JP2007022042A - Manufacturing method of polymer film and utilization of polymer film - Google Patents

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JP2007022042A JP2005211668A JP2005211668A JP2007022042A JP 2007022042 A JP2007022042 A JP 2007022042A JP 2005211668 A JP2005211668 A JP 2005211668A JP 2005211668 A JP2005211668 A JP 2005211668A JP 2007022042 A JP2007022042 A JP 2007022042A
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和宏 小野
Hiroshi Fujiwara
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a manufacturing method of a polymer film having almost no physical property difference in its flow direction and width direction and excellent in the uniformity of various physical properties, and the utilization of the polymer film. <P>SOLUTION: In the manufacturing method of the polymer film, the central part 120 of a gel film comprising a high-molecular resin can be allowed to retreat forcibly because the stress opposing the shrink force produced in the central part 120 of the gel film within a heating over is applied to the central part of the gel film by a stress applying part 320 in a state that both end parts 110 of the gel film comprising the high-molecular resin are fixed. Accordingly, the bowing phenomenon caused at the time of baking of the gel film can be suppressed and various physical properties can be uniformized in both of the flow direction and width direction of the film. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、高分子フィルムの製造方法およびその利用に関するものであって、特に、フィルムの流れ方向(MD方向)および幅方向(TD方向)共に諸物性の均一性が高い高分子フィルムの製造方法およびその利用に関するものである。   The present invention relates to a method for producing a polymer film and use thereof, and in particular, a method for producing a polymer film having high uniformity of physical properties in both the flow direction (MD direction) and the width direction (TD direction) of the film. And its use.

従来、フレキシブルプリント配線板やTAB用キャリアテープなどの材料には、高分子フィルムが用いられている。例えば、ポリイミドフィルムは、耐熱性、絶縁性、耐溶剤性および耐低温性などを備えており、コンピュータ並びにIC制御の電気・電子機器部品材料の支持体として広範に用いられている。 Conventionally, polymer films have been used for materials such as flexible printed wiring boards and TAB carrier tapes. For example, a polyimide film has heat resistance, insulation, solvent resistance, low temperature resistance, and the like, and is widely used as a support for computer and IC-controlled electrical / electronic equipment component materials.

一方、近年、コンピュータ並びにIC制御の電気・電子機器の小型化・軽量化が進み、配線基板やICパッケージ材料においても小型化・軽量化が求められるようになっている。さらに、これらに施される配線パターンも細密になってきている。そのため、上記高分子フィルムにおいて、上記要望に応えるべく、より高い寸法安定性が求められるようになってきている。   On the other hand, in recent years, miniaturization and weight reduction of computers and IC-controlled electric / electronic devices have been promoted, and miniaturization and weight reduction have been required for wiring boards and IC package materials. Furthermore, the wiring patterns applied to them are becoming finer. Therefore, higher dimensional stability has been demanded in the polymer film to meet the above demand.

ポリイミドフィルムのような溶融加工の困難な高分子材料からなるフィルムの場合、その製造には、以下のような連続成形方法が用いられる。すなわち、まず、高分子材料を非プロトン性極性溶媒などの溶媒に溶解して溶液状態にする。そこに、脱水剤、種々の触媒などの硬化剤を加えた後、ダイキャスト法、または塗布法などの方法で、ベルトまたはドラムなどの支持体上に流延または塗布する。その後、加熱、反応、および乾燥を行い、自己支持性をもつフィルム(以下、「ゲルフィルム」ともいう)を得る。さらに、当該ゲルフィルムを上記支持体から引き剥がし、引き続きピンなどで当該ゲルフィルムの両端を固定した後、該フィルムを搬送しながら、加熱炉を通過させることにより、最終的な高分子フィルムを得る。   In the case of a film made of a polymer material that is difficult to be melt-processed such as a polyimide film, the following continuous molding method is used for its production. That is, first, the polymer material is dissolved in a solvent such as an aprotic polar solvent to form a solution. A curing agent such as a dehydrating agent and various catalysts is added thereto, and then cast or coated on a support such as a belt or a drum by a die casting method or a coating method. Thereafter, heating, reaction, and drying are performed to obtain a self-supporting film (hereinafter also referred to as “gel film”). Furthermore, the gel film is peeled off from the support, and after fixing both ends of the gel film with pins or the like, the final polymer film is obtained by passing through a heating furnace while transporting the film. .

ところが、上記のような製造方法では、加熱炉内においてフィルムの両側端は把持手段により把持されている。そのため、フィルムに含有される溶剤の蒸発に伴い生じる横方向の収縮(実質的には横延伸と同義である)と、上記横方向の収縮によって生じる縦方向の収縮応力とは、フィルムの両側端では、把持手段によって拘束されている。   However, in the manufacturing method as described above, both ends of the film are held by the holding means in the heating furnace. Therefore, the lateral shrinkage (substantially synonymous with transverse stretching) caused by the evaporation of the solvent contained in the film and the longitudinal shrinkage stress caused by the transverse shrinkage are both ends of the film. Then, it is restrained by the gripping means.

これに対し、フィルム中央部分においては、把持手段による拘束力が比較的弱い。そのため、上記収縮応力の影響によって、把持手段で把持されているフィルムの両側端に対してフィルム中央部分では遅れが生じ、フィルム中央部分が移動する傾向がある。分かりやすくいえば、上記ゲルフィルムの面上に横方向に沿って直線を描いておくと、この直線は横延伸の際に変形する。具体的には、フィルムの進行方向に対して横延伸の始めの領域で凸型に変形し、横延伸の終わり直前の領域で直線に戻り、横延伸終了後には凹型に変形する。さらに、加熱炉内で加熱するときに凹形の変形は最大値に達する。その結果、得られたフィルムには凹形の変形が残る。この現象はボーイング現象と称されているものである。このボーイング現象がフィルムの幅方向の物性、特に配向角分布などの光学的特性、機械的特性、湿度膨張率、熱膨張率、および熱収縮率を不均一にする原因となっている。   On the other hand, the restraining force by the gripping means is relatively weak at the central portion of the film. Therefore, due to the influence of the shrinkage stress, a delay occurs in the central portion of the film with respect to both side ends of the film held by the holding means, and the central portion of the film tends to move. If it says easily, if a straight line is drawn along the horizontal direction on the surface of the said gel film, this straight line will deform | transform in the case of lateral stretching. Specifically, the film is deformed into a convex shape in the region at the beginning of the transverse stretching with respect to the film traveling direction, returns to a straight line in the region immediately before the end of the transverse stretching, and is deformed into a concave shape after the end of the transverse stretching. Furthermore, the concave deformation reaches a maximum value when heated in a furnace. As a result, a concave deformation remains in the obtained film. This phenomenon is called the Boeing phenomenon. This bowing phenomenon causes non-uniform physical properties in the width direction of the film, particularly optical characteristics such as orientation angle distribution, mechanical characteristics, humidity expansion coefficient, thermal expansion coefficient, and thermal contraction ratio.

このようなフィルム面内における特性の差は、フィルム加工時において、フィルム面内の場所および方向による品質差、特に寸法変化の差を生む原因となる。このことは、精密部品などの用途、例えば、回路形成のベース材や記録媒体などの用途において、大きな問題となる。したがって、フィルム面内の特性の等方性を確保するための技術改善が求められている。   Such a difference in characteristics in the film plane causes a quality difference, particularly a dimensional change, depending on the location and direction in the film plane during film processing. This is a serious problem in applications such as precision parts, for example, applications such as circuit-forming base materials and recording media. Therefore, there is a demand for technical improvement for ensuring the isotropy of characteristics in the film plane.

そこで、熱可塑性フィルムにおいて、このような幅方向の物性差を解消するために幾つかの提案がなされている。例えば、横延伸と熱処理との間にニップロールを設けて、中央部を強制的に進行させる方法(特許文献1を参照);ガラス転移温度以上で熱固定する延伸フィルムの製造方法において、熱固定においてフィルムの幅方向で、フィルムの中央部からフィルムの端部に向かって、該熱固定時間を長くする方法(特許文献2を参照);フィルムをガラス点移転温度以上で熱固定する延伸フィルムの製造方法において、熱固定温度までフィルム温度を昇温せしめる過程で、フィルムの幅方向の位置によって昇温速度に差をつける方法(特許文献3を参照);フィルムを二軸延伸後、フィルムの中央部より端部の温度が高くなるように加熱する方法(特許文献4を参照)などが提案されている。   Therefore, several proposals have been made to eliminate such a difference in physical properties in the width direction in thermoplastic films. For example, a method in which a nip roll is provided between transverse stretching and heat treatment to forcibly advance the central portion (see Patent Document 1); in a method for producing a stretched film that is heat-set at a glass transition temperature or higher, Method of extending the heat setting time from the center of the film toward the end of the film in the width direction of the film (see Patent Document 2); Production of a stretched film in which the film is heat-set at or above the glass point transfer temperature In the method, in the process of raising the film temperature to the heat fixing temperature, a method of differentiating the temperature raising rate depending on the position in the width direction of the film (see Patent Document 3); A method of heating so that the temperature of the end portion is higher (see Patent Document 4) has been proposed.

