KR20120124362A - 컬러 필터 기판 및 이를 제조하기 위한 공정과 장치 - Google Patents

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Abstract

개시된 기술의 실시예들은 컬러 필터 기판과 그에 대한 제조 공정과 장치를 개시한다. 개시된 기술의 실시예들에 따른 컬러 필터 기판의 제조 공정은, 베이스 기판의 한 면 상에 투명 도전층을 형성하는 단계; 상기 베이스 기판의 다른 면 상에 블랙 매트릭스를 형성하는 단계; 상기 블랙 매트릭스 내에 컬러 필터층을 형성하는 단계; 및 상기 컬러 필터층 상에 통합적으로 형성된 포스트 스페이서들 및 보호막을 포함하는 절연물질층을 형성하는 단계를 포함한다.

Description

컬러 필터 기판 및 이를 제조하기 위한 공정과 장치{Color filter substrate and producing process and device for manufacturing the same}
개시된 기술의 실시예들은 액정 디스플레이(LCD)에 관한 것으로서, 특히 컬러 필터 기판 및 이를 제조하기 위한 제조 공정과 장치에 관한 것이다.
디스플레이 기술의 발전과 더불어 높은 전송율, 큰 치수, 낮은 전력 소비 및 낮은 원가가 미래 LCD의 개발 트랜드가 되고 있다.
박막 트랜지스터 액정 디스플레이(TFT-LCD)는 보다 작은 체적, 가벼운 무게, 낮은 전력 소비 및 작은 방사를 포함한 여러 가지 장점들로 현재 상업적으로 유용한 LCD의 주류가 되었으며, 평판 디스플레이 시장에서 주도적 역할을 하고 있다. TFT-LCD는 어레이 기판과 컬러 필터 기판이 서로 마주보도록 조립된 이후 어레이 기판과 컬러 필터 기판 사이에 액정 물질을 충전함으로써 제조된다. 예로써, 상기 어레이 기판은 박막 트랜지스터들 및 화소 전극들을 포함하며; 그리고 상기 컬러 필터 기판은 컬러 필터들 및 블랙 매트릭스(BM)를 포함한다. 상기 컬러 필터 기판 상에 배치된 상기 블랙 매트릭스는 인접하는 서브-화소들의 컬러 필터들을 서로로부터 분리하여 컬러의 혼합을 방지할 수 있으며, 상기 어레이 기판 상의 상기 TFT의 채널 영역들 상에 외부의 빛이 조사되는 것을 차단하여 암 상태(dark state)에서의 누설 전류 뿐만 아니라 화소 영역들 내에서의 광 누설을 방지할 수 있다.
게다가, 컬러 필터 기판은 AD-SDS(Advanced-Super Dimensional Switching) 모드의 LCD의 중요 구성요소이다. AD-SDS LCD는 동일 레벨 내에서 화소 전극들의 주변에 의해 형성된 횡 전기장(parallel electric field)들과, 다른 레벨들 상에 위치하는 화소 전극들 및 공통 전극들에 의해 형성된 종 자기장(longitudinal electric field)들을 갖는 다차원 전기장을 형성함으로써, LCD 패널 내의 화소 전극들의 사이 및 상부 상의 모든 액정 분자들을 회전시키고, 그리하여 액정 물질의 효율을 증가시키고 전송율을 개선시킨다. 상기 AD-SDS 기술은 화질을 개선시킬 수 있으며, 높은 전송율, 넓은 시야각, 높은 개구비(Aperture ratio), 낮은 색수차(chromatic aberrance), 짧은 반응시간, 푸시 무라(push mura) 없음 등과 같은 여러 가지 장점들을 갖는다.
종래 기술에서 컬러 필터 기판의 구조적인 개략도가 도 1에 도시되며, 도 1의 A-A선을 따라 취한 컬러 필터 기판의 단면도가 도 2에 도시된다. 도시된 바와 같이, 컬러 필터 기판은 투명 도전막(1), 유리 기판(2), 블랙 매트릭스(3), 컬러 필터층(4), 보호층(5) 및 포스트 스페이서(Post Spacer;PS)층(6)을 포함한다.
