KR20120027776A - 전기폭발에 의한 나노 분말 제조장치 - Google Patents

전기폭발에 의한 나노 분말 제조장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 전기폭발에 의한 나노 분말 제조장치에 관한 것으로서, 구체적으로는 나노 분말 생성시 나노 분말 간에 충돌을 일으켜 균일한 크기를 갖는 나노 분말을 제조할 수 있는 전기폭발에 의한 나노 분말 제조장치에 관한 것이다.
본 발명에 따른 전기폭발에 의한 나노 분말 제조장치는 챔버; 챔버 내에 구비되는 제1고전압전극과, 제1고전압전극에 연결되는 제1스위치와, 제1스위치에 연결되는 제1캐패시터와, 제1캐패시터를 고전압으로 충전시키는 제1충전장치를 포함하는 제1전기폭발장치; 챔버 내에 제1고전압전극과 대향하도록 구비되는 제2고전압전극과, 제2고전압전극에 연결되는 제2스위치와, 제2스위치에 연결되는 제2캐패시터와, 제2캐패시터를 고전압으로 충전시키는 제2충전장치를 포함하는 제2전기폭발장치; 및 제1스위치와 제2스위치를 동시에 온오프(on/off) 시키기 위한 제어부를 포함할 수 있다.

Description

전기폭발에 의한 나노 분말 제조장치{Device for manufacturing nanostructured powder by electric explosion}
본 발명은 전기폭발에 의한 나노 분말 제조장치에 관한 것으로서, 구체적으로는 나노 분말 생성시 나노 분말 간에 충돌을 일으켜 균일한 크기를 갖는 나노 분말을 제조할 수 있는 전기폭발에 의한 나노 분말 제조장치에 관한 것이다.
최근에 신소재로서 극미세 분말 재로(Nanostructured Powder Materials)의 기술 개발은 나노 디바이스를 포함하는 새로운 분야의 기반 기술로 응용될 수 있기 때문에 매우 중요하게 인식되고 있다.
극미세분말 재료는 재료 구조의 미세화(100nm 이하)와 이에 따른 표면적의 증가로 인하여 기존의 재료에서는 얻을 수 없는 특이한 전ㆍ자기적, 기계적 및 촉매 특성을 나타낼 수 있으므로, 초고강도 부품, 자성 부품, 열전, 센서, 필터, 촉매 등의 차세대 기능성 소재로서 산업 전반에 걸쳐 새로운 수요를 창출하고 있다.
첨단산업의 발달에 따라 부품 및 시스템의 고성능화, 소형화가 진행되고 있으며, 현재는 물리/화학/생물학적 특성을 결정하는 현상학적 길이가 마이크론 또는 서브 마이크론인 구성 인자가 사용되고 있다.
그러므로 나노 기술은 부품 및 시스템의 고성능화, 소형화에 대한 기존 기술의 한계성을 극복할 수 있는 기술이며, 또한 현상학적 길이가 감소함에 따라 새로운 성능이 발현될 수 있기 때문에 미래기술의 전형이면서 첨단제품의 개발에 필수적인 요소라 할 것이다.
현재, 어떠한 재료를 나노 분말로 제조하는 방법은 다양한 방법이 알려져 있지만, 그 중에서 펄스파워를 이용한 전기 폭발법에 의한 금속 나노분말 제조 기술이 널리 알려져 있으며 지금도 활발히 연구 중에 있다.
펄스파워를 이용한 나노 분말 제조 방법은 산업응용 측면에서 매우 중요한 의의를 가지고 있을 뿐만 아니라 경제적으로도 나노 분말의 다른 제조방법에 비하여 매우 유리하다.
그러나, 이러한 전기폭발법에 의해 생성된 나노 분말은 그 크기가 균일하지 않다는 문제가 있다.
이와 관련, 한국공개특허 제10-2007-0024041호(이하, '선행기술'이라 한다)에는 액중 전기폭발에 의한 나노 분말 제조방법 및 제조장치가 개시되는데, 이 선행기술에 따른 나노 분말 제조장치는 크기가 균일하지 않은 나노 분말을 크기별로 분급하기 위한 나노 분말 포집장치를 별도로 더 구비하기 때문에, 제조장치가 복잡해지며 그에 따라 제조장치의 제조비용이 증가하는 문제가 있다.
