KR20130033237A - Gate in panel type liqiud crystal panel - Google Patents

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KR20130033237A
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Abstract

PURPOSE: A GIP type LCD panel is provided to prevent an error process by increasing the depth of the focused margin. CONSTITUTION: A second activation layer(223) is arranged in the overlapped region of a second source electrode(225a) and a second drain electrode(227a). The second source electrode and the second drain electrode are in parallel to a first source electrode and a first drain electrode for a thin film transistor.

Description

GIP 타입의 액정표시패널{Gate In Panel type Liqiud Crystal Panel}GIP type liquid crystal display panel {Gate In Panel type Liqiud Crystal Panel}

본 발명의 실시예들은 액정표시패널에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 액정표시패널의 제조에 있어 공정수율을 향상시킬 수 있는 액정표시패널에 관한 것이다.Embodiments of the present invention relate to a liquid crystal display panel, and more particularly, to a liquid crystal display panel that can improve the process yield in manufacturing a liquid crystal display panel.

액정표시장치는 소형 및 박형화와 저전력 소모의 장점을 가지며, 노트북 PC, 사무 자동화 기기, 오디오/비디오 기기 등에 이용되고 있다. 특히, 스위치 소자로서 박막 트랜지스터(Thin Film Transistor : 이하 "TFT"라 함)가 이용되는 액티브 매트릭스 타입의 액정표시장치는 동적인 이미지를 표시하기에 적합한 것으로 각광 받고 있다.LCDs have advantages of small size, thinness, and low power consumption, and are used in notebook PCs, office automation devices, and audio / video devices. In particular, an active matrix liquid crystal display device using a thin film transistor (hereinafter referred to as "TFT") as a switch element has been spotlighted as being suitable for displaying dynamic images.

한편, 액정표시장치는 액정표시패널과 액정층을 구동하기 위한 전압을 인가하는 구동회로부, 액정표시패널에 광을 주사하기 위한 백라이트 유닛으로 구성된다.On the other hand, the liquid crystal display device includes a liquid crystal display panel, a driving circuit unit for applying a voltage for driving the liquid crystal layer, and a backlight unit for scanning light to the liquid crystal display panel.

여기서 액정표시패널은 복수의 전압 배선이 교차하며 형성되고, 그 교차지점에 박막트랜지스터(Thin Film Transistor ; TFT)가 형성되어 복수의 전압 배선으로부터 인가받은 전압에 따라 액정층에 인가하는 전압을 스위치하여 화상을 표현할 수 있다.Here, the liquid crystal display panel is formed by crossing a plurality of voltage wires, and a thin film transistor (TFT) is formed at the intersections thereof to switch voltages applied to the liquid crystal layer according to voltages applied from the plurality of voltage wires. An image can be expressed.

이하, 액정표시패널의 평면 구조에 대해 보다 상세하게 알아본다.Hereinafter, the planar structure of the liquid crystal display panel will be described in more detail.

도 1 은 종래기술의 액정표시패널의 개략도이다.1 is a schematic view of a liquid crystal display panel of the prior art.

도시한 바와 같이, 액정표시패널은 표시부(10), 게이트 구동부(20), 데이터 구동부(30), 타이밍 제어부(40)를 포함하여 구성될 수 있다.As illustrated, the liquid crystal display panel may include a display unit 10, a gate driver 20, a data driver 30, and a timing controller 40.

상기 액정패널(10)은 화소영역을 정의하는 다수의 게이트 라인(GL) 및 데이터 라인(DL)이 교차하여 형성되어 있고, 두 라인(GL, DL)에 의해 정의되는 화소영역마다 액정 캐패시터(Clc)와 스토리지 커패시터(Cst), 상기 액정캐패시터를 구동하기 위한 박막트랜지스터(TFT)가 구성된다.The liquid crystal panel 10 is formed by crossing a plurality of gate lines GL and data lines DL, which define a pixel region, and a liquid crystal capacitor Clc for each pixel region defined by two lines GL and DL. ), A storage capacitor (Cst), and a thin film transistor (TFT) for driving the liquid crystal capacitor.

상기 박막트랜지스터(TFT)는 게이트 라인(GL)으로부터 구동신호가 입력되면 턴-온(turn-on)되어 데이터 라인(DL)의 화상신호를 액정 캐패시터(Clc)에 공급하게 되며, 구동신호가 입력되지 않으면 턴-오프(turn-off)되어 액정 캐패시터(Clc)에 충전된 화상신호를 다음 프레임(frame)까지 유지한다.When the driving signal is input from the gate line GL, the thin film transistor TFT is turned on to supply the image signal of the data line DL to the liquid crystal capacitor Clc, and the driving signal is input. If not, it is turned off to maintain the image signal charged in the liquid crystal capacitor Clc until the next frame.

그리고, 충전된 화상신호를 다음 화상신호가 인가될 때까지 안정적으로 유지되게 하기 위한 보조 용량으로 스토리지 캐패시터(Cst)가 더 구비될 수 있다.The storage capacitor Cst may be further provided as a storage capacitor for stably maintaining the charged image signal until the next image signal is applied.

이러한 액정 캐패시터(Clc)는 박막트랜지스터(TFT)의 온-오프 동작에 의해 충전되는 화상신호에 따라 배열 상태가 조절되어 광 투과율을 조절함으로써 영상을 디스플레이 한다.The liquid crystal capacitor Clc displays an image by adjusting the light transmittance by adjusting an arrangement state according to an image signal charged by the on-off operation of the thin film transistor TFT.

타이밍 제어부(40)는 외부신호를 이용하여 게이트 및 데이터 구동부 (20,30)를 구동하기 위한 제어 신호를 생성한다.The timing controller 40 generates a control signal for driving the gate and data drivers 20 and 30 using an external signal.

상기 게이트 구동부(20)는 타이밍 제어부(40)에서 제어신호를 입력받아 게이트 라인(GL)에 순차적으로 박막트랜지스터(TFT)의 구동신호를 공급하여 박막트랜지스터(TFT)를 턴-온 시킨다.The gate driver 20 turns on the thin film transistor TFT by receiving a control signal from the timing controller 40 and sequentially supplying a driving signal of the thin film transistor TFT to the gate line GL.

데이터 구동부(30)는 타이밍 제어부(40)에서 제어 신호 및 화상신호를 입력받아 게이트 라인(GL)에 인가되는 박막트랜지스터(TFT)의 구동신호에 동기하여 1 수평라인분의 화상신호를 다수의 데이터 라인(DL)에 공급한다.The data driver 30 receives a control signal and an image signal from the timing controller 40 and generates a plurality of data signals for one horizontal line in synchronization with a drive signal of a thin film transistor TFT applied to the gate line GL. Supply to the line DL.

따라서 박막트랜지스터(TFT)의 스위칭이 얼마나 정확하게 이루어 지느냐에 따라 상기 화상신호가 제대로 전달될 수 있으며 표시부(10)의 화면품질도 결정될 수 있다.Accordingly, the image signal may be properly transmitted and the screen quality of the display unit 10 may be determined according to how accurately the thin film transistor TFT is switched.

그렇다면 액정표시패널상에서 상기 박막트랜지스터(TFT)의 패턴 형상을 살펴본다.If so, the pattern shape of the thin film transistor TFT is described.

도 2는 종래기술에 따르는 액정표시패널의 표시부와 게이트 구동부의 박막트랜지스터의 패턴 형상을 도시한 평면도이다.2 is a plan view illustrating a pattern shape of a thin film transistor of a display unit and a gate driver of a liquid crystal display panel according to the related art.

여기서 상기 액정표시패널은 게이트 구동부(20)와 데이터 구동부(30)를 모두 기판 상면에 탑재하는 형태로 도시하였다.In the liquid crystal display panel, both the gate driver 20 and the data driver 30 are mounted on the upper surface of the substrate.

박막트랜지스터는 게이트 전극, 활성화층, 소스 전극 및 드레인 전극이 차례로 적층된 구조로 구성되며, 게이트 전극의 전압신호에 의해 활성화층에 전자가 이동할 수 있는 채널이 형성되고, 상기 채널을 통하여 소스 전극과 드레인 전극 간에 전압신호가 전달 될 수 있다. The thin film transistor has a structure in which a gate electrode, an activation layer, a source electrode, and a drain electrode are sequentially stacked, and a channel through which electrons can move in the activation layer is formed by a voltage signal of the gate electrode. The voltage signal may be transferred between the drain electrodes.

먼저 표시부(10)의 박막트랜지스터를 살펴본다.First, the thin film transistor of the display unit 10 will be described.