도 3을 참조하면, 상기 AD-SDS 컬러 필터 기판의 제조 공정은 다음 단계들을 포함한다. 첫째로, 투명 도전막이 유리 기판(2)의 후면측 상에 피복된다; 이어서 블랙 매트릭스(3)가 유리 기판(2)의 표면 상에 형성된다.이어서 오버코트(Overcoat) 보호층(5)이 컬러 필터층(4) 상에 적용되며, 마지막으로 포스트 스페이서층(6)이 보호층(5) 상에 형성된다. 상기 포스트 스페이서층(6)은 마스크(7)을 통하여 리쏘그라피 공정에 의해 형성된다. 상기 보호층(5)을 마주보는 마스크(7)의 부분은 비전송(non-transmissive)성이며, 반면에 상기 포스트 스페이서층(6)을 마주보는 부분은 완전 투광성이다. 상기 포스트 스페이서층(6)을 형성하기 위한 포토레지스트는 네가티브형이다.
전술한 공정에서, 상기 오버코트 보호층과 상기 포스트 스페이서들은 두개의 분리된 단계들에 의해 형성된다. 컬러 필터 기판의 제조 공정 그 자체로서는 오버코트 보호층 및 포스트 스페이서들을 동시에 형성할 수 없다. 따라서 상기 공정은 차라리 긴 공정 사이클을 갖는 복잡한 것이다. 나아가, 상기 공정은 보호막을 형성하기 위한 포토레지스트를 필요로 하며, 상대적으로 큰 투자와 증가된 위험을 초래한다.
개시된 기술에 관하여 묘사된 실시예들은 컬러 필터 기판과 제조 공정 및 상기 컬러 필터 기판의 제조 공정을 단축하기 위한 그 장치를 제공함으로써 장비에 대한 투자를 감소시키며 효율을 향상시키기 위한 것이다.
개시된 기술의 하나의 실시예에 따르면, 컬러 필터 기판의 제조 공정은, 베이스 기판의 한 면에 투명 도전층을 형성하는 단계; 상기 베이스 기판의 다른 면 상에 블랙 매트릭스를 형성하는 단계; 상기 블랙 매트릭스 내에 컬러 필터층을 형성하는 단계; 상기 컬러 필터층 상에 통합적으로 형성된 포스트 스페이서들과 오버코트 보호막을 포함하는 절연물질층을 형성하는 단계를 포함한다.
개시된 기술의 다른 실시예에 따르면, 컬러 필터 기판을 위한 제조 장치는, 베이스 기판의 한 면 상에 투명 도전층을 형성하기 위한 투명 도전층 형성 유니트; 상기 베이스 기판의 다른 면 상에 블랙 매트릭스를 형성하기 위한 블랙 매트릭스 형성 유니트; 상기 블랙 매트릭스 내에 컬러 필터층을 형성하기 위한 컬러 필터 형성 유니트; 통합적으로 형성된 포스트 스페이서들과 오버코트 보호막을 포함하는 절연물질층을 형성하기 위한 절연물질층 형성 유니트를 포함한다.
개시된 기술의 또다른 실시예에 따르면, 컬러 필터 기판은, 베이스 기판, 투명 도전층, 블랙 매트릭스, 컬러 필터층 및 통합적으로 형성된 포스트 스페이서들과 오버코트 보호막을 포함하는 절연물질층을 포함하며, 상기 투명 도전층과 상기 블랙 매트릭스는 상기 베이스 기판의 반대 면들 상에 있으며, 상기 컬러 필터층은 상기 블랙 매트릭스 내에 있으며, 상기 절연물질층은 상기 컬러 필터층과 상기 블랙 매트릭스 상에 있다.
개시된 기술의 또다른 실시예에 따르면, LCD 패널은, 컬러 필터 기판, 어레이 기판 및 상기 컬러 필터 기판과 상기 어레이 기판 사이에 충전된 액정층을 포함하며, 상기 컬러 필터 기판은 전술한 형태를 갖는다.
개시된 기술의 또다른 실시예에 따르면, 디스플레이 장치는 전술한 LCD 패널을 포함한다.
