KR20120104944A - 막 두께 불균일 검사 장치 및 방법 - Google Patents

막 두께 불균일 검사 장치 및 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR20120104944A
KR20120104944A KR1020120024856A KR20120024856A KR20120104944A KR 20120104944 A KR20120104944 A KR 20120104944A KR 1020120024856 A KR1020120024856 A KR 1020120024856A KR 20120024856 A KR20120024856 A KR 20120024856A KR 20120104944 A KR20120104944 A KR 20120104944A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
substrate
unit
inspection
film thickness
angle
Prior art date
Application number
KR1020120024856A
Other languages
English (en)
Inventor
히로미츠 와다
히사요시 타지마
야스후미 코야마
나오요시 하마카와
마사시 미즈하라
Original Assignee
도레 엔지니아린구 가부시키가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 도레 엔지니아린구 가부시키가이샤 filed Critical 도레 엔지니아린구 가부시키가이샤
Publication of KR20120104944A publication Critical patent/KR20120104944A/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
    • G01B11/06—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material
    • G01B11/0616—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material of coating
    • G01B11/0625—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material of coating with measurement of absorption or reflection
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/8422—Investigating thin films, e.g. matrix isolation method
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
    • H01L21/67253—Process monitoring, e.g. flow or thickness monitoring

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Mathematical Physics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
  • Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)

Abstract

<과제> 검사에 적절한 밝기나 콘트라스트(contrast)의 화상을 취득하여, 확실한 검사 결과를 얻을 수 있는 막 두께 불균일 검사 장치 및 방법을 제공한다.
<해결 수단> 표면에 피막(皮膜)이 형성된 기판을 한 방향으로 이동시키면서, 기판에 형성된 피막의 막 두께 불균일을 검사하는 장치 및 방법이고,
피막의 두께를 검출하는 막 두께 검출부를 구비하며,
광원부는, 촬상(撮像)부 측에 배치된 반사 조명부와, 기판을 사이에 두고 촬상부에 대향하는 위치에 배치된 투과 조명부를 구비하고,
촬상부는 기판과의 상대 각도를 조절하는 촬상부 각도 조정 수단을 구비하고,
반사 조명부는 반사 조명부와 기판의 상대 각도를 조절하는 반사 조명 각도 조정 수단을 구비하고,
투과 조명부는 투과 조명부와 기판의 상대 각도를 조절하는 투과 조명 각도 조정 수단을 구비하고,
막 두께 검출부로부터의 막 두께 정보 정보에 기초하여,
반사 조명 각도 조정 수단 및 투과 조명 각도 조정 수단을 제어하고,
반사 조명의 광량 및 투과 조명의 광량을 조절하는 제어부를 구비한 것을 특징으로 하는 막 두께 불균일 검사 장치 및 방법.

