KR20130007265A - Light emitting device and light emitting deivce package including the same - Google Patents

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KR20130007265A KR1020110064934A KR20110064934A KR20130007265A KR 20130007265 A KR20130007265 A KR 20130007265A KR 1020110064934 A KR1020110064934 A KR 1020110064934A KR 20110064934 A KR20110064934 A KR 20110064934A KR 20130007265 A KR20130007265 A KR 20130007265A
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Abstract

PURPOSE: A light emitting device and a light emitting device package including the same are provided to improve light extraction efficiency by arranging a micro lens array with a fill-factor on the surface of the light emitting structure. CONSTITUTION: A junction layer(150), a reflection layer(140) and an ohmic layer(130) are successively formed on a support substrate(160). A light emitting structure(120) is formed on the ohmic layer. The light emitting structure includes a first conductive semiconductor layer(122), an active layer(124), and a second conductive semiconductor layer(126). A micro lens array(170) is formed on the second conductive semiconductor layer. A first electrode(190) is formed on the micro lens array.

Description

발광소자 및 이를 포함하는 발광소자 패키지{Light emitting device and light emitting deivce package including the same}Light emitting device and light emitting device package including the same {Light emitting device and light emitting deivce package including the same}

실시예는 발광소자 패키지에 관한 것으로, 발광소자 패키지의 광추출효율을 향상시킨 것이다.The embodiment relates to a light emitting device package and improves light extraction efficiency of the light emitting device package.

반도체의 3-5족 또는 2-6족 화합물 반도체 물질을 이용한 발광 다이오드(Light Emitting Diode; LED)나 레이저 다이오드(Laser Diode; LD)와 같은 발광 소자는 박막 성장 기술 및 소자 재료의 개발로 적색, 녹색, 청색 및 자외선 등 다양한 색을 구현할 수 있으며, 형광 물질을 이용하거나 색을 조합함으로써 효율이 좋은 백색 광선도 구현이 가능하며, 형광등, 백열등 등 기존의 광원에 비해 저소비전력, 반영구적인 수명, 빠른 응답속도, 안전성, 환경친화성의 장점을 가진다.Light emitting devices such as light emitting diodes (LEDs) and laser diodes (LDs) using semiconductors of Group 3-5 or 2-6 compound semiconductor materials of semiconductors have been developed through the development of thin film growth technology and device materials. Various colors such as green, blue, and ultraviolet light can be realized, and efficient white light can be realized by using fluorescent materials or combining colors, and low power consumption, semi-permanent life, and quicker than conventional light sources such as fluorescent and incandescent lamps can be realized. It has the advantages of response speed, safety and environmental friendliness.

따라서, 발광 다이오드는 광 통신 수단의 송신 모듈, LCD(Liquid Crystal Display) 표시 장치의 백라이트를 구성하는 냉음극관(CCFL: Cold Cathode Fluorescence Lamp)을 대체하는 발광 다이오드 백라이트, 형광등이나 백열 전구를 대체할 수 있는 백색 발광 다이오드 조명 장치, 자동차 헤드 라이트 및 신호등에까지 응용이 확대되고 있다.Therefore, the light emitting diode can replace a light emitting diode backlight, a fluorescent lamp or an incandescent bulb which replaces a cold cathode fluorescent lamp (CCFL) constituting a backlight module of an optical communication means, a backlight of a liquid crystal display (LCD) display device. Applications are expanding to white light emitting diode lighting devices, automotive headlights and traffic lights.

실시예는 발광소자 패키지의 광추출효율을 향상시키고자 한다.The embodiment aims to improve the light extraction efficiency of the light emitting device package.

실시예는 제1 도전형 반도체층과 활성층 및 제2 도전형 반도체층을 포함하는 발광 구조물; 및 상기 발광 구조물의 위에 배치되는 마이크로 렌즈 어레이를 포함하고, 상기 마이크로 렌즈 어레이는, 곡률이 서로 다른 마이크로 렌즈를 적어도 하나 포함하는 발광소자를 제공한다.Embodiments include a light emitting structure including a first conductive semiconductor layer, an active layer, and a second conductive semiconductor layer; And a microlens array disposed on the light emitting structure, wherein the microlens array provides at least one microlens having different curvatures.

곡률이 서로 다른 마이크로 렌즈는, 가로 방향과 세로 방향 및 대각선 방향 중 어느 하나의 방향에 배치될 수 있다.Microlenses having different curvatures may be disposed in any one of a horizontal direction, a vertical direction, and a diagonal direction.

마이크로 렌즈 어레이는, 기저면의 높이가 서로 다른 마이크로 렌즈를 적어도 하나 포함할 수 있다.The micro lens array may include at least one micro lens having a different height of the base surface.

마이크로 렌즈 어레이는 크기가 서로 다른 마이크로 렌즈를 적어도 하나 포함할 수 있다.The micro lens array may include at least one micro lens having a different size.

마이크로 렌즈 어레이 내에서 각각의 마이크로 렌즈의 최고점은 동일할 수 있다.The peaks of each micro lens in the micro lens array may be the same.

마이크로 렌즈 어레이 내에서, 각각의 마이크로 렌즈는 서로 다른 차수를 갖는 다항식의 함수에 따라 배열될 수 있다.Within the micro lens array, each micro lens can be arranged as a function of a polynomial with different orders.

마이크로 렌즈 어레이는 높이가 서로 다른 마이크로 렌즈를 적어도 하나 포함할 수 있다.The micro lens array may include at least one micro lens having a different height.

다른 실시예는 패키지 몸체; 상기 패키지 몸체에 배치된 제1 리드 프레임과 제2 리드 프레임; 상기 패키지 몸체에 배치되고, 제1 리드 프레임 및 제2 리드 프레임과 전기적으로 연결되는 제1 항 내지 제6 항 중 어느 한 항의 발광소자; 및 상기 발광소자의 측면과 상부면을 둘러싸는 몰딩부를 포함하는 발광소자 패키지를 제공한다.Another embodiment includes a package body; A first lead frame and a second lead frame disposed on the package body; A light emitting device according to any one of claims 1 to 6 disposed on the package body and electrically connected to a first lead frame and a second lead frame; And a molding unit surrounding side and top surfaces of the light emitting device.

마이크로 렌즈 어레이는 상기 몰딩부의 상부에 배치될 수 있다.The micro lens array may be disposed on the molding part.

발광소자 패키지는 몰딩부 위에 배치되어 상기 발광소자로부터 출사되는 빛의 진로를 변경하는 렌즈를 더 포함하고, 상기 마이크로 렌즈 어레이는 상기 렌즈의 상부에 배치될 수 있다.The light emitting device package may further include a lens disposed on the molding part to change a path of light emitted from the light emitting device, and the micro lens array may be disposed on the lens.

실시예에 따른 발광소자와 발광소자 패키지는 발광 구조물 등의 표면에 완전 채움율을 갖는 마이크로 렌즈 어레이가 배치되어 광추출 효율을 상승시킬 수 있다.In the light emitting device and the light emitting device package according to the embodiment, a microlens array having a complete filling rate may be disposed on a surface of the light emitting structure, etc., to increase light extraction efficiency.

도 1은 발광소자의 일실시예를 나타낸 도면이고,
도 2는 발광소자의 다른 실시예를 나타낸 도면이고,
도 3은 발광소자 패키지의 일실시예를 나타낸 도면이고,
도 4는 도 1 내지 도 3의 마이크로 렌즈 어레이의 단면을 나타낸 도면이고,
도 5는 도 1 내지 도 3의 마이크로 렌즈 어레이의 평면을 나타낸 도면이고,
도 6은 도 1 내지 도 3의 마이크로 렌즈 어레이에서 각각의 마이크로 렌즈의 구조를 나타낸 도면이고,
도 7은 도 1 내지 도 3의 마이크로 렌즈 어레이 내에서 마이크로 렌즈의 배열을 나타낸 도면이고,
도 8 내지 도 12는 발광소자의 제조방법의 일실시예를 나타낸 도면이고,
도 13은 실시예에 따른 발광소자 패키지를 포함하는 조명장치의 일실시예의 분해 사시도이고,
도 14는 실시예에 따른 발광소자 패키지를 포함하는 표시장치의 일실시예를 나타낸 도면이다.
1 is a view showing an embodiment of a light emitting device,
2 is a view showing another embodiment of a light emitting device;
3 is a view showing an embodiment of a light emitting device package,
4 is a cross-sectional view of the microlens array of FIGS. 1 to 3;
5 is a plan view of the microlens array of FIGS. 1 to 3;
6 is a diagram illustrating the structure of each micro lens in the micro lens array of FIGS. 1 to 3;
7 is a diagram illustrating an arrangement of micro lenses in the micro lens array of FIGS. 1 to 3;
8 to 12 is a view showing an embodiment of a method of manufacturing a light emitting device,
13 is an exploded perspective view of an embodiment of a lighting device including a light emitting device package according to the embodiment;
14 is a view illustrating a display device including a light emitting device package according to an embodiment.

