KR20120049616A - Printed circuit board and via hole filling method thereof - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: A printed circuit board and a method for filling a via hole thereof are provided to fill various via holes to have a small dimple or without a dimple. CONSTITUTION: A via hole(220) is formed on a base substrate(210). The via hole is divided into a first division via(220a) and a second division via(220b). A metal paste layer(230) is interposed to the first division via. A fill plating layer(240) is interposed to the second division via.

Description

인쇄회로기판 및 그의 비아홀 충전방법{PRINTED CIRCUIT BOARD AND VIA HOLE FILLING METHOD THEREOF}Printed Circuit Board and Via Hole Filling Method {PRINTED CIRCUIT BOARD AND VIA HOLE FILLING METHOD THEREOF}

본 발명은 인쇄회로기판 및 그의 비아홀 충전방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 형성하고자 하는 비아홀을 복수 개의 분할 비아로 분할한 후, 분할 비아의 일부를 1차적으로 가공하여 충전하고, 분할 비아의 나머지를 2차적으로 가공하여 충전하는 인쇄회로기판 및 그의 비아홀 충전방법에 관한 것이다.
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a printed circuit board and a method for filling via holes thereof, and more particularly, after dividing a via hole to be formed into a plurality of divided vias, a part of the divided vias are processed and filled primarily, and the remainder of the divided vias is processed. The present invention relates to a printed circuit board and secondary via-hole filling method.

최근 들어, 전자 기기 및 제품의 첨단화로 인한 전자 기기 및 제품의 소형화 및 기술 집적은 꾸준히 발전하고 있으며, 이와 함께 전자 기기 등에 사용되는 인쇄회로기판(Printed Circuit Board : PCB)의 제조 공정도 소형화 및 기술 집적에 대응하여 다양한 변화를 요구하고 있다.Recently, the miniaturization and technology integration of electronic devices and products due to the advancement of electronic devices and products has been steadily developing, along with the miniaturization and technology of manufacturing process of printed circuit boards (PCBs) used in electronic devices. In response to integration, various changes are required.

상기 인쇄회로기판을 제조하는 방법에 대한 기술 방향은 초기에 단면 기판에서 양면 기판으로, 다시 다층 기판으로 전개되었으며, 특히 다층 기판을 제조함에 있어 최근에는 소위 빌드 업(build up) 공법이라 불리는 제조 방법이 전개 중이다.The technical direction of the method of manufacturing the printed circuit board was initially developed from a single-sided board to a double-sided board, and then back to a multi-layered board. In particular, in manufacturing a multi-layered board, a manufacturing method called a build-up method has recently been developed. This is in development.

상기 다층 기판을 제조하는 과정에는 각 층의 회로 패턴 및 전자 소자 간을 전기적으로 연결하기 위해 내부 비아홀(Inner Via Hole : IVH), 블라인드 비아홀(Blind Via Hole : BVH) 또는 관통홀(Plated Through Hole : PTH) 등의 다양한 비아홀이 형성된다.In the process of manufacturing the multilayer substrate, an inner via hole (IVH), a blind via hole (BVH), or a plated through hole (PUT) is used to electrically connect the circuit pattern and the electronic device of each layer. Various via holes such as PTH) are formed.

종래 기술에 따른 비아홀의 형성 과정은 먼저, 기판에 드릴을 사용하여 비아홀을 형성하고, 기판의 표면 및 비아홀의 내주면에 디스미어 작업을 수행한 후, 비아홀 내부 공간을 금속으로 충전한다.In the process of forming a via hole according to the prior art, first, a via hole is formed using a drill in a substrate, and a desmearing operation is performed on the surface of the substrate and the inner circumferential surface of the via hole, and then the inner space of the via hole is filled with metal.

이때, 비아홀 내부 공간을 금속으로 충전하기 위해 필(fill) 도금 방식을 사용하는데, 필 도금 방식은 일정 크기 이상의 비아홀에는 적용하기 어려운 문제점이 있다.In this case, a fill plating method is used to fill the inner space of the via hole with metal, and the fill plating method is difficult to apply to a via hole having a predetermined size or more.

즉, 크기가 큰 비아홀의 경우에는 딤플(dimple)이 크게 발생하고, 도금의 두께가 두껍게 되더라도 비아홀을 제대로 도금하기 어려운 문제점이 있다.
That is, in the case of a large via hole, dimples are greatly generated, and even if the thickness of the plating becomes thick, it is difficult to properly plate the via hole.

본 발명의 사상은 형성하고자 하는 비아홀을 복수 개의 분할 비아로 분할한 후, 분할 비아의 일부를 1차적으로 가공하여 충전하고, 분할 비아의 나머지를 2차적으로 가공하여 충전함으로써 비아홀을 용이하게 충전할 수 있는 인쇄회로기판 및 그의 비아홀 충전방법을 제공함에 있다.
The idea of the present invention is to divide the via hole to be formed into a plurality of divided vias, and then process a portion of the divided vias firstly and fill them, and then process and fill the remaining portions of the divided vias to easily fill the via holes. The present invention provides a printed circuit board and a via hole filling method thereof.