한국공개특허 제10-2007-0024041호
본 발명은 상술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 나노 분말을 크기별로 분급하기 위한 별도의 나노 분말 포집장치를 구비할 필요가 없도록 나노 분말 생성시 나노 분말 간에 충돌을 일으켜 균일한 크기를 갖는 나노 분말을 제조할 수 있는 전기폭발에 의한 나노 분말 제조장치를 제공한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 전기폭발에 의한 나노 분말 제조장치는, 챔버와, 챔버 내에 구비되는 제1고전압전극, 제1고전압전극에 연결되는 제1스위치, 제1스위치에 연결되는 제1캐패시터, 제1캐패시터를 고전압으로 충전시키는 제1충전장치를 포함하는 제1전기폭발장치와, 챔버 내에 제1고전압전극과 대향하도록 구비되는 제2고전압전극, 제2고전압전극에 연결되는 제2스위치, 제2스위치에 연결되는 제2캐패시터, 제2캐패시터를 고전압으로 충전시키는 제2충전장치를 포함하는 제2전기폭발장치, 그리고 제1스위치와 제2스위치를 동시에 온오프(on/off) 시키기 위한 제어부를 포함할 수 있다.
그리고 제1고전압전극과 제2고전압전극은 각각 금속 와이어에 연결되는 중앙전극과, 중앙전극과 소정거리 이격되어 금속 와이어와 소정거리 이격된 상태를 유지하도록 연장되는 접지전극을 포함하는 것이 바람직하다.
그리고 접지전극은 금속 와이어를 감싸도록 구비될 수 있는데, 이 경우 접지전극은 중앙전극으로부터 반경으로 소정거리 이격된 상태로 구비되는 소정의 길이를 가지는 다수개의 봉으로 이루어지는 것이 바람직하다.
그리고 제1고전압전극과 제2고전압전극은 각각 중앙전극과 접지전극 사이에 결합되는 절연체를 더 포함하여 구성할 수 있다.
또한, 본 발명의 다른 실시예에 따른 전기폭발에 의한 나노 분말 제조장치는, 챔버, 그리고 챔버 내에 서로 대향하도록 구비되는 2개의 고전압전극, 2개의 고전압전극에 연결되는 스위치, 스위치에 연결되는 캐패시터, 캐패시터를 고전압으로 충전시키는 충전장치를 포함하는 전기폭발장치를 포함할 수 있다.
또한, 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 전기폭발에 의한 나노 분말 제조장치는, 챔버와, 챔버 내에 수평방향으로 구비되는 제3고전압전극과, 제3고전압전극에 연결되는 제3스위치, 제3스위치에 연결되는 제3캐패시터, 제3캐패시터를 고전압으로 충전시키는 제3충전장치를 포함하는 제3전기폭발장치와, 챔버 내에 제3고전압전극과 대향되는 위치에 수직방향으로 구비되는 제4고전압전극, 제4고전압전극에 연결되는 제4스위치, 제4스위치에 연결되는 제4캐패시터, 제4캐패시터를 고전압으로 충전시키는 제4충전장치를 포함하는 제4전기폭발장치, 그리고 제3스위치와 제4스위치를 동시에 온오프시키기 위한 제어부를 포함할 수 있다.
이때 제3고전압전극은 금속 와이어에 연결되는 중앙전극과, 중앙전극과 소정거리 이격되어 금속 와이어와 소정거리 이격된 상태를 유지하도록 연장되는 제3접지전극을 포함하며, 제4고전압전극은 금속 와이어에 연결되는 중앙전극과, 금속 와이어에 접지되어 전기적 폭발에 대한 접지역할을 하는 제4접지전극을 포함하는 것이 바람직하다.
또한, 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 전기폭발에 의한 나노 분말 제조장치는, 챔버와, 챔버 내에 서로 대향하되 하나는 수평방향으로 구비되고 다른 하나는 수직방향으로 구비되는 2개의 고전압전극, 2개의 고전압전극에 연결되는 스위치, 스위치에 연결되는 캐패시터, 캐패시터를 고전압으로 충전시키는 충전장치를 포함하는 전기폭발장치를 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 전기폭발에 의한 나노 분말 제조장치에 의하면, 균일한 크기를 갖는 나노 분말을 제조할 수 있으며, 그에 따라 나노 분말을 크기별로 분급하기 위한 별도의 나노 분말 포집장치를 구비할 필요가 없어서 구조가 간단해지는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 전기폭발에 의한 나노 분말 제조장치를 개략적으로 나타낸 구성도이다.