이하 상기의 목적을 구체적으로 실현할 수 있는 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 설명한다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

본 발명에 따른 실시 예의 설명에 있어서, 각 element의 " 상(위) 또는 하(아래)(on or under)"에 형성되는 것으로 기재되는 경우에 있어, 상(위) 또는 하(아래)(on or under)는 두개의 element가 서로 직접(directly)접촉되거나 하나 이상의 다른 element가 상기 두 element사이에 배치되어(indirectly) 형성되는 것을 모두 포함한다. 또한 “상(위) 또는 하(아래)(on or under)”으로 표현되는 경우 하나의 element를 기준으로 위쪽 방향 뿐만 아니라 아래쪽 방향의 의미도 포함할 수 있다.In the description of the embodiment according to the present invention, when described as being formed on the "on or under" of each element, the (up) or down (on) or under) includes both two elements being directly contacted with each other or one or more other elements are formed indirectly between the two elements. Also, when expressed as "on or under", it may include not only an upward direction but also a downward direction with respect to one element.

도면에서 각층의 두께나 크기는 설명의 편의 및 명확성을 위하여 과장되거나 생략되거나 또는 개략적으로 도시되었다. 또한 각 구성요소의 크기는 실제크기를 전적으로 반영하는 것은 아니다.The thickness and size of each layer in the drawings are exaggerated, omitted, or schematically shown for convenience and clarity of explanation. In addition, the size of each component does not necessarily reflect the actual size.

도 1은 발광소자의 일실시예를 나타낸 도면이다.1 is a view showing an embodiment of a light emitting device.

실시예에 따른 발광소자(100)는 도전성 지지기판(metal support, 160) 상에 접합층(150)과 반사층(140)과 오믹층(130)과 발광 구조물(120)과 마이크로 렌즈 어레이(Micro Lens Array, 170)을 포함하여 이루어진다.The light emitting device 100 according to the embodiment includes a bonding layer 150, a reflective layer 140, an ohmic layer 130, a light emitting structure 120, and a micro lens array on a conductive metal support 160. Array 170).

도전성 지지기판(160)은 제2 전극의 역할을 할 수 있으므로 전기 전도도가 우수한 금속을 사용할 수 있고, 발광 소자 작동시 발생하는 열을 충분히 발산시킬 수 있어야 하므로 열전도도가 높은 금속을 사용할 수 있다.Since the conductive support substrate 160 may serve as a second electrode, a metal having excellent electrical conductivity may be used, and a metal having high thermal conductivity may be used because it must be able to sufficiently dissipate heat generated when the light emitting device is operated.

상기 도전성 지지기판(160)은 몰리브덴(Mo), 실리콘(Si), 텅스텐(W), 구리(Cu) 및 알루미늄(Al)로 구성되는 군으로부터 선택되는 물질 또는 이들의 합금으로 이루어질 수 있으며, 또한, 금(Au), 구리합금(Cu Alloy), 니켈(Ni), 구리-텅스텐(Cu-W), 캐리어 웨이퍼(예: GaN, Si, Ge, GaAs, ZnO, SiGe, SiC, SiGe, Ga2O3 등) 등을 선택적으로 포함할 수 있다.The conductive support substrate 160 may be made of a material selected from the group consisting of molybdenum (Mo), silicon (Si), tungsten (W), copper (Cu), and aluminum (Al) or an alloy thereof. , Gold (Au), copper alloy (Cu Alloy), nickel (Ni), copper-tungsten (Cu-W), carrier wafers (e.g. GaN, Si, Ge, GaAs, ZnO, SiGe, SiC, SiGe, Ga 2 O 3, etc.) may be optionally included.

또한, 상기 도전성 지지기판(160)은 전체 질화물 반도체에 휨을 가져오지 않으면서, 스크라이빙(scribing) 공정 및 브레이킹(breaking) 공정을 통하여 별개의 칩으로 잘 분리시키기 위한 정도의 기계적 강도를 가질 수 있다.In addition, the conductive support substrate 160 may have a mechanical strength enough to be separated into a separate chip through a scribing process and a breaking process without bringing warpage to the entire nitride semiconductor. have.

접합층(150)은 상기 반사층(140)과 상기 도전성 지지기판(160)을 결합하며, 상기 반사층(140)이 결합층(adhesion layer)의 기능을 수행할 수도 있다. 상기 접합층은(150) 금(Au), 주석(Sn), 인듐(In), 알루미늄(Al), 실리콘(Si), 은(Ag), 니켈(Ni) 및 구리(Cu)로 구성되는 군으로부터 선택되는 물질 또는 이들의 합금으로 형성할 수 있다The bonding layer 150 may combine the reflective layer 140 and the conductive support substrate 160, and the reflective layer 140 may function as an adhesion layer. The bonding layer (150) is composed of gold (Au), tin (Sn), indium (In), aluminum (Al), silicon (Si), silver (Ag), nickel (Ni) and copper (Cu) It may be formed of a material selected from or alloys thereof.

상기 반사층(140)은 약 2500 옹스르통의 두께일 수 있다. 상기 반사층(140)은 알루미늄(Al), 은(Ag), 니켈(Ni), 백금(Pt), 로듐(Rh), 혹은 Al이나 Ag이나 Pt나 Rh를 포함하는 합금을 포함하는 금속층으로 이루어질 수 있다. 알루미늄이나 은 등은 활성층(124)에서 발생된 빛을 효과적으로 반사하여 발광소자의 광추출 효율을 크게 개선할 수 있다.The reflective layer 140 may be about 2500 angstroms thick. The reflective layer 140 may be formed of a metal layer including aluminum (Al), silver (Ag), nickel (Ni), platinum (Pt), rhodium (Rh), or an alloy containing Al, Ag, Pt, or Rh. have. Aluminum or silver may effectively reflect light generated from the active layer 124 to greatly improve the light extraction efficiency of the light emitting device.

상기 발광 구조물(120), 특히 상기 제2 도전형 반도체층(126)은 불순물 도핑 농도가 낮아 접촉 저항이 높으며 그로 인해 오믹 특성이 좋지 못할 수 있으므로, 이러한 오믹 특성을 개선하기 위해 오믹층(130)으로 투명 전극 등을 형성할 수 있다.Since the light emitting structure 120, in particular, the second conductive semiconductor layer 126 has a low impurity doping concentration and a high contact resistance, and thus may not have good ohmic characteristics, the ohmic layer 130 may be improved. Transparent electrodes and the like can be formed.

상기 오믹층(130)은 약 200 옹스트롱의 두께일 수 있다. 상기 오믹층(130)은 ITO(indium tin oxide), IZO(indium zinc oxide), IZTO(indium zinc tin oxide), IAZO(indium aluminum zinc oxide), IGZO(indium gallium zinc oxide), IGTO(indium gallium tin oxide), AZO(aluminum zinc oxide), ATO(antimony tin oxide), GZO(gallium zinc oxide), IZON(IZO Nitride), AGZO(Al-Ga ZnO), IGZO(In-Ga ZnO), ZnO, IrOx, RuOx, NiO, RuOx/ITO, Ni/IrOx/Au, 및 Ni/IrOx/Au/ITO, Ag, Ni, Cr, Ti, Al, Rh, Pd, Ir, Sn, In, Ru, Mg, Zn, Pt, Au, Hf 중 적어도 하나를 포함하여 형성될 수 있으며, 이러한 재료에 한정되는 않는다.The ohmic layer 130 may be about 200 angstroms thick. The ohmic layer 130 may be formed of indium tin oxide (ITO), indium zinc oxide (IZO), indium zinc tin oxide (IZTO), indium aluminum zinc oxide (IAZO), indium gallium zinc oxide (IGZO), and indium gallium tin (IGTO). oxide), aluminum zinc oxide (AZO), antimony tin oxide (ATO), gallium zinc oxide (GZO), IZO (IZO Nitride), AGZO (Al-Ga ZnO), IGZO (In-Ga ZnO), ZnO, IrOx, RuOx, NiO, RuOx / ITO, Ni / IrOx / Au, and Ni / IrOx / Au / ITO, Ag, Ni, Cr, Ti, Al, Rh, Pd, Ir, Sn, In, Ru, Mg, Zn, Pt At least one of Au, Hf, and the like may be formed, and the material is not limited thereto.

상기 발광 구조물(120)은 제1 도전형 반도체층(122)과 상기 제1 도전형 반도체층(122) 상에 형성되고 광을 방출하는 활성층(124)과 상기 활성층(124) 상에 형성된 제2 도전형 반도체층(126)을 포함한다.The light emitting structure 120 is formed on the first conductivity type semiconductor layer 122 and the first conductivity type semiconductor layer 122 and the active layer 124 for emitting light and the second layer formed on the active layer 124. And a conductive semiconductor layer 126.

