KR20120012412A - Detecting sensor and method of making the same - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: A detecting sensor and a manufacturing method thereof are provided to give enough energy to the boundary of a cable and a cable withdrawing part. CONSTITUTION: A detecting sensor comprises a case(14), a cable withdrawing part(23), and a cable(16). The case accepts a sensor main part for detecting a detected substance and is made of fluorine resin. The cable withdrawing part is formed in order to be projected from the corresponding case. The cable is withdrawn to the outside of the case from the front end of the cable withdrawing part. The cable has an exterior cover member(16a) made of fluorine resin.

Description

검출 센서 및 검출 센서의 제조방법{DETECTING SENSOR AND METHOD OF MAKING THE SAME}DETECTING SENSOR AND METHOD OF MAKING THE SAME}

본 발명은, 검출 센서(sensor) 및 검출 센서의 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to a detection sensor and a manufacturing method of the detection sensor.

종래의 검출 센서로서, 피검출물을 검출하기 위한 센서 주요부를 내부에 수용하는 케이스(case)와, 동(同) 케이스에 형성된 통형의 케이블(cable) 도출부와, 동 케이블 도출부에서 외부로 도출되는 케이블을 구비한 것이 알려져 있다. (예를 들면, 특개2005-285501호 공보 참조). 이와 같은 검출 센서는, 약품 등의 액체에 노출됨으로 인한 센서 주요부 및 케이블 내의 도선의 부식을 방지하기 위하여, 케이스 및 케이블의 외피부재가 불소수지로 이루어진다. 센서 주요부의 부식을 방지하기 위해서는 케이스 내부의 수밀성도 확보하여야 하고, 이를 위해서는 케이스의 케이블 도출부와 케이블의 사이를 확실하게 봉합할 필요가 있다. 그 방법으로서, 케이블 도출부와 케이블을 접착제로 서로 접착하는 방법을 생각할 수 있다. 그러나 불소수지는 접착제에 대한 친화성이 낮기 때문에, 불소수지끼리인 케이블 도출부와 케이블의 외피부재의 접착제에 의한 접착은 어렵다. 또한, 접착 이외의 방법으로서 가열 용착하는 방법을 생각할 수 있다. 그러나 불소수지는 내약품성을 가질 뿐 아니라 내열성도 우수하기 때문에 융점이 높고, 불소수지끼리인 케이블 도출부와 케이블의 외피부재의 가열 용착도 어렵다.A conventional detection sensor, comprising: a case accommodating a main part of a sensor for detecting an object to be detected therein; a tubular cable lead portion formed in the case; It is known to have a cable drawn out. (See, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2005-285501). In such a detection sensor, in order to prevent corrosion of the main part of the sensor due to exposure to liquids such as chemicals and the conducting wires in the cable, the shell member of the case and the cable is made of fluorine resin. In order to prevent corrosion of the main part of the sensor, the watertightness inside the case must also be secured, and for this purpose, it is necessary to seal the cable between the cable lead of the case and the cable. As a method, a method of adhering the cable lead-out portion and the cable to each other with an adhesive can be considered. However, since the fluorine resin has low affinity for the adhesive, it is difficult to bond the adhesive with the cable lead-out portion between the fluorine resin and the outer shell member of the cable. Moreover, the method of heat welding can be considered as a method other than adhesion | attachment. However, since the fluorine resin has not only chemical resistance but also excellent heat resistance, it has a high melting point, and it is difficult to heat weld the cable lead-out portion between the fluorine resin and the outer shell member of the cable.

그래서 케이블 도출부와 케이블을 레이저 광으로 용착하는 방법을 안출할 수 있다. 이 방법에서는, 케이블이 삽입 통과된 케이블 도출부에 대하여 외측에서 레이저 광을 조사함으로써 충분한 에너지가 케이블 도출부와 케이블의 경계부분에 부여된다. 이에 따라 케이블 도출부와 케이블을 서로 용착하는 것이 가능하다.Therefore, the cable lead-out part and the method of welding a cable with a laser beam can be devised. In this method, sufficient energy is applied to the cable lead-out portion and the boundary of the cable by irradiating a laser light from the outside to the cable lead-out portion through which the cable is inserted. Thereby, it is possible to weld a cable lead-out part and a cable to each other.

그런데, 상기한 바와 같은 검출 센서에 있어서, 케이블 도출부가 케이블을 지지하는데 충분한 강성을 확보하기 위해서는, 케이블 도출부의 두께(내주면에서 외주면까지의 두께)를 두껍게 할 필요가 있다. 그러나 케이블 도출부의 두께를 두껍게 하면, 레이저 광의 에너지가 케이블과의 경계부분에 양호하게 부여되지 아니 하여 용착이 불충분해진다. 그 결과, 케이블 도출부와 케이스 사이의 용착 강도 및 케이스의 수밀성의 저하를 초래할 우려가 있다.By the way, in the above-described detection sensor, in order to ensure the rigidity sufficient for the cable lead-out part to support a cable, it is necessary to thicken the thickness (thickness from an inner peripheral surface to an outer peripheral surface) of a cable lead-out part. However, if the thickness of the cable lead-out portion is made thick, the energy of the laser light is not imparted well to the boundary with the cable, resulting in insufficient welding. As a result, there exists a possibility that the welding strength between a cable lead-out part and a case may fall, and the watertightness of a case may fall.

특허문헌 1: 일본공개특허 2005-285501호 (키엔스 주식회사) 2005.10.13.Patent Document 1: Japanese Patent Application Laid-Open No. 2005-285501 (Kiens Co., Ltd.) 2005.10.13.

본 발명의 목적은, 케이블 도출부가 케이블의 지지에 충분한 강성을 확보하면서도 케이블 도출부와 케이블을 양호하게 레이저 용착하는 것이 가능한 검출 센서 및 검출 센서의 제조방법을 제공하는데 있다.An object of the present invention is to provide a detection sensor and a manufacturing method of the detection sensor capable of laser welding the cable lead-out portion and the cable satisfactorily while securing the rigidity sufficient to support the cable.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 일 태양에 따르면, 피검출물을 검출하기 위한 센서 주요부를 수용하고, 불소수지로 이루어지는 케이스와, 해당 케이스에서 돌출하도록 형성된 통형의 케이블 도출부와, 해당 케이블 도출부의 선단부에서 케이스의 외부로 도출됨과 아울러 불소수지로 이루어지는 외피부재를 가지는 케이블을 구비한 검출 센서가 제공된다. 케이블 도출부와 케이블의 외피부재가 레이저 용착됨으로써 케이블 도출부와 케이블의 외피부재의 사이가 봉합된다. 케이블 도출부의 선단부가 경사진 형상을 가지고 있다.In order to achieve the above object, according to one aspect of the present invention, there is provided a main portion of the sensor for detecting the object to be detected, a case made of fluorine resin, a tubular cable lead-out portion formed to protrude from the case, and the corresponding cable. A detection sensor provided with a cable which is drawn out of the front end of the lead-out part to the outside of the case and which has a shell member made of fluorine resin is provided. Laser welding of the cable lead-out portion and the outer shell member of the cable seals between the cable lead-out portion and the outer shell member of the cable. The tip of the cable lead-out has an inclined shape.

본 발명의 다른 태양에 따르면, 검출 센서의 제조방법이 제공된다. 검출 센서는, 불소수지로 이루어지는 케이스와, 해당 케이스에서 돌출하도록 형성된 통형의 케이블 도출부와, 해당 케이블 도출부의 선단부에서 케이스의 외부로 도출됨과 아울러 불소수지로 이루어지는 외피부재를 가지는 케이블을 구비한다. 케이블 도출부와 케이블의 사이가 봉합된다. 제조방법은, 케이블 도출부의 선단부를 경사진 형상으로 형성하는 공정과, 선단부에 있어서 케이블 도출부와 케이블을 레이저 용착하는 공정을 구비한다.According to another aspect of the present invention, a method of manufacturing a detection sensor is provided. The detection sensor includes a case made of a fluorine resin, a cable having a cylindrical cable lead portion formed to protrude from the case, and a cable having a shell member made of fluorine resin, which is led out of the case at the tip of the cable lead portion. The cable lead is sealed between the cable. The manufacturing method includes a step of forming the tip end portion of the cable lead-out portion in an inclined shape, and a step of laser welding the cable lead-out portion and the cable at the tip portion.

