KR20130064172A - Adjusting device of initial position for ultraprecision gap sensor and method for the same - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: A device and a method for controlling the initial position of a superfine a gap sensor are provided to offset the backlash of a fixing bolt and tilt error due to processing error and assembly error by adhering the probe lower surface of the gap sensor and an upper frame to have a tilt gap of predetermined size. CONSTITUTION: A device for controlling the initial position of a superfine a gap sensor comprises a frame unit(110), a sarrus link unit(130), and a driving bolt(150). The sarrus link unit mutually connects an upper frame(111) and a lower frame(113) to be possible for sarrus mechanism. The driving bolt is coupled with the lower surface of the upper frame by penetrating the lower frame and drives the sarrus link unit.

Description

초정밀 갭 센서의 초기위치 조정장치 및 그 방법 {ADJUSTING DEVICE OF INITIAL POSITION FOR ULTRAPRECISION GAP SENSOR AND METHOD FOR THE SAME}Initial position adjusting device of ultra precision gap sensor and its method {ADJUSTING DEVICE OF INITIAL POSITION FOR ULTRAPRECISION GAP SENSOR AND METHOD FOR THE SAME}

본 발명은 초정밀 갭 센서에 관한 것으로, 보다 상세하게는 초정밀 갭 센서의 초기위치 조정장치 및 그 방법에 관한 것이다.The present invention relates to an ultra-precision gap sensor, and more particularly, to an initial position adjusting device and method of the ultra-precision gap sensor.

공작기계 등에서 테이블의 기하학적 오차, 회전정밀도 등은 가공물의 정밀도와 직접적인 관련이 있으므로, 정확한 오차의 측정을 통한 보정이 필수적으로 요구되고 있다. 이에 따라 효율적이고 정확한 오차 측정 기술에 대한 연구 역시 활발히 진행되어 왔다. 한편, 이러한 오차 측정을 위한 기구로 많이 이용되는 것이 갭 센서(Gap sensor)이다. In machine tools and the like, the geometrical error and rotational accuracy of the table are directly related to the precision of the workpiece. Accordingly, researches on efficient and accurate error measuring techniques have been actively conducted. Meanwhile, a gap sensor is widely used as a mechanism for measuring such an error.

갭 센서는 정전용량형 비접촉 변위 측정센서로서 극판과 물체 사이에 전하의 이동으로 발생하는 분극현상에 의해 변위를 측정하게 된다. 구체적으로, 물체가 극판에서 멀어지게 되면 분극현상이 약해져서 정전용량이 적어지고, 반대로 물체가 극판쪽으로 접근하면 분극현상이 커져 극판면의 전하가 증가하여 정전용량이 커지게 되는데, 이러한 극판과 물체 사이의 거리를 정전용량의 커지고 작아짐의 변화량에 의해서 측정하는 것이 갭 센서의 일반적인 구동 원리이다. The gap sensor is a capacitive non-contact displacement measuring sensor that measures displacement by polarization caused by the movement of electric charge between the pole plate and the object. Specifically, when the object moves away from the pole plate, the polarization phenomenon is weakened, so that the capacitance decreases. On the contrary, when the object approaches the pole plate, the polarization phenomenon increases, the charge on the pole plate increases, and the capacitance increases. It is a general driving principle of the gap sensor to measure the distance of V by the amount of change in the capacitance.

상기 갭 센서는 통상적으로 전도체와 비전도체 모두에 적용이 가능하며 물체의 두께 및 변위의 측정 그리고 회전체인 모터, 스핀들, 스피닝 샤프트(Spining shaft)등의 모터 내의 베어링의 특성과 회전축의 진동 등에 대한 측정 및 분석이 가능하여 정밀측정용으로 많이 이용되고 있다.The gap sensor is generally applicable to both conductors and non-conductors, and is used to measure the thickness and displacement of an object, and to measure the characteristics of bearings in a motor, such as a rotating motor, a spindle, a spinning shaft, and vibration of a rotating shaft. It is possible to measure and analyze, so it is widely used for precision measurement.

상기 갭 센서는 나노미터 정도의 분해능과 마이크로미터 정도의 측정범위를 가지고 있으므로, 갭 센서를 배치시킬 때에는 최대의 측정범위를 가질 수 있도록 측정하고자 하는 갭을 지정하여 정확하게 배치시킬 필요가 있다. Since the gap sensor has a resolution of about nanometers and a measurement range of about micrometers, when the gap sensor is disposed, it is necessary to specify the gap to be measured and arrange it accurately so as to have the maximum measurement range.

즉, 갭 센서는 측정하고자 하는 갭을 형성하는 두 개의 부품(일반적으로 이동 물체에 고정되는 타겟과, 상기 타겟과 평행 배치되는 프로브)의 마주보는 면이 일정한 미소 거리를 유지하며 평행하게 설치되어야 한다.That is, the gap sensor should be installed in parallel with the two surfaces forming the gap to be measured (typically a target fixed to a moving object and a probe disposed parallel to the target) while maintaining a constant micro distance. .

이와 관련하여, 종래에는 갭 센서의 초기위치를 조정하기 위해 다음과 같은 방법들이 이용되어 왔다. 우선, 측정하고자 하는 갭을 형성하는 타겟 하부면과 프로브 상부면에 갭 게이지를 삽입시키고, 상기 갭 게이지 상하부면에 상기 타겟 및 프로브를 밀착시켜 배치한다. 다음으로, 상기 프로브를 고정단에 고정시킨 후, 상기 갭 게이지를 제거한다.In this regard, the following methods have conventionally been used to adjust the initial position of the gap sensor. First, a gap gauge is inserted into a target lower surface and a probe upper surface forming a gap to be measured, and the target and the probe are closely attached to the gap gauge upper and lower surfaces. Next, after fixing the probe to the fixed end, the gap gauge is removed.

그러나, 이와 같은 방법에서는 갭 게이지를 제거할 때에 갭 센서 및 갭 게이지 사이에 미소 변형이 일어나므로, 갭이 측정하고자 하는 것과는 차이가 발생한다는 문제점이 있었다. However, this method has a problem in that when the gap gauge is removed, small deformation occurs between the gap sensor and the gap gauge, so that a gap occurs from what the gap intends to measure.

또한, 핀과 구멍을 이용한 단순 운동안내용 지그에 볼트를 이용하여 갭 센서의 위치를 조정하는 방법들이 이용되고 있으나, 이와 같은 방법에서는 볼트의 백래시 및 운동 안내 지그의 핀과 구멍사이의 미세 틈새로 인한 미세한 흔들림이 발생하는바, 갭에 미소 변형이 일어나므로 마찬가지 문제점이 있었다. In addition, the method of adjusting the position of the gap sensor using a bolt to the simple motion guide jig using a pin and a hole is used, but in such a method, the backlash of the bolt and the minute gap between the pin and the hole of the motion guide jig are used. Due to the slight shaking occurs, there was a similar problem because micro deformation occurs in the gap.

