KR20130060508A - System and method of measuring contact angle and coating condition of ink, and ink-jet printing apparatus having the same - Google Patents
System and method of measuring contact angle and coating condition of ink, and ink-jet printing apparatus having the same Download PDFInfo
- Publication number
- KR20130060508A KR20130060508A KR1020110126602A KR20110126602A KR20130060508A KR 20130060508 A KR20130060508 A KR 20130060508A KR 1020110126602 A KR1020110126602 A KR 1020110126602A KR 20110126602 A KR20110126602 A KR 20110126602A KR 20130060508 A KR20130060508 A KR 20130060508A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- ink
- substrate
- contact angle
- state
- measuring
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J29/00—Details of, or accessories for, typewriters or selective printing mechanisms not otherwise provided for
- B41J29/38—Drives, motors, controls or automatic cut-off devices for the entire printing mechanism
- B41J29/393—Devices for controlling or analysing the entire machine ; Controlling or analysing mechanical parameters involving printing of test patterns
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2/14016—Structure of bubble jet print heads
- B41J2/14032—Structure of the pressure chamber
- B41J2/1404—Geometrical characteristics
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/145—Arrangement thereof
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/165—Preventing or detecting of nozzle clogging, e.g. cleaning, capping or moistening for nozzles
- B41J2/16579—Detection means therefor, e.g. for nozzle clogging
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
- G06T7/00—Image analysis
- G06T7/60—Analysis of geometric attributes
Abstract
Description
본 발명은 잉크 접촉각 및 도포 상태 측정 시스템 및 방법, 및 이를 구비한 잉크젯 인쇄 장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE
좀 더 구체적으로, 본 발명은 잉크젯 인쇄 장치를 사용하여 잉크를 도포할 때 기판 상에 도포되는 잉크의 접촉각 및 도포 상태를 직접 측정함으로써, 기판 상에 도포되는 잉크의 접촉각 및 도포 상태를 현장에서 직접 확인할 수 있고, 그에 따라 별도의 측정 장비를 사용할 필요가 없으며, 대면적 기판의 경우 사용자가 특정 영역 별로 잉크의 접촉각 및 도포 상태의 확인이 가능하고, 잉크의 도포 조건이 맞지 않는 경우 현장에서 신속한 후속 동작을 수행할 수 있으며, 잉크의 도포 조건이 변경되는 경우에도 현장에서 신속하게 잉크의 새로운 도포 조건에 맞도록 잉크의 접촉각 및 도포 상태를 변경할 수 있고, 전체 공정 시간(tact time) 및 최종 제품의 불량 발생 가능성이 현저하게 감소되는 잉크 접촉각 및 도포 상태 측정 시스템 및 방법, 및 이를 구비한 잉크젯 인쇄 장치에 관한 것이다. More specifically, the present invention directly measures the contact angle and the application state of the ink applied onto the substrate by directly measuring the contact angle and the application state of the ink applied on the substrate when the ink is applied using the inkjet printing apparatus Therefore, it is not necessary to use a separate measuring instrument. Therefore, in the case of a large-area substrate, the user can check the contact angle and the coating state of the ink for each specific region. If the application condition of the ink is not matched, The contact angle and the application state of the ink can be changed so as to quickly adapt to the new application conditions of the ink in the field even when the application conditions of the ink are changed and the total process time (tact time) A system and method for measuring ink contact angle and application state in which the probability of occurrence of defects is significantly reduced, Keujet relates to a printing apparatus.
일반적으로, 전자회로부품, 또는 플라즈마 디스플레이 패널(PDP) 또는 액정 디스플레이 패널(LCD)과 같은 평판 디스플레이(Flat Panel Display: FPD)를 제조하기 위해서는, 예를 들어, 포토레지스트(photoresist: PR)액 또는 구리(Cu), 은(Ag), 알루미늄(Al) 등과 같은 금속 페이스트(paste)를 사용하여 글래스 표면 또는 인쇄회로기판(printed circuit board: PCB) 상에 전극(electrodes) 또는 도트(dots) 등과 같은 일정한 패턴(patterns)을 형성하여야 한다.Generally, in order to manufacture an electronic circuit component or a flat panel display (FPD) such as a plasma display panel (PDP) or a liquid crystal display panel (LCD), for example, a photoresist Such as electrodes or dots, on a glass surface or a printed circuit board (PCB) using a metal paste such as copper (Cu), silver (Ag), aluminum Constant patterns should be formed.
상술한 일정한 패턴을 형성하기 위한 방법으로는 예를 들어, 2개의 롤을 이용하여 오프셋 인쇄방식으로 일정한 패턴을 직접 패턴닝하는 방식 또는 잉크의 액적을 분출하는 잉크젯 헤드를 구비한 잉크젯 인쇄 장치를 사용하여 일정한 패턴을 직접 인쇄하는 방식이 사용되고 있다.As a method for forming the above-described constant pattern, for example, there is a method of directly patterning a certain pattern by an offset printing method using two rolls or an inkjet printing apparatus having an ink jet head for ejecting ink droplets A method of directly printing a certain pattern is used.
도 1a는 종래 기술에 따른 잉크젯 인쇄 장치의 사시도가 도시되어 있다.1A is a perspective view of an inkjet printing apparatus according to the prior art.
도 1a를 참조하면, 종래 기술에 따른 잉크젯 인쇄 장치(100)는 예를 들어, 기판(110) 상에 복수의 패턴(114)을 형성하도록 잉크를 공급하기 위한 복수의 잉크젯 헤드(120); 상기 복수의 잉크젯 헤드(120)가 장착되며, 상기 기판(110) 상에서 이동 가능한 갠트리(130); 및 상기 복수의 잉크젯 헤드(120)에 각각 연결되며, 잉크를 제공하기 위한 잉크 저장 장치(150)로 구성되어 있다. 이하에서는 종래 기술에 따른 잉크젯 인쇄 장치(100)의 동작을 상세히 기술한다.Referring to FIG. 1A, a conventional
다시 도 1a를 참조하면, 잉크젯 인쇄 장치(100)에서는 복수의 잉크젯 헤드(120)에 잉크 저장 장치(150)로부터 잉크 공급 메인 도관(main conduit: 152) 및 복수의 분기 도관(branch conduits: 152a,152b,152c,152d,...,152e)을 통해 미리 잉크가 공급된다. 잉크 공급의 시작 및 종료는 복수의 제어 밸브(156a,156b,156c,156d,...,156e)에 의해 제어된다. 잉크 저장 장치(150)의 가압력은 잉크 가압용 도관으로부터 공급되는 가압 유체(예를 들어, 공기)에 의해 제공된다. 가압 유체의 공급은 가압 유체 제어 밸브(154)에 의해 제어된다. 그 후, 복수의 잉크젯 헤드(120)가 장착된 갠트리(130)가 기판(110) 상에서 이동하면서, 기판(110) 상에 잉크를 공급하여 원하는 복수의 패턴(114)을 형성한다. 기판(110)은 기판(110)을 고정하기 위한 스테이지(112) 상에 위치되고, 스테이지(112)는 인쇄 장치 프레임(frame: 160) 상에 위치된다.Referring again to FIG. 1A, in the
도 1b는 도 1a에 도시된 종래 기술에 따른 잉크젯 인쇄 장치에 사용되는 열 잉크젯 헤드(thermal ink-jet head) 및 동작을 상세히 설명하기 위한 도면이 도시되어 있다.Fig. 1B is a view for explaining a thermal ink-jet head and operation used in the ink-jet printing apparatus according to the prior art shown in Fig. 1A in detail.
도 1b를 참조하면, 종래 기술에 따른 열 잉크젯 헤드(120)는 도 1a에 도시된 종래 기술에 따른 복수의 잉크젯 헤드(120) 중 임의의 하나의 잉크젯 헤드(120)를 예시하고 있다. 열 잉크젯 헤드(120)에서는, 히터(122)에 전압 펄스(electric power pulse)가 인가되면, 챔버(124) 내의 잉크가 순간적으로 열을 받아 팽창하여 노즐(126)을 통해 액적(droplet)(110a) 형태로 분사된다. 따라서, 도 1a에 도시된 복수의 잉크젯 헤드(120)가 각각 도 1b에 도시된 열 잉크젯 헤드(120)인 경우, 상술한 바와 같은 히터(122)의 순간적인 가열에 잉크의 액적(128)이 노즐(126)을 통해 분사되어, 원하는 복수의 패턴(114)이 형성된다.Referring to FIG. 1B, the
도 1c는 도 1a에 도시된 종래 기술에 따른 잉크젯 인쇄 장치에 사용되는 피에조 잉크젯 헤드(piezo ink-jet head) 및 동작을 상세히 설명하기 위한 도면이 도시되어 있다.Fig. 1C is a view for explaining a piezo ink-jet head and its operation for use in the ink-jet printing apparatus according to the prior art shown in Fig. 1A.
