KR20130089592A

KR20130089592A - Polarized light illuminating apparatus

Info

Publication number: KR20130089592A
Application number: KR1020130009308A
Authority: KR
Inventors: 가즈토시 시노다
Original assignee: 우시오덴키 가부시키가이샤
Priority date: 2012-02-02
Filing date: 2013-01-28
Publication date: 2013-08-12
Also published as: TWI599798B; CN105929604A; CN105929604B; CN103246113B; TWI534479B; TW201612586A; JP2013160833A; TW201333536A; KR101630007B1; JP5056991B1; CN103246113A; KR20160002633A

Abstract

PURPOSE: A polarized light irradiation device is provided to prevent degradation of illumination of polarized light by removing white turbidity due to siloxane compound on the surface of a polarization device. CONSTITUTION: An optical emission unit (2) has a rod shaped lamp (21) and a gutter shaped mirror (22). A polarization device unit (80) polarizes light from a light source arranged by spreading a plurality of polarization plates. An air blower (30) delivers air cooled by a cooler (20) to the optical emission unit of the mirror through a ventilation path. A nozzle (3) is installed between the mirror and polarization device unit and supplies clean dry air. [Reference numerals] (1) Polarizing device; (10) Lamp house; (11) Light source unit; (2) Light radiation unit; (20) Cooling unit (Radiator); (21) Lamp; (22) Reflection mirror; (3) Exposure; (30) Air blower; (31) Air diffuser; (4) Work; (40) Partition; (41) Ventilation hole for cooling air; (50) Ventilation flue; (60) Outer wall (Housing); (70) Light radiation window; (80) Polarizing device unit; (81) Supporting frame; (AA) Coolant output; (BB) Coolant input; (CC) Clean dry air

Description

POLARIZED LIGHT ILLUMINATION APPARATUS [0001]

본 발명은, 액정 소자의 배향막이나, 시야각 보상 필름의 배향층 등에 소정의 파장의 편광광을 조사하여 배향을 행하는 편광광 조사 장치에 관한 것이다. This invention relates to the polarizing light irradiation apparatus which irradiates the polarizing light of a predetermined | prescribed wavelength, etc. to the alignment film of a liquid crystal element, the orientation layer of a viewing angle compensation film, etc., and orients.

최근, 액정 패널을 시작으로 하는 액정 표시 소자의 배향막이나, 시야각 보상 필름의 배향층 등의 배향 처리에 관하여, 자외선 영역의 파장의 편광광을 조사하여 배향을 행하는, 광배향으로 불리는 기술이 채용되게 되었다. 이하, 광에 의해 배향을 행하는 배향막이나, 배향층을 설치한 필름 등, 광에 의해 배향 특성이 생기는 막이나 층을 총칭하여 광배향막이라고 부른다. In recent years, a technique called photo-alignment, in which an alignment film of a liquid crystal display device including a liquid crystal panel, an alignment layer of a viewing angle compensation film, or the like, is performed by irradiating polarized light of a wavelength in an ultraviolet region and performing an alignment, has been adopted. It became. Hereinafter, a film or a layer in which alignment properties are generated by light, such as an alignment film that is aligned by light or a film that is provided with an alignment layer, is collectively referred to as a photo alignment film.

광배향막은, 액정 패널의 대형화와 함께, 예를 들면 한 변이 2000mm 이상의 사각형과 같이 대면적화되고 있다. Along with the enlargement of a liquid crystal panel, the photo-alignment film is large-sized like the square of 2000 mm or more on one side.

상기와 같은 대면적의 광배향막에 대해 광배향을 행하기 위해서, 봉형상의 램프와 와이어 그리드 형상의 그리드를 가지는 편광 소자(이하 와이어 그리드 편광 소자라고 한다)를 조합한 편광광 조사 장치가 제안되어 있다(예를 들면 특허 문헌 1 참조).In order to perform photo-alignment with respect to the above-mentioned large area photo-alignment film, the polarized light irradiation apparatus which combined the rod-shaped lamp and the polarizing element which has a grid of wire grid form (henceforth a wire grid polarizing element) is proposed. (See, for example, Patent Document 1).

광배향막용의 편광광 조사 장치에 있어서 봉형상 램프는, 발광 길이가 비교적 긴 것을 만들 수 있다. 그 때문에, 배향막의 폭에 대응한 발광 길이를 구비한 봉형상 램프를 사용하여, 그 램프로부터의 광을 조사하면서, 배향막을 램프의 길이 방향에 직교하는 방향으로 이동시키면, 넓은 면적의 배향막을 비교적 단시간에 광배향 처리를 행할 수 있다. In the polarization light irradiation apparatus for photo-alignment film, the rod-shaped lamp can make the thing with comparatively long emission length. Therefore, when the alignment film is moved in a direction orthogonal to the longitudinal direction of the lamp while irradiating light from the lamp using a rod-shaped lamp having a light emission length corresponding to the width of the alignment film, the alignment film of a large area is relatively relatively. Photo-alignment processing can be performed in a short time.

도 5에, 선형상의 광원인 봉형상 램프와 와이어 그리드 편광 소자를 조합한 편광광 조사 장치의 구성예를 나타낸다. 5, the structural example of the polarization light irradiation apparatus which combined the rod-shaped lamp which is a linear light source, and a wire grid polarizing element is shown.

이 도면에 있어서, 광배향막인 워크(4)는, 예를 들면 시야각 보상 필름과 같은 띠형상의 긴 워크이며, 송출 롤 R1로부터 송출되고, 도면 중 화살표 방향으로 반송되어, 후술하는 바와 같이 편광광 조사에 의해 광배향 처리되어, 권취 롤 R2에 의해 권취된다. In this figure, the workpiece | work 4 which is a photo-alignment film is a strip-shaped long workpiece | work like a viewing angle compensation film, for example, is sent out from the delivery roll R1, is conveyed in the arrow direction in the figure, and is polarized light as mentioned later. Photo-alignment process is performed by irradiation, and it winds up by the winding roll R2.

편광광 조사 장치의 광출사부(2)는, 광배향 처리에 필요한 파장의 광(자외선)을 방사하는 봉형상 램프(21), 예를 들면 고압 수은 램프나 수은에 다른 금속을 더한 메탈 할라이드 램프와, 봉형상 램프(21)로부터의 자외선을 워크(4)를 향해 반사하는 홈통형상의 반사 미러(22)를 구비한다. 상기와 같이, 봉형상 램프(21)의 길이는, 발광부가, 워크(4)의 반송 방향에 직교하는 방향의 폭에 대응하는 길이를 구비한 것을 사용한다. 광출사부(2)는, 램프(21)의 길이 방향이 워크(4)의 폭방향(반송 방향에 대해 직교 방향)이 되도록 배치한다. The light output unit 2 of the polarized light irradiation apparatus includes a rod-shaped lamp 21 that emits light (ultraviolet rays) having a wavelength required for photoalignment, for example, a high-pressure mercury lamp or a metal halide lamp in which mercury is added to another metal. And a groove-shaped reflecting mirror 22 that reflects the ultraviolet rays from the rod-shaped lamp 21 toward the work 4. As mentioned above, the length of the rod-shaped lamp 21 uses the thing with the length corresponding to the width | variety of the direction orthogonal to the conveyance direction of the workpiece | work 4. The light output part 2 is arrange | positioned so that the longitudinal direction of the lamp 21 may become the width direction (orthogonal direction with respect to a conveyance direction) of the workpiece | work 4. As shown in FIG.

