KR20130027031A - Vacuum dry apparatus - Google Patents

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KR20130027031A
KR20130027031A KR1020130016703A KR20130016703A KR20130027031A KR 20130027031 A KR20130027031 A KR 20130027031A KR 1020130016703 A KR1020130016703 A KR 1020130016703A KR 20130016703 A KR20130016703 A KR 20130016703A KR 20130027031 A KR20130027031 A KR 20130027031A
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housing
support pin
chamber
lower housing
main body
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KR1020130016703A
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전영준
이민철
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주식회사 테라세미콘
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    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/16—Coating processes; Apparatus therefor
    • G03F7/168—Finishing the coated layer, e.g. drying, baking, soaking
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    • H01L21/687—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
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    • H01L21/68742—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support characterised by a lifting arrangement, e.g. lift pins

Abstract

PURPOSE: A vacuum dry device is provided to improve the reliability of a vacuum dry process by installing a sealing unit on the outside of the bottom of a housing without interference with a support pin to support a substrate. CONSTITUTION: A housing(120) is installed in a body(110). A chamber is located in the housing to load and dry an object(50). The housing is composed of a bottom housing(121) fixed to the body and a top housing(125) which is lifted. A plurality of support pins support the object loaded in the chamber. A pumping unit is installed in one side of the body and decompresses the chamber. A sealing unit seals a part of the housing through which the support pin passes.

Description

진공 건조 장치 {VACUUM DRY APPARATUS}Vacuum Drying Equipment {VACUUM DRY APPARATUS}

본 발명은 기판에 도포되는 도포액에 함유된 용매를 진공을 이용하여 건조시키는 진공 건조 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a vacuum drying apparatus for drying a solvent contained in a coating liquid applied to a substrate by using a vacuum.

LCD(Liquid Crystal Display), OLED(Organic Light Emitting Diodes) 디스플레이 또는 FED(Field Emission Display) 등에 사용되는 평판표시소자용 기판에는 포토레지스트 등과 같은 도포액이 도포된다. 그리고, 기판에 도포액을 균일하게 도포하기 위하여, 도포액에 솔벤트 등과 같은 용매를 섞여서 도포한다. 기판에 도포된 도포액은 후공정에서 어떤 물질에 의하여 코팅된다.A coating liquid such as a photoresist is applied to a substrate for a flat panel display device used in an LCD (Liquid Crystal Display), an OLED (Organic Light Emitting Diodes) display, or a field emission display (FED). And in order to apply | coat a coating liquid uniformly to a board | substrate, it mixes and apply | coats a solvent, such as a solvent, to a coating liquid. The coating liquid applied to the substrate is coated by a material in a later step.

도포액에 함유된 용매는 자연적으로 증발되나, 용매가 완전히 증발되기까지에는 많은 시간이 소요되므로, 자연적으로 용매를 증발시킨 후, 도포액 상에 어떤 물질을 코팅 하면 생산성이 저하된다. 그리고, 도포액에 함유된 용매가 완전히 제거되지 않은 상태에서 도포액 상에 다른 물질이 코팅되면, 도포액이 경화(硬化)되었을 때, 도포액에 잔존하는 용매로 인하여 경화된 도포층에는 기공이 형성되므로, 기판의 품질이 저하된다.The solvent contained in the coating liquid is naturally evaporated, but it takes a long time before the solvent is completely evaporated. Therefore, if the solvent is naturally evaporated, then coating a substance on the coating liquid will reduce productivity. Then, when another substance is coated on the coating liquid in a state where the solvent contained in the coating liquid is not completely removed, when the coating liquid is cured, pores are formed in the cured coating layer due to the solvent remaining in the coating liquid. As a result, the quality of the substrate is degraded.

상기와 같은 이유로, 기판에 도포액을 도포한 다음, 도포액에 함유된 용매를 압력차를 이용하여 강제로 증발시켜 제거하는 진공 건조 장치가 개발되어 사용되고 있다.For the same reason as above, a vacuum drying apparatus has been developed and used for applying a coating liquid to a substrate and then forcibly evaporating and removing the solvent contained in the coating liquid using a pressure difference.