소스 전극(15a)은 데이터 라인(DL)의 일 측에서 표시부(10)의 장변방향과 수평한 방향으로 돌출되어 형성된다. 이때, 두개의 돌출부가 사이에 공간을 두는 형상을 가지며 간단하게는 U자형 모양이라고 할 수 있다. 그리고 상기 소스 전극(15a)의 공간에 드레인 전극(15b)이 삽입되는 형태로 형성될 수 있다. 여기서 상기 소스 전극(15a)과 드레인 전극(15b)의 하부에 활성화층(13)이 형성되며, 그 하부에는 도시하지 않았으나 게이트 전극이 형성되어 있다.The source electrode 15a is formed to protrude in a direction parallel to the long side direction of the display unit 10 on one side of the data line DL. In this case, the two protrusions have a shape having a space therebetween, and can be referred to simply as a U-shape. The drain electrode 15b may be inserted into the space of the source electrode 15a. The activation layer 13 is formed below the source electrode 15a and the drain electrode 15b, and a gate electrode is formed below the active layer 13.

그 다음 게이트 구동부(20)의 박막트랜지스터를 살펴본다.Next, the thin film transistor of the gate driver 20 will be described.

상기 게이트 구동부(20)의 박막트랜지스터는 소스 전극(25)과 드레인 전극(27)이 활성화층(23)의 상부에서 각각 다수의 돌출부와 돌출부사이의 공간을 가진 형태로 형성되며, 이것은 서로 핑거링된 형상을 가진다. 이때, 상기 소스 전극(25)과 드레인 전극(27)의 돌출부가 형성된 방향은 상기 표시부(10)의 소스 전극(15a) 및 드레인 전극(15b)의 형성방향과 수직한 방향이다.The thin film transistor of the gate driver 20 is formed such that the source electrode 25 and the drain electrode 27 have a space between the plurality of protrusions and the protrusions at the top of the activation layer 23, respectively, which are fingered together. It has a shape. In this case, the direction in which the protrusions of the source electrode 25 and the drain electrode 27 are formed is a direction perpendicular to the forming direction of the source electrode 15a and the drain electrode 15b of the display unit 10.

이때, 상기 두 트랜지스터의 A와 B는 채널 길이(length)를 나타내는 것으로 트랜지스터의 특성에 큰 영향을 준다. In this case, A and B of the two transistors represent a channel length and greatly affect the characteristics of the transistor.

한편, 상기 트랜지스터들을 형성하기 위해 노광 공정을 진행하게 되는데, 노광 공정의 특성상 노광공정에서 도포된 포토레지스트가 패턴된 방향에 따라 노광되는 정도가 달라지게 된다. 그런데 그 후 진행하는 식각 공정은 이전 공정의 미비한 변화에도 패턴 형성되는 정도가 달라지게 된다. 그 결과 상기 노광공정에서 정밀한 노광이 요구되어 초점심도(depth of focus : DOF) 마진(margin)이 부족하게 된다. Meanwhile, an exposure process is performed to form the transistors, and the degree of exposure of the photoresist applied in the exposure process varies depending on the patterned direction due to the characteristics of the exposure process. However, the etching process that proceeds afterwards has a different degree of pattern formation even with slight changes of the previous process. As a result, precise exposure is required in the exposure process, resulting in a lack of depth of focus (DOF) margin.

초점심도(DOF) 마진이란 기판상에 동일한 임계수치(critical dimension : CD)의 패턴을 형성하기 위해 공정시 마스크가 기판의 수직축 상으로 이동할 수 있는 허용범위를 말한다.Depth of focus (DOF) margin is the allowable range in which the mask can be moved on the vertical axis of the substrate in order to form a pattern of the same critical dimension (CD) on the substrate.

상기 초점심도 마진이 확보되지 않는 경우 표시부와 게이트 구동부의 박막트랜지스터의 채널 패턴이 균일하게 형성되지 않을 수 있다. 즉, 도 2에서 A와 B의 길이가 다르게 형성될 수 있다. 이 경우 온/오프 전류의 균일도(uniformity)가 떨어질수 있다. 그리고 패턴 형성의 오류로 채널에 단선(short)이 발생하는 불량이 생길 수도 있다.
When the depth of focus margin is not secured, the channel pattern of the thin film transistor of the display unit and the gate driver may not be uniformly formed. That is, the lengths of A and B in FIG. 2 may be different. In this case, the uniformity of the on / off current may be degraded. In addition, a defect may occur in which a short occurs in a channel due to an error in pattern formation.

따라서 위와 같은 문제를 해결하기 위하여 본 발명의 실시예들은 표시부와 게이트 구동부의 트랜지스터의 채널 형성방향을 동일하게 하여 공정불량을 줄이는 데에 목적이 있다. 또한, 본 발명의 다른 목적 및 특징들은 후술되는 발명을 실시하기 위한 구체적 내용 및 특허청구범위에서 설명될 것이다.Therefore, in order to solve the above problems, embodiments of the present invention have an object to reduce process defects by making the channel forming directions of the transistors of the display unit and the gate driver the same. Other objects and features of the present invention will be described in the following detailed description and claims.

이와 같은 본 발명의 해결 과제를 달성하기 위하여, 본 발명의 일 실시예에 따르는 액정표시패널은, 표시부와 게이트 구동부를 포함하는 비표시부로 구분되는 제 1 기판; 상기 제 1 기판의 표시부에 형성되며, 교차하여 복수의 화소를 정의하는 복수의 데이터 라인 및 복수의 게이트 라인; 상기 제 1 기판과 대향하는 제 2 기판; 상기 제 1 기판과 제 2 기판 사이에 개재되는 액정층; 상기 표시부의 화소마다 형성되며, 상기 데이터 라인에서 일방향으로 돌출된 요철 모양(凹)의 제 1 소스 전극과 상기 요철 모양(凹)의 내부에 삽입형성되는 제 1 드레인 전극을 포함하는 제 1 박막트랜지스터; 및 상기 게이트 구동부에 요철 모양(凹)으로 형성된 제 2 소스 전극 및 제 2 드레인 전극을 포함하며, 상기 제 2 소스 전극 및 제 2 드레인 전극의 요철 모양(凹)들은 홈과 돌출부가 서로 맞물리도록 마주하는 제 2 박막트랜지스터;를 포함하며, 상기 제 1 트랜지스터 및 제 2 트랜지스터의 요철 모양(凹)의 돌출부가 향하는 방향은 모두 평행한 것을 특징으로 한다. In order to achieve the above object of the present invention, a liquid crystal display panel according to an embodiment of the present invention, the first substrate is divided into a non-display unit including a display unit and a gate driver; A plurality of data lines and a plurality of gate lines formed on the display unit of the first substrate and crossing each other to define a plurality of pixels; A second substrate facing the first substrate; A liquid crystal layer interposed between the first substrate and the second substrate; A first thin film transistor formed at each pixel of the display unit and including a first source electrode having a concave-convex shape protruding in one direction from the data line and a first drain electrode inserted into the concave-convex shape; ; And a second source electrode and a second drain electrode formed in a concave-convex shape in the gate driver, wherein the concave-convex shapes of the second source electrode and the second drain electrode face each other so that the groove and the protrusion are engaged with each other. And a second thin film transistor, wherein the direction toward which the protrusions of the uneven shape of the first transistor and the second transistor face each other is parallel.

바람직하게는, 상기 요철 모양(凹)의 돌출부가 향하는 방향은 게이트 라인과 수평한 방향 또는 수직한 방향인 것을 특징으로 한다.Preferably, the direction toward which the protrusions of the concave-convex shape face is characterized in that the direction is horizontal or perpendicular to the gate line.

또한, 상기 제 1 소스 전극 및 제 1 드레인 전극과 제 2 소스 전극 및 제 2 드레인 전극은 슬릿 마스크를 이용한 노광공정에 의해 형성된 것을 특징으로 한다.The first source electrode, the first drain electrode, the second source electrode, and the second drain electrode may be formed by an exposure process using a slit mask.

또한, 상기 게이트 구동부가 구성되지 않은 제 1 기판의 타 측에 데이터 구동부를 포함한 데이터 구동 TCP를 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, a data driving TCP including a data driving unit may be included on the other side of the first substrate on which the gate driving unit is not configured.

또한, 상기 제 2 박막트랜지스터의 제 2 소스 전극 및 제 2 드레인 전극 전극을 포함한 동일층에 형성되는 패턴은, 하나의 중앙 라인의 양 옆으로 복수의 브랜치(branch)를 포함하는 트리(tree) 형상에 대하여 상기 트리 형상의 양 옆으로 요철 모양(凹)이 마주하는 형상을 가지는 것을 특징으로 한다.In addition, the pattern formed on the same layer including the second source electrode and the second drain electrode electrode of the second thin film transistor has a tree shape including a plurality of branches on both sides of one center line. It is characterized in that it has a shape in which concave-convex shapes face each other in the tree shape.

