KR20120003364A - Light irradiation apparatus - Google Patents

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KR20120003364A
KR20120003364A KR1020110051432A KR20110051432A KR20120003364A KR 20120003364 A KR20120003364 A KR 20120003364A KR 1020110051432 A KR1020110051432 A KR 1020110051432A KR 20110051432 A KR20110051432 A KR 20110051432A KR 20120003364 A KR20120003364 A KR 20120003364A
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excimer lamp
irradiation apparatus
light irradiation
illuminance sensor
excimer
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KR1020110051432A
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신고 사토
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우시오덴키 가부시키가이샤
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    • H01J61/523—Heating or cooling particular parts of the lamp

Abstract

PURPOSE: A light irradiation apparatus is accurately provided to detect the discharge of an excimer by arranging an illuminance sensor to the central part of an excimer lamp. CONSTITUTION: An illuminance sensor(10) receives emission light of an excimer lamp. The illuminance sensor is arranged to face the end part of the longitudinal direction of the excimer lamp. The illuminance sensor slopes a light receiving surface to the central part of the excimer lamp. A partition wall(5) divides a process area in a housing which accepts the excimer lamp. The excimer lamp(3) is extended over the process area.

Description

광 조사 장치{LIGHT IRRADIATION APPARATUS}Light irradiation apparatus {LIGHT IRRADIATION APPARATUS}

본 발명은 광 조사 장치에 관한 것이며, 특히, 자외선 조사 처리에 사용되는 엑시머 램프를 구비한 광 조사 장치에 관련된 것이다.TECHNICAL FIELD This invention relates to a light irradiation apparatus. Specifically, It is related with the light irradiation apparatus provided with the excimer lamp used for an ultraviolet irradiation process.

종래, 예를 들면 파장 200㎚ 이하의 진공 자외선을 다양한 피처리물에 조사함으로써, 피조사면에 부착되어 있는 유기 오염 물질을 제거하는 세정 처리나, 혹은, 피처리물의 조사면에 매우 얇은 산화막을 형성하는 산화막 형성 처리 등이 행해지고 있다. 그리고, 이러한 처리를 위해서 이용되는 진공 자외선을 출사하는 조사원으로서, 예를 들면 방전 용기 내에 크세논 가스 등을 봉입하고, 그 크세논의 엑시머 분자를 발생시키고, 이에 따라 엑시머광을 방출하는 엑시머 램프가 넓게 이용되고 있다.Conventionally, for example, by irradiating various workpieces with a vacuum ultraviolet ray having a wavelength of 200 nm or less, a very thin oxide film is formed on the cleaning process for removing organic contaminants adhering to the irradiated surface or on the irradiated surface of the workpiece. An oxide film forming process or the like is performed. And as an irradiation source which emits the vacuum ultraviolet-ray used for such a process, the excimer lamp which encloses xenon gas etc. in a discharge container, generate | occur | produces the xenon excimer molecule, and emits excimer light by this is widely used, for example. It is becoming.

이러한 자외선 조사 처리에 있어서, 피처리물(워크)에 있어서의 처리가 높은 균일성을 실현하기 위해서는, 일정한 광량의 진공 자외선을 안정되게 조사하는 것이 요구되고 있다. 이러한 조사광의 균일도가 요구되는 광 조사 장치에 있어서는, 램프로부터의 조도를 조도 센서에 의해 모니터하여 조도 관리를 행하는 것이 통상 행해지고 있다. 이 때, 당연히 조도 센서는 엑시머 램프의 피처리물측의 유효 조사 영역 내에 있으면, 워크면에서의 조도가 불균일하게 되기 때문에, 상기 영역 내에는 배치하는 것이 불가능하고, 이를 위한 연구가 행해지고 있다.In such an ultraviolet irradiation process, in order to implement | achieve high uniformity in the process in a to-be-processed object (workpiece), it is calculated | required to irradiate the vacuum ultraviolet ray of a fixed light quantity stably. In the light irradiation apparatus in which the uniformity of such irradiation light is calculated | required, it is usual to monitor illumination intensity from a lamp with an illumination sensor, and to perform illumination intensity management. At this time, of course, if the illuminance sensor is in the effective irradiation region on the object side of the excimer lamp, the illuminance on the workpiece surface becomes nonuniform, and thus it is impossible to arrange the illuminance sensor in the region.

