KR20120001868U - shower head unit - Google Patents

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Abstract

본 고안은 LCD 제조용 Wet 장비에 사용되는 약액 분사용 샤워 헤드 유닛에 관한 것으로서, 약액배출구가 구비된 매니폴드와 상기 매니폴드에 결합되는 아답터 및 상기 아답터에 결합되는 샤워파이프로 구성함으로써, 상기 샤워파이프가 아답터에 의해 상기 매니폴드에 간편하게 삽입되어 후크 결합 방식으로 끼워 맞춤되게 함으로써, 샤워파이프의 원터치 결합이 가능하여 착탈이 간편할 뿐 아니라, 유지 보수가 용이하고, 또한 눈금표시부를 설치하여 샤워파이프의 결합 각도 조절을 통한 약액의 분사각 조정이 가능한 샤워 헤드 유닛에 관한 것이다.The present invention relates to a shower head unit for chemical injection used in Wet equipment for LCD manufacturing, comprising a shower pipe coupled to the manifold and the adapter coupled to the manifold and the adapter, the shower pipe Is easily inserted into the manifold by an adapter to be hook-fitted, so that the one-touch coupling of the shower pipe is possible, so that the attachment and detachment of the shower pipe is simple, maintenance is easy, and a graduation indicator is provided to install the shower pipe. It relates to a shower head unit capable of adjusting the injection angle of the chemical liquid by adjusting the coupling angle.

Description

샤워 헤드 유닛{Shower head unit}Shower head unit {Shower head unit}

본 고안은 LCD 제조용 Wet 장비에 사용되는 약액 분사용 샤워 헤드 유닛에 관한 것으로서, 샤워파이프와 매니폴드가 간편하게 원터치 결합이 가능하도록 아답터를 설치함으로써, 샤워파이프의 착탈이 용이할 뿐 아니라, 유지 보수가 용이하고, 또한 샤워파이프의 결합각도 조절을 통해 약액의 분사각 조정이 가능한 샤워 헤드 유닛에 관한 것이다.
The present invention relates to a shower head unit for chemical injection used in wet equipment for LCD manufacturing, and by installing an adapter so that the shower pipe and the manifold can be easily touched, the shower pipe is easily attached and detached, and maintenance is easy. The present invention relates to a shower head unit that is easy to adjust the spray angle of the chemical liquid by adjusting the coupling angle of the shower pipe.

일반적으로 LCD(Liquid Crystal Display) 제조에 사용되는 Wet 장비에는 다량의 약액을 웨이퍼(Wafer) 또는 유리 기판(glass substrate)상에 분사시킬 수 있는 샤워 헤드 유닛이 설치되어 사용되고 있다.In general, the wet equipment used in LCD (Liquid Crystal Display) manufacturing is installed with a shower head unit that can be sprayed on a wafer (wafer) or a glass substrate (glass substrate).

샤워 헤드 유닛은 샤워파이프에 다수개의 약액 분사노즐이 설치된 것으로서, 상기 샤워파이프가 웨이퍼나 기판 상측에 위치하도록 한 후, 상기 약액 분사노즐을 통해 웨이퍼나 기판 상부에 약액을 분사시킬 수 있도록 구비되는 것이다.The shower head unit is provided with a plurality of chemical injection nozzles in the shower pipe, so that the shower pipe is located above the wafer or the substrate, and is then provided to spray the chemical liquid on the wafer or the substrate through the chemical injection nozzle. .

이하, 도 1,2를 참조하여 종래의 샤워 헤드 유닛을 설명한다.Hereinafter, a conventional shower head unit will be described with reference to FIGS. 1 and 2.

도 1은 종래의 샤워 헤드 유닛의 부분 사시도를 나타낸 것이고, 도 2는 도 1의 개략적인 단면도를 나타낸 것이다.1 shows a partial perspective view of a conventional shower head unit, and FIG. 2 shows a schematic cross-sectional view of FIG. 1.

도시된 바와 같이, 샤워 헤드 유닛은 약액공급관(105)이 결합되는 매니폴드(100)와 매니폴드(100)에 일단이 결합되는 샤워파이프(110)로 구성된다.As shown, the shower head unit is composed of a manifold 100 to which the chemical liquid supply pipe 105 is coupled and a shower pipe 110 having one end coupled to the manifold 100.

이때 샤워파이프(110)의 외주면 하측부에는 일정 간격으로 이격되게 약액 분사노즐(120)이 하향 설치된다.At this time, the chemical liquid injection nozzle 120 is installed downward on the outer circumferential surface of the shower pipe 110 spaced at a predetermined interval.

