KR20120090778A - Polyimide film with improved variation of the oefficient of linear expansion - Google Patents

Polyimide film with improved variation of the oefficient of linear expansion Download PDF

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KR20120090778A
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세이지 스에히로
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듀폰 도레이 컴파니, 리미티드
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Abstract

PURPOSE: A polyimide film is provided to not to have problems in processability of a laminating method, not to occur bending, and to have excellent thermal resistance by having uniform linear expansion coefficient regardless of a location of a film. CONSTITUTION: A heat treated-polyimide film is obtained by heat treating a polyimide film, of which temperature that a rate of change of linear expansion coefficient in mechanical return direction(8) becomes 25% is 200°C or higher, at temperature 100-150 °C higher than the temperature that the rate of change of linear expansion coefficient becomes 25%. In random two point, difference between average linear expansion coefficient in mechanical return direction at 50-300 °C is 15 ppm/°C or less. Time of the heat treatment is 0-10 seconds.

Description

선팽창 계수의 불균일이 개선된 폴리이미드 필름{POLYIMIDE FILM WITH IMPROVED VARIATION OF THE OEFFICIENT OF LINEAR EXPANSION}POLYIMIDE FILM WITH IMPROVED VARIATION OF THE OEFFICIENT OF LINEAR EXPANSION}

본 발명은, 전기 전자 기기 분야에서 사용되는 플렉시블 프린트 배선판의 재료로서 바람직하게 사용되는 폴리이미드 필름에 관한 것이며, 보다 상세하게는, 폴리이미드 필름을 기재(基材)로 하여, 그 일측면 또는 양측면에 폴리이미드계 접착제를 통하여 동판을 접착하여, 플렉시블 프린트 배선판의 재료로서 바람직하게 사용되는, 선팽창 계수의 불균일이 개선된 폴리이미드 필름에 관한 것이다.The present invention relates to a polyimide film which is preferably used as a material of a flexible printed wiring board used in the field of electric and electronic devices. More specifically, one side or both sides of the polyimide film as a base material The present invention relates to a polyimide film having a non-uniformity in coefficient of linear expansion, which is preferably used as a material of a flexible printed wiring board by adhering a copper plate to a polyimide adhesive.

최근, 프린트 배선판이 전자?전기 기기에 광범위하게 사용되고 있다. 그 중에서도, 절곡 가능한 플렉시블 프린트 배선판(Flexible Printed Circuits; FPC)은, 퍼스널 컴퓨터, 디지털 비디오 카메라 또는 휴대 전화기 등의 힌지(hinge)부, 하드디스크 등의 굴곡이 필요한 부분에 널리 사용되고 있다.In recent years, printed wiring boards are widely used in electronic and electrical equipment. Among them, flexible printed circuit boards (FPCs) that are bendable are widely used in parts that require bending such as a hinge portion of a personal computer, a digital video camera or a mobile phone, a hard disk, and the like.

전자 용도의 플렉시블 프린트 배선판을 구성하는 주재료로서, 내열성을 고려하여 폴리이미드 필름을 사용한 동박 적층판(Copper Clad Lamination; CCL)이 알려져 있다. 이 동박 적층판은, 3층 CCL과 2층 CCL로 대별된다. 2층 CCL은, 3층 CCL에 비하여, 일반적으로, 내열성, 치수 안정성, 전기 특성이 양호하고, 3층 CCL에서는 요구 특성을 만족시킬 수 없는 경우(예를 들면, 플라즈마 디스플레이, 접이식 휴대 전화기의 힌지부 등)에 많이 사용된다.As a main material constituting the flexible printed wiring board for electronic applications, a copper clad laminate (CCL) using a polyimide film in consideration of heat resistance is known. This copper foil laminated sheet is roughly classified into three-layer CCL and two-layer CCL. The two-layer CCL generally has better heat resistance, dimensional stability, and electrical characteristics than the three-layer CCL, and the three-layer CCL cannot satisfy the required characteristics (e.g., plasma display, folding mobile phone It is often used for branch offices, etc.).

2층 CCL의 제조 방법으로서는, 동박에 폴리이미드 수지를 코팅하는 캐스트 법(cast method), 폴리이미드계 접착제를 사용하여 동박과 폴리이미드 필름을 접합시키는 라미네이팅법(lamination), 폴리이미드 필름에 금속을 증착 또는 스퍼터링한 후에 동 도금을 하는 스퍼터링법(sputtering method)이 있다.As a manufacturing method of a two-layer CCL, the cast method which coats a polyimide resin to copper foil, the lamination method which bonds a copper foil and a polyimide film using a polyimide-type adhesive agent, and a metal to a polyimide film There is a sputtering method of copper plating after deposition or sputtering.

라미네이팅법에 있어서, 에폭시계 접착제, 아크릴계 접착제 등도 사용되지만, 폴리이미드 필름의 우수한 특성을 충분히 살리기 위해서, 내열성이 뛰어난 폴리이미드계 접착제가 사용되는 경우도 있다(하기 특허 문헌 1). 라미네이팅법에서 폴리이미드계 접착제를 사용하는 경우, 폴리이미드는, 그 화학 구조 및 내약품(耐藥品)(용제) 안정성에 의해, 동박과의 접착성이 불충분한 경우가 많아, 접착성을 높이기 위하여, 300℃ 이상의 고온으로 동박과 열압착하여 라미네이팅할 필요가 있다.In the laminating method, an epoxy adhesive, an acrylic adhesive and the like are also used, but in order to fully utilize the excellent properties of the polyimide film, a polyimide adhesive having excellent heat resistance may be used (Patent Document 1). When a polyimide adhesive is used in the laminating method, the polyimide often has insufficient adhesiveness with copper foil due to its chemical structure and chemical resistance (solvent) stability, in order to increase the adhesiveness. It is necessary to laminate by laminating with copper foil at high temperature of 300 degreeC or more.

그러나, 상기 라미네이팅에 이어서, 에칭 처리 등을 행한 후에, 폴리이미드 필름이 수축하므로, 부분적으로 선팽창 계수가 작은 폴리이미드 필름을 얻을 수 있다고 해도, 선팽창 계수가 큰 부위도 있으므로, 선팽창 계수의 불균일이 많은 폴리이미드 필름이 제조되고 있었다. 그러므로, 폴리이미드 필름의 사용 시에, 선팽창 계수가 작은 부위를 선택할 필요가 있고, 제품으로서 품질이 균일하지 않아, 실제 사용 시에 문제점으로 되어, 필름의 전체면에 있어서 균일하게 선팽창 계수가 작은 폴리이미드 필름의 개발이 요구되고 있었다.However, since the polyimide film shrinks after the laminating and the like after the etching treatment, even if a polyimide film having a small coefficient of linear expansion can be partially obtained, there are also sites where the coefficient of linear expansion is large, so that the nonuniformity of the linear expansion coefficient is large. Polyimide film was produced. Therefore, when using a polyimide film, it is necessary to select the site | part with a small linear expansion coefficient, and since a quality is not uniform as a product, it becomes a problem at the time of actual use, and the poly with a small linear expansion coefficient is uniform in the whole surface of a film. The development of the mid film was called for.

일본 특허출원 공개번호 2005-186274호 공보Japanese Patent Application Publication No. 2005-186274

본 발명의 목적은, 필름의 위치에 관계없이 선팽창 계수가 균일하여 우수한 치수 안정성을 가지고, 선팽창 계수의 불균일이 개선된 폴리이미드 필름을 제공하는 것에 있다.An object of the present invention is to provide a polyimide film having a uniform linear expansion coefficient regardless of the position of the film, excellent dimensional stability, and improved nonuniformity of the linear expansion coefficient.

전술한 사정을 감안하여, 본 발명자는 연구를 거듭한 결과, 라미네이팅법에 있어서, 폴리이미드계 접착제를 폴리이미드 필름 표면 상에 도포하기 전에, 특정 온도 범위에 있어서 강열(强熱) 처리를 행함으로써, 필름의 폭 방향으로 균일한 치수 안정성을 가지는 폴리이미드 필름을 얻을 수 있는 것을 발견하고, 더욱 검토를 거듭하여 본 발명을 완성했다.In view of the above-described circumstances, the present inventors have conducted extensive research, and in the laminating method, before the polyimide adhesive is applied on the polyimide film surface, a heat treatment is performed in a specific temperature range. It discovered that the polyimide film which has uniform dimensional stability in the width direction of a film was obtained, and further examined, and completed this invention.

즉, 본 발명은 이하의 발명을 포함하는 것이다.That is, this invention includes the following invention.

[1] 기계 반송(搬送) 방향의 선팽창 계수의 변화율이 25%로 되는 온도가 200℃ 이상인 폴리이미드 필름에, 상기 선팽창 계수의 변화율이 25%로 되는 온도보다 100℃?150℃ 높은 온도에서 열처리를 행하는 것에 의해 얻어지고, 임의의 2점에 대하여, 50℃?300℃에 있어서 기계 반송 방향의 선팽창 계수의 차가 15 ppm/℃ 이하인 것을 특징으로 하는 열처리 폴리이미드 필름.[1] heat treatment at a temperature of 100 ° C to 150 ° C higher than a temperature at which the rate of change of the coefficient of linear expansion is 25% to a polyimide film having a temperature of 200% or more at which the rate of change of the coefficient of linear expansion in the mechanical conveyance direction is 25% Obtained, and the difference of the linear expansion coefficient of a machine conveyance direction is 15 ppm / degrees C or less with respect to arbitrary two points, The heat-treated polyimide film characterized by the above-mentioned.

