KR20130037475A

KR20130037475A - 웨이퍼 캐리어

Info

Publication number: KR20130037475A
Application number: KR1020110101894A
Authority: KR
Inventors: 김영균; 최현철; 정인순; 윤종국
Original assignee: 엠파워(주)
Priority date: 2011-10-06
Filing date: 2011-10-06
Publication date: 2013-04-16

Abstract

본 발명은 웨이퍼 캐리어에 관한 것으로서, 웨이퍼가 배치되는 공간을 제공하도록 서로 대향 마련되고, 그 양단부 및 하단부에는 외주면을 따라 소정 간격으로 체결 공간이 형성되는 한 쌍의 측면 플레이트, 상기 한 쌍의 측면 플레이트 사이에 마련되며, 그 양단부에는 상기 체결 공간에 배치되는 체결부가 구비되는 다수개의 지지바 및 상기 측면 플레이트의 상단부에 형성되는 삽입공에 삽탈 가능하게 마련되는 차폐바를 포함하고, 상기 체결 공간의 일면에는 상기 측면 플레이트의 횡방향으로 제1체결공이 형성되며, 상기 체결부에는 상기 지지부의 횡방향으로 제2체결공이 형성되며, 상기 지지바는 상기 제1체결공 및 상기 제2체결공을 관통하는 체결 부재에 의하여 상기 측면 플레이트에 고정되는 것을 특징으로 한다.

Description

웨이퍼 캐리어{WAFER CARRIER}

본 발명은 웨이퍼 캐리어에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 대량으로 수용된 웨이퍼의 유동을 방지하여 용이하게 웨이퍼를 이동하는 웨이퍼 캐리어에 관한 것이다.

일반적으로 반도체 소자를 생산하는 공정은 노광, 식각, 확산 및 증착 등의 공정을 선택적으로 수행하는 일련의 과정에 의해서 이루어지고, 확산 및 증착 공정은 고온의 분위기에서 공정 가스를 주입하여 실리콘 웨이퍼 상에서 반응을 일으켜서 이루어지는 공정이다.

이러한 공정을 진행하기 위한 반도체 제조 설비로 튜브(tube) 형태의 노(furnace) 장비가 많이 사용되는데, 통상적으로 이런 형태의 장비는 대량의 웨이퍼를 한꺼번에 로딩하여 공정을 진행하는 배치(batch) 방식을 적용하고, 반도체 소자의 제조 공정상 박막을 형성하거나 불순물 이온을 확산시키는 장비로 이용되고 있다. 그리고 이러한 장비 중 종형 확산로(vertical type furnace)가 많이 사용되고 있는데, 종형 확산로는 화학 기상 증착 장비로서 고온의 진공 분위기에서 공정 챔버로 공정 가스를 투입하면 공정 가스가 서로 반응하여 반응 물질을 형성하면서 동시에 압력이 낮은 공간에서 확산되어 웨이퍼 표면에 박막을 적층하는 현상을 이용한다.

한편, 상술한 각 공정의 대상이 되는 웨이퍼를 대량으로 수용 및 이송시키기 위한 수단으로는 웨이퍼 캐리어가 이용된다. 즉, 도 1에 도시된 바와 같이 일반적인 웨이퍼 캐리어(1)는 웨이퍼(W)가 수용되는 공간을 제공하도록 서로 대향 마련되는 한 쌍의 측면 플레이트(10) 및 상기 한 쌍의 측면 플레이트(10) 사이에 고정되는 지지바(20)를 포함하여 구성된다.

상기 지지바(20)의 일측에는 그 길이 방향을 따라 슬롯(22)이 형성되어 상기 슬롯(22) 사이에 웨이퍼(W)가 수용되며, 차폐바(미도시) 등을 상기 측면 플레이트(10)의 상단부에 형성된 삽입공(12)에 삽입시켜 웨이퍼(W)를 상기 웨이퍼 캐리어(1) 내부에 고정시킨다. 그리고 상기 측면 플레이트(10)의 상단부에 형성된 걸이공(14)에는 이송 수단 등이 결착되어 웨이퍼(W)가 수용된 웨이퍼 캐리어(1)가 이송된다.

