KR20130052898A - Subminiature work-piece grinding device - Google Patents

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KR20130052898A
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김정호
김혜정
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김태경
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Abstract

PURPOSE: A device for grinding a subminiature workpiece is provided to precisely process by preventing a part except an edge unit of a tool from interfering in a working object through tapering the end portion of the tool contacting with the working object for precisely processing. CONSTITUTION: A device for grinding a subminiature workpiece comprises a vacuum chuck(10), a spindle(31), a shank unit(41), and a grinding unit(45). The grinding unit includes an edge unit(45a) and an interference protection unit(45b). One end of the edge unit is connected to the shank unit and the other end contacts with a working object. The edge unit processes the working object. The interference protection unit prevents outer circumference between the edge unit and the shank unit from interfering in the working object in a process processing an association object.

Description

초소형 공작물 연삭장치{Subminiature work-piece grinding device}Subminiature work-piece grinding device

본 발명은 초소형 공작물 연삭장치에 관한 것으로서, 상세하게는 광학용 렌즈 또는 미세구조 기계부품을 연삭 가공하는 초소형 공작물 연삭장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an ultra-small workpiece grinding apparatus, and more particularly, to an ultra-small workpiece grinding apparatus for grinding an optical lens or a microstructured mechanical component.

통상적으로 카메라, 팩시밀리 및 조준경, 내시경, 망원경 등의 광학기기에 사용되는 광학렌즈의 제조는 일정크기의 재료를 황삭(Rough Maching)가공을 하고 그 표면을 매끄럽게 다듬질하는 연삭공정을 거쳐 완성하게 된다.In general, the manufacture of optical lenses used in optical devices such as cameras, facsimiles, scopes, endoscopes, telescopes, etc. is completed through a grinding process of rough machining a certain size of material and smoothing the surface thereof.

종래에는 상기 광학렌즈의 표면을 정밀하게 연삭하기 위하여 연삭장치를 사용하고 있으며, 이러한 연삭장치는 크게 광학렌즈 또는 광학렌즈를 성형하기 위한 성형몰드 등의 공작대상물을 고정하며 소정의 구동력으로 공작대상물을 회전시키는 회전 구동부와, 회전하는 공작대상물에 접촉되어 공작대상물을 연마하는 툴 및 공작대상물에 대하여 상기 툴을 소정의 각도도 틸팅시키는 틸팅부를 포함하여 구성된다. Conventionally, a grinding device is used to precisely grind the surface of the optical lens, and the grinding device fixes a workpiece such as an optical lens or a molding mold for molding the optical lens, and fixes the workpiece with a predetermined driving force. And a rotating drive unit for rotating, a tool in contact with the rotating workpiece, and a tilting unit for tilting the tool at a predetermined angle with respect to the workpiece.