Description

막 두께 불균일 검사 장치 및 방법{DEVICE AND METHOD FOR INSPECTING UNEVENNESS OF FILM THICKNESS}
본 발명은, 컬러 필터의 제조 공정 등에 있어서, 유리나 투광성의 수지재(樹脂材) 등의 기판 상에 형성된 컬러 피막(皮膜)의 두께 불균일(이른바, 막 두께 불균일)을 검사하기 위한 장치 및 방법에 관한 것이다。
종래부터, 플랫 패널 디스플레이(Flat Panel Display)에 이용되는 컬러 필터의 제조 공정 등에 있어서, 안료 분산의 불균일이나, 성분 응집, 성막(成膜) 시의 진동의 영향에 의하여 생기는 막 두께 불균일에 기인하여, 색 불균일로 되는 것이 알려져 있다. 상기 막 두께 불균일이 생긴 채로 제조 작업을 계속한다고 하는 문제의 발생을 방지하기 위하여, 카메라와 투과 조명을 이용하여, 색 불균일의 유무, 정도 등을 검사하는 것이 행하여지고 있었다.(예를 들어, 특허 문헌 1).
나아가 카메라와 반사 조명을 이용하여, 기판의 표면에 형성되어 있는 층이 여러 가지로 변화한 경우여도, 이것에 대응하여, 발생한 불균일을 선명히 촬상하는 기술이 개시되어 있다(예를 들어, 특허 문헌 2).
특허 문헌 1 : 일본국 공개특허공보 특개2006－234470호 특허 문헌 2 : 일본국 공개특허공보 특개2007－309718호
여러 가지의 색 불균일은, 적색?청색?녹색 등의 성막 중 어느 하나의 성막의 일부에 막 두께의 불균일한 부분(즉, 막 두께 불균일)을 포함하는 것으로 생긴다. 상기 각 색의 성막의 막 두께 불균일의 검사는, 검사 대상으로 되는 기판과 촬상부의 각도를 변경하여, 그 각도나 검사 대상에 따라 조명의 종류나 각도나 위치를 변경하여 행하여지지만, 검출하기 어려운 막 두께 불균일의 경우, 피막 전체의 막 두께(즉, 막 두께 불균일이 없는 부분의 막 두께. 이른바 대표 막 두께)가 다르면, 막 두께 불균일의 콘트라스트(contrast)를 충분히 얻을 수 없는 경우가 있다. 그 때문에, 성막되어 있는 피막의 대표 막 두께가 다른 기판을 복수 검사하는 경우, 각각의 기판을 같은 촬상 조건으로 검사를 하여도, 확실한 검사 결과를 얻는 것이 어려운 경우가 있었다.
그래서 본 발명은, 대표 막 두께가 다른 동일 품종의 기판에 관하여, 공통하는 검사 조건에 기초하여, 대표 막 두께의 차이에 따라 검사에 적절한 밝기나 콘트라스트의 화상을 취득하여, 확실한 검사 결과를 얻을 수 있는 막 두께 불균일 검사 장치 및 방법을 제공하는 것을 목적으로 하고 있다.
이상의 과제를 해결하기 위하여, 청구항 1에 기재된 발명은,
표면에 피막이 형성된 기판을 보지(保持)하여 이동시키는 기판 이동부와,
상기 기판에 대하여 광을 조사(照射)하는 광원부와,
상기 기판의 피막이 형성된 면의 적어도 일부를 촬상하는 촬상부와,
상기 촬상부에서 촬상된 화상에 기초하여 상기 피막의 두께 불균일을 검사하는 검사부를 포함하며,
상기 기판을 한 방향으로 이동시키면서, 상기 기판에 형성된 피막의 두께 불균일을 검사하는 막 두께 불균일 검사 장치이고,
검사 대상 품종에 따른 검사 조건을 설정 등록하는 검사 조건 등록부와,
상기 기판에 형성된 피막의 대표 막 두께를 검출하는 대표 막 두께 검출부를 구비하며,
상기 광원부는,
상기 촬상부 측에 배치되어 상기 기판에 광을 조사하는 반사 조명부와,
상기 기판을 사이에 두고 상기 촬상부에 대향하는 위치에 배치되어 상기 기판에 광을 조사하는 투과 조명부를 구비하고,
상기 촬상부에는, 상기 촬상부와 상기 기판의 상대 각도를 조절하는 촬상 각도 조정부를 구비하며,
상기 반사 조명부에는, 상기 반사 조명부와 상기 기판의 상대 각도를 조절하는 반사 조명 각도 조정부를 구비하고,
상기 투과 조명부에는, 상기 투과 조명부와 상기 기판의 상대 각도를 조절하는 투과 조명 각도 조정부를 구비하며,
상기 검사 조건 등록부에 등록된 검사 조건과, 상기 대표 막 두께 검출부로부터의 대표 막 두께 정보에 기초하여,
상기 촬상부 각도 조정부와 상기 반사 조명 각도 조정부와 상기 투과 조명 각도 조정부를 제어하고,
상기 반사 조명의 광량 및 상기 투과 조명의 광량을 조절할 수 있는 제어부를 구비한 것을 특징으로 하는 막 두께 불균일 검사 장치이다.
청구항 5에 기재된 발명은,
표면에 피막이 형성된 기판을 보지하여 이동시키는 기판 이동 스텝과,
상기 기판에 대하여 광원부로부터 광을 조사하여 상기 기판의 피막이 형성된 면의 적어도 일부를 촬상하는 촬상 스텝과,
상기 촬상부에서 촬상된 화상에 기초하여 상기 피막의 두께 불균일을 검사하는 검사 스텝을 포함하며,
상기 기판을 한 방향에 이동시키면서, 상기 기판에 형성된 피막의 두께 불균일을 검사하는 막 두께 불균일 검사 방법이고,
검사 대상 품종에 따른 검사 조건을 설정 등록하는 검사 조건 등록 스텝과,
상기 기판에 형성된 피막의 대표 막 두께를 검출하는 대표 막 두께 검출 스텝을 가지며,
상기 광원부는,
상기 촬상부 측에 배치되어 상기 기판에 광을 조사하는 반사 조명부와,
상기 기판을 사이에 두고 상기 촬상부에 대향하는 위치에 배치되어 상기 기판에 광을 조사하는 투과 조명부가 포함되어 구성되어 있고,
상기 촬상 스텝은,
상기 검사 조건 등록부에 등록된 검사 조건과, 상기 대표 막 두께 검출 스텝에서 검출된 대표 막 두께 정보에 기초하여,
상기 촬상부와 상기 기판의 상대 각도를 조절하는 촬상부 각도 조정 스텝과,
상기 반사 조명부와 상기 기판의 상대 각도를 조절하는 반사 조명 각도 조정 스텝과,
상기 투과 조명부와 상기 기판의 상대 각도를 조절하는 투과 조명 각도 조정 스텝과,
상기 반사 조명 또는 상기 투과 조명의 광량을 조절하는 광량 조절 스텝을 가지는 것을 특징으로 하는 막 두께 불균일 검사 방법이다.
상기 막 두께 불균일 검사 장치 및 방법을 이용하므로,
막 두께 불균일의 대상으로 되는 피막의 두께를 측정하고, 그 막 두께에 적절한 관찰 각도와, 조명의 위치 및 각도와, 조명의 광량을 설정하여, 자동으로 막 두께 불균일 검사를 행할 수 있다.
청구항 2에 기재된 발명은 청구항 1에 있어서,
동일한 상기 기판의 반복 검사 횟수를 카운트하는 계수부를 구비하고,
상기 카운트 횟수에 따라, 상기 촬상부의 각도 또는 상기 조명의 광량을 변경하는 기능을 구비한 것을 특징으로 하는 막 두께 불균일 검사 장치이다.
청구항 6에 기재된 발명은 청구항 5에 있어서,
동일한 상기 기판의 반복 검사 횟수를 카운트하는 계수 스텝과,
동일한 상기 기판을 적어도 2회 이상 검사하는 반복 검사 스텝과,
상기 카운트 횟수에 따라, 상기 촬상부의 각도 또는 상기 조명의 광량을 변경하는 스텝을 가지는 것을 특징으로 하는 막 두께 불균일 검사 방법이다.
상기 막 두께 불균일 검사 장치 및 방법을 이용하면,
1회째에서의 검사와 2회째 이후의 검사에서는, 관찰 각도, 조명의 위치 혹은 각도, 또는 조명의 광량을 변경하여 검사를 행할 수 있다. 그러면, 1회째에서는 적절한 밝기나 콘트라스트의 화상이 취득하기 어려운 품종이어도, 2회째 이후의 검사에서 적절한 밝기나 콘트라스트의 화상을 취득할 수 있다. 그 때문에, 막 두께 불균일이 검출하기 어려운 품종이어도, 세밀하게 막 두께 불균일의 검사를 행할 수 있다.