특히, 상술한 종래 방법들에서는 갭을 형성하는 타겟 및 프로브의 틸트 방향(수평면으로부터 경사를 가지는 방향)으로의 미세 변형을 조정할 수 없으므로, 갭의 오차 발생시 이를 초기위치로 조정할 수 있는 방법이 요구되고 있는 실정이다.In particular, the above-described conventional methods cannot adjust the fine deformation in the tilt direction (the direction from the horizontal plane to the inclination) of the target and the probe forming the gap, so a method for adjusting the gap to an initial position when a gap error occurs is required. There is a situation.

본 발명의 실시예들은 타겟과 프로브로 구성된 갭 센서의 두 면을 틸트 방향으로의 미소 변형 없이 평행하게 유지시키도록 초기위치를 조정하는 초정밀 갭 센서의 초기위치 조정장치를 제공하고자 한다. Embodiments of the present invention are to provide an initial position adjusting device of the ultra-precision gap sensor to adjust the initial position to keep the two surfaces of the gap sensor consisting of the target and the probe in parallel without the slight deformation in the tilt direction.

또한, 상기 초정밀 갭 센서의 초기위치 조정장치를 이용하여 갭 센서의 초기위치를 조정하는 초정밀 갭 센서의 초기위치 조정방법을 제공하고자 한다.In addition, an initial position adjusting method of the ultra-precision gap sensor for adjusting the initial position of the gap sensor by using the initial position adjustment device of the ultra-precision gap sensor.

본 발명의 일 측면에 따르면, 타겟 및 프로브를 포함하는 초정밀 갭 센서의 초기위치를 조정하는 초정밀 갭 센서의 초기위치 조정장치에 있어서, 고정단에 고정되는 상부 프레임 및 하부 프레임을 포함하는 프레임부; 상기 상부 프레임 및 하부 프레임 사이에 배치되어, 상기 상부 프레임 및 하부 프레임이 사루스 운동(sarrus mechanism) 가능하도록 상호 연결시키는 사루스 링크부; 및 상기 하부 프레임을 관통하여 상기 상부 프레임 하부면에 체결되는 것으로, 상기 사루스 링크부를 구동시키는 구동볼트를 포함하는 초정밀 갭 센서의 초기위치 조정장치가 제공될 수 있다.According to an aspect of the present invention, the initial position adjusting device of the ultra-precision gap sensor for adjusting the initial position of the ultra-precision gap sensor comprising a target and a probe, the apparatus comprising: a frame portion including an upper frame and a lower frame fixed to a fixed end; A SAR link portion disposed between the upper frame and the lower frame to interconnect the upper frame and the lower frame to enable a sarrus mechanism; And it is fastened to the lower surface of the upper frame through the lower frame, the initial position adjustment device of the ultra-precision gap sensor including a drive bolt for driving the sarrus link unit can be provided.

이 때, 상기 상부 프레임의 상면은 상기 초정밀 갭 센서의 프로브 하면과 소정 크기의 틸트 간격을 갖도록 접착될 수 있다. In this case, an upper surface of the upper frame may be bonded to a lower surface of the probe of the ultra-precision gap sensor to have a tilt gap of a predetermined size.

또한, 상기 상부 프레임 상면 및 상기 프로브 하면은 에폭시계 접착제를 이용하여 접착될 수 있다. In addition, the upper surface of the upper frame and the lower surface of the probe may be bonded using an epoxy adhesive.

한편, 상기 상부 프레임 및 하부 프레임에는 관통공이 형성되고, 상기 관통공에 결합하는 고정볼트를 통해 상기 고정단에 고정될 수 있다. Meanwhile, a through hole is formed in the upper frame and the lower frame, and may be fixed to the fixed end through a fixing bolt coupled to the through hole.

한편, 상기 사루스 링크부는, 상기 상부 프레임 하부면 일측과, 이에 대응하는 상기 하부 프레임 상부면 일측에 종방향으로 형성되는 제1 탄성힌지부; 및 상기 상부 프레임 하부면의 다른 일측과, 이에 대응하는 상기 하부 프레임 상부면의 다른 일측에 종방향으로 형성되는 제2 탄성힌지부를 포함할 수 있다.On the other hand, the SARS link portion, the first elastic hinge portion formed in the longitudinal direction on one side of the lower surface of the upper frame, and one side of the upper surface of the lower frame corresponding thereto; And a second elastic hinge portion formed in the longitudinal direction on the other side of the lower surface of the upper frame and the other side of the upper surface of the lower frame corresponding thereto.

본 발명의 다른 측면에 따르면, 본 발명의 일 측면에 따른 초정밀 갭 센서의 초기위치 조정장치를 이용하는 초정밀 갭 센서의 초기위치 조정방법에 있어서, 초정밀 갭 센서의 타겟 및 프로브를 밀착시킨 후, 상기 초정밀 갭 센서의 초기위치 조정장치를 상기 프로브 하면과 소정크기의 틸트 간격을 갖도록 배치하고, 상기 초정밀 갭 센서의 초기위치 조정장치의 하부 프레임을 고정단에 고정하는 제1 단계; 상기 초정밀 갭 센서의 초기위치 조정장치의 상부 프레임 상면과 상기 프로브 하면을 에폭시계 접착제로 접착하는 제2 단계; 상기 초정밀 갭 센서의 초기위치 조정장치의 상기 구동볼트를 회전시킴으로써, 상기 프로브를 상기 타겟으로부터 이격시켜 갭을 조정하는 제3 단계; 및 상기 초정밀 갭 센서의 초기위치 조정장치의 상부 프레임을 고정단에 고정하는 제4 단계를 포함하는 초정밀 갭 센서의 초기위치 조정방법이 제공될 수 있다.According to another aspect of the present invention, in the initial position adjustment method of the ultra-precision gap sensor using the initial position adjustment device of the ultra-precision gap sensor according to an aspect of the present invention, after the target and the probe of the ultra-precision gap sensor is in close contact with the ultra-precision A first step of arranging an initial position adjusting device of a gap sensor to have a tilt interval of a predetermined size with the probe lower surface, and fixing a lower frame of the initial position adjusting device of the ultra-precision gap sensor to a fixed end; Bonding an upper surface of the upper frame of the initial position adjusting device of the ultra-precision gap sensor and the lower surface of the probe with an epoxy adhesive; A third step of adjusting the gap by separating the probe from the target by rotating the driving bolt of the initial position adjusting device of the ultra-precision gap sensor; And a fourth step of fixing the upper frame of the initial position adjusting device of the ultra precision gap sensor to a fixed end.

본 발명의 실시예들은 상부 프레임 및 하부 프레임이 사루스 운동(sarrus mechanism) 가능하도록 상호 연결시키는 사루스 링크부를 배치하여 상부 프레임 및 하부 프레임이 서로 평행을 유지하면서 운동 가능하도록 함으로써, 갭 센서의 프로브를 타겟으로부터 평행하게 이격시킬 수 있다. Embodiments of the present invention provide a probe of a gap sensor by arranging a sarus link portion that interconnects the upper frame and the lower frame to enable a sarrus mechanism to allow the upper frame and the lower frame to move while keeping parallel to each other. Can be spaced parallel to the target.

