KR20130037520A - 기판 이송 유닛 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 실시예는 기판을 이송하는 기판 이송 유닛을 제공한다. 기판 이송 유닛은 서로 이격되게 배치되는 프레임, 상기 프레임 사이에 위치되어 기판을 제 1 방향으로 이송하도록 상기 제 1 방향을 따라 복수 개가 제공되고, 상부에서 바라볼 때 길이방향이 상기 제 1 방향과 수직한 제 2 방향으로 제공되는 샤프트, 그리고 상기 샤프트의 양 끝단에 각각 제공되고, 상기 샤프트가 회전 가능하도록 상기 샤프트를 지지하는 브라켓을 포함하되; 상기 브라켓은 상기 프레임 상에서 상기 제 1 방향을 따라 위치 변경 가능하다. 이로 인해 기판에 따라 샤프트 간의 간격을 조절할 수 있다.

Description

기판 이송 유닛{Unit for transferring substrate}
본 발명은 기판을 이송하는 기판 이송 유닛에 관한 것이다.
최근 들어, 정보 처리 기기는 다양한 형태의 기능과 더욱 빨라진 정보 처리 속도를 갖도록 급속하게 발전하고 있다. 이러한 정보 처리 장치는 가동된 정보를 표시하는 표시 패널(display panel)을 가진다. 최근에는 기술의 급속한 발전에 따라 액정 디스플레이(LCD)와 같은 평판 표시 패널의 사용이 급격히 증대하고 있으며, 그 크기 및 무게 또한 증대되고 있다.
이와 같은 평판 표시 패널을 제조하기 위해서는 다양한 공정들이 수행되며, 평판형 디스플레이 장치에 사용되는 기판은 이송 유닛에 의해 각각의 공정들이 수행되는 처리 유닛들 간 또는 처리 유닛들 내에서 이송된다.
이송 유닛은 바 형상을 가지는 복수 개의 샤프트들을 일정 간격으로 이격되게 배치한 후, 이를 회전시켜 기판을 이송한다. 샤프트들 간의 간격은 기판의 두께, 무게, 그리고 사이즈에 따라 결정되며, 결정된 간격에 맞게 샤프트는 고정 설치된다.
이로 인해 기판의 두께, 무게, 그리고 사이즈가 변경 시 샤프트들 간에 간격이 변경된 이송 유닛을 새롭게 제공해야 한다.
한국 공개 특허번호: 10-2009-51930호
본 발명의 실시예는 기판에 따라 샤프트 간의 간격을 조절할 수 있는 기판 이송 유닛을 제공하고자 한다.
본 발명의 실시예는 기판을 이송하는 기판 이송 유닛을 제공한다. 기판 이송 유닛은 서로 이격되게 배치되는 프레임, 상기 프레임 사이에 위치되어 기판을 제 1 방향으로 이송하도록 상기 제 1 방향을 따라 복수 개가 제공되고, 상부에서 바라볼 때 길이방향이 상기 제 1 방향과 수직한 제 2 방향으로 제공되는 샤프트, 그리고 상기 샤프트의 양 끝단에 각각 제공되고, 상기 샤프트가 회전 가능하도록 상기 샤프트를 지지하는 브라켓을 포함하되; 상기 브라켓은 상기 프레임 상에서 상기 제 1 방향을 따라 위치 변경 가능하다.
상기 브라켓과 대향되는 상기 프레임의 일면에 설치되는 가이드 레일을 더 포함하되; 상기 브라켓은 상기 가이드 레일에 장착될 수 있다. 상기 프레임은 상기 브라켓과 대향되는 일면에 상기 제 1 방향을 따라 내측에 나산산이 형성된 홈이 복수 개로 제공되되; 상기 브라켓에는 상기 홈과 대향되는 위치에 홀에 형성되어 나사 결합 가능할 수 있다. 서로 이격된 상기 샤프트들 사이에 배치되어 상기 기판의 측부를 지지하는 지지 롤러를 더 포함하되; 상기 지지 롤러는 상기 샤프트와 동일한 속도로 회전될 수 있다.
본 발명의 실시예는 기판에 따라 샤프트 간의 간격을 조절할 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 기판 처리 장치를 보여주는 단면도이다.