또한, 상기 복수의 브랜치는 상기 중앙 라인과 수직하여 돌출되며 상기 돌출 방향은 게이트 라인과 수평한 것을 특징으로 한다.The plurality of branches may protrude perpendicularly to the center line and the protruding direction may be horizontal to the gate line.

또한, 상기 요철 모양(凹)과 트리 형상은 상기 브랜치가 상기 요철 모양(凹)의 홈에 삽입하는 핑거링 형태로 형성된 것을 특징으로 한다.In addition, the concave-convex shape and the tree shape are characterized in that the branch is formed in the form of a fingering inserted into the groove of the concave-convex shape.

상기와 같이 구성되는 본 발명의 적어도 하나의 실시예에 관련된 액정표시패널은,The liquid crystal display panel according to at least one embodiment of the present invention configured as described above,

초점심도(DOF) 마진을 증가시킴으로써 공정의 불량을 줄이고 공정수율을 향상시킬 수 있다.Increasing the depth of focus margin reduces process defects and improves process yield.

또한, 온/오프 전류의 균일도를 증가시킬 수 있어 품질을 안정화시키는 효과가 있다.In addition, it is possible to increase the uniformity of the on / off current has the effect of stabilizing the quality.

또한, 종래기술에 대비하여 게이트 구동부의 수평 사이즈가 감소하게 되므로 소형의 액정표시패널을 제조할 수 있다.In addition, since the horizontal size of the gate driver is reduced in comparison with the related art, a compact liquid crystal display panel can be manufactured.

도 1 은 종래기술의 액정표시패널의 개략도이다.
도 2는 종래기술에 따르는 액정표시패널의 표시부와 게이트 구동부의 박막트랜지스터의 패턴 형상을 도시한 평면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따르는 액정표시패널의 개략도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따르는 액정표시패널의 한 화소의 평면도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따르는 게이트 구동부의 제 2 박막트랜지스터의 평면도이다.
도 6a 내지 도 6e는 본 발명의 일 실시예에 따르는 박막트랜지스터의 형성방법을 공정순서에 따라 도시한 공정 단면도이다.
도 7a와 도 7b는 종래기술2와 본 발명의 일실시예에 대한 초점거리와 하프톤 레인지의 관계를 나타낸 그래프이다.
도 8은 종래기술과 본 발명의 일 실시예에 따르는 게이트 구동부의 일부 박막트랜지스터를 도시한 평면도이다.
1 is a schematic view of a liquid crystal display panel of the prior art.
2 is a plan view illustrating a pattern shape of a thin film transistor of a display unit and a gate driver of a liquid crystal display panel according to the related art.
3 is a schematic diagram of a liquid crystal display panel according to an exemplary embodiment of the present invention.
4 is a plan view of one pixel of a liquid crystal display panel according to an exemplary embodiment of the present invention.
5 is a plan view of a second thin film transistor of a gate driver according to an exemplary embodiment of the present invention.
6A through 6E are cross-sectional views illustrating a method of forming a thin film transistor according to an embodiment of the present invention, in a process sequence.
7A and 7B are graphs showing a relationship between a focal length and a halftone range for the prior art 2 and an embodiment of the present invention.
8 is a plan view illustrating some thin film transistors of a gate driver according to the related art and an exemplary embodiment of the present invention.

이하, 본 발명의 실시예에 따르는 액정표시패널에 대하여 도면을 참조하여 보다 상세하게 설명한다. Hereinafter, a liquid crystal display panel according to an exemplary embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

본 명세서에서는 서로 다른 실시예라도 동일,유사한 구성에 대해서는 동일, 유사한 참조번호를 부여하고, 그 설명은 처음 설명으로 갈음한다. In the present specification, the same or similar components are assigned the same or similar reference numerals for different configurations, and the description thereof is replaced with the first description.

본 명세서에서 사용되는 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함할 수 있다.As used herein, the singular forms "a", "an" and "the" include plural referents unless the context clearly dictates otherwise.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따르는 액정표시패널의 개략도이다.3 is a schematic diagram of a liquid crystal display panel according to an exemplary embodiment of the present invention.

도 3을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 액정표시패널(100)은 표시부(110)와 비표시부(105)로 구분된다. 그리고 표시부(110)에 배열된 복수의 게이트 라인(GL) 및 데이터 라인(DL)을 구동하기 위한 데이터 구동부(130) 및 게이트 구동부(120)를 포함하고 상기 게이트 구동부(120)와 데이터 구동부(130)를 제어하기 위한 타이밍 제어부(140), 및 구동전압 발생회로(미도시)가 액정표시패널(100)의 내부 또는 외부에 배치될 수 있다.Referring to FIG. 3, the liquid crystal display panel 100 according to the exemplary embodiment of the present invention is divided into a display unit 110 and a non-display unit 105. And a data driver 130 and a gate driver 120 for driving the plurality of gate lines GL and data lines DL arranged on the display unit 110. The gate driver 120 and the data driver 130 are provided. ) May be disposed inside or outside the liquid crystal display panel 100, and a timing controller 140 and a driving voltage generation circuit (not shown).

여기서, 상기 데이터 구동부(130)는 패키지 타입으로 제작된 데이터 구동 TCP(Tape Carrier Package)(135)를 액정표시패널(100)에 부착하여 형성하고 게이트 구동부(120)는 비표시부(105)의 일면에 직접 패턴하여 형성하는 GIP(Gate In Panel)구조일 수 있다. 이때, 상기 데이터 구동 TCP(135)의 타 측은 신호를 입력받기 위한 PCB기판에 부착하여 형성한다.Here, the data driver 130 is formed by attaching a tape driving package (Tape Carrier Package) 135 manufactured in a package type to the liquid crystal display panel 100, and the gate driver 120 is formed on one surface of the non-display unit 105. It may be a GIP (Gate In Panel) structure formed by patterning directly. At this time, the other side of the data driving TCP 135 is formed by attaching to the PCB substrate for receiving a signal.

그리고 도면에 도시되지는 않았으나 상기 액정표시패널(100)은 제 1 기판에 상기 표시부(110)와 비표시부(105)를 정의하고 상기 제 1 기판(미도시)과 대향하는 제 2 기판(미도시)과 그 사이에 액정층(미도시)이 표시부(110)에 대응하여 개재되는 구조를 가진다.Although not shown in the drawing, the liquid crystal display panel 100 defines a display unit 110 and a non-display unit 105 on a first substrate and faces a second substrate (not shown). ) And a liquid crystal layer (not shown) interposed therebetween to correspond to the display unit 110.

상기 표시부(110)는 다수의 화상 신호 라인(GL, DL)과 매트릭스(matrix) 형태로 배열된 다수의 단위 화소(pixel)를 포함한다.The display unit 110 may include a plurality of image signal lines GL and DL and a plurality of unit pixels arranged in a matrix form.

여기서, 화상 신호 라인(GL, DL)은 게이트 전압을 전달하는 다수의 게이트 라인(GL)과 데이터 전압을 전달하는 데이터 라인(DL)을 포함한다. 게이트 라인(GL)은 행방향으로 뻗어 있으며 서로가 거의 평행하고 데이터 라인(DL)은 열방향으로 뻗어 있으며 서로가 거의 평행하다. 따라서 상기 데이터 라인(DL)과 게이트 라인(GL)의 교차 구조에 의해 매트릭스 형태로 배치된 복수의 액정셀을 포함한다.Here, the image signal lines GL and DL include a plurality of gate lines GL that transfer gate voltages and data lines DL that transfer data voltages. The gate lines GL extend in the row direction and are substantially parallel to each other, and the data lines DL extend in the column direction and are substantially parallel to each other. Therefore, the liquid crystal cell includes a plurality of liquid crystal cells arranged in a matrix by the intersection structure of the data line DL and the gate line GL.

각 단위 화소는 화상 신호 라인(GL, DL)에 연결된 박막트랜지스터(TFT)와 이에 연결된 액정 커패시터(liquid crystal capacitor)(Clc) 및 스토리지 커패시터(storage capacitor)(Cst)를 포함한다. 스토리지 커패시터(Cst)는 필요에 따라 생략할 수 있다.Each unit pixel includes a thin film transistor TFT connected to the image signal lines GL and DL, a liquid crystal capacitor Clc, and a storage capacitor Cst connected thereto. The storage capacitor Cst may be omitted as necessary.

