KR20130046715A - Accurate transferring apparatus - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: An accurate transferring apparatus is provided to improve the production efficiency by consecutively transferring articles. CONSTITUTION: A track rail(110) forms a closed loop. A main body supports the track rail. Support plates are separated from each other along the track rail. A transfer train(200) includes a hinge pin for the support plates. A transfer train driver(120) moves the support plates along the track rail.

Description

정밀이송장치{ACCURATE TRANSFERRING APPARATUS}Precision Transfer Equipment {ACCURATE TRANSFERRING APPARATUS}

본 발명은, 정밀이송장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 정밀하게 연속적으로 이송대상품을 이송할 수 있는 정밀이송장치에 관한 것이다.The present invention relates to a precision transfer device, and more particularly, to a precision transfer device capable of transferring a conveyance product in a precise and continuous manner.

최근에 개발된 반도체 제조공정으로 기존의 리소그래피 및 에칭공정을 대체할 수 있도록, 반도체 웨이퍼에 직접 소정의 잉크로 인쇄하는 인쇄전자기술을 활용한 제조공법이 개발되고 있다.In order to replace the existing lithography and etching processes with the recently developed semiconductor manufacturing process, a manufacturing method using printed electronic technology that directly prints a predetermined ink on a semiconductor wafer has been developed.

여기서, 잉크로 직접 반도체 웨이퍼에 인쇄를 하는 경우, 반도체 웨이퍼나 잉크를 토출하는 잉크셔틀을 정밀하게 이송할 필요가 있다.Here, when printing on a semiconductor wafer directly with ink, it is necessary to precisely transfer the semiconductor wafer or the ink shuttle for discharging ink.

또한, 반도체 웨이퍼를 한 개씩 낱개 단위로 인쇄하는 방식으로는 생산성이 떨어지므로 연속적인 인쇄가 가능하도록 반도체 웨이퍼를 이송할 필요가 있다.In addition, in the method of printing the semiconductor wafers one by one, the productivity is lowered. Therefore, it is necessary to transfer the semiconductor wafers to enable continuous printing.

본 발명의 목적은, 정밀하게 이송대상품을 이송할 수 있는 정밀이송장치를 제공하는 것이다.It is an object of the present invention to provide a precision transfer device capable of precisely transferring a transfer table product.

또한, 본 발명의 다른 목적은, 복수의 이송대상품을 연속적으로 이송 가능한 정밀이송장치를 제공하는 것이다.In addition, another object of the present invention is to provide a precision conveying apparatus capable of continuously conveying a plurality of conveying products.

상기 목적은, 본 발명에 따라, 정밀이송장치에 있어서, 직선구간 및 곡선구간을 가지며 폐루프를 형성하는 궤도레일과; 상기 궤도레일을 지지하는 메인바디와; 다수의 이송대상품을 각각 지지하도록 상기 궤도레일을 따라 서로 이격 배치된 다수의 지지플레이트와, 상기 다수의 지지플레이트가 각각 상기 궤도레일을 따라 이동 가능하도록 상기 다수의 지지플레이트에 각각 결합된 다수의 레일트래커와, 상기 다수의 지지플레이트가 상기 궤도레일의 상기 곡선구간을 이동할 때 상기 다수의 지지플레이트가 서로에 대해서 회동 가능하도록 상기 다수의 지지플레이트 각각을 힌지 결합하는 힌지핀을 포함하는 이송트레인과; 상기 직선구간의 궤도레일 상에 위치하는 상기 지지플레이트를 상기 궤도레일을 따라 이동시키는 이송트레인 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 정밀이송장치에 의해서 달성될 수 있다.The above object, according to the present invention, in the precision transfer apparatus, and having a straight section and a curved section and the track rail to form a closed loop; A main body supporting the track rail; A plurality of support plates spaced apart from each other along the track rail to support a plurality of conveying products, respectively, and a plurality of support plates respectively coupled to the plurality of support plates to move the plurality of support plates along the track rail, respectively. A transfer track including a rail tracker and hinge pins hinged to each of the plurality of support plates so that the plurality of support plates can rotate relative to each other when the plurality of support plates move the curved section of the track rail; ; It can be achieved by a precision transfer device comprising a transfer train drive for moving the support plate located on the track rail of the straight section along the track rail.

여기서, 상기 궤도레일은 내측레일과 외측레일을 포함하며, 상기 다수의 레일트래커는, 각각, 상기 내측레일의 상면 및 하면 각각을 따라서 구름회전 가능한 복수의 내측레일 상면롤러 및 하면롤러와; 상기 내측레일의 측면을 따라서 구름회전 가능한 복수의 내측레일 측면롤러와; 상기 외측레일의 상면 및 하면 각각을 따라서 구름회전 가능한 복수의 외측레일 상면롤러 및 하면롤러와; 상기 외측레일의 측면을 따라서 구름회전 가능한 복수의 외측레일 측면롤러를 포함할 수 있다.The track rail may include an inner rail and an outer rail, and the plurality of rail trackers may include: a plurality of inner rail upper and lower rollers rotatable along the upper and lower surfaces of the inner rail, respectively; A plurality of inner rail side rollers rotatable along the side of the inner rail; A plurality of outer rail upper and lower rollers rotatable along the upper and lower surfaces of the outer rail, respectively; It may include a plurality of outer rail side rollers rotatable along the side of the outer rail.

또한, 상기 정밀이송장치는 상기 복수의 내측레일 상면롤러 및 상기 복수의 외측레일 상면롤러를 상기 내측레일의 상면을 향해 탄성바이어스 시키는 상면 탄성바이어스 부재와; 상기 복수의 내측레일 측면롤러 및 상기 복수의 외측레일 측면롤러 중 어느 하나를 상기 내측레일의 측면 또는 상기 외측레일의 측면을 향해 탄성바이어스 시키는 측면 탄성바이어스 부재를 더 포함할 수 있다.The precision conveying apparatus may further include an upper elastic biasing member configured to elastically bias the plurality of inner rail upper rollers and the plurality of outer rail upper rollers toward the upper surface of the inner rail; It may further include a side elastic bias member for elastically biasing any one of the plurality of inner rail side rollers and the plurality of outer rail side rollers toward the side of the inner rail or the side of the outer rail.