また、ポリイミドフィルムのボーイング現象抑制の手段としては、例えば、フィルムのボーイング現象の発生状態を観測した後、加熱炉温度を決定する方法(特許文献5を参照);テンター炉入口のフィルム固定端から加熱炉において、フィルム固定端から炉内進行方法へフィルム幅と同じ長さまでは主たる揮発分の沸点以上に加熱しない方法(特許文献6を参照);ゲルフィルムを150℃以下で走行方向に1.1〜1.9倍延伸し、次いで幅方向に400℃以下で走行方向の延伸倍率の0.9〜1.3倍の倍率で延伸する方法(特許文献7を参照)などが提案されている。
特公昭63−24459号公報(昭和63(1988)年2月1日公開) 特開2002−137286号公報(平成14(2002)年5月14日公開) 特開2002−18948号公報(平成14(2002)年1月22日公開) 特開平6−262676号公報(平成6(1994)年9月20日公開) 特開2002−154168号公報(平成14(2002)年5月28日公開) 特開平8−230063号公報(平成8(1996)年9月10日公開) 特開平5−237928号公報(平成5(1993)年9月17日公開)
In addition, as a means for suppressing the bowing phenomenon of the polyimide film, for example, a method of determining the heating furnace temperature after observing the occurrence state of the bowing phenomenon of the film (see Patent Document 5); In a heating furnace, a method in which the gel film is not heated above the boiling point of the main volatile component at the same length as the film width from the fixed film end to the in-furnace method (see Patent Document 6); A method of stretching 1 to 1.9 times and then stretching in the width direction at a temperature of 400 ° C. or less at a magnification of 0.9 to 1.3 times the stretching ratio in the traveling direction has been proposed (see Patent Document 7). .
Japanese Examined Patent Publication No. 63-24459 (published February 1, 1988) Japanese Patent Laid-Open No. 2002-137286 (published on May 14, 2002) JP 2002-18948 A (published January 22, 2002) JP-A-6-262676 (published on September 20, 1994) JP 2002-154168 A (published on May 28, 2002) Japanese Patent Laid-Open No. 8-230063 (published on September 10, 1996) JP-A-5-237828 (published September 17, 1993)

しかしながら、上記特許文献1〜4に開示されている技術は、ポリエステルなどの熱可塑性フィルムに関するものである。そのため、ポリイミドフィルムのような溶融加工の困難な高分子材料からなるフィルムへの応用が困難である。すなわち、ポリエステルなどの場合と同等の効果が得られないという問題がある。   However, the techniques disclosed in Patent Documents 1 to 4 relate to thermoplastic films such as polyester. Therefore, it is difficult to apply to a film made of a polymer material that is difficult to be melt-processed such as a polyimide film. That is, there is a problem that the same effect as in the case of polyester or the like cannot be obtained.

また、上記特許文献5〜7の方法では、ボーイング現象を多少制御することはできるが、光学的特性、熱寸法安定性、機械的特性、および平面性などを損なわずにフィルムの幅方向における諸物性を均一化することはできない。さらに、これらの方法では、装置が大型化するといった問題が生じる。   In the methods of Patent Documents 5 to 7, the bowing phenomenon can be controlled somewhat, but various characteristics in the width direction of the film can be obtained without impairing optical characteristics, thermal dimensional stability, mechanical characteristics, flatness, and the like. The physical properties cannot be made uniform. Furthermore, in these methods, there arises a problem that the apparatus becomes large.

本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、フィルムの流れ方向、および幅方向ともに、物性差がほとんどなく、諸物性の均一性に優れた高分子フィルムの製造方法およびその利用を提供することにある。   The present invention has been made in view of the above-mentioned problems, and the object thereof is a method for producing a polymer film having almost no physical property difference in both the flow direction and the width direction of the film and having excellent uniformity of various physical properties. And to provide its use.

本発明者らは、上記課題に鑑み鋭意検討した結果、ゲルフィルムを加熱して、乾燥、硬化、または焼成させるために、加熱炉に挿入する際、フィルムの中央部分をフィルムの両端部よりも遅らせて加熱炉内に挿入することにより、ボーイング現象を抑制できることを独自に見出し、本発明を完成されるに至った。   As a result of intensive studies in view of the above-mentioned problems, the inventors of the present invention heated the gel film and dried, cured, or baked, when inserted into a heating furnace, the central portion of the film was more than the opposite ends of the film. The present invention was completed by uniquely finding that the bowing phenomenon can be suppressed by delaying the insertion into the heating furnace.

すなわち、本発明にかかる高分子フィルムの製造方法は、高分子樹脂からなるゲルフィルムを用いて高分子フィルムを製造する高分子フィルムの製造方法において、ゲルフィルム両端部を固定して、上記ゲルフィルムを加熱炉に挿入する工程と、上記ゲルフィルムを、加熱炉内を通過させながら、加熱することによって、上記ゲルフィルムを乾燥、硬化、または焼成させる工程とを含み、かつ、上記ゲルフィルム両端部を固定した状態で、加熱炉内でゲルフィルム中央部に生じる収縮力に逆らう応力を上記ゲルフィルム中央部に負荷することを特徴としている。   That is, the method for producing a polymer film according to the present invention is a method for producing a polymer film using a gel film made of a polymer resin. And a step of drying, curing, or firing the gel film by heating the gel film while passing through the heating furnace, and both ends of the gel film. In a state in which the gel film is fixed, the gel film is loaded with a stress against the shrinkage force generated in the center of the gel film in the heating furnace.

上記高分子フィルムの製造方法においては、応力負荷手段によって、上記ゲルフィルム中央部に上記応力を負荷することが好ましい。   In the method for producing the polymer film, it is preferable to apply the stress to the center of the gel film by a stress loading means.

さらに、上記応力負荷手段は、ニップロールであることが好ましい。   Further, the stress load means is preferably a nip roll.

また、上記高分子フィルムの製造方法において、上記応力負荷手段により保持される上記ゲルフィルム中央部の幅は、フィルム両端部固定距離の1〜75%の範囲内であることが好ましい。   Moreover, in the manufacturing method of the said polymer film, it is preferable that the width | variety of the said gel film center part hold | maintained by the said stress load means exists in the range of 1-75% of a film both-ends fixed distance.

上記高分子樹脂は、ポリイミドであることが好ましい。   The polymer resin is preferably polyimide.

さらに、上記高分子樹脂からなる高分子フィルムの弾性率は3GPa以上であることが好ましい。   Furthermore, the elastic modulus of the polymer film made of the polymer resin is preferably 3 GPa or more.

本発明にかかるフィルムの製造装置は、高分子樹脂からなるゲルフィルムを加熱し、乾燥、硬化、または焼成させることによって、連続的に高分子フィルムを製造するフィルムの製造装置において、上記ゲルフィルムを固定するためのフィルム固定手段と、上記ゲルフィルム両端部を固定した状態のまま、加熱炉内でゲルフィルム中央部に生じる収縮力に逆らう応力を上記ゲルフィルム中央部に負荷する応力負荷手段とを備えることを特徴としている。   A film manufacturing apparatus according to the present invention is a film manufacturing apparatus for continuously manufacturing a polymer film by heating, drying, curing, or baking a gel film made of a polymer resin. Film fixing means for fixing, and stress loading means for applying stress to the gel film central part against the contraction force generated in the gel film central part in the heating furnace while the both ends of the gel film are fixed. It is characterized by providing.

上記応力負荷手段は、ニップロールであることが好ましい。   The stress load means is preferably a nip roll.

上記応力負荷手段は、フィルム両端部固定距離の1〜75%の範囲内の幅のフィルムの中央部分に上記応力を負荷することが好ましい。   The stress loading means preferably applies the stress to the central portion of the film having a width within a range of 1 to 75% of the fixed distance between both ends of the film.

本発明にかかる高分子フィルムの製造方法では、当該ゲルフィルム両端部を固定した状態で、当該ゲルフィルム中央部に応力を負荷し、当該ゲルフィルム中央部を強制的に後進させる。そのため、加熱炉にてフィルム両端部を固定した状態で焼成する際に生じるボーイング現象の発生を抑制できる。それゆえ、フィルムの流れ方向および幅方向ともに、諸物性の均一性が高い高分子フィルムが得られるという効果を奏する。   In the method for producing a polymer film according to the present invention, stress is applied to the center of the gel film in a state where both ends of the gel film are fixed, and the center of the gel film is forcibly moved backward. Therefore, it is possible to suppress the occurrence of the bowing phenomenon that occurs when firing with the film both ends fixed in a heating furnace. Therefore, there is an effect that a polymer film having high uniformity of physical properties can be obtained in both the flow direction and the width direction of the film.

本発明の実施形態について説明すると以下の通りであるが、本発明はこれに限定されるものではない。   An embodiment of the present invention will be described as follows, but the present invention is not limited to this.

<I.高分子フィルム>
本発明にかかる高分子フィルムは、フィルムの流れ方向(以下、「MD方向」ともいう)、および幅方向(以下、「TD方向」ともいう)に沿って物性差がほとんどない均一性に優れた高分子フィルムである。より具体的にいえば、当該高分子フィルムの平面内で、MD方向、TD方向、MD方向から右45°方向、およびMD方向から左45°方向への線膨張係数および弾性率の最大値と最小値との比(最大値/最小値)が、1.3以下であることが好ましい。
<I. Polymer film>
The polymer film according to the present invention has excellent uniformity with little difference in physical properties along the film flow direction (hereinafter also referred to as “MD direction”) and the width direction (hereinafter also referred to as “TD direction”). It is a polymer film. More specifically, in the plane of the polymer film, the linear expansion coefficient and the maximum elastic modulus from the MD direction, the TD direction, the MD direction to the right 45 ° direction, and the MD direction to the left 45 ° direction; The ratio to the minimum value (maximum value / minimum value) is preferably 1.3 or less.

本発明において、上記高分子フィルムは、直線性が高い、換言すると高い弾性率を有する高分子フィルムであることが好ましい。具体的には、上記高分子フィルムの弾性率は、3GPa以上であることが好ましい。このような高分子フィルムは、加熱過程での面内配向が強く進み、またその配向が特性に与える影響が大きいため、本発明の製造方法により大きな効果を得ることができる。なお、上記高分子フィルムの弾性率は、ASTM D882に準拠して測定することができる。   In the present invention, the polymer film is preferably a polymer film having high linearity, in other words, having a high elastic modulus. Specifically, the elastic modulus of the polymer film is preferably 3 GPa or more. Such a polymer film has strong in-plane orientation during the heating process, and since the orientation has a great influence on the characteristics, a great effect can be obtained by the production method of the present invention. The elastic modulus of the polymer film can be measured according to ASTM D882.

