KR20130010805A - 전기영동 표시소자 및 그 제조방법 - Google Patents

전기영동 표시소자 및 그 제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 휘도가 향상되고 제조공정이 단순화된 전기영동 표시소자에 관한 것으로, 상기한 목적을 달성하기 위해, 본 발명에 따른 전기영동 표시소자는 복수의 화소가 배열되어 있는 화상표시영역(display region) 및 상기 화상표시영역 외곽의 화상비표시영역(non display region)을 포함하는 제1기판 및 상기 제1기판과 대응되는 제2기판; 상기 화소마다 형성된 스위칭소자(switching device); 상기 스위칭소자가 형성된 제1기판상에 형성된 보호층(passivation layer); 상기 보호층 위의 각 화소마다 형성되는 화소전극; 상기 보호층 위의 각 화소 사이에 형성된 격벽(side wall); 상기 격벽의 측벽 및 상부에 형성되며, 상기 화소전극과는 전기적으로 단선된 공통전극; 상기 화소내에 형성되며, 안료와 화이트입자를 포함하는 컬러필터층; 및 격벽 사이 화소의 컬러필터층 위에 형성된 전기영동층으로 구성된다.

Description

전기영동 표시소자 및 그 제조방법{ELECTROPHORETIC DISPLAY DEVICE AND METHOD OF FABRICATING THEREOF}
본 발명은 전기영동 표시소자 및 그 제조방법에 관한 것으로, 특히 색재현률이 향상되고 공정을 단순화할 수 있는 전기영동 표시소자 및 그 제조방법에 관한 것이다.
전기영동 표시소자는 전압이 인가되는 한쌍의 전극을 콜로이드용액에 담그면 콜로이드 입자가 어느 한쪽의 극성으로 이동하는 현상을 이용한 화상표시장치이다. 액정표시소자와 달리 백라이트를 사용하지 않으며, 넓은 시야각, 높은 반사율, 저소비전력 등의 장점을 갖기 때문에, 전지종이(electronic paper) 등의 휠 수 있는 디스플레이로서 각광받고 있다.
이러한 전기영동 표시소자는 2개의 기판 사이에 전기영동층이 개재된 구조를 가진다. 2개의 기판중 하나는 투명한 기판으로 이루어지고 다른 하나의 기판은 구동소자가 형성된 어레이기판으로 구성되어 기기의 외부로부터 입력되는 광을 반사하는 반사형 모드로 화상을 표시할 수 있다.
도 1은 종래 전기영동 표시소자(1)의 구조를 나타내는 도면이다. 도 1에 도시된 바와 같이, 전기영동 표시소자(1)는 제1기판(20) 및 제2기판(40)과, 상기 제1기판(20)에 형성된 스위칭 소자인 박막트랜지스터 및 화소전극(18)과, 상기 제2기판(40)에 형성된 공통전극(42)과, 상기 제1기판(20) 및 제2기판(40) 사이에 형성된 전기영동층(60)과, 상기 전기영동층(60)과 화소전극(18) 사이에 형성된 접착층(56)으로 이루어진다.
박막트랜지스터는 상기 제1기판(2)에 형성된 게이트전극(11)과, 상기 게이트전극(11)이 형성된 제1기판(20) 전체에 걸쳐 형성된 게이트절연층(22)과, 상기 게이트절연층(22) 위에 형성된 반도체층(13)과, 상기 반도체층(13) 위에 형성된 소스전극(15) 및 드레인전극(16)으로 이루어진다. 상기 박막트랜지스터의 소스전극(15) 및 드레인전극(16) 위에는 보호층(24)이 형성된다.
상기 보호층(24) 위에는 상기 전기영동층(60)에 신호를 인가하는 화소전극(18)이 형성된다. 이때, 상기 보호층(24)에는 컨택홀(28)이 형성되는데, 상기 화소전극(18)이 상기 컨택홀(28)을 통해 박막트랜지스터의 드레인전극(16)과 접속된다.
또한, 제2기판(40)에는 컬러필터층(44) 및 공통전극(42)이 형성된다. 상기 컬러필터층(42) 위에는 전기영동층(60)이 형성되어 있고 상기 전기영동층(60)위에 접착층(56)이 형성되어 있다. 상기 전기영동층(60)은 내부에 화이트입자(74)와 블랙입자(76)가 채워진 캡슐(70)을 포함한다. 상기 화소전극(18)에 신호가 인가되면, 상기 공통전극(42)과 화소전극(18) 사이에 전계가 발생하며, 상기 전계에 의해 캡슐(70) 내부의 화이트입자(74)와 블랙입자(76)가 공통전극(42) 또는 화소전극(18) 방향으로 이동함으로써 화상을 구현한다.
예를 들어, 제 1 기판(20)상의 화소전극(18)에 (-)전압이 인가되고, 제2기판(40)상의 공통전극(42)은 상대적으로 (+)전압이 인가될 때, (+)전하를 띄는 화이트입자(74)는 제1기판(20)쪽으로 이동하고, (-)전하를 띄는 블랙입자(76)는 제2기판(40)쪽으로 이동하게 된다. 이 상태에서 외부, 즉 제2기판(40)의 상부로부터 광이 입력되면, 입력된 광이 상기 블랙입자(76)에 의해 반사되므로, 전기영동 표시소자에는 블랙이 구현된다.
반대로, 상기 제 1 기판(20)상의 화소전극(18)에 (+)전압이 인가되고, 제2기판(40)상의 공통전극(42)에 (-)전압이 인가될 때, (+)전하를 띄는 화이트입자(74)는 제2기판(40)으로 이동하고, (-)전하를 띄는 블랙입자(76)는 제1기판(20)으로 이동한다. 이 상태에서 외부, 즉 제2기판(40)의 상부로부터 광이 입력되면, 입력된 광이 상기 화이트입자(74)에 의해 반사되므로, 전기영동 표시소자에는 화이트가 구현된다.
그러나, 상기와 같은 구조의 종래 전기영동 표시소자(1)에서는 다음과 같은 문제가 발생한다.
첫째, 종래의 전기영동표시소자 제조방법은 제1기판 및 제2기판의 합착(attach)이 어렵다.
종래 전기영동 표시소자(1)에서는 제1기판(20) 및 제2기판(40)을 별도로 제작한 후, 접착층(56)(adhesion layer)에 의해 상기 제1기판(20) 및 제2기판(40)을 합착함으로써 완성된다. 즉, 제1기판(20) 상에 단위 화소를 구동시키는 박막트랜지스터와 전기영동층에 전계를 인가하는 화소전극(18)을 형성하고, 별도의 공정에서 제2기판(40) 상에 공통전극(42), 컬러필터층(44), 전기영동층(60) 및 접착층(56)을 형성한 후, 상기 제1기판(20) 및 제2기판(40)을 합착함으로써 형성된다.