[2] 상기 열처리의 시간이 0초 초과 10초 이하인 것을 특징으로 하는, 상기 [1] 에 기재된 열처리 폴리이미드 필름.[2] The heat treatment polyimide film according to the above [1], wherein the heat treatment time is more than 0 seconds and 10 seconds or less.

[3] 폭 500mm 이상, 길이 50m 이상인 상기 [1] 또는 [2]에 기재된 열처리 폴리이미드 필름으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 필름 롤.[3] A film roll comprising a heat-treated polyimide film according to the above [1] or [2], which is 500 mm or more in width and 50 m or more in length.

[4] 기계 반송 방향의 선팽창 계수의 변화율이 25%로 되는 온도가 200℃ 이상인 폴리이미드 필름에, 상기 선팽창 계수의 변화율이 25%로 되는 온도보다 100℃?150℃ 높은 온도에서 열처리를 행하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는, 열처리 폴리이미드 필름의 제조 방법.[4] a step of subjecting a polyimide film having a temperature of 200% or more at a temperature of 25% change in the coefficient of linear expansion in the machine conveyance direction to a heat treatment at a temperature of 100 ° C. to 150 ° C. higher than a temperature at which the rate of change of the linear expansion coefficient is 25%. Method for producing a heat-treated polyimide film, characterized in that it comprises a.

[5] 상기 열처리의 시간이 0초 초과 10초 이하인 것을 특징으로 하는, 상기 [4]에 기재된 열처리 폴리이미드 필름의 제조 방법.[5] The method for producing a heat treated polyimide film according to the above [4], wherein the heat treatment time is more than 0 seconds and 10 seconds or less.

본 발명의 열처리 폴리이미드 필름은, 필름 상의 위치에 관계없이 균일한 선팽창 계수 및 치수 안정성을 가지므로, 라미네이팅법에 있어서의 가공성에 문제도 없고, 휨도 일어나지 않고, 내열성이 우수하여 필름의 부위에 따라 구분하여 사용하지 않아도 되고, 부위별 절단 등의 가공 처리도 불필요하여, 플렉시블 프린트 배선판용에 있어서, 특히 유용하다.Since the heat-treated polyimide film of the present invention has a uniform coefficient of linear expansion and dimensional stability irrespective of the position on the film, there is no problem in workability in the laminating method, no warpage occurs, and excellent heat resistance, so that It is not necessary to use it separately, and also the processing, such as cut | disconnection for each site | part, is unnecessary and is especially useful for a flexible printed wiring board.

도 1은 실시예 1?3 및 비교예 1?3의 가열 장치를 나타낸 개략도이다.1 is a schematic view showing the heating apparatuses of Examples 1-3 and Comparative Examples 1-3.

이하, 발명에 대하여 구체적으로 설명한다. 본 발명의 열처리 폴리이미드 필름은, 기계 반송 방향의 선팽창 계수의 변화율이 25%로 되는 온도가 200℃ 이상인 폴리이미드 필름에, 상기 선팽창 계수의 변화율이 25%로 되는 온도보다 100℃?150℃ 높은 온도에서 열처리를 행하는 것에 의해 얻어지고, 임의의 2점에 대하여, 50℃?300℃에 있어서 기계 반송 방향의 선팽창 계수의 차가 15 ppm/℃ 이하인 것을 특징으로 한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, invention is demonstrated concretely. The heat-treated polyimide film of the present invention is 100 ° C to 150 ° C higher than the temperature at which the rate of change of the coefficient of linear expansion is 25% to a polyimide film having a temperature of 200% or higher at which the rate of change of the coefficient of linear expansion in the machine conveyance direction is 25%. It is obtained by heat-processing at temperature, The difference of the linear expansion coefficient of a machine conveyance direction is 15 ppm / degrees C or less in 50 degreeC-300 degreeC with respect to arbitrary two points.

본 발명에 있어서, 열처리 폴리이미드 필름이란, 상기 열처리를 행한 후의 폴리이미드 필름을 의미한다. 또한, 이하, 기계 반송 방향을 MD, 폭 방향을 TD, 기계 반송 방향의 선팽창 계수를 αMD 라고도 한다. αMD의 측정 방법 및 αMD의 변화율의 측정 방법은, 후술하는 바와 같다.In the present invention, the heat-treated polyimide film means a polyimide film after the heat treatment. In addition, MD is the machine conveyance direction hereafter, TD is the width direction, and the linear expansion coefficient of a machine conveyance direction is also called (alpha) MD . How to measure the rate of change α MD and the method of measurement of α MD is the same as will be described later.

본 발명에 있어서의 각 특성의 평가 방법 및 평가의 기준은 하기와 같다.The evaluation method of each characteristic in this invention, and the criteria of evaluation are as follows.

(1) 선팽창 계수(1) linear expansion coefficient

선팽창 계수는, 열분석 장치(TMA-50, 시마즈제작소사 제품)를 사용하여, 승온(昇溫) 속도 10℃/분으로 실온으로부터 320℃까지 승온시켜, 50?300 ℃의 범위를 해석한 값이다.A linear expansion coefficient is the value which heated up from room temperature to 320 degreeC at the temperature increase rate of 10 degree-C / min using the thermal analysis apparatus (TMA-50, the Shimadzu Corporation make), and analyzed the range of 50-300 degreeC. .

(2) 선팽창 계수의 변화율(2) Change rate of linear expansion coefficient

αMD의 변화율은, 열분석 장치(TMA-50, 시마즈제작소사 제품)를 사용하고, 승온 속도 10℃/분으로 50℃에서 450℃에 걸쳐 측정하였다. 50℃를 시점으로 10℃ 스텝으로 선팽창 계수의 평균을 구하고, 하기 식으로 변화율을 구하였다.The change rate of (alpha) MD was measured over 50 to 450 degreeC at the temperature increase rate of 10 degree-C / min using the thermal analyzer (TMA-50, the Shimadzu Corporation make). The average of the linear expansion coefficient was calculated | required in 10 degreeC steps from a 50 degreeC viewpoint, and the change rate was calculated | required by the following formula.

변화율(%)=[(C2-C1)/C1]×100% Change = [(C2-C1) / C1] × 100

C2: 변화율을 구하고자 하는 온도의 선팽창 계수C2: coefficient of linear expansion of the temperature for which the rate of change is to be obtained

C1: C2보다 10℃ 낮은 온도에서의 선팽창 계수C1: Coefficient of linear expansion at temperature 10 ° C. lower than C2

(3) 필름의 온도(3) the temperature of the film

쉬스 열전대(thermocouple)[K종(T-35), 오카자키제작소사 제품]의 측정부를 필름 표면에 장착하고, 단자를 레코더(NR-1000, 키엔스사 제품)에 접속하였다. 필름의 처리 조건으로 오븐 내를 반송시켜, 필름의 실제 온도를 측정하였다.The measuring part of the sheath thermocouple (K type (T-35), manufactured by Okazaki Corporation) was mounted on the film surface, and the terminal was connected to a recorder (NR-1000, manufactured by Keyence Corporation). The inside of oven was conveyed by the process conditions of a film, and the actual temperature of the film was measured.

(4) 풍속의 측정(4) measurement of wind speed

풍속계(아네모마스터 풍속계 MODEL6162, 카노막스사 제품)를 사용하여, 필름 표면에 부딪히는 에어의 풍속을 측정하였다.The wind speed of the air which hits the film surface was measured using the anemometer (Anemone anemometer MODEL6162, the product made by Kanomax).

본 발명에 있어서의 열처리는, 열처리되는 폴리이미드 필름의 αMD의 변화율이 25%로 되는 온도보다 약 100?150 ℃ 높은 온도에서 행하는 것이 바람직하고, 약 100?140 ℃ 높은 온도에서 행하는 것이 더욱 바람직하다. 열처리의 온도가, 열처리되는 폴리이미드 필름의 αMD의 변화율이 25%로 되는 온도보다 150℃를 초과한 경우, 부분적으로 필름의 신축이 진행되므로, 양호한 평면성을 유지할 수 없는 점에서, 바람직하지 않다. 또한, 열처리의 온도가, 열처리되는 폴리이미드 필름의 αMD의 변화율이 25%로 되는 온도보다 100℃ 높은 온도를 밑도는 경우, 선팽창율의 불균일 저하가 충분하지 못하므로, 바람직하지 않다.It is preferable to perform heat processing in this invention at the temperature which is about 100-150 degreeC higher than the temperature which the change rate of (alpha) MD of the polyimide film heat-processed becomes 25%, and it is more preferable to carry out at the temperature which is about 100-140 degreeC high. Do. When the temperature of heat processing exceeds 150 degreeC more than the temperature which the change rate of (alpha) MD of the polyimide film heat-processed becomes 25%, since expansion and contraction of a film advances partially, it is unpreferable in the point which cannot maintain favorable planarity. . Moreover, when the temperature of heat processing is less than 100 degreeC higher than the temperature which the change rate of (alpha) MD of the polyimide film heat-processed becomes 25%, since the nonuniformity fall of a linear expansion rate is not enough, it is unpreferable.