일반적으로, 진공 건조 장치는 기판이 로딩되어 건조되는 밀폐 공간인 챔버를 형성하는 하부하우징과 상부하우징을 가진다. 상기 하부하우징은 고정되고, 상기 상부하우징은 상기 하부하우징의 상측에서 승강가능하게 설치된다. 상기 상부하우징이 하강하여 상기 하부하우징에 실링 결합되면, 상기 하부하우징과 상기 상부하우징 사이에 상기 챔버가 형성된다.Generally, a vacuum drying apparatus has a lower housing and an upper housing which form a chamber which is a closed space in which a substrate is loaded and dried. The lower housing is fixed, and the upper housing is installed to be elevated on the upper side of the lower housing. When the upper housing is lowered and sealed to the lower housing, the chamber is formed between the lower housing and the upper housing.

그리고, 상기 하부하우징의 하측에는 상기 챔버로 로딩된 상기 기판을 지지하는 복수의 지지핀이 승강가능하게 설치되고, 상기 지지핀은 상기 하부하우징의 하면을 관통한 상태에서 승강한다. 로봇아암으로 상기 기판을 지지하여 상기 기판을 상기 챔버에 로딩할 때, 상기 지지핀의 상단부측은 상기 하부하우징의 하면 상측으로 돌출되어 상기 기판을 지지한다.In addition, a plurality of support pins supporting the substrate loaded into the chamber are provided at a lower side of the lower housing so as to be liftable, and the support pins are lifted in a state where they penetrate the lower surface of the lower housing. When the substrate is loaded by the robot arm to load the substrate into the chamber, the upper end side of the support pin protrudes above the lower surface of the lower housing to support the substrate.

상기 지지핀이 승강가능하게 설치되므로, 상기 로봇아암을 이용하여 상기 기판을 상기 챔버에 안정되게 로딩할 수 있다. 그리고, 상기 지지핀을 승강가능하게 설치하고 상기 지지핀을 필요에 따라 상기 하부하우징의 하면 상측으로 돌출시킬 수 있으면, 상기 지지핀이 상기 하부하우징의 하면 상측으로 항상 돌출된 구조에 비하여, 챔버의 공간을 줄일 수 있다.Since the support pin is installed to be liftable, the substrate can be stably loaded into the chamber using the robot arm. And, if the support pin is installed to be liftable and the support pin can protrude upward if the lower housing as needed, compared to the structure that the support pin is always protruded above the lower surface of the lower housing, Space can be reduced.

상기와 같은 종래의 진공 건조 장치는 상기 지지핀이 상기 하부하우징의 하면을 관통하므로, 상기 지지핀이 관통하는 상기 하부하우징의 부위를 통하여 상기 챔버의 진공이 누설된다.In the conventional vacuum drying apparatus as described above, since the support pin penetrates the lower surface of the lower housing, the vacuum of the chamber leaks through a portion of the lower housing through which the support pin passes.

이를 방지하기 위하여, 상기 지지핀의 외주면에 오링 등을 설치하여 상기 챔버의 진공이 누설되는 것을 방지한다. 그런데, 상기 지지핀은 승강운동하므로, 상기 지지핀의 운동에 의하여 상기 오링이 마모된다. 이로 인해, 상기 챔버의 진공이 누설될 수 있으므로, 진공 건조 공정의 신뢰성이 저하되는 단점이 있었다.In order to prevent this, an O-ring or the like is installed on the outer circumferential surface of the support pin to prevent the vacuum of the chamber from leaking. By the way, since the support pin is moved up and down, the O-ring is worn by the movement of the support pin. For this reason, since the vacuum of the chamber may leak, there is a disadvantage in that the reliability of the vacuum drying process is lowered.

그리고, 상기 오링을 빈번하게 교체하여야 하므로, 유지 보수 비용이 많이 소요되는 단점이 있었다.In addition, since the O-ring needs to be replaced frequently, there is a disadvantage in that a lot of maintenance costs are required.

진공 건조 장치와 관련한 선행기술은 한국공개특허공보 10-2011-0077338호 등에 개시되어 있다.Prior art related to vacuum drying apparatus is disclosed in Korea Patent Publication No. 10-2011-0077338.

본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해소하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 승강가능하게 설치되어 기판을 지지하는 지지핀과 간섭하지 않도록 실링수단을 설치하여, 진공 건조 공정의 신뢰성을 향상시킬 수 있는 진공 건조 장치를 제공함에 있다.The present invention has been made in order to solve the problems of the prior art as described above, the object of the present invention is to install the lifting means to install the sealing means so as not to interfere with the support pin for supporting the substrate, thereby improving the reliability of the vacuum drying process It is to provide a vacuum drying apparatus that can be improved.