이를 위해 본 발명의 일실시예에 의한 인쇄회로기판은 비아홀이 형성된 베이스 기판; 상기 비아홀을 분할하여 형성된 제1 및 제2 분할 비아를 포함하고, 상기 제1 분할 비아에는 금속 페이스트층이 개재되고, 상기 제2 분할 비아에는 필 도금층이 개재된다.To this end, a printed circuit board according to an embodiment of the present invention includes a base substrate on which a via hole is formed; And a first and second divided vias formed by dividing the via holes, wherein the first divided vias are interposed with a metal paste layer, and the second divided vias are interposed with a peel plating layer.

여기서, 상기 제1 및 제2 분할 비아는 상기 비아홀 내부에서 교대로 배치된다.Here, the first and second divided vias are alternately disposed in the via hole.

그리고, 상기 필 도금층은 상기 제2 분할 비아의 내부에 충전되는 충전 도금층; 상기 제1 및 제2 분할 비아의 사이에 개재되어 상기 제1 및 제2 분할 비아를 분리시키는 분리 도금층을 포함한다.The fill plating layer may include a filling plating layer filled in the second divided via; And a separation plating layer interposed between the first and second divided vias to separate the first and second divided vias.

이때, 상기 충전 도금층은 전해 도금층이고, 상기 분리 도금층은 무전해 도금층이다.In this case, the filling plating layer is an electrolytic plating layer, the separation plating layer is an electroless plating layer.

또한, 상기 분리 도금층은 톱니 형상으로 개재된다.In addition, the separation plating layer is interposed in a sawtooth shape.

본 발명의 일실시예에 의한 인쇄회로기판의 비아홀 충전방법은 베이스 기판에 형성하고자 하는 비아홀을 소정의 개수로 분할하는 분할단계; 상기 분할된 비아홀의 일부를 1차 가공하여 제1 분할 비아를 형성하는 제1 비아 형성단계; 상기 형성된 제1 분할 비아를 금속 페이스트로 충전하는 제1 충전 단계; 상기 분할된 비아홀의 나머지를 2차 가공하여 제2 분할 비아를 형성하는 제2 비아 형성단계; 상기 형성된 제2 분할 비아를 필 도금하여 상기 비아홀을 충전하는 제2 충전단계를 포함한다.A via hole filling method of a printed circuit board according to an embodiment of the present invention includes a division step of dividing a via hole to be formed in a base substrate into a predetermined number; Forming a first via by first processing a part of the divided via hole to form a first via; A first filling step of filling the formed first divided vias with a metal paste; A second via forming step of second processing the remainder of the divided via hole to form a second divided via; And filling the via hole by peeling the formed second divided via.

여기서, 상기 제2 충전단계는 상기 형성된 제2 분할 비아에 무전해 도금층을 형성하는 무전해 도금층 형성단계를 포함한다.Here, the second filling step includes an electroless plating layer forming step of forming an electroless plating layer on the formed second divided via.

아울러, 상기 제2 충전단계는 상기 무전해 도금층 형성단계 후, 상기 무전해 도금층이 형성된 상기 제2 분할 비아에 전해 도금층을 형성하는 전해 도금층 형성단계를 포함한다.
In addition, the second filling step includes an electroplating layer forming step of forming an electroplating layer on the second divided via where the electroless plating layer is formed after the electroless plating layer forming step.

상술한 바와 같이 본 발명의 일실시예에 의한 인쇄회로기판 및 그의 비아홀 충전방법에 따르면, 사이즈가 큰 다양한 형상의 비아홀을 딤플이 없거나 작은 두께의 딤플을 갖도록 충전할 수 있는 장점이 있다.As described above, according to the printed circuit board and the via hole filling method according to the embodiment of the present invention, there is an advantage in that the via holes of various shapes having a large size may be filled to have no dimples or dimples having a small thickness.

또한, 사이즈가 큰 다양한 형상의 비아홀을 얇은 두께로 충전할 수 있는 장점이 있다.
In addition, there is an advantage that can be filled in a thin thickness via holes of various shapes having a large size.

도 1은 본 발명의 일실시예에 의한 인쇄회로기판을 도시한 단면도이다.
도 2 내지 도 7은 본 발명의 일실시예에 의한 인쇄회로기판의 비아홀 충전과정을 나타내는 단면도이다.
도 8 및 도 9는 비아홀의 형상에 따라 복수 개의 분할 비아로 분할하는 일례를 보여주는 도면이다.
1 is a cross-sectional view illustrating a printed circuit board according to an exemplary embodiment of the present invention.
2 to 7 are cross-sectional views illustrating a via hole filling process of a printed circuit board according to an exemplary embodiment of the present invention.
8 and 9 illustrate an example of dividing into a plurality of divided vias according to the shape of a via hole.

본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.The terms or words used in this specification and claims are not to be construed as being limited to their ordinary or dictionary meanings, and the inventors may appropriately define the concept of terms in order to best describe their invention. It should be interpreted as meaning and concept corresponding to the technical idea of the present invention based on the principle that the present invention.

따라서, 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일 실시예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.
Therefore, the embodiments described in this specification and the configurations shown in the drawings are merely the most preferred embodiments of the present invention and do not represent all the technical ideas of the present invention. Therefore, It is to be understood that equivalents and modifications are possible.

도 1은 본 발명의 일실시예에 의한 인쇄회로기판을 도시한 단면도를 나타낸다.1 is a cross-sectional view showing a printed circuit board according to an embodiment of the present invention.