また、上記構成とすることにより、本発明にかかる高分子フィルムは、フレキシブルプリント配線板用ベースフィルムおよび/またはフレキシブルプリント配線板用カバーレイフィルムに好適に用いることができる。   Moreover, by setting it as the said structure, the polymer film concerning this invention can be used suitably for the base film for flexible printed wiring boards, and / or the coverlay film for flexible printed wiring boards.

また、加熱溶融により直接フィルム状に加工可能な場合には加熱過程での面内配向の問題が生じないため、本発明にかかる高分子フィルムは、熱溶融による加工が不可能な高分子フィルムであることが好ましい。   In addition, when the film can be processed directly by heating and melting, the problem of in-plane orientation in the heating process does not occur, so the polymer film according to the present invention is a polymer film that cannot be processed by heat melting. Preferably there is.

具体的には、芳香族ポリイミドをはじめ、芳香族ポリアミド、芳香族ポリエステル、ポリベンゾオキサゾール、ポリベンゾチアゾール、ポリベンゾイミダゾール、ポリアリレート、ポリフェニレンスルフィド、ポリエーテルスルフォン、ポリエーテルケトン、ポリエーテルエーテルケトン、およびその他の液晶性高分子、並びに各種ラダーポリマーなどのフィルムが例として挙げられる。
上記高分子フィルムの形状は特に限定されるものではないが、フィルムの厚みが、1〜500μmであると、特に本発明の効果が得やすくなる。さらに、フィルム幅は、ゲルフィルムが500mm以上で連続的に製造される場合に、顕著な効果が得られる。
Specifically, aromatic polyimide, aromatic polyamide, aromatic polyester, polybenzoxazole, polybenzothiazole, polybenzimidazole, polyarylate, polyphenylene sulfide, polyether sulfone, polyether ketone, polyether ether ketone, Examples thereof include films of other liquid crystalline polymers and various ladder polymers.
The shape of the polymer film is not particularly limited, but the effect of the present invention is particularly easily obtained when the thickness of the film is 1 to 500 μm. Furthermore, a remarkable effect is obtained in the film width when the gel film is continuously produced at 500 mm or more.

<II.高分子フィルムの製造方法>
本発明者らは、ゲルフィルムを加熱し、乾燥、硬化、または焼成させることにより、高分子フィルムを製造する場合に、当該高分子フィルムの幅方向に沿って物性差が生じる原因を解析した。その結果、ゲルフィルム両端部を固定した状態で加熱炉に搬送された直後に、ゲルフィルム中央部は、ゲルフィルムに含有される有機溶剤の蒸発に伴って、その平面内で均等に収縮することが分かった。一方、ゲルフィルム端部では固定手段により拘束されているため、その平面内で均等な収縮が生じなかった。以上のことから、高分子フィルムの端部近傍において、物性の差異が生じるのは、ゲルフィルムに含有される有機溶剤の蒸発によるゲルフィルムの収縮が、ゲルフィルム中央部と端部とで異なるためであることが明らかとなった。
<II. Production method of polymer film>
The present inventors have analyzed the cause of the difference in physical properties along the width direction of the polymer film when the polymer film is produced by heating, drying, curing, or baking the gel film. As a result, immediately after being transported to the heating furnace with both ends of the gel film fixed, the center of the gel film shrinks evenly within the plane as the organic solvent contained in the gel film evaporates. I understood. On the other hand, since the gel film end portion is restrained by the fixing means, uniform shrinkage does not occur in the plane. From the above, the difference in physical properties occurs in the vicinity of the end of the polymer film because the shrinkage of the gel film due to evaporation of the organic solvent contained in the gel film is different between the center and the end of the gel film. It became clear that.

そこで、本発明にかかる高分子フィルムの製造方法は、ゲルフィルム両端部を固定して、上記ゲルフィルムを加熱炉に挿入する工程(以下、「フィルム固定工程」ともいう)と、上記ゲルフィルムを、加熱炉内を通過させながら、加熱することによって、上記ゲルフィルムを乾燥、硬化、または焼成させる工程(以下、「焼成工程」ともいう)とを少なくとも含み、上記フィルム固定工程において、上記ゲルフィルム両端部を固定した状態で、加熱炉内でゲルフィルム中央部に生じる収縮力に逆らう応力を上記ゲルフィルム中央部に負荷する方法であればよく、その他の具体的な構成は特に限定されるものではない。例えば、上記構成に加えて、高分子樹脂をゲルフィルムに成形する工程(以下、「ゲルフィルム成形工程」ともいう)を含んでいてもよい。   Then, the manufacturing method of the polymer film concerning this invention fixes the gel film both ends, the process (henceforth a "film fixing process") which inserts the said gel film in a heating furnace, and said gel film A step of drying, curing, or baking the gel film by heating while passing through a heating furnace (hereinafter also referred to as a “baking step”). In the film fixing step, the gel film Any method may be used as long as both ends are fixed and the gel film is subjected to a stress against the contraction force generated in the center of the gel film in the heating furnace. Other specific configurations are particularly limited. is not. For example, in addition to the above-described configuration, a step of forming a polymer resin into a gel film (hereinafter also referred to as “gel film forming step”) may be included.

上記構成によれば、上記<I>項で述べた高分子フィルムを好適に製造することができる。すなわち、本発明は、加熱の過程でフィルムの分子鎖の面内配向が進むフィルムであれば、どのような高分子フィルムの製造にも適用することができる。   According to the said structure, the polymer film described by said <I> item can be manufactured suitably. That is, the present invention can be applied to the production of any polymer film as long as the in-plane orientation of molecular chains of the film proceeds in the course of heating.

以下、上記の各工程について、詳細に述べる。   Hereinafter, each of the above steps will be described in detail.

(II−1.ゲルフィルム成形工程)
上記ゲルフィルム成形工程は、高分子樹脂をゲルフィルムに成形する工程である。上記ゲルフィルムは、揮発成分を含有していることが好ましい。本明細書において、「揮発成分」とは、ゲルフィルムに含まれる物質であって、焼成工程後の高分子フィルムにおいて、その量が減少する物質をいう。つまり、上記揮発成分とは、特に限定されるものではなく、高分子樹脂やその原料を溶解するために用いる有機溶媒、高分子樹脂をゲルフィルムに成形する過程で生成される生成水分、高分子樹脂を硬化させるために用いられる脱水剤および/または環化触媒などが含まれる。上記有機溶媒としては、例えば、ジメチルスルホキシド、N,N−ジメチルアセトアミド、N,N−ジエチルアセトアミド、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジエチルホルムアミド、N−メチル−2−ピロリドンおよびジメチルスルホンが例示できる。
(II-1. Gel film forming step)
The gel film forming step is a step of forming a polymer resin into a gel film. The gel film preferably contains a volatile component. In the present specification, the “volatile component” refers to a substance that is contained in the gel film and that decreases in amount in the polymer film after the baking process. That is, the volatile component is not particularly limited, and is an organic solvent used for dissolving the polymer resin and its raw material, water generated in the process of forming the polymer resin into a gel film, polymer Dehydrating agents and / or cyclization catalysts used to cure the resin are included. Examples of the organic solvent include dimethyl sulfoxide, N, N-dimethylacetamide, N, N-diethylacetamide, N, N-dimethylformamide, N, N-diethylformamide, N-methyl-2-pyrrolidone and dimethylsulfone. It can be illustrated.

本発明においては、上記ゲルフィルムにおける揮発成分の含有率(以下、「揮発成分含有率」ともいう)は15〜200%であることが好ましい。   In the present invention, the content of volatile components in the gel film (hereinafter also referred to as “volatile component content”) is preferably 15 to 200%.

尚、揮発成分含有率は下記式で表される。   In addition, a volatile component content rate is represented by a following formula.

揮発成分含有率={(高分子樹脂フィルム状物の揮発成分含有重量)/(高分子樹脂フィルム状物の固形分重量)}×100(%)={(ゲルフィルム中揮発成分含有重量)/(ゲルフィルム中固形分重量)}×100(%)
ゲルフィルムにおける揮発成分含有率が、15%以下であると、加熱炉内でのフィルムの強度が著しく低下する傾向にある。そのため、加熱炉内でフィルムが裂け、安定してフィルムを製造することができないことがある。また、200%以上であると、ゲルフィルム内において、フィルムの幅方向での揮発成分含有率のバラツキが大きくなる傾向がある。そのため、幅方向に物性が均一なフィルムを得にくくなる。
また、上記ゲルフィルムの力学的特性は、特に限定されるものではなく、ロールツーロールで搬送できる自己支持性を有していればよい。
Volatile component content = {(volatile component content weight of polymer resin film) / (solid content weight of polymer resin film material)} × 100 (%) = {(volatile component content weight in gel film) / (Solid content in gel film)} × 100 (%)
When the volatile component content in the gel film is 15% or less, the strength of the film in the heating furnace tends to be significantly reduced. Therefore, the film may tear in the heating furnace, and the film may not be manufactured stably. Moreover, when it is 200% or more, the variation in the volatile component content in the width direction of the film tends to increase in the gel film. Therefore, it is difficult to obtain a film having uniform physical properties in the width direction.
Moreover, the mechanical characteristic of the said gel film is not specifically limited, What is necessary is just to have the self-supporting property which can be conveyed by roll-to-roll.