도 1c를 참조하면, 종래 기술에 따른 피에조 잉크젯 헤드(120)는 도 1a에 도시된 종래 기술에 따른 복수의 잉크젯 헤드(120) 중 임의의 하나의 잉크젯 헤드(120)를 예시하고 있다. 피에조 잉크젯 헤드(120)에서는, 압전 구동장치(driver: 123)에 의해 헤드(120)에 부착된 압전소자(121)에 변형을 가한다. 인가된 변형은 헤드(120) 내의 메니스커스(meniscus: 124)를 진동시켜서 잉크가 헤드(120)의 노즐(126)로부터 액적(128)으로 형성되어 토출된다.Referring to FIG. 1C, the
상술한 종래 기술에 따른 잉크젯 인쇄 장치(100)에서는, 복수의 잉크젯 헤드(120)에 사용되는 잉크가 통상적으로 다양한 종류의 포토레지스트(PR)액 또는 금속 페이스트(paste)(이하에서는 통칭하여 "잉크"라 합니다)이다. 또한, 잉크젯 헤드(120)의 노즐(126)은 직경이 대략 수 내지 수십 ㎛(예를 들어, 20 ㎛)의 좁은 사이즈를 구비한다.In the
상술한 바와 같은 종래 기술의 잉크젯 인쇄 장치(100)의 구체적인 구성 및 동작은 본 출원인에 의해 2008년 4월 17일자에 "잉크젯 프린팅 기능 및 검사 기능을 구비한 복합 시스템, 및 이를 구비한 잉크젯 프린팅 장치"라는 발명의 명칭으로 대한민국 특허출원 제 10-2008-0035827호로 출원되어, 2010년 10월 7일자에 등록된 대한민국 특허 제10-0987828호에 상세히 기술되어 있다. The specific structure and operation of the
한편, 상술한 바와 같은 종래 기술의 잉크젯 인쇄 장치(100)에서는, 복수의 패턴(114)이 형성하기 위해 잉크젯 헤드(120)를 이용하여 잉크를 기판(110) 상에 액정 형태로 토출시킨다. 이 경우, 잉크의 도포 상태를 확인하기 위한 방법으로 기판 상에 도포된 잉크의 접촉각을 측정하는 방법이 사용되고 있다.In the conventional
좀 더 구체적으로, 도 1d는 종래 기술에 따른 잉크의 접촉각 및 도포 상태 측정 시스템 및 방법을 개략적으로 도시한 도면이다. More specifically, FIG. 1d is a schematic view of a system and method for measuring the contact angle and the application state of ink according to the prior art.
도 1d를 참조하면, 잉크 접촉각 및 도포 상태 측정 시스템(170)에서는, 소형의 샘플 기판(sample glass: 110a)을 도 1a에 도시된 잉크젯 인쇄 장치(100)와는 별도로 제공되는 제 2 스테이지(172) 상에 위치시킨 후, 제 2 스테이지(172)의 상부에 제공되는 잉크 드롭 장치(174)를 사용하여 잉크를 토출시켜 잉크의 액적(128)을 형성한다. 그 후, 샘플 기판(110a) 상의 잉크의 액적(128)을 제 2 스테이지(172)의 측면 방향에 위치된 측정 카메라(180)로 잉크의 액적(128)을 확대하여 캡처한 잉크의 액적(128)의 이미지를 획득하고, 획득된 잉크의 액적(128)의 이미지를 개인용 컴퓨터 또는 마이크로프로세서 등으로 구현되는 제어장치(190)로 전송한다. 제어장치(190)는 잉크의 액적(128)의 이미지를 분석하여 잉크의 액적(128)의 접촉각 및 도포 높이를 측정할 수 있다. 측정된 잉크의 액적(128)의 접촉각, 및 높이와 폭(이하 "도포 상태"라 합니다)이 각각 미리 정해진 범위 내에 속하는 경우 잉크의 도포 상태가 적합한 것으로 판단하고, 도 1a에 도시된 인쇄 장치(100)를 이용하여 기판 상에 잉크를 토출하여 인쇄 동작을 실행한다.1D, in the ink contact angle and application
그러나 상술한 종래 기술의 잉크 접촉각 및 도포 상태 측정 시스템(170)을 사용하는 경우 다음과 같은 문제가 발생한다.However, when using the above-described prior art ink contact angle and coating
1. 종래 기술의 잉크 접촉각 및 도포 상태 측정 시스템(170)은 도 1a에 도시된 잉크젯 인쇄 장치(100)와는 별도로 제공되어 사용되는 장치이다. 따라서, 잉크 접촉각 및 도포 상태 측정 시스템(170)에서 사용되는 잉크 드롭 장치(174)와 도 1a에 도시된 잉크젯 인쇄 장치(100)에 사용되는 복수의 잉크젯 헤드(120)에서 각각 토출되는 잉크의 토출 조건을 동일하게 유지하기 어렵다. 따라서, 잉크 접촉각 및 도포 상태 측정 시스템(170)에 의해 측정된 잉크(128)의 접촉각 및 도포 상태와 실제 잉크젯 인쇄 장치(100)의 복수의 잉크젯 헤드(120)를 사용하여 기판(110) 상에 도출된 잉크의 접촉각 및 도포 상태가 서로 다를 수 있다. 이 경우 최종적으로 형성된 패턴(114)에 불량이 발생할 수 있다. 1. The prior art ink contact angle and application
만일, 최종적으로 형성된 패턴(114)에 불량이 발생하는 경우, 다시 잉크 접촉각 및 도포 상태 측정 시스템(170)에 사용되는 잉크 드롭 장치(174)의 잉크 토출 조건을 변경하여 도 1d를 참조하여 설명한 바와 같은 잉크의 접촉각 및 도포 상태의 측정 동작을 반복하여야 한다. If a defect is generated in the finally formed
따라서, 종래 기술에서는 잉크 도포 조건을 설정하기 위한 사전 공정에 요구되는 시간이 상당히 길어진다는 문제점을 갖는다. Therefore, in the prior art, there is a problem that the time required for the pre-process for setting the ink application condition is considerably long.
2. 또한, 종래 기술의 잉크 접촉각 및 도포 상태 측정 시스템(170)에 사용되는 샘플 기판(110a)은 소형의 기판으로 기판 전체 표면이 매우 균일하게 가공될 수 있다. 반면에, 실제 잉크젯 인쇄 장치(100)에 사용되는 기판(110)은 대형 또는 대면적 기판으로 기판 전체 표면을 균일하게 가공하기가 어렵다, 즉, 기판(110)은 샘플 기판(110a)에 비해 낮은 평탄도(flatness)를 갖는다. 따라서, 샘플 기판(110a)에서는 잉크의 접촉각 및 도포 상태가 적합한 것으로 측정되었더라도, 실제 기판(110) 상에 토출된 잉크의 접촉각 및 도포 상태는 기판(110)의 표면 상태에 따라 일부는 적합하고 일부는 부적합하게 도포되어 최종적으로 형성된 패턴(114)에 불량이 발생할 수 있다. 이러한 문제점으로 인하여 종래 기술에서는 잉크 도포 조건을 설정하기 위한 사전 공정에 요구되는 시간이 추가적으로 상당히 길어진다는 문제점을 갖는다.2. Also, the
3. 사용되는 잉크가 새로운 잉크로 변경되는 경우 또는 시간의 경과에 따라 사용되는 기판(110)의 표면 상태(평탄도)가 변경되는 새로운 기판(110)이 사용되는 경우와 같이 외부적인 조건이 변경되는 경우 종래 기술의 잉크 접촉각 및 도포 상태 측정 시스템(170)에 의한 새로운 잉크 또는 새로운 기판에 대한 새로운 접촉각의 측정이 이루어져야 한다. 그에 따라 상술한 1 및 2의 문제점이 지속적으로 발생한다.3. When an external condition is changed (for example, when a
4. 상술한 1 내지 3의 문제점으로 인하여, 기판에 불량이 발생하면 기판 상에 토출된 잉크를 세정하여 재사용하여야 한다. 또한, 최종 제품에 불량이 발생한 경우에는 고가의 최종 제품을 폐기 처분하여야 한다. 따라서, 전체 공정시간(tact time) 및 비용이 크게 증가한다.4. Due to the above-described
따라서, 상술한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 새로운 방안이 요구된다. Therefore, there is a need for a new method for solving the problems of the above-described conventional techniques.
