KR20110136731A - Circuit connecting adhesive film and use thereof, circuit connecting structure and method for manufacturing the same and circuit member connecting method - Google Patents

Circuit connecting adhesive film and use thereof, circuit connecting structure and method for manufacturing the same and circuit member connecting method Download PDF

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Abstract

PURPOSE: An adhesive film for the circuit connection, a use thereof, a circuit connection structure, a producing method of the circuit connection structure, and a connection method of a circuit member are provided to prevent the deformation of a glass substrate by excellent connection reliability of the adhesive film. CONSTITUTION: An adhesive film(10) for the circuit connection comprises the following: a conductive adhesive layer(3b) including an adhesive composition(4b) and conductive particles(5); and an insulating adhesive layer(3a) without the conductive particles, including another adhesive composition(4a). The adhesive composition contains a film forming material having the glass transition temperature of 40-70 deg C, an epoxy resin, and a latent hardener.

Description

회로 접속용 접착 필름 및 그의 용도, 회로 접속 구조체 및 그의 제조 방법 및 회로 부재의 접속 방법 {CIRCUIT CONNECTING ADHESIVE FILM AND USE THEREOF, CIRCUIT CONNECTING STRUCTURE AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME AND CIRCUIT MEMBER CONNECTING METHOD}Adhesive film for circuit connection, its use, circuit connection structure, its manufacturing method, and connection method of circuit member {CIRCUIT CONNECTING ADHESIVE FILM AND USE THEREOF, CIRCUIT CONNECTING STRUCTURE AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME AND CIRCUIT MEMBER CONNECTING METHOD}

본 발명은 회로 접속용 접착 필름 및 그의 용도, 회로 접속 구조체 및 그의 제조 방법 및 회로 부재의 접속 방법에 관한 것이다.This invention relates to the adhesive film for circuit connections, its use, a circuit connection structure, its manufacturing method, and the connection method of a circuit member.

종래, 기판, 그 중에서도 액정 등의 평판 디스플레이(FPD)용 유리 기판에 반도체 소자를 접속하기 위해, 가열에 의해 경화하는 열경화성의 접착제 필름이 이용되고 있다.Conventionally, the thermosetting adhesive film hardened | cured by heating is used, in order to connect a semiconductor element to the board | substrate, especially glass substrates for flat panel displays (FPD), such as a liquid crystal.

열경화성의 접착제 필름으로는, 열경화성 수지인 에폭시 수지를 함유하는 것이 널리 이용되고 있으며, 에폭시 수지가 가열에 의해 경화하면 기계적 강도가 높은 중합체가 되기 때문에, 반도체 소자와 액정 디스플레이가 상기 접착제 필름에 의해 견고하게 접속되어, 신뢰성이 높은 전기 장치가 얻어진다. 최근 에폭시 수지와 비교하여, 보다 저온에서 경화할 수 있는 아크릴레이트를 함유하는 접착제 필름도 이용되고 있다.As a thermosetting adhesive film, what contains an epoxy resin which is a thermosetting resin is widely used, and since an epoxy resin turns into a high mechanical strength polymer when it hardens | cures by heating, a semiconductor element and a liquid crystal display are firm with the said adhesive film. Connection, a highly reliable electrical device is obtained. In recent years, compared with epoxy resin, the adhesive film containing the acrylate which can harden | cure at lower temperature is also used.

그런데, 유리 기판과 반도체 소자를 접착제 필름을 이용하여 접속한 경우, 접착제 필름을 가열할 때에, 열전도에 의해 가열되어 열팽창하기 때문에 반도체 소자가 신장되는 경우가 있다. 이 때문에, 가열 종료 후에 전체가 냉각되면 신장된 반도체 소자가 수축하고, 그 수축에 따라 FPD를 구성하는 유리 기판에 휘어짐 등의 변형이 발생하는 경우가 있다. 유리 기판에 변형이 발생하면, 변형된 부분에 위치하는 디스플레이의 표시 화상에 혼란이 발생한다.By the way, when a glass substrate and a semiconductor element are connected using an adhesive film, when heating an adhesive film, since a semiconductor element is heated and thermally expanded by heat conduction, a semiconductor element may be extended. For this reason, when the whole is cooled after completion | finish of heating, the elongated semiconductor element will shrink | contract, and deformation | transformation, such as curvature, may arise in the glass substrate which comprises FPD with the shrinkage. When deformation occurs in the glass substrate, confusion occurs in the display image of the display located at the deformed portion.

지금까지 휘어짐 등의 변형을 억제하기 위해 다양한 수법이 알려져 있다. 예를 들면, 가열 및 가압 툴과 반도체 소자 사이에 필름을 개재시키는 접속 방법(일본 특허 공개 제2006-229124호 공보)이나, 가열 및 가압 공정 후에 가열하는 방법(일본 특허 공개 제2004-200230호 공보)이 보고되어 있다.Various methods are known so far to suppress deformation such as warpage. For example, the connection method which interposes a film between a heating and a pressurizing tool and a semiconductor element (Japanese Unexamined-Japanese-Patent No. 2006-229124), or the method of heating after a heating and a pressurizing process (Japanese Patent Laid-Open No. 2004-200230) ) Is reported.

또한, 접착제 필름에 응력 완화할 수 있는 재료를 이용하는 수법도 최근 알려져 있다(일본 특허 공개 제2004-277573호 공보, 일본 특허 제3477367호 공보).Moreover, the method of using the material which can relieve stress for an adhesive film is also known recently (Japanese Patent Laid-Open No. 2004-277573, Japanese Patent No. 3477367).

그러나, 응력 완화할 수 있는 재료의 사용에 의해 유리 기판의 변형은 억제될 수 있지만, 접속 신뢰성이 저하된다는 문제가 있다. 또한, 접착제 필름을 형성할 때의 필름 형성성이 저하되어, 접착제 필름을 안정적으로 얻는 것이 곤란해지는 경우가 있다. 또한, 특히 유리 기판 및 반도체 소자의 두께가 얇아짐에 따라, 휘어짐(유리 기판의 변형)이 현저히 발생하기 쉬워지는 경향이 있다.However, although deformation of the glass substrate can be suppressed by the use of a material that can relieve stress, there is a problem that connection reliability is lowered. Moreover, the film formability at the time of forming an adhesive film may fall, and it may become difficult to obtain an adhesive film stably. Moreover, especially as the thickness of a glass substrate and a semiconductor element becomes thin, it exists in the tendency for curvature (deformation of a glass substrate) to become easy to produce remarkably.

따라서, 본 발명은 종래의 회로 기판보다도 두께가 얇은 유리 기판과 반도체 소자의 접속에 이용된 경우에도, 우수한 접속 신뢰성을 유지하면서 유리 기판의 변형을 억제할 수 있으며, 필름 형성성도 우수한 회로 접속용 접착 필름 및 그의 용도, 이를 이용한 회로 접속 구조체 및 그의 제조 방법 및 회로 부재의 접속 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.Therefore, the present invention can suppress deformation of the glass substrate while maintaining excellent connection reliability even when used for connecting a glass substrate with a thickness thinner than that of a conventional circuit board and a semiconductor element, and also has excellent film formability. It aims at providing the film and its use, the circuit connection structure using the same, its manufacturing method, and the connection method of a circuit member.

본 발명자들은 상기 과제를 해결하기 위해 예의 검토한 결과, 회로 부재의 변형이 발생하는 것은 실장 후(경화 후) 회로 접속용 접착 필름의 내부 응력이 지나치게 높은 것, 또한 접속 신뢰성이 저하되는 것은 실장 후 회로 접속용 접착 필름 중에 탄성률이 지나치게 낮은 부분이 발생하는 것에 기인하고 있는 것을 발견하였다. 특히 탄성률이 국소적으로 너무 낮은 경우, 대향하는 전극끼리 도전 입자의 편평을 유지하는 것이 곤란해지기 때문에, 접속 신뢰성이 저하되는 경향이 있는 것도 알 수 있었다.MEANS TO SOLVE THE PROBLEM As a result of earnestly examining in order to solve the said subject, when the deformation | transformation of a circuit member generate | occur | produces, it is after mounting (after hardening) that the internal stress of the adhesive film for circuit connections is too high, and that connection reliability falls after mounting It discovered that it originated in the part in which the elasticity modulus is too low in the adhesive film for circuit connections. In particular, when the elastic modulus is locally too low, it becomes difficult to maintain the flatness of the conductive particles between the opposing electrodes, and therefore, it has been found that the connection reliability tends to be lowered.

이러한 지견에 기초하여 더욱 검토하여, 회로 접속용 접착 필름에 소정의 유리 전이 온도를 갖는 필름 형성재를 이용함으로써, 고접속 신뢰성을 유지하면서도 기재의 변형을 억제할 수 있는 것을 발견하여, 본 발명을 완성하기에 이르렀다.Based on these findings, the inventors further discovered that by using a film forming material having a predetermined glass transition temperature in the adhesive film for circuit connection, it was found that deformation of the substrate can be suppressed while maintaining high connection reliability. It was completed.

즉, 본 발명은 접착제 조성물 및 도전 입자를 함유하는 도전성 접착제층과, 접착제 조성물을 함유하고 도전 입자를 함유하지 않은 절연성 접착제층을 구비하는 회로 접속용 접착 필름이며, 도전성 접착제층에 함유되는 접착제 조성물이 (a) 유리 전이 온도 40 내지 70 ℃의 필름 형성재, (b) 에폭시 수지 및 (c) 잠재성 경화제를 포함하고, 두께 0.3 mm 이하의 제1 회로 기판의 주면 상에 제1 회로 전극이 형성된 제1 회로 부재와, 두께 0.3 mm 이하의 제2 회로 기판의 주면 상에 제2 회로 전극이 형성된 제2 회로 부재를, 제1 회로 전극 및 제2 회로 전극을 대향시킨 상태에서 전기적으로 접속하기 위한 회로 접속용 접착 필름을 제공한다.That is, this invention is an adhesive film for circuit connection which consists of an electrically conductive adhesive layer containing an adhesive composition and electroconductive particle, and an insulating adhesive layer containing an adhesive composition and not containing conductive particle, The adhesive composition contained in a conductive adhesive layer A first circuit electrode is formed on the main surface of the first circuit board having a thickness of 0.3 mm or less, comprising (a) a film forming material having a glass transition temperature of 40 to 70 ° C., (b) an epoxy resin, and (c) a latent curing agent. Electrically connecting the formed first circuit member and the second circuit member on which the second circuit electrode is formed on the main surface of the second circuit board having a thickness of 0.3 mm or less in a state where the first circuit electrode and the second circuit electrode are opposed to each other. An adhesive film for circuit connection is provided.

이러한 회로 접속용 접착 필름이면, 도전성 접착제층 중 접착제 조성물에 소정의 유리 전이 온도(이하, "Tg"라 함)를 갖는 (a) 필름 형성재가 이용되고 있기 때문에, 필름을 경화시킨 후에도, 경화물 내의 내부 응력이 낮게 억제되며, 경화물 전체에 균일하고 충분한 탄성률을 갖게 할 수 있다. 이에 따라, 두께가 0.3 mm 이하인 회로 기판을 구비하는 회로 부재끼리의 접속에 이용된 경우에도, 회로 부재의 변형을 억제할 수 있을 뿐 아니라, 양호한 접속 신뢰성을 얻을 수 있다. 또한, 도전성 접착제층 중 접착제 조성물이 소정의 Tg를 갖는 (a) 필름 형성재와 함께, (b) 에폭시 수지와, (c) 잠재성 경화제를 포함하기 때문에, 필름 형성성이 우수할 뿐 아니라, 우수한 내열성 및 접착성을 실현할 수 있다.If it is such an adhesive film for circuit connections, since (a) film formation material which has predetermined glass transition temperature (henceforth "Tg") is used for an adhesive composition in a conductive adhesive layer, even after hardening a film, hardened | cured material The internal stress in the inside can be suppressed low, and the entire cured product can be made uniform and have sufficient elastic modulus. Thereby, even when used for the connection of the circuit members provided with the circuit board whose thickness is 0.3 mm or less, not only deformation | transformation of a circuit member can be suppressed but favorable connection reliability can be obtained. In addition, since the adhesive composition in the conductive adhesive layer contains (b) an epoxy resin and (c) a latent curing agent together with (a) the film forming material having a predetermined Tg, not only the film formability is excellent, Excellent heat resistance and adhesion can be realized.

또한, 회로 접속용 접착 필름이 도전성 접착제층 및 절연성 접착제층의 2층을 구비함으로써, 대향하는 전극끼리 도전 입자를 포착하기 쉬워지고, 접속 신뢰성을 향상시킬 수 있다. 이에 따라, 양호한 접속 신뢰성을 얻을 수 있다.Moreover, when the adhesive film for circuit connection is equipped with two layers of a conductive adhesive layer and an insulating adhesive layer, it becomes easy to capture | acquire electroconductive particle between opposing electrodes, and can improve connection reliability. As a result, good connection reliability can be obtained.