また、高分子樹脂をゲルフィルムに成形する方法については、その具体的な工程、材料、条件、使用装置、および使用機器などについては、特に限定されるものではなく、当該高分子樹脂の種類に応じて、適宜選択すればよい。例えば、高分子樹脂が揮発成分を有する状態、または加熱により収縮を伴う反応を生じる状態で、高分子樹脂をフィルム状(ゲルフィルム)に成形すればよい。   Further, the method for forming the polymer resin into the gel film is not particularly limited with respect to the specific steps, materials, conditions, equipment used, equipment used, etc. Accordingly, it may be appropriately selected. For example, the polymer resin may be formed into a film (gel film) in a state in which the polymer resin has a volatile component or a reaction that causes shrinkage by heating.

より具体的には、上記高分子樹脂がポリイミド樹脂である場合、以下のようにして、ポリイミド樹脂をゲルフィルムに成形することができる。ポリイミド樹脂をゲルフィルムに成形する場合、まず、ポリイミドの前駆体であるポリアミド酸有機溶媒溶液を調製する。次に、調製したポリアミド酸有機溶媒溶液をイミド化することによって、フィルム状に成形する。それにより、ポリイミドのゲルフィルムが得られる。上記のポリアミド酸有機溶媒溶液を調製する方法、およびポリアミド酸溶液をイミド化する方法は、以下の通りである。   More specifically, when the polymer resin is a polyimide resin, the polyimide resin can be formed into a gel film as follows. When the polyimide resin is formed into a gel film, first, a polyamic acid organic solvent solution which is a polyimide precursor is prepared. Next, the prepared polyamic acid organic solvent solution is imidized to form a film. Thereby, a gel film of polyimide is obtained. The method for preparing the polyamic acid organic solvent solution and the method for imidizing the polyamic acid solution are as follows.

(A)ポリアミド酸有機溶媒溶液の調製
本発明において用いられるポリアミド酸有機溶媒溶液は、従来公知の方法で有機ジアミン成分と有機テトラカルボン酸二無水物とを、例えばN,N−ジメチルホルムアミドなどの有機溶媒中で反応(重合)させることにより得られるものであり、その構造は特に限定されない。但し、本発明で得られたポリイミドフィルムを主用途としてフレキシブルプリント配線板用ベースフィルムおよび/またはフレキシブルプリント配線板用カバーレイフィルムに用いる場合は、極めて高い直線性を発現するパラフェニレンジアミンを全ジアミン成分に対して25モル%以上、および/またはピロメリット酸二無水物を全酸二無水物成分に対して25モル%以上用いて合成したポリイミドフィルムが好ましい。上記構成とすることにより、得られるポリイミドフィルムの弾性率を3.0GPa以上とすることができる。
(A) Preparation of Polyamic Acid Organic Solvent Solution The polyamic acid organic solvent solution used in the present invention is prepared by combining an organic diamine component and an organic tetracarboxylic dianhydride, such as N, N-dimethylformamide, by a conventionally known method. It is obtained by reacting (polymerizing) in an organic solvent, and its structure is not particularly limited. However, when the polyimide film obtained in the present invention is used for a base film for a flexible printed wiring board and / or a coverlay film for a flexible printed wiring board as a main application, paraphenylenediamine that exhibits extremely high linearity is used as the total diamine. A polyimide film synthesized using 25 mol% or more based on the components and / or 25 mol% or more of pyromellitic dianhydride based on the total acid dianhydride component is preferable. By setting it as the said structure, the elasticity modulus of the polyimide film obtained can be 3.0 GPa or more.

上記の反応(重合)で使用する溶媒としては、ジメチルスルホキシド、N,N−ジメチルアセトアミド、N,N’−ジエチルアセトアミド、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジエチルホルムアミド、N−メチル−2−ピロリドンおよびジメチルスルホンなどが挙げられる。これら化合物は、単独で、あるいは混合して使用するのが好ましい。   As the solvent used in the above reaction (polymerization), dimethyl sulfoxide, N, N-dimethylacetamide, N, N′-diethylacetamide, N, N-dimethylformamide, N, N-diethylformamide, N-methyl-2 -Pyrrolidone and dimethylsulfone are mentioned. These compounds are preferably used alone or in combination.

上記の反応(重合)で得られるポリアミド酸有機溶媒溶液のポリアミド酸濃度は、10〜30重量%となるように調整することが好ましい。   The polyamic acid concentration of the polyamic acid organic solvent solution obtained by the above reaction (polymerization) is preferably adjusted to 10 to 30% by weight.

(B)ポリアミド酸のイミド化
次に、ポリアミド酸有機溶媒溶液からポリイミドのゲルフィルムを得る方法について説明する。上記ポリアミド酸有機溶媒溶液を用いて、ポリアミド酸を環化することによって、ポリイミドのゲルフィルムが得られる。本発明において、ポリアミド酸を環化する方法は、特に限定されるものではなく、環化触媒および脱水剤を用いて化学環化する方法(以下、「化学閉環法」ともいう)、および熱的に脱水して環化する方法(以下、「熱閉環法」ともいう)のいずれを用いてもよい。なお、熱閉環法よりも化学閉環法を用いるほうが、生産性がよい。
(B) Imidation of Polyamic Acid Next, a method for obtaining a polyimide gel film from a polyamic acid organic solvent solution will be described. By cyclizing the polyamic acid using the above polyamic acid organic solvent solution, a polyimide gel film is obtained. In the present invention, the method of cyclizing the polyamic acid is not particularly limited, and is a method of chemical cyclization using a cyclization catalyst and a dehydrating agent (hereinafter also referred to as “chemical ring closure method”), and thermal. Any of the methods of dehydration and cyclization (hereinafter also referred to as “thermal ring closure method”) may be used. Note that productivity is better when the chemical ring closure method is used than when the thermal ring closure method is used.

化学閉環法で使用する上記脱水剤としては、無水酢酸などの脂肪族酸無水物、およびフタル酸無水物などの芳香族酸無水物などが挙げられる。これら脱水剤は、単独で、あるいは混合して使用することが好ましい。また、上記環化触媒としては、ピリジン、ピコリン、およびキノリンなどの複素環式第3級アミン類、トリエチルアミンなどの脂肪族第3級アミン類、並びにN,N-ジメチルアニリンなどの芳香族第3級アミン類などが挙げられる。これら環化触媒は、単独で、あるいは混合して使用するのが好ましい。   Examples of the dehydrating agent used in the chemical ring closure method include aliphatic acid anhydrides such as acetic anhydride and aromatic acid anhydrides such as phthalic anhydride. These dehydrating agents are preferably used alone or in combination. Examples of the cyclization catalyst include heterocyclic tertiary amines such as pyridine, picoline, and quinoline, aliphatic tertiary amines such as triethylamine, and aromatic tertiary amines such as N, N-dimethylaniline. Secondary amines and the like. These cyclization catalysts are preferably used alone or in combination.

また、化学閉環法を用いてポリイミドのゲルフィルムを製造する方法としては、(1)ポリアミド酸溶液中に環化触媒および脱水剤を混合させイミド化した後、平滑表面を有する金属製支持体上に、この溶液を流延塗布してポリイミドのゲルフィルムフィルムを得る方法、並びに(2)ポリアミド酸溶液をコーティングして薄膜化させた後に環化触媒および脱水剤の混合中に浸漬してイミド化させることによってポリイミドのゲルフィルムを得る方法などがある。上記(1)の方法のほうが厚み方向に均一なポリイミドのゲルフィルムが得られるので好ましい。   As a method for producing a polyimide gel film using a chemical ring closure method, (1) a cyclization catalyst and a dehydrating agent are mixed in a polyamic acid solution and imidized, and then on a metal support having a smooth surface. And a method for obtaining a polyimide gel film by casting the solution, and (2) imidation by coating the polyamic acid solution to form a thin film and then immersing it in a mixture of a cyclization catalyst and a dehydrating agent. For example, there is a method of obtaining a polyimide gel film. The method (1) is preferred because a polyimide gel film uniform in the thickness direction can be obtained.

上記(1)の方法において、平滑表面を有する金属製支持体上に流延塗布する前に、ポリアミド酸有機溶媒溶液と脱水剤と環化触媒とを混合する際には、事前に、ジメチルスルホキシド、N,N−ジメチルアセトアミド、N,N−ジエチルアセトアミド、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジエチルホルムアミド、N−メチル−2−ピロリドン、またはジメチルスルホンなどの溶媒を用いて、脱水剤と環化触媒とを調整した混合溶液を作製する。その後、当該混合溶液をポリアミド酸有機溶媒溶液と混合することで、脱水剤/環化触媒とポリアミド酸有機溶媒溶液との混合性が良好となるので好ましい。また、上記混合溶媒とポリアミド酸有機溶媒溶液との混合割合は、ポリアミド酸有機溶媒溶液100重量部に対し、上記混合溶液を20〜100重量部とすることが好ましく、30〜80重量部とすることがより好ましい。上記の割合で混合することにより、得られるフィルムの厚みが幅方向で均一となり好ましい。   In the above method (1), before the polyamic acid organic solvent solution, the dehydrating agent and the cyclization catalyst are mixed before being cast-coated on a metal support having a smooth surface, dimethyl sulfoxide is used in advance. , N, N-dimethylacetamide, N, N-diethylacetamide, N, N-dimethylformamide, N, N-diethylformamide, N-methyl-2-pyrrolidone, or dimethylsulfone, and a dehydrating agent A mixed solution prepared with the cyclization catalyst is prepared. Thereafter, mixing the mixed solution with the polyamic acid organic solvent solution is preferable because the mixing property between the dehydrating agent / cyclization catalyst and the polyamic acid organic solvent solution is improved. The mixing ratio of the mixed solvent and the polyamic acid organic solvent solution is preferably 20 to 100 parts by weight, and preferably 30 to 80 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the polyamic acid organic solvent solution. It is more preferable. By mixing at the above ratio, the thickness of the obtained film is preferably uniform in the width direction.