광출사부(2)의 광출사측에는, 편광 소자인 와이어 그리드 편광 소자(1)가 설치된다. 광출사부(2)로부터의 광은 와이어 그리드 편광 소자(1)에 의해 편광되어, 편광광 조사 영역이 형성된다. 워크(4)는 광출사부(2) 아래의 편광광 조사 영역을 통과함으로써, 광배향 처리가 행해진다. On the light exit side of the light exit section 2, a wire grid polarization element 1 which is a polarization element is provided. Light from the light output part 2 is polarized by the wire grid polarizing element 1 to form a polarized light irradiation region. The workpiece | work 4 performs a photo-alignment process by passing through the polarization light irradiation area | region below the light output part 2.

광로 중에 와이어 그리드 편광 소자를 삽입하면, 그리드의 길이 방향에 평행한 편광 성분은 대부분 반사 또는 흡수되고, 직교하는 편광 성분은 통과한다. 따라서, 와이어 그리드 편광 소자를 통과한 광은, 편광 소자의 그리드의 길이 방향에 직교하는 방향의 편광축을 가지는 편광광이 된다. When the wire grid polarizing element is inserted in the optical path, most of the polarization component parallel to the longitudinal direction of the grid is reflected or absorbed, and the orthogonal polarization component passes. Therefore, the light that has passed through the wire grid polarizing element becomes polarized light having a polarization axis in a direction orthogonal to the longitudinal direction of the grid of the polarizing element.

광배향에 사용되는 자외선을 편광하는 와이어 그리드 편광 소자는, 미세한 가공 기술이 필요하여, 반도체 제조에 사용되는 리소그래피 기술이나 에칭 기술을 이용하여 만들어진다. 그 때문에, 대형의 것을 만들 수 없어, 현 상황에서 제작할 수 있는 크기는 φ300mm 정도까지이다. The wire grid polarizing element which polarizes the ultraviolet-ray used for photo-alignment requires a fine processing technique, and is produced using the lithography technique and the etching technique used for semiconductor manufacture. Therefore, a large size cannot be produced and the size which can be produced in a present situation is about 300 mm.

그래서, 발광 길이가 긴 봉형상의 광원, 예를 들면 길이 1m 내지 3m와 같은 봉형상의 고압 수은 램프나 메탈 할라이드 램프에 대응한, 큰(긴) 편광 소자가 필요한 경우는, 유리 기판으로부터 잘라낸 직사각형의 와이어 그리드 편광 소자를 복수, 그리드의 방향을 맞추어, 프레임 중에 램프의 길이 방향을 따라 늘어놓아, 하나의 편광 소자로서 사용하는 것이 제안되어 있다(예를 들면 특허 문헌 2 참조).Therefore, when a large (long) polarizing element corresponding to a rod-shaped light source having a long emission length, for example, a rod-shaped high pressure mercury lamp or a metal halide lamp having a length of 1 m to 3 m, is required, a rectangular wire cut out from the glass substrate It has been proposed to use a plurality of grid polarizing elements along the direction of the grid, to arrange them along the longitudinal direction of the lamp in the frame and to use them as one polarizing element (see Patent Document 2, for example).

일본국 특허공개 2011-145381호 공보Japanese Patent Application Laid-Open No. 11-145381 일본국 특허 제4506412호 공보Japanese Patent No. 4506412 일본국 특허 제4424296호 공보Japanese Patent No. 4424296

타케다, 노나카, 후지모토 「클린 룸 환경 문제 실록산 화합물」클린 테크놀로지 1998년 4월호 34 페이지Takeda, Nonaka, Fujimoto "Clean room environmental problem siloxane compound" Clean Technology April 1998 issue page 34

도 6은, 도 5에 나타낸 편광광 조사 장치의 등기구(램프 하우스)의 구성예를 나타내는 도이며, 이 도면은 램프의 길이 방향에 대해 직교하는 방향의 단면도를 나타낸다. FIG. 6: is a figure which shows the structural example of the lamp (lamp house) of the polarized light irradiation apparatus shown in FIG. 5, This figure shows sectional drawing of the direction orthogonal to the longitudinal direction of a lamp | ramp.

램프 하우스(10)에는, 봉형상의 램프(21)와, 단면이 포물선형상인 홈통형상의 반사 미러(22)로 구성되는 광출사부(2)를 가지는 광원부(11)가 설치되며, 그 상부에, 램프 점등 시에 램프나 반사 미러를 냉각하는 냉각풍의 온도를 낮추는 수냉식의 냉각기(라디에이터)(20)와, 냉각풍을 발생시키는 송풍기(블로어)(30)가 배치된다. The lamp house 10 is provided with a light source portion 11 having a light emitting portion 2 composed of a rod-shaped lamp 21 and a cylindrical reflecting mirror 22 having a parabolic cross section. When the lamp is turned on, a water-cooled cooler (radiator) 20 for lowering the temperature of the cooling wind for cooling the lamp and the reflection mirror and a blower (blower) 30 for generating the cooling wind are disposed.

광원부(11)는 격벽(40)에 의해 둘러싸여 있으며, 그 외측을 램프 하우스(10)의 외벽(하우징)(60)이 덮고 있다. 램프 하우스(10)의 외벽(60)과 상기의 격벽(40)의 사이에는 간극이 설치되어 있다. 이 간극은, 냉각풍이 통과하는 통풍로(50)가 된다. 또, 램프 하우스(10)의 외벽(60)에는, 광원부(11)로부터 워크(4)를 향해 조사되는 광이 통과하는 광출사창(70)이 형성되어 있다. 이 광출사창(70)에는, 통과하는 광을 편광하는 와이어 그리드 편광 소자(1)를 가지는 편광 소자 유닛(80)이 부착된다. The light source part 11 is surrounded by the partition 40, and the outer wall (housing) 60 of the lamp house 10 covers the outside thereof. A gap is provided between the outer wall 60 of the lamp house 10 and the partition 40 above. This gap becomes the ventilation path 50 through which the cooling wind passes. Moreover, the light exit window 70 through which the light irradiated from the light source part 11 toward the workpiece | work 4 passes through the outer wall 60 of the lamp house 10 is formed. The light emitting window 70 is attached with a polarizing element unit 80 having a wire grid polarizing element 1 for polarizing light passing therethrough.

도 7에 편광 소자 유닛의 구조를 나타낸다. The structure of a polarizing element unit is shown in FIG.

편광 소자 유닛(80)은, 복수의 와이어 그리드 편광 소자(이하 편광판이라고도 한다)(1)를, 봉형상 램프(21)의 길이 방향을 따라 프레임(유지틀)(81) 내에 늘어놓아 유지한 것이다. 편광판과 편광판 사이에는, 1mm 내지 2mm 정도의 간극을 갖게 할 필요가 있다. 그것은, 편광판들의 그리드의 방향이 평행이 되도록, 각 편광판을 그 평면 내에서 회전시켜 위치 조정을 행해야 하기 때문이다. 편광판과 편광판 사이의 간극은, 편광판이 회전 이동하기 위한 조정 여분이 된다. 그리고, 이 간극은, 여기로부터 비편광광이 누출되지 않도록, 간극의 폭과 편광판의 변의 길이에 맞춘 차광판(82)에 의해 덮여 있다. The polarizing element unit 80 arranges and holds the several wire grid polarizing element (henceforth a polarizing plate) 1 in the frame (holding frame) 81 along the longitudinal direction of the rod-shaped lamp 21. . It is necessary to provide a clearance of about 1 mm to 2 mm between the polarizing plate and the polarizing plate. This is because each polarizing plate must be rotated in its plane so that the position of the grid of the polarizing plates is parallel. The gap between the polarizing plate and the polarizing plate is an adjustment redundant for the polarizing plate to rotate. And this gap is covered with the light shielding plate 82 matched with the width | variety of a gap, and the length of the side of a polarizing plate so that non-polarization light may not leak from here.