본 발명의 회로 접속용 접착 필름은 도전성 접착제층 및/또는 절연성 접착제층이 (d) 절연성 입자를 더 함유할 수도 있다. 이에 따라, 보다 우수한 접속 신뢰성을 유지할 수 있다.In the adhesive film for circuit connection of this invention, a conductive adhesive layer and / or an insulating adhesive layer may further contain (d) insulating particle. As a result, better connection reliability can be maintained.

본 발명은 또한, 두께 0.3 mm 이하의 제1 회로 기판의 주면 상에 제1 회로 전극이 형성된 제1 회로 부재와, 두께 0.3 mm 이하의 제2 회로 기판의 주면 상에 제2 회로 전극이 형성되고, 제2 회로 전극이 제1 회로 전극과 대향하도록 배치되어, 제2 회로 전극이 제1 회로 전극과 전기적으로 접속되어 있는 제2 회로 부재와, 제1 회로 부재와 제2 회로 부재 사이에 개재하는 접속부를 구비하고, 접속부가 본 발명의 회로 접속용 접착 필름의 경화물인 회로 접속 구조체를 제공한다.The present invention also provides a first circuit member having a first circuit electrode formed on a main surface of a first circuit board having a thickness of 0.3 mm or less, and a second circuit electrode formed on a main surface of a second circuit board having a thickness of 0.3 mm or less. And a second circuit electrode disposed so as to face the first circuit electrode, and the second circuit electrode interposed between the first circuit member and the second circuit member electrically connected to the first circuit electrode. It provides a connection part and provides a circuit connection structure which is a hardened | cured material of the adhesive film for circuit connections of this invention.

이러한 회로 접속 구조체이면, 접속부가 본 발명의 회로 접속용 접착 필름의 경화물을 포함하기 때문에, 회로 접속 구조체 내의 내부 응력을 낮게 억제하고, 탄성률이 지나치게 낮은 부분의 발생을 억제할 수 있다. 이 때문에, 회로 부재의 변형을 억제할 수 있을 뿐 아니라, 우수한 접속 신뢰성을 달성할 수 있다.If it is such a circuit connection structure, since a connection part contains the hardened | cured material of the adhesive film for circuit connections of this invention, internal stress in a circuit connection structure can be suppressed low and generation | occurrence | production of the part with too low elasticity modulus can be suppressed. For this reason, not only the deformation | transformation of a circuit member can be suppressed, but the outstanding connection reliability can be achieved.

본 발명은 또한, 두께 0.3 mm 이하의 제1 회로 기판의 주면 상에 제1 회로 전극이 형성된 제1 회로 부재 및 두께 0.3 mm 이하의 제2 회로 기판의 주면 상에 제2 회로 전극이 형성된 제2 회로 부재를 구비하는 한쌍의 회로 부재 사이에, 상기 본 발명의 회로 접속용 접착 필름을 개재시켜 적층체를 얻는 공정과, 적층체를 가열 및 가압하여 회로 접속용 접착 필름을 경화시킴으로써, 한쌍의 회로 부재 사이에 개재하고, 대향 배치된 제1 회로 전극과 제2 회로 전극이 전기적으로 접속되도록 한쌍의 회로 부재끼리를 접착하는 접속부를 형성하는 공정을 구비하는, 회로 접속 구조체의 제조 방법을 제공한다.The invention also provides a first circuit member in which a first circuit electrode is formed on a main surface of a first circuit board having a thickness of 0.3 mm or less and a second in which a second circuit electrode is formed on a main surface of a second circuit board having a thickness of 0.3 mm or less. Between a pair of circuit members provided with a circuit member, the process of obtaining a laminated body through the adhesive film for circuit connection of the said invention, and a pair of circuit by heating and pressurizing a laminated body and hardening the adhesive film for circuit connection. It provides the manufacturing method of the circuit connection structure provided between the member, Comprising: The process of forming the connection part which adhere | attaches a pair of circuit members so that the 1st circuit electrode and the 2nd circuit electrode arrange | positioned opposingly may be provided.

이러한 제조 방법이면, 회로 부재의 변형을 억제할 수 있을 뿐 아니라, 우수한 접속 신뢰성을 달성할 수 있는 회로 접속 구조체를 제조할 수 있다.According to such a manufacturing method, the deformation | transformation of a circuit member can be suppressed and the circuit connection structure which can achieve the outstanding connection reliability can be manufactured.

또한, 본 발명은 두께 0.3 mm 이하의 제1 회로 기판의 주면 상에 제1 회로 전극이 형성된 제1 회로 부재와, 두께 0.3 mm 이하의 제2 회로 기판의 주면 상에 제2 회로 전극이 형성된 제2 회로 부재와, 제1 회로 부재 및 제2 회로 부재 사이에 배치된 본 발명의 회로 접속용 접착 필름을 제1 회로 전극과 제2 회로 전극이 대향 배치된 상태에서 가열 및 가압하여, 제1 회로 전극과 제2 회로 전극을 전기적으로 접속하는, 회로 부재의 접속 방법을 제공한다.The present invention also provides a first circuit member in which a first circuit electrode is formed on a main surface of a first circuit board having a thickness of 0.3 mm or less, and a second circuit electrode formed on a main surface of a second circuit board having a thickness of 0.3 mm or less. The first circuit and the adhesive film for circuit connection of the present invention disposed between the first circuit member and the second circuit member are heated and pressurized in a state in which the first circuit electrode and the second circuit electrode are disposed to face each other, and thereby the first circuit. A connection method of a circuit member is provided which electrically connects an electrode and a 2nd circuit electrode.

이러한 회로 부재의 접속 방법이면, 회로 부재의 접속에 본 발명에 따른 회로 접속용 접착 필름의 경화물을 이용하기 때문에, 경화물 내의 내부 응력을 낮게 억제하면서도, 대향하는 전극간의 도전성을 충분히 확보할 수 있다. 이 때문에, 회로 부재의 변형을 억제할 수 있을 뿐 아니라, 양호한 접속 신뢰성을 갖는 회로 접속 구조체를 형성할 수 있다.In the connection method of such a circuit member, since the hardened | cured material of the adhesive film for circuit connections which concerns on this invention is used for connection of a circuit member, while the internal stress in hardened | cured material is suppressed low, the electroconductivity between opposing electrodes can fully be ensured. have. For this reason, not only the deformation | transformation of a circuit member can be suppressed, but the circuit connection structure which has favorable connection reliability can be formed.

또한, 본 발명은 접착제 조성물 및 도전 입자를 함유하는 도전성 접착제층과, 접착제 조성물을 함유하고 도전 입자를 함유하지 않은 절연성 접착제층을 구비하고, 도전성 접착제층에 함유되는 접착제 조성물이 (a) 유리 전이 온도 40 내지 70 ℃의 필름 형성재, (b) 에폭시 수지 및 (c) 잠재성 경화제를 포함하는 접착 필름의, 두께 0.3 mm 이하의 제1 회로 기판의 주면 상에 제1 회로 전극이 형성된 제1 회로 부재와, 두께 0.3 mm 이하의 제2 회로 기판의 주면 상에 제2 회로 전극이 형성된 제2 회로 부재를, 제1 회로 전극 및 제2 회로 전극을 대향시킨 상태에서 전기적으로 접속하는, 회로 접속을 위한 용도를 제공한다.The present invention also provides an adhesive composition containing an adhesive composition and conductive particles, and an insulating adhesive layer containing an adhesive composition and no conductive particles, wherein the adhesive composition contained in the conductive adhesive layer is (a) a glass transition. A first circuit electrode formed on a main surface of a first circuit board having a thickness of 0.3 mm or less, of an adhesive film containing a film forming material having a temperature of 40 to 70 ° C., (b) an epoxy resin, and (c) a latent curing agent The circuit connection which electrically connects a circuit member and the 2nd circuit member in which the 2nd circuit electrode was formed on the main surface of the 2nd circuit board of thickness 0.3mm or less in the state which opposes the 1st circuit electrode and the 2nd circuit electrode. Provides a use for

이러한 접착 필름을 회로 접속을 위해 사용함으로써, 두께가 0.3 mm 이하인 회로 기판을 구비하는 회로 부재끼리의 접속에 이용된 경우에도, 회로 부재의 변형을 억제할 수 있을 뿐 아니라, 양호한 접속 신뢰성을 얻을 수 있다.By using such an adhesive film for circuit connection, even when it is used for the connection of the circuit members provided with the circuit board whose thickness is 0.3 mm or less, not only deformation | transformation of a circuit member can be suppressed but favorable connection reliability can be obtained. have.

이러한 접착 필름을 회로 접속을 위해 사용할 때, 도전성 접착제층 및/또는 절연성 접착제층이 (d) 절연성 입자를 더 함유할 수도 있다. 이에 따라, 보다 우수한 접속 신뢰성을 유지할 수 있다.When using such an adhesive film for circuit connection, a conductive adhesive layer and / or an insulating adhesive layer may further contain (d) insulating particle. As a result, better connection reliability can be maintained.

본 발명에 따르면, 종래의 회로 기판보다도 두께가 얇은 유리 기판과 반도체 소자와의 접속에 이용된 경우에도, 우수한 접속 신뢰성을 유지하면서 유리 기판의 변형을 억제할 수 있으며, 필름 형성성도 우수한 회로 접속용 접착 필름 및 그의 용도, 이를 이용한 회로 접속 구조체 및 그의 제조 방법 및 회로 부재의 접속 방법을 제공할 수 있다. 특히 본 발명에서는, 두께 0.3 mm 이하의 회로 부재끼리를 접속한 경우에도, 상기 효과를 달성하는 것이 가능한 회로 접속용 접착 필름을 제공할 수 있다.According to the present invention, even when used for the connection between a glass substrate thinner than a conventional circuit board and a semiconductor element, deformation of the glass substrate can be suppressed while maintaining excellent connection reliability, and also for circuit connection excellent in film formability. The adhesive film, its use, the circuit connection structure using the same, its manufacturing method, and the connection method of a circuit member can be provided. Especially in this invention, even when the circuit members of thickness 0.3mm or less are connected, the adhesive film for circuit connections which can achieve the said effect can be provided.

도 1은 본 발명의 한 실시 형태에 따른 회로 접속용 접착 필름을 나타내는 모식 단면도이다.
도 2는 한쌍의 회로 부재 사이에 본 실시 형태에 따른 회로 접속용 접착 필름을 개재시킨 적층체를 나타내는 모식 단면도이다.
도 3은 본 실시 형태에 따른 회로 접속 구조체를 나타내는 모식 단면도이다.
도 4는 유리 기판의 휘어짐의 평가 방법을 나타내는 모식 단면도이다.
1: is a schematic cross section which shows the adhesive film for circuit connections which concerns on one Embodiment of this invention.
It is a schematic cross section which shows the laminated body which interposed the adhesive film for circuit connections which concerns on this embodiment between a pair of circuit member.
3: is a schematic cross section which shows the circuit connection structure which concerns on this embodiment.
It is a schematic cross section which shows the evaluation method of the curvature of a glass substrate.

이하, 필요에 따라 도면을 참조하면서, 본 발명의 바람직한 실시 형태에 대해서 상세히 설명한다. 다만, 본 발명이 이하의 실시 형태로 한정되는 것은 아니다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, preferred embodiment of this invention is described in detail, referring drawings as needed. However, this invention is not limited to the following embodiment.

<회로 접속용 접착 필름><Adhesive film for circuit connection>

우선, 도 1을 참조하여 본 실시 형태의 회로 접속용 접착 필름 (10)에 대해서 설명한다. 도 1은, 본 발명의 한 실시 형태에 따른 회로 접속용 접착 필름을 나타내는 모식 단면도이다. 회로 접속용 접착 필름 (10)은, 접착제 조성물 (4b) 및 도전 입자 (5)를 함유하는 도전성 접착제층 (3b)와, 도전성 접착제층 (3b) 상에 형성된, 접착제 조성물 (4a)를 함유하는 절연성 접착제층 (3a)를 갖는다.First, the adhesive film 10 for circuit connection of this embodiment is demonstrated with reference to FIG. 1: is a schematic cross section which shows the adhesive film for circuit connections which concerns on one Embodiment of this invention. The adhesive film 10 for circuit connection contains the adhesive composition 4a formed on the conductive adhesive layer 3b containing the adhesive composition 4b and the electroconductive particle 5, and the conductive adhesive layer 3b. It has an insulating adhesive layer 3a.