上記(1)の方法では、このポリアミド酸有機溶媒溶液と脱水剤と環化触媒とを含む混合溶液を平滑な表面を有する金属製の支持体表面に連続的に流延して前記溶液の薄膜を形成させる。その後、その薄膜を、60〜160℃で、2〜20分間程度加熱乾燥させ、金属支持体より引き剥がすことによって、ポリイミドのゲルフィルム(自己支持性フィルム)を得ることができる。このように得られたポリイミドのゲルフィルムにおける、前記溶媒および生成水分からなる揮発成分の含有率、すなわち揮発成分含有率は15〜200%程度である。   In the method of (1), the mixed solution containing the polyamic acid organic solvent solution, the dehydrating agent, and the cyclization catalyst is continuously cast on the surface of a metal support having a smooth surface to form a thin film of the solution. To form. Then, the gel film (self-supporting film) of polyimide can be obtained by heat-drying the thin film for about 2 to 20 minutes at 60 to 160 ° C. and peeling it off from the metal support. Thus, the content rate of the volatile component which consists of the said solvent and produced | generated water | moisture content in the polyimide gel film obtained, ie, a volatile component content rate, is about 15 to 200%.

(II−2.ゲルフィルム固定工程)
本発明にかかる高分子フィルムの製造方法では、高分子樹脂からなるゲルフィルムは、図1に示すように、ロールツーロールで加熱炉まで搬送されることが好ましい。ゲルフィルム固定工程では、高分子樹脂からなるゲルフィルム両端部を固定すればよく、その具体的な構成は特に限定されるものではない。例えば、上記ゲルフィルム成形工程で得られたゲルフィルムを金属支持体から引き剥がし、ロールツーロールにてフィルム固定手段まで搬送し、当該ゲルフィルム両端部をフィルム固定手段によって固定すればよい。このとき、ゲルフィルムの端から100mm以内の位置で、ゲルフィルムをフィルム固定手段により固定することが好ましい。
(II-2. Gel film fixing step)
In the method for producing a polymer film according to the present invention, the gel film made of a polymer resin is preferably conveyed to a heating furnace by roll-to-roll as shown in FIG. In the gel film fixing step, both ends of the gel film made of a polymer resin may be fixed, and the specific configuration is not particularly limited. For example, the gel film obtained in the gel film forming step may be peeled off from the metal support, transported to the film fixing means by roll-to-roll, and both ends of the gel film may be fixed by the film fixing means. At this time, it is preferable to fix the gel film by the film fixing means at a position within 100 mm from the end of the gel film.

なお、上記フィルム固定手段は、レールに沿って駆動するチェーンに取り付けたフィルム把持装置などによって、実現することができる。   The film fixing means can be realized by a film gripping device attached to a chain driven along the rail.

さらに、ゲルフィルム固定工程において、ゲルフィルムをフィルム固定手段に挿入する際のフィルム挿入角度は、20°以下であることが好ましい。フィルム挿入角度が、上記範囲内であれば、安定的にゲルフィルム両端部をフィルム固定手段により固定することができる。   Furthermore, in the gel film fixing step, the film insertion angle when the gel film is inserted into the film fixing means is preferably 20 ° or less. If the film insertion angle is within the above range, both ends of the gel film can be stably fixed by the film fixing means.

さらに、ゲルフィルム固定工程では、上述のようにゲルフィルム両端部を固定した後、上記ゲルフィルム両端部を固定した状態のままで、加熱炉内でゲルフィルム中央部に生じる収縮力に逆らう応力を当該ゲルフィルム中央部に負荷することが好ましい。具体的には、ゲルフィルム両端部のフィルム搬送速度に対して、ゲルフィルム中央部のフィルム搬送速度を遅くすればよい。上記構成とすれば、当該ゲルフィルム中央部を強制的に後進させることができる。それゆえ、上記ゲルフィルム固定工程の後、連続的に上記焼成工程(詳細は後述する)を行う場合、ゲルフィルム両端部とゲルフィルム中央部とで、加熱炉へ搬送されるタイミングをずらすことができる。より具体的には、ゲルフィルムの中央部を、ゲルフィルム両端部より遅らせて、加熱炉に搬送することができる。それゆえ、フィルムの幅方向に物性が均一なフィルムが得られる。   Furthermore, in the gel film fixing step, after fixing both ends of the gel film as described above, the stress against the shrinkage force generated in the center of the gel film in the heating furnace is applied while the both ends of the gel film are fixed. It is preferable to load the center of the gel film. Specifically, what is necessary is just to slow down the film conveyance speed of a gel film center part with respect to the film conveyance speed of the gel film both ends. If it is the said structure, the said gel film center part can be forced to reverse. Therefore, after the gel film fixing step, when the baking step (details will be described later) is continuously performed, the timing of conveyance to the heating furnace may be shifted between the gel film both ends and the gel film central portion. it can. More specifically, the center part of the gel film can be delayed from both ends of the gel film and conveyed to the heating furnace. Therefore, a film having uniform physical properties in the width direction of the film can be obtained.

また、上記応力は応力負荷手段により負荷されることが好ましいが、上記応力負荷手段は、所望の応力を負荷できるものであればよく、特に限定されるものではない。例えば、ニップロールなどが挙げられる。より具体的には、上記ゲルフィルム固定工程の後、ゲルフィルムがフィルム固定手段に固定されたまま、ゲルフィルム中央部をニップロールにより保持する(図2を参照)ことによって、上記応力をゲルフィルム中央部に負荷し、当該ゲルフィルム中央部を強制的に後進させればよい。   The stress is preferably applied by stress loading means, but the stress loading means is not particularly limited as long as it can apply desired stress. For example, a nip roll etc. are mentioned. More specifically, after the gel film fixing step, the center of the gel film is held by a nip roll while the gel film is fixed to the film fixing means (see FIG. 2), whereby the stress is applied to the center of the gel film. What is necessary is just to reversely move the gel film center part forcibly.

さらに、上記応力を負荷するゲルフィルム中央部の幅は、フィルム両端部固定距離の1〜75%の範囲内で用いることが好ましい。つまり、上記応力をゲルフィルム中央部に負荷するために、ニップロールを用いる場合、ゲルフィルム中央部において当該ニップロールがゲルフィルムを保持する幅、言い換えればニップロールのロール幅は、フィルム両端部固定距離の1〜75%の範囲内であることが好ましい。上記範囲内であれば、フィルムTD方向の物性の均一性を保つことができる。   Furthermore, it is preferable to use the width | variety of the gel film center part which loads the said stress within the range of 1-75% of the film both ends fixed distance. That is, when a nip roll is used to apply the stress to the gel film center, the width of the nip roll that holds the gel film in the center of the gel film, in other words, the roll width of the nip roll is 1 of the fixed distance at both ends of the film. It is preferable to be within a range of ˜75%. If it is in the said range, the uniformity of the physical property of a film TD direction can be maintained.

なお、本明細書において、上記「フィルム両端部固定距離」とは、フィルム固定手段によって固定されているフィルムの両端部の間の距離をいう(図1を参照)。   In addition, in this specification, the said "film both-ends fixed distance" means the distance between the both ends of the film currently fixed by the film fixing means (refer FIG. 1).

また、上記応力を負荷するためにニップロールを用いる場合、当該ニップロールの材質は、特に限定されないが、ゲルフィルムに含有される有機溶剤に対する耐性があるのものが好ましい。具体的には、金属鏡面とゴム弾性体との組合せ、金属鏡面と金属鏡面との組合せが好ましい。ゴムの材質は、上記有機溶剤に対する耐性の観点からフッ素樹脂系が好ましい。   Moreover, when using a nip roll in order to load the said stress, the material of the said nip roll is although it does not specifically limit, The thing with the tolerance with respect to the organic solvent contained in a gel film is preferable. Specifically, a combination of a metal mirror surface and a rubber elastic body, or a combination of a metal mirror surface and a metal mirror surface is preferable. The material of the rubber is preferably a fluororesin system from the viewpoint of resistance to the organic solvent.

さらに、上記応力を負荷するためにニップロールを用いる場合、上記応力を負荷することができれば、当該ニップロールの制御方法は特に限定されない。例えば、駆動方式またはフリーロールでのニップ圧方式による制御方法を好ましく用いることができる。上記構成とすることにより、ゲルフィルム中央部を、ゲルフィルム両端部よりも遅らせて、加熱炉に搬送することができる。   Furthermore, when the nip roll is used to apply the stress, the method for controlling the nip roll is not particularly limited as long as the stress can be applied. For example, a control method using a driving method or a nip pressure method with a free roll can be preferably used. By setting it as the said structure, a gel film center part can be delayed rather than a gel film both ends, and can be conveyed to a heating furnace.

ニップロールを駆動方式で制御する場合、ニップロール速度をテンターフィルム搬送速度よりも遅くなるように制御する。具体的には、ニップロール速度は、テンターフィルム搬送速度の0.01%〜10%減の速度範囲で制御されるのが好ましい。10%減の速度よりも遅い速度でニップロールを回転させると、ゲルフィルムがフィルム固定手段より脱落したり、ゲルフィルムが破れたりするなどの現象、もしくはフィルム表面へのキズの発生が生じることがある。また、0.01%減の速度よりも速い速度でニップロールを回転させると、TD方向の物性の均一性が損なわれることがある。   When the nip roll is controlled by a driving method, the nip roll speed is controlled to be slower than the tenter film conveyance speed. Specifically, the nip roll speed is preferably controlled within a speed range of 0.01% to 10% reduction of the tenter film conveyance speed. When the nip roll is rotated at a speed slower than the 10% reduction, the gel film may fall off from the film fixing means, the gel film may be broken, or scratches may occur on the film surface. . Further, when the nip roll is rotated at a speed faster than the speed of 0.01% reduction, the uniformity of physical properties in the TD direction may be impaired.

