KR101097395B1

KR101097395B1 - 전기폭발에 의한 금속 나노분말 제조 방법 및 장치

Info

Publication number: KR101097395B1
Application number: KR1020090073029A
Authority: KR
Inventors: 조주현; 진윤식
Original assignee: 한국전기연구원
Priority date: 2009-08-07
Filing date: 2009-08-07
Publication date: 2011-12-23
Also published as: KR20110015342A

Abstract

본 발명은 금속선의 자동 피딩화가 가능한 전기폭발에 의한 금속 나노분말 제조 방법 및 장치에 관한 것으로, 금속선을 일정 길이로 절단하고 이 절단된 금속선의 피딩을 자동화할 수 있는 수단을 포함하여 구성함으로써, 일정 길이의 금속선을 전기 폭발이 일어나는 챔버 내의 전극 사이에 자동으로 거치하여 단위 시간당 생산할 수 있는 금속 나노분말 양의 증가 및 품질의 향상을 가능하게 하는 액중 전기폭발에 의한 금속 나노분말 제조 방법 및 장치를 제공한다.

또한, 본 발명은 챔버를 밀폐한 후 고전압을 공급하므로 챔버 내의 전극으로 통전되는 고전압이 챔버 외부로 유도되지 않게 되어, 사고의 위험없이 안전하게 금속 나노분말을 제조할 수 있는 장점이 있다.

전기폭발, 금속선, 단위금속선, 자동 피딩, 나노분말, 금속 나노분말

Description

전기폭발에 의한 금속 나노분말 제조 방법 및 장치{Method and apparatus for synthesis of metal nanopowders by wire explosion}

본 발명은 금속선의 자동 피딩화가 가능한 기중 혹은 액중 전기폭발에 의한 금속 나노분말 제조 방법 및 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 금속 나노분말의 원료가 되는 금속선을 폭발이 일어나는 전극에 자동으로 피딩 거치시켜 금속 나노분말의 생산량을 증가시키고 나노분말의 품질을 향상시킨 금속 나노분말 제조 방법 및 장치에 관한 것이다.

최근에 신소재로서 극미세 분말 재료(Nanostructured Powder Materials)의 기술 개발은 나노 디바이스를 포함하는 새로운 분야의 기반 기술로 응용될 수 있기 때문에 매우 중요하게 인식되고 있다.

극미세분말 재료는 재료 구조의 미세화(100nm 이하)와 이에 따른 표면적의 증가로 인하여 기존의 재료에서는 얻을 수 없는 특이한 전ㆍ자기적, 기계적 및 촉매 특성을 나타낼 수 있으므로, 초고강도 부품, 자성 부품, 열전, 센서, 필터, 촉 매 등의 차세대 기능성 소재로서 산업 전반에 걸쳐 새로운 수요를 창출할 것임에 틀림없다.

첨단산업의 발전에 따라 부품 및 시스템의 고성능화 및 소형화가 진행되고 있으며, 현재는 물리/화학/생물학적 특성을 결정하는 현상학적 길이가 마이크론 또는 서브 마이크론인 구성인자가 사용되고 있다.

이에, 나노 기술의 중요성은 부품 및 시스템의 고성능화 및 소형화에 대한 기존 기술의 한계성을 극복할 수 있는 기술이며, 또한 현상학적 길이가 감소함에 따라 새로운 성능이 발현될 수 있기 때문에 미래기술의 전형이면서 첨단제품의 개발에 필수적인 요소라 할 것이다.

현재, 어떠한 재료를 나노 분말로 제조하는 방법은 다양한 방법이 알려져 있지만, 그 중에서 전기 폭발법에 의한 금속 나노분말 제조 기술이 널리 알려져 있으며 지금도 활발히 연구중에 있다.

나노분말 제조 방법은 산업응용 측면에서 매우 중요한 의의를 갖고 있을 뿐만 아니라 경제적으로도 나노분말의 다른 제조방법에 비하여 매우 유리하다.

여기서, 전기 폭발법에 의한 기존의 금속 나노분말 제조 방법을 살펴보면 다음과 같다.

전기폭발법에 의해 금속 나노분말을 제조하기 위하여 원료가 되는 금속선을 전기폭발이 일어나는 전극에 접촉하거나 근접시키게 된다.

종래의 방법은 모터를 구동하여 와이어 휠에 감겨진 금속선을 노즐을 통하여 챔버 내부에 투입하면 원형으로 형성된 고전압 전극에 금속선이 근접함에 의해 폭 발이 일어나게 되고, 이에 따라 금속 나노분말이 생성된다.

