KR20120032411A - 스크라이빙 휠 - Google Patents

Abstract

본 발명의 과제는 취성 재료 기판을 절단할 때에, 스크라이브 개시 시의 걸림이 좋고, 교점 스킵을 방지하여, 취성 재료의 분단면의 품질이 양호한 스크라이빙 휠을 제공하는 것이다.
스크라이빙 휠(10)의 원주 능선(11)을 따라서 제1 군의 홈(21-1 내지 21-5)을 형성하고, 각각의 홈에 인접하여 제2 군의 홈(22-1 내지 22-5)을 형성한다. 제1 군의 각 홈과 인접하는 제2 군의 홈의 간격을, 취성 재료 기판에 압접했을 때에 2개의 홈이 동시에 접하는 일이 없는 간격으로 한다. 이에 의해, 걸림 성능이 좋고, 단부면 강도를 유지한 스크라이빙 휠을 실현할 수 있다.

Description

스크라이빙 휠{SCRIBING WHEEL}

본 발명은 취성 재료 기판에 압접시킨 상태로 구름 이동시켜 취성 재료 기판을 스크라이브하기 위한 스크라이빙 휠에 관한 것이다.

글래스 기판이나 플랫 패널 디스플레이 등의 취성 재료 기판의 제조 시에는 글래스 기판을 원하는 라인으로 스크라이브한 후 브레이크한다. 스크라이브 공정에서는 스크라이브 장치 상에 취성 재료 기판을 적재하고, 스크라이빙 휠을 사용하여 스크라이브하여 스크라이브 라인을 형성한다.

여기서 글래스 기판을 스크라이브할 때에, 글래스 기판에 발생하는 스크라이브 라인의 형성 과정에 대해 설명한다. 스크라이빙 휠에 소정의 압력을 가하여 구름 이동시킨 경우에, 스크라이빙 휠에 압력이 가해진 라인을 따라서 리브 마크라고 불리는 단속적인 파괴가 발생하고 있으면, 그 하방에는 소정의 깊이까지의 연속 파괴가 발생하고 있는 것을 확인할 수 있다. 이와 같은 상태에서 스크라이빙을 종료하면, 글래스 기판에 스크라이브 라인을 따라서 개방되도록 압력을 가함으로써 용이하게 브레이크할 수 있다. 따라서, 리브 마크의 유무에 의해 스크라이브 라인의 불량을 판단할 수 있다.

또한, 종래부터 사용되고 있는 스크라이빙 휠은 회전축을 공유하는 2개의 원추대의 저부가 교차하여 원주 능선이 형성된 원판 형상의 부재로, 이것을 제1 날끝이라고 한다. 이 스크라이빙 휠을 글래스 기판에 압접하여 구름 이동시킴으로써 스크라이브 라인을 형성할 수 있다.

특허 문헌 1에는 글래스 기판의 표면으로부터 수직 방향으로 판 두께에 대해 상대적으로 깊은 수직 크랙을 형성할 수 있는 스크라이빙 휠이 제안되어 있다. 이 스크라이빙 휠은 전술한 종래의 스크라이빙 휠의 원주 능선을 따라서 원주 방향으로, 예를 들어 200 내지 300 정도의 다수의 홈 및 돌기를 교대로 형성한 것이다. 돌기는 원주 능선을 소정의 피치 및 깊이로 절결함으로써 형성되어 있다. 이하, 이 스크라이빙 휠을 제2 날끝이라고 한다.

또한, 특허 문헌 1과 동일한 스크라이빙 휠이며, 홈의 수를 대폭으로 적게, 예를 들어 홈의 수를 5개로 하고, 원주에 등분으로 배치한 스크라이빙 휠도 개발되어 있다. 이하, 이 스크라이빙 휠을 제3 날끝이라고 한다.

스크라이브 장치를 사용하여 글래스 기판을 작은 기판으로 분단하는 경우, 글래스 기판에 평행하게 다수의 스크라이브 라인을 형성하고, 또한 이들 스크라이브 라인과 교차시켜 격자 형상으로 스크라이브 라인을 형성하는, 소위 크로스 스크라이브가 행해진다. 크로스 스크라이브에서는, 예를 들어 도 1에 도시한 바와 같이, 스크라이빙 휠을 평행하게 통과시켜 스크라이브 라인(L1 내지 L5)을 형성하고, 그 후 테이블을 90° 회전시켜 스크라이브 라인(L6 내지 L10)을 형성한다.

