KR20120126419A - Method for manufacturing touch pannel - Google Patents

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KR20120126419A
KR20120126419A KR1020110044182A KR20110044182A KR20120126419A KR 20120126419 A KR20120126419 A KR 20120126419A KR 1020110044182 A KR1020110044182 A KR 1020110044182A KR 20110044182 A KR20110044182 A KR 20110044182A KR 20120126419 A KR20120126419 A KR 20120126419A
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metal mesh
photoresist layer
layer
transparent substrate
touch panel
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KR1020110044182A
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김재훈
이지수
양충모
이인형
홍상수
이우진
이영우
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삼성전기주식회사
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Abstract

PURPOSE: A method for manufacturing a touch panel is provided to reduce manufacturing costs or additional equipment for controlling align by exposing a photoresist layer though a single light source. CONSTITUTION: A mesh pattern is formed in a photomask. The photomask is arranged in the upper portion of a first photoresist layer. Using irradiation of light, the first photoresist layer and a second photoresist layer are hardened at the same time. A first and a second opening portion are formed by developing the first and the second photoresist layer. A metal material is formed in the first and the second opening portion. A first and a second metal mesh layer are formed in the transparent substrate(110) by exfoliating the first and the second photoresist layer.

Description

터치패널의 제조방법{METHOD FOR MANUFACTURING TOUCH PANNEL}Manufacturing Method of Touch Panel {METHOD FOR MANUFACTURING TOUCH PANNEL}

본 발명은 터치패널의 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method for manufacturing a touch panel.

이동 통신 기술의 발달과 더불어 핸드폰, PDA, 네비게이션과 같은 단말기는 단순한 문자 정보의 표시수단에서 더 나아가 오디오, 동영상, 무선 인터넷 웹 브라우저 등과 같은 더욱 다양하고 복잡한 멀티 미디어 제공 수단으로 그 기능을 확대해 나가고 있다. 따라서, 제한된 전자 정보 단말기의 크기 내에서 더욱 큰 디스플레이 화면의 구현이 요구되고 있고 이에 따라 터치패널을 적용한 디스플레이 방식이 더욱 각광받고 있다. 또한, 터치패널은 스크린과 좌표입력 수단을 통합함으로써 종래의 키 입력 방식에 비하여 공간을 절약할 수 있는 이점이 있다. 따라서 최근에 개발되는 표시장치는 스크린 사이즈 및 사용자의 편의성을 더욱 증대시키기 위해 터치패널을 채용한 디스플레이를 적용하고 있다. 이러한 터치패널은 전자수첩, 액정표시장치(LCD; Liquid Crystal Display Device), PDP(Plasma Display Panel), El(Electroluminescence) 등의 평판 디스플레이 장치 및 CRT(Cathode Ray Tube)와 같은 화상표시장치의 표시면에 설치되어, 사용자가 화상표시장치를 보면서 원하는 정보를 선택하도록 하는데 이용되는 도구이다.With the development of mobile communication technology, terminals such as mobile phones, PDAs, and navigation have expanded their functions to more diverse and complex media providing means such as audio, video, wireless internet web browsers, etc. have. Therefore, a larger display screen is required to be implemented within the limited size of the electronic information terminal, and thus, a display method using a touch panel is receiving more attention. In addition, the touch panel has an advantage of saving space compared to the conventional key input method by integrating the screen and the coordinate input means. Therefore, recently developed display devices employ a display employing a touch panel to further increase screen size and user convenience. Such a touch panel can be used as a flat panel display device such as an electronic notebook, a liquid crystal display device (LCD), a plasma display panel (PDP), and an electro luminescence (EL) And is a tool used by a user to select desired information while viewing the image display apparatus.

한편, LCD를 중심으로 한 박형 디스플레이 분야 사업의 급속한 확대와 함께 투명도전막 재료에 대한 수요도 급증하고 있다. 이러한 투명도전막 재료로는 지금까지 ITO(Indium Thin Oxide)가 주로 사용되어 왔다. 투명전극으로서 ITO의 뛰어난 특성과 관련된 응용 제품의 수요 확대의 경향으로 볼 때, 향후 이들 재료의 소비량은 갈수록 늘어날 것으로 예상된다. 그러나 ITO를 구성하는 인듐(Indium)은 대표적인 희소, 고갈 자원의 하나로서, 그 공급량이 크게 떨어지고 있다. 전문가들에 따르면 인듐의 경우 짧게는 10년, 길더라도 25년 정도면 모두 고갈될 것이라고 한다. 이는 인듐이 아연광의 부산물로 정제되기 때문에 희소성이 높기 때문이다. 고갈 이전이라고 하더라도 인듐 가격의 급격한 상승은 관련 응용 제품의 제조 비용 상승을 부추기고 있어, 인듐을 포함하지 않는 새로운 투명전도막 개발이 매우 시급한 형편이다. Meanwhile, with the rapid expansion of the thin-film display business centered on LCDs, the demand for transparent conductive film materials is increasing rapidly. Indium thin oxide (ITO) has been mainly used as such a transparent conductive film material. Given the increasing demand for applications related to the outstanding properties of ITO as a transparent electrode, the consumption of these materials is expected to increase in the future. However, Indium, which constitutes ITO, is one of the rare rare and depleted resources, and its supply is greatly reduced. Experts say that indium will be depleted in as little as 10 years or as long as 25 years. This is because scarcity is high because indium is purified as a by-product of zinc ore. Even before depletion, a sharp rise in indium prices is driving up manufacturing costs for related applications, making it very urgent to develop new transparent conductive films that do not contain indium.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은, ITO를 대체하여 미세패턴이 형성된 금속박막으로 투명전극을 형성한 터치패널을 제공하고, 더 나아가 투명기판의 양면에 형성된 포토레지스트층을 동시에 패터닝함으로써, 차후에 투명기판의 일면에 형성되는 금속메쉬전극과 타면에 형성되는 금속메쉬전극의 정합도가 향상된 터치패널의 제조방법을 제공하기 위한 것이다.The present invention has been made to solve the above problems, an object of the present invention, to provide a touch panel in which a transparent electrode is formed of a metal thin film formed with a fine pattern in place of ITO, furthermore, on both sides of the transparent substrate By simultaneously patterning the formed photoresist layer, to provide a method of manufacturing a touch panel improved in the degree of matching between the metal mesh electrode formed on one surface of the transparent substrate and the metal mesh electrode formed on the other surface.