액정 커패시터(Clc)는 제 1 기판의 화소 전극과 제 2 기판의 공통 전극을 두 단자로 하며 두 전극 사이의 액정층은 유전체로서 기능한다. 스토리지 커패시터(Cst)는 제 1 기판에 구비된 별개의 신호 라인(도시하지 않음)과 화소 전극이 중첩되어 이루어지며 이 별개의 신호 라인에는 공통 전압(Vcom) 등의 정해진 전압이 인가된다. The liquid crystal capacitor Clc has a pixel electrode of the first substrate and a common electrode of the second substrate as two terminals, and the liquid crystal layer between the two electrodes functions as a dielectric. The storage capacitor Cst is formed by overlapping a separate signal line (not shown) and a pixel electrode provided on the first substrate, and a predetermined voltage such as a common voltage Vcom is applied to the separate signal line.

게이트 구동부(120)는 액정표시패널(100)의 게이트 라인(GL)에 연결되어 외부로부터의 게이트 온 전압(Von)과 게이트 오프 전압(Voff)의 조합으로 이루어진 게이트 전압을 게이트 라인(GL)에 인가한다.The gate driver 120 is connected to the gate line GL of the liquid crystal display panel 100 so that a gate voltage formed by a combination of a gate on voltage Von and a gate off voltage Voff from the outside is applied to the gate line GL. Is authorized.

데이터 구동부(130)는 액정표시패널(100)의 데이터 라인(DL)에 연결되어 있으며, 다수의 계조 전압을 생성하고, 생성된 계조 전압을 선택하여 데이터 전압으로서 단위 화소에 인가하며 통상 다수의 집적 회로로 이루어진다. The data driver 130 is connected to the data line DL of the liquid crystal display panel 100, generates a plurality of gray voltages, selects the generated gray voltages, and applies the generated gray voltages to the unit pixels as data voltages. It consists of a circuit.

타이밍 제어부(140)는 게이트 구동부(120) 및 데이터 구동부(130) 등의 동작을 제어하는 제어신호를 생성하여, 각 해당하는 제어신호를 게이트 구동부(120) 및 데이터 구동부(130)에 제공한다. The timing controller 140 generates control signals for controlling operations of the gate driver 120 and the data driver 130, and provides the corresponding control signals to the gate driver 120 and the data driver 130.

도면에 도시하지 않았으나, 구동전압 발생회로는 다수의 구동 전압을 생성한다. Although not shown in the drawing, the driving voltage generation circuit generates a plurality of driving voltages.

이하에서 액정표시장치의 표시 동작에 대하여 좀더 상세하게 설명한다.Hereinafter, the display operation of the liquid crystal display will be described in more detail.

타이밍 제어부(140)는 외부로부터 액정표시패널(100)을 제어하는 신호를 제공받는다. 그리고 타이밍 제어부(140)는 제공받은 제어신호를 기초로 게이트 제어신호 및 데이터 제어신호 등을 생성하고 액정표시패널(100)의 동작 조건에 맞게 적절히 처리한 후, 게이트 제어신호를 게이트 구동부(120)로 제공하고 데이터 신호를 데이터 구동부(130)로 제공한다.The timing controller 140 receives a signal for controlling the liquid crystal display panel 100 from the outside. The timing controller 140 generates a gate control signal, a data control signal, and the like based on the provided control signal, processes the gate control signal according to the operating conditions of the liquid crystal display panel 100, and then processes the gate control signal in the gate driver 120. The data signal is provided to the data driver 130.

게이트 구동부(120)는 타이밍 제어부(140)로부터의 게이트 신호에 따라 게이트 온 전압(Von)을 게이트 라인(GL)에 인가하여 상기 게이트 라인(GL)에 연결된 박막트랜지스터(TFT)를 턴온시킨다.The gate driver 120 turns on the thin film transistor TFT connected to the gate line GL by applying a gate-on voltage Von to the gate line GL according to the gate signal from the timing controller 140.

하나의 게이트 라인(GL)에 게이트 온 전압(Von)이 인가되어 이에 연결된 한 행의 박막트랜지스터(TFT)가 턴온되어 있는 동안, 데이터 구동부(130)는 각 데이터 전압을 해당 데이터 라인(DL)에 공급한다. 데이터 라인(DL)에 공급된 데이터 전압은 턴온된 박막트랜지스터(TFT)를 통해 해당 단위 화소에 인가된다.While the gate-on voltage Von is applied to one gate line GL and a row of TFTs connected thereto is turned on, the data driver 130 transfers each data voltage to the corresponding data line DL. Supply. The data voltage supplied to the data line DL is applied to the corresponding unit pixel through the turned-on thin film transistor TFT.

액정 분자들은 화소 전극과 공통 전극이 생성하는 전기장의 변화에 따라 그 배열을 바꾸고 이에 따라 액정층을 통과하는 빛의 편광을 변화시킨다. 이러한 편광의 변화는 제 1 기판 및 제 2 기판에 부착된 편광자(도시하지 않음)에 의하여 빛의 투과율 변화로 나타난다.The liquid crystal molecules change their arrangement according to the change in the electric field generated by the pixel electrode and the common electrode, thereby changing the polarization of light passing through the liquid crystal layer. This change in polarization is represented by a change in transmittance of light by a polarizer (not shown) attached to the first substrate and the second substrate.

이러한 방식으로, 한 프레임(frame) 동안 화상을 표시할 수 있으며 한 프레임이 끝나면 그 다음 프레임이 시작된다. 그리고 연속되는 프레임으로 물체의 동작을 화상으로 표현할 수 있게 된다. In this way, an image can be displayed for one frame and the next frame begins after one frame ends. In addition, the motion of the object can be expressed as an image in successive frames.

여기서 상기 화상을 표시하는 한 단위가 되는 화소의 평면도를 살펴봄으로써 표시부(110)내의 박막트랜지스터(TFT)의 형상에 대하여 구체적으로 살펴본다.Herein, the shape of the thin film transistor TFT in the display unit 110 will be described in detail by looking at a plan view of a pixel serving as a unit for displaying the image.

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따르는 액정표시패널의 한 화소의 평면도이다.4 is a plan view of one pixel of a liquid crystal display panel according to an exemplary embodiment of the present invention.

도 4를 참고하면, 게이트 라인(GL)은 제1 방향으로 배열되어 있고, 데이터 라인(DL)은 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 배열되어 있다.Referring to FIG. 4, the gate lines GL are arranged in a first direction, and the data lines DL are arranged in a second direction crossing the first direction.

상기 게이트 라인(GL) 및 데이터 라인(DL)이 교차하는 영역에는 제 1 박막 트랜지스터(TFT1)가 형성되어 있다.A first thin film transistor TFT1 is formed in an area where the gate line GL and the data line DL cross each other.

상기 제 1 박막트랜지스터(TFT1)는 제 1 게이트 전극(111), 제 1 활성화층(113), 제 1 소스 전극(115a), 제 1 드레인 전극(115b)을 포함한다.The first thin film transistor TFT1 includes a first gate electrode 111, a first activation layer 113, a first source electrode 115a, and a first drain electrode 115b.

상기 제 1 게이트 전극(111)은 상기 게이트 라인(GL)에서 분지되어 데이터 라인(DL)의 방향으로 돌출형성되어 있고, 상기 제 1 활성화층(113)은 상기 제 1 게이트 전극(111)의 상부 및 상기 제 1 소스 전극 및 제 1 드레인 전극(115a, 115b)의 하부에 패턴 형성되어 있고, 상기 제 1 소스 전극(115a)은 상기 데이터 라인(DL)에서 분지되어 돌출형성되어 있고, 상기 제 1 드레인 전극(115b)은 상기 제 1 소스 전극(115a)과 소정 간격으로 이격되어 있다. The first gate electrode 111 is branched from the gate line GL to protrude in the direction of the data line DL, and the first activation layer 113 is formed above the first gate electrode 111. And a pattern is formed below the first source electrode and the first drain electrode 115a and 115b, and the first source electrode 115a is branched from the data line DL to protrude. The drain electrode 115b is spaced apart from the first source electrode 115a at a predetermined interval.

그리고 화소 전극(116)은 상기 제 1 드레인 전극(115b)과 연결되어 있는데, 이를 위해서 상기 제 1 소스 전극(115a) 및 제 1 드레인 전극(115b)의 상부에 형성되는 절연막에는 상기 제 1 드레인 전극(115b)이 노출되도록 콘택홀(117)을 구비하고 있다. In addition, the pixel electrode 116 is connected to the first drain electrode 115b. For this purpose, the insulating film formed on the first source electrode 115a and the first drain electrode 115b is disposed on the first drain electrode 115b. A contact hole 117 is provided to expose 115b.

