KR20120032085A - Transferring device comprising aligning means and transferring method using the same - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: A material transfer apparatus which includes an alignment member and a material transfer method using the same are provided to reduce maintenance costs by simplifying a device structure. CONSTITUTION: A movable block(131) is combined with a rail unit in a second direction. A transfer member transfers a material received from a conveyer unit to a leading end. One end of an alignment member(137) is combined with the movable block in order to be extended to the upper part of the conveyer unit. A plurality of alignment protrusions(138) projected to a lower direction is formed on the alignment member. A lifting member lifts the alignment member.

Description

정렬부재를 구비한 자재 이송 장치 및 이를 이용한 자재 이송 방법{Transferring device comprising aligning means and transferring method using the same} Material transfer device with alignment member and material transfer method using same {Transferring device comprising aligning means and transferring method using the same}

본 발명은 자동화 장비에서 자재를 이송하는 장치에 관한 것으로서 구체적으로는 정렬수단을 구비한 자재 이송 장치와 이를 이용한 자재 이송 방법에 관한 것이다. The present invention relates to an apparatus for transferring materials in automated equipment, and more particularly, to a material conveying apparatus having an alignment means and a material conveying method using the same.

일반적으로 반도체패키지, 카메라모듈 등의 전자부품을 제조하는 장비는 각종 자재를 자동화된 방식으로 이송하면서 공정을 진행하며 자재의 이송방식은 자재의 종류에 따라 매우 다양하다.In general, the equipment for manufacturing electronic components such as semiconductor packages, camera modules, etc. proceeds while transferring various materials in an automated manner, and the method of transferring materials varies greatly depending on the type of material.

예를 들어 다수의 공정영역이 형성되어 있는 스트립 형태의 자재는 다수의 자재가 적재된 매거진으로부터 하나씩 꺼내어져 장비의 내부로 투입되고, 각 공정영역에 대한 작업을 마친 후에는 언로딩 영역으로 이송되어 빈 매거진에 적재되거나 컨베이어 등을 따라 다음 공정장치로 이송된다.For example, strip-shaped materials in which a plurality of process areas are formed are taken out from a magazine loaded with a plurality of materials one by one into the equipment, and after the work for each process area is finished, they are transferred to the unloading area. It is loaded in an empty magazine or transported to a next process unit along a conveyor.

도 1은 자재 이송 장치의 동작을 예시한 것으로서 공정을 마친 자재(10)를 매거진(40)에 적재하는 과정을 나타낸 도면이다. 도 1의 자재 이송 장치는 공정장비의 언로딩영역과 연결되며 x축 방향으로 자재를 이송하는 컨베이어유닛(20), 컨베이어유닛(20)과 매거진(50)의 사이에 y축 방향으로 설치된 레일유닛(40), 상기 레일유닛(40)에 y축 방향으로 이동가능하게 장착된 이송유닛(30)을 포함한다.1 is a view illustrating a process of loading the finished material 10 into the magazine 40 as an example of the operation of the material conveying apparatus. The material conveying apparatus of FIG. 1 is connected to the unloading area of the process equipment, and the rail unit is installed in the y-axis direction between the conveyor unit 20, the conveyor unit 20, and the magazine 50 to convey the material in the x-axis direction. 40, a transfer unit 30 mounted to the rail unit 40 to be movable in the y-axis direction.

컨베이어유닛(20)은 다수의 컨베이어롤러(21)와 x축 방향으로 배치된 다수의 가이드플레이트(23)를 포함하며, 가이드플레이트(23)의 양측 공간은 자재(10)가 대기하는 대기영역(25)이다.The conveyor unit 20 includes a plurality of conveyor rollers 21 and a plurality of guide plates 23 arranged in the x-axis direction, and spaces on both sides of the guide plate 23 are waiting areas for the material 10 to wait. 25).

이송유닛(30)은 서로 이격된 채 평행하게 설치된 2개의 이송벨트와 벨트구동수단을 구비하며, 컨베이어유닛(20)으로부터 넘겨받은 자재(10)를 이송벨트를 이용하여 매거진(50)으로 투입하는 역할을 한다.
The conveying unit 30 includes two conveying belts and belt driving means installed in parallel with each other, and injects the material 10 received from the conveyor unit 20 into the magazine 50 by using the conveying belt. Play a role.

이러한 자재 이송 장치에서 자재(10)가 이송되는 과정은 다음과 같다.The process of transferring the material 10 in such a material conveying apparatus is as follows.