개시된 기술의 실시예들에서, 투명 도전층은 베이스 기판의 한 면 상에 형성되며; 블랙 매트릭스는 상기 베이스 기판의 다른 면 상에 형성되며, 컬러 필터층은 상기 블랙 매트릭스 내에 형성되며; 포스트 스페이서들과 보호막을 포함하는 절연물질층은 상기 컬러 필터층 상에 형성되고, 상기 컬러 필터 기판의 제조 공정은 상기 포스트 스페이서들과 상기 오버코트 보호막을 동시에 형성함으로써 단축되고, 그리하여 장비에 대한 투자를 감소시킬 수 있으며, 효율을 향상시킬 수 있다.
개시된 기술의 적용가능성에 대한 다른 범위는 이후 기술되는 상세한 설명으로부터 명백해 질 것이다. 그러나 이러한 상세한 설명과, 개시된 기술의 바람직한 실시예들을 지칭하는 특정 실시예들은, 개시된 기술의 사상과 범위 내에서 다양한 변화들과 수정들이 이어지는 상세한 설명으로부터 당업자들에게 명백해 질 것이기 때문에 단지 실례로서 주어진다.
개시된 기술은 단지 실례로서 주어지며, 따라서 개시된 기술에 대하여 제한적이지 않은, 이후의 상세한 설명과 첨부하는 도면들로부터 보다 완전히 이해될 것이다.
도 1은 종래 기술에서 컬러 필터 기판의 구조에 대한 개략도이다.
도 2는 도 1의 선 A-A를 따라 취한 컬러 필터 기판의 개략적인 단면도이다.
도 3은 종래 기술에서 노출 제조 공정의 개략도이다.
도 4는 개시된 기술의 실시예에 따른 컬러 필터 기판의 제조 공정에 대한 개략적인 플로우챠트이다.
도 5는 개시된 기술의 실시예에 따른 컬러 필터 기판의 구조에 대한 개략도이다.
도 6은 도 5의 선 B-B를 따라 취한 컬러 필터 기판의 개략적인 단면도이다.
도 7은 개시된 기술의 실시예에 따른 노출 제조 공정의 개략도이다.
도 8은 개시된 기술의 실시예에 따른 컬러 필터 기판의 제조 장치의 구조에 대한 개략도이다.
여기에 기술된 개시된 기술의 실시예들은 컬러 필터 기판의 제조 공정을 단축하기 위한, 컬러 필터 기판, 컬러 필터 기판을 제조하기 위한 제조 공정 및 제조 장치를 제공하며, 그리하여 종래 기술의 기술적 문제점들을 극복하기 위하여 장비에 대한 투자를 감소시키고 효율을 향상시킬 수 있다.
개시된 기술의 실시예들에 따른 기술적 해결책은 도면과 결합된 이후의 상세한 설명들에서 설명될 것이다.
도 4를 참조하면, 개시된 기술의 실시예에 따른 컬러 필터 기판의 제조 공정은 다음 단계들을 포함한다:
S101, 베이스 기판의 한 면 상에 투명 도전층을 형성하는 단계;
S102, 상기 베이스 기판의 다른 면 상에 블랙 매트릭스를 형성하는 단계;
S103, 상기 블랙 매트릭스 내에 컬러 필터층을 형성하는 단계; 및
S104, 상기 컬러 필터층 상에 포스트 스페이서들과 보호막을 포함하는 절연물질층을 형성하는 단계.
상기 투명 도전층은 ITO, IZO, 및 AZO(Aluminum Zinc Oxide) 또는 이와 유사한 것으로 이루어질 수 있다.
상기 베이스 기판은 유리 기판, 쿼츠 기판, 플라스틱 기판 또는 이와 유사한 것으로 이루어질 수 있다.
포스트 스페이서들과 보호막을 포함하는 절연물질층은 컬러 필터층 상에 형성되며, 상기 제조 공정은 하나의 리쏘그라피 공정에서 부분 노출 기술에 의해 포스트 스페이서들과 보호막을 포함하는 절연물질층을 형성하는 단계를 포함한다.