그러나, 종래의 연삭장치에 사용되는 툴은 공작대상물에 접촉되는 단부측이 홀더에 의해 고정된 부분과 동일한 단면적을 갖는 원기둥 형태로 형성되어 있어 정밀한 가공이 어려울 뿐만아니라 공작대상물의 상면에 소정각도 이하로 기울어진 경우에는 공작대상물에 마찰접촉되는 툴의 엣지부 이외의 부분이 공작대상물에 간섭되는 문제점이 있다. 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 상기 툴의 크기를 작게 할 수도 있으나 이 경우 툴 자체의 내구성이 약해지는 문제점이 있다.However, the tool used in the conventional grinding device is formed in a cylindrical shape having the same cross-sectional area as the part where the end side in contact with the workpiece is fixed by the holder, which makes it difficult to precisely process the workpiece and has a predetermined angle below the upper surface of the workpiece. In the case of being inclined to, there is a problem that portions other than the edge portion of the tool in friction contact with the workpiece are interfered with the workpiece. In order to solve the above problems, the size of the tool may be reduced, but in this case, the durability of the tool itself is weakened.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 광학렌즈 또는 미소 기계부품을 가공하는데 있어서, 정밀한 가공이 가능하도록 공작대상물에 접촉되는 가공용 툴의 일 단을 테이퍼지게 형성함으로써 툴의 엣지부 이외의 부분이 공작대상물에 간섭되지 않게 하여 정밀한 가공이 가능한 초소형 공작물 연삭장치를 제공하는 데 그 목적이 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems, and in processing an optical lens or a micro mechanical part, by forming a tapered end of the tool for contact with the workpiece to enable precise machining, It is an object of the present invention to provide an ultra-small workpiece grinding device capable of precise machining by preventing parts from interfering with the workpiece.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 초소형 공작물 연삭장치는 회전테이블에 회전가능하게 설치되며 공작대상물을 고정하기 위한 진공 척과, 상기 진공 척에 고정된 공작대상물을 가공하기 위한 툴이 장착되는 스핀들을 구비하며, 상기 공작대상물을 가공하기 위한 툴은 상기 스핀들의 일단에 마련된 고정용 척에 고정되는 생크부와, 상기 생크부에 일 단이 결합되고 타 단은 상기 공작대상물에 접촉된 상태로 상기 공작대상물을 가공하는 엣지부와 상기 연상대상물을 가공하는 과정에서 상기 엣지부와 상기 생크부 사이의 외주면이 상기 공작대상물에 간섭되는 것을 방지하는 간섭방지부가 마련된 연삭부를 포함하는 것을 특징으로 한다.Micro-workpiece grinding apparatus according to the present invention for achieving the above object is rotatably installed on the rotary table and is equipped with a vacuum chuck for fixing the workpiece and a tool for processing the workpiece fixed to the vacuum chuck A tool for processing the workpiece includes a shank portion fixed to a fixing chuck provided at one end of the spindle, and one end is coupled to the shank portion and the other end is in contact with the workpiece. It characterized in that it comprises a grinding portion provided with an interference preventing portion for preventing the edge portion for processing the workpiece and the outer peripheral surface between the edge portion and the shank portion in the process of processing the associative object is interfered with the workpiece.

상기 간섭방지부는 상기 엣지부에서 상기 생크부를 향하는 방향으로 연장될수록 단면적이 점진적으로 증가하도록 형성된 것을 특징으로 한다.The interference preventing part is formed to gradually increase in cross-sectional area as it extends in the direction from the edge toward the shank part.

상기 간섭방지부는 상기 엣지부에서 상기 생크부를 향하는 방향으로 연장될수록 단면적이 점진적으로 감소하도록 형성된 것을 특징으로 한다.The interference preventing part is formed to gradually decrease in cross-sectional area as it extends in the direction from the edge toward the shank part.

상기 간섭방지부는 상기 엣지부에서 상기 생크부 사이의 중앙지점을 향하는 방향으로 연장될수록 단면적이 점진적으로 감소하고, 중앙지점에서 상기 생크부를 향하는 방향으로 연장될수록 단면적이 점진적으로 증가하도록 형성된 것을 특징으로 한다.The interference prevention part is formed so that the cross-sectional area gradually decreases as it extends in the direction toward the center point between the shank portions at the edge portion, and the cross-sectional area is gradually increased as it extends in the direction toward the shank portion at the center point. .

본 발명에 따른 초소형 공작물 연삭장치에 의하면 광학렌즈 또는 미소 기계부품을 가공하는데 있어서, 정밀한 가공이 가능하도록 공작대상물에 접촉되는 가공용 툴의 단부를 테이퍼지게 형성함으로써 툴의 엣지부 이외의 부분이 공작대상물에 간섭되지 않게 하여 정밀한 가공이 가능하다.According to the ultra-small workpiece grinding apparatus according to the present invention, in processing an optical lens or a micro machine part, by forming a tapered end portion of the machining tool that is in contact with the workpiece to enable precise machining, portions other than the edge of the tool are formed. Precise machining is possible without interfering with.

도 1은 본 발명의 제1실시 예에 따른 초소형 공작물 연삭장치의 요부를 도시한 사시도이고,
도 2는 본 발명의 제2실시 예에 따른 초소형 공작물 연삭장치의 연삭부를 도시한 확대도이며,
도 3은 본 발명의 제3실시 예에 따른 초소형 공작물 연삭장치의 연삭부를 도시한 확대도이고,
도 4는 본 발명의 제4실시 예에 따른 초소형 공작물 연삭장치의 연삭부를 도시한 확대도이다.1 is a perspective view showing the main portion of the micro-piece workpiece grinding apparatus according to the first embodiment of the present invention,
FIG. 2 is an enlarged view illustrating a grinding part of the micro workpiece grinding apparatus according to the second embodiment of the present invention.
Figure 3 is an enlarged view showing the grinding portion of the ultra-small workpiece grinding apparatus according to a third embodiment of the present invention,
Figure 4 is an enlarged view showing the grinding portion of the ultra-small workpiece grinding apparatus according to a fourth embodiment of the present invention.