도 2는 도 1의 세정 챔버의 내부를 보여주는 평면도이다.
도 3은 도 1의 기판 이송 유닛을 보여주는 사시도이다.
도 4는 도 3의 기판 이송 유닛을 다른 각도에서 보여주는 사시도이다.
도 5는 도 2의 다른 실시예에 따른 세정 챔버의 내부를 보여주는 평면도이다.
이하, 본 발명의 실시예를 첨부된 도면 도 1 내지 도 5를 참조하면서 상세히 설명한다. 본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상술하는 실시예로 인해 한정되어 지는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 실시예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 요소의 형상은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장된 것이다.
본 실시예에서 기판은 평판 표시 패널 제조에 사용되는 기판(S)을 예로 들어 설명한다. 그러나 이와 달리 기판은 반도체 칩 제조에 사용되는 웨이퍼일 수 있다.
도 1은 본 발명의 기판 처리 장치를 보여주는 단면도이고, 도 2는 도 1의 세정 챔버의 내부를 보여주는 평면도이다. 도 1 및 도 2를 참조하면, 기판 처리 장치는 챔버(100), 기판 이송 유닛(300), 그리고 유체 공급 유닛(500)을 가진다. 챔버(100)는 공정이 수행되는 공간을 제공한다. 기판 이송 유닛(300)은 챔버(100) 내에서 기판(S)을 제 1 방향(12)으로 이송시킨다. 유체 공급 유닛(500)은 챔버(100) 내에서 이송 부재에 의해 이송되는 기판(S)을 세정 및 건조 처리한다.
다음에는 상술한 구성요소들에 대해 상세히 설명한다. 챔버(100)는 기판(S)에 대해 세정 공정 및 건조 공정이 순차적으로 수행되는 공간을 제공한다. 챔버(100)는 세정 챔버(100a) 및 건조 챔버(100b)를 가진다. 세정 챔버(100a) 및 건조 챔버(100b)는 제 1 방향(12)을 따라 순차적으로 배치된다. 세정 챔버(100a) 및 건조 챔버(100b)는 서로 동일한 형상을 가지므로, 건조 챔버(100b)에 대해 중복되는 설명은 생략한다. 세정 챔버(100a)는 그 내부가 빈 대체로 직육면체 형상을 가진다. 세정 챔버(100a)의 일측면에는 그 내부에 기판(S)이 유입되는 유입구(24)가 제공되고, 이와 마주보는 타측면에는 내부로부터 기판(S)이 유출되는 유출구(22)가 제공된다. 세정 챔버(100a)는 그 유출구(22)가 건조 챔버(100b)의 유입구(24)와 대향되도록 배치된다.
세정 챔버(100a) 및 건조 챔버(100b) 각각의 내부에는 기판 이송 유닛(300)이 각각 배치된다. 기판 이송 유닛(300)은 기판(S)을 제 1 방향(12)으로 이송한다. 도 3은 도 1의 기판 이송 유닛을 보여주는 사시도이고, 도 4는 도 3의 기판 이송 유닛을 다른 각도에서 보여주는 사시도이다. 도 3 및 도 4를 참조하면, 기판 이송 유닛(300)은 샤프트(310), 롤러(320), 브라켓(330), 프레임(350), 가이드 레일(370), 구동 부재(500), 회전축(372), 그리고 지지 롤러(370)를 가진다. 샤프트(310)는 세정 챔버(100a) 및 건조 챔버(100b) 내에 각각 복수 개로 제공된다. 각각의 샤프트(310)는 그 길이방향이 제 1 방향(12)과 수직한 제 2 방향(14)으로 제공되며, 제 1 방향(12)을 따라 나란하게 배치된다. 선택적으로 각각의 샤프트(310)의 일단과 타단이 상이한 높이로 제공되어 기판(S)을 제 2 방향(14)에 대해 경사진 상태로 이송할 수 있다. 각각의 샤프트(310)는 서로 간에 일정 간격으로 이격되게 배치된다. 샤프트들(310)은 유입구(24)와 인접한 위치에서부터 유출구(22)와 인접한 위치까지 제공된다. 롤러(320)는 복수 개로 제공되어 각각의 샤프트(310)의 외주면에 그 길이방향을 따라 고정결합된다. 롤러(320)들은 기판(S)을 이송 시 기판(S)의 저면을 지지한다.