예를 들면, 일본국 특허공개 2004－041843호 공보(특허 문헌 1)에 있어서는, 반사경의 일부에 관통공을 형성하고, 이 관통공으로부터 조도를 측정하는 기술이 개시되어 있다. 그러나, 상기 종래 기술에서는, 반사경에 관통공을 형성했으므로 당해 부분에서의 반사가 없어져, 워크면에 있어서의 조도 균일도가 저하한다고 하는 문제가 있다.For example, in Japanese Patent Laid-Open No. 2004-041843 (Patent Document 1), a technique of forming a through hole in a part of a reflecting mirror and measuring the roughness from the through hole is disclosed. However, in the said prior art, since the through-hole was formed in the reflecting mirror, the reflection in the said part disappears and there exists a problem that the roughness uniformity in a workpiece surface falls.

또한 한편으로, 일본국 특허공개 2009－093945호 공보(특허 문헌 2)에서는, 방전 용기의 내면에 자외선 반사막을 설치한 엑시머 램프가 개시되어 있는데, 이러한 램프의 조도를 측정하기 위해서 상기 특허 문헌 1의 수법을 채용하고자 하면, 상기 자외선 반사막의 일부를 삭제하고, 그 삭제한 개소로부터 출사되어 오는 광의 조도를 조도 센서에 의해 측정하지 않으면 안된다. 이 경우에도 자외선 반사막의 일부를 삭제함으로써 워크면에서의 조도 균일도가 저하한다고 하는 문제가 있었다.On the other hand, Japanese Patent Laid-Open No. 2009-093945 (Patent Document 2) discloses an excimer lamp provided with an ultraviolet reflecting film on the inner surface of a discharge vessel. In order to measure the illuminance of such a lamp, In order to employ | adopt a technique, a part of said ultraviolet reflecting film should be removed and the illuminance of the light radiate | emitted from the deleted location must be measured with the illuminance sensor. Also in this case, there was a problem that the roughness uniformity at the workpiece surface was lowered by deleting part of the ultraviolet reflective film.

이러한 종래 기술의 문제를 시정하는 수단으로는, 워크에의 조사에 영향을 주지않도록, 엑시머 램프의 유효 조사 영역 외의 길이 방향의 단부에 대응하여 조도 센서를 배치하는 것을 생각할 수 있다. 그 구조를 도 4에 도시한다.As a means of correcting such a problem of the prior art, it is conceivable to arrange the illuminance sensor corresponding to the end portion in the longitudinal direction outside the effective irradiation area of the excimer lamp so as not to affect the irradiation to the work. The structure is shown in FIG.

그러나, 이러한 구조를 채용했다고 해도 정확한 조도 모니터가 불가능하다는 문제가 있고, 이하에 이를 설명한다.However, even if such a structure is adopted, there is a problem that an accurate illuminance monitor is impossible, which will be described below.

엑시머 램프(20)는, 방전 용기(21)의 외면에 배치된 한쪽의 전극(22)이 고압측으로서, 다른쪽의 전극(23)이 저압측으로서 기능하고, 이 사이에 전계가 걸리면, 방전 용기(21)의 내면에 전하를 모으고, 이 전하를 사용하여 엑시머 방전(X)이 발생한다. 또한, 24는 방전 용기(21) 내에 형성된 자외선 반사막이다.The excimer lamp 20 discharges when one electrode 22 disposed on the outer surface of the discharge vessel 21 serves as a high pressure side, and the other electrode 23 functions as a low pressure side, and an electric field is applied therebetween. An electric charge is collected on the inner surface of the container 21, and excimer discharge X is generated using this electric charge. 24 is an ultraviolet reflecting film formed in the discharge container 21.

이러한 엑시머 램프(20)에서는, 전극(22, 23)의 중앙 영역에 걸리는 전계는 그 길이 방향을 따라 균일하게 되고, 전하의 방출을 행하여 엑시머 방전(X)이 발생하는데, 전극의 단부에 있어서는 전극 중앙 영역과 다른 전계가 걸려 버려, 전하의 방출에 실패하여, 통상보다 전하가 모이는 양이 많아져 버리는 경우가 있고, 그 결과, 스트리머 방전(Y)이라는 이상 방전이 발생하는 경우가 있다.In such excimer lamp 20, the electric field applied to the center region of the electrodes 22 and 23 becomes uniform along its longitudinal direction, and the excimer discharge X is generated by discharging electric charges. An electric field different from the center region is caught, and the discharge of the electric charges fails, and the amount of charges may be increased more than usual, and as a result, an abnormal discharge called the streamer discharge Y may occur.