한 예에서, 포스트 스페이서들과 보호막을 포함하는 절연물질층이 하나의 리쏘그라피 공정에서 부분 노출 기술에 의해 형성되는 동안의 단계는, 완전 노출 영역과 부분 노출 영역을 갖는 마스크를 통한 리소그라피에 의해 포스트 스페이서들과 보호막을 포함하는 절연물질층을 형성하는 단계를 포함한다. 상기 완전 노출 여역은 포스트 스레이서들(PS)을 형성하기 위한 것이며, 상기 부분 노출 영역은 오버코트(OC) 보호막을 형성하기 위한 것이다.
한 예에서, 상기 포스트 스페이서들과 상기 오버코트 보호막은 동일한 수지 물질로 이루어진다. 상기 수지 물질은 폴리머들, 모노머들 및 광개시제들을 포함하는 광감성 합성 수지일 수 있다. 예를 들어, 상기 폴리머들은 주로 비닐 폴리머들(예를 들어, 메타크릴레이트 및 아크릴레이트)을 포함하며, 상기 모노머들은 예로서, 트리메틸올프로판 트리스아크릴레이트(TMPTA ;Trimethylolpropane Trisacrylate), 트리프로필렌 글리콜 다이아크릴레이트(tripropylene glycol diacrylate), 또는 1,6 헥산디올 다이아크릴레이트(1,6-Hexanediol diacrylate)일 수 있으며, 상기 광개시제(photoinitiator)는 주로 아세톤, 히프논(hypnone) 또는 이와 유사한 것을 포함한다.
도 5를 참조하면, 개시된 기술의 실시예에 따른 컬러 필터 기판의 구조에 대한 개략도가 도시되며, 도 5의 선 B-B를 따라 취한 컬러 필터 기판의 개략적 단면도가 도 6에 도시된다. 도시된 바와 같이, 개시된 기술의 실시예에 따른 컬러 필터 기판(100)은, 유리 기판(12), 투명 도전층(11), 블랙 매트릭스(13), 컬러 필터층(14) 및 포스트 스페이서들(151)과 보호막(15)을 포함하는 절연물질층을 포함한다. 상기 포스트 스페이서(151)들은 디스플레이 영역에 영향을 끼치지 않으면서 상기 블랙 매트릭스(13)와 오버랩되도록 위쪽에 위치한다.
상기 투명 도전층(11)과 블랙 매트릭스(13)는 유리 기판(12)의 반대 면 상에 배치된다. 컬러 필터층(14)이 상기 블랙 매트릭스(13) 내에 그리고 부분적으로 제공된다. 상기 절연물질층(15)은 컬러 필터층(14) 상에 놓이며, 컬러 필터층(14)과 블랙 매트릭스(13) 모두와 접촉한다.
예를 들어, 컬러 필터층(14)은, 블랙 매트릭스에 의해 한정되어지는 디스플레이 소자의 각 서브-화소들에 각기 대응하는 적색 필터 유니트들, 녹색 필터 유니트들 및 청색 필터 유니트들을 포함한다. 다른 예에서, 상기 컬러 필터층(14)은 블랙 매트릭스에 의해 한정되어지는 디스플레이 소자의 각 서브-화소들에 대응하는 적색 필터 유니트들, 녹색 필터 유니트들, 청색 필터 유니트들 및 황색 필터 유니트들을 포함할 수 있다. 개시된 기술의 보호 범위는 컬러 필터층(14)의 구성 방식에 의해 제한되지 않는다. 다른 컬러들로서 이러한 필터 유니트들은 디스플레이를 위한 블랙 매트릭스 내에 배치된다.
상기 절연물질층(15)은 통합적으로 동일 물질로 이루어질 수 있으며, 수지 물질일 수 있다. 상기 절연물질층(15)은 상기 포스트 스페이서(151)들에 대응하는 부분과 상기 포스트 스페이서(151)들 보다 상기 오버코트 보호막(152)에 대응하는 부분을 포함한다. 상기 포스트 스페이서(151)들은 상기 컬러 필터 기판과 상기 어레이 기판 사이에서 지지대 역할을 하며, 반면에 상기 오버코트 보호막은 상기 컬러 필터층(14)을 보호하기 위해 상기 컬러 필터층(14)을 덮는다. 상기 절연물질층(15) 자체는 종래 기술 상태에서의 상기 보호막과 상기 포스트 스페이서들의 역할을 한다. 본 실시예에서 상기 포스트 스페이서들과 상기 오버코트 보호막은 통합적(integrally)으로 형성된다.