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 잉크젯 인쇄 장치를 사용하여 잉크를 도포할 때 기판 상에 도포되는 잉크의 접촉각 및 도포 상태를 직접 측정함으로써, 기판 상에 도포되는 잉크의 접촉각 및 도포 상태를 현장에서 직접 확인할 수 있고, 그에 따라 별도의 측정 장비를 사용할 필요가 없으며, 대면적 기판의 경우 사용자가 특정 영역 별로 잉크의 접촉각 및 도포 상태의 확인이 가능하고, 잉크의 도포 조건을 현장에서 신속하게 변경할 수 있고, 전체 공정 시간(tact time) 및 최종 제품의 불량 발생 가능성이 현저하게 감소되는 잉크 접촉각 및 도포 상태 측정 시스템 및 방법, 및 이를 구비한 잉크젯 인쇄 장치를 제공하기 위한 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in order to solve the above problems and it is an object of the present invention to directly measure the contact angle and the application state of ink applied on a substrate when applying ink using an inkjet printing apparatus, It is not necessary to use a separate measuring instrument. In the case of a large-area substrate, the user can check the contact angle of the ink and the application state of ink in a specific area, And to provide an ink contact angle and application state measurement system and method in which the total process time (tact time) and the possibility of occurrence of defective end products are remarkably reduced, and an inkjet printing apparatus having the same.
본 발명의 제 1 특징에 따른 잉크의 접촉각 및 도포 상태 측정 시스템은 기판 상에 위치되며, 상기 기판 상으로 잉크의 액적을 토출하는 잉크젯 헤드; 상기 기판의 측면 상에 위치되며, 상기 잉크의 액적의 제 1 이미지를 획득하는 제 1 측정 카메라; 상기 기판 상의 복수의 위치에서 정지 또는 이동가능하며, 상기 기판 상에 도포된 복수의 잉크의 액적의 복수의 제 2 이미지를 획득하는 하나 이상의 제 2 측정 카메라; 및 상기 제 1 측정 카메라 및 상기 하나 이상의 제 2 측정 카메라로부터 각각 상기 제 1 이미지 및 상기 복수의 제 2 이미지를 전송받아 상기 잉크의 액적의 접촉각 및 도포 상태를 측정하는 제어장치를 포함하는 것을 특징으로 한다.According to a first aspect of the present invention, there is provided a system for measuring the contact angle and the coating state of an ink, comprising: an ink jet head positioned on a substrate and discharging droplets of ink onto the substrate; A first measurement camera located on a side of the substrate and obtaining a first image of a droplet of the ink; At least one second measurement camera stationary or movable at a plurality of locations on the substrate, the at least one second measuring camera acquiring a plurality of second images of droplets of a plurality of inks applied on the substrate; And a controller for receiving the first image and the plurality of second images from the first measurement camera and the at least one second measurement camera and measuring the contact angle and the application state of the liquid droplet of the ink, do.
본 발명의 제 2 특징에 따른 잉크젯 인쇄 장치는 기판 상에 복수의 패턴을 형성하도록 잉크를 공급하기 위한 복수의 잉크젯 헤드; 상기 복수의 잉크젯 헤드가 장착되며, 상기 기판 상에서 이동 가능한 갠트리; 상기 복수의 잉크젯 헤드에 각각 연결되며, 상기 복수의 잉크젯 헤드에 제공될 잉크를 저장하는 잉크 저장 장치; 상기 잉크의 액적의 접촉각 및 도포 상태를 측정하는 잉크의 접촉각 및 도포 상태 측정 시스템; 및 상기 복수의 잉크젯 헤드, 상기 갠트리, 및 상기 잉크 저장 장치의 각각의 동작을 제어하는 제어장치를 포함하는 것을 특징으로 한다.An inkjet printing apparatus according to a second aspect of the present invention includes: a plurality of inkjet heads for supplying ink to form a plurality of patterns on a substrate; A gantry on which the plurality of inkjet heads are mounted and movable on the substrate; An ink storage device connected to the plurality of inkjet heads, respectively, for storing ink to be supplied to the plurality of inkjet heads; A contact angle and ink application state measurement system for measuring the contact angle and the application state of the droplet of the ink; And a control device for controlling the operation of each of the plurality of inkjet heads, the gantry, and the ink storage device.
본 발명의 제 3 특징에 따른 잉크 접촉각 및 도포 상태 측정 방법은 a) 제 1 측정 카메라를 이용하여 잉크젯 헤드가 기판 상으로 토출하는 잉크의 액적의 제 1 이미지를 획득하고, 획득된 상기 제 1 이미지를 제어장치로 전송하는 단계; b) 상기 제어장치를 이용하여 상기 제 1 이미지로부터 상기 액적의 기준 부피를 계산하는 단계; c) 잉크젯 인쇄 장치의 복수의 잉크젯 헤드를 사용하여 복수의 패턴을 형성하도록 상기 기판 상에 잉크를 도포하는 단계; d) 하나 이상의 제 2 측정 카메라를 이용하여 상기 기판 상의 복수의 위치에서 상기 기판 상에 도포된 복수의 잉크의 액적에 대해 복수의 제 2 이미지를 획득하고, 획득된 상기 복수의 제 2 이미지를 상기 제어장치로 전송하는 단계; 및 e) 상기 제어장치를 이용하여 상기 복수의 잉크의 액적의 각각의 도포 직경을 확인하고, 상기 확인된 각각의 도포 직경 및 상기 기준 부피를 이용하여 상기 복수의 잉크의 액적의 각각의 접촉각 및 도포 높이를 계산하는 단계를 포함하되, 상기 도포 상태는 상기 도포 직경 및 상기 도포 높이인 것을 특징으로 한다.According to a third aspect of the present invention, there is provided a method for measuring an ink contact angle and an application state, comprising the steps of: a) acquiring a first image of an ink droplet ejected onto a substrate by a first measurement camera, To a control device; b) calculating a reference volume of the droplet from the first image using the control device; c) applying ink onto the substrate to form a plurality of patterns using a plurality of inkjet heads of the inkjet printing apparatus; d) acquiring a plurality of second images for a plurality of ink droplets deposited on the substrate at a plurality of locations on the substrate using one or more second measurement cameras, To a control device; And e) determining a coating diameter of each droplet of the plurality of ink droplets using the control device, and calculating a contact angle of each of the droplets of the plurality of ink droplets using the determined respective coating diameter and the reference volume, And calculating a height of the coating surface, wherein the coating condition is the coating diameter and the coating height.
본 발명의 잉크 접촉각 및 도포 상태 측정 시스템 및 방법, 및 이를 구비한 잉크젯 인쇄 장치를 사용하면 다음과 같은 효과가 달성된다.The following effects can be achieved by using the ink contact angle and application state measuring system and method of the present invention and the ink jet printing apparatus having the same.
1. 기판 상에 도포되는 잉크의 접촉각 및 도포 상태를 현장에서 직접 측정 및 확인할 수 있다. 따라서, 종래 기술과는 달리 별도의 잉크 접촉각 및 도포 상태 측정 시스템을 사용할 필요가 없다.1. The contact angle and the application state of the ink applied on the substrate can be directly measured and confirmed in the field. Thus, unlike the prior art, there is no need to use a separate ink contact angle and application state measurement system.
2. 대면적 기판의 경우 사용자가 불량 발생이 자주 일어나는 특정 영역에 대한 잉크의 접촉각 및 도포 상태의 확인이 가능하다. 또한, 불량 발생이 자주 일어나는 특정 영역의 데이터 베이스를 구축하여, 후속적으로 잉크의 접촉각 및 도포 상태를 확인하는데 사용할 수 있다.2. In the case of a large-area substrate, it is possible to check the contact angle of the ink and the application state of the ink to a specific region where the user frequently generates defects. Further, it is possible to construct a database of a specific region in which defects occur frequently, and subsequently, to check the contact angle and the application state of the ink.
3. 잉크 접촉각 및 도포 상태가 적합하지 않은 경우 현장에서 신속한 후속 동작을 수행할 수 있다. 또한, 사용되는 잉크가 새로운 잉크로 변경되거나 또는 시간 경과에 따른 기판의 표면 상태(평탄도)가 변경되어 새로운 기판이 사용되어야 하는 경우와 같이 외부적인 조건이 변경되는 경우에도 새로운 잉크 또는 새로운 기판에 대해 새로운 도포 조건에 맞도록 현장에서 새로운 잉크 또는 새로운 기판에 대한 잉크의 접촉각 및 도포 상태를 신속하게 변경할 수 있다.3. If the ink contact angle and application state are not suitable, rapid follow-up operation can be performed in the field. Further, even when the external condition is changed, such as when the ink used is changed to a new ink or when the surface state (flatness) of the substrate is changed over time and a new substrate must be used, The contact angle and the application state of the ink to the new ink or the new substrate in the field can be quickly changed to meet the new application conditions.
4. 전체 공정 시간(tact time) 및 최종 제품의 불량 발생 가능성이 현저하게 감소된다.4. The total process time (tact time) and the possibility of failure of the final product are significantly reduced.