청구항 3에 기재된 발명은 청구항 2에 있어서,
상기 검사부는,
상기 반복 검사한 각각의 화상을 다중 합성 처리하는 화상 처리부를 구비하고,
상기 합성 처리한 화상을 다중 합성하여 얻어진 다중 합성 화상에 기초하여 막 두께의 불균일을 검사하는, 다중 합성 화상 검사 기능을 구비한 것을 특징으로 하는 막 두께 불균일 검사 장치이다.
청구항 7에 기재의 발명은 청구항 6에 있어서,
상기 반복 검사 스텝에 있어서, 각각의 화상을 취득하는 화상 취득 스텝과,
상기 취득된 각각의 화상을 다중 합성 처리하는 다중 화상 합성 처리 스텝과,
상기 다중 합성 처리한 화상에 기초하여, 막 두께의 불균일을 검사하는 다중 합성 화상 검사 스텝을 더 가지는 것을 특징으로 하는 막 두께 불균일 검사 방법이다.
상기 막 두께 불균일 검사 장치 및 방법을 이용하면, 1회째에서의 검사와 2회째 이후의 검사에서 얻어진 화상을 다중 합성 처리하므로, 어느 하나의 관찰 조건에서 얻어진 화상에 대하여 검사하는 것보다도, 노이즈 성분이 적은 검사를 행할 수 있다. 그 때문에, 하나의 촬상 조건만으로 얻어진 전면(全面) 화상에 기초하여 검사하는 것보다도, 미묘한 콘트라스트 화상밖에 얻어지지 않는 것과 같은 막 두께 불균일에 대해서도, 확실한 검사를 행할 수 있다.
청구항 4에 기재된 발명은 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 있어서,
상기 촬상부와 상기 투과 조명이 연결되어 있고,
상기 촬상부 각도 조정부가, 상기 투과 조명 각도 조정부를 겸하고 있는 것을 특징으로 하는 막 두께 불균일 검사 장치이다.
상기 막 두께 불균일 검사 장치를 이용하면, 상기 촬상부와 상기 투과 조명을 일체로 회전시킬 수 있으므로, 상기 투과 조명의 각도를 개별적으로 조절하는 기구를 생략할 수 있다. 그 때문에, 위치 조정 기구의 수를 줄일 수 있어, 장치의 코스트 다운(cost down)을 도모할 수 있다.
검사 대상으로 되는 피막의 두께가 바뀌어도, 거기에 따라 적절한 밝기나 콘트라스트의 화상을 취득하여, 확실히 막 두께 불균일의 검사 결과를 얻을 수 있다.
도 1a는 본 발명을 구현화하는 형태의 일례를 도시하는 평면도이다.
도 1b는 본 발명을 구현화하는 형태의 일례를 도시하는 측면도이다.
도 2는 본 발명을 구현화하는 형태의 일례를 도시하는 시스템 구성도이다.
도 3a는 본 발명을 적용시키는 피막의 두께마다의 조명 각도와 불균일 강도의 상관도이다.
도 3b는 본 발명을 적용시키는 피막의 두께와 조명 각도의 상관도이다.
도 4는 본 발명을 구현화하는 형태의 일례를 도시하는 플로우도이다.
도 5a는 본 발명을 구현화하는 형태의 제2 예를 도시하는 평면도이다.
도 5b는 본 발명을 구현화하는 형태의 제2 예를 도시하는 측면도이다.
본 발명을 실시하기 위한 형태에 관하여, 도면을 이용하면서 설명한다.
도 1a는, 본 발명을 구현화하는 형태의 일례를 도시하는 평면도이다.
도 1b는, 본 발명을 구현화하는 형태의 일례를 도시하는 측면도이다.
각 도면에 있어서 직교 좌표계의 3축을 X, Y, Z로 하고, XY 평면을 수평면, Z방향을 연직 방향으로 한다. 특히 Z 방향은 화살표의 방향을 상으로 하고, 그 역방향을 하라고 표현한다. 또한, X 방향을 축 중심으로 하는 회전 방향을 θ 방향이라고 한다.
막 두께 불균일 검사 장치(1)는, 기판 이동부(2)와, 광원부(3)와, 촬상부(4)와, 검사부와, 제어부(9)를 포함하여 구성되어 있다. 여기에서는, 검사 대상의 기판으로서 유리에 컬러 피막이 도포된 기판(10)을 예시하여 설명한다.
기판 이동부(2)는, 상류 측 이동부(2a)와 하류 측 이동부(2b)를 포함하여 구성되어 있고, 상류 측 이동부(2a) 및 하류 측 이동부(2b)는, 장치 프레임(11)에 장착된 컨베이어(conveyor) 프레임(12a, 12b)과, 컨베이어 프레임(12a, 12b)에 장착된 컨베이어 롤러(23a, 23b)와, 컨베이어 롤러(23a, 23b)를 회전 구동시키기 위한 컨베이어 구동 모터(24a, 24b)를 포함하여 구성되어 있다.
상류 측 이동부(2a)와 하류 측 이동부(2b)는, 기판(10)을 Y 방향으로 이동 반송할 수 있도록, 기판 검사 라인(41)을 사이에 두고 배치되어 있다. 그 때문에, 기판 이동부(2)는, 재치(載置, 물건의 위에 다른 것을 올리는 것)된 기판(10)을 Y 방향으로 이동 반송시켜, 기판 검사 라인(41)을 통과시킬 수 있다. 기판(10)은 기판 라인(41)을 통과 후, 파선(破線, 10f)으로 도시하는 위치까지 이동한다.
광원부(3)는, 반사 조명부(3a)와 투과 조명부(3b)를 포함하여 구성되어 있다.
반사 조명부(3a)는, 반사 조명(31)과, 반사 조명 각도 조정 수단(32)과, 반사 조명 위치 조정 수단(33)과, 반사 조명 광량 조절 유닛(34)을 포함하여 구성되어 있다. 반사 조명(31)은, 반사 조명 각도 조정 수단(32)에 장착되어 있고, θ 방향으로 회전시켜, 기판(10)과의 각도를 조정할 수 있다. 반사 조명 각도 조정 수단(32)은, 반사 조명 위치 조정 수단(33)에 장착되어 있고, 반사 조명(31)과 함께 Y 방향으로 이동하여, 위치를 조정할 수 있다. 반사 조명 위치 조정 수단(33)은 지주(支柱, 39)에 장착되어 있고, 지주(39)는 장치 프레임(11)에 장착되어 있다. 반사 조명(31)은, X 방향으로 기판(10)보다도 긴 발광부를 가지고 있다. 그 때문에, 반사 조명부(3a)는, 위치와 각도를 변경하면서, 검사 라인(41)을 향하여 소정의 파장 영역을 포함하는 광을 조사할 수 있는 구조를 가지고 있다.
투과 조명부(3b)는, 투과 조명(35)과, 투과 조명 각도 조정 수단(36)과, 투과 조명 위치 조정 수단(37)과, 투과 조명 광량 조절 유닛(38)을 포함하여 구성되어 있다. 투과 조명(35)은, 투과 조명 각도 조정 수단(36)에 장착되어 있고, θ 방향으로 회전시켜, 기판(10)과의 각도를 조정할 수 있다. 투과 조명 각도 조정 수단(36)은, 투과 조명 위치 조정 수단(37)에 장착되어 있고, 투과 조명 위치 조정 수단(37)은, 지주(39)에 장착되어 있다. 투과 조명(35)은, X 방향으로 기판(10)보다도 긴 발광부를 가지고 있다. 그 때문에, 투과 조명부(3b)는, 위치와 각도를 변경하면서, 검사 라인(41)을 향하여 소정의 파장 영역을 포함하는 광을 조사할 수 있는 구조를 가지고 있다.
반사 조명(31) 및 투과 조명(35)으로서는, LED, 할로겐, 백열전구, 형광등, 그 외의 발광 수단을 예시할 수 있다. 나아가, 후술하는 촬상부(4)의 감도 파장이나 감도 특성에 맞춘 소정의 파장을 포함하는 광선을 방사(放射)하는 것으로, 그 소정의 파장이, 기판(10)의 표면에 형성된 피막에 일부 흡수되고, 일부 반사 또는 일부 통과하는 파장이면 된다.