이와 같이, 엑시머 램프(20)에서는, 방전 용기(21)의 길이 방향에 있어서, 중앙 위치와 단부에서는 다른 방전이 일어나고 있어, 엑시머 램프의 단부측에 조도 센서(25)를 배치해 버리면, 이상 방전인 스트리머 방전(Y)을 검출해 버려, 정상적인 엑시머 방전(X)이 발생하는 램프 중앙 위치의 정확한 조도를 알 수 없다.In this way, in the excimer lamp 20, different discharges occur at the center position and the end portion in the longitudinal direction of the discharge vessel 21, and if the illuminance sensor 25 is disposed on the end side of the excimer lamp, abnormal discharge occurs. The instreamer discharge Y is detected, and the exact illuminance of the lamp center position where the normal excimer discharge X occurs is not known.

일본국 특허공개 2004－041843호 공보Japanese Patent Laid-Open No. 2004-041843 일본국 특허공개 2009－093945호 공보Japanese Patent Laid-Open No. 2009-093945

본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 엑시머 램프가 복수 병렬로 배치된 광 조사 장치에 있어서, 조도 센서를 상기 엑시머 램프의 유효 조사 영역 외에 배치해도, 램프 단부의 이상 방전을 검출하지 않고, 중앙부의 정상적인 엑시머 방전을 정확하게 검출할 수 있는 광 조사 장치의 구조를 제공하는 것이다.The problem to be solved by the present invention is that in a light irradiation apparatus in which a plurality of excimer lamps are arranged in parallel, even when the illuminance sensor is disposed outside the effective irradiation area of the excimer lamp, the abnormal discharge at the end of the lamp is not detected, It is to provide a structure of a light irradiation apparatus capable of accurately detecting excimer discharge.

상기 과제를 해결하기 위해서, 본 발명에 관련된 광 조사 장치는, 엑시머 램프가 복수 병렬로 배치된 광 조사 장치에 있어서, 상기 엑시머 램프의 방사광을 수광하는 조도 센서가, 당해 엑시머 램프의 길이 방향에 있어서의 한쪽의 단부에 대응하여 배치되고, 수광면이 엑시머 램프의 중앙부를 향해 경사져 있는 것을 특징으로 하는 것이다.In order to solve the said subject, the light irradiation apparatus which concerns on this invention WHEREIN: In the light irradiation apparatus in which multiple excimer lamps were arrange | positioned in parallel, the illuminance sensor which receives the radiation light of the said excimer lamp is a longitudinal direction of the said excimer lamp. It is arrange | positioned corresponding to one edge part, and the light receiving surface is inclined toward the center part of an excimer lamp, It is characterized by the above-mentioned.

또한, 상기 광 조사 장치는, 상기 엑시머 램프를 수용하는 하우징 내에 처리 영역을 구획한 격벽을 구비하고, 상기 엑시머 램프는 상기 처리 영역을 넘어 연장됨과 더불어, 상기 조도 센서는 상기 격벽의 외부에 설치되어 있는 것을 특징으로 한다.In addition, the light irradiation apparatus includes a partition wall partitioning a processing area in a housing for accommodating the excimer lamp, the excimer lamp extends beyond the processing area, and the illuminance sensor is provided outside the partition wall. It is characterized by being.

또한, 상기 엑시머 램프는, 피처리물과는 반대측의 내면에 자외선 반사막을 구비하고, 상기 조도 센서는 상기 반사막을 설치한 측과 반대측에 배치되어 있는 것을 특징으로 한다.Moreover, the said excimer lamp is equipped with the ultraviolet reflecting film in the inner surface on the opposite side to a to-be-processed object, The said illumination sensor is arrange | positioned on the opposite side to the side in which the said reflecting film was provided.