따라서 약액공급관(105)을 통해 유입된 약액은 매니폴드(100)와 샤워파이프(110)를 경유하여 분사노즐(120)을 통해 웨이퍼나 기판 상부에 분사되는 것이다.Therefore, the chemical liquid introduced through the chemical liquid supply pipe 105 is injected onto the wafer or the substrate through the injection nozzle 120 via the manifold 100 and the shower pipe 110.

또한 샤워파이프(110)는 단부에 나사산(115)이 형성되어 있어 매니폴드(100)에 나사 결합되며, 도 2에 도시된 바와 같이, 외주면에는 실링(sealing)을 위한 O-RING(130)이 복수로 설치된다.In addition, the shower pipe 110 is threaded 115 is formed at the end is screwed to the manifold 100, as shown in Figure 2, the outer circumferential surface O-ring 130 for sealing (sealing) is It is installed in plurality.

그러나 상기와 같은 종래의 샤워 헤드 유닛은 다음과 같은 문제점들이 있었다.However, the conventional shower head unit has the following problems.

첫째, 샤워파이프가 매니폴드에 나사 결합되는 회전 결합 방식이기 때문에 완전한 결합을 위해서는 작업자가 샤워파이프를 여러번 회전시켜야 하는 불편함이 있을 뿐 아니라, 작업 공수 또한 증가하게 되는 문제점이 있었고, 둘째, 외주면에 실링을 위한 O-RING이 설치됨으로써, 작업자가 샤워파이프를 매니폴드에 나사 결합시킬 때, O-RING과 매니폴드 내측면과의 마찰로 인해 샤워파이프의 회전작업이 어려워지는 문제점이 있었으며, 셋째, 샤워파이프의 결합각도 조절이 곤란하여 약액 분사각을 임의로 조정할 수 없는 문제점이 있었다.
First, since the shower pipe is screwed to the manifold, there is a problem that the operator has to rotate the shower pipe several times in order to complete the coupling, and the workmanship is also increased. As the O-ring for sealing is installed, when the worker screwes the shower pipe to the manifold, the rotation of the shower pipe becomes difficult due to the friction between the O-ring and the inner surface of the manifold. It was difficult to adjust the bonding angle of the shower pipe, there was a problem that can not arbitrarily adjust the chemical injection angle.

본 고안은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로서, 본 고안의 목적은 샤워파이프가 아답터에 의해 원터치 방식으로 매니폴드에 결합되게 함으로써, 샤워파이프의 착탈이 간편하도록 하여 작업 공수의 감소는 물론 유지 보수가 용이하도록 하는 것이다.The present invention is devised to solve the above problems, the object of the present invention is that the shower pipe is coupled to the manifold by the one-touch method by the adapter, so that the removal of the shower pipe is easy to reduce the number of work It is to make maintenance easy.

본 고안의 다른 목적은 실링부재가 아답터의 선단면에 설치됨으로써, 작업자의 샤워파이프 결합 작업이 용이하도록 하고, 또한 기밀성이 향상되도록 하는 것이다.Another object of the present invention is that the sealing member is installed on the front end surface of the adapter, to facilitate the worker's shower pipe coupling operation, and also to improve the airtightness.

본 고안의 또 다른 목적은 아답터가 일정 각도 회전되어 후크 결합되게 함과 동시에 아답터 외주면에 눈금표시부를 설치하여 결합각도 조절이 가능토록 함으로써, 작업자가 샤워파이프의 결합각도 조절을 통해 약액 분사각을 임의로 조정할 수 있도록 하는 것이다.
Another object of the present invention is that the adapter is rotated by a certain angle to the hook and at the same time by installing a graduation mark on the outer peripheral surface of the adapter to adjust the coupling angle, the operator can arbitrarily set the chemical injection angle by adjusting the coupling angle of the shower pipe To make adjustments.

상기 목적을 달성하기 위하여 본 고안은 일측면에 약액배출구가 형성되고, 상기 약액배출구의 단부에는 결합부가 설치되는 매니폴드와, 상기 결합부에 암수 삽입구조로 끼워 맞춤될 수 있게 선단부에 록킹부가 설치되는 중공형 아답터, 및 상기 아답터의 후단부에 결합되는 샤워파이프를 포함하여 구성된다.In order to achieve the above object, the present invention has a chemical liquid discharge port formed on one side, and an end portion of the chemical liquid discharge port has a manifold having a coupling portion installed therein, and a locking portion installed at the front end to be fitted with a male and female insertion structure. It comprises a hollow adapter, and a shower pipe coupled to the rear end of the adapter.