그러나, 종래의 금속 나노분말 제조방법은 전기폭발이 일어나는 거리(혹은 시점)가 불규칙하여 나노분말의 품질이 저하되고, 금속선이 변형되어 폭발이 실패할 수 있는 확률이 높은 단점이 있다.

그리고, 금속선이 하나의 전극으로 작용할 수 있기 때문에 순간적으로 고전압이 금속선을 감은 와이어 휠에 유도되어 작업자의 감전사고가 우려되는 문제가 있다.

또한, 액중에서의 전기 폭발을 이용한 금속 나노분말을 제조할 시, 액중에서의 절연전압이 높고, 금속 나노분말이 포함된 액체의 절연파괴 전압의 변동이 심하게 되므로 현실적으로 금속선을 전극에 근접시켜 자동으로 폭발하게 하는 방식은 실제 적용이 불가능한 문제점이 있다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 발명한 것으로서, 금속선을 일정 길이로 절단하고 이 절단된 금속선의 피딩을 자동화할 수 있는 수단을 포함하여 구성함으로써, 일정 길이의 금속선을 전기 폭발이 일어나는 챔버 내의 전극 사이에 자동으로 거치하여 단위 시간당 생산할 수 있는 금속 나노분말 양의 증가 및 품질의 향상을 가능하게 하는 액중 전기폭발에 의한 금속 나노분말 제조 방법 및 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.

상기한 목적을 달성하기 위해 본 발명은 기체 혹은 용액(S)이 담긴 챔버(300) 내의 한 쌍의 전극(320) 사이에 단위금속선(M')을 제공하는 제1단계; 상기 한 쌍의 전극(320) 사이에 전기에너지를 공급하는 제2단계; 공급된 전기에너지에 의해 상기 단위금속선(M')을 기중 혹은 액중에서 전기 폭발시키는 제3단계;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 전기폭발에 의한 금속 나노분말 제조 방법을 제공한다.

그리고, 본 발명은 내부에 기체 혹은 용액(S)이 담긴 챔버(300)와; 상기 챔버(300) 내의 기체 혹은 용액(S)에 잠긴 한 쌍의 전극(320)과; 일정 길이의 단위금속선(M')을 제공하는 단위금속선 로딩부(100)와; 상기 단위금속선(M')을 수직 및 수평 이동시켜 상기 챔버(300) 내의 전극(320) 사이에 제공하는 단위금속선 피딩 부(200)와; 상기 전극(320)으로 고전압의 전기 에너지를 공급하는 전원공급부(400);를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 전기폭발에 의한 금속 나노분말 제조 장치도 제공한다.

본 발명에 따른 전기폭발에 의한 금속 나노분말 제조 방법 및 장치는 일정하게 절단된 금속선을 수직 혹은 수평으로 이동되는 와이어 핑거 및 보조 핑거를 이용하여 전기 폭발이 이루어지는 챔버 내의 전극 사이에 자동으로 거치하고, 이러한 금속선의 자동 피딩이 연속적으로 수행되어 나노분말의 단위 시간당 생산량이 증가되고, 전기 폭발이 일어나는 거리 및 시점이 일정하게 되어 나노분말의 품질이 향상되는 효과를 얻을 수 있다.

본 발명에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로 본 발명을 한정하려는 의도가 아니며, 단수의 표현은 문맥상 명백히 다르게 뜻하지 않는 한 복수의 표현을 포함한다.

본 발명의 실시예로는 다수 개가 존재할 수 있으며, 설명에 있어서 종래의 기술과 동일한 부분에 대하여 중복되는 설명은 생략되는 것도 있다.

본 발명은 전기 폭발법에 의한 금속 나노분말의 제조시 단위 시간당 분말제조의 양을 증가시키고 그 품질을 향상시키기 위한 것으로, 금속선의 피딩을 자동화하기 위한 수단을 포함하여 연속적으로 금속 나노분말을 제조할 수 있는 구성을 제공한다.

이하, 첨부된 도면을 참조로 하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명한다.

도 1은 본 발명에 따른 전기폭발에 의한 금속 나노분말 제조 장치의 구성을 개략적으로 도시하고 있는 구성도이고, 도 2는 본 발명에 따른 챔버 내의 전극에 고전압의 전원을 공급하기 위한 구성을 개략적으로 보여주는 구성도이며, 도 3은 본 발명에 따른 챔버 내의 구성을 보여주는 개략적인 구성도이다.