또한, 상기 광 조사 장치는, 상기 격벽체를 관통하는 통형상의 투광성 부재가 설치되고, 상기 엑시머 램프는 상기 투광성 부재 내에 배치되고, 상기 투광성 부재 내에 냉각풍을 유통시킴과 더불어, 상기 조도 센서는 상기 냉각풍의 상류측에 배치되어 있는 것을 특징으로 한다.In the light irradiation apparatus, a cylindrical translucent member penetrating the partition body is provided, the excimer lamp is disposed in the translucent member, and the cooling sensor flows through the translucent member. It is arrange | positioned at the upstream of the said cooling wind, It is characterized by the above-mentioned.

또한, 상기 엑시머 램프의 급전선이, 상기 냉각풍의 상류측에 배치되어 있는 것을 특징으로 한다.Moreover, the feed line of the said excimer lamp is arrange | positioned at the upstream of the said cooling wind, It is characterized by the above-mentioned.

또한, 상기 광 조사 장치가 광 반응성 물질을 포함하는 액정 패널의 제조 공정에 있어서 이용되고, 상기 엑시머 램프가, 파장 300㎚∼400㎚에 발광 피크를 가지는 광을 방사하는 램프인 것을 특징으로 한다.Moreover, the said light irradiation apparatus is used in the manufacturing process of the liquid crystal panel containing a photoreactive substance, The said excimer lamp is a lamp which emits the light which has an emission peak in wavelength 300nm-400nm.

본 발명의 광 조사 장치에 의하면, 조도 센서는 엑시머 램프의 단부에 대응하고, 램프 중앙부를 향해 배치되어 있으므로, 엑시머 램프의 유효 조사 영역 내의 조사가 조도 센서에 의해 차광되지 않고, 또한, 램프 단부의 이상 방전을 검출하지 않고, 중앙부의 정상적인 엑시머 방전을 정확하게 검출할 수 있다고 하는 효과를 발휘한다.According to the light irradiation apparatus of the present invention, since the illuminance sensor corresponds to the end portion of the excimer lamp and is disposed toward the lamp center portion, the irradiation in the effective irradiation area of the excimer lamp is not blocked by the illuminance sensor, and the It has the effect that a normal excimer discharge of a center part can be detected correctly, without detecting abnormal discharge.

또한, 처리 영역을 구획한 격벽의 외부에 배치하므로, 그 설치가 용이함과 더불어, 유효 처리 영역에서의 조사에 영향을 주지 않고, 워크면에서의 조도 균일성의 방해가 되지 않는다.In addition, since the processing region is disposed outside the partitioned partition, the installation is easy and the irradiation in the effective processing region is not affected, and the roughness uniformity on the workpiece surface is not disturbed.

특히, 방전 공간의 내면의 일부에 자외선 반사막을 형성한 램프에 있어서는, 그 반사막의 반대측에 대향하도록 조도 센서를 배치하므로, 반사막을 부분적으로 삭제할 필요도 없어, 워크면에서의 조도 균일성의 저해 요인이 되지 않는다.In particular, in a lamp in which an ultraviolet reflecting film is formed on a part of the inner surface of the discharge space, since the illuminance sensor is disposed so as to face the opposite side of the reflecting film, it is not necessary to delete the reflecting film partially, which causes a factor of impairing the uniformity of illuminance on the workpiece surface. It doesn't work.

또한, 상기 격벽을 관통하는 투광성 부재 내에 엑시머 램프를 배치하고, 상기 투광성 부재 내를 유통하는 냉각풍의 상류측에 조도 센서를 배치했으므로, 고온을 꺼리는 조도 센서가 잘 냉각되어, 오작동하거나 고장나는 일이 없어진다.In addition, since the excimer lamp is disposed in the light transmitting member that penetrates the partition wall, and the illumination sensor is disposed upstream of the cooling wind flowing through the light transmitting member, the light sensor that is reluctant of high temperature cools well and malfunctions or malfunctions. Disappear.

또한, 엑시머 램프의 급전선이 냉각풍의 상류 측에 배치됨으로써, 전극과의 납땜 등의 접속부를 상류측의 차가운 냉각풍에 의해 냉각할 수 있어, 상기 접속부가 박리되지 않는다.Moreover, since the feed line of an excimer lamp is arrange | positioned upstream of cooling wind, connection parts, such as soldering, with an electrode can be cooled by cold cooling wind of an upstream, and the said connection part is not peeled off.