본 발명의 바람직한 실시예에 따른 터치패널의 제조방법은, (A) 일면에 제1 포토레지스트층이 형성되고, 타면에 제2 포토레지스트층이 형성된 투명기판을 준비하고, 메쉬패턴이 형성된 포토마스크를 상기 제1 포토레지스트층의 상부에 배치하는 단계; (B) 상기 포토마스크에 빛을 조사하여, 상기 제1 포토레지스트층 및 상기 제2 포토레지스트층을 동시에 경화시키는 단계; (C) 상기 제1 포토레지스트층 및 상기 제2 포토레지스트층을 현상하여, 상기 제1 포토레지스트층에 제1 개구부, 상기 제2 포토레지스트층에 제2 개구부를 형성하는 단계; 및 (D) 상기 제1 개구부 및 상기 제2 개구부에 금속물질을 형성하고, 상기 제1 포토레지스트층 및 상기 제2 포토레지스트층을 박리하여, 상기 투명기판의 일면에 제1 금속메쉬층, 상기 투명기판의 타면에 제2 금속메쉬층을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.In a method of manufacturing a touch panel according to a preferred embodiment of the present invention, (A) preparing a transparent substrate having a first photoresist layer formed on one surface, a second photoresist layer formed on the other surface, and a photomask having a mesh pattern formed thereon Disposing on top of the first photoresist layer; (B) irradiating the photomask with light to simultaneously cure the first photoresist layer and the second photoresist layer; (C) developing the first photoresist layer and the second photoresist layer to form a first opening in the first photoresist layer and a second opening in the second photoresist layer; And (D) forming a metal material in the first opening and the second opening, and peeling the first photoresist layer and the second photoresist layer to form a first metal mesh layer on one surface of the transparent substrate. Forming a second metal mesh layer on the other surface of the transparent substrate.

여기서, 상기 (B)단계는, 상기 포토마스크에 빛을 조사하여, 상기 제1 포토레지스트층을 선택적으로 경화시키고, 동시에 상기 투명기판을 투과하여 상기 투명기판의 타면에 전사된 빛으로 상기 제2 포토레지스트층을 선택적으로 경화시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.Here, in the step (B), by irradiating light to the photomask, the first photoresist layer is selectively cured, and at the same time, the second light is transmitted to the other surface of the transparent substrate by passing through the transparent substrate. And selectively curing the photoresist layer.

또한, 상기 (D) 단계 이후에, (E) 상기 제1 금속메쉬층을 선택적으로 제거하여 제1 금속매쉬전극을 형성하는 단계; 및 (F) 상기 제2 금속메쉬층을 선택적으로 제거하여 제2 금속매쉬전극을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, after the step (D), (E) selectively removing the first metal mesh layer to form a first metal mesh electrode; And (F) selectively removing the second metal mesh layer to form a second metal mesh electrode.

또한, 상기 (E) 단계는, (E1) 상기 제1 금속메쉬층이 선택적으로 노출되도록 상기 제1 금속메쉬층의 상면에 에칭 페이스트를 형성하는 단계; 및 (E2) 상기 에칭 페이스트와 접촉하는 부분의 제1 금속메쉬층을 제거하여 제1 금속매쉬전극을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, the step (E), (E1) forming an etching paste on the upper surface of the first metal mesh layer to selectively expose the first metal mesh layer; And (E2) removing the first metal mesh layer in contact with the etching paste to form a first metal mesh electrode.

또한, 상기 (F) 단계는, (F1) 상기 제2 금속메쉬층이 선택적으로 노출되도록 상기 제2 금속메쉬층의 상면에 에칭 페이스트를 형성하는 단계; 및 (F2) 상기 에칭 페이스트와 접촉하는 부분의 제2 금속메쉬층을 제거하여 제2 금속매쉬전극을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, the step (F) may include: (F1) forming an etching paste on an upper surface of the second metal mesh layer to selectively expose the second metal mesh layer; And (F2) removing the second metal mesh layer in contact with the etching paste to form a second metal mesh electrode.

또한, 상기 (B) 단계는, 상기 제1 개구부 및 상기 제2 개구부의 평면 형상이 동일하고, 상기 투명기판을 사이에 두고 상기 제1 개구부와 상기 제2 개구부가 정합을 이루는 것을 특징으로 한다.
In the step (B), the planar shape of the first opening portion and the second opening portion are the same, and the first opening portion and the second opening portion are aligned with the transparent substrate interposed therebetween.