그러나, 통상 전기영동표시소자의 단위 화소는 가로 및 세로의 크기가 150마이크로미터 이내의 작은 크기로 형성되기 때문에, 이 크기에 정확히 맞도록 전기영동층을 정렬시키는 것은 매우 어려운 공정이다. 전기영동층의 정렬시, 전기영동층과 박막트랜지스터가 형성되어 있는 제1기판이 정확히 정렬(align)되지 못하면 전계가 전기영동입자에 정확히 전달되지 못해 구동에러의 원인이 된다.
둘째, 종래의 전기영동표시소자 제조방법은 제조공정이 복잡하다.
상기 제1기판(20) 및 제2기판(40)은 각각 다른 공정상에서 제작된 후, 이송수단에 의해 이송되어 합착공정에서 서로 합착해야 하므로, 인라인으로 제조공정을 형성할 수 없게 된다.
셋째, 제 1 기판과 제 2 기판의 합착공정시 정전기 발생으로 전기영동입자의 초기 배열에 불량을 발생시킨다.
제2기판(40)상에는 공통전극(42), 컬러필터층(44) 및 전기영동층(60)이 형성되어 있고, 상기 전기영동층(60)위에 접착층(56)이 도포되어 있다. 또한, 상기 접착층(56)의 접착력 저하 및 상기 접착층(56)에 이물질이 부착되는 것을 방지하기 위해, 상기 접착층(56)에 보호필름이 부착되어 있다. 그런데, 제2기판(40)을 제1기판(20)에 부착하기 위해서는 제2기판(40)으로부터 상기 보호필름을 박리해야만 하는데, 보호필름의 박리과정에서 정전기가 발생하여 전기영동입자의 초기 배열에 오정렬을 유발시킬 수 있다. 상기 정전기에 의한 전기영동입자의 오정열은 전기영동표시소자가 동작시 빗살무늬모양의 모아레가 발생하는 원인이 되고 있다.
넷째, 종래의 전기영동표시소자는 제 2 기판(40)을 제 1 기판(20)에 합착하기 위해 합착층(56)을 구비한다. 상기 합착층(56)은 화소전극(56)과 공통전극(42) 사이에 위치하므로 전기영동입자에 전계가 작용하는 것을 방해한다. 또한, 상기 접착층(56)과 별도로 화면표시영역으로 투습 및 이물 등의 침투를 방지하기 위해 전기영동표시소자의 가장자리를 실런트로 실링하는 별도의 공정을 진행한다. 그런데, 상기 실링과정에서 갤상태의 실런트가 넘침이 발생하여 제 1 기판 및 제 2 기판이 실링될 때 제 1,2 기판을 오염시키는 원인이 된다. 또한, 실링후 외관 디자인을 나쁘게 하는 원인이 되고 있다.
본 발명은 상기한 문제를 해결하기 위한 것으로, 전기영동층을 박막트랜지스터가 형성되는 기판에 직접 형성함으로써 전기영동층과 제1기판 사이의 오정렬을 방지하며, 제조공정을 단순화할 수 있는 전기영동 표시소자 및 그 제조방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 다른 목적은 공통전극을 격벽의 측벽에 형성하고 컬러필터층을 제1기판에 형성하여 전기영동층의 블랙입자에 의해 컬러필터층에 입사되는 광을 스위칭함과 동시에 화소로 입력되는 광이 컬러필터층에 의해 반사됨으로써 컬러를 구현할 수 있는 전기영동 표시소자 및 그 제조방법을 제공하는 것이다.
상기한 목적을 달성하기 위해, 본 발명에 따른 전기영동 표시소자는 복수의 화소가 배열되어 있는 화상표시영역(display region) 및 상기 화상표시영역 외곽의 화상비표시영역(non display region)을 포함하는 제1기판 및 상기 제1기판과 대응되는 제2기판; 상기 화소마다 형성된 스위칭소자(switching device); 상기 스위칭소자가 형성된 제1기판상에 형성된 보호층(passivation layer); 상기 보호층 위의 각 화소마다 형성되는 화소전극; 상기 보호층 위의 각 화소 사이에 형성된 격벽(side wall); 상기 격벽의 측벽 및 상부에 형성되며, 상기 화소전극과는 전기적으로 단선된 공통전극; 상기 화소내에 형성되며, 안료와 화이트입자를 포함하는 컬러필터층; 및 격벽 사이 화소의 컬러필터층 위에 형성된 전기영동층으로 구성된다.
상기 격벽의 하부에는 언더컷이 형성되어 화소전극과 공통전극을 전기적으로 단선시키며, 상기 제2기판에는 제1기판의 공통전극과 전기적으로 접속되는 공통패드를 추가로 포함된다.
상기 컬러필터층에는 20-70중량%의 안료 및 30-80중량%의 화이트입자가 포함되며,전기영동층에는 블랙입자가 포함된다.
또한, 본 발명에 따른 전기영동 표시소자 제조방법은 복수의 화소가 배열되어 있는 화상표시영역(display region) 및 상기 화상표시영역 외곽의 화상비표시영역(non display region)을 포함하는 제1기판 및 상기 제1기판과 대응되는 제2기판을 제공하는 단계; 상기 제1기판상의 각 화소마다 스위칭 소자를 형성하는 단계; 상기 스위칭 소자가 형성된 제1기판에 보호층을 형성하는 단계; 상기 보호층 위의 각 화소 사이에 격벽을 형성하는 단계; 상기 보호층 위의 각 화소에 화소전극을 형성하고 격벽의 측벽 및 상부에 공통전극을 형성하는 단계; 상기 격벽 사이의 화소내에 안료와 화이트입자를 포함하는 컬러필터층을 형성하는 단계; 상기 격벽 사이의 화소에 전기영동층을 충진하는 단계; 및 상기 제1기판과 제2기판을 합착하는 단계를 구성된다.
본 발명에서는 전기영동층을 제1기판에 직접 형성되므로, 제2기판에 전기영동층이 형성되던 종래기술에 비해 제1,2기판을 합착하는 접착층이나, 접착층을 보호하기 위한 보호필름이 필요없게 되어 제조비용을 절감할 수 있다. 뿐만 아니라 어레이 기판의 제조공정에 연이어 전기영동층 형성할 수 있어 인라인으로 전기영동표시소자를 제조할 수 있기 때문에 제조공정이 단순해진다. 또한, 전기영동층이 어레이기판상에 직접 형성되기 때문에, 전기영동층과 어레이기판의 정렬과정에서 발생하는 오정렬을 방지할 수 있다.