이하 첨부된 도면을 첨부하면서 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 초소형 공작물 연삭장치에 대하여 상세하게 설명한다. 도 1에는 본 발명의 제1실시 예에 따른 초소형 공작물 연삭장치가 도시되어 있다.It will be described in detail with respect to the compact workpiece grinding apparatus according to a preferred embodiment of the present invention with the accompanying drawings. Figure 1 shows a micro-work workpiece grinding apparatus according to a first embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 본 발명의 초소형 공작물 연삭장치는 초소형의 기계부품 또는 광학렌즈 등을 가공하는 장치로서 회전테이블(미도시)에 회전가능하게 설치되며 공작대상물(20)을 고정하기 위한 진공 척(10)과, 진공 척(10)에 고정된 공작대상물(20)을 가공하기 위한 툴(40)이 장착되는 스핀들(31)을 구비하며, 상기 툴(40)은 스핀들(31)의 일단에 마련된 고정용 척(33)에 고정되는 생크부(41)와, 생크부(41)에 일 단이 결합되고 타 단은 공작대상물(20)을 가공하는 연삭부(45)를 포함한다.Referring to FIG. 1, the micro-work grinding device of the present invention is a device for processing micro-machined parts or optical lenses, and is rotatably installed on a rotating table (not shown) and a vacuum chuck for fixing the work object 20. 10 and a spindle 31 on which a tool 40 for processing the workpiece 20 fixed to the vacuum chuck 10 is mounted, the tool 40 being provided at one end of the spindle 31. The shank portion 41 fixed to the fixing chuck 33 is provided, and one end is coupled to the shank portion 41 and the other end includes a grinding portion 45 for processing the workpiece 20.

상기의 진공 척(10)은 공작대상물(20)을 파지한 상태로 회전되며, 공작대상물(20)을 연마 또는 연삭 가공할 수 있도록 공작대상물(20)이 회전하는 회전중심과 소정 각도로 기울어진 상태로 설치되는 스핀들(31)이 공작대상물(20)과 인접하게 설치된다.The vacuum chuck 10 is rotated in a state of holding the workpiece 20, inclined at a predetermined angle with a rotational center at which the workpiece 20 rotates so as to grind or grind the workpiece 20. The spindle 31 installed in a state is installed adjacent to the workpiece 20.

상기 스핀들(31)은 설치패널(37)에 고정된 구동모터(32)에 의해 회전되고 스핀들(31)의 일단에는 공작대상물(20)을 가공하기 위한 툴(40)을 고정하는 고정용 척(33)이 결합되어 있다. 상기 설치패널(37)에는 공작대상물(20)과 툴(40)의 마찰을 줄이고 연삭가루 또는 탈락한 입자들을 씻어내기 위한 윤활유를 가공면으로 제공하는 노즐(38)이 설치되어 있다.The spindle 31 is rotated by the drive motor 32 fixed to the installation panel 37 and a fixed chuck for fixing the tool 40 for processing the workpiece 20 at one end of the spindle 31 ( 33) is combined. The installation panel 37 is provided with a nozzle 38 for reducing the friction between the workpiece 20 and the tool 40 and providing lubricating oil for washing the ground powder or the dropped particles to the processing surface.

상기 툴(40)은 고정용 척(33)에 고정되는 생크부(41)와, 생크부(41)의 일단에 결합되어 공작대상물(20)에 접촉된 상태로 공작대상물(20)을 가공하는 엣지부(45a)와 연상대상물을 가공하는 과정에서 엣지부(45a)와 생크부(41) 사이의 외주면이 공작대상물(20)에 간섭되는 것을 방지하는 간섭방지부(45b)가 마련된 연삭부(45)를 포함한다.The tool 40 is coupled to one end of the shank portion 41 and the shank portion 41 fixed to the fixing chuck 33 to process the workpiece 20 in contact with the workpiece 20 Grinding part provided with an interference prevention part 45b for preventing the outer peripheral surface between the edge part 45a and the shank part 41 from interfering with the workpiece 20 in the process of processing the edge part 45a and the associative object ( 45).

