반대 방향으로 움직일 수 있다.When light 82 is irradiated from the light source 80 and a voltage is applied, the microparticles or microfluidic droplets 50 injected into the hydrogel microwell array 10 are electrophoretic or electrowetting. The light can move in the direction of the irradiated area or in the opposite direction.

이와 같은 특징을 이용하여, 상기 미세입자 또는 미세유체방울(50)을 상기 수화젤 마이크로웰 어레이(10) 내부에 독립적으로 포획할 수 있다. 이를 이용하면, 상기 미세입자 또는 미세유체방울(50)의 침전 현상을 통해 포획하는 것보다 보다 효과적으로 포획할 수 있다.By using such a feature, the microparticles or microfluidic droplets 50 may be independently captured in the hydrogel microwell array 10. Using this, it is possible to capture more effectively than to capture through the precipitation phenomenon of the microparticles or microfluidic droplets (50).

상기 미세입자 또는 미세유체방울(50)의 포획 속도는 상기 수화젤 마이크로웰 어레이(10)에 집속되는 전기장의 세기에 따라 달라질 수 있다. 이는 수화젤 마이크로웰 어레이(10) 단면의 모양 및 높이, 상기 스페이서(70)의 높이, 상기 전원(60)을 통해 인가된 전압의 세기에 의해 결정된다.
The capture rate of the microparticles or microfluidic droplets 50 may vary depending on the intensity of the electric field focused on the hydrogel microwell array 10. This is determined by the shape and height of the cross section of the hydrogel microwell array 10, the height of the spacer 70, and the strength of the voltage applied through the power source 60.

하기 도 4에서는 본 발명에 따른 수화젤 마이크로웰 어레이가 집적된 광전기유체소자를 포함하는 광전기유체제어장치를 이용한 미세입자 또는 미세유체방울의 선별적 배출 실시예를 보여준다.Figure 4 shows a selective discharge embodiment of the fine particles or microfluidic droplets using the photovoltaic fluid control device including a photovoltaic fluid device integrated with a hydrogel microwell array according to the present invention.

본 발명에 따른 수화젤 마이크로웰 어레이(10)가 집적된 광전기유체소자(1)에 광원(80)으로부터 빛이 조사되면서 시작된다. 사용자가 원하는 영역으로 조사된 빛(82)이 상기 광전도성층(20)에 입사되면, 상기 광전도성층(20) 상부면으로 전기장이 집속되면서 미세입자 또는 미세유체방울(50)이 유전영동, 전기영동, 전기삼투, 전열효과 등에 따라 이동될 수 있다.The hydrogel microwell array 10 according to the present invention starts with light irradiated from the light source 80 onto the integrated photoelectromagnetic fluid element 1. When light 82 irradiated to a desired area of the user is incident on the photoconductive layer 20, the electric field is focused on the upper surface of the photoconductive layer 20, and the microparticles or microfluidic droplets 50 are subjected to dielectric motion, It can be moved according to electrophoresis, electroosmosis, heat transfer effect and the like.

이와 같이 상기 미세입자 또는 미세유체방울(50)을 움직이는 영상 패턴을 이용하여 사용자가 원하는 위치로 이동시키는 광전자적 미세입자 구동장치의 기능을 이용하여, 상기 수화젤 마이크로웰 어레이(10) 내에 포획된 미세입자 또는 미세유체방울(50) 중 사용자가 원하는 타겟 미세입자 및 타겟 미세유체방울(51)을 선별적으로 구동할 수 있다. 전기장의 집속에 의해 상기 타겟 미세입자 및 타겟 미세유체방울(51)이 상기 수화젤 마이크로웰 어레이(10)로부터 z축 방향으로 멀어지게 되고, 결과적으로 상기 타겟 미세입자 및 미세유체방울(51)은 상기 수화젤 마이크로웰 어레이(10) 외부로 배출되게 된다.
As such, by using the function of the photoelectric microparticle driving device that moves the microparticles or the microfluidic droplets 50 to a desired position by using an image pattern that moves the microparticles or the microfluidic droplets 50, the hydrogel gel is captured in the hydrogel microwell array 10. Among the microparticles or the microfluidic droplets 50, the target microparticles and the target microfluidic droplet 51 desired by the user may be selectively driven. The target microparticles and the target microfluidic droplets 51 are moved away from the hydrogel microwell array 10 in the z-axis direction by the concentration of an electric field. As a result, the target microparticles and the microfluidic droplets 51 It is discharged to the outside of the hydrogel microwell array (10).