본 발명의 특징 및 이점들은 첨부도면에 의거한 다음의 상세한 설명으로부터 더욱 명백해 질 것이다.The features and advantages of the present invention will become more apparent from the following detailed description based on the accompanying drawings.

이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이고 사전적인 의미로 해석되어서는 아니되며, 발명자가 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합되는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.Prior to this, terms and words used in the present specification and claims should not be construed in a conventional and dictionary sense, and the inventor may appropriately define the concept of a term in order to best describe its invention The present invention should be construed in accordance with the spirit and scope of the present invention.

본 발명에 따르면, 투명기판의 일면에 형성된 금속메쉬전극과 타면에 형성된 금속메쉬전극의 정합도를 개선할 수 있는 효과가 있다.According to the present invention, there is an effect of improving the degree of matching between the metal mesh electrode formed on one surface of the transparent substrate and the metal mesh electrode formed on the other surface.

또한, 본 발명에 따르면, 투명기판의 일측에 배치된 단일의 광원을 이용하여 투명기판의 양면에 형성된 포토레지스트층을 동시에 노광할 수 있으므로, 얼라인 조절을 위한 추가 장비 또는 추가 비용이 요구되지 않기 때문에, 제조비용 및 공정 소요시간을 줄일 수 있는 효과가 있다. 또한, 투명기판에 금속메쉬전극과 전극배선을 동시에 형성할 수 있으므로, 공정시간이 단축되는 효과가 있다.In addition, according to the present invention, since the photoresist layers formed on both sides of the transparent substrate can be simultaneously exposed using a single light source disposed on one side of the transparent substrate, no additional equipment or additional cost for alignment adjustment is required. Therefore, there is an effect that can reduce the manufacturing cost and process time. In addition, since the metal mesh electrode and the electrode wiring can be simultaneously formed on the transparent substrate, the process time can be shortened.

도 1 내지 도 10은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 터치패널의 제조 방법을 공정 순서대로 나타낸 도면;
도 11a는 본 발명의 일 실시예에 따른 터치패널의 사시도;
도 11b는 본 발명의 일 실시예에 따른 터치패널의 정면도; 및
도 11c는 본 발명의 일 실시예에 따른 터치패널의 배면도;
를 나타낸 도면이다.
1 to 10 are views showing a manufacturing method of a touch panel according to a preferred embodiment of the present invention in the order of processes;
11A is a perspective view of a touch panel according to an embodiment of the present invention;
11B is a front view of a touch panel according to an embodiment of the present invention; And
11C is a rear view of the touch panel according to the embodiment of the present invention;
The figure which shows.

본 발명의 목적, 특정한 장점들 및 신규한 특징들은 첨부된 도면들과 연관되어지는 이하의 상세한 설명과 바람직한 실시예로부터 더욱 명백해 질 것이다. 본 명세서에서 각 도면의 구성요소들에 참조번호를 부가함에 있어서, 동일한 구성 요소들에 한해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 번호를 가지도록 하고 있음에 유의하여야 한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명은 생략한다.The objects, specific advantages, and novel features of the present invention will become more apparent from the following detailed description and preferred embodiments in conjunction with the accompanying drawings. It should be noted that, in the present specification, the reference numerals are added to the constituent elements of the drawings, and the same constituent elements are assigned the same number as much as possible even if they are displayed on different drawings. In the following description, well-known functions or constructions are not described in detail since they would obscure the invention in unnecessary detail.

도 1 내지 도 10은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 터치패널(100)의 제조방법을 공정 순서대로 나타낸 도면이다. 이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다.1 to 10 are views showing a manufacturing method of the touch panel 100 according to a preferred embodiment of the present invention in the order of process. Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

먼저, 도 1에 도시한 바와 같이, 투명기판(110)의 양면에 포토레지스트층(210,220)을 형성한다. 본 명세서에서는 발명을 명확하게 표현하기 위하여, 투명기판(110)의 양면을 각각 투명기판(110)의 일면, 투명기판(110)의 타면이라 정의하고, 투명기판(110)의 일면에 형성된 포토레지스트층을 제1 포토레지스트층(210), 투명기판(110)의 타면에 형성된 포토레지스트층을 제2 포토레지스트층(220)이라 명명한다. 본 발명의 주요한 기술적 특징은 투명기판(110)의 양면에 각각 형성된 두 개의 포토레지스트층(210,220)을 동시에 패터닝하는 것으로서, 이는 투명기판(110)이 투광성을 갖기 때문에 가능하다. 따라서, 본 발명에 채용되는 투명기판(110)은 적어도 80% 이상의 투과도를 갖는 것이 바람직하고, 이와 더불어 후술할 금속메쉬전극(415,425; 도 10 참조)을 지지할 수 있는 지지력을 갖는 것이 좋다. 전술한 투과도 및 지지력을 고려할 때, 투명기판(110)의 재질은 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET), 폴리카보네이트(PC), 폴리메틸메타아크릴레이트(PMMA), 폴리에틸렌나프탈레이트(PEN), 폴리에테르술폰(PES), 고리형 올레핀 고분자(COC), TAC(Triacetylcellulose) 필름, 폴리비닐알코올(Polyvinyl alcohol; PVA) 필름, 폴리이미드(Polyimide; PI) 필름, 폴리스틸렌(Polystyrene; PS), 이축연신폴리스틸렌(K레진 함유 biaxially oriented PS; BOPS), 유리(GLASS) 또는 강화유리 등으로 형성하는 것이 바람직하지만, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다. First, as shown in FIG. 1, photoresist layers 210 and 220 are formed on both surfaces of the transparent substrate 110. In the present specification, in order to express the invention clearly, both surfaces of the transparent substrate 110 are defined as one surface of the transparent substrate 110 and the other surface of the transparent substrate 110, respectively, and a photoresist formed on one surface of the transparent substrate 110. The photoresist layer formed on the other surface of the first photoresist layer 210 and the transparent substrate 110 is referred to as a second photoresist layer 220. The main technical feature of the present invention is to simultaneously pattern two photoresist layers 210 and 220 respectively formed on both sides of the transparent substrate 110, which is possible because the transparent substrate 110 has a light transmitting property. Accordingly, the transparent substrate 110 employed in the present invention preferably has a transmittance of at least 80% or more, and a support force capable of supporting the metal mesh electrodes 415 and 425 (see FIG. 10) to be described later. In consideration of the above-described transmittance and supporting force, the material of the transparent substrate 110 is polyethylene terephthalate (PET), polycarbonate (PC), polymethyl methacrylate (PMMA), polyethylene naphthalate (PEN), polyether sulfone ( PES), Cyclic Olefin Polymer (COC), Triacetylcellulose (TAC) Film, Polyvinyl Alcohol (PVA) Film, Polyimide (PI) Film, Polystyrene (PS), Biaxially Stretched Polystyrene (Kresin) Although it is preferable to form with containing biaxially oriented PS (BOPS), glass (GLASS), or tempered glass, it is not necessarily limited to this.