도 6으로 되돌아와, 램프 점등 시의 램프 냉각풍의 흐름에 대해서 설명한다. 6, the flow of the lamp cooling wind at the time of lamp lighting will be described.

블로어(30)로부터 송출된 냉각풍은, 격벽(40)과 외벽(60) 사이의 통풍로(50)를 지나, 편광 소자 유닛(80)과 반사 미러(22)의 사이부터 도입되어 램프(21)와 반사 미러(22)를 냉각한다. The cooling wind sent from the blower 30 passes through the ventilation path 50 between the partition 40 and the outer wall 60, and is introduced between the polarizing element unit 80 and the reflecting mirror 22 to generate the lamp 21. ) And the reflective mirror 22 are cooled.

램프(21) 및 반사 미러(22)를 냉각하여 온도가 높아진 냉각풍은, 반사 미러(22)의 상부에 형성된 냉각풍 통풍 구멍(41)을 통하여 라디에이터(20)에 흘러들어 냉각되고, 블로어(30)에 의해 다시 램프(21)와 반사 미러(22)를 냉각하도록 송출된다. 즉 냉각풍은 램프 하우스 내를 순환하고 있다. The cooling wind which cooled the lamp 21 and the reflection mirror 22, and the temperature became high flows into the radiator 20 through the cooling wind ventilation hole 41 formed in the upper part of the reflection mirror 22, and is cooled and blower ( 30 is sent out to cool the lamp 21 and the reflection mirror 22 again. That is, the cooling wind is circulating in the lamp house.

도 8은, 냉각풍을 순환시키는 편광광 조사 장치의 다른 구성예를 나타낸 도이다. 또한, 이 도면 (a)는, 봉형상 램프의 길이 방향에 대해 직교하는 방향의 단면도이며, 이 도면 (b)는, 이 도면 (a)의 장치를 위에서 본 도이다. 8 is a diagram illustrating another configuration example of the polarized light irradiation device for circulating the cooling wind. In addition, this figure (a) is sectional drawing of the direction orthogonal to the longitudinal direction of a rod-shaped lamp, This figure (b) is the figure which looked at the apparatus of this figure (a) from the top.

편광광 조사 장치는, 봉형상 램프(21)나 홈통형상의 반사 미러(22)로 구성되는 광원부(11)와, 송풍기(30)나 냉각기(20)를 내장하는 보기(補機)(90)로 구성되며, 광원부(11)와 보기(90)는, 덕트(91, 92)로 접속되어 있다. 또, 보기(90)의 송풍기(블로어)(30)와 냉각기(라디에이터)(20)는 덕트(93)에 의해 접속되어 있다. The polarized light irradiation apparatus includes a light source unit 11 composed of a rod-shaped lamp 21 and a trough reflecting mirror 22, and a bogie 90 incorporating a blower 30 or a cooler 20. The light source unit 11 and the bogie 90 are connected by ducts 91 and 92. In addition, the blower (blower) 30 and the cooler (radiator) 20 of the bogie 90 are connected by the duct 93.

광원부(11)의 광출사부에는, 광출사창(70)이 형성되며, 이 광출사창(70)에는, 와이어 그리드 편광 소자(1)를 가지는 편광 소자 유닛(80)이 부착된다. A light exit window 70 is formed in the light exit portion of the light source unit 11, and a polarization element unit 80 having a wire grid polarization element 1 is attached to the light exit window 70.

블로어(30)로부터 송출된 냉각풍은, 보기(90)로부터 덕트(91)를 지나 광원부(11)에 송입되어, 램프(21)와 반사 미러(22) 및 광원부(11) 전체를 냉각하고, 광원부(11)로부터 배기된다. 광원부(11)로부터 배기된 냉각풍은, 덕트(92)를 지나, 보기(90)에 보내지고, 냉각기(20)에 들어가 냉각된다. 냉각된 냉각풍은 송풍기(30)에 들어가, 다시 덕트(91)를 지나 광원부(11)에 보내진다. 이와 같이, 냉각풍은 광원부(11)와 보기(90)의 사이를 순환한다. The cooling wind sent from the blower 30 passes through the duct 91 from the bogie 90 to the light source part 11, and cools the lamp 21, the reflection mirror 22, and the whole light source part 11, It exhausts from the light source part 11. The cooling wind exhausted from the light source unit 11 passes through the duct 92, is sent to the bogie 90, enters the cooler 20, and is cooled. The cooled cooling wind enters the blower 30, and then passes through the duct 91 to the light source unit 11. In this way, the cooling wind circulates between the light source unit 11 and the bogie 90.

상기 램프 하우스 내에서 냉각풍을 순환시키는 광조사기에 대해서는, 예를 들면 특허 문헌 3에 기재되어 있다. Patent Document 3 describes a light irradiator for circulating cooling wind in the lamp house, for example.

이와 같은, 닫힌 공간인 램프 하우스 내에서 냉각풍을 순환시키는 광조사기에 있어서는, 기본적으로는 램프 하우스 안과 밖에서는, 에어(공기)의 교환은 생기지 않을 것이다. 그러나, 이러한 냉각풍을 블로어에 의해 램프와 미러측으로부터 끌어들이는 구조의 램프 하우스에 있어서는, 램프 하우스 내의 압력은 균일하지 않는다. 도 6, 도 8에 나타내는 장치에 있어서는, 블로어의 취출구(吹出口) 부근의 압력은 높고, 램프 하우스 밖의 주변 분위기에 대해 양압이 된다. In such a light irradiator circulating cooling air in a lamp house which is a closed space, exchange of air (air) will not occur basically inside and outside the lamp house. However, in the lamp house of the structure which draws such cooling wind from a lamp side and a mirror side by a blower, the pressure in a lamp house is not uniform. In the apparatus shown in FIG. 6, FIG. 8, the pressure in the vicinity of the blower outlet is high, and becomes a positive pressure with respect to the surrounding atmosphere outside a lamp house.

한편, 냉각풍이 끌어들여지는 부근, 예를 들면 램프(21)와 편광 소자 유닛(80)의 사이는 압력이 낮고, 램프 하우스 밖의 주변 분위기에 대해 음압이 된다. 그 때문에, 도 6, 도 8에 나타낸 램프 하우스에 있어서는, 상기한 편광 소자 유닛(80)에 늘어놓은 편광 소자(1)들의 간극으로부터, 바깥 공기가 램프 하우스 내에 끌어들여지게 된다. On the other hand, the pressure is low in the vicinity where the cooling wind is drawn, for example, between the lamp 21 and the polarizing element unit 80, and becomes negative pressure with respect to the ambient atmosphere outside the lamp house. Therefore, in the lamp house shown in FIG. 6, FIG. 8, outside air is drawn in in a lamp house from the clearance gap of the polarizing elements 1 which lined with the said polarizing element unit 80. As shown in FIG.