(도전성 접착제층)(Conductive adhesive layer)

도전성 접착제층 (3b)는 (a) Tg 40 내지 70 ℃의 필름 형성재(이하, 경우에 따라 "(a) 성분"이라 함), (b) 에폭시 수지(이하, 경우에 따라 "(b) 성분"이라 함) 및 (c) 잠재성 경화제(이하, 경우에 다라 "(c) 성분"이라 함)를 포함하는 접착제 조성물 (4b)와, 도전 입자 (5)를 함유한다.The conductive adhesive layer 3b is (a) Tg 40-70 degreeC film forming material (henceforth "a component"), (b) epoxy resin (henceforth "b) Component), and (c) an adhesive composition (4b) comprising a latent curing agent (hereinafter referred to as "component (c)") and conductive particles (5).

(a) 성분인 Tg가 40 내지 70 ℃인 필름 형성재는, 액상의 경화성 수지 조성물을 고형화하는 작용을 갖는 중합체이다. 필름 형성재를 경화성 수지 조성물에 포함시킴으로써, 경화성 수지 조성물을 필름상으로 성형했을 때에, 용이하게 찢어지거나, 갈라지거나, 달라붙지 않고, 취급이 용이한 접착제 필름을 얻을 수 있다.The film forming material whose Tg which is (a) component is 40-70 degreeC is a polymer which has the effect | action which solidifies a liquid curable resin composition. By including a film forming material in curable resin composition, when shape | molding curable resin composition into a film form, the adhesive film which is easy to handle can be obtained without being easily torn, a crack, or sticking.

이러한 필름 형성재로는, 예를 들면 페녹시 수지, 폴리비닐포르말 수지, 폴리스티렌 수지, 폴리비닐부티랄 수지, 폴리에스테르 수지, 폴리아미드 수지, 크실렌 수지 및 폴리우레탄 수지로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 1종의 중합체를 들 수 있다. 이들 중에서도, 페녹시 수지, 폴리우레탄 수지 및 폴리비닐부티랄 수지가 바람직하다. 이들은 (b) 성분과의 상용성이 우수하고, 경화 후 회로 접속용 접착 필름 (10)이 우수한 접착성, 내열성, 기계 강도를 부여할 수 있다.Examples of such film forming materials include at least one selected from the group consisting of phenoxy resins, polyvinyl formal resins, polystyrene resins, polyvinyl butyral resins, polyester resins, polyamide resins, xylene resins and polyurethane resins. 1 type of polymers are mentioned. Among these, phenoxy resins, polyurethane resins and polyvinyl butyral resins are preferable. These are excellent in compatibility with (b) component, and can provide the adhesiveness, heat resistance, and mechanical strength which the adhesive film 10 for circuit connections after hardening is excellent.

페녹시 수지는 2관능 페놀류와 에피할로히드린을 고분자량이 될 때까지 반응시키거나, 2관능 에폭시 수지와 2관능 페놀류를 중부가 반응시킴으로써 얻어진다. 구체적으로는, 2관능 페놀류 1 몰과 에피할로히드린 0.985 내지 1.015 몰을 알칼리 금속 수산화물 등의 촉매의 존재하에, 비반응성 용매 중에서 40 내지 120 ℃의 온도에서 반응시킴으로써 얻을 수 있다.A phenoxy resin is obtained by making bifunctional phenols and epihalohydrin react until it becomes high molecular weight, or carrying out polyaddition reaction of bifunctional epoxy resin and bifunctional phenols. Specifically, 1 mole of bifunctional phenols and 0.985 to 1.015 mole of epihalohydrin can be obtained by reacting in a nonreactive solvent at a temperature of 40 to 120 ° C. in the presence of a catalyst such as an alkali metal hydroxide.

페녹시 수지를 얻는 중부가 반응은, 2관능성 에폭시 수지와 2관능성 페놀류의 배합 당량비를 에폭시기/페놀 수산기=1/0.9 내지 1/1.1로 하여 행하는 것이 바람직하다. 이에 따라, 경화 후 회로 접속용 접착 필름 (10)의 기계적 특성 및 열적 특성을 양호하게 할 수 있다. 또한, 이 중부가 반응은 알칼리 금속 화합물, 유기 인계 화합물, 환상 아민계 화합물 등의 촉매의 존재하에, 비점이 120 ℃ 이상인 아미드계, 에테르계, 케톤계, 락톤계, 알코올계 등의 유기 용제 중에서 원료 고형분을 50 질량부 이하로 하고, 50 내지 200 ℃로 가열하여 행하는 것이 바람직하다.It is preferable to perform the polyaddition reaction which obtains a phenoxy resin by making the compounding equivalence ratio of bifunctional epoxy resin and bifunctional phenol into epoxy group / phenol hydroxyl group = 1 / 0.9-1 / 1.1. Thereby, the mechanical characteristic and thermal characteristic of the adhesive film 10 for circuit connections after hardening can be made favorable. In addition, this polyaddition reaction is carried out in organic solvents, such as an amide type, ether type, ketone type, lactone type, alcohol type, etc. which have a boiling point of 120 degreeC or more in presence of catalysts, such as an alkali metal compound, an organophosphorus compound, and a cyclic amine compound. It is preferable to make raw material solid content 50 mass parts or less, and to heat at 50-200 degreeC.

페녹시 수지를 얻기 위해서 이용되는 2관능 에폭시 수지로는, 예를 들면 비스페놀 A형 에폭시 수지, 비스페놀 F형 에폭시 수지, 비스페놀 AD형 에폭시 수지, 비스페놀 S형 에폭시 수지, 비페닐디글리시딜에테르 및 메틸 치환 비페닐디글리시딜에테르를 들 수 있다. 2관능 페놀류로는 2개의 페놀성 수산기를 갖는 것, 예를 들면 히드로퀴논류, 비스페놀 A, 비스페놀 F, 비스페놀 AD, 비스페놀 S, 비스페놀플루오렌, 메틸 치환 비스페놀플루오렌, 디히드록시비페닐 및 메틸 치환 디히드록시비페닐 등의 비스페놀류를 들 수 있다.As a bifunctional epoxy resin used in order to obtain a phenoxy resin, for example, bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, bisphenol AD type epoxy resin, bisphenol S type epoxy resin, biphenyl diglycidyl ether, Methyl substituted biphenyl diglycidyl ether is mentioned. As bifunctional phenols, those having two phenolic hydroxyl groups, for example, hydroquinones, bisphenol A, bisphenol F, bisphenol AD, bisphenol S, bisphenol fluorene, methyl substituted bisphenol fluorene, dihydroxybiphenyl and methyl substituted Bisphenols, such as dihydroxy biphenyl, are mentioned.

페녹시 수지는 라디칼 중합성의 관능기나, 그 밖의 반응성 화합물에 의해 변성될 수도 있다. 상술한 다양한 페녹시 수지를 단독으로 또는 2종 이상을 조합하여 사용할 수 있다.The phenoxy resin may be modified with a radical polymerizable functional group or other reactive compound. The above-mentioned various phenoxy resins can be used individually or in combination of 2 or more types.

폴리우레탄 수지는 분자쇄 중에 우레탄 결합을 갖는 엘라스토머이고, 통상 다염기산(테레프탈산, 이소프탈산, 프탈산, 숙신산, 아디프산, 아젤라산, 세박산 등)과, 2가 알코올(에틸렌글리콜, 1,4-부탄디올, 1,5-펜탄디올, 1,6-헥산디올, 디에틸렌글리콜, 트리에틸렌글리콜, 폴리에틸렌글리콜, 프로필렌글리콜 등)을 축합 반응하여 얻어지는 말단 히드록실기를 갖는 포화 폴리에스테르 수지에 대하여, 그의 활성수소기와, 디이소시아네이트 화합물(톨릴렌디이소시아네이트, 디페닐메탄디이소시아네이트, 헥사메틸렌디이소시아네이트, 크실릴렌디이소시아네이트, 시클로헥실메탄디이소시아네이트 등)의 이소시아네이트기를 거의 당량으로 반응한 선상 고분자이다.Polyurethane resins are elastomers having a urethane bond in the molecular chain, and are usually polybasic acids (terephthalic acid, isophthalic acid, phthalic acid, succinic acid, adipic acid, azelaic acid, sebacic acid, etc.), and dihydric alcohols (ethylene glycol, 1,4- With respect to the saturated polyester resin which has terminal hydroxyl group obtained by condensation reaction of butanediol, 1, 5- pentanediol, 1, 6- hexanediol, diethylene glycol, triethylene glycol, polyethylene glycol, propylene glycol, etc., It is a linear polymer which reacted the active hydrogen group and the isocyanate group of diisocyanate compound (tolylene diisocyanate, diphenylmethane diisocyanate, hexamethylene diisocyanate, xylylene diisocyanate, cyclohexyl methane diisocyanate, etc.) in the substantially equivalent amount.

이러한 폴리우레탄 수지는 유기 용제, 예를 들면 에스테르계(아세트산에틸, 아세트산부틸 등), 케톤계(메틸에틸케톤, 시클로헥사논, 아세톤 등), 방향족계(톨루엔, 크실렌, 벤젠 등) 및 염소계(트리클렌, 염화메틸렌 등)의 용제에 용이하게 용해된다.Such polyurethane resins include organic solvents such as esters (ethyl acetate, butyl acetate, etc.), ketones (methyl ethyl ketone, cyclohexanone, acetone, etc.), aromatics (toluene, xylene, benzene, etc.) and chlorine ( Soluble in tricylene, methylene chloride, and the like).

폴리비닐부티랄 수지는 분자쇄 중에 비닐아세탈 단위를 갖는 엘라스토머이고, 통상 아세트산비닐을 중합시킨 후 알칼리 처리를 행한 후에, 이를 알데히드(메타날, 에타날, 프로파날, 부타날 등)와 반응시킴으로써 얻어지는 선상 고분자이다. 본 실시 형태에서 이용되는 폴리비닐부티랄 수지는, 중합도 700 내지 2500, 부티랄화도 65 mol% 이상인 것이 바람직하다.Polyvinyl butyral resin is an elastomer having a vinyl acetal unit in its molecular chain, and is usually obtained by polymerizing vinyl acetate and then performing an alkali treatment, and then reacting it with an aldehyde (metallic, ethanal, propanal, butanal, etc.). It is a linear polymer. It is preferable that the polyvinyl butyral resin used by this embodiment is 700-2500 degree of polymerization, and 65 mol% or more of butyralization degrees.

중합도가 700 미만이면, 폴리비닐부티랄 수지의 응집력이 부족하고, 필름 형성성이 저하된다. 중합도가 2500을 초과하면 수지의 압착시 수지 유동성이 부족하여, 피착체의 전극 사이에 도전 입자를 제대로 개재할 수 없으며, 충분한 접속 신뢰성이 얻어지기 어려워진다. 또한, 부티랄화도가 65 mol% 미만이면, 수산기 또는 아세틸기의 비율이 증가하여, 충분한 접속 신뢰성이 얻어지기 어려워진다.If the degree of polymerization is less than 700, the cohesion force of the polyvinyl butyral resin is insufficient, and the film formability is lowered. When the degree of polymerization is more than 2500, the resin fluidity at the time of crimping of the resin is insufficient, the conductive particles cannot be interposed properly between the electrodes of the adherend, and sufficient connection reliability is difficult to be obtained. Moreover, when the butyralization degree is less than 65 mol%, the ratio of a hydroxyl group or an acetyl group increases, and sufficient connection reliability becomes difficult to be obtained.

(a) 성분인 필름 형성재의 Tg는 40 내지 70 ℃이지만, 보다 바람직하게는 45 내지 70 ℃이고, 더욱 바람직하게는 50 내지 70 ℃이다. 이러한 Tg를 갖는 필름 형성재이면, 탄성 변형됨으로써 경화 후 회로 접속용 접착 필름 (10) 내에 발생하는 내부 응력을 흡수하고, 회로 부재의 휘어짐양을 감소시키기 때문에, 양호한 접속 신뢰성이 얻어진다.Although Tg of the film forming material which is (a) component is 40-70 degreeC, More preferably, it is 45-70 degreeC, More preferably, it is 50-70 degreeC. If it is such a film forming material which has Tg, since elastic deformation will absorb the internal stress which generate | occur | produces in the adhesive film 10 for circuit connections after hardening, and will reduce the amount of curvature of a circuit member, favorable connection reliability will be obtained.

필름 형성재의 배합량은, 접착제 조성물 (4b)의 전체 질량 100 질량부에 대하여 10 내지 50 질량부인 것이 바람직하고, 20 내지 40 질량부인 것이 보다 바람직하다. 필름 형성재의 양을 이 범위로 함으로써, 기재의 변형(휘어짐양)을 더욱 억제할 수 있어 전기 접속성에 의해 우수한 회로 접속용 접착 필름 (10)이 제공된다.It is preferable that it is 10-50 mass parts with respect to 100 mass parts of total mass of adhesive composition (4b), and, as for the compounding quantity of a film forming material, it is more preferable that it is 20-40 mass parts. By setting the amount of the film forming material in this range, the deformation (curvature amount) of the substrate can be further suppressed, and the adhesive film 10 for a circuit connection excellent in electrical connection property is provided.