브라켓(330)은 샤프트(310)의 양측 가장자리부에 각각 제공되어 샤프트(310)를 지지한다. 브라켓(330)의 상단에는 지지 홈이 형성된다. 지지홈에는 샤프트의 가장자리부가 회전 가능하도록 끼워진다. 지지 홈은 제 2 방향(14)으로 관통된 홀(332) 형상을 가지며, 샤프트(310)의 지름과 동일하거나 이보다 조금 큰 크기를 가진다. 브라켓(330)에는 제 2 방향(14)을 향하는 홀(332)이 형성된다. 홀(332)은 나사 결합 가능하도록 내측에 나사산이 형성된다.
구동 부재(500)는 샤프트(310)에 회전력을 제공한다. 구동 부재(500)는 구동 샤프트(510), 구동 브라켓(530), 그리고 모터(미도시)를 가진다. 구동 샤프트(510)는 샤프트(310)들을 중심으로 양측에 각각 배치된다. 구동 샤프트(510)는 그 길이방향이 제 1 방향(12)으로 제공된다. 구동 샤프트(510)의 외주면은 샤프트(310)의 일단과 접촉된다. 구동 샤프트(510)와 샤프트(310)가 접촉되는 외주면에는 각각 기어 결합되어 구동 샤프트(510)가 회전 시 샤프트(310)가 함께 회전된다. 구동 브라켓(530)은 구동 샤프트(510)를 지지한다. 구동 브라켓(530)에는 제 1 방향(12)으로 관통되는 관통 홀이 형성된다. 구동 브라켓(530)의 홀에는 구동 샤프트(510)가 회전 가능하도록 삽입된다. 구동 브라켓(530)은 구동 샤프트(510)의 길이방향을 따라 복수 개로 제공된다. 구동 롤러는 구동 샤프트(510)의 길이 방향을 따라 복수 개로 제공된다. 모터(미도시)는 구동 샤프트(510)를 회전시킨다. 모터(미도시)는 구동 샤프트(510)의 일단에 배치된다.
프레임(350)은 브라켓(330)과 구동 브라켓(530)을 지지한다. 프레임(350)은 샤프트(310)를 중심으로 샤프트(310)의 양측 가장자리에 배치된다. 프레임(350)은 브라켓(330)과 구동 브라켓(530) 사이에 제공된다. 프레임(350)은 그 길이방향이 제 1 방향(12)으로 제공된다. 프레임(350)은 'ㄴ' 형상을 가진다. 프레임(350)은 내측부와 외측부를 가진다. 내측부는 브라켓(330)과 대향되는 내측면이 대체로 평평한 플레이트 형상으로 제공된다. 내측부의 내측면에는 제 1 방향(12)으로 따라 일정 간격으로 이격된 홈들이 형성된다. 브라켓(330)의 홀(332)은 프레임(350)의 홈과 대향되는 위치에서 별도의 나사에 의해 고정 결합 가능하다. 외측부는 내측부의 외측면 하부 영역으로부터 돌출된다. 외측부는 상면이 대체로 평평한 플레이트 형상으로 제공된다.
가이드 레일(370)은 브라켓(330)의 이동 방향을 안내한다. 가이드 레일(370)은 내측부의 내측면에 설치된다. 가이드 레일(370)은 그 길이방향이 제 1 방향(12)으로 제공된다. 가이드 레일(370)에는 브라켓(330)이 장착 가능하다. 브라켓(330)은 가이드 레일(370)에 장착되어 제 1 방향(12)으로 직선 이동 가능하다.
상술한 바와 달리, 본 발명의 구동 부재(500)는 도 5와 같이 풀리, 벨트, 그리고 모터(미도시)의 조립체에 의해 샤프트가 회전될 수 있다. 풀리는 각각의 샤프트(310) 일단에 결합되고, 벨트는 서로 인접한 2 이상의 풀리를 감싸도록 제공된다. 모터(미도시)는 풀리를 회전시켜 복수 개의 샤프트(310)를 동시에 회전시킬 수 있다. 이와 같은 경우, 프레임(350)은 내측부만 제공될 수 있다.