상기 제1 도전형 반도체층(122)은 제1 도전형 도펀트가 도핑된 3족-5족 화합물 반도체로 구현될 수 있으며, 상기 제1 도전형 반도체층(122)이 N형 반도체층인 경우, 상기 제1도전형 도펀트는 N형 도펀트로서, Si, Ge, Sn, Se, Te를 포함할 수 있으나 이에 한정되지 않는다.The first conductivity type semiconductor layer 122 may be implemented as a group III-V compound semiconductor doped with a first conductivity type dopant, and when the first conductivity type semiconductor layer 122 is an N-type semiconductor layer, The first conductive dopant may be an N-type dopant and may include Si, Ge, Sn, Se, or Te, but is not limited thereto.

상기 제1 도전형 반도체층(122)은 AlxInyGa(1-x-y)N (0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1)의 조성식을 갖는 반도체 물질을 포함할 수 있다. 상기 제1 도전형 반도체층(122)은 GaN, InN, AlN, InGaN, AlGaN, InAlGaN, AlInN,AlGaAs, InGaAs, AlInGaAs, GaP, AlGaP, InGaP, AlInGaP, InP 중 어느 하나 이상으로 형성될 수 있다.The first conductive semiconductor layer 122 may be formed of a semiconductor material having a composition formula of Al x In y Ga (1-xy) N (0 ≦ x ≦ 1, 0 ≦ y ≦ 1, 0 ≦ x + y ≦ 1). It may include. The first conductive semiconductor layer 122 may be formed of any one or more of GaN, InN, AlN, InGaN, AlGaN, InAlGaN, AlInN, AlGaAs, InGaAs, AlInGaAs, GaP, AlGaP, InGaP, AlInGaP, InP.

활성층(124)은 제1 도전형 반도체층(122)을 통해서 주입되는 전자와 이후 형성되는 제2 도전형 반도체층(126)을 통해서 주입되는 정공이 서로 만나서 활성층(발광층) 물질 고유의 에너지 밴드에 의해서 결정되는 에너지를 갖는 빛을 방출하는 층이고, 활성층(124)에서 방출되는 빛은 가시광선 영역 외에 자외선 영역의 광이 방출될 수도 있다.In the active layer 124, electrons injected through the first conductive semiconductor layer 122 and holes injected through the second conductive semiconductor layer 126 formed thereafter meet each other to form an energy band unique to the active layer (light emitting layer) material. The layer may emit light having energy determined by the light, and the light emitted from the active layer 124 may emit light in the ultraviolet region in addition to the visible region.

상기 활성층(124)은 단일 양자 우물 구조, 다중 양자 우물 구조(MQW: Multi Quantum Well), 양자 선(Quantum-Wire) 구조, 또는 양자 점(Quantum Dot) 구조 중 적어도 어느 하나로 형성될 수 있다. 예를 들어, 상기 활성층(124)은 트리메틸 갈륨 가스(TMGa), 암모니아 가스(NH3), 질소 가스(N2), 및 트리메틸 인듐 가스(TMIn)가 주입되어 다중 양자우물구조가 형성될 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.The active layer 124 may be formed of at least one of a single quantum well structure, a multi quantum well structure (MQW), a quantum-wire structure, or a quantum dot structure. For example, the active layer 124 may be formed by injecting trimethyl gallium gas (TMGa), ammonia gas (NH 3 ), nitrogen gas (N 2 ), and trimethyl indium gas (TMIn) to form a multi-quantum well structure. It is not limited to this.

상기 활성층(124)의 우물층/장벽층은 InGaN/GaN, InGaN/InGaN, GaN/AlGaN, InAlGaN/GaN, GaAs(InGaAs)/AlGaAs, GaP(InGaP)/AlGaP 중 어느 하나 이상의 페어 구조로 형성될 수 있으나 이에 한정되지 않는다. 상기 우물층은 상기 장벽층의 밴드 갭보다 낮은 밴드 갭을 갖는 물질로 형성될 수 있다.The well layer / barrier layer of the active layer 124 is formed of one or more pair structures of InGaN / GaN, InGaN / InGaN, GaN / AlGaN, InAlGaN / GaN, GaAs (InGaAs) / AlGaAs, GaP (InGaP) / AlGaP. But it is not limited thereto. The well layer may be formed of a material having a lower band gap than the band gap of the barrier layer.

상기 활성층(124)의 위 또는/및 아래에는 도전형 클래드층(미도시)이 형성될 수 있다. 상기 도전형 클래드층은 AlGaN계 반도체로 형성될 수 있으며, 상기 활성층(164)의 밴드 갭보다는 높은 밴드 갭을 갖을 수 있다.A conductive cladding layer (not shown) may be formed on or under the active layer 124. The conductive clad layer may be formed of an AlGaN-based semiconductor, and may have a higher band gap than the band gap of the active layer 164.

상기 제2 도전형 반도체층(126)은 제2 도전형 도펀트가 도핑된 3족-5족 화합물 반도체 예컨대, InxAlyGa1 -x- yN (0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1)의 조성식을 갖는 반도체 물질을 포함할 수 있다. 상기 제2 도전형 반도체층(126)이 P형 반도체층인 경우, 상기 제2도전형 도펀트는 P형 도펀트로서, Mg, Zn, Ca, Sr, Ba 등을 포함할 수 있다.The second conductive type semiconductor layer 126 is a second conductive type dopant is doped III-V compound semiconductor, for example -5, In x Al y Ga 1 -x- y N (0≤x≤1, 0≤y≤ And 1, 0 ≦ x + y ≦ 1). When the second conductive semiconductor layer 126 is a P-type semiconductor layer, the second conductive dopant may include Mg, Zn, Ca, Sr, Ba, and the like as a P-type dopant.

한편, 상기 제1 도전형 반도체층(122)이 p형 반도체층을 포함하고 상기 제2 도전형 반도체층(126)이 n형 반도체층을 포함할 수도 있다.Meanwhile, the first conductive semiconductor layer 122 may include a p-type semiconductor layer, and the second conductive semiconductor layer 126 may include an n-type semiconductor layer.

발광 구조물(120)의 표면에는 제1 전극(190)이 형성될 수 있는데, 알루미늄(Al), 티타늄(Ti), 크롬(Cr), 니켈(Ni), 구리(Cu), 금(Au) 중 적어도 하나를 포함하여 단층 또는 다층 구조로 형성될 수 있다.The first electrode 190 may be formed on a surface of the light emitting structure 120, among aluminum (Al), titanium (Ti), chromium (Cr), nickel (Ni), copper (Cu), and gold (Au). It may be formed in a single layer or a multi-layer structure, including at least one.

그리고, 상기 발광 구조물(120)의 표면, 즉 제1 도전형 반도체층(122)의 표면에는 요철(미도시)이 형성되어, 광추출 효율을 높일 수 있다. 그리고, 발광 구조물(120)의 표면에는 마이크로 렌즈 어레이(170)이 형성되어 발광소자의 광출사각을 넓힐 수 있다.In addition, irregularities (not shown) are formed on the surface of the light emitting structure 120, that is, the surface of the first conductivity-type semiconductor layer 122, thereby increasing light extraction efficiency. In addition, the microlens array 170 may be formed on the surface of the light emitting structure 120 to widen the light emission angle of the light emitting device.

도 4는 도 1 내지 도 3의 마이크로 렌즈 어레이의 단면을 나타낸 도면이고, 도 5는 도 1 내지 도 3의 마이크로 렌즈 어레이의 평면을 나타낸 도면이고, 도 6은 도 1 내지 도 3의 마이크로 렌즈 어레이에서 각각의 마이크로 렌즈의 구조를 나타낸 도면이고, 도 7은 도 1 내지 도 3의 마이크로 렌즈 어레이 내에서 마이크로 렌즈의 배열을 나타낸 도면이다.4 is a cross-sectional view of the microlens array of FIGS. 1 to 3, FIG. 5 is a plan view of the microlens array of FIGS. 1 to 3, and FIG. 6 is a microlens array of FIGS. Is a view showing the structure of each micro lens, Figure 7 is a view showing the arrangement of the micro lens in the micro lens array of Figs.

이하에서, 도 4 내지 도 7을 참조하여 상기의 마이크로 렌즈 어레이의 구조를 상세히 설명한다. 마이크로 렌즈 어레이 내에 포함된 마이크로 렌즈의 개수는 설명에 한정하지는 않는다.Hereinafter, the structure of the micro lens array will be described in detail with reference to FIGS. 4 to 7. The number of micro lenses included in the micro lens array is not limited to the description.

마이크로 렌즈는 베이스층(미도시) 위에 복수 개의 마이크로 렌즈가 배치되는데, 각각의 마이크로 렌즈의 곡률이 동일하지 않을 수 있다. 도 4에서 마이크로 렌즈 어레이(170)는 5개의 마이크로 렌즈(a, b, c, d, e)로 이루어지는데, 각각의 마이크로 렌즈(a, b, c, d, e)의 곡률이 서로 다르게 배치되어 있다.In the microlens, a plurality of microlenses are disposed on a base layer (not shown), and the curvature of each microlens may not be the same. In FIG. 4, the microlens array 170 includes five microlenses a, b, c, d, and e, and the curvatures of the microlenses a, b, c, d, and e are different from each other. It is.

