KR20120101312A - 박막형 압력센서와 근접센서를 구비한 입력 장치. - Google Patents

박막형 압력센서와 근접센서를 구비한 입력 장치. Download PDF

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Abstract

본 발명은 박막형 압력센서와 근접센서를 구비한 입력 장치에 관한 것으로서, 상기 박막형 압력센서와 근접센서를 구비한 입력 장치는, 사용자의 터치에 의하여 전기적 신호를 발생시키는 입력 장치에 있어서, 베이스 기판; 상기 베이스 기판의 일면에 배치되며, 사용자의 접근을 감지하여 사용자가 미리 정해진 감지 거리 내에 들어오면 근접신호를 발생하는 근접센서; 상기 근접센서와 대응되는 위치에서 상기 베이스 기판의 타면에 배치되며, 사용자의 터치를 감지하여 압력신호를 발생하는 박막형 압력센서; 를 구비하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따르면, 베이스 기판의 일면에 배치되어 사용자의 접근을 감지하는 근접센서와, 상기 베이스 기판의 타면에 배치되어 사용자의 터치를 감지하는 박막형 압력센서를 구비함으로써, 사용자의 접근을 감지하는 동시에 사용자의 터치를 감지할 수 있는 효과가 있다.

Description

박막형 압력센서와 근접센서를 구비한 입력 장치.{Input device with membrane pressure sensor and proximity sensor.}
본 발명은 박막형 압력센서와 근접센서를 구비한 입력 장치에 관한 것으로서, 특히 사용자의 접근을 감지하는 동시에 사용자의 터치를 감지할 수 있는 입력 장치에 관한 것이다.
터치센서는 디자인적인 우수함 때문에 TV나 모니터의 on/off 스위치로 일반적으로 사용하고 있다. 상기 터치센서는, 전극 내에 충전(charge)되어 있는 전류가 손가락 등의 터치 또는 근접에 따라 방전(discharge)됨으로써 발생하는 정전용량(capacitance)의 차이를 인지하여 작동한다.
한편, 근접센서(proximity sensor)는, 센서에 접근하는 물체, 혹은 근방에 존재하는 물체의 근접여부에 따라 정전용량 크기의 변화를 측정함으로써, 물리적 접촉이 없이 검출하는 센서이다. 하지만 근접센서는 상기 터치센서와 마찬가지로 정전용량(capacitance)를 이용하여 측정하는 원리이므로, 서로 간의 전기적인 간섭(crosstalk) 때문에 근접센서와 터치센서가 함께 사용되는 것이 극히 어려운 실정이다.
또한, 박막형 압력센서(membrane pressure sensor)는, 가해지는 압력의 크기를 감지하는 센서로서, 미세한 압력의 크기도 감지할 수 있는 센서이다. 이러한 박막형 압력센서의 일례로서, 스트레인 게이지(stain gauge)에 의한 구조를 활용할 수 있는데, 도 1에는 이러한 압력검출소자(1)의 일례가 도시되어 있다. 상기 압력검출소자(1)는, 고정 기판(2); 상기 고정 기판(2) 상에 배치된 제1전극(4); 상기 제1전극(4)과 이격된 상태로 상기 고정 기판(2) 상에 배치된 제2전극(5); 상기 고정 기판(2)과 이격된 상태로 서로 마주하게 배치되며 외력에 의하여 상기 고정 기판(2)에 접근하는 방향으로 변형 가능한 변형 기판(3); 상기 제1전극(4) 및 제2전극(5)과 이격된 상태로 마주하도록 상기 변형 기판(3) 상에 부착되어 있으며, 변형에 의하여 면저항이 변화하는 제3전극(6); 상기 고정 기판(2)과 변형 기판(3)을 서로 이격시키는 스페이서(7)를 구비한다. 여기서, 상기 제3전극(6)은 피에조-리지스티브 물질(piezo resistive material)로 제조된다.
상기 압력검출소자(1)는, 사용자가 상기 변형 기판(3)에 수직 방향의 압력(F)을 가하게 되면, 상기 변형 기판(3)이 상기 고정 기판(2) 쪽으로 처지면서 접근함으로써, 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 고정 기판(2)에 부착되어 있는 상기 제3전극(6)이 상기 제1전극(4) 및 제2전극(5)과 동시에 접촉하게 되는데, 상기 압력에 의하여 상기 제3전극(6)이 변형하고, 그 변형에 의하여 변화된 상기 제3전극(6)의 면저항이 상기 제1전극(4) 및 제2전극(5)을 통하여 흐르는 전류의 변화로 측정됨으로써, 가해지는 압력의 크기가 측정되는 원리를 가진다.