본 발명의 다른 목적은 유지 보수 비용을 줄일 수 있는, 경제적인 진공 건조 장치를 제공함에 있다.Another object of the present invention is to provide an economical vacuum drying apparatus that can reduce maintenance costs.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 진공 건조 장치는, 본체; 상기 본체의 내부에 설치되며, 피건조체가 로딩되어 건조되는 챔버를 형성하는 하우징; 상기 하우징의 하측에 승강가능하게 설치되며, 상단부측이 상기 하우징을 관통하여 상기 챔버를 출입하면서 상기 챔버에 로딩된 상기 피건조체를 지지하는 복수의 지지핀; 상기 본체의 일측에 설치되며 상기 챔버를 진공 상태로 감압하기 위한 펌핑수단; 상기 지지핀이 관통하는 상기 하우징의 외면에 설치되어 상기 지지핀과 비접촉하며, 상기 지지핀이 관통하는 상기 하우징의 부위를 실링하는 실링수단을 포함한다.Vacuum drying apparatus according to the present invention for achieving the above object, the main body; A housing which is installed inside the main body and forms a chamber in which a dry object is loaded and dried; A plurality of support pins installed on a lower side of the housing and supporting the to-be-dried body loaded in the chamber while the upper end side passes through the housing to enter and exit the chamber; Pumping means installed on one side of the main body to reduce the vacuum in the chamber; And sealing means installed on an outer surface of the housing through which the support pin penetrates, which is in contact with the support pin, and seals a portion of the housing through which the support pin penetrates.

본 발명에 따른 진공 건조 장치는, 피건조체를 지지하는 지지핀이 하우징을 관통하면서 승강가능하게 설치되고, 지지핀과 지지핀이 관통하는 하우징의 부위 사이를 실링하는 실링수단이 지지핀과 간섭하지 않으면서 하우징의 하면 외측에 설치된다. 그러면, 지지핀에 의하여 실링수단이 손상되지 않으므로, 피건조체가 로딩되어 건조되는 챔버의 진공이 누설되지 않는다. 따라서, 진공 건조 공정의 신뢰성이 향상되고, 유지 보수 작업이 줄어들므로 경제적인 효과가 있다.In the vacuum drying apparatus according to the present invention, the support pin supporting the to-be-dried body is installed to be liftable while penetrating the housing, and the sealing means for sealing between the support pin and the portion of the housing through which the support pin passes does not interfere with the support pin. It is installed outside the lower surface of the housing. Then, since the sealing means is not damaged by the support pins, the vacuum of the chamber where the to-be-loaded object is loaded and dried does not leak. Therefore, the reliability of the vacuum drying process is improved, and maintenance work is reduced, so that there is an economic effect.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 건조 장치의 사시도.
도 2는 도 1에 도시된 하우징 부위의 사시도.
도 3은 도 2에 도시된 하부하우징과 상부하우징의 확대 사시도.
도 4는 도 3의 평면 사시도.
도 5는 도 3에 도시된 신축관의 확대 사시도.1 is a perspective view of a vacuum drying apparatus according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a perspective view of the housing portion shown in FIG. 1. FIG.
Figure 3 is an enlarged perspective view of the lower housing and the upper housing shown in FIG.
4 is a top perspective view of FIG. 3.
5 is an enlarged perspective view of the expansion tube illustrated in FIG. 3.