반사 조명(31)은 반사 조명 광량 조절 유닛(34)에 접속되어 있고, 투과 조명(35)은 투과 조명 광량 조절 유닛(38)에 접속되어 있어, 기판(10)에 조사하는 광의 양을 각각 조정할 수 있다.
촬상부(4)는, 촬상 수단(44)과, 촬상부 각도 조정 수단(45)과, 촬상부 위치 조정 수단(46)과, 촬상부 각도 검출기(47)를 포함하여 구성되어 있다. 촬상 수단(44)은, 촬상부 각도 조정 수단(45)에 장착되어 있고, θ 방향으로 회전시켜, 기판(10)과의 각도를 조정할 수 있다. 촬상부 각도 조정 수단(45)은, 촬상부 위치 조정 수단(46)에 장착되어 있고, 촬상 수단(44)과 함께 Y 방향으로 이동하여, 위치를 조정할 수 있다. 촬상부 위치 조정 수단(46)은 지주(42)에 장착되어 있고, 지주(42)는 장치 프레임(11)에 장착되어 있다. 촬상 수단(44)은, X 방향으로 기판(10)보다도 긴 수광부(受光部)를 가지고 있다. 그 때문에, 촬상 수단(44)은, 위치와 각도를 변경하면서, 검사 라인(41)에 대하여 소정의 파장 영역을 포함하는 광을 수광할 수 있는 구조를 가지고 있다.
촬상 수단(44)으로서는, 1차원 또는 2차원의 라인 센서나 에어리어 센서 등을 예시할 수 있으며, 이 수광부가 X 방향으로 길게, 1열로 줄지어 있는 것이나, X 방향으로 소정의 길이를 가지는 것을 복수 이용하여, 그것들을 X 방향 및 Y 방향으로 소정의 간격을 설치하고 복수 열을 번갈아(이른바 치도리 격자(千鳥格子, 옷감 무늬의 한 가지로 많은 새가 줄지어 날고 있는 것처럼 보이는 격자 무늬)와 같이) 배치한 것을 예시할 수 있다.
반사 조명부(3a)는, 검사 라인(41)을 향하였을 때의 기판(10)과의 이루는 각도가, 촬상부(4)와 기판(10)이 이루는 각도와 대체로 같게 되도록, 위치와 각도가 조절되어 배치된다.
한편, 투과 조명부(3b)는, 검사 라인(41)을 사이에 두고 촬상부(4)와 대향하여 검사 라인(41)을 향하였을 때의 기판(10)과의 이루는 각도가, 촬상부(4)와 기판(10)이 이루는 각도와 대체로 같게 되도록, 위치와 각도가 조절되어 배치된다. 이 때, 촬상부(4)가 검사 라인(41)에 대하여 하류 측 이동부(2b)에 배치되어 있으면, 반사 조명부(3a)와 투과 조명부(3b)는, 검사 라인(41)에 대하여 상류 측 이동부(2a)에 배치된다.
그 때문에, 후술에서 상세한 설명을 하지만, Y 방향으로 기판(10)을 주행시키면서, 기판(10)의 전면을 반사 조명부(3a) 또한 투과 조명부(3b)로부터 조사하는 광을 이용하여 관찰을 할 수 있다.
또한 상술에서는, 기판의 형태로서 유리 기판을 예시하였지만, 투광성의 수지재 등의 기판이어도 적용할 수 있다.
［시스템 구성］
도 2는, 본 발명을 구현화하는 형태의 일례를 도시하는 시스템 구성도이다.도 2에 도시하는 바와 같이, 상술한 기판 이동부(2), 광원부(3), 촬상부(4)의 각 기기는, 제어부(9)의 각 기기와 접속되어 있다.
제어부(9)에는, 제어용 컴퓨터(90)와, 정보 입력 수단(91)과, 정보 출력 수단(92)과, 발보(發報, 알림을 보냄) 수단(93)과, 정보 기록 수단(94)과, 기기 제어 유닛(95)과, 화상 처리부가 접속되어 포함되어 있다.
제어용 컴퓨터(90)로서는, 마이크로컴퓨터, PC, 워크스테이션 등의, 수치 연산 유닛이 탑재된 것이 예시된다.
정보 입력 수단(91)으로서는, 키보드나 마우스나 스위치 등이 예시된다.
정보 출력 수단(92)으로서는, 화상 표시 디스플레이나 램프 등이 예시된다.
발보 수단(93)으로서는, 버저나 스피커, 램프 등, 작업자에게 주의 환기를 할 수 있는 것이 예시된다.
정보 기록 수단(94)으로서는, 메모리 카드나 데이터 디스크 등의, 반도체 기록 매체나 자기(磁氣) 기록 매체나 광자기 기록 매체 등이 예시된다.
기기 제어 유닛(95)으로서는, 프로그래머블 컨트롤러(programmable controller)나 모션 컨트롤러(motion controler)라고 불리는 기기 등이 예시된다.
제어용 컴퓨터(90)에는, 화상 처리 유닛(96)을 통하여, 촬상부(4)로부터 출력된 영상 신호가 입력된다. 상기 입력 화상은, 화상 처리부로서 기능하는 화상 처리 유닛(96)에서, 막 두께 불균일의 검사에 적절한 화상 처리가 행하여진다. 그 후, 화상의 휘도(輝度) 신호의 차(差)나 변화 정도 등으로부터, 검사부에 있어서 막 두께 불균일인지 여부의 판단을 행하는 검사가 행하여진다. 나아가 화상 처리부에서는, 라인마다 촬상한 화상을 시계열(時系列)로 연결하여 맞추어 기판 1매분의 전면 화상으로서 합성하는 시계열 합성 처리를 하거나, 복수 매의 화상을 포개어 맞추는 다중 합성 처리를 하거나, 화상의 콘트라스트 조절을 하거나 할 수 있다.
이 막 두께 불균일의 검사부에서 검사를 할 때에 이용되는 화상 처리부로서는, 상술의 화상 처리 유닛(96)에 한정하지 않고, 종래 주지의 화상 처리 기능을 가지는 기기를 채용할 수 있다. 예를 들어, 일반적으로 GPU(그래픽 프로세싱 유닛, Graphic Processing Unit)로 불리며, 제어용 컴퓨터(90)의 외부에 설치되는 형태의 것이나, 제어용 컴퓨터(90)의 케이스 내에 접속되는 형태의 것, 제어용 컴퓨터(90)의 화상 처리 기능을 이용한 것 등을 예시할 수 있다. 또한, 상술의 제어용 컴퓨터(90)와 화상 처리 유닛(96)이, 본 발명에 있어서의 검사부를 구성하고 있다.
기기 제어 유닛(95)은, 막 두께 불균일 검사 장치(1)를 구성하는 각 제어 기기(도시하지 않음)와 접속되어 있으며, 그들에 대하여 제어용 신호를 주는 것에 의하여, 각 기기를 동작시키거나 정지시키거나 할 수 있도록 되어 있다.
［검사에 따른 촬상부 각도 조절］
막 두께 불균일의 검사에 즈음해서는, 우선 최상면(最上面)에 형성된 피막의 대표 막 두께를, 막 두께 센서(40)를 이용하여 측정한다. 막 두께 센서(40)는, 본 발명의 대표 막 두께 검출부에 해당하며, 막 두께 센서(40)에서 측정한 대표 막 두께의 정보는, 제어부(9)의 기기 제어 유닛(95)에 출력된다. 막 두께 센서(40)로서는, 기판의 최상면에 형성된 피막의 상면(上面)과 하면(下面)의 치수를 측정하는 것을 예시할 수 있다. 예를 들어, 기판 표면에 대하여 비스듬히 광을 조사하고, 상면으로부터의 반사광과 하면으로부터의 반사광을 삼각측량법에 의하여 측정하면, 두께를 산출할 수 있다. 막 두께 센서(40)는, 기판 상의 1개소에 관하여 핀 포인트로 계측하는 형태의 것에 한정하지 않고, 기판 상의 수 개소나, 소정의 길이 또는 범위를 측정하거나, 기판 이동 중의 막 두께를 연속적으로 또는 단속적(斷續的)으로 측정하거나 하여, 평균값을 출력하는 것이 바람직하다. 그렇게 하는 것으로, 기판 상에 형성된 피막의 대표 막 두께의 정보로서 출력할 수 있다.