여기서 상기 아답터는 상기 록킹부를 상기 결합부에 삽입시킨 후 회동시켜 끼워 맞춤되게 할 수 있다.In this case, the adapter may be inserted into the locking portion and then rotated to be fitted.

또한 상기 결합부는 메인홈을 구비하되, 상기 메인홈의 둘레에는 서로 마주보도록 한 쌍의 삽입홈 및 걸림홈이 서로 연결 형성되고, 상기 록킹부는 상기 삽입홈에 삽입되어 상기 걸림홈에 끼워질 수 있게 한 쌍의 걸림편이 외주면에 돌출 형성된다.In addition, the coupling portion is provided with a main groove, a pair of insertion grooves and engaging grooves are formed to be connected to each other so as to face each other around the main groove, the locking portion is inserted into the insertion groove to be fitted into the locking grooves A pair of locking pieces protrude from the outer circumferential surface.

또 상기 록킹부의 선단면에는 약액의 누출을 방지할 수 있는 실링부재가 설치될 수 있다.In addition, a sealing member may be installed on the front end surface of the locking part to prevent leakage of the chemical liquid.

한편 상기 아답터의 후단부 중앙에는 결합홈을 형성하여 상기 샤워파이프의 단부가 상기 결합홈에 삽입 결합되게 할 수 있다.Meanwhile, a coupling groove may be formed in the center of the rear end of the adapter to allow the end of the shower pipe to be inserted into the coupling groove.

이때 상기 샤워파이프의 외주면에는 면취부를 형성하고, 상기 아답터의 결합홈 둘레에는 샤워파이프의 회동이 제한되도록 상기 면취부에 밀착될 수 있는 지지면이 형성되는 것이 바람직하다.In this case, it is preferable that a chamfer is formed on the outer circumferential surface of the shower pipe, and a support surface that can be in close contact with the chamfer is formed around the coupling groove of the adapter to limit the rotation of the shower pipe.

또한 상기 아답터와 매니폴드 중 어느 하나에는 결합각도 조절이 용이하도록 눈금표시부가 형성되는 것이 바람직하다.
In addition, it is preferable that any one of the adapter and the manifold is provided with a scale display part so as to easily adjust the coupling angle.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 고안은 샤워파이프의 착탈 및 유지보수가 용이하여 작업 공수의 감소는 물론 Wet 장비의 공정 효율이 향상될 수 있는 효과가 있고, 또한 샤워파이프의 결합각도 조절을 통해 약액 분사각 조정이 가능하여 공정 불량률 감소는 물론 공정 품질을 현저히 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
As described above, the present invention has the effect that the removal and maintenance of the shower pipe is easy to reduce the number of work, as well as the process efficiency of the Wet equipment can be improved, and also through the adjustment of the coupling angle of the shower pipe chemical solution It is possible to adjust the blind spot to reduce the process defect rate as well as to significantly improve the process quality.

도 1은 종래의 샤워 헤드 유닛의 부분 사시도,
도 2는 도 1의 단면도,
도 3은 본 고안의 샤워 헤드 유닛의 사시도,
도 4는 도 3의 부분 사시도,
도 5는 본 고안의 샤워 헤드 유닛의 분해사시도,
도 6은 본 고안의 아답터의 사시도,
도 7은 도 5의 매니폴드의 단면도,
도 8은 도 4의 단면도이다.
도 9는 아답터의 각도 조절의 일 예의 작동 상태도이다.1 is a partial perspective view of a conventional shower head unit,
Fig. 2 is a sectional view of Fig. 1,
3 is a perspective view of the shower head unit of the present invention,
4 is a partial perspective view of FIG. 3;
5 is an exploded perspective view of the shower head unit of the present invention,
6 is a perspective view of the adapter of the present invention,
7 is a cross-sectional view of the manifold of FIG. 5;
8 is a cross-sectional view of FIG. 4.
9 is an operational state diagram of an example of angle adjustment of the adapter.

이하 본 고안을 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

도 3은 본 고안의 샤워 헤드 유닛의 사시도를 나타낸 것이고, 도 4는 도 3의 부분 사시도를 나타낸 것이다.Figure 3 shows a perspective view of the shower head unit of the present invention, Figure 4 shows a partial perspective view of FIG.

도시된 바와 같이, 본 고안의 샤워 헤드 유닛은 복수의 샤워파이프(50)가 아답터(30)를 통해 매니폴드(10)의 일측면에 결합된다.As shown, the shower head unit of the present invention is a plurality of shower pipe 50 is coupled to one side of the manifold 10 through the adapter (30).