상기 연삭부(45)는 일반적으로 연삭 또는 연마에 쓰이는 숫돌로서 경도가 큰 숫돌입자들을 결합제 또는 접착제를 이용하여 성형한 것이다. 본 발명에서는 공작대상물(20)이 초소형이고 정밀한 가공이 요구되므로 미세한 입자를 이용한 것을 적용하는 것이 바람직하다.The grinding part 45 is a grindstone generally used for grinding or polishing, and is formed by grinding abrasive particles having a high hardness using a binder or an adhesive. In the present invention, since the workpiece 20 is very small and precise processing is required, it is preferable to apply the one using fine particles.

연삭부(45)는 공작대상물(20)에 접촉된 상태로 회전되어 공작대상물(20)을 연삭가공하는 엣지부(45a)와, 엣지부(45a)와 생크부(41) 사이의 외주면 즉, 생크부(41)와 엣지부(45a)를 연결하도록 연장된 부분이 공작대상물(20)에 간섭되는 것을 방지하는 간섭방지부(45b)를 포함한다.Grinding portion 45 is rotated in contact with the workpiece 20, the edge portion 45a for grinding the workpiece 20, and the outer peripheral surface between the edge portion 45a and the shank portion 41, It includes an interference preventing portion 45b for preventing the portion extending to connect the shank portion 41 and the edge portion 45a to interfere with the workpiece 20.

본 실시 예에서 상기의 연삭부(45)는 공작대상물(20)에 연속적으로 접촉된 상태로 가공할 수 있게 환 형상으로 형성된 엣지부(45a)를 적용하였지만, 공작대상물(20)과 불연속적인 접촉을 이룰 수 있도록 삼각 또는 다각 형상으로 형성할 수 있음은 물론이다.In the present embodiment, the grinding portion 45 is applied to the edge portion 45a formed in an annular shape so as to be processed in a state of being in continuous contact with the workpiece 20, but discontinuous contact with the workpiece 20 Of course it can be formed in a triangular or polygonal shape to achieve this.

상기의 간섭방지부(45b)는 공작대상물(20)에 접촉되는 엣지부(45a)로부터 고정용 척(33)에 고정되는 생크부(41)를 향하는 방향으로 연장될수록 툴(40)의 회전중심축에 대하여 직교하는 방향으로 절단한 단면의 크기가 점진적으로 증가하도록 테이퍼지게 형성된다. The interference preventing part 45b extends from the edge part 45a in contact with the workpiece 20 toward the shank part 41 fixed to the fixing chuck 33 so that the center of rotation of the tool 40 is increased. It is formed to taper so that the size of the cross section cut in the direction orthogonal to the axis is gradually increased.

이와는 다르게 도 2에는 본 발명에 따른 생크부(51)와 연삭부(55)를 포함하는 툴(50)의 제2실시 예가 도시되어 있다. Alternatively, FIG. 2 shows a second embodiment of the tool 50 comprising the shank portion 51 and the grinding portion 55 according to the invention.

도 2를 참조하면, 상기 연삭부(55)는 공작대상물(20)에 접촉되는 엣지부(55a)에서 고정용 척에 고정되는 생크부(51)로 연장될수록 회전중심축에 직교하는 방향의 단면 크기가 점진적으로 감소하도록 테이퍼지게 형성된 간섭방지부(55b)가 마련된다.Referring to FIG. 2, the grinding part 55 extends from the edge part 55a in contact with the workpiece 20 to the shank part 51 fixed to the fixing chuck so as to be perpendicular to the rotational center axis. An interference prevention portion 55b is provided which is tapered so that the size gradually decreases.

상기의 간섭방지부(55b)는 툴(50)의 회전중심축과 일정한 경사도를 갖도록 형성된다.The interference prevention part 55b is formed to have a constant inclination with the rotational center axis of the tool 50.