여기서, 상기 궤도레일은 내측레일과 외측레일을 포함하며, 상기 힌지핀은 상기 지지플레이트에서 상기 내측레일 측으로 편향 배치될 수 있다.The track rail may include an inner rail and an outer rail, and the hinge pin may be biased toward the inner rail side of the support plate.

또한, 상기 다수의 레일트래커는, 각각, 상기 내측레일 상면롤러 및 상기 내측레일 하면롤러를 함께 지지하는 제1지지부재와; 상기 외측레일 상면롤러 및 상기 외측레일 하면롤러를 함께 지지하는 제2지지부재와; 상기 내측레일 측면롤러를 지지하는 제3지지부재와; 상기 외측레일 측면롤러를 지지하는 제4지지부재를 더 포함할 수 있다.The plurality of rail trackers may include: a first support member supporting the inner rail upper surface roller and the inner rail lower surface roller together; A second support member supporting the outer rail upper surface roller and the outer rail lower surface roller together; A third supporting member supporting the inner rail side roller; It may further include a fourth support member for supporting the outer rail side roller.

본 발명에 따른 정밀이송장치에 의하면 다음과 같은 효과가 있다.According to the precision transfer device according to the present invention has the following effects.

첫째, 정밀하게 이송대상품을 이송할 수 있다. First, it is possible to precisely transfer the conveying goods.

둘째, 무한궤도레일을 이용하여 복수의 이송대상품을 연속적으로 이송가능하다. 이에 의해, 다수의 이송대상품이 연속되어 이송될 수 있으므로 생산효율이 월등히 향상된다.Second, it is possible to continuously transfer a plurality of conveying goods using the endless track rail. As a result, the production efficiency is greatly improved because a plurality of conveying products can be conveyed continuously.

도 1은, 본 발명에 따른 정밀이송장치의 개략 사시도,
도 2는, 도 1의 정밀이송장치의 평면도,
도 3은, 도 1의 정밀이송장치의 요부 개략 사시도,
도 4는, 도 3의 정밀이송장치의 요부 개략 측면도,
도 5는, 도 1의 정밀이송장치의 요부 부분 확대 측면도,
도 6은, 도 1의 정밀이송장치의 이송트레인의 확대 배면도,
도 7은, 도 1의 정밀이송장치의 이송트레인의 확대 평면도,
도 8은, 도 1의 정밀이송장치의 요부 배면 사시도,
도 9는, 도 4의 Ⅸ-Ⅸ선에 따른 개략 단면도,
도 10은, 도 1의 정밀이송장치의 이송트레인이 곡면구간 레일을 통과할 때의 요부 확대 사시도이다.1 is a schematic perspective view of a precision transfer device according to the present invention,
Figure 2 is a plan view of the precision transfer device of Figure 1,
3 is a schematic perspective view of main parts of the precision transfer device of FIG. 1;
4 is a schematic side view of main parts of the precision transfer device of FIG. 3;
5 is an enlarged side view of a main portion of the precision transfer device of FIG. 1;
6 is an enlarged rear view of the transfer train of the precision transfer device of FIG.
7 is an enlarged plan view of the transfer train of the precision transfer device of FIG.
8 is a perspective view of the main portion back of the precision transfer device of FIG.
9 is a schematic cross-sectional view taken along the line VII-VII of FIG. 4,
Fig. 10 is an enlarged perspective view of the main portion when the transfer train of the precision transfer device of Fig. 1 passes through the curved section rail.

이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 정밀이송장치에 대해서 설명하기로 한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described a precision transfer apparatus according to a preferred embodiment of the present invention.

도 1은 편의상 궤도레일(110)의 전 구간을 도시하지 않고 일부구간만 도시하기로 한다. 즉, 직선구간(B)이 대향하는 구간에서 생략되었고, 곡선구간(C)의 대향하는 구간에서도 생략되었다. 상기 궤도레일(110)은 대체로 직선구간(B) 및 상기 곡선구간(C)을 포함하는 타원형 폐루프를 형성하도록 마련될 수 있다.1 illustrates only a partial section without showing the entire section of the track rail 110 for convenience. That is, the straight line section B was omitted in the opposing section, and the straight section B was also omitted in the opposing section. The track rail 110 may be provided to form an elliptical closed loop that includes a straight section (B) and the curved section (C).

본 발명에 따른 정밀이송장치(100)는, 도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 직선구간(B) 및 상기 곡선구간(C)으로 구성된 폐루프를 형성하는 궤도레일(110)과; 상기 궤도레일(110)을 지지하는 메인바디(101)와; 이송트레인(200)과; 상기 이송트레인(200)을 구동하는 이송트레인 구동부(120)를 포함한다.The precision transfer device 100 according to the present invention, as shown in Figures 1 to 4, the track rail 110 to form a closed loop consisting of the straight section (B) and the curved section (C); A main body (101) supporting the track rail (110); A transfer train 200; It includes a transfer train drive unit 120 for driving the transfer train 200.

상기 궤도레일(110)은 상기 직선구간(B)을 형성하도록 배치된 직선구간 레일(111)과, 상기 곡선구간(C)을 형성하도록 배치된 곡선구간 레일(113)을 포함한다.The track rail 110 includes a straight section rail 111 disposed to form the straight section B, and a curved section rail 113 disposed to form the curved section C.

여기서, 상기 직선구간 레일(111)의 일단부 측에서는 상기 이송트레인(200)의 지지플레이트(210) 상에 소정의 이송대상품이 자동 또는 수동으로 적재된다.Here, at one end side of the straight section rail 111, a predetermined conveying goods on the support plate 210 of the conveying train 200 is automatically or manually loaded.

또한, 상기 직선구간 레일(111)의 타단부 측에서는 후술할 작업수행부(A)에 의해 소정의 작업이 수행된 이송대상품이 상기 지지플레이트(210)로부터 취출된다.In addition, on the other end side of the straight section rail 111, the conveying goods, which is a predetermined work performed by the work execution part A to be described later, is taken out from the support plate 210.