한편, 상기 화소 전극(116)의 일면에는 스토리지 커패시터(118)가 형성되어 게이트 라인(GL)과 데이터 라인(DL)으로 받은 전압을 유지시켜주는 역할을 한다. 상기 스토리지 커패시터(118)는 상부의 콘택홀(119)을 통해 상기 화소 전극(116)과 전기적으로 연결된다.Meanwhile, a storage capacitor 118 is formed on one surface of the pixel electrode 116 to maintain a voltage received by the gate line GL and the data line DL. The storage capacitor 118 is electrically connected to the pixel electrode 116 through an upper contact hole 119.

그리고 상기 제 1 소스 전극(115a)은 2개의 돌출부와 상기 돌출부 사이의 홈을 포함하는 요철 모양(凹) 또는 U자형으로 형성될 수 있다. 이때, 상기 제 1 드레인 전극(115b)은 일자형의 돌출부분이 상기 제 1 소스 전극(115a)의 내부로 삽입되는 형태로 형성될 수 있다. 그리고, 제 1 소스 전극(115a)의 상기 돌출부와 제 1 드레인 전극(115b)은 게이트 라인(GL)과 평행한 방향으로 형성될 수 있다.The first source electrode 115a may be formed in a concave-convex shape or a U shape including two protrusions and a groove between the protrusions. In this case, the first drain electrode 115b may have a shape in which a straight protrusion is inserted into the first source electrode 115a. The protrusion and the first drain electrode 115b of the first source electrode 115a may be formed in a direction parallel to the gate line GL.

이하, 비표시부에 형성된 게이트 구동부의 제 2 박막트랜지스터의 형상에 대하여 구체적으로 살펴본다.Hereinafter, the shape of the second thin film transistor of the gate driver formed in the non-display portion will be described in detail.

도 5는 본 발명의 일 실시예에 따르는 게이트 구동부의 제 2 박막트랜지스터의 평면도이다.5 is a plan view of a second thin film transistor of a gate driver according to an exemplary embodiment of the present invention.

상기 제 2 박막트랜지스터(TFT2)는 제 2 게이트 전극(미도시)과 제 2 활성화층(223)과 제 2 소스 전극(225a) 및 제 2 드레인 전극(227a)으로 구성된다.The second thin film transistor TFT2 includes a second gate electrode (not shown), a second activation layer 223, a second source electrode 225a, and a second drain electrode 227a.

제 2 소스 전극(225a)은 복수의 돌출부를 포함하여 구성될 수 잇다. 그리고 상기 제 2 소스 전극(225a)은 상기 복수의 돌출부를 일측에서 하나로 연결하는 브릿지(225b)와 연결될 수 있다. 다르게는, 상기 제 2 소스 전극(225a)은 돌출부와 홈을 가진 요철 모양(凹)이 복수개가 병렬로 나열되어 있는 형상을 가진다고도 볼수 있다.The second source electrode 225a may include a plurality of protrusions. The second source electrode 225a may be connected to a bridge 225b that connects the plurality of protrusions to one from one side. Alternatively, it can be seen that the second source electrode 225a has a shape in which a plurality of irregularities having protrusions and grooves are arranged in parallel.

그리고 제 2 드레인 전극(227a)은 복수의 돌출부를 포함하여 구성될 수 있으며, 상기 제 2 드레인 전극(227a)의 돌출부는 제 2 소스 전극(225a)의 돌출부 사이 이격 공간에 삽입되는 형태로 형성될 수 있다. 그리고 상기 제 2 드레인 전극은 가운데에 형성되는 중앙 라인(227b)에서 수직하게 돌출되는 형상을 가질 수 있다. The second drain electrode 227a may include a plurality of protrusions, and the protrusions of the second drain electrode 227a may be inserted into spaced spaces between the protrusions of the second source electrode 225a. Can be. The second drain electrode may have a shape that protrudes vertically from the center line 227b formed at the center thereof.

한편, 여기서 상기 제 2 소스 전극(225a)과 제 2 드레인 전극(227a)의 위치는 바뀌어 형성될 수도 있다.Meanwhile, the positions of the second source electrode 225a and the second drain electrode 227a may be changed.

그리고 제 2 활성화층(223)은 제 2 소스 전극(225a)과 제 2 드레인 전극(227a)과 중첩하는 소정의 영역에 배치될 수 있다. The second activation layer 223 may be disposed in a predetermined region overlapping the second source electrode 225a and the second drain electrode 227a.

이때, 상기 제 2 활성화층(223)이 형성되는 영역을 기준으로 1개의 거대 박막트랜지스터가 정의될 수 있다. 상기 도면에서는 제 2 드레인 전극(227a)의 중앙 라인(227b)을 기준으로 좌우 대칭하여 4개의 박막트랜지스터가 배치되어 있는 것을 볼 수 있다.In this case, one giant thin film transistor may be defined based on a region where the second activation layer 223 is formed. In the figure, it can be seen that four thin film transistors are arranged symmetrically with respect to the center line 227b of the second drain electrode 227a.

상기 게이트 구동부의 전체 형상을 평면도 상으로 보면 중앙 라인에서 양 옆으로 브랜치가 뻗어있는 트리 형상에 대하여, 상기 트리 형상의 양 옆에서 마주하며 복수의 요철 모양(凹)이 핑거링 되어 있는 모습이라고 할 수 있다.When the entire shape of the gate driver is viewed in a plan view, a tree shape in which branches are extended from the center line to both sides of the gate driver may be a shape in which a plurality of concavo-convex shapes are fingered to face each side of the tree shape. have.

한편, 상기 제 2 소스 전극(225a) 및 제 2 드레인 전극(227a)은 좌우로 수평하게 형성될 수 있다. 상기 형성방향은 상기 제 2 박막트랜지스터(TFT2)가 액정표시패널에 형성된 평면도를 가정할 때, 게이트 라인의 형성방향과 평행한 방향일 수 있다. 그러므로 앞에서 언급된 상기 제 1 박막트랜지스터의 제 1 소스 전극 및 제 1 드레인 전극의 형성방향과 평행할 수 있다.Meanwhile, the second source electrode 225a and the second drain electrode 227a may be formed horizontally from side to side. The formation direction may be a direction parallel to the formation direction of the gate line, assuming a plan view in which the second thin film transistor TFT2 is formed on the liquid crystal display panel. Therefore, it may be parallel to the formation direction of the first source electrode and the first drain electrode of the first thin film transistor.

따라서 상기 제 1 및 제 2 박막트랜지스터의 소스전극과 드레인 전극의 패턴 형성방향을 동일하게 함으로써 노광 및 식각 공정의 패턴 형성 균일도를 향상시킬 수 있다. 이러한 결과, 동일한 임계수치(critical dimension : CD)를 형성하기 위한 노광 공정에서의 마진 범위를 증가시킬수 있게 되므로 초점심도(DOF) 마진범위를 증가시킬 수 있다. 공정의 마진 범위가 향상되는 경우 상기 소스 전극과 드레인 전극간에 단선(short)이 발생하는 불량을 줄일수 있게 되므로 공정수율을 향상시킬 수 있다.Accordingly, the pattern formation uniformity of the exposure and etching processes may be improved by making the pattern formation directions of the source and drain electrodes of the first and second thin film transistors the same. As a result, it is possible to increase the margin range in the exposure process for forming the same critical dimension (CD), thereby increasing the depth of focus (DOF) margin range. When the margin range of the process is improved, a defect in which a short occurs between the source electrode and the drain electrode can be reduced, so that the process yield can be improved.

그리고 패턴형성 균일도 향상으로 박막트랜지스터의 활성화층에서 채널형성의 균일도도 상승하게 되므로 온/오프 전류의 균일도도 향상시키게 되어 품질을 안정화시킬 수 있다.In addition, the uniformity of channel formation in the active layer of the thin film transistor is also increased by improving the pattern formation uniformity, thereby improving the uniformity of the on / off current and stabilizing the quality.

이하, 본 발명의 일 실시예에 따르는 박막트랜지스터를 슬릿노광 공정에 의해 형성하는 방법에 대하여 살펴본다.Hereinafter, a method of forming a thin film transistor according to an embodiment of the present invention by a slit exposure process will be described.

도 6a 내지 도 6e는 본 발명의 일 실시예에 따르는 박막트랜지스터의 형성방법을 공정순서에 따라 도시한 공정 단면도이다.6A through 6E are cross-sectional views illustrating a method of forming a thin film transistor according to an embodiment of the present invention, in a process sequence.

상기 도면에서 나타난 박막트랜지스터는 제 1 박막트랜지스터에 대하여만 도시하였으나 이하에 설명하는 공정은 제 2 박막트랜지스터의 형성에도 적용될 수 있다.Although the thin film transistor shown in the figure is shown only for the first thin film transistor, the process described below may be applied to the formation of the second thin film transistor.