그리고, 도 5에서 마이크로 렌즈 어레이(170)에 4개의 마이크로 렌즈(a, b, c, d)가 배치되어 있고, 각각의 마이크로 렌즈(a, b, c, d)의 크기가 서로 다르게 배치되어 있다. 여기서, 마이크로 렌즈의 크기는 원형의 마이크로 렌즈(a, b, c, d)의 직경을 의미하며, 만약 마이크로 렌즈가 사각형 또는 다각형이면 한 변의 길이나 대각선의 길이를 의미할 수 있다.In FIG. 5, four micro lenses a, b, c, and d are disposed in the micro lens array 170, and sizes of the micro lenses a, b, c, and d are different from each other. have. Here, the size of the micro lens means the diameter of the circular micro lens (a, b, c, d), and if the micro lens is a square or polygon may mean the length of one side or the diagonal.

도 5에서, 곡률을 갖는 각각의 마이크로 렌즈(a, b, c, d) 사이의 공간은 베이스층일 수 있으며, 빗금으로 표시되어 있다.In FIG. 5, the space between each of the microlenses a, b, c, d with curvature may be a base layer, indicated by hatched lines.

도 6에서 인접한 3개의 마이크로 렌즈(a, b, c)의 표면이 도시되어 있다. 점선으로 표시된 선이 각각의 마이크로 렌즈(a, b, c,)의 표면이고, 실선은 각각의 마이크로 렌즈(a, b, c)의 형상을 비교하기 위한 가상의 선이다.In FIG. 6 the surfaces of three adjacent micro lenses a, b, c are shown. The line indicated by the dotted line is the surface of each micro lens a, b, c, and the solid line is an imaginary line for comparing the shape of each micro lens a, b, c.

각각의 마이크로 렌즈(a, b, c)는 서로 동일한 최고점을 가지나, 최저점은 서로 다르며, 곡률도 서로 다르다. 마이크로 렌즈(a, b, c)의 최저점으로부터 최고점까지의 높이(ha, hb, hc)도 서로 다를 수 있다. 여기서, 마이크로 렌즈의 최저점은 각각의 마이크로 렌즈(a, b, c)의 최저 높이를 뜻하며, 도 5에서는 원형으로 표시되고, 최저점을 연결한 가상의 평면을 기저면이라 할 수 있다.Each of the microlenses a, b, and c has the same highest point, but the lowest point is different and the curvature is different. The heights h a , h b , h c from the lowest point to the highest point of the microlenses a, b, and c may also be different. Here, the lowest point of the microlens refers to the lowest height of each microlens (a, b, c). In FIG. 5, the lowest point is a circle, and a virtual plane connecting the lowest point may be referred to as a base plane.

도 7은 곡률 내지 크기가 서로 다른 마이크로 렌즈(a 내지 k)의 배열이 도시되고 있다. 각각의 마이크로 렌즈(a 내지 k)는 가로 방향(x)과 세로 방향(y) 및 대각선 방향(z)으로 배치될 수 있다.7 shows an arrangement of micro lenses a to k having different curvatures to sizes. Each of the micro lenses a to k may be disposed in the horizontal direction x, the vertical direction y, and the diagonal direction z.

그리고, 도 7에서 가로 방향(x)과 세로 방향(y) 및 대각선 방향(z)으로 각각의 마이크로 렌즈(a 내지 k)가 일정한 순서로 배열되지 않고, 서로 다른 차수를 갖는 다항식의 함수에 따라 배열될 수 있다.In FIG. 7, the microlenses a to k are not arranged in a constant order in the horizontal direction x, the vertical direction y, and the diagonal direction z, and according to a function of a polynomial having different orders. Can be arranged.

예를 들어, 가로 방향(x)으로 각각의 마이크로 렌즈의 위치는 x=a1xn+a2xn -1+...+an의 함수에 따라 결정될 수 있다. 여기서, n은 1 이상의 정수이고, a,x 값의 변화에 따라서 마이크로 렌즈의 위치가 결정되며, 결정된 값의 위치에 마이크로 렌즈의 중심 영역이 위치하게 된다.For example, the position of each micro lens in the horizontal direction x may be determined as a function of x = a 1 x n + a 2 x n −1 + ... + a n . Here, n is an integer of 1 or more, the position of the microlens is determined according to the change of the a, x value, and the center region of the microlens is located at the position of the determined value.

상술한 서로 다른 곡률과 크기를 갖는 복수 개의 마이크로 렌즈를 상기의 다항식에 따라 배열하여 마이크로 렌즈 어레이가 완전 채움율(Fill factor)을 가질 수 있는데, 이러한 빽빽한 구조의 마이크로 렌즈 어레이는 발광소자 표면으로부터 방출되는 빛의 출사 효율을 향상시킬 수 있다.By arranging a plurality of microlenses having different curvatures and sizes as described above according to the polynomial, the microlens array may have a fill factor. The dense microlens array emits light from the surface of the light emitting device. It is possible to improve the emission efficiency of the light.

그리고, 상기 발광 구조물(120)의 측면에는 패시베이션층(passivation layer, 180)이 형성되는데, 마이크로 렌즈 어레이(170)의 측면에도 형성될 수 있다.In addition, a passivation layer 180 is formed on a side surface of the light emitting structure 120, and may also be formed on a side surface of the micro lens array 170.

상기 패시베이션층(180)은 절연물질로 이루어질 수 있으며, 상기 절연물질은 비전도성인 산화물이나 질화물로 이루어질 수 있다. 일 예로서, 상기 패시베이션층(180)은 실리콘 산화물(SiO2)층, 산화 질화물층, 산화 알루미늄층으로 이루어질 수 있다.The passivation layer 180 may be made of an insulating material, and the insulating material may be made of an oxide or nitride which is non-conductive. As an example, the passivation layer 180 may be formed of a silicon oxide (SiO 2 ) layer, an oxynitride layer, and an aluminum oxide layer.

도 2는 발광소자의 다른 실시예를 나타낸 도면이다.2 is a view showing another embodiment of a light emitting device.

도 2는 수평형 발광소자를 도시하고 있는데, 제2 도전형 반도체층(126)과 활성층(124) 그리고, 제1 도전형 반도체층(122)의 일부 영역까지 메사 식각하여 상기 제1 도전형 반도체층(122)의 일부를 노출시킨다. 즉, 절연성 물질로 기판(110)을 형성할 때, 제1 도전형 반도체층(162)의 일부 영역에 전류를 공급하기 위하여 전극이 형성될 공간을 확보하기 위함이다.FIG. 2 illustrates a horizontal light emitting device. The first conductive semiconductor is mesa-etched to a part of the second conductive semiconductor layer 126, the active layer 124, and a portion of the first conductive semiconductor layer 122. A portion of layer 122 is exposed. That is, when the substrate 110 is formed of an insulating material, it is to secure a space where an electrode is to be formed to supply a current to a portion of the first conductivity-type semiconductor layer 162.

기판(110)과 발광 구조물(120)의 사이에는 버퍼층(115)이 형성될 수 있는데, 버퍼층(115)은 후술할 발광 구조물(120)과 기판(110) 사이의 재료의 격자 부정합 및 열 팽창 계수의 차이를 완화하기 위한 것이다. 상기 버퍼층(115)의 재료는 3족-5족 화합물 반도체 예컨대, GaN, InN, AlN, InGaN, AlGaN, InAlGaN, AlInN 중 적어도 하나로 형성될 수 있다.A buffer layer 115 may be formed between the substrate 110 and the light emitting structure 120. The buffer layer 115 may have a lattice mismatch and thermal expansion coefficient of a material between the light emitting structure 120 and the substrate 110, which will be described later. To alleviate the difference. The material of the buffer layer 115 may be formed of at least one of Group III-V compound semiconductors, for example, GaN, InN, AlN, InGaN, AlGaN, InAlGaN, and AlInN.

발광 구조물(120)의 상부에는 마이크로 렌즈 어레이(170)가 배치되어 있으며, 구체적인 구성은 상술한 바와 같다.The micro lens array 170 is disposed on the light emitting structure 120, and the detailed configuration thereof is as described above.

그리고, 제2 도전형 반도체층(126)과 노출된 제1 도전형 반도체층(122) 각각에 제2 전극(195)과 제1 전극(190)이 배치된다. 상기 제1 전극(190)과 제2 전극(195)은 알루미늄(Al), 티타늄(Ti), 크롬(Cr), 니켈(Ni), 구리(Cu), 금(Au) 중 적어도 하나를 포함하여 단층 또는 다층 구조로 형성될 수 있다.The second electrode 195 and the first electrode 190 are disposed on each of the second conductive semiconductor layer 126 and the exposed first conductive semiconductor layer 122. The first electrode 190 and the second electrode 195 include at least one of aluminum (Al), titanium (Ti), chromium (Cr), nickel (Ni), copper (Cu), and gold (Au). It may be formed in a single layer or a multilayer structure.