취성 재료 기판을 스크라이브하는 스크라이브 방법 중 하나로, 스크라이브 라인(L6 내지 L10)과 같이 취성 재료 기판의 외측으로부터 외측까지를 스크라이브하는 스크라이브 방법이 있다. 이는, 스크라이빙 휠을 취성 재료 기판의 단부보다 약간 외측의 포인트에 있어서, 스크라이빙 휠의 최하단부를 취성 재료 기판의 상면보다도 약간 하방까지 강하시킨다. 그리고, 스크라이빙 휠에 대해 소정의 압력을 가한 상태로 수평 이동시킴으로써 취성 재료 기판의 한쪽의 테두리로부터 스크라이브를 개시하여, 다른 쪽의 테두리까지 스크라이브하는 것이다. 이를 이하, 외절단 스크라이브라고 한다. 외절단 스크라이브(outer cut scribing)의 경우에는 스크라이브 라인이 기판의 양단부에 도달하고 있으므로, 스크라이브 후의 브레이크가 용이하지만, 스크라이브의 개시 부분에서 기판에 손상이 발생하기 쉽다고 하는 결점이 있다.

또한, 스크라이브 라인(L1 내지 L5)과 같이, 취성 재료 기판의 내측으로부터 내측까지를 스크라이브하여 외측에는 스크라이브하지 않는 스크라이브 방법이 있다. 이는 취성 재료 기판의 테두리보다 약간 내측에 스크라이빙 휠을 강하시키고, 그리고 스크라이빙 휠에 하향의 소정 압력을 가한 상태로 도면 중 우측 방향으로 수평 이동시킴으로써, 취성 재료 기판의 내측으로부터 스크라이브를 개시하여, 타단부의 내측까지 스크라이브하는 것이다. 이를 이하, 내절단 스크라이브(inner cut scribing)라고 한다.

일본 특허 제3,074,143호 공보

그런데, 종래부터 제1 날끝을 사용하여 스크라이브하는 경우에, 휠의 구름 이동 직후에는 날끝이 기판 표면에서 미끄러져 스크라이브 라인이 형성되지 않는 현상이 문제시되고 있고, 이와 같은 상태는 「걸림이 나쁜」 상태라고 불리고 있었다. 한편, 제2 날끝에 따르면 「걸림이 나쁜」 상태를 회피할 수 있지만, 제1 날끝을 사용하여 스크라이브한 경우와 비교하여, 분단 후의 글래스의 단부면 강도가 낮아진다고 하는 문제가 있어, 글래스의 용도에 따라서는 분단 후의 단부면 처리를 필요로 하는 경우도 있었다. 특히 최근에는, 글래스의 용도의 확대, 글래스의 박판화, 제품 제조의 간소화의 요구의 점으로부터, 「걸림이 나쁜」 상태를 회피하면서, 제1 날끝을 사용하여 스크라이브한 경우와 동등한 단부면 강도가 얻어지는 기술이 요구되고 있다.

걸림이 나쁜 경우에는, 외절단 스크라이브는 가능해도 내절단 스크라이브를 할 수 없게 되는 경우가 많다. 또한, 크로스 스크라이브하면, 교점 부근에서 스크라이브 라인이 연속되지 않는, 소위 「교점 스킵(crosspoint skip)」이 발생하는 문제가 있었다. 예를 들어, 도 1에 있어서, 스크라이브 라인(L1 내지 L5)을 형성한 후, 테이블을 회전시켜 스크라이브 라인(L6 내지 L10)을 형성하면, 스크라이브 라인의 교점에서 리브 마크가 종료되어 버려, 부분적으로 스크라이브 라인이 형성되지 않는 교점 스킵 현상이 발생하는 경우가 있다.

이 원인은 이하와 같이 생각되고 있다. 즉, 스크라이브 라인을 처음에 형성했을 때, 스크라이브 라인을 사이에 두고 양측의 글래스 표면 부근에 내부 응력이 발생한다. 계속해서, 이미 형성된 스크라이브 라인을 스크라이빙 휠이 직각으로 통과할 때, 그 부근에 잠재하는 내부 응력에 의해 스크라이빙 휠로부터 글래스 기판면에 수직 방향으로 가해지는 힘이 줄어들어 버린다. 그로 인해, 교점 부근에서 나중에 형성되어야 할 스크라이브 라인이 형성되지 않는 것이라고 생각된다.

교점 스킵이 글래스 기판에 발생하면, 글래스 기판은 예정되어 있던 스크라이브 라인대로 분리되지 않으므로 불량품이 발생하여, 생산 효율을 저하시키는 등의 문제가 있었다.