본 발명의 추가적인 장점은 동일 또는 유사한 참조번호가 동일한 구성요소를 표시하는 첨부 도면을 참조하여 이하의 설명으로부터 명백히 이해될 수 있다.Further advantages of the present invention can be clearly understood from the following description with reference to the accompanying drawings, in which like or similar reference numerals denote like elements.
도 1a는 종래 기술에 따른 잉크젯 인쇄 장치의 사시도를 도시한 도면이다.
도 1b는 도 1a에 도시된 종래 기술에 따른 잉크젯 인쇄 장치에 사용되는 열 잉크젯 헤드(thermal ink-jet head) 및 동작을 상세히 설명하기 위한 도면이다.
도 1c는 도 1a에 도시된 종래 기술에 따른 잉크젯 인쇄 장치에 사용되는 피에조 잉크젯 헤드(piezo ink-jet head) 및 동작을 상세히 설명하기 위한 도면이 도시되어 있다.
도 1d는 종래 기술에 따른 잉크의 접촉각 및 도포 상태 측정 시스템 및 방법을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 2a는 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크의 접촉각 및 도포 상태 측정 시스템을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 2b는 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크젯 인쇄 장치의 사시도를 도시한 도면이다.
도 2c는 도 2a에 도시된 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크의 접촉각 및 도포 상태 측정 시스템에 의한 잉크의 접촉각 및 높이를 계산하는 방법을 설명하기 위해 개략적으로 도시한 도면이다.
도 2d는 도 2a에 도시된 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크의 접촉각 및 도포 상태 측정 시스템이 적용되는 기판 상의 특정 영역을 예시적으로 도시한 도면이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크 접촉각 및 도포 상태 측정 방법의 플로우차트를 도시한 도면이다.1A is a perspective view of an inkjet printing apparatus according to the related art.
FIG. 1B is a view for explaining a thermal ink-jet head and operation used in the ink-jet printing apparatus according to the prior art shown in FIG. 1A in detail.
Fig. 1C is a view for explaining a piezo ink-jet head and its operation for use in the ink-jet printing apparatus according to the prior art shown in Fig. 1A.
FIG. 1D is a view schematically showing a system and a method for measuring the contact angle and the application state of ink according to the prior art.
FIG. 2A is a view schematically showing a contact angle and an application state measuring system of ink according to an embodiment of the present invention.
2B is a perspective view of an inkjet printing apparatus according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2C is a schematic view for explaining a method of calculating the contact angle and height of ink by the contact angle and ink application state measuring system according to the embodiment of the present invention shown in FIG. 2A.
FIG. 2D is an exemplary view illustrating a specific region on a substrate to which the ink contact angle and the application state measuring system according to the embodiment of the present invention shown in FIG. 2A are applied.
3 is a flowchart showing a method of measuring an ink contact angle and an application state according to an embodiment of the present invention.
이하에서 본 발명의 실시예 및 도면을 참조하여 본 발명을 설명한다.BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, the present invention will be described with reference to embodiments and drawings of the present invention.
도 2a는 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크의 접촉각 및 도포 상태 측정 시스템을 개략적으로 도시한 도면이다.FIG. 2A is a view schematically showing a contact angle and an application state measuring system of ink according to an embodiment of the present invention.
도 2a를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크의 접촉각 및 도포 상태 측정 시스템(270)은 기판(210) 상에 위치되며, 상기 기판(210) 상으로 잉크의 액적(228)을 토출하는 잉크젯 헤드(220); 상기 기판(210)의 측면 상에 위치되며, 상기 잉크의 액적(228)의 제 1 이미지를 획득하는 제 1 측정 카메라(280); 상기 기판(210) 상의 복수의 위치에서 정지 또는 이동가능하며, 상기 기판(210) 상에 도포된 복수의 잉크의 액적(228)의 복수의 제 2 이미지를 획득하는 하나 이상의 제 2 측정 카메라(282); 및 상기 제 1 측정 카메라(280) 및 상기 하나 이상의 제 2 측정 카메라(282)로부터 각각 상기 제 1 이미지 및 상기 복수의 제 2 이미지를 전송받아 상기 잉크의 액적(228)의 접촉각(θ) 및 도포 상태를 측정하는 제어장치(290)를 포함한다. 여기서, 제어장치(290)는 개인용 컴퓨터 또는 마이크로프로세서 등으로 구현될 수 있다. 또한, 잉크젯 헤드(220)는 후술하는 도 2b에 도시된 복수의 잉크젯 헤드(220) 중 어느 하나가 사용될 수 있다.2A, an ink contact angle and application
또한, 도 2b는 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크젯 인쇄 장치의 사시도를 도시한 도면이다.2B is a perspective view of an inkjet printing apparatus according to an embodiment of the present invention.
도 2b를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크젯 인쇄 장치(200)는 도 2a에 도시된 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크의 접촉각 및 도포 상태 측정 시스템(270)을 구비한다는 점을 제외하고는 도 1a에 도시된 종래 기술의 잉크젯 인쇄 장치(100)와 실질적으로 동일하다는 점에 유의하여야 한다.Referring to FIG. 2B, the
다시 도 2b를 도 2a와 함께 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크젯 인쇄 장치(200)는 기판(210) 상에 복수의 패턴(214)을 형성하도록 잉크를 공급하기 위한 복수의 잉크젯 헤드(220); 상기 복수의 잉크젯 헤드(220)가 장착되며, 상기 기판(210) 상에서 이동 가능한 갠트리(230); 상기 복수의 잉크젯 헤드(220)에 각각 연결되며, 상기 복수의 잉크젯 헤드(220)에 제공될 잉크를 저장하는 잉크 저장 장치(250); 상기 잉크의 액적(228)의 접촉각(θ) 및 도포 상태를 측정하는 잉크의 접촉각 및 도포 상태 측정 시스템(270); 및 상기 복수의 잉크젯 헤드(220), 상기 갠트리(230), 및 상기 잉크 저장 장치(250)의 각각의 동작을 제어하는 제어장치(290)를 포함한다. 여기서, 잉크의 접촉각 및 도포 상태 측정 시스템(270)은 도 2a에 도시된 잉크의 접촉각 및 도포 상태 측정 시스템(270)으로 구현되며, 이 경우 제어장치(290)는 측정 시스템(270)을 구성하는 제어장치(290)이다.Referring again to FIG. 2B, an
도 2c는 도 2a에 도시된 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크의 접촉각 및 도포 상태 측정 시스템에 의한 잉크의 접촉각 및 높이를 계산하는 방법을 설명하기 위해 개략적으로 도시한 도면이다.FIG. 2C is a schematic view for explaining a method of calculating the contact angle and height of ink by the contact angle and ink application state measuring system according to the embodiment of the present invention shown in FIG. 2A.