하기 도 5에서는 본 발명에 따른 수화젤 마이크로웰 어레이가 집적된 광전기유체소자에 주입부 및 배출부를 추가하여 상기 미세입자 또는 미세유체방울의 선별적 배출 및 회수의 실시예를 보여준다.5 shows an embodiment of selective discharge and recovery of the microparticles or microfluidic droplets by adding an injection unit and an discharge unit to the optoelectronic fluid device in which the hydrogel microwell array according to the present invention is integrated.

상기 상부 접지층(30b)의 상부에 주입부(90) 및 배출부(91)를 연통하여 미세유체를 주입할 수 있다. 외부에서 가하는 일정한 주입 속도로 인하여, 일정 속도를 가지는 미세유체는 상기 광전기유체소자(1) 내부를 이동하면서, 광전기유체효과에 의해 상기 수화젤 마이크로웰 어레이(10) 외부로 배출된 상기 타겟 미세입자 및 타겟 미세유체방울(51)을 사용자가 원하는 위치로 이동시킬 수 있다. 또한, 연속적인 주입을 통하여, 상기 타겟 미세입자 및 타겟 미세유체방울(51)을 상기 배출부(91)를 통해 상기 광전기유체소자(1) 외부로 회수할 수 있다. 또한, 상기 주입부(90)는 구동 초기에 상기 미세입자 또는 미세유체방울(50)을 주입하는 역할로도 활용할 수 있다.The microfluid may be injected by communicating the injection part 90 and the discharge part 91 on the upper ground layer 30b. Due to the constant injection rate applied from the outside, the microfluid having a constant speed moves inside the photovoltaic fluid element 1 and is discharged to the outside of the hydrogel microwell array 10 by the photoelectrofluidic effect. And the target microfluidic droplet 51 to a location desired by the user. In addition, through the continuous injection, the target microparticles and the target microfluidic droplet 51 may be recovered to the outside of the optoelectronic fluid device 1 through the discharge unit 91. In addition, the injection unit 90 may also be used as a role of injecting the microparticles or microfluidic droplets 50 at the initial stage of driving.

상기와 같이 본 발명은 미세유체를 주입하는 펌프를 이용하여 미세유체의 유동성을 기반으로 선별 회수가 가능한 다양한 생물학적 응용 실험에 적용될 수 있다.
As described above, the present invention can be applied to various biological application experiments capable of screening and recovering based on the fluidity of the microfluid using a pump for injecting the microfluid.

하기 도 6은 본 발명에 따른 수화젤 마이크로웰 어레이가 집적된 광전기유체소자를 이용한 미세입자 구동장치에 발생되는 전기장을 시뮬레이션한 결과이다.6 is a simulation result of an electric field generated in a microparticle driving apparatus using an optoelectronic fluid device integrated with a hydrogel microwell array according to the present invention.

본 발명에 따른 수화젤 마이크로웰 어레이가 집적된 광전기유체소자(1)에는 전기장이 다음과 같이 형성된다.An electric field is formed in the photovoltaic fluid device 1 in which the hydrogel microwell array according to the present invention is integrated.

상기 빛 패턴(82)이 광전도성층(20)의 특정 영역에 조사되면, 그 영역에만 전압이 인가되고, 이에 따라 상기 광전기유체소자(1) 내부에 전기장이 형성된다. 따라서 상기 수화젤 마이크로웰 어레이(10) 내부 영역에 빛을 조사하게 되면, 그 부분에 전기장이 높게 나타난 것을 알 수 있으며, 이에 따라 상기 포획된 미세입자 및 미세유체방울(50)을 이동시킬 수 있다.
When the light pattern 82 is irradiated to a specific region of the photoconductive layer 20, a voltage is applied only to the region, thereby forming an electric field inside the photovoltaic fluid element 1. Therefore, when the light is irradiated to the inner region of the hydrogel microwell array 10, it can be seen that the electric field is high in the portion, thereby moving the captured microparticles and the microfluidic droplet (50). .