또한, 휴대 전화 등에 사용되는 글래스 기판에서는, 경량화를 위해 두께가 얇게 되어 있다. 두께가 얇은 기판에 대해 외절단 스크라이브를 행하면, 스크라이빙 휠이 기판에 올라탈 때에 기판의 단부면 엣지에 부여하는 충격에 의해 엣지에 절결이 발생하거나, 기판 자신이 깨져 버리므로 제품의 수율이 저하된다.

따라서, 얇은 글래스 기판에서는 엣지에 절결부가 발생하지 않도록, 내절단 스크라이브가 요구된다. 그러나, 종래의 제1 날끝으로는, 걸림이 나쁘기 때문에 내절단으로는 스크라이브 라인을 형성할 수 없는 경우도 있었다.

한편, 특허 문헌 1에 기재된 제2 날끝은 「걸림이 좋은」 날끝으로, 스크라이빙 휠의 구름 이동 직후로부터 스크라이브 라인을 형성할 수 있다. 따라서, 제2 날끝을 사용함으로써, 내절단 스크라이브를 할 수 있고, 크로스 스크라이브에 있어서도 교점 스킵을 방지할 수 있다.

플랫 패널 디스플레이 등에서 요구되는 글래스 기판의 단부면 강도에 대해서는, 제2 날끝은 제1 날끝보다 단부면 강도가 뒤떨어진다고 하는 문제가 있었다. 단부면 강도는 스크라이빙 휠의 주위에 형성되는 홈의 수에 의존하고 있어, 홈의 수가 많아지면 강도가 저하된다. 따라서, 예를 들어 홈의 수를 300으로 하면, 단부면 강도가 대폭으로 저하되어 버린다.

또한, 제3 날끝을 사용하여 스크라이브하면, 단부면 강도는 종래의 제1 날끝과 대략 동등한 결과가 얻어지지만, 걸림 성능이 제2 날끝보다 뒤떨어진다고 하는 결점이 있다.

따라서, 취성 재료 기판의 종류에 관계없이 걸림이 좋고, 교점 스킵이 발생하기 어려운 날끝이며 단부면 강도가 제1 날끝과 동등 정도인 품질을 확보할 수 있는 날끝이 요구되고 있다.

본 발명은 이와 같은 종래의 문제점을 감안하여 이루어진 것으로, 취성 재료 기판을 절단할 때에, 스크라이브 개시 시의 걸림이 좋고, 교점 스킵을 방지하여, 취성 재료의 분단면의 품질(단부면 강도)이 양호한 스크라이브 성능을 발휘하는 스크라이빙 휠을 제공하는 것을 목적으로 한다.

이 과제를 해결하기 위해, 본 발명의 스크라이빙 휠은, 회전축을 공유하는 2개의 원추대의 저부가 교차하여 원추 능선이 형성된 외주연부를 갖고, 취성 재료 기판을 스크라이브하는 원판 형상의 스크라이빙 휠이며, 상기 원주 능선을 따라서 복수의 홈이 형성되어 있고, 각 홈은 스크라이빙 휠을 사용하여 스크라이브할 때에 취성 재료 기판에 동시에 접하는 일이 없는 간격으로, 또한 100㎛ 이상의 간격으로 형성되어 있고, 인접하는 2개의 홈의 간격이 100 내지 400㎛인 부분이 적어도 1개소 존재하고, 인접하는 2개의 홈이 100 내지 400㎛인 1조의 홈이 2개소 이상 존재하는 경우에는 각 조의 홈의 간격은 10000㎛ 이내인 것이다. 또한, 상기 원주 능선을 따라서 형성된 소정수의 제1 군의 홈과, 상기 제1 군의 각각의 홈으로부터 동일 회전 방향으로 인접하는 위치에 각각 형성된 제2 군의 홈을 갖고, 상기 제1 군의 홈에 인접하는 제2 군의 각각의 홈은 스크라이빙 휠을 사용하여 스크라이브할 때에 취성 재료 기판에 제1 군의 홈과 동시에 접하는 일이 없는 간격으로, 또한 한쪽의 제1 군의 홈과의 간격은 100 내지 400㎛로 설정되고, 다른 쪽의 제1 군의 홈과의 간격은 800 내지 10000㎛로 설정된 것이다.

여기서 상기 제1 군의 홈의 홈수 및 상기 제2 군의 홈의 홈수는 각각 5 이내로 해도 좋다.