이러한 편광광 조사 장치가 배치되는, 반도체나 액정 표시 소자의 공장의 클린 룸의 분위기에는, 실록산 화합물로 불리는 물질이 포함되어 있어, 제조 상의 트러블이나 수율 악화의 원인이 되는 것으로 알려져 있다(예를 들면 비특허 문헌 1 참조).The substance called a siloxane compound is contained in the atmosphere of the clean room of the factory of a semiconductor and a liquid crystal display element in which such a polarizing light irradiation apparatus is arrange | positioned, and it is known that it causes a trouble in manufacture and a yield deterioration (for example, See Non-Patent Document 1).

실록산 화합물은 예를 들면 레지스터의 현상액 등에 많이 포함되어 있다. 실록산 화합물은, 자외선이 조사되면 광화학 반응에 의해 흰 가루를 발생시켜, 자외선 조사 장치 내부의 광학 소자의 표면을 백탁시킨다. The siloxane compound is contained in a large number of developer solutions, for example. When ultraviolet light is irradiated, a siloxane compound produces white powder by a photochemical reaction, and makes the surface of the optical element inside an ultraviolet irradiation device cloudy.

그 때문에, 도 6, 도 8에 나타내는 편광광 조사 장치의 램프 하우스에 있어서, 실록산 화합물이 바깥 공기와 함께 편광판들의 간극으로부터 끌어들여져, 램프로부터 방사된 자외선과 반응하여, 와이어 그리드 편광 소자의 램프측의 표면을 백탁시킨다는 문제가 발생했다. 편광판의 표면이 백탁되면, 자외선의 투과율이 저하되어, 워크에 조사하는 편광광의 조도가 저하된다. Therefore, in the lamp house of the polarized light irradiation apparatus shown to FIG. 6, FIG. 8, a siloxane compound is attracted with the outside air from the clearance gap of polarizing plates, and reacts with the ultraviolet-ray radiated | emitted from the lamp, and the lamp side of a wire grid polarizing element There was a problem of clouding the surface of. When the surface of a polarizing plate becomes cloudy, the transmittance | permeability of an ultraviolet-ray will fall and the illuminance of the polarized light irradiated to a workpiece | work will fall.

와이어 그리드 편광 소자는, 유리 기판 등의 표면에 미세한 그리드를 형성한 것이며, 이 면에 실록산 화합물이 부착되면 간단히 클리닝할 수 없다. The wire grid polarizing element is formed by forming a fine grid on the surface of a glass substrate or the like. When a siloxane compound adheres to this surface, it can not be cleaned easily.

이 문제를 방지하는 방법의 하나로서, 편광 소자 유닛에 늘어놓은 편광판의 경계 부분의 간극을 수지 등으로 메워 밀폐 구조로 하는 것을 생각할 수 있다. 그러나, 상기한 바와 같이, 이 간극은, 편광판의 서로의 그리드의 방향을 맞추는 조정을 하기 위해서 필요하여, 밀폐 구조로 할 수 없다. As one of methods for preventing this problem, it is possible to fill the gap between the boundary portions of the polarizing plates arranged on the polarizing element unit with a resin or the like to form a sealed structure. However, as mentioned above, this gap is necessary in order to adjust the direction of the grid of each other of a polarizing plate, and it cannot be set as a sealed structure.

본 발명은, 상기 문제를 해결하는 것이며, 본 발명의 목적은, 복수의 편광판을 늘어놓아 배치한 편광 소자 유닛을 이용한 편광광 조사 장치에 있어서, 복수의 편광판의 경계에 간극을 갖게 한 상태여도, 이 간극으로부터 바깥 공기가 램프 하우스 내에 끌어들여지지 않게 하는 것이다. MEANS TO SOLVE THE PROBLEM This invention solves the said problem, and the objective of this invention is a polarizing light irradiation apparatus using the polarizing element unit which arrange | positioned the some polarizing plate, even if it is a state which made the clearance gap between the some polarizing plates, From this gap the outside air is not drawn into the lamp house.

상기 서술한 바와 같이, 복수의 편광판을 늘어놓아 배치한 편광 소자 유닛을 이용한 편광광 조사 장치에 있어서는, 편광판의 간극으로부터 실록산 화합물이 바깥 공기와 함께 끌어들여진다는 문제가 발생했다. 램프 하우스 내에 바깥 공기가 끌어들여진다는 것은, 램프 하우스 내가, 부분적이라도 램프 하우스 밖의 압력에 대해 음압이 되어 있기 때문이다. As mentioned above, in the polarizing light irradiation apparatus using the polarizing element unit which arrange | positioned the some polarizing plate, the problem that the siloxane compound is attracted with external air from the clearance gap of the polarizing plate arises. The outside air is drawn into the lamp house because the lamp house is at least negatively pressured against the pressure outside the lamp house.

따라서, 램프 하우스 내의 전체 압력이, 바깥 공기의 압력에 대해 양압이 되면, 바깥 공기를 끌어들이지 않는다. 상기한 바와 같이, 램프 하우스는, 냉각풍을 끌어들이는 램프와 램프 하우스의 광출사창(편광 소자 유닛)의 사이가 음압이 되기 쉽고, 또한 편광판들의 사이에 간극이 있기 때문에 바깥 공기를 끌어들이기 쉽다. Therefore, if the total pressure in the lamp house becomes positive with respect to the pressure of the outside air, it does not draw in the outside air. As described above, the lamp house attracts the outside air because the pressure between the lamp that attracts the cooling wind and the light exit window (polarizing element unit) of the lamp house tends to be negative, and there is a gap between the polarizing plates. easy.

그래서, 본 발명에 있어서는, 봉형상의 램프와 상기 램프로부터의 광을 반사하는 홈통형상의 미러를 가지는 자외선을 포함하는 광을 방사하는 광원을 구비하고, 광출사부에, 복수의 편광판을 늘어놓아 배치한 상기 광원으로부터의 광을 편광하는 편광 소자가 설치된 편광광 조사 장치에 있어서, 상기 홈통형상 미러와 상기 편광 소자 유닛 사이의 공간에 가스(클린 드라이 에어)를 공급하는 가스 공급 수단을 설치하여, 이 부분을 양압으로 한다. 이것에 의해 램프 하우스의 내부를 양압으로 할 수 있어, 바깥 공기가 끌어들여지는 것을 방지할 수 있다. Therefore, in this invention, the light source which emits the light containing the ultraviolet-ray which has a rod-shaped lamp and the groove-shaped mirror which reflects the light from the said lamp is provided, and arrange | positions a some polarizing plate in the light output part In a polarized light irradiation apparatus provided with a polarizing element for polarizing light from the light source, a gas supply means for supplying a gas (clean dry air) to a space between the trough mirror and the polarizing element unit is provided. Make the part positive pressure. Thereby, the inside of a lamp house can be made positive pressure, and it can prevent that outside air is drawn in.

또, 램프와 편광 소자 유닛의 사이에, 광배향 처리에 필요한 파장의 자외선을 투과하는 필터나, 필터 특성을 가지지 않는 석영판 등의 광투과 부재를, 램프의 길이 방향을 따라 배치하고, 편광 소자 유닛과 광투과 부재의 사이에 에어를 공급하도록 하면, 편광 소자 유닛의 램프측의 공간이 확실히 양압이 되므로, 더 효과적이다. Further, between the lamp and the polarizing element unit, a light transmitting member such as a filter that transmits ultraviolet rays having a wavelength necessary for the photoalignment process or a quartz plate having no filter characteristic is disposed along the longitudinal direction of the lamp, and the polarizing element When air is supplied between the unit and the light transmitting member, the space on the lamp side of the polarizing element unit is positively positive, which is more effective.