이와 같이 본 발명에 따른 광전기유체제어장치를 이용하면, 순차적으로 또는 병렬적으로 원하는 입자를 포획된 수화젤 마이크로웰 어레이(10)로부터 배출이 가능하다. 또한, 빛을 조사하는 위치를 제어함으로써 하기 도 7에서와 같이 배출되는 입자의 방향성도 조절할 수 있다.As described above, using the photoelectric fluid control device according to the present invention, it is possible to discharge the particles from the trapped hydrogel microwell array 10 in a desired manner or sequentially. In addition, by controlling the position of the light irradiation it can also adjust the direction of the particles to be discharged as shown in FIG.

하기 도 7에서는 본 발명에 따른 수화젤 마이크로웰 어레이가 집적된 광전기유체소자를 이용하여 상기 미세입자 및 미세유체방울의 배출 방향 조절의 실시예를 보여준다.7 shows an embodiment of controlling the discharge direction of the microparticles and microfluidic droplets by using the photovoltaic fluid device in which the hydrogel microwell array is integrated according to the present invention.

상기 수화젤 마이크로웰 어레이(10) 내에서의 빛 패턴 조사 위치에 따라 상기 광전도성층(20)의 전도화 부분(21)이 달라질 수 있으며 이에 따라 상기 수화젤 마이크로웰 어레이(10) 내에서의 전기장 분포가 달라질 수 있다. 상기 수화젤 마이크로웰 어레이(10) 내에 포획된 타겟 미세입자 및 타겟 미세유체방울(51)은 상기 전원(60)을 통해 인가된 전압으로 유도된 음의 유전영동에 의해 빛 패턴으로부터 멀어지게 된다.The conduction portion 21 of the photoconductive layer 20 may vary according to the light pattern irradiation position in the hydrogel microwell array 10, and thus, in the hydrogel microwell array 10. The electric field distribution can vary. The target microparticles and the target microfluidic droplets 51 captured in the hydrogel microwell array 10 are separated from the light pattern by negative dielectric electrophoresis induced by a voltage applied through the power source 60.

본 발명의 일 실시예에 의하면, 상기 마이크로웰 어레이(10) 내의 우측면(21)에 빛 패턴을 조사할 경우, 상기 타겟 미세입자 및 미세유체방울(51)은 상기 마이크로웰 어레이(10)의 좌측 상단 방향으로 움직여 배출된다. 반대로, 상기 마이크로웰 어레이(10) 내의 좌측면(22)에 빛 패턴을 조사할 경우, 상기 타겟 미세입자 및 미세유체방울(51)은 상기 마이크로웰 어레이(10)의 우측 상단 방향으로 움직여 배출된다. 이러한 방향성을 이용하여, 사용자가 원하는 구동 방향에 맞게 상기 빛 패턴을 조사하여 상기 타겟 미세입자 및 미세유체방울(51)이 배출되는 입자의 방향성을 조절할 수 있다.
According to one embodiment of the present invention, when irradiating a light pattern on the right surface 21 of the microwell array 10, the target microparticles and the microfluidic droplet 51 are left of the microwell array 10. It is discharged by moving upwards. On the contrary, when the light pattern is irradiated on the left surface 22 of the microwell array 10, the target microparticles and the microfluidic droplet 51 move in the upper right direction of the microwell array 10 to be discharged. . By using the directionality, the target microparticles and the microfluidic droplet 51 is discharged by adjusting the light pattern according to the driving direction desired by the user.

하기 도 8에서는 수화젤 마이크로웰 어레이(10) 내부에 빛을 조사하여, 상기 수화젤 마이크로웰 어레이(10)에 포획된 75 ㎛ 폴리스티렌 미세입자가 빛에 의해 유도된 음의 유전영동에 의해 상기 수화젤 마이크로웰 어레이(10) 외부로 배출되는 결과를 보여준다.In FIG. 8, light is irradiated to the inside of the hydrogel microwell array 10, and the 75 μm polystyrene microparticles captured in the hydrogel microwell array 10 are hydrated by negative dielectric electrophoresis induced by light. It shows the result discharged to the outside of the gel microwell array (10).