이하에서는 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크의 접촉각 및 도포 상태 측정 시스템(270)의 구체적인 구성 및 동작을 상세히 기술한다.Hereinafter, the specific configuration and operation of the ink contact angle and application
도 2a 내지 도 2c를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크의 접촉각 및 도포 상태 측정 시스템(270)에서는 잉크젯 헤드(220)가 기판(210) 상으로 잉크의 액적(228)을 토출하면, 기판(210)의 측면 상에 위치된 제 1 측정 카메라(280)가 잉크의 액적(228)의 제 1 이미지(228a)를 획득한다. 이러한 제 1 이미지(228a)는 잉크의 액적(228)을 확대하여 캡처한 이미지이다. 그 후, 제 1 측정 카메라(280)는 제 1 이미지(228a)를 제어장치(290)로 전송한다. 그 후, 제어장치(290)는 제 1 이미지(228a)로부터 잉크의 액적(228)의 직경(2r)을 확인하여 액적(228)의 부피(V1) = (4/3)πr3을 계산한다. 여기서, 부피(V1)를 기준 부피(reference volume: RV)로 지칭하기로 한다.Referring to FIGS. 2A to 2C, in the ink contact angle and ink application
그 후, 도 2b에 도시된 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크젯 인쇄 장치(200)의 복수의 잉크젯 헤드(220)를 사용하여 복수의 패턴(214)을 형성하도록 기판(210) 상에 잉크를 도포한다. 그 후, 하나 이상의 제 2 측정 카메라(282)가 복수의 위치(A,B,C,D)에서 각각 기판(210) 상에 도포된 복수의 잉크의 액적(228)에 대해 복수의 제 2 이미지(282a)를 획득한다. 여기서 복수의 제 2 이미지(282a)는 수의 잉크의 액적(228)을 확대하여 캡처한 이미지이다.Thereafter, ink is ejected onto the
한편, 예를 들어 하나 이상의 제 2 측정 카메라(282)가 하나의 제 2 측정 카메라인 경우에는 위치(A)에서 시작하여 위치(B),위치(C), 및 위치(D)로 순차적으로 이동하면서 4개의 제 2 이미지(282a)를 획득할 수 있다. 또한, 하나 이상의 제 2 측정 카메라(282)가 도 2c에 도시된 4개의 위치(A,B,C,D)에 각각 위치된 4개의 제 2 측정 카메라인 경우에는 4개의 제 2 측정 카메라가 4개의 위치(A,B,C,D)에서 정지된 상태로 제공되어 4개의 제 2 이미지(282a)를 동시에 획득할 수도 있다. 여기서, 도 2c에 도시된 실시예에서는 복수의 위치(A,B,C,D)가 4개의 위치인 것으로 예시적으로 도시되어 있지만, 당업자라면 복수의 위치(A,B,C,D)가 사용자에 의해 임의로 선택될 수 있다는 것을 충분히 이해할 수 있을 것이다.On the other hand, for example, when the one or more
또한, 잉크의 액적(228)은 실제로는 매우 미세한 크기를 가지므로, 도 2c의 최하부 그림에서 알 수 있는 바와 같이 기판(210)의 표면 상에 부분구(partial sphere)를 형성하는 것으로 간주될 수 있다. 이러한 방식으로 획득된 복수의 제 2 이미지(282a)는 제어장치(290)로 전송된다. 그 후, 제어장치(290)는 제 2 이미지(228b)로부터 잉크의 액적(228)의 부분구의 도포 직경(2D)을 확인한다. 그 후, 기판(210) 상에 도포된 액적(228)의 부분구를 포함한 가상의 구(S)로부터 액적(228)의 부피(V2) =(1/3)π(2R3 - 3R2a+ a3)로 주어진다. 이 때 a = (R2 - D2)1/2이므로, 액적(228)의 부피(V2) =(1/3)π(2R3 - 3R2(R2 - D2)1/2 + (R2 - D2)3/2로 주어진다. 그 후, 기판(210) 상에 도포되기 전의 잉크의 액적(228)의 부피(V1) = 기판(210) 상에 도포된 액적(228)의 부피(V2)의 조건으로부터, (4/3)πr3 = (1/3)π(2R3 - 3R2(R2 - D2)1/2 + (R2 -D2)3/2이 성립하고, 제어장치(290)는 양변에서 측정된 r 및 D의 값을 대입하면 미지수 R을 계산할 수 있다. 또한, 제어장치(290)는 계산된 R값을 이용하여 a = (R2 - D2)1/2의 식 및 H= (R- a)의 식으로부터 a값 및 H값을 각각 계산한다. 그 후, 결과 제어장치(290)는 tanθ = D/a의 식으로부터 접촉각(θ)을 계산한다. 이러한 방식으로, 제어장치(290)는 제 1 측정 카메라(280)로부터 획득된 제 1 이미지(228a) 및 하나 이상의 제 2 측정 카메라(282)로부터 획득된 복수의 제 2 이미지(228b)로부터 접촉각(θ) 및 액적(228)의 도포 높이(H)를 계산할 수 있다. 여기서, 제 2 측정 카메라(282)에 의해 측정된 액적(228)의 도포 직경(2D) 및 제어장치(290)에 의해 계산된 도포 높이(H)가 액적(228)의 도포 상태를 나타낸다. 또한, 상술한 바와 같이 제어장치(290)에 의한 액적(228)의 접촉각(θ) 및 도포 높이(H)의 계산은 제어장치(290)에 미리 저장된 계산 프로그램에 의해 수행될 수 있다.In addition, since the
상술한 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크의 접촉각 및 도포 상태 측정 시스템(270)을 사용하면 도 2b에 도시된 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크젯 인쇄 장치(200)의 잉크젯 헤드(220)로부터 기판(210) 상으로 토출되어 도포되는 잉크의 액적(228)의 접촉각(θ) 및 도포 상태(즉, 도포 직경(2D) 및 도포 높이(H))를 측정할 수 있다. As described above, by using the ink contact angle and the ink application
상술한 방식으로 측정된 잉크의 액적(228)의 접촉각(θ) 및 도포 상태가 미리 정해진 기준 접촉각 및 기준 도포 상태(즉, 미리 정해진 기준 도포 직경 및 기준 도포 높이)의 허용 가능한 오차 범위 내에 있는 경우 기판(210)의 잉크 도포가 적합한 것으로 판단한다. 그 후, 후속적으로 공급된 제 2 기판(210)에 대해 도 2b에 도시된 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크젯 인쇄 장치(200)의 복수의 잉크젯 헤드(220)를 사용하여 복수의 패턴(214)을 형성하도록 제 2 기판(210) 상에 잉크를 도포한다. 그 후, 상술한 바와 같이 하나 이상의 제 2 측정 카메라(282)를 이용하여 복수의 위치(A,B,C,D)에서 획득된 복수의 잉크의 액적(228)의 에 대한 복수의 제 2 이미지(282a)로부터 상술한 바와 같이 제 2 기판(210)에 대한 잉크의 액적(228)의 접촉각(θ) 및 도포 상태를 측정할 수 있다. 이러한 방식으로 후속적으로 공급되는 기판(210)에 대해 지속적으로 잉크의 액적(228)의 접촉각(θ) 및 도포 상태를 측정하여 기판(210)의 잉크 도포의 적합 여부를 판단할 수 있다.When the contact angle [theta] and the application state of the
한편, 측정된 잉크의 액적(228)의 접촉각(θ) 및 도포 상태가 미리 정해진 기준 접촉각 및 기준 도포 상태의 허용 가능한 오차 범위를 벗어나는 경우 기판(210)의 잉크 도포가 부적합한 것으로 판단하고, 신속하게 후속 동작(예를 들어 부적합한 기판(210)을 세정한 후 재사용하거나, 또는 부적합한 기판(210)을 세정하는 동안 새로운 기판(210)을 투입하고, 세정된 기판(210)을 사후적으로 재사용하는 경우 등)을 수행할 수 있다.On the other hand, when the contact angle [theta] of the
또한, 사용 중인 잉크가 변경되거나 또는 시간이 경과에 따른 기판(210)의 표면 상태(평탄도)가 변경되는 경우와 같이 외부적인 조건이 변경되는 경우에도 상술한 바와 같은 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크의 접촉각 및 도포 상태 측정 시스템(270)을 사용하여 잉크의 새로운 도포 조건에 맞도록 잉크의 액적의 접촉각(θ) 및 도포 상태를 현장에서 신속하게 변경할 수 있다.Further, even when the external condition is changed, such as when the ink being used is changed or when the surface state (flatness) of the
도 2d는 도 2a에 도시된 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크의 접촉각 및 도포 상태 측정 시스템이 적용되는 기판 상의 특정 영역을 예시적으로 도시한 도면이다. FIG. 2D is an exemplary view illustrating a specific region on a substrate to which the ink contact angle and the application state measuring system according to the embodiment of the present invention shown in FIG. 2A are applied.
도 2d를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크의 접촉각 및 도포 상태 측정 시스템(270)은 예를 들어 기판(210)을 4개의 영역(A,B,C,D)으로 분할하여 각각의 영역에서 하나 이상의 도포 잉크의 액적(228)에 대한 접촉각 및 도포 상태를 측정할 수 있다. Referring to FIG. 2D, the ink contact angle and coating
또한, 기판(210)을 내측 영역(I) 및 외측 영역(O)으로 분할하여 잉크의 액적(228)에 대한 접촉각 및 도포 상태를 측정할 수 있다. 이 경우, 내측 영역(I) 내의 잉크의 액적(228)에 대한 접촉각 및 도포 상태가 부적합한 경우가 자주 발생하면, 이러한 내측 영역(I) 내에서 잉크의 액적(228)에 대한 접촉각 및 도포 상태를 제어장치(270)의 데이터 베이스로 구축하여 후속적으로 잉크의 접촉각 및 도포 상태를 확인하는데 사용할 수 있다. 그에 따라, 후속 기판(210)에 대해서는 내측 영역(I) 내의 잉크의 액적(228)에 대한 접촉각 및 도포 상태만을 측정할 수도 있다.In addition, the
상술한 바와 같이, 도 2d의 실시예에서는 기판(210)을 4개의 영역(A,B,C,D) 또는 내측 영역(I) 및 외측 영역(O)으로 분할하는 것은 예시적인 것으로, 당업자라면 이러한 기판(210)의 영역 분할은 사용자에 의해 임의로 선택될 수 있다는 것을 충분이 이해할 수 있을 것이다.As described above, in the embodiment of FIG. 2 (d), dividing the
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크 접촉각 및 도포 상태 측정 방법의 플로우차트를 도시한 도면이다.3 is a flowchart showing a method of measuring an ink contact angle and an application state according to an embodiment of the present invention.