또한, 상기 열처리는 다단계적으로 행해도 되며, 이 경우, 최종 단계의 온도는, 제1 단계의 온도보다 높은 온도인 것이 바람직하다. 다단계로 열처리를 행하는 경우, 열처리를 받는 폴리이미드 필름의 αMD의 변화율이 25%로 되는 온도보다 약 100?150 ℃ 높은 온도를 최고 온도로 하고, 상기 αMD의 변화율이 25%로 되는 온도 이상을 최저 온도로 하는 것이 바람직하다.The heat treatment may be performed in multiple stages. In this case, the temperature of the final stage is preferably higher than the temperature of the first stage. In the case where the heat treatment is performed in multiple stages, the temperature is about 100 to 150 ° C higher than the temperature at which the change rate of α MD of the polyimide film subjected to the heat treatment is 25%, and the change rate of α MD is at least 25%. It is preferable to make the minimum temperature.

상기 열처리를 행하는 시간은, 0초 초과 10초 이하 정도인 것이 바람직하고, 0초 초과 8초 이하 정도인 것이 더욱 바람직하며, 3초 이상 8초 이하 정도인 것이 가장 바람직하다. 또한, 상기 열처리는, 복수회로 나누어 행해도 되고, 이 경우, 열처리를 행하는 시간은, 토탈 처리 시간을 의미한다. 열처리를 행하는 시간이 10초를 초과하면, αMD의 불균일이 억제되지 않고, 또한 얻어지는 필름의 평면성이 현저하게 악화되기 때문에, 바람직하지 않다. 열처리를 행하는 시간은, 예를 들면, 각 롤러의 상대 회전 속도로 조절할 수 있다. 다단계로 열처리를 행하는 경우, 모든 단계의 처리 시간의 합계가 0초 초과 10초 이하 정도인 것이 바람직하고, 0초 초과 8초 이하 정도인 것이 더욱 바람직하고, 3초 이상 8초 이하 정도인 것이 가장 바람직하다.It is preferable that the time to perform the said heat processing is about 0 second or more and about 10 second or less, It is more preferable that it is about 0 second or more and about 8 second or less, It is most preferable that it is about 3 second or more and about 8 second or less. In addition, the said heat processing may be divided into multiple times, and in this case, time to heat-process means total processing time. If the time for performing the heat treatment exceeds 10 seconds, the non-uniformity of α MD is not suppressed and the planarity of the film obtained is significantly deteriorated, which is not preferable. The time for performing the heat treatment can be adjusted, for example, at the relative rotational speed of each roller. In the case where the heat treatment is performed in multiple stages, it is preferable that the sum of the processing times of all the stages is more than 0 seconds and about 10 seconds or less, more preferably more than 0 seconds and about 8 seconds or less, most preferably about 3 seconds or more and 8 seconds or less. desirable.

본 발명에 있어서의 열처리 수단은, 본 발명의 효과를 손상하지 않는 한 특별히 한정되지 않지만, 예를 들면, 세라믹 히터 등을 사용하여 원적외선을 조사하는 방법, 열풍을 분출하는 방법 및 라디에이션 히터를 사용하는 방법 등이 있으며, 각각의 방법을 단독으로 사용해도 되고, 2가지 방법 이상을 병용해도 된다. 상기 원적외선으로서는, 극히 단시간에 가열 처리가 행해지는 점에서, 약 2㎛?10㎛의 파장을 가지는 것을 사용하는 것이 바람직하다. 열풍을 분출하는 방법에 있어서는, 열풍의 풍속은 약 1.5?2.5 m/초인 것이 바람직하다. 풍속을 1.5 m/초 이상으로 함으로써, 에어를 순환시킴으로써 분위기로부터의 전열(傳熱) 효율이 상승하여, 필름이 균등하게 열처리 되기 쉬워지는 점에서 더욱 바람직하다. 또한, 풍속이 2.5 m/초를 초과하면, 분사된 열풍의 압력으로 폴리이미드 필름이 느슨하게 늘어나기 쉬워지기 때문에, 바람직하지 않다.The heat treatment means in the present invention is not particularly limited as long as the effects of the present invention are not impaired. For example, a method of irradiating far infrared rays using a ceramic heater or the like, a method of blowing hot air, and a radiator heater are used. These methods may be used, and each method may be used independently and may use two or more methods together. As said far-infrared ray, since heat processing is performed in extremely short time, it is preferable to use what has a wavelength of about 2 micrometers-10 micrometers. In the method of blowing hot air, it is preferable that the wind speed of hot air is about 1.5-2.5 m / sec. By setting the wind speed to 1.5 m / sec or more, the heat transfer efficiency from the atmosphere is increased by circulating the air, and the film is more preferably heat treated evenly. In addition, when the wind speed exceeds 2.5 m / sec, the polyimide film tends to be loosely stretched by the pressure of the injected hot air, which is not preferable.

상기 열처리는, 예를 들면, 상기 열처리 수단을 구비한 노(爐) 중에 필름을 주행시켜 행하는 것이 바람직하다. 이 경우, 노 중에 있어서의 필름의 체류 시간이 열처리 시간에 상당한다. 노 내 주행 시의 필름 장력은, 본 발명의 효과를 손상하지 않는 한 특별히 한정되지 않지만, 약 1?50 N/m가 바람직하고, 약 5?25 N/m가 더욱 바람직하다. 전술한 범위보다 장력이 낮으면 필름의 주행성이 악화되고, 전술한 범위보다 장력이 높으면 얻어진 필름의 MD 방향으로의 열수축율이 높아지므로 바람직하지 않다. 열처리 중의 필름 장력은, 예를 들면, 송출 롤러와 권취 롤러의 회전 속도 차로 조절할 수 있다. 또한, 필름의 주행 속도는, 본 발명의 효과를 손상하지 않는 한 특별히 한정되지 않지만, αMD의 불균일 저감 효과를 높이는 점에서, 약 10?200 m/min가 바람직하고, 약 30?120 m/min가 더욱 바람직하다.It is preferable to perform the said heat processing, for example, by running a film in the furnace provided with the said heat processing means. In this case, the residence time of the film in the furnace corresponds to the heat treatment time. Although the film tension at the time of running in a furnace is not specifically limited unless the effect of this invention is impaired, about 1-50 N / m is preferable and about 5-25 N / m is more preferable. When the tension is lower than the above-mentioned range, the running property of the film is deteriorated, and when the tension is higher than the above-mentioned range, the heat shrinkage in the MD direction of the obtained film is high, which is not preferable. The film tension during the heat treatment can be adjusted by, for example, the difference in rotational speeds of the feeding roller and the winding roller. Moreover, the running speed of a film is not specifically limited unless the effect of this invention is impaired, but about 10-200 m / min is preferable at the point which raises the nonuniformity reduction effect of (alpha) MD , and is about 30-120 m / min is more preferred.

또한, 본 발명의 열처리 폴리이미드 필름으로서는, 임의의 2점에 있어서의 αMD의 차가, 50℃?300℃의 범위 내에서 약 15ppm/℃ 이하인 것이 바람직하고, 약 10ppm/℃ 이하인 것이 더욱 바람직하다. 상기 αMD의 차가 큰 것은 그대로 사용하면 문제가 생길 우려가 있어서, αMD의 차가 작은 부위를 선택하여 사용할 필요가 있으므로, 바람직하지 않다. 또한, 각 점에 있어서의 αMD는, 50℃?300℃에서 약 50 ppm/℃ 이하인 것이 바람직하고, 약 40 ppm/℃ 이하인 것이 더욱 바람직하다.Moreover, as the heat-treated polyimide film of this invention, it is preferable that the difference of (alpha) MD in arbitrary two points is about 15 ppm / degrees C or less within the range of 50 degreeC-300 degreeC, and it is more preferable that it is about 10 ppm / degrees C or less. . If the difference of α MD is large, there is a possibility that a problem may occur if it is used as it is, and it is not preferable because it is necessary to select and use a small difference of α MD . Moreover, it is preferable that it is about 50 ppm / degrees C or less, and, as for alpha MD in each point, it is more preferable that it is about 40 ppm / degrees C or less.

본 발명의 열처리 폴리이미드 필름을 제공하는 형태로서는, 본 발명의 효과를 손상하지 않는 한 특별히 한정되는 것은 아니지만, 통상, 롤형, 시트형 등의 형태를 예로 들 수 있다. 본 발명의 열처리 폴리이미드 필름은, 부위에 의한 선팽창 계수의 불균일이 낮기 때문에, 폭 500mm 이상 및/또는 길이 50m 이상의 필름이 권취된 롤형으로 제공하는 것이 바람직하다.Although it does not specifically limit as an aspect which provides the heat processing polyimide film of this invention, unless the effect of this invention is impaired, Usually, forms, such as a roll form and a sheet form, are mentioned. Since the nonuniformity of the coefficient of linear expansion by a site | part is low in the heat processing polyimide film of this invention, it is preferable to provide in the roll form which the film of 500 mm or more in width and / or 50 m or more in length wound up.

본 발명의 열처리 폴리이미드 필름의 제조에 사용되는 폴리이미드 필름은, 본 발명의 효과를 손상하지 않는 한 특별히 한정되지 않지만, αMD의 변화율이 25%로 되는 온도가 약 200℃ 이상인 것이 바람직하고, 약 250℃ 이상인 것이 더욱 바람직하다. 또한, 상기 폴리이미드 필름의 두께는, 양호한 균일성을 얻을 수 있는 점에서, 약 1?250 ㎛가 바람직하고, 약 5?50 ㎛가 더욱 바람직하다. 이와 같은 필름으로서는, 시판중인 것, 공지의 방법으로 제조한 것 등이 널리 사용된다.Although the polyimide film used for manufacture of the heat-processing polyimide film of this invention is not specifically limited unless the effect of this invention is impaired, It is preferable that the temperature which the change rate of (alpha) MD becomes 25% or more is about 200 degreeC, More preferably, it is at least about 250 ° C. Moreover, about 1-250 micrometers is preferable and, as for the thickness of the said polyimide film, a favorable uniformity is obtained, about 5-50 micrometers is more preferable. As such a film, a commercially available thing, the thing manufactured by a well-known method, etc. are used widely.