도 1은, 본 실시예의 일 실시예에 따른 누액 검출 센서의 용도의 일예를 나타낸 개략도이다.
도 2는, 도 1의 누액 검출 센서를 나타낸 사시도이다.
도 3은, 도 2의 누액 검출 센서를 나타낸 분해사시도이다.
도 4는, 도 2의 누액 검출 센서를 나타낸 평면도이다.
도 5는, 도 2의 누액 검출 센서를 나타낸 저면도이다.
도 6은, 도 2의 6-6선을 따른 단면도이다.
도 7은, 도 4의 7-7선을 따라 검출부를 통과하도록 절단한 단면도이다.
도 8은, 누액 검출 센서의 커버(cover)를 나타낸 사시도이다.
도 9는, 투광(投光)소자로부터의 광의 진로를 설명하기 위한 모식도이다.
도 10은, 케이블 도출부와 케이블의 레이저(laser) 용착방법을 설명하기 위한 사시도이다.
도 11의 (a) 및 (b)는, 케이블 도출부와 케이블의 레이저 용착을 설명하기 위한 사시도이다.
1 is a schematic diagram showing an example of a use of a leaky liquid detection sensor according to an embodiment of the present embodiment.
FIG. 2 is a perspective view illustrating the leaky liquid detection sensor of FIG. 1. FIG.
3 is an exploded perspective view showing the leaky liquid detection sensor of FIG. 2.
4 is a plan view illustrating the leaky liquid detection sensor of FIG. 2.
FIG. 5 is a bottom view of the leak detection sensor of FIG. 2. FIG.
FIG. 6 is a cross-sectional view taken along line 6-6 of FIG. 2.
FIG. 7 is a cross-sectional view taken along the line 7-7 of FIG. 4 to pass through the detection unit.
8 is a perspective view showing a cover of a leaky liquid detection sensor.
9 is a schematic diagram for explaining the course of light from a light transmitting element.
10 is a perspective view for explaining a laser welding method of the cable lead-out portion and the cable.
(A) and (b) is a perspective view for demonstrating the laser welding of a cable lead-out part and a cable.

이하, 본 발명의 일 실시예에 따른 검출 센서를 도면에 따라서 설명한다.Hereinafter, a detection sensor according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

도 1에 나타낸 바와 같이 누액 검출 센서(1)는, 공장 내의 제조장치(D)의 하방(下方)의 설치면(P)에 볼트(bolt)(미도시)로 설치되어 제조장치(D)로부터의 누액을 검출한다. 누액 검출 센서(1)는, 도 2, 도 3, 도 4 및 도 5에 나타낸 바와 같이 센서 본체부(11)와, 설치면(P)과 센서 본체부(11) 사이에 개재되는 베이스(base)부(12)와, 센서 본체부(11)를 설치면(P)에 대하여 고정함과 아울러 베이스부(12)를 지지하는 지지부재(13)를 갖고 있다.As shown in FIG. 1, the leaking liquid detection sensor 1 is installed in the installation surface P below the manufacturing apparatus D in a factory with a bolt (not shown), and is removed from the manufacturing apparatus D. Detect leaks. As shown in Figs. 2, 3, 4 and 5, the leak detection sensor 1 has a base interposed between the sensor main body 11 and the mounting surface P and the sensor main body 11. ) And a support member 13 for fixing the sensor main body 11 to the mounting surface P and supporting the base 12.

센서 본체부(11)는, 대략 유저원통형(有低圓筒形), 즉 캡(cap) 형상의 케이스(case)(14)의 상부를 수밀(水密)하게 폐쇄하는 커버(cover)(15)와, 케이스(14)에서 도출된 케이블(16)을 가진다. 케이스(14)는, 기판(17) 등의 센서 주요부를 수용한다. 케이스(14)는, 내열성 및 내약품성을 가진 퍼플루오르알콕시알칸(PFA: perfluoro alkoxy alkane) 등의 불소수지로 이루어지고, 원통형의 외주부(21)와, 외주부(21)의 하단을 막는 저부(22)를 가진다. 외주부(21)의 개구(14a)(저부(22)와는 반대측인 단부)는, 대략 원반(圓盤)형의 커버(15)(도 8 참조)로 폐쇄되어 있다. 이 커버(15)도 내열성 및 내약품성을 가진 PFA 등의 불소수지로 이루어진다.The sensor main body 11 is a cover 15 which closes the upper part of a case 14 in a substantially cylindrical shape, that is, a cap shape, in a watertight manner. And the cable 16 drawn from the case 14. The case 14 accommodates a sensor main part such as a substrate 17. The case 14 is made of a fluorine resin such as perfluoro alkoxy alkane (PFA) having heat resistance and chemical resistance, and has a cylindrical outer peripheral portion 21 and a bottom portion 22 which closes the lower end of the outer peripheral portion 21. ) The opening 14a (the end opposite to the bottom 22) of the outer circumferential portion 21 is closed by a substantially disc shaped cover 15 (see Fig. 8). This cover 15 is also made of fluorine resin such as PFA having heat resistance and chemical resistance.

케이블(16)은, 내열성 및 내약품성을 가진 PFA 등의 불소수지로 이루어지는 튜브(tube)형의 외피부재(16a)를 가지고, 그 외피부재(16a)의 내부에 복수의 도선(미도시)을 가진다. 케이블(16) 내부의 도선은, 케이스(14)의 내부에 수용된 기판(17)에 전기적으로 접속되어 있다. 케이블(16)은, 케이스(14)에 형성된 케이블 도출부(23)의 선단부(23a)에서 케이스(14)의 외부로 도출되어 있다. 케이스(14) 내에 수용된 기판(17)의 상면은, 높이방향, 즉 수직방향(Z)과 직교하도록 설치되어 있다. 기판(17)의 하면에는, 투광소자(18)와 수광소자(19)가 각각 2개씩 설치되어 있다(도 7 참조). 또한 기판(17)의 상면에는, 좌우방향, 즉 횡방향(Y)을 따라 나열되는 3개의 엘이디(LED)(20)가 설치되어 있다(도 6 및 도 7 참조).The cable 16 has a tube-like sheath member 16a made of a fluorine resin such as PFA having heat resistance and chemical resistance, and a plurality of conductors (not shown) are provided inside the sheath member 16a. Have The conducting wire inside the cable 16 is electrically connected to the board | substrate 17 accommodated in the inside of the case 14. As shown in FIG. The cable 16 is led out of the case 14 from the tip portion 23a of the cable lead-out portion 23 formed in the case 14. The upper surface of the substrate 17 accommodated in the case 14 is provided to be perpendicular to the height direction, that is, the vertical direction Z. On the lower surface of the substrate 17, two light transmitting elements 18 and two light receiving elements 19 are provided, respectively (see Fig. 7). In addition, three LEDs (LEDs) 20 arranged along the left and right directions, that is, the transverse directions Y are provided on the upper surface of the substrate 17 (see FIGS. 6 and 7).

케이스(14)의 외주부(21)의 전후방향(X)의 후단부에는, 대략 직사각형으로 돌출하는 기부(基部)(24)가 형성되어 있다. 기부(24)의 전후방향(X)의 단면(24a)은 전후방향(X)과 직교하는 평면을 가지고 있다. 그 단면(24a)에서 전후방향(X)을 따라 돌출하는 상기 케이블 도출부(23)가 형성되어 있다. 케이블 도출부(23)는 원통형이며, 그 내주부는 케이블(16)을 삽입통과하기 위한 삽입통과공(25)(도 6 참조)이다.At the rear end of the outer peripheral portion 21 of the case 14 in the front-rear direction X, a base 24 protruding substantially rectangular is formed. The end surface 24a of the front-back direction X of the base 24 has the plane orthogonal to the front-back direction X. As shown in FIG. The cable lead-out portion 23 protruding from the end face 24a along the front-back direction X is formed. The cable lead-out part 23 is cylindrical, and the inner peripheral part is the insertion through-hole 25 (refer FIG. 6) for inserting the cable 16 through.