후술하는 본 발명에 대한 상세한 설명은, 본 발명이 실시될 수 있는 특정 실시예를 예시하여 도시한 첨부 도면을 참조한다. 이들 실시예는 당업자가 본 발명을 실시할 수 있도록 충분히 상세하게 설명된다. 본 발명의 다양한 실시예는 상호 다르지만 상호 배타적일 필요는 없음이 이해되어야 한다. 예를 들어, 여기에 기재되어 있는 특정 형상, 특정 구조 및 특성은 일 실시예와 관련하여 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 다른 실시예로 구현될 수 있다. 또한, 각각의 개시된 실시예 내의 개별 구성요소의 위치 또는 배치는 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 변경될 수 있음이 이해되어야 한다. 따라서, 후술하는 상세한 설명은 한정적인 의미가 아니며, 본 발명의 범위는, 적절하게 설명된다면, 그 청구항들이 주장하는 것과 균등한 모든 범위와 더불어 첨부된 청구항에 의해서만 한정된다. 도면에 도시된 실시예들의 길이, 면적, 두께 및 형태는, 편의상, 과장되어 표현될 수도 있다.DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The following detailed description of the invention refers to the accompanying drawings that illustrate specific embodiments in which the invention may be practiced. These embodiments are described in sufficient detail to enable those skilled in the art to practice the invention. It should be understood that the various embodiments of the present invention are mutually exclusive, but need not be mutually exclusive. For example, certain features, specific structures, and features described herein may be implemented in other embodiments without departing from the spirit and scope of the invention in connection with one embodiment. It is also to be understood that the position or arrangement of the individual components within each disclosed embodiment may be varied without departing from the spirit and scope of the invention. The following detailed description, therefore, is not to be taken in a limiting sense, and the scope of the present invention is defined only by the appended claims, along with the full scope of equivalents to which such claims are entitled. The length, area, thickness, and shape of the embodiments shown in the drawings may be exaggerated for convenience.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 건조 장치를 상세히 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail a vacuum drying apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 건조 장치의 사시도이고, 도 2는 도 1에 도시된 하우징 부위의 사시도이다.1 is a perspective view of a vacuum drying apparatus according to an embodiment of the present invention, Figure 2 is a perspective view of the housing portion shown in FIG.

도시된 바와 같이, 본 실시예에 따른 진공 건조 장치는 외관을 형성하는 본체(110)를 포함하고, 본체(110)의 내부에는 하우징(120)이 설치된다. 하우징(120)의 내부에는 평판표시소자용 기판 등과 같은 피건조체(50)가 로딩되어 건조되는 밀폐된 공간인 챔버(120a)가 형성된다.As shown, the vacuum drying apparatus according to the present embodiment includes a main body 110 forming an appearance, and the housing 120 is installed inside the main body 110. In the housing 120, a chamber 120a, which is an enclosed space in which a to-be-dried object 50, such as a flat panel display substrate, is loaded and dried, is formed.

피건조체(50)에는 포토레지스트 등과 같은 도포액이 도포되고, 도포액에는 솔벤트 등과 같은 용매가 함유된다. 피건조체(50)가 챔버(120a)에 로딩되면, 챔버(120a)가 감압되어 진공 상태가 되고, 이로 인해 피건조체(50)에 도포된 도포액에 함유된 용매는 압력차에 의하여 강제로 증발된다.The to-be-dried body 50 is coated with a coating liquid such as a photoresist, and the coating liquid contains a solvent such as a solvent or the like. When the to-be-dried body 50 is loaded into the chamber 120a, the chamber 120a is decompressed to a vacuum state, whereby the solvent contained in the coating liquid applied to the to-be-dried body 50 is forcibly evaporated by the pressure difference. do.

하우징(120)은 본체(110)에 고정된 하부하우징(121)과 하부하우징(121) 상측의 본체(110)의 부위에 지지되어 승강가능하게 설치된 상부하우징(125)을 갖는다. 상부하우징(125)이 하강하면, 상부하우징(125)과 하부하우징(121)이 실링 결합되어 밀폐된 챔버(120a)가 형성된다. 그리고, 상부하우징(125)이 상승하면, 상부하우징(125)과 하부하우징(121)은 이격되고, 이로 인해 챔버(120a)는 개방된다. 챔버(120a)가 개방되면, 피건조체(50)가 챔버(120a)에 로딩되거나, 챔버(120a)로부터 언로딩된다.The housing 120 has a lower housing 121 fixed to the main body 110 and an upper housing 125 that is supported by a portion of the main body 110 above the lower housing 121 and is installed to be elevated. When the upper housing 125 is lowered, the upper housing 125 and the lower housing 121 are sealed to form a sealed chamber 120a. Then, when the upper housing 125 is raised, the upper housing 125 and the lower housing 121 is spaced apart, thereby opening the chamber 120a. When the chamber 120a is opened, the to-be-dried body 50 is loaded into the chamber 120a or unloaded from the chamber 120a.