도 7을 참조하면, 개시된 기술의 실시예가 AD-SDS 모드 LCD 디스플레이용 컬러 필터 기판과 결합하여 설명된다. 하프톤(half tone) 마스크(HTM) 또는 그레이톤 마스크(GTM)가 완전 노출 영역(161)과 부분 노출 영역(162)을 포함하는 마스크(16)를 통하여 절연물질층(15)을 형성하기 위하여 감광성 수지를 노출 및 현상하기 위해 사용되며, 이후 상기 마스크(16)의 완전 노출 영역(161)에 대응하는 부분은 상기 포스트 스페이서들을 형성하고, 반면에 상기 부분 노출 영역(162)에 대응하는 부분은 상기 보호막(152)을 형성한다. 따라서 컬러 필터 기판의 제조 공정이 단축되며, 장비 투자가 감소될 수 있으며, 효율이 따라서 향상될 수 있다. 특히, 상기 부분 노출의 흐름은, 우선 수지 물질층이 컬러 필터층(14) 상에 적용되고, 이어서 완전 노출 영역(161)과 부분 노출 영역(162)을 포함하는 마스크(16)가 상기 수지 물질을 노출시키도록 위치하며, 이 공정에서 수지 물질의 대응하는 부분이 마스크(16)의 완전 노출 영역에 완전히 노출되어 상기 포스트 스페이서들을 형성하고, 수지 물질의 대응하는 부분이 마스크(16)의 부분 노출 영역을 통하여 부분적으로 노출되어 상기 오버코트 보호막이 형성된다. 본 실시예에서, 사용된 수지 물질은 네가티브 감광성 타입이며, 즉 노출된 부분이 현상 동안에 잔류하고 반면에 노출되지 않은 부분이 현상 동안 제거되며; 따라서 부분적으로 노출된 부분은 공정 동안 부분적으로 제거되어 수지 층의 두께가 감소된다.
여기서 사용된 바처럼, 완전 노출 영역은 100%에 근접하는 전송율을 갖는 마스크(16)의 영역이다. 부분 노출 영역은 전송율이 100% 보다 작은, 예를 들어 50%인 마스크(16)의 영역이다.
다른 실시예에서, 절연물질층을 형성하기 위해 사용된 수지 물질은 포지티브 감광성 타입이며, 즉 노출된 부분이 현상 동안에 제거되고 반면에 노출되지 않은 부분이 현상 동안 잔류하며; 부분적으로 노출된 부분은 현상 공정 동안 부분적으로 제거되어 수지 층의 두께가 감소되며; 따라서 노출 동안에 상기 포스트 스페이서들을 형성하기 위한 마스크 영역은 비노출 영역(즉, 불투명 영역)이며, 반면에 오버코트 보호막을 형성하기 위한 영역은 빛에 대하여 부분적으로 전달되는 부분 노출 영역이다.
LCD 패널이 개시된 기술의 실시예에 따라 또한 제공되며, 컬러 필터 기판, 어레이 기판 및 컬러 필터 기판과 어레이 기판 사이에 충전된 액정층을 포함한다. 나아가 LCD 패널은 LCD 패널의 뒤에 배치된 백라이트 모듈을 포함하며, 이것은 직접형(direct type) 또는 측발광형(edge-emitting type)일 수 있다.
개시된 기술의 실시예에 따른 디스플레이 소자는 전술한 LCD 패널을 포함하며, 이것은 앞의 실시예들과 결합하여 논의된다.
도 8을 참조하면, 또한 개시된 기술의 실시예에 따른 컬러 필터 기판을 위한 제조 장치가 제공되며:
베이스 기판의 한 면 상에 투명 도전층을 형성하기 위한 투명 도전층 형성 유니트(101);
상기 베이스 기판의 다른 면 상에 블랙 매트릭스를 형성하기 위한 블랙 매트릭스 형성 유니트(102);
상기 블랙 매트릭스 내에서 컬러 필터층을 형성하기 위한 컬러 필터층 형성 유니트(103); 및
포스트 스페이서들과 보호막을 포함하는 절연물질층을 형성하기 위한 절연물질층 형성 유니트(104)를 포함한다.