그리고, 본 발명에서는 컬러필터층을 제1기판에 형성하여 입사되는 광을 상기 컬러필터층에 의해 반사하여 컬러를 구현하므로, 종래 컬러필터층에 의한 광흡수 등의 문제가 없게 되어 휘도를 대폭 향상시킬 수 있게 된다.
또한, 본 발명에서는 화소전극 및 공통전극을 제1기판에 한번의 공정에 의해 형성하므로, 제조공정을 단순화할 수 있게 되며, 제조비용을 절감할 수 있게 된다.
도 1은 종래 전기영동 표시소자를 나타내는 도면.
도 2는 본 발명에 따른 전기영동 표시소자의 구조를 나타내는 도면.
도 3a 및 도 3b는 본 발명에 따른 전기영동 표시소자에서 컬러를 구현하는 것을 나타내는 도면.
도 4a-4g는 본 발명에 따른 전기영동 표시소자의 제조방법을 나타내는 도면.
도 5a 및 도 5b는 각각 본 발명에 따른 전기영동 표시소자의 전기영동층을 형성하는 방법을 나타내는 도면.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 따른 전기영동 표시소자에 대해 상세히 설명한다.
우선, 설명에 앞서 용어를 정의한다. 본 발명에서 단위 화소는 3개의 서브화소로 구성된다. 그리고, 서브화소는 격벽에 의해 정의(define)되고, 격벽에 의해 정의되는 공간을 포함한다. 제1기판은 스위칭 소자인 박막트랜지스터가 형성되는 곳으로 어레이 기판으로 부르기도 한다.
본 발명에서는 전기영동층을 박막트랜지스터가 형성되는 제1기판에 형성한다. 즉, 본 발명에서는 박막트랜지스터 제조공정에 연이어서 전기영동층을 형성한다. 따라서, 박막트랜지스터의 제조공정에 연이어 전기영동층을 형성할 수 있기 때문에, 종래의 방법에 비해 제조공정을 간소화할 수 있게 된다.
통상적으로 제2기판에 전기영동층을 형성하는 종래의 전기영동 표시소자 제조공정에서는 전기영동층을 다른 공장, 심지어는 다른 부품회사로부터 공급받아 이를 박막트랜지스터가 형성되는 제조공장으로 이송한 후, 제1기판과 합착해야만 하기 때문에 제조공정이 지연되고 번거로울 뿐만 아니라 차량과 같은 이송수단에 의해 제2기판을 이송하는 과정에서 제2기판이 파손되는 문제도 있었다.
반면에, 본 발명에서는 박막트랜지스터 제조공정에 연이어 전기영동층을 제1기판상에 형성하므로, 신속한 전기영동 표시소자의 제작이 가능하게 된다.
또한, 본 발명에서는 박막트랜지스터가 형성되는 기판에 컬러필터층을 형성하고 이 컬러필터층을 광을 반사하는 반사층으로서 사용함으로써 컬러필터층에 의한 흡수를 최소화함과 동시에 블랙입자에 의한 반사율을 0%로 하여 색재현율을 향상시킬 수 있게 된다. 더욱이 본 발명에서는 공통전극과 화소전극을 동시에 박막트랜지스터 기판에 동시에 형성함으로써 제조공정을 단순화할 수 있게 된다.
도 2는 본 발명에 따른 전기영동 표시소자의 구조를 나타내는 도면이다. 실질적으로 전기영동 표시소자는 R(Red), G(Green), B(Blue)를 구현하는 복수의 서브화소 또는 시안(cyan), 마젠타(Magenta), 옐로우(yellow)를 구현하는 복수의 서브화소가 반복되어 배치되지만, 이하에서는 설명의 편의를 위해 하나의 서브화소만을 설명한다. 그리고 본 발명에서 R(Red), G(Green), B(Blue)의 서브화소 또는 시안(cyan), 마젠타(Magenta), 옐로우(yellow)의 서브화소가 일 조를 이루어 단위 화소를 구성한다. 또한, 상기 단위 화소에는 W(white) 서브화소가 포함될 수 있다. 상기 W 서브화소는 외부에서 입력되는 자연광을 그대로 반사함으로써 전기영동 표시소자 전체의 휘도를 향상시킨다.
도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 전기영동 표시소자는 복수의 화소가 배열되어 있는 화상표시영역(display region) 및 상기 화상표시영역 외곽의 화상비표시영역(non display region)을 포함하는 제1기판(120) 및 상기 제1기판(120)과 대응되는 제2기판(140)과, 상기 제1기판(120) 위의 각 화소마다 형성된 박막트랜지스터와, 상기 박막트랜지스터가 형성된 제1기판(120) 상에 형성된 보호층(124)과, 상기 보호층(124) 위의 각 화소마다 형성된 화소전극(118)과, 상기 화소전극(118) 상부의 화소에 형성되고 내부에 화이트입자(127) 및 컬러안료(128)를 포함하는 R,G,B컬러필터층(126)과, 상기 보호층(124) 위의 각 화소 사이에 형성된 격벽(180)과, 상기 격벽(180)의 측면 및 상면에 형성에 형성된 공통전극(119)과, 상기 격벽(180)에 의해 정의되는 화소마다 충진되는 전기영동층(160)으로 구성된다.
상기 전기영동층(160)의 내부에는 블랙입자(164)가 포함되어 있으며, 전기영동층(160)의 상부에는 실링층(168)이 형성되어 저점도의 전기영동물질이 유동하여 전기영동물질이 외부 혹은 인접하는 화소로 넘치는 것을 방지한다. 또한, 상기 실링층(168)은 상기 전기영동층(160) 내부로 수분이 침투하여 전기영동층(160)이 불량으로 되는 것을 방지한다. 또한, 상기 전기영동층(160)과 실링층(168) 사이에는 충간절연층(169)이 형성될 수도 있다. 상기 층간절연층(169)은 격벽과 같은 감광성 유기물질일 수 있고, 메틸에틸렌케톤(Methyl Ethyl Ketone)일 수도 있다. 상기 층간절연층(169)은 전기영동층 및 격벽 상단에 수 나노미터의 두께로 코팅되어, 전기영동층(160)을 완전히 밀봉하여 실링층(168)의 형성을 용이하게 할 뿐 아니라, 전기영동입자가 실링층(168)에 달라붙는 것을 방지할 수 있게 된다.