도 1에 도시한 바와 같이, 인쇄회로기판(200)은 베이스 기판(210), 제1 및 제2 분할 비아(220a)(220b)를 포함하여 구성된다.As shown in FIG. 1, the printed circuit board 200 includes a base substrate 210, first and second divided vias 220a and 220b.

베이스 기판(210)은 인쇄회로기판(200)의 원자재로서, 비아홀(via hole, 220)이 형성된다.The base substrate 210 is a raw material of the printed circuit board 200, and via holes 220 are formed.

이러한 베이스 기판(210)은 동박 적층판(Copper Clad Laminate : CCL)이나 열경화성 수지 조성물로 함침된 유리 섬유 기재(열경화성 수지 조성물로 함침된 유리 섬유 강화 프리플레그)로 구성될 수 있다. 이 중에서 동박 적층판은 절연층 및 구리막을 순차적으로 증착하여 형성된 편면 동박 적층판과 하단 구리막, 절연층 및 상단 구리막을 순차적으로 증착하여 형성된 양면 동박 적층판을 포함한다.The base substrate 210 may be made of a copper clad laminate (CCL) or a glass fiber substrate (glass fiber reinforced preflag impregnated with a thermosetting resin composition) impregnated with a thermosetting resin composition. Among them, the copper foil laminate includes a single-sided copper foil laminate formed by sequentially depositing an insulating layer and a copper film, and a double-sided copper foil laminate formed by sequentially depositing a lower copper film, an insulation layer, and an upper copper film.

또한, 비아홀(220)은 베이스 기판(210)을 관통하는 관통홀(Plating Through Hole : PTH)로서, X-ray 드릴이나 센서 드릴을 사용하여 기준이 되는 기준홀을 가공한 후에 상기 기준홀을 기준으로 CNC(Computer Numerical Control) 드릴을 사용하여 기판 상의 원하는 위치에 비아홀(220)을 형성할 수 있다.In addition, the via hole 220 is a through-hole (PTH) passing through the base substrate 210. After processing the reference hole as a reference using an X-ray drill or a sensor drill, the reference hole is referred to. By using a Computer Numerical Control (CNC) drill, the via hole 220 may be formed at a desired position on the substrate.

그리고, UV(Ultraviolet) 레이저 또는 CO2(Carbon dioxide) 레이저 등을 사용하여 비아홀(220)을 형성할 수 있다. 여기서, 레이저는 이에 한정되지 않으며, 다양한 레이저 수단을 사용하여 비아홀(220)을 형성할 수 있다.In addition, the via hole 220 may be formed using a UV (Ultraviolet) laser or a CO 2 (Carbon dioxide) laser. Here, the laser is not limited thereto, and the via hole 220 may be formed using various laser means.

제1 및 제2 분할 비아(220a)(220b)는 비아홀(220)을 분할하여 형성되고, 비아홀(220) 내부에서 교대로 배치된다.The first and second divided vias 220a and 220b are formed by dividing the via holes 220 and are alternately disposed in the via holes 220.

예를 들어 비아홀(220) 내부를 5개로 분할하면, 분할된 5개의 비아홀 중에서 220a1, 220a2, 220a3에 해당하는 비아홀이 제1 분할 비아(220a)이고, 220b1, 220b2에 해당하는 비아홀이 제2 분할 비아(220b)이다. 즉, 한 개의 비아홀(220)을 분할하여 복수 개의 분할 비아(220a)(220b)를 형성할 수 있는 것이다.For example, when the inside of the via hole 220 is divided into five, the via hole corresponding to 220a 1 , 220a 2 , and 220a 3 is the first divided via 220a and the 220b 1 , 220b 2 corresponds to the divided via holes. The via hole is the second split via 220b. That is, the plurality of divided vias 220a and 220b may be formed by dividing one via hole 220.

이 중에서 제1 분할 비아(220a)의 내부에는 금속 페이스트(paste)층(230)이 개재된다. 상기 금속 페이스트를 충전하는 과정은 스퀴즈(squeeze)를 이용하여 금속 페이스트를 제1 분할 비아(220a) 내부로 이동시킴으로써 제1 분할 비아(220a)를 충전하는 제1 동작과 충전된 금속 페이스트를 가압하는 제2 동작을 교대로 수행하여 이루어진다.The metal paste layer 230 is interposed in the first divided via 220a. In the filling of the metal paste, a first operation of filling the first divided via 220a and pressing of the filled metal paste by moving the metal paste into the first divided via 220a by using a squeeze. This is done by alternately performing the second operation.

상기한 바와 같이, 스퀴즈를 이용하여 제1 분할 비아(220a)를 금속 페이스트로 충전하는 방식 외에 다양한 방식을 사용하여 제1 분할 비아(220a)를 금속 페이스트로 충전할 수 있다.As described above, the first divided via 220a may be filled with the metal paste using various methods, in addition to the method of filling the first divided via 220a with the metal paste using a squeeze.