여기서 매니폴드(10)는 복수의 샤워파이프(50)에 약액을 주입하는 역할을 하는 것으로서, 하부에는 약액공급관(15)이 설치되고, 일측면에는 아답터(30)에 의해 샤워파이프(50)가 결합된다.Here, the manifold 10 serves to inject the chemical liquid into the plurality of shower pipes 50, and the chemical liquid supply pipe 15 is installed at the lower portion thereof, and the shower pipe 50 is formed at one side by the adapter 30. Combined.

이때 매니폴드(10)는 도 4에 도시된 바와 같이, 내부에 아답터(30)의 선단부가 각각 결합되는 약액배출구(11)가 형성되고, 약액배출구(11)는 연통로(13)를 통해 약액공급관(15)과 연통되도록 설치된다.At this time, as shown in Figure 4, the manifold 10 is formed with a chemical liquid discharge port 11 is coupled to the front end of the adapter 30, respectively, the chemical liquid discharge port 11 is a chemical liquid through the communication path (13) It is installed to communicate with the supply pipe (15).

여기서 약액배출구(11)는 일단이 외부에 노출되도록 평행하게 복수로 설치된다.The chemical liquid discharge port 11 is provided in plurality in parallel so that one end is exposed to the outside.

한편 샤워파이프(50)는 일단이 아답터(30)의 후단부에 삽입 결합되며, 타단부에는 지지대(70)가 설치된다.Meanwhile, one end of the shower pipe 50 is inserted and coupled to the rear end of the adapter 30, and the support 70 is installed at the other end.

약액공급관(15)과 지지대(70)는 Wet 장비의 메인프레임(도시하지 않음)에 하측부가 각각 결합되어 샤워파이프(50)의 양단을 지지하게 되며, 이때 샤워 헤드 유닛이 장착되는 Wet 장비의 구조에 따라 다양한 형태로 구비될 수 있을 것이다.The chemical liquid supply pipe 15 and the support 70 are coupled to the lower side of the main frame (not shown) of the wet equipment, respectively, to support both ends of the shower pipe 50, in which the structure of the wet equipment on which the shower head unit is mounted It may be provided in various forms according to.

또한 샤워파이프(50)의 외주면 하측에는 다수개의 분사노즐(55)이 일정 간격으로 이격되게 하향 설치된다.In addition, a plurality of injection nozzles 55 are installed downward at a predetermined interval below the outer circumferential surface of the shower pipe 50.

따라서 약액은 약액공급관(15)과 매니폴드(10)의 연통로(13) 및 약액배출구(11)를 경유하여 샤워파이프(50) 내로 유입된 후, 샤워파이프(50)에 설치된 분사노즐(55)을 통해 하향 분사되는 것이다.Therefore, the chemical liquid flows into the shower pipe 50 through the communication path 13 and the chemical liquid discharge port 11 of the chemical liquid supply pipe 15 and the manifold 10, and then the injection nozzle 55 installed in the shower pipe 50. Is sprayed downward).

여기서 샤워파이프(50)는 다수개가 매니폴드(10)에 순차적으로 평행하게 병렬 설치될 수 있으며, 본 고안의 샤워 헤드 유닛 또한 Wet 장비의 메인프레임을 따라 일정간격으로 다수개가 설치될 수 있을 것이다.Here, the plurality of shower pipes 50 may be installed in parallel in parallel to the manifold 10, and a plurality of shower head units of the present invention may also be installed at regular intervals along the main frame of the Wet equipment.

이하 도 5 내지 도 7을 참조하여 본 고안의 샤워 헤드 유닛의 구성을 상세히 설명한다.Hereinafter, the configuration of the shower head unit of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 5 to 7.

도 5는 본 고안의 샤워 헤드 유닛의 분해사시도를 나타낸 것이고, 도 6은 본 고안의 아답터(30)의 사시도를 나타낸 것이며, 도 7은 도 5의 매니폴드(10)의 단면도를 나타낸 것이다.FIG. 5 is an exploded perspective view of the shower head unit of the present invention, FIG. 6 is a perspective view of the adapter 30 of the present invention, and FIG. 7 is a sectional view of the manifold 10 of FIG.

도 5에 도시된 바와 같이, 본 고안은 매니폴드(10)와 아답터(30) 및 샤워파이프(50)로 구성된다.As shown in FIG. 5, the present invention includes a manifold 10, an adapter 30, and a shower pipe 50.

