KR20130037026A

KR20130037026A - 엑추에이터

Info

Publication number: KR20130037026A
Application number: KR1020110101342A
Authority: KR
Inventors: 허의식
Original assignee: 허의식
Priority date: 2011-10-05
Filing date: 2011-10-05
Publication date: 2013-04-15
Also published as: KR101299271B1

Abstract

본 발명은 밸브의 가동부와 실린더의 피스톤을 연결하고, 밸브를 닫을 때 피스톤의 이동 속도와 힘을 감쇄시켜 밸브가 서서히 그리고 부드럽게 닫힐 수 있도록 하여 밸브 디스크와 시트를 보호할 수 있는 엑추에이터에 관한 것으로, 그 주요 구성은 밸브 디스크와 연결되며, 이 밸브 디스크를 이동시켜 유체가 흐르는 유로를 폐쇄 혹은 개방하는 엑추에이터로써, 튜브 일측에 헤드 커버를 구비하고, 대향측에 로드 커버를 구비하되, 이들 헤드 커버와 로드 커버 각각에 압축 공기가 입출 하는 포트가 형성되고, 튜브의 내측에 압축 공기의 입출에 따라 이동하는 피스톤과, 피스톤 로드가 구비된 실린더; 상기 피스톤 로드와 연결되어 이동하며, 밸브 시트에 밀착 혹은 이격되어 유체가 흐르는 유로를 막거나 개방하는 디스크가 갖추어진 밸브; 상기 실린더의 로드 커버에 설치되며, 공기압에 의해 이동하는 피스톤을 탄성 지지하여 이동 속도를 늦춰 디스크가 서서히 시트에 밀착되도록 하는 디스크 스프링; 으로 구성된 기술적인 특징을 갖는 것으로 달성된다.

Description

엑추에이터{Actuator}

본 발명은 엑추에이터에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 밸브의 가동부와 실린더의 피스톤을 연결하고, 밸브를 닫을 때 피스톤의 이동 속도와 힘을 감쇄시켜 밸브가 서서히 그리고 부드럽게 닫힐 수 있도록 하여 밸브 디스크와 밸브 시트를 보호할 수 있는 엑추에이터에 관한 것이다.

또한, 본 발명은 밸브의 개방시 피스톤의 이동 속도와 힘을 증가시켜 밸브가 닫힌 상태로 장시간 흘러 밸브 디스크와 밸브 시트가 고착되는 현상이 발생하여도 밸브를 원활하게 개방할 수 있는 엑추에이터에 관한 것이다.

일반적으로 밸브는 각종 산업 현장 및 관로, 기계 기구에 적용되어 유체의 흐름을 일시적으로 차단하거나 흐름 방향을 바꾸거나 혹은 압력을 조절하는 역할을 한다. 이러한 밸브는 스톱 밸브, 조정 밸브, 수도 밸브, 냉매 밸브로 대별되고, 스톱 밸브에는 본 발명에서 주로 다루어질 게이트 밸브, 글로브 밸브가 있으며 첵, 볼, 다이어프램, 버터 플라이 밸브가 여기에 속한다,

모든 밸브는 유체의 흐름을 제어하는 가동부가 구비되어 있다. 이러한 가동부는 수동 혹은 자동으로 동작하며, 자동은 주로 제어가 용이한 공압 실린더가 이용되고, 공압 실린더는 밸브의 구경, 사용 압력, 사용 목적에 따라 규격과 형식이 결정되며, 여건에 따라 단동식 혹은 복동식이 선택된다.

공압 실린더와 연결된 밸브 예컨대, 게이트 밸브와 글로브 밸브는 피스톤 로드와, 유로를 차폐하는 디스크가 연결되어 피스톤 로드의 이동과 함께 디스크가 이동하며 밸브에 밀착 혹은 이격되는 것으로 유체의 흐름을 단속한다.

그런데 종래의 공압 실린더는 피스톤이 이동하여 밸브를 열고 닿는 힘이 동일 유사하여 비상시의 조건을 충족하기 어려운 문제가 있다. 다시 말해, 일반적인 게이트 밸브는 디스크가 쐐기형으로 구성되어 있어 장시간 동안 밸브가 닫혀 있는 경우 디스크와 시트가 고착되는 현상이 나타난다.

이러한 상태에서 급박하게 밸브를 개방하는 일이 발생하는 경우, 실린더는 고착된 디스크를 강제로 이탈시켜 유체가 흐르도록 하여야 하지만 열림과 닫힘의 추력이 유사한 종래의 실린더는 그러한 힘을 갖지 못하는 문제가 있다.