또한, 갭 센서의 프로브 하면과 상부 프레임을 소정 크기의 틸트 간격을 갖도록 접착함으로써, 고정볼트의 백래시, 가공오차 및 조립오차로 인한 틸트 오차를 상쇄시킬 수 있다.In addition, by bonding the probe lower surface and the upper frame of the gap sensor with a predetermined tilt interval, the tilt error due to the backlash, processing error and assembly error of the fixing bolt can be offset.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 초정밀 갭 센서의 초기위치 조정장치를 도시한 도면이다.
도 2는 사루스 링크부의 개념을 도시한 도면이다.
도 3은 도 1의 프레임부 및 사루스 링크부를 도시한 도면이다.
도 4는 도 3의 사루스 링크부에서 탄성힌지부의 다양한 형상을 도시한 도면이다.
도 5 내지 도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 초정밀 갭 센서의 초기위치 조정방법을 순차적으로 도시한 도면이다.1 is a view showing the initial position adjusting device of the ultra-precision gap sensor according to an embodiment of the present invention.
2 is a diagram illustrating a concept of a sars link unit.
3 is a view illustrating the frame portion and the sarus link portion of FIG. 1.
4 is a diagram illustrating various shapes of an elastic hinge part in the sarus link part of FIG. 3.
5 to 8 are diagrams sequentially showing the initial position adjustment method of the ultra-precision gap sensor according to an embodiment of the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들에 대하여 상세히 설명하도록 한다. Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 초정밀 갭 센서의 초기위치 조정장치(100, 이하, 갭 센서의 초기위치 조정장치)를 도시한 도면이다. FIG. 1 is a diagram illustrating an initial position adjusting device 100 of a high precision gap sensor (hereinafter, an initial position adjusting device of a gap sensor) according to an exemplary embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 갭 센서의 초기위치 조정장치(100)는 고정단(20)에 고정되는 프레임부(110)와, 프레임부(110) 내부에 배치되는 사루스 링크부(130), 그리고 사루스 링크부(130)를 구동시키는 구동볼트(150)를 포함한다. Referring to FIG. 1, the initial position adjusting device 100 of the gap sensor may include a frame part 110 fixed to the fixed end 20, a sarus link part 130 disposed inside the frame part 110, and It includes a driving bolt 150 for driving the sarus link unit 130.

갭 센서(30)는 타겟(31) 및 프로브(32)를 포함하여 구성될 수 있다. 타겟(31) 및 프로브(32)는 갭 센서(30)에 있어 정전용량형 비접촉 변위 측정을 위해 설치되는 두 개의 극판을 의미하는 것으로 설치 위치에 따라 구분될 수 있다. The gap sensor 30 may include a target 31 and a probe 32. The target 31 and the probe 32 mean two pole plates installed in the gap sensor 30 for capacitive non-contact displacement measurement, and may be classified according to the installation position.

이하에서는, 이동물체(10)의 단부에 설치되는 극판을 타겟(31)이라 칭하고, 이동물체(10)와 대향하여 배치되는 고정단(20)에 설치되는 극판을 프로브(32)라 칭하기로 한다. 즉, 타겟(31) 및 프로브(32)는 동일 또는 유사한 부재이나, 본 명세서에서는 구분의 편의를 위하여 명칭을 달리하여 칭하기로 한다. Hereinafter, the pole plate provided at the end of the moving object 10 will be referred to as a target 31, and the pole plate provided at the fixed end 20 arranged to face the moving object 10 will be referred to as a probe 32. . That is, the target 31 and the probe 32 are the same or similar members, but in the present specification will be referred to by different names for convenience of division.

타겟(31) 및 프로브(32)의 형상 및 두께는 한정되지 않는다. 예를 들면, 타겟(31) 및 프로브(32)는 직육면체 형상으로 형성될 수 있으며, 소정 두께를 가질 수 있다. 또한, 타겟(31)의 하부면과 프로브(32)의 상부면은 평평하게 형성되어, 타겟(31)의 하부면과 프로브(32)의 상부면이 평행하도록 배치될 수 있다.The shape and thickness of the target 31 and the probe 32 are not limited. For example, the target 31 and the probe 32 may be formed in a rectangular parallelepiped shape and may have a predetermined thickness. In addition, the lower surface of the target 31 and the upper surface of the probe 32 may be formed flat, so that the lower surface of the target 31 and the upper surface of the probe 32 may be parallel to each other.

갭 센서(30)는 이동물체(10)와 고정단(20) 사이의 수직거리 내지는 수직간격을 측정하기 위한 것으로, 보다 상세하게는 이동물체(10)에 설치되는 타겟(31)의 하부면과 고정단(20)에 설치되는 프로브(32)의 상부면 사이의 수직거리 내지는 수직간격을 측정하는 역할을 수행할 수 있다. The gap sensor 30 measures a vertical distance or a vertical gap between the moving object 10 and the fixed end 20, and more specifically, the lower surface of the target 31 installed on the moving object 10. It may serve to measure the vertical distance or the vertical interval between the upper surface of the probe 32 installed in the fixed end (20).

이 때, 상기 수직거리 내지 수직간격을 이하에서는 갭(g)이라고 칭하기로 한다. 갭(g)은 측정하고자 하는 상황에 따라 조정될 수 있으며, 갭 센서의 초기위치 조정장치(100)는 이러한 갭(g)의 초기위치를 조정하는 데에 사용될 수 있다. In this case, the vertical distance to the vertical interval will hereinafter be referred to as a gap g. The gap g can be adjusted according to the situation to be measured, and the initial position adjusting device 100 of the gap sensor can be used to adjust the initial position of this gap g.

이하, 갭 센서의 초기위치 조정장치(100)의 각 구성에 대하여 설명하도록 한다. Hereinafter, each configuration of the initial position adjusting device 100 of the gap sensor will be described.

갭 센서의 초기위치 조정장치(100)는 프레임부(110), 사루스 링크부(130) 및 구동볼트(150)를 포함한다. The initial position adjusting device 100 of the gap sensor includes a frame unit 110, a SARS link unit 130, and a driving bolt 150.

프레임부(110)는 갭 센서의 초기위치 조정장치(100)의 몸체를 이루는 것으로, 상부 프레임(111) 및 하부 프레임(113)을 포함할 수 있다. 이 때, 상부 프레임(111) 및 하부 프레임(113)은 고정단(20)의 일측에 고정될 수 있다. The frame unit 110 forms a body of the initial position adjusting device 100 of the gap sensor, and may include an upper frame 111 and a lower frame 113. At this time, the upper frame 111 and the lower frame 113 may be fixed to one side of the fixed end (20).

상부 프레임(111) 및 하부 프레임(113)의 형상 및 크기는 한정되지 않는다. 예를 들어, 상부 프레임(111) 및 하부 프레임(113)은 직육면체 형상을 가지도록 형성될 수 있다. The shape and size of the upper frame 111 and the lower frame 113 is not limited. For example, the upper frame 111 and the lower frame 113 may be formed to have a rectangular parallelepiped shape.