케이블 도출부(23)의 선단부(23a)는, 테이퍼(taper) 형상, 즉 끝으로 갈수록 가늘어지는 형상을 가지고 있다. 상세히 기술하면, 케이블 도출부(23)의 선단부(23a)는 원뿔대 형상을 가지고 있다. 케이블 도출부(23)의 삽입통과공(25)의 직경(케이블 도출부(23)의 내경)은, 케이블 도출부(23)의 축방향 전체에 걸쳐 일정해지도록 형성되어 있다(도 6 참조). 더욱이 케이블 도출부(23)의 축방향은, 삽입통과공(25)의 관통방향과 일치되어 있고, 본 실시예에서는 누액 검출 센서(1)의 전후방향(X)과도 일치하고 있다. 한편, 케이블 도출부(23)의 외경은, 그 기단부(23b)에서 케이블 도출부(23)의 축방향의 중간부분까지는 일정하고, 케이블 도출부(23)의 선단부(23a)에 있어서는, 선단을 향하여 감에 따라 점차 작아진다. 환언(換言)하면, 케이블 도출부(23)의 외주면은, 기단부(23b)에서 케이블 도출부(23)의 축방향 중간부분까지에 있어서는 케이블 도출부(23)의 축방향을 따라 평행하게 연장되어 있고, 선단부(23a)에 있어서는 테이퍼 형상으로 이루고 경사면으로 되어 있다. 즉, 케이블 도출부(23)의 기단부(23b)는, 선단부(23a)보다도 큰 두께를 가진다. 이에 따라 케이블 도출부(23)의 강성을 확보하는 것이 가능하게 되어 있다.The tip portion 23a of the cable lead-out portion 23 has a taper shape, that is, a taper shape toward the end. In detail, the tip portion 23a of the cable lead-out portion 23 has a truncated cone shape. The diameter (inner diameter of the cable lead-out part 23) of the insertion hole 25 of the cable lead-out part 23 is formed so that it may become constant over the whole axial direction of the cable lead-out part 23 (refer FIG. 6). . Moreover, the axial direction of the cable lead-out part 23 coincides with the penetrating direction of the insertion through hole 25, and in this embodiment also coincides with the front-rear direction X of the leakage liquid detecting sensor 1. On the other hand, the outer diameter of the cable lead-out part 23 is constant from the base end 23b to the middle part of the cable lead-out part 23 in the axial direction, and the tip end 23a of the cable lead-out part 23 is fixed. It gradually gets smaller as you go. In other words, the outer circumferential surface of the cable lead-out part 23 extends in parallel along the axial direction of the cable lead-out part 23 from the base end 23b to the axial middle part of the cable lead-out part 23. The tip portion 23a has a tapered shape and is inclined. That is, the base end part 23b of the cable lead-out part 23 has a thickness larger than the tip end part 23a. This makes it possible to secure the rigidity of the cable lead-out section 23.

더욱이, 기부(24)의 단면(24a)에 있어서 케이블 도출부(23)의 횡방향(Y) 양측에는, 수직방향(Z)을 따라 직선형으로 연장하는 결합홈(26)이 각각 형성되어 있다. 또한, 기부(24)의 횡방향(Y) 양측면에는, 수직방향(Z)을 따라 직선형으로 연장하는 결합 돌출부(27)가 형성되어 있다.Further, coupling grooves 26 extending in a straight line along the vertical direction Z are formed on both sides of the cable lead-out portion 23 in the transverse direction Y in the end face 24a of the base 24. Moreover, the engaging protrusion part 27 extended linearly along the vertical direction Z is formed in the both sides of the transverse direction Y of the base 24. As shown in FIG.

또한, 케이스(14)의 외주부(21)에 있어서 횡방향(Y) 양측 부분에는, 복수의 돌기군으로 이루어지는 파지부(把持部)(21a)가 형성되어 있다(도 4 참조). 파지부(21a)는, 누액 검출 센서(1) 또는 센서 본체부(11) 단체(單體)를 잡을 때의 표적 및 미끄럼막이로서 기능한다. 또한, 케이스(14)의 외주부(21)에 있어서 파지부(21a)보다도 전측(前側)(기부와 반대측)의 위치에는, 1쌍의 돌기부(21b)가 형성되어 있다. 도시하지 않은 고정수단으로 돌출부(21b)를 하방으로 내리누룸으로써 케이스(14)의 전단부의 진동을 방지할 수가 있다. 또한, 이 돌출부(21b)는, 케이스(14)의 수직방향(Z) 중간부에 형성되어 있다. 이 때문에, 상기 고정수단으로 돌출부(21b)를 하방으로 누를 때에, 그 고정수단이 케이스(14)보다도 상방으로 돌출하는 것을 방지하는 것이 가능하게 되어 있다.Moreover, the holding part 21a which consists of several protrusion group is formed in the both sides of the horizontal direction Y in the outer peripheral part 21 of the case 14 (refer FIG. 4). The holding part 21a functions as a target and a slipper at the time of catching the leaked liquid detection sensor 1 or the sensor main body 11 alone. In addition, in the outer peripheral part 21 of the case 14, a pair of protrusion part 21b is formed in the position of the front side (opposite side to base) rather than the holding part 21a. The vibration of the front end of the case 14 can be prevented by pushing down the projection part 21b below by the fixing means which is not shown in figure. The protruding portion 21b is formed in the middle of the vertical direction Z of the case 14. For this reason, when pressing the projection part 21b downward with the said fixing means, it becomes possible to prevent that the fixing means protruding upwards rather than the case 14. As shown in FIG.

지지부재(13)에는, 고정용의 상기 볼트를 삽입통과하기 위한 볼트 삽입통과공(31a)을 가진 고정부(31)가 형성되어 있다. 또한, 지지부재(13)에는, 고정부(31)에서 수직방향(Z)을 따라 연장함과 아울러 케이스(14)의 케이블 도출부(23) 주위를 둘러싸는 포위부(32)가 형성되어 있다. 또한, 지지부재(13)에는, 포위부(32)에서 연장하여 케이스(14)의 기부(24)를 지지하는 지지편(33)이 형성되어 있다. 더욱이, 케이스(14)의 케이블 도출부(23)에서 도출된 케이블(16)은, 포위부(32)로 형성된 절결부(32a)에 삽입 통과되어 있다.The support member 13 is provided with a fixing portion 31 having a bolt insertion hole 31a for inserting the bolt for fixing therein. In addition, the support member 13 is formed with an enclosing portion 32 extending along the vertical direction Z in the fixing portion 31 and surrounding the cable lead portion 23 of the case 14. . The support member 13 is formed with a support piece 33 extending from the enclosure portion 32 to support the base 24 of the case 14. Moreover, the cable 16 drawn out from the cable lead-out part 23 of the case 14 is inserted through the notch part 32a formed by the enclosure part 32. As shown in FIG.

지지편(33)에는, 도 3에 나타낸 바와 같이 수직방향(Z)을 따라 연장하고 전방으로 돌출하는 1쌍의 결합 볼록부(34)가 형성되어 있다. 이런 각 결합 볼록부(34)는, 케이스(14)의 기부(24)의 대응하는 결합홈(26)에 결합된다. 각 결합 볼록부(34)는, 선단에 걸쳐 폭이 넓어지는 형상을 가진다. 결합되는 케이스(14)의 결합홈(26)도 결합 볼록부(34)에 대응하는 형상을 가진다. 이에 따라 케이스(14)가 지지부재(13)에서 전방으로 벗어나버리는 것이 방지된다.As shown in FIG. 3, the support piece 33 is provided with a pair of engagement convex part 34 which extends along the vertical direction Z and protrudes forward. Each such engagement convex portion 34 is coupled to a corresponding engagement groove 26 of the base 24 of the case 14. Each engagement convex part 34 has a shape which becomes wide across the front-end | tip. The coupling groove 26 of the case 14 to be coupled also has a shape corresponding to the coupling convex portion 34. This prevents the case 14 from moving forward from the support member 13.

또한, 지지편(33)에는, 횡방향(Y)에 대향하는 1쌍의 결합구(35)가 형성되어 있다. 이런 각 결합구(35)는 케이스(14)의 기부(24)의 대응하는 결합 돌출부(27)에 결합된다. 각 결합 돌출부(27)의 수직방향(Z) 중앙부에는, 횡방향(Y)을 향하여 돌출하는 돌기(27a)가 형성되어 있다. 이 돌기(27a)는, 결합구(35)에 형성된 고정공(35a)에 고정된다. 이에 따라 센서 본체부(11)가 지지부재(13)에서 수직방향(Z)으로 벗어나버리는 것이 방지된다.Moreover, the pair of coupling holes 35 which oppose the horizontal direction Y is formed in the support piece 33. Each of these couplers 35 is coupled to a corresponding engagement protrusion 27 of the base 24 of the case 14. The projection 27a which protrudes toward the horizontal direction Y is formed in the center part of the vertical direction Z of each engaging protrusion 27. As shown in FIG. This protrusion 27a is fixed to the fixing hole 35a formed in the coupling hole 35. Thereby, the sensor main body 11 is prevented from escaping in the vertical direction Z from the support member 13.