이하에서 본 발명에서 사용되는 폴리이미드 필름의 제조 방법의 일례에 대하여 설명한다. 본 발명에서 사용되는 폴리이미드 필름은, (a) 방향족 디아민 성분과 산무수물 성분을 유기 용매 중에서 중합 반응시켜, 폴리아미드산 용액을 얻는 공정, (b) 상기 폴리아미드산 용액을 환상화(cyclization) 반응시켜 겔 필름을 얻는 공정 및 (c) 상기 공정 (b)에서 얻어진 겔 필름을 연신시키는 공정을 포함하는 방법에 따라 제조될 수도 있다.Hereinafter, an example of the manufacturing method of the polyimide film used by this invention is demonstrated. The polyimide film used in the present invention is a step of polymerizing a (a) aromatic diamine component and an acid anhydride component in an organic solvent to obtain a polyamic acid solution, and (b) cyclization of the polyamic acid solution. It may be produced according to a method including a step of reacting to obtain a gel film and (c) stretching the gel film obtained in the step (b).

상기 공정 (a)는, 방향족 디아민 성분과 산무수물 성분을 유기 용매 중에서 중합 반응시켜, 폴리아미드산 용액을 얻는 공정이다. 상기 폴리아미드산 용액에 함유되는 폴리아미드산으로서는, 방향족 테트라카르복시산류와 방향족 디아민류로 이루어지고, 하기 일반식 (1)에서 나타내는 반복 단위로 구성되는 것이 바람직하다. 상기 폴리아미드산은, 용액 중 부분적으로 이미드화되어 있어도 되고, 소량의 무기 화합물 등을 함유하고 있어도 된다.The said process (a) is a process of polymerizing-reacting an aromatic diamine component and an acid anhydride component in an organic solvent, and obtaining a polyamic-acid solution. As a polyamic acid contained in the said polyamic acid solution, it is preferable that it consists of the repeating unit which consists of aromatic tetracarboxylic acid and aromatic diamine, and is shown by following General formula (1). The polyamic acid may be partially imidized in the solution, or may contain a small amount of an inorganic compound or the like.

[화학식 1][Formula 1]

Figure pat00001
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상기 일반식 (1)에 있어서, R1은 적어도 1개의 방향족 환을 가지는 4가의 유기기이며, 그 탄소수는 25 이하인 것으로 하고, R2는 적어도 1개의 방향족 환을 가지는 2가의 유기기이며, 그 탄소수는 25 이하이다.In the general formula (1), R 1 is a tetravalent organic group having at least one aromatic ring, its carbon number is 25 or less, and R 2 is a divalent organic group having at least one aromatic ring, Carbon number is 25 or less.

상기 방향족 테트라카르복시산류와 상기 방향족 디아민류는, 각각의 몰수가 거의 같아지는 비율로 배합되지만, 그 한쪽이 약 10 몰%, 바람직하게는 약 5 몰%의 범위 내에서, 다른 쪽에 대하여 과잉으로 배합되어도 된다.Although the said aromatic tetracarboxylic acid and the said aromatic diamine are mix | blended in the ratio in which each mole number is about the same, it is mix | blended excessively with respect to the other in the range of about 10 mol%, preferably about 5 mol% in one of them. You may be.

상기 방향족 테트라카르복시산류의 구체예로서는, 피로멜리트산, 3,3',4,4'-비페닐테트라카르복시산, 2,3',3,4'-비페닐테트라카르복시산, 3,3',4,4'-벤조페논테트라카르복시산, 2,3,6,7-나프탈렌테트라카르복시산, 2,2-비스(3,4-디카르복시페닐)프로판, 피리딘-2,3,5,6-테트라카르복시산 또는 그 산무수물, 또는 산2무수물, 또는 그 산의 에스테르 화합물 또는 할로겐화물로부터 유도되는 방향족 테트라카르복시산류 등이 있다.Specific examples of the aromatic tetracarboxylic acids include pyromellitic acid, 3,3 ', 4,4'-biphenyltetracarboxylic acid, 2,3', 3,4'-biphenyltetracarboxylic acid, 3,3 ', 4, 4'-benzophenonetetracarboxylic acid, 2,3,6,7-naphthalenetetracarboxylic acid, 2,2-bis (3,4-dicarboxyphenyl) propane, pyridine-2,3,5,6-tetracarboxylic acid or its Acid anhydrides, acid dianhydrides, or aromatic tetracarboxylic acids derived from ester compounds or halides thereof.

상기 방향족 디아민류의 구체예로서는, 파라페닐렌디아민, 메타페닐렌디아민, 벤지딘, 파라크실릴렌디아민, 4,4'-디아미노디페닐에테르, 3,4'-디아미노디페닐에테르, 4,4'-디아미노디페닐메탄, 4,4'-디아미노디페닐설폰, 3,3'-디메틸-4,4'-디아미노디페닐메탄, 1,5-디아미노나프탈렌, 3,3'-디메톡시벤지딘, 1,4-비스(3-메틸-5-아미노페닐)벤젠 및 이들의 유도체 등이 있다.Specific examples of the aromatic diamines include paraphenylenediamine, metaphenylenediamine, benzidine, paraxylylenediamine, 4,4'-diaminodiphenyl ether, 3,4'-diaminodiphenyl ether, 4, 4'-diaminodiphenylmethane, 4,4'-diaminodiphenylsulfone, 3,3'-dimethyl-4,4'-diaminodiphenylmethane, 1,5-diaminonaphthalene, 3,3 ' -Dimethoxybenzidine, 1,4-bis (3-methyl-5-aminophenyl) benzene, and derivatives thereof.

본 발명에 특히 적합한 방향족 테트라카르복시산 성분과 방향족 디아민 성분의 조합으로서는, 피로멜리트산 2무수물과 4,4'-디아미노디페닐에테르, 및 3,3',4,4'-비페닐테트라카르복시산 2무수물과 4,4'-디아미노디페닐에테르 등의 조합이 바람직하다. 또한, 상기 방향족 테트라카르복시산 성분과 방향족 디아민 성분으로부터 얻어지는 폴리아미드산으로서는, 이들의 공중합 및/또는 파라페닐렌디아민과의 공중합에 의해 얻어지는 것이 바람직하다.As a particularly suitable combination of the aromatic tetracarboxylic acid component and the aromatic diamine component in the present invention, pyromellitic dianhydride, 4,4'-diaminodiphenyl ether, and 3,3 ', 4,4'-biphenyltetracarboxylic acid 2 Combinations of anhydrides and 4,4'-diaminodiphenyl ethers are preferred. Moreover, as a polyamic acid obtained from the said aromatic tetracarboxylic acid component and an aromatic diamine component, what is obtained by these copolymerization and / or copolymerization with paraphenylenediamine is preferable.

상기 폴리아미드산 용액을 조제하기 위해 사용되는 유기 용매의 구체예로서는, N,N-디메틸포름아미드, N,N-디메틸아세트아미드 및 N-메틸-2-피롤리돈 등의 유기 극성 아미드계 용매 등이 있으며, 이들 유기 용매는 단독으로 또는 2종 이상을 조합하여 사용되지만, 벤젠, 톨루엔 및 크실렌 등의 비용매 등과 조합하여 사용해도 된다.Specific examples of the organic solvent used for preparing the polyamic acid solution include organic polar amide solvents such as N, N-dimethylformamide, N, N-dimethylacetamide, N-methyl-2-pyrrolidone, and the like. Although these organic solvents are used individually or in combination of 2 or more types, you may use in combination with nonsolvents, such as benzene, toluene, and xylene.

상기 중합 반응은, 유기 용매 중 교반 및/또는 혼합하면서, 통상 약 0?80 ℃의 온도 범위에서, 약 10분?30시간 연속적으로 진행되지만, 필요에 따라 온도를 적절하게 상하로 조절해도 되고, 중합 반응을 복수회로 분할하여 행해도 된다. 양 반응체의 첨가 순서는 특별히 제한은 없지만, 방향족 디아민류의 용액 중에 방향족 테트라카르복시산류를 첨가하는 것이 바람직하다. 상기 중합 반응 중에 진공탈포는, 양질의 폴리아미드산의 유기 용매 용액을 제조하기 위해 유효한 방법이다. 또한, 중합 반응 전에 방향족 디아민류에 소량의 말단 봉쇄제(封鎖劑)를 첨가하여 중합을 제어해도 된다.Although the said polymerization reaction advances continuously for about 10 minutes-30 hours normally in the temperature range of about 0-80 degreeC, stirring and / or mixing in an organic solvent, you may adjust temperature suitably up and down as needed, You may divide a polymerization reaction into several times. Although the addition order of both reactants does not have a restriction | limiting in particular, It is preferable to add aromatic tetracarboxylic acids in the solution of aromatic diamines. Vacuum defoaming during the polymerization reaction is an effective method for producing an organic solvent solution of high quality polyamic acid. In addition, before the polymerization reaction, a small amount of terminal blocking agent may be added to the aromatic diamines to control the polymerization.