본 발명은 이러한 박막형 압력센서와 근접센서가 하나로 결합된 구조에 특징이 있는 입력 장치에 관한 것이다.
본 발명은 상기 문제를 해결하기 위해 안출된 것으로서, 그 목적은 사용자의 접근을 감지하는 동시에 사용자의 터치를 감지할 수 있도록 구조가 개선된 박막형 압력센서와 근접센서를 구비한 입력 장치를 제공하기 위함이다.
본 발명은 기존 모니터나 TV등에 사용하던 터치키와 근접센서의 상호 간섭(crosstalk)에 대한 문제를 해결하기 위해, 기존의 정전용량 방식의 터치키를 대신하여 저항 방식의 박막형 압력센서를 근접센서와 일체화한 구조를 제공하기 위함이다.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 박막형 압력센서와 근접센서를 구비한 입력 장치는, 사용자의 터치에 의하여 전기적 신호를 발생시키는 입력 장치에 있어서, 베이스 기판; 상기 베이스 기판의 일면에 배치되며, 사용자의 접근을 감지하여 사용자가 미리 정해진 감지 거리 내에 들어오면 근접신호를 발생하는 근접센서; 상기 근접센서와 대응되는 위치에서 상기 베이스 기판의 타면에 배치되며, 사용자의 터치를 감지하여 압력신호를 발생하는 박막형 압력센서;를 구비하는 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 박막형 압력센서는, 사용자의 터치 압력의 크기에 따라 다른 크기의 압력신호를 발생하는 것이 바람직하다.
여기서, 상기 박막형 압력센서는, 상기 베이스 기판의 타면 측에서 상기 베이스 기판과 이격된 상태로 배치되며, 외력에 의하여 상기 베이스 기판에 접근하는 방향으로 변형 가능한 변형 기판; 상기 베이스 기판의 타면에 마련된 제1전극; 상기 베이스 기판의 타면에 상기 제1전극과 이격되어 마련된 제2전극; 상기 제1전극 및 제2전극과 서로 마주하여 이격된 상태로 상기 변형 기판에 마련된 제3전극; 및 상기 변형 기판과 상기 베이스 기판 사이의 간격을 유지할 수 있도록, 상기 변형 기판과 상기 베이스 기판 사이에 배치된 스페이서;를 구비하는 것이 바람직하다.
여기서, 상기 제3전극은, 변형에 의하여 면저항이 변화하는 피에조-리지스티브 물질인 것이 바람직하다.
여기서, 상기 베이스 기판은, 플렉서블 인쇄 회로 기판(FPCB)이며, 상기 박막형 압력센서 및 근접센서는 상기 베이스 기판에 인쇄되어 있는 것이 바람직하다.
여기서, 상기 근접센서는, 정전 용량형 근접센서인 것이 바람직하다.
본 발명에 따르면, 베이스 기판의 일면에 배치되어 사용자의 접근을 감지하는 근접센서와, 상기 베이스 기판의 타면에 배치되어 사용자의 터치를 감지하는 박막형 압력센서를 구비함으로써, 사용자의 접근을 감지하는 동시에 사용자의 터치를 감지할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 종래의 박막형 압력센서의 일례를 나타내는 단면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 박막형 압력센서가 외부 압력에 의하여 눌려진 상태를 나타내는 단면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예인 박막형 압력센서와 근접센서를 구비한 입력 장치를 나타내는 단면도이다.
도 4는 도 3에 도시된 박막형 압력센서가 외부 압력에 의하여 눌려진 상태를 나타내는 단면도이다.
도 5는 외력이 가해질 때 급격하게 저항이 변화하도록 설계된 박막형 압력센서의 힘에 따른 저항(resistance)의 변화를 보여주는 그래프이다.
도 6은 외력이 가해질 때 민감하게 변형이 이루어지는 박막형 압력센서의 힘에 따른 변형량(distance로 표시함)의 변화를 보여주는 그래프이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예인 박막형 압력센서와 근접센서를 구비한 입력 장치를 이용하는 방법의 일례를 설명하기 위한 흐름도이다.