한편, 상기 측면 플레이트(10)와 상기 지지바(20)는 열융착에 의하여 서로 결합된다. 즉, 상기 지지바(20)의 양단면에는 돌기(24)가 적어도 하나 형성되며, 상기 측면 플레이트(10)의 일면에는 상기 돌기(24)에 대응되는 홈(16)이 형성되는데, 상기 돌기(24)를 상기 홈(16)에 삽입시킨 후 열 및 압력을 가함으로써 상기 측면 플레이트(10)와 상기 지지바(20)를 결합시킨다.

그러나, 상기 측면 플레이트(10)와 상기 지지바(20)를 결합함에 있어서 열융착 방법을 이용하면 웨이퍼 캐리어(1)의 제조 공정시 열융착 부위를 육안으로 확인할 수 없어 제품의 품질 관리가 용이하지 못하다는 문제점이 있다.

그리고 열융착 방법에 의하여 웨이퍼 캐리어(1)를 제조하는 경우 상기 측면 플레이트(10) 및 상기 지지바(20)의 겉표면은 열가소성 플라스틱 재질로 형성되는데, 이러한 열가소성 플라스틱 재질은 열 및 압력에 의하여 변형이 쉽게 발생하므로 제품의 불량률이 증가된다는 문제점이 있다.

또한, 상기 웨이퍼 캐리어(1) 상에는 다수개의 웨이퍼가 수용되어 이송되는데, 열융착 방법에 의한 상기 측면 플레이트(10) 및 상기 지지바(20)의 결합은 비교적 견고하지 못하므로 웨이퍼의 자중 및 이송시 발생되는 진동 등에 의하여 열융착 부위가 손상되거나 파손된다는 문제점이 있다.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 웨이퍼 캐리어를 구성하는 측면 플레이트와 다수개의 지지바를 체결 부재 등에 의하여 서로 결합함으로써 웨이퍼 캐리어의 품질 관리를 용이하게 함과 동시에 웨이퍼 캐리어의 불량률을 감소시키며, 또한 측면 플레이트와 다수개의 지지바의 결합 부분에서의 손상 및 파손을 방지하는 웨이퍼 캐리어를 제공하기 위한 것이다.

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 캐리어는, 웨이퍼가 배치되는 공간을 제공하도록 서로 대향 마련되고, 그 양단부 및 하단부에는 외주면을 따라 소정 간격으로 체결 공간이 형성되는 한 쌍의 측면 플레이트; 상기 한 쌍의 측면 플레이트 사이에 마련되며, 그 양단부에는 상기 체결 공간에 배치되는 체결부가 구비되는 다수개의 지지바; 및 상기 측면 플레이트의 상단부에 형성되는 삽입공에 삽탈 가능하게 마련되는 차폐바; 를 포함하고, 상기 체결 공간의 일면에는 상기 측면 플레이트의 횡방향으로 제1체결공이 형성되며, 상기 체결부에는 상기 지지부의 횡방향으로 제2체결공이 형성되며, 상기 지지바는 상기 제1체결공 및 상기 제2체결공을 관통하는 체결 부재에 의하여 상기 측면 플레이트에 고정되는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 측면 플레이트의 일면에는 상기 체결 공간에 인접하도록 단차부가 각각 형성되고, 상기 체결부에는 상기 단차부에 안착되는 리브가 마련되는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 리브의 일면에는 상기 단차부와 상기 리브 사이에 개재되도록 씰링 부재가 마련되는 것을 특징으로 한다.

한편, 본 발명의 다른 실시예에 따른 웨이퍼 캐리어는, 웨이퍼가 배치되는 공간을 제공하도록 서로 대향 마련되는 한 쌍의 측면 플레이트; 상기 한 쌍의 측면 플레이트 사이에 마련되며, 그 양단부에는 상기 측면 플레이트의 일면에 고정되는 체결부가 구비되는 다수개의 지지바; 및 상기 측면 플레이트의 상단부에 형성되는 삽입공에 삽탈 가능하게 마련되는 차폐바; 를 포함하고, 상기 측면 플레이트의 일면에는 상기 측면 플레이트의 종방향으로 제1체결공이 형성되며, 상기 체결부에는 상기 지지바의 종방향으로 제2체결공이 형성되며, 상기 지지바는 상기 제1체결공 및 상기 제2체결공을 관통하는 체결 부재에 의하여 상기 측면 플레이트에 고정되는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 측면 플레이트의 일면에는 상기 제1체결공에 인접하도록 단차부가 각각 형성되고, 상기 체결부에는 상기 단차부에 안착되는 리브가 마련되는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따르면, 웨이퍼 캐리어를 구성하는 측면 플레이트와 다수개의 지지바를 체결 부재 등에 의하여 서로 결합함으로써 웨이퍼 캐리어의 품질 관리를 용이하게 함과 동시에 웨이퍼 캐리어의 불량률을 감소시키며, 또한 측면 플레이트와 다수개의 지지바의 결합 부분에서의 손상 및 파손을 방지하는 장점이 있다.