예로서, 상기 절연물질층 형성 유니트(104)는 마스크의 완전 노출 영역과 부분 노출 영역을 통하여 상기 컬러 필터층 상에 포스트 스페이서들과 보호막을 포함하는 절연물질층을 형성한다. 상기 완전 노출 영역은 포스트 스페이서들을 형성하기 위한 것이며, 상기 부분 노출 영역은 오버코트 보호막을 형성하기 위한 것이다.
예로서, 상기 절연물질층 형성 유니트(104)는 동일 물질로 상기 포스트 스페이서들과 오버코트 보호막을 통합적으로 형성한다.
개시된 기술의 실시예들에 따르면, 투명 도전층은 베이스 기판의 한 면 상에 형성되며, 블랙 매트릭스는 베이스 기판의 다른 면 상에 형성되며, 포스트 스페이서들과 보호막을 포함하는 절연물질층은 컬러 필터층 상에 형성된다. 컬러 필터 기판의 제조 공정이 단축될 수 있으며, 따라서 장비에 대한 투자를 줄일 수 있고, 효율을 향상시킬 수 있다.
명백하게는, 당업자들은 개시된 기술의 범위와 사상으로부터 벗어남이 없이 개시된 기술의 어떠한 변경 및 수정을 인식할 수 있을 것이다. 개시된 기술 그 자체는 첨부된 청구항들에서 언급한 범위 및 그 등가물 내에서 상기 변경 및 수정을 포함하는 것을 의도하고 있다. 실시예들은 첨부된 청구항들에서 언급한 바의 개시된 기술의 범위를 제한 또는 구속하려고 의도된 것은 아니다.
11 ; 투명 도전층 12 ; 유리 기판
13 ; 블랙 매트릭스 14 ; 컬러 필터층
15 ; 절연물질층 16 ; 마스크

Claims (15)

  1. 베이스 기판의 한 면 상에 투명 도전층을 형성하는 단계;
    상기 베이스 기판의 다른 면 상에 블랙 매트릭스를 형성하는 단계;
    상기 블랙 매트릭스 내에 컬러 필터층을 형성하는 단계; 및
    상기 컬러 필터층 상에 통합적으로(integrally) 형성된 포스트 스페이서들 및 오버코트 보호막을 포함하는 절연물질층을 형성하는 단계;
    를 포함하는 컬러 필터 기판의 제조 공정.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 컬러 필터층 상에 통합적으로 형성된 포스트 스페이서들 및 오버코트 보호막을 포함하는 절연물질층을 형성하는 단계는,
    부분 노출 기술 공정에 의해 상기 포스트 스페이서들 및 오버코트 보호막을 포함하는 상기 절연물질층을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 컬러 필터 기판의 제조 공정.
  3. 제2 항에 있어서,
    부분 노출 기술 공정에 의해 상기 포스트 스페이서들 및 오버코트 보호막을 포함하는 절연물질층을 형성하는 단계는,
    완전 노출 영역과 부분 노출 영역을 포함하는 마스크를 통하여 상기 포스트 스페이서들 및 오버코트 보호막을 포함하는 상기 절연물질층을 형성하는 단계를 포함하며, 상기 완전 노출 영역은 상기 포스트 스페이서들을 형성하기 위한 것이며, 상기 부분 노출 영역은 상기 오버코트 보호막을 형성하기 위한 것임을 특징으로 하는 컬러 필터 기판의 제조 공정.
  4. 제2 항에 있어서,
    부분 노출 기술 공정에 의해 상기 포스트 스페이서들 및 오버코트 보호막을 포함하는 절연물질층을 형성하는 단계는,
    비노출 영역과 부분 노출 영역을 포함하는 마스크를 통하여 상기 포스트 스페이서들 및 오버코트 보호막을 포함하는 상기 절연물질층을 형성하는 단계를 포함하며, 상기 부분 노출 영역은 상기 포스트 스페이서들을 형성하기 위한 것이며, 상기 비노출 영역은 상기 오버코트 보호막을 형성하기 위한 것임을 특징으로 하는 컬러 필터 기판의 제조 공정.