먼저 컨베이어유닛(20)을 따라 이송된 자재는 각 가이드플레이트(23)의 양쪽에 정의된 대기영역(25)으로 진입하며, 대기영역(25)의 단부에 돌출된 스토퍼(미도시)에 의해 정지한다. 이어서 이송유닛(30)이 해당 대기영역(25)의 출구측에 위치하면 스토퍼가 하강하고 대기영역(25)에 있던 자재(10)가 이송유닛(30)에 로딩된다. (도 1a 참조)First, the material transferred along the conveyor unit 20 enters the standby area 25 defined on both sides of each guide plate 23, and is stopped by a stopper (not shown) protruding at the end of the standby area 25. do. Subsequently, when the transfer unit 30 is located at the exit side of the waiting area 25, the stopper is lowered, and the material 10 in the waiting area 25 is loaded into the transfer unit 30. (See Figure 1A)

이어서 이송유닛(30)이 레일유닛(40)을 따라 매거진(50)의 입구측으로 이동한 후에 이송벨트를 이용하여 자재(10)를 매거진(50)의 내부로 투입한다. (도 1b, 도 1c 참조)Subsequently, after the transfer unit 30 moves to the inlet side of the magazine 50 along the rail unit 40, the material 10 is introduced into the magazine 50 using the transfer belt. (See FIG. 1B, FIG. 1C)

이러한 이송과정이 원활하게 진행되기 위해서는 자재(10)가 대기영역(25)에 정확히 진입할 수 있어야 한다. 그런데 종래에는 자재(10)가 가이드플레이트(23)의 선단에 걸려서 대기영역(25)으로 진입하지 못하는 경우가 빈번했으며, 이러한 문제를 해결하기 위하여 등록특허 제700972호는 가이드벽(22)의 선단에 센서와 가이드봉을 별도로 설치한 자재 이송 장치를 제안하고 있다.In order for this transfer process to proceed smoothly, the material 10 should be able to accurately enter the waiting area 25. However, in the related art, the material 10 is frequently caught by the tip of the guide plate 23 and thus cannot enter the waiting area 25. To solve such a problem, Patent No. 700972 describes the tip of the guide wall 22. It proposes a material conveying device in which a sensor and a guide rod are separately installed.

그러나 상기 등록특허의 이송장치는 자재의 크기가 달라지면 가이드플레이트(23)의 폭을 그에 맞게 변경해야 하는 불편이 있고, 가이드봉이 있음에도 불구하고 여전히 자재가 대기영역(25)으로 제대로 진입하지 못하는 경우가 발생하는 문제점이 있다. 또한 센서, 가이드봉, 가이드봉 구동수단 등의 추가적인 부품이 필요하므로 장치의 구조가 복잡해지고 비용이 증가하는 문제점이 있다.However, the transfer device of the registered patent is inconvenient to change the width of the guide plate 23 according to the size of the material, there is a case that the material still does not enter the standby area 25 even though there is a guide rod. There is a problem that occurs. In addition, since additional components such as sensors, guide rods, and guide rod driving means are required, the structure of the apparatus is complicated and the cost increases.

본 발명은 이러한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 보다 간단한 구성으로 자재의 걸림을 방지하면서도 대기영역에서 정확히 정렬할 수 있는 자재 이송 장치를 제공하는데 그 목적이 있다. 또한 다양한 크기의 자재에 범용으로 사용할 수 있는 자재 이송 장치를 제공하는데 그 목적이 있다. SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above problem, and an object thereof is to provide a material conveying apparatus which can be accurately aligned in a waiting area while preventing material jamming with a simpler configuration. It is also an object of the present invention to provide a material transfer device that can be used universally for materials of various sizes.

본 발명은 전술한 목적을 달성하기 위하여, 제1방향으로 자재를 이송하는 수단으로서, 상기 제1방향과 직교하는 제2방향으로 배치된 다수의 컨베이어롤러와, 상기 다수의 컨베이어롤러마다 같은 개수로 장착되고 상기 컨베이어롤러보다 큰 직경을 가지는 다수의 가이드롤러를 포함하는 컨베이어유닛; 상기 컨베이어유닛의 선단에 설치된 레일유닛; 상기 레일유닛에 상기 제2방향으로 이동할 수 있게 결합된 이동블록과, 상기 이동블록에 장착되어 상기 컨베이어유닛으로부터 진입한 자재를 선단으로 이송시키는 이송수단과, 일단이 상기 컨베이어유닛의 상부까지 연장되도록 상기 이동블록에 결합되고 하방으로 돌출된 다수의 정렬돌기를 구비하는 정렬부재와, 상기 정렬부재를 승강시키는 승강수단을 구비하는 이송유닛을 포함하는 자재 이송 장치를 제공한다.The present invention, in order to achieve the above object, as a means for transferring the material in the first direction, a plurality of conveyor rollers arranged in a second direction orthogonal to the first direction, the same number of the plurality of conveyor rollers A conveyor unit including a plurality of guide rollers having a diameter greater than that of the conveyor rollers; A rail unit installed at the tip of the conveyor unit; A moving block coupled to the rail unit so as to move in the second direction, a transfer unit mounted on the moving block to transfer the material entering from the conveyor unit to the front end, and one end of which extends to an upper portion of the conveyor unit; Provided is a material conveying apparatus including an alignment member coupled to the moving block and having a plurality of alignment protrusions projecting downward, and a transfer unit having elevating means for elevating the alignment member.