검사에 앞서, 본 발명의 검사 조건 등록부에 해당하는 정보 기록 수단(94)에 등록하여 둔, 검사용 레시피 파일의 설정 정보에 기초하여, 제어용 컴퓨터(90)로부터 기기 제어 유닛(95)에 대하여 각 기기의 제어 파라미터가 송신된다. 상기 검사용 레시피 파일은, 막 두께 불균일 검사하는 피막의 종류(예를 들어, 색 차이, 메이커 차이, 품종 차이 등)에 따라 복수 등록되며, 막 두께와 관찰 각도 및 조명의 조사 각도의 최적 조건을 설정한 프로파일 정보나, 관찰에 이용하는 조명의 광량 등에 관한 검사 조건이 등록되어 있다. 그 때문에, 기기 제어 유닛(95)에서는, 상기 검사용 레시피 파일의 설정 정보와, 상기 대표 막 두께 정보에 기초하여, 검사 시의 각 기기의 위치, 각도 또는 광량을 조절할 수 있다.
상기 검사용 레시피 파일의 설정 정보의 일부를 예시한다.
표 1에는, 예를 들어 레시피 A로서, 적색 피막(품종명：R00123)에 대한, 1회째부터 3회째까지의 검사 조건이 설정되어 있다. 이 레시피 파일에서는, 검사 횟수는 3회일 것, 검사 횟수에 따라, 관찰 각도 및 반사 조명의 각도를 변화시킬 것, 조명의 밝기는 30%인 채로 일정할 것, 투과 조명은 사용하지 않을 것이 설정되어 있다. 또한, 검사 조건의 설정에 있어서, 기준으로 하는 대표 막 두께의 값과, 그 때에 설정하는 조명 등의 설정 각도, 대표 막 두께와 최적 각도의 관계를 나타내는 프로파일명(45－5＿2150－50)이 설정되어 있다.
Figure pat00001
표 2에는, 예를 들어 레시피 B로서, 청색 피막(품종명：B00123)에 대한, 1회째부터 2회째까지의 검사 조건이 설정되어 있다. 이 레시피 파일에서는, 검사 횟수가 2회일 것, 검사 횟수에 따라, 투과 조명의 밝기를 변화시킬 것, 관찰 각도, 반사 조명의 각도 및 투과 조명의 각도는 최적 각도에서와 같을 것, 반사 조명은 사용하지 않을 것이, 설정되어 있다. 또한, 검사 조건의 설정에 있어서, 기준으로 하는 대표 막 두께의 값과, 그 때에 설정하는 조명등의 설정 각도, 대표 막 두께와 최적 각도의 관계를 나타내는 프로파일명(50－5＿2250－50)이 설정되어 있다.
Figure pat00002
이어서, 기준 막 두께와 최적 각도, 관찰 각도, 조명의 조사 각도 및 광량과의 최적 조건을 설정한 프로파일 정보에 관하여 설명한다.
도 3a는, 본 발명을 적용시키는 피막의 두께마다의 조명 각도와 불균일 강도의 상관도이며, 횡축에 조명의 각도 θ, 종축에 불균일 강도를 도시하고 있다. 도 3a에서는, 각각 다른 대표 막 두께마다의 상기 각도와 상기 불균일 강도의 상관 특성이 도시되어 있다. 어느 피막의 품종에 있어서, 대표 막 두께 t1 ~ t5에 대하여, 상관 특성을 도시하고 있다. 이 상관 특성은, 미리 막 두께가 다른 기판을 준비해 두고, 막 두께 불균일이 없는 부분에서 대표 막 두께를 측정하여 둔다. 그리고, 얻어진 상관 특성에 기초하여, 가장 불균일 강도가 높은 부분을 검사에 최적의 각도로서 선택한다. 이 때, 미리 준비한 기판의 대표 막 두께 t1에서 가장 불균일 강도가 높아지는 각도를 θ1, 대표 막 두께 t2에서 가장 불균일 강도가 높아지는 각도를 θ2, 마찬가지로 대표 막 두께 t3 ~ t5에서 가장 불균일 강도가 높아지는 각도를 θ3 ~ θ5로 한다.
도 3b는, 대표 막 두께와 조명 각도의 상관 관계를 도시하는 상관도이며, 횡축에 대표 막 두께 t, 종축에 전술의 검사에 최적의 각도 θf를 도시하고 있다. 도 3b에서는, 상기의 측정으로 얻어진, 대표 막 두께 t1 ~ t5에서 가장 불균일 강도가 높아지는 각도 θ1 ~ θ5가, 검사에 최적의 각도 θf로서 플롯(plot) 되어 있고, 대표 막 두께 t의 변화와 함께 검사에 최적의 각도 θf가 비례적으로 변화하고 있는 모습이 도시되어 있다. 이 각도 θf는, 대표 막 두께 t에 의하여 산출하는 연산식
θf = f(t)
로 규정하여, 본 발명에 적용시킨다.
예를 들어, 품종 A에 있어서의, 최적 각도 θfA = fA(tA)를 규정하는 것으로, 측정한 피막의 두께 tA에 대하여, 측정에 이용하는 최적 각도θfA가 정하여진다.
구체예를 나타내면, 품종 A에 있어서의 대표 막 두께 t1이 2.15μm, t5가 2.20μm이고, 그 때의 조명의 최적 각도 θ1이 45도, θ5가 50도이며, t1 ~ t5, θ1 ~ θ5까지, 비례하여 변화하고 있는 특성을 나타내는 결과가 얻어지고 있었다고 하면,
측정한 대표 막 두께 tA로부터, 조명의 최적 각도 θA를 산출하는 식：θfA = fA(tA)는,
fA(tA) = a?tA＋b라고 정의하고, a, b를 산출한다.
a는, a = (θ5－θ1)/(t5－t1)로 산출되어, a = 100이 구하여진다.
b는, b = θ1－a?t1로 산출되어, b = －170이 구하여진다.
따라서, θfA를 산출하는 식은, θfA = fA(tA) = 100tA－170으로 정의할 수 있다.
또한, 검사 조건을 등록할 때에 표 1에 나타낸 바와 같이, 기준 막 두께를 2.18μm라고 정의하면, 이 때의 최적 각도는 48도가 되므로, 이들 정보를 상기 레시피 파일에서 표시시키고, 1회째 혹은 2회째 이후의 검사 조건을 레시피 파일로 설정하도록 하면, 레시피 파일마다의 검사 조건의 관리가 하기 쉬워진다.
다른 피막에 관한 연산식은, 피막의 품종마다 규정한다.
예를 들어, 품종 B에 적용하는 연산식은, θfB = fB(tB), 품종 C에 적용하는 연산식은, θfC = fC(tC)라고 한 방식으로 하면 된다. 나아가, 이 연산식은, 반사 조명, 투과 조명마다 설정하여도 무방하다. 예를 들어, 품종 D에 대해서는, 반사 조명의 각도 θfDr = fDf(tD), 투과 조명의 각도 θfDt = fDt(tD)라고 한 방식으로 하면 된다.
그리고, 상술에서 도 3a, b를 이용하여 설명한 것과 같이, 각각의 품종에 있어서, 막 두께마다의 특성 커브로부터, 대표 막 두께 t와 최적 각도 θf의 관계식을 산출한다.
본 발명을 적용할 때는, 상술의 대표 막 두께 t와 최적 각도 θf의 관계식을, 프로파일 정보로서 미리 설정하여 둔다. 그렇게 하는 것으로, 검사 조건을 설정한 기준 막 두께에 대하여, 실제로 측정된 대표 막 두께가 달라도, 상기 프로파일 정보에 기초하여 최적 각도 θf를 산출할 수 있어, 기대한 검사 결과를 얻을 수 있다.
［검사 플로우］
도 4는, 본 발명을 구현화하는 형태의 일례를 도시하는 플로우도이다. 도 4에서는, 기판(10) 상에 형성된 컬러 피막의 막 두께 불균일을 관찰하고 검사하는 일련의 플로우가, 스텝마다 도시되어 있다. 검사에 앞서, 상술의 검사용 레시피 파일은 미리 설정하여 둔다.
우선, 기판(10)을 막 두께 불균일 검사 장치(1)의 상류 측 이동부(2a)에 재치한다(s101).
다음으로, 막 두께 센서(40)를 이용하여, 기판(10) 상에 형성된 컬러 피막의 대표 막 두께를 측정한다(s102). 다음으로, 검사용 레시피 파일의 등록 정보와, 프로파일 정보를 참조하고(s103), 상기 대표 막 두께 정보에 기초하고, 상기 제어 파라미터에 기초하여 각 기기의 위치, 각도 또는 광량을 변경한다(s104).
기판(10)을 Y 방향으로 반송 이동시키고(s105), 막 두께 불균일의 검사를 행한다(s106).