한편, 상부 프레임(111) 및 하부 프레임(113)에는 관통공(111a)이 형성될 수 있다. 관통공(111a)은 상부 프레임(111) 및 하부 프레임(113)을 고정단(20)에 고정시키기 위해 형성되는 것으로, 상부 프레임(111)에 형성되는 관통공(111a)과 하부 프레임(113)에 형성되는 관통공(미도시)으로 구분될 수 있다. 관통공(111a)은 상부 프레임(111) 및 하부 프레임(113)의 몸체를 관통하여 형성될 수 있다. Meanwhile, through holes 111a may be formed in the upper frame 111 and the lower frame 113. The through hole 111a is formed to fix the upper frame 111 and the lower frame 113 to the fixed end 20. The through hole 111a and the lower frame 113 formed in the upper frame 111 are formed. Can be divided into through holes (not shown) formed in. The through hole 111a may be formed through the bodies of the upper frame 111 and the lower frame 113.

이 때, 고정단(20)에는 관통공(111a, 113a)에 대응하는 위치에 체결공(미도시)이 형성될 수 있다. 상기 체결공은 상부 프레임(111) 및 하부 프레임(113)을 고정단(20)에 고정시키고자 할 때, 상부 프레임(111) 및 하부 프레임(113)을 관통한 볼트 등의 체결부재를 수용하는 역할을 수행할 수 있다. In this case, a fastening hole (not shown) may be formed at a position corresponding to the through holes 111a and 113a in the fixed end 20. When the fastening hole is to fix the upper frame 111 and the lower frame 113 to the fixed end 20, the fastening hole for receiving a fastening member such as a bolt through the upper frame 111 and the lower frame 113 Can play a role.

상기 체결공은 상부 프레임(111)에 형성되는 관통공(111a)에 대응하는 위치에 형성되는 상부 체결공과, 하부 프레임(111)에 형성되는 관통공에 대응하는 위치에 형성되는 하부 체결공으로 구분될 수 있다. 상기 체결공은 고정단(20)에 드릴 등으로 구멍을 형성함으로써 형성될 수 있다. The fastening hole may be divided into an upper fastening hole formed at a position corresponding to the through hole 111a formed in the upper frame 111 and a lower fastening hole formed at a position corresponding to the through hole formed in the lower frame 111. Can be. The fastening hole may be formed by forming a hole in the fixed end 20 with a drill.

구체적으로, 상부 프레임(111)에 형성된 관통공(111a)을 고정볼트(24a)가 관통하여 고정단(20)의 상부 체결공에 결합되고, 하부 프레임(113)에 형성된 관통공을 다른 고정볼트(24b)가 관통하여 고정단(20)의 하부 체결공에 결합함으로써, 상부 프레임(111) 및 하부 프레임(113)을 고정단(20)에 고정시킬 수 있다. Specifically, the fixing bolt 24a penetrates the through hole 111a formed in the upper frame 111 to be coupled to the upper fastening hole of the fixed end 20, and the through hole formed in the lower frame 113 is fixed to another fixing bolt. The upper frame 111 and the lower frame 113 can be fixed to the fixed end 20 by passing through the lower fastening hole of the fixed end 20.

한편, 상부 프레임(111)에 형성되는 관통공(111a)은 종방향으로 타원형상을 갖도록 형성될 수 있다. 따라서, 상부 프레임(111)이 상하로 소정 간격 이동 가능하도록 고정단(20)에 고정될 수 있다. 이는 갭 센서(30)의 초기위치 조정을 위하여, 갭 센서의 초기위치 조정장치(100)에서 상부 프레임(111)을 이동시킴으로써 상부 프레임(111) 상부에 접착된 프로브(32)를 이동시키기 위함이다.
Meanwhile, the through hole 111 a formed in the upper frame 111 may be formed to have an elliptical shape in the longitudinal direction. Therefore, the upper frame 111 may be fixed to the fixed end 20 to be moved up and down a predetermined interval. This is to move the probe 32 adhered to the upper frame 111 by moving the upper frame 111 in the initial position adjusting device 100 of the gap sensor to adjust the initial position of the gap sensor 30. .

이와 관련하여, 상부 프레임(111)의 상부면은 갭 센서(30)의 프로브(32) 하부면과 접착된다. 따라서, 갭 센서의 초기위치 조정장치(100)가 움직일 때, 상부 프레임(111)에 접착된 프로브(32)가 함께 움직일 수 있다. In this regard, the upper surface of the upper frame 111 is bonded to the lower surface of the probe 32 of the gap sensor 30. Therefore, when the initial position adjusting device 100 of the gap sensor is moved, the probe 32 attached to the upper frame 111 may move together.

예를 들어, 갭 센서의 초기위치 조정장치(100)가 아래 방향으로 움직인다면, 상부 프레임(111)에 접착된 프로브(32)도 함께 아래 방향으로 움직이므로 프로브(32) 및 타겟(31) 사이의 간격이 넓어지도록 할 수 있다. For example, if the initial position adjusting device 100 of the gap sensor moves downward, the probe 32 attached to the upper frame 111 also moves downward along with the gap between the probe 32 and the target 31. The spacing of can be widened.

반대로, 갭 센서의 초기 위치 조정장치(100)가 윗 방향으로 움직인다면, 상부 프레임(11)에 접착된 프로브(32)도 함께 윗 방향으로 움직이므로 프로브(32) 및 타겟(31) 사이의 간격이 좁아지도록 할 수 있다. On the contrary, if the initial position adjusting device 100 of the gap sensor moves upward, the gap between the probe 32 and the target 31 is moved since the probe 32 attached to the upper frame 11 also moves upward. You can make this narrower.

또한, 상부 프레임(111)의 상부면은 갭 센서(30)의 프로브(32) 하부면과 소정 크기의 틸트 간격을 갖도록 접착될 수 있다. 이 때, 상기 접착은 에폭시계 접착제(33)를 이용하여 수행될 수 있다. 본 명세서에서 틸트 간격이란, 프로브(32) 하부면과 상부 프레임(111)의 상부면이 소정 크기의 경사각을 갖도록 접착될 때, 상기 경사각을 의미한다. In addition, the upper surface of the upper frame 111 may be adhered to the lower surface of the probe 32 of the gap sensor 30 to have a tilt gap of a predetermined size. At this time, the adhesion may be performed using an epoxy-based adhesive (33). In the present specification, the tilt interval means the inclination angle when the lower surface of the probe 32 and the upper surface of the upper frame 111 are bonded to have a predetermined inclination angle.

에폭시계 접착제(33)는 통상적으로 사용되는 에폭시기를 갖는 접착/점착용 합성수지제를 의미하며, 폴리아미드계 또는 나트릴고무 등을 예로 들 수 있다.The epoxy adhesive 33 means an adhesive / adhesive synthetic resin having an epoxy group which is commonly used, and examples thereof include polyamide or natryl rubber.