케이스(14)의 저부(22)와 설치면(P) 사이에 개재되는 베이스부(12)는, 대략 원반형이며, 수직방향(Z)에서 보아서 센서 본체부(11)의 케이스(14)와 대략 동형(同形)이다. 또한, 베이스부(12)는, 케이스(14)와 마찬가지로 내열성 및 내약품성을 가진 PFA 등의 불소수지로 이루어진다. 베이스부(12)의 후부(전후방향(X)의 단부)에는, 횡방향(Y) 양측으로 각각 돌출하는 1쌍의 볼록부(12a)가 형성되어 있다. 한편, 지지부재(13)에 있어서 볼록부(12a)와 대응하는 위치에는, 고정부(31)에서 전방으로 연장하는 1쌍의 계지부(31b)가 형성되어 있다. 계지부(31b)는 베이스부(12)의 대응하는 볼록부(12a)에 각각 고정되어 있다. 이에 따라 베이스부(12)가 지지부재(13)에서 전방으로 벗어나버리는 것이 방지된다.The base part 12 interposed between the bottom part 22 of the case 14 and the installation surface P is substantially disk shape, and is substantially equal to the case 14 of the sensor main body 11 in the vertical direction Z. As shown in FIG. It is isomorphic. In addition, the base portion 12 is made of fluorine resin such as PFA having heat resistance and chemical resistance similarly to the case 14. In the rear part (end part of the front-back direction X) of the base part 12, the pair of convex part 12a which protrudes to the both sides of the horizontal direction Y is formed. On the other hand, at the position corresponding to the convex part 12a in the support member 13, a pair of locking part 31b extended forward from the fixing part 31 is formed. The locking portions 31b are fixed to the corresponding convex portions 12a of the base portion 12, respectively. This prevents the base portion 12 from moving forward from the support member 13.

또한, 베이스부(12)에는, 그 외연에서 상방으로 돌출하는 1쌍의 고정 볼록부(12b)가 형성되어 있다. 이들 고정 볼록부(12b)가 케이스(14)의 외주부(21)의 하단에 형성된 고정 오목부(21c)에 둘레방향으로 고정됨으로써 케이스(14)에 대한 베이스부(12)의 둘레방향 회전을 방지할 수 있다.Moreover, the base part 12 is provided with a pair of fixed convex part 12b which protrudes upward from the outer edge. These fixed convex portions 12b are fixed to the fixed concave portion 21c formed at the lower end of the outer circumferential portion 21 of the case 14 in the circumferential direction, thereby preventing rotation of the base portion 12 with respect to the case 14 in the circumferential direction. can do.

커버(15)의 표면에는, 외연을 향해 갈수록 내려가는 것 같은 곡면을 이루는 만곡볼록면(41)이 형성되어 있다. 이 만곡볼록면(41)에는 전후방향(X) 및 횡방향(Y)을 따라 연장하는 십자구(42)가 형성되어 있다. 만곡볼록면(41) 및 십자구(42)는, 커버(15)의 상면에 부착된 액체를 커버(15)의 외연 쪽으로 가이드(guide)한다. 또한, 만곡볼록면(41)에는, 횡방향(Y)을 따라 나열하는 3개의 표시부(43)가 십자구(42)와 겹쳐지도록 형성되어 있다. 더욱이 십자구(42)의 중심은 커버(15)의 중심과 일치하고, 한 가운데의 표시부(43)는 십자구(42)의 중심과 겹쳐져 있다.The curved convex surface 41 which forms the curved surface which goes down toward outer periphery is formed in the surface of the cover 15. As shown in FIG. The curved convex surface 41 is provided with a cross ball 42 extending along the front-back direction X and the lateral direction Y. As shown in FIG. The curved convex surface 41 and the cross ball 42 guide the liquid attached to the upper surface of the cover 15 toward the outer edge of the cover 15. Further, the curved convex surface 41 is formed such that three display portions 43 arranged along the lateral direction Y overlap the cross ball 42. Moreover, the center of the cross ball 42 coincides with the center of the cover 15, and the display portion 43 in the middle overlaps the center of the cross ball 42.

각 표시부(43)의 하방에는, 도 7 및 도 8에 나타낸 바와 같이 이면(裏面) 측에서 수직방향(Z)을 따라 커버(15)의 케이스 내부측으로 연장하는 도광부(44)가 형성되어 있다. 각 도광부(44)의 하단은, 기판(17)의 LED(20)의 상방으로 근접하고 있다. 각 LED(20)으로부터의 광은 주로 대응하는 도광부(44)를 통과하여 각 표시부(43)에서 출사된다. 더욱이, 이 표시부(43)의 점등상태에 따라 누액 검출 센서(1)의 누액 검출상태가 표시된다.Below each display part 43, the light guide part 44 extended in the case inside of the cover 15 along the vertical direction Z from the back surface side as shown in FIG.7 and FIG.8 is formed. . The lower end of each light guide part 44 is approaching above the LED 20 of the board | substrate 17. As shown in FIG. Light from each LED 20 mainly passes through the corresponding light guide portion 44 and exits from each display portion 43. Furthermore, the leaking liquid detection state of the leaking liquid detection sensor 1 is displayed in accordance with the lighting state of the display portion 43.

더욱이, 커버(15)의 후단부의 이면에는 케이스(14)에 형성된 오목부(미도시)와 결합하는 위치결정 돌기(45)(도 4 및 도 8 참조)가 형성되어 있다. 이 위치결정 돌기(45)에 의해 케이스(14)에 대한 커버(15)의 위치결정이 행해진다. 또한, 커버(15)의 이면에는, 보강 리브(rib)(46)가 형성되어 있다. 이 보강 리브(46)에 의해 커버(15)의 강성이 향상된다(도 8 참조).Further, a positioning protrusion 45 (see FIGS. 4 and 8) is formed on the rear surface of the rear end of the cover 15 to engage with a recess (not shown) formed in the case 14. The positioning projection 45 performs positioning of the cover 15 with respect to the case 14. In addition, a reinforcing rib 46 is formed on the rear surface of the cover 15. The rigidity of the cover 15 is improved by this reinforcement rib 46 (refer FIG. 8).

이와 같은 누액 검출 센서(1)는, 설치면(P)과 베이스(12) 사이의 액체를 검출하기 위한 2개의 검출부(51)를 가지고 있다(도 5 및 도 7 참조). 2개의 검출부(51)는, 전후방향(X)을 따라 병설(設)되어 있다. 일측의 검출부(51)는 누액 검출 센서(1)의 전연(前緣) 근처의 위치에 형성되고, 타측의 검출부(51)는 누액 검출 센서(1)의 중앙 근처의 위치에 형성되어 있다.Such a leakage liquid detection sensor 1 has two detection parts 51 for detecting the liquid between the mounting surface P and the base 12 (refer FIG. 5 and FIG. 7). The two detection parts 51 are parallel along the front-back direction X. As shown in FIG. The detection unit 51 on one side is formed at a position near the leading edge of the leakage liquid detection sensor 1, and the detection unit 51 on the other side is formed at a position near the center of the leakage liquid detection sensor 1.

각 검출부(51)는, 1쌍의 케이스측 융기부(52), 1쌍의 베이스부측 융기부(53), 투광소자(18) 및 수광소자(19)를 구비하고 있다. 1쌍의 케이스측 융기부(52)는, 케이스(14)의 저부(22)에 횡방향을 따라 병설됨과 아울러 각각 하방을 향하여 돌출하도록 형성되어 있다(도 7 참조). 1쌍의 베이스부측 융기부(53)도 마찬가지로 베이스부(12)에 횡방향(Y)을 따라 병설되고, 각각 하방을 향하여 돌출하도록 형성되어 있다. 각 케이스측 융기부(52)와 각 베이스측 융기부(53)는, 수직방향(Z)으로 겹쳐지도록 구성되어 있다. 각 베이스측 융기부(53)의 일부는, 설치면(P)에 맞닿는다. 또한, 투광소자(18) 및 수광소자(19)는, 각 케이스측 융기부(52)의 상방에 각각 배치되어 있다. 이와 같은 검출부(51)에서는, 각 베이스부측 융기부(53)의 내측면이 설치면(P) 상의 액체를 검출하기 위한 검출면(51a)으로서 기능한다.Each detection part 51 is provided with a pair of case side raised part 52, a pair of base part side raised part 53, the light transmitting element 18, and the light receiving element 19. As shown in FIG. The pair of case side ridges 52 are formed in the bottom portion 22 of the case 14 along the transverse direction and protrude downward, respectively (see FIG. 7). The pair of base portion side raised portions 53 are similarly arranged in the base portion 12 along the transverse direction Y, and are formed so as to protrude downward. Each case side raised part 52 and each base side raised part 53 are comprised so that it may overlap in the vertical direction Z. As shown in FIG. A part of each base side ridge 53 contacts the installation surface P. As shown in FIG. In addition, the light transmitting element 18 and the light receiving element 19 are arrange | positioned above each case side raised part 52, respectively. In such a detection part 51, the inner surface of each base part side ridge 53 functions as a detection surface 51a for detecting the liquid on the installation surface P. As shown in FIG.