즉, 본 발명에 있어서는, 이하와 같이 하여 상기 과제를 해결한다. That is, in this invention, the said subject is solved as follows.

(1) 광출사부를 설치한 등기구 내에, 자외선을 포함하는 광을 방사하는 광원을 가지며, 상기 광원은, 봉형상의 램프와, 상기 램프로부터의 광을 반사하는 홈통형상의 미러를 구비하고, 상기 홈통형상의 미러에는, 상기 미러의 광출사측으로부터 도입되어 상기 램프와 홈통형상의 미러를 냉각하는 냉각풍이 통과하는 개구가 설치되며, 상기 미러의 개구를 통과한 냉각풍을 냉각하는 냉각기와, 상기 냉각기에 의해 냉각한 냉각풍을 상기 미러의 광출사측에 보내는 송풍기를 구비한 편광광 조사 장치에 있어서, 상기 광출사부에, 복수의 편광판을 늘어놓아 배치한 상기 광원으로부터의 광을 편광하는 편광 소자를 설치하고, 상기 홈통형상 미러와 상기 편광 소자 사이의 공간에 가스를 공급하는 가스 공급 수단을 설치한다. (1) A light source for emitting light including ultraviolet rays is provided in a luminaire provided with a light output unit, and the light source includes a rod-shaped lamp and a groove-shaped mirror for reflecting light from the lamp. In the mirror having an opening, an opening through which the cooling wind introduced from the light exit side of the mirror and cooling the lamp and the mirror-shaped mirror is provided, and a cooler for cooling the cooling wind passing through the opening of the mirror; In the polarizing light irradiation apparatus provided with the blower which sends the cooling wind cooled by the light to the light output side of the said mirror, The polarizing element which polarizes the light from the said light source which arrange | positioned and arranged the some polarizing plate in the said light output part. And gas supply means for supplying gas to the space between the trough mirror and the polarizing element.

(2) 상기 (1)에 있어서, 상기 홈통형상 미러와 상기 편광 소자의 사이에 광투과 부재를 배치하고, 상기 가스 공급 수단은, 상기 광투과 부재와 편광 소자 사이의 공간에 가스를 공급한다. (2) In the above (1), a light transmitting member is disposed between the trough mirror and the polarizing element, and the gas supply means supplies gas to the space between the light transmitting member and the polarizing element.

(3) 상기 (1)(2)에 있어서, 편광 소자로서, 편광판을 늘어놓아 배치한 와이어 그리드 편광 소자를 이용한다. (3) In said (1) (2), the wire grid polarizing element which arrange | positioned and arrange | positioned the polarizing plate as a polarizing element is used.

본 발명에 있어서는, 이하의 효과를 얻을 수 있다. In the present invention, the following effects can be obtained.

(1) 홈통형상 미러와 상기 편광 소자 사이의 공간에 가스(에어)를 공급하는 가스 공급 수단을 설치했으므로, 램프 하우스의 내부, 특히 편광 소자 유닛의 램프측의 공간이 양압이 되기 때문에, 편광 소자 유닛에 늘어놓은 복수의 편광 소자의 사이에 간극을 설치하고 있어도, 거기로부터 바깥 공기가 램프 하우스 내에 끌어들여지지 않는다. 따라서, 실록산 화합물이 원인이 되는 편광 소자 표면의 백탁이 없어져, 편광광의 조도의 저하를 방지할 수 있다(1) Since a gas supply means for supplying gas (air) is provided in the space between the trough mirror and the polarizing element, the space inside the lamp house, especially the lamp side of the polarizing element unit becomes a positive pressure, and thus the polarizing element Even if a gap is provided between the plurality of polarizing elements arranged in the unit, outside air is not drawn into the lamp house from there. Therefore, the turbidity of the surface of the polarizing element which causes a siloxane compound disappears, and the fall of the illuminance of polarized light can be prevented.

(2) 홈통형상 미러와 편광 소자의 사이에 광투과 부재를 배치하고, 가스 공급 수단으로부터 이 광투과 부재와 편광 소자 사이의 공간에 가스를 공급함으로써, 가스의 유량을 줄여도, 광투과 부재와 편광 소자 사이의 압력을 균일하게 높게 할 수 있어, 이것에 의해 용력(用力)의 부담을 경감할 수 있다. (2) Even if the flow rate of gas is reduced by arranging the light transmitting member between the gutter-shaped mirror and the polarizing element and supplying gas from the gas supply means to the space between the light transmitting member and the polarizing element, the light transmitting member and the polarization are reduced. The pressure between the elements can be made uniformly high, whereby the burden of the force can be reduced.

도 1은 본 발명의 편광광 조사 장치의 제1 실시예를 나타낸 도이다.
도 2는 에어 취출구를 복수 형성한 노즐의 구성예를 나타낸 도이다.
도 3은 제1 실시예의 변형예를 나타낸 도이다.
도 4는 본 발명의 제2 실시예를 나타낸 도이다.
도 5는 선형상의 광원인 봉형상 램프와 와이어 그리드 편광 소자를 조합한 편광광 조사 장치의 구성예를 나타낸 도이다.
도 6은 도 5에 나타낸 편광광 조사 장치의 램프 하우스의 구성예를 나타낸 도이다.
도 7은 편광 소자 유닛의 구조를 나타낸 도이다·
도 8은 냉각풍을 순환시키는 편광광 조사 장치의 램프 하우스의 다른 구성예를 나타낸 도이다. 1 is a diagram showing a first embodiment of a polarized light irradiation apparatus of the present invention.
2 is a diagram illustrating a configuration example of a nozzle in which a plurality of air ejecting ports are formed.
3 is a diagram showing a modification of the first embodiment.
4 is a diagram showing a second embodiment of the present invention.
It is a figure which shows the structural example of the polarization light irradiation apparatus which combined the rod-shaped lamp which is a linear light source, and a wire grid polarizing element.
It is a figure which shows the structural example of the lamp house of the polarized light irradiation apparatus shown in FIG.
7 is a diagram showing the structure of a polarizing element unit.
It is a figure which shows the other structural example of the lamp house of the polarized light irradiation apparatus which circulates cooling wind.

도 1은, 본 발명의 편광광 조사 장치의 제1 실시예를 나타낸 도이다. 이 도면은, 램프의 길이 방향에 대해 직교하는 방향의 단면도이다. 또한, 이하의 실시예에서는, 상기 도 6에 나타낸 구성의 편광광 조사 장치에 대해서 설명하지만, 본 발명은 상기 도 8에 나타낸 구성의 편광광 조사 장치에도 마찬가지로 적용할 수 있다. 1 is a diagram showing a first embodiment of the polarized light irradiation apparatus of the present invention. This figure is sectional drawing of the direction orthogonal to the longitudinal direction of a lamp | ramp. In addition, although the polarizing light irradiation apparatus of the structure shown in the said FIG. 6 is demonstrated in the following Example, this invention is applicable similarly to the polarized light irradiation apparatus of the structure shown in said FIG.

도 1에 있어서, 도 6의 종래의 장치와 상이한 부분은, 반사 미러(22)와 상기 편광 소자 유닛(80) 사이의 공간에 가스(클린 드라이 에어)를 공급하는 노즐(3)(가스 공급 수단)을 설치한 점이다. 그 이외의 구성은 도 6에 기재된 장치와 기본적으로 동일하다. In FIG. 1, the part different from the conventional apparatus of FIG. 6 is the nozzle 3 (gas supply means) which supplies gas (clean dry air) to the space between the reflection mirror 22 and the said polarizing element unit 80. In FIG. ) Is installed. The configuration other than that is basically the same as that of the apparatus of FIG.