도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 전기폭발에 의한 금속 나노분말 제조 장치는 금속선(M')에 고전압의 전기에너지를 가하여 기중 혹은 액중에서 전기 폭발시킴으로서 나노 크기의 금속 분말을 얻을 수 있는 구성으로서, 특히 챔버(300) 내의 전극(320) 사이에 일정 길이로 절단한 금속선(M')을 자동으로 피딩하기 위하여, 금속선(M)을 일정 길이로 절단하여 제공하는 단위금속선 로딩부(100)와, 일정하게 절단된 금속선(M')을 챔버(300) 내의 전극(320) 사이에 거치시키는 단위금속선 피딩부(200)를 포함하여 구성된다.

본 발명의 실시예에서는 금속선(M)이 감겨져 있는 와이어 휠(110)과, 금속선(M)을 전개하는 한 쌍의 가이드롤러(120)와, 통과하는 금속선(M)을 직선형으로 인출하는 플래니싱(planishing) 롤러(130)와, 직선형으로 인출된 금속선(M)을 일정 길이로 절단하는 와이어 커팅장치(140)를 포함하는 단위금속선 로딩부(100)를 구성할 수 있다.

상기 와이어 휠(110)과 가이드롤러(120) 및 플래니싱 롤러(130)는 회전구동력을 제공하는 전기모터에 의해 구동될 수 있다.

본 발명의 실시예에서 단위금속선(M')은 일정한 길이로 절단된 금속선을 의미한다.

그리고, 단위금속선(M')을 클램핑하여 챔버(300) 내의 전극(320) 사이에 거치되게 하는 와이어 핑거(210)와, 단위금속선(M')을 클램핑하여 와이어 핑거(210) 측으로 선형이동되는 보조 핑거(230)와, 상기 와이어 핑거(210)의 상하왕복이동을 위한 승강이동장치(220) 및 상기 보조 핑거(230)의 좌우왕복이동을 위한 선형이동장치(미도시) 등을 포함하는 단위금속선 피딩부(200)를 구성할 수 있다.

예를 들어, 상기 승강이동장치(220)는 공압식 혹은 유압식으로 작동되는 실린더장치로 구성되고, 이 실린더장치의 피스톤로드에 상기 와이어 핑거(210)가 연결되게 구성할 수 있다.

그리고, 상기 선형이동장치는 단위금속선(M')을 클램핑한 보조 핑거(230)를 좌우 수평으로 이동시켜서, 와이어 핑거(210)가 상기 보조 핑거(230)로부터 단위금속선(M')을 전달받아 클램핑할 수 있도록 하며, 이를 위하여 수평이동식의 실린더장치 혹은 유압장치로 구현될 수 있다.

한편, 기체 또는 용액(S)이 채워지는 챔버(300) 내에는 기중 혹은 액중에서 전기 폭발을 일으키기 위하여 고전압의 전기에너지를 가할 수 있도록 구성된 한 쌍의 전극(320)이 배치된다.

상기 한 쌍의 전극(320)은 단위금속선(M')을 안착되게 하기 위하여, 마주보는 두 개의 전극단(전극의 하단부로서 금속선(M')이 걸쳐지는 부분)(321)이 하방으로 경사지게 형성됨으로써, 도 3에 도시된 바와 같이 한 쌍의 전극단(321) 사이에 공간이 테이퍼지게 된다.

이에 따라 와이어 핑거(210)에서 언클램핑되어 전극(320) 사이에 놓인 단위금속선(M')이 전극단(321) 사이에 걸쳐지게 되고, 이러한 구조는 반복된 전기 폭발에 의해 전극단(321)이 손상되어 전극(320) 사이의 간격이 변화하거나, 또는 절단된 금속선(M')의 길이가 변화하더라도 전극(320)의 교체없이 금속선(M')이 전극단(321) 사이에 안착가능하도록 한다.

그리고, 상기 전극단(321) 내측으로 영구자석(323)을 내설하여, 단위금속선(M')이 영구자석(323)의 자성에 의해 양측 전극(혹은 전극단)(320)으로 끌어당겨짐으로써, 전극(320) 사이에서 금속선(M')이 더욱 안정되게 위치하도록 구성할 수 있다.