도 9에 나타낸 바와 같이, 이와 같은 누액 검출 센서(1)에서는, 검출부(51)의 검출면(51a)에 액체가 접촉하지 않을 때, 투광소자(18)에서 출사된 광은, 일측(도 9에 있어서 좌측)의 케이스측 융기부(52) 및 베이스측 융기부(53)를 통과한다. 이 때, 그 통과한 광은 검출면(51a)에서 굴절하고, 타측의 케이스측 융기부(52) 및 베이스부측 융기부(53)를 통과하여 수광소자(19)에 수광된다. 이에 반하여 검출면(51a)에 액체가 접촉하고 있을 때, 검출면(51a)에서의 굴절률이 변화하기 때문에 수광소자(19)에서의 수광량은, 검출면(51a)에 액체가 접촉하지 않은 상태에서 변화한다. 즉, 수광소자(19)에서의 수광량은, 베이스부측 융기부(53) 사이의 액체 유무에 따라 변화하고, 수광소자(19)는 그 수광량에 따른 수광신호를 도시하지 않은 제어부로 출력한다. 제어부는, 수광소자(19)로부터의 수광신호에 의거하여 액체(누액) 유무를 검출하고, 액체를 검출한 경우에는 예를 들면 케이블(16)을 통하여 정지신호를 제조장치(D)로 송신하여 제조장치(D)를 정지시킨다.As shown in FIG. 9, in such a leakage liquid detecting sensor 1, when the liquid does not contact the detection surface 51a of the detection unit 51, the light emitted from the light transmitting element 18 is one side (FIG. 9). It passes through the case side ridge part 52 and the base side ridge part 53 of the left side. At this time, the passed light is refracted by the detection surface 51a, and is received by the light receiving element 19 through the case-side ridge 52 and the base-side ridge 53 on the other side. On the other hand, when the liquid is in contact with the detection surface 51a, since the refractive index on the detection surface 51a changes, the amount of light received by the light receiving element 19 is in a state where the liquid does not contact the detection surface 51a. Change. That is, the light receiving amount in the light receiving element 19 changes depending on the presence or absence of liquid between the base portion side ridge 53, and the light receiving element 19 outputs the light receiving signal corresponding to the light receiving amount to a controller (not shown). The control unit detects the presence or absence of liquid (leakage) on the basis of the light reception signal from the light receiving element 19, and, when detecting the liquid, transmits a stop signal to the manufacturing apparatus D through, for example, the cable 16. The manufacturing apparatus D is stopped.

다음에, 누액 검출 센서(1)의 제조방법에 관하여 설명한다.Next, a manufacturing method of the leakage liquid detecting sensor 1 will be described.

우선, 개구(14a)를 통하여 케이스(14) 내에 기판(17) 등의 센서 주요부가 설치된다. 그리고 케이블(16)이 케이블 도출부(23)의 삽입통과공(25)에 삽입 통과된 후, 케이블(16)의 도선이 기판(17)에 접속된다. 그 후에, 케이스(14)의 개구(14a)에 커버(15)가 레이저 용착으로 설치되어 케이스(14) 상부의 개구(14a)가 수밀(水密)하게 폐쇄된다. 더욱이, 이 레이저 용착의 때에는, 커버(15)의 외연과 케이스(14) 사이의 경계선 부분(K)에 레이저 광을 조사함으로써 용착이 행해진다. 보다 구체적으로는, 이 레이저 용착의 때에는, 커버(15)를 케이스(14)를 향하여 상측에서 하측으로 내리누름으로써 커버(15)는 케이스(14)에 대하여 수직방향(Z) 및 수직방향(Z)과 직교하는 방향(직경방향)으로 각각 밀착되고, 이 밀착상태에서 레이저 용착이 행해진다. 이에 따라, 케이스(14)의 개구(14a)와 커버(15) 사이의 밀폐성이 향상된다. 또한, 케이스(14)와 커버(15)는 동색(同色), 동재질(同材質)(불소수지)의 부재로 이루어지지만, 케이스(14)와 커버(15)의 레이저 용착은, 중첩된 2개의 부재에 대하여 그 적층방향에서 레이저 광을 조사하는 방법이 아니라 경계선 부분(K)에 바로 레이저 광을 조사하는 방법이다. 그 때문에, 불소수지끼리의 레이저 용착이어도 양호하게 용착하는 것이 가능하게 되어 있다.First, the main part of the sensor such as the substrate 17 is provided in the case 14 through the opening 14a. After the cable 16 is inserted into the insertion through hole 25 of the cable lead-out part 23, the conducting wire of the cable 16 is connected to the substrate 17. Subsequently, the cover 15 is provided in the opening 14a of the case 14 by laser welding, and the opening 14a of the upper part of the case 14 is closed by watertight sealing. Moreover, in this laser welding, welding is performed by irradiating a laser beam to the boundary line part K between the outer edge of the cover 15 and the case 14. More specifically, in this laser welding, the cover 15 is pushed down from the upper side to the lower side toward the case 14 so that the cover 15 is perpendicular to the case 14 and the vertical direction Z. ) Are adhered in a direction (diameter direction) perpendicular to each other, and laser welding is performed in this adhered state. Thereby, the sealing property between the opening 14a of the case 14 and the cover 15 is improved. In addition, although the case 14 and the cover 15 consist of the same color and the same material (fluorine resin), the laser welding of the case 14 and the cover 15 is overlapped. Rather than irradiating the laser light in the lamination direction with respect to the two members, the laser light is directly irradiated to the boundary portion K. Therefore, even if it is laser welding of fluorine resin, it is possible to weld well.

다음에, 케이스(14)의 케이블 도출부(23)와 케이블(16)이 서로 레이저 용착된다. 이때, 도 10 및 도 11의 (a)에 나타낸 바와 같이, 케이블 도출부(23)의 선단부(23a)가 연직방향 상측을 향하도록 센서 본체부(11)를 도시하지 않은 수단으로 설치한다. 이에 따라 케이블(16)의 도출방향이 연직방향 상측을 향한다. 그 후에, 케이블 도출부(23)의 축선(C)을 중심으로 하여 센서 본체부(11) 및 케이블(16)을 회전시키면서 도시하지 않은 레이저장치로 축선(C)과 직교하는 방향에서 케이블 도출부(23)의 선단부(23a)로 레이저 광(L)이 조사된다. 더욱이, 도 11에서는, 케이블 도출부(23)의 내주면(삽입통과공(25))과 케이블(16) 사이의 간격이 과장하여 도시되어 있다.Next, the cable lead-out portion 23 and the cable 16 of the case 14 are laser welded to each other. At this time, as shown in Figs. 10 and 11 (a), the sensor main body 11 is provided by means not shown so that the tip 23a of the cable lead-out portion 23 faces vertically upward. As a result, the lead-out direction of the cable 16 is directed upward in the vertical direction. Thereafter, the cable lead-out portion in a direction orthogonal to the axis C with a laser device (not shown) while rotating the sensor main body 11 and the cable 16 around the axis C of the cable lead-out portion 23. The laser light L is irradiated to the tip portion 23a of 23. Moreover, in FIG. 11, the space | interval between the inner peripheral surface (insertion through hole 25) of the cable lead-out part 23 and the cable 16 is exaggerated, and is shown.

더욱이, 레이저 용착에 사용되는 레이저장치로서, 용착 대상물의 재질에 적합한 파장, 즉 에너지가 흡수되기 쉬운 파장의 레이저 광(L)을 출사하는 것을 사용하는 것이 바람직하다. 본 실시예의 PFA 등의 불소수지에 대해서는 탄산가스 레이저 등의 원적외선 레이저 광(파장이 약 10.64㎛)을 출사하는 레이저장치가 사용된다. 즉, 레이저장치로서, 탄산가스 레이저가 그대로 사용되어도 좋고, 또한 YAG 레이저를 사용하여 그 파장(1.064㎛)을 10배로 증폭하여 출사하는 레이저장치가 사용되어도 좋다. 또한 YAG 레이저의 파장은 불소수지의 용착에 적합한 것이 아니지만, 케이블(16)의 외피부재(16a)와, 케이블 도출부(23)(보다 구체적으로는, 케이블 도출부(23)의 내주측(삽입통과공(25) 측)에 YAG 레이저의 파장을 흡수할 수 있는 재질을 약간 추가하여 출력에너지를 매우 높게 하면 YAG 레이저 파장대의 레이저 광이라도 용착은 가능하다. 그러나 그와 같은 고출력의 레이저 광을 사용하여 케이블 도출부(23)와 케이블(16)을 서로 용착하면, 케이블(16) 내의 도선에 영향을 끼쳐 도선이 파손되는 경우도 있을 수 있다. 그 때문에, 이 점도 고려하여 본 실시예의 레이저 용착에는 파장이 10.64㎛의 레이저 광(L)(탄산가스 레이저)을 사용하는 것이 바람직하다. Moreover, as a laser device used for laser welding, it is preferable to use the laser beam L of the wavelength suitable for the material of a welding target, ie, the wavelength from which energy is easy to be absorbed. For the fluorine resin such as PFA of the present embodiment, a laser device that emits far-infrared laser light (wavelength of about 10.64 mu m) such as a carbon dioxide laser is used. That is, as the laser device, a carbon dioxide laser may be used as it is, or a laser device that amplifies and outputs the wavelength (1.064 µm) by 10 times using a YAG laser may be used. Although the wavelength of the YAG laser is not suitable for the welding of the fluororesin, the inner circumferential side (insertion of the cable lead portion 23) and the cable lead portion 23 (more specifically, the cable lead portion 23) of the cable 16 are inserted. If the output energy is made very high by adding a material capable of absorbing the wavelength of the YAG laser to the through hole 25 side, welding can be performed even with laser light in the YAG laser wavelength band, but using such a high power laser light. Therefore, when the cable lead-out unit 23 and the cable 16 are welded to each other, the wires in the cable 16 may be affected and the wires may be broken. It is preferable to use the laser light L (carbon gas laser) of 10.64 micrometers in wavelength.