매니폴드(10)는 도 5,7에 도시된 바와 같이, 일측면에 복수의 약액배출구(11)가 형성되고, 내부에는 약액배출구(11)와 약액공급관(15)을 연통시키는 연통로(13)가 설치된다.As shown in FIGS. 5 and 7, the manifold 10 has a plurality of chemical liquid outlets 11 formed at one side thereof, and a communication passage 13 for communicating the chemical liquid outlet 11 and the chemical liquid supply pipe 15 therein. ) Is installed.

한편 약액배출구(11)의 단부에는 아답터(30)의 선단부가 결합되는 결합부(20)가 설치된다.On the other hand, at the end of the chemical discharge port 11 is provided with a coupling portion 20 is coupled to the front end of the adapter (30).

결합부(20)는 아답터(30)의 선단부에 구비된 록킹부(40)와 암수 삽입구조로 끼워 맞춤되는 것으로서, 메인홈(21)과 메인홈(21) 둘레에 형성되는 삽입홈(23) 및 걸림홈(25)으로 구성된다.The coupling part 20 fits into the locking part 40 and the male and female insertion structure provided at the tip of the adapter 30, and the insertion groove 23 is formed around the main groove 21 and the main groove 21. And a locking groove 25.

메인홈(21)은 약액배출구(11)의 단부에 일정 깊이로 형성하되, 약액배출구(11)보다 직경이 큰 원형으로 형성되며, 외주면 좌,우측에는 서로 마주보도록 한 쌍의 삽입홈(23)이 형성된다.The main groove 21 is formed to a certain depth at the end of the chemical liquid discharge port 11, is formed in a circular shape larger than the chemical liquid discharge port 11, a pair of insertion grooves 23 to face each other on the left and right outer peripheral surface Is formed.

또한 메인홈(21)의 상,하측에는 서로 마주보도록 형성하되, 삽입홈(23)과 연결되도록 걸림홈(25)이 원주 방향을 따라 일정 깊이로 형성된다.In addition, the upper and lower sides of the main groove 21 are formed to face each other, the engaging groove 25 is formed to a predetermined depth along the circumferential direction so as to be connected to the insertion groove 23.

이때 삽입홈(23)의 외측면과 걸림홈(25)의 저면은 메인홈(21)과 동일 중심을 가지는 하나의 원주면을 형성한다.At this time, the outer surface of the insertion groove 23 and the bottom surface of the locking groove 25 forms one circumferential surface having the same center as the main groove 21.

또한 매니폴드(10)의 결합부(20)의 상측부에는 샤워파이프(50)의 결합각도 조절이 용이하도록 기준라인(17)이 설치되는 것이 바람직하다.In addition, it is preferable that the reference line 17 is installed on the upper portion of the coupling portion 20 of the manifold 10 so as to easily adjust the coupling angle of the shower pipe 50.

한편 아답터(30)는 샤워파이프(50)와 매니폴드(10)의 약액배출구(11)를 연결시키는 것으로서, 도 6에 도시된 바와 같이, 약액이 통과할 수 있도록 중앙부에 유로(32)가 관통 형성된 중공형으로 구비되며, 선단부에는 록킹부(40)가 형성된다.Meanwhile, the adapter 30 connects the shower pipe 50 and the chemical liquid outlet 11 of the manifold 10, and as shown in FIG. 6, the flow passage 32 penetrates the central portion to allow the chemical liquid to pass therethrough. It is provided in a hollow formed, the front end portion is formed with a locking portion 40.

이때 록킹부(40)의 선단면에는 실링홈(36)이 원형으로 형성된다.At this time, the sealing groove 36 is formed in the front end surface of the locking portion 40 in a circular shape.

실링홈(36)은 아답터(30)와 매니폴드(10)의 결합면에서 약액이 누출되는 것을 방지하는 실링부재(80)가 설치되는 것으로서, 도시된 바와 같이, 하나로 한정되는 것은 아니며, 아답터(30)의 선단면의 반경 방향을 따라 복수로 설치될 수도 있을 것이다.The sealing groove 36 is provided with a sealing member 80 that prevents the leakage of the chemical liquid from the coupling surface of the adapter 30 and the manifold 10, as shown, is not limited to one, the adapter ( A plurality of may be installed along the radial direction of the front end surface of 30).

실링부재(80)는 탄성이 있는 고무 소재의 O-Ring 등이 사용될 수 있을 것이다.Sealing member 80 may be used, such as elastic rubber O-ring.

한편 록킹부(40)는 매니폴드(10)의 결합부(20)에 삽입되어 끼워 맞춤되는 부분으로서, 삽입부(42)와 걸림편(43)으로 구성된다.On the other hand, the locking portion 40 is inserted into the engaging portion 20 of the manifold 10 to be fitted, it is composed of the insertion portion 42 and the engaging piece 43.