도 8은 복수 개의 상기 입력 장치가 일렬로 배치됨으로써 구현되는 키이 모듈의 사용 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 9는 도 8에 도시된 키이 모듈의 사용 방법을 설명하기 위한 다른 도면이다.
도 10은 복수 개의 상기 입력 장치가 원형으로 배치됨으로써 구현되는 키이 모듈을 나타내는 도면이다.
이하에서, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명하기로 한다.
도 3은 본 발명의 일 실시예인 박막형 압력센서와 근접센서를 구비한 입력 장치를 나타내는 단면도이며, 도 4는 도 3에 도시된 박막형 압력센서가 외부 압력에 의하여 눌려진 상태를 나타내는 단면도이다.
도 3 내지 도 4를 참조하면, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 박막형 압력센서와 근접센서를 구비한 입력 장치(100)는, 사용자의 터치에 의하여 전기적 신호를 발생시키는 입력 장치로서, 베이스 기판(10)과, 근접센서(20)와, 박막형 압력센서(30)를 포함하여 구성된다.
상기 베이스 기판(10)은, 전기 회로가 구현될 수 있는 평판 부재로서, 후술할 변형 기판(34)에 비하여 강성(剛性, rigidity)이 커서 외력이 가해져도 상대적으로 변형이 잘 일어나지 않는 고정 기판이다. 본 실시예에서는, 플렉서블 기판(Flexible Printed Circuit Board: FPCB)이 사용된다.
상기 근접센서(20)는, 사용자의 접근을 감지하여 사용자가 미리 정해진 감지 거리 내에 들어오면 근접신호를 발생하는 센서로서, 상기 베이스 기판(10)의 일면에 배치된다. 본 실시예에서는, 상기 근접센서(20)로서 정전 용량형 근접센서가 사용되며, 상기 베이스 기판(10)의 일면에 인쇄된다.
상기 근접센서(20)는, 센서에 의하여 발생된 전계 중에 존재하는 물체 내부의 전하의 이동, 분리에 따른 정전용량의 변화를 검출하는 것으로서, 물체가 센서로부터 멀어지면 정전용량이 감소하고 물체가 센서에 가까워지면 정전용량이 커지는 원리는 이용한다. 따라서, 상기 정전 용량형 근접센서(20)가 검출할 수 있는 물체는, 금속과 같은 도체에 한정되지 않고 플라스틱, 유리, 도자기, 목재와 같은 절연물도 포함하며, 심지어 물, 기름, 약물과 같은 액체까지도 검출할 수 있다.
상기 박막형 압력센서(30)는, 사용자의 터치를 감지하여 압력신호를 발생하는 센서로서, 도 3에 도시된 바와 같이 상기 근접센서(20)와 대응되는 위치에서 상기 베이스 기판(10)의 타면에 배치된다. 본 실시예에서는, 상기 박막형 압력센서(30)로서, 사용자의 터치 압력의 크기에 따라 다른 크기의 압력신호를 발생할 수 있는 압력검출소자(FSR;force sensitive resistor)가 사용된다. 이 박막형 압력센서(30)는, 제1전극(31)과, 제2전극(32)과, 제3전극(33)과, 변형 기판(34)과, 스페이서(35)를 포함하여 구성된다.
상기 제1전극(31)은, 상기 베이스 기판(10)의 타면에 인쇄되어 있는 전극이다.
상기 제2전극(32)은, 상기 베이스 기판(10)의 타면에, 상기 제1전극(31)과 이격되어 전기적으로 절연된 상태로 인쇄되어 있는 전극이다.
상기 변형 기판(34)은, 상기 베이스 기판(10)의 타면 측에서 상기 베이스 기판(10)과 이격된 상태로 배치되며, 도 4에 도시된 바와 같이, 외력(F)에 의하여 상기 베이스 기판(10)에 접근하는 방향으로 변형 가능한 판형 부재이다. 도 6에서 알 수 있듯이, 상기 변형 기판(34)에 가해지는 외력(F)(force)에 비례하여 상기 변형 기판(34)의 변형량(distance로 표시함)이 증가한다.