더욱이 종래의 공압 실린더는 공기압에 의해 빠른 속도로 밸브 디스크를 이동시켜 유로를 폐쇄함으로써, 관로에 워터 해머(Water Hammer)현상이 발생하는 문제가 있다.

다시 말해, 압축 공기에 의해 동작하는 디스크의 상하 이동에 따라 빠른 속도로 유로가 차단되면, 유체는 운동 에너지에서 압력 에너지로 변하여 급격하게 압력이 상승하고, 상승한 압력은 압력파가 되어 관로에 작용하는 워터 해머 현상이 발생하며, 심한 경우 진동과 소음, 충격음을 동반하고 관로가 파손되어 누수가 발생하는 위험이 있다.

본 발명은 이와 같은 종래의 문제점을 감안하여 이루어진 것으로, 그 목적은 밸브 디스크가 밸브 시트에 밀착된 시점 즉 직전에 이 디스크와 연결된 피스톤의 이동 속도와 힘을 감소시켜 디스크가 서서히 그리고 부드럽게 시트에 밀착되도록 함으로써, 밸브 디스크와 밸브 시트를 보호할 수 있는 엑추에이터를 제공하는 데 있다.

발명의 다른 목적은 피스톤의 속도와 힘을 조절하여 기계적인 고장이 없도록 하고, 밸브의 개방 시에는 피스톤의 이동 속도 및 추력 즉 힘을 순간적으로 증가시켜 장시간 밸브 디스크와 시트 접촉에 따른 고착 현상에도 밸브를 원활하게 개방할 수 있는 엑추에이터를 제공하는 데 있다.

본 발명의 또 다른 목적은 실린더를 구성하는 로드 커버에 피스톤의 이동 속도를 감소시키는 디스크 스프링을 구비함으로써 밸브 디스크가 시트에 밀착되기 직전에 피스톤의 이동 속도를 늦춰 유로를 폐쇄하는 전체적인 속도에는 영향을 주지 않으면서도 구성 요소를 보호할 수 있는 엑추에이터를 제공하는 데 있다.

또한, 본 발명은 급격한 유로 폐쇄에 따른 워터 해머 현상을 방지하고, 그에 따른 관로의 보호는 물론 누수 현상을 사전에 차단하여 경제적인 이득을 얻을 수 있는 엑추에이터를 제공하는데 그 목적이 있다.

또, 본 발명은 실린더에 압축 공기를 공급하는 배관 라인에 압력 조절기를 구비하여 밸브가 닫힐 때와 열릴 때의 압력을 달리 구성하되, 열릴 때의 압력을 높게 설정하여 밸브가 원활하게 개폐될 수 있도록 하는 직동형 공압 엑추에이터를 제공하는 데 그 목적이 있다.

본 발명은 밸브 디스크와 연결되며, 이 밸브 디스크를 이동시켜 유체가 흐르는 유로를 폐쇄 혹은 개방하는 엑추에이터로써, 튜브 일측에 헤드 커버를 구비하고, 대향측에 로드 커버를 구비하되, 이들 헤드 커버와 로드 커버 각각에 압축 공기가 입출 하는 포트가 형성되고, 튜브의 내측에 압축 공기의 입출에 따라 이동하는 피스톤과, 피스톤 로드가 구비된 실린더; 상기 피스톤 로드와 연결되어 이동하며, 밸브 시트에 밀착 혹은 이격되어 유체가 흐르는 유로를 막거나 개방하는 디스크가 갖추어진 밸브; 상기 실린더의 로드 커버에 설치되며, 공기압에 의해 이동하는 피스톤을 탄성 지지하여 이동 속도를 늦춰 디스크가 서서히 시트에 밀착되도록 하는 디스크 스프링; 으로 구성된 기술적인 특징을 갖는 것으로 달성된다.

본 발명은 첫째, 피스톤의 이동 속도를, 밸브 디스크와 밸브 시트가 접촉하기 직전에 감속시켜 디스크가 부드럽게 시트에 밀착되도록 하여 밸브 디스크와 밸브 시트를 보호할 수 있는 발명이다.

둘째, 본 발명은 유로의 개방시 피스톤의 이동 속도와 힘을 증가시켜 장시간 폐색에 따른 디스크와 시트의 고착 현상에 관계없이 디스크를 이동시켜 유로를 개방할 수 있는 효과가 있다.