한편, 투명기판(110)에 포토레지스트층(210,220)을 형성하는 방법으로는 드라이필름법 또는 액상감광재법을 적용할 수 있다. 드라이필름법은 라미네이터를 이용하여 기판의 양면에 드라이필름을 열 압착하는 방법이고, 액상감광재법은 자외선(UV)에 의해 감광되는 액상의 감광재를 기판에 코팅하고 건조하는 방법이다. 현재 공지된 코팅방법으로는 스크린(Screen) 코팅방식, 딥(Dip) 코팅방식, 롤(Roll) 코팅방식 및 ED(Electro Deposition) 방식 등이 있다.
Meanwhile, a dry film method or a liquid photosensitive material method may be used as a method of forming the photoresist layers 210 and 220 on the transparent substrate 110. The dry film method is a method of thermally compressing a dry film on both sides of a substrate using a laminator, and the liquid photosensitive material method is a method of coating and drying a liquid photosensitive material photosensitive by ultraviolet (UV) on the substrate. Currently known coating methods include a screen coating method, a dip coating method, a roll coating method, and an ED (Electro Deposition) method.

다음, 도 2에 도시한 바와 같이, 패턴이 형성된 포토마스크(300)를 구비하고, 상기 포토마스크(300)를 제1 포토레지스트층(210)의 상부에 밀착 또는 근접시킨다. 본 발명의 기술적 특징은 투명기판(110)의 일면 또는 타면 중에 선택되는 면의 상부에 광원(미도시)을 배치하고, 광원으로부터 조사된 빛을 이용하여 투명기판(110)의 양면을 동시에 노광하는 것이므로, 상기 포토마스크(300)를 제1 포토레지스트층(210) 뿐만 아니라, 제2 포토레지스트층(220)의 상부에 배치하는 것도 가능하다. 이때, 포토마스크(300)에는 매쉬구조의 패턴이 형성되어 있어, 빛을 선택적으로 투과시킨다.
Next, as shown in FIG. 2, the patterned photomask 300 is provided, and the photomask 300 is brought into close contact with or close to the upper portion of the first photoresist layer 210. Technical features of the present invention are to arrange a light source (not shown) on one surface of the transparent substrate 110 or one of the other surfaces, and simultaneously expose both surfaces of the transparent substrate 110 by using light emitted from the light source. Therefore, the photomask 300 may be disposed not only on the first photoresist layer 210 but also on the second photoresist layer 220. At this time, a pattern of a mesh structure is formed in the photomask 300 to selectively transmit light.

다음, 도 3에 도시한 바와 같이, 포토마스크(300)의 상부에서 자외선을 조사하여, 제1 포토레지스트층(210) 및 제2 포토레지스트층(220)을 선택적으로 경화시킨다. 본 실시예에서는 네가티브형(negative type) 포토레지스트를 사용하여 제1, 제2 포토레지스트층(210,220)을 형성하였고, 이를 기준으로 본 공정에 대하여 보다 자세히 설명한다.Next, as shown in FIG. 3, ultraviolet rays are irradiated from the upper portion of the photomask 300 to selectively cure the first photoresist layer 210 and the second photoresist layer 220. In the present embodiment, the first and second photoresist layers 210 and 220 are formed using a negative type photoresist, and the present process will be described in more detail.