상기 폴리아미드산 용액은, 고형분을, 바람직하게는 약 5?40 중량%, 더욱 바람직하게는 약 10?30 중량% 함유하는 것이다. 또한, 안정된 송액(送液)이 가능하므로, 그 점도는 브룩필드 점도계(Brookfield viscometer)에 의한 측정으로 약 10?2000 Pa?s가 바람직하고, 약 100?1000 Pa?s가 더욱 바람직하다.The polyamic acid solution contains a solid content, preferably about 5 to 40% by weight, more preferably about 10 to 30% by weight. In addition, since stable liquid feeding is possible, the viscosity is preferably about 10 to 2000 Pa · s, more preferably about 100 to 1000 Pa · s, as measured by a Brookfield viscometer.

상기 폴리아미드산 용액은, 필름의 이활성(易滑性)을 얻기 위해 필요에 따라, 산화 티탄, 미세 실리카, 탄산 칼슘, 인산 칼슘, 인산 수소 칼슘, 폴리이미드 필러(filler) 등의 화학적으로 불활성인 유기 필러 또는 무기 필러 등을 함유할 수 있고, 이와 같은 필러로서는, 실리카가 바람직하다.The polyamic acid solution is chemically inert such as titanium oxide, fine silica, calcium carbonate, calcium phosphate, calcium hydrogen phosphate, polyimide filler or the like, as necessary to obtain diactivation of the film. A phosphorus organic filler, an inorganic filler, etc. can be contained, As such a filler, a silica is preferable.

상기 공정 (b)는, 상기 폴리아미드산 용액을 환상화 반응시켜 겔 필름을 얻는 공정이다. 상기 환상화 반응으로서는, 예를 들면, 열 폐환법(thermal cyclization method)과 화학 폐환법(chemical yclization method)이 있다. 상기 열 폐환법은, 폐환 촉매 및 탈수제를 함유하지 않은 상기 폴리아미드산의 유기 용매 용액을 슬릿이 구비된 마우스피스(mouth piece)로부터 지지체 상에 캐스팅하여 필름형으로 성형하고, 지지체 상에서 가열 건조함으로써 탈수 환상화시켜 겔 필름을 얻는 방법이다. 또한, 상기 화학 폐환법은, 상기 폴리아미드산의 유기 용매 용액에 폐환 촉매 및 탈수제를 함유시킨 용액을 슬릿이 구비된 마우스피스로부터 지지체 상에 캐스팅하여 필름형으로 성형하고, 지지체 상에서 환상화를 일부 진행시킨 후, 지지체로부터 박리하고 가열함으로써, 겔 필름을 얻는 방법이다.The said process (b) is a process of obtaining the gel film by carrying out the cyclic reaction of the said polyamic acid solution. As said cyclic | annular reaction, there exist a thermal cyclization method and the chemical yclization method, for example. The thermal ring closure method comprises casting an organic solvent solution of the polyamic acid containing no ring closure catalyst and a dehydrating agent on a support from a mouth piece equipped with a slit to form a film, and heating and drying on the support. It is a method of obtaining a gel film by dehydrating annularizing. In the chemical ring closure method, a solution containing a ring closure catalyst and a dehydrating agent in an organic solvent solution of the polyamic acid is cast on a support from a mouthpiece equipped with a slit to form a film, and part of the annularization on the support is formed. After advancing, it is a method of obtaining a gel film by peeling from a support body and heating.

본 발명에서 말하는 겔 필름이란, 부분적으로 이미드화된 폴리아미드산 및 용매를 포함하고 자기 지지성(self supporting property)을 가지는 필름을 의미한다. 상기 겔 필름에 포함되는 용매량은 특별히 한정되지 않지만, 통상, 겔 필름에 대하여 용매를 1?90 % 정도 포함하는 것이 사용된다.The gel film as used in the present invention means a film containing a partially imidized polyamic acid and a solvent and having a self supporting property. Although the amount of solvent contained in the said gel film is not specifically limited, Usually, what contains a solvent about 1 to 90% with respect to a gel film is used.

상기 환상화 반응에서는, 전술한 어떤 폐환법을 채용해도 되며, 화학 폐환법은 폴리아미드산의 유기 용매 용액에 폐환 촉매 및 탈수제를 함유시키는 설비를 필요로 하지만, 자기 지지성을 가지는 겔 필름을 단시간에 얻을 수 있는 점에서, 더욱 바람직한 방법이라고 할 수 있다.In the above cyclic reaction, any of the above-described ring-closing methods may be employed, and the chemical ring-closing method requires a facility in which a ring-closure catalyst and a dehydrating agent are contained in an organic solvent solution of polyamic acid. It can be said that it is a more preferable method from the point which can be obtained.

본 발명에서 사용되는 폐환 촉매의 구체예로서는, 트리메틸아민, 트리에틸아민 등의 지방족 제3급 아민 및 이소퀴놀린, 피리딘, 베타피콜린 등의 복소환식 제3급 아민 등이 있지만, 복소환식 제3급 아민으로부터 선택되는 적어도 1종의 아민을 사용하는 것이 바람직하다. 폴리아미드산에 대한 폐환 촉매의 함유량은, 폐환 촉매의 함유량(몰)/폴리아미드산의 함유량(몰)이 약 0.5?8로 되는 범위가 바람직하다.Specific examples of the ring-closure catalyst used in the present invention include aliphatic tertiary amines such as trimethylamine and triethylamine, and heterocyclic tertiary amines such as isoquinoline, pyridine, and beta picoline. Preference is given to using at least one amine selected from amines. As for content of the ring-closure catalyst with respect to polyamic acid, content (mol) / content (mol) of polyamic acid of the ring-closure catalyst is preferably in a range of about 0.5 to 8.

본 발명에서 사용되는 탈수제의 구체예로서는, 무수 아세트산, 무수 프로피온산, 무수 부탄산 등의 지방족 카르복시산 무수물, 및 무수 벤조산 등의 방향족 카르복시산 무수물 등이 있고, 무수 아세트산 및/또는 무수 벤조산이 바람직하다. 또한, 폴리아미드산에 대한 탈수제의 함유량은, 탈수제의 함유량(몰)/폴리아미드산의 함유량(몰)이 약 0.1?4로 되는 범위가 바람직하다. 그리고, 이 경우에는, 아세틸아세톤 등의 겔화 지연제를 병용해도 된다.Specific examples of the dehydrating agent used in the present invention include aliphatic carboxylic acid anhydrides such as acetic anhydride, propionic anhydride and butanoic anhydride, aromatic carboxylic anhydrides such as benzoic anhydride, and the like, and acetic anhydride and / or benzoic anhydride are preferred. Moreover, as for content of the dehydrating agent with respect to polyamic acid, content (mol) / content (mol) of polyamic acid become the range which becomes about 0.1-4. In this case, gelling retardants such as acetylacetone may be used in combination.

상기 겔 필름에 함유되는 폴리이미드의 고유 점도(25℃ 황산 내에서 측정)는, 약 0.2?3.0의 범위가 바람직하고, 약 0.8?2.0의 범위가 더욱 바람직하다.The range of about 0.2-3.0 is preferable and, as for the intrinsic viscosity (measured in 25 degreeC sulfuric acid) of the polyimide contained in the said gel film, the range of about 0.8-2.0 is still more preferable.

상기 공정 (c)는, 상기 공정 (b)에서 얻어진 겔 필름을 연신하는 공정이다. 상기 연신 방법은, 본 발명의 효과를 손상하지 않는 이상 특별히 한정되지 않지만, 기계 반송 방향(MD)과 폭 방향(TD)으로의 2축 연신인 것이 바람직하다.The said process (c) is a process of extending | stretching the gel film obtained by the said process (b). Although the said extending method is not specifically limited unless the effect of this invention is impaired, It is preferable that it is biaxial stretching in a machine conveyance direction MD and the width direction TD.

상기 2축 연신 처리의 순번은, 특별히 한정되지 않지만, 기계 반송 방향(MD)의 연신[이하, 종(縱) 연신이라고도 함]을 행한 후, 폭 방향(TD)의 연신[이하, 횡(橫) 연신이라고도 함]을 행하는 것이 바람직하다. 또한, 종 연신을 행하고, 이어서, 가열 처리한 후, 횡 연신을 행하는 공정, 또는 종 연신을 행하고, 이어서, 가열 처리와 병행하여 횡 연신을 행하는 공정이, 선열팽창 계수의 균일성을 높이는 점에서, 보다 바람직하다. 여기서 말하는 가열 처리는, 겔 필름에 포함되는 용매를 제거하여 폴리이미드 필름을 얻기 위한 것이다. 본 발명에서는 상기 폴리이미드 필름에 열처리를 더 행하여, 열처리 폴리이미드 필름을 얻는다.Although the order of the said biaxial stretching process is not specifically limited, After extending | stretching (henceforth longitudinal extension) of the machine conveyance direction MD, after extending | stretching of the width direction TD (henceforth lateral) ), Also referred to as drawing). In addition, the process of longitudinal stretching, then the heat treatment, then the lateral stretching, or the longitudinal stretching, and then the lateral stretching in parallel with the heat treatment increases the uniformity of the linear thermal expansion coefficient. More preferable. The heat treatment here is for removing the solvent contained in a gel film and obtaining a polyimide film. In this invention, a heat processing is further performed to the said polyimide film, and a heat processing polyimide film is obtained.