20 Vpp, 100 kHz을 인가하였을 경우 5초 이내에 배출 가능함을 확인할 수 있다. 이 때 사용한 광원은 할로겐 램프이고, 조사된 빛의 패턴을 변화시키기 위한 디스플레이 장치로서 LCD(Liquid crystal display)를 사용하였다. 또한, 조사된 빛을 집광시키기 위해 집광 렌즈(Condenser lens)를 사용하였고, 관찰을 위한 렌즈로서는 대물렌즈, 검출기로서는 CCD(Charge coupled device)를 사용하였다. 상기 수화젤 마이크로웰 어레이(10)의 너비는 120 ㎛, 높이는 70 ㎛으로 설계하였다.
If 20 V pp , 100 kHz is applied, it can be seen that it can be discharged within 5 seconds. The light source used at this time was a halogen lamp, and a liquid crystal display (LCD) was used as a display device for changing the pattern of irradiated light. In addition, a condenser lens was used to focus the irradiated light, an objective lens was used as the lens for observation, and a charge coupled device (CCD) was used as the detector. The hydrogel microwell array 10 was designed to have a width of 120 μm and a height of 70 μm.

하기 도 9에서는 상기 수화젤 마이크로웰 어레이(10) 내부에 빛을 순차적으로 조사하여, 상기 수화젤 마이크로웰 어레이(10)에 포획된 서로 다른 75 ㎛ 폴리스티렌 미세입자를 순차적으로 상기 수화젤 마이크로웰 어레이(10) 외부로 배출한 결과를 보여준다. 인가된 전압은 20 Vpp, 주파수는 100 kHz이다.
In FIG. 9, light is sequentially irradiated into the hydrogel microwell array 10, and the hydrogel gel microwell array is sequentially disposed with different 75 μm polystyrene microparticles captured in the hydrogel microwell array 10. (10) The result of discharge to the outside is shown. The applied voltage is 20 V pp and the frequency is 100 kHz.

이상과 같이 본 발명에 따른 수화젤 마이크로웰 어레이가 집적된 광전기유체소자 이를 이용한 미세입자와 미세유체방울 구동방법을 예시한 도면을 참조로 하여 설명하였으나, 본 명세서에 개시된 실시예와 도면에 의해 본 발명이 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 기술사상 범위 내에서 당업자에 의해 다양한 변형이 이루어질 수 있다.As described above, the hydrogel gel microwell array according to the present invention has been described with reference to the drawings illustrating a method of driving microparticles and microfluidic droplets using the integrated photovoltaic fluid device. The invention is not limited, and various modifications may be made by those skilled in the art within the scope of the present invention.

1 : 광전기유체소자
10 : 수화젤 마이크로웰 어레이 20 : 광전도성층
21 : 마이크로 웰 어레이 내의 우측면
22 : 마이크로 웰 어레이 내의 좌측면
30a : 하부 접지층 30b : 상부 접지층
40 : 미세 유체 50 : 미세입자 또는 미세유체방울
51 : 타겟 미세입자 또는 타겟 미세유체방울
60 : 전원장치 70 : 스페이서
80 : 광원 81 : 집광렌즈
82 : 빛(빛 패턴) 90 : 주입부
91 : 배출부
201 : 포토레지스트 202 : 실리콘 웨이퍼
203 : PDMS 중합체 205 : 유리 기판
206 : 수화젤 207 : 수화젤의 가교반응
208 : 수화젤 마이크로웰 어레이
210 : 광전도성 물질 211 : 투명 전극
212 : 중간층 213 : 보호층
214 : 흡착보호층1: Optoelectronic Fluid Device
10: hydrogel microwell array 20: photoconductive layer
21: Right side in micro well array
22: left side in the microwell array
30a: lower ground layer 30b: upper ground layer
40: microfluidic 50: microparticles or microfluidic droplets
51: target microparticle or target microfluidic droplet
60: power supply 70: spacer
80: light source 81: condenser lens
82: light (light pattern) 90: injection portion
91: discharge part
201 photoresist 202 silicon wafer
203: PDMS polymer 205: glass substrate
206: hydrogel 207: crosslinking reaction of the hydrogel
208: Hydrogel Microwell Array
210: photoconductive material 211: transparent electrode
212: intermediate layer 213: protective layer
214: adsorption protective layer

Claims (23)