먼저, 포토마스크(300)에 근접하게 배치된 제1 포토레지스트층(210)이 선택적으로 노광된다. 제1 포토레지스트층(210) 중 자외선에 노출된 부분은 중합반응에 의해 경화되고, 그 이외의 부분은 변화하지 않는다. 이와 동시에, 포토마스크(300)를 거쳐 제1 포토레지스트층(210)에 도달한 빛은 투명기판(110)을 투과한 후, 투명기판(110)의 타면에 형성된 제2 포토레지스트층(220)에 선택적으로 도달한다. 마찬가지로, 제2 포토레지스트층(220) 중 자외선에 노출된 부분은 중합반응에 의해 경화되고, 그 이외의 부분은 변화하지 않는다. 특히, 본 발명에서는 제1 포토레지스트층(210)과 제2 포토레지스트층(220)이 동일한 형상으로 경화되는 특징이 있고, 도 3에서는 포토레지스트층(210,220)의 경화된 부분을 좀더 어둡게 표시하여, 포토레지스트층(210,220)의 경화 부분과 미경화 부분을 구분하였다.
First, the first photoresist layer 210 disposed in close proximity to the photomask 300 is selectively exposed. A portion of the first photoresist layer 210 exposed to ultraviolet rays is cured by a polymerization reaction, and portions other than the first photoresist layer 210 do not change. At the same time, the light reaching the first photoresist layer 210 through the photomask 300 passes through the transparent substrate 110 and then the second photoresist layer 220 formed on the other surface of the transparent substrate 110. Reach optional. Similarly, a portion of the second photoresist layer 220 exposed to ultraviolet rays is cured by a polymerization reaction, and portions other than the second photoresist layer 220 do not change. In particular, in the present invention, the first photoresist layer 210 and the second photoresist layer 220 are cured in the same shape. In FIG. 3, the cured portions of the photoresist layers 210 and 220 are darker. The cured portion and the uncured portion of the photoresist layers 210 and 220 were divided.

다음, 도 4에 도시한 바와 같이, 제1 포토레지스트층(210) 및 제2 포토레지스트층(220)을 동시에 현상하여, 자외선에 노출되어 경화된 부분은 투명기판(110)에 잔류시키고, 미경화된 부분은 현상액에 용해시켜 제거한다. 포토레지스트층(210,220)의 미경화 부분이 선택적으로 제거되면, 제1 포토레지스트층(210)에는 제1 개구부(213), 제2 포토레지스트층(220)에는 제2 개구부(223)가 형성된다. 현상 후, 기판에 잔류하는 현상액 등을 제거하기 위하여 수세, 건조 공정을 수행하는 것이 바람직하다.
Next, as shown in FIG. 4, the first photoresist layer 210 and the second photoresist layer 220 are developed at the same time, and the portion which is cured by being exposed to ultraviolet rays is left on the transparent substrate 110. The hardened portion is dissolved in the developer and removed. When the uncured portions of the photoresist layers 210 and 220 are selectively removed, a first opening 213 is formed in the first photoresist layer 210 and a second opening 223 is formed in the second photoresist layer 220. . After development, it is preferable to perform a water washing and drying process in order to remove the developer and the like remaining on the substrate.

다음, 도 5 및 도 6에 도시한 바와 같이, 제1 포토레지스트층(210) 및 제2 포토레지스트층(220), 제1 개구부(213) 및 제2 개구부(223) 상에 금속물질(400)을 형성한 후(도 5), 투명기판(110)에 잔존하는 제1 포토레지스트층(210) 및 제2 포토레지스트층(220)을 박리함으로써, 투명기판(110)의 일면에 제1 금속메쉬층(410), 투명기판(110)의 타면에 제2 금속메쉬층(420)을 형성한다(도 6). 도 6a는 양면에 금속메쉬층(410,420)이 형성된 투명기판(110)의 단면도이고, 도 6b는 양면에 금속메쉬층(410,420)이 형성된 투명기판(110)의 사시도이다. 상기 금속물질(400)로는 금(Au), 은(Ag), 팔라듐(Pd), 백금(Pt), 알루미늄(Al), 구리(Cu), 니켈(Ni), 주석(Sn) 및 이들의 합금, 산화인듐주석(Indium tin oxide; ITO) 등이 가능하며, 금속물질(400)을 형성하는 방법으로는 예컨대, PVD(Physical Vapor Deposition), CVD(Chemical Vapor Deposition), PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) 등의 스퍼터링(Sputtering) 공정, 스크린 프린팅(Screen Printing), 그라비아(Gravure), 그라비아 오프셋(Gravure Offset) 또는 잉크젯(Intjet) 등의 다이렉트 프린팅(Direct Printing) 공정, 코팅(Coating) 공정, 습식 또는 건식도금 공정 등을 적용할 수 있다. 한편, 투명기판(110)과의 접착력을 증가시키기 위해 티타늄(Ti)과 같은 물질을 먼저 증착한 이후에 상기 금속물질(400)을 증착하는 것이 바람직하다. Next, as illustrated in FIGS. 5 and 6, the metal material 400 on the first photoresist layer 210 and the second photoresist layer 220, the first opening 213, and the second opening 223. ), The first photoresist layer 210 and the second photoresist layer 220 remaining on the transparent substrate 110 are peeled off to form a first metal on one surface of the transparent substrate 110. The second metal mesh layer 420 is formed on the other surface of the mesh layer 410 and the transparent substrate 110 (FIG. 6). 6A is a cross-sectional view of the transparent substrate 110 having the metal mesh layers 410 and 420 formed on both surfaces thereof, and FIG. 6B is a perspective view of the transparent substrate 110 having the metal mesh layers 410 and 420 formed on both surfaces thereof. The metal material 400 includes gold (Au), silver (Ag), palladium (Pd), platinum (Pt), aluminum (Al), copper (Cu), nickel (Ni), tin (Sn), and alloys thereof , Indium tin oxide (ITO), and the like, and the method of forming the metal material 400 includes, for example, physical vapor deposition (PVD), chemical vapor deposition (CVD), and plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD). Sputtering process, screen printing, gravure, gravure offset or direct printing process such as inkjet, coating process, wet or Dry plating processes can be applied. Meanwhile, in order to increase adhesion to the transparent substrate 110, it is preferable to deposit the metal material 400 after first depositing a material such as titanium (Ti).