상기 2축 연신 처리에 있어서의 MD의 연신(종 연신)은, 2 단계 이상으로 나누어서 행하는 것이 바람직하다. MD의 총 연신 배율은, 특별히 한정되지 않지만, 1.04배 이상 1.5배 이하 정도가 바람직하고, 1.05배 이상 1.4배 이하 정도가 더욱 바람직하다. 또한, MD의 연신 온도는, 특별히 한정되지 않지만, 50?100 ℃ 정도가 바람직하고, 60℃?90℃ 정도가 더욱 바람직하다. 상기 종 연신의 패턴으로서는, 연신 배율 1로부터 전술한 연신 배율까지, 한번에 연신하는 방법, 축차 연신하는 방법, 정해지지 않은 배율로 조금씩 연신하는 방법, 정해진 배율로 조금씩 연신하는 방법, 또는 이들을 복수 조합한 방법 등이 있고, 특히 조금씩 정해진 배율로 연신하는 방법이 바람직하다.It is preferable to divide | segment extending | stretching (longitudinal drawing) of MD in the said biaxial stretching process in 2 or more steps. Although the total draw ratio of MD is not specifically limited, About 1.04 times or more and about 1.5 times or less are preferable, About 1.05 times or more and about 1.4 times or less are more preferable. In addition, although the extending | stretching temperature of MD is not specifically limited, About 50-100 degreeC is preferable, and about 60 degreeC-90 degreeC is still more preferable. As the pattern of the longitudinal stretching, a method of stretching at a time from the stretching ratio 1 to the above-described stretching ratio, a method of sequentially stretching, a method of stretching gradually at an undetermined magnification, a method of stretching slightly at a predetermined magnification, or a combination of a plurality thereof Etc., and the method of extending | stretching at a fixed magnification especially little by little is preferable.

상기 종 연신 후에 가열 처리를 행하는 경우, 가열 온도는, 특별히 한정되지 않지만, MD의 연신 시의 온도보다 높은 온도가 바람직하다. 또한, 가열 처리는, 상이한 온도로 다단계적으로 행해도 되고, 이 경우, 최종 단계의 가열 온도는, 제1 단계의 가열 온도보다 높은 온도인 것이 바람직하다. 가열 처리에는, 온도가 상이한 복수개의 블록(영역)을 가지는 캐스팅로 또는 가열로 등의 가열 장치 등을 사용할 수 있다. 가열 처리는, 핀식 텐터 장치(pin type tenter device), 클립식 텐터 장치(clip type tenter device), 척(chuck) 등에 의해 필름의 양단(兩端)을 고정하여 행하는 것이 바람직하다. 상기 가열 처리에 의해, 용매를 제거할 수 있다.When heat-processing after the said longitudinal stretching, heating temperature is although it does not specifically limit, The temperature higher than the temperature at the time of extending | stretching MD is preferable. In addition, you may heat-process in multiple steps at different temperature, In this case, it is preferable that the heating temperature of a final stage is temperature higher than the heating temperature of a 1st stage. In the heat treatment, a heating device such as a casting furnace or a heating furnace having a plurality of blocks (regions) having different temperatures can be used. The heat treatment is preferably performed by fixing both ends of the film by a pin type tenter device, a clip type tenter device, a chuck, or the like. By the said heat processing, a solvent can be removed.

종 연신 후에 횡 연신을 행하는 경우, MD 방향으로 연신된 겔 필름은, 텐터 장치에 도입되어 텐터 클립 등에 폭 방향 양 단부가 파지(把持)되어, 텐터 클립 등과 함께 주행하면서, 폭 방향(TD)으로 연신된다. TD의 연신 배율(이하, 횡 연신 비율이라고도 함)로서는, 특별히 한정되지 않지만, 1.1배 이상 2.0배 이하가 바람직하고, 1.2배 이상 1.8배 이하가 더욱 바람직하다. TD의 연신 배율(횡 연신 비율)은, MD의 연신 배율(종 연신 비율)보다 높게 설정하는 것이 바람직하고, 구체적으로는, MD의 총 연신 배율의 1.10배 이상 1.50배 이하가 바람직하고, 1.15배 이상 1.45배 이하가 더욱 바람직하다. 필름의 MD의 연신 배율과 비교하여 TD의 연신 배율을 높게 설정함으로써, 필름의 MD에는 금속에 근사한 선열팽창 계수를 유지하면서, 필름의 TD의 선열팽창 계수를 낮게 억제한 필름을 얻을 수 있다. 상기 필름을 사용하여 제조되는 본 발명의 열처리 폴리이미드 필름은, 플렉시블 프린트 배선판 등에 바람직하게 사용될 수 있다.When transverse stretching is performed after longitudinal stretching, the gel film stretched in the MD direction is introduced into the tenter device, and both ends of the width direction are gripped in the tenter clip and the like, and travel in the width direction (TD) while traveling with the tenter clip or the like. Stretched. Although it does not specifically limit as a draw ratio (henceforth a lateral stretch ratio) of TD, 1.1 times or more and 2.0 times or less are preferable, and 1.2 times or more and 1.8 times or less are more preferable. It is preferable to set the draw ratio (lateral stretch ratio) of TD higher than the draw ratio (longitudinal stretch ratio) of MD, and specifically 1.10 times or more and 1.50 times or less of the total draw ratio of MD are preferable, and 1.15 times 1.45 times or more is more preferable. By setting the draw ratio of TD high compared with the draw ratio of MD of a film, the film which suppressed the linear thermal expansion coefficient of TD of a film can be obtained, maintaining the linear thermal expansion coefficient approximated to metal in MD of a film. The heat-treated polyimide film of the present invention produced using the film can be preferably used for a flexible printed wiring board and the like.

TD의 연신은, 상기 가열 처리 후에 행해도 되고, 상기 가열 처리 전에 행해도 되지만, 상기 가열 처리와 병행하여 행하는 것이, 선열팽창 계수의 균일성을 높이는 점에서, 더욱 바람직하다. TD의 연신 시간은, 특별히 한정되지 않지만, 5초?10분 정도이며, 10초?8분이 바람직하다. 상기 횡 연신의 패턴으로서는, 연신 배율 1로부터 전술한 횡 연신 배율까지, 한번에 연신하는 방법, 축차 연신하는 방법, 정해지지 않은 배율로 조금씩 연신하는 방법, 정해진 배율로 조금씩 연신하는 방법, 또는 이들을 복수 조합한 방법 등을 예로 들 수 있다. 특히, 횡 연신과 다단계 가열 처리를 병행하여 행하는 경우, 제1 단계의 가열 처리 시에, TD의 연신 배율이 최대 연신 비율로 되도록 설정하고, 연신 배율을 조금씩 저하시키는 것이 바람직하다. 또한, 제1 단계의 가열 처리 후에도, TD의 연신 배율을 조금씩 높여 제2 단계 또는 최종 단계의 가열 처리 시에 TD의 연신 배율이 최대 연신 비율로 되도록 설정하는 것도 바람직하다.Although extending | stretching of TD may be performed after the said heat processing, and may be performed before the said heat processing, performing in parallel with the said heat processing is more preferable at the point which improves the uniformity of a linear thermal expansion coefficient. Although the stretching time of TD is not specifically limited, It is about 5 second-about 10 minutes, and 10 second-8 minutes are preferable. As said lateral stretch pattern, the method of extending | stretching at once from the draw ratio 1 to the above-mentioned lateral stretch magnification, the method of sequential stretching, the method of extending | stretching little by little at an undetermined magnification, the method of extending | stretching little by little at a predetermined magnification, or combining these in multiple numbers The method etc. are mentioned, for example. In particular, in the case where the lateral stretching and the multi-step heat treatment are performed in parallel, it is preferable to set the draw ratio of the TD to be the maximum draw ratio at the time of the heat treatment in the first step, and to decrease the draw ratio little by little. Moreover, it is also preferable to set so that the draw ratio of TD may become a maximum draw ratio at the time of the heat processing of a 2nd step or a final stage little by little by increasing the draw ratio of TD after the 1st step heat processing.

상기 지지체로부터 박리된 겔 필름은, 회전 롤에 의해 주행 속도를 규제받으면서 주행 방향(MD)으로 연장된다. 회전 롤에는, 겔 필름의 주행 속도를 규제하기 위한 파지력이 필요하므로, 회전 롤로서는, 금속 롤과 고무 롤을 조합하여 이루어지는 니플(nipple) 롤, 진공 롤, 다단 장력 커팅 롤, 또는 감압 흡인 방식의 석션(suction) 롤 등을 사용하는 것이 바람직하다.The gel film peeled off from the said support body extends in a running direction MD, restrict | limiting a running speed by a rotating roll. Since the rotary roll requires a holding force for regulating the traveling speed of the gel film, the rotary roll may be a nipple roll, a vacuum roll, a multi-stage tension cutting roll, or a pressure reduction suction system formed by combining a metal roll and a rubber roll. It is preferable to use a suction roll or the like.

[실시예][Example]

이하, 실시예에 따라 본 발명을 설명하지만, 본 발명은 이들 실시예로 한정되지 않는다.Hereinafter, although an Example demonstrates this invention, this invention is not limited to these Examples.