상기 챔버(300)의 상단에는 전극(320)의 상단부가 고정지지되는 덮개(310)가 설치되고, 이 덮개(310)에는 상기 와이어 핑거(210)가 승강하며 소통할 수 있는 개구부(311)가 형성된다.

그리고, 상기 덮개(310)에는 챔버(300)의 개구된 상단부를 밀폐할 수 있도록 하기 위하여, 상기 덮개(310)의 개구부(311)를 개폐하기 위한 개폐장치(313)가 구 비되며, 본 발명에서 개폐장치(313)는 개구부(311)를 열고 닫을 수 있는 개구부 도어(미도시)를 포함하여 구성될 수 있다.

예를 들어, 상기 개폐장치(313)는 개구부(311)에서 수직으로 이동가능한 사각 또는 원형의 기둥과, 이 기둥들을 상하로 왕복운동시키기 위한 실린더장치 또는 유압장치로 구현될 수 있다.

본 발명은 이와 같이 상기 챔버(300)를 밀폐하여 구성할 수 있으므로 안전하게 나노분말을 얻을 수 있고, 이러한 금속선(M)의 자동 피딩을 연속적으로 반복 수행하여 나노분말의 단위 시간당 생산량이 증가하게 된다.

한편, 본 발명은 도 2에 도시된 바와 같이 상기 전극(320)에 고전압의 전원을 공급하기 위한 전원공급부(400)가 구성된다.

상기 전원공급부(400)의 일구성으로서, 한 쌍의 전극(320)과 연결되는 스위치(410)가 구성되고, 상기 스위치(410)에는 고전압이 충전될 수 있는 캐패시터(430)가 연결되고, 이 캐패시터(430)에는 고전압을 충전시킬 수 있는 고전압 충전기(420)가 연결된다.

상기 스위치(410)에는 제어부가 연결되고, 제어부가 스위치(410)에 캐패시터(430)의 충전완료신호를 전달하여 스위치(410)를 온(on) 상태로 동작시킬 수 있다.

본 발명에서 스위치(410)는 전극(320)에 대하여 계속적인 스위칭 작업을 수행할 수 있는 스위치로 구성하되, 바람직하게는 충분한 내구성을 담보할 수 있도록 컴프레서와 벤트를 포함하는 갭 스위치(410)로 구성할 수 있다.

본 발명은 제어부에 작업자의 입력을 전달할 수 있는 동작패널(operating panel)(510)이 구성되고, 이 동작패널(510)에 금속선(M)을 자동 피딩하고 나노 사이즈화하는 금속 나노분말의 제조 과정을 반복하는 횟수를 지정하여, 본 발명에 따른 나노분말의 제조 동작을 연속적으로 반복하도록 할 수 있다.

또한, 챔버(300) 내에서 발생하는 전기 폭발에 의한 충격이 본 발명의 전체 구조물에 전달되는 것을 방지하기 위하여, 상기 챔버(300)에 충격 흡수체(520)를 설치할 수 있다.

이러한 충격 흡수체(520)는 공압 또는 유압 등에 의해 동작하도록 구성할 수 있고, 상기 챔버(300)가 설치되는 본 발명의 메인 프레임(500)에 고정되어 챔버(300) 내의 전기 폭발에 의한 충격을 흡수하게 된다.

또한, 전기 폭발에 따른 소음과 충격을 감소시키기 위하여 챔버(300)의 바닥면과 측면을 감쌀 수 있는 방진 방음 흡수체(530)를 메인 프레임(500) 상에 설치하는 것도 바람직하다.

이하, 상기와 같이 구성된 본 발명에 따른 실시예의 작동상태를 설명하면 다음과 같다.

도 4는 본 발명에 따른 전기폭발에 의한 금속 나노분말 제조 장치의 동작을 개략적으로 보여주는 순서도이다.

본 발명에서 금속선(M)의 나노 분말화를 위한 모든 순차적인 동작의 조건은 동작패널(510)에서 입력하여 자동적으로 작동하도록 할 수 있다.

동작패널(510)에 입력된 바에 따라 시작신호가 입력되면 와이어 휠(110)이 일방향으로 회전하면서 금속선(M)을 제공하고, 가이드롤러(120)와 플래니싱 롤러(130) 등을 회전동작시켜 금속선(M)이 변형되지 않고 직선형으로 전개되도록 하여 일정한 길이로 인출한다.

금속선(M)의 인출 길이는 제어부에서 와이어 휠(110)을 회전구동시키는 모터의 회전각을 감지하여 일정하게 제어할 수 있다.