도 3은 발광소자 패키지의 일실시예를 나타낸 도면이다.3 is a view showing an embodiment of a light emitting device package.

실시예에 따른 발광소자 패키지(200)는 캐비티를 포함하는 몸체(210)와, 상기 몸체(210)에 설치된 제1 리드 프레임(Lead Frame, 221) 및 제2 리드 프레임(222)과, 상기 몸체(210)에 설치되어 상기 제1 리드 프레임(221) 및 제2 리드 프레임(222)과 전기적으로 연결되는 상술한 실시예들에 따른 발광 소자(100)와, 상기 캐비티에 형성된 몰딩부(250)를 포함한다.The light emitting device package 200 according to the embodiment includes a body 210 including a cavity, a first lead frame 221 and a second lead frame 222 installed on the body 210, and the body. The light emitting device 100 according to the above-described embodiments installed in the 210 and electrically connected to the first lead frame 221 and the second lead frame 222, and the molding part 250 formed in the cavity. It includes.

상기 몸체(210)는 PPA 수지, 실리콘 재질, 합성수지 재질, 또는 금속 재질을 포함하여 형성될 수 있다. 상기 몸체(210)가 금속 재질 등 도전성 물질로 이루어지면, 도시되지는 않았으나 상기 몸체(210)의 표면에 절연층이 코팅되어 상기 제1,2 리드 프레임(221, 222) 간의 전기적 단락을 방지할 수 있다.The body 210 may include a PPA resin, a silicon material, a synthetic resin material, or a metal material. When the body 210 is made of a conductive material such as a metal material, an insulating layer is coated on the surface of the body 210 to prevent an electrical short between the first and second lead frames 221 and 222 .

상기 제1 리드 프레임(221) 및 제2 리드 프레임(222)은 서로 전기적으로 분리되며, 상기 발광 소자(100)에 전류를 공급한다. 또한, 상기 제1 리드 프레임(221) 및 제2 리드 프레임(222)은 상기 발광 소자(100)에서 발생된 광을 반사시켜 광 효율을 증가시킬 수 있으며, 상기 발광 소자(100)에서 발생된 열을 외부로 배출시킬 수도 있다.The first lead frame 221 and the second lead frame 222 are electrically separated from each other, and supplies a current to the light emitting device 100. In addition, the first lead frame 221 and the second lead frame 222 may increase the light efficiency by reflecting the light generated by the light emitting device 100, heat generated by the light emitting device 100 Can be discharged to the outside.

상기 발광 소자(100)는 상기 몸체(210) 상에 설치되거나 상기 제1 리드 프레임(221) 또는 제2 리드 프레임(222) 상에 설치될 수 있다. 본 실시예에서는 제1 리드 프레임(221)과 발광소자(100)가 도전성 접착층(230)을 통하여 통전되고, 제2 리드 프레임(222)과 상기 발광소자(100)는 와이어(240)를 통하여 연결되어 있다. 발광소자(100)는 와이어 본딩 방식 외에 플립칩 방식 또는 다이 본딩 방식 등에 의하여 리드 프레임(221, 222)과 연결될 수 있다.The light emitting device 100 may be installed on the body 210 or on the first lead frame 221 or the second lead frame 222. In the present exemplary embodiment, the first lead frame 221 and the light emitting device 100 are energized through the conductive adhesive layer 230, and the second lead frame 222 and the light emitting device 100 are connected through a wire 240. It is. The light emitting device 100 may be connected to the lead frames 221 and 222 by a flip chip method or a die bonding method in addition to the wire bonding method.

상기 몰딩부(250)는 상기 발광 소자(100)를 포위하여 보호할 수 있다. 또한, 상기 몰딩부(250) 내에는 형광체(260)이 포함되어 있는데, 형광체(260)는 상기 몰딩부(250)와 별개의 층으로 컨포멀(Conformal) 코팅될 수도 있다.The molding part 250 may surround and protect the light emitting device 100. In addition, a phosphor 260 is included in the molding part 250, and the phosphor 260 may be conformally coated in a separate layer from the molding part 250.

발광소자(100)에서 방출된 제1 파장 영역의 광이 상기 형광체(260)에 의하여 여기되어 제2 파장 영역의 광으로 변환되고, 상기 제2 파장 영역의 광은 렌즈(미도시)를 통과하면서 광경로가 변경될 수 있다.The light of the first wavelength region emitted from the light emitting device 100 is excited by the phosphor 260 and converted into the light of the second wavelength region, and the light of the second wavelength region passes through the lens (not shown). The light path can be changed.

그리고, 몰딩부(2500의 상부에는 마이크로 렌즈 어레이(270)가 배치되는데, 마이크로 렌즈 어레이의 구성은 상술한 바와 동일하다. 도시되지는 않았으나, 광지향각을 조절하기 위하여 몰딩부(250) 위에 렌즈가 구비될 수 있고, 이때 마이크로 렌즈 어레이는 렌즈의 표면에 배치될 수도 있다.In addition, a micro lens array 270 is disposed on the molding unit 2500, and the configuration of the micro lens array is the same as described above. May be provided, wherein the micro lens array may be disposed on the surface of the lens.

실시 예에 따른 발광소자 패키지는 복수 개가 기판 상에 어레이되며, 상기 발광소자 패키지의 광 경로 상에 광학 부재인 도광판, 프리즘 시트, 확산 시트 등이 배치될 수 있다. 이러한 발광소자 패키지, 기판, 광학 부재는 라이트 유닛으로 기능할 수 있다. 또 다른 실시 예는 상술한 실시 예들에 기재된 반도체 발광소자 또는 발광소자 패키지를 포함하는 표시 장치, 지시 장치, 조명 시스템으로 구현될 수 있으며, 예를 들어, 조명 시스템은 램프, 가로등을 포함할 수 있다.A plurality of light emitting device packages according to the embodiment may be arranged on a substrate, and a light guide plate, a prism sheet, a diffusion sheet, or the like, which is an optical member, may be disposed on an optical path of the light emitting device package. Such a light emitting device package, a substrate, and an optical member can function as a light unit. Another embodiment may be implemented as a display device, an indicator device, or a lighting system including the semiconductor light emitting device or the light emitting device package described in the above embodiments, and for example, the lighting system may include a lamp or a street lamp. .

마이크로 렌즈 어레이를 발광소자 패키지의 몰딩부나 렌즈의 표면에 배치할 때는 완성된 발광소자 패키지 위에 마이크로 렌즈 어레이를 결합시킬 수 있으나, 발광소자의 발광 구조물의 표면에 증착할 때는 아래의 순서에 따른다.When the microlens array is disposed on the molding part of the light emitting device package or the surface of the lens, the microlens array may be coupled onto the completed light emitting device package.

도 8 내지 도 12는 발광소자의 제조방법의 일실시예를 나타낸 도면이다.8 to 12 illustrate an embodiment of a method of manufacturing a light emitting device.

먼저, 도 8에 도시된 바와 같이, 기판(110) 상에 버퍼층(115) 및 제1 도전형 반도체층(122), 활성층(124) 및 제2 도전형 반도체층(126)을 포함하는 발광 구조물(126)을 성장시킨다.First, as shown in FIG. 8, a light emitting structure including a buffer layer 115, a first conductivity type semiconductor layer 122, an active layer 124, and a second conductivity type semiconductor layer 126 on a substrate 110. Grow 126.

상기 발광 구조물(126)은 예를 들어, 유기금속 화학 증착법(MOCVD; Metal Organic Chemical Vapor Deposition), 화학 증착법(CVD; Chemical Vapor Deposition), 플라즈마 화학 증착법(PECVD; Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition), 분자선 성장법(MBE; Molecular Beam Epitaxy), 수소화물 기상 성장법(HVPE; Hydride Vapor Phase Epitaxy) 등의 방법을 이용하여 형성될 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다.The light emitting structure 126 may be formed of, for example, a metal organic chemical vapor deposition (MOCVD), a chemical vapor deposition (CVD), a plasma chemical vapor deposition (PECVD), or a molecular beam. Molecular Beam Epitaxy (MBE), Hydride Vapor Phase Epitaxy (HVPE), etc. may be formed using, but is not limited thereto.