상기와 같은 공정을 통해 투명기판(110)의 양면에 제1 금속메쉬층(410) 및 제2 금속메쉬층(420)이 동시에 형성되었으며, 하나의 포토마스크(300)에 의한 노광 및 현상을 통해 공정이 진행되었기 때문에 정합도가 뛰어난 효과가 있다.
Through the above process, the first metal mesh layer 410 and the second metal mesh layer 420 are simultaneously formed on both surfaces of the transparent substrate 110, and are exposed and developed by one photomask 300. Since the process has been carried out, there is an excellent matching effect.

지금까지의 공정은 포토레지스트층(210,220)을 미세하게 패터닝한 후 금속물질(400)을 증착하여 투명기판(110)에 금속메쉬층(410,420)을 형성하는 공정이었고, 이후에 진행될 공정은 투명기판(110)의 양면에 형성된 금속메쉬층(410,420)을 보다 광범위하게 패터닝하여 금속메쉬전극(415,425)으로 형성하는 공정이다. 즉, 금속메쉬전극(415,425)은 다양한 평면형상을 갖는 개개의 전극이 규칙적이면서 반복적으로 배열되며, 개개의 전극은 금속메쉬 구조를 갖는다. 제1 금속메쉬전극(415)은 제1 금속메쉬층(410)의 일부를 제거함으로써 형성되고, 제2 금속메쉬전극(425)은 제2 금속메쉬층(420)의 일부를 제거함으로써 형성된다.
The processes up to now have been the process of forming the metal mesh layers 410 and 420 on the transparent substrate 110 by finely patterning the photoresist layers 210 and 220 and then depositing the metal material 400. The metal mesh layers 410 and 420 formed on both surfaces of the substrate 110 are patterned more widely to form the metal mesh electrodes 415 and 425. That is, the metal mesh electrodes 415 and 425 have individual electrodes having various planar shapes regularly and repeatedly arranged, and the individual electrodes have a metal mesh structure. The first metal mesh electrode 415 is formed by removing a portion of the first metal mesh layer 410, and the second metal mesh electrode 425 is formed by removing a portion of the second metal mesh layer 420.

도 7 및 도 8에 도시한 바와 같이, 제1 금속메쉬전극(415)을 형성하기 위하여, 먼저 제1 금속메쉬층(410)의 일부가 노출되도록 제1 금속메쉬층(410)의 상면에 에칭 페이스트(500)를 선택적으로 인쇄한다(도 7). 구체적으로, 제1 금속메쉬층(410)이 형성된 투명기판(110) 위에 스크린 마스크(미도시)를 이용하여, 에칭하고자 하는 금속메쉬 부위에 에칭 페이스트(500)를 인쇄한다. 도 7a는 제1 금속메쉬층(410)에 에칭 페이스트를 부분적으로 형성한 구조를 나타낸 단면도, 도 7b는 상기 구조의 사시도이다. As shown in FIGS. 7 and 8, in order to form the first metal mesh electrode 415, first, an etching is performed on the upper surface of the first metal mesh layer 410 so that a part of the first metal mesh layer 410 is exposed. Paste 500 is selectively printed (FIG. 7). Specifically, the etching paste 500 is printed on the metal mesh to be etched by using a screen mask (not shown) on the transparent substrate 110 on which the first metal mesh layer 410 is formed. FIG. 7A is a cross-sectional view illustrating a structure in which an etching paste is partially formed on the first metal mesh layer 410, and FIG. 7B is a perspective view of the structure.

다음, 에칭 페이스트(500)를 가열, 건조하여 제1 금속메쉬층(410)을 에칭하고, 에칭 페이스트(500)와 접촉하는 부분의 제1 금속메쉬층(410)이 에칭으로 제거되면, 세정 공정으로 마무리한다(도 8). 에칭 페이스트(500)는 전술한 스크린 인쇄법 이외에도, 다양한 인쇄 방식으로 인쇄가 가능하며, 예를 들어, 에어로졸 젯(Aerosol jet), 잉크젯(Ink jet), 플렉소(Flexo), 그라비아(Gravure) 등의 인쇄 방식이 있다.
Next, the etching paste 500 is heated and dried to etch the first metal mesh layer 410, and when the first metal mesh layer 410 in a portion in contact with the etching paste 500 is removed by etching, the cleaning process is performed. Finish with (Fig. 8). In addition to the screen printing method described above, the etching paste 500 may be printed by various printing methods, for example, aerosol jet, ink jet, flexo, gravure, or the like. There is a printing method.