필름 형성재는, 그의 분자량이 클수록 필름 형성성이 용이하게 얻어지며, 접착제 조성물 (4b)의 유동성에 영향을 미치는 용융 점도를 광범위하게 설정할 수 있다. 필름 형성재의 중량 평균 분자량(Mw)으로는 5000 내지 150000이 바람직하고, 10000 내지 80000이 특히 바람직하다. 이 값이 5000 이상이면, 양호한 필름 형성성이 얻어지기 쉬운 경향이 있는 반면, 150000 이하이면, 다른 성분과의 양호한 상용성이 얻어지기 쉬운 경향이 있다.As the film forming material has a higher molecular weight, film formability is easily obtained, and a melt viscosity that affects the fluidity of the adhesive composition 4b can be set in a wide range. As a weight average molecular weight (Mw) of a film forming material, 5000-150000 are preferable and 10000-80000 are especially preferable. If this value is 5000 or more, there exists a tendency for favorable film formability to be easy to be acquired, and if it is 150000 or less, there exists a tendency for favorable compatibility with other components to be easy to be obtained.

또한, 상기 "중량 평균 분자량"이란, 하기 표 1에 나타내는 조건에 따라, 겔 침투 크로마토그래프(GPC)로부터 표준 폴리스티렌에 의한 검량선을 이용하여 측정한 값을 말한다.In addition, said "weight average molecular weight" means the value measured using the analytical curve by standard polystyrene from gel permeation chromatography (GPC) according to the conditions shown in following Table 1.

Figure pat00001
Figure pat00001

(b) 성분인 에폭시 수지로는 에피클로로히드린과, 비스페놀 A, 비스페놀 F 및 비스페놀 AD 등으로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 1종으로 유도되는 비스페놀형 에폭시 수지, 에피클로로히드린과 페놀노볼락 및 크레졸노볼락 중 하나 또는 둘다로부터 유도되는 에폭시노볼락 수지, 나프탈렌환을 포함한 골격을 갖는 나프탈렌계 에폭시 수지 및 글리시딜아민, 글리시딜에테르, 비페닐, 지환식 등의 1 분자 내에 2개 이상의 글리시딜기를 갖는 각종 에폭시 화합물 등을 단독으로 또는 2종 이상을 조합하여 사용할 수 있다. 에폭시 수지는 일렉트로마이그레이션 방지의 측면에서, 불순물 이온(Na+, Cl- 등)이나, 가수분해성 염소 등을 300 ppm 이하로 감소시킨 고순도품을 이용하는 것이 바람직하다.Examples of the epoxy resin (b) include epichlorohydrin, bisphenol-type epoxy resins derived from at least one selected from the group consisting of bisphenol A, bisphenol F, bisphenol AD and the like, epichlorohydrin and phenol novolac, and Epoxy novolak resin derived from one or both of cresol novolac, naphthalene-based epoxy resin having a skeleton containing a naphthalene ring and two or more in one molecule such as glycidylamine, glycidyl ether, biphenyl, alicyclic, etc. Various epoxy compounds etc. which have a glycidyl group can be used individually or in combination of 2 or more types. As for the epoxy resin, from the standpoint of preventing electromigration, it is preferable to use a high-purity product having reduced impurity ions (Na + , Cl −, etc.), hydrolyzable chlorine, etc. to 300 ppm or less.

상기 에폭시 수지 중에서도, 분자량이 상이한 등급이 폭넓게 입수 가능하고, 접착성이나 반응성 등을 임의로 설정할 수 있기 때문에, 비스페놀형 에폭시 수지가 바람직하다. 비스페놀형 에폭시 수지 중에서도, 비스페놀 F형 에폭시 수지가 특히 바람직하다. 비스페놀 F형 에폭시 수지의 점도는 낮고, 페녹시 수지와 조합하여 이용함으로써, 회로 접속용 접착 필름 (10)의 유동성을 용이하고 광범위하게 설정할 수 있다. 또한, 비스페놀 F형 에폭시 수지는, 회로 접속용 접착 필름 (10)에 양호한 점착성을 부여하기 쉽다는 이점도 갖는다.Among the above epoxy resins, bisphenol-type epoxy resins are preferable because grades having different molecular weights are widely available and adhesiveness, reactivity, and the like can be arbitrarily set. Among bisphenol type epoxy resins, bisphenol F type epoxy resins are particularly preferable. The viscosity of a bisphenol F-type epoxy resin is low, and by using it in combination with a phenoxy resin, the fluidity | liquidity of the adhesive film 10 for circuit connections can be set easily and extensively. Moreover, bisphenol F-type epoxy resin also has the advantage that it is easy to provide favorable adhesiveness to the adhesive film 10 for circuit connections.

에폭시 수지의 배합량은, 접착제 조성물 (4b)의 전체 질량 100 질량부에 대하여 5 내지 50 질량부인 것이 바람직하고, 20 내지 40 질량부인 것이 보다 바람직하다. 에폭시 수지의 배합량이 5 질량부 미만인 경우, 회로 부재끼리 압착할 때에 회로 접속용 접착 필름 (10)의 유동성이 저하되는 경향이 있고, 50 질량부를 초과하는 경우, 장기 보관시에 회로 접속용 접착 필름 (10)이 변형되는 경향이 있다.It is preferable that it is 5-50 mass parts with respect to 100 mass parts of total mass of adhesive composition (4b), and, as for the compounding quantity of an epoxy resin, it is more preferable that it is 20-40 mass parts. When the compounding quantity of an epoxy resin is less than 5 mass parts, when the circuit members are crimped together, the fluidity | liquidity of the adhesive film 10 for circuit connections tends to fall, and when it exceeds 50 mass parts, the adhesive film for circuit connections at the time of long-term storage (10) tends to deform.

(c) 성분인 잠재성 경화제로는, 예를 들면 이미다졸계, 히드라지드계, 아민이미드 및 디시안디아미드를 들 수 있다. 이들은 단독으로 또는 2종 이상을 조합하여 사용할 수 있다. 또한, 잠재성 경화제를 분해 촉진제, 억제제 등과 조합할 수도 있다. 또한, 가용 시간을 연장하기 위해서는, 잠재성 경화제를 폴리우레탄계, 폴리에스테르계의 고분자 물질 등으로 피복하여 마이크로 캡슐화하는 것이 바람직하다.As a latent hardening | curing agent which is (c) component, an imidazole series, a hydrazide system, an amine imide, and a dicyandiamide are mentioned, for example. These can be used individually or in combination of 2 or more types. The latent curing agent may also be combined with a decomposition accelerator, an inhibitor, and the like. In order to extend the pot life, it is preferable to coat the latent curing agent with a polyurethane-based, polyester-based polymer material or the like and microencapsulate it.

잠재성 경화제의 배합량은, 에폭시 수지 100 질량부에 대하여 10 내지 200 질량부인 것이 바람직하고, 100 내지 150 질량부인 것이 보다 바람직하다. 이에 따라, 경화 반응에서 충분한 반응율을 얻을 수 있다. 잠재성 경화제의 배합량이 10 질량부 미만이면, 충분한 반응율을 얻을 수 없으며, 양호한 접착 강도 및 접속 저항이 얻어지기 어려운 경향이 있다. 잠재성 경화제의 배합량이 200 질량부를 초과하면, 회로 접속용 접착 필름 (10)의 유동성의 저하, 접속 저항의 상승, 회로 접속용 접착 필름 (10)의 가용 시간의 단축 등이 발생하는 경향이 있다.It is preferable that it is 10-200 mass parts with respect to 100 mass parts of epoxy resins, and, as for the compounding quantity of a latent hardening | curing agent, it is more preferable that it is 100-150 mass parts. Thereby, sufficient reaction rate can be obtained in hardening reaction. When the compounding quantity of a latent hardening | curing agent is less than 10 mass parts, sufficient reaction rate cannot be obtained and there exists a tendency for favorable adhesive strength and connection resistance to be difficult to be obtained. When the compounding quantity of a latent hardening | curing agent exceeds 200 mass parts, there exists a tendency for the fall of the fluidity | liquidity of the adhesive film 10 for circuit connections, an increase of connection resistance, the shortening of the usable time of the adhesive film 10 for circuit connections, etc. to arise. .

접착제 조성물 (4b) 중에는 도전 입자 (5)가 분산되어 있다. 회로 접속용 접착 필름 (10)이 도전 입자 (5)를 함유함으로써, 도전 입자 (5)의 변형에 의해 회로 전극의 위치나 높이의 불균일이 흡수되고, 접촉 면적이 증가되기 때문에, 한층 안정적인 전기적 접속을 얻을 수 있다. 또한, 회로 접속용 접착 필름 (10)이 도전 입자 (5)를 함유함으로써, 도전 입자 (5)가 회로 전극 표면의 산화층이나 부동태층을 돌파하여 접촉하는 것이 가능해지는 경우가 있어, 전기적 접속의 안정화를 한층 더 도모할 수 있다.In the adhesive composition 4b, the conductive particles 5 are dispersed. Since the adhesive film 10 for circuit connection contains the electroconductive particle 5, since the nonuniformity of the position and height of a circuit electrode is absorbed by the deformation | transformation of the electroconductive particle 5, and a contact area increases, more stable electrical connection Can be obtained. In addition, when the adhesive film 10 for circuit connection contains the electrically-conductive particle 5, it may become possible for the electrically-conductive particle 5 to contact through through the oxide layer or the passivation layer of the circuit electrode surface, and to stabilize electrical connection. Can be planned further.

이러한 도전 입자 (5)로는 Au, Ag, Ni, Cu, 땜납 등의 금속 입자나 카본 입자 등을 들 수 있다. 도전 입자 (5)의 최외층은 충분한 가용 시간을 얻는 관점에서, Ni, Cu 등의 전이 금속류가 아닌, Au, Ag, 백금속의 귀금속류가 바람직하며, 이 중 Au이 보다 바람직하다. 또한, 도전 입자 (5)는 Ni 등의 전이 금속류의 표면을 Au 등의 귀금속류로 피복한 것일 수도 있으며, 비도전성의 유리, 세라믹, 플라스틱 등에 상술한 금속 등의 도통층을 피복 등에 의해 형성하고, 최외층을 귀금속류로 한 것일 수도 있다.Examples of such conductive particles 5 include metal particles such as Au, Ag, Ni, Cu, solder, carbon particles, and the like. From the viewpoint of obtaining sufficient pot life, the outermost layer of the conductive particles 5 is preferably a noble metal such as Au, Ag, or a white metal, rather than transition metals such as Ni and Cu, among which Au is more preferable. In addition, the conductive particles 5 may be coated with surfaces of transition metals such as Ni with noble metals such as Au, and are formed by coating conductive layers such as metals described above on non-conductive glass, ceramics, plastics, and the like. The outermost layer may be a noble metal.

도전 입자 (5)로서, 플라스틱에 도통층을 피복 등에 의해 형성한 입자 또는 열용융 금속 입자를 이용하는 것이 바람직하다. 이들 입자는 가열 및 가압에 의해 변형성을 갖기 때문에, 접속시 회로 전극과의 접촉 면적을 증가시키거나, 회로 부재의 회로 단자의 두께 불균일을 흡수할 수 있어, 회로 접속의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.As the conductive particles 5, it is preferable to use particles formed by coating a conductive layer on plastic or hot melt metal particles. Since these particles have deformability by heating and pressurization, they can increase the contact area with the circuit electrode at the time of connection, or can absorb the thickness nonuniformity of the circuit terminal of a circuit member, and can improve the reliability of circuit connection.

도전 입자 (5)의 최외층에 설치되는 귀금속류의 피복층의 두께는 100 Å 이상인 것이 바람직하다. 이에 따라, 접속되는 회로 사이의 저항을 충분히 감소시킬 수 있다. 단, Ni 등의 전이 금속 위에 귀금속류의 피복층을 설치하는 경우, 상기 두께는 300 Å 이상인 것이 바람직하다. 그 이유는, 도전 입자 (5)의 혼합 분산시에 발생하는 귀금속류의 피복층의 결손 등에 의해 Ni 등의 전이 금속이 접착제 필름 중에 노출됨으로써, 상기 전이 금속에 의한 산화환원 작용에 의해 유리 라디칼이 발생하고, 회로 접속용 접착 필름 (10)의 보존 안정성을 저하시키기 때문이다. 한편, 귀금속류의 피복층의 두께의 상한은 특별히 제한은 없지만, 제조 비용의 측면에서 1 ㎛ 이하인 것이 바람직하다.It is preferable that the thickness of the coating layer of the noble metals provided in the outermost layer of the electroconductive particle 5 is 100 kPa or more. As a result, the resistance between the circuits to be connected can be sufficiently reduced. However, when providing the coating layer of noble metals on transition metals, such as Ni, it is preferable that the said thickness is 300 kPa or more. The reason for this is that a transition metal such as Ni is exposed to the adhesive film due to a deficiency of the coating layer of the noble metals generated at the time of mixing and dispersing the conductive particles 5, so that free radicals are generated by the redox effect of the transition metal. This is because the storage stability of the adhesive film 10 for circuit connection is lowered. On the other hand, the upper limit of the thickness of the coating layer of the noble metals is not particularly limited, but is preferably 1 µm or less in view of the production cost.