상부하우징(125)은 본체(110)에 고정된 모터 또는 실린더 등과 같은 제 1 구동수단(131)에 의하여 승강된다. 그리고, 본체(110)의 일측에는 챔버(120a)가 밀폐되었을 때, 챔버(120a)를 진공 상태로 감압하기 위한 진공펌프 등과 같은 펌핑수단(135)이 설치된다. 펌핑수단(135)은 피건조체(50)의 균일한 건조를 위하여 하부하우징(121)의 하면 및 상부하우징(125)의 상면과 각각 연통되어 챔버(120a)를 감압하는 것이 바람직하다.The upper housing 125 is elevated by the first driving means 131 such as a motor or a cylinder fixed to the main body 110. In addition, one side of the main body 110 is provided with a pumping means 135 such as a vacuum pump for reducing the chamber 120a in a vacuum state when the chamber 120a is sealed. The pumping means 135 is preferably in communication with the lower surface of the lower housing 121 and the upper surface of the upper housing 125 to uniformly dry the to-be-dried body 50 to depressurize the chamber 120a.

피건조체(50)가 챔버(120a)에 로딩되었을 때, 피건조체(50)가 하부하우징(121)의 내부 하면과 접촉하면, 로보아암(미도시)으로 피건조체(50)를 지지하여 피건조체(50)를 챔버(120a)에 로딩하거나, 피건조체(50)를 챔버(120a)로부터 언로딩할 때, 피건조체(50)와 하부하우징(121)의 내부 하면 사이에는 간격이 없으므로, 불편하다.When the to-be-dried body 50 is loaded into the chamber 120a, when the to-be-dried body 50 comes into contact with the inner bottom surface of the lower housing 121, the to-be-dried body 50 is supported by a robo arm (not shown). When loading the 50 into the chamber 120a or unloading the to-be-dried body 50 from the chamber 120a, there is no gap between the to-be-dried body 50 and the lower surface of the lower housing 121, which is inconvenient. .

그리고, 피건조체(50)가 챔버(120a)에 로딩되었을 때, 피건조체(50)가 하부하우징(121)의 내부 하면과 접촉하면, 펌핑수단(135)에 의한 하부하우징(121)의 하면 외측으로의 펌핑이 방해를 받을 수 있다.Then, when the to-be-dried body 50 is loaded into the chamber 120a, when the to-be-dried body 50 comes into contact with the inner bottom surface of the lower housing 121, the bottom surface of the lower housing 121 by the pumping means 135 is outside. Pumping into the furnace can be disturbed.

이로 인해, 피건조체(50)가 챔버(120a)에 로딩되었을 때, 피건조체(50)를 하부하우징(121)의 내부 하면과 이격시켜 지지하기 위한 복수의 지지핀(140)(도 4 참조)이 마련된다.Thus, when the to-be-dried body 50 is loaded into the chamber 120a, a plurality of support pins 140 (see FIG. 4) for supporting the to-be-dried body 50 apart from the inner lower surface of the lower housing 121 (see FIG. 4). Is provided.

지지핀(140)은 하부하우징(121)의 하측에 승강가능하게 설치된 승강판(150)에 하단부가 설치된다. 따라서, 승강판(150)이 승강함에 따라 지지핀(140)도 승강한다. 지지핀(140)의 상단부측은 하부하우징(121)의 하면에 형성된 관통공(122)을 관통하며, 챔버(120a)를 출입하면서 챔버(120a)에 로딩된 피건조체(50)를 지지한다.The support pin 140 is provided with a lower end on an elevating plate 150 installed to be elevated on and under the lower housing 121. Therefore, as the lifting plate 150 moves up and down, the support pin 140 also moves up and down. The upper end side of the support pin 140 penetrates the through hole 122 formed in the lower surface of the lower housing 121 and supports the to-be-dried body 50 loaded in the chamber 120a while entering and exiting the chamber 120a.

승강판(150) 하측의 본체(110)의 부위에는 받침판(160)이 고정되고, 받침판(160)에는 승강판(150)을 승강시키기 위한 모터 또는 실린더 등과 같은 제 2 구동수단(미도시)이 설치된다.A base plate 160 is fixed to a portion of the main body 110 below the elevating plate 150, and a second driving means (not shown) such as a motor or a cylinder for elevating the elevating plate 150 is provided at the base plate 160. Is installed.

지지핀(140)이 관통공(122)을 관통하므로, 지지핀(140)의 외주면과 관통공(122)의 내주면 사이로 챔버(120a)의 진공이 누설될 수 있다. 이를 방지하기 위하여, 관통공(122)이 형성된 하부하우징(121)의 하면 외측 부위에는 실링수단이 마련된다.Since the support pin 140 penetrates the through hole 122, a vacuum of the chamber 120a may leak between an outer circumferential surface of the support pin 140 and an inner circumferential surface of the through hole 122. In order to prevent this, a sealing means is provided at an outer portion of the lower surface of the lower housing 121 in which the through hole 122 is formed.