한편, 도 9 및 도 10에 도시한 바와 같이, 제2 금속메쉬전극(425)을 형성하기 위하여, 먼저 제2 금속메쉬층(420)의 일부가 노출되도록 제2 금속메쉬층(420)의 상면에 에칭 페이스트(500)를 선택적으로 인쇄한다(도 9). 구체적으로, 제2 금속메쉬층(420)이 형성된 투명기판(110) 위에 스크린 마스크(미도시)를 이용하여, 에칭하고자 하는 금속메쉬 부위에 에칭 페이스트(500)를 인쇄한다. 다음, 에칭 페이스트(500)를 가열, 건조하여 제2 금속메쉬층(420)을 에칭하고, 에칭 페이스트(500)와 접촉하는 부분의 제2 금속메쉬층(420)이 에칭으로 제거되면, 세정 공정으로 마무리한다(도 10).
9 and 10, in order to form the second metal mesh electrode 425, the upper surface of the second metal mesh layer 420 is first exposed so that a part of the second metal mesh layer 420 is exposed. The etching paste 500 is selectively printed on (Fig. 9). Specifically, the etching paste 500 is printed on the metal mesh to be etched by using a screen mask (not shown) on the transparent substrate 110 on which the second metal mesh layer 420 is formed. Next, the etching paste 500 is heated and dried to etch the second metal mesh layer 420, and when the second metal mesh layer 420 in a portion in contact with the etching paste 500 is removed by etching, the cleaning process is performed. Finish with (Fig. 10).

한편, 금속메쉬층(410,420)에 에칭 페이스트(500)가 인쇄되는 영역을 어떻게 설정하느냐에 따라, 제1 금속메쉬전극(415) 및 제2 금속메쉬전극(425)의 형상을 다양하게 변형하는 것이 가능하다. 예를 들어, 도 11에는 다이아몬드 형상의 개개의 금속전극이 일 방향으로 반복 배열되어 형성된 금속메쉬전극을 도시하였다. 도 11a는 투명기판(110)의 일면에 형성된 다이아몬드 형상의 제1 금속메쉬전극(415)을 사시도로 나타내었다. 도 11b, 도 11c는 상기 도 11a의 정면도 및 배면도이다. 즉, 투명기판(110)의 일면에 형성된 제1 금속메쉬전극(415)은 다이아몬드형 금속전극이 Y축 방향으로 반복 배열되도록 형성되고(도 11b), 투명기판(110)의 타면에 형성된 제2 금속메쉬전극(425)은 다이아몬드형 금속전극이 X축 방향으로 반복 배열되도록 형성되며(도 11c), 이때, 제2 금속메쉬전극(425)은 제1 금속메쉬층(410) 중 에칭에 의해 제거된 영역에 대응되도록, 투명기판(110)의 타면에 제2 금속메쉬층(420)이 선택적으로 남겨져 형성될 수 있다. 도 11에 도시한 형태의 금속메쉬전극의 구조는 예시적인 것에 불과하며, 당업계에 공지된 모든 형상의 전극구조로 구현된 금속메쉬전극 또한 본 발명의 권리범위에 포함된다고 할 것이다.
Meanwhile, the shapes of the first metal mesh electrode 415 and the second metal mesh electrode 425 may be variously modified depending on how to set a region where the etching paste 500 is printed on the metal mesh layers 410 and 420. Do. For example, FIG. 11 illustrates a metal mesh electrode formed by repeatedly arranging diamond-shaped metal electrodes in one direction. FIG. 11A illustrates a diamond-shaped first metal mesh electrode 415 formed on one surface of the transparent substrate 110 in a perspective view. 11B and 11C are front and rear views of FIG. 11A. That is, the first metal mesh electrode 415 formed on one surface of the transparent substrate 110 is formed so that the diamond metal electrodes are repeatedly arranged in the Y-axis direction (FIG. 11B), and the second metal mesh electrode formed on the other surface of the transparent substrate 110 is formed. The metal mesh electrode 425 is formed such that the diamond-shaped metal electrode is repeatedly arranged in the X-axis direction (FIG. 11C). In this case, the second metal mesh electrode 425 is removed by etching of the first metal mesh layer 410. The second metal mesh layer 420 may be selectively formed on the other surface of the transparent substrate 110 so as to correspond to the formed region. The structure of the metal mesh electrode of the type shown in FIG. 11 is merely exemplary, and the metal mesh electrode implemented with the electrode structure of all shapes known in the art will also be included in the scope of the present invention.

이상 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세히 설명하였으나, 이는 본 발명을 구체적으로 설명하기 위한 것으로, 본 발명에 따른 터치패널의 제조방법은 이에 한정되지 않으며, 본 발명의 기술적 사상 내에서 당해 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의해 그 변형이나 개량이 가능함은 명백하다고 할 것이다.Although a preferred embodiment of the present invention has been described in detail, this is for explaining the present invention in detail, the manufacturing method of the touch panel according to the present invention is not limited to this, within the technical spirit of the present invention It is clear that modifications and improvements are possible by those with knowledge of the world.

본 발명의 단순한 변형 내지 변경은 모두 본 발명의 영역에 속하는 것으로, 본 발명의 구체적인 보호 범위는 첨부된 특허청구범위에 의하여 명확해 질 것이다.All simple modifications and variations of the present invention fall within the scope of the present invention, and the specific scope of protection of the present invention will be apparent from the appended claims.