상기 제3전극(33)은, 상기 제1전극(31) 및 제2전극(32)과 서로 마주하여 이격된 상태로, 상기 변형 기판(34)에 부착되는 전극이다. 본 실시예에서는, 상기 제3전극(33)은 변형에 의하여 면저항(sheet resistance)이 변화하는 피에조-리지스티브 물질(piezo resistive material)로 제조된다. 따라서, 상기 제3전극(33)은, 도 5 에 도시된 바와 같이, 상기 변형 기판(34)에 가해지는 외력(F)(force)에 반비례하여 저항(resistance)이 감소하게 된다.
상기 스페이서(35)는, 상기 변형 기판(34)과 상기 베이스 기판(10) 사이의 간격을 유지할 수 있도록, 상기 변형 기판(34)과 상기 베이스 기판(10) 사이에 삽입하여 배치되는 부재이다.
이와 같은 구성을 가진 박막형 압력센서(30)는, 상기 변형 기판(34)의 기판 평면에 수직한 방향으로의 힘(F)이 가해지면, 상기 변형 기판(34)이 변형되어 상기 제3전극(33)이 상기 제1전극(31) 및 제2전극(32)과 각각 접하게 되어, 상기 제1전극(31)과 제2전극(32)을 통하여 흐르는 전류를 감지하는 방식으로 구동된다.
상기 박막형 압력센서(30)는, 기본적으로 제3전극(33)이 제1전극(31) 및 제2전극(32)과 접촉할 때의 접촉 여부를 감지하는 방식으로 온-오프(on-off) 센서로 기능할 수 있고, 또는/동시에, 상기 제3전극(33)이 피에조-리지스티브 물질로 이루어진 경우에는 상기 제3전극(33)의 변형량에 따라 면저항이 변화될 수 있으므로, 상기 제3전극(33)의 저항 변화를 측정하여 누르는 힘(F)의 크기를 감지할 수 있어 힘 측정 센서로 기능할 수도 있다. 본 실시예에서는, 상기 제3전극(33)이 피에조-리지스티브 물질로 이루어진 경우이므로 힘 측정 센서로도 기능할 수 있다.
이하에서는, 도 8에 도시된 바와 같이, 상술한 구성의 박막형 압력센서와 근접센서를 구비한 입력 장치(100)를 복수 개 구비한 입력 모듈(200)을, 각종 정보를 시각적으로 화면에 표시할 수 있는 화면표시장치(D)와 함께 사용하는 방법의 일례에 대하여 설명하기로 한다. 본 발명에서 "입력 모듈"은 하나 이상의 상기 입력 장치(100)를 구비하는 것으로 전기전자 제품에 사용되어 해당 전기전자 제품의 동작을 제어하는데 사용되는 장치를 통칭하는 의미로 사용된다.
먼저, 사용자가 손가락을 상기 복수 개의 입력 장치(100a, 100b, 100c)들 중 하나의 입력 장치(100a) 근처로 근접시키게 되면, 사용자의 손가락이 상기 입력 장치(100a)의 근접센서(20)로부터 미리 정해진 감지 거리 내에 들어오는 순간, 상기 입력 장치(100a)의 근접센서(20)가 근접신호를 발생시키게 된다. (접근 감지 단계, S10)
이렇게 상기 입력 장치(100a)의 근접센서(20)에 의하여 근접신호가 발생되면, 상기 입력 장치(100a)의 박막형 압력센서(30)에 부여된 기능과 관련된 시각정보(I)가, 상기 입력 장치(100a)의 상측 화면표시장치(D)에 표시됨으로써, 상기 입력 장치(100a)에 부여된 기능이 무엇인지를 사용자가 알 수 있도록 해준다. 여기서, 상기 시각정보(I)는 해당 전기전자 제품의 동작을 제어하는데 필요한 기능과 관련된 정보이다. (정보 제공 단계, S20)
이렇게 상기 시각정보(I)가 상기 화면표시장치(D)에 표시된 상태에서, 사용자가 상기 입력 장치(100a)의 박막형 압력센서(30)를 터치하게 되면, 상기 박막형 압력센서(30)가 압력신호를 발생시킴으로써, 상기 입력 장치(100a)의 박막형 압력센서(30)에 부여된 기능이 작동하게 된다. 이때, 별도의 장치(미도시)에 의하여 진동이나 소리를 발생시킴으로써, 사용자가 상기 박막형 압력센서(30)를 완벽하게 터치하였음을 사용자에게 알리게 된다. (압력신호 발생 단계, S30)
한편, 도 9에 도시된 것과 같이, 상기 입력 모듈(200)의 각각의 입력 장치(100)는 각각 별개로 다른 기능을 부여받을 수 있으며, 또는/동시에 복수의 입력 장치(100)가 협력하여 동일한 기능을 수행하도록 설계될 수 있다. 예를 들어, 첫 번째 입력 장치(100a)에는 채널 값 증가 기능을 부여하고, 두 번째 입력 장치(100b)에는 채널 값 감소 기능을 부여하며, 세 번째 입력 장치(100c)에는 외부 입력 단자 변화 기능을 부여할 수 있다.