상기 간섭방지부(55b)는 도면에 도시된 바와 같이 공작대상물(20)의 상면에 뉘어진 상태로 가공할 때 엣지부(55a)와 생크부(51)에 연결된 일 측을 연결하는 부분의 외주면이 공작대상물(20)에 간섭되는 것을 방지할 수 있어 툴(50)의 회전중심축과 공작대상물(20)의 상면이 이루는 각도를 증가시키지 않더라도 곡선형 홈의 연삭이 가능하다.As shown in the drawing, the interference prevention part 55b is an outer circumferential surface of a portion connecting one side connected to the edge part 55a and the shank part 51 when being processed in a state laid down on the upper surface of the workpiece 20. The interference with the workpiece 20 can be prevented, so that the curved groove can be ground without increasing the angle formed between the center of rotation of the tool 50 and the upper surface of the workpiece 20.

한편, 도 3에는 본 발명에 따른 생크부(61)와 연삭부(65)를 포함하는 툴(60)의 제3실시 예가 도시되어 있다. 도 3을 참조하면, 상기의 연삭부(65)는 공작대상물(20)에 접촉되는 엣지부(65a)에서 생크부(61) 사이의 중앙지점으로 연장될수록 연삭부(60)의 회전중심축에 직교하는 방향의 단면 크기가 점진적으로 감소하고, 중앙지점에서 생크부(61)로 연장될수록 단면의 크기가 점진적으로 증가하는 구조를 갖는 간섭방지부(65b)가 마련된다. 3 shows a third embodiment of the tool 60 including the shank portion 61 and the grinding portion 65 according to the present invention. Referring to FIG. 3, the grinding portion 65 extends from the edge portion 65a in contact with the workpiece 20 to the center point between the shank portions 61 so as to extend to the center of rotation of the grinding portion 60. The cross-sectional size in the orthogonal direction is gradually reduced, and the interference prevention portion 65b having a structure in which the cross-sectional size gradually increases as it extends from the center point to the shank portion 61 is provided.

상기의 간섭방지부(65b)는 중앙지점에서 그 두께가 축소되었다가 확장되는 모래시계 또는 장구 형상으로 형성된다.The interference prevention part 65b is formed in an hourglass or janggu shape in which the thickness thereof is reduced and expanded at the central point.

도 4에는 본 발명에 따른 생크부(71)와 연삭부(75)를 포함하는 툴(70)의 제4실시 예가 도시되어 있다. 도 4를 참조하면, 상기의 연삭부(75)는 공작대상물(20)에 접촉되는 엣지부(75a)에서 생크부(71) 사이의 중앙지점으로 연장될수록 연삭부(70)의 회전중심축에 직교하는 방향의 단면 크기가 점진적으로 감소하는 형상을 갖는 간섭방지부(75b)가 마련된다.4 shows a fourth embodiment of a tool 70 comprising a shank portion 71 and a grinding portion 75 according to the invention. Referring to FIG. 4, the grinding portion 75 extends from the edge portion 75a in contact with the workpiece 20 to the center point between the shank portions 71 so as to extend to the rotation center axis of the grinding portion 70. An interference prevention portion 75b having a shape in which the cross-sectional size in the orthogonal direction gradually decreases is provided.

상기 간섭방지부는 도 2를 참조로 설명된 툴의 제2실시 예와는 다르게 엣지부(75a)에 인접하는 부분은 툴(70)의 회전중심축에 대하여 급격한 경사도를 갖고 생크부(71)에 인접하는 측으로 갈수록 완만한 경사도를 갖도록 형성된다. Unlike the second embodiment of the tool described with reference to FIG. 2, the interference preventing part has a steep inclination with respect to the central axis of rotation of the tool 70 and has a sharp inclination with respect to the shank portion 71. It is formed to have a gentle slope toward the adjacent side.

상기의 간섭방지부(75b)는 엣지부(75a)와 생크부(71) 사이를 연결하는 부분이 공작대상물(20)에 간섭되지 않도록 함과 동시에 엣지부(75a)를 날카로운 형상을 가질 수 있게 형성되어 가공되는 홈의 경계를 정밀하게 처리할 수 있게 한다.The interference prevention part 75b may prevent the part connecting the edge part 75a and the shank part 71 from interfering with the workpiece 20 and at the same time have the sharp shape of the edge part 75a. It is possible to precisely process the boundary of the groove to be formed and processed.