도 3을 도 2a 내지 도 2d와 함께 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크 접촉각 및 도포 상태 측정 방법(300)은 a) 제 1 측정 카메라(280)를 이용하여 잉크젯 헤드(220)가 기판(210) 상으로 토출하는 잉크의 액적(228)의 제 1 이미지(228a)를 획득하고, 획득된 상기 제 1 이미지(228a)를 제어장치(290)로 전송하는 단계(310); b) 상기 제어장치(290)를 이용하여 상기 제 1 이미지(228a)로부터 상기 액적(228)의 기준 부피(RV)를 계산하는 단계(320); c) 잉크젯 인쇄 장치(200)의 복수의 잉크젯 헤드(220)를 사용하여 복수의 패턴(214)을 형성하도록 상기 기판(210) 상에 잉크를 도포하는 단계(330); d) 하나 이상의 제 2 측정 카메라(282)를 이용하여 상기 기판(210) 상의 복수의 위치에서 상기 기판(210) 상에 도포된 복수의 잉크의 액적(228)에 대해 복수의 제 2 이미지(282a)를 획득하고, 획득된 상기 복수의 제 2 이미지(282a)를 상기 제어장치(290)로 전송하는 단계(340); 및 e) 상기 제어장치(290)를 이용하여 상기 복수의 잉크의 액적(228)의 각각의 도포 직경(2D)을 확인하고, 상기 확인된 각각의 도포 직경(2D) 및 상기 기준 부피(RV)를 이용하여 상기 복수의 잉크의 액적(228)의 각각의 접촉각(θ) 및 도포 높이(H)를 계산하는 단계(350)를 포함하되, 상기 도포 상태는 상기 도포 직경(2D) 및 상기 도포 높이(H)인 것을 특징으로 한다.Referring to FIG. 3 together with FIGS. 2A through 2D, an ink contact angle and application
상술한 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크 접촉각 및 도포 상태 측정 방법(300)은 f) 상기 각각의 접촉각(θ) 및 상기 도포 상태가 미리 정해진 기준 접촉각 및 기준 도포 상태의 허용 가능한 오차 범위 내에 있는 경우 상기 기판(210)의 상기 잉크의 도포가 적합한 것으로 판단하는 단계를 추가로 포함한다.The
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크 접촉각 및 도포 상태 측정 방법(300)은 g) 후속적으로 공급되는 기판에 대해 상기 c) 단계 내지 상기 f) 단계를 반복하는 단계를 추가로 포함한다.Also, the
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크 접촉각 및 도포 상태 측정 방법(300)은 f1) 상기 f) 단계에서 상기 각각의 접촉각(θ) 및 상기 도포 상태가 미리 정해진 기준 접촉각 및 기준 도포 상태의 허용 가능한 오차 범위를 벗어난 경우, 상기 기판(210)의 상기 잉크의 도포가 부적합한 것으로 판단하고 상기 기판(210)에 대한 후속 동작을 수행하는 단계를 추가로 포함할 수 있다. The
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크 접촉각 및 도포 상태 측정 방법(300)은 상기 잉크가 새로운 잉크로 변경되거나 또는 시간 경과에 따라 상기 기판(210)의 표면 상태가 변경되어 새로운 기판이 사용되는 경우, 상기 새로운 잉크 또는 상기 새로운 기판에 대해 상기 a) 단계 내지 상기 e) 단계를 수행하여 새로운 접촉각 및 새로운 도포 상태를 측정할 수 있다. In addition, the
상술한 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크 접촉각 및 도포 상태 측정 방법(300)에서 상기 접촉각(θ) 및 상기 도포 높이(H)의 계산은 상기 제어장치(290)에 미리 저장된 계산 프로그램에 의해 수행된다.The calculation of the contact angle? And the application height H in the ink contact angle and application
상술한 바와 같이, 본 발명에서는 기판 상에 도포되는 잉크의 접촉각 및 도포 상태가 현장에서 직접 측정 및 확인되고, 불량 발생이 자주 일어나는 특정 영역에 대한 구축된 데이터 베이스를 해당 특정 영역에 대해 후속적으로 잉크의 접촉각 및 도포 상태를 확인하는데 사용할 수 있으며, 잉크 접촉각 및 도포 상태가 적합하지 않은 경우 현장에서 신속한 후속 동작을 수행할 수 있고, 사용되는 잉크의 변경 또는 시간 경과에 따른 기판의 표면 상태의 변경과 같은 외부적인 조건이 변경되는 경우에도 새로운 잉크 또는 새로운 기판에 대한 새로운 도포 조건에 맞도록 현장에서 잉크의 접촉각 및 도포 상태를 신속하게 변경할 수 있으며, 전체 공정 시간(tact time) 및 최종 제품의 불량 발생 가능성이 현저하게 감소되는 효과가 달성된다.As described above, in the present invention, the contact angle and the application state of the ink applied on the substrate are directly measured and confirmed in the field, and the constructed database for the specific region where the occurrence of defects frequently occurs is subsequently Can be used to confirm the contact angle and the application state of the ink, and can perform rapid subsequent operation in the field when the ink contact angle and the application state are inappropriate, and can change the ink used or change the surface state of the substrate with time It is possible to quickly change the contact angle and application state of the ink in the field so as to meet the new application conditions for the new ink or the new substrate, and the total process time (tact time) An effect that the occurrence possibility is remarkably reduced is achieved.
다양한 변형예가 본 발명의 범위를 벗어남이 없이 본 명세서에 기술되고 예시된 구성 및 방법으로 만들어질 수 있으므로, 상기 상세한 설명에 포함되거나 첨부 도면에 도시된 모든 사항은 예시적인 것으로 본 발명을 제한하기 위한 것이 아니다. 따라서, 본 발명의 범위는 상술한 예시적인 실시예에 의해 제한되지 않으며, 이하의 청구범위 및 그 균등물에 따라서만 정해져야 한다.Various modifications may be made by those skilled in the art without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the following claims. It is not. Accordingly, the scope of the present invention should not be limited by the above-described exemplary embodiments, but should be determined only in accordance with the following claims and their equivalents.
100,200: 잉크젯 인쇄 장치 110,210: 기판 110a: 샘플 기판
120,220: 잉크젯 헤드 112,172,212: 스테이지
114,214: 패턴 121: 압전소자 122: 히터
123: 압전 구동장치 124: 챔버/메니스커스 126: 노즐
128,228: 액적 130.230: 갠트리 150,250: 잉크 저장 장치
152,252: 메인 도관 152a,152b,152c,152d,152e: 분기 도관
154,156a,156b,156c,156d,156e: 제어 밸브
160,260: 프레임 170,270: 접촉각 및 도포 상태 측정 시스템
174: 잉크 드롭 장치 180,182: 측정 카메라
190,290: 제어장치 228a,228b: 이미지100, 200:
120, 220: inkjet heads 112, 172,
114, 214
123: Piezoelectric drive device 124: Chamber / meniscus 126: Nozzle
128, 228: droplet 130.230:
152, 252:
154, 156a, 156b, 156c, 156d, 156e:
160, 260:
174: ink drop device 180,182: measuring camera
190,290:
Claims (16)
기판 상에 위치되며, 상기 기판 상으로 잉크의 액적을 토출하는 잉크젯 헤드;
상기 기판의 측면 상에 위치되며, 상기 잉크의 액적의 제 1 이미지를 획득하는 제 1 측정 카메라;
상기 기판 상의 복수의 위치에서 정지 또는 이동가능하며, 상기 기판 상에 도포된 복수의 잉크의 액적의 복수의 제 2 이미지를 획득하는 하나 이상의 제 2 측정 카메라; 및
상기 제 1 측정 카메라 및 상기 하나 이상의 제 2 측정 카메라로부터 각각 상기 제 1 이미지 및 상기 복수의 제 2 이미지를 전송받아 상기 잉크의 액적의 접촉각 및 도포 상태를 측정하는 제어장치
를 포함하는 잉크의 접촉각 및 도포 상태 측정 시스템.In a contact angle and ink application state measuring system of ink,
An ink jet head positioned on the substrate and discharging droplets of the ink onto the substrate;
A first measurement camera located on a side of the substrate and obtaining a first image of a droplet of the ink;
At least one second measurement camera that is stationary or movable at a plurality of locations on the substrate and that acquires a plurality of second images of droplets of a plurality of ink applied onto the substrate; And
A control device for receiving the first image and the plurality of second images from the first measurement camera and the at least one second measurement camera and measuring the contact angle and the application state of the liquid droplet of the ink,
Contact angle and coating state measurement system of the ink comprising a.