삽입부(40)는 결합부(20)의 메인홈(21)에 삽입 가능하도록 원형으로 구비되며, 걸림편(43)은 결합부(20)에 형성된 삽입홈(23)에 대응되도록 삽입부(40)의 외주면에 서로 마주보도록 한 쌍으로 돌출 형성된다.Insertion portion 40 is provided in a circular shape to be inserted into the main groove 21 of the coupling portion 20, the engaging piece 43 is inserted into the insertion portion (23) corresponding to the insertion groove 23 formed in the coupling portion (20) The outer peripheral surface of 40) is formed to project in pairs to face each other.

또한 아답터(30)의 외주면 상측부에는 샤워파이프(50)의 결합각도 조절을 위한 눈금표시부(35)가 형성된다.In addition, the upper portion of the outer circumferential surface of the adapter 30 is formed with a scale display unit 35 for adjusting the coupling angle of the shower pipe (50).

눈금표시부(35)는 소정의 각도만큼 이격되도록 다수개의 라인을 형성하는 홈이나 돌기로 구성될 수 있으며, 작업성을 고려하여 아답터(30)의 상측부와 하측부에 각각 설치되는 것이 바람직하다.The scale display unit 35 may be formed of a groove or a protrusion forming a plurality of lines to be spaced apart by a predetermined angle, and is preferably installed at the upper side and the lower side of the adapter 30 in consideration of workability.

한편 아답터(30)의 후단부에는 샤워파이프(50)의 단부가 삽입되는 결합홈(38)이 일정 깊이로 형성된다.On the other hand, the rear end of the adapter 30 has a coupling groove 38 into which the end of the shower pipe 50 is inserted to a predetermined depth.

결합홈(38)은 유로(32)보다 직경이 크게 형성된다.Coupling groove 38 is formed larger in diameter than the flow path (32).

이때 결합홈(38)의 외주에는 샤워파이프(50)의 단부가 삽입 결합된 상태에서 임의로 회전되는 것을 방지할 수 있도록 지지면(33)이 형성된다.At this time, the support surface 33 is formed on the outer circumference of the coupling groove 38 to prevent the end of the shower pipe 50 from being rotated arbitrarily.

지지면(33)은 샤워파이프(50)의 외주면에 형성되는 면취부(53)(도5에 도시함)에 대응되도록 형성됨으로써, 샤워파이프(50)가 아답터(30)의 결함홈(38)에 삽입된 상태에서 샤워파이프(50)가 아답터(30)와 일체로 회전 가능하도록 하는 것이다.The support surface 33 is formed to correspond to the chamfer 53 (shown in FIG. 5) formed on the outer circumferential surface of the shower pipe 50, so that the shower pipe 50 has a defect groove 38 of the adapter 30. In the state inserted in the shower pipe 50 is to be rotatable integrally with the adapter (30).

한편 샤워파이프(50)의 단부는 아답터(30)에 삽입하여 용접 결합시킬 수 있을 것이다.Meanwhile, the end of the shower pipe 50 may be inserted into the adapter 30 and welded thereto.

본 고안의 샤워파이프(50)와 아답터(30) 및 매니폴드(10)의 결합 과정은 아래와 같다.The coupling process of the shower pipe 50 and the adapter 30 and the manifold 10 of the present invention is as follows.

먼저 샤워파이프(50)의 단부를 아답터(30)의 결합홈(38)에 삽입하여 결합시킨다.First, the end of the shower pipe 50 is inserted into the coupling groove 38 of the adapter 30 to be coupled.

이 후, 아답터(30)에 설치된 록킹부(40)의 삽입부(42)와 걸림편(43)이 매니폴드(10)의 메인홈(21)과 삽입홈(23)에 각각 삽입되도록 끼워 넣은 후, 샤워파이프(50)를 좌측 또는 우측 방향으로 90도 회전시켜 걸림편(43)이 걸림홈(25)에 끼워지도록 하면 되는 것이다.Thereafter, the insertion part 42 and the locking piece 43 of the locking part 40 installed in the adapter 30 are inserted into the main groove 21 and the insertion groove 23 of the manifold 10, respectively. After that, the shower pipe 50 may be rotated 90 degrees in the left or right direction so that the locking piece 43 is fitted into the locking groove 25.

따라서 아답터(30)는 매니폴드(10)에 후크 방식으로 원터치 결합이 가능하게 됨으로써 착탈이 간편하게 이루어질 수 있는 것이다.Therefore, the adapter 30 can be easily detached by being able to be coupled to the manifold 10 by a one-touch hook.