본 발명의 일 실시예에 따른 갭 센서의 초기위치 조정장치(100)에서는 이와 같이 상부 프레임(111) 및 프로브(32)를 소정 크기의 틸트 간격을 갖도록 접착함으로써, 갭 센서(30)의 초기위치 조정시에 가공오차 및 조립오차로 발생 가능한 틸트 오차를 상쇄시키는 것을 일 특징으로 한다.
In the initial position adjusting device 100 of the gap sensor according to an embodiment of the present invention by bonding the upper frame 111 and the probe 32 to have a tilt interval of a predetermined size, the initial position of the gap sensor 30 It is characterized by offsetting the tilt error that can occur due to machining and assembly errors during adjustment.

사루스 링크부(130)는 상부 프레임(111) 및 하부 프레임(113) 사이에 배치되어, 상부 프레임(111) 및 하부 프레임(113)을 상호 연결하는 역할을 수행한다. The SARS link unit 130 is disposed between the upper frame 111 and the lower frame 113 to serve to interconnect the upper frame 111 and the lower frame 113.

이 때, 사루스 링크부(130)는 상부 프레임(111) 및 하부 프레임(113)이 사루스 운동(Sarrus Mechanism) 가능하도록, 상부 프레임(111) 및 하부 프레임(113)을 연결할 수 있다. 이 때, 상기 사루스 운동이란 한 평면이 다른 평면과 상대적으로 운동하는 경우, 두 평면이 서로 평행을 유지하도록 상기 두 평면을 연결하는 기구에 의해 수행되는 운동을 의미한다. In this case, the SARS linker 130 may connect the upper frame 111 and the lower frame 113 to allow the upper frame 111 and the lower frame 113 to perform Sarrus Mechanism. In this case, the sarrus motion means a motion performed by a mechanism connecting the two planes so that the two planes are parallel to each other when one plane is relatively moved with the other plane.

이와 관련하여, 도 2는 사루스 링크부(130)의 개념을 도시한 도면이다. 도 2를 참조하면, 상부 프레임(111) 및 하부 프레임(113) 사이에는 사루스 링크부(130)가 형성되어 있다. In this regard, FIG. 2 is a diagram illustrating the concept of the sarus link unit 130. Referring to FIG. 2, a SARS link unit 130 is formed between the upper frame 111 and the lower frame 113.

보다 구체적으로, 사루스 링크부(130)는 제1 체인(131) 및 제2 체인(133)을 포함할 수 있다. 제1 체인(131)은 상부 프레임(111)의 하부면 일측과, 이에 대응하는 하부 프레임(113)의 상부면 일측에 종방향으로 결합할 수 있다. More specifically, the SARS link unit 130 may include a first chain 131 and a second chain 133. The first chain 131 may be longitudinally coupled to one side of the lower surface of the upper frame 111 and one side of the upper surface of the lower frame 113 corresponding thereto.

또한, 제2 체인(133)은 상부 프레임(111) 하부면의 다른 일측과, 이에 대응하는 하부 프레임(113) 상부면의 다른 일측에 종방향으로 결합될 수 있다. 예를 들어, 제1 체인(131)을 배치하고, 제1 체인(131)을 90도 만큼 회전시킨 위치에 제2 체인(133)을 배치할 수 있다. In addition, the second chain 133 may be longitudinally coupled to the other side of the lower surface of the upper frame 111 and the other side of the upper surface of the lower frame 113 corresponding thereto. For example, the first chain 131 may be disposed, and the second chain 133 may be disposed at a position where the first chain 131 is rotated by 90 degrees.

제1,2 체인(131, 133)은 회전관절(131a, 133a) 및 링크(131b, 133b)를 포함할 수 있다. 예를 들어, 제1,2 체인(131, 133)은 3개의 회전관절(131a, 133a)과, 회전관절(131a, 133a)을 연결하는 2개의 링크(131b, 133b)로 구성될 수 있다.The first and second chains 131 and 133 may include rotation joints 131a and 133a and links 131b and 133b. For example, the first and second chains 131 and 133 may include three rotation joints 131a and 133a and two links 131b and 133b connecting the rotation joints 131a and 133a.

이러한 제1,2 체인(131, 133)은 외력을 받을 경우에 회전관절(131a, 133a)의 회전에 의해 상하 방향으로 운동할 수 있다. When the first and second chains 131 and 133 are subjected to an external force, the first and second chains 131 and 133 may move in the vertical direction by the rotation of the rotation joints 131a and 133a.

예를 들어, 하부 프레임(113)이 고정되어 있는 상태에서, 상부 프레임(111) 상부면에 외력이 가해지는 경우를 상정할 수 있다. 이 경우에, 제1,2 체인(131, 133)의 회전관절(131a, 133a) 중에서 가운데 배치된 회전관절(131a, 133a)이 중앙쪽으로 이동하면서, 회전관절(131a, 133a)에 연결된 2개의 링크(131b, 133b)의 표면이 서로 가까워지도록 링크(131b, 133b)들이 움직일 수 있다. 따라서, 상부 프레임(111) 및 하부 프레임(113)의 표면이 평행을 유지하면서 가까워지도록 운동할 수 있다. For example, it may be assumed that an external force is applied to the upper surface of the upper frame 111 while the lower frame 113 is fixed. In this case, the rotary joints 131a and 133a disposed in the middle of the rotary joints 131a and 133a of the first and second chains 131 and 133 move toward the center, and are connected to the rotary joints 131a and 133a. The links 131b and 133b may move so that the surfaces of the links 131b and 133b are close to each other. Therefore, the surfaces of the upper frame 111 and the lower frame 113 can be moved closer to each other while maintaining parallelism.

반대로, 하부 프레임(113)이 고정되어 있는 상태에서, 상부 프레임(111) 하부면에 외력이 가해지는 경우를 상정할 수 있다. 이 경우에, 제1,2 체인(131, 133)의 회전관절(131a, 133a) 중에서 가운데 배치된 회전관절(131a, 133a)이 중앙 반대 방향으로 이동하면서, 회전관절(131a, 133a)에 연결된 2개의 링크(131b, 133b)의 표면이 서로 멀어지도록 링크(131b, 133b)들이 움직일 수 있다. 따라서, 상부 프레임(111) 및 하부 프레임(113)의 표면이 평행을 유지하면서 멀어지도록 운동할 수 있다.
On the contrary, it may be assumed that an external force is applied to the lower surface of the upper frame 111 in a state where the lower frame 113 is fixed. In this case, among the rotation joints 131a and 133a of the first and second chains 131 and 133, the rotation joints 131a and 133a arranged in the center move in the opposite directions to the center, and are connected to the rotation joints 131a and 133a. The links 131b and 133b may move so that the surfaces of the two links 131b and 133b are far from each other. Therefore, the surfaces of the upper frame 111 and the lower frame 113 can be moved away from each other while maintaining parallelism.

도 3은 도 1의 프레임부(110) 및 사루스 링크부(130)를 도시한 도면이다.3 is a view illustrating the frame unit 110 and the SARS link unit 130 of FIG. 1.