박막트랜지스터는 제1기판(120) 위에 형성된 게이트전극(111)과, 상기 게이트전극(111) 위에 형성된 게이트절연층(122)과, 상기 게이트절연층(122) 위에 형성된 비정질실리콘(a-Si)과 같은 반도체물질로 이루어진 반도체층(113)과, 상기 반도체층(113) 위에 형성된 소스전극(115) 및 드레인전극(116)으로 이루어진다.
상기 보호층(124)은 BCB(Benzo Cyclo Butene)이나 포토아크릴(photo acryl)과 같은 유기절연물질로 이루어지며, 이때 박막트랜지스터의 드레인전극(116) 상부의 보호층(124)에는 컨택홀(117)이 형성되어 보호층(124) 위에 형성된 화소전극(118)이 상기 컨택홀(117)을 통해 박막트랜지스터의 드레인전극(116)과 전기적으로 접속된다.
컬러필터층(126)은 감광조성물인 광중합 개시제, 단분자(monomer), 결합제(binder), 화이트입자(127) 및 색상을 구현하는 R,G,B 컬러 유기안료(pigment)(128)로 구성되어 있다. 이때, 컬러필터층(126)에 20-70중량%의 컬러 안료(128)와 30-80중량%의 화이트입자(127)가 포함될 수 있다. W-서브화소가 형성되는 경우, W-서브화소의 컬러필터층에는 100중량%의 화이트입자가 포함된다.
도면에서는 상기 컬러필터층(126)이 화소전극(118)의 상부에 형성되지만, 상기 컬러필터층(126)이 화소전극(118) 하부에 형성될 수도 있다. 컬러필터층(126)은 경화공정에 의해 경화되어 고상화되므로, 그 상부에 금속 등을 적층하고 식각하여 화소전극을 형성할 수 있는 것이다.
격벽(180)은 감광성 유기절연물질 등으로 이루어질 수 있다. 상기 격벽에 의해 정의(define)되는 서브화소는 그 내부에 전기영동층(160)이 충진되어 있다. 전기영동층(160)에는 블랙입자(164)를 포함한다.
상기 블랙입자(164)는 블랙을 구현한다. 즉, 화소전극(118)과 공통전극(119) 사이에 전압이 인가되어 전하특성을 갖는 블랙입자(164)가 제1기판(120) 측으로 이동하는 경우, 외부로부터 입사된 광이 상기 블랙입자(164)에 의해 흡수되어 전기영동 표시소자의 화면에는 블랙이 표현된다.
한편, 컬러필터층(126)은 컬러를 구현한다. 화소전극(118)과 공통전극(119) 사이에 전압이 인가되어 전하특성을 갖는 블랙입자(164)가 격벽(180)의 측벽에 형성된 공통전압(119) 측으로 이동하는 경우, 외부로부터 입사된 광은 컬러필터층(126)에 의해 반사되어 다시 외부로 출력되므로, 해당 컬러필터층(126)에 대응하는 컬러를 구현할 수 있게 되는 것이다. 이때, 상기 컬러필터층(126)에는 화이트입자(127)만이 포함되어 있고 블랙입자는 포함되지 않으므로, 대응하는 컬러의 단색광이 모두 반사되어 높은 휘도의 컬러가 구현될 수 있게 된다.
상기 전기영동층은 액상폴리머와 같은 분산매질을 포함한다. 상기 분산매질은 내부에 블랙입자(164)가 분산되어 전압의 인가에 따라 블랙입자(164)가 상기 분산매질 내에서 이동하게 된다. 상기 분산매질을 공기를 포함할 수 있다. 즉, 액상폴리머와 같은 특정 액상 분산매질 대신에 공기가 블랙입자(164)를 이동시키는 매질로서 작용할 수도 있는 것이다. 또한, 전기영동층(160)에는 분산매질이 포함되지 않을 수도 있다. 이 경우에도 전압이 인가됨에 따라 블랙입자(164)가 전계에 의해 이동하므로, 화상을 구현할 수 있게 된다.
한편, 분산매질로서 액상 폴리머를 사용하는 경우, 투명한 액상 폴리머를 사용할 수 있다. 상기 실링층(168)은 각 서브화소를 완전히 밀봉한다. 따라서, 상기 실링층(168)은 점도가 낮은 염료로 이루어진 전기영동층(160)이 제 1 및 제 2 기판이 서로 합착되는 과정에서 흘러 넘쳐 인접하는 화소로 넘치는 것을 방지한다. 또한, 상기 실링층(168)은 상기 전기영동층(160) 내부로 수분이 침투하는 것을 방지한다.
상기 화소전극(118)은 ITO(Indium Tin Oixde)나 IZO(Indium Zinc Oxide)와 같이 투명한 도전물질 또는 Al이나 Al합금과 같은 금속으로 이루어질 수 있다. 또한, 상기 공통전극(119) 역시 ITO(Indium Tin Oixde)나 IZO(Indium Zinc Oxide)와 같이 투명한 도전물질 또는 Al이나 Al합금과 같은 금속으로 이루어질 수 있다. 또한, 상기 화소전극(118) 및 공통전극(119)은 투명도전물질 및 금속의 이중의 층으로 형성될 수도 있다.
상기 화소전극(118)과 공통전극(119)은 별도의 공정에 의해 형성되어 전기적으로 단선될 수도 있지만, 동일한 공정에 의해 동시에 형성될 수도 있다. 동일한 공정에 의해 동시에 형성되는 경우, 상기 격벽(180)의 하부, 즉 보호층(124)과 경계를 이루는 격벽(180)의 하부에는 언더컷(181)이 형성되어, 투명도전물질이나 금속을 적층할 때 화소전극(118)과 공통전극(119)이 상기 언더컷(181)에 의해 전기적으로 단선된다.
상기 격벽(180)의 상면과 대응하는 제2기판(140)에는 공통패드(142)가 형성되어 격벽(180) 상부의 공통전극(119)과 전기적으로 접속된다. 이때, 상기 격벽(180)이 제1기판(120)에서 매트릭스 형상으로 형성되므로, 이에 대응하는 공통패드(142) 역시 제2기판(140)에 매트릭스형상으로 형성된다.
상기 공통패드(142)는 공통전극(119)에 공통전압을 인가한다. 즉, 도면에는 도시하지 않았지만, 외부의 전압공급부로부터 공통패드(142)를 통해 공통전압이 상기 공통전극(119)으로 인가되는 것이다. 이때, 상기 공통패드(142)는 전도성이 좋은 금속으로 형성될 수 있으며, 상기 공통전극(119)과 공통패드(142) 사이에는 은도트(Ag dot)가 배치될 수도 있다. 물론, 상기 공통패드(142)가 은으로 형성될 수도 있을 것이다.