도 1은 일반적인 웨이퍼 캐리어를 나타낸 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 캐리어의 측면 플레이트를 나타낸 정면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 캐리어의 측면 플레이트를 나타낸 측면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 캐리어의 지지바를 나타낸 정면도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 캐리어의 측면 플레이트 및 지지바의 결합 관계를 나타낸 사시도이다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 웨이퍼 캐리어의 측면 플레이트를 나타낸 정면도이다.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 웨이퍼 캐리어의 지지바를 나타낸 정면도이다.
도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 웨이퍼 캐리어의 측면 플레이트 및 지지바의 결합 관계를 나타낸 사시도이다.

이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명에 따른 실시예를 상세히 설명한다. 이 과정에서 도면에 도시된 구성요소의 크기나 형상 등은 설명의 명료성과 편의상 과장되게 도시될 수 있다. 또한, 본 발명의 구성 및 작용을 고려하여 특별히 정의된 용어들은 사용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있다. 이러한 용어들에 대한 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 한다. 그리고 본 발명의 사상은 제시되는 실시예에 제한되지 아니하고 본 발명의 사상을 이해하는 당업자는 동일한 사상의 범위내에서 다른 실시예를 용이하게 실시할 수 있을 것이나, 이 또한 본 발명의 범위 내에 속함은 물론이다.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 캐리어의 측면 플레이트를 나타낸 정면도이며, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 캐리어의 측면 플레이트를 나타낸 측면도이다. 도 2 및 도 3을 참조하여 상기 측면 플레이트의 구조에 대하여 상세히 설명한다.

상기 측면 플레이트(100)는 소정의 공정 대상이 되는 웨이퍼가 배치되는 공간을 제공하도록 서로 대향 마련되는 것으로서, 그 상단부에는 삽입공(110) 및 걸이공(120)이 형성된다. 즉, 웨이퍼를 상기 웨이퍼 캐리어 내부에 고정시키기 위하여 조립이 완료된 웨이퍼 캐리어에 웨이퍼가 수용된 후 상기 삽입공(110)에 차폐바(미도시)를 삽입시킨다. 그리고 상기 걸이공(120)에는 이송수단 등이 결착되어 웨이퍼가 수용된 상태의 웨이퍼 캐리어가 이송된다.

한편, 상기 측면 플레이트(100)의 양단부 및 하단부에는 그 외주면을 따라 체결 공간(130)이 소정 간격으로 형성된다. 상기 체결 공간(130)은 후술할 지지바(200)의 양단부가 상기 측면 플레이트(100)와 결합되기 위하여 배치되는 공간으로서, 도 3에 도시된 바와 같이 상기 체결 공간(130)의 일면에는 볼트 등의 체결 부재(300)가 삽입되는 제1체결공(140)이 상기 측면 플레이트(100)의 횡방향으로 형성된다.

그리고 상기 측면 플레이트(100)의 일면에는 상기 체결 공간(130)에 인접하도록 단차부(150)가 각각 형성되는데, 상기 단차부(150)에는 후술할 지지바(200, 도 4 참조)에 마련되는 리브(240)가 안착되어 상기 측면 플레이트(100)와 상기 지지바(200)의 조립시 상기 지지바(200)의 위치가 고정된다.

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 캐리어의 지지바(200)를 나타낸 정면도이다. 도 4를 참조하여 상기 지지바(200)의 구조에 대하여 상세히 설명한다.