도전 입자 (5)의 평균 입경은, 회로 접속용 접착 필름 (10)에 의해 접속되는 회로 부재의 인접하는 전극의 최소 간격보다도 작을 필요가 있으며, 회로 전극의 높이의 불균일이 있는 경우, 그의 높이의 불균일보다도 큰 것이 바람직하다. 도전 입자 (5)의 평균 입경은 1 내지 10 ㎛인 것이 바람직하고, 2 내지 5 ㎛인 것이 보다 바람직하다. 평균 입경이 1 ㎛ 미만이면, 회로 전극의 높이의 불균일에 대응할 수 없어 회로 전극간의 도전성이 저하되기 쉬운 경향이 있고, 10 ㎛를 초과하면, 인접하는 회로 전극간의 절연성이 저하되기 쉬운 경향이 있다.The average particle diameter of the electroconductive particle 5 needs to be smaller than the minimum space | interval of the adjacent electrode of the circuit member connected by the adhesive film 10 for circuit connections, and when there exists a nonuniformity of the height of a circuit electrode, It is preferable that it is larger than nonuniformity. It is preferable that it is 1-10 micrometers, and, as for the average particle diameter of the electroconductive particle 5, it is more preferable that it is 2-5 micrometers. If the average particle diameter is less than 1 µm, there is a tendency that the nonuniformity of the height of the circuit electrode cannot be coped, and the conductivity between the circuit electrodes tends to be lowered, and if it exceeds 10 µm, the insulation between adjacent circuit electrodes tends to be lowered.

또한, 상기 "평균 입경"이란 이하와 같이 하여 측정되는 값을 의미하는 것이다. 즉, 임의로 선택한 도전 입자의 일차 입자를 주사형 전자 현미경(SEM, (주)히다치 세이사꾸쇼사 제조, 제품명: S-800)으로 관찰(배율: 5000배)하고, 그의 최대 직경 및 최소 직경을 측정한다. 이 최대 직경 및 최소 직경의 곱의 평방근을 그 입자의 일차 입경으로 한다. 그리고, 임의로 선택한 도전 입자 50개에 대해서 상기한 바와 같이 하여 일차 입경을 측정하고, 그의 평균값을 평균 입경으로 한다. 또한, 후술하는 (d) 절연성 입자의 평균 입경도 마찬가지로 하여 측정된다.In addition, the said "average particle diameter" means the value measured as follows. That is, the primary particles of the electrically conductive particles arbitrarily selected were observed (magnification: 5000 times) by a scanning electron microscope (SEM, manufactured by Hitachi Seisakusho Co., Ltd., product name: S-800), and the maximum and minimum diameters thereof were measured. Measure The square root of the product of this largest diameter and minimum diameter is made into the primary particle diameter of the particle | grains. And primary particle size is measured as mentioned above about 50 electrically chosen electroconductive particle arbitrarily, and makes the average value into the average particle diameter. In addition, the average particle diameter of (d) insulating particle mentioned later is measured similarly.

도전 입자 (5)의 배합량은, 접착제 조성물 (4b)의 전체 질량 100 질량부에 대하여 0.1 내지 30 질량부로 하는 것이 바람직하고, 0.1 내지 20 질량부로 하는 것이 보다 바람직하다. 이에 따라, 지나친 도전 입자 (5)에 의한 인접 회로의 단락 등을 방지할 수 있다.It is preferable to set it as 0.1-30 mass parts with respect to 100 mass parts of total mass of adhesive composition 4b, and, as for the compounding quantity of electroconductive particle 5, it is more preferable to set it as 0.1-20 mass parts. Thereby, the short circuit of the adjacent circuit by excessive conductive particle 5, etc. can be prevented.

또한, 접착제 조성물 (4b)는 용도에 따라, 예를 들면 연화제, 노화 방지제, 난연화제, 색소, 틱소트로픽제, 실란 커플링제 등의 첨가제를 더 함유할 수도 있다.Moreover, adhesive composition 4b may further contain additives, such as a softener, an antiaging agent, a flame retardant, a pigment | dye, a thixotropic agent, a silane coupling agent, depending on a use, for example.

(절연성 접착제층)(Insulating adhesive layer)

절연성 접착제층 (3a)에 포함되는 접착제 조성물 (4a)는, 필름상으로 형성할 수 있고, 회로 부재 접속시에 회로 부재의 변형을 억제할 수 있는 것이면 되고, 도전성 접착제층 (3b)에 포함되는 접착제 조성물 (4b)와 동일하거나 상이할 수도 있다. 단, 상술한 성분의 종류 및 배합량은, 절연성 접착제층 (3a)의 유동성이 도전성 접착제층 (3b)의 유동성보다도 커지도록 조정되는 것이 바람직하다.The adhesive composition 4a contained in the insulating adhesive layer 3a can be formed into a film, and should just be able to suppress deformation of a circuit member at the time of a circuit member connection, and is contained in the conductive adhesive layer 3b. It may be the same as or different from the adhesive composition (4b). However, it is preferable that the kind and compounding quantity of the above-mentioned component are adjusted so that the fluidity | liquidity of the insulating adhesive layer 3a may become larger than the fluidity | liquidity of the electroconductive adhesive bond layer 3b.

도전성 접착제층 (3b) 및/또는 절연성 접착제층 (3a)는 (d) 절연성 입자(이하, 경우에 따라 "(d) 성분"이라 함)를 더 함유할 수 있다. 이에 따라, 필름 경화 후 접착제층 내의 내부 응력이 보다 완화된다. 또한, 절연성 접착제층 (3a)가 (d) 절연성 입자를 함유하는 것이 보다 바람직하다.The conductive adhesive layer 3b and / or the insulating adhesive layer 3a may further contain (d) insulating particles (hereinafter, sometimes referred to as "(d) component"). Thereby, the internal stress in the adhesive layer is more alleviated after film curing. Moreover, it is more preferable that the insulating adhesive layer 3a contains (d) insulating particle.

이러한 (d) 절연성 입자로는, 예를 들면 실리카, 알루미나 등의 무기 입자 또는 실리콘 고무, 메틸메타크릴레이트·부타디엔·스티렌(MBS), 아크릴 고무, 폴리메틸메타크릴레이트, 폴리부타디엔 고무 등의 유기 입자를 들 수 있다.Examples of such (d) insulating particles include inorganic particles such as silica and alumina or organic rubbers such as silicone rubber, methyl methacrylate butadiene styrene (MBS), acrylic rubber, polymethyl methacrylate, and polybutadiene rubber. And particles.

또한, (d) 절연성 입자로는 상술한 것 이외에도, 예를 들면 아크릴 수지, 폴리에스테르, 폴리우레탄, 폴리비닐부티랄, 폴리아릴레이트, 폴리스티렌, NBR, SBR 및 실리콘 변성 수지 등 및 이들을 성분으로 포함하는 공중합체로 이루어지는 입자를 들 수 있다. 절연성 입자로는 분자량이 100만 이상인 유기 미립자 또는 삼차원 가교 구조를 갖는 유기 미립자가 바람직하다. 이러한 절연성 입자는 경화성 조성물에 대한 분산성이 높다. 또한, 여기서 "삼차원 가교 구조를 갖는다"란, 중합체쇄가 삼차원 메쉬 구조를 갖고 있는 것을 나타내며, 이러한 구조를 갖는 절연성 입자는, 예를 들면 반응점을 복수개 갖는 중합체를, 해당 반응점과 결합할 수 있는 관능기를 2개 이상 갖는 가교제로 처리함으로써 얻어진다. 분자량이 100만 이상인 유기 미립자 및 삼차원 가교 구조를 갖는 유기 미립자는, 모두 용매에 대한 용해성이 낮은 것이 바람직하다. 용매에 대한 용해성이 낮은 이들 절연성 입자는, 상술한 효과를 한층 현저히 얻을 수 있다. 또한, 상술한 효과를 한층 현저히 얻는 관점에서는, 분자량이 100만 이상인 유기 미립자 및 삼차원 가교 구조를 갖는 유기 미립자는, (메트)아크릴산알킬-실리콘 공중합체, 실리콘-(메트)아크릴산 공중합체 또는 이들 복합체로 이루어지는 절연성 입자인 것이 바람직하다. 또한, (d) 성분으로는, 예를 들면 일본 특허 공개 제2008-150573호 공보에 기재되는 바와 같은 폴리아믹산 입자 및 폴리이미드 입자 등의 절연성 입자도 사용할 수 있다.In addition to the above-mentioned (d) insulating particles, for example, acrylic resins, polyesters, polyurethanes, polyvinyl butyral, polyarylates, polystyrenes, NBR, SBR and silicone-modified resins, and the like and the like are included as components. The particle | grains which consist of a copolymer to mention are mentioned. As the insulating particles, organic fine particles having a molecular weight of 1 million or more or organic fine particles having a three-dimensional crosslinked structure are preferable. Such insulating particles have high dispersibility to the curable composition. In addition, "it has a three-dimensional crosslinked structure" shows here that a polymer chain has a three-dimensional mesh structure, and the insulating particle which has such a structure, for example, is a functional group which can couple the polymer which has a reaction point with this reaction point. It is obtained by treating with the crosslinking agent which has two or more. It is preferable that both the organic fine particles having a molecular weight of 1 million or more and the organic fine particles having a three-dimensional crosslinked structure have low solubility in a solvent. These insulating particles having low solubility in a solvent can remarkably obtain the above-described effects. In addition, from the viewpoint of remarkably obtaining the above-mentioned effects, the organic fine particles having a molecular weight of 1 million or more and the organic fine particles having a three-dimensional crosslinked structure include an alkyl (meth) acrylate-silicone copolymer, a silicone- (meth) acrylic acid copolymer or a composite thereof. It is preferable that it is the insulating particle which consists of. Moreover, as (d) component, insulating particles, such as polyamic-acid particle | grains and polyimide particle | grains as described in Unexamined-Japanese-Patent No. 2008-150573, can also be used, for example.

또한, (d) 성분으로서 코어셸형의 구조를 갖고, 코어층과 셸층에서 조성이 상이한 절연성 입자를 이용할 수도 있다. 코어셸형의 절연성 유기 입자로서, 구체적으로는 실리콘-아크릴 고무를 코어로서 아크릴 수지를 그래프트한 입자 및 아크릴 공중합체를 코어로서 아크릴 수지를 그래프트한 입자 등을 들 수 있다. 또한, 국제 공개 제2009/051067호 공보에 기재되는 바와 같은 코어셸형 실리콘 미립자, 국제 공개 제2009/020005호 공보에 기재되는 바와 같은 (메트)아크릴산알킬에스테르-부타디엔-스티렌 공중합체 또는 복합체, (메트)아크릴산알킬에스테르-실리콘 공중합체 또는 복합체 및 실리콘-(메트)아크릴산 공중합체 또는 복합체 등의 절연성 유기 입자, 일본 특허 공개 제2002-256037호 공보에 기재되는 바와 같은 코어셸 구조 중합체 입자 및 일본 특허 공개 제2004-18803호 공보에 기재되는 바와 같은 코어셸 구조의 고무 입자 등도 사용할 수 있다. 이들 코어셸형의 절연성 입자는 1종을 단독으로 이용할 수도 있고, 2종 이상을 조합하여 이용할 수도 있다. 또한, 이러한 (d) 절연성 입자는 평균 입경이 0.01 내지 2 ㎛ 정도인 것이 바람직하다.Moreover, the insulating particle which has a core-shell structure and differs in a composition in a core layer and a shell layer can also be used as (d) component. Specific examples of the core-shell insulating organic particles include particles in which an acrylic resin is grafted to a silicone-acryl rubber as a core, and particles in which an acrylic resin is grafted to an acrylic copolymer as a core. Further, core-shell silicon fine particles as described in International Publication No. 2009/051067, (meth) acrylic acid alkyl ester-butadiene-styrene copolymer or composite as described in International Publication No. 2009/020005, (meth) Insulating organic particles such as alkylacrylic acid alkyl ester-silicone copolymers or composites and silicone- (meth) acrylic acid copolymers or composites, core shell structural polymer particles as described in Japanese Patent Laid-Open No. 2002-256037 and Japanese Patent Laid-Open Rubber particles having a core shell structure as described in Japanese Patent Laid-Open No. 2004-18803 can also be used. These core-shell insulating particles may be used alone, or may be used in combination of two or more thereof. Moreover, it is preferable that such (d) insulating particle is about 0.01-2 micrometers in average particle diameter.