인출된 금속선(M)을 보조 핑거(230)가 잡고, 그 상태에서 와이어 커팅장치(140)가 동작하여 금속선(M)을 일정 길이로 절단한다.

일정 길이로 절단된 금속선 즉, 단위금속선(M')을 잡은 보조 핑거(230)는 선형이동장치에 의해 도 1을 기준으로 좌측으로 수평 이동되어 와이어 핑거(210) 측으로 이동되고, 와이어 핑거(210)는 상기 보조 핑거(230)로부터 단위금속선(M')을 전달받아 클램핑한 다음, 수직 하강하여 챔버(300) 내의 전극(320) 사이에 단위금속선(M')을 거치시킨 후, 상승하여 챔버(300) 밖으로 이동한다.

상기 와이어 핑거(210)가 챔버(300) 밖으로 이동하여 초기 위치로 이동이 완료되면 챔버(300)의 덮개(310)에 설치된 개폐장치(313)를 동작시켜 개구부(311)를 닫고, 고전압 충전기(420)를 동작시켜 캐패시터(430)에 일정한 전압을 충전한다.

캐패시터(430)의 충전이 완료되면 고전압 충전기(420)를 오프(off)한 다음, 갭 스위치(410)를 온(ON)으로 작동시켜 캐패시터(430)에 충전된 고전압의 전류가 챔버(300) 내 용액(S)에 담겨진 전극(320)에 통전되도록 하여, 전극단(321) 사이에 안착된 금속선(M')에 고전압이 통전되어 전기 폭발이 일어나게 한다.

이처럼 본 발명에서 제어부는 챔버(300)의 덮개(310)가 밀폐되면 고전압 충전기(420)를 작동되게 하고, 캐패시터(430)의 충전이 완료되면 갭 스위치(410)를 온(ON) 시켜 한 쌍의 전극(320)을 통전되게 하여 전기 폭발을 일으킨다.

이러한 전기적 폭발과 함께 금속선(M')이 기중 혹은 액중에서 기화되고, 기화된 증기의 부피팽창으로 만들어진 공간에 금속 나노분말이 생성된다.

전기 폭발이 완료되면 개폐장치(313)를 동작시켜 챔버(300) 덮개(310)의 개구부(311)를 개방한다.

상기와 같이 생성된 금속 나노분말은 공지된 기술에 따라 걸러내고 크기별로 분급하여 포집할 수 있다.

이와 같은 금속선(M)의 나노 사이즈화를 위한 과정은 동작패널(510)에 지정된 횟수에 의해 연속적으로 실행될 수 있다.

이상에서는 본 발명을 특정의 바람직한 실시예에 대하여 도시하고 설명하였으나, 본 발명은 이러한 실시예에 한정되지 않으며, 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 실시할 수 있는 다양한 형태의 실시예들을 모두 포함한다.

도 1은 본 발명에 따른 전기폭발에 의한 금속 나노분말 제조 장치의 구성을 개략적으로 도시하고 있는 구성도

도 2는 본 발명에 따른 챔버 내의 전극에 고전압의 전원을 공급하기 위한 구성을 개략적으로 보여주는 구성도

도 3은 본 발명에 따른 챔버 내의 구성을 보여주는 개략적인 구성도

도 4는 본 발명에 따른 전기폭발에 의한 금속 나노분말 제조 장치의 동작을 개략적으로 보여주는 순서도

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

100 : 단위금속선 로딩부

110 : 와이어 휠

120 : 가이드 롤러

130 : 플래니싱 롤러

140 : 와이어 커팅장치

200 : 단위금속선 피딩부

210 : 와이어 핑거

220 : 승강이동장치

230 : 보조 핑거

300 : 챔버

310 : 덮개

311 : 개구부

313 : 개폐장치

320 : 전극

321 : 전극단

323 : 영구자석

410 : 갭 스위치

420 : 고전압 충전기

500 : 메인 프레임

510 : 동작패널

520 : 충격 흡수체

530 : 방진 방음 흡수체

Claims

삭제
기체 혹은 용액(S)이 담긴 챔버(300) 내의 한 쌍의 전극(320) 사이에 단위금속선(M')을 제공하는 제1단계;

상기 한 쌍의 전극(320) 사이에 전기에너지를 공급하는 제2단계;

공급된 전기에너지에 의해 상기 단위금속선(M')을 기중 혹은 액중에서 전기 폭발시키는 제3단계;