이렇게 이송대상품이 취출된 상기 지지플레이트(210)는 상기 곡선구간 레일(113)을 따라서 이동하고, 다시 반대방향의 직선구간 레일(미도시) 및 곡선구간 레일(미도시)을 따라서 이동하여 최초 위치로 이동될 수 있다. 즉, 상기 다수의 지지플레이트(210)는 무한궤도인 상기 궤도레일(110)을 따라서 이동될 수 있다.The support plate 210 from which the transfer table product is taken out moves along the curved section rail 113, and then moves along the straight section rail (not shown) and the curved section rail (not shown) in the opposite direction. Can be moved to a location. That is, the plurality of support plates 210 may be moved along the track rail 110 which is an infinite track.

상기 직선구간 레일(11)의 상기 일단부 및 타단부 측 사이에는 상기 적재된 이송대상품에 소정의 작업을 수행하기 위한 작업수행부(A)가 배치될 수 있다. 여기서, 상기 이송대상품은 반도체 웨이퍼 또는 솔라셀 제조용 웨이퍼 일수 있고, 상기 작업수행부(A)는 상기 반도체 웨이퍼에 인쇄잉크를 도포하기 위한 잉크분사부일 수 있다. 물론, 이러한 이송대상품 및 작업수행부는 일례에 불과하고 다양하게 변경될 수 있다. A work performing unit A may be disposed between the one end and the other end of the straight section rail 11 to perform a predetermined work on the loaded transfer table product. Here, the transfer product may be a semiconductor wafer or a wafer for manufacturing a solar cell , and the work performing part A may be an ink injection part for applying a printing ink to the semiconductor wafer. Of course, such transfer table products and work performing unit is only an example and may be variously changed.

즉, 본 발명에 따른 정밀이송장치(100)는 반도체 웨이퍼에 인쇄잉크를 분사하는 장치외에도 정밀 이송이 필요한 다양한 장치에 사용될 수 있다.That is, the precision transfer device 100 according to the present invention may be used in various devices requiring precision transfer in addition to the device for injecting a printing ink onto a semiconductor wafer.

상기 궤도레일(110) 및 상기 이송트레인(200)은 상기 2개의 중심선(J, K)에 대해서 대칭으로 배치될 수 있다.The track rail 110 and the transfer train 200 may be disposed symmetrically with respect to the two center lines (J, K).

도 1에서는 편의상 이송트레인(200)의 일부만을 도시하였다. 실제 이송트레인(200)은 상기 궤도레일(110)의 전 구간을 따라서 배치되도록 마련된다.In FIG. 1, only a part of the transfer train 200 is illustrated for convenience. The actual transfer train 200 is provided to be disposed along the entire section of the track rail 110.

한편, 상기 궤도레일(110)은 내측레일(111a, 113a)과 외측레일(111b, 113b)을 포함한다.Meanwhile, the track rail 110 includes inner rails 111a and 113a and outer rails 111b and 113b.

상기 이송트레인(200)은 다수의 이송대상품을 각각 지지하도록 상기 궤도레일(110)을 따라 서로 이격 배치된 다수의 지지플레이트(210)와; 상기 다수의 지지플레이트(210)가 각각 상기 궤도레일(110)을 따라 이동 가능하도록 상기 다수의 지지플레이트(210)에 각각 결합된 다수의 레일트래커(220)와; 상기 다수의 지지플레이트(210)가 상기 궤도레일(110)의 상기 곡선구간(C)을 이동할 때 상기 다수의 지지플레이트(210)가 서로에 대해서 회동 가능하도록 상기 다수의 지지플레이트 각각을 힌지 결합하는 힌지핀(241)을 포함한다.The transfer train 200 includes a plurality of support plates 210 spaced apart from each other along the track rail 110 so as to support a plurality of transport table products, respectively; A plurality of rail trackers 220 coupled to the plurality of support plates 210 such that the plurality of support plates 210 are movable along the track rails 110, respectively; When each of the plurality of support plates 210 moves the curved section C of the track rail 110, the plurality of support plates 210 are hinged to each of the plurality of support plates so as to be rotatable with respect to each other. Hinge pins 241 are included.

여기서, 다수의 지지플레이트(210)에 다수의 이송대상품이 연속적으로 적재되어 상기 작업수행부(A)에 의해서 연속적으로 작업될 수 있으므로 생산성이 획기적으로 증대될 수 있다.In this case, since a plurality of transfer table products are continuously loaded on the plurality of support plates 210 and can be continuously operated by the work performing unit A, productivity may be significantly increased.

여기서, 상기 다수의 지지플레이트(210)는 상기 곡선구간 레일(113)에서 서로 인접한 지지플레이트(210)들이 간섭되지 않도록 소정의 간격만큼 서로 이격된다.Here, the plurality of support plates 210 are spaced apart from each other by a predetermined interval so that the support plates 210 adjacent to each other in the curved section rail 113 do not interfere.

여기서, 상기 다수의 지지플레이트(210)는 이송대상품의 종류에 따라 상기 궤도레일(110)의 내부를 향해 연장된 연장 지지플레이트(210a)를 더 포함할 수 있다. 상기 연장 지지플레이트(210a)는 상기 지지플레이트(210)에 후술할 연결부재(131)를 통해 간접적으로 결합될 수 있다. 물론, 경우에 따라서, 상기 지지플레이트(210)에 직접 결합될 수도 있고, 일체로 제조될 수도 있다. In this case, the plurality of support plates 210 may further include an extended support plate 210a extending toward the inside of the track rail 110 according to the type of conveying goods. The extended support plate 210a may be indirectly coupled to the support plate 210 through a connection member 131 which will be described later. Of course, in some cases, it may be directly coupled to the support plate 210, it may be manufactured integrally.

상기 이송트레인 구동부(120)는 상기 직선구간(B)의 궤도레일(110), 즉 상기 직선구간 레일(111) 상에 위치하는 상기 지지플레이트(210)를 구동한다. 이에 의해, 상기 지지플레이트(210)가 상기 궤도레일(110)을 따라서 이동 가능하다.The transfer train driver 120 drives the support plate 210 positioned on the track rail 110 of the straight section B, that is, the straight section rail 111. As a result, the support plate 210 is movable along the track rail 110.