여기서, 상기 제1 군, 제2 군의 홈의 수는 각각 5이고, 각 제1 군의 홈과, 당해 홈에 가장 가깝게 인접하는 제2 군의 홈의 피치를 100 내지 400㎛로 해도 좋다.

이와 같은 특징을 갖는 본 발명에 따르면, 제1 날끝과 동등 정도의 단부면 강도를 얻을 수 있고, 제2 날끝과 동등한 걸림 성능을 얻을 수 있다. 따라서, 얇은 취성 재료 기판이라도 내절단 스크라이브를 할 수 있고, 또한 크로스 스크라이브를 하는 경우에도 교점 스킵이 발생하는 일이 없어, 적절하게 사용할 수 있다.

도 1은 종래의 스크라이빙 휠을 사용하여 크로스 스크라이브를 하는 상태를 도시하는 평면도.
도 2는 본 발명의 실시 형태에 의한 스크라이빙 휠의 정면도.
도 3은 본 실시 형태에 의한 스크라이브 장치의 측면도.
도 4는 본 실시 형태에 의한 스크라이빙 휠의 정면의 부분 확대도.

본 발명에 있어서 가공의 대상이 되는 취성 재료 기판으로서는, 형태, 재질, 용도 및 크기에 대해 특별히 한정되는 것은 아니고, 단판으로 이루어지는 기판 또는 2매 이상의 단판을 접합한 접합 기판이라도 좋고, 이들 표면 또는 내부에 박막 혹은 반도체 재료를 부착시키거나, 포함시킨 것이라도 좋다. 또한, 취성 재료 기판의 재질로서는, 글래스, 세라믹스, 반도체(실리콘 등), 사파이어 등을 들 수 있고, 그 용도로서는 액정 표시 패널, 플라즈마 디스플레이 패널, 유기 EL 디스플레이 패널, 표면 전계 디스플레이(SED)용 패널 등의 전계 방출 디스플레이(FED)용 패널 등의 플랫 패널 디스플레이용 패널을 들 수 있다.

이하, 본 발명의 실시 형태를 도면에 기초하여 상세하게 설명한다. 도 2는 본 실시 형태의 스크라이빙 휠(10)의 회전축으로부터 본 정면도이고, 도 3은 그 측면도이다. 본 실시 형태의 스크라이빙 휠(10)은, 예를 들어 종래의 스크라이브 장치의 스크라이브 헤드에 장착하여 사용된다.

도 2 및 도 3에 도시한 바와 같이, 스크라이빙 휠(10)은 회전축(12)을 공유하는 2개의 원추대(13)의 저부가 교차하여 원주 능선(11)이 형성된 외주연부(14)와, 원주 능선(11)을 따라서 원주 방향으로 형성된 복수의 홈을 갖는 원판 형상의 부재이다. 홈의 상세에 대해서는 후술한다. 스크라이빙 휠(10)은 스크라이빙 휠(10)을 축지지하기 위해 핀을 관통시키는 축 구멍(15)을 갖고 있다. 스크라이빙 휠(10)은 원판의 외주연부(14)에 축심으로부터 반경 방향을 향해 연삭 가공을 실시함으로써 원주 능선(11)을 형성할 수 있고, 수렴 각도를 α로 한다. 스크라이빙 휠(10)의 재질은 초경합금, 소결 다이아몬드, 세라믹스 혹은 서멧이 바람직하다.

또한, 본 실시 형태에 있어서는, 전술한 제3 날끝과 마찬가지로, 전체 둘레를 5분할하여 등간격으로 홈(21-1, 21-2, 21-3, 21-4, 21-5)을 형성한다. 이하에서는 이들 홈을 제1 군의 홈(21)으로 한다. 그리고 제1 군의 홈에 대해 동일한 회전 방향으로 인접하여, 각각 1개의 홈(22-1, 22-2, 22-3, 22-4 및 22-5)을 형성한다. 이들 홈을 제2 군의 홈(22)이라고 한다. 여기서, 제1 군과 제2 군의 인접하는 2개의 홈은 각각 1조의 홈을 구성한다. 즉, 홈[21-i와 22-i(i＝1 내지 5)]은 각각 1조의 홈으로 한다.