빛이 조사되는 경로에 위치하고, 주입되는 미세입자 또는 미세유체방울을 독립적으로 포획할 수 있는 수화젤 마이크로웰 어레이가 집적된 광전기유체소자;
상기 수화젤 마이크로웰 어레이가 집적된 광전기유체소자에 빛을 조사하는 광원; 및
상기 광전기유체소자에 전압을 인가하는 전원장치;를 포함하는 광전기유체제어장치.A photovoltaic fluid device having a hydrogel microwell array integrated in a path to which light is irradiated and capable of independently capturing injected microparticles or microfluidic droplets;
A light source for irradiating light onto the photovoltaic fluid device in which the hydrogel microwell array is integrated; And
And a power supply for applying a voltage to the optoelectronic fluid device. 제 1 항에 있어서,
상기 광원으로부터 조사된 빛의 경로에는 상기 빛의 패턴을 변화시키기 위한 디스플레이 장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광전기유체제어장치.The method of claim 1,
And a display device for changing the pattern of the light in the path of the light irradiated from the light source. 제 2 항에 있어서,
상기 디스플레이 장치와 상기 광전기유체소자 사이에는 디스플레이 장치로부터 출력되는 패턴이 변화된 빛을 집광시키는 하나 이상의 집광 렌즈를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광전기유체제어장치.3. The method of claim 2,
And at least one condenser lens for condensing light having a changed pattern output from the display device between the display device and the optoelectronic fluid element. 제 1 항에 있어서,
상기 수화젤은 알지네이트, 젤라틴, 콜라겐, 키토산, 폴리에틸렌글리콜(PEG) 및 폴리(N-이소프로필아크릴아마이드)(PNIPAM) 중에서 선택되는 고분자 물질인 것을 특징으로 하는 광전기유체제어장치.The method of claim 1,
The hydrogel is an optoelectronic fluid control device, characterized in that the polymer material selected from alginate, gelatin, collagen, chitosan, polyethylene glycol (PEG) and poly (N-isopropyl acrylamide) (PNIPAM). 제 1 항에 있어서,
상기 미세입자 및 미세 유체 방울은 각각 독립적으로 세포, 단백질 및 나노 크기의 고분자성 입자 중에서 선택되는 1종 이상을 포함하는 것인 것을 특징으로 하는 광전기유체제어장치.The method of claim 1,
The microparticles and microfluidic droplets are each independently a cell, protein and nano-sized polymeric particles characterized in that it comprises one or more selected from polymeric particles. 제 1 항에 있어서,
상기 광전기유체소자는 상기 빛이 조사되는 면에 위치하고, 빛이 조사되는 영역에만 선택적으로 전압이 인가되어 전류가 도통되는 광전도성층;
상기 광전도성층 상부 표면에 형성되고, 미세입자 또는 미세유체방울을 독립적으로 포획할 수 있는 수화젤 마이크로웰 어레이;
상기 광전도성층 하면에 부착되는 하부 접지층과 상기 광전도성층 상부 대향되는 면에 이격되어 위치하는 상부 접지층; 및
상기 상부 접지층과 상기 광전도성층을 이격시키는 스페이서;를 포함하고,
상기 상부 및 하부 접지층은 광전도성층에 인가되는 전압으로부터 상기 광전기유체소자에 전기장을 형성시키고,
상기 스페이서에 의해 이격된 공간에 미세입자 또는 미세유체방울이 주입되는 것을 특징으로 하는 광전기유체제어장치.The method of claim 1,
The photovoltaic fluid element is a photoconductive layer positioned on the surface to which the light is irradiated, and a voltage is selectively applied only to a region to which the light is irradiated so that a current is conducted;
A hydrogel microwell array formed on an upper surface of the photoconductive layer and capable of independently capturing microparticles or microfluidic droplets;
An upper ground layer spaced apart from a lower ground layer attached to the lower surface of the photoconductive layer and a surface facing the upper surface of the photoconductive layer; And
And a spacer spaced apart from the upper ground layer and the photoconductive layer.
The upper and lower ground layers form an electric field in the optoelectronic fluid element from a voltage applied to the photoconductive layer,
Optoelectronic fluid control device, characterized in that the fine particles or droplets are injected into the space spaced by the spacer. 제 6 항에 있어서,
상기 광전도성층은 상기 전원장치를 이용하여 전압을 인가하는 평판 전극; 및 상기 빛이 조사된 영역에만 선택적으로 전압을 인가시키도록 하는 광전도성 물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 광전기유체제어장치.The method according to claim 6,