도전성 접착제층 (3b)가 (d) 절연성 입자를 함유하는 경우, (d) 절연성 입자 및 도전 입자 (5)의 합계 배합량은, 접착제 조성물 (4b)의 전체 질량 100 질량부에 대하여 80 질량부 이하인 것이 바람직하고, 60 질량부 이하인 것이 보다 바람직하다. 절연성 입자 및 도전 입자의 합계 배합량이 80 질량부를 초과하면, 필름 형성성 및 전극에 대한 밀착력이 저하되는 경향이 있다. 또한, 절연성 접착제층 (3a)가 (d) 절연성 입자를 함유하는 경우, (d) 절연성 입자의 배합량은, 접착제 조성물 (4a)의 전체 질량 100 질량부에 대하여 60 질량부 이하인 것이 바람직하고, 40 질량부 이하인 것이 보다 바람직하다. 절연성 입자의 배합량이 60 질량부를 초과하면, 필름 형성성 및 도전 입자 (5)의 전극에 대한 밀착력이 저하되는 경향이 있다.When the conductive adhesive layer 3b contains (d) insulating particles, the total amount of the (d) insulating particles and the conductive particles 5 is 80 parts by mass or less with respect to 100 parts by mass of the total mass of the adhesive composition 4b. It is preferable, and it is more preferable that it is 60 mass parts or less. When the total compounding quantity of insulating particle and conductive particle exceeds 80 mass parts, there exists a tendency for film formability and the adhesive force to an electrode to fall. In addition, when the insulating adhesive layer 3a contains (d) insulating particle, it is preferable that the compounding quantity of (d) insulating particle is 60 mass parts or less with respect to 100 mass parts of total mass of adhesive composition 4a, and 40 It is more preferable that it is below a mass part. When the compounding quantity of insulating particle exceeds 60 mass parts, there exists a tendency for the adhesiveness with respect to the electrode of film formation property and the electroconductive particle 5 to fall.

도전성 접착제층 (3b)의 두께는 3 내지 12 ㎛인 것이 바람직하고, 5 내지 10 ㎛인 것이 보다 바람직하다. 또한, 절연성 접착제층 (3a)의 두께는 12 내지 20 ㎛인 것이 바람직하고, 14 내지 16 ㎛인 것이 보다 바람직하다. 각 층이 이러한 두께를 가짐으로써, 작업성, 도전 입자 포착성 및 접속 신뢰성을 양호하게 유지할 수 있다.It is preferable that it is 3-12 micrometers, and, as for the thickness of the conductive adhesive layer 3b, it is more preferable that it is 5-10 micrometers. Moreover, it is preferable that it is 12-20 micrometers, and, as for the thickness of the insulating adhesive bond layer 3a, it is more preferable that it is 14-16 micrometers. Since each layer has such a thickness, workability, conductive particle trapping property, and connection reliability can be maintained satisfactorily.

또한, 회로 접속용 접착 필름 (10)의 두께는 10 내지 40 ㎛인 것이 바람직하다. 이 두께가 10 ㎛ 미만이면, 피착체 사이의 공간을 완전히 매립할 수 없어, 접착력이 저하되는 경향이 있고, 40 ㎛를 초과하면 압착할 때에 수지가 새어 나와, 주변 부품을 더럽히는 경향이 있다.Moreover, it is preferable that the thickness of the adhesive film 10 for circuit connections is 10-40 micrometers. If the thickness is less than 10 µm, the space between the adherends cannot be completely filled, and the adhesive force tends to be lowered. If the thickness exceeds 40 µm, the resin will leak out when pressed, and the peripheral components tend to be dirty.

도전성 접착제층 (3b) 및 절연성 접착제층 (3a)의 형성은, 도전성 접착제층 (3b)에 대해서는 접착제 조성물 (4b) 및 도전 입자 (5)를 포함하는 혼합물을, 절연성 접착제층 (3a)에 대해서는 접착제 조성물 (4a)를 포함하는 혼합물을, 각각 유기 용제에 용해 또는 분산시킴으로서 액상화하여 도포액을 제조하고, 이 도포액을 예를 들면 박리성 기재(지지 필름) 상에 도포하여, 경화제의 활성 온도 이하에서 용제를 제거함으로써 행할 수 있다.Formation of the conductive adhesive layer 3b and the insulating adhesive layer 3a uses a mixture containing the adhesive composition 4b and the conductive particles 5 for the conductive adhesive layer 3b, and the insulating adhesive layer 3a. The mixture containing the adhesive composition (4a) is liquefied by dissolving or dispersing in an organic solvent, respectively, to prepare a coating liquid, and applying the coating liquid onto, for example, a peelable base material (support film), to thereby activate an active temperature of the curing agent. It can carry out by removing a solvent below.

도전성 접착제층 (3b) 및 절연성 접착제층 (3a)를 형성하는 다른 방법으로는, 도전성 접착제층 (3b) 및 절연성 접착제층 (3a)의 구성 성분을 각각 가열하여 유동성을 확보한 후 용제를 가하여 도포액으로 하고, 박리성 기재 상에 도포하여 경화제의 활성 온도 이하에서 용제를 제거하는 방법을 들 수 있다.As another method of forming the conductive adhesive layer 3b and the insulating adhesive layer 3a, the components of the conductive adhesive layer 3b and the insulating adhesive layer 3a are respectively heated to ensure fluidity, and then applied by applying a solvent. The method of making it into a liquid and apply | coating on a peelable base material and removing a solvent below the active temperature of a hardening | curing agent is mentioned.

이 때 이용하는 용제는, 방향족 탄화수소계 용제와 산소 함유계 용제와의 혼합 용제가, 접착제 조성물 (4a) 및 (4b)의 용해성을 향상시키는 관점에서 바람직하다. 또한, 박리성 기재로는, 예를 들면 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET), 폴리프로필렌, 폴리에틸렌, 폴리에스테르 등의 내열성 및 내용제성을 갖는 중합체 필름을 들 수 있다. 특히 이형성을 갖도록 표면 처리된 PET 필름 등이 바람직하게 이용된다.The solvent used at this time is preferable from a viewpoint of the mixed solvent of an aromatic hydrocarbon solvent and an oxygen containing solvent improving the solubility of adhesive composition (4a) and (4b). Moreover, as a peelable base material, the polymer film which has heat resistance and solvent resistance, such as polyethylene terephthalate (PET), polypropylene, polyethylene, polyester, is mentioned, for example. Especially PET film etc. which were surface-treated to have mold release property are used preferably.

박리성 기재의 두께는 20 내지 75 ㎛인 것이 바람직하다. 이 두께가 20 ㎛ 미만이면, 가압착할 때에 취급이 어려워지는 경향이 있고, 75 ㎛를 초과하면, 회로 접속용 접착 필름 (10)과 박리성 기재 사이에 권취 어긋남이 발생하는 경향이 있다.It is preferable that the thickness of a peelable base material is 20-75 micrometers. When this thickness is less than 20 micrometers, handling will become difficult at the time of press bonding, and when it exceeds 75 micrometers, there exists a tendency for the winding shift | offset between the adhesive film 10 for circuit connections and a peelable base material.

회로 접속용 접착 필름 (10)의 제조 방법으로는, 예를 들면 상기한 바와 같이 하여 형성한 도전성 접착제층 (4b) 및 절연성 접착제층 (4a)를 라미네이트하는 방법이나, 각 층을 순차 도공하는 방법 등의 공지된 방법을 채용할 수 있다.As a manufacturing method of the adhesive film 10 for circuit connections, for example, the method of laminating the conductive adhesive layer 4b and the insulating adhesive layer 4a which were formed as mentioned above, or the method of coating each layer sequentially Known methods, such as these, can be employ | adopted.

본 실시 형태의 회로 접속용 접착 필름은 COG(Chip On Glass; 칩 온 글래스) 등의 실장에서의, 유리 등 비교적 단단한 기판과 반도체 소자를 접합하는 이방 도전성 접착제로서 사용할 수 있다.The adhesive film for circuit connection of this embodiment can be used as an anisotropic conductive adhesive which bonds a semiconductor element and comparatively hard board | substrates, such as glass, in mounting, such as COG (Chip On Glass; chip on glass).

예를 들면, 유리 기판 및 반도체 소자 등의 회로 부재 사이에, 회로 접속용 접착 필름을 개재시킨 상태에서 가열 및 가압하여, 양자가 갖는 회로 전극끼리 전기적으로 접속할 수 있다. 여기서, 휘어짐이 특히 문제가 되는 것은 기판의 두께가 0.3 mm 이하인 회로 부재를 사용한 경우이고, 특히 이러한 경우에 본 실시 형태의 회로 접속용 접착 필름을 유효하게 사용할 수 있다.For example, it can heat and pressurize in the state which interposed the adhesive film for circuit connections between circuit members, such as a glass substrate and a semiconductor element, and can electrically connect the circuit electrodes which both have. Here, the warp is particularly problematic when the circuit member having a thickness of 0.3 mm or less is used, and in this case, the adhesive film for circuit connection of the present embodiment can be used effectively.

즉, 접착제 조성물 및 도전 입자를 함유하는 도전성 접착제층과, 접착제 조성물을 함유하고 도전 입자를 함유하지 않은 절연성 접착제층을 구비하고, 도전성 접착제층에 함유되는 접착제 조성물이 (a) 유리 전이 온도 40 내지 70 ℃의 필름 형성재, (b) 에폭시 수지 및 (c) 잠재성 경화제를 포함하는 접착 필름을, 두께 0.3 mm 이하의 제1 회로 기판의 주면 상에 제1 회로 전극이 형성된 제1 회로 부재와, 두께 0.3 mm 이하의 제2 회로 기판의 주면 상에 제2 회로 전극이 형성된 제2 회로 부재를, 제1 회로 전극 및 제2 회로 전극을 대향시킨 상태에서 전기적으로 접속하는, 회로 접속을 위해 사용할 수 있다.That is, the adhesive composition containing the adhesive composition and the conductive adhesive layer containing the conductive particles, and the insulating adhesive layer containing the adhesive composition and not containing the conductive particles, the adhesive composition contained in the conductive adhesive layer (a) glass transition temperature 40 to An adhesive film comprising a film forming material at 70 ° C., (b) an epoxy resin, and (c) a latent curing agent, comprises a first circuit member having a first circuit electrode formed on a main surface of a first circuit board having a thickness of 0.3 mm or less. And a second circuit member having a second circuit electrode formed thereon on a main surface of a second circuit board having a thickness of 0.3 mm or less, for use in circuit connection in which the first circuit electrode and the second circuit electrode are electrically connected with each other. Can be.

또한, 추가로 기판의 두께가 0.2 mm 이하인 것을 사용한 경우에는, 보다 휘어짐의 문제가 현저해진다. 본 실시 형태의 회로 접속용 접착 필름을 사용할 수 있는 회로 기판의 두께의 하한으로는, 각각의 기계적 강도를 유지할 수 있으면 문제는 없고, 0.05 mm 이상인 것이 바람직하며, 0.08 mm 이상인 것이 보다 바람직하다.In addition, when the thickness of the board | substrate is 0.2 mm or less, the problem of curvature becomes more remarkable. As a minimum of the thickness of the circuit board which can use the adhesive film for circuit connections of this embodiment, if each mechanical strength can be maintained, there will be no problem, it is preferable that it is 0.05 mm or more, and it is more preferable that it is 0.08 mm or more.

유리 기판이나 반도체 소자 등의 회로 부재에는, 통상 회로 전극이 다수(경우에 따라서는 단수일 수도 있음) 설치되어 있다. 대향 배치된 회로 부재에 설치된 회로 전극의 적어도 일부를 대향 배치하고, 대향 배치된 회로 전극 사이에 회로 접속용 접착 필름을 개재시킨 상태에서 가열 및 가압함으로써, 대향 배치된 회로 전극끼리 전기적으로 접속하여 회로 접속 구조체를 얻을 수 있다.The circuit member, such as a glass substrate and a semiconductor element, is normally provided with many circuit electrodes (it may be single in some cases). By arranging at least a part of the circuit electrodes provided in the opposingly arranged circuit members, heating and pressurizing in the state which interposed the adhesive film for a circuit connection between the opposingly arranged circuit electrodes, the circuit electrodes arrange | positioned oppositely are electrically connected, and a circuit You can get connected structures.

이와 같이 대향 배치된 회로 부재를 가열 및 가압함으로써, 대향 배치된 회로 전극끼리는, 도전 입자를 통한 접촉 및 직접 접촉 중 하나 또는 둘다에 의해 전기적으로 접속된다.Thus, by heating and pressurizing the opposingly arranged circuit members, the opposingly arranged circuit electrodes are electrically connected by either or both of the contact through the conductive particles and the direct contact.