한편, 베이스 기판(210)의 표면 및 제2 분할 비아(220b) 내부에는 필 도금층(240)이 개재되는데, 상기 필 도금층(240)은 베이스 기판(210)의 표면 및 제2 분할 비아(220b)에 충전되는 구리, 니켈, 주석 등과 같은 금속 물질로 이루어지며, 충전 도금층(244a)(244b), 분리 도금층(242a) 및 도금층(242b)을 포함하여 구성된다.The fill plating layer 240 is interposed between the surface of the base substrate 210 and the inside of the second divided via 220b, and the fill plating layer 240 has the surface of the base substrate 210 and the second divided via 220b. It is made of a metal material such as copper, nickel, tin, and the like, and is configured to include the filling plating layers 244a and 244b, the separation plating layer 242a, and the plating layer 242b.

충전 도금층(244a)(244b)은 베이스 기판(210)의 표면 및 제2 분할 비아(220b) 내부에 개재되는 금속층으로서, 전해 도금층으로 구성될 수 있다.The filling plating layers 244a and 244b are metal layers interposed between the surface of the base substrate 210 and the inside of the second divided via 220b and may be formed of an electroplating layer.

분리 도금층(242a)은 제1 및 제2 분할 비아(220a)(220b)의 사이에 개재되어 제1 및 제2 분할 비아(220a)(220b)를 분리시키는 금속층으로서, 무전해 도금층으로 구성될 수 있으며, 톱니 형상이다.The separation plating layer 242a is a metal layer interposed between the first and second divided vias 220a and 220b to separate the first and second divided vias 220a and 220b and may be configured as an electroless plating layer. It is sawtooth-shaped.

도금층(242b)은 인쇄회로기판(210)의 표면(210b)에 개재되는 금속층으로서, 무전해 도금층으로 구성될 수 있다. The plating layer 242b is a metal layer interposed on the surface 210b of the printed circuit board 210 and may be configured as an electroless plating layer.

상술한 충전 도금층(244a)(244b), 분리 도금층(242a) 및 도금층(242b)을 포함하는 필 도금층(240)은 필(fill) 도금 방식으로 충전된다.The fill plating layer 240 including the above-described filling plating layers 244a and 244b, the separation plating layer 242a, and the plating layer 242b is filled by a fill plating method.

이를 위해 베이스 기판(210)의 표면 및 비아홀(220) 즉, 제2 분할 비아(220b) 내부를 무전해 도금에 의해 무전해 도금층인 분리 도금층(242a) 및 도금층(242b)으로 증착한 후, 베이스 기판(210)의 표면 및 제2 분할 비아(220b) 내부를 전해 도금에 의해 전해 도금층인 충전 도금층(244a)(244b)을 형성하므로 필 도금층(240)은 무전해 도금층(분리 도금층(242a) 및 도금층(242b)) 위에 전해 도금층(충전 도금층(244a)(244b))이 적층되는 구조로 형성된다.To this end, the surface of the base substrate 210 and the via hole 220, that is, the inside of the second divided via 220b are deposited on the separation plating layer 242a and the plating layer 242b which are the electroless plating layers by electroless plating, and then the base. Since the filling plating layers 244a and 244b, which are electroplating layers, are formed on the surface of the substrate 210 and the inside of the second divided via 220b by electroplating, the fill plating layer 240 is formed of an electroless plating layer (separated plating layer 242a and The electrolytic plating layer (charge plating layer 244a, 244b) is laminated | stacked on the plating layer 242b.

지금까지 설명한 인쇄회로기판의 구조를 정리하여 설명하면, 베이스 기판(210)의 비아홀(220)에는 제1 및 제2 분할 비아(220a)(220b)가 형성되고, 제1 및 제2 분할 비아(220a)(220b)의 내부는 각각 페이스트 충전 방식 및 필 도금 방식으로 충전되기 때문에 제2 분할 비아(220a)(220b) 내부에는 충전 도금층(244a) 즉, 전해 도금층이 형성되고, 제1 및 제2 분할 비아(220a)(220b)의 사이에는 비아홀(220)을 제1 및 제2 분할 비아(220a)(220b)로 분리시키는 분리 도금층(242a) 즉, 무전해 도금층이 형성되는 것이다.
In summary, the structure of the printed circuit board described above will be described. First and second divided vias 220a and 220b are formed in the via hole 220 of the base substrate 210, and the first and second divided vias ( Since the insides of the 220a and 220b are filled with the paste filling method and the peel plating method, respectively, the filling plating layer 244a, that is, the electrolytic plating layer is formed inside the second divided vias 220a and 220b, respectively. An isolation plating layer 242a, ie, an electroless plating layer, is formed between the divided vias 220a and 220b to separate the via holes 220 into the first and second divided vias 220a and 220b.

이하에서는 본 발명의 일실시예에 의한 인쇄회로기판의 비아홀 충전과정에 대하여 설명하도록 한다.Hereinafter, a via hole filling process of a printed circuit board according to an embodiment of the present invention will be described.

도 2 내지 도 7은 본 발명의 일실시예에 의한 인쇄회로기판의 비아홀 충전과정을 나타내는 단면도를 나타낸다.2 to 7 are cross-sectional views illustrating a via hole filling process of a printed circuit board according to an exemplary embodiment of the present invention.