상기 기판(110)은 전도성 기판 또는 절연성 기판을 포함하며, 예컨대 사파이어(Al2O3), SiC, GaAs, GaN, ZnO, Si, GaP, InP, Ge, and Ga203 중 적어도 하나를 사용할 수 있다. 상기 기판(110) 위에는 요철 구조가 형성될 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다. 상기 기판(110)에 대해 습식세척을 하여 표면의 불순물을 제거할 수 있다.The substrate 110 may include a conductive substrate or an insulating substrate. For example, at least one of sapphire (Al 2 O 3 ), SiC, GaAs, GaN, ZnO, Si, GaP, InP, Ge, and Ga 2 0 3 may be used. Can be. An uneven structure may be formed on the substrate 110, but is not limited thereto. Impurities on the surface may be removed by wet cleaning the substrate 110.

상기 발광구조물과 기판(110) 사이에는 버퍼층(미도시)을 성장시킬 수 있는데, 재료의 격자 부정합 및 열 팽창 계수의 차이를 완화하기 위한 것이다. 상기 버퍼층의 재료는 3족-5족 화합물 반도체 예컨대, GaN, InN, AlN, InGaN, AlGaN, InAlGaN, AlInN 중 적어도 하나로 형성될 수 있다. 상기 버퍼층 위에는 언도프드(undoped) 반도체층이 형성될 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다.A buffer layer (not shown) may be grown between the light emitting structure and the substrate 110 to alleviate the difference in lattice mismatch and thermal expansion coefficient of the material. The material of the buffer layer may be formed of at least one of Group III-V compound semiconductors such as GaN, InN, AlN, InGaN, AlGaN, InAlGaN, and AlInN. An undoped semiconductor layer may be formed on the buffer layer, but the present invention is not limited thereto.

상기 발광 구조물은, MOCVD(Metal Organic Chemical Vapor Deposition), MBE(Molecular Beam Epitaxy), HVPE(Hydride Vapor Phase Epitaxy)법과 같은 기상 증착법에 의해 성장될 수 있다.The light emitting structure may be grown by vapor deposition such as metal organic chemical vapor deposition (MOCVD), molecular beam epitaxy (MBE), and hydraulic vapor phase epitaxy (HVPE).

상기 제1 도전형 반도체층(122)의 조성은 상술한 바와 동일하며, 화학증착방법(CVD) 혹은 분자선 에피택시 (MBE) 혹은 스퍼터링 혹은 수산화물 증기상 에피택시(HVPE) 등의 방법을 사용하여 N형 GaN층을 형성할 수 있다. 또한, 상기 제1 도전형 반도체층(110)은 챔버에 트리메틸 갈륨 가스(TMGa), 암모니아 가스(NH3), 질소 가스(N2), 및 실리콘(Si)와 같은 n 형 불순물을 포함하는 실란 가스(SiH4)가 주입되어 형성될 수 있다.The composition of the first conductive semiconductor layer 122 is the same as described above, and using N, using a chemical vapor deposition method (CVD), molecular beam epitaxy (MBE) or sputtering or hydroxide vapor phase epitaxy (HVPE), etc. A type GaN layer can be formed. In addition, the first conductive semiconductor layer 110 may include a silane including n-type impurities such as trimethyl gallium gas (TMGa), ammonia gas (NH 3 ), nitrogen gas (N 2 ), and silicon (Si) in the chamber. The gas SiH 4 may be injected and formed.

상기 활성층(124)의 조성은 상술한 바와 동일하며, 예를 들어 상기 트리메틸 갈륨 가스(TMGa), 암모니아 가스(NH3), 질소 가스(N2), 및 트리메틸 인듐 가스(TMIn)가 주입되어 다중 양자우물구조가 형성될 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.The active layer 124 has the same composition as described above. For example, the trimethyl gallium gas (TMGa), ammonia gas (NH 3 ), nitrogen gas (N 2 ), and trimethyl indium gas (TMIn) are injected to form A quantum well structure may be formed, but is not limited thereto.

상기 제2 도전형 반도체층(126)의 조성은 상술한 바와 동일하며, 챔버에 트리메틸 갈륨 가스(TMGa), 암모니아 가스(NH3), 질소 가스(N2), 및 마그네슘(Mg)과 같은 p 형 불순물을 포함하는 비세틸 사이클로 펜타디에닐 마그네슘(EtCp2Mg){Mg(C2H5C5H4)2}가 주입되어 p형 GaN층이 형성될 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.The second conductivity-type semiconductor layer 126 has the same composition as described above, and in the chamber, p such as trimethyl gallium gas (TMGa), ammonia gas (NH 3 ), nitrogen gas (N 2 ), and magnesium (Mg) Bicetyl cyclopentadienyl magnesium (EtCp 2 Mg) {Mg (C 2 H 5 C 5 H 4 ) 2 } containing a type impurity may be implanted to form a p-type GaN layer, but is not limited thereto.

그리고, 도 9에 도시된 바와 같이 발광 구조물(120) 위에 오믹층(130)과 반사층(140)을 형성할 수 있다. 상기 오믹층(130)과 반사층(140)의 조성은 상술한 바와 같으며, 스퍼터링법이나 전자빔 증착법에 의하여 형성될 수 있다.As illustrated in FIG. 9, an ohmic layer 130 and a reflective layer 140 may be formed on the light emitting structure 120. The composition of the ohmic layer 130 and the reflective layer 140 is as described above, and may be formed by sputtering or electron beam deposition.

상기 활성층(124)에서 자외선을 방출할 경우 오믹층(130)에 ITO를 사용하면 자외선의 투과효율이 좋지 않을 수 있으며, 오믹층(130)을 Ni/Au로 형성할 수 있다.When ITO is used for the ohmic layer 130 when the active layer 124 emits ultraviolet rays, the UV transmission efficiency may not be good, and the ohmic layer 130 may be formed of Ni / Au.

그리고, 도 10에 도시된 바와 같이 반사층(140) 상에 접합층(150)과 도전성 지지기판(160)을 형성할 수 있다. 상기 도전성 지지기판(160)을 형성시키는 방법은 전기화학적인 금속증착방법이나 유테틱(Eutetic) 메탈을 이용한 본딩 방법 등을 사용하거나, 별도의 접합층(160)을 형성할 수 있다.10, the bonding layer 150 and the conductive support substrate 160 may be formed on the reflective layer 140. The conductive support substrate 160 may be formed using an electrochemical metal deposition method, a bonding method using an etchant metal, or a separate bonding layer 160.

그리고, 도 11에 도시된 바와 같이 상기 기판(110)을 분리하다. 상기 기판(110)의 제거는 엑시머 레이저 등을 이용한 레이저 리프트 오프(Laser Lift Off: LLO)의 방법으로 할 수도 있으며, 건식 및 습식 식각의 방법으로 할 수도 있다.Then, the substrate 110 is separated as shown in FIG. 11. The substrate 110 may be removed by a laser lift off (LLO) method using an excimer laser or the like, or may be a method of dry and wet etching.

레이저 리프트 오프법을 예로 들면, 상기 기판(110) 방향으로 일정 영역의 파장을 가지는 엑시머 레이저 광을 포커싱(focusing)하여 조사하면, 상기 기판(110)과 발광 구조물(120)의 경계면에 열 에너지가 집중되어 경계면이 갈륨과 질소 분자로 분리되면서 레이저 광이 지나가는 부분에서 순간적으로 기판(110)과 버퍼층(115)의 분리가 일어난다.For example, when the laser lift-off method focuses and irradiates excimer laser light having a predetermined wavelength in the direction of the substrate 110, heat energy is applied to the interface between the substrate 110 and the light emitting structure 120. As the interface is concentrated and separated into gallium and nitrogen molecules, separation of the substrate 110 and the buffer layer 115 occurs at a portion where the laser light passes.

도시되지는 않았으나, 발광 구조물(120)의 표면, 즉 제1 도전형 반도체층(122)의 표면을 식각하여 요철 구조를 형성할 수 있으며, 발광구조물(120)의 측면에 패시베이션층을 증착하고, 발광 구조물(120)의 표면에 제1 전극을 형성할 수 있다.Although not shown, an uneven structure may be formed by etching the surface of the light emitting structure 120, that is, the surface of the first conductivity-type semiconductor layer 122, and depositing a passivation layer on the side of the light emitting structure 120, The first electrode may be formed on the surface of the light emitting structure 120.

도 12에서 발광 구조물(120)의 표면, 즉 제1 도전형 반도체층(122)의 위에 마이크로 렌즈 어레이(MLA)를 형성한다. 이때, 마이크로 렌즈 어레이의 재료를 발광 구조물(120)의 상부에 패턴을 갖도록 증착할 수 있다.In FIG. 12, the micro lens array MLA is formed on the surface of the light emitting structure 120, that is, on the first conductivity type semiconductor layer 122. In this case, the material of the micro lens array may be deposited to have a pattern on the light emitting structure 120.

상술한 공정에 따른 발광소자는 발광 구조물 표면의 마이크로 렌즈 어레이에서 빛의 출사 효율을 높여줄 수 있으며, 발광 구조물의 표면에 요철 구조를 형성하지 않고도 완전 채움율을 갖는 마이크로 렌즈 어레이에 의하여 광추출 효율을 상승시킬 수 있다.The light emitting device according to the above process can increase the light emission efficiency of the microlens array on the surface of the light emitting structure, and the light extraction efficiency by the microlens array having a full filling rate without forming the uneven structure on the surface of the light emitting structure. Can be raised.