<회로 접속 구조체><Circuit Connection Structure>

도 2는, 한쌍의 회로 부재, 즉 기판 (1)과 반도체 소자 (2) 사이에, 본 실시 형태에 따른 회로 접속용 접착 필름 (10)을 개재시킨 적층체 (200)을 나타내는 모식 단면도이고, 도 3은 도 2에 나타내는 적층체 (200)을 가열 및 가압하여 얻어진, 본 실시 형태에 따른 회로 접속 구조체 (100)을 나타내는 모식 단면도이다.FIG. 2: is a schematic cross section which shows the laminated body 200 through which the adhesive film 10 for circuit connections which concerns on this embodiment was interposed between a pair of circuit member, ie, the board | substrate 1 and the semiconductor element 2, FIG. 3: is a schematic cross section which shows the circuit connection structure 100 which concerns on this embodiment obtained by heating and pressurizing the laminated body 200 shown in FIG.

도 3에 나타내는 회로 접속 구조체 (100)은, 유리 기판 (1a)(제1 회로 기판)의 주면 상에 배선 패턴 (1b)(제1 회로 전극)가 형성된 기판 (1)(제1 회로 부재)과, IC 칩 (2a)(제2 회로 기판)의 주면 상에 범프 전극 (2b)(제2 회로 전극)가 형성된 반도체 소자 (2)(제2 회로 부재)와, 기판 (1) 및 반도체 소자 (2) 사이에 개재하는 회로 접속용 접착 필름 (10)의 경화물 (6a) 및 (6b)(접속부)를 구비하고 있다. 회로 접속 구조체 (100)에서는, 배선 패턴 (1b) 및 범프 전극 (2b)가 대향 배치된 상태에서 전기적으로 접속되어 있다.The circuit connection structure 100 shown in FIG. 3 is the board | substrate 1 (1st circuit member) in which the wiring pattern 1b (1st circuit electrode) was formed on the main surface of the glass substrate 1a (1st circuit board). And a semiconductor element 2 (second circuit member) on which a bump electrode 2b (second circuit electrode) is formed on a main surface of the IC chip 2a (second circuit board), the substrate 1 and the semiconductor element. The hardened | cured material 6a and 6b (connection part) of the adhesive film 10 for circuit connections interposed between (2) are provided. In the circuit connection structure 100, the wiring pattern 1b and the bump electrode 2b are electrically connected in the state arrange | positioned opposingly.

여기서 배선 패턴 (1b)는, 바람직하게는 투명 도전성 재료로 형성된다. 투명 도전성 재료로는 전형적으로는 ITO(인듐-주석 산화물)가 이용된다. 또한, 범프 전극 (2b)는, 전극으로서 기능할 수 있을 정도의 도전성을 갖는 재료(바람직하게는 금, 은, 주석, 백금족의 금속 및 ITO로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 1종)로 형성되어 있다.The wiring pattern 1b is preferably formed of a transparent conductive material here. As the transparent conductive material, ITO (indium tin oxide) is typically used. The bump electrode 2b is formed of a material having a conductivity enough to function as an electrode (preferably at least one selected from the group consisting of gold, silver, tin, a metal of platinum group, and ITO). .

회로 접속 구조체 (100)에서, 대향하는 범프 전극 (2b) 및 배선 패턴 (1b)끼리는, 도전 입자 (5)를 통해 전기적으로 접속되어 있다. 즉, 도전 입자 (5)가 범프 전극 (2b) 및 배선 패턴 (1b)의 둘다에 직접 접촉함으로써 전기적으로 접속되어 있다.In the circuit connection structure 100, the opposing bump electrodes 2b and the wiring patterns 1b are electrically connected through the conductive particles 5. That is, the electrically-conductive particle 5 is electrically connected by contacting both the bump electrode 2b and the wiring pattern 1b directly.

회로 접속 구조체 (100)은, 회로 접속용 접착 필름 (10)의 경화물 (6a) 및 (6b)에 의해 기판 (1)과 반도체 소자 (2)가 접합되어 있기 때문에, 회로 부재의 두께가 얇은(0.3 mm 이하) 경우에도, 기판 (1)의 휘어짐이 충분히 억제되며, 우수한 접속 신뢰성이 얻어진다.Since the board | substrate 1 and the semiconductor element 2 are bonded by the hardened | cured material 6a and 6b of the adhesive film 10 for circuit connection, the circuit connection structure 100 is thin in the thickness of a circuit member. Also in the case of (0.3 mm or less), the curvature of the board | substrate 1 is fully suppressed and the outstanding connection reliability is obtained.

이러한 회로 접속 구조체 (100)은, 다음 공정을 거쳐 제조할 수 있다. 즉, 두께 0.3 mm 이하의 유리 기판 (1a)(제1 회로 기판)의 주면 상에 배선 패턴 (1b)(제1 회로 전극)가 형성된 기판 (1)(제1 회로 부재) 및 두께 0.3 mm 이하의 IC 칩 (2a)(제2 회로 기판)의 주면 상에 범프 전극 (2b)(제2 회로 전극)가 형성된 반도체 소자 (2)(제2 회로 부재)를 구비하는 한쌍의 회로 부재 사이에, 본 실시 형태의 회로 접속용 접착 필름을 개재시켜 적층체를 얻는 공정과, 적층체를 가열 및 가압하여 회로 접속용 접착 필름을 경화시킴으로써, 한쌍의 회로 부재 사이에 개재하고, 대향 배치된 배선 패턴 (1b)(제1 회로 전극)와 범프 전극 (2b)(제2 회로 전극)가 전기적으로 접속되도록 한쌍의 회로 부재끼리를 접착하는 접속부를 형성하는 공정을 구비하는 제조 방법에 의해 제조할 수 있다.Such a circuit connection structure 100 can be manufactured through the following process. That is, the board | substrate 1 (1st circuit member) in which the wiring pattern 1b (1st circuit electrode) was formed on the main surface of the glass substrate 1a (1st circuit board) of thickness 0.3 mm or less and 0.3 mm or less in thickness Between a pair of circuit members provided with the semiconductor element 2 (2nd circuit member) in which the bump electrode 2b (2nd circuit electrode) was formed on the main surface of the IC chip 2a (2nd circuit board) of the The wiring pattern interposed between a pair of circuit members by the process of obtaining a laminated body through the circuit connection adhesive film of this embodiment, and hardening the adhesive film for circuit connection by heating and pressurizing a laminated body ( 1b) (1st circuit electrode) and bump electrode 2b (2nd circuit electrode) can be manufactured by the manufacturing method provided with the process of forming the connection part which adhere | attaches a pair of circuit members so that it may electrically connect.

<회로 부재의 접속 방법><Connection method of the circuit member>

회로 접속 구조체 (100)은, 유리 기판 (1a)의 주면 상에 배선 패턴 (1b)가 형성된 기판 (1)과, IC 칩 (2a)의 주면 상에 범프 전극 (2b)가 형성된 반도체 소자 (2)와, 기판 (1) 및 반도체 소자 (2) 사이에 개재하는 회로 접속용 접착 필름 (10)을 배선 패턴 (1b) 및 범프 전극 (2b)가 대향 배치된 상태에서 가열 및 가압하여, 배선 패턴 (1b) 및 범프 전극 (2b)를 전기적으로 접속하는 방법에 의해 얻어진다.The circuit connection structure 100 is the board | substrate 1 in which the wiring pattern 1b was formed on the main surface of the glass substrate 1a, and the semiconductor element 2 in which the bump electrode 2b was formed on the main surface of the IC chip 2a. ) And the adhesive film 10 for circuit connection interposed between the board | substrate 1 and the semiconductor element 2 in the state which the wiring pattern 1b and the bump electrode 2b were arrange | positioned opposingly, and a wiring pattern It obtains by the method of electrically connecting (1b) and bump electrode 2b.

이 방법에서는, 박리성 기재 상에 형성시킨 회로 접속용 접착 필름 (10)을 기판 (1) 상에 접합시킨 상태에서 가열 및 가압하여 회로 접속용 접착 필름 (10)을 가압착하고, 박리성 기재를 박리한 후, 회로 전극을 위치 정렬하면서 반도체 소자 (2)를 올려 놓은 후, 가열 및 가압하여 기판 (1), 회로 접속용 접착 필름 (10) 및 반도체 소자 (2)가 이 순서대로 적층된 적층체 (200)을 준비할 수 있다.In this method, the adhesive film 10 for circuit connection formed on the peelable base material was heated and pressed in the state which bonded together on the board | substrate 1, and the adhesive film 10 for circuit connection was press-bonded, and the peelable base material was After peeling, the semiconductor element 2 is placed while aligning the circuit electrodes, and then heated and pressed to laminate the substrate 1, the adhesive film 10 for circuit connection, and the semiconductor element 2 in this order. Sieve 200 may be prepared.

상기 적층체 (200)을 가열 및 가압하는 조건은, 회로 접속용 접착 필름 (10) 중 접착제 조성물 (4a) 및 (4b)의 경화성 등에 따라, 회로 접속용 접착 필름 (10)이 경화하여 충분한 접착 강도가 얻어지도록 적절하게 제조된다.The conditions which heat and pressurize the said laminated body 200 are according to the hardenability of adhesive composition 4a, 4b, etc. in the adhesive film 10 for circuit connections, etc., and the adhesive film 10 for circuit connections hardens | cures enough adhesiveness. Properly prepared so that strength is obtained.

본 실시 형태의 회로 접속용 접착 필름을 이용한 회로 부재의 접속 방법에 따르면, 회로 부재의 두께가 얇은(0.3 mm 이하) 경우에도, 회로 부재의 휘어짐을 억제하고, 양호한 접속 신뢰성을 얻을 수 있다.According to the connection method of the circuit member using the adhesive film for circuit connections of this embodiment, even if the thickness of a circuit member is thin (0.3 mm or less), curvature of a circuit member can be suppressed and favorable connection reliability can be obtained.

[실시예][Example]

이하, 실시예를 들어 본 발명에 대해서 더욱 구체적으로 설명한다. 다만, 본 발명이 이들 실시예로 한정되는 것은 아니다.Hereinafter, an Example is given and this invention is demonstrated further more concretely. However, the present invention is not limited to these examples.

(1) 회로 접속용 접착 필름의 준비(1) Preparation of adhesive film for circuit connection

도전성 접착제층 및 절연성 접착제층을 제작하기 위한 각 재료를 이하와 같이 준비하였다. 또한, 각각의 필름 형성재를 약 10 mg 칭량하고, TA 인스트루먼츠사 제조의 DSC 장치(제품명: Q1000)에서 JIS K7121-1987의 규정에 따라, 필름 형성재의 Tg를 측정하였다.Each material for producing a conductive adhesive layer and an insulating adhesive layer was prepared as follows. About 10 mg of each film forming material was weighed, and Tg of the film forming material was measured in accordance with the provisions of JIS K7121-1987 on a DSC instrument (product name: Q1000) manufactured by TA Instruments.

(a) 성분: Tg 40 내지 70 ℃의 필름 형성재(a) component: Tg 40-70 degreeC film forming material

"FX-316"(도토 가세이 제조, 제품명): 페녹시 수지(Tg: 66 ℃) "FX-316" (product of Toto Kasei, product name): phenoxy resin (Tg: 66 ° C)

"UR-4125"(도요보 제조, 제품명): 폴리에스테르우레탄(Tg: 68 ℃) "UR-4125" (Toyobo Corporation, product name): Polyester urethane (Tg: 68 ℃)

"UR-1350"(도요보 제조, 제품명): 폴리에스테르우레탄(Tg: 46 ℃) "UR-1350" (Toyobo Corporation, product name): Polyester urethane (Tg: 46 ℃)

"3000-K"(덴끼 가가꾸 고교 제조, 제품명): 폴리비닐부티랄(Tg: 64 ℃)"3000-K" (manufactured by Denki Chemical Co., Ltd., product name): polyvinyl butyral (Tg: 64 ° C)

(a)' 성분: (a) 성분 이외의 필름 형성재 (a) 'component: Film-forming materials other than (a) component

"UR-8300"(도요보 제조, 제품명): 폴리에스테르우레탄(Tg: 23 ℃) "UR-8300" (Toyobo Corporation, product name): Polyester urethane (Tg: 23 ℃)

"ZX-1356-2"(도토 가세이 제조, 제품명): 페녹시 수지(Tg: 75 ℃) "ZX-1356-2" (Toto Kasei Co., Ltd. product name): Phenoxy resin (Tg: 75 degreeC)

"PKHC"(인켐(InChem) 제조, 제품명): 페녹시 수지(Tg: 89 ℃) "PKHC" (manufactured by InChem, product name): phenoxy resin (Tg: 89 ° C)

"5000-D"(덴끼 가가꾸 고교 제조, 제품명): 폴리비닐부티랄(Tg: 110 ℃) "5000-D" (manufactured by Denki Chemical Co., Ltd., product name): polyvinyl butyral (Tg: 110 ° C)

"YP-50"(도토 가세이 제조, 제품명): 페녹시 수지(Tg: 97 ℃)"YP-50" (product of Toto Kasei, product name): phenoxy resin (Tg: 97 ° C)