상기 이송유닛의 상기 이송수단은, 상기 이동블록에 고정된 제1프레임; 상기 이동블록에 상기 제2방향으로 이동할 수 있게 결합된 제2프레임; 상기 제1프레임 및 상기 제2프레임의 대향하는 내측의 선단과 후단에 각각 설치된 구동풀리와 종동풀리; 상기 구동풀리를 회전시키는 구동수단; 상기 구동풀리와 상기 종동풀리에 감겨진 이송벨트; 상기 제2프레임에 연결된 간격조절수단을 포함하고, 상기 정렬부재를 승강시키는 상기 승강수단은 상기 제1프레임, 제2프레임 또는 상기 이동블록에 결합되는 것을 특징으로 할 수 있다.The transfer means of the transfer unit, the first frame fixed to the moving block; A second frame coupled to the moving block to be movable in the second direction; Drive pulleys and driven pulleys respectively installed at the front and rear ends of the first and second frames facing each other; Drive means for rotating the drive pulley; A conveying belt wound around the driving pulley and the driven pulley; It includes a gap adjusting means connected to the second frame, the lifting means for elevating the alignment member may be characterized in that coupled to the first frame, the second frame or the moving block.

또한 본 발명은 전술한 자재 이송 장치를 이용하여 자재를 이송하는 방법에 있어서, (a) 상기 제1방향으로 배열된 상기 다수의 가이드롤러의 제1열과 제2열 사이에 형성된 이동경로를 따라 자재가 진입하여 대기영역에 정지하는 단계; (b) 상기 이송유닛을 상기 제2방향을 따라 이동시켜 상기 정렬돌기를 상기 대기영역의 일측의 상부에 위치시키는 단계; (c) 상기 정렬부재를 하강시켜 상기 정렬돌기의 단부를 상기 자재의 상면보다 낮은 곳에 위치시키는 단계; (d) 상기 이송유닛을 상기 제2방향을 따라 이동시켜서 상기 정렬돌기로 상기 자재의 일측단부를 밀어서 정렬하는 단계; (e) 상기 정렬돌기를 상승시키고 상기 자재를 상기 이송유닛으로 이동시키는 단계를 포함하는 자재 이송 방법을 제공한다.In another aspect, the present invention is a method for transferring the material using the material conveying apparatus described above, (a) the material along the movement path formed between the first row and the second row of the plurality of guide rollers arranged in the first direction Entering and stopping in the waiting area; (b) moving the transfer unit along the second direction to position the alignment protrusion above one side of the standby area; (c) lowering the alignment member to position the end of the alignment protrusion below the top surface of the material; (d) moving the transfer unit along the second direction to align one end of the material with the alignment protrusion; (e) providing a material transfer method comprising raising the alignment protrusion and moving the material to the transfer unit.

본 발명에 따르면 자재를 대기영역에 정확히 정렬할 수 있고, 종래처럼 자재의 폭에 따라 가이드플레이트를 이동시켜 설치하거나 폭에 맞추어 여러 가지 가이드플레이트를 사용하지 않고 다양한 크기의 자재에 범용으로 사용할 수 있다. 또한 종래에 비해 기구적 구성이 단순하므로 제작비용 및 설치가 간단하고 유지보수가 필요하지 않아 유지비용이 절감되는 효과가 있다.According to the present invention, the material can be aligned exactly in the waiting area, and the guide plate can be moved and installed according to the width of the material as in the prior art, or can be used universally for materials of various sizes without using various guide plates according to the width. . In addition, since the mechanical configuration is simpler than the conventional, the manufacturing cost and installation is simple, and maintenance is not required, thereby reducing the maintenance cost.

도 1은 종래 자재 이송 장치의 공정순서도
도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 자재 이송 장치의 사시도
도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 자재 이송 장치의 평면도
도 4는 이송유닛을 나타낸 상세 사시도
도 5는 본 발명의 실시 예에 따른 자재 이송 장치의 동작을 순서대로 나타낸 공정단면도
도 6 내지 도 9는 각각 본 발명의 실시 예에 따른 자재 이송 장치의 동작을 순서대로 나타낸 평면도 1 is a process flowchart of a conventional material conveying apparatus
2 is a perspective view of a material conveying apparatus according to an embodiment of the present invention;
3 is a plan view of a material transport apparatus according to an embodiment of the present invention
Figure 4 is a detailed perspective view of the transfer unit
Figure 5 is a process cross-sectional view showing in sequence the operation of the material transport apparatus according to an embodiment of the present invention
6 to 9 are each a plan view showing the operation of the material transport apparatus according to the embodiment of the present invention in order

이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다. 먼저 본 명세서에서는 PCB스트립, 캐리어보트 등 그 종류를 불문하고 이송과정에서 정렬이 필요한 대상물을 '자재'로 통칭하기로 한다. Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. First of all, in the present specification, an object requiring alignment in a transfer process regardless of its type, such as a PCB strip and a carrier boat, will be collectively referred to as 'material'.

도 2 및 도 3은 각각 본 발명의 실시 예에 따른 자재 이송 장치(100)의 사시도 및 평면도이다. 2 and 3 are a perspective view and a plan view of a material transport apparatus 100 according to an embodiment of the present invention, respectively.