이하에서는 상술한 발광소자 패키지가 배치된 조명 시스템의 일실시예로서, 조명장치와 백라이트 유닛을 설명한다.Hereinafter, an illumination device and a backlight unit will be described as an embodiment of a lighting system in which the above-described light emitting device package is disposed.

도 13은 발광소자 패키지가 배치된 조명장치의 일실시예를 나타낸 도면이다.FIG. 13 is a diagram illustrating an embodiment of a lighting apparatus in which a light emitting device package is disposed.

실시예에 따른 조명 장치는 광을 투사하는 광원(600)과 상기 광원(600)이 내장되는 하우징(400)과 상기 광원(600)의 열을 방출하는 방열부(500) 및 상기 광원(600)과 방열부(500)를 상기 하우징(400)에 결합하는 홀더(700)를 포함하여 이루어진다.The lighting apparatus according to the embodiment includes a light source 600 for projecting light, a housing 400 in which the light source 600 is embedded, a heat dissipation part 500 for dissipating heat from the light source 600, and the light source 600. And a holder 700 for coupling the heat dissipation part 500 to the housing 400.

상기 하우징(400)은 전기 소켓(미도시)에 결합되는 소켓 결합부(410)와, 상기 소켓결합부(410)와 연결되고 광원(600)이 내장되는 몸체부(420)를 포함한다. 몸체부(420)에는 하나의 공기유동구(430)가 관통하여 형성될 수 있다.The housing 400 includes a socket coupling part 410 coupled to an electric socket and a body part 420 connected to the socket coupling part 410 and having a light source 600 embedded therein. One air flow port 430 may be formed in the body portion 420.

상기 하우징(400)의 몸체부(420) 상에 복수 개의 공기유동구(430)가 구비되어 있는데, 상기 공기유동구(430)는 하나의 공기유동구로 이루어지거나, 복수 개의 유동구를 도시된 바와 같은 방사상 배치 이외의 다양한 배치도 가능하다.A plurality of air flow port 430 is provided on the body portion 420 of the housing 400, wherein the air flow port 430 is composed of one air flow port, or a plurality of flow ports as shown in the radial arrangement Various other arrangements are also possible.

상기 광원(600)은 회로 기판(610) 상에 복수 개의 상술한 발광소자 패키지(650)가 구비된다. 여기서, 상기 회로 기판(610)은 상기 하우징(400)의 개구부에 삽입될 수 있는 형상일 수 있으며, 후술하는 바와 같이 방열부(500)로 열을 전달하기 위하여 열전도율이 높은 물질로 이루어질 수 있다.The light source 600 includes a plurality of light emitting device packages 650 on the circuit board 610. Here, the circuit board 610 may be inserted into the opening of the housing 400, and may be made of a material having a high thermal conductivity to transmit heat to the heat dissipating unit 500, as described later.

상기 광원의 하부에는 홀더(700)가 구비되는데 상기 홀더(700)는 프레임과 또 다른 공기 유동구를 포함할 수 있다. 또한, 도시되지는 않았으나 상기 광원(100)의 하부에는 광학 부재가 구비되어 상기 광원(100)의 발광소자 패키지(150)에서 투사되는 빛을 확산, 산란 또는 수렴시킬 수 있다.A holder 700 is provided below the light source, and the holder 700 may include a frame and another air flow port. In addition, although not shown, an optical member may be provided under the light source 100 to diffuse, scatter, or converge light projected from the light emitting device package 150 of the light source 100.

도 13은 발광소자 패키지가 배치된 표시장치의 일실시예를 나타낸 도면이다.13 is a diagram illustrating an embodiment of a display device in which a light emitting device package is disposed.

도시된 바와 같이, 본 실시예에 따른 표시장치(800)는 광원 모듈(830, 835)과, 바텀 커버(810) 상의 반사판(820)과, 상기 반사판(820)의 전방에 배치되며 상기 광원모듈에서 방출되는 빛을 표시장치 전방으로 가이드하는 도광판(840)과, 상기 도광판(840)의 전방에 배치되는 제1 프리즘시트(850)와 제2 프리즘시트(860)와, 상기 제2 프리즘시트(860)의 전방에 배치되는 패널(870)과, 패널(870)과 연결되고 패널(870)에 화상 신호를 공급하는 화상 신호 출력 회로(872)와, 상기 패널(870)의 전반에 배치되는 컬러필터(880)를 포함하여 이루어진다.As shown, the display device 800 according to the present exemplary embodiment is disposed in front of the light source modules 830 and 835, the reflector 820 on the bottom cover 810, and the reflector 820. The light guide plate 840 for guiding light emitted from the front of the display device, the first prism sheet 850 and the second prism sheet 860 disposed in front of the light guide plate 840, and the second prism sheet ( A panel 870 disposed in front of the panel 860, an image signal output circuit 872 connected to the panel 870 and supplying an image signal to the panel 870, and a color disposed in the first half of the panel 870; And a filter 880.

광원 모듈은 회로 기판(830) 상의 상술한 발광소자 패키지(835)를 포함하여 이루어진다. 여기서, 회로 기판(830)은 PCB 등이 사용될 수 있고, 발광소자 패키지(835)는 도 13에서 설명한 바와 같다.The light source module includes the above-described light emitting device package 835 on the circuit board 830. Here, the PCB 830 may be used as the circuit board 830, and the light emitting device package 835 is as described with reference to FIG. 13.

상기 바텀 커버(810)는 표시 장치(800) 내의 구성 요소들을 수납할 수 있다.상기 반사판(820)은 본 도면처럼 별도의 구성요소로 마련될 수도 있고, 상기 도광판(840)의 후면이나, 상기 바텀 커버(810)의 전면에 반사도가 높은 물질로 코팅되는 형태로 마련되는 것도 가능하다.The bottom cover 810 may accommodate components in the display device 800. The reflective plate 820 may be provided as a separate component as shown in the drawing, or may be disposed on the rear surface of the light guide plate 840, or The bottom cover 810 may be provided in the form of a coating with a highly reflective material.

여기서, 반사판(820)은 반사율이 높고 초박형으로 사용 가능한 소재를 사용할 수 있고, 폴리에틸렌 테레프탈레이트(PolyEthylene Terephtalate; PET)를 사용할 수 있다.Here, the reflection plate 820 can be made of a material having a high reflectance and can be used in an ultra-thin shape, and polyethylene terephthalate (PET) can be used.

도광판(840)은 발광소자 패키지 모듈에서 방출되는 빛을 산란시켜 그 빛이 액정 표시 장치의 화면 전영역에 걸쳐 균일하게 분포되도록 한다. 따라서, 도광판(840)은 굴절률과 투과율이 좋은 재료로 이루어지는데, 폴리메틸메타크릴레이트(PolyMethylMethAcrylate; PMMA), 폴리카보네이트(PolyCarbonate; PC), 또는 폴리에틸렌(PolyEthylene; PE) 등으로 형성될 수 있다. 그리고, 도광판이 생략되어 반사시트(820) 위의 공간에서 빛이 전달되는 에어 가이드 방식도 가능하다.The light guide plate 840 scatters light emitted from the light emitting device package module so that the light is uniformly distributed over the entire screen area of the LCD. Accordingly, the light guide plate 840 is made of a material having a good refractive index and transmittance. The light guide plate 840 may be formed of poly methylmethacrylate (PMMA), polycarbonate (PC), or polyethylene (PE). In addition, the light guide plate may be omitted, and thus an air guide method in which light is transmitted in the space on the reflective sheet 820 may be possible.

상기 제1 프리즘 시트(850)는 지지필름의 일면에, 투광성이면서 탄성을 갖는 중합체 재료로 형성되는데, 상기 중합체는 복수 개의 입체구조가 반복적으로 형성된 프리즘층을 가질 수 있다. 여기서, 상기 복수 개의 패턴은 도시된 바와 같이 마루와 골이 반복적으로 스트라이프 타입으로 구비될 수 있다.The first prism sheet 850 is formed of a translucent and elastic polymer material on one surface of the support film, and the polymer may have a prism layer in which a plurality of three-dimensional structures are repeatedly formed. Here, the plurality of patterns may be provided in the stripe type and the valley repeatedly as shown.

상기 제2 프리즘 시트(860)에서 지지필름 일면의 마루와 골의 방향은, 상기 제1 프리즘 시트(850) 내의 지지필름 일면의 마루와 골의 방향과 수직할 수 있다. 이는 광원 모듈과 반사시트로부터 전달된 빛을 상기 패널(870)의 전방향으로 고르게 분산하기 위함이다.In the second prism sheet 860, the direction of the floor and the valley of one surface of the support film may be perpendicular to the direction of the floor and the valley of one surface of the support film in the first prism sheet 850. This is to evenly distribute the light transmitted from the light source module and the reflective sheet in all directions of the panel 870.