즉, 램프 하우스(10)에는, 램프(21)와, 홈통형상의 반사 미러(22)로 구성되는 광출사부(2)를 가지는 광원부(11)가 설치되며, 그 상부에, 램프 점등 시에 램프(21)나 반사 미러(22)를 냉각하는 냉각풍의 온도를 낮추는 수냉식의 냉각기(라디에이터)(20)와, 냉각풍을 발생시키는 송풍기(블로어)(30)가 배치된다. That is, in the lamp house 10, the light source part 11 which has the light output part 2 comprised from the lamp 21 and the reflecting mirror 22 of the trough shape is provided, and the upper part at the time of lamp lighting is provided. A water-cooled cooler (radiator) 20 for lowering the temperature of the cooling wind for cooling the lamp 21 and the reflection mirror 22 and a blower (blower) 30 for generating the cooling wind are disposed.

광원부(11)는 격벽(40)에 의해 둘러싸여 있으며, 그 외측을 램프 하우스(10)의 외벽(하우징)(60)이 덮고 있다. 외벽(60)과 상기 격벽(40) 사이의 간극은, 냉각풍이 통과하는 통풍로(50)가 된다. The light source part 11 is surrounded by the partition 40, and the outer wall (housing) 60 of the lamp house 10 covers the outside thereof. The gap between the outer wall 60 and the partition 40 is a ventilation path 50 through which the cooling wind passes.

홈통형상의 반사 미러(22)에는, 그 미러(22)의 광출사측으로부터 도입되어 상기 램프와 홈통형상의 미러를 냉각하는 냉각풍이 통과하는 개구(냉각풍 통풍 구멍(41))가 설치되며, 냉각풍 통풍 구멍(41)을 통과한 냉각풍은, 냉각기(20)에 의해 냉각되어, 송풍기(30)에 의해, 상기 통풍로(50)를 거쳐, 상기 반사 미러(22)의 광출사측에 보내진다. The trough reflecting mirror 22 is provided with an opening (cooling wind vent hole 41) through which the cooling wind introduced from the light exit side of the mirror 22 and cooling the lamp and the trough mirror passes. The cooling wind which has passed through the cooling wind vent hole 41 is cooled by the cooler 20, and is blown by the blower 30 via the ventilation path 50 to the light exit side of the reflective mirror 22. Is sent.

또, 램프 하우스의 외벽(60)에는, 광원부(11)로부터 워크(4)를 향해 조사되는 광이 통과하는 광출사창(광출사부)(70)이 형성되어 있다. 이 광출사창(70)에는, 광출사창(70)으로부터 출사하는 광을 편광하는 와이어 그리드 편광 소자(1)를 가지는 편광 소자 유닛(80)이 부착된다. Moreover, the light exit window (light exit part) 70 through which the light irradiated from the light source part 11 toward the workpiece | work 4 passes is formed in the outer wall 60 of a lamp house. The light emitting window 70 is attached with a polarizing element unit 80 having a wire grid polarizing element 1 for polarizing light emitted from the light emitting window 70.

편광 소자 유닛(80)은, 상기 도 7에 나타낸 바와 같이, 복수의 와이어 그리드 편광 소자(1)를, 램프(21)의 길이 방향을 따라 프레임(유지틀(81)) 내에 늘어놓아 유지한 것이며, 편광판은, 1mm 내지 2mm 정도의 간극을 갖게 하여 배치되며, 이 간극은 차광판에 의해 덮여 있다. As shown in FIG. 7, the polarizing element unit 80 arranges and holds the several wire grid polarizing element 1 in the frame (holding frame 81) along the longitudinal direction of the lamp 21. As shown in FIG. The polarizing plate is arranged to have a gap of about 1 mm to 2 mm, and the gap is covered by a light shielding plate.

상기 반사 미러(22)와 편광 소자 유닛(80) 사이의 공간에 가스를 공급하는 노즐(3)에는, 가스로서 클린 드라이 에어가 공급된다. 클린 드라이 에어(이하 에어)는, 필터에 의해, 노점이 -50℃~-90℃ 이하 정도가 되도록 제습함과 함께 미립자를 제거한 저노점 고청정도 공기이다. 또한, 동등한 저노점 고청정도이며, 자외선을 투과하면, 에어 이외의 가스, 예를 들면 질소 등의 불활성 가스를 사용해도 된다. Clean dry air is supplied as a gas to the nozzle 3 which supplies gas to the space between the reflecting mirror 22 and the polarizing element unit 80. Clean dry air (hereinafter referred to as "air") is a low dew point high clean air in which dehumidification is performed while the dew point is about -50 deg. C to -90 deg. C or less with a filter. Moreover, if it is equivalent low dew point high cleanness, and it transmits ultraviolet-ray, you may use gas other than air, for example, inert gas, such as nitrogen.

노즐(3)에 공급하는 에어는, 장치를 설치하는 공장의 용력(유틸리티)으로부터 공급하도록 해도 되고, 별도로 준비한 봄베로부터 공급하도록 해도 된다. The air supplied to the nozzle 3 may be supplied from the capacity (utility) of the factory in which the apparatus is installed, or may be supplied from a separately prepared cylinder.

노즐(3)은, 램프(21)의 길이 방향을 따른 램프 하우스(10)의 측면의 외벽(60)으로부터 램프 하우스(10)의 내부에 삽입되어 있으며, 에어의 취출구(31)는 1개소이다. 노즐(3)에 공급된 에어는, 램프(21)(반사 미러(22)의 광출사측)와 편광 소자 유닛(80)의 편광판(1)의 사이를, 램프의 길이 방향에 대해 직교하도록 흐른다. 이 공급된 에어에 의해, 램프와 편광 소자 사이의 압력이 높아진다. The nozzle 3 is inserted into the inside of the lamp house 10 from the outer wall 60 of the side surface of the lamp house 10 along the longitudinal direction of the lamp 21, and the air blower outlet 31 is one place. . The air supplied to the nozzle 3 flows between the lamp 21 (the light exit side of the reflection mirror 22) and the polarizing plate 1 of the polarizing element unit 80 so as to be perpendicular to the longitudinal direction of the lamp. . By this supplied air, the pressure between the lamp and the polarizing element is increased.

공급된 에어는, 램프 냉각풍과 함께 냉각풍 통풍 구멍(41)과 라디에이터(20)를 통하여, 블로어(30)에 끌어들여진다. The supplied air is drawn into the blower 30 through the cooling wind vent hole 41 and the radiator 20 together with the lamp cooling wind.

표 1은, 노즐(3)에 공급하는 에어의 공급량(리터/min)과, 램프(21)와 편광 소자(1) 사이의 정압(靜壓)(Pa), 편광 소자의 간극으로부터의 흡입의 유무의 관계를 조사한 실험 결과이다. 또한, 노즐(3)은 램프 하우스(10)의 측면에 1개소에만 설치했다. 또, 램프(21)와 편광 소자(1) 사이의 정압을 측정한 장소는, 도 1의 A부로서 나타내고 있는 바와 같이, 램프(21)에 대해 노즐(3)을 설치한 측과는 반대측의, 반사 미러(21)의 광출사측과 편광 소자 유닛(80)의 사이이다. Table 1 shows the supply amount (liter / min) of air to be supplied to the nozzle 3, the positive pressure Pa between the lamp 21 and the polarizing element 1, and the suction from the gap between the polarizing elements. It is the result of the experiment that examined the relationship. In addition, the nozzle 3 was provided only in one place in the side surface of the lamp house 10. As shown in FIG. Moreover, the place which measured the positive pressure between the lamp 21 and the polarizing element 1 is a side opposite to the side which provided the nozzle 3 with respect to the lamp 21, as shown as part A of FIG. And between the light exit side of the reflection mirror 21 and the polarizing element unit 80.