도 6a를 참조하면, 제 1 기판상에 알루미늄(Al), 알루미늄 합금(AlNd), 텅스텐(W),크롬(Cr), 몰리브덴(Mo), 티타늄(Ti), 구리(Cu)등을 포함하는 도전성 금속 그룹 중 선택된 하나 또는 그 이상의 금속을 증착하여 제 1 게이트 전극(111)과 게이트 배선(미도시)을 형성하고 그 상부에 게이트 절연막(112)을 형성한다. 이때, 상기 게이트 절연막(112)은 무기절연물질 또는 유기절연물질이 될 수 있다. Referring to FIG. 6A, aluminum (Al), aluminum alloy (AlNd), tungsten (W), chromium (Cr), molybdenum (Mo), titanium (Ti), copper (Cu), and the like may be formed on a first substrate. One or more selected metals of the conductive metal group are deposited to form a first gate electrode 111 and a gate wiring (not shown), and a gate insulating layer 112 is formed thereon. In this case, the gate insulating layer 112 may be an inorganic insulating material or an organic insulating material.

다음으로, 상기 게이트 절연막(112)이 형성된 제 1 기판(101)의 전면에 순수 비정질 실리콘층(a-Si:H, 113)과 불순물이 포함된 비정질 실리콘층(n+ 또는 p+ a-Si:H, 114)과 도전성 금속층(115)을 순차적으로 적층한다.Next, a pure amorphous silicon layer (a-Si: H, 113) and an amorphous silicon layer (n + or p + a-Si: H) containing impurities are formed on the entire surface of the first substrate 101 on which the gate insulating layer 112 is formed. , 114 and the conductive metal layer 115 are sequentially stacked.

상기 금속층(115)은 앞서 언급한 도전성 금속그룹 중 선택된 하나 또는 그 이상의 물질을 증착하여 형성한다.The metal layer 115 is formed by depositing one or more materials selected from the aforementioned conductive metal groups.

그리고 도 6b를 참조하면, 상기 도전성 금속층(115)이 형성된 제 1 기판(101)의 전면에 포트레지스트(PR)(photo resist)를 도포한다.6B, a photoresist is applied on the entire surface of the first substrate 101 on which the conductive metal layer 115 is formed.

다음으로, 상기 제 1 기판(101)의 이격된 상부에 투과부(M3)와 차단부(M2)와 반투과부(M1)로 구성된 슬릿 마스크(M)를 위치시킨다.Next, the slit mask M including the transmissive part M3, the blocking part M2, and the transflective part M1 is positioned on the spaced upper portion of the first substrate 101.

자세히는, 상기 순수 비정질 실리콘층(113)의 채널 형성 영역에 대응하여 반투과부(M1)를 중심으로 양측에 차단부(M2)가 위치하도록 하고, 이후 데이터 배선(미도시)이 형성될 영역에는 차단부(미도시)가 위치하도록 하고 그 외의 영역에는 투과부가 위치하도록 한다.In detail, the blocking portions M2 are positioned at both sides of the pure amorphous silicon layer 113 in the center of the transflective portion M1, and then in the region where the data line (not shown) is to be formed. The blocking part (not shown) is to be located, and the transmission part is located in other areas.

이때, 상기 슬릿 마스크(M)의 반투과부(M1)는 슬릿(slit)을 구성하여 투과되는 빛을 회절 하도록 하여 강도를 약하게 함으로써, 상기 포토레지스트(PR)가 표면으로 부터 일부만 노광되도록 하는 기능을 한다.In this case, the transflective portion M1 of the slit mask M forms a slit to diffract the transmitted light to weaken the intensity so that the photoresist PR is partially exposed from the surface. do.

상기 슬릿노광 공정은 하프톤 물질을 이용하여 노광공정을 진행하는 종래기술과는 달리 슬릿의 개수 및 배치 간격을 조절하여 빛의 회절 양을 조절함으로써 더욱 미세한 패턴을 형성할 수 있다. 따라서 마스크의 수직축 높이가 달라지더라도 슬릿의 개수 및 배치 간격에 따라 균일한 패턴을 형성할 수 있으므로 종래기술보다 초점심도(DOF) 마진을 더 높일 수 있다.The slit exposure process can form a finer pattern by controlling the diffraction amount of light by adjusting the number and arrangement interval of the slits, unlike the prior art that the exposure process using a halftone material. Therefore, even if the height of the vertical axis of the mask is changed, it is possible to form a uniform pattern according to the number and arrangement interval of the slit, it is possible to increase the depth of focus (DOF) margin more than the prior art.

다음으로, 상기 마스크(M)의 상부로 빛을 조사하여 하부의 포토레지스트(PR)를 노광하는 공정과 노광(exposure)된 부분을 현상(develop)하는 공정을 진행한다.Next, a process of exposing the lower photoresist PR by irradiating light to the upper portion of the mask M and developing the exposed portion are performed.

이와 같이 하면, 도 6c에 도시한 바와 같이, 상기 채널 형성 영역에는 상기 제 1 게이트 전극(111)에 대응한 부분이 낮은 높이로 패턴된다. 그리고 노광된 영역은 포트레지스트(PR)가 모두 제거되며, 노광되지 않은 부분만 본래 두께의 포트레지스트(PR)가 형성되어 있다. In this case, as shown in FIG. 6C, the portion corresponding to the first gate electrode 111 is patterned at a low height in the channel formation region. In the exposed area, all of the photoresist PR is removed, and only the unexposed portion of the photoresist PR has an original thickness.

이때, 상기 채널 형성 영역 상부의 포트레지스트(PR) 두께를 하프톤 레인지(half-tone range ; HR)라고 하며, 노광공정의 정밀도를 측정하는 기준이 된다.In this case, the thickness of the photoresist PR over the channel formation region is called a half-tone range (HR), and serves as a reference for measuring the accuracy of the exposure process.

그 다음 도 6d를 참조하면, 노출된 도전성 금속층(115)과 그 하부의 불순물 비정질 실리콘층(114)과 순수 비정질 실리콘층(113)을 제거하는 공정을 진행한다.Next, referring to FIG. 6D, a process of removing the exposed conductive metal layer 115, the impurity amorphous silicon layer 114 and the pure amorphous silicon layer 113 below is performed.

이때, 상기 도전성 금속층(115)을 별도로 습식 식각하여 제거하고, 상기 불순물 및 순수 비정질 실리콘층(114,113)을 건식 식각공정으로 제거할 수 있다. 또한, 상기 도전성 금속층(115)이 건식식각이 가능한 금속이라면 상기 모든층(113,114,115)을 동시에 식각할 수 도 있다. 그리고 상기 채널 형성 영역의 상부 포트레지스트(PR)는 식각공정 후에 애싱(ashing) 공정을 진행하여 제거할 수도 있다.In this case, the conductive metal layer 115 may be separately wet-etched and removed, and the impurities and the pure amorphous silicon layers 114 and 113 may be removed by a dry etching process. In addition, as long as the conductive metal layer 115 is a metal capable of dry etching, all of the layers 113, 114, and 115 may be simultaneously etched. The upper pot resist PR of the channel formation region may be removed by an ashing process after the etching process.

상기 식각 공정이 완료되면, 패턴된 제 1 소스, 제 1 드레인 전극(115)과, 순수 비정질 실리콘층(113)으로 구성된 제 1 활성화층(113)과 불순물 비정질 실리콘층(114)으로 구성된 오믹콘택층(Ohmic Contact Layer)(114)이 형성되며, 상기 제 1 활성화층(113)의 채널 형성영역은 상부가 노출된다. When the etching process is completed, an ohmic contact including a patterned first source, a first drain electrode 115, a first activation layer 113 composed of pure amorphous silicon layer 113, and an impurity amorphous silicon layer 114. An ohmic contact layer 114 is formed, and an upper portion of the channel forming region of the first activation layer 113 is exposed.

마지막으로 도 6e에 도시한 바와 같이, 상기 포토레지스트(PR)를 제거하고 제 1 기판(101)의 전면에 무기절연물질 또는 유기절연물질을 증착하여 보호막(200)을 형성한다.6E, the protective film 200 is formed by removing the photoresist PR and depositing an inorganic insulating material or an organic insulating material on the entire surface of the first substrate 101.

여기서 종래기술에 대비하여 본 발명의 일 실시예에 따르는 액정표시패널을 슬릿 노광 공정을 이용해 제조할 때 초점심도(DOF) 마진이 얼마나 상승하는지에 대하여 표를 이용하여 검토해본다.Here, using the table, how much the depth of focus (DOF) margin increases when the liquid crystal display panel according to the exemplary embodiment of the present invention is manufactured by using the slit exposure process, is prepared.