본 발명의 자재 이송 장치(100)는 x축 방향으로 자재를 이송하는 컨베이어유닛(110), 컨베이어유닛(110)의 선단에 y축 방향으로 설치된 레일유닛(120), 상기 레일유닛(120)에 이동가능하게 장착된 이송유닛(130), 이송유닛(130)의 선단에 설치된 매거진적재유닛(140)을 포함한다. 본 명세서에서는 편의상 자재가 진출하는 쪽을 '선단', 자재가 진입하는 쪽을 '후단'으로 정의하기로 한다.The material conveying apparatus 100 of the present invention includes a conveyor unit 110 for transferring materials in the x-axis direction, a rail unit 120 installed in the y-axis direction at the tip of the conveyor unit 110, and the rail unit 120. The transfer unit 130 is movably mounted, and includes a magazine loading unit 140 installed at the tip of the transfer unit 130. In the present specification, for convenience, the side into which the material enters will be defined as 'leading', and the side into which the material enters as 'back'.

컨베이어유닛(110)은 y축 방향으로 배치된 다수의 컨베이어롤러(112)와 상기 컨베이어롤러(112)들을 회전가능하게 지지하는 컨베이어프레임(111)을 포함한다. 또한 컨베이어유닛(110)의 선단과 중간부분에는 자재(10)의 이동을 선택적으로 차단하기 위하여 승강가능한 스토퍼(116)가 설치된다.The conveyor unit 110 includes a plurality of conveyor rollers 112 arranged in the y-axis direction and a conveyor frame 111 rotatably supporting the conveyor rollers 112. In addition, the tip and middle portion of the conveyor unit 110 is provided with a liftable stopper 116 to selectively block the movement of the material (10).

컨베이어롤러(112)는 봉(棒) 형상일 수도 있고, 봉 형상의 회전축에 다수의 롤러가 결합된 형태일 수도 있다.Conveyor roller 112 may be a rod-shaped, or may be a form in which a plurality of rollers are coupled to the rod-shaped rotation axis.

각 컨베이어롤러(112)에는 다수의 가이드롤러(114)가 동축상에 소정 간격으로 결합된다. 가이드롤러(114)는 컨베이어롤러(114)보다 큰 직경을 가지므로 가이드롤러(114)는 컨베이어롤러(112)에 비해 돌출된다.A plurality of guide rollers 114 are coaxially coupled to each conveyor roller 112 at predetermined intervals. Since the guide roller 114 has a larger diameter than the conveyor roller 114, the guide roller 114 protrudes compared to the conveyor roller 112.

또한 가이드롤러(114)는 각 컨베이어롤러(112)마다 동일한 위치에 결합되며, 따라서 컨베이어롤러(112)의 상면에 놓여진 자재(10)는 가이드롤러(114)의 사이에서 이동하게 된다. In addition, the guide roller 114 is coupled to the same position for each conveyor roller 112, so that the material 10 placed on the upper surface of the conveyor roller 112 is moved between the guide roller 114.

즉, 본 발명의 컨베이어유닛(110)에서는 x축 방향으로 배열된 가이드롤러(114)의 열과 열 사이의 간격이 자재의 이동경로가 된다. 도면에는 각 컨베이어롤러(112)에 5개의 가이드롤러(114)를 장착함으로써 4개의 이동경로를 형성하였으나 이에 한정되지 않음은 물론이다. That is, in the conveyor unit 110 of the present invention, the distance between the rows of the guide rollers 114 arranged in the x-axis direction is the movement path of the material. In the drawing, four moving paths were formed by mounting five guide rollers 114 on each conveyor roller 112, but the present invention is not limited thereto.

한편 본 발명의 컨베이어유닛(110)에서는 각 컨베이어롤러(112)에 장착된 가이드롤러(114)의 y축 방향의 간격이 자재(10)의 폭보다 충분히 크기 때문에 가이드롤러(114)의 간격을 변경하지 않아도 다양한 크기의 자재(10)가 이동할 수 있다. 또한 종래처럼 대기영역을 구획하는 가이드플레이트를 설치하지 않으므로 자재 걸림 현상이 방지된다. 다만 이동경로의 종단에 정의되는 대기영역에서 자재(10)가 제대로 정렬되지 않는 문제가 있으므로 후술하는 이송유닛(130)의 정렬부재를 이용하여 정위치를 벗어난 자재를 정렬한다.On the other hand, in the conveyor unit 110 of the present invention, since the distance in the y-axis direction of the guide rollers 114 mounted on the conveyor rollers 112 is sufficiently larger than the width of the material 10, the distance between the guide rollers 114 is changed. The material 10 of various sizes can be moved even if not. In addition, as the conventional guide plate partitioning the waiting area is not installed, the material jam phenomenon is prevented. However, since there is a problem that the material 10 is not properly aligned in the standby area defined at the end of the movement path, the material deviates from the correct position by using the alignment member of the transfer unit 130 described later.