나아가, 램프의 급전부와 조도 센서가 동일측에 배치되게 되어, 램프의 메인터넌스(급전선의 빼고꽂음 등) 영역과 조도 센서의 메인터넌스 영역이 통일됨으로써, 작업이 용이해짐과 더불어, 장치 전체가 대형으로 되지 않는다.Furthermore, the feeding part of the lamp and the illuminance sensor are arranged on the same side, and the maintenance area of the lamp (unplugging and feeding of the feed line) and the maintenance area of the illuminance sensor become unified, thereby facilitating work and making the whole apparatus large. It doesn't work.

도 1은 본 발명의 광 조사 장치의 단면도.
도 2는 도 1의 A－A측 단면도.
도 3은 도 1의 부분 확대도.
도 4는 비교예의 단면도.1 is a cross-sectional view of a light irradiation apparatus of the present invention.
FIG. 2 is a cross-sectional view along the AA side in FIG. 1. FIG.
3 is a partially enlarged view of FIG. 1;
4 is a sectional view of a comparative example.

도 1은, 본 발명의 광 조사 장치(1)의 단면도이며, 도 2는, 그 A－A측 단면도이다.1: is sectional drawing of the light irradiation apparatus 1 of this invention, and FIG. 2 is the A-A side sectional drawing.

도 1에 있어서, 하우징(2) 내에는 장척의 단면 직사각형 형상의 방전 용기로 이루어지는 엑시머 램프(3)가 배치되어 있고, 상기 하우징(2)의 하방은 개방되어 있고 광 출사 개구(4)가 형성되어 있다.In Fig. 1, an excimer lamp 3 made of a discharge vessel having a long cross-sectional rectangular shape is arranged in the housing 2, and the lower side of the housing 2 is open and a light output opening 4 is formed. It is.

도 2에서 명백한 바와같이, 엑시머 램프(3)는 복수개 병렬로 배치되어 있다.As is apparent from Fig. 2, the excimer lamps 3 are arranged in parallel in plural.

상기 하우징(2)에는 격벽(5)이 설치되고, 그 내부에 조사 영역(6)이 구획 형성되어 있다. 그리고, 상기 격벽(5)을 관통하여 복수의 통형상의, 예를 들면 석영 유리로 이루어지는 투광성 부재(7)가 지지되어 있고, 상기 엑시머 램프(3)는 이 투광성 부재(7) 내에 삽입 배치되어 있어, 유효 조사 영역(6)을 넘어 연장되고, 그 양단은 격벽(5)의 외부에까지 신장되어 있다.The partition wall 5 is provided in the said housing 2, and the irradiation area 6 is partitioned in the inside. A plurality of cylindrical transmissive members (7) made of, for example, quartz glass are supported through the partition wall (5), and the excimer lamp (3) is inserted into the translucent member (7). It extends beyond the effective irradiation area 6, and the both ends extend to the exterior of the partition 5, respectively.

그리고, 하우징(2)에는 팬(8)이 설치되고, 이에 따라 타단에 형성된 공기 도입구(9)로부터 냉각풍이 하우징(2) 내로 들어가, 상기 통형상의 투광성 부재(7) 내를 유통하여 상기 엑시머 램프(3)를 냉각하고 있다.In the housing 2, a fan 8 is provided, whereby cooling air enters the housing 2 from the air inlet 9 formed at the other end, and the inside of the cylindrical translucent member 7 flows through the housing 2. The excimer lamp 3 is cooled.

도 3에 명시되는 바와같이, 상기 엑시머 램프(3)에 있어서의 상기 냉각풍의 상류측의 일단부(3a)의 하방에 있어서, 상기 격벽(5)의 외부에 조도 센서(10)가 설치되어 있고, 그 수광면(10a)은 엑시머 램프(3)의 길이 방향의 중앙부측을 향하고 있다.As shown in FIG. 3, below the one end 3a of the upstream side of the cooling wind in the excimer lamp 3, an illuminance sensor 10 is provided outside the partition 5. The light receiving surface 10a faces the central portion side of the excimer lamp 3 in the longitudinal direction.

상기 엑시머 램프(3)의 내면의 일부에는 자외선 반사막(11)이 형성되어 있고, 외면에 설치된 외부 전극(12, 13)은 납땜 등에 의해 전원(14)으로부터의 급전선(15)에 접속되어 있다.An ultraviolet reflecting film 11 is formed on a part of the inner surface of the excimer lamp 3, and the external electrodes 12, 13 provided on the outer surface are connected to the feed line 15 from the power supply 14 by soldering or the like.