도 3, 도 6 및 도 8에 도시된 바와 같이, 상기 다수의 레일트래커(220)는, 각각, 상기 내측레일(111a, 113a)의 상면을 따라서 구름회전 가능한 복수의 내측레일 상면롤러(222)와; 상기 내측레일(111a, 113a)의 하면을 따라서 구름회전 가능한 복수의 내측레일 하면롤러(221)와; 상기 내측레일(111a, 113a)의 측면을 따라서 구름회전 가능한 복수의 내측레일 측면롤러(223)와; 상기 외측레일(111b, 113b)의 상면을 따라서 구름회전 가능한 복수의 외측레일 상면롤러(226)와; 상기 외측레일(111b, 113b)의 하면을 따라서 구름회전 가능한 복수의 외측레일 하면롤러(225)와; 상기 외측레일(111b, 113b)의 측면을 따라서 구름회전 가능한 복수의 외측레일 측면롤러(227)를 포함한다.3, 6 and 8, the plurality of rail tracker 220, respectively, a plurality of inner rail upper surface rollers 222 rotatable along the upper surface of the inner rail (111a, 113a) Wow; A plurality of inner rail lower surface rollers 221 rotatable along the lower surfaces of the inner rails 111a and 113a; A plurality of inner rail side rollers 223 rotatable along the side surfaces of the inner rails 111a and 113a; A plurality of outer rail upper surface rollers 226 rotatable along the upper surfaces of the outer rails 111b and 113b; A plurality of outer rail lower surface rollers 225 rotatable along the lower surfaces of the outer rails 111b and 113b; It includes a plurality of outer rail side rollers 227 rotatable along the sides of the outer rail (111b, 113b).

상기 다수의 레일트래커(220)는 상기 다수의 지지플레이트(210)에 각각 대응하여 상기 지지플레이트(210)의 하측에 설치될 수 있다.The plurality of rail trackers 220 may be installed at the lower side of the support plate 210 to correspond to the plurality of support plates 210, respectively.

보다 구체적으로 설명하면, 도 3 및 도 8에 도시된 바와 같이, 하나의 지지플레이트(210) 마다 하나의 레일트래커(220)가 설치된다. 즉, 상기 하나의 지지플레이트(210)의 하측에 상기 궤도레일(110)을 따라 진행하는 방향을 따라 전방측 및 후방측에 각각 한 쌍의 내측레일 상면롤러(222) 및 하면롤러(221)와, 한 쌍의 외측롤러 상면롤러(226) 및 하면롤러(225)가 설치된다.More specifically, as illustrated in FIGS. 3 and 8, one rail tracker 220 is installed for each support plate 210. That is, the pair of inner rail upper surface rollers 222 and the lower surface rollers 221 on the front side and the rear side, respectively, in the direction traveling along the track rail 110 below the one support plate 210 and , A pair of outer roller upper roller 226 and the lower roller 225 is provided.

한편, 도 8에 도시된 바와 같이, 상기 다수의 레일트래커(220)는, 각각, 상기 내측레일 상면롤러(222) 및 상기 내측레일 하면롤러(221)를 함께 회전가능하게 지지하는 제1지지부재(231)와; 상기 외측레일 상면롤러(226) 및 상기 외측레일 하면롤러(225)를 함께 회전가능하게 지지하는 제2지지부재(232)와; 상기 내측레일 측면롤러(223)를 회전가능하게 지지하는 제3지지부재(233)와; 상기 외측레일 측면롤러(227)를 회전 가능하게 지지하는 제4지지부재(234)를 더 포함할 수 있다.On the other hand, as shown in Figure 8, the plurality of rail tracker 220, each of the first support member for rotatably supporting the inner rail upper surface roller 222 and the inner rail lower surface roller 221 together 231; A second support member 232 for rotatably supporting the outer rail upper surface roller 226 and the outer rail lower surface roller 225 together; A third supporting member 233 rotatably supporting the inner rail side roller 223; It may further include a fourth support member 234 for rotatably supporting the outer rail side roller 227.

여기서, 상기 제1지지부재(231)는 도 7에 도시된 바와 같이, 제1체결구(236)에 의해서 상기 지지플레이트(210)에 결합될 수 있다.Here, the first support member 231 may be coupled to the support plate 210 by the first fastener 236, as shown in FIG. 7.

또한, 상기 제2지지부재(232)는 도 7에 도시된 바와 같이, 제2제결구(235)에 의해 상기 지지플레이트(210)에 결합될 수 있다.In addition, as shown in FIG. 7, the second support member 232 may be coupled to the support plate 210 by a second fastener 235.

상기 제3지지부재(233)는 후술할 도 8에 도시된 동력전달부(130)에 결합될 수 있다.The third support member 233 may be coupled to the power transmission unit 130 shown in FIG. 8 to be described later.

상기 제4지지부재(234)는 도 7 및 도 8에 도시된 바와 같이, 결합핀(237)에 의해서 상기 지지플레이트(210)에 결합될 수 있다. 물론, 상술한 제1 내지 제4지지부재(231, 232, 233, 234)의 결합대상 및 결합방식은 일례에 불과하고 각 지지부재가 지지하는 롤러를 회전 가능하게 지지할 수 있는 한, 다양하게 변경될 수 있다.As shown in FIGS. 7 and 8, the fourth support member 234 may be coupled to the support plate 210 by a coupling pin 237. Of course, the above-described first and fourth support members 231, 232, 233, 234, the coupling object and the coupling method is only one example, as long as it can rotatably support the roller supported by each support member, can be changed.

상기 정밀이송장치(100)는, 도 8 및 도 9에 도시된 바와 같이, 상기 복수의 내측레일 상면롤러(222) 및 상기 복수의 외측레일 상면롤러(226)를 상기 내측레일(111a)의 상면(S1) 및 상기 외측레일(111b)의 상면(S1)을 향해 각각 탄성바이어스 시키는 복수의 상면 탄성바이어스 부재(250)를 더 포함할 수 있다.As shown in FIGS. 8 and 9, the precision transfer device 100 may include the upper rails 222 and the upper rails 226 of the upper rails 226, and the upper rails of the inner rails 111a. A plurality of upper elastic bias members 250 for elastic biasing toward the upper surface S1 of the S1 and the outer rail 111b may be further included.