셋째, 본 발명은 유로의 차폐 및 개방에 따른 디스크의 전체적인 이동 속도에는 영향을 주지 않으면서 실린더와 밸브를 보호할 수 있는 효과가 있다.

넷째, 본 발명은 관리자가 밸브의 개방 및 차폐 정도를 시각적으로 인지할 수 있도록 하여 유체의 제어가 용이한 효과가 있다.

다섯째, 본 발명은 압력 조절기를 구비하여 실린더에 공급된 공기압을 조절하여 밸브의 개폐 동작이 원활하도록 한 발명이다.

도 1은 본 발명에 따른 엑추에이터의 정면도,
도 2는 본 발명에 따른 엑추에이터의 반단면도,
도 3a, b는 본 발명에 따른 엑추에이터의 동작 과정을 설명하는 단면도,
도 4는 본 발명에 따른 엑추에이터의 요부 확대 단면도,
도 5a, b는 본 발명에 따른 엑추에이터의 시스템도.

이하 본 발명의 바람직한 실시 예를 첨부된 도면에 의거하여 상세히 설명하면 다음과 같다.

먼저, 첨부된 도 1은 본 발명에 따른 공압 엑추에이터의 정면도이고, 도 2는 본 발명에 따른 엑추에이터의 전단면도이며, 도 3a, b는 본 발명에 따른 공압 엑추에이터의 동작 과정을 설명하는 단면도이다.

또한, 도 4는 본 발명에 따른 엑추에이터의 요부 확대 단면도이고, 도 5a, b는 본 발명에 따른 엑추에이터를 설명하기 위한 시스템도 이다.

바람직하기로 본 발명의 엑추에이터(10)는 게이트 밸브와 글로브 밸브에 적용되는 것이나, 이는 실 예에 불과한 것이고, 다른 밸브에도 적용될 수 있으며, 밸브 이외에 다른 기계 기구 및 장치에도 적용될 수 있다.

또한, 본 발명은 상세한 설명에 압축 공기를 이용한 공압식으로 설명되고 있으나, 공압이 아닌 유압식에도 적용될 수 있음을 밝혀 둔다. 또한, 설명에서는 밸브의 가동부와 연결되어 사용되고 있으나, 이 또한 그러하지 않고 엑추에이터 단독으로도 생산, 판매될 수 있다.

도면에서 본 발명의 엑추에이터는 공압(혹은 유압) 실린더(100)와 밸브(200) 그리고 디스크 스프링(300)으로 구성되고, 상기 실린더(100)에 압축 공기를 주입하는 배관 라인(10)을 갖는다.

실린더(100)

상기 실린더(100)는 앞서 설명한 바와 같이 유압 혹은 공압 실린더가 적용될 수 있는데, 본 발명에서는 압축 공기가 유입, 토출되는 공압 실린더로 설명될 것이며, 복동형은 물론 단독형에도 적용될 수 있다.

상기 실린더(100)는 외형을 구성하는 튜브(110)를 구비하고, 이 튜브(110)의 상부에 헤드 커버(120)가 갖추어지며, 헤드 커버(120)의 대향측 즉 하부에 로드 커버(130)가 갖추어진 구성으로, 이들 헤드 커버(120)와 로드 커버(130) 각각에는 압축 공기가 유입, 배출되는 포트(140)가 형성된 구성이다.

상기 튜브(110)의 내측에는 압축 공기의 유입에 따라 이동하는 피스톤(150)이 구비되고, 이 피스톤(150)의 외측면에는 기밀 유지를 위해 패킹(152)이 구비된다.

상기 피스톤(150)은 저면 중앙에는 보스(152)가 구비되고, 이 보스(152)를 관통하여 피스톤 로드(160)가 연결됨과 동시에 이 보스(152)가 후술하는 디스크 스프링(300)을 압축하는 구성이다.

상기 피스톤 로드(160)는 상단이 피스톤과 연결된 상태에서 하단은 로드 커버(130)를 관통하여 연결부(104)에 의해 개폐 로드(102)와 연결되고, 연결부(104)에는 접촉 돌기(106)가 갖추어진 구성이다.

상기 접촉 돌기(106)는 로드 커버(130)에 일체로 혹은 별개로 구성되어 조립되고 연장체(108)에 설치된 감지부(170)와 접속하여 튜브(110)에 유입되는 압축 공기를 제어한다.