또한, 도면에 있어서, 16은 하우징(2)의 광 방사 개구(4)의 하부에 설치된 광 도출관으로서, 반사재로 구성된다. In addition, in the figure, 16 is a light extraction tube provided in the lower part of the light emission opening 4 of the housing | casing 2, and is comprised from a reflector.

또한, 조도 센서(10)의 위치는 엑시머 램프(3)의 하방에 한정되지 않고, 자외선 반사막(11)을 설치하지 않은 것에 있어서는, 그 단부에 대응하는 전체 주위에서 가능하고, 또한, 자외선 반사막(11)을 설치한 것에 있어서는, 그 반사막이 형성되지 않은 부분(애퍼처부)을 향해 설치하면 된다.In addition, the position of the illuminance sensor 10 is not limited to the lower side of the excimer lamp 3, and in the case where the ultraviolet reflecting film 11 is not provided, the position of the illuminance sensor 10 is possible, and the ultraviolet reflecting film ( 11), what is necessary is just to provide toward the part (aperture part) in which the reflecting film is not formed.

상기 구성에 있어서, 팬(8)의 가동에 의해, 공기 도입구(9)로부터 흡인된 냉각풍은, 통형상의 투광성 부재(7) 내로 도입된다. 이 사이에, 조도 센서(10)나, 급전선(15)과 외부 전극(12, 13)의 접속부가 이 냉각풍에 의해 냉각된다.In the above configuration, the cooling air sucked from the air inlet 9 is introduced into the cylindrical translucent member 7 by the operation of the fan 8. In the meantime, the connection part of the illuminance sensor 10 and the feed line 15 and the external electrodes 12 and 13 is cooled by this cooling wind.

그리고, 상기 냉각풍이 투광성 부재(7) 내를 유통하여 엑시머 램프(3)를 냉각하여, 하우징(2) 외로 배기된다.The cooling wind flows through the light transmitting member 7 to cool the excimer lamp 3 and is exhausted out of the housing 2.

또한, 조도 센서(10)는, 엑시머 램프(3)의 단부에 발생하는 이상 방전(스트리머 방전)(Y)을 검출하지 않고, 램프의 중앙부에 생성되는 정상적인 엑시머 방전(X)을 검출한다.In addition, the illuminance sensor 10 detects normal excimer discharge X generated in the center portion of the lamp without detecting abnormal discharge (streamer discharge) Y occurring at the end of the excimer lamp 3.

게다가, 조도 센서(10)는, 투광성 부재(7)의 외측에 배치되므로, 램프(3)로부터의 방사열을 직접 받지않아, 램프(3)의 방사열에 의한 가열을 억제할 수 있다.In addition, since the illuminance sensor 10 is disposed outside the translucent member 7, it is possible to suppress the heating by the radiant heat of the lamp 3 without directly receiving the radiant heat from the lamp 3.

본 발명의 광 조사 장치는, 광 반응성 물질을 포함하는 액정 패널의 제조 공정에 있어서 이용되면 특히 적합하고, 그 경우에는, 상기 엑시머 램프(3)는 파장 300㎚∼400㎚에 발광 피크를 가지는 광을 방사하는 램프가 이용된다.The light irradiation apparatus of this invention is especially suitable when it is used in the manufacturing process of the liquid crystal panel containing a photoreactive substance, In that case, the said excimer lamp 3 has the light which has an emission peak in wavelength 300nm-400nm. Lamps that emit light are used.

이상과 같이, 본 발명의 광 조사 장치에서는, 엑시머 램프의 유효 조사 영역 내의 조사가 조도 센서에 의해 차광되지 않고, 또한, 램프 단부의 이상 방전을 검출하지 않고, 중앙부의 정상적인 엑시머 방전을 정확하게 검출할 수 있다고 하는 효과를 나타내는 것이다.As described above, in the light irradiation apparatus of the present invention, the irradiation in the effective irradiation area of the excimer lamp is not shielded by the illuminance sensor, and the normal excimer discharge in the center portion can be accurately detected without detecting abnormal discharge at the lamp end. It shows the effect that it can.