상기 하나 이상의 제 2 측정 카메라는 상기 복수의 위치에서 이동하는 하나의 제 2 측정 카메라로 구현되거나 또는 상기 복수의 위치에서 정지된 상태로 제공되는 복수의 제 2 측정 카메라로 구현되는 잉크의 접촉각 및 도포 상태 측정 시스템.The method of claim 1,
Wherein the at least one second measurement camera is implemented with a second measurement camera moving at the plurality of positions or with a plurality of second measurement cameras provided in a stationary state at the plurality of positions, State measurement system.
상기 제어장치는 상기 제 1 이미지로부터 상기 잉크의 액적의 기준 부피를 계산하고,
상기 제어장치는 상기 제 2 이미지로부터 상기 액적의 도포 직경을 확인하고, 또한 상기 도포 직경과 상기 기준 부피로부터 상기 액적의 접촉각 및 도포 높이를 계산하는
잉크의 접촉각 및 도포 상태 측정 시스템.The method of claim 1,
Wherein the controller calculates a reference volume of droplets of the ink from the first image,
The control device checks the coating diameter of the droplet from the second image and also calculates the contact angle and the coating height of the droplet from the coating diameter and the reference volume
The contact angle and application state measurement system of ink.
상기 접촉각 및 상기 도포 높이의 계산은 상기 제어장치에 미리 저장된 계산 프로그램에 의해 수행되는 잉크의 접촉각 및 도포 상태 측정 시스템.The method of claim 3, wherein
Wherein the calculation of the contact angle and the application height is performed by a calculation program previously stored in the control device.
기판 상에 복수의 패턴을 형성하도록 잉크를 공급하기 위한 복수의 잉크젯 헤드;
상기 복수의 잉크젯 헤드가 장착되며, 상기 기판 상에서 이동 가능한 갠트리;
상기 복수의 잉크젯 헤드에 각각 연결되며, 상기 복수의 잉크젯 헤드에 제공될 잉크를 저장하는 잉크 저장 장치;
상기 잉크의 액적의 접촉각 및 도포 상태를 측정하는 잉크의 접촉각 및 도포 상태 측정 시스템; 및
상기 복수의 잉크젯 헤드, 상기 갠트리, 및 상기 잉크 저장 장치의 각각의 동작을 제어하는 제어장치
를 포함하는 잉크젯 인쇄 장치.In an inkjet printing apparatus,
A plurality of inkjet heads for supplying ink to form a plurality of patterns on a substrate;
A gantry on which the plurality of inkjet heads are mounted and movable on the substrate;
An ink storage device connected to the plurality of inkjet heads, respectively, for storing ink to be supplied to the plurality of inkjet heads;
A contact angle and ink application state measurement system for measuring the contact angle and the application state of the droplet of the ink; And
A control device for controlling the operation of each of the plurality of inkjet heads, the gantry,
Inkjet printing apparatus comprising a.
상기 잉크의 접촉각 및 도포 상태 측정 시스템은
상기 복수의 잉크젯 헤드 중 어느 하나의 잉크젯 헤드;
상기 기판의 측면 상에 위치되며, 상기 잉크의 액적의 제 1 이미지를 획득하는 제 1 측정 카메라;
상기 기판 상의 복수의 위치에서 정지 또는 이동가능하며, 상기 기판 상에 도포된 복수의 잉크의 액적의 복수의 제 2 이미지를 획득하는 하나 이상의 제 2 측정 카메라; 및
상기 제어장치
로 구성되고,
상기 제어장치는 상기 제 1 측정 카메라 및 상기 하나 이상의 제 2 측정 카메라로부터 각각 상기 제 1 이미지 및 상기 복수의 제 2 이미지를 전송받아 상기 접촉각 및 상기 도포 상태를 측정하는
잉크젯 인쇄 장치.6. The method of claim 5,
The contact angle and the application state measurement system of the ink
One of the plurality of inkjet heads;
A first measurement camera located on a side of the substrate and obtaining a first image of a droplet of the ink;
At least one second measurement camera that is stationary or movable at a plurality of locations on the substrate and that acquires a plurality of second images of droplets of a plurality of ink applied onto the substrate; And
The control device
≪ / RTI >
The controller is configured to receive the first image and the plurality of second images from the first measuring camera and the at least one second measuring camera, respectively, to measure the contact angle and the coating state.
Inkjet printing apparatus.
상기 하나 이상의 제 2 측정 카메라는 상기 복수의 위치에서 이동하는 하나의 제 2 측정 카메라로 구현되거나 또는 상기 복수의 위치에서 정지된 상태로 제공되는 복수의 제 2 측정 카메라로 구현되는 잉크젯 인쇄 장치.The method according to claim 6,
Wherein the at least one second measurement camera is implemented with a second measurement camera moving at the plurality of positions or with a plurality of second measurement cameras being provided in a stationary state at the plurality of positions.
상기 제어장치는 상기 제 1 이미지로부터 상기 잉크의 액적의 기준 부피를 계산하고,
상기 제어장치는 상기 제 2 이미지로부터 상기 액적의 도포 직경을 확인하고, 또한 상기 도포 직경과 상기 기준 부피로부터 상기 액적의 접촉각 및 도포 높이를 계산하는
잉크젯 인쇄 장치.The method according to claim 6,
Wherein the controller calculates a reference volume of droplets of the ink from the first image,
The control device checks the coating diameter of the droplet from the second image and also calculates the contact angle and the coating height of the droplet from the coating diameter and the reference volume
Inkjet printing apparatus.
상기 접촉각 및 상기 도포 높이의 계산은 상기 제어장치에 미리 저장된 계산 프로그램에 의해 수행되는 잉크젯 인쇄 장치.The method of claim 8,
Wherein the calculation of the contact angle and the application height is performed by a calculation program previously stored in the control device.
상기 잉크가 새로운 잉크로 변경되거나 또는 시간 경과에 따른 상기 기판의 표면 상태가 변경되어 새로운 기판이 사용되는 경우, 상기 잉크의 접촉각 및 도포 상태 측정 시스템을 사용하여 상기 새로운 잉크 또는 상기 새로운 기판에 대해 새로운 접촉각 및 새로운 도포 상태를 변경하는 잉크젯 인쇄 장치.The method according to any one of claims 5 to 9,
When the ink is changed to a new ink or when the surface state of the substrate is changed over time so that a new substrate is used, a new ink or a new substrate for the new substrate is used by using the contact angle and application state measuring system of the ink. Inkjet printing apparatus for changing the contact angle and new application state.
a) 제 1 측정 카메라를 이용하여 잉크젯 헤드가 기판 상으로 토출하는 잉크의 액적의 제 1 이미지를 획득하고, 획득된 상기 제 1 이미지를 제어장치로 전송하는 단계;
b) 상기 제어장치를 이용하여 상기 제 1 이미지로부터 상기 액적의 기준 부피를 계산하는 단계;
c) 잉크젯 인쇄 장치의 복수의 잉크젯 헤드를 사용하여 복수의 패턴을 형성하도록 상기 기판 상에 잉크를 도포하는 단계;
d) 하나 이상의 제 2 측정 카메라를 이용하여 상기 기판 상의 복수의 위치에서 상기 기판 상에 도포된 복수의 잉크의 액적에 대해 복수의 제 2 이미지를 획득하고, 획득된 상기 복수의 제 2 이미지를 상기 제어장치로 전송하는 단계; 및
e) 상기 제어장치를 이용하여 상기 복수의 잉크의 액적의 각각의 도포 직경을 확인하고, 상기 확인된 각각의 도포 직경 및 상기 기준 부피를 이용하여 상기 복수의 잉크의 액적의 각각의 접촉각 및 도포 높이를 계산하는 단계
를 포함하되,
상기 도포 상태는 상기 도포 직경 및 상기 도포 높이인
잉크 접촉각 및 도포 상태 측정 방법. A method for measuring an ink contact angle and a coating state,
a) obtaining a first image of an ink droplet ejected onto a substrate by the inkjet head using a first measurement camera, and transmitting the obtained first image to a control device;
b) calculating a reference volume of the droplet from the first image using the control device;
c) applying ink onto the substrate to form a plurality of patterns using a plurality of inkjet heads of the inkjet printing apparatus;
d) acquiring a plurality of second images for a plurality of ink droplets deposited on the substrate at a plurality of locations on the substrate using one or more second measurement cameras, To a control device; And
e) determining a coating diameter of each droplet of the plurality of ink droplets using the control device, calculating a contact angle of each of the droplets of the plurality of ink droplets using the determined respective coating diameter and the reference volume, ≪ / RTI >
Including but not limited to:
The applied state is the coating diameter and the applied height
Method of measuring ink contact angle and application state.