また、ニップロールをニップ圧方式で制御する場合、ニップ圧を0.1〜50kgfの範囲とすることが好ましい。上記範囲とすると、ニップロールに駆動力がなくても、自重により、上記のように駆動方式でニップロールを制御する場合と同様の効果を得ることができる。すなわち、ニップロール速度をテンターフィルム搬送速度よりも遅くなるように制御することができる。逆に、上記範囲を逸脱すると、TD方向の物性の均一さが損なわれたり、ゲルフィルムがフィルム固定手段より脱落したり、ゲルフィルムが破れたりするなどの現象、もしくはフィルム表面へのキズの発生が生じることがある。   Moreover, when controlling a nip roll by a nip pressure system, it is preferable to make a nip pressure into the range of 0.1-50 kgf. In the above range, even if the nip roll does not have a driving force, the same effect as in the case of controlling the nip roll by the driving method as described above can be obtained by its own weight. That is, the nip roll speed can be controlled to be slower than the tenter film conveyance speed. On the contrary, if it deviates from the above range, the uniformity of physical properties in the TD direction is impaired, the gel film falls off the film fixing means, the gel film is torn, or the film surface is scratched. May occur.

また、ゲルフィルムがロールツーロールで加熱炉まで搬送される際に、ゲルフィルムが高温に曝露されると、ゲルフィルムはフィルムの幅方向に収縮し、フィルムTD方向の物性の均一さが損なわれる。したがって、ゲルフィルムは、50℃以下の状態で搬送されることが好ましく、30℃以下の状態で搬送されることがより好ましい。すなわち、ゲルフィルム固定工程におけるゲルフィルムの温度は50℃以下に維持されていることが好ましく、30℃以下に維持されていることがより好ましい。   Moreover, when a gel film is conveyed to a heating furnace by roll-to-roll, if a gel film is exposed to high temperature, a gel film will shrink in the width direction of a film, and the uniformity of the physical property of a film TD direction will be impaired. . Therefore, the gel film is preferably transported in a state of 50 ° C. or lower, and more preferably transported in a state of 30 ° C. or lower. That is, the temperature of the gel film in the gel film fixing step is preferably maintained at 50 ° C. or lower, and more preferably maintained at 30 ° C. or lower.

(II−3.焼成工程)
上記ゲルフィルム固定工程において、ゲルフィルムをフィルム固定手段に固定し、加熱炉に搬送したのち、焼成工程において、乾燥/加熱処理を行い、高分子フィルムを得る。この際、フィルムの加熱方法は公知の方法を用いればよい。例えば、加熱炉は熱風炉や遠赤外線ヒーター炉(遠赤炉、IR炉ともいう)、並びに加熱炉、熱風炉、IR炉、および徐冷炉からなる連続加熱炉などを用いることができる。
(II-3. Firing step)
In the gel film fixing step, the gel film is fixed to the film fixing means and conveyed to a heating furnace, and then dried / heat treated in the baking step to obtain a polymer film. At this time, a known method may be used as the method for heating the film. For example, as the heating furnace, a hot air furnace, a far infrared heater furnace (also referred to as a far red furnace or an IR furnace), a continuous heating furnace including a heating furnace, a hot air furnace, an IR furnace, and a slow cooling furnace can be used.

加熱炉における乾燥/加熱においては、ゲルフィルムが最初に搬送される第1の加熱炉の温度は、フィルム幅方向に温度ムラが少ないほうが好ましい。温度ムラが大きいと、フィルムTD方向で溶剤蒸発による収縮応力の発生が異なる。その結果、ボーイング現象に似た現象が発生し、TD方向の物性の均一差が生じる。したがって、第1の加熱炉の温度に応じて、上記問題が起こらない範囲で、温度ムラを制御することが好ましい。具体的には、第1の加熱炉の設定温度が200℃未満の場合、その温度ムラ、すなわち、最高温度と最低温度との差(最高温度−最低温度)は、設定温度の10%以下であることが好ましい。また、第1の加熱炉の設定温度が200℃以上350℃未満の場合、その温度ムラは、設定温度の6%以下であることが好ましい。さらに、第1の加熱炉の設定温度が350℃以上500℃未満の場合、その温度ムラは、設定温度の4%以下であることが好ましい。   In drying / heating in the heating furnace, the temperature of the first heating furnace in which the gel film is first transported is preferably less temperature unevenness in the film width direction. When the temperature unevenness is large, the generation of shrinkage stress due to solvent evaporation differs in the film TD direction. As a result, a phenomenon similar to the bowing phenomenon occurs, and a uniform difference in physical properties in the TD direction occurs. Therefore, it is preferable to control the temperature unevenness in a range where the above problem does not occur according to the temperature of the first heating furnace. Specifically, when the set temperature of the first heating furnace is less than 200 ° C., the temperature unevenness, that is, the difference between the maximum temperature and the minimum temperature (maximum temperature−minimum temperature) is 10% or less of the set temperature. Preferably there is. When the set temperature of the first heating furnace is 200 ° C. or higher and lower than 350 ° C., the temperature unevenness is preferably 6% or less of the set temperature. Furthermore, when the set temperature of the first heating furnace is 350 ° C. or higher and lower than 500 ° C., the temperature unevenness is preferably 4% or less of the set temperature.

また、必要に応じて、フィルムのTD方向への延伸には、従来公知の拡縮操作を実施すればよい、例えば、加熱炉前半で徐々にフィルム幅を増大させ、その後縮小する方法や、加熱炉前半で幅を縮小させた後、増大させる方法などを適宜用いることができる。   Further, if necessary, the film may be stretched in the TD direction by performing a conventionally known expansion / contraction operation. For example, a method of gradually increasing the film width in the first half of the heating furnace and then reducing the film width, A method of increasing the width after reducing the width in the first half can be appropriately used.

なお、上記焼成工程における加熱方法は、特に限定されるものではなく、従来公知の方法を用いることができる。また、加熱条件は、用いる高分子樹脂の組成に応じて、適宜設定すればよい。   In addition, the heating method in the said baking process is not specifically limited, A conventionally well-known method can be used. Moreover, what is necessary is just to set a heating condition suitably according to the composition of the polymeric resin to be used.

<III.フィルムの製造装置>
本発明にかかるフィルムの製造装置は、高分子樹脂からなるゲルフィルムを加熱し、乾燥、硬化、または焼成させることによって、連続的に高分子フィルムを製造するフィルムの製造装置である。その具体的な構成について、図1および図2に基づき説明すると、以下の通りであるが、本発明はこれに限定されるものではないことはいうまでもない。
<III. Film production equipment>
The film manufacturing apparatus according to the present invention is a film manufacturing apparatus that continuously manufactures a polymer film by heating, drying, curing, or baking a gel film made of a polymer resin. The specific configuration will be described with reference to FIGS. 1 and 2 as follows. Needless to say, the present invention is not limited to this.

本実施形態にかかるフィルムの製造装置1は、ゲルフィルム100を固定するためのフィルム固定部300と、上記ゲルフィルム両端部110を固定した状態のまま、加熱炉内で当該ゲルフィルム中央部120に生じる収縮力に逆らう応力を当該ゲルフィルム中央部120に応力を負荷する応力負荷部320とを備えていればよく、その他の具体的な構成は限定されない。その他にも、ゲルフィルム100をロールツーロールで加熱炉に搬送するための搬送部(図示せず)や、加熱炉(図示せず)などを備えていてもよい。   The film manufacturing apparatus 1 according to the present embodiment has a film fixing part 300 for fixing the gel film 100 and the gel film both ends 110 fixed to the gel film central part 120 in a heating furnace. It is only necessary to include a stress loading portion 320 that applies stress to the gel film central portion 120 with a stress against the generated contraction force, and other specific configurations are not limited. In addition, you may provide the conveyance part (not shown) for conveying the gel film 100 to a heating furnace by roll-to-roll, a heating furnace (not shown), etc.

上記応力負荷部320は、ゲルフィルム両端部110をフィルム固定部300で固定した状態まま、ゲルフィルム中央部120を保持し、ゲルフィルム中央部120を後進させるものである。つまり、上記応力負荷部320は、ゲルフィルム両端部110のフィルム搬送速度に対して、ゲルフィルム中央部120のフィルム搬送速度を遅くするためのものである。これにより、ゲルフィルム中央部120を応力負荷部320で保持したまま、ゲルフィルム100を加熱炉に搬送する場合、ゲルフィルム両端部110とゲルフィルム中央部120とで、加熱炉へ搬送されるタイミングをずらす、すなわち、ゲルフィルム中央部120をゲルフィルム端部110より遅らせて搬送することができる。   The stress load part 320 holds the gel film center part 120 and moves the gel film center part 120 backward while the gel film both ends 110 are fixed by the film fixing part 300. That is, the stress load part 320 is for slowing down the film conveyance speed of the gel film central part 120 with respect to the film conveyance speed of the gel film both ends 110. Thus, when the gel film 100 is transported to the heating furnace while the gel film central part 120 is held by the stress load part 320, the gel film both ends 110 and the gel film central part 120 are transported to the heating furnace. That is, the gel film central portion 120 can be transported after being delayed from the gel film end portion 110.

上記フィルム固定部300は、ゲルフィルム100の端から100mm以内の位置で、ゲルフィルム100を固定することが好ましい。   The film fixing part 300 preferably fixes the gel film 100 at a position within 100 mm from the end of the gel film 100.

また、ゲルフィルム中央部120において、上記応力負荷部320により保持される幅は、フィルム両端部固定距離130の1%〜75%の範囲であることが好ましい。上記構成とすることにより、フィルムTD方向の物性の均一性が損なわれるのを抑制することができる。   Moreover, in the gel film center part 120, it is preferable that the width | variety hold | maintained by the said stress load part 320 is the range of 1%-75% of the film both ends fixed distance 130. By setting it as the said structure, it can suppress that the uniformity of the physical property of a film TD direction is impaired.