본 실시예에서 상기 제1 프리즘시트(850)과 제2 프리즘시트(860)가 광학시트를 이루는데, 상기 광학시트는 다른 조합 예를 들어, 마이크로 렌즈 어레이로 이루어지거나 확산시트와 마이크로 렌즈 어레이의 조합 또는 하나의 프리즘 시트와 마이크로 렌즈 어레이의 조합 등으로 이루어질 수 있다.In the present embodiment, the first prism sheet 850 and the second prism sheet 860 form an optical sheet, which is composed of another combination, for example, a micro lens array or a diffusion sheet and a micro lens array. Or a combination of one prism sheet and a micro lens array.

상기 패널(870)은 액정 표시 패널(Liquid crystal display)가 배치될 수 있는데, 광원을 필요로 하는 다른 종류의 디스플레이 장치가 구비될 수 있다.The liquid crystal display panel may be disposed on the panel 870, and may be provided with another type of display device that requires a light source.

상기 패널(870)은, 유리 바디 사이에 액정이 위치하고 빛의 편광성을 이용하기 위해 편광판을 양 유리바디에 올린 상태로 되어있다. 여기서, 액정은 액체와 고체의 중간적인 특성을 가지는데, 액체처럼 유동성을 갖는 유기분자인 액정이 결정처럼 규칙적으로 배열된 상태를 갖는 것으로, 상기 분자 배열이 외부 전계에 의해 변화되는 성질을 이용하여 화상을 표시한다.The panel 870 is a state in which the liquid crystal is located between the glass body and the polarizing plate is placed on both glass bodies in order to use the polarization of light. Here, the liquid crystal has an intermediate property between a liquid and a solid, and liquid crystals, which are organic molecules having fluidity like a liquid, are regularly arranged like crystals. The liquid crystal has a structure in which the molecular arrangement is changed by an external electric field And displays an image.

표시장치에 사용되는 액정 표시 패널은, 액티브 매트릭스(Active Matrix) 방식으로서, 각 화소에 공급되는 전압을 조절하는 스위치로서 트랜지스터를 사용한다.A liquid crystal display panel used in a display device is an active matrix type, and a transistor is used as a switch for controlling a voltage supplied to each pixel.

상기 패널(870)의 전면에는 컬러 필터(880)가 구비되어 상기 패널(870)에서 투사된 빛을, 각각의 화소마다 적색과 녹색 및 청색의 빛만을 투과하므로 화상을 표현할 수 있다.The front surface of the panel 870 is provided with a color filter 880 to transmit the light projected from the panel 870, only the red, green and blue light for each pixel can represent an image.

이상에서 실시예를 중심으로 설명하였으나 이는 단지 예시일 뿐 본 발명을 한정하는 것이 아니며, 본 발명이 속하는 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 본 실시예의 본질적인 특성을 벗어나지 않는 범위에서 이상에 예시되지 않은 여러 가지의 변형과 응용이 가능함을 알 수 있을 것이다. 예를 들어, 실시예에 구체적으로 나타난 각 구성 요소는 변형하여 실시할 수 있는 것이다. 그리고 이러한 변형과 응용에 관계된 차이점들은 첨부된 청구 범위에서 규정하는 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments, but, on the contrary, It will be understood that various modifications and applications are possible. For example, each component specifically shown in the embodiments can be modified and implemented. It is to be understood that all changes and modifications that come within the meaning and range of equivalency of the claims are therefore intended to be embraced therein.

100 : 발광소자 110 : 기판
120 : 발광 구조물 122, 126 : 제1,2 도전형 반도체층
124 : 활성층 130 : 오믹층
140 : 반사층 150 : 접합층
160 : 도전성 지지기판 170 : 마이크로 렌즈 어레이
180 : 패시베이션층 190, 195 : 제1,2 전극
200 : 발광소자 패키지 210 : 몸체
221, 222 : 제1,2 리드 프레임 230 : 도전성 접착층
240 : 와이어 250 : 몰딩부
260 : 형광체
400 : 하우징 500 : 방열부
600 : 광원 700 : 홀더
800 : 표시장치 810 : 바텀 커버
820 : 반사판 830 : 회로 기판 모듈
840 : 도광판 850, 860 : 제1,2 프리즘 시트
870 : 패널 880 : 컬러필터
100 light emitting element 110 substrate
120: light emitting structure 122, 126: first and second conductivity type semiconductor layer
124: active layer 130: ohmic layer
140: reflective layer 150: bonding layer
160: conductive support substrate 170: micro lens array
180: passivation layer 190, 195: first and second electrodes
200: light emitting device package 210: body
221, 222: first and second lead frame 230: conductive adhesive layer
240 wire 250 molding part
260 phosphor
400 housing 500 heat dissipation unit
600: light source 700: holder
800: display device 810: bottom cover
820: reflector 830: circuit board module
840: Light guide plate 850, 860: First and second prism sheet
870 panel 880 color filter

Claims (10)

제1 도전형 반도체층과 활성층 및 제2 도전형 반도체층을 포함하는 발광 구조물;
상기 발광 구조물의 위에 배치되는 마이크로 렌즈 어레이를 포함하고,
상기 마이크로 렌즈 어레이는, 곡률이 서로 다른 마이크로 렌즈를 적어도 하나 포함하는 발광소자.
A light emitting structure including a first conductive semiconductor layer, an active layer, and a second conductive semiconductor layer;
A micro lens array disposed on the light emitting structure;
The microlens array includes at least one microlens having different curvatures.
제 1 항에 있어서,
상기 곡률이 서로 다른 마이크로 렌즈는, 가로 방향과 세로 방향 및 대각선 방향 중 어느 하나의 방향에 배치되는 발광소자.
The method of claim 1,
The microlenses having different curvatures are disposed in any one of a horizontal direction, a vertical direction and a diagonal direction.
제 1 항에 있어서,
상기 마이크로 렌즈 어레이는, 기저면의 높이가 서로 다른 마이크로 렌즈를 적어도 하나 포함하는 발광소자.
The method of claim 1,
The microlens array includes at least one microlens having a different base surface height.
제 1 항에 있어서,
상기 마이크로 렌즈 어레이는 크기가 서로 다른 마이크로 렌즈를 적어도 하나 포함하는 발광소자.
The method of claim 1,
The microlens array includes at least one microlens having different sizes.
제 1 항에 있어서,
상기 마이크로 렌즈 어레이 내에서 각각의 마이크로 렌즈의 최고점은 동일한 발광소자.
The method of claim 1,
The highest point of each micro lens in the micro lens array is the same light emitting device.
제 1 항에 있어서,
상기 마이크로 렌즈 어레이 내에서, 각각의 마이크로 렌즈는 서로 다른 차수를 갖는 다항식의 함수에 따라 배열되고, 다항식의 함수는 x=a1xn+a2xn -1+...+an인 발광소자. (여기서, n은 1 이상의 정수)
The method of claim 1,
Within the microlens array, each microlens is arranged according to a function of a polynomial having a different order, where the function of the polynomial is x = a 1 x n + a 2 x n -1 + ... + a n Light emitting element. Where n is an integer greater than or equal to 1
제 1 항에 있어서,
상기 마이크로 렌즈 어레이는 높이가 서로 다른 마이크로 렌즈를 적어도 하나 포함하는 발광소자.
The method of claim 1,
The microlens array includes at least one microlens having a different height.
패키지 몸체;
상기 패키지 몸체에 배치된 제1 리드 프레임과 제2 리드 프레임;
상기 패키지 몸체에 배치되고, 제1 리드 프레임 및 제2 리드 프레임과 전기적으로 연결되는 제1 항 내지 제7 항 중 어느 한 항의 발광소자; 및
상기 발광소자의 측면과 상부면을 둘러싸는 몰딩부를 포함하는 발광소자 패키지.
Package body;
A first lead frame and a second lead frame disposed on the package body;
A light emitting device according to any one of claims 1 to 7 disposed on the package body and electrically connected to a first lead frame and a second lead frame; And
Light emitting device package comprising a molding unit surrounding the side and the upper surface of the light emitting device.
제 8 항에 있어서,
상기 마이크로 렌즈 어레이는 상기 몰딩부의 상부에 배치되는 발광소자 패키지.
The method of claim 8,
The micro lens array is a light emitting device package disposed on the molding portion.
제 8 항에 있어서,
상기 몰딩부 위에 배치되어 상기 발광소자로부터 출사되는 빛의 진로를 변경하는 렌즈를 더 포함하고, 상기 마이크로 렌즈 어레이는 상기 렌즈의 상부에 배치되는 발광소자 패키지.
The method of claim 8,
And a lens disposed on the molding part to change a path of light emitted from the light emitting device, wherein the microlens array is disposed above the lens.
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