상기 실링수단에 대하여 도 3 내지 도 5를 참조하여 설명한다. 도 3은 도 2에 도시된 하부하우징과 상부하우징의 확대 사시도이고, 도 4는 도 3의 평면 사시도이며, 도 5는 도 3에 도시된 신축관의 확대 사시도이다.The sealing means will be described with reference to FIGS. 3 to 5. 3 is an enlarged perspective view of the lower housing and the upper housing shown in FIG. 2, FIG. 4 is a plan perspective view of FIG. 3, and FIG. 5 is an enlarged perspective view of the flexible tube shown in FIG. 3.

도시된 바와 같이, 상기 실링수단은 중앙부측은 지지핀(140)을 감싸고, 상부측은 하부하우징(121)의 하면에 실링 결합되며, 하부측은 승강판(150)에 실링 결합되어 승강판(150)이 승강함에 따라 신축하는 신축관(170)으로 마련된다. 이때, 지지핀(140)은 신축관(170)과 비접촉하며, 지지핀(140)의 운동에 대하여 신축관(170)은 간섭하지 않는다.As shown, the sealing means has a central portion surrounds the support pin 140, the upper side is sealingly coupled to the lower surface of the lower housing 121, the lower side is sealingly coupled to the elevating plate 150, elevating plate 150 As it moves up and down, it is provided with a stretchable tube 170. At this time, the support pin 140 is non-contact with the expansion pipe 170, the expansion pipe 170 does not interfere with the movement of the support pin 140.

그러면, 신축관(170)의 내부에 지지핀(140)이 위치되고, 신축관(170)의 내부는 밀폐되어 챔버(120a)와 동일하게 진공 상태를 유지하므로, 결국은 지지핀(140)과 관통공(122) 사이의 부위가 실링된다.Then, the support pin 140 is located in the expansion tube 170, the interior of the expansion tube 170 is closed and maintains the same vacuum as the chamber 120a, and eventually the support pin 140 and The portion between the through holes 122 is sealed.

신축관(170)과 하부하우징(121) 사이 및 신축관(170)과 승강판(150) 사이를 더욱 안정되게 실링하기 위하여, 신축관(170)과 하부하우징(121) 사이에는 오링(180)이 개재되고, 신축관(170)과 승강판(150) 사이에는 오링(미도시)이 개재된다.O-ring 180 between the expansion pipe 170 and the lower housing 121 in order to seal more stably between the expansion pipe 170 and the lower housing 121 and between the expansion pipe 170 and the lifting plate 150. It is interposed, O-ring (not shown) is interposed between the expansion pipe 170 and the lifting plate 150.

그리고, 신축관(170)의 상단면(上端面)에는 오링(180)이 삽입 안치되는 안치로(171)가 형성되고, 신축관(170)의 하단면(下端面)에도 상기 오링이 삽입 안치되는 안치로(미도시)가 형성된다.In addition, the upper surface of the expansion tube 170 is formed with an arthropath 171 into which the O-ring 180 is placed, and the O-ring is inserted into the lower surface of the expansion tube 170. An enamel furnace (not shown) is formed.

본 실시예에 따른 진공 건조 장치는 지지핀(140)이 관통하는 하부하우징(121)의 하면 외측에 지지핀(140)을 감싸는 형태로 신축관(170)이 밀폐 설치되고, 신축관(170)은 지지핀(140)이 승강함에 따라 신축된다. 즉, 지지핀(140)이 승강운동하여도, 지지핀(140)과 신축관(170)은 상호 간섭하지 않으므로, 지지핀(140)에 의한 신축관(170)의 손상이 없다. 따라서, 지지핀(140)과 관통공(122) 사이의 부위가 완전하게 실링된다.In the vacuum drying apparatus according to the present embodiment, the expansion pipe 170 is hermetically installed to surround the support pin 140 on the outside of the lower housing 121 through which the support pin 140 penetrates, and the expansion pipe 170. Is stretched as the support pin 140 is elevated. That is, even when the support pin 140 is moved up and down, the support pin 140 and the expansion tube 170 does not interfere with each other, there is no damage of the expansion tube 170 by the support pin 140. Therefore, the portion between the support pin 140 and the through hole 122 is completely sealed.