The photoconductive layer may include a flat plate electrode applying a voltage using the power supply device; And a photoconductive material for selectively applying a voltage only to the region to which the light is irradiated. 제 7 항에 있어서,
상기 평판 전극은 투명한 전도성 물질로 이루어지고, 상기 광전도성 물질은 수소화된 진성의 비정질 실리콘, 황화카드뮴 및 npn 포토트랜지스터 중 선택되는 어느 하나로 이루어진 것을 특징으로 하는 광전기유체제어장치.The method of claim 7, wherein
And the plate electrode is made of a transparent conductive material, and the photoconductive material is any one selected from hydrogenated intrinsic amorphous silicon, cadmium sulfide, and npn phototransistor. 제 7 항에 있어서,
상기 광전도성층은 상기 광전도성 물질과 상기 평판 전극 사이에 상기 광전도성 물질과 상기 전극 사이의 접촉 저항을 줄이기 위한 도핑된 중간층을 더 포함하고, 상기 중간층은 비정질 실리콘 또는 몰리브덴으로 이루어진 것을 특징으로 하는 광전기유체제어장치.The method of claim 7, wherein
The photoconductive layer further comprises a doped intermediate layer between the photoconductive material and the plate electrode to reduce contact resistance between the photoconductive material and the electrode, wherein the intermediate layer is made of amorphous silicon or molybdenum. Optoelectronic fluid control device. 제 7 항에 있어서,
상기 광전도성층은 상기 광전도성 물질상에 광전도성 물질을 보호하기 위하여 보호층을 더 포함하며, 상기 보호층은 질소화 실리콘 또는 산화 실리콘으로 이루어진 것을 특징으로 하는 광전기유체제어장치.The method of claim 7, wherein
And the photoconductive layer further comprises a protective layer on the photoconductive material to protect the photoconductive material, wherein the protective layer is made of silicon nitride or silicon oxide. 제 10 항에 있어서,
상기 광전도성층은 상기 보호층 상에 흡착 방지층을 더 포함하며, 상기 흡착 방지층은 무정형 불소중합체(Amorphous fluoropolymer)로 이루어진 것을 특징으로 하는 광전기유체제어장치.11. The method of claim 10,
The photoconductive layer further includes an adsorption prevention layer on the protective layer, wherein the adsorption prevention layer is made of an amorphous fluoropolymer. 제 6 항에 있어서,
상기 상부 및 하부 접지층은 투명한 전도성 물질로 이루어진 것을 특징으로 하는 광전기유체제어장치.The method according to claim 6,
And the upper and lower ground layers are made of a transparent conductive material. 제 6 항에 있어서,
상기 광전기유체소자의 상부 접지층에는 연속적인 미세유동을 유도하기 위하여 미세입자 또는 미세유체방울을 포함하는 미세 유체를 수화젤 마이크로웰 어레이 상에 주입할 수 있는 복수 개의 주입부; 및
상기 조사된 빛에 의해 상기 수화젤 마이크로웰 어레이로부터 배출되는 미세입자 또는 미세유체방울을 회수할 수 있는 복수 개의 배출부;가 연통되어 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 광전기유체제어장치.The method according to claim 6,
The upper ground layer of the optoelectronic fluid device includes a plurality of injection parts capable of injecting microfluids including microparticles or microfluidic droplets onto the hydrogel microwell array to induce continuous microfluidic flow; And
And a plurality of discharge parts capable of recovering the fine particles or the microfluid droplets discharged from the hydrogel microwell array by the irradiated light. 제 1 항에 있어서,
상기 전압이 인가되고 상기 빛이 조사될 때, 상기 수화젤 마이크로웰 어레이내의 상기 미세입자 또는 미세유체방울이 전기영동 또는 전기습윤에 의해서 상기 빛이 조사된 영역 방향으로 움직이거나, 그 반대 방향으로 움직이게 되는 것을 특징으로 하는 광전기유체제어장치.The method of claim 1,
When the voltage is applied and the light is irradiated, the microparticles or microfluidic droplets in the hydrogel microwell array move in the direction of the irradiated region by electrophoresis or electrowetting, or vice versa. Optoelectronic fluid control device, characterized in that. 제 14 항에 있어서,
상기 빛이 조사된 영역 방향으로 움직인 상기 미세입자 또는 미세유체방울은 상기 수화젤 마이크로웰 어레이 내부로 포획되는 것을 특징으로 하는 광전기유체제어장치.15. The method of claim 14,
And the microparticles or microfluidic droplets moving toward the irradiated region are captured into the hydrogel microwell array. 제 14 항에 있어서,