케이블 도출부(23)의 레이저 용착에 있어서, 레이저 광(L)의 에너지를 케이블 도출부(23)와 케이블(16) 사이의 경계 부분에 주기 쉽게 하기 위하여, 레이저 광(L)을 조사하는 위치(연직방향 위치)는, 두께가 작은 케이블 도출부(23)의 선단에 매우 가까운 위치에 설정된다. 그리고 그 레이저 광(L)의 연직방향 위치를 일정하게 하고 조사한 상태에서, 센서 본체부(11) 및 케이블(16)이 수십회 회전된다. 그 후에, 레이저 광(L)의 출사위치가 연직방향 하방(케이블 도출부(23)의 기단부측)에 약간 비켜 놓여지고, 그 위치에서 레이저 광(L)을 조사하면서 센서 본체부(11) 및 케이블(16)이 다시 수십회 회전된다. 이와 같은 레이저 광(L)의 출사위치를 연직방향 하방으로 약간 비켜놓고 출사하는 공정이 수십회 행해진다. 그러면, 케이블 도출부(23)의 선단부(23a)에 있어서 에너지를 흡수하여 발열한 부분이 용융하고, 그 용융한 수지가 중력에 의해 연직방향 하방으로 흘러서 삽입통과공(25)과 케이블(16)의 외피부재(16a) 사이의 간극으로 들어간다(도 11의 (b) 참조). 이에 따라 케이블 도출부(23)의 내주면과 케이블(16)의 외피부재(16a)가 서로 용착됨과 아울러 그 사이가 확실하게 밀폐된다. 더욱이, 케이스(14)에 형성되는 개구부분은, 내부부품을 설치하기 위한 개구(14a)와 케이블 도출부(23)의 2곳에만 있기 때문에, 이 2곳을 상기한 바와 같이 레이저 용착으로 봉합함으로써 케이스(14) 내부의 수밀성이 확보된다.In the laser welding of the cable lead-out unit 23, the position to irradiate the laser light L in order to easily give the energy of the laser light L to the boundary portion between the cable lead-out unit 23 and the cable 16. The vertical position is set at a position very close to the tip of the cable lead-out section 23 having a small thickness. In the state where the vertical position of the laser light L is fixed and irradiated, the sensor main body 11 and the cable 16 are rotated several tens of times. Thereafter, the emission position of the laser light L is slightly deviated to the vertical direction downward (base end side of the cable lead-out part 23), and the sensor main body 11 and the laser light L are irradiated at the position. The cable 16 is rotated again several tens of times. The step of exiting the laser beam L with the light exiting position slightly downward in the vertical direction is performed for several tens of times. Then, the part which absorbed energy and generate | occur | produces heat | fever in the front-end | tip part 23a of the cable lead-out part 23 melt | dissolves, and the melted resin flows below vertical direction by gravity, and the insertion through-hole 25 and the cable 16 are carried out. Enters the gap between the outer shell members 16a (see FIG. 11B). As a result, the inner circumferential surface of the cable lead-out portion 23 and the outer shell member 16a of the cable 16 are welded to each other, and the space between them is reliably sealed. In addition, since the openings formed in the case 14 exist only at two places of the opening 14a and the cable lead-out part 23 for installing the internal parts, the two parts are sealed by laser welding as described above. (14) The water tightness inside is secured.

이와 같이, 케이블(16)이 삽입 통과된 케이블 도출부(23)의 외주측에서 레이저 광(L)(탄산가스 레이저)을 조사함으로써 외피부재(16a)의 내부에 도선을 포함한 케이블(16)과 케이블 도출부(23)가 서로 용착된다. 이에 따라 케이블 도출부(23)와 외피부재(16a)를 레이저 용착 이외의 가열 용착으로 용착한 후, 외피부재(16a)의 내부에 도선을 삽입 통과하는 경우와 비교하여, 제조방법을 간소화할 수가 있다. 또한, 본 실시예에서는, 케이블 도출부(23)의 선단부(23a)가 경사진 형상을 가지며, 그 선단부(23a)에 레이저 광(L)을 조사하여 레이저 용착이 행해진다. 그 때문에, 선단부(23a)와 케이블(16) 사이의 경계부분에 레이저 광(L)의 에너지를 양호하게 부여할 수 있어 케이블 도출부(23)와 케이블(16)이 확실하게 레이저 용착된다.Thus, by irradiating the laser light L (carbonate gas laser) from the outer peripheral side of the cable lead-out part 23 through which the cable 16 is inserted, the cable 16 including a conducting wire in the inside of the shell member 16a, and The cable lead-out portions 23 are welded to each other. Accordingly, after the cable lead-out portion 23 and the outer shell member 16a are welded by heating welding other than laser welding, the manufacturing method can be simplified as compared with the case where the conductor is inserted into the outer shell member 16a. have. In this embodiment, the tip 23a of the cable lead-out 23 has an inclined shape, and laser welding is performed by irradiating the laser beam L on the tip 23a. Therefore, the energy of the laser light L can be given to the boundary part between the tip part 23a and the cable 16 favorably, and the cable lead-out part 23 and the cable 16 are reliably laser-welded.

다음에, 본 실시예의 특징적인 작용 효과를 기재한다.Next, the characteristic effect of this Example is described.

(1) 본 실시예의 누액 검출 센서(1)에서는, 불소수지로 이루어지는 케이블 도출부(23)와 케이블(16)의 외피부재(16a)는, 레이저 용착되어 그 사이가 봉합되어 있고, 케이블 도출부(23)의 선단부(23a)는 경사진 형상을 가지고 있다. 그 때문에, 케이블 도출부(23)의 기단부(23b)의 두께가 커져도 끝으로 갈수록 가늘어지는 케이블 도출부(23)의 선단부(23a)의 두께를 작게 할 수가 있다. 그 때문에, 케이블 도출부(23)의 선단부(23a)에서는, 케이블(16)과의 경계부분에 레이저 광(L)의 에너지를 양호하게 부여할 수 있어 케이블 도출부(23)와 케이블(16)을 확실하게 레이저 용착시키는 것이 가능해진다. 이에 따라, 케이블 도출부(23)의 기단부(23b)의 두께를 크게 하여 케이블(16)의 지지를 위하여 충분한 강성을 확보하면서도 선단부(23a)에 있어서 케이블 도출부(23)와 케이블(16)을 양호하게 레이저 용착하는 것이 가능해진다. 또한, 케이블(16)의 외피부재(16a) 내에 도선을 삽입 통과시킨 상태에서, 케이블 도출부(23)의 내주면과 케이블(16)의 외피부재(16a)를 서로 용착하는 것이 가능해지기 때문에 누액 검출 센서(1)의 제조를 간소화할 수가 있다.(1) In the leak detection sensor 1 of the present embodiment, the cable lead-out portion 23 made of fluorine resin and the shell member 16a of the cable 16 are laser welded and sealed therebetween. The tip portion 23a of 23 has an inclined shape. Therefore, even if the thickness of the base end part 23b of the cable lead-out part 23 becomes large, the thickness of the front-end | tip part 23a of the cable lead-out part 23 which becomes thinner to the end can be made small. Therefore, in the tip portion 23a of the cable lead-out portion 23, the energy of the laser light L can be favorably applied to the boundary portion with the cable 16, so that the cable lead-out portion 23 and the cable 16 can be provided. It is possible to reliably laser weld. As a result, the thickness of the base end 23b of the cable lead-out part 23 is increased to ensure sufficient rigidity for the support of the cable 16, while the cable lead-out part 23 and the cable 16 are separated at the tip 23a. It becomes possible to perform laser welding favorably. In addition, since the inner circumferential surface of the cable lead-out portion 23 and the outer skin member 16a of the cable 16 can be welded to each other in a state where the conductive wire is inserted into the outer skin member 16a of the cable 16, leakage leakage is detected. The manufacturing of the sensor 1 can be simplified.