이 상태에서 각각의 입력 장치(100)가 부여받은 기능을 천천히 수행시키고자 하는 경우에는 해당 입력 장치(100)를 가볍게 누르고, 해당 기능을 빠르게 수행시키고자 하는 경우에는 해당 입력 장치(100)를 세게 누르는 방식으로 입력 모듈(200)을 구성할 수 있다.
또한, 연속적으로 배열된 각각의 입력 장치(100a, 100b, 100c)를 연속적으로 사용자가 접촉하는 경우에는 다른 기능을 부여할 수 있다. 예를 들어, 오른쪽 입력 장치(100c)로부터 왼쪽으로 순차적으로 상기 입력 장치(100a, 100b, 100c)들에 접촉하는 경우에는 볼륨을 줄이고, 그 반대 방향으로 순차적으로 접촉하는 경우에는 볼륨을 키우도록 기능을 부여할 수도 있다. 이때 세게 누르면서 연속적으로 접촉하는 경우에는 볼륨의 변화를 빠르게 하거나, 연속적으로 접촉하는 속도를 빠르게 하는 경우에 볼륨의 변화를 빠르게 하는 방식으로 기능을 부여하는 것도 가능하다.
한편, 도 10에는 본 발명에 따른 입력 장치(100)를 연속적으로 구비하는 다른 실시예인 입력 모듈(300)의 구성을 개략적으로 보여주는 도면이 도시되어 있다.
도 10에 도시된 것과 같이, 상기 입력 모듈(300)은 본 발명의 상기 입력 장치(100a, 100b, 100c, 100d, 100e, 100f, 100g, 100h)들이 폐곡선(원, 타원 등)을 이루면서 연속적으로 배치된다. 이 경우에도 각각의 입력 장치(100)는 각각 별개로 다른 기능을 부여받을 수 있으며, 또는/동시에 복수의 입력 장치(100)가 협력하여 동일한 기능을 수행하도록 설계될 수 있다. 예를 들어, 원형으로 배열된 입력 장치(100)들을 시계 방향으로 연속적으로 접촉하는 경우에는 메뉴를 위에서 아래로 이동시킬 수 있게 하고, 반시계 방향으로 연속적으로 접촉하는 경우에는 메뉴를 아래에서 위로 이동시키는 방식으로 입력 모듈(300)을 제작하여 MP3 등 각종 전자 기기에 적용할 수 있다.
상술한 구성의 박막형 압력센서와 근접센서를 구비한 입력 장치(100)는, 상기 베이스 기판(10)의 일면에 배치되어 사용자의 접근을 감지하는 근접센서(20)와, 도 3에 도시된 바와 같이 상기 근접센서(20)와 대응되는 위치에서 상기 베이스 기판(10)의 타면에 배치되어 사용자의 터치를 감지하는 박막형 압력센서(30)를 구비하고 있으므로, 사용자의 접근을 감지하는 동시에 사용자의 터치를 감지할 수 있다는 장점이 있다.
또한, 상기 박막형 압력센서와 근접센서를 구비한 입력 장치(100)는, 하나의 베이스 기판(10)에 상기 근접센서(20)과 박막형 압력센서(30)가 마련되어 있으므로, 별도의 기판에 각각 근접센서와 박막형 압력센서가 마련된 구성의 입력 장치와 비교할 때, 그 구조가 단순하여 제품의 두께도 얇아질 수 있으며, 전체적인 제조 비용이 감소한다는 장점도 있다.