를 포함하며,

상기 제1단계는,

전개되는 금속선(M)을 직선형의 일정한 길이로 전개하는 단계;

전개된 금속선(M)을 일정 길이로 절단하여 단위금속선(M')을 마련하는 단계;

상기 단위금속선(M')을 수직 및 수평으로 이동시켜 챔버(300) 내의 전극(320) 사이에 거치하는 단계;

로 진행되는 것을 특징으로 하는 전기폭발에 의한 금속 나노분말 제조 방법.
청구항 2에 있어서, 상기 제2단계는,

챔버(300)를 밀폐하는 단계;

전극(320)에 공급하기 위한 전기에너지를 충전하는 단계;

전기에너지의 충전이 완료되면 통전가능하게 하여 한 쌍의 전극(320)으로 방전하는 단계;

로 진행되는 것을 특징으로 하는 전기폭발에 의한 금속 나노분말 제조 방법.
내부에 기체 혹은 용액(S)이 담긴 챔버(300)와;

상기 챔버(300) 내의 기체 혹은 용액(S)에 잠긴 한 쌍의 전극(320)과;

일정 길이의 단위금속선(M')을 제공하는 단위금속선 로딩부(100)와;

상기 단위금속선(M')을 수직 및 수평 이동시켜 상기 챔버(300) 내의 전극(320) 사이에 제공하는 단위금속선 피딩부(200)와;

상기 전극(320)으로 고전압의 전기 에너지를 공급하는 전원공급부(400);

를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 전기폭발에 의한 금속 나노분말 제조 장치.
청구항 4에 있어서, 상기 단위금속선 로딩부(100)는,

금속선(M)이 감겨져 있는 와이어 휠(110);

상기 금속선(M)을 직선형으로 전개하여 일정 길이로 인출하는 플래니싱 롤 러(130);

인출된 금속선(M)을 일정 길이로 절단하는 와이어 커팅장치(140);

를 포함하는 것을 특징으로 하는 전기폭발에 의한 금속 나노분말 제조 장치.
청구항 4에 있어서, 상기 단위금속선 피딩부(200)는,

단위금속선(M')을 클램핑하는 보조 핑거(230);

상기 보조 핑거(230)로부터 단위금속선(M')을 전달받아 클램핑하는 와이어 핑거(210);

상기 보조 핑거(230)를 좌우 수평으로 이동되게 하는 선형이동장치;

상기 와이어 핑거(210)를 상하 수직으로 이동되게 하는 승강이동장치(220);

를 포함하는 것을 특징으로 하는 전기폭발에 의한 금속 나노분말 제조 장치.
청구항 4에 있어서,

상기 챔버(300)의 덮개(310)에 형성된 개구부(311)를 여닫는 개폐장치(313)가 구성되는 것을 특징으로 하는 전기폭발에 의한 금속 나노분말 제조 장치.
청구항 4에 있어서,

상기 한 쌍의 전극(320)의 전극단(321)은 마주하는 방향으로 테이퍼지게 형성된 것을 특징으로 하는 전기폭발에 의한 금속 나노분말 제조 장치.
청구항 8에 있어서,

상기 전극(320)의 전극단(321)에 영구자석(323)이 내설되는 것을 특징으로 하는 전기폭발에 의한 금속 나노분말 제조 장치.
청구항 4에 있어서, 상기 전원공급부(400)는,

상기 전극(320)에 연결되는 갭 스위치(410);

상기 갭 스위치(410)에 연결되는 캐패시터(430);

상기 캐패시터(430)를 충전시키는 고전압 충전기(420);

로 구성되는 것을 특징으로 하는 전기폭발에 의한 금속 나노분말 제조 장치.
청구항 4 내지 청구항 10 중 어느 한 항에 있어서,

상기 챔버(300) 내에서 발생하는 전기 폭발에 의한 충격이 흡수되는 충격 흡수체(520)가 더 구성되는 것을 특징으로 하는 전기폭발에 의한 금속 나노분말 제조 장치.
청구항 4 내지 청구항 10 중 어느 한 항에 있어서,

상기 챔버(300)의 바닥면과 측면을 감싸도록 형성되어, 챔버(300) 내에서의 전기 폭발에 따른 소음과 충격을 감소시키는 방진 방음 흡수체(530)가 더 구성되는 것을 특징으로 하는 전기폭발에 의한 금속 나노분말 제조 장치.