상기 빛이 조사된 반대 방향으로 움직인 상기 미세입자 또는 미세유체방울은 상기 수화젤 마이크로웰 어레이 외부로 배출되는 것을 특징으로 하는 광전기유체제어장치.15. The method of claim 14,
And the microparticles or microfluidic droplets moved in the opposite direction to which the light is irradiated are discharged to the outside of the hydrogel microwell array. 제 1 항에 있어서,
상기 빛이 조사되는 위치를 제어함에 따라 상기 주입된 미세입자 또는 미세유체방울이 상기 수화젤 마이크로웰 어레이 외부로 배출되는 방향성을 조절할 수 있는 것을 특징으로 하는 광전기유체제어장치.The method of claim 1,
And controlling the direction in which the injected microparticles or microfluidic droplets are discharged to the outside of the hydrogel microwell array by controlling the position at which the light is irradiated. 제 1 항에 있어서,
상기 전원장치로부터 인가되는 전압은 교류 또는 직류 전압인 것을 특징으로 하는 광전기유체제어장치.The method of claim 1,
Optoelectronic fluid control device, characterized in that the voltage applied from the power supply is an alternating current or direct current voltage. 제 18 항에 있어서,
상기 교류 전압이 인가될 경우, 주파수에 따라 상기 미세입자 또는 미세유체방울의 구동 방향이 변경되는 것을 특징으로 하는 수화젤 마이크로웰 어레이가 집적된 광전기유체소자.The method of claim 18,
When the alternating current voltage is applied, the driving direction of the microparticles or microfluidic droplets is changed according to the frequency of the hydrogel microwell array integrated. 제 18 항에 있어서,
상기 직류 전압이 인가될 경우, 전기영동에 의해 상기 수화젤 마이크로웰 어레이 내에서 상기 미세입자 또는 미세유체방울이 이동되는 것을 특징으로 하는 수화젤 마이크로웰 어레이가 집적된 광전기유체소자.The method of claim 18,
When the direct current voltage is applied, the hydrogel microwell array integrated hydrogel microwell array, characterized in that the microparticles or droplets are moved in the hydrogel microwell array by electrophoresis. 제 1 항에 따른 수화젤 마이크로웰 어레이가 집적된 광전기유체소자를 포함하는 광전기유체제어장치를 이용한 미세입자와 미세유체방울 구동방법에 있어서,
(a) 수화젤 마이크로웰 어레이가 집적된 광전기유체소자에 미세입자 또는 미세유체방울을 주입하는 단계;
(b) 상기 수화젤 마이크로웰 어레이에 주입된 미세입자 또는 미세유체방울을 포획하는 단계;
(c) 상기 광전기유체소자에 광원으로부터 빛을 조사하고 전압을 인가하여 상기 미세입자 또는 미세유체방울을 구동하여 배출시키는 단계;를 포함하는 미세입자와 미세유체방울 구동방법.A method for driving microparticles and droplets using an optoelectronic fluid control device including an optoelectronic fluid device in which a hydrogel microwell array according to claim 1 is integrated,
(a) injecting microparticles or microfluidic droplets into the optoelectronic fluid device in which the hydrogel microwell array is integrated;
(b) capturing microparticles or microfluidic droplets injected into the hydrogel microwell array;
(c) irradiating light from a light source to the photoelectric fluid element and applying a voltage to drive and discharge the microparticles or microfluidic droplets. 제 21 항에 있어서,
상기 (c) 단계는 상기 광원에서 조사되는 빛을 상기 미세입자 또는 미세유체방울의 구동을 위한 특정 영역으로 조사하여 미세입자 또는 미세유체방울을 구동하여 배출시키는 것을 특징으로 하는 미세입자와 미세유체방울 구동방법.22. The method of claim 21,
In the step (c), the microparticles and the microfluidic droplets are irradiated with light emitted from the light source to a specific region for driving the microparticles or microfluidic droplets to drive and discharge the microparticles or microfluidic droplets. Driving method. 제 21 항에 있어서,
상기 (c) 단계는 상기 빛을 조사하고 전압을 인가할 경우 상기 미세입자 또는 미세유체방울이 전기영동 또는 전기습윤에 의해 상기 특정 영역을 향해 움직이거나 그 반대 방향으로 움직이는 것을 특징으로 하는 미세입자와 미세유체방울 구동방법.22. The method of claim 21,
In the step (c), when the light is irradiated and a voltage is applied, the microparticles or microfluidic droplets move toward the specific region or move in the opposite direction by electrophoresis or electrowetting. How to drive a droplet.
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