이 때, 기판(10)의 검사 대상으로 되는 영역이 검사 라인(41)을 통과하며, 차례차례로 라인마다의 촬상을 행하면서, 상기 라인 내에서 판별할 수 있는 막 두께 불균일의 검사가 행하여진다.
다음으로, 검사가 종료하였는지 여부를 판단(s107)하여, 검사가 종료해 있지 않다고 판단되면, 상기 스텝 s105로 돌아와, 상기 동작을 반복한다. 검사가 종료하였다고 판단되어 있으면, 1회째의 검사는 종료로 된다.
본 발명의 검사 장치에서는, 스텝 s106을 바꾸어, 기판 반송중에 화상을 취득한 후, 라인마다 촬상한 화상을 시계열로 연결하여 맞추어 기판 1매분의 전면 화상으로서 합성하는 시계열 합성 처리를 하여, 검사 대상으로 되는 기판 1매 분의 화상으로 하고 나서 검사를 행하여도 무방하다(s108). 그렇게 하는 것으로, 스텝 s106에서는 판별할 수 없었던 기판 이동 방향의 막 두께 불균일을 판별하고, 검사를 할 수 있다. 관찰부 및 조명부의 각도 등은, 사전에 등록한 검사 조건과, 검사 직전에 측정한 대표 막 두께의 정보에 기초하여, 막 두께 불균일의 검사에 최적인 상태로 조절되므로, 종래의 장치 및 방법과 비교하여, 확실히 막 두께 불균일의 검출을 할 수 있도록 되어 있다.
또한, 검사에 이용하는 촬상 화상은, 어느 하나의 조건에서 관찰한 기판 1매분만의 화상에 한정하지 않고, 후술의 반복 검사로 취득된 관찰 조건이 다른 복수 화상을 포개어 맞추는 다중 합성 처리를 하고, 그 결과에 기초하여 검사를 행하여도 무방하다(s109). 스텝 s108에서 얻어진 전면 화상에 기초하여 막 두께 불균일을 강조하려고 한 경우, 본래 검사하고 싶은 막 두께 불균일의 부분뿐만 아니라, 촬상 시에 포함되는 노이즈 성분도 강조 처리되어 버려, 막 두께 불균일을 판별하기 어려운 경우도 있다. 그러나, 상기 복수의 화상으로부터 다중 합성을 하면, 노이즈 성분은 강조되지 않아, 막 두께 불균일 부분만을 강조한 상태로 하여 관찰할 수 있다. 그 때문에, 다중 합성한 화상에 기초하는 검사는, 어느 하나의 조건에서 관찰한 전면 화상의 콘트라스트 등을 강조 처리하여 막 두께 불균일을 판별하려고 하는 경우에 비하여, 노이즈 성분을 억제할 수 있기 때문에, 막 두께 불균일의 발견이 용이해진다.
다음으로, 검사용 레시피 파일에서 설정된 정보에 기초하여, 2회째 이후의 검사를 반복할지 여부를 판단하여(s110), 반복한다고 판단되면, 반복 검사 횟수를 카운트 업(count up)시켜, 상기 스텝 s104로 되돌아온다. 그리고, 각 기기의 위치, 각도 또는 광량을 변경하여, 상술의 스텝 s105 ~ s107을 반복한다. 스텝 s110에서 반복하지 않는다고 판단되면, 기판(10)의 이동을 정지시키고(s111), 하류 측 이동부(3b)로부터 기판(10)을 꺼낸다(s112).
［베리에이션(variation)］
도 5a는, 본 발명을 구현화하는 형태의 제2 예를 도시하는 평면도이다.
도 5b는, 본 발명을 구현화하는 형태의 제2 예를 도시하는 측면도이다.
이 형태는, 도 1a, b를 이용하여 도시한 본 발명을 구현화하는 형태의 일례에 대하여, 투과 조명부(3b)와 촬상부(4)의 구성이 상위(相違)하고 있다. 이하, 상위점을 중심으로 설명한다.
막 두께 불균일 검사 장치(1a)에서는, 투과 조명부(3b)와 촬상부(4)가, 회전 프레임(48)에 장착되어 있다. 회전 프레임(48)은, X 방향으로 기판(10)보다도 긴 개구부를 가지는 직사각형의 프레임으로 구성되어 있고, 하부측의 들보부에는 투과 조명(3b)이, 상부측의 들보부에는 촬상부(4)가 장착되어 있다. 투과 조명부(3b)와 촬상부(4)는 대향하는 위치에, 소정의 간격으로 장착되어 있으며, 검사 라인(41)을 향하여 광을 조사하고, 그 부위를 촬상할 수 있도록 구성되어 있다.
또한, 회전 프레임(48)은, 검사 라인(41)의 연장상에 회전축을 가지고 있으며, 상기 회전축은 장치 프레임(11)에 장착된 지주(42)에서 지지되어 있다. 회전 프레임(48)의 상기 회전축은, 지주(42)에 장착된 촬상부 각도 조정 수단(49)과 접속되어 있으며, 제어 유닛(95)의 제어 신호에 의하여 회전 각도의 조절이 행하여진다. 상기 회전축에는, 회전 프레임(48)의 각도를 검출하는 각도 검출기가 구비되어 있고, 상기 각도 검출기가 본 발명의 촬상부 각도 검출 수단을 구성한다. 본 예에 있어서의 촬상부 각도 검출 수단으로서는, 그 밖에, 촬상부 각도 조정 수단(49)의 각도 검출용 인코더(encoder)나, 회전하여 각도가 바뀐 후의 회전 프레임(48)의 위치나 자세를 검출하는 것이어도 무방하다.
회전 프레임(48)은, 촬상부 각도 조정 수단(49)에 의하여 각도가 바뀌며, 촬상 수단(44)과 투과 조명(35)과 일체로, 기판(10)과의 이루는 각도가 변화한다. 그 때문에, 촬상부 각도 조정 수단(49)은, 본 발명의 투과 조명 각도 조정 수단으로서의 기능도 겸하여 구비할 수 있다. 그러면, 촬상 수단(44)과 투과 조명(35)을 개별적으로 위치나 각도를 조정할 필요가 없어져, 코스트 다운이 가능해진다. 또한, 개별적으로 위치나 각도를 조정하는 일이 없기 때문에, 촬상 수단(44)과 투과 조명(35) 중 어느 하나의 위치나 각도가 미묘하게 어긋나 버리는 것에 기인하는, 극히 약간의 막 두께 불균일을 발견할 수 없게 되는 것을 막을 수 있다. 그 때문에, 피막 전체의 막 두께가 약간 변동한 경우에서도, 회전 프레임(48)의 각도를 조절하는 것만으로, 재현성이 높은 막 두께 불균일 검사를 실시할 수 있다.
막 두께 불균일 검사 장치(1a)는, 이와 같은 구성을 하고 있으므로, 기판(10)을 상류 측 이동부(2a)로부터 Y 방향으로 반송 이동시켜, 회전 프레임(48) 사이를 통과시키고, 하류 측 이동부(2b)로 반송 이동시킬 수 있다. 그리고, 기판(10)이 검사 라인(41)을 통과할 때에, 막 두께 불균일의 검사를 할 수 있다. 기판(10)은 기판 라인(41)을 통과 후, 파선(10f)으로 도시하는 위치까지 이동한다.
1 : 막 두께 불균일 검사 장치
2 : 기판 이동부
2a : 상류 측 이동부
2b : 하류 측 이동부
3 : 광원부
3a : 반사 조명부
3b : 투과 조명부
4 : 촬상부
9 : 제어부
10 : 기판
10ｖ : 이동 방향을 나타내는 화살표
11 : 장치 프레임
12 : 컨베이어 프레임
23 : 컨베이어 롤러
24 : 컨베이어 구동 모터
31 : 반사 조명
32 : 반사 조명 각도 조정 수단
33 : 반사 조명 위치 조정 수단
34 : 반사 조명 광량 조절 유닛
35 : 투과 조명
36 : 투과 조명 각도 조정 수단
37 : 투과 조명 위치 조정 수단
38 : 투과 조명 광량 조절 유닛
39 : 지주
40 : 막 두께 센서
41 : 검사 라인
42 : 지주
44 : 촬상 수단
45 : 촬상부 각도 조정 수단
46 : 촬상부 위치 조정 수단
47 : 촬상부 각도 검출기
48 : 회전 프레임
49 : 촬상부 각도 조정 수단
90 : 제어용 컴퓨터
91 : 정보 입력 수단
92 : 정보 출력 수단
93 : 발보 수단
94 : 정보 기록 수단
95 : 제어 유닛
96 : 화상 처리 유닛