상기 지지바(200)는 상기 한 쌍의 측면 플레이트(100) 일면에 각각 결합되어 그 사이의 간격이 일정하게 유지되도록 하여 웨이퍼의 수용 공간을 제공하며, 상기 지지바(200)의 일측에는 그 길이 방향을 따라 돌기 형태의 슬롯(210)이 다수개 형성됨으로써 상기 슬롯(210) 사이에 공정 대상이 되는 웨이퍼가 수용된다.

한편, 상기 지지바(200)의 양단부에는 상기 측면 플레이트(100)의 체결 공간(130)에 배치되는 체결부(220)가 배치되며, 상기 체결부(220)에는 볼트 등의 체결 부재(300)가 삽입되는 제2체결공(230)이 상기 지지부의 횡방향으로 형성된다. 또한, 상기 체결부(220)에는 상기 지지바(200)의 외주면을 따라 돌출 형성된 리브(240)가 마련되는데, 상기 리브(240)는 상기 측면 플레이트(100)의 일면에 형성된 단차부(150)에 안착됨으로써 상기 측면 플레이트(100)와 상기 지지바(200)의 조립시 상기 지지바(200)의 위치가 고정된다.

그리고 상기 리브(240)의 일면에는 그 둘레를 따라 씰링 부재(242)가 마련되는데, 상기 씰링 부재(242)는 상기 단차부(150)와 상기 리브(240) 사이에 개재됨으로써 상기 지지바(200)의 내부가 부식되는 것을 방지한다. 즉, 본 발명의 일 실시예에 따르면 상기 지지바(200)의 내부는 금속 등의 재질로 형성되고 그 외부면은 열가소성 플라스틱 재질로 형성되는데, 상기 씰링 부재(242)는 웨이퍼의 공정 과정 중 약액 등이 상기 제2체결공(230) 등을 통하여 상기 지지바(200)의 내부로 침투되는 것을 막아 부식을 방지한다.

한편, 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 캐리어의 측면 플레이트(100) 및 지지바(200)의 결합 관계를 나타낸 사시도로서, 상기 지지바(200)의 체결부(220)는 상기 측면 플레이트(100)의 체결 공간(130)으로 배치되고, 상기 제1체결공(140) 및 상기 제2체결공(230)을 관통하는 체결 부재(300)는 상기 지지바(200)를 상기 측면 플레이트(100)에 고정시킴으로써 상기 웨이퍼 캐리어의 조립 과정이 완료된다. 이때, 상술한 바와 같이 상기 측면 플레이트(100)와 상기 지지바(200)를 결합하는 과정에 있어서, 상기 리브(240)는 상기 단차부(150)에 안착되어 상기 지지바(200)의 위치는 고정되므로 상기 체결 부재(300)를 용이하게 체결할 수 있다.

도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 웨이퍼 캐리어의 측면 플레이트를 나타낸 정면도이며, 도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 웨이퍼 캐리어의 지지바를 나타낸 정면도이다. 도 6 및 7을 참조하여 상기 측면 플레이트 및 상기 지지바의 구조에 대하여 상세히 설명한다. 여기서, 본 발명의 일 실시예와 동일한 구조에 대하여는 생략하도록 한다.

본 발명의 다른 실시예에 따르면, 상기 측면 플레이트(1100)의 일면에는 상기 측면 플레이트(1100)의 종방향으로 제1체결공(1110)이 형성된다. 그리고, 상기 제1체결공(1110)에 인접하도록 단차부(1120)가 각각 형성되는데, 상기 단차부(1120)에는 후술할 지지바(1200)에 마련되는 리브(1230)가 안착되어 상기 측면 플레이트(1100)와 상기 지지바(1200)의 조립시 상기 지지바(1200)의 위치가 고정된다.

상기 지지바(1200)의 양단부에는 상기 측면 플레이트(1100)의 일면에 고정되는 체결부(1210)가 배치되며, 상기 체결부(1210)에는 볼트 등의 체결 부재(1300)가 삽입되는 제2체결공(1220)이 상기 지지부의 종방향으로 형성된다. 또한, 상기 체결부(1210)에는 상기 지지바(1200)의 외주면을 따라 돌출 형성된 리브(1230)가 마련되는데, 상기 리브(1230)는 상기 측면 플레이트(1100)의 일면에 형성된 단차부(1120)에 안착됨으로써 상기 측면 플레이트(1100)와 상기 지지바(1200)의 조립시 상기 지지바(1200)의 위치가 고정된다.