[제조예 1][Production Example 1]

교반기를 구비한 중합 장치에, 건조시킨 N,N-디메틸아세트아미드 1900.6 kg을 넣고, 그 중에 파라페닐렌디아민 12.43kg(0.115 kmol)을 교반 용해시켰다. 이어서, 피로멜리트산 2무수물 24.45kg(0.112 kmol)을 소량씩 투입하고, 투입 완료 후부터 1시간 교반을 계속했다. 그 후, 4,4'-디아미노디페닐에테르 169.17 kg(0.845 kmol)을 투입하여 균일하게 될 때까지 교반한 후, 3,3'-4,4'-디페닐테트라카르복시산 2무수물 56.49kg(0.192 kmol)을 첨가하여, 1시간 반응시켰다. 이어서, 여기에 피로멜리트산 2무수물 143.09kg(0.656 kmol)을 첨가하고, 1시간 더 반응시켜 폴리아미드산 용액을 얻었다. 이 용액은, 20℃에서 320 Pa?s의 점도였다. 이 폴리아미드산 용액에, 건조시킨 N,N-디메틸아세트아미드 250.0kg, 무수 아세트산을 폴리아미드산 단위에 대하여 2.5mol, 피리딘을 폴리아미드산 단위에 대하여 2.0 mol 혼합하여, 폴리아미드산 용액을 조제했다.1900.6 kg of dried N, N-dimethylacetamide was placed in a polymerization apparatus equipped with a stirrer, and 12.43 kg (0.115 mmol) of paraphenylenediamine was dissolved therein under stirring. Subsequently, 24.45 kg (0.112 kmol) of pyromellitic dianhydrides were thrown in small amounts, and stirring was continued for 1 hour after completion | finish of addition. Thereafter, 169.17 kg (0.845 kmol) of 4,4'-diaminodiphenyl ether was added thereto, stirred until uniform, and then 56.49 kg (3,3'-4,4'-diphenyltetracarboxylic acid dianhydride) 0.192 kmol) was added and reacted for 1 hour. Subsequently, 143.09 kg (0.656 kmol) of pyromellitic dianhydrides were added to this, and it was further made to react for 1 hour, and the polyamic-acid solution was obtained. This solution was 320 Pa.s viscosity at 20 degreeC. To this polyamic acid solution, 250.0 kg of dried N, N-dimethylacetamide and acetic anhydride were mixed with 2.5 mol and 2.5 mol of pyridine with respect to the polyamic acid unit to prepare a polyamic acid solution. did.

이 폴리아미드산 용액을 마우스피스 슬릿 폭 2.5mm, 길이 1600mm의 T 다이로부터 압출하여, 70℃의 금속 무한 벨트 상에 캐스팅하여 자기 지지성이 있는 겔 필름을 얻었다. 이 겔 필름을 60℃의 실내에서 MD 방향으로 1.15배로 연신하면서 반송하였다. 핀식 텐터 장치에 의해 겔 필름의 폭 방향의 양 단부를 핀으로 파지하고 반송 및 TD 방향으로 1.35배로 연신하면서, 260℃에서 2분간 건조시키고, 또한 340℃에서 5분간 가열 처리한 후, 냉각 영역에서 릴렉스시키면서 2분간 30℃에서 냉각시켰다. 또한, 반송하면서 필름의 단부의 에지를 컷팅하고, 필름 표면을 웨이브 클리너(MODEL SC2202, 휴글일렉트로닉스사 제품)로 클리닝함으로써, 폭 1600mm, 두께 12㎛의 폴리이미드 필름 3200m를 채취했다. 이것을 슬릿 머신으로 슬릿함으로써 폭 510mm, 길이 300m의 필름 롤(이하, PI 롤-1이라고 함)을 얻었다. 그리고, PI 롤-1의 αMD의 변화율이 25%로 되는 온도는 250℃이며, 510mm의 폭 내를 30mm 간격으로 16점 측정한 αMD의 최대값과 최소값의 차는 18 ppm/℃였다.This polyamic acid solution was extruded from a T-die having a mouthpiece slit width of 2.5 mm and a length of 1600 mm, and cast on a metal endless belt at 70 ° C to obtain a self supporting gel film. This gel film was conveyed while extending | stretching 1.15 times in MD direction in the room temperature of 60 degreeC. After holding both ends of the width direction of a gel film with a pin by the pin type | mold tenter apparatus, and extending | stretching by 1.35 times in conveyance and TD direction, it dried at 260 degreeC for 2 minutes, and heat-processed at 340 degreeC for 5 minutes, It cooled at 30 degreeC for 2 minutes, relaxing. Moreover, the edge of the edge part of a film was cut | disconnected conveying, and 3200 m of polyimide films of width 1600mm and 12 micrometers of thickness were extract | collected by cleaning the film surface with a wave cleaner (MODEL SC2202, product made by Hug Electronics). By slitting this with a slit machine, a film roll (hereinafter referred to as PI roll-1) having a width of 510 mm and a length of 300 m was obtained. And the temperature which the change rate of (alpha) MD of PI roll-1 becomes 25% was 250 degreeC, and the difference of the maximum value and the minimum value of (alpha) MD which measured 16 points in 30 mm intervals in the width of 510 mm was 18 ppm / degreeC.

[제조예 2][Production Example 2]

제조예 1과 동일하게 행하여 조제한 폴리아미드산 용액을 마우스피스의 슬릿 폭 2.5mm, 길이 1600mm의 T 다이로부터 압출하고, 58℃의 금속 무한 벨트 상에 캐스팅하여 자기 지지성이 있는 겔 필름을 얻었다. 이 겔 필름을 65℃의 실내에서 MD 방향으로 1.10배로 연신하면서 반송하였다. 핀식 텐터 장치에 의해 겔 필름의 폭 방향 양 단부를 핀으로 파지하고 반송 및 TD 방향으로 1.40배로 연신하면서, 260℃에서 3분간 건조시키고, 또한 340℃에서 7.5분간 가열 처리하여, 냉각 영역에서 릴렉스시키면서 1.5분간 30℃에서 냉각시켰다. 또한, 반송하면서 필름의 단부의 에지를 컷팅하고, 필름 표면을 웨이브 클리너(MODEL SC2202, 휴글일렉트로닉스사사 제품)로 클리닝함으로써, 폭 1585mm, 두께 25㎛의 폴리이미드 필름 1100m를 채취했다. 슬릿 머신으로 슬릿함으로써 폭 510mm, 길이 300m의 필름 롤(이하, PI 롤-2라고 함)을 얻었다. 그리고, PI 롤-2의 αMD의 변화율이 25%로 되는 온도는 250℃이며, 510mm의 폭 내를 30mm 간격으로 16점 측정한 αMD의 최대값과 최소값의 차는 22 ppm/℃였다.The polyamic acid solution prepared in the same manner as in Production Example 1 was extruded from a T die having a slit width of 2.5 mm and a length of 1600 mm of the mouthpiece, and cast on a 58 ° C metal endless belt to obtain a self supporting gel film. This gel film was conveyed while extending | stretching 1.10 times in MD direction in the room temperature of 65 degreeC. While holding both ends of the width direction of a gel film with a pin by the pin type | mold tenter apparatus, and extending | stretching by 1.40 times in conveyance and TD direction, it dries at 260 degreeC for 3 minutes, heat-processes at 340 degreeC for 7.5 minutes, and relaxes in a cooling area, Cooled at 30 ° C. for 1.5 minutes. Moreover, the edge of the edge part of a film was cut | disconnected conveying, and the film surface was cleaned with a wave cleaner (MODEL SC2202, product made by Hug Electronics Co., Ltd.), and 1100 m of polyimide film of width 1585mm and thickness of 25 micrometers was extract | collected. By slitting with a slit machine, a film roll (hereinafter referred to as PI roll-2) having a width of 510 mm and a length of 300 m was obtained. And the temperature which the change rate of (alpha) MD of PI roll-2 becomes 25% was 250 degreeC, and the difference of the maximum value and the minimum value of (alpha) MD which measured 16 points in 30 mm intervals within the width of 510 mm was 22 ppm / degreeC.

[실시예 1]Example 1

PI 롤-1을, 송출 롤러에 의해 가열 장치에 연속적으로 송출하고, 장력 10 N/m, 최고 처리 온도 385℃의 조건에서, 7초간 열처리했다. 본 실시예에서 사용한 가열 장치는, 도 1에 나타낸 바와 같이 2개의 가열실(이하, 풀어내는 측으로부터 차례로 가열실 1, 가열실 2라고 함)을 가지고, 상기 가열실에는 세라믹 히터(2), 상측 급기 노즐(3) 및 하측 급기 노즐(4)이 설치되고, 또한 필름 처리부로부터 폭 방향으로 어긋난 위치에 배기구가 설치되어 있다. 열처리 후, 가열 장치 밖에서 권취하면서 실온까지 냉각시켰다. 세라믹 히터의 온도는 모두 630℃, 풍속은 상하 모두 2.4 m/초로 조정하였다. 그리고, 상측 및 하측 급기 노즐로부터 도입하는 에어의 온도는 가열실 1이 130℃, 가열실 2가 150℃이며, 송출 속도 50 m/분으로 250m의 폴리이미드 필름 롤을 얻었다. 여기서 말하는 송출 속도란, 상기 필름의 주행 속도에 상당한다. 얻어진 필름의 510mm의 폭 내를 30mm 간격으로 16점 측정한 αMD의 최대값과 최소값의 차는 9 ppm/℃였다.PI roll-1 was continuously sent to the heating apparatus with the delivery roller, and heat-processed for 7 second on the conditions of 10 N / m of tension, and the maximum process temperature of 385 degreeC. As shown in Fig. 1, the heating apparatus used in this embodiment has two heating chambers (hereinafter referred to as heating chamber 1 and heating chamber 2 in turn from the releasing side), and the heating chamber includes a ceramic heater 2, The upper air supply nozzle 3 and the lower air supply nozzle 4 are provided, and the exhaust port is provided in the position shifted from the film processing part in the width direction. After heat processing, it cooled to room temperature, winding up outside the heating apparatus. Both the temperature of the ceramic heater was adjusted to 630 degreeC, and the wind speed was 2.4 m / sec in both the upper and lower sides. The temperature of the air introduced from the upper and lower air supply nozzles was 130 ° C. for the heating chamber 1 and 150 ° C. for the heating chamber 2, and a 250-m polyimide film roll was obtained at a delivery speed of 50 m / min. The delivery speed here is corresponded to the traveling speed of the said film. The difference between the maximum value and minimum value of (alpha) MD which measured 16 points within the width of 510 mm of the obtained film at 30 mm intervals was 9 ppm / degreeC.