이에 의해, 상기 복수의 내측레일 상면롤러(222) 및 상기 복수의 외측레일 상면롤러(226)가 상기 궤도레일(110)의 상면(S1)으로부터 이격되지 않고 상면(S1)과 접촉을 유지할 수 있다. 이로써, 상기 지지플레이트(210)의 상면에 배치된 이송대상품이 상하 요동 없이 안정적으로 이송될 수 있다.As a result, the plurality of inner rail upper surface rollers 222 and the plurality of outer rail upper surface rollers 226 may maintain contact with the upper surface S1 without being spaced apart from the upper surface S1 of the track rail 110. . As a result, the transfer table product disposed on the upper surface of the support plate 210 may be stably transferred without vertical swing.

여기서, 상기 궤도레일(111)의 상면(S1)을 기준면으로서 설정함으로써 상면롤러(222, 226)를 상기 상면(S1)에 탄성바이어스 시킨 것이다. 경우에 따라서는 상기 궤도레일(111)의 하면(S3)을 기준면으로 하는 경우에는 상기 하면롤러(221, 225)를 상기 하면(S3)을 향해 탄성바이어스 시키는 하면 탄성바이어스 부재(미도시)로 대체할 수도 있다.Here, the upper surface rollers 222 and 226 are elastically biased to the upper surface S1 by setting the upper surface S1 of the track rail 111 as a reference surface. In some cases, when the lower surface S3 of the track rail 111 is used as a reference surface, the lower surface rollers 221 and 225 are elastically biased toward the lower surface S3 to be replaced with an elastic biasing member (not shown). You may.

또한, 상기 정밀이송장치(100)는, 도 8 및 도 9에 도시된 바와 같이, 상기 복수의 내측레일 측면롤러(223) 및 상기 복수의 외측레일 측면롤러(227) 중 어느 하나를 상기 내측레일(111a)의 측면 또는 상기 외측레일(111b)의 측면을 향해 탄성바이어스 시키는 복수의 측면 탄성바이어스 부재(260)를 더 포함할 수 있다. In addition, the precision transfer device 100, as shown in Figure 8 and 9, any one of the plurality of inner rail side rollers 223 and the plurality of outer rail side rollers 227 the inner rail It may further include a plurality of side elastic biasing member 260 to elastically bias toward the side of the (111a) or the side of the outer rail (111b).

여기서, 도 8은 상기 측면 탄성바이어스 부재(260)가 잘 드러날 수 있도록, 일측의 지지플레이트(210)에 결합된 동력전달부(130)를 제거하고 도시한 것이다.Here, FIG. 8 shows and removes the power transmission unit 130 coupled to the support plate 210 on one side so that the side elastic bias member 260 is easily exposed.

상기 복수의 측면 탄성바이어스 부재(260)는, 도 8 및 도 9에 도시된 바와 같이, 상기 복수의 내측레일 측면롤러(223)를 상기 내측레일(111a)의 측면(S2)을 향해 탄성 바이어스 시키도록 마련될 수 있다. 이에 의해, 상기 내측레일 측면롤러(223)가 상기 내측레일(111a)의 측면(S2)으로부터 이격되지 않고 측면(S2)과 접촉을 유지하면서 구름회전 가능하다. 이로써, 상기 지지플레이트(210)가 상기 궤도레일(110)의 폭방향을 따라서 요동되지 않고 정밀하게 이송될 수 있다.As illustrated in FIGS. 8 and 9, the plurality of side elastic bias members 260 elastically bias the plurality of inner rail side rollers 223 toward the side surface S2 of the inner rail 111a. It may be arranged to. As a result, the inner rail side roller 223 is capable of rolling while maintaining contact with the side surface S2 without being spaced apart from the side surface S2 of the inner rail 111a. As a result, the support plate 210 may be precisely conveyed without swinging along the width direction of the track rail 110.

상기 상면 탄성바이어스 부재(250)는 도 8에 도시된 바와 같이, 상기 제2지지부재(232)와 상기 지지플레이트(210)의 하면 사이에 배치될 수 있다. 보다 상세하게 설명하면, 도 7에 도시된 바 있는, 상기 제2지지부재(232)를 상기 지지플레이트(210)에 결합하기 위한 제2체결구(235)에 상기 상면 탄성바이어스 부재(250)가 삽입되어 상기 제2지지부재(232)를 상방향(F2)으로 탄성바이어스 시킬 수 있다. 이에 의해, 도 9에 도시된 바와 같이, 상기 제2지지부재(232)에 의해 회전 가능하게 지지된 상기 외측레일 상면롤러(226)가 상기 외측레일(111b)의 상면(S1)에 접촉유지될 수 있다.As shown in FIG. 8, the upper elastic bias member 250 may be disposed between the second support member 232 and the lower surface of the support plate 210. In more detail, as illustrated in FIG. 7, the upper elastic bias member 250 is provided in the second fastener 235 for coupling the second support member 232 to the support plate 210. The second support member 232 may be inserted to elastically bias in an upward direction F2. As a result, as illustrated in FIG. 9, the outer rail upper surface roller 226 rotatably supported by the second supporting member 232 may be held in contact with the upper surface S1 of the outer rail 111b. Can be.

또한, 상기 상면 탄성바이어스 부재(250)는, 도 8에 도시된 바와 같이, 상기 제2지지부재(231)와 상기 지지플레이트(210)의 하면 사이에 배치될 수 있다. 보다 상세하게 설명하면, 도 7에 도시된 바 있는, 상기 제1지지부재(231)를 상기 지지플레이트(210)에 결합하기 위한 제1체결구(236)에 상기 상면 탄성바이어스 부재(250)가 삽입되어 상기 제1지지부재(231)를 상방향(F2)으로 탄성바이어스 시킬 수 있다. 이에 의해, 도 9에 도시된 바와 같이, 상기 제1지지부재(231)에 의해 회전 가능하게 지지된 상기 내측레일 상면롤러(222)가 상기 내측레일(111a)의 상면(S1)에 접촉유지될 수 있다.In addition, the upper elastic bias member 250 may be disposed between the second support member 231 and the lower surface of the support plate 210 as shown in FIG. 8. In more detail, the upper elastic bias member 250 is provided in the first fastener 236 for coupling the first support member 231 to the support plate 210, as shown in FIG. 7. Inserted to elastically bias the first support member 231 in the upward direction (F2). As a result, as illustrated in FIG. 9, the inner rail upper surface roller 222 rotatably supported by the first supporting member 231 may be held in contact with the upper surface S1 of the inner rail 111a. Can be.