상기 감지부(170)는 한쌍으로 구성되어 상기 연장체(180)에 일정 거리를 두고 설치되며, 후술하는 배관 라인에 구비된 공기 주입 개폐 밸브를 폐쇄 혹은 개방하는 신호를 출력하고, 컴프레셔와 같은 에어 유닛의 가동 혹은 정지 신호를 출력하는 것이다.

다시 말해, 실린더 튜브(110)에 공기가 주입되어 피스톤(150)이 이동하고, 이와 연동하여 피스톤 로드(160)와 개폐 로드(102)가 이동하면, 연결부(104)에 구비된 접촉 돌기(106)가 감지부(170) 사이를 오가며 접속하게 되고, 감지부는 공기 주입 정지 및 밸브 폐쇄가 이루어지도록 신호를 출력하는 것이다.

한편, 상기 연장체(180)에는 눈금(182)이 표시되고, 연결부(104)에는 바늘(182a)이 설치된 구성으로, 피스톤(150)의 승, 하강 시 이 바늘(182a)이 이동하여 밸브가 어느 정도 개폐되고 있는가를 알려주는 것이다.

밸브(200)

상기 밸브(200)는 게이트 혹은 글로브 밸브로써, 도면에는 게이트 밸브가 도시되어 있다. 상기 밸브는 2방 혹은 3방 밸브로 구성되어 상기 연장체(180)에 연결되는 구성으로, 내부에는 유체가 흐르는 유로(210)가 형성되고, 이 유로(210)에는 밸브 시트(230)가 구비되며, 이 시트(230)에 밀착되어 유로(210)를 폐쇄 혹은 개방하는 디스크(220)는 상기 개폐 로드(102)의 하단부에 연결된 구성이다.

디스크 스프링(300)

상기 디스크 스프링(300)은 로드 커버(120)의 상면에 설치되는 것으로, 여러장의 판 스프링이 겹쳐진 구성이거나 코일 스프링으로 이루어진다.

상기 디스크 스프링(300)은 일부 혹은 전부가 로드 커버(120)의 상면에 매립된 상태로 조립되고, 피스톤(150)의 이동 시 이를 탄력 지지하여 속도를 감속시킴과 아울러 압축 후 탄성력으로 피스톤을 밀어 순간 속도와 힘을 증가시킴으로써, 유로(210)의 개방 및 폐쇄가 원활하도록 하는 구성이다.

여기서 디스크 스프링(300)은 피스톤(150)의 저부 중앙에 구비된 보스(154)와 맞닿아 압축 혹은 탄성력을 부여하는 것이다.

다음은 이와 같은 구성으로 이루어진 본 발명의 동작 과정을 살펴보면 다음과 같다.

첨부된 도 3a, b는 본 발명의 동작 과정을 설명한 것으로 먼저, 도 3a는 밸브가 개방된 상태 즉, 유로(210)가 개방되어 유체 혹은 기체가 흐르는 상태이다.

이 경우 도면상 아래쪽 포트(140)에 압축 공기가 유입된 상태이고, 밸브의 디스크(220)는 시트(230)에서 벗어나 있다. 또한, 관리자는 연결부(104)에 구비된 바늘(182a)의 위치로 유체가 흐르고 있다는 것을 알 수 있다.

이러한 상태에서 밸브(200)의 유로(210)를 폐쇄하는 경우 압축 공기는 위쪽 포트(140)에 주입되고, 피스톤(150)은 공기압에 의해 하강하며 피스톤 하부에 채워진 공기는 피스톤(150)의 이동에 따라 아래쪽 포트를 통해 배출된다.

피스톤(150)이 이동함과 동시에 이와 연결된 피스톤 로드(160)와, 연결부(104), 개폐 로드(102) 그리고 디스크(220)가 이동한다.

피스톤(150)이 계속 이동하여 하강점 즉 밸브 디스크(220)가 시트(230)에 접촉하기 직전에, 피스톤(150)은 디스크 스프링(300)과 맞닿게 된다.

하강하는 피스톤(150)의 보스(154)가 디스크 스프링(300)에 맞닿으면, 디스크 스프링(300)은 보스(154)를 탄성 지지하여 저지하고, 디스크 스프링(300)의 압축이 진행됨과 아울러 탄성력이 증가하고, 이 탄성력이 증가할 수 록 피스톤(150)은 점차 감속된다.

피스톤(150)의 이동 속도가 감소하면 자연히 이와 연결된 디스크(220)의 이동 속도도 늦추어져 서서히 그리고 부드럽게 시트(230)에 밀착된다.