레일유닛(120)은 y축 방향으로 설치되고 이송유닛(130)이 이동가능하게 결합된 가이드레일(121)과, 이송유닛(130)을 y축 방향으로 이동시키는 y축 구동부(122)를 포함한다.The rail unit 120 includes a guide rail 121 installed in the y-axis direction and the transfer unit 130 is movably coupled thereto, and a y-axis drive unit 122 for moving the transfer unit 130 in the y-axis direction. do.

이송유닛(130)은 도 4의 상세도에 도시된 바와 같이, y축 방향을 따라 이동할 수 있도록 가이드레일(121)에 결합된 이동블록(131), 이동블록(131)에 x축 방향으로 결합된 제1 및 제2프레임(132a,132b), 제1 및 제2 프레임(132a, 132b)의 대향하는 내측의 선단과 후단에 각각 설치되는 구동풀리(133a)와 종동풀리(133b), 구동풀리(133a)와 종동풀리(133b)에 감겨진 이송벨트(134), 제1프레임(132a)의 일측에 설치되고 구동풀리(133a)에 연결된 회전축(136a)을 회전시키는 벨트구동모터(136)를 포함한다. As shown in the detailed view of FIG. 4, the transfer unit 130 is coupled to the moving block 131 coupled to the guide rail 121 and the moving block 131 in the x-axis direction to move along the y-axis direction. Drive pulleys 133a and driven pulleys 133b and drive pulleys respectively installed at the front and rear ends of the opposed first and second frames 132a and 132b and the first and second frames 132a and 132b, respectively. The belt driving motor 136 installed on one side of the transfer belt 134 and the first frame 132a wound on the 133a and the driven pulley 133b and connected to the driving pulley 133a is rotated. Include.

구동풀리(133a)와 종동풀리(133b)의 각 상부에는 롤러(135)가 설치되며, 자재(10)는 종동풀리(133b)와 롤러(135)의 사이 및 구동풀리(133a)와 롤러(135)의 사이를 통과하여 선단에 위치하는 매거진(142)의 내부로 이송된다. A roller 135 is installed at each upper portion of the driving pulley 133a and the driven pulley 133b, and the material 10 is between the driven pulley 133b and the roller 135 and between the driving pulley 133a and the roller 135. Passed between) is conveyed into the magazine 142 located at the tip.

특히 본 발명의 실시예에서는 제2프레임(132b)에 그 후단이 컨베이어유닛(110)의 상부에 위치하는 정렬부재(137)가 승강 가능하게 결합된다. 구체적으로 살펴보면, 제2프레임(132b)에 실린더, 모터 등의 z축 구동부(139)가 결합되고, z축 구동부(139)의 구동축에 정렬부재(137)가 결합된다. 정렬부재(137)는 컨베이어유닛(110)의 대기영역의 상부에 위치하는 부분에 하방으로 돌출된 다수의 정렬돌기(138)를 구비한다.In particular, in the embodiment of the present invention, the rear end of the alignment member 137 located at the upper portion of the conveyor unit 110 is coupled to the second frame (132b). Specifically, the z-axis driving unit 139 such as a cylinder or a motor is coupled to the second frame 132b, and the alignment member 137 is coupled to the driving shaft of the z-axis driving unit 139. The alignment member 137 includes a plurality of alignment protrusions 138 protruding downward in a portion located above the standby area of the conveyor unit 110.

제1프레임(132a)과 제2프레임(132b)의 간격은 자재(10)의 크기에 맞게 조절될 수 있어야 한다. 이를 위해서 본 발명의 실시예에서는 y측 방향의 리니어가이드(161)를 이용하여 제1프레임(132a)을 이동블록(131)에 이동가능하게 결합하고, 제1프레임(132a)의 일측에는 이동블록(131)에 고정된 너트부재를 관통하는 볼트(163)의 일단을 결합시킨다. 따라서 회전손잡이(162)를 이용하여 볼트(163)를 회전시킴으로써 제1프레임(132a)의 위치를 변경시킬 수 있고, 이를 통해 제1 및 제2프레임(132a,132b)의 간격을 조절할 수 있다.The distance between the first frame 132a and the second frame 132b should be adjustable to fit the size of the material 10. To this end, in the exemplary embodiment of the present invention, the linear guide 161 in the y-direction is coupled to the first frame 132a so as to be movable to the moving block 131, and the moving block is located at one side of the first frame 132a. One end of the bolt 163 passing through the nut member fixed to the 131 is coupled. Therefore, the position of the first frame 132a may be changed by rotating the bolt 163 using the rotation knob 162, and thus, the distance between the first and second frames 132a and 132b may be adjusted.

한편 전술한 이송장치(130)의 구조는 다소 변경될 수 있다. 예를 들어 정렬부재(137)를 제2프레임(132b)이 아닌 제1프레임(132a)에 장착하거나 이동블록(131)에 장착할 수도 있다. 또한 제1프레임(132a)을 고정한 채 제2프레임(132b)을 이동블록(131)에 대해 이동할 수 있게 장착할 수도 있다. Meanwhile, the structure of the above-described transfer apparatus 130 may be changed somewhat. For example, the alignment member 137 may be mounted on the first frame 132a instead of the second frame 132b or mounted on the moving block 131. In addition, the second frame 132b may be mounted to be movable relative to the moving block 131 while the first frame 132a is fixed.