이상에서 설명한 본 발명에 따른 초소형 공작물 연삭장치는 도면에 도시된 일 실시 예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며 본 기술분야에서 통상의 지식을 가진자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시 예가 가능하다는 점을 이해할 것이다.The ultra-small workpiece grinding apparatus according to the present invention described above has been described with reference to one embodiment shown in the drawings, but this is merely exemplary and various modifications and other equivalent implementations are possible from those skilled in the art. It will be appreciated that examples are possible.

따라서, 본 발명의 진정한 기술적인 보호범위는 첨부된 청구범위에 의해서 정해져야 할 것이다.Therefore, the true technical protection scope of the present invention will be defined by the appended claims.

10 : 진공 척
20 : 공작대상물
31 : 스핀들
32 : 구동모터
33 : 고정용 척
40 : 툴
41 : 생크부
45 : 연삭부
45a : 엣지부
45b : 간섭방지부10: vacuum chuck
20: workpiece
31: spindle
32: drive motor
33: fixing chuck
40: tool
41: shank part
45 grinding part
45a: edge portion
45b: Interference prevention part

Claims (4)

회전테이블에 회전가능하게 설치되며 공작대상물을 고정하기 위한 진공 척과;
상기 진공 척에 고정된 공작대상물을 가공하기 위한 툴이 장착되는 스핀들;을 구비하며,
상기 공작대상물을 가공하기 위한 툴은 상기 스핀들의 일단에 마련된 고정용 척에 고정되는 생크부와,
상기 생크부에 일 단이 결합되고 타 단은 상기 공작대상물에 접촉된 상태로 상기 공작대상물을 가공하는 엣지부와 상기 연상대상물을 가공하는 과정에서 상기 엣지부와 상기 생크부 사이의 외주면이 상기 공작대상물에 간섭되는 것을 방지하는 간섭방지부가 마련된 연삭부를 포함하는 것을 특징으로 하는 초소형 공작물 연삭장치.A vacuum chuck rotatably installed on the rotary table and for fixing the workpiece;
And a spindle on which a tool for processing a workpiece fixed to the vacuum chuck is mounted.
The tool for processing the workpiece is a shank portion fixed to the fixing chuck provided on one end of the spindle,
One end is coupled to the shank portion and the other end is the edge portion for processing the workpiece in the state in contact with the workpiece and the outer peripheral surface between the edge portion and the shank portion in the process of processing the associative object is the work Miniature workpiece grinding device comprising a grinding portion provided with an interference prevention portion to prevent interference with the object. 제1항에 있어서,
상기 간섭방지부는 상기 엣지부에서 상기 생크부를 향하는 방향으로 연장될수록 단면적이 점진적으로 증가하도록 형성된 것을 특징으로 하는 초소형 공작물 연삭장치.The method of claim 1,
And the interference preventing part is formed so that the cross-sectional area is gradually increased as it extends from the edge part toward the shank part. 제1항에 있어서,
상기 간섭방지부는 상기 엣지부에서 상기 생크부를 향하는 방향으로 연장될수록 단면적이 점진적으로 감소하도록 형성된 것을 특징으로 하는 초소형 공작물 연삭장치.The method of claim 1,
The anti-interference part is a small workpiece grinding apparatus characterized in that the cross-sectional area is gradually reduced as it extends from the edge portion toward the shank portion. 제1항에 있어서,
상기 간섭방지부는 상기 엣지부에서 상기 생크부 사이의 중앙지점을 향하는 방향으로 연장될수록 단면적이 점진적으로 감소하고, 중앙지점에서 상기 생크부를 향하는 방향으로 연장될수록 단면적이 점진적으로 증가하도록 형성된 것을 특징으로 하는 초소형 공작물 연삭장치.
The method of claim 1,
The interference prevention part is formed so that the cross-sectional area gradually decreases as it extends in the direction toward the center point between the shank portions at the edge portion, and the cross-sectional area is gradually increased as it extends in the direction toward the shank portion at the center point. Ultra small workpiece grinding device.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR20190024029A (en) * 2017-08-31 2019-03-08 한국광기술원 Ultra-precision gringding tool

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