상기와 같은 구성의 전기영동 표시소자에서는 격벽(180)이 제1기판(120)상에 직접 형성되고 전기영동층(160)이 역시 제1기판(120)의 격벽(180) 사이에 충진되어 상기 전기영동층(160)이 직접적으로 화소전극(118) 위에 형성되어 상기 화소전극(118)과 직접 접촉하므로, 종래 전기영동 표시장치와는 달리 전기영동층(160)과 화소전극(118) 및 보호층(124) 사이에 전기영동층(160)을 부착하기 위한 별도의 접착층이 필요없게 되므로, 제조공정을 단순화되어 제조비용을 절감할 수 있게 된다.
또한, 본 발명에서는 화소전극(118)과 공통전극(119)이 동시에 형성되므로, 제조공정을 단축할 수 있게 된다.
이때, 본 발명에서는 전기영동층(160)에 포함되는 블랙입자(164)의 움직임에 따라 컬러를 구현하는데, 이를 자세히 설명하면 다음과 같다.
도 3a 및 도 3b는 R,G,B,W 서브화소로 이루어진 전기영동 표시소자를 간략하게 나타내는 도면이다.
도 3a 및 도 3b에 도시된 바와 같이, 제1기판(120)의 R,G,B,W서브화소에는 각각 화소전극(118R,118G,118B,118W)이 형성되어 있으며 그 위에 컬러필터층(126R,126G,126B,126W)이 형성되어 있다. 이때, 상기 전기영동 표시소자가 단지 R,G,B 서브화소로만 형성될 수도 있을 것이다.
상기 컬러필터층(126R,126G,126B,126W)에는 각각 화이트입자(127)가 포함되어 있으며, R,G,B 서브화소의 컬러필터층(126R,126G,126B)에는 각각 R 컬러안료(128R), G 컬러안료(128G), B 컬러안료(128B)가 포함되어 있다. 이때, W 서브화소에는 어떠한 컬러안료도 포함되지 않는다. 각각의 서브화소는 격벽(180)에 의해 구획된다. 상기 격벽(180)의 측벽에는 공통전극(119)이 형성된다.
도 3a에 도시된 바와 같이, 화소전극(118R,118G,118B,118W)에 전압이 인가되지 않는 경우, 전기영동층(160)에는 어떠한 전계도 인가되지 않아, 블랙입자(164)는 전기영동층(160)에 고르게 분산되어 있다.
도 3b에 도시된 바와 같이, 블랙입자(164)가 (-) 전하를 갖는 경우, R 서브화소 및 W 서브화소의 화소전극(118R,118W)에 각각 (-) 전압이 인가되고 G서브화소 및 B서브화소의 화소전극(118G,118B)에 각각 (+) 전압이 인가되면, R 서브화소 및 W 서브화소에서는 화소전극(118R,118W)이 (-) 전위를 갖게 되고 공통전극(119)이 (+) 전위를 갖게 되며 G서브화소 및 B서브화소에서는 화소전극(118G,118B)이 (+) 전위를 갖게 되고 공통전극(119)이 (-) 전위를 갖게 된다.
따라서, (-) 전하로 대전된 블랙입자(164)는 R 서브화소 및 W 서브화소에서는 (+) 전위의 공통전극(119)으로 이동하게 되고 G서브화소 및 B서브화소에서는 (+) 전위의 화소전극(118G,118B)으로 이동하게 된다. 따라서, 도 3b에 도시된 바와 같이, R 서브화소 및 W 서브화소에서는 블랙입자(164)가 격벽(180)의 측벽을 따라 모이게 되는 반면에, G서브화소 및 B서브화소에서는 블랙입자(164)가 컬러필터층(126G,126B) 위에 모이게 된다.
이 상태에서 외부에서 광이 입사되면, G서브화소 및 B서브화소에서는 입사된 광이 블랙입자(164)에 의해 흡수되는 반면에, R서브화소에서는 광이 컬러필터층(126R)까지 도달한 후, 적색의 광이 컬러필터층(126R)에서 반사되어 출력된다. 또한, W서브화소에는 안료가 없으므로, 입사된 광이 컬러필터층(126W)에서 반사되어 그대로 출력된다.
블랙입자(164)가 (+) 전하를 갖는 경우, R 서브화소 및 W 서브화소의 화소전극(118R,118W)에 각각 (+) 전압이 인가되고 G서브화소 및 B서브화소의 화소전극(118G,118B)에 각각 (-) 전압이 인가되면, R 서브화소 및 W 서브화소에서는 화소전극(118R,118W)이 (+) 전위를 갖게 되고 공통전극(119)이 (-) 전위를 갖게 되며 G서브화소 및 B서브화소에서는 화소전극(118G,118B)이 (-) 전위를 갖게 되고 공통전극(119)이 (+) 전위를 갖게 된다.
따라서, (+) 전하로 대전된 블랙입자(164)는 R 서브화소 및 W 서브화소에서는 (-) 전위의 공통전극(119)으로 이동하게 되고 G서브화소 및 B서브화소에서는 (-) 전위의 화소전극(118G,118B)으로 이동하게 된다. R 서브화소 및 W 서브화소에서는 블랙입자(164)가 격벽(180)의 측벽을 따라 모이게 되는 반면에, G서브화소 및 B서브화소에서는 블랙입자(164)가 컬러필터층(126G,126B) 위에 모이게 된다. 이 상태에서 외부에서 광이 입사되면, G서브화소 및 B서브화소에서는 입사된 광이 블랙입자(164)에 의해 흡수되는 반면에, R서브화소에서는 광이 컬러필터층(126R)까지 도달한 후, 적색의 광이 컬러필터층(126R)에서 반사되어 출력된다. 또한, W서브화소에는 안료가 없으므로, 입사된 광이 컬러필터층(126W)에서 반사되어 그대로 출력된다.
상기와 같은 과정을 G서브화소 및 B서브화소에서 반복하여 녹색광 및 청색광을 출력할 수 있게 되며, 이들을 컬러의 광을 적절히 혼합함으로써 원하는 컬러를 구현할 수 있게 된다.
이하에서는 상기와 같은 구성의 전기영동 표시소자의 제조방법을 상세히 설명한다.
도 4a-도 4g는 본 발명에 따른 전기영동 표시소자 제조방법을 나타내는 도면이다.