또한 이송유닛(130)에는 이송벨트(134)를 따라 이송된 자재(10)의 후단을 매거진(142)의 내부로 밀어넣는 푸셔(pusher)(도 2의 165)가 설치되는 것이 바람직하다.In addition, the transfer unit 130 is preferably provided with a pusher (165 of FIG. 2) for pushing the rear end of the material 10 transferred along the transfer belt 134 into the magazine 142.

매거진적재유닛(140)은 빈 매거진(142)을 적재위치로 이동시키는 한편 자재(10)가 채워진 매거진(142)을 다른 곳으로 이동시키는 역할을 한다.The magazine loading unit 140 moves the empty magazine 142 to the loading position while moving the magazine 142 filled with the material 10 to another place.

이하에서는 도 5 및 도 6과 전술한 도면들을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 자재 이송 장치의 동작을 설명한다.Hereinafter, the operation of the material conveying apparatus according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 5 and 6 and the aforementioned drawings.

먼저 이송유닛(130)의 제1 및 제2프레임(132a,132b)의 간격을 이송할 자재(10)에 맞게 조절해 둔다. 회전손잡이(162)로 볼트(163)를 돌려서 제1프레임(132a)을 y축 방향으로 이동시킴으로써 간격을 조절할 수 있음은 전술한 바와 같다.First, the interval between the first and second frames 132a and 132b of the transfer unit 130 is adjusted to fit the material 10 to be transferred. As described above, the gap may be adjusted by moving the first frame 132a in the y-axis direction by turning the bolt 163 with the rotation knob 162.

이 상태에서 컨베이어유닛(100)으로 진입한 자재(10)가 가이드롤러(114)의 사이에 형성된 이동경로를 따라 컨베이어유닛(110)의 선단으로 이동한 후 스토퍼(도 3의 116)에 의해 대기영역에 정지한다. 이때 이동경로의 폭이 자재(10)보다 훨씬 넓기 때문에 대부분의 자재(10)는 정위치에서 벗어나 있다. (도 5a 참조)In this state, the material 10 entering the conveyor unit 100 moves to the tip of the conveyor unit 110 along the movement path formed between the guide rollers 114, and then waits by the stopper 116 of FIG. 3. Stop in the area. At this time, since the width of the movement path is much wider than the material 10, most of the material 10 is out of position. (See Figure 5A)

자재(10)가 대기영역에 정지하면 미도시된 센서에 의해 자재(10)가 감지되며, 장치제어부는 도 6에 도시된 바와 같이 이송유닛(130)을 가이드레일(121)을 따라 y축 방향으로 이동시켜서 이송할 자재(10)가 위치하는 대기영역의 선단에 위치시킨다. 한편 자재(10)는 x축 방향으로 배열된 가이드롤러(114)의 열과 열 사이에 위치하므로 이송유닛(130)을 이송위치로 이동할 때 정렬돌기(138)가 대기영역의 일 측에 설치된 가이드롤러(141)의 내측에 위치하도록 해야 한다. (도 5b참조)When the material 10 stops in the waiting area, the material 10 is detected by a sensor (not shown), and the device control unit moves the transfer unit 130 along the guide rail 121 in the y-axis direction as shown in FIG. 6. To the end of the waiting area where the material 10 to be conveyed is located. On the other hand, the material 10 is located between the rows and the rows of the guide rollers 114 arranged in the x-axis direction, so that the alignment roller 138 is installed at one side of the standby area when the transfer unit 130 is moved to the transfer position. It should be located inside of 141. (See Fig. 5b)

이어서 z축 구동부(139)를 작동하여 정렬돌기(138)의 하단이 자재(10)의 상면보다 낮은 곳에 위치하도록 정렬부재(137)를 하강시킨다. (도 5c 참조)Subsequently, the z-axis driving unit 139 is operated to lower the alignment member 137 so that the lower end of the alignment protrusion 138 is lower than the upper surface of the material 10. (See Figure 5c)

이어서 이송유닛(130)을 y축 방향으로 이동시키면 정렬돌기(138)가 자재(10)의 일측단부를 밀게 되므로 자재(10)의 타측단부가 대기영역 반대측의 가이드롤러(114)에 접하면서 자연스럽게 자재(10)가 정렬된다. 도 7은 정렬돌기(138)에 의해 이동한 자재(10)의 측단부가 가이드롤러(114)의 내측면에 접하면서 정렬된 모습을 나타낸 평면도이다. (도 5d 참조)Subsequently, when the transfer unit 130 is moved in the y-axis direction, the alignment protrusion 138 pushes one end of the material 10, and the other end of the material 10 naturally contacts the guide roller 114 opposite the standby area. Material 10 is aligned. FIG. 7 is a plan view showing a side end portion of the material 10 moved by the alignment protrusion 138 while being in contact with the inner surface of the guide roller 114. (See FIG. 5D)