도 2 내지 도 7에 도시한 바와 같이, 인쇄회로기판(200)을 제조하기 위해 베이스 기판(210)을 제공하는데, 본 발명의 일실시예에서는 절연층(210a)을 개재하여 양면에 박막의 구리막(210b)(210c)이 형성된 동박 적층판(Copper Clad Laminate : CCL)을 제공한다.2 to 7, a base substrate 210 is provided to manufacture a printed circuit board 200. In an embodiment of the present invention, a thin film of copper is formed on both surfaces through an insulating layer 210a. A copper clad laminate (CCL) having films 210b and 210c formed thereon is provided.

여기서, 동박 적층판(210)은 일반적으로 인쇄회로기판이 제조되는 원판으로 절연층에 얇게 구리를 입힌 구조로서, 동박의 두께는 보통 18 ~ 70㎛ 정도이나 배선 패턴의 미세화에 따라 5㎛, 7㎛, 15㎛를 사용하기도 한다.Here, the copper foil laminated plate 210 is a disk made of a printed circuit board generally is a structure in which a thin copper coated on the insulating layer, the thickness of the copper foil is usually 18 ~ 70㎛ about 5㎛, 7㎛ depending on the miniaturization of the wiring pattern 15 µm may also be used.

다음으로, 형성하고자 하는 비아홀(220)을 소정의 개수로 분할하는데, 이는 비아홀(220)의 형상 및 크기에 맞춰 분할 개수를 조절하기 위해 비아홀(220) 내부를 가상으로 분할하는 것을 말한다. Next, the via holes 220 to be formed are divided into a predetermined number, which means that the via holes 220 are virtually divided in order to adjust the number of divisions according to the shape and size of the via holes 220.

도 8 및 도 9는 비아홀의 형상에 따라 복수 개의 분할 비아로 분할하는 일례를 보여주는 도면으로서, 비아홀을 소정의 개수로 분할하는 예를 보여준다.8 and 9 illustrate an example of dividing into a plurality of divided vias according to the shape of the via hole, and show an example of dividing the via holes into a predetermined number.

도 8은 비아홀(220)이 원형일 때 비아홀(220)을 분할하는 예로서, 도 8a 및 도 8b에서와 같이, 비아홀에 2개의 분할 비아가 형성되도록 가로 방향으로 분할함으로써 2개의 분할 비아 중 1개의 분할 비아는 1차 가공하고, 2개의 분할 비아 중 나머지 1개의 분할 비아는 2차 가공하도록 구성된다.FIG. 8 illustrates an example of dividing the via hole 220 when the via hole 220 is circular. As shown in FIGS. 8A and 8B, one of two divided vias is divided in a horizontal direction so that two divided vias are formed in the via hole. The split vias are configured to be primary processed, and the remaining split vias of the two divided vias are configured to be secondary processed.

도 9는 비아홀(120)이 사각 형상일 때 비아홀(920)을 분할하는 예로서, 도 9a에서와 같이 비아홀에 4개의 분할 비아가 형성되도록 세로 방향으로 분할함으로써 4개의 분할 비아 중에서 2개의 분할 비아는 1차 가공하고, 나머지 2개의 분할 비아는 2차 가공할 수 있도록 한다. 이때, 1차 가공하는 분할 비아와 2차 가공하는 분할 비아는 교대로 배열된다. FIG. 9 illustrates an example in which the via hole 920 is divided when the via hole 120 has a quadrangular shape. As shown in FIG. 9A, two divided vias are divided among four divided vias by vertically splitting four vias in the via hole. Allows for primary processing and the remaining two split vias for secondary processing. At this time, the split via to be processed first and the split via to be processed second are alternately arranged.

그리고, 도 9b에서와 같이, 비아홀에 2개의 분할 비아가 형성되도록 가로 방향으로 분할함으로써 2개의 분할 비아 중에서 1개의 분할 비아는 1차 가공하고, 나머지 1개의 분할 비아는 2차 가공하도록 구성된다.As shown in FIG. 9B, by dividing in the horizontal direction so that two divided vias are formed in the via hole, one divided via of the two divided vias is first processed, and the other divided via is second processed.

또한, 도 9c에서와 같이 비아홀에 8개의 분할 비아가 형성되도록 가로 및 세로 방향으로 분할함으로써 8개의 분할 비아 중에서 4개의 분할 비아는 1차 가공하고, 나머지 4개의 분할 비아는 2차 가공하는데, 이때, 1차 가공하는 분할 비아와 2차 가공하는 분할 비아가 서로 접하지 않도록 교대로 배열한다.In addition, as shown in FIG. 9C, four divided vias of the eight divided vias are processed first, and the remaining four divided vias are processed second by dividing in the horizontal and vertical directions so that eight divided vias are formed in the via holes. The alternate arrangement of the divided vias for primary processing and the divided vias for secondary processing is alternately arranged.

한편, 도 3으로 다시 돌아와 설명하면, 분할된 비아홀(220)의 일부를 1차 가공하여 제1 분할 비아(220a : 220a1~220a3)를 형성한다.Meanwhile, referring back to FIG. 3, a portion of the divided via hole 220 is first processed to form first divided vias 220a (220a 1 to 220a 3 ).

즉, 동박 적층판(210)의 상부면에서 하부면인 상단 구리막(210b)에서 하단 구리막(210c) 방향으로 드릴을 사용하여 제1 분할 비아(220a : 220a1~220a3)를 형성한다.That is, the first divided vias 220a (220a 1 to 220a 3 ) are formed by using a drill in the direction of the lower copper film 210c from the upper copper film 210b which is the lower surface to the lower surface of the copper foil laminate 210.

