KR20130077498A - 이물질 제거장치 - Google Patents

Abstract

이물질 제거 효율이 향상되도록 구조가 개선된 이물질 제거장치가 개시된다. 이를 위한, 이물질 제거장치는 개구되게 형성된 자유단이 유리기판에 인접하도록 배치된 배출부와, 상기 배출부의 둘레면을 따라 형성되어 상기 배출부의 자유단과 마주하는 유리기판의 일부분을 향하여 유체가 분사되도록 형성되어 이물질이 유체를 따라 이동되어 배출부로 배출되게 하는 제1분사부를 포함한다.

Description

이물질 제거장치{Dust removing apparatus}

본 발명은 이물질 제거장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 평판패널 제조에 사용되는 기판의 가공시 발생하는 이물질을 제거하는데 사용되는 이물질 제거장치에 관한 것이다.

액정패널, 플라즈마 패널 및 오엘이디패널과 같은 평판패널(FPD: Flat Panel Display) 제조 공정은 유리기판 상에 증착, 식각, 표면 개질 및 세정작업 등의 공정을 여러 번 진행한다. 그리고, 영상장치의 크기에 맞게 유기기판을 절단 또는 그라인딩하는 공정 등을 거치게 된다. 이러한 공정을 거치면서 유리기판의 표면으로부터 박리된 먼지나 유리기판 입자 등이 발생되게 되는데, 이러한 이물질이 유리기판 상에 잔존하게 되면, 평판패널의 불량을 초래하게 될 수 있다.

따라서, 이물질을 제거하고자, 유리기판을 절단하는데 사용되는 절삭공구(Scribing wheels)에 인접하게 이물질 제거장치를 배치하여 사용하는 것이 일반적이다.

종래의 이물질 제거장치의 구조의 일예로, 진공관과 진공펌프를 포함할 수 있다. 진공관의 일단은 절삭공구에 인접하게 배치된다. 진공펌프는 진공관에 연결되어 진공관 내부가 진공상태로 유지되게 한다. 이러한 구조로 이루어진 종래의 이물질 제거장치로 유리기판 상의 이물질을 제거하는 과정에서는, 진공으로 이물질을 흡입하여 제거함으로써, 많은 진공 유량을 필요로 한다. 또한, 종래의 이물질 제거장치는 절삭공구의 일측에만 인접하게 진공관이 배치되어 이물질이 진공관으로 흡입되는데, 유리기판 상에서 이물질은 다방향으로 비산되므로, 이물질을 전부 제거하기 어려운 문제점이 있다.

본 발명은 이물질 제거 효율이 향상되도록 구조가 개선된 이물질 제거장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기의 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 이물질 제거장치는, 개구되게 형성된 자유단이 유리기판에 인접하도록 배치된 배출부와, 상기 배출부의 둘레면을 따라 형성되어 상기 배출부의 자유단과 마주하는 유리기판의 일부분을 향하여 유체가 분사되도록 형성되어 이물질이 유체를 따라 이동되어 배출부로 배출되게 하는 제1분사부를 포함한다.

본 발명에 따른 이물질 제거장치는 흡입력으로 이물질을 제거하는 종래의 이물질 제거장치와 다르게 분사력으로 이물질을 제거함으로써, 종래의 이물질 제거장치와 다르게 다량의 진공 유량을 필요로 하지 않게 되어 고성능의 진공 펌프를 배치하지 않아도 됨으로써 제조 원가를 절감할 수 있다.

또한, 본 발명에 따른 이물질 제거장치는 종래의 이물질 제거장치와 다르게 절삭공구 주변에 제1분사부가 배치되고, 제1분사부의 중심에 위치한 배출부로 이물질이 배출되도록 이루어져 있으므로 유리기판의 가공시 발생되는 대부분의 이물질이 제거될 수 있다. 즉, 본 발명에 따른 이물질 제거장치는 종래의 이물질 제거장치보다 이물질 제거의 신뢰성이 향상될 수 있다.

도 1은 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 이물질 제거장치를 개략적으로 도시한 단면도.
도 2는, 도 1에 도시된 이물질 제거장치에서 제1분사부의 몸체부의 변형예를 도시한 단면도.
도 3은 본 발명의 다른 일실시예에 따른 이물질 제거장치를 개략적으로 도시한 단면도.
도 4는 본 발명의 또 다른 일실시예에 따른 이물질 제거장치를 개략적으로 도시한 단면도.