도 4는 홈(21-1과 22-1)으로 이루어지는 1조의 홈을 도시하는 부분 확대도이다. 이들 2개의 홈의 간격은, 한쪽의 홈이 취성 재료 기판에 접했을 때에, 다른 쪽의 홈은, 동시에는 취성 재료 기판에 접하는 일이 없는 간격 중에서 최소의 피치(P)로 하는 것이 좋다. 제1 군과 제2 군에 속하는 다른 인접하는 2개의 홈의 간격도 동일하게 한다. 즉, 스크라이빙 휠을 취성 재료 기판에 압접하면, 그 원주 능선(11)의 일부분이 기판에 파고들어가는 상태로 되지만, 이때 스크라이빙 휠(10)의 인접하는 2개의 홈, 예를 들어 21-1과 22-1이 동시에 접하는 일이 없는 간격으로 한다. 또한 이들 홈(21, 22)은 평탄한 원주 능선(11)으로부터 대략 V자 형상의 홈을 깊이(h)로 절결함으로써 형성되어 있다. 이렇게 하면 스크라이브할 때에 확실하게 균열을 계속시켜, 제1 날끝의 글래스 파괴 강도를 유지하면서 걸림 성능을 향상시킨 스크라이빙 휠을 실현할 수 있다. 여기서, 제1 군의 홈과 인접하는 제2 군의 홈의 간격이 작고, 동시에 취성 재료 기판에 접하는 간격이면, 「걸림이 나쁜」 상태를 회피하기 위한 효과가 낮고, 또한 분단 후의 취성 재료 기판의 단부면 강도가 저하되는 경향이 있다. 홈에 의한 「걸림이 나쁜」 상태를 회피하는 효과는 홈이 취성 재료 기판에 접촉하기 시작할 때의 작용의 기여가 크다고 생각되는 바, 동시에 접하는 간격이면, 제1 군의 홈이 접하고 있는 동안에 제2 군의 홈이 접하기 시작하게 되어, 제2 군의 홈의 작용이 제1 홈의 작용에 의해 감쇄되게 되어, 「걸림이 나쁜」 상태를 회피하는 효과가 낮아지는 것이라고 생각된다. 또한, 홈의 간격이 짧고, 동시에 접하는 상태에서는 취성 재료 기판의 단부면 강도에 악영향을 미치기 쉬운 것이라고 생각된다. 한편, 제1 군의 홈과 인접하는 제2 군의 홈의 간격이 지나치게 크면, 취성 재료 기판의 단부면 강도의 저하는 억제되지만, 「걸림이 나쁜」 상태를 회피할 수 없게 된다.

여기서, 제1 군의 홈과 제2 군의 홈의 간격의 구체예에 대해 설명한다. 예를 들어, 스크라이빙 휠의 직경을 2㎜φ로 하면, 그 원주 능선(11)의 전체 둘레는 6.28㎜로 된다. 그리고, 스크라이빙 휠을 취성 재료 기판에 압접하고, 2㎛만큼 날끝을 기판에 파고들어가게 하는 것으로 하면, 이 간격은 적어도 126.4㎛로 된다. 이 중 피치(P)는 126.4㎛ 내지 400㎛가 바람직하다. 또한, 인접하는 2조의 홈의 간격은 400 내지 10000㎛로 하고, 바람직하게는 800 내지 10000㎛로 한다. 예를 들어, 도 1에 있어서 홈(22-1과 21-2)의 간격은 800 내지 10000㎛로 한다.

여기서, 제1 홈과 제2 홈의 간격의 다른 구체예에 대해 설명한다. 예를 들어, 스크라이빙 휠의 직경을 3㎜φ로 하면, 그 원주 능선(11)의 전체 둘레는 9.42㎜로 된다. 그리고 스크라이빙 휠을 취성 재료 기판에 압접하고, 2㎛만큼 날끝을 기판에 파고들어가게 하는 것으로 하면, 이 간격은 적어도 135.6㎛로 된다. 이 중 피치(P)는 135.6㎛ 내지 400㎛가 바람직하다.

스크라이빙 휠은, 예를 들어 휠의 외경이 1 내지 20㎜, 홈(21, 22)의 깊이가 0.5 내지 5㎛이고, 원주 능선(11)의 수렴 각도가 85 내지 140°이다. 보다 바람직한 스크라이빙 휠은, 휠의 외경이 1 내지 5㎜, 홈(21, 22)의 깊이가 1 내지 3㎛이고, 원주 능선(11)의 수렴 각도가 100 내지 130°이다. 일반적으로, 절결의 깊이가 깊은 스크라이빙 휠을 사용함으로써, 취성 재료에 대한 걸림(특히, 크로스 스크라이브 시의 교점 스킵이 적음)이 양호해지는 경향이 있고, 홈이 얕은 스크라이빙 휠을 사용함으로써, 취성 재료의 분단면의 품질(단부면 강도)이 향상되는 경향이 있다. 따라서, 이 밸런스를 유지하도록 홈의 깊이를 결정한다. 구체적으로는, 홈의 깊이는, 예를 들어 1 내지 3㎛인 것이 바람직하다.