Claims (7)

  1. 표면에 피막(皮膜)이 형성된 기판을 보지(保持)하여 이동시키는 기판 이동부와,
    상기 기판에 대하여 광을 조사(照射)하는 광원부와,
    상기 기판의 피막이 형성된 면의 적어도 일부를 촬상(撮像)하는 촬상부와,
    상기 촬상부에서 촬상된 화상에 기초하여 상기 피막의 두께 불균일을 검사하는 검사부를 포함하며,
    상기 기판을 한 방향으로 이동시키면서, 상기 기판에 형성된 피막의 두께 불균일을 검사하는 막 두께 불균일 검사 장치이고,
    검사 대상 품종에 따른 검사 조건을 설정 등록하는 검사 조건 등록부와,
    상기 기판에 형성된 피막의 대표 막 두께를 검출하는 대표 막 두께 검출부를 구비하며,
    상기 광원부는,
    상기 촬상부 측에 배치되어 상기 기판에 광을 조사하는 반사 조명부와,
    상기 기판을 사이에 두고 상기 촬상부에 대향하는 위치에 배치되어 상기 기판에 광을 조사하는 투과 조명부를 구비하고,
    상기 촬상부에는, 상기 촬상부와 상기 기판의 상대 각도를 조절하는 촬상 각도 조정부를 구비하며,
    상기 반사 조명부에는, 상기 반사 조명부와 상기 기판의 상대 각도를 조절하는 반사 조명 각도 조정부를 구비하고,
    상기 투과 조명부에는, 상기 투과 조명부와 상기 기판의 상대 각도를 조절하는 투과 조명 각도 조정부를 구비하며,
    상기 검사 조건 등록부에 등록된 검사 조건과, 상기 대표 막 두께 검출부로부터의 대표 막 두께 정보에 기초하여,
    상기 촬상부 각도 조정부와 상기 반사 조명 각도 조정부와 상기 투과 조명 각도 조정부를 제어하고,
    상기 반사 조명의 광량 및 상기 투과 조명의 광량을 조절할 수 있는 제어부를 구비한 것을 특징으로 하는 막 두께 불균일 검사 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    동일한 상기 기판의 반복 검사 횟수를 카운트하는 계수부를 구비하고,
    상기 카운트 횟수에 따라, 상기 촬상부의 각도 또는 상기 조명의 광량을 변경하는 기능을 구비한 것을 특징으로 하는 막 두께 불균일 검사 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 검사부는,
    상기 반복 검사한 각각의 화상을 다중 합성 처리하는 화상 처리부를 구비하고,
    상기 합성 처리한 화상을 다중 합성하여 얻어진 다중 합성 화상에 기초하여 막 두께의 불균일을 검사하는, 다중 합성 화상 검사 기능을 구비한 것을 특징으로 하는 막 두께 불균일 검사 장치.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 촬상부와 상기 투과 조명이 연결되어 있고,
    상기 촬상부 각도 조정부가, 상기 투과 조명 각도 조정부를 겸하고 있는 것을 특징으로 하는 막 두께 불균일 검사 장치.
  5. 표면에 피막이 형성된 기판을 보지하여 이동시키는 기판 이동 스텝과,
    상기 기판에 대하여 광원부로부터 광을 조사하여 상기 기판의 피막이 형성된 면의 적어도 일부를 촬상하는 촬상 스텝과,
    상기 촬상부에서 촬상된 화상에 기초하여 상기 피막의 두께 불균일을 검사하는 검사 스텝을 포함하며,
    상기 기판을 한 방향으로 이동시키면서, 상기 기판에 형성된 피막의 두께 불균일을 검사하는 막 두께 불균일 검사 방법이고,
    검사 대상 품종에 따른 검사 조건을 설정 등록하는 검사 조건 등록 스텝과,
    상기 기판에 형성된 피막의 대표 막 두께를 검출하는 대표 막 두께 검출 스텝을 가지며,
    상기 광원부는,
    상기 촬상부 측에 배치되어 상기 기판에 광을 조사하는 반사 조명부와,
    상기 기판을 사이에 두고 상기 촬상부에 대향하는 위치에 배치되어 상기 기판에 광을 조사하는 투과 조명부가 포함되어 구성되어 있고,
    상기 촬상 스텝은,
    상기 검사 조건 등록부에 등록된 검사 조건과, 상기 대표 막 두께 검출 스텝에서 검출된 대표 막 두께 정보에 기초하여,
    상기 촬상부와 상기 기판의 상대 각도를 조절하는 촬상부 각도 조정 스텝과,
    상기 반사 조명부와 상기 기판의 상대 각도를 조절하는 반사 조명 각도 조정 스텝과,
    상기 투과 조명부와 상기 기판의 상대 각도를 조절하는 투과 조명 각도 조정 스텝과,
    상기 반사 조명 또는 상기 투과 조명의 광량을 조절하는 광량 조절 스텝을 가지는 것을 특징으로 하는 막 두께 불균일 검사 방법.
  6. 제5항에 있어서,
    동일한 상기 기판의 반복 검사 횟수를 카운트하는 계수 스텝과,
    동일한 상기 기판을 적어도 2회 이상 검사하는 반복 검사 스텝과,
    상기 카운트 횟수에 따라, 상기 촬상부의 각도 또는 상기 조명의 광량을 변경하는 스텝을 가지는 것을 특징으로 하는 막 두께 불균일 검사 방법.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 반복 검사 스텝에 있어서, 각각의 화상을 취득하는 화상 취득 스텝과,
    상기 취득된 각각의 화상을 다중 합성 처리하는 다중 화상 합성 처리 스텝과,
    상기 다중 합성 처리한 화상에 기초하여, 막 두께의 불균일을 검사하는 다중 합성 화상 검사 스텝을 더 가지는 것을 특징으로 하는 막 두께 불균일 검사 방법.
KR1020120024856A 2011-03-14 2012-03-12 막 두께 불균일 검사 장치 및 방법 KR20120104944A (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011055469A JP2012189544A (ja) 2011-03-14 2011-03-14 膜厚むら検査装置及び方法
JPJP-P-2011-055469 2011-03-14