지지 롤러(370)는 제 1 방향(12)으로 이송되는 기판(S)의 양 측부를 지지한다. 지지 롤러(370)의 외주면은 기판(S)의 측부와 접촉된다. 지지 롤러(370)는 샤프트(310)의 양측에 배치된 프레임(350) 사이에 제공된다. 상부에서 바라볼 때 지지 롤러(370)는 서로 인접한 샤프트(310)들 간에 제공되고, 제 1 방향(12)을 따라 복수 개가 제공된다. 회전축(372)은 그 길이 방향이 상하 방향으로 제공되어 지지 롤러(370)에 삽입된다. 각각의 회전축(372)의 하단에는 이를 회전시키는 구동 부재(미도시)가 제공된다. 구동 부재(미도시)는 회전축(372)을 각각의 샤프트(310)와 동일한 속도로 회전시킨다. 이와 달리 샤프트(310)가 지면에 대해 경사지게 배치되는 경우, 지지 롤러(370)와 회전축(372)은 샤프트(310)의 양측 중 높이가 낮은 일측에만 제공될 수 있다.
유체 공급 유닛(500)은 세정 부재(510,530) 및 건조 부재(550)를 가진다. 세정 부재(510,530)는 기판(S) 상에 부착된 파티클 등과 같은 오염물을 제거한다. 세정 부재(510,530)는 세정 챔버(100a) 내에 배치된다. 세정 부재(510,530)는 세정액 공급 노즐(510) 및 롤 브러시(530)를 가진다. 세정액 공급 노즐(510)은 기판(S)으로 세정액을 고압으로 분사하여 기판(S)에 부착된 이물을 제거한다. 예컨대 세정액은 탈이온수일 수 있다. 세정액 공급 노즐(510)은 샤프트의 상부에 배치된다. 세정액 공급 노즐(510)은 샤프트와 평행한 길이방향을 가지며, 기판(S)의 폭과 동일하거나 이보다 긴 길이를 가진다. 세정액 공급노즐은 그 토출단이 이의 길이방향으로 길게 제공되는 슬릿 형상을 가진다.
롤 브러시(530)는 기판(S)과 접촉하여 물리적으로 기판(S)의 상면에 부착된 이물을 제거한다. 롤 브러시(530)는 세정액 공급 노즐(510)과 세정 챔버(100a)의 유출구(22) 사이에 위치된다. 롤 브러시(530)는 브러시 및 회전축을 가진다. 브러시는 기판(S)의 폭과 상응하는 길이를 가진다. 브러시는 샤프트의 길이방향과 평행하게 배치된다. 회전축은 브러시에 고정결합된다. 회전축은 모터(미도시)에 연결되어 회전된다.
건조 부재(550)는 세정 처리된 기판(S) 상에 잔류된 세정액을 제거한다. 건조 부재(550)는 세정액 공급 노즐(510)과 유사한 구성 가지므로, 이에 대한 중복되는 설명은 생략한다. 건조 부재(550)는 건조 챔버(100b) 내에 배치된다. 건조 부재(550)는 기판(S)으로 고압의 건조 가스를 분사한다. 예컨대, 건조 가스는 공기 또는 비활성 가스일 수 있다.
350: 프레임 310: 샤프트
330: 브라켓 370: 가이드 레일
370: 지지 롤러

Claims (2)

  1. 서로 이격되게 배치되는 프레임과;
    상기 프레임 사이에 위치되어 기판을 제 1 방향으로 이송하도록 상기 제 1 방향을 따라 복수 개가 제공되고, 상부에서 바라볼 때 길이방향이 상기 제 1 방향과 수직한 제 2 방향으로 제공되는 샤프트와;
    상기 샤프트의 양 끝단에 각각 제공되고, 상기 샤프트가 회전 가능하도록 상기 샤프트를 지지하는 브라켓을 포함하되;
    상기 브라켓은 상기 프레임 상에서 상기 제 1 방향을 따라 위치 변경 가능한 것을 특징으로 하는 기판 이송 유닛.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 브라켓과 대향되는 상기 프레임의 일면에 설치되는 가이드 레일을 더 포함하되;
    상기 브라켓은 상기 가이드 레일에 장착되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 유닛.
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