자재(10)가 정렬된 후에는 z축 구동부(139)를 작동하여 정렬돌기(138)를 상승시킨다. (도 5e참조)After the material 10 is aligned, the z-axis driving unit 139 is operated to raise the alignment protrusion 138. (See Fig. 5e)

이어서 자재(10)를 막고 있던 스토퍼를 하강시키면 8에 도시된 바와 같이 컨베이어롤러(112)의 회전력에 의해 자재(10)가 이송유닛(130)으로 진입하며, 이송유닛(130)에서는 이송벨트(134)가 작동하여 자재(10)를 선단으로 이송한다. 이송된 자재는 도 9에 도시된 바와 같이 매거진(142)의 내부로 진입하여 적재된다.Subsequently, when the stopper which is blocking the material 10 is lowered, the material 10 enters the transfer unit 130 by the rotational force of the conveyor roller 112 as shown in 8, and the transfer belt 130 moves the transfer belt ( 134 operates to transfer the material 10 to the tip. The conveyed material enters and is loaded into the magazine 142 as shown in FIG. 9.

한편 이상에서는 PCB스트립을 이송하는 경우를 가정하여 본 발명의 실시예를 설명하였으나 이송 대상물이 PCB스트립에 한정되는 것은 아니며, 대략 직사각 형상의 자재에 대하여 본 발명의 자재 이송 장치(100)가 광범위하게 사용될 수 있다.On the other hand, in the above description of the embodiment of the present invention assuming the case of transferring the PCB strip, but the transfer object is not limited to the PCB strip, the material transfer device 100 of the present invention for the material of approximately rectangular shape is widely Can be used.

또한 본 발명에 따른 자재 이송 장치(100)의 용도가 자재(10)를 매거진(142)에 적재하는 것에 국한되는 것은 아니므로 전술한 매거진적재유닛(140)을 대신하여 컨베이어 등의 다른 이송수단이 사용될 수도 있다.In addition, the use of the material conveying apparatus 100 according to the present invention is not limited to loading the material 10 in the magazine 142, so that other conveying means such as a conveyor, instead of the aforementioned magazine loading unit 140, May be used.

또한 본 발명은 전술한 실시예에 한정되지 않고 다양한 형태로 변형 또는 수정되어 실시될 수 있으며, 이와 같이 변형 또는 수정된 실시예가 후술하는 특허청구범위에 포함된 본 발명의 기술적 사상을 포함한다면 본 발명의 권리범위에 속함은 당연하다. In addition, the present invention is not limited to the above-described embodiments and may be modified or modified in various forms, and if the modified or modified embodiments include the technical idea of the present invention included in the following claims. Naturally, it belongs to the scope of rights.

10: 자재 100: 자재 이송 장치
110: 컨베이어유닛 111: 컨베이어프레임
112: 컨베이어롤러 114: 가이드롤러
116; 스토퍼 120: 레일유닛
121: 가이드레일 122: y축 구동부
130: 이송유닛 131: 이동블록
132a, 132b: 제1, 제2프레임 133a: 구동풀리
133b: 종동풀리 134: 이송벨트
135: 롤러 136: 벨트구동모터
137: 정렬부재 138; 정렬돌기
139: z축 구동부 140: 매거진적재유닛
142: 매거진 161: 리니어가이드
162: 회전손잡이 163: 볼트
165: 푸셔 10: Material 100: Material Feeding Device
110: conveyor unit 111: conveyor frame
112: conveyor roller 114: guide roller
116; Stopper 120: Rail Unit
121: guide rail 122: y-axis drive unit
130: transfer unit 131: moving block
132a and 132b: first and second frames 133a: driving pulley
133b: driven pulley 134: conveying belt
135: roller 136: belt drive motor
137: alignment member 138; Alignment protrusion
139: z-axis drive unit 140: magazine loading unit
142: magazine 161: linear guide
162: rotation knob 163: bolt
165: pusher

Claims (3)