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20120104944A true KR20120104944A (ko) 2012-09-24

Family

ID=47082866

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020120024856A KR20120104944A (ko) 2011-03-14 2012-03-12 막 두께 불균일 검사 장치 및 방법

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP2012189544A (ko)
KR (1) KR20120104944A (ko)
CN (1) CN102967266B (ko)
TW (1) TWI545314B (ko)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103438376B (zh) * 2013-08-30 2015-07-08 友达光电(上海)有限公司 测试灯箱
JP6020829B2 (ja) * 2013-10-22 2016-11-02 株式会社村田製作所 塗液観察方法、塗布方法、塗液観察装置および塗布装置
CN103727888B (zh) * 2013-12-27 2016-06-15 深圳市华星光电技术有限公司 彩色滤色片膜厚测量方法及装置
KR101850363B1 (ko) * 2016-02-16 2018-04-20 주식회사 이오테크닉스 촬영장치 및 촬영방법
CN106289060A (zh) * 2016-09-14 2017-01-04 华南理工大学 一种测量平面led荧光粉涂层体积的系统及方法
JP6932597B2 (ja) * 2017-09-25 2021-09-08 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス 基板処理装置および基板処理方法

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06102189A (ja) * 1992-09-17 1994-04-15 Toshiba Corp 異物検査装置
JP4622007B2 (ja) * 1999-06-01 2011-02-02 株式会社ニコン 欠陥検査装置
JP4632564B2 (ja) * 2001-03-08 2011-02-16 オリンパス株式会社 表面欠陥検査装置
JP2003263627A (ja) * 2002-03-08 2003-09-19 Olympus Optical Co Ltd 画像取り込み装置
CN100582655C (zh) * 2005-07-29 2010-01-20 大日本网目版制造株式会社 不均匀检查装置及不均匀检查方法
JP5358822B2 (ja) * 2008-04-30 2013-12-04 大塚電子株式会社 状態測定装置および状態測定方法
JP2010216974A (ja) * 2009-03-17 2010-09-30 Dainippon Screen Mfg Co Ltd ムラ検査装置、ムラ検査方法、およびプログラム

Also Published As

Publication number Publication date
TW201237398A (en) 2012-09-16
JP2012189544A (ja) 2012-10-04
CN102967266B (zh) 2016-06-22
CN102967266A (zh) 2013-03-13
TWI545314B (zh) 2016-08-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI558996B (zh) 捕捉從多重方向反射之光線的系統與方法
EP2387796B1 (en) System and method for inspecting a wafer
JP5672240B2 (ja) ウェーハを検査するためのシステム及び方法
EP3431968B1 (en) System and method for inspecting a wafer
KR20120104944A (ko) 막 두께 불균일 검사 장치 및 방법
KR101099264B1 (ko) 반도체 웨이퍼의 가장자리 검사 장치 및 가장자리 검사 방법
TWI453102B (zh) 用於因高速機械手臂運輸中成像工件部件表面而具有移動引起的扭曲的修正之方法
US9013688B2 (en) Method for optical inspection, detection and analysis of double sided wafer macro defects
TWI468273B (zh) 用於在高速機械手臂運輸中成像工作部件表面之度量系統
US8200003B2 (en) Method for the optical inspection and visualization of optical measuring values obtained from disk-like objects
KR101675467B1 (ko) 비전 검사 장치
JP6515348B2 (ja) 表面検査装置用校正板及び表面検査装置の校正方法
JP2019522214A (ja) セラミックのハニカム体の位置合わせ、検査および製造装置並びに方法
WO2007145224A1 (ja) 端部傾斜角測定方法、起伏を有する被検査物の検査方法および検査装置、照明手段の位置を決定する方法、ムラ検査装置、照明位置決定装置
JP2012088139A (ja) 塗工膜の欠陥検査装置及び検査方法
JPH11242004A (ja) 陰極線管の蛍光面検査方法およびその装置
CN111220621B (zh) 芯片倾斜表面检测方法
WO2019207973A1 (ja) 画像取得方法、測定方法および画像取得装置
JP5764457B2 (ja) 膜厚むら検査装置
KR100710703B1 (ko) 반도체 리드프레임 도금 선폭 측정 검사장치 및 그 방법
KR101716269B1 (ko) 비전 선별 장치
SG185301A1 (en) System and method for inspecting a wafer

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E601 Decision to refuse application