한편, 상기 측면 탄성바이어스 부재(260)는, 도 8 및 도 9에 도시된 바와 같이, 상기 제3지지부재(233)를 상기 내측레일(111a)의 측면(S2)을 향해 탄성가압하도록 마련될 수 있다. Meanwhile, as shown in FIGS. 8 and 9, the side elastic bias member 260 may be provided to elastically press the third support member 233 toward the side surface S2 of the inner rail 111a. Can be.

상기 제3지지부재(233)는 상기 동력전달부(130)의 연결부재(131)에 제3체결구(238)에 의해 결합될 수 있다. 상기 측면 탄성바이어스 부재(260)는 도 8에 도시된 바와 같이, 상기 제3체결구(238)에 삽입되어 상기 내측레일 측면롤러(233)를 내측방향(F1)으로 탄성 가압할 수 있다. 이러한, 측면 탄성바이어스 부재(260)의 결합방식은 일례에 불과하고, 상기 내측레일 측면롤러(233)를 상기 내측방향(F1)으로 탄성 가압할 수 있는 한 그 결합방식은 다양하게 변경될 수 있다.The third support member 233 may be coupled to the connection member 131 of the power transmission unit 130 by a third fastener 238. As shown in FIG. 8, the side elastic bias member 260 may be inserted into the third fastening hole 238 to elastically press the inner rail side roller 233 in the inward direction F1. The coupling method of the side elastic bias member 260 is just an example, and the coupling method may be variously changed as long as the inner rail side roller 233 may be elastically pressed in the inward direction F1. .

상기 상면 탄성바이어스 부재(250) 및 상기 측면 탄성바이어스 부재(260)는 코일 스프링 및 판스프링 중 적어도 어느 하나를 포함할 수 있다.The upper elastic bias member 250 and the side elastic bias member 260 may include at least one of a coil spring and a leaf spring.

상기 이송트레인 구동부(120)는 도 3 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 무한궤도 회전하는 타이밍벨트(122)와; 상기 타이밍벨트(122)를 구동하는 구동모터(121)와; 상기 구동모터(121)의 구동력에 의해 종동회전 하는 종동롤러(126)와, 상기 구동모터(121) 및 상기 종동롤러(126)를 지지하는 구동부 바디(128)를 포함한다. The transfer train drive unit 120, as shown in Figures 3 to 5, and the timing belt 122 to rotate the endless track; A driving motor 121 for driving the timing belt 122; A driven roller 126 driven by the driving force of the drive motor 121, and a drive unit 128 for supporting the drive motor 121 and the driven roller 126.

상기 구동부 바디(128)는 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 궤도레일(110)의 하측에서 상기 메인바디(도 1의 101)에 결합될 수 있다. 보다 상세하게는, 상기 구동부 바디(128)는 상기 직선구간(B)에 위치하는 상기 직선구간 레일(111)의 하측에 배치될 수 있다.As shown in FIG. 3, the driving unit body 128 may be coupled to the main body (101 of FIG. 1) at the lower side of the track rail 110. In more detail, the driving unit body 128 may be disposed below the straight section rail 111 positioned in the straight section B.

상기 이송트레인 구동부(120)는 상기 전 구간의 궤도레일(110)을 따라서 배치된 이송트레인(200) 중 상기 직선구간(B)에 위치하는 이송트레인(200)을 구동할 수 있다. 상기 이송트레인(200) 전체가 상기 궤도레일(110)을 따라서 배치되어 있는 바, 직선구간(B) 상에 위치하는 이송트레인(220)을 구동함으로써 전체 이송트레인(200)을 회전시킬 수 있다.The transfer train driver 120 may drive the transfer train 200 located in the straight section B of the transfer trains 200 disposed along the track rail 110 of the entire section. Since the entire transport train 200 is disposed along the track rail 110, the entire transport train 200 may be rotated by driving the transport train 220 positioned on the straight section B.

상기 타이밍벨트(122)의 상하면에는 각각 치형(齒型, 123)이 형성될 수 있다. 상기 구동모터(121)의 구동롤러(미도시)의 외면 및 상기 종동롤러(126)의 외면에도 그에 대응하는 치형이 형성될 수 있다.Teeth 123 may be formed on upper and lower surfaces of the timing belt 122, respectively. Corresponding teeth may be formed on the outer surface of the driving roller (not shown) of the driving motor 121 and the outer surface of the driven roller 126.

상기 구동모터(121)의 구동롤러(미도시)와 상기 종동롤러(126) 사이에는 복수의 중간롤러(125)들이 소정 간격으로 배치될 수 있다.A plurality of intermediate rollers 125 may be disposed at predetermined intervals between the driving roller (not shown) of the driving motor 121 and the driven roller 126.

상기 구동모터(121)는 전기모터, 보다 상세하게는 서보모터 일 수 있다.The drive motor 121 may be an electric motor, more specifically, a servo motor.

상기 이송트레인 구동부(120)는 도 1에 도시된 직선구간 레일(111)의 반대측에도 마련될 수도 있다. 즉, 서로 대향하는 직선구간(B) 각각에 이송트레인 구동부(120)가 설치될 수도 있다.The transfer train driver 120 may be provided on the opposite side of the straight section rail 111 shown in FIG. 1. That is, the transfer train driver 120 may be installed in each of the straight sections B facing each other.

한편, 상기 정밀이송장치(100)는 상기 이송트레인 구동부(120)의 구동력을 상기 이송트레인(200)에 전달하기 위한 동력전달부(130)를 더 포함할 수 있다.On the other hand, the precision transfer device 100 may further include a power transmission unit 130 for transmitting the driving force of the transfer train drive unit 120 to the transfer train 200.