  5. 제3 항 또는 제4 항에 있어서,
    상기 절연물질층은 광감성 수지 물질로 형성되는 것을 특징으로 하는 컬러 필터 기판의 제조 공정.
  6. 제5 항에 있어서,
    상기 광감성 수지 물질은 폴리머들, 모노머들 및 광개시제들을 포함하는 것을 특징으로 하는 컬러 필터 기판의 제조 공정.
  7. 베이스 기판의 한 면 상에 투명 도전층을 형성하기 위한 투명 도전층 형성 유니트;
    상기 베이스 기판의 다른 면 상에 블랙 매트릭스를 형성하기 위한 블랙 매트릭스 형성 유니트;
    상기 블랙 매트릭스 내에 컬러 필터층을 형성하기 위한 컬러 필터층 형성 유니트; 및
    통합적으로(integrally) 형성된 상기 포스트 스페이서들 및 오버코트 보호막을 포함하는 절연물질층을 형성하기 위한 절연물질층 형성 유니트;
    를 포함하는 컬러 필터 기판들의 제조 장치.
  8. 제7 항에 있어서,
    상기 절연물질층 형성 유니트는 부분 노출 기술 공정에 의해 상기 포스트 스페이서들 및 오버코트 보호막을 포함하는 상기 절연물질층을 형성하는 것을 특징으로 하는 컬러 필터 기판의 제조 장치.
  9. 제7 항에 있어서,
    상기 절연물질층 형성 유니트는, 완전 노출 영역과 부분 노출 영역을 포함하는 마스크를 통하여 상기 포스트 스페이서들 및 오버코트 보호막을 포함하는 상기 절연물질층을 형성하며, 상기 완전 노출 영역은 상기 포스트 스페이서들을 형성하기 위한 것이며, 상기 부분 노출 영역은 상기 오버코트 보호막을 형성하기 위한 것임을 특징으로 하는 컬러 필터 기판의 제조 장치.
  10. 제8 항에 있어서,
    상기 절연물질층 형성 유니트는, 비노출 영역과 부분 노출 영역을 포함하는 마스크를 통하여 상기 포스트 스페이서들 및 오버코트 보호막을 포함하는 상기 절연물질층을 형성하며, 상기 비노출 영역은 상기 포스트 스페이서들을 형성하기 위한 것이며, 상기 부분 노출 영역은 상기 오버코트 보호막을 형성하기 위한 것임을 특징으로 하는 컬러 필터 기판의 제조 장치.
  11. 제9 항 또는 제10 항에 있어서,
    상기 절연물질층 형성 유니트는 광감성 수지 물질을 갖는 상기 절연물질층을 형성하는 것을 특징으로 하는 컬러 필터 기판의 제조 장치.
  12. 베이스 기판;
    투명 도전층;
    블랙 매트릭스;
    컬러 필터층; 및
    포스트 스페이서들 및 오버코트 보호막을 포함하는 절연물질층;을 포함하며,
    상기 투명 도전층과 상기 블랙 매트릭스는 상기 베이스 기판의 반대 면 상에 있으며, 상기 컬러 필터층은 상기 블랙 매트릭스 내에 있으며, 상기 절연물질층은 상기 컬러 필터층과 상기 블랙 매트릭스 상에 있는 것을 특징으로 하는 컬러 필터 기판.
  13. 제12 항에 있어서,
    상기 절연물질층은 광감성 수지 물질로 이루어진 것을 특징으로 하는 컬러 필터 기판.
  14. 컬러 필터 기판;
    어레이 기판; 및
    상기 컬러 필터 기판과 상기 어레이 기판 사이에 충전된 액정층;을 포함하며,
    상기 컬러 필터 기판은 청구항 13에 따른 것임을 특징으로 하는 LCD 패널.
  15. 청구항 14에 따른 LCD 패널을 포함하는 디스플레이 소자.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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