한편, 피스톤(150)과 연결되어 연동하는 연결부(104)의 접촉 돌기(106)는 디스크(220)가 시트(230)에 완전히 밀착됨 동시에 아래쪽 감지부(170)에 접촉되고, 감지부는 공기 주입을 정지시키고, 후술하는 개폐 밸브를 차단하여 공기가 배출되지 않도록 하여 유로의 폐색 상태를 유지하며, 바늘 또한 이동하여 관리자에게 유체의 흐름이 차단되었음을 인식시킨다.

바람직하기로, 본 발명은 상기 디스크 스프링(300)이 디스크(220)에 밀착되기 3mm 정도의 높이에서 피스톤(150)과 맞닿도록 한다. 이는 거리가 너무 길면 스프링의 규격이 커지고 탄성력이 너무 강하게 되며, 이보다 짧으면 탄성력이 너무 약하기 때문이다.

유로 폐색 후, 다시 유로를 개방하여 기체 혹은 유체가 흐르도록 하고자 하는 경우, 압축 공기는 상기와는 반대로 아래쪽 포트(140)에 주입되고 위쪽 포트로 공기가 배출된다.

이와 같이 공기가 각 포트(140)를 통해 입출 되면서 피스톤(150)이 이동하는데, 이때 피스톤(150)에 의해 압축된 디스크 스프링(300)의 탄성력이 피스톤에 작용하여 피스톤을 밀어내게 된다.

이러한 피스톤(150)은 주입되는 압축 공기의 공기압과 디스크 스프링(300)이 탄성력에 의해 추력이 증가하고, 그에 따라 순간 이동 속도가 높아진다. 이러한 힘과 속도는 오랜 시간 접촉된 상태에서 밸브 디스크와 밸브 시트가 고착된 상황에서도 이들을 충분히 이탈시킬 수 있는 힘과 속도를 갖게 되는 것이다.

첨부된 도 5a, b는 본 발명의 다른 실시 예를 나타낸 시스템 도이다.

이 실시 예의 본 발명은 상기와 마찬가지로 실린더(100)와 밸브(200) 그리고 피스톤의 속도를 감속 혹은 증속 시키는 디스크 스프링(300)이 갖추어진 실린더(100)에 압축 공기를 주입하는 배관 라인이다.

이 배관 라인은 외부 배관으로, 공기를 공급하는 에어 유닛(10)과, 탱크(12)를 가지며, 각 포트(140)에는 개폐 밸브(16)와 속도 조절기 그리고, 공압 밸브(14)가 연결된 구성이며, 3방 솔레노이드가 설치되는 한편으로, 유로 폐색을 위해 공기가 주입되는 배관 라인에 압력 조절기(20)가 구비된 구성이다.

이러한 구성에서 첨부된 도 5a는 유로 폐색을 위해 공기가 주입되는 과정이다. 에어 유닛에서 공기가 공급되면, 압축 공기는 탱크와 압력 조절기(20) 그리고 공압 밸브(14)를 거쳐 개폐 밸브(16)를 통해 실린더 튜브(110)로 공급된다.

이 과정에서 압력 조절기(20)는 공기의 압력을 낮춰 공급한다.

반대로, 밸브(200)의 유로(210)를 개방하는 경우에는 도 5b와 같이 압력 조절기(20)를 거치지 않음으로써 상기의 유로 폐색 시보다 높은 압력이 공급된다.

즉, 본 발명은 유로를 폐쇄하는 배관 라인에 압력 조절기(20)를 구비하여 유로(210)를 폐쇄할 때와 개방할 때 공급되는 압축 공기의 압력을 달리하여 상기 디스크 스프링(300)과 더불어 유로 폐색 시에는 서서히, 반대로 유로 개방 시에는 빠르게 피스톤을 이동시키는 구성이다.