상기 동력전달부(130)는, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 이송트레인(200)의 각 지지플레이트(210)에 설치될 수 있다.The power transmission unit 130, as shown in Figures 3 and 4, may be installed on each support plate 210 of the transfer train 200.

상기 동력전달부(130)는 상기 타이밍벨트(122)의 상면 치형(도 5의 123)에 결합되는 벨트결합부재(133)와, 상기 벨트결합부재(133)와 상기 지지플레이트(210)를 연결하는 연결부재(131)를 포함한다.The power transmission unit 130 is connected to the belt coupling member 133 is coupled to the upper surface teeth (123 of Figure 5) of the timing belt 122, the belt coupling member 133 and the support plate 210 is connected. It includes a connecting member 131.

상기 벨트결합부재(133)는 상기 타이밍벨트(122)의 상면 치형(도 5의 123)에 대응하는 하면치형(133a)을 포함한다.The belt coupling member 133 includes a lower surface tooth 133a corresponding to the upper surface tooth 123 of FIG. 5.

상기 연결부재(131)는 상기 지지플레이트(210) 및 상기 벨트결합부재(133)에 체결구에 의해서 각각 결합될 수 있다.The connection member 131 may be coupled to the support plate 210 and the belt coupling member 133 by fasteners, respectively.

상기 연결부재(131)에는 상술한 바와 같이, 상기 제3지지부재(233)가 결합될 수 있다.As described above, the third support member 233 may be coupled to the connection member 131.

이에 의해, 상기 이송트레인(200)이 상기 직선구간(도 1의 B)을 진입하는 경우, 각 지지플레이트(210)의 하측에 설치된 상기 동력전달부(130)의 상기 벨트결합부재(133)와 상기 타이밍벨트(122)가 서로 맞물려서 상기 이송트레인(200)이 연속적으로 회전 구동될 수 있다.As a result, when the transfer train 200 enters the straight section (B of FIG. 1), the belt coupling member 133 of the power transmission unit 130 installed below each support plate 210 and Since the timing belt 122 is engaged with each other, the transfer train 200 may be continuously rotated.

한편, 상기 이송트레인(200)의 각 지지플레이트(210)는 내측레일(도 3의 111a, 113a)측으로 편향 배치된 힌지핀(241)에 의해서 결합된다. 즉, 상기 힌지핀(241)은 상기 각 지지플레이트(210)에서 상기 내측레일(111a, 113a) 측으로 편향 배치된다. 이에 의해, 도 10에 도시된 바와 같이, 상기 이송트레인(200)이 상기 궤도레일(110)의 상기 곡선구간 레일(113)을 통과할 때 각각의 지지플레이트(210)가 서로에 대해서 회동 가능하게 마련됨으로써, 각각의 지지플레이트(210)가 곡선구간 레일(113)을 원활하게 트래킹하여 이동 가능하다. On the other hand, each support plate 210 of the transfer train 200 is coupled by a hinge pin 241 is deflected toward the inner rail (111a, 113a of Figure 3). That is, the hinge pins 241 are deflected toward the inner rails 111a and 113a from the support plates 210. As a result, as shown in FIG. 10, when the transfer train 200 passes through the curved section rail 113 of the track rail 110, each support plate 210 is rotatable with respect to each other. By being provided, each of the support plates 210 can move by smoothly tracking the curved section rail 113.

상기 각 지지플레이트(210)는 상기 힌지핀(241)으로 서로 결합가능하도록 마련된 힌지핀 결합부(211)를 포함한다.Each support plate 210 includes a hinge pin coupling portion 211 is provided to be coupled to each other by the hinge pin 241.

상기 힌지핀 결합부(211)는 도 10에 도시된 바와 같이, 상기 이송트레인(200)의 이송방향에 대해 전방측으로 연장된 전방측 연장부(211a)와; 상기 이송트레인(200)의 이송방향에 대해 전방측으로 연장된 후방측 연장부(211b)를 포함한다.As shown in FIG. 10, the hinge pin coupling part 211 includes a front side extension part 211a extending forward in the transfer direction of the transfer train 200; And a rear side extension part 211b extending toward the front side with respect to the transfer direction of the transfer train 200.

상기 전방측 연장부(211a) 및 상기 후방측 연장부(211b)는 상기 힌지핀(241)이 삽입되는 힌지핀 삽입공(미도시)을 갖는다.The front side extension part 211a and the rear side extension part 211b have a hinge pin insertion hole (not shown) into which the hinge pin 241 is inserted.

상기 지지플레이트(210)의 전방측 연장부(211a)와 상기 지지플레이트(210)에 인접한 지지플레이트(210)의 후방측 연장부(211b)가 상기 힌지핀 삽입공(미도시)이 동심이 되도록 서로 상하로 배치되고, 상기 동심의 힌지핀 삽입공(미도시)에 상기 힌지핀(241)이 삽입됨으로써 복수의 지지플레이트(210)가 서로에 대해 회동 가능하게 연결될 수 있다. The hinge pin insertion hole (not shown) is concentric with the front extension part 211a of the support plate 210 and the rear extension part 211b of the support plate 210 adjacent to the support plate 210. The support plate 210 may be rotatably connected to each other by being disposed up and down with each other and the hinge pin 241 is inserted into the concentric hinge pin insertion hole (not shown).

여기서, 상기 정밀이송장치(100)는, 상기 이송트레인(200)이 정속으로 궤도레일(110)을 따라서 이동 가능하도록 상기 구동모터(121)를 제어하는 제어부(미도시)를 더 포함할 수 있다.Here, the precision transfer device 100 may further include a controller (not shown) for controlling the drive motor 121 to allow the transfer train 200 to move along the track rail 110 at a constant speed. .

본 발명은 도시된 실시예를 참고로 설명하였으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 실시예의 변형이 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 범위는 첨부된 특허청구의 범위와 이와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다. Although the present invention has been described with reference to the illustrated embodiments, it is merely exemplary, and those skilled in the art will understand that various modifications and variations can be made therefrom. Accordingly, the scope of the invention should be defined by the appended claims and their equivalents.