이 표에 나타내는 바와 같이, 에어를 공급하지 않는 경우, A부의 정압은 -30Pa의 음압으로, 편광 소자 유닛(80)에 늘어놓은 편광 소자(1)의 간극으로부터, 바깥 공기가 램프 하우스(10) 내에 끌어들여지고 있었다. 그러나, 노즐(3)에 350리터/min의 에어를 공급한 바, A부의 정압은 25Pa의 양압이 되어, 편광 소자(1)의 간극으로부터 램프 하우스(10) 내로 바깥 공기가 끌어 들여지는 것은 없어졌다. 또한 노즐(3)에 공급하는 에어를 400리터/min로 늘린 바, A부의 정압은 32Pa로 상승하고, 역시 편광 소자(1)의 간극으로부터 램프 하우스(10) 내로 바깥 공기가 끌어들어지는 것은 없다. As shown in this table, when air is not supplied, the positive pressure of the A portion is a negative pressure of −30 Pa, so that outside air is discharged from the gap between the polarizing elements 1 arranged in the polarizing element unit 80. I was being drawn in. However, when 350 liters / min of air was supplied to the nozzle 3, the positive pressure of the A portion became a positive pressure of 25 Pa, and no outside air was drawn into the lamp house 10 from the gap of the polarizing element 1. lost. In addition, when the air supplied to the nozzle 3 was increased to 400 liters / min, the positive pressure of the A portion rose to 32 Pa, and no outside air was drawn into the lamp house 10 from the gap between the polarizing elements 1. .

상기의 결과로부터, 램프(21)와 편광 소자(1) 사이의 정압이 약 25Pa 이상이 되도록, 램프(1)와 편광 소자(2)의 사이에 에어를 공급하면, 편광 소자(1)의 간극으로부터 램프 하우스(10) 내로 바깥 공기가 끌어들어지는 것을 방지할 수 있다고 생각된다. 즉, 램프(21)와 편광 소자(1) 사이의 정압이 약 25Pa 이상이 되도록 램프 하우스(10) 내에 에어를 공급하면, 램프 하우스(10) 내 전체가 양압이 되어, 램프 하우스(10) 내로의 바깥 공기의 끌어들어짐이 없어지는 것으로 생각된다. From the above results, when air is supplied between the lamp 1 and the polarizing element 2 such that the static pressure between the lamp 21 and the polarizing element 1 is about 25 Pa or more, the gap between the polarizing elements 1 It is thought that the outside air can be prevented from being drawn into the lamp house 10 from the That is, when air is supplied into the lamp house 10 such that the static pressure between the lamp 21 and the polarizing element 1 is about 25 Pa or more, the whole inside of the lamp house 10 becomes positive pressure, into the lamp house 10. It is thought that the intake of the outside air is lost.

상기 실시예에 있어서는, 노즐(3)의 에어 취출구는 1개소이다. 그러나, 도 2에 나타내는 바와 같이, 노즐(3)을 램프(21)의 길이 방향을 따라 연장시켜, 에어 취출구(31)를 복수 형성해도 된다. 노즐(3)을 이와 같은 형상으로 함으로써, 에어를 램프 길이 방향에 대해 균일하게 공급할 수 있다. 그 때문에, 램프(21)와 편광 소자(1)의 사이를 양압으로 하는데, 에어의 유량을 적게 할 수 있어, 이것에 의해 용력의 부담을 경감할 수 있다. In the said embodiment, the air blower outlet of the nozzle 3 is one place. However, as shown in FIG. 2, you may extend the nozzle 3 along the longitudinal direction of the lamp 21, and may form multiple air blower outlet 31. As shown in FIG. By making the nozzle 3 into such a shape, air can be supplied uniformly with respect to the lamp longitudinal direction. Therefore, although the positive pressure is made between the lamp 21 and the polarizing element 1, the flow volume of air can be reduced and it can reduce the burden of a force by this.

도 3은, 제1 실시예의 변형예를 나타낸 도이다. 이 도면은, 램프의 길이 방향을 따른 방향의 단면도이다. 3 is a diagram showing a modification of the first embodiment. This figure is sectional drawing of the direction along the longitudinal direction of a lamp.

도 1에 나타낸 실시예에 있어서는, 램프(21)의 길이 방향을 따른 램프 하우스(10)의 측면으로부터 삽입했지만, 이 실시예에서는, 램프의 길이 방향에 직교하는 램프 하우스(10)의 측면으로부터 삽입하고 있으며, 그 외의 구성은 도 1과 동일하다. In the embodiment shown in FIG. 1, the insertion is made from the side of the lamp house 10 along the longitudinal direction of the lamp 21. In this embodiment, the insertion is from the side of the lamp house 10 orthogonal to the longitudinal direction of the lamp. The rest of the configuration is the same as in FIG. 1.

노즐(3)에 공급한 에어는, 램프(21)(반사 미러(22)의 광출사측)와 편광 소자 유닛(80)의 편광 소자(1)의 사이를, 램프(21)의 길이 방향을 따라 흐른다. 이 공급된 에어에 의해, 램프(21)와 편광 소자(1) 사이의 압력이 높아진다. 공급된 에어는, 램프 냉각풍과 함께 냉각풍 통풍 구멍(41)과 라디에이터(20)를 통하여, 블로어(30)에 끌어들여진다. The air supplied to the nozzle 3 is connected between the lamp 21 (the light exit side of the reflection mirror 22) and the polarizing element 1 of the polarizing element unit 80 to adjust the longitudinal direction of the lamp 21. Flows along. By this supplied air, the pressure between the lamp 21 and the polarizing element 1 increases. The supplied air is drawn into the blower 30 through the cooling wind vent hole 41 and the radiator 20 together with the lamp cooling wind.

이와 같이 구성해도 되지만, 램프(21)가 길어지면, 공급하는 에어가 흐르는 거리가 길어진다. 그 때문에, 램프(21)에 대해 노즐(3)을 설치한 반대측의 압력이 오르기 어려워져, 에어의 공급 유량이 다소 많이 필요해진다고 생각된다. Although it may comprise in this way, when the lamp 21 becomes long, the distance which the air to supply flows becomes long. Therefore, it is thought that the pressure of the opposite side which provided the nozzle 3 with respect to the lamp 21 becomes difficult to rise, and the flow rate of air supply is required a little more.

도 4는, 본 발명의 제2 실시예를 나타낸 도이다. 이 도면은, 램프의 길이 방향에 대해 직교하는 방향의 단면도이다. 4 is a diagram showing a second embodiment of the present invention. This figure is sectional drawing of the direction orthogonal to the longitudinal direction of a lamp | ramp.

본 실시예에 있어서는, 램프(21)와 편광 소자 유닛(80)의 사이에, 광투과 부재 유지 유닛(5)을 설치하고, 이 광투과 부재 유지 유닛(5)과 편광 소자 유닛(80)의 사이에, 에어를 공급하도록 하고 있다. In the present embodiment, the light transmitting member holding unit 5 is provided between the lamp 21 and the polarizing element unit 80, and the light transmitting member holding unit 5 and the polarizing element unit 80 In the meantime, air is supplied.