우선, 도 4a에 도시된 바와 같이, 유리나 플라스틱과 같이 투명한 물질로 이루어진 제1기판(120) 위에 Cr, Mo, Ta, Cu, Ti, Al 또는 Al합금과 같이 도전성이 좋은 불투명 금속을 스퍼터링법(sputtering process)에 의해 적층한 후 사진식각방법(photolithography process)에 의해 식각하여 게이트전극(111)을 형성한 후, 상기 게이트전극(111)이 형성된 제1기판(120) 전체에 걸쳐 CVD(Chemicla Vapor Deposition)법에 의해 SiO2나 SiNx 등과 같은 무기절연물질을 적층하여 게이트절연층(122)을 형성한다.
이어서, 도 4b에 도시된 바와 같이, 제1기판(120) 전체에 걸쳐 비정질실리콘(a-Si)과 같은 반도체물질을 CVD법에 의해 적층한 후 식각하여 반도체층(113)을 형성한다. 또한, 도면에는 도시하지 않았지만, 상기 반도체층(113)의 일부에 불순물을 도핑하거나 불순물이 첨가된 비정질실리콘을 적층하여 이후 형성되는 소스전극 및 드레인전극을 반도체층(113)과 오믹접합시키는 오믹컨택층(ohmic contact layer)을 형성한다.
그 후, 도 4c에 도시된 바와 같이, 제1기판(120) 상에 Cr, Mo, Ta, Cu, Ti, Al 또는 Al합금과 같이 도전성이 좋은 불투명 금속을 스퍼터링법에 의해 적층한 후 식각하여 반도체층(113) 위, 엄밀하게 말해서 오믹컨택층 위에 소스전극(115) 및 드레인전극(116)을 형성하고, 이어서 상기 소스전극(115) 및 드레인전극(116)이 형성된 제1기판(120) 전체에 걸쳐 BCB(Benzo Cyclo Butene)이나 포토아크릴(photo acryl)과 같은 유기절연물질을 적층하여 보호층(124)을 형성한다.
또한, 도면에는 도시하지 않았지만, 상기 보호층(124)은 복수의 층으로 형성될 수 있다. 예를 들면, 보호층(124)은 BCB이나 포토아크릴과 같은 유기절연물질로 이루어진 유기절연층 및 SiO2나 SiNx 등과 같은 무기절연물질로 이루어진 무기절연층의 이중의 층으로 형성될 수도 있고, 무기절연층과 유기절연층 및 무기절연층으로 형성할 수도 있을 것이다. 유기절연층을 형성함에 따라 보호층(124)의 표면이 평탄하게 형성되며, 무기절연층을 적용함에 따라 보호층(124)과의 계면특성이 향상된다.
또한, 상기 보호층(124)에 컨택홀(117)을 형성하여 박막트랜지스터의 드레인전극(116)을 외부로 노출시킨다.
이어서, 도 4d에 도시된 바와 같이, 보호층(124)위의 서브화소와 서브화소 사이에 격벽(180)을 형성한다. 상기 격벽(180)은 보호층(124) 위에 수지 등으로 이루어진 절연층을 적층한 후 포토레지스트를 이용한 사진식각방법에 의해 식각함으로써 형성할 수도 있고, 감광성 수지를 적층한 후 사진식각방법에 의해 식각함으로써 형성할 수도 있다.
또한, 상기 격벽(180)은 인쇄롤 등과 같은 인쇄법에 의해 패턴화된 격벽(180)을 인쇄함으로써 형성할 수도 있으며, 격벽에 대응하는 홈이 형성된 몰드를 제작한 후, 상기 몰드의 절연물질을 제1기판(120)으로 전사함으로써 형성할 수도 있다. 그리고, 상기 격벽(180)은 임프린트(imprint)방식으로 형성될 수도 있을 것이다.
그리고, 상기 격벽(180)은 보호층(124)과 동시에 형성될 수도 있다. 즉, 유기절연층을 형성한 후, 서브화소에 대응하는 영역의 유기절연층을 설정 두께로 식각함으로써 보호층(124)과 격벽(180)을 동시에 형성하는 것이다.
상기와 같이 격벽(180)이 형성된 후, 건식식각방법에 의해 격벽(180)을 한번 더 식각하여 격벽(180)의 하부, 즉 격벽(180)과 보호층(124)이 인접하는 영역에 언더컷(181)을 형성한다.
그 후, 도 4e에 도시된 바와 같이, 보호층(124) 상부 및 격벽(119)의 상부 및 측벽에 도전물질을 적층하여 화소전극(118)과 공통전극(119)을 형성한다. 이때, 적층되는 도전물질을 적층할 때 격벽(119)의 언더컷(181)에 의해 화소전극(118)과 공통전극(119)이 전기적으로 단선된다. 즉, 본 발명에서는 화소전극(118)과 공통전극(119)을 단선시키는 별도의 공정없이 화소전극(118)과 공통전극(119)을 한번의 공정에 의해 형성하여도 언더컷(181)에 의해 화소전극(118)과 공통전극(119)이 단선되므로, 화소전극(118)과 공통전극(119)이 단락되는 불량이 발생하지 않는 것이다.
상기 화소전극(118)과 공통전극(119)은 ITO(Indium Tin Oxide)나 IZO(Indium Zinc Oxide)와 같은 투명도전물질 또는 Al이나 Al합금과 같은 도전성이 좋은 금속을 적층함으로써 형성될 수도 있다.
그 후, 도 4f에 도시된 바와 같이, 격벽(180) 사이의 화소전극(118) 상부에 컬러필터층(126)을 형성한다. 상기 컬러필터층(126)은 감광조성물인 광중합 개시제, 단분자(monomer), 결합제(binder), 화이트입자(127) 및 색상을 구현하는 R,G,B 컬러 유기안료(pigment)(128)로 구성된 것으로, R,G,B 컬러필터층(126)을 형성하는 경우에는 약 20-70중량%의 컬러 안료(128)와 30-80중량%의 화이트입자(127)가 포함되며 W-서브화소가 형성되는 경우에는 100중량%의 화이트입자가 포함된다.
상기 컬러필터층(126)은 다양한 방법에 의해 형성될 수 있지만, 본 발명에서는 주로 잉크젯방식에 의해 화소전극(118) 상부에 도포함으로써 형성될 수 있다. 도포된 컬러필터층(126)은 열이나 광이 조사되어 경화된다.
이때, 상기 컬러필터층(126)을 먼저 형성한 후, 그 위에 화소전극(118)을 형성할 수도 있을 것이다.
이어서, 격벽(180)과 격벽(180) 사이에 전기영동물질을 충진한다. 상기 전기영동물질은 양전하 또는 음전하 특성을 갖는 블랙입자(164)를 포함하며 분산매질과 함께 화소에 충진된다.