100: 정밀이송장치 110: 궤도레일
111: 직선구간 레일 113: 곡선구간 레일
111a, 113a: 내측레일 111b, 113b: 외측레일
120: 이송트레인 구동부 121: 구동모터
122: 타이밍벨트 126: 종동롤러
130: 동력전달부 131: 연결부재
133: 벨트결합부재 200: 이송트레인
210: 지지플레이트 220: 레일트래커
221: 내측레일 하면롤러 222: 내측레일 상면롤러
223: 내측레일 측면롤러 225: 외측레일 하면롤러
226: 외측레일 상면롤러 227: 외측레일 측면롤러
231: 제1지지부재 232: 제2지지부재
233: 제3지지부재 234: 제4지지부재
250: 상면 탄성바이어스부재 260: 측면 탄성바이어스부재100: precision feeder 110: track rail
111: straight section rail 113: curved section rail
111a, 113a: inner rail 111b, 113b: outer rail
120: transfer train drive unit 121: drive motor
122: timing belt 126: driven roller
130: power transmission unit 131: connecting member
133: belt coupling member 200: transfer train
210: support plate 220: rail tracker
221: inner rail lower surface roller 222: inner rail upper roller
223: inner rail side roller 225: outer rail lower roller
226: upper rail upper surface roller 227: outer rail side roller
231: first support member 232: second support member
233: third support member 234: fourth support member
250: upper elastic bias member 260: side elastic bias member

Claims (5)

정밀이송장치에 있어서,
직선구간 및 곡선구간을 가지며 폐루프를 형성하는 궤도레일과;
상기 궤도레일을 지지하는 메인바디와;
다수의 이송대상품을 각각 지지하도록 상기 궤도레일을 따라 서로 이격 배치된 다수의 지지플레이트와, 상기 다수의 지지플레이트가 각각 상기 궤도레일을 따라 이동 가능하도록 상기 다수의 지지플레이트에 각각 결합된 다수의 레일트래커와, 상기 다수의 지지플레이트가 상기 궤도레일의 상기 곡선구간을 이동할 때 상기 다수의 지지플레이트가 서로에 대해서 회동 가능하도록 상기 다수의 지지플레이트 각각을 힌지 결합하는 힌지핀을 포함하는 이송트레인과;
상기 직선구간의 궤도레일 상에 위치하는 상기 지지플레이트를 상기 궤도레일을 따라 이동시키는 이송트레인 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 정밀이송장치.In precision feeder,
A track rail having a straight section and a curved section and forming a closed loop;
A main body supporting the track rail;
A plurality of support plates spaced apart from each other along the track rail to support a plurality of conveying products, respectively, and a plurality of support plates respectively coupled to the plurality of support plates to move the plurality of support plates along the track rail, respectively. A transfer track including a rail tracker and hinge pins hinged to each of the plurality of support plates so that the plurality of support plates can rotate relative to each other when the plurality of support plates move the curved section of the track rail; ;
And a transport train driving unit for moving the support plate along the track rail, wherein the support plate is positioned on the track rail of the straight section. 제1항에 있어서,
상기 궤도레일은 내측레일과 외측레일을 포함하며,
상기 다수의 레일트래커는, 각각,
상기 내측레일의 상면 및 하면 각각을 따라서 구름회전 가능한 복수의 내측레일 상면롤러 및 하면롤러와;
상기 내측레일의 측면을 따라서 구름회전 가능한 복수의 내측레일 측면롤러와;
상기 외측레일의 상면 및 하면 각각을 따라서 구름회전 가능한 복수의 외측레일 상면롤러 및 하면롤러와;
상기 외측레일의 측면을 따라서 구름회전 가능한 복수의 외측레일 측면롤러를 포함하는 것을 특징으로 하는 정밀이송장치.The method of claim 1,
The track rail includes an inner rail and an outer rail,
The plurality of rail trackers, respectively,
A plurality of inner rail upper and lower rollers rotatable along the upper and lower surfaces of the inner rail;
A plurality of inner rail side rollers rotatable along the side of the inner rail;
A plurality of outer rail upper and lower rollers rotatable along the upper and lower surfaces of the outer rail, respectively;
Precision conveying apparatus comprising a plurality of outer rail side rollers rotatable along the side of the outer rail. 제2항에 있어서,
상기 복수의 내측레일 상면롤러 및 상기 복수의 외측레일 상면롤러를 상기 내측레일의 상면을 향해 탄성바이어스 시키는 상면 탄성바이어스 부재와;
상기 복수의 내측레일 측면롤러 및 상기 복수의 외측레일 측면롤러 중 어느 하나를 상기 내측레일의 측면 또는 상기 외측레일의 측면을 향해 탄성바이어스 시키는 측면 탄성바이어스 부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 정밀이송장치.The method of claim 2,
An upper surface biasing member for elastically biasing the plurality of inner rail upper surface rollers and the plurality of outer rail upper surface rollers toward the upper surface of the inner rail;
Precision conveying apparatus further comprises a side elastic biasing member for elastically biasing any one of the plurality of inner rail side rollers and the plurality of outer rail side rollers toward the side of the inner rail or the side of the outer rail. . 제1항에 있어서,
상기 궤도레일은 내측레일과 외측레일을 포함하며,
상기 힌지핀은 상기 지지플레이트에서 상기 내측레일 측으로 편향 배치된 것을 특징으로 하는 정밀이송장치.The method of claim 1,
The track rail includes an inner rail and an outer rail,
The hinge pin is a precision transfer device, characterized in that the deflection disposed on the inner rail side from the support plate. 제2항에 있어서,
상기 다수의 레일트래커는, 각각,
상기 내측레일 상면롤러 및 상기 내측레일 하면롤러를 함께 지지하는 제1지지부재와;
상기 외측레일 상면롤러 및 상기 외측레일 하면롤러를 함께 지지하는 제2지지부재와;
상기 내측레일 측면롤러를 지지하는 제3지지부재와;
상기 외측레일 측면롤러를 지지하는 제4지지부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 정밀이송장치.The method of claim 2,
The plurality of rail trackers, respectively,
A first support member supporting the inner rail upper surface roller and the inner rail lower surface roller together;
A second support member supporting the outer rail upper surface roller and the outer rail lower surface roller together;
A third supporting member supporting the inner rail side roller;
And a fourth support member for supporting the outer rail side rollers.
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