上記応力負荷部320の形状、材質などは特に限定されない。例えば、ニップロールを用いることができる。この場合、ニップロールは、ゲルフィルム中央部120に接触するように備えられる。なお、ニップロールは、2本で1対のものであり、ゲルフィルム100を2本のロールで挟み、ゲルフィルム中央部120に上記応力を負荷する(図2を参照)。応力負荷部320として、ニップロールを用いる場合、上記<II−2>項で例示したものを、同様に好適に用いることができる。   The shape and material of the stress load part 320 are not particularly limited. For example, a nip roll can be used. In this case, the nip roll is provided so as to contact the gel film central portion 120. The nip rolls are a pair of two nip rolls, and the gel film 100 is sandwiched between the two rolls, and the stress is applied to the gel film central portion 120 (see FIG. 2). When using a nip roll as the stress load part 320, what was illustrated by said <II-2> term can be used suitably similarly.

また、上記応力負荷部320として、ニップロールを用いる場合、その制御方式は、特に限定されるものではなく、上記<II−2>項で例示した方式を好適に用いることができる。   Moreover, when using a nip roll as the said stress load part 320, the control system is not specifically limited, The system illustrated by said <II-2> term can be used suitably.

また、本実施形態にかかるフィルムの製造装置1は、加熱炉に挿入されるゲルフィルム100の温度を制御するための温度制御部(図示せず)を備えていてもよい。上記温度制御部は、ゲルフィルム100の温度を50℃以下に制御することが好ましく、30℃以下に制御することがより好ましい。上記構成とすることにより、フィルムの製造装置1を、上記高分子フィルムの製造方法を実施するために用いた場合、ゲルフィルム100がロールツーロールで加熱炉まで搬送される際に、ゲルフィルム100が高温に曝露されることがない。それゆえ、ゲルフィルム100がフィルムの幅方向に収縮し、フィルムTD方向の物性の均一性が損なわれたり、フィルムの幅方向の厚みムラが生じたりするのを防ぐことができる。   Moreover, the film manufacturing apparatus 1 according to the present embodiment may include a temperature control unit (not shown) for controlling the temperature of the gel film 100 inserted into the heating furnace. The temperature control unit preferably controls the temperature of the gel film 100 to 50 ° C. or lower, and more preferably controls to 30 ° C. or lower. When the film production apparatus 1 is used for carrying out the polymer film production method, the gel film 100 is transported to a heating furnace by roll-to-roll. Are not exposed to high temperatures. Therefore, the gel film 100 can be prevented from shrinking in the width direction of the film, and the uniformity of physical properties in the film TD direction can be impaired, or the thickness unevenness in the width direction of the film can be prevented.

上記フィルムの製造装置1は、さらに、誘導ロール200を備えていてもよい。上記誘導ロール200を備える場合、誘導ロール200は、フィルム固定部300までの距離が、ゲルフィルム100の幅の2倍以内となるように設置されることが好ましい。これにより、安定して、ゲルフィルム100をフィルム固定部300に挿入し、固定することができる。   The film manufacturing apparatus 1 may further include a guide roll 200. When the guide roll 200 is provided, the guide roll 200 is preferably installed such that the distance to the film fixing unit 300 is within twice the width of the gel film 100. Thereby, the gel film 100 can be stably inserted into the film fixing part 300 and fixed.

以上のように、本発明にかかる高分子フィルムの製造装置は、ゲルフィルム両端部が固定される前に、上記ゲルフィルムは、当該ゲルフィルム両端部を固定した状態で、当該ゲルフィルム中央部に応力を負荷し、当該ゲルフィルム中央部を後進させる構成であるため、本発明にかかる高分子フィルムの製造方法を実施するために好適に用いることができる。   As described above, the polymer film manufacturing apparatus according to the present invention is configured so that the gel film is fixed to the center of the gel film with the gel film both ends fixed before the gel film both ends are fixed. Since it is the structure which applies stress and reverses the said gel film center part, it can use suitably in order to implement the manufacturing method of the polymer film concerning this invention.

なお本発明は、以上説示した各構成に限定されるものではなく、特許請求の範囲に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。   The present invention is not limited to the configurations described above, and various modifications can be made within the scope of the claims, and the technical means disclosed in different embodiments are appropriately combined. The obtained embodiment is also included in the technical scope of the present invention.

本発明について、実施例および比較例に基づいてより具体的に説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。当業者は本発明の範囲を逸脱することなく、種々の変更、修正、および改変を行うことができる。なお、以下の実施例および比較例における線膨張係数は次のようにして評価した。   The present invention will be described more specifically based on examples and comparative examples, but the present invention is not limited to this. Those skilled in the art can make various changes, modifications, and alterations without departing from the scope of the present invention. The linear expansion coefficients in the following examples and comparative examples were evaluated as follows.

〔線膨張係数〕
熱機械的分析装置(セイコーインスツルメント社製、商品名:TMA120C)により窒素気流下、昇温速度10℃/分にて室温から400℃までの昇温後、室温まで冷却した。さらに、昇温速度10℃/分にて室温から400℃まで昇温し、2回目の昇温時の100〜200℃の範囲内の平均値を求めた。なお、図3に模式的に示すように、高分子フィルムのTD方向にA、B、Cの3点(両端部と中央部)からフィルムをサンプリングした。また、線膨張係数は、A、B、Cの3点からサンプリングしたフィルムについて、MD方向、TD方向、MD方向から右45°方向(表2では右45°方向と記す)、およびMD方向から左45°方向(表2では左45°方向と記す)の4方向(図3を参照)への線膨張係数をそれぞれ測定した。
[Linear expansion coefficient]
The temperature was raised from room temperature to 400 ° C. at a temperature rising rate of 10 ° C./min under a nitrogen stream using a thermomechanical analyzer (trade name: TMA120C, manufactured by Seiko Instruments Inc.), and then cooled to room temperature. Furthermore, it heated up from room temperature to 400 degreeC with the temperature increase rate of 10 degree-C / min, and calculated | required the average value in the range of 100-200 degreeC at the time of the 2nd temperature increase. In addition, as schematically shown in FIG. 3, the film was sampled from three points (both ends and center) of A, B, and C in the TD direction of the polymer film. In addition, the linear expansion coefficient of the film sampled from three points of A, B, and C is MD direction, TD direction, 45 ° right direction from the MD direction (referred to as 45 ° right direction in Table 2), and The linear expansion coefficients in four directions (see FIG. 3) in the left 45 ° direction (referred to as the left 45 ° direction in Table 2) were measured.

〔合成例1:ポリイミドのゲルフィルムの製造〕
ピロメリット酸二無水物/p−フェニレンビス(トリメリット酸モノエステル酸無水物)/4,4’−ジアミノジフェニルエーテル/パラフェニレンジアミンを、それぞれモル比1/1/1/1の比率で、N,N’−ジメチルアセトアミド溶媒下、固形分が18%になるように重合した。
[Synthesis Example 1: Production of polyimide gel film]
Pyromellitic dianhydride / p-phenylenebis (trimellitic acid monoester acid anhydride) / 4,4′-diaminodiphenyl ether / paraphenylenediamine in a molar ratio of 1/1/1/1 respectively. , N′-dimethylacetamide was polymerized in a solvent so that the solid content was 18%.

この重合溶液を約0℃に冷却した上で、約0℃に冷却したポリアミド酸有機溶媒溶液に無水酢酸/イソキノリン/N,N’−ジメチルアセトアミドの混合溶媒をポリアミド酸有機溶媒溶液100重量部に対し50重量部添加し、充分に攪拌した後、約5℃に保ったダイより押し出して、エンドレスベルト上に流延塗布した。その後、加熱・乾燥し、揮発成分含有率80%のゲルフィルムを得た。   After cooling this polymerization solution to about 0 ° C., a mixed solvent of acetic anhydride / isoquinoline / N, N′-dimethylacetamide was added to 100 parts by weight of the polyamic acid organic solvent solution in the polyamic acid organic solvent solution cooled to about 0 ° C. After adding 50 parts by weight to the mixture and sufficiently stirring, the mixture was extruded from a die maintained at about 5 ° C. and cast onto an endless belt. Then, it heated and dried and obtained the gel film with a volatile component content rate of 80%.

なお、揮発成分含有率は、下記式により求めた。   In addition, the volatile component content rate was calculated | required by the following formula.

揮発成分含有率=(a−b)÷b×100(%)
(式中、aはゲルフィルム重量を、bはゲルフィルム乾燥後重量(乾燥条件は、400℃/10分)を表す。)
〔実施例1〜3:ポリイミドフィルムの製造〕
合成例1の自己支持性を有するゲルフィルム(幅:540mm)を引き剥がし、ロールツーロールで誘導ロールまで搬送した。続いて、ゲルフィルム(シート)の両端を連続的にゲルフィルム(シート)を搬送するピンシートに固定し(フィルム両端部固定距離500mm)、その後、フリーロールの金属製(SUS製)ニップロールでゲルフィルム中央部を保持しながらゲルフィルムを熱風加熱炉、遠赤炉、徐冷炉に搬送した。そして、徐冷炉から搬出したところでピンからフィルムを引き剥がし、巻取って約470mm幅の12.5μmポリイミドフィルムを得た。
Volatile component content = (a−b) ÷ b × 100 (%)
(In the formula, a represents the weight of the gel film, and b represents the weight after drying of the gel film (drying conditions are 400 ° C./10 minutes).)
[Examples 1-3: Production of polyimide film]
The gel film (width: 540 mm) having the self-supporting property of Synthesis Example 1 was peeled off and conveyed to the induction roll by roll-to-roll. Subsequently, both ends of the gel film (sheet) are fixed to a pin sheet that continuously conveys the gel film (sheet) (film both ends fixing distance 500 mm), and then the gel is formed with a free-roll metal (SUS) nip roll. The gel film was conveyed to a hot-air heating furnace, a far-infrared furnace, and a slow cooling furnace while holding the center of the film. And when it carried out from the slow cooling furnace, the film was peeled off from the pin, and it wound up, and obtained the 12.5 micrometer polyimide film of about 470 mm width.