상기 전기영동층은 액상폴리머가 없이 단지 공기와 화이트입자와 블랙입자 및 컬러입자로만 형성될 수도 있다. 이때, 화이트입자와 블랙입자(164)는 전기영동층(160)의 공기 중에 분포되어 전압이 인가됨에 따라 상기 전기영동층(160) 내부에서 움직이게 된다.
격벽(180)에 의해 정의되는 서브화소로 전기영동물질이 충진되는 방법은 다양한 방법이 있을 수 있는데, 이하 전기영동물질의 충진 방법을 설명한다.
도 5a 및 도 5b는 제1기판(120)에 형성된 서브화소 내로 전기영동물질을 충진하여 전기영동층(160)을 형성하는 방법을 나타내는 도면이다.
도 5a에 도시된 방법은 잉크젯방식 또는 노즐방식에 관한 것으로, 도 6a에 도시된 바와 같이 실린지(또는 노즐)(185) 내부에 분산매질과 함께 전기영동물질(160a)을 충진한 후, 상기 제1기판(120) 상부에 상기 실린지(185)를 위치시킨다. 이후, 외부의 공기공급장치(도면표시하지 않음)에 의해 실린지(185)에 압력을 인가한 상태에서 상기 실린지(185)를 제1기판(120) 상에서 이동시킴에 따라 상기 화소내에 전기영동물질(160a)이 적하되어 화소에 전기영동층(160)이 형성된다.
도 5b에 도시된 방법은 스퀴즈방법에 관한 것으로, 복수의 격벽(180)이 형성된 제1기판(120) 상부에 분산매질과 함께 전기영동물질(160a)을 도포한 후, 스퀴즈바(187)에 의해 제1기판(120) 상에서 이동시킴으로써 스퀴즈바(187)의 압력에 의해 전기영동물질(160a)이 격벽(180) 내부로 충진되어 전기영동층(160)이 형성되는 것이다.
물론, 본 발명이 상술한 바와 같은 방법에만 한정되는 것은 아니다. 상술한 방법은 본 발명에서 사용될 수 있는 전기영동층(160)의 형성공정의 일례를 나타내는 것으로서, 본 발명이 이러한 특정 공정에만 한정되는 것은 아니다. 예를 들면, 캐스팅인쇄법, 바코팅인쇄법, 스크린인쇄법, 몰드인쇄법과 같은 다양한 전기영동층(160) 형성공정이 본 발명에 적용될 수 있을 것이다.
이어서, 도 4g에 도시된 바와 같이, 상기와 같이 제1기판(120)의 화상표시영역에 실링재를 도포하여 실링층(168)을 형성하여 실링한 후, 제1기판(120)을 제2기판(140)과 합착하여 전기영동 표시소자를 완성한다.
상기 실링층(168)은 화소에 충진된 전기영동입자 및 분산매질이 외부 혹은 인접하는 화소로 넘치는 것을 방지한다. 또한, 상기 실링층(168)은 상기 전기영동층(160) 내부로 수분이 침투하여 전기영동층(160)이 불량으로 되는 것을 방지한다.
또한, 도면에서는 상기 실링층(168)에 의해 제1기판(120) 및 제2기판(140)이 합착되지만, 실링층(168)이 전기영동층(160)과 직접 접촉하는 것을 방지하기 위해 전기영동층(160)과 실링층(168) 사이에 절연물질로 이루어진 층간절연층(169)을 형성할 수도 있다. 상기 층간절연층(169)은 수 나노 미터의 두께로 상기 전기영동층 상에 코팅된다. 상기 층간절연층(169)은 전기영동층(160)과 실링층(168)이 직접 접촉하는 것을 방지하여 전기영동입자가 상기 실링층(168)에 달라붙는 것을 방지한다. 따라서, 전기영동입자가 실링층 달라붙어 전기영동표시소자의 구동시 전계에 따라 구동하지 않는 불량화소가 되는 것을 방지한다. 또한, 제1기판(120) 및 제2기판(140)의 합착력을 향상시키기 위해 접착층을 더 형성할 수도 있다.
유리나 플라스틱과 같이 투명한 물질로 이루어진 제2기판(140)에는 공통패드(142)가 형성된다. 상기 공통패드(142)는 도전특성이 좋은 금속을 적층하고 식각함으로써 형성되어 제1기판(120) 및 제2기판(140)이 합착될 때 제1기판(120)의 격벽(180) 상부에 형성된 공통전극(119)과 전기적으로 접속된다. 도면에는 도시하지 않았지만, 상기 공통패드(142)와 공통전극(119) 사이에는 Ag도트가 배치되어 공통패드(142)와 공통전극(119) 사이의 전기적 접속을 향상시킬 수 있으며, 공통패드(142) 자체를 Ag로 형성할 수도 있을 것이다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 전기영동 표시소자 제조방법에서는 격벽(180)이 제1기판(120)상에 직접 형성되고 전기영동층(160)이 역시 제1기판(120)의 격벽(180) 사이에 충진되어 상기 전기영동층(160)이 직접적으로 화소전극(118) 위에 형성되어 상기 화소전극(118)과 직접 접촉하므로, 종래 전기영동 표시장치와는 달리 전기영동층(160)과 화소전극(118) 및 보호층(124) 사이에 전기영동층(160)을 부착하기 위한 별도의 접착층이 필요없게 된다. 따라서, 이 실시예의 전기영동 표시소자에서는 제조공정을 단순화할 수 있으며, 그에 따른 제조비용을 절감할 수 있게 되는 것이다.
또한, 본 발명에서는 안료 및 화이트입자를 포함하는 컬러필터층을 제1기판에 형성하여 입사되는 광을 반사함으로써 컬러를 구현한다. 이때, 전기영동층에는 블랙입자만이 포함되어 상기 블랙입자에 의해 컬러필터층으로 광이 입사되는 것을 조절함으로써 R,G,B컬러를 구현할 수 있게 된다.
상술한 설명에서는 전기영동 표시소자의 구조에 대하여 특정 구조를 한정하여 설명하고 있지만, 본 발명의 전기영동 표시소자가 이러한 특정 구조에만 한정되는 것은 아니다. 특히, 전기영동층으로서 현재 사용하는 다양한 전기영동층이 적용될 수 있을 것이다. 즉, 제1기판에 형성될 수 있는 모든 구조의 전기영동층에 적용될 수 있을 것이다.
이상에서 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만, 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 수 있을 것이다.
따라서, 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것이 아니고 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 여러 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다.