본 발명을 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다. 여기서 동일한 구성에 대해서는 동일부호를 사용하며, 반복되는 설명, 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있는 공지 기능 및 구성에 대한 상세한 설명은 생략한다. 본 발명의 실시형태는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다. 따라서, 도면에서의 요소들의 형상 및 크기 등은 보다 명확한 설명을 위해 과장될 수 있다.

이하 첨부된 도면에 따라서 본 발명의 기술적 구성을 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 1을 참조하면, 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 이물질 제거장치(100)는 제1분사부(120)와, 배출부(110)를 포함한다.

배출부(110)는 개구되게 형성된 자유단을 포함한다. 자유단은 유리기판에 인접하도록 배치된다. 이러한 배출부(110)를 통하여 이물질이 배출된다.

제1분사부(120)는 상기 배출부(110)의 둘레면을 따라 형성된다. 제2분사부(130)는 상기 배출부(110)의 자유단과 마주하는 유리기판의 일부분을 향하여 유체가 분사되도록 형성된다. 유리기판을 그라인딩 또는 절단하는 등의 가공시 발생되는 이물질은 제1분사부(120)로부터 분사되는 유체를 따라 이동되어 배출부(110)로 배출된다.

한편, 전술한 배출부(110)는 내부가 진공 상태인 관(pipe)형상으로 이루어진 질 수 있다. 배출부(110)의 내부가 진공 상태인 것이 진공 상태가 아닐 때보다 이물질의 배출이 더욱 원활하게 이루어질 수 있다.

한편, 제1분사부(120)의 구조의 일예로, 몸체부(121)와, 하우징부(122)와, 가이드부(123)를 포함할 수 있다.

몸체부(121)는 상기 배출부(110)의 자유단의 측면에 결합된다. 몸체부(121)는 배출부(110)의 둘레면을 따라 형성된다. 몸체부(121) 내부에는 배출부(110)가 수용될 수 있는 중공이 형성될 수 있다.

하우징부(122)는 상기 몸체부(121)로부터 일정거리 이격되도록 형성된다. 여기서, 하우징부(122)에 인접하게 유체공급부가 배치될 수 있다. 유체공급부는 몸체부(121)와 하우징부(122) 사이의 공간으로 특정 크기의 압력을 갖는 유체를 공급한다.

가이드부(123)는 상기 하우징부(122)의 내부면에 특정 각도로 경사지게 형성되어 몸체부(121)의 표면에 접하는 방향으로 유체가 분사되도록 유체의 분사 방향을 가이드한다.

한편, 전술한 몸체부(121)의 형상의 일예로 유리기판에 인접한 단부는 반구형상으로 이루어질 수 있다.

이와 다르게, 도 2에 도시된 바와 같이 몸체부(121)의 형상의 다른 예로, 몸체부(121)에서 유리기판에 인접한 단부에서 상기 가이드부(123)와 인접한 둘레면은 특정 각도의 경사면으로 이루어지고, 나머지 부분은 아크형상으로 이루어질 수 있다.

상기와 같은 구조로 이루어진 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 이물질 제거장치(100)는 흡입력으로 이물질을 제거하는 종래의 이물질 제거장치와 다르게 분사력으로 이물질을 제거함으로써, 종래의 이물질 제거장치와 다르게 다량의 진공 유량을 필요로 하지 않게 되어 고성능의 진공 펌프를 배치하지 않아도 됨으로써 제조 원가를 절감할 수 있다.

또한, 본 발명에 따른 이물질 제거장치(100)는 종래의 이물질 제거장치와 다르게 절삭공구 주변에 제1분사부(120)가 배치되고, 제1분사부(120)의 중심에 위치한 배출부(110)로 이물질이 배출되도록 이루어져 있으므로 유리기판의 가공시 발생되는 대부분의 이물질이 제거될 수 있다. 즉, 본 발명에 따른 이물질 제거장치(100)는 종래의 이물질 제거장치보다 이물질 제거의 신뢰성이 향상될 수 있다.

한편, 도 3을 참조하면, 본 발명의 다른 일실시예에 따른 이물질 제거장치(100)는 제2분사부(130)를 더 포함할 수 있다. 제2분사부(130)는 상기 제1분사부(120)에 수용되고, 일단이 외부로 노출되도록 형성되어 유리기판으로 유체를 분사하도록 이루어진다. 제2분사부(130)에서 분사되는 유체의 속도는 제1분사부(120)에서 분사되는 유체의 속도보다 더 빠르게 될 수 있다.