여기서, 제1 분할 비아(220a : 220a1~220a3)를 형성하는 과정은 기계적 드릴 또는 UV, YAG 및 CO2 레이저 드릴을 모두 사용하나, 바람직하게는 기계적 드릴을 사용하여 사전에 설정된 위치에 따라 분할 비아를 형성한다.Here, the process of forming the first divided vias 220a: 220a 1 to 220a 3 may be performed by using a mechanical drill or a UV, YAG, and CO 2 laser drill. Form split vias.

상술한 바와 같이, 제1 분할 비아(220a : 220a1~220a3)를 형성한 후, 제1 분할 비아(220a : 220a1~220a3)를 금속 페이스트(230)로 충전한다.As described above, after the first divided vias 220a (220a 1 to 220a 3 ) are formed, the first divided vias 220a: 220a 1 to 220a 3 are filled with the metal paste 230.

이때, 금속 페이스트(230)는 도전성 페이스트로 구성될 수 있으며, 상기 금속 페이스트를 충전하는 과정은 스퀴즈(squeeze)를 이용하여 금속 페이스트를 제1 분할 비아(220a) 내부로 이동시킴으로써 제1 분할 비아(220a)를 충전하는 제1 동작과 충전된 금속 페이스트를 가압하는 제2 동작을 교대로 수행하여 이루어진다.In this case, the metal paste 230 may be formed of a conductive paste, and the filling of the metal paste may be performed by moving the metal paste into the first divided via 220a by using a squeeze. The first operation of filling 220a and the second operation of pressing the filled metal paste are alternately performed.

상기한 바와 같이, 스퀴즈를 이용하여 제1 분할 비아(220a)를 금속 페이스트로 충전하는 방식 외에 다양한 방식을 사용하여 제1 분할 비아(220a)를 금속 페이스트로 충전할 수 있다.As described above, the first divided via 220a may be filled with the metal paste using various methods, in addition to the method of filling the first divided via 220a with the metal paste using a squeeze.

다음으로, 도 5에 도시한 바와 같이, 분할된 비아홀(220)의 나머지를 2차 가공하여 제2 분할 비아(220b : 220b1~220b3)를 형성한다.Next, as shown in FIG. 5, the remaining portions of the divided via holes 220 are second processed to form second divided vias 220b (220b 1 to 220b 3 ).

즉, 동박 적층판(210)의 하부면에서 상부면인 하단 구리막(210c)에서 상단 구리막(210b) 방향으로 드릴을 사용하여 제2 분할 비아(220b : 220b1~220b3)를 형성한다.That is, the second divided vias 220b (220b 1 to 220b 3 ) are formed by using a drill from the lower copper film 210c which is the upper surface to the upper copper film 210b in the lower surface of the copper foil laminate 210.

여기서, 제2 분할 비아(220b : 220b1~220b3)를 형성하는 과정은 기계적 드릴 또는 UV, YAG 및 CO2 레이저 드릴을 모두 사용하나, 바람직하게는 기계적 드릴을 사용하여 사전에 설정된 위치에 따라 분할 비아를 형성하고 각종 오염과 이물질을 제거하는 디버링 및 디스미어를 행하는 것이 바람직하다.Here, the process of forming the second divided vias 220b: 220b 1 to 220b 3 may be performed using a mechanical drill or a UV, YAG, and CO 2 laser drill. It is preferable to perform deburring and desmear to form divided vias and to remove various contaminants and foreign substances.

디버링은 드릴링 시 발생하는 동박의 거칠어짐 및 비아 내벽의 먼지 입자와 동박 표면의 먼지, 지문 등을 제거하고 동시에 동박의 표면에 거칠기를 부여함으로써 후속되는 충전공정에서 구리의 밀착력을 높여준다.Deburring enhances the cohesion of copper in subsequent filling processes by removing roughness of copper foil, dust particles on the inner wall of vias, dust, fingerprints, etc. on the surface of copper foil, and at the same time, roughening the surface of copper foil.

디스미어는 드릴링 시 발생하는 열에 의하여 기판을 구성하고 있는 수지가 녹아 비아의 내벽에 부착되는데, 이것을 제거하는 작업이다. 비아의 내벽에 부착된 녹은 수지는 동도금의 품질을 떨어뜨리는 결정적인 작용을 한다.Desmear melts the resin constituting the substrate by the heat generated during drilling and attaches to the inner wall of the via. Molten resin attached to the inner wall of the via plays a decisive role in degrading the quality of copper plating.

상술한 바와 같이, 제2 분할 비아(220b : 220b1~220b3)를 형성하고 디버링 및 디스미어를 수행한 후, 동박 적층판(210)의 표면(210b)(210c) 및 제2 분할 비아(220b : 220b1~220b3)를 필 도금한다.As described above, after forming the second divided vias 220b: 220b 1 to 220b 3 , performing deburring and desmearing, the surfaces 210b and 210c and the second divided vias 220b of the copper clad laminate 210. : Peel plate 220b 1 ~ 220b 3 ).