이때 아답터(30)의 눈금표시부(35)의 각 라인을 매니폴드(10)의 기준라인(17)에 선택적으로 일치시킴으로써, 샤워파이프(50)의 결합각도를 조절할 수 있게 되고, 이에 따라 샤워파이프(50)에 설치된 분사노즐(55)의 각도 또한 변화되어 약액 분사각을 조정할 수 있게 되는 것이다.At this time, by selectively matching each line of the scale display unit 35 of the adapter 30 to the reference line 17 of the manifold 10, it is possible to adjust the coupling angle of the shower pipe 50, accordingly the shower pipe The angle of the injection nozzle 55 installed in the 50 is also changed so that the chemical liquid injection angle can be adjusted.

한편 도 8은 샤워파이프(50)와 아답터(30) 및 매니폴드(10)가 결합된 상태의 부분 단면도를 나타낸 것이다.8 illustrates a partial cross-sectional view of the shower pipe 50, the adapter 30, and the manifold 10 in a coupled state.

도시된 바와 같이, 아답터(30)는 록킹부(40)의 걸림편(43)이 결합부(20)의 걸림홈(25)에 삽입되어 견고하게 지지되고, 이때 샤워파이프(50)와 아답터(30)의 유로(32) 및 매니폴드(10)의 약액배출구(11)가 동일 선상에서 서로 연통됨으로써, 약액이 이동할 수 있게 되는 것이다.As shown, the adapter 30 is securely supported by the locking piece 43 of the locking portion 40 is inserted into the locking groove 25 of the coupling portion 20, wherein the shower pipe 50 and the adapter ( The flow path 32 of the 30 and the chemical liquid outlet 11 of the manifold 10 communicate with each other on the same line, so that the chemical liquid can move.

또한 록킹부(40)의 선단면의 실링홈(36)에 구비된 실링부재(80)가 매니폴드(10)의 전면에 밀착됨으로써, 약액의 외부 누출을 방지하게 되는 것이다.In addition, the sealing member 80 provided in the sealing groove 36 of the front end surface of the locking portion 40 is in close contact with the front surface of the manifold 10, thereby preventing the external leakage of the chemical liquid.

한편 도 9는 아답터의 각도 조절의 일 예의 작동 상태도를 나타낸 것이다.On the other hand, Figure 9 shows an operating state diagram of an example of the angle adjustment of the adapter.

도 9는 눈금표시부(35)의 각 눈금 라인이 5도 각도만큼 이격되도록 아답터(30)의 외주면에 표시된 경우로서, 각 눈금을 매니폴드(10)의 기준라인(17)에 순차적으로 일치시키게 되면 샤워파이프(50)의 분사노즐(55)은 -40도 ~ +40도 까지 조정할 수 있게 되는 것이다.FIG. 9 is a case where each scale line of the scale display part 35 is displayed on the outer circumferential surface of the adapter 30 so as to be spaced apart by an angle of 5 degrees, and when each scale is sequentially aligned with the reference line 17 of the manifold 10. Injection nozzle 55 of the shower pipe 50 is to be adjusted to -40 degrees to +40 degrees.

따라서 본 고안은 샤워파이프(50)가 아답터(30)에 의해 원터치 방식으로 매니폴드(10)에 결합됨으로써, 샤워파이프(50)의 착탈이 용이하여 작업 공수를 현저히 절감시킬 수 있게 될 뿐 아니라, 록킹부(40)의 선단면에 실링부재(80)가 구비됨으로써, 기밀성 향상은 물론 작업자의 샤워파이프(50) 회전작업이 용이하게 되는 것이다.Therefore, the present invention is that the shower pipe 50 is coupled to the manifold 10 by the one-touch method by the adapter 30, the shower pipe 50 can be easily attached and detached, not only can significantly reduce the work maneuver, Since the sealing member 80 is provided on the front end surface of the locking part 40, the sealing pipe 50 may be improved, as well as the worker's shower pipe 50 may be easily rotated.

또한 아답터(30)에 구비된 눈금표시부(35)를 이용하여 작업자가 필요에 따라 샤워파이프(50)의 결합각도 조절을 통해 약액 분사각을 임의로 조정할 수 있게 되는 것이다.In addition, by using the graduation display unit 35 provided in the adapter 30, the operator can be arbitrarily adjusted by adjusting the coupling angle of the shower pipe 50 as needed.