尚、ゲルフィルム両端固定後にフリーロールの金属製(SUS製)ニップロールの幅、およびニップ圧を表1に示す通りとした。   The width of the free roll metal (SUS) nip roll and the nip pressure after fixing both ends of the gel film are as shown in Table 1.

さらに、加熱炉(1〜4炉:熱風炉)、遠赤炉、徐冷炉の雰囲気温度並びに滞留時間は表1に示す通りである。また、フィルムの幅は加熱炉内において、一定とした。   Furthermore, Table 1 shows the atmospheric temperatures and residence times of the heating furnace (1 to 4 furnaces: hot air furnace), the far-red furnace, and the slow cooling furnace. The width of the film was constant in the heating furnace.

Figure 2007022042
Figure 2007022042

上記のようにして得られたポリイミドフィルムについて、線膨張係数を測定した。その結果を表2に示す。   The linear expansion coefficient was measured about the polyimide film obtained as mentioned above. The results are shown in Table 2.

Figure 2007022042
Figure 2007022042

〔比較例1〕
ニップロールを使用しなかったこと以外は実施例1と同様の方法で、ポリイミドフィルムを製造した。
[Comparative Example 1]
A polyimide film was produced in the same manner as in Example 1 except that no nip roll was used.

〔比較例2〕
ニップロールの幅を400mm、ニップ圧を80kgfとしたこと以外は実施例1と同様の方法でポリイミドフィルムの製造を行った。しかし、ゲルフィルムがフィルム両端部把持装置にて破れ、ゲルフィルムを加熱炉に搬送できなかった。
[Comparative Example 2]
A polyimide film was produced in the same manner as in Example 1 except that the width of the nip roll was 400 mm and the nip pressure was 80 kgf. However, the gel film was torn by the film both ends gripping device, and the gel film could not be conveyed to the heating furnace.

〔比較例3〕
ニップロールを駆動方式とし、ロール幅を100mm、ニップ速度をテンターフィルム搬送速度より5%増の速度、ニップ圧を1.0kgfとしてゲルフィルムを搬送したこと以外は実施例1と同様の方法で、ポリイミドフィルムを製造した。
[Comparative Example 3]
The polyimide film was driven in the same manner as in Example 1 except that the nip roll was driven, the roll width was 100 mm, the nip speed was 5% higher than the tenter film conveyance speed, and the nip pressure was 1.0 kgf. A film was produced.

つまり、比較例3では、ニップロールを駆動方式とし、さらにニップ速度をテンターフィルム搬送速度よりも速めている。この場合、加熱炉内でゲルフィルム中央部に生じる収縮力と同じ方向の応力を加えたこととなるため、本発明の効果、つまりTD方向およびMD方向共に物性が均一なポリイミドフィルムが得られなかった(表2を参照)。   That is, in Comparative Example 3, the nip roll is a driving method, and the nip speed is higher than the tenter film conveyance speed. In this case, since the stress in the same direction as the shrinkage force generated in the center of the gel film is applied in the heating furnace, the effect of the present invention, that is, a polyimide film having uniform physical properties in the TD direction and the MD direction cannot be obtained. (See Table 2).

なお本発明は、以上説示した各構成に限定されるものではなく、特許請求の範囲に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態や実施例にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態や実施例についても本発明の技術的範囲に含まれる。   Note that the present invention is not limited to the configurations described above, and various modifications are possible within the scope of the claims, and technical means disclosed in different embodiments and examples respectively. Embodiments and examples obtained by appropriately combining them are also included in the technical scope of the present invention.

以上のように、本発明にかかる高分子フィルムの製造方法により製造された高分子フィルムは、フィルムの幅方向に沿って、光学的特性、機械的特性、湿度膨張率、熱膨張率、および熱収縮率などの物性差がほとんどなく、均一性に優れている。したがって、本発明は、精密部品などの用途、例えば、回路形成のベース材や記録媒体などの用途に利用することができるだけではなく、高分子フィルムを用いる電子部品の製造に関わる分野にも応用することが可能である。   As described above, the polymer film manufactured by the method for manufacturing a polymer film according to the present invention has optical characteristics, mechanical characteristics, humidity expansion coefficient, thermal expansion coefficient, and heat along the width direction of the film. There is almost no difference in physical properties such as shrinkage and excellent uniformity. Therefore, the present invention can be used not only for applications such as precision parts, such as base materials for circuit formation and recording media, but also for fields related to the manufacture of electronic parts using polymer films. It is possible.

本発明の実施形態におけるフィルムの製造装置の要部を模式的に示す斜視図である。It is a perspective view which shows typically the principal part of the manufacturing apparatus of the film in embodiment of this invention. 本発明の実施形態におけるフィルムの製造装置の要部を模式的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows typically the principal part of the manufacturing apparatus of the film in embodiment of this invention. 本発明の実施例において、フィルムの線膨張係数測定のためのフィルムのサンプリングを模式的に示す斜視図である。In the Example of this invention, it is a perspective view which shows typically the sampling of the film for the linear expansion coefficient measurement of a film.

符号の説明Explanation of symbols

1 フィルムの製造装置
100 ゲルフィルム
110 ゲルフィルム両端部(ゲルフィルム端部)
120 ゲルフィルム中央部
130 フィルム両端部固定距離
200 誘導ロール
300 フィルム固定部(フィルム固定手段)
310 端部固定冶具
320 応力負荷部(ニップロール、応力負荷手段)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Film production apparatus 100 Gel film 110 Gel film both ends (gel film end)
120 Gel film central part 130 Film both ends fixing distance 200 Guide roll 300 Film fixing part (film fixing means)
310 End fixing jig 320 Stress load part (nip roll, stress load means)

Claims (9)

高分子樹脂からなるゲルフィルムを用いて高分子フィルムを製造する高分子フィルムの製造方法において、
ゲルフィルム両端部を固定して、上記ゲルフィルムを加熱炉に挿入する工程と、
上記ゲルフィルムを、加熱炉内を通過させながら、加熱することによって、上記ゲルフィルムを乾燥、硬化、または焼成させる工程とを含み、かつ、
上記ゲルフィルム両端部を固定した状態で、加熱炉内でゲルフィルム中央部に生じる収縮力に逆らう応力を上記ゲルフィルム中央部に負荷することを特徴とする高分子フィルムの製造方法。
In the polymer film manufacturing method of manufacturing a polymer film using a gel film made of a polymer resin,
Fixing both ends of the gel film and inserting the gel film into a heating furnace;
Heating the gel film while passing through a heating furnace, thereby drying, curing, or baking the gel film, and
A method for producing a polymer film, comprising applying a stress against a contraction force generated in a central portion of the gel film in a heating furnace to the central portion of the gel film in a state where both ends of the gel film are fixed.
応力負荷手段によって、上記ゲルフィルム中央部に上記応力を負荷することを特徴とする請求項1に記載の高分子フィルムの製造方法。   The method for producing a polymer film according to claim 1, wherein the stress is applied to a central portion of the gel film by a stress loading means. 上記応力負荷手段が、ニップロールであることを特徴とする請求項2に記載の高分子フィルムの製造方法。   The method for producing a polymer film according to claim 2, wherein the stress load means is a nip roll. 上記応力負荷手段によって、上記応力が負荷される上記ゲルフィルム中央部の幅は、フィルム両端部固定距離の1〜75%の範囲内であることを特徴とする請求項2または3に記載の高分子フィルムの製造方法。   The width of the gel film central portion to which the stress is loaded by the stress loading means is within a range of 1 to 75% of a fixed distance between both ends of the film. Method for producing molecular film. 上記高分子樹脂がポリイミドであることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の製造方法。   The manufacturing method according to claim 1, wherein the polymer resin is polyimide. 上記高分子樹脂からなる高分子フィルムの弾性率が3GPa以上であることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の製造方法。   6. The production method according to claim 1, wherein the polymer film made of the polymer resin has an elastic modulus of 3 GPa or more. 高分子樹脂からなるゲルフィルムを加熱し、乾燥、硬化、または焼成させることによって、連続的に高分子フィルムを製造するフィルムの製造装置において、上記ゲルフィルムを固定するためのフィルム固定手段と、上記ゲルフィルム両端部を固定した状態のまま、加熱炉内でゲルフィルム中央部に生じる収縮力に逆らう応力を上記ゲルフィルム中央部に負荷する応力負荷手段とを備えることを特徴とするフィルムの製造装置。   In a film manufacturing apparatus for continuously manufacturing a polymer film by heating, drying, curing, or baking a gel film made of a polymer resin, a film fixing means for fixing the gel film, A film manufacturing apparatus comprising stress loading means for applying a stress against the shrinkage force generated at the gel film central portion in the heating furnace to the gel film central portion in a state where both ends of the gel film are fixed. . 上記応力負荷手段は、ニップロールであることを特徴とする請求項7に記載のフィルムの製造装置。   The film manufacturing apparatus according to claim 7, wherein the stress load means is a nip roll. 上記応力負荷手段は、フィルム両端部固定距離の1〜75%の範囲内の幅のフィルムの中央部分に上記応力を負荷することを特徴とする請求項7または8に記載のフィルムの製造装置。   The said stress load means loads the said stress to the center part of the film of the width within the range of 1-75% of the film both ends fixed distance, The manufacturing apparatus of the film of Claim 7 or 8 characterized by the above-mentioned.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2012162679A (en) * 2011-02-08 2012-08-30 Du Pont-Toray Co Ltd Polyimide film with improved variation in linear expansion coefficient
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