상기한 실시 형태에서는, 스크라이빙 휠을 축지지하기 위해 축 구멍(15)을 갖는 스크라이빙 휠(10)을 예시하였지만, 핀이 일체적으로 형성된 일체형의 스크라이빙 휠이라도 좋다. 이렇게 하면 회전 정밀도가 높고 미끄럼 이동 저항도 적게 할 수 있으므로, 안정된 회전이 얻어져, 날끝으로서의 수명이 길다.

또한, 본 실시 형태에서는 제1 군의 홈의 수 및 제2 군의 홈의 수를 각각 5로 하고 있지만, 이 수는 스크라이빙 휠의 직경에 따라서 결정할 수 있다. 단부면 강도를 제1 날끝과 동등하게 유지하기 위해서는 홈의 수는 적은 쪽이 바람직하지만, 한편으로 스크라이브를 개시할 때에 스크라이빙 휠을 글래스 기판에 압접한 위치와 실제로 스크라이브 라인이 형성되는 위치의 허용 오차를 적게 하기 위해서는, 많은 쪽이 바람직하다. 따라서, 이들의 밸런스를 취하여 홈수는 결정되지만, 직경 3㎜φ 이하에서는 홈수는 5 이하가 바람직하다.

[산업상의 이용 가능성]

본 발명에 의한 스크라이빙 휠은, 스크라이브 장치의 스크라이브 헤드의 선단에 사용하여 취성 재료 기판을 스크라이브하기 위해 사용할 수 있다. 또한, 본 발명에 의한 스크라이빙 휠은 무늬의 끝에 설치한 홀더에 회전 가능하게 피봇한 수동 스크라이브 공구에도 사용할 수 있다.

10 : 스크라이빙 휠
11 : 원주 능선
12 : 회전축
13 : 원추대
14 : 외주연부
15 : 축 구멍
21-1, 21-2, 21-3, 21-4, 21-5 : 제1 군의 홈
22-1, 22-2, 22-3, 22-4, 22-5 : 제2 군의 홈

Claims (4)

1. 회전축을 공유하는 2개의 원추대의 저부가 교차하여 원추 능선이 형성된 외주연부를 갖고, 취성 재료 기판을 스크라이브하는 원판 형상의 스크라이빙 휠이며,
   상기 원주 능선을 따라서 복수의 홈이 형성되어 있고,
   각 홈은 스크라이빙 휠을 사용하여 스크라이브할 때에 취성 재료 기판에 동시에 접하는 일이 없는 간격으로, 또한 100㎛ 이상의 간격으로 형성되어 있고,
   인접하는 2개의 홈의 간격이 100 내지 400㎛의 부분이 적어도 1개소 존재하고, 인접하는 2개의 홈이 100 내지 400㎛인 1조의 홈이 2개소 이상 존재하는 경우에는 각 조의 홈의 간격은 10000㎛ 이내인, 스크라이빙 휠.
2. 상기 원주 능선을 따라서 형성된 소정수의 제1 군의 홈과,
   상기 제1 군의 각각의 홈으로부터 동일 회전 방향으로 인접하는 위치에 각각 형성된 제2 군의 홈을 갖고,
   상기 제1 군의 홈에 인접하는 제2 군의 각각의 홈은 스크라이빙 휠을 사용하여 스크라이브할 때에 취성 재료 기판에 제1 군의 홈과 동시에 접하는 일이 없는 간격이고, 또한 한쪽의 제1 군의 홈과의 간격은 100 내지 400㎛로 설정되고, 다른 쪽의 제1 군의 홈과의 간격은 800 내지 10000㎛로 설정된, 스크라이빙 휠.
3. 제2항에 있어서, 상기 제1 군의 홈의 홈수 및 상기 제2 군의 홈의 홈수는 각각 5 이내인, 스크라이빙 휠.
4. 제3항에 있어서, 상기 제1 군, 제2 군의 홈의 수는 각각 5이고, 각 제1 군의 홈과, 당해 홈에 가장 가깝게 인접하는 제2 군의 홈의 피치를 100 내지 400㎛로 한, 스크라이빙 휠.

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