상기 필 도금 방식은 도 6에 도시한 바와 같이, 동박 적층판(210)의 표면(210b)(210c) 및 제2 분할 비아(220b : 220b1~220b3) 내부에 무전해 도금층인 분리 도금층(242a) 및 도금층(242b)을 형성한다. 즉, 동박 적층판(210)의 표면(210b)(210c) 및 제2 분할 비아(220b : 220b1~220b3)의 내부에 통전성을 부여하기 위하여 무전해 도금을 실시하여 무전해 도금층(242a)(242b)을 형성한다.As shown in FIG. 6, the peel plating method is a separation plating layer 242a which is an electroless plating layer inside the surfaces 210b and 210c and the second divided vias 220b: 220b 1 to 220b 3 of the copper clad laminate 210. ) And the plating layer 242b. That is, in order to impart electrical conductivity to the surfaces 210b and 210c and the second divided vias 220b (220b 1 to 220b 3 ) of the copper-clad laminate 210, electroless plating is performed to give the electroless plating layer 242a ( 242b).

이때, 무전해 도금 과정은 제2 분할 비아(220b : 220b1~220b3)를 전기 동도금하기 위한 시드(seed)층을 형성하기 위해 진행하는 공정으로서, 무전해 도금 + 전기 동도금으로 이루어질 수 있다.In this case, the electroless plating process is a process of forming a seed layer for electroplating the second divided vias 220b: 220b 1 to 220b 3 , and may be performed by electroless plating + electroplating.

그리고, 무전해 동도금된 동박 적층판(210)의 표면(210b)(210c) 및 제2 분할 비아(220b : 220b1~220b3) 내부를 전해 도금하여 전해 금속층인 충전 도금층(244a)(244b)을 형성함으로써 동박 적층판(210) 전체를 필 도금한다.Then, the surfaces 210b and 210c and the second divided vias 220b (220b 1 to 220b 3 ) of the electroless copper plated copper foil laminate 210 are electroplated to charge the plating layers 244a and 244b which are electrolytic metal layers. By forming, the whole copper foil laminated board 210 is peel-plated.

여기서, 상기 무전해 도금은 시간이 오래 걸리며 공정이 까다로워 신뢰성을 얻을 만큼의 도금층을 적층할 수 없기 때문에 이미 무전해 동도금된 제2 분할 비아(120b : 120b1~120b3)의 내부를 전해 도금을 통해 한번 더 두껍게 도금해준다.Electrolytic plating the inside of: (120b 1 ~ 120b 3 120b ) wherein the electroless plating is the second partition via the already electroless copper plating because it is not possible to laminate the plated layer as obtained reliability demanding the process takes a long time Plated thicker once more.

상기와 같은 공정은 후에 회로를 형성하기 위해 기판의 양면에 도금이 완성된 후 회로가 남아야 하는 부분 즉, 회로 패턴 부분에만 선택적으로 에칭 레지스트(도금 레지스트와 동일한 재질)를 도포하고, 에칭 공정을 진행한 후, 에칭 레지스트를 제거하면 회로를 형성할 수 있다.In the above process, in order to form a circuit later, after the plating is completed on both surfaces of the substrate, the etching resist (the same material as the plating resist) is selectively applied only to the portion where the circuit should remain, that is, the circuit pattern portion, and the etching process is performed. After that, the etching resist can be removed to form a circuit.

이때, 에칭 또는 도금 레지스트를 선택적으로 도포하는 방법은 에칭 또는 도금 레지스트를 전체적으로 도포한 후 노광 및 현상 공정을 통해서 선택적으로 에칭을 하거나 선택적으로 도금 레지스트를 남김으로써 수행될 수 있다.In this case, the method of selectively applying the etching or plating resist may be performed by applying the etching or plating resist as a whole and then selectively etching or selectively leaving the plating resist through an exposure and developing process.

또한, 회로를 형성하는 다른 방법으로는 전해 도금을 수행하기 전에 도금이 되지 않아야 할 부분에만 선택적으로 도금 레지스트를 도포하면, 전해 도금층이 회로 모양으로 형성되기 때문에 회로를 형성할 수 있다.In another method of forming a circuit, if the plating resist is selectively applied only to a portion that should not be plated before performing electroplating, the circuit can be formed because the electroplating layer is formed in a circuit shape.

이외에 다양한 방법을 사용하여 회로를 형성할 수 있다.In addition, various methods may be used to form the circuit.

지금까지 상술한 바를 정리하면, 사이즈가 큰 비아홀을 필 도금하기 위해서는 도금의 두께가 두꺼워지고, 패턴을 형성하기 위해 에칭량이 늘어나므로 미세 패턴을 적용하기 어렵거나 불필요한 두께를 제거하기 위해 에칭 또는 연마 등의 방법으로 일정 두께를 제거해야 하는 문제점이 있었다. 또한, 사이즈가 큰 비아홀의 경우 표면에 오목한 부분인 딤플이 크게 형성되어 도금으로는 완전하게 도금할 수 없었다.In summary, the thickness of the plating is increased to fill the large via hole, and the etching amount is increased to form a pattern, so it is difficult to apply a fine pattern or to remove unnecessary thickness. There was a problem to remove a certain thickness in the way. In addition, in the case of a large via hole, a dimple, which is a concave portion, was formed large on the surface, so that plating could not be completely performed by plating.