[실시예 2][Example 2]

처리 조건으로서, 세라믹 히터의 온도를 모두 580℃, 최고 처리 온도를 350℃로 변경한 점 이외는, 실시예 1과 동일한 조작을 행함으로써, 250m의 폴리이미드 필름 롤을 얻었다. 얻어진 필름의 510mm의 폭 내를 30mm 간격으로 16점 측정한 αMD의 최대값과 최소값의 차는 10 ppm/℃였다.As processing conditions, the 250 m polyimide film roll was obtained by performing the same operation as Example 1 except having changed the temperature of all the ceramic heaters to 580 degreeC, and the maximum processing temperature to 350 degreeC. The difference between the maximum value and minimum value of (alpha) MD which measured 16 points within the width | variety of 510 mm of the obtained film at 30 mm intervals was 10 ppm / degreeC.

[비교예 1]Comparative Example 1

처리 조건으로서, 세라믹 히터의 온도를 모두 480℃, 최고 처리 온도를 280℃로 변경한 점 이외는, 실시예 1과 동일한 조작을 행함으로써, 250m의 폴리이미드 필름 롤을 얻었다. 얻어진 필름의 510mm의 폭 내를 30mm 간격으로 16점 측정한 αMD의 최대값과 최소값의 차는 20 ppm/℃였다.As processing conditions, the 250 m polyimide film roll was obtained by performing the same operation as Example 1 except having changed all the temperature of the ceramic heater to 480 degreeC, and the maximum processing temperature to 280 degreeC. The difference between the maximum value and minimum value of (alpha) MD which measured 16 points within the width | variety of 510 mm of the obtained film at 30 mm intervals was 20 ppm / degreeC.

[비교예 2]Comparative Example 2

처리 조건으로서, 세라믹 히터의 온도를 모두 480℃, 최고 처리 온도를 265℃, 송출 속도 100 m/분으로 변경한 점 이외는, 실시예 1과 동일한 조작을 행함으로써, 250m의 폴리이미드 필름 롤을 얻었다. 얻어진 필름의 510mm의 폭 내를 30mm 간격으로 16점 측정한 αMD의 최대값과 최소값의 차는 23 ppm/℃였다.As a processing condition, 250 m of polyimide film rolls were made by performing the same operation as Example 1 except having changed the temperature of all the ceramic heaters to 480 degreeC, the maximum processing temperature to 265 degreeC, and delivery speed 100 m / min. Got it. The difference between the maximum value and minimum value of (alpha) MD which measured 16 points within the width | variety of 510 mm of the obtained film at 30 mm intervals was 23 ppm / degreeC.

[비교예 3]Comparative Example 3

처리 조건으로서, 세라믹 히터의 온도를 모두 680℃, 최고 처리 온도를 420℃로 변경한 점 이외는, 실시예 1과 동일한 조작을 행함으로써, 250m의 폴리이미드 필름 롤을 얻었다. 얻어진 필름의 510mm의 폭 내를 30mm 간격으로 16점 측정한 αMD의 최대값과 최소값의 차는 17 ppm/℃였다.As a processing condition, 250 m of polyimide film rolls were obtained by performing the operation similar to Example 1 except having changed all the temperature of a ceramic heater to 680 degreeC and the maximum processing temperature to 420 degreeC. The difference between the maximum value and minimum value of (alpha) MD which measured 16 points within the width | variety of 510 mm of the obtained film at 30 mm intervals was 17 ppm / degreeC.

[실시예 3][Example 3]

처리 롤을 PI 롤-2로 하고, 송출 속도 100 m/분으로 변경한 점 이외는, 실시예 1과 동일한 조작을 행함으로써, 250m의 폴리이미드 필름 롤을 얻었다. 얻어진 필름의 510mm의 폭 내를 30mm 간격으로 16점 측정한 αMD의 최대값과 최소값의 차는 11 ppm/℃였다.A 250-m polyimide film roll was obtained by performing the same operation as Example 1 except for changing the treatment roll to PI Roll-2 and sending the feed rate at 100 m / min. The difference between the maximum value and minimum value of (alpha) MD which measured 16 points within the width | variety of 510 mm of the obtained film at 30 mm intervals was 11 ppm / degreeC.

[표 1][Table 1]

Figure pat00002
Figure pat00002

비교예 1?3의 열처리 폴리이미드 필름은, 측정한 16점에서의 αMD의 최대값과 최소값의 차가 각각 20 ppm/℃, 23 ppm/℃, 17 ppm/℃로 크며, αMD는 필름 상의 위치에 따라 불균일하였다. 한편, 본 발명의 실시예 1?3에서는, αMD가 필름 상의 위치에 관계없이 균일하여, 불균일이 저감된 고품질의 열처리 폴리이미드 필름을 얻을 수 있었다.In the heat-treated polyimide film of Comparative Examples 1 to 3, the difference between the maximum value and the minimum value of α MD at 16 points measured was 20 ppm / ° C, 23 ppm / ° C, and 17 ppm / ° C, respectively, and α MD was formed on the film. It was heterogeneous depending on location. On the other hand, in Examples 1-3 of this invention, alpha MD was uniform regardless of the position on a film, and the high quality heat processing polyimide film by which the nonuniformity was reduced was obtained.

본 발명의 열처리 폴리이미드 필름은, 필름 상의 위치에 관계없이, 균일한 αMD를 가지므로, 라미네이팅법에 있어서의 가공성에 문제가 없고, 휨도 발생하지 않으며, 에칭 후의 선팽창 계수가 작고, 내열성도 우수하며, αMD의 불균일이 개선되어 플렉시블 프린트 배선판용 재료로서 특히 유용하다.Since the heat-treated polyimide film of the present invention has a uniform α MD regardless of the position on the film, there is no problem in workability in the laminating method, no warpage occurs, the coefficient of linear expansion after etching is small, and the heat resistance is also high. It is excellent, and the nonuniformity of (alpha) MD is improved and it is especially useful as a material for flexible printed wiring boards.

1: 폴리이미드 필름
2: 세라믹 히터
3: 상측 급기 노즐
4: 하측 급기 노즐
5: 반송 롤
6: 가열실 1
7: 가열실 2
8: 폴리이미드 필름의 반송 방향
1: polyimide film
2: ceramic heater
3: upper air supply nozzle
4: lower air supply nozzle
5: bounce roll
6: heating chamber 1
7: heating chamber 2
8: conveying direction of a polyimide film

Claims (5)

기계 반송(搬送) 방향의 선팽창 계수의 변화율이 25%로 되는 온도가 200℃ 이상인 폴리이미드 필름에, 상기 선팽창 계수의 변화율이 25%로 되는 온도보다 100℃?150℃ 높은 온도에서 열처리를 행함으로써 얻어지고, 임의의 2점에 대하여, 50℃?300℃에 있어서 기계 반송 방향의 평균 선팽창 계수의 차가 15 ppm/℃ 이하인, 열처리 폴리이미드 필름.By heat-processing the polyimide film whose temperature of change of the coefficient of linear expansion in a mechanical conveyance direction to 25% is 200 degreeC or more at the temperature of 100 to 150 degreeC higher than the temperature of the rate of change of the said linear expansion coefficient to 25% It is obtained and the heat treatment polyimide film whose difference in average linear expansion coefficient of a machine conveyance direction is 15 ppm / degrees C or less with respect to arbitrary two points. 제1항에 있어서,
상기 열처리의 시간이 0초 초과 10초 이하인, 열처리 폴리이미드 필름.
The method of claim 1,
The heat treatment polyimide film whose time of the said heat processing is more than 0 second and 10 second or less.
제1항 또는 제2항에 있어서,
폭 500mm 이상, 길이 50m 이상인, 제1항 또는 제2항에 기재된 열처리 폴리이미드 필름으로 이루어지는 필름 롤.
The method according to claim 1 or 2,
The film roll which consists of a heat processing polyimide film of Claim 1 or 2 which is 500 mm or more in width and 50 m or more in length.
기계 반송 방향의 선팽창 계수의 변화율이 25%로 되는 온도가 200℃ 이상인 폴리이미드 필름에, 상기 선팽창 계수의 변화율이 25%로 되는 온도보다 100℃?150℃ 높은 온도에서 열처리를 행하는 공정을 포함하는 열처리 폴리이미드 필름의 제조 방법.Including a step of subjecting the polyimide film having a temperature of 200% or more to a temperature at which the rate of change of the linear expansion coefficient in the machine conveyance direction is 25% to a temperature of 100 ° C to 150 ° C higher than the temperature at which the rate of change of the linear expansion coefficient is 25%. Method for producing a heat treated polyimide film. 제4항에 있어서,
상기 열처리의 시간이 0초 초과 10초 이하인, 열처리 폴리이미드 필름의 제조 방법.
The method of claim 4, wherein
The manufacturing method of the heat processing polyimide film whose time of the said heat processing is more than 0 second and 10 second or less.
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