본 실시예에서는, 상기 베이스 기판(20)이 상기 변형 기판(34)에 비하여 상대적으로 변형이 잘 일어나지 않는 고정 기판으로 기능하고 있으나, 상기 고정 기판으로 상기 베이스 기판(10)에 부착된 별도의 기판이 사용될 수 있음은 물론이다.
본 실시예에서는, 상기 제3전극(33)이 상기 제1전극(31) 및 제2전극(32)과 서로 마주하여 이격된 상태로 배치되어 있으나, 상기 피에조-리지스티브 물질의 변형량에 의해 저항이 변화하고 이를 통해 힘(F)을 측정할 수 있는 구조이기 때문에 반드시 거리를 두고 이격될 필요는 없어서 상기 제3전극(33)과 제1전극(31) 및 제2전극(32)은 처음부터 서로 맞닿은 상태로 배치될 수도 있음은 물론이다.
본 실시예에서는, 상기 정보 제공 단계(S30)에서, 상기 입력 장치(100)의 박막형 압력센서(30)에 부여된 기능과 관련된 시각정보(I)가 상기 화면표시장치(D)에 표시되고 있으나, 시각정보(I) 대신에 청각정보가 제공될 수도 있으며, 상기 시각정보(I)와 청각정보가 동시에 사용자에게 제공될 수도 있음은 물론이다.
이상으로 본 발명을 설명하였는데, 본 발명의 기술적 범위는 상술한 실시예에 기재된 내용으로 한정되는 것은 아니며, 해당 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의해 수정 또는 변경된 등가의 구성은 본 발명의 기술적 사상의 범위를 벗어나지 않는 것임은 명백하다.
＊ 도면의 주요부위에 대한 부호의 설명 ＊
100 : 박막형 압력센서와 근접센서를 구비한 입력 장치 10 : 베이스 기판
20 : 근접센서 30 : 박막형 압력센서
31 : 제1전극 32 : 제2전극
33 : 제3전극 34 : 변형 기판
35 : 스페이서 D : 화면표시장치
I : 시각정보 1 : 압력검출소자
2 : 고정 기판 3 : 변형 기판
4 : 제1전극 5 : 제2전극
6 : 제3전극 7 : 스페이스

Claims (4)

  1. 사용자의 터치에 의하여 전기적 신호를 발생시키는 입력 장치에 있어서,
    베이스 기판;
    상기 베이스 기판의 일면에 배치되며, 사용자의 접근을 감지하여 사용자가 미리 정해진 감지 거리 내에 들어오면 근접신호를 발생하는 근접센서;
    상기 근접센서와 대응되는 위치에서 상기 베이스 기판의 타면에 배치되며, 사용자의 터치를 감지하여 압력신호를 발생하는 박막형 압력센서;를 구비하며,
    상기 박막형 압력센서는, 사용자의 터치 압력의 크기에 따라 다른 크기의 압력신호를 발생하며,
    상기 근접센서는 정전 용량형 근접센서인 것을 특징으로 하는 박막형 압력센서와 근접센서를 구비한 입력 장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 박막형 압력센서는,
    상기 베이스 기판의 타면 측에서 상기 베이스 기판과 이격된 상태로 배치되며, 외력에 의하여 상기 베이스 기판에 접근하는 방향으로 변형 가능한 변형 기판;
    상기 베이스 기판의 타면에 마련된 제1전극;
    상기 베이스 기판의 타면에 상기 제1전극과 이격되어 마련된 제2전극;
    상기 제1전극 및 제2전극과 서로 마주하여 이격된 상태로 상기 변형 기판에 마련된 제3전극; 및
    상기 변형 기판과 상기 베이스 기판 사이의 간격을 유지할 수 있도록, 상기 변형 기판과 상기 베이스 기판 사이에 배치된 스페이서;
    를 구비하는 것을 특징으로 하는 박막형 압력센서와 근접센서를 구비한 입력 장치.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 제3전극은, 변형에 의하여 면저항이 변화하는 피에조-리지스티브 물질인 것을 특징으로 하는 박막형 압력센서와 근접센서를 구비한 입력 장치.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 베이스 기판은, 플렉서블 인쇄 회로 기판(FPCB)이며,
    상기 박막형 압력센서 및 근접센서는 상기 베이스 기판에 인쇄되어 있는 것을 특징으로 하는 박막형 압력센서와 근접센서를 구비한 입력 장치.
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