유리기판의 절단과정에서 다량의 유리파편이 발생되면, 상기와 같은 제2분사부(130)에서 분사되는 유체에 의해 유리파편이 외부로 비산되는 것이 최소화될 수 있다.

한편, 제1분사부(120)의 전체적인 형상의 일예로 상기 배출부(110)의 둘레면을 따라 폐곡선 형상으로 형성될 수 있다. 이와 다르게, 상기 제1분사부(120)는 상기 배출부(110)의 둘레면을 따라 상기 배출부(110)의 자유단을 기준으로 특정 각도 마다 이격되게 배치된 단위분사부들(미도시)로 이루어질 수 있다. 예를 들어, 제1분사부(120)는 4개의 단위분사부들로 이루어지며, 각각의 단위분사부들은 배출부(110)의 자유단을 기준으로 90°마다 배치될 수 있다.

한편, 도 4를 참조하면, 본 발명에 따른 이물질 제거장치(200)는 가속부(111)를 더 포함할 수 있다. 자유단이 상기 배출부(110)의 내부에 위치하도록 배치되어 상기 배출부(110) 내부로 공기를 분사한다. 배출부(110)를 통하여 배출되는 이물질들 중에서 상대적으로 입자가 크고 무게가 무거운 입자가 포함되어 있더라도, 이러한 가속부(111)에 의해 배출부(110)를 통하여 이물질들이 더욱 원활하게 배출될 수 있다.

이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 수정, 변경 및 치환이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시예 및 첨부된 도면들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예 및 첨부된 도면에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.

100: 이물질 제거장치 110: 배출부
110: 가속부 120: 제1분사부
121: 몸체부 122: 하우징부
123: 가이드부 130: 제2분사부

Claims (9)

1. 유리기판을 가공하는 과정에서 발생되는 이물질을 제거하는 이물질 제거장치에 있어서,
   개구되게 형성된 자유단이 유리기판에 인접하도록 배치된 배출부; 및
   상기 배출부의 둘레면을 따라 형성되어 상기 배출부의 자유단과 마주하는 유리기판의 일부분을 향하여 유체가 분사되도록 형성되어 이물질이 유체를 따라 이동되어 배출부로 배출되게 하는 제1분사부;
   를 포함하는 이물질 제거장치.
2. 제1항에 있어서,
   상기 제1분사부에 수용되고, 일단이 외부로 노출되도록 형성되어 유리기판으로 유체를 분사하는 제2분사부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이물질 제거장치.
3. 제1항에 있어서,
   상기 배출부는 내부가 진공 상태인 관(pipe)형상으로 이루어진 것을 특징으로 하는 이물질 제거장치.
4. 제1항에 있어서,
   상기 제1분사부는:
   상기 배출부의 자유단의 측면에 결합된 몸체부;
   상기 몸체부로부터 일정거리 이격되도록 형성된 하우징부; 및
   상기 하우징부의 내부면에 특정 각도로 경사지게 형성되어 몸체부의 표면에 접하는 방향으로 유체가 분사되도록 유체의 분사 방향을 가이드하는 가이드부;
   를 포함하는 것을 특징으로 하는 이물질 제거장치.
5. 제4항에 있어서,
   상기 몸체부에서 유리기판에 인접한 단부는 반구형상으로 이루어진 것을 특징으로 하는 이물질 제거장치.
6. 제4항에 있어서,
   상기 몸체부에서 유리기판에 인접한 단부에서 상기 가이드부와 인접한 둘레면은 특정 각도의 경사면으로 이루어지고, 나머지 부분은 아크형상으로 이루어진 것을 특징으로 하는 이물질 제거장치.
7. 제1항에 있어서,
   상기 제1분사부는 상기 배출부의 둘레면을 따라 폐곡선 형상으로 형성된 것을 특징으로 하는 이물질 제거장치.
8. 제1항에 있어서,
   상기 제1분사부는 상기 배출부의 둘레면을 따라 상기 배출부의 자유단을 기준으로 특정 각도 마다 이격되게 배치된 단위분사부들로 이루어진 것을 특징으로 하는 이물질 제거장치.
9. 제1항에 있어서,
   자유단이 상기 배출부의 내부에 위치하도록 배치되어 상기 배출부 내부로 공기를 분사하는 가속부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이물질 제거장치.

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