본 발명은 상술한 바와 같이 바람직한 실시예를 예로 들어 도시하여 설명하였으나, 상기 실시예에 한정되지 아니하며 본 발명의 정신을 벗어나지 않는 범위 내에서 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변형과 변경이 가능하다. 그러한 변형예 및 변경예는 본 발명과 첨부된 특허청구범위의 범위 내에 속하는 것으로 보아야 한다.Although the present invention has been described with reference to preferred embodiments as described above by way of example, it is not limited to the above embodiments and should be made by those skilled in the art without departing from the spirit of the present invention. Many variations and modifications are possible. Such modifications and variations are intended to fall within the scope of the invention and the appended claims.

110: 본체
121: 하부하우징
125: 상부하우징
140: 지지핀
150: 승강판
170: 신축관110:
121: lower housing
125: upper housing
140: support pin
150: platform
170: expansion tube

Claims (5)

본체;
상기 본체의 내부에 설치되며, 피건조체가 로딩되어 건조되는 챔버를 형성하는 하우징;
상기 하우징의 하측에 승강가능하게 설치되며, 상단부측이 상기 하우징을 관통하여 상기 챔버를 출입하면서 상기 챔버에 로딩된 상기 피건조체를 지지하는 복수의 지지핀;
상기 본체의 일측에 설치되며 상기 챔버를 진공 상태로 감압하기 위한 펌핑수단;
상기 지지핀이 관통하는 상기 하우징의 외면에 설치되어 상기 지지핀과 비접촉하며, 상기 지지핀이 관통하는 상기 하우징의 부위를 실링하는 실링수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 건조 장치.main body;
A housing which is installed inside the main body and forms a chamber in which a dry object is loaded and dried;
A plurality of support pins installed on a lower side of the housing and supporting the to-be-dried body loaded in the chamber while the upper end side passes through the housing to enter and exit the chamber;
Pumping means installed on one side of the main body to reduce the vacuum in the chamber;
And a sealing means installed on an outer surface of the housing through which the support pin penetrates, being in non-contact with the support pin, and sealing a portion of the housing through which the support pin penetrates. 제1항에 있어서,
상기 하우징은, 상기 본체에 고정되며 상기 지지핀이 관통함과 동시에 상기 실링수단이 지지되는 하부하우징과, 상기 하부하우징 상측 부위의 상기 본체에 지지되어 승강가능하게 설치되며 승강함에 따라 상기 하부하우징과 분리되거나 상기 하부하우징에 결합되는 상부하우징을 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 건조 장치.The method of claim 1,
The housing is fixed to the main body and the support pin penetrates and at the same time the sealing means is supported, the lower housing and the lower housing is supported by the main body of the lower housing and installed to be elevated as the lower housing and And a top housing separated or coupled to the bottom housing. 제2항에 있어서,
상기 하부하우징의 하측에는 상기 지지핀의 하단부가 지지되는 승강판이 승강가능하게 설치되고,
상기 실링수단은 상기 지지핀을 감싸는 형태로 설치되며, 상부측은 상기 하부하우징의 하면에 실링 결합되고, 하부측은 상기 승강판에 실링 결합되어 상기 승강판이 승강함에 따라 신축되는 신축관으로 마련된 것을 특징으로 하는 진공 건조 장치.The method of claim 2,
A lifting plate supporting a lower end of the support pin is provided at a lower side of the lower housing so as to be liftable.
The sealing means is installed in a form surrounding the support pin, the upper side is sealingly coupled to the lower surface of the lower housing, the lower side is sealingly coupled to the lifting plate is characterized in that it is provided with an elastic pipe that is stretched as the lifting plate is elevated. Vacuum drying device. 제3항에 있어서,
상기 신축관과 상기 하부하우징 사이 및 상기 신축관과 상기 승강판 사이에는 오링이 개재된 것을 특징으로 하는 진공 건조 장치.The method of claim 3,
O-ring is interposed between the expansion pipe and the lower housing and between the expansion pipe and the lifting plate. 제4항에 있어서,
상기 신축관에는 상기 오링이 삽입 안치되는 안치로가 각각 형성된 것을 특징으로 하는 진공 건조 장치.
5. The method of claim 4,
The expansion pipe is vacuum drying apparatus, characterized in that the inner ring is formed with the O-ring is placed.
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