1 : 광 조사 장치 2 : 하우징
3 : 엑시머 램프 3a : 냉각풍 상류측 단부
4 : 광 출사 개구 5 : 격벽
6 : (유효) 조사 영역 7 : 통형상의 투광성 부재
8 : 팬 9 : 공기 도입구
10 : 조도 센서 10a : 수광면
11 : 자외선 반사막 12, 13 : 외부 전극
15 : 급전선 X : 엑시머 방전
Y : 이상 방전(스트리머 방전)1: light irradiation device 2: housing
3: excimer lamp 3a: cooling wind upstream end
4: light exit opening 5: partition wall
6: (effective) irradiation area 7: cylindrical translucent member
8: fan 9: air inlet
10: illuminance sensor 10a: light receiving surface
11: ultraviolet reflecting film 12, 13: external electrode
15: feed line X: excimer discharge
Y: abnormal discharge (streamer discharge)

Claims (6)

엑시머 램프가 복수 병렬로 배치된 광 조사 장치에 있어서,
상기 엑시머 램프의 방사광을 수광하는 조도 센서가, 당해 엑시머 램프의 길이 방향에 있어서의 한쪽의 단부에 대응하여 배치되고, 수광면이 엑시머 램프의 중앙부를 향해 경사져 있는 것을 특징으로 하는 광 조사 장치.In the light irradiation apparatus in which a plurality of excimer lamps are arranged in parallel,
An illuminance sensor for receiving the radiation of the excimer lamp is disposed corresponding to one end portion in the longitudinal direction of the excimer lamp, and the light receiving surface is inclined toward the center of the excimer lamp. 청구항 1에 있어서,
상기 광 조사 장치는, 엑시머 램프를 수용하는 하우징 내에 처리 영역을 구획한 격벽을 구비하고, 상기 엑시머 램프는 상기 처리 영역을 넘어 연장됨과 더불어, 상기 조도 센서는 상기 격벽의 외부에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 광 조사 장치.The method according to claim 1,
The light irradiation apparatus includes a partition wall partitioning a processing region in a housing accommodating an excimer lamp, the excimer lamp extends beyond the processing region, and the illuminance sensor is provided outside the partition wall. Light irradiation apparatus made. 청구항 2에 있어서,
상기 엑시머 램프는, 피처리물과는 반대측의 내면에 자외선 반사막을 구비하고, 상기 조도 센서는 상기 반사막을 설치한 측과 반대측에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 광 조사 장치.The method according to claim 2,
The excimer lamp includes an ultraviolet reflecting film on an inner surface opposite to the object to be processed, and the illuminance sensor is disposed on the side opposite to the side on which the reflecting film is provided. 청구항 2 또는 청구항 3에 있어서,
상기 광 조사 장치는, 상기 격벽을 관통하는 통형상의 투광성 부재가 설치되고, 상기 엑시머 램프는 상기 투광성 부재 내에 배치되고, 상기 투광성 부재 내에 냉각풍을 유통시킴과 더불어, 상기 조도 센서는 상기 냉각풍의 상류측에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 광 조사 장치.The method according to claim 2 or 3,
The light irradiation apparatus is provided with a cylindrical translucent member penetrating the partition wall, the excimer lamp is disposed in the translucent member, and distributes cooling air in the translucent member, and the illuminance sensor is configured to provide the cooling wind. It is arrange | positioned upstream, The light irradiation apparatus characterized by the above-mentioned. 청구항 4에 있어서,
상기 엑시머 램프의 급전선이, 상기 냉각풍의 상류측에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 광 조사 장치.The method of claim 4,
The feed line of the said excimer lamp is arrange | positioned upstream of the said cooling wind, The light irradiation apparatus characterized by the above-mentioned. 청구항 1에 있어서,
상기 광 조사 장치가 광 반응성 물질을 포함하는 액정 패널의 제조 공정에 있어서 이용되고, 상기 엑시머 램프가, 파장 300㎚∼400㎚에 발광 피크를 가지는 광을 방사하는 램프인 것을 특징으로 하는 광 조사 장치.The method according to claim 1,
The said light irradiation apparatus is used in the manufacturing process of the liquid crystal panel containing a photoreactive substance, The said excimer lamp is a lamp which emits the light which has an emission peak in wavelength 300nm-400nm, The light irradiation apparatus characterized by the above-mentioned. .
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