이를 해결하기 위해 본 발명의 일실시예에서는 사이즈가 큰 비아홀을 복수 개의 분할 비아로 가상으로 분할한 후, 분할 비아의 일부를 드릴 등과 같은 방법으로 가공하여 가공된 공간만 금속 페이스트로 충전한다. 이후, 베이스 기판의 반대면에서 분할 비아의 나머지를 드릴 등과 같은 방법으로 가공한 후, 필 도금함으로써 비아홀 내부를 딤플없이 효과적으로 충전할 수 있게 되는 것이다.In order to solve this problem, in one embodiment of the present invention, a via hole is virtually divided into a plurality of divided vias, and a part of the divided vias are processed by a method such as a drill to fill only the processed space with a metal paste. Subsequently, after the remainder of the divided vias are processed on the opposite side of the base substrate by a method such as a drill, the inside of the via holes can be effectively filled without dimples by peel plating.

본 발명은 이상에서 살펴본 바와 같이 바람직한 실시예를 들어 도시하고 설명하였으나, 상기한 실시예에 한정되지 아니하며 본 발명의 정신을 벗어나지 않는 범위 내에서 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변경과 수정이 가능할 것이다.
While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is clearly understood that the same is by way of illustration and example only and is not to be taken by way of limitation, Various changes and modifications will be possible.

210. 베이스 기판 220. 비아홀
220a. 제1 분할 비아 220b. 제2 분할 비아
230. 금속 페이스트층 240. 필 도금층
242a. 분리 도금층 244a, 244b. 충전 도금층
242b. 도금층
210. Base substrate 220. Via hole
220a. First Split Via 220b. 2nd split via
230. Metal paste layer 240. Peel plating layer
242a. Separation plating layer 244a, 244b. Fill plating layer
242b. Plating layer

Claims (8)

비아홀이 형성된 베이스 기판;
상기 비아홀을 분할하여 형성된 제1 및 제2 분할 비아를 포함하고,
상기 제1 분할 비아에는 금속 페이스트층이 개재되고,
상기 제2 분할 비아에는 필 도금층이 개재된 인쇄회로기판.
A base substrate on which via holes are formed;
First and second divided vias formed by dividing the via holes;
The first divided via is interposed with a metal paste layer,
A printed circuit board having a fill plating layer interposed therebetween.
제 1 항에 있어서,
상기 제1 및 제2 분할 비아는,
상기 비아홀 내부에서 교대로 배치된 인쇄회로기판.
The method of claim 1,
The first and second divided vias,
Printed circuit boards are arranged alternately in the via hole.
제 1 항에 있어서,
상기 필 도금층은,
상기 제2 분할 비아의 내부에 충전되는 충전 도금층;
상기 제1 및 제2 분할 비아의 사이에 개재되어 상기 제1 및 제2 분할 비아를 분리시키는 분리 도금층을 포함하는 인쇄회로기판.
The method of claim 1,
The peel plating layer,
A fill plating layer filled in the second divided via;
And a separation plating layer interposed between the first and second divided vias to separate the first and second divided vias.
제 3 항에 있어서,
상기 충전 도금층은,
전해 도금층이고,
상기 분리 도금층은,
무전해 도금층인 인쇄회로기판.
The method of claim 3, wherein
The filling plating layer,
An electrolytic plating layer,
The separation plating layer,
Printed circuit board with an electroless plating layer.
제 3 항에 있어서,
상기 분리 도금층은,
톱니 형상으로 개재된 인쇄회로기판.
The method of claim 3, wherein
The separation plating layer,
Printed circuit board with tooth shape.
베이스 기판에 형성하고자 하는 비아홀을 소정의 개수로 분할하는 분할단계;
상기 분할된 비아홀의 일부를 1차 가공하여 제1 분할 비아를 형성하는 제1 비아 형성단계;
상기 형성된 제1 분할 비아를 금속 페이스트로 충전하는 제1 충전 단계;
상기 분할된 비아홀의 나머지를 2차 가공하여 제2 분할 비아를 형성하는 제2 비아 형성단계;
상기 형성된 제2 분할 비아를 필 도금하여 상기 비아홀을 충전하는 제2 충전단계를 포함하는 인쇄회로기판의 비아홀 충전방법.
A dividing step of dividing the via holes to be formed in the base substrate by a predetermined number;
Forming a first via by first processing a part of the divided via hole to form a first via;
A first filling step of filling the formed first divided vias with a metal paste;
A second via forming step of second processing the remainder of the divided via hole to form a second divided via;
And a second filling step of filling the formed second divided via to fill the via hole.
제 1 항에 있어서,
상기 제2 충전단계는,
상기 형성된 제2 분할 비아에 무전해 도금층을 형성하는 무전해 도금층 형성단계를 포함하는 인쇄회로기판의 비아홀 충전방법.
The method of claim 1,
The second charging step,
And a process of forming an electroless plating layer on the formed second divided vias.
제 7 항에 있어서,
상기 제2 충전단계는,
상기 무전해 도금층 형성단계 후, 상기 무전해 도금층이 형성된 상기 제2 분할 비아에 전해 도금층을 형성하는 전해 도금층 형성단계를 포함하는 인쇄회로기판의 비아홀 충전방법.
The method of claim 7, wherein
The second charging step,
After the electroless plating layer forming step, forming an electroplating layer on the second divided via in which the electroless plating layer is formed.
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