도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 갭 센서의 초기위치 조정장치(100)에서 사루스 링크부(130)는 제1 탄성힌지부(135) 및 제2 탄성힌지부(137)을 포함할 수 있다. 3, in the initial position adjusting device 100 of the gap sensor according to an embodiment of the present invention, the SARS link portion 130 is the first elastic hinge portion 135 and the second elastic hinge portion 137 It may include.

제1,2 탄성힌지부(135,137)는 사루스 링크부(130)에 있어, 상기에서 설명한 제1,2체인(131,133)을 대체 가능하도록 형성된 것으로, 탄성을 갖는 부재를 힌지(hinge) 구조를 갖도록 성형하여 상부 프레임(111) 및 하부 프레임(113) 사이에 연결 배치됨으로써 형성될 수 있다. The first and second elastic hinge parts 135 and 137 are formed to replace the first and second chains 131 and 133 described above in the sars link part 130 and have a hinge structure for the elastic member. It may be formed by molding to have a connection between the upper frame 111 and the lower frame 113.

보다 구체적으로, 제1 탄성힌지부(135)는 상부 프레임(111)의 하부면 일측과, 이에 대응하는 하부 프레임(113)의 상부면 일측에 종방향으로 결합할 수 있다. 또한, 제2 탄성힌지부(137)는 상부 프레임(111) 하부면의 다른 일측과, 이에 대응하는 하부 프레임(113) 상부면의 다른 일측에 종방향으로 결합될 수 있다. 예를 들어, 제1 탄성힌지부(131)를 배치하고, 제1 탄성힌지부(131)를 90도 만큼 회전시킨 위치에 제2 탄성힌지부(133)를 배치할 수 있다.More specifically, the first elastic hinge 135 may be longitudinally coupled to one side of the lower surface of the upper frame 111 and one side of the upper surface of the lower frame 113 corresponding thereto. In addition, the second elastic hinge part 137 may be longitudinally coupled to the other side of the lower surface of the upper frame 111 and the other side of the upper surface of the lower frame 113 corresponding thereto. For example, the first elastic hinge portion 131 may be disposed, and the second elastic hinge portion 133 may be disposed at a position where the first elastic hinge portion 131 is rotated by 90 degrees.

한편, 제1,2 탄성힌지부(135,137)의 형상은 한정되지 않는다. 이와 관련하여, 도 4는 도 3의 사루스 링크부(130)에서 탄성힌지부(135,137)의 다양한 형상을 도시한 도면이다. Meanwhile, the shapes of the first and second elastic hinge parts 135 and 137 are not limited. In this regard, FIG. 4 is a view illustrating various shapes of the elastic hinge parts 135 and 137 in the sars link part 130 of FIG. 3.

도 4를 참조하면, 제1,2 탄성힌지부(135,137)는 각진 형태를 갖는 사각보형으로 형성될 수 있고(도 4a), 라운드진 형태를 갖는 원형 노치형으로 형성될 수 있고(도 4b), 타원 형태를 갖는 타원형 노치형(도 4c)등 다양한 모양으로 형성될 수 있다. 이러한 제1,2 탄성힌지부(135,137)은 와이어컷 가공(WEDM, wire electric discharge machining)등의 방법으로 가공됨으로써, 형성될 수 있다.Referring to FIG. 4, the first and second elastic hinge parts 135 and 137 may be formed in a square beam shape having an angular shape (FIG. 4A), and may be formed in a circular notch shape having a round shape (FIG. 4B). , Oval notched shape having an elliptic shape (FIG. 4C) may be formed in various shapes. The first and second elastic hinge parts 135 and 137 may be formed by being processed by a method such as wire electric discharge machining (WEDM).

본 발명의 일 실시예에 따른 갭 센서의 초기위치 조정장치(100)는 상부 프레임(111) 및 하부 프레임(113)이 상술한 사루스 운동이 가능하도록, 상부 프레임(111) 및 하부 프레임(113)을 상호 연결시키는 사루스 링크부(130)를 배치함으로써, 상부 프레임(111) 및 하부 프레임(113)이 서로 평행을 유지하면서 운동 가능하도록 하는 것을 일 특징으로 한다. 이와 같이 구성함으로써, 갭 센서(30)의 프로브(32)를 타겟(31)으로부터 평행하게 이격시킬 수 있다.
The initial position adjusting device 100 of the gap sensor according to an embodiment of the present invention, the upper frame 111 and the lower frame 113, the upper frame 111 and the lower frame 113 to enable the above-described sarrus movement. By arranging the SARS link portion 130 to interconnect (), it is characterized in that the upper frame 111 and the lower frame 113 to be movable while maintaining parallel to each other. By configuring in this way, the probe 32 of the gap sensor 30 can be spaced apart from the target 31 in parallel.

다시 도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 갭 센서의 초기위치 조정장치(100)에서 구동볼트(150)는 사루스 링크부(130)를 구동시키기 위한 것으로, 하부 프레임(113)의 하부면 중앙을 수직 방향으로 관통하여 설치되고, 구동볼트(150)의 단부가 상부 프레임(111)의 상부면 중앙에 결합함으로써 위치될 수 있다. 따라서, 구동볼트(150)를 회전시키는 경우에는, 하부 프레임(111)이 고정단(20)에 고정되어 있고 구동볼트(150)의 단부가 상부 프레임(111)에 체결되어 있으므로, 상부 프레임(111)이 상하로 이동할 수 있다. Referring back to FIG. 1, in the initial position adjusting device 100 of the gap sensor according to the exemplary embodiment of the present invention, the driving bolt 150 is used to drive the SARS link unit 130, and the lower frame 113. It is installed to penetrate the center of the lower surface of the vertical direction, the end of the driving bolt 150 can be positioned by engaging the center of the upper surface of the upper frame (111). Therefore, in the case of rotating the driving bolt 150, the lower frame 111 is fixed to the fixed end 20 and the end of the driving bolt 150 is fastened to the upper frame 111, the upper frame 111 ) Can move up and down.

예를 들어, 구동볼트(150)를 제1 방향으로 회전시키면 상부 프레임(111)이 상방향으로 이동하고, 구동볼트(150)를 제2 방향으로 회전시키면 상부 프레임(111)이 하방향으로 이동할 수 있다. 이 때, 상부 프레임(111)에 접착된 프로브(32)가 상부 프레임(111)과 함께 이동하므로, 갭(g)을 조정하는 것이 가능하다.
For example, when the driving bolt 150 rotates in the first direction, the upper frame 111 moves upward, and when the driving bolt 150 rotates in the second direction, the upper frame 111 moves downward. Can be. At this time, since the probe 32 adhered to the upper frame 111 moves together with the upper frame 111, it is possible to adjust the gap g.

이하에서는, 갭 센서의 초기위치 조정방법에 대하여 설명하도록 한다. Hereinafter, an initial position adjusting method of the gap sensor will be described.

본 발명의 일 실시예 따른 갭 센서의 초기위치 조정방법은 상술한 갭 센서의 초기위치 조정장치(100)를 이용하여 수행될 수 있다. The initial position adjusting method of the gap sensor according to an embodiment of the present invention may be performed using the initial position adjusting apparatus 100 of the gap sensor described above.