도 2는 도 1의 나노 분말 제조장치의 작동을 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 3은 본 발명에 사용되는 고전압전극의 일 실시예를 나타내는 평면도이다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 전기폭발에 의한 나노 분말 제조장치를 개략적으로 나타낸 구성도이다.
도 5는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 전기폭발에 의한 나노 분말 제조장치를 개략적으로 나타낸 구성도이다.
도 6은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 전기폭발에 의한 나노 분말 제조장치를 개략적으로 나타낸 구성도이다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 한다. 그러나, 본 발명은 여기서 설명된 실시예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시예들은 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록, 그리고 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공된다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 전기폭발에 의한 나노 분말 제조장치를 개략적으로 나타낸 구성도이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 나노 분말 제조장치는 챔버(10), 제1전기폭발장치(20), 제2전기폭발장치(30) 등으로 구성된다.
챔버(10)는 내부에 금속 와이어(12)가 구비되어 나노 분말이 생성되는 공간을 제공하는 구성으로서 소정의 체적을 갖도록 구비되는데, 챔버(10) 내부에는 공기 또는 불황성 가스가 채워질 수도 있으며, 또는 진공상태로 제공될 수도 있다.
또한, 도면에는 도시되지 않으나, 챔버(10)에는 금속 와이어(12)를 챔버(10) 내부로 공급하기 위한 공급장치와 생성된 나노 분말을 외부로 배출하기 위한 배출장치가 더 구비될 수 있다.
제1전기폭발장치(20)와 제2전기폭발장치(30)는 각각 금속 와이어(12)에 펄스파워를 가하여 금속 와이어(12)를 전기폭발시킴으로써 나노 분말을 생성하기 위한 구성으로서, 본 발명에 따른 제1전기폭발장치(20)와 제2전기폭발장치(30)는 서로 마주보도록, 즉 서로 대향하도록 구비된다.
즉 본 발명의 일 실시예에 따른 나노 분말 제조장치는, 나노 분말의 크기가 균일하게 생성될 수 있도록 제1전기폭발장치(20)와 제2전기폭발장치(30)가 서로 마주보도록 구비되는데, 이와 같이 제1전기폭발장치(20)와 제2전기폭발장치(30)가 서로 마주보도록 구비되면 나노 분말 생성시 나노 분말 간의 충돌이 일어나게 되어 균일한 크기를 갖는 나노 분말을 제조할 수 있다.
제1전기폭발장치(20)는 금속 와이어(12)에 펄스파워를 가하여 전기폭발시키도록 챔버(10) 내에 구비되는 제1고전압전극(22)과, 제1고전압전극(22)에 연결되는 제1스위치(24)와, 제1스위치(24)에 연결되는 제1캐패시터(26)와, 제1캐패시터(26)를 고전압으로 충전시키는 제1충전장치(28) 등으로 구성된다.
제2전기폭발장치(30)는 금속 와이어(12)에 펄스파워를 가하여 전기폭발시키도록 챔버(10) 내에 구비되는 제2고전압전극(32)과, 제2고전압전극(32)에 연결되는 제2스위치(34)와, 제2스위치(34)에 연결되는 제2캐패시터(36)와, 제2캐패시터(36)를 고전압으로 충전시키는 제2충전장치(38) 등으로 구성된다.
그리고 제1고전압전극(22)과 제2고전압전극(32)은 서로 마주보도록, 즉 서로 대향하도록 구성하는 것이 바람직하다.