상기 잉크 접촉각 및 도포 상태 측정 방법은 f) 상기 각각의 접촉각 및 상기 도포 상태가 미리 정해진 기준 접촉각 및 기준 도포 상태의 허용 가능한 오차 범위 내에 있는 경우 상기 기판 상의 상기 잉크의 도포가 적합한 것으로 판단하는 단계를 추가로 포함하는 잉크 접촉각 및 도포 상태 측정 방법.12. The method of claim 11,
The method comprising the steps of: f) determining that application of the ink on the substrate is appropriate when each of the contact angles and the application state is within an allowable error range of a predetermined reference contact angle and a reference application state, Further comprising an ink contact angle and a method for measuring the applied state.
상기 잉크 접촉각 및 도포 상태 측정 방법은 g) 후속적으로 공급되는 기판에 대해 상기 c) 단계 내지 상기 f) 단계를 반복하는 단계를 추가로 포함하는 잉크 접촉각 및 도포 상태 측정 방법.13. The method of claim 12,
Wherein the ink contact angle and the method for measuring the state of the ink further comprise: g) repeating the steps c) to f) for the subsequently supplied substrate.
상기 잉크 접촉각 및 도포 상태 측정 방법은 f1) 상기 f) 단계에서 상기 각각의 접촉각 및 상기 도포 상태가 미리 정해진 기준 접촉각 및 기준 도포 상태의 허용 가능한 오차 범위를 벗어난 경우, 상기 기판의 상기 잉크의 도포가 부적합한 것으로 판단하고 상기 기판에 대한 후속 동작을 수행하는 단계를 추가로 포함하는 잉크 접촉각 및 도포 상태 측정 방법.13. The method of claim 12,
Wherein the ink contact angle and the state of application are measured by: f1) applying the ink on the substrate when the respective contact angles and the application state deviate from an allowable tolerance range of a predetermined reference contact angle and a reference application state in the step f) Further comprising determining that the substrate is not suitable and performing subsequent operations on the substrate.
상기 잉크 접촉각 및 도포 상태 측정 방법은 상기 잉크가 새로운 잉크로 변경되거나 또는 시간 경과에 따라 상기 기판의 표면 상태가 변경되어 새로운 기판이 사용되는 경우, 상기 새로운 잉크 또는 상기 새로운 기판에 대해 상기 a) 단계 내지 상기 e) 단계를 수행하여 새로운 접촉각 및 새로운 도포 상태를 측정하는 잉크 접촉각 및 도포 상태 측정 방법.15. The method according to any one of claims 11 to 14,
Wherein the ink contact angle and the method for measuring the state of coating are such that when the ink is changed to a new ink or the surface state of the substrate is changed over time and a new substrate is used, To (e)) to measure a new contact angle and a new application state.
상기 접촉각 및 상기 도포 높이의 계산은 상기 제어장치에 미리 저장된 계산 프로그램에 의해 수행되는 잉크 접촉각 및 도포 상태 측정 방법.15. The method according to any one of claims 11 to 14,
Wherein the calculation of the contact angle and the application height is performed by a calculation program previously stored in the control device.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020110126602A KR101396216B1 (en) | 2011-11-30 | 2011-11-30 | System and Method of Measuring Contact Angle and Coating Condition of Ink, and Ink-jet Printing Apparatus having the Same |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020110126602A KR101396216B1 (en) | 2011-11-30 | 2011-11-30 | System and Method of Measuring Contact Angle and Coating Condition of Ink, and Ink-jet Printing Apparatus having the Same |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20130060508A true KR20130060508A (en) | 2013-06-10 |
KR101396216B1 KR101396216B1 (en) | 2014-05-19 |
Family
ID=48858924
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020110126602A KR101396216B1 (en) | 2011-11-30 | 2011-11-30 | System and Method of Measuring Contact Angle and Coating Condition of Ink, and Ink-jet Printing Apparatus having the Same |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR101396216B1 (en) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20210037867A (en) * | 2019-09-30 | 2021-04-07 | (주)에스티아이 | Ink droplet inspecting apparatus and method, inkjet print system having the same |
CN115008901A (en) * | 2022-05-03 | 2022-09-06 | 华中科技大学 | Method for detecting abnormal volume of ink filled in pixel pit in ink-jet printing |
US11796372B2 (en) | 2020-02-14 | 2023-10-24 | Samsung Display Co., Ltd. | Apparatus for manufacturing display apparatus, method of measuring droplet, and method of manufacturing display apparatus |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102007963B1 (en) | 2017-05-26 | 2019-08-07 | 한국과학기술원 | Printing device for printing ink containing nanoparticles and printing method of ink containing nanoparticles, neural interface chip and manufacturing method using same thereof |
KR20210130901A (en) | 2020-04-22 | 2021-11-02 | 삼성디스플레이 주식회사 | Apparatus for manufacturing a display device |
KR20220028298A (en) | 2020-08-28 | 2022-03-08 | 주식회사 나래나노텍 | Apparatus for Inspecting Droplet and Ink-jet Printing Apparatus having the Same |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20050047165A (en) * | 2003-11-17 | 2005-05-20 | 학교법인 한양학원 | Contact angle measurement instrument using laser beam |
JP2009030977A (en) * | 2007-07-24 | 2009-02-12 | Microjet:Kk | System for droplet observation |
KR100987828B1 (en) * | 2008-04-17 | 2010-10-13 | 주식회사 나래나노텍 | A Complex System Having Ink-Jet Printing Function and Testing Function, and An Ink-Jet Printing Apparatus Having the Same |
-
2011
- 2011-11-30 KR KR1020110126602A patent/KR101396216B1/en active IP Right Grant
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20210037867A (en) * | 2019-09-30 | 2021-04-07 | (주)에스티아이 | Ink droplet inspecting apparatus and method, inkjet print system having the same |
US11796372B2 (en) | 2020-02-14 | 2023-10-24 | Samsung Display Co., Ltd. | Apparatus for manufacturing display apparatus, method of measuring droplet, and method of manufacturing display apparatus |
CN115008901A (en) * | 2022-05-03 | 2022-09-06 | 华中科技大学 | Method for detecting abnormal volume of ink filled in pixel pit in ink-jet printing |
CN115008901B (en) * | 2022-05-03 | 2023-02-07 | 华中科技大学 | Method for detecting abnormal volume of ink filled in pixel pit in ink-jet printing |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR101396216B1 (en) | 2014-05-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101396216B1 (en) | System and Method of Measuring Contact Angle and Coating Condition of Ink, and Ink-jet Printing Apparatus having the Same | |
JP5793823B2 (en) | A composite system having an inkjet printing function and an inspection function, and an inkjet printing apparatus including the composite system. | |
JP2007256449A (en) | Droplet jetting inspecting device, droplet jetting device, and manufacturing method for coating body | |
TW201819050A (en) | Working apparatus and working method | |
KR101979539B1 (en) | Printing apparatus | |
KR20170111463A (en) | Printing Method by using Inkjet Head | |
KR100963222B1 (en) | An Ink-Jet Printing Apparatus, System and Method Using A Roll | |
JP2006261228A (en) | Wiring pattern forming apparatus for circuit substrate and method of repairing wiring pattern | |
JP3905893B2 (en) | INKJET DISCHARGE DEVICE, LINE-TYPE INKJET NOZZLE POSITION ADJUSTING METHOD, INKJET NOZZLE UNIT POSITION ADJUSTING METHOD, AND ALIGNMENT FILM FORMING APPARATUS | |
JP2012206093A (en) | Coating method and coating apparatus | |
JP6236073B2 (en) | Inspection device, inspection method, and control device | |
CN107079587B (en) | Method and apparatus for applying solder paste flux | |
JP5761896B2 (en) | Droplet application method and apparatus | |
JP6934955B2 (en) | Screen printing machine | |
JP2008238143A (en) | Liquid droplet delivery apparatus and method for replacing liquid droplet delivery head | |
KR20220075905A (en) | Inspection and control apparatus for meniscus of ink and ink-jet printing apparatus having the same | |
KR101043058B1 (en) | A Cleaning Device of A Head for Ink-Jet Printing Apparatus, and A Head for Ink-Jet Printing Apparatus and An Ink-Jet Printing Apparatus Having the Same | |
KR20210004381A (en) | Liquid drop-discharge apparatus | |
KR20100040013A (en) | An align apparatus of ink-jet head, a real-time testing apparatus of ink-droplets thereof, and an align and real-time testing apparatus of ink-jet head | |
WO2023112205A1 (en) | Three-dimensional laminate shaping device | |
JP6296647B2 (en) | Printer head and printer head manufacturing method | |
JP2005279628A (en) | Application method for droplet and application apparatus for droplet | |
KR20220096095A (en) | Apparatus for measuring printed images and ink-jet printing apparatus having the same | |
JP2008093497A (en) | Droplet jetting inspection instrument, droplet jetting and applying apparatus and method of manufacturing coated body | |
KR101187281B1 (en) | Device and Method of Controlling Negative Pressure, and Ink-jet Printing Apparatus Having the Same |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20170510 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20180504 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20190510 Year of fee payment: 6 |