100 : 공압 실린더 110 : 튜브
130 : 로드 커버 140 : 포트
150 : 피스톤 160 : 피스톤 로드
200 : 밸브 220 : 디스크
230 : 시트 300 : 디스크 스프링

Claims

밸브와 연결되며, 밸브 디스크를 이동시켜 유체가 흐르는 유로를 차단 혹은 개방하는 엑추에이터로써,
상부에 헤드 커버(120)가 씌워지고 하부에는 로드 커버(130)가 갖추어진 튜브(110)의 내측에 피스톤(150)을 구비하되, 이 피스톤(150)은 상기 헤드 커버(120)와 로드 커버(130) 각각에 형성된 포트(140)를 통해 공급되는 압축 공기에 의해 상하 이동하고, 이 피스톤(150)과 연결되며 하단은 로드 커버(130)를 관통하여 연장된 피스톤 로드(160)가 갖추어진 실린더(100);
상기 피스톤 로드(160)의 하단과 연결되어 상·하 이동하며, 유체가 흐르는 유로(110)에 설치된 밸브 시트(230)에 밀착 혹은 이격되어 유로를 차단 혹은 개방하는 밸브 디스크(220)로 구성된 밸브(200);
상기 실린더의 로드 커버(130)에 설치되고, 상기 밸브 디스크(220)가 밸브 시트(230)에 밀착되기 직전에 하강하는 피스톤(150)을 탄력 지지하여 이동 속도를 감속시키는 디스크 스프링(300);으로 이루어진 것을 특징으로 하는 엑추에이터.
제 1항에 있어서, 상기 피스톤(150)은 저면 중앙에 보스(154)를 구비하여 피스톤 로드(160)의 상단이 이를 관통하여 연결되도록 하고, 하강 시 이 보스(154)가 디스크 스프링(300)을 압축하며 감속이 이루어지도록 하되, 상승 시에는 디스크 스프링(300)이 탄성력으로 피스톤(150)을 밀어 순간 이동 속도를 증가시키는 것을 특징으로 하는 엑추에이터.
제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 디스크 스프링(300)은 코일 스프링 혹은 여러 장이 겹쳐진 판 스프링으로 구성된 것을 특징으로 하는 엑추에이터.
제 1항에 있어서, 상기 밸브 디스크(220)와 연결되는 개폐 로드(102)를 구비하고, 이 개폐 로드(102)와 피스톤 로드(160)를 연결하는 연결부(104)가 갖추어지며, 상기 로드 커버(130)의 하부에는 연장체(180)가 구비되고, 이 연장체(180)의 하부에 밸브(200)가 연결되는 것을 특징으로 하는 엑추에이터.
제 4항에 있어서, 상기 연장체(180)에 피스톤(150)의 이동을 감지하는 한쌍의 감지부(170)가 구비되고, 이 연장체(180)의 일측에 눈금(182)이 표시되어, 피스톤 로드(160)와 연동하는 상기 연결체(180)에 설치된 바늘(182a)의 위치에 따라 밸브(200)의 유로(210)가 개폐되었는가를 알 수 있도록 하는 것을 특징으로 하는 엑추에이터.
제 4항 또는 제 5항에 있어서, 상기 연결체(180)에 한쌍의 감지부(170) 사이를 오가며 접속되는 접속 돌기(106)가 구비된 것을 특징으로 하는 엑추에이터.
공압 실린더의 피스톤과 연결되어 이동하는 디스크에 의해 유체의 흐름을 제어하는 밸브로써,
튜브(110)의 양측에 헤드 커버(120)와 로드 커버(120)가 구비되고, 이 헤드 커버(120)와 로드 커버(130) 각각에 압축 공기가 입출 하는 포트(140)가 형성되며, 튜브(110)의 내측에 압축 공기의 입출에 따라 이동하는 피스톤(150)과 피스톤 로드(160)가 구비된 실린더(100);
상기 피스톤 로드(160)와 연결되어 이동하며, 유체 혹은 기체가 흐르는 유로(210)에 밸브 시트(230)가 구비되고, 이 밸브 시트에 밀착되어 유로(210)를 막거나 개방하는 디스크(220)가 갖추어진 밸브(200);
상기 실린더(200)의 로드 커버(130)에 설치되며, 밸브 디스크(220)가 밸브 시트(230)에 접촉되기 이전에 피스톤(150)의 속도와 힘을 감소시켜 밸브 디스크가 밸브 시트에 서서히 밀착되도록 하고, 반대로 유로(210)의 개방 시에는 탄성력으로 피스톤(150)을 밀어 이동 속도 및 힘을 증가시키는 디스크 스프링(300);
상기 실린더(100)의 포트(140) 각각에 압축 공기를 주입하기 위한 밸브(14, 16)를 구비하되, 이 포트(140) 중 유로 폐색을 위해 압축 공기가 주입되는 배관 라인에 압력 조절기(20)를 구비하여 유로(20)의 개방 시보다 폐쇄 시의 공기압을 낮춰 공급하는 것을 특징으로 하는 엑추에이터.