제1고전압전극(22)과 제2고전압전극(32)은 금속 와이어(12)에 펄스파워를 가해 전기폭발시키기 위하여 각각 금속 와이어(12)에 연결되는 구성으로서, 제1고전압전극(22)과 제2고전압전극(32)이 서로 마주보도록 구성되어 있으므로 제1고전압전극(22)과 제2고전압전극(32)에 각각 연결되는 금속 와이어(12)도 서로 마주보게 된다. 금속 와이어(12)가 서로 마주보도록 구비되면 제1스위치(24)와 제2스위치(34)가 온(on)되어 금속 와이어(12)에 순간적으로 펄스파워가 가해지는 경우에 생성되는 나노 분말은 각각 서로 마주보는 방향으로 순간적으로 이동하게 되면서 서로 충돌이 일어나게 되며, 이에 따라 그 크기가 균일해질 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 나노 분말 제조장치는 제1스위치(24)와 제2스위치(34)를 동시에 온오프(on/off) 시키기 위한 제어부(40)를 더 포함하여 구성된다. 이는 제1전기폭발장치(20)와 제2전기폭발장치(30)에서 각각 생성되는 나노 분말 간의 충돌이 보다 효과적이고 원활하게 일어나도록 하기 위함이다.
한편, 제1고전압전극(22)은 금속 와이어(12)에 연결되는 제1중앙전극(222)과, 제1중앙전극(222)과 소정거리 이격되며 금속 와이어(12)와 소정거리 이격된 상태를 유지하도록 연장되는 제1접지전극(224)으로 구성되는 것이 바람직하다.
마찬가지로, 제2고전압전극(32)은 금속 와이어(12)에 연결되는 제2중앙전극(322)과, 제2중앙전극(322)과 소정거리 이격되어 금속 와이어(12)와 소정거리 이격된 상태를 유지하도록 연장되는 제2접지전극(324)으로 구성되는 것이 바람직하다.
이처럼 제1고전압전극(22)과 제2고전압전극(32)이 각각 제1중앙전극(222)과 제2중앙전극(322), 제1접지전극(224)과 제2접지전극(324)으로 구성되면, 제1스위치(24)와 제2스위치(34)가 온(on) 됨과 동시에 생성되는 나노 분말의 이동이 서로 마주보는 방향으로 보다 효과적으로 이루어져 나노 분말 간의 충돌이 보다 효과적이고 원활하게 이루어질 수 있다.
이러한 효과를 도 2를 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 2는 도 1의 나노 분말 제조장치의 작동을 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 2에 도시된 바와 같이, 제1스위치(24)와 제2스위치(34)가 온 되면 각각 제1중앙전극(222)과 제2중앙전극(322)에 연결된 금속 와이어(12)에 펄스파워가 가해져 전기폭발이 일어나게 되면서 제1중앙전극(222)으로부터 생성된 제1나노분말(14)과 제2중앙전극(322)으로부터 생성된 제2나노분말(16)이 서로 마주보는 방향으로 이동하면서 충돌이 일어난다.
이때, 제1나노분말(14)과 제1접지전극(224), 제2나노분말(16)과 제2접지전극(324)은 동일한 전하를 가지게 되기 때문에 서로 미는 힘이 작용하게 된다.
따라서, 도 2에 도시된 화살표 방향과 같이, 제1나노분말(14)과 제2나노분말(16)은 각각 제1접지전극(224)과 제2접지전극(324) 끝단에서의 이동이 일반적인 빔의 형태로 이루어져 서로 마주보는 방향으로의 이동이 효과적으로 발생하게 되며, 이에 따라 대략 중심부에서 서로 충돌이 일어나는 충돌영역(18)이 발생하게 되면서 효과적이고 원활한 충돌이 이루어질 수 있다.
이를 보다 상세하게 설명하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 제1고전압전극(22)은 챔버(10)의 좌측(도면상) 측벽에 구비되며, 제2고전압전극(32)은 제1고전압전극(22)에 마주보도록 우측(도면상) 측벽에 구비되기 때문에, 제1나노분말(14)과 제2나노분말(16)은 서로 마주보는 방향으로, 즉 도면상 제1나노분말(14)은 왼쪽에서 오른쪽으로 제2나노분말(16)은 오른쪽에서 왼쪽으로 이동하게 된다.
이때, 도 2에서 보이는 바와 같이, 제1나노분말(14)은 확산되다가 제1접지전극(224)과의 미는 힘에 의해 다시 모아지는 운동을 가지게 되면서, 제1접지전극(224)의 끝단에서는 빔 형태의 이동성, 즉 도면상 왼쪽에서 오른쪽으로 직선방향의 이동이 이루어지게 된다.
마찬가지로, 제2나노분말(16)도 확산되다가 제2접지전극(324)과의 미는 힘에 의해 다시 모아지는 운동을 가지게 되면서, 제2접지전극(324)의 끝단에서는 빔 형태의 이동성, 즉 도면상 오른쪽에서 왼쪽으로 직선방향의 이동이 이루어지게 된다.