이와 관련하여, 도 5 내지 도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 초정밀 갭 센서의 초기위치 조정방법을 순차적으로 도시한 도면이다. In this regard, FIGS. 5 to 8 are views sequentially showing the initial position adjusting method of the ultra-precision gap sensor according to an embodiment of the present invention.

우선, 도 5를 참조하면, 초정밀 갭 센서(30)의 타겟(31) 및 프로브(32)를 밀착시켜 배치한다. 타겟(31)은 이동물체(10)의 하부에 결합하고, 프로브(32)는 타겟(31) 하부면에 밀착시켜 배치한다. First, referring to FIG. 5, the target 31 and the probe 32 of the ultra-precision gap sensor 30 are brought into close contact with each other. The target 31 is coupled to the lower portion of the moving object 10, and the probe 32 is disposed in close contact with the lower surface of the target 31.

다음으로, 갭 센서의 초기위치 조정장치(100)에서 상부 프레임(111)의 상부면이 프로브(32) 하면과 소정크기의 틸트 간격을 갖도록 고정단(20)에 고정 배치한다. 이 때, 갭 센서의 초기위치 조정장치(100)에서 하부 프레임(113)만 고정단(20)에 고정시킨다. 고정 방법은 하부 프레임(113)에 형성된 관통공에 고정볼트(24b)를 관통시켜 고정단(20)에 형성된 체결공에 결합하는 것이다(이상, 제1 단계).Next, in the initial position adjusting device 100 of the gap sensor, the upper surface of the upper frame 111 is fixedly disposed at the fixed end 20 so as to have a tilt interval of a predetermined size with the lower surface of the probe 32. At this time, only the lower frame 113 is fixed to the fixed end 20 in the initial position adjusting device 100 of the gap sensor. The fixing method is to penetrate the fixing bolt 24b through the through hole formed in the lower frame 113 to engage the fastening hole formed in the fixed end 20 (above, the first step).

다음으로 도 6을 참조하면, 상부 프레임(111) 상면과 프로브(32) 하면을 에폭시계 접착제로 접착시킨다. 구체적으로, 상부 프레임(111) 상면 및 프로브(32) 하면 사이에 존재하는 틸트 간격에 에폭시계 접착제를 충진하여 경화시킴으로써 수행될 수 있다. 이 때, 에폭시계 접착제는 통상적으로 사용되는 것을 이용 가능하다(이상, 제2 단계). Next, referring to FIG. 6, the upper surface of the upper frame 111 and the lower surface of the probe 32 are adhered with an epoxy adhesive. Specifically, it may be performed by filling and curing an epoxy-based adhesive in the tilt gap existing between the upper surface of the upper frame 111 and the lower surface of the probe 32. At this time, an epoxy-based adhesive can be used that is commonly used (above, the second step).

다음으로 도 7을 참조하면, 구동볼트(150)를 회전시켜 상부 프레임(111)을 하방향으로 이동시킨다. 따라서, 상부 프레임(111) 상면에 접착된 프로브(32)가 함께 하방향으로 이동될 수 있다. 이 때, 상기 이동은 타겟(31) 및 프로브(32) 사이의 간격이 측정사양에 따른 갭(g)에 해당될 때까지 수행될 수 있다. 이를 위하여, 타겟(31) 및 프로브(32)의 출력전압을 모니터링 하면서, 구동볼트(150)를 세밀하게 회전시킬 수 있다. Next, referring to FIG. 7, the driving bolt 150 is rotated to move the upper frame 111 downward. Therefore, the probe 32 adhered to the upper surface of the upper frame 111 may be moved downward together. At this time, the movement may be performed until the distance between the target 31 and the probe 32 corresponds to the gap g according to the measurement specification. To this end, while driving the output voltage of the target 31 and the probe 32, the driving bolt 150 can be rotated in detail.

한편, 상부 프레임(111) 및 하부 프레임(113)을 연결하는 사루스 링크부(130)에 의해 타겟(31) 및 프로브(32) 사이의 간격은 평행을 유지한 채로 벌어질 수 있다(이상, 제3 단계).On the other hand, the gap between the target 31 and the probe 32 may be opened while maintaining parallelism by the sarus link unit 130 connecting the upper frame 111 and the lower frame 113 (above, Third step).

다음으로 도 8을 참조하면, 타겟(31) 및 프로브(32) 사이의 갭(g)을 원하는 위치로 조정한 다음에는, 상부 프레임(111)을 고정단(20)에 고정시킨다. 고정 방법은 상부 프레임(111)에 형성된 관통공(113a)에 고정볼트(24a)를 관통시켜 고정단(20)에 형성된 체결공(20a)에 결합하는 것이다(이상, 제4 단계).
Next, referring to FIG. 8, after adjusting the gap g between the target 31 and the probe 32 to a desired position, the upper frame 111 is fixed to the fixed end 20. The fixing method is to penetrate the fixing bolt 24a through the through hole 113a formed in the upper frame 111 to couple to the fastening hole 20a formed in the fixed end 20 (above, the fourth step).

상술한 바와 같이, 본 발명의 실시예들은 상부 프레임 및 하부 프레임이 사루스 운동(sarrus mechanism) 가능하도록 상호 연결시키는 사루스 링크부를 배치하여 상부 프레임 및 하부 프레임이 서로 평행을 유지하면서 운동 가능하도록 함으로써, 갭 센서의 프로브를 타겟으로부터 평행하게 이격시킬 수 있다. As described above, embodiments of the present invention are arranged by arranging a sarus link portion which interconnects the upper frame and the lower frame to enable a sarrus mechanism so that the upper frame and the lower frame can be moved while maintaining parallel to each other. The probe of the gap sensor can be spaced parallel from the target.

또한, 갭 센서의 프로브 하면과 상부 프레임을 소정 크기의 틸트 간격을 갖도록 접착함으로써, 고정볼트의 백래시, 가공오차 및 조립오차로 인한 틸트 오차를 상쇄시킬 수 있다. In addition, by bonding the probe lower surface and the upper frame of the gap sensor with a predetermined tilt interval, the tilt error due to the backlash, processing error and assembly error of the fixing bolt can be offset.

이상, 본 발명의 실시예들에 대하여 설명하였으나, 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서, 구성 요소의 부가, 변경, 삭제 또는 추가 등에 의해 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있을 것이며, 이 또한 본 발명의 권리범위 내에 포함된다고 할 것이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, many modifications and changes may be made by those skilled in the art without departing from the spirit and scope of the invention as defined in the appended claims. The present invention can be variously modified and changed by those skilled in the art, and it is also within the scope of the present invention.