100 : 터치패널 110 : 투명기판
210 : 제1 포토레지스트층 220 : 제2 포토레지스트층
213 : 제1 개구부 223 : 제2 개구부
300 : 포토마스크 400 : 금속물질
410 : 제1 금속메쉬층 420 : 제2 금속메쉬층
415 : 제1 금속메쉬전극 425 : 제2 금속메쉬전극
500 : 에칭 페이스트
100: touch panel 110: transparent substrate
210: first photoresist layer 220: second photoresist layer
213: first opening 223: second opening
300: photomask 400: metal material
410: first metal mesh layer 420: second metal mesh layer
415: first metal mesh electrode 425: second metal mesh electrode
500: etching paste

Claims (6)

(A) 일면에 제1 포토레지스트층이 형성되고, 타면에 제2 포토레지스트층이 형성된 투명기판을 준비하고, 메쉬패턴이 형성된 포토마스크를 상기 제1 포토레지스트층의 상부에 배치하는 단계;
(B) 상기 포토마스크에 빛을 조사하여, 상기 제1 포토레지스트층 및 상기 제2 포토레지스트층을 동시에 경화시키는 단계;
(C) 상기 제1 포토레지스트층 및 상기 제2 포토레지스트층을 현상하여, 상기 제1 포토레지스트층에 제1 개구부, 상기 제2 포토레지스트층에 제2 개구부를 형성하는 단계; 및
(D) 상기 제1 개구부 및 상기 제2 개구부에 금속물질을 형성하고, 상기 제1 포토레지스트층 및 상기 제2 포토레지스트층을 박리하여, 상기 투명기판의 일면에 제1 금속메쉬층, 상기 투명기판의 타면에 제2 금속메쉬층을 형성하는 단계;
를 포함하는 것을 특징으로 하는 터치패널의 제조방법.
(A) preparing a transparent substrate having a first photoresist layer formed on one surface, a second photoresist layer formed on the other surface, and disposing a photomask on which a mesh pattern is formed on the first photoresist layer;
(B) irradiating the photomask with light to simultaneously cure the first photoresist layer and the second photoresist layer;
(C) developing the first photoresist layer and the second photoresist layer to form a first opening in the first photoresist layer and a second opening in the second photoresist layer; And
(D) a metal material is formed in the first opening and the second opening, and the first photoresist layer and the second photoresist layer are peeled off to form a first metal mesh layer and the transparent surface on one surface of the transparent substrate. Forming a second metal mesh layer on the other surface of the substrate;
Method of manufacturing a touch panel comprising a.
청구항 1에 있어서,
상기 (B)단계는,
상기 포토마스크에 빛을 조사하여, 상기 제1 포토레지스트층을 선택적으로 경화시키고, 동시에 상기 투명기판을 투과하여 상기 투명기판의 타면에 전사된 빛으로 상기 제2 포토레지스트층을 선택적으로 경화시키는 단계;
를 포함하는 것을 특징으로 하는 터치패널의 제조방법.
The method according to claim 1,
Step (B) is,
Irradiating light to the photomask to selectively cure the first photoresist layer, and simultaneously harden the second photoresist layer with light transferred through the transparent substrate to the other surface of the transparent substrate. ;
Method of manufacturing a touch panel comprising a.
청구항 1에 있어서,
상기 (D) 단계 이후에,
(E) 상기 제1 금속메쉬층을 선택적으로 제거하여 제1 금속매쉬전극을 형성하는 단계; 및
(F) 상기 제2 금속메쉬층을 선택적으로 제거하여 제2 금속매쉬전극을 형성하는 단계;
를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 터치패널의 제조방법.
The method according to claim 1,
After the step (D),
(E) selectively removing the first metal mesh layer to form a first metal mesh electrode; And
(F) selectively removing the second metal mesh layer to form a second metal mesh electrode;
Method of manufacturing a touch panel further comprising.
청구항 3에 있어서,
상기 (E) 단계는,
(E1) 상기 제1 금속메쉬층이 선택적으로 노출되도록 상기 제1 금속메쉬층의 상면에 에칭 페이스트를 형성하는 단계; 및
(E2) 상기 에칭 페이스트와 접촉하는 부분의 제1 금속메쉬층을 제거하여 제1 금속매쉬전극을 형성하는 단계;
를 포함하는 것을 특징으로 하는 터치패널의 제조방법.
The method according to claim 3,
Step (E),
(E1) forming an etching paste on an upper surface of the first metal mesh layer to selectively expose the first metal mesh layer; And
(E2) forming a first metal mesh electrode by removing the first metal mesh layer in contact with the etching paste;
Method of manufacturing a touch panel comprising a.
청구항 3에 있어서,
상기 (F) 단계는,
(F1) 상기 제2 금속메쉬층이 선택적으로 노출되도록 상기 제2 금속메쉬층의 상면에 에칭 페이스트를 형성하는 단계; 및
(F2) 상기 에칭 페이스트와 접촉하는 부분의 제2 금속메쉬층을 제거하여 제2 금속매쉬전극을 형성하는 단계;
를 포함하는 것을 특징으로 하는 터치패널의 제조방법.
The method according to claim 3,
Step (F) is
(F1) forming an etching paste on an upper surface of the second metal mesh layer to selectively expose the second metal mesh layer; And
(F2) forming a second metal mesh electrode by removing the second metal mesh layer in contact with the etching paste;
Method of manufacturing a touch panel comprising a.
청구항 1에 있어서,
상기 (B) 단계는, 상기 제1 개구부 및 상기 제2 개구부의 평면 형상이 동일하고, 상기 투명기판을 사이에 두고 상기 제1 개구부와 상기 제2 개구부가 정합을 이루는 것을 특징으로 하는 터치패널의 제조방법.


The method according to claim 1,
In the step (B), the planar shape of the first opening portion and the second opening portion is the same, and the first opening portion and the second opening portion are aligned with the transparent substrate therebetween. Manufacturing method.


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