따라서, 제1나노분말(14)과 제2나노분말(16)은 서로 마주보는 방향으로 직진하다가 대략 중심부(18)에서 효과적으로 충돌이 일어날 수 있게 되며, 이에 따라 제1나노분말(14)과 제2나노분말(16)의 크기는 균일하게 이루어질 수 있을 뿐만 아니라 더 작은 크기의 고운 제1나노분말(14)과 제2나노분말(16)이 생성될 수 있게 된다.
이때 제1접지전극(224)과 제2접지전극(324)은 금속 와이어(12)를 감싸도록 구비될 수 있다. 그러면 제1나노분말(14)과 제2나노분말(16) 각각과 제1접지전극(224)과 제2접지전극(324) 각각의 미는 힘이 증대될 수 있어서, 제1나노분말(14)과 제2나노분말(16)의 직진성이 보다 증진하게 되어 보다 효과적인 충돌이 일어날 수 있을 것이다.
또한, 제1고전압전극(22)과 제2고전압전극(32)은 각각 제1중앙전극(222)과 제1접지전극(224), 제2중앙전극(322)과 제2접지전극(324) 사이에 결합되는 제1절연체(226)와 제2절연체(326)를 더 포함하여 구성할 수 있다.
이는 제1중앙전극(222)과 제1접지전극(224), 제2중앙전극(322)과 제2접지전극(324)의 접촉을 방지하며, 제1중앙전극(222)과 제1접지전극(224), 제2중앙전극(322)과 제2접지전극(324)을 견고하게 고정하기 위한 것으로서, 제1절연체(226)와 제2절연체(326)는 고무패킹으로 이루어짐이 바람직하다.
도 3은 본 발명에 사용되는 고전압전극의 일 실시예를 나타내는 평면도이다.
도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 고전압전극(52)은 전극의 중심부에 구비되는 중앙전극(522)과, 중앙전극(522)으로부터 반경으로 소정거리 이격되어 구비되는 소정길이를 가지는 다수개의 봉으로 이루어지는 접지전극(524)과, 중앙전극(522)과 접지전극(524) 사이에 결합되는 절연체(526)을 포함하여 이루어질 수 있다. 여기서, 접지전극(524)의 봉은 구리봉인 것이 바람직하다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 전기폭발에 의한 나노 분말 제조장치를 개략적으로 나타낸 구성도이다.
도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 다른 실시예에 따른 나노 분말 제조장치는, 챔버(10)와, 챔버(10) 내에 서로 마주보도록 구비되는 2개의 고전압전극(22)(32)과, 2개의 고전압전극(22)(32)에 연결되는 스위치(64)와, 스위치(64)에 연결되는 캐패시터(66)와, 캐패시터(66)를 고전압으로 충전시키는 충전장치(68)를 포함하는 전기폭발장치 등으로 구성된다.
즉, 도 4의 본 발명의 다른 실시예에 따른 나노 분말 제조장치는 전술한 도 1의 본 발명의 일 실시예에 따른 나노 분말 제조장치와 같이 2개의 전기폭발장치로 이루어지는 것이 아니라, 2개의 고전압전극을 가지는 하나의 전기폭발장치로 이루어진 것이다.
따라서, 도 4에서와 같이 본 발명의 다른 실시예에 따른 나노 분말 제조장치는 도 1의 실시예와 비교하여 전체적인 구성이 간단해진다.
도 5는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 전기폭발에 의한 나노 분말 제조장치를 개략적으로 나타낸 구성도이다.
도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명의 다른 실시예에 따른 나노 분말 제조장치는, 챔버(10)와, 챔버(10) 내에 수평방향으로 구비되는 제3고전압전극(72)과, 제3고전압전극(72)에 연결되는 제3스위치(74), 제3스위치(74)에 연결되는 제3캐패시터(76), 제3캐패시터(76)를 고전압으로 충전시키는 제3충전장치(78)를 포함하는 제3전기폭발장치(70)와, 챔버(10) 내에 제3고전압전극(72)과 대향되는 위치에 수직방향으로 구비되는 제4고전압전극(82), 제4고전압전극(82)에 연결되는 제4스위치(84), 제4스위치(84)에 연결되는 제4캐패시터(86), 제4캐패시터(86)를 고전압으로 충전시키는 제4충전장치(88)를 포함하는 제4전기폭발장치(80)와, 제3스위치(74)와 제4스위치(84)를 동시에 온오프시키기 위한 제어부(40) 등으로 구성된다.