120,140 : 기판 111 : 게이트전극
113 : 반도체층 115 : 소스전극
116 : 드레인전극 118 : 화소전극
119 : 공통전극 124 : 보호층
126 : 컬러필터층 160 : 전기영동층
180: 격벽 181 : 언더컷

Claims (23)

  1. 복수의 화소가 배열되어 있는 화상표시영역(display region) 및 상기 화상표시영역 외곽의 화상비표시영역(non display region)을 포함하는 제1기판 및 상기 제1기판과 대응되는 제2기판;
    상기 화소마다 형성된 스위칭소자(switching device);
    상기 스위칭소자가 형성된 제1기판상에 형성된 보호층(passivation layer);
    상기 보호층 위의 각 화소마다 형성되는 화소전극;
    상기 보호층 위의 각 화소 사이에 형성된 격벽(side wall);
    상기 격벽의 측벽 및 상부에 형성되며, 상기 화소전극과는 전기적으로 단선된 공통전극;
    상기 화소내에 형성되며, 안료와 화이트입자를 포함하는 컬러필터층; 및
    격벽 사이 화소의 컬러필터층 위에 형성된 전기영동층으로 구성된 전기영동 표시소자.
  2. 제1항에 있어서, 상기 격벽의 하부에는 언더컷이 형성되어 화소전극과 공통전극을 전기적으로 단선시키는 것을 특징으로 하는 전기영동 표시소자.
  3. 제1항에 있어서, 상기 제2기판에 형성되어 제1기판의 공통전극과 전기적으로 접속되는 공통패드를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 전기영동 표시소자.
  4. 제1항에 있어서, 상기 컬러필터층에는 20-70중량%의 안료 및 30-80중량%의 화이트입자가 포함되는 것을 특징으로 하는 전기영동 표시소자.
  5. 제1항에 있어서, 상기 전기영동층은 블랙 입자 및 분산매질을 포함하는 것을 특징으로 하는 전기영동 표시소자.
  6. 제5항에 있어서, 상기 분산매질은 투명한 액상매질인 것을 특징으로 하는 전기영동 표시소자.
  7. 제1항에 있어서, 상기 화상표시영역은 각각 R,G,B 컬러필터층이 형성된 R,G,B화소를 포함하는 것을 특징으로 하는 전기영동 표시소자.
  8. 제7항에 있어서, 상기 화상표시영역은 W 컬러필터층이 형성된 W화소를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전기영동표시소자.
  9. 제8항에 있어서, 상기 W컬러필터층은 화이트입자가 100중량% 포함된 것을 특징으로 하는 전기영동 표시소자.
  10. 제1항에 있어서, 상기 컬러필터층은 화소전극 하부에 형성된 것을 특징으로 하는 전기영동 표시소자.
  11. 제1항에 있어서, 상기 컬러필터층은 화소전극 상부에 형성된 것을 특징으로 하는 전기영동 표시소자.
  12. 복수의 화소가 배열되어 있는 화상표시영역(display region) 및 상기 화상표시영역 외곽의 화상비표시영역(non display region)을 포함하는 제1기판 및 상기 제1기판과 대응되는 제2기판을 제공하는 단계;
    상기 제1기판상의 각 화소마다 스위칭 소자를 형성하는 단계;
    상기 스위칭 소자가 형성된 제1기판에 보호층을 형성하는 단계;
    상기 보호층 위의 각 화소사이에 격벽을 형성하는 단계;
    상기 보호층 위의 각 화소에 화소전극을 형성하고 격벽의 측벽 및 상부에 공통전극을 형성하는 단계;
    상기 격벽 사이의 화소내에 안료와 화이트입자를 포함하는 컬러필터층을 형성하는 단계;
    상기 격벽 사이의 화소에 전기영동층을 충진하는 단계; 및
    상기 제1기판과 제2기판을 합착하는 단계를 포함하는 전기영동 표시소자 제조방법.
  13. 제12항에 있어서, 상기 화소전극 및 공통전극을 형성하는 단계는,
    보호층 및 격벽의 측벽과 상부에 도전물질을 적층하는 단계; 및
    상기 도전물질을 식각하여 전기적으로 단선된 화소전극과 공통전극을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 전기영동 표시소자 제조방법.
  14. 제12항에 있어서, 상기 화소전극 및 공통전극을 형성하는 단계는,
    격벽 하부에 언더컷을 형성하는 단계; 및
    보호층 및 격벽의 측벽과 상부에 도전물질을 적층하여 언더컷에 의해 전기적으로 단선된 화소전극 및 공통전극을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 전기영동 표시소자 제조방법.
  15. 제12항에 있어서, 상기 컬러필터층을 형성하는 단계는,
    안료와 화이트입자를 포함하는 컬러필터물질을 화소내에 도포하는 단계; 및
    도포된 컬러필터물질을 경화하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 전기영동 표시소자 제조방법.
  16. 제15항에 있어서, 상기 컬러필터물질에는 20-70중량%의 안료 및 30-80중량%의 화이트입자가 포함되는 것을 특징으로 하는 전기영동 표시소자 제조방법.
  17. 제12항에 있어서, 상기 전기영동층은 블랙 입자 및 분산매질을 포함하는 것을 특징으로 하는 전기영동 표시소자 제조방법.
  18. 제12항에 있어서, 상기 전기영동층을 상기 화소에 충진하는 방법은 잉크젯법, 스퀴즈법, 캐스팅인쇄법, 바코팅인쇄법, 스크린인쇄법, 몰드인쇄법중 선택되는 하나의 방법인 것을 특징으로 하는 전기영동 표시소자 제조방법.
  19. 제12항에 있어서, 상기 격벽을 형성하는 단계는,
    보호층 위에 절연층을 형성하는 단계; 및
    상기 절연층을 식각하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 전기영동 표시소자 제조방법.
  20. 제12항에 있어서, 상기 격벽을 형성하는 단계는,
    절연층을 적층하는 단계; 및
    화소에 대응하는 영역의 절연층을 설정 두께로 식각하여 보호층 및 격벽을 한꺼번에 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 전기영동 표시소자 제조방법.
  21. 제19항 또는 제20항에 있어서, 상기 격벽을 형성하는 단계는 상기 격벽을 드라이에칭하여 격벽 하부 영역에 언더컷을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 전기영동 표시소자 제조방법.
  22. 제12항에 있어서, 상기 화소전극 및 공통전극을 형성하는 단계는 보호층 및 언더컷이 형성된 격벽의 측벽과 상부에 도전물질을 적층하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 전기영동 표시소자 제조방법.
  23. 제12항에 있어서, 상기 제1기판의 격벽 상부에 대응하는 제2기판의 영역에 공통패드를 형성하는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 전기영동표시소자 제조방법.
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