구분division
(1차 평가)(First evaluation)

마스크 형태Mask form
TFT 채널의 최소 임계수치TFT threshold minimum 표시부 TFT 패턴 형성방향Display TFT Pattern Formation Direction 게이트 구동부 TFT 패턴 형성방향Gate driver TFT pattern formation direction 초점심도(DOF) 마진Depth of Focus (DOF) Margin

종래 기술1Prior Art 1
하프톤 마스크
(반투과성 물질 이용)
Halftone mask
(Using semi-permeable material)
5.5μm
이상
5.5μm
More than

수평

level

수직

Perpendicular

25μm

25 μm
종래 기술2Prior Art 2 슬릿 마스크Slit mask 4.5~
4.8μm
4.5 ~
4.8μm
수평level 수직Perpendicular 30μm30 μm
본 발명의 일 실시예One embodiment of the present invention 슬릿 마스크Slit mask 4.5~
4.8μm
4.5 ~
4.8μm
수평level 수평level 40μm40 μm

구분division
(2차 평가)(Second evaluation)

마스크 형태Mask form
TFT 채널의 최소 임계수치TFT threshold minimum 표시부 TFT 패턴 형성방향Display TFT Pattern Formation Direction 게이트 구동부 TFT 패턴 형성방향Gate driver TFT pattern formation direction 초점심도(DOF) 마진Depth of Focus (DOF) Margin
종래 기술2Prior Art 2 슬릿 마스크Slit mask 4.5~
4.8μm
4.5 ~
4.8μm
수평level 수직Perpendicular 50μm50 μm
본 발명의 일 실시예One embodiment of the present invention 슬릿 마스크Slit mask 4.5~
4.8μm
4.5 ~
4.8μm
수평level 수평level 60μm60 μm

상기 표 1, 2에서 TFT 채널의 최소 임계수치란 박막트랜지스터에서 소스 전극과 드레인 전극 사이로 노출될 수 있는 활성화층의 최소 임계수치를 말하는 것이다. 그리고 TFT 패턴 형성방향이란 각 박막트랜지스터에서 요철 모양의 돌출부가 바라보는 방향을 말하며, 수평과 수직은 게이트 라인을 기준으로 한 것이다.In Tables 1 and 2, the minimum threshold value of the TFT channel refers to the minimum threshold value of the active layer that can be exposed between the source electrode and the drain electrode in the thin film transistor. In addition, the TFT pattern formation direction refers to a direction in which protrusions and protrusions of an uneven shape look in each thin film transistor, and horizontal and vertical lines are based on gate lines.

그리고 표 1과 표 2는 각각 다른 조건에서 상기 공정에 대해 평가를 진행한 것이므로 종래기술과 본 발명의 일 실시예의 초점심도 마진이 다르게 측정되었다.And since Table 1 and Table 2 were evaluated for the process under different conditions, respectively, the depth of focus margin of the prior art and the embodiment of the present invention was measured differently.

먼저, 표 1의 종래기술1과 종래기술2를 비교해본다. 표 1에서 하프톤 마스크와 슬릿 마스크를 이용할 때 초점심도(DOF) 마진의 차이는 5μm만큼 발생한다. 오직 슬릿 노광 공정만으로도 종래의 반투과물질을 이용한 하프톤 마스크 공정보다 더욱 큰 초점심도(DOF) 마진을 제공함을 알 수 있다. First, compare the prior art 1 and the prior art 2 of Table 1. When using the halftone mask and the slit mask in Table 1, the difference in the depth of focus (DOF) margin occurs by 5 μm. It can be seen that only the slit exposure process provides a greater depth of focus (DOF) margin than the conventional halftone mask process using a semi-transparent material.

다음으로, 표 1에서 종래기술2와 본 발명의 일 실시예를 비교해본다. 상기 표 1 을 참조하면, 본 발명의 일 실시예는 종래기술보다 초점심도(DOF) 마진이 10μm나 더 높다. 또한, 종래기술1에 대비하여서는 15μm나 더 높은 초점심도(DOF) 마진을 가진다.Next, Table 1 compares the prior art 2 and one embodiment of the present invention. Referring to Table 1, an embodiment of the present invention has a depth of focus (DOF) margin of 10 μm higher than that of the prior art. In addition, it has a depth of focus (DOF) margin of 15 μm or higher compared to the prior art 1.

그리고 표 1과 표 2를 비교하여보면, 상기 본 발명의 일 실시예의 초점심도(DOF) 마진의 측정치는 다르더라도 종래기술2보다 초점심도(DOF) 마진이 10μm만큼 균일하게 큰 값을 가지는 것을 알 수 있다. And when comparing Table 1 and Table 2, even if the measurement of the depth of focus (DOF) margin of the embodiment of the present invention is different, the depth of focus (DOF) margin than the prior art 2 has a uniformly larger value by 10μm Can be.

그러므로 표시부와 게이트 구동부의 박막트랜지스터 채널 형성 방향을 평행하게 함으로써 초점심도(DOF) 마진의 상승효과를 거둘 수 있다.Therefore, the depth of focus (DOF) margin can be increased by making the thin film transistor channel forming direction parallel to the display unit and the gate driver.

따라서, 슬릿 노광 공정과 게이트 구동부와 표시부의 트랜지스터 패턴 방향 일치화를 통하여 DOF마진을 향상시킬 수 있다. Therefore, the DOF margin can be improved through the slit exposure process and the transistor pattern direction matching of the gate driver and the display unit.

여기서 상기 표 2는 그래프를 통하여 보다 상세하게 분석해 본다.Wherein Table 2 is analyzed in more detail through a graph.

도 7a와 도 7b는 각각 종래기술2와 본 발명의 일실시예에 대한 초점거리와 하프톤 레인지의 관계를 나타낸 그래프이다.7A and 7B are graphs showing the relationship between the focal length and the halftone range for the prior art 2 and the embodiment of the present invention, respectively.

하프톤 레인지는 도 6c에 도시한 채널 형성 영역 상부의 포토레지스트 두께를 말하며, 초점거리는 마스크와 빛을 발하는 렌즈간의 초점거리를 말하는 것이다. 도 7a와 도 7b를 보면 포물선이 다수개가 분포해있는 것을 볼수 있는데, 이러한 이유는 복수의 실험을 진행하여 복수의 결과를 도시하였기 때문이다. The halftone range refers to the thickness of the photoresist on the channel formation region shown in Fig. 6C, and the focal length refers to the focal length between the mask and the lens emitting light. 7A and 7B, it can be seen that a plurality of parabolas are distributed, which is because a plurality of experiments are performed to show a plurality of results.

그리고 상기 그래프튼 특정한 제품의 규격을 기준으로 한것으로서, 제 1 기판 상에 동일한 임계수치의 패턴을 형성하기 위해서는 하프톤 레인지가 4000Å이하가 되어야만 하는 것으로 상정하였다. 즉, 노광 공정으로 4000Å이하의 포토레지스트 두께를 형성할 수 있다면 이후의 식각 공정에서 동일한 임계수치의 패턴을 형성할 수 있다.Based on the Grafton specific product specification, it was assumed that the halftone range should be 4000 kHz or less in order to form the same critical pattern on the first substrate. That is, if the photoresist thickness of 4000 kPa or less can be formed by the exposure process, the same critical value pattern can be formed in the subsequent etching process.

이하, 도면을 비교해보면, 도 7a에서 모든 포물선에 대해 4000Å이하를 만족하는 초점거리의 범위는 대략 50μm이다. 이것이 바로 종래기술2의 초점심도(DOF) 마진이다.In comparison with the drawings, in Fig. 7A, the focal length range of 4000 m or less for all parabolas is approximately 50 m. This is the depth of focus margin of the prior art 2.

그리고 도 7b에서 모든 포물선에 대해 4000Å이하를 만족하는 초점거리의 범위는 대략 60μm이다. 이것이 바로 본 발명의 일 실시예의 초점심도(DOF) 마진이다.In addition, in FIG. 7B, the focal length range satisfies 4000 μs or less for all parabolas is about 60 μm. This is the depth of focus (DOF) margin of one embodiment of the present invention.

그리고 도 7b의 포물선이 도 7a의 포물선보다 좌우축으로 더욱 완만하게 형성된 것이 많으며 도 7a보다 4000Å에 대해 더욱 넓은 초점심도를 가지는 포물선이 더욱 많다. In addition, the parabola of FIG. 7B is more smoothly formed on the left and right axes than the parabola of FIG. 7A, and more parabola having a wider depth of focus for 4000 보다 than FIG. 7A.

따라서, 본 발명의 일 실시예는 종래기술2보다 더욱 큰 초점심도(DOF) 마진을 제공함을 확인할 수 있다.Accordingly, it can be seen that one embodiment of the present invention provides a larger depth of focus (DOF) margin than that of the related art.