즉, 도 5의 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 나노 분말 제조장치는 전술한 도 1 및 도 4의 실시예에 따른 나노 분말 제조장치와 같이 2개의 전기폭발장치가 서로 마주보는 구성으로 이루어진 것이 아닌, 하나의 전기폭발장치는 수평방향으로 또 다른 하나의 전기폭발장치는 수직방향으로 구성된 실시예를 나타낸 것이다.
이처럼 도 5에서와 같이 제3전기폭발장치(70)와 제4전기폭발장치(80)를 각각 수평방향과 수직방향으로 구성하는 경우에도, 전술한 도 1 및 도 4의 실시예에서와 같이 2개의 전기폭발장치를 서로 마주보도록 구성한 경우에서와 마찬가지로 나노 분말 생성시 나노 분말 간의 충돌이 일어나게 되어 균일한 크기를 갖는 나노 분말을 제조할 수 있다.
이때 제3고전압전극(72)은 금속 와이어(12)에 연결되는 중앙전극(722)과, 중앙전극(722)과 소정거리 이격되어 금속 와이어(12)와 소정거리 이격된 상태를 유지하도록 연장되는 제3접지전극(724)을 포함하며, 제4고전압전극(82)은 금속 와이어(12)에 연결되는 중앙전극(822)을 포함하여 구성된다.
그리고 제4전기폭발장치(80)는 금속 와이어(12)에 접지되어 전기적 폭발에 대한 접지역할을 하는 제4접지전극(89)을 더 포함하여 구성할 수 있으며, 제3고전압전극(72)은 제3중앙전극(722)과 제3접지전극(724) 사이에 결합되는 제3절연체(726)를 더 포함하여 구성할 수 있다.
도 6은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 전기폭발에 의한 나노 분말 제조장치를 개략적으로 나타낸 구성도이다.
도 6에 도시된 바와 같이, 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 나노 분말 제조장치는 챔버(10)와, 챔버(10) 내에 서로 대향하되 하나는 수평방향으로 구비되고 다른 하나는 수직방향으로 구비되는 2개의 고전압전극(72)(82)과, 2개의 고전압전극(72)(82)에 연결되는 스위치(94)와, 스위치(94)에 연결되는 캐패시터(96)와, 캐패시터(96)를 고전압으로 충전시키는 충전장치(98)를 포함하는 전기폭발장치 등으로 구성된다.
즉 도 6의 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 나노 분말 제조장치는 도 4의 실시예에서와 같이 2개의 고전압전극을 가지는 하나의 전기폭발장치로 구성한 것이다.
본 발명에 따른 전기폭발에 의한 나노 분말 제조장치에 의하면, 균일한 크기를 갖는 나노 분말을 제조할 수 있으며, 그에 따라 나노 분말을 크기별로 분급하기 위한 별도의 나노 분말 포집장치를 구비할 필요가 없어서 구조가 간단해 질 수 있다.
한편, 본 명세서와 도면에 개시된 본 발명의 실시예들은 본 발명이 기술 내용을 쉽게 설명하고 본 발명의 이해를 돕기 위해 특정 예를 제시한 것일 뿐이며, 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것은 아니다. 여기에 개시된 실시예들 이외에도 본 발명의 기술적 사상에 바탕을 둔 다른 변형예들이 실시 가능하다는 것은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 것이다.