그리고 상기 리브(1230)의 일면에는 그 둘레를 따라 씰링 부재(1232)가 마련되는데, 상기 씰링 부재(1232)는 상기 단차부(1120)와 상기 리브(1230) 사이에 개재됨으로써 상기 지지바(1200)의 내부가 부식되는 것을 방지한다.

한편, 도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 웨이퍼 캐리어의 측면 플레이트(1100) 및 지지바(1200)의 결합 관계를 나타낸 사시도로서, 상기 지지바(1200)의 체결부(1210)는 상기 측면 플레이트(1100)의 일면에 배치되고, 상기 제1체결공(1110) 및 상기 제2체결공(1220)을 관통하는 체결 부재(1300)는 상기 지지바(1200)를 상기 측면 플레이트(1100)에 고정시킴으로써 상기 웨이퍼 캐리어의 조립 과정이 완료된다. 이때, 상술한 바와 같이 상기 측면 플레이트(1100)와 상기 지지바(1200)를 결합하는 과정에 있어서, 상기 리브(1230)는 상기 단차부(1120)에 안착되어 상기 지지바(1200)의 위치는 고정되므로 상기 체결 부재(1300)를 용이하게 체결할 수 있다.

이상에서 본 발명에 따른 실시예들이 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 분야에서 통상적 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 범위의 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 다음의 특허청구범위에 의해서 정해져야 할 것이다.

100: 측면 플레이트 110: 삽입공
120: 걸이공 130: 체결 공간
140: 제1체결공 150: 단차부
200: 지지바 210: 슬롯
220: 체결부 230: 제2체결공
240: 리브 242: 씰링 부재
300: 체결 부재

Claims

웨이퍼가 배치되는 공간을 제공하도록 서로 대향 마련되고, 그 양단부 및 하단부에는 외주면을 따라 소정 간격으로 체결 공간이 형성되는 한 쌍의 측면 플레이트;
상기 한 쌍의 측면 플레이트 사이에 마련되며, 그 양단부에는 상기 체결 공간에 배치되는 체결부가 구비되는 다수개의 지지바; 및
상기 측면 플레이트의 상단부에 형성되는 삽입공에 삽탈 가능하게 마련되는 차폐바; 를 포함하고,
상기 체결 공간의 일면에는 상기 측면 플레이트의 횡방향으로 제1체결공이 형성되며, 상기 체결부에는 상기 지지부의 횡방향으로 제2체결공이 형성되며, 상기 지지바는 상기 제1체결공 및 상기 제2체결공을 관통하는 체결 부재에 의하여 상기 측면 플레이트에 고정되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 캐리어.
제1항에 있어서,
상기 측면 플레이트의 일면에는 상기 체결 공간에 인접하도록 단차부가 각각 형성되고, 상기 체결부에는 상기 단차부에 안착되는 리브가 마련되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 캐리어.
제2항에 있어서,
상기 리브의 일면에는 상기 단차부와 상기 리브 사이에 개재되도록 씰링 부재가 마련되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 캐리어.
웨이퍼가 배치되는 공간을 제공하도록 서로 대향 마련되는 한 쌍의 측면 플레이트;
상기 한 쌍의 측면 플레이트 사이에 마련되며, 그 양단부에는 상기 측면 플레이트의 일면에 고정되는 체결부가 구비되는 다수개의 지지바; 및
상기 측면 플레이트의 상단부에 형성되는 삽입공에 삽탈 가능하게 마련되는 차폐바; 를 포함하고,
상기 측면 플레이트의 일면에는 상기 측면 플레이트의 종방향으로 제1체결공이 형성되며, 상기 체결부에는 상기 지지바의 종방향으로 제2체결공이 형성되며, 상기 지지바는 상기 제1체결공 및 상기 제2체결공을 관통하는 체결 부재에 의하여 상기 측면 플레이트에 고정되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 캐리어.
제4항에 있어서,
상기 측면 플레이트의 일면에는 상기 제1체결공에 인접하도록 단차부가 각각 형성되고, 상기 체결부에는 상기 단차부에 안착되는 리브가 마련되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 캐리어.
제5항에 있어서,
상기 리브의 일면에는 상기 단차부와 상기 리브 사이에 개재되도록 씰링 부재가 마련되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 캐리어.