(2) 케이블 도출부(23)의 선단부(23a)가 테이퍼 형상을 가지고 있기 때문에, 끝으로 갈수록 가늘어지는 케이블 도출부(23)의 선단부(23a)를 용이하게 성형하는 것이 가능해진다.(2) Since the distal end portion 23a of the cable lead-out portion 23 has a tapered shape, it becomes possible to easily shape the distal end portion 23a of the cable lead-out portion 23 that becomes thinner toward the end.

(3) 케이블 도출부(23)의 선단부(23a)가 연직방향 상측을 향하도록 케이스(14)를 배치한 상태에서, 케이블 도출부(23)의 선단부(23a)와 케이블(16)이 서로 레이저 용착된다. 이 때문에, 레이저 광(L)의 에너지에 의해 용융한 케이블 도출부(23)의 선단부분이 중력방향으로 흘러 케이블 도출부(23)의 내주면과 케이블(16) 사이의 간격으로 들어가기 쉬워진다. 그리고 그 간격으로 들어간 수지에 의해 케이블 도출부(23)와 케이블(16) 사이를 보다 확실하게 봉합할 수가 있다.(3) In a state where the case 14 is disposed such that the tip portion 23a of the cable lead-out portion 23 faces the vertical direction upward, the tip portion 23a of the cable lead-out portion 23 and the cable 16 laser each other. Welded. For this reason, the tip part of the cable lead-out part 23 melted by the energy of the laser light L flows in the gravity direction, and it becomes easy to enter into the space | interval between the inner peripheral surface of the cable lead-out part 23, and the cable 16. FIG. And the resin which entered in the space | interval can seal between the cable lead-out part 23 and the cable 16 more reliably.

(4) 케이블 도출부(23)의 축을 중심으로 케이스(14) 및 케이블(16)을 회전시키면서 케이블 도출부(23)의 선단부(23a)와 케이블(16)의 레이저 용착이 이루어진다. 이 때문에, 연직방향 상측을 향한 케이블 도출부(23)의 선단부(23a)와 케이블(16)을 용이하게 레이저 용착하는 것이 가능해진다.(4) Laser welding of the tip portion 23a of the cable lead-out portion 23 and the cable 16 is performed while rotating the case 14 and the cable 16 about the axis of the cable lead-out portion 23. For this reason, laser welding of the front-end | tip part 23a of the cable lead-out part 23 toward the vertical direction upwards, and the cable 16 can be carried out easily.

(5) 케이블 도출부(23)의 선단부(23a)와 케이블(16)이 원적외선의 레이저 광(L)으로 레이저 용착되기 때문에, 보다 확실하게 레이저 용착하는 것이 가능해진다.(5) Since the tip 23a of the cable lead-out part 23 and the cable 16 are laser-welded by the laser light L of far-infrared, laser welding can be performed more reliably.

(6) 케이블 도출부(23)의 축선과 직교하는 방향에서 케이블 도출부(23)의 선단부(23a)로 레이저 광(L)을 조사하여 케이블 도출부(23)의 선단부(23a)와 케이블(16)의 레이저 용착이 행해진다. 그 때문에, 케이블 도출부(23)의 선단부(23a)와 케이블(16)을 알맞게 레이저 용착하는 것이 가능해진다.(6) The laser beam L is irradiated to the distal end portion 23a of the cable lead-out portion 23 in a direction orthogonal to the axis of the cable lead-out portion 23, so that the distal end portion 23a of the cable lead-out portion 23 and the cable ( Laser welding of 16) is performed. Therefore, laser welding of the front-end | tip part 23a and the cable 16 of the cable lead-out part 23 can be performed suitably.

(7) 케이스(14)에 있어서 내부부품을 설치하기 위한 개구(14a)와 그 개구(14a)를 막는 커버(15)를 레이저 용착한 후, 케이블 도출부(23)의 선단부(23a)와 케이블(16)의 레이저 용착이 행해진다. 개구(14a)의 개구면적은 일반적으로 케이블 도출부(23)의 개구면적보다도 크기 때문에, 케이스(14)의 개구(14a)와 커버(15)의 용착면적도 케이블 도출부(23)와 케이블(16)의 용착면적보다도 크다. 따라서 케이스(14)의 개구(14a)와 커버(15)의 레이저 용착에 의한 발열량은, 케이블 도출부(23)와 케이블(16)의 용착에 의한 발열량보다도 크다. 이 때문에, 케이스(14)의 개구(14a)와 커버(15)의 레이저 용착 전에 케이블 도출부(23)의 선단부(23a)와 케이블(16)을 레이저 용착해버리면, 케이블 도출부(23)가 레이저 용착에 의해 봉합됨으로써 케이스(14)의 내부 열을 방출하는 방열로가 차단된다. 그 때문에, 케이스(14)의 개구(14a)와 커버(15)의 레이저 용착에 의해 생기는 열로 인하여 내부온도가 상승하고, 그 결과 케이스(14)가 너무 팽창하여 개구(14a)와 커버(15)가 잘 용착되지 않을 우려가 있다. 그런 관점에서, 본 실시예에서는, 케이스(14)의 개구(14a)와 커버(15)의 레이저 용착에 의해 발생한 케이스의 내부 열은, 케이블(16)이 용착되기 전의 케이블 도출부(23)에서 외부로 방출된다. 그 때문에, 케이스(14)의 내부온도의 상승을 작게 억제할 수 있고, 그 결과 케이스(14)의 개구(14a)와 커버(15)를 확실하게 레이저 용착으로 봉합하는 것이 가능해진다.(7) In the case 14, after laser welding the opening 14a for installing an internal component, and the cover 15 which blocks the opening 14a, the tip part 23a of the cable lead-out part 23, and a cable are laser-welded. Laser welding of (16) is performed. Since the opening area of the opening 14a is generally larger than the opening area of the cable leading-out part 23, the welding area of the opening 14a of the case 14 and the cover 15 is also the cable leading-out part 23 and the cable ( It is larger than the welding area of 16). Therefore, the heat generation amount by laser welding of the opening 14a of the case 14 and the cover 15 is larger than the heat generation amount by welding of the cable lead-out part 23 and the cable 16. For this reason, if the front end part 23a of the cable lead-out part 23 and the cable 16 are laser-welded before laser welding of the opening 14a of the case 14, and the cover 15, the cable lead-out part 23 will By sealing by laser welding, the heat dissipation path for releasing internal heat of the case 14 is blocked. Therefore, the internal temperature rises due to heat generated by the laser welding of the opening 14a of the case 14 and the cover 15, and as a result, the case 14 expands too much and the opening 14a and the cover 15 There is a fear that welding will not be performed well. In view of this, in the present embodiment, the internal heat of the case generated by the laser welding of the opening 14a of the case 14 and the cover 15 is transferred by the cable lead-out portion 23 before the cable 16 is welded. Emitted to the outside. Therefore, the rise of the internal temperature of the case 14 can be suppressed small, and as a result, the opening 14a of the case 14 and the cover 15 can be sealed reliably by laser welding.

더욱이, 본 발명의 실시예는 이하와 같이 변경하여도 좋다.Moreover, the embodiment of the present invention may be changed as follows.

상기 실시예에서는, 케이블 도출부(23)의 선단부(23a)는 테이퍼 형상을 가지고 있지만, 특히 이에 한정되지 아니 하고, 선단부(23a)는 예를 들면, 단차를 계단형으로 형성하고 점차 끝으로 갈수록 가늘어지는 형상이어도 좋다. 또한, 상기 실시예의 케이블 도출부(23)의 선단부(23a)는, 측방시에서 직선적인 경사를 가지는 테이퍼형으로 하였지만, 이것 이외에 예를 들면, 내측 또는 외측으로 만곡한 경사를 가지는 테이퍼형이어도 좋다.In the above embodiment, the tip portion 23a of the cable lead-out portion 23 has a tapered shape, but is not particularly limited thereto, and the tip portion 23a is, for example, formed stepped in steps and gradually toward the end. The tapering shape may be sufficient. In addition, although the tip 23a of the cable lead-out part 23 of the said Example was made into the taper shape which has a linear inclination in side view, in addition to this, for example, the taper type which has the inclination curved inward or outward may be sufficient. .