제1방향으로 자재를 이송하는 수단으로서, 상기 제1방향과 직교하는 제2방향으로 배치된 다수의 컨베이어롤러와, 상기 다수의 컨베이어롤러마다 같은 개수로 장착되고 상기 컨베이어롤러보다 큰 직경을 가지는 다수의 가이드롤러를 포함하는 컨베이어유닛;
상기 컨베이어유닛의 선단에 설치된 레일유닛;
상기 레일유닛에 상기 제2방향으로 이동할 수 있게 결합된 이동블록과, 상기 이동블록에 장착되어 상기 컨베이어유닛으로부터 진입한 자재를 선단으로 이송시키는 이송수단과, 일단이 상기 컨베이어유닛의 상부까지 연장되도록 상기 이동블록에 결합되고 하방으로 돌출된 다수의 정렬돌기를 구비하는 정렬부재와, 상기 정렬부재를 승강시키는 승강수단을 구비하는 이송유닛;
을 포함하는 자재 이송 장치 Means for conveying material in a first direction, comprising: a plurality of conveyor rollers arranged in a second direction orthogonal to the first direction, and a plurality of conveyor rollers each having the same number and having a larger diameter than the conveyor rollers Conveyor unit including a guide roller of the;
A rail unit installed at the tip of the conveyor unit;
A moving block coupled to the rail unit so as to move in the second direction, a transfer unit mounted on the moving block to transfer the material entering from the conveyor unit to the front end, and one end of which extends to an upper portion of the conveyor unit; A transfer unit having an alignment member coupled to the moving block and having a plurality of alignment protrusions projecting downward, and an elevating means for elevating the alignment member;
Material conveying device 제1항에 있어서,
상기 이송유닛의 상기 이송수단은,
상기 이동블록에 고정된 제1프레임;
상기 이동블록에 상기 제2방향으로 이동할 수 있게 결합된 제2프레임;
상기 제1프레임 및 상기 제2프레임의 대향하는 내측의 선단과 후단에 각각 설치된 구동풀리와 종동풀리;
상기 구동풀리를 회전시키는 구동수단;
상기 구동풀리와 상기 종동풀리에 감겨진 이송벨트;
상기 제2프레임에 연결된 간격조절수단;
을 포함하고, 상기 정렬부재를 승강시키는 상기 승강수단은 상기 제1프레임, 제2프레임 또는 상기 이동블록에 결합되는 것을 특징으로 하는 자재 이송 장치The method of claim 1,
The conveying means of the conveying unit,
A first frame fixed to the moving block;
A second frame coupled to the moving block to be movable in the second direction;
Drive pulleys and driven pulleys respectively installed at the front and rear ends of the first and second frames facing each other;
Drive means for rotating the drive pulley;
A conveying belt wound around the driving pulley and the driven pulley;
A gap adjusting means connected to the second frame;
And an elevating means for elevating the alignment member is coupled to the first frame, the second frame or the moving block. 제1항의 자재 이송 장치를 이용하여 자재를 이송하는 방법에 있어서,
(a) 상기 제1방향으로 배열된 상기 다수의 가이드롤러의 제1열과 제2열 사이에 형성된 이동경로를 따라 자재가 진입하여 대기영역에 정지하는 단계;
(b) 상기 이송유닛을 상기 제2방향을 따라 이동시켜 상기 정렬돌기를 상기 대기영역의 일측의 상부에 위치시키는 단계;
(c) 상기 정렬부재를 하강시켜 상기 정렬돌기의 단부를 상기 자재의 상면보다 낮은 곳에 위치시키는 단계;
(d) 상기 이송유닛을 상기 제2방향을 따라 이동시켜서 상기 정렬돌기로 상기 자재의 일측단부를 밀어서 정렬하는 단계;
(e) 상기 정렬돌기를 상승시키고 상기 자재를 상기 이송유닛으로 이동시키는 단계
를 포함하는 자재 이송 방법 In the method of transferring the material using the material conveying apparatus of claim 1,
(a) entering a material along a moving path formed between a first row and a second row of the plurality of guide rollers arranged in the first direction and stopping the standby area;
(b) moving the transfer unit along the second direction to position the alignment protrusion above one side of the standby area;
(c) lowering the alignment member to position the end of the alignment protrusion below the top surface of the material;
(d) moving the transfer unit along the second direction to align one end of the material with the alignment protrusion;
(e) raising the alignment projections and moving the material to the transfer unit;
Material transfer method including
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101489270B1 (en) * 2012-07-12 2015-02-04 이노이엔지주식회사 Substrate transfer apparatus for touch screen panel
CN106531673A (en) * 2016-12-02 2017-03-22 长江大学 Automatic lead frame loader
CN107045998A (en) * 2016-12-02 2017-08-15 长江大学 Lead frame automatic board descending machine
KR20210098001A (en) 2020-01-31 2021-08-10 (주)로봇플러스 Alignment and transmission device

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101784659B1 (en) 2017-07-28 2017-10-12 남경민 Transfer apparatus for ring element
KR102365739B1 (en) 2019-10-25 2022-02-22 (주) 마루정공 Optimum Grinding Robot Automation System for 3D Kitchen Utensils Using 3D Vision Technology
KR102097374B1 (en) * 2019-12-20 2020-04-06 주식회사 미주산업 Automated system for marking and cutting of pipe support

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101489270B1 (en) * 2012-07-12 2015-02-04 이노이엔지주식회사 Substrate transfer apparatus for touch screen panel
CN106531673A (en) * 2016-12-02 2017-03-22 长江大学 Automatic lead frame loader
CN107045998A (en) * 2016-12-02 2017-08-15 长江大学 Lead frame automatic board descending machine
CN107045998B (en) * 2016-12-02 2023-08-22 长江大学 Automatic plate feeding machine for lead frame
CN106531673B (en) * 2016-12-02 2023-08-22 长江大学 Automatic lead frame feeding machine
KR20210098001A (en) 2020-01-31 2021-08-10 (주)로봇플러스 Alignment and transmission device

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