10: 이동물체 20: 고정단
20a: 상부 체결공 24a, 24b: 고정볼트
30: 갭 센서 31: 타겟
32: 프로브 33: 에폭시계 접착제
g: 갭
100: 갭 센서의 초기위치 조정장치
110: 프레임부 111: 상부 프레임
113: 하부 프레임 111a: 관통공
130: 사루스 링크부 131: 제1 체인
133: 제2 체인 131a, 133a: 회전관절
131b, 133b: 링크 135: 제1 탄성힌지부
137: 제2 탄성힌지부 150: 구동볼트10: moving object 20: fixed end
20a: upper fastening hole 24a, 24b: fixing bolt
30: gap sensor 31: target
32: probe 33: epoxy adhesive
g: gap
100: initial position adjusting device of the gap sensor
110: frame portion 111: upper frame
113: lower frame 111a: through hole
130: Sarus Links 131: First Chain
133: second chain 131a, 133a: rotary joint
131b and 133b: link 135: first elastic hinge portion
137: second elastic hinge portion 150: drive bolt

Claims (6)

타겟(31) 및 프로브(32)를 포함하는 초정밀 갭 센서(30)의 초기위치를 조정하는 초정밀 갭 센서의 초기위치 조정장치(100)에 있어서,
고정단(20)에 고정되는 상부 프레임(111) 및 하부 프레임(113)을 포함하는 프레임부(110);
상기 상부 프레임(111) 및 하부 프레임(113) 사이에 배치되어, 상기 상부 프레임(111) 및 하부 프레임(113)이 사루스 운동(sarrus mechanism) 가능하도록 상호 연결시키는 사루스 링크부(130); 및
상기 하부 프레임(113)을 관통하여 상기 상부 프레임(111) 하부면에 체결되는 것으로, 상기 사루스 링크부(130)를 구동시키는 구동볼트(150)를 포함하는 초정밀 갭 센서의 초기위치 조정장치.In the initial position adjusting device 100 of the ultra-precision gap sensor for adjusting the initial position of the ultra-precision gap sensor 30 including the target 31 and the probe 32,
A frame part 110 including an upper frame 111 and a lower frame 113 fixed to the fixed end 20;
A SAR link portion 130 disposed between the upper frame 111 and the lower frame 113 to interconnect the upper frame 111 and the lower frame 113 to allow a sarrus mechanism; And
An initial position adjusting device of the ultra-precision gap sensor, which is connected to the lower surface of the upper frame 111 and penetrates the lower frame 113, and includes a driving bolt 150 for driving the sarus link unit 130. 제 1항에 있어서,
상기 상부 프레임(111)의 상면은 상기 초정밀 갭 센서(30)의 프로브(32) 하면과 소정 크기의 틸트 간격을 갖도록 접착되는 초정밀 갭 센서의 초기위치 조정장치.The method of claim 1,
The upper surface of the upper frame 111 is the initial position adjusting device of the ultra-precision gap sensor is bonded to have a tilt gap of a predetermined size with the lower surface of the probe (32) of the ultra-precision gap sensor (30). 제 2항에 있어서,
상기 상부 프레임(111) 상면 및 상기 프로브(32) 하면은 에폭시계 접착제를 이용하여 접착되는 초정밀 갭 센서의 초기위치 조정장치.The method of claim 2,
An upper position of the upper frame 111 and the lower surface of the probe (32) is the initial position adjusting device of the ultra-precision gap sensor is bonded using an epoxy-based adhesive. 제 1항에 있어서,
상기 상부 프레임(111) 및 하부 프레임(113)에는 관통공(111a, 113a)이 형성되고, 상기 관통공(111a, 113a)에 결합하는 고정볼트(24a, 24b)를 통해 상기 고정단(20)에 고정되는 초정밀 갭 센서의 초기위치 조정장치.The method of claim 1,
Through-holes 111a and 113a are formed in the upper frame 111 and the lower frame 113, and the fixed end 20 through fixing bolts 24a and 24b coupled to the through-holes 111a and 113a. Initial position adjusting device of ultra precision gap sensor fixed to 제 1항에 있어서,
상기 사루스 링크부(130)는,
상기 상부 프레임(111) 하부면 일측과, 이에 대응하는 상기 하부 프레임(113) 상부면 일측에 종방향으로 형성되는 제1 탄성힌지부(135); 및
상기 상부 프레임(111) 하부면의 다른 일측과, 이에 대응하는 상기 하부 프레임(113) 상부면의 다른 일측에 종방향으로 형성되는 제2 탄성힌지부(137)를 포함하는 초정밀 갭 센서의 초기위치 조정장치.The method of claim 1,
The sarus link unit 130,
A first elastic hinge portion 135 formed in a longitudinal direction on one side of the lower surface of the upper frame 111 and on one side of the upper surface of the lower frame 113 corresponding thereto; And
Initial position of the ultra-precision gap sensor including a second elastic hinge portion 137 formed in the longitudinal direction on the other side of the lower surface of the upper frame 111 and the other side of the upper surface of the lower frame 113 corresponding thereto. Adjuster. 제 1항 내지 제 5항 중 어느 한 항에 따른 초정밀 갭 센서의 초기위치 조정장치를 이용하는 초정밀 갭 센서의 초기위치 조정방법에 있어서,
초정밀 갭 센서(30)의 타겟(31) 및 프로브(32)를 밀착시킨 후, 상기 초정밀 갭 센서의 초기위치 조정장치(100)를 상기 프로브(32) 하면과 소정크기의 틸트 간격을 갖도록 배치하고, 상기 초정밀 갭 센서의 초기위치 조정장치(100)의 하부 프레임(113)을 고정단(20)에 고정하는 제1 단계;
상기 초정밀 갭 센서의 초기위치 조정장치(100)의 상부 프레임(111) 상면과 상기 프로브(32) 하면을 에폭시계 접착제로 접착하는 제2 단계;
상기 초정밀 갭 센서의 초기위치 조정장치(100)의 상기 구동볼트(150)를 회전시킴으로써, 상기 프로브(32)를 상기 타겟(31)으로부터 이격시켜 갭을 조정하는 제3 단계; 및
상기 초정밀 갭 센서의 초기위치 조정장치(100)의 상부 프레임(111)을 고정단(20)에 고정하는 제4 단계를 포함하는 초정밀 갭 센서의 초기위치 조정방법.
In the initial position adjustment method of the ultra-precision gap sensor using the initial position adjustment apparatus of the ultra-precision gap sensor according to any one of claims 1 to 5,
After the target 31 and the probe 32 of the ultra-precision gap sensor 30 are brought into close contact with each other, the initial position adjusting device 100 of the ultra-precision gap sensor 30 is disposed to have a tilt distance of a predetermined size from the lower surface of the probe 32. A first step of fixing the lower frame 113 of the initial position adjusting device 100 of the ultra-precision gap sensor to the fixed end 20;
Attaching an upper surface of the upper frame 111 of the initial position adjusting device 100 of the ultra-precision gap sensor and a lower surface of the probe 32 with an epoxy adhesive;
A third step of adjusting the gap by separating the probe 32 from the target 31 by rotating the driving bolt 150 of the initial position adjusting device 100 of the ultra-precision gap sensor; And
And a fourth step of fixing the upper frame (111) of the initial position adjusting device (100) of the high precision gap sensor to the fixed end (20).
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