한편, 본 발명의 일 실시예는 종래기술에 대비하여 게이트 구동부의 폭을 줄일수 있는 바 이것에 대하여 보다 상세히 설명한다.On the other hand, an embodiment of the present invention can reduce the width of the gate driver compared to the prior art bar will be described in more detail.

도 8은 종래기술과 본 발명의 일 실시예에 따르는 게이트 구동부의 일부 박막트랜지스터를 도시한 평면도이다.8 is a plan view illustrating some thin film transistors of a gate driver according to the related art and an exemplary embodiment of the present invention.

도 8에 도시된 박막트랜지스터는 게이트 구동부의 수평폭에 해당한다. The thin film transistor shown in FIG. 8 corresponds to the horizontal width of the gate driver.

여기서 박막트랜지스터의 채널 길이(length)와 채널 폭(width)은 박막트랜지스터의 특성에 큰 영향을 주는 것으로서, 채널 길이는 소스 전극과 드레인 전극이 이격하는 간격을 말하며, 채널 폭은 상기 이격하는 간격이 형성하는 지그재그 형태의 경로를 말한다. Here, the channel length and channel width of the thin film transistor have a great influence on the characteristics of the thin film transistor. The channel length refers to an interval between the source electrode and the drain electrode, and the channel width corresponds to the spaced interval between the thin film transistors. Refers to a zigzag-shaped path to form.

여기서 도 8을 참조하면, 본 발명의 일 실시예는 종래기술보다 수평폭이 d만큼 더 작은 게이트 구동부를 제공한다.8, an embodiment of the present invention provides a gate driver having a horizontal width d smaller than that of the related art.

이러한 이유는 종래기술의 채널 폭과 본 발명의 일 실시예의 채널 폭을 동일하게 형성하였기 때문이다.This is because the channel width of the prior art and the channel width of the embodiment of the present invention are the same.

따라서, 본 발명의 일 실시예는 게이트 구동부의 수평폭을 좁게 하여 수평 사이즈가 줄어든 액정표시패널을 제공 할 수 있다.Accordingly, an embodiment of the present invention can provide a liquid crystal display panel having a reduced horizontal size by narrowing the horizontal width of the gate driver.

지금까지 본 발명의 일 실시예에서 게이트 구동부와 표시부의 박막트랜지스터 패턴 형성방향이 게이트 라인과 수평한 방향으로 형성되는 것만을 설명하였으나, 상기 박막트랜지스터들의 패턴 형성방향이 동일한 것이라면 상기 게이트 라인과 모두 수직한 경우라도 본 발명의 일 실시예로서 포함할 수 있다. Until now, in the exemplary embodiment of the present invention, only the thin film transistor pattern forming directions of the gate driver and the display unit are formed in a direction parallel to the gate line, but if the thin film transistors have the same pattern forming direction, they are all perpendicular to the gate line. In any case, the present invention may be included as one embodiment of the present invention.

이상에서 본 발명의 바람직한 실시 예들에 대하여 상세하게 설명하였지만, 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시 예가 가능하다는 점을 이해할 수 있을 것이다. While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments.

따라서, 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것이 아니고 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 여러 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다.Therefore, the scope of the present invention is not limited thereto, and various modifications and improvements of those skilled in the art using the basic concept of the present invention defined in the following claims are also within the scope of the present invention.

100 : 액정표시패널 105 : 비표시부
110 : 표시부 120 : 게이트 구동부
130 : 데이터 구동부 135 : TCP
140 : 타이밍 제어부 DL : 데이터 라인
GL : 게이트 라인 TFT : 박막트랜지스터
113 : 제 1 활성화층 223 : 제 2 활성화층
115a : 제 1 소스 전극 225a, 225b : 제 2 소스 전극
115b : 제 1 드레인 전극 227a, 227b : 제 2 드레인 전극
100: liquid crystal display panel 105: non-display portion
110: display unit 120: gate driver
130: data driver 135: TCP
140: timing control DL: data line
GL: Gate Line TFT: Thin Film Transistor
113: first activation layer 223: second activation layer
115a: First source electrode 225a, 225b: Second source electrode
115b: First drain electrode 227a, 227b: Second drain electrode

Claims (7)

표시부와 게이트 구동부를 포함하는 비표시부로 구분되는 제 1 기판;
상기 제 1 기판의 표시부에 형성되며, 교차하여 복수의 화소를 정의하는 복수의 데이터 라인 및 복수의 게이트 라인;
상기 제 1 기판과 대향하는 제 2 기판;
상기 제 1 기판과 제 2 기판 사이에 개재되는 액정층;
상기 표시부의 화소마다 형성되며, 상기 데이터 라인에서 일방향으로 돌출된 요철 모양(凹)의 제 1 소스 전극과 상기 요철 모양(凹)의 내부에 삽입형성되는 제 1 드레인 전극을 포함하는 제 1 박막트랜지스터; 및
상기 게이트 구동부에 요철 모양(凹)으로 형성된 제 2 소스 전극 및 제 2 드레인 전극을 포함하며, 상기 제 2 소스 전극 및 제 2 드레인 전극의 요철 모양(凹)들은 홈과 돌출부가 서로 맞물리도록 마주하는 제 2 박막트랜지스터;를 포함하며,
상기 제 1 트랜지스터 및 제 2 트랜지스터의 요철 모양(凹)의 돌출부가 향하는 방향은 모두 평행한 것을 특징으로 하는 액정표시패널.
A first substrate divided into a non-display unit including a display unit and a gate driver;
A plurality of data lines and a plurality of gate lines formed on the display unit of the first substrate and crossing each other to define a plurality of pixels;
A second substrate facing the first substrate;
A liquid crystal layer interposed between the first substrate and the second substrate;
A first thin film transistor formed at each pixel of the display unit and including a first source electrode having a concave-convex shape protruding in one direction from the data line and a first drain electrode inserted into the concave-convex shape; ; And
And a second source electrode and a second drain electrode formed in an uneven shape in the gate driving part, and the uneven shapes of the second source electrode and the second drain electrode face each other so that the groove and the protrusion are engaged with each other. It includes; a second thin film transistor,
The liquid crystal display panel according to claim 1, wherein the direction toward which the uneven protrusions of the first transistor and the second transistor face each other is parallel.
제 1 항에 있어서,
상기 요철 모양(凹)의 돌출부가 향하는 방향은 게이트 라인과 수평한 방향 또는 수직한 방향인 것을 특징으로 하는 액정표시패널.
The method of claim 1,
And the direction toward which the protrusions and protrusions of the concave-convex shape face is horizontal or perpendicular to the gate line.
제 1 항에 있어서,
상기 제 1 박막트랜지스터와 제 2 박막트랜지스터는 슬릿 마스크를 이용한 노광공정에 의해 형성된 것을 특징으로 하는 액정표시패널.
The method of claim 1,
And the first thin film transistor and the second thin film transistor are formed by an exposure process using a slit mask.
제 1 항에 있어서,
상기 게이트 구동부가 구성되지 않은 제 1 기판의 타 측에 데이터 구동부를 포함한 데이터 구동 TCP를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시패널.
The method of claim 1,
And a data driving TCP including a data driver on the other side of the first substrate on which the gate driver is not configured.
제 1 항에 있어서,
상기 제 2 박막트랜지스터의 제 2 소스 전극 및 제 2 드레인 전극을 포함한 동일층에 형성되는 패턴은, 하나의 중앙 라인의 양 옆으로 복수의 브랜치(branch)를 포함하는 트리(tree) 형상에 대하여 상기 트리 형상의 양 옆으로 요철 모양(凹)이 마주하는 형상을 가지는 것을 특징으로 하는 액정표시패널.
The method of claim 1,
The pattern formed on the same layer including the second source electrode and the second drain electrode of the second thin film transistor may be formed in a tree shape including a plurality of branches on both sides of one center line. A liquid crystal display panel having a shape in which concave-convex shapes face each other in a tree shape.
제 5 항에 있어서,
상기 복수의 브랜치는 상기 중앙 라인과 수직하여 돌출되며 상기 돌출 방향은 게이트 라인과 수평한 것을 특징으로 하는 액정표시패널.
The method of claim 5, wherein
And the plurality of branches protrude perpendicularly to the center line and the protruding direction is parallel to the gate line.
제 6 항에 있어서,
상기 요철 모양(凹)과 트리 형상은 상기 브랜치가 상기 요철 모양(凹)의 홈에 삽입하는 핑거링 형태로 형성된 것을 특징으로 하는 액정표시패널.
The method according to claim 6,
Wherein the uneven shape and the tree shape are formed in a fingering shape in which the branch is inserted into a groove of the uneven shape.
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KR20160142432A (en) * 2015-06-02 2016-12-13 삼성디스플레이 주식회사 Gate driving cirucit and display device having the same

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