이상, 상기의 실시 예는 단지 설명의 편의를 위해 예시로서 설명한 것에 불과하며, 본 고안의 기술 범주 내에서 다양한 형태로 변형 적용이 가능할 것이다.
As described above, the above embodiments are merely described as examples for convenience of description, and modifications may be applied in various forms within the technical scope of the present invention.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
10,100 : 매니폴드 11 : 약액배출구
13 : 연통로 15,105 : 약액공급관
17 : 기준라인 20 : 결합부
21 : 메인홈 23 : 삽입홈
25 : 걸림홈 30 : 아답터
32 : 유로 33 : 지지면
35 : 눈금표시부 36 : 실링홈
38 : 결합홈 40 : 록킹부
42 : 삽입부 43 : 걸림편
50,110 : 샤워파이프 55,120 : 분사노즐
70 : 지지대 80 : 실링부재
130 : O-RingExplanation of symbols on the main parts of the drawings
10,100: Manifold 11: Chemical outlet
13: communication path 15,105: chemical supply pipe
17: reference line 20: coupling portion
21: main groove 23: insertion groove
25: hanging groove 30: adapter
32: Euro 33: support surface
35: graduation display 36: sealing groove
38: coupling groove 40: locking part
42: insertion portion 43: locking piece
50,110 Shower pipe 55,120 Injection nozzle
70: support 80: sealing member
130: O-Ring

Claims (7)

일측면에 약액배출구가 형성되고, 상기 약액배출구의 단부에는 결합부가 설치되는 매니폴드;
상기 결합부에 암수 삽입구조로 끼워 맞춤될 수 있게 선단부에 록킹부가 설치되는 중공형 아답터; 및
상기 아답터의 후단부에 결합되는 샤워파이프;
를 포함하여 구성되는 샤워 헤드 유닛.A chemical liquid outlet is formed at one side, and a manifold having a coupling part at an end of the chemical liquid outlet;
A hollow adapter having a locking portion installed at a distal end thereof so as to be fitted with a male and female insertion structure; And
A shower pipe coupled to the rear end of the adapter;
Shower head unit configured to include. 제1항에 있어서,
상기 아답터는 상기 록킹부를 상기 결합부에 삽입시킨 후 회동시켜 끼워 맞춤되게 한 것을 특징으로 하는 샤워 헤드 유닛.The method of claim 1,
The adapter is a shower head unit, characterized in that the locking portion is inserted into the engaging portion and then rotated to fit. 제2항에 있어서,
상기 결합부는 메인홈을 구비하되, 상기 메인홈의 둘레에는 서로 마주보도록 한 쌍의 삽입홈 및 걸림홈이 서로 연결 형성되고,
상기 록킹부는 상기 삽입홈에 삽입되어 상기 걸림홈에 끼워질 수 있게 한 쌍의 걸림편이 외주면에 돌출 형성되는 것을 특징으로 하는 샤워 헤드 유닛.The method of claim 2,
The coupling portion is provided with a main groove, a pair of insertion grooves and engaging grooves are formed to be connected to each other so as to face each other around the main groove,
The locking unit is a shower head unit, characterized in that the pair of engaging pieces protruding from the outer peripheral surface is inserted into the insertion groove to be fitted into the locking groove. 제3항에 있어서,
상기 록킹부의 선단면에는 약액의 누출을 방지할 수 있는 실링부재가 설치되는 것을 특징으로 하는 샤워 헤드 유닛.The method of claim 3,
Shower head unit, characterized in that the front end of the locking portion is provided with a sealing member that can prevent the leakage of the chemical. 제1항에 있어서,
상기 아답터의 후단부 중앙에는 결합홈을 형성하여 상기 샤워파이프의 단부가 상기 결합홈에 삽입 결합되게 한 것을 특징으로 하는 샤워 헤드 유닛.The method of claim 1,
Shower head unit, characterized in that the coupling groove is formed in the center of the rear end of the adapter so that the end of the shower pipe is inserted into the coupling groove. 제5항에 있어서,
상기 샤워파이프의 외주면에는 면취부를 형성하고, 상기 아답터의 결합홈 둘레에는 샤워파이프의 회동이 제한되도록 상기 면취부에 밀착될 수 있는 지지면이 형성되는 것을 특징으로 하는 샤워 헤드 유닛.The method of claim 5,
Chamfering portion is formed on the outer circumferential surface of the shower pipe, and a support surface that can be in close contact with the chamfered portion is formed around the coupling groove of the adapter to limit the rotation of the shower pipe. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 아답터와 매니폴드 중 어느 하나에는 결합각도 조절이 용이하도록 눈금표시부가 형성되는 것을 특징으로 하는 샤워 헤드 유닛.
The method according to any one of claims 1 to 6,
Shower head unit, characterized in that any one of the adapter and the manifold is formed with a graduation mark to facilitate the adjustment of the coupling angle.
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