광투과 부재 유지 유닛(5)는, 예를 들면, 상기 편광 소자 유닛(80)과 마찬가지로, 복수의 광투과 부재(51)를 램프의 길이 방향으로 늘어놓아 배치한 것이다. 이 광투과 부재(51)로서는, 예를 들면, 필터 특성을 가지지 않는(특정 파장의 광을 차단하는 특성을 가지지 않는다) 석영판이나, 광배향 처리에 불필요한 파장의 광(예를 들면 가시광선이나 적외광)을 차단하는 증착막을 유리판에 형성한 간섭막 필터 등의 필터 등을 이용할 수 있다. The light transmitting member holding unit 5 arranges the plurality of light transmitting members 51 in the longitudinal direction of the lamp, for example, similarly to the polarizing element unit 80. As the light transmitting member 51, for example, a quartz plate which does not have a filter characteristic (does not have a characteristic of blocking light of a specific wavelength), or light having a wavelength unnecessary for the optical alignment process (for example, visible light or A filter such as an interference film filter in which a vapor deposition film for blocking infrared light) is formed on a glass plate can be used.

노즐(3)에 공급된 에어는, 광투과 부재 유지 유닛(5)과 편광 소자 유닛(80)의 사이를, 램프(21)의 길이 방향에 대해 직교하도록 흘러, 광투과 부재 유지 유닛(5)과 편광 소자 유닛(80) 사이의 압력을 양압으로 한다. 그 후, 노즐(3)이 있는 측과는 반대측으로부터 램프 냉각풍과 함께 냉각풍 통풍 구멍(41)과 라디에이터(20)를 통하여, 블로어(30)에 끌어들여진다. The air supplied to the nozzle 3 flows between the light transmitting member holding unit 5 and the polarizing element unit 80 so as to be orthogonal to the longitudinal direction of the lamp 21, so that the light transmitting member holding unit 5 And the pressure between the polarizing element unit 80 as positive pressure. Then, it is drawn in to the blower 30 through the cooling wind ventilation hole 41 and the radiator 20 with lamp cooling wind from the opposite side to the side which has the nozzle 3.

제1 실시예의 구성에서는, 노즐(3)로부터 공급된 에어가, 노즐(3)이 있는 측과는 반대측의 램프 하우스 측면에 이르기까지, 램프 냉각풍과 함께 블로어(30)에 흡인되어 버린다. In the configuration of the first embodiment, the air supplied from the nozzle 3 is sucked into the blower 30 together with the lamp cooling wind up to the side of the lamp house opposite to the side on which the nozzle 3 is located.

그러나, 본 실시예와 같이 구성함으로써, 광투과 부재 유지 유닛(5)과 편광 소자 유닛(80)에 의해 통풍로가 형성된다. 그 때문에, 램프 하우스(10)에 공급한 에어는, 도중에 블로어(30)에 흡인되지 않고, 노즐(3)이 있는 측과는 반대측의 램프 하우스(10)의 측면에 이른다. However, by configuring in the present embodiment, a ventilation path is formed by the light transmitting member holding unit 5 and the polarizing element unit 80. Therefore, the air supplied to the lamp house 10 is not attracted to the blower 30 on the way, and reaches the side of the lamp house 10 on the side opposite to the side where the nozzle 3 is located.

이것에 의해, 에어의 유량을 줄여도, 에어는 노즐(3)이 설치되어 있는 측과는 반대측에까지 이르러, 광투과 부재(51)와 편광 소자(1) 사이의 압력을, 에어가 흐르는 방향에 대해, 균일하게 높게 할 수 있다. 이것에 의해 용력의 부담을 경감할 수 있다. As a result, even if the flow rate of air is reduced, the air reaches the side opposite to the side on which the nozzle 3 is provided, and the pressure between the light transmitting member 51 and the polarizing element 1 with respect to the direction in which air flows. Can be made uniformly high. As a result, the burden of power can be reduced.

또한, 상기 실시예에서는, 편광 소자로서 와이어 그리드 편광 소자를 이용한 예로 설명했지만, 증착막을 이용한 편광 소자를 이용하는 경우여도 적용할 수 있다. 증착막을 이용한 편광 소자도, 증착 장치의 크기에 한계가 있으므로, 큰 것(긴 것)을 만들 수는 없다. 따라서, 증착막을 이용한 편광 소자도 복수의 편광판을 프레임 내에 늘어놓아 사용하게 된다. 단, 증착막을 이용한 편광 소자는 와이어 그리드 편광 소자와 같이 서로의 방향을 맞출 필요가 없기 때문에, 경계를 메워 밀폐 구조로 할 수 있다. 그러나, 본 발명을 적용함으로써, 램프 하우스를 밀폐 구조로 하는 작업을 행하지 않고, 램프 하우스 내에 바깥 공기가 도입되는 것을 방지할 수 있다. Moreover, in the said Example, although demonstrated using the example which used the wire grid polarizing element as a polarizing element, it is applicable also when using the polarizing element which used the vapor deposition film. The polarizing element using a vapor deposition film also has a limit on the size of the vapor deposition apparatus, and therefore cannot be made large (long). Therefore, the polarizing element using a vapor deposition film also uses several polarizing plates in a frame. However, since the polarizing elements using the evaporation film do not need to be aligned with each other like the wire grid polarizing elements, the boundary can be filled with a closed structure. However, by applying the present invention, it is possible to prevent the outside air from being introduced into the lamp house without performing the work of making the lamp house an airtight structure.

1 와이어 그리드 편광 소자 2 광출사부
3 노즐 4 워크
5 광투과 부재 유지 유닛 10 램프 하우스
11 광원부 20 냉각기(라디에이터)
21 봉형상 램프 22 반사 미러
30 송풍기(블로어) 31 에어 취출구
40 격벽 41 냉각풍 통풍 구멍
50 통풍로 51 광투과 부재
60 외벽(하우징) 70 광출사창
80 편광 소자 유닛 81 프레임(유지틀)
82 차광판1 wire grid polarizer 2 light exit
3 nozzles and 4 workpieces
5 Light transmission member holding unit 10 Lamp house
11 Light source 20 Cooler (radiator)
21 Rod-shaped lamp 22 Reflective mirror
30 Blower 31 Blower air outlet
40 bulkhead 41 cooling wind vent hole
50 Ventilation 51 Light transmission absence
60 Exterior wall (housing) 70 light exit window
80 polarizing element unit 81 frame (holding frame)
82 shading plate

Claims

A light source for emitting light including ultraviolet rays is provided in a luminaire provided with a light output unit, and the light source includes a rod-shaped lamp and a groove-shaped mirror for reflecting light from the lamp. An opening through which a cooling wind introduced from the light output side of the mirror and cooling the lamp and the gutter-shaped mirror passes, a cooler for cooling the cooling wind passing through the opening of the mirror, and cooled by the cooler. In the polarizing light irradiation apparatus provided with the blower which sends a cooling wind to the light output side of the said mirror,
A polarization element for polarizing the light from the light source provided with a plurality of polarizing plates arranged in a line is provided in the light output portion, and gas supply means for supplying gas to the space between the trough mirror and the polarization element is provided. Polarized light irradiation apparatus characterized by the above-mentioned.

The method according to claim 1,
A light transmitting member is disposed between the trough mirror and the polarizing element, and the gas supply means supplies gas to a space between the light transmitting member and the polarizing element.

The method according to claim 1 or 2,
And said polarizing element is a wire grid polarizing element.