상기 실시예에서는, 케이블 도출부(23)의 선단부(23a)를 연직방향 상측을 향하고, 그 상태에서 축선(C)과 직교하는 방향에서 케이블 도출부(23)의 선단부(23a)로 레이저 광(L)을 조사하여 레이저 용착이 행해지고 있다. 선단부(23a)의 용착방법은, 이에 한정되지 아니한다.In the above embodiment, the front end portion 23a of the cable lead-out portion 23 faces the upper direction in the vertical direction, and the laser light (3) is directed to the end portion 23a of the cable lead-out portion 23 in the direction orthogonal to the axis C in that state. L) is irradiated and laser welding is performed. The welding method of the tip portion 23a is not limited to this.

상기 실시예에서는, 케이블 도출부(23)의 축선(C)을 중심으로 하여 케이스(14) 및 케이블(16)을 회전시키면서 케이블 도출부(23)의 선단부(23a)와 케이블(16)의 레이저 용착이 행해진다. 선단부(23a)와 케이블(16) 사이의 용착방법은, 특히 이에 한정되지 아니 하고, 케이스(14) 및 케이블(16)을 고정하고 레이저 광(L)을 케이블 도출부(23)의 축선(C)을 중심으로 하여 회전시킴으로써 용착이 행해져도 좋다.In the above embodiment, the tip 23a of the cable lead-out 23 and the laser beam of the cable 16 while rotating the case 14 and the cable 16 around the axis C of the cable lead-out 23. Welding is performed. The welding method between the tip portion 23a and the cable 16 is not particularly limited, and the case 14 and the cable 16 are fixed, and the laser beam L is applied to the axis C of the cable lead-out portion 23. Welding may be performed by rotating around the center.

상기 실시예에서는, 케이스(14)의 개구(14a)와 커버(15)를 서로 레이저 용착한 후에, 케이블 도출부(23)의 선단부(23a)가 레이저 용착된다. 용착을 행하는 순서는, 특히 이에 한정되지 아니 하고, 반대로 케이스(14)의 개구(14a)와 커버(15)를 레이저 용착하기 전에, 케이블 도출부(23)의 선단부(23a)가 서로 레이저 용착되어도 좋다.In the above embodiment, after the opening 14a of the case 14 and the cover 15 are laser welded to each other, the tip portion 23a of the cable lead-out portion 23 is laser welded. The order in which welding is performed is not specifically limited, On the contrary, even if the front end 23a of the cable lead-out part 23 is laser-welded with each other before laser-welding the opening 14a of the case 14 and the cover 15, good.

상기 실시예에서는, 케이블(16)은, 센서 주요부와 외부 사이의 전기적 접속을 위한 것이다. 케이블(16)은, 특히 이에 한정되지 아니 하고, 광파이버(optical fiber)용 케이블이어도 좋다.In this embodiment, the cable 16 is for electrical connection between the sensor main part and the outside. The cable 16 is not particularly limited to this, and may be a cable for an optical fiber.

상기 실시예에서는, 본 발명은 누액 검출 센서(1)에 적용되어 있지만, 특히 이에 한정되지 아니 하고, 다른 검출 센서에 적용되어도 좋다.In the above embodiment, the present invention is applied to the leak detection sensor 1, but is not particularly limited thereto, and may be applied to other detection sensors.

Claims (8)

피검출물을 검출하기 위한 센서 주요부를 수용하고, 불소수지로 이루어지는 케이스와,
해당 케이스에서 돌출하도록 형성된 통형의 케이블 도출부와,
해당 케이블 도출부의 선단부에서 상기 케이스의 외부로 도출되며 불소수지로 이루어지는 외피부재를 가지는 케이블을 구비하고,
상기 케이블 도출부와 상기 케이블의 외피부재가 레이저 용착됨으로써 상기 케이블 도출부와 상기 케이블의 외피부재의 사이가 봉합된 검출 센서로서,
상기 케이블 도출부의 선단부가 경사진 형상을 가지고 있는 것을 특징으로 하는 검출 센서.
A case made of a fluorine resin containing a main part of a sensor for detecting a to-be-detected object,
A cylindrical cable outlet formed to protrude from the case;
A cable having an outer shell member made of a fluorine resin, which is drawn out of the case at the distal end of the cable lead-out part,
A detection sensor in which the cable lead-out portion and the outer shell member of the cable are sealed by laser welding to seal the gap between the cable lead-out portion and the outer shell member of the cable;
A detection sensor, characterized in that the tip portion of the cable lead-out portion has an inclined shape.
제1항에 있어서, 상기 케이블 도출부의 선단부는, 원뿔대 형상을 가지는 것을 특징으로 하는 검출 센서.The detection sensor according to claim 1, wherein the distal end of the cable lead-out portion has a truncated cone shape. 피검출물을 검출하기 위한 센서 주요부를 수용하고, 불소수지로 이루어지는 케이스와,
해당 케이스에서 돌출하도록 형성된 통형의 케이블 도출부와,
해당 케이블 도출부의 선단부에서 상기 케이스의 외부로 도출되며 불소수지로 이루어지는 외피부재를 가지는 케이블을 구비하고, 상기 케이블 도출부와 상기 케이블의 사이가 봉합되는 검출 센서의 제조방법으로,
상기 케이블 도출부의 선단부를 경사진 형상으로 형성하는 공정과,
상기 선단부에 있어서 케이블 도출부와 상기 케이블을 레이저 용착하는 공정을 구비하는 것을 특징으로 하는 검출 센서의 제조방법.
A case made of a fluorine resin containing a main part of a sensor for detecting a to-be-detected object,
A cylindrical cable outlet formed to protrude from the case;
In the manufacturing method of the detection sensor comprising a cable having an outer skin member made of a fluorine resin derived from the front end of the cable lead-out portion of the case, and sealed between the cable lead-out portion and the cable,
Forming a leading end of the cable lead-out part in an inclined shape;
And a step of laser welding the cable lead-out portion and the cable at the tip portion.
제3항에 있어서,
상기 레이저 용착공정은, 상기 케이블 도출부의 선단부가 연직방향 상방을 향하도록 상기 케이스를 배치한 상태에서 행해지는 것을 특징으로 하는 검출 센서의 제조방법.
The method of claim 3,
The said laser welding process is performed in the state which arrange | positioned the said case so that the front-end | tip part of the said cable lead-out part may be perpendicularly upwards, The manufacturing method of the detection sensor characterized by the above-mentioned.
제3항 또는 제4항에 있어서,
상기 레이저 용착공정은, 상기 케이블 도출부의 축선과 직교하는 방향에서 상기 케이블 도출부의 선단부를 향하여 레이저 광을 조사하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 검출 센서의 제조방법.
The method according to claim 3 or 4,
The laser welding step includes a step of irradiating a laser light toward the distal end of the cable lead-out part in a direction orthogonal to the axis of the cable lead-out part.
제3항 또는 제4항에 있어서,
상기 레이저 용착공정은, 상기 케이블 도출부의 축을 중심으로 하여 상기 케이스 및 상기 케이블을 회전시키면서 행해지는 것을 특징으로 하는 검출 센서의 제조방법.
The method according to claim 3 or 4,
The laser welding process is performed while rotating the case and the cable about an axis of the cable lead-out part.
제3항 또는 제4항에 있어서,
상기 레이저 용착공정은, 상기 케이블 도출부의 선단부와 상기 케이블을 원적외선의 레이저 광으로 레이저 용착하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 검출 센서의 제조방법.
The method according to claim 3 or 4,
The laser welding step includes a step of laser welding the tip of the cable lead-out portion and the cable with laser light of far infrared rays.
제3항 또는 제4항에 있어서,
상기 케이스는, 내부부품을 설치하기 위한 개구와, 그 개구를 막는 커버를 구비하며, 상기 레이저 용착공정은, 상기 케이스의 개구와 상기 커버를 서로 레이저 용착한 후에 행해지는 것을 특징으로 하는 검출 센서의 제조방법.
The method according to claim 3 or 4,
The case includes an opening for installing an internal component and a cover that closes the opening, wherein the laser welding step is performed after laser welding the opening of the case and the cover to each other. Manufacturing method.
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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3220440B2 (en) * 1999-09-01 2001-10-22 株式会社ツーデン Liquid leak sensor
JP3684336B2 (en) * 2000-07-31 2005-08-17 サンクス株式会社 Leak sensor
US20060175004A1 (en) * 2001-11-07 2006-08-10 Yasuo Kurosaki Process for welding of thermoplastic resins
JP2004045226A (en) * 2002-07-11 2004-02-12 Takenaka Doboku Co Ltd Water leakage detector
JP4354323B2 (en) * 2004-03-29 2009-10-28 株式会社キーエンス Photoelectric sensor, floodlighting device, and retroreflective mirror for photoelectric sensor
JP4467447B2 (en) * 2005-02-22 2010-05-26 株式会社ティアンドティ Leak sensor
US7735354B2 (en) * 2006-01-25 2010-06-15 Ngk Spark Plug Co., Ltd. Liquid-condition detection sensor

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