10 : 챔버 20 : 제1전기폭발장치
22: 제1고전압전극 24 : 제1스위치
26 : 제1캐패시터 28 : 제1충전장치
30 : 제2전기폭발장치 32 : 제2고전압전극
34 : 제2스위치 36 : 제2캐패시터
38 : 제2충전장치 40 : 제어부
70 : 제3전기폭발장치 72: 제3고전압전극
74 : 제3스위치 76 : 제3캐패시터
78 : 제3충전장치 80 : 제4전기폭발장치
82 : 제4고전압전극 84 : 제4스위치
86 : 제4캐패시터 88 : 제4충전장치

Claims (9)

  1. 챔버,
    상기 챔버 내에 구비되는 제1고전압전극과, 상기 제1고전압전극에 연결되는 제1스위치와, 상기 제1스위치에 연결되는 제1캐패시터와, 상기 제1캐패시터를 고전압으로 충전시키는 제1충전장치를 포함하는 제1전기폭발장치,
    상기 챔버 내에 상기 제1고전압전극과 대향하도록 구비되는 제2고전압전극과, 상기 제2고전압전극에 연결되는 제2스위치와, 상기 제2스위치에 연결되는 제2캐패시터와, 상기 제2캐패시터를 고전압으로 충전시키는 제2충전장치를 포함하는 제2전기폭발장치, 그리고
    상기 제1스위치와 상기 제2스위치를 동시에 온오프(on/off) 시키기 위한 제어부를
    포함하는 전기폭발에 의한 나노 분말 제조장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1고전압전극과 상기 제2고전압전극은 각각 금속 와이어에 연결되는 중앙전극과, 상기 중앙전극과 소정거리 이격되어 상기 금속 와이어와 소정거리 이격된 상태를 유지하도록 연장되는 접지전극을 포함하는 전기폭발에 의한 나노 분말 제조장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 접지전극은 상기 금속 와이어를 감싸도록 구비되는 전기폭발에 의한 나노 분말 제조장치.
  4. 제 2 항에 있어서,
    상기 접지전극은 상기 중앙전극으로부터 반경으로 소정거리 이격된 상태로 구비되는 소정의 길이를 가지는 다수개의 봉으로 이루어지는 전기폭발에 의한 나노 분말 제조장치.
  5. 제 2 항에 있어서,
    상기 제1고전압전극과 상기 제2고전압전극은 각각 상기 중앙전극과 상기 접지전극 사이에 결합되는 절연체를 더 포함하는 전기폭발에 의한 나노 분말 제조장치.
  6. 챔버, 그리고
    상기 챔버 내에 서로 대향하도록 구비되는 2개의 고전압전극과, 상기 2개의 고전압전극에 연결되는 스위치와, 상기 스위치에 연결되는 캐패시터와, 상기 캐패시터를 고전압으로 충전시키는 충전장치를 포함하는 전기폭발장치를
    포함하는 전기폭발에 의한 나노분말 제조장치.
  7. 챔버,
    상기 챔버 내에 수평방향으로 구비되는 제3고전압전극과, 상기 제3고전압전극에 연결되는 제3스위치와, 상기 제3스위치에 연결되는 제3캐패시터와, 상기 제3캐패시터를 고전압으로 충전시키는 제3충전장치를 포함하는 제3전기폭발장치,
    상기 챔버 내에 상기 제3고전압전극과 대향되는 위치에 수직방향으로 구비되는 제4고전압전극과, 상기 제4고전압전극에 연결되는 제4스위치와, 상기 제4스위치에 연결되는 제4캐패시터와, 상기 제4캐패시터를 고전압으로 충전시키는 제4충전장치를 포함하는 제4전기폭발장치, 그리고
    상기 제3스위치와 상기 제4스위치를 동시에 온오프(on/off) 시키기 위한 제어부를
    포함하는 전기폭발에 의한 나노분말 제조장치.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 제3고전압전극은 금속 와이어에 연결되는 중앙전극과, 상기 중앙전극과 소정거리 이격되어 상기 금속 와이어와 소정거리 이격된 상태를 유지하도록 연장되는 제3접지전극을 포함하며,
    상기 제4고전압전극은 금속 와이어에 연결되는 중앙전극과, 상기 금속 와이어에 접지되어 전기적 폭발에 대한 접지역할을 하는 제4접지전극을 포함하는 전기폭발에 의한 나노 분말 제조장치.
  9. 챔버, 그리고
    상기 챔버 내에 서로 대향하되 하나는 수평방향으로 구비되고 다른 하나는 수직방향으로 구비되는 2개의 고전압전극과, 상기 2개의 고전압전극에 연결되는 스위치와, 상기 스위치에 연결되는 캐패시터와, 상기 캐패시터를 고전압으로 충전시키는 충전장치를 포함하는 전기폭발장치를
    포함하는 전기폭발에 의한 나노분말 제조장치.
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