(b) 성분: 에폭시 수지 (b) Component: epoxy resin

"850-S"(DIC 제조, 제품명): 비스페놀 A형 에폭시 수지"850-S" (product made by DIC, product name): bisphenol A epoxy resin

(c): 잠재성 경화제 (c): latent curing agent

"노바큐어"(아사히 가세이 케미컬즈 제조, 제품명)"Novacure" (Asahi Kasei Chemicals, product name)

(d): 절연성 입자 (d): insulating particles

"X-52-7030"(신에쓰 실리콘 제조, 제품명): 실리콘 복합체(실리콘 고무 및 실리콘 레진의 복합체)"X-52-7030" (Shin-Etsu Silicone make, product name): Silicone composite (composite of silicone rubber and silicone resin)

(도전 입자)(Conductive particles)

"마이크로펄 AU"(세끼스이 가가꾸 제조, 제품명)"Micro Pearl AU" (Sekisui Kagaku Co., product name)

(첨가제)(additive)

"SH6040"(도레이 다우코닝 제조, 제품명): 실란 커플링제"SH6040" (Toray Dow Corning, trade name): Silane coupling agent

(실시예 1)(Example 1)

<도전성 접착제층> <Conductive Adhesive Layer>

페녹시 수지 "FX-316" 10 질량부, 비스페놀 A형 에폭시 수지 "850-S" 30 질량부, 잠재성 경화제 "노바큐어" 40 질량부 및 실란 커플링제 "SH6040" 1 질량부를 톨루엔 100 질량부에 용해시킨 후, 도전 입자 "마이크로펄 AU" 19 질량부를 가하고, 도전성 접착제층 형성용 도포액을 제조하였다.10 parts by mass of phenoxy resin "FX-316", 30 parts by mass of bisphenol A type epoxy resin "850-S", 40 parts by mass of latent curing agent "Novacure" and 1 part by mass of silane coupling agent "SH6040" 100 parts by mass of toluene After melt | dissolving in, 19 mass parts of electroconductive particle "micropearl AU" was added, and the coating liquid for conductive adhesive layer formation was produced.

이 도포액을 한쪽면(도포액을 도포한 면)에 이형 처리(중박리 처리)가 실시된 두께 50 ㎛의 PET 필름에 도공 장치((주)야스이 세이끼사 제조, 제품명: 정밀 도공기)를 이용하여 도포하고, 70 ℃에서 10 분간 열풍 건조함으로써, PET 필름 상에 두께 10 ㎛의 도전성 접착제층을 형성하였다.Coating device (manufactured by Yasui Seiki Co., Ltd., product name: Precision Coating Machine) on a PET film having a thickness of 50 µm in which this coating liquid was subjected to a release treatment (heavy peeling treatment) on one side (the surface on which the coating liquid was applied). Was applied and hot air dried at 70 ° C. for 10 minutes to form a conductive adhesive layer having a thickness of 10 μm on the PET film.

<절연성 접착제층><Insulating adhesive layer>

페녹시 수지 "FX-316" 52 질량부, 비스페놀 A형 에폭시 수지 "850-S" 26 질량부, 잠재성 경화제 "노바큐어" 18 질량부 및 실란 커플링제 "SH6040" 1 질량부를 용제인 톨루엔 100 질량부에 용해시킨 후, 실리콘 미립자 "X-52-7030" 3 질량부를 가하고, 절연성 접착제층 형성용 도포액을 제조하였다.52 parts by mass of phenoxy resin "FX-316", 26 parts by mass of bisphenol A type epoxy resin "850-S", 18 parts by mass of latent curing agent "Novacure" and 1 part by mass of silane coupling agent "SH6040", solvent toluene 100 After melt | dissolving in a mass part, 3 mass parts of silicone microparticles | fine-particles "X-52-7030" were added, and the coating liquid for insulating adhesive layer formation was produced.

이 도포액을 상기와 마찬가지로 하여, 한쪽면에 이형 처리가 실시된 두께 50 ㎛의 PET 필름에 도공 장치((주)야스이 세이끼사 제조, 제품명: 정밀 도공기)를 이용하여 도포하고, 70 ℃에서 10 분간 열풍 건조함으로써, PET 필름 상에 두께 15 ㎛의 절연성 접착제층을 형성하였다.This coating solution was applied in the same manner to the above, and was applied to a PET film having a thickness of 50 µm on one side by using a coating device (manufactured by Yasui Seiki Co., Ltd., product name: precision coating machine), and 70 ° C. By hot-air drying for 10 minutes at, an insulating adhesive layer having a thickness of 15 μm was formed on the PET film.

<회로 접속용 접착 필름> <Adhesive film for circuit connection>

상기에서 얻어진 도전성 접착제층과 절연성 접착제층을 50 ℃에서 가열하면서 롤 라미네이터로 라미네이트하고, 두께가 25 ㎛인 회로 접속용 접착 필름을 얻었다.The electrically conductive adhesive layer and insulating adhesive layer obtained above were laminated by the roll laminator, heating at 50 degreeC, and the adhesive film for circuit connections whose thickness is 25 micrometers was obtained.

(실시예 2 내지 6 및 비교예 1 내지 5)(Examples 2 to 6 and Comparative Examples 1 to 5)

하기 표 2에 나타내는 배합 비율(질량부)로 각 성분을 첨가하고, 도전성 접착제층 형성용 도포액을 제조한 것 이외에는, 실시예 1과 동일하게 조작하여 회로 접속용 접착 필름을 제작하였다. Each component was added in the compounding ratio (mass part) shown in following Table 2, and it carried out similarly to Example 1 except having produced the coating liquid for conductive adhesive layer formation, and produced the adhesive film for circuit connections.

Figure pat00002
Figure pat00002

(2) 회로 접속 구조체의 제작(2) Fabrication of circuit connection structure

<기판 및 반도체 소자의 준비> <Preparation of substrate and semiconductor element>

기판으로서, 유리 기판(코닝 #1737, 38 mm×28 mm, 두께 0.3 mm)의 표면에 ITO(인듐 주석 산화물)의 배선 패턴(패턴 폭 50 ㎛, 전극간 스페이스 5 ㎛)을 형성시킨 것을 준비하였다. 반도체 소자로서, IC 칩(외형 17 mm×17 mm, 두께 0.3 mm, 범프의 크기 50 ㎛×50 ㎛, 범프간 스페이스 50 ㎛, 범프 높이 15 ㎛)을 준비하였다.As a board | substrate, what formed the wiring pattern (pattern width 50 micrometers, inter-electrode space 5 micrometers) of ITO (indium tin oxide) on the surface of a glass substrate (Corning # 1737, 38 mm x 28 mm, thickness 0.3 mm) was prepared. . As a semiconductor element, an IC chip (outer shape of 17 mm x 17 mm, thickness 0.3 mm, bump size 50 m x 50 m, space between bumps 50 m and bump height 15 m) was prepared.

<기판 및 반도체 소자의 접속> <Connection of substrate and semiconductor element>

상기 실시예 및 비교예에서 제작한 회로 접속용 접착 필름을 이용하고, IC 칩과 유리 기판과의 접속을 이하에 나타낸 바와 같이 행하였다. 또한, 접속에는 세라믹 히터를 포함하는 스테이지(150 mm×150 mm) 및 툴(3 mm×20 mm)로 구성되는 가열 압착구를 이용하였다.The connection of an IC chip and a glass substrate was performed as shown below using the adhesive film for circuit connection produced by the said Example and the comparative example. In addition, the heating crimp comprised with the stage (150 mm x 150 mm) and the tool (3 mm x 20 mm) containing a ceramic heater was used for connection.

우선, 회로 접속용 접착 필름(1.5 mm×20 mm)의 도전성 접착제층 상의 PET 필름을 박리하고, 도전성 접착제층면을 유리 기판에 80 ℃, 0.98 MPa(10 kgf/㎠)의 조건에서 2 초간 가열 및 가압함으로써 첩부하였다. 이어서, 회로 접속용 접착 필름의 절연성 접착제층 상의 PET 필름을 박리하고, IC 칩의 범프와 유리 기판과의 위치 정렬을 행한 후, 회로 접속용 접착 필름의 실측 최고 도달 온도 190 ℃ 및 범프 전극 면적 환산 압력 70 MPa의 조건에서, IC 칩 상측으로부터 10 초간 가열 및 가압을 행하여 절연성 접착제층을 IC 칩에 첩부하고, 회로 접속용 접착 필름을 개재시킨 칩과 유리 기판과의 본 접속을 행하였다.First, the PET film on the conductive adhesive layer of the adhesive film for circuit connection (1.5 mm x 20 mm) was peeled off, and the conductive adhesive layer surface was heated on the glass substrate for 2 seconds under conditions of 80 ° C and 0.98 MPa (10 kgf / cm 2). It stuck by pressing. Subsequently, after peeling off the PET film on the insulating adhesive bond layer of the adhesive film for circuit connections, and positioning the bump of an IC chip and a glass substrate, conversion of the measured maximum achieved temperature of 190 degreeC and bump electrode area of the adhesive film for circuit connections was carried out. Under the pressure of 70 MPa, heating and pressurization were performed for 10 seconds from the IC chip upper side, the insulating adhesive bond layer was affixed on the IC chip, and the main connection of the chip | tip and glass substrate which interposed the adhesive film for circuit connection was performed.

(3) 평가(3) evaluation

(필름 형성성)(Film formability)

제작한 회로 접속용 접착 필름에 대해서, 이하의 기준으로 필름 형성성을 평가하였다. 또한, "필름으로 할 수 있음"이란, 제작한 필름이 용이하게 찢어지거나, 갈라지거나, 달라붙는 것이 없는 것을 의미한다. 필름 형성성의 평가 결과를 표 2에 나타내었다.About the produced adhesive film for circuit connection, film formability was evaluated on the following references | standards. In addition, "it can be made into a film" means that the produced film does not tear easily, a crack, or sticks. The evaluation results of the film formability are shown in Table 2.

A: 필름으로 할 수 있음A: Can be made with film

B: 필름으로 할 수 없음B: can't with film

(휘어짐)(Curvature)

도 4는, 유리 기판의 휘어짐의 평가 방법을 나타내는 모식 단면도이다. 도 4에 나타내는 회로 접속 구조체 (100)은, 기판 (1), 반도체 소자 (2) 및 이들을 접합하는 경화한 회로 접속용 접착 필름 (10)으로 구성된다. L은, 반도체 소자 (2)의 중심에서의 기판 (1)의 하면의 높이를 0이라 했을 때, 반도체 소자 (2)의 중심으로부터 12.5 mm 떨어진 장소까지의 기판 (1)의 하면의 높이 중 가장 큰 값을 나타낸다. 휘어짐의 평가는 L을 지표로서 행하였다. L의 값이 작을수록 휘어짐이 작은 것을 나타낸다. L의 값이 15 ㎛ 미만인 경우를 "A", 15 ㎛ 이상인 경우를 "B"로 하여 2단계로 평가하였다. 휘어짐의 평가 결과를 표 2에 나타내었다.It is a schematic cross section which shows the evaluation method of the curvature of a glass substrate. The circuit connection structure 100 shown in FIG. 4 is comprised from the board | substrate 1, the semiconductor element 2, and the hardened adhesive film 10 for circuit connections which bonds these. L is the height of the lower surface of the lower surface of the substrate 1 to a place 12.5 mm away from the center of the semiconductor element 2 when the height of the lower surface of the substrate 1 at the center of the semiconductor element 2 is 0. Indicates a large value. Evaluation of curvature performed L as an index | index. The smaller the value of L, the smaller the deflection. The case where the value of L was less than 15 micrometers was evaluated by "A" and the case where it is 15 micrometers or more as "B" in two steps. The evaluation results of the warpage are shown in Table 2.

또한, 회로 접속 구조체의 제작에서, 유리 기판 및 IC 칩의 두께를 각각 0.3 mm에서 0.5 mm로 변경하고, 상기 실시예 및 비교예에서 제작한 회로 접속용 접착 필름을 이용한 접속을 상술한 바와 마찬가지의 절차로 행하여 접합체를 제작하였다. 얻어진 접합체의 휘어짐의 평가를 행한 바, 어느 접합체에서도 휘어짐은 15 ㎛ 미만이었다.In the preparation of the circuit connection structure, the thicknesses of the glass substrate and the IC chip were changed from 0.3 mm to 0.5 mm, respectively, and the connection using the adhesive film for circuit connection produced in the above examples and comparative examples was the same as described above. The conjugate was produced by the procedure. The curvature of the obtained bonded body was evaluated, and curvature was less than 15 micrometers in any bonded body.

(접속 신뢰성)(Connection reliability)

제작한 회로 접속 구조체를 이용하여 유리 기판의 회로와 반도체 소자의 전극간의 저항값을 측정하였다. 측정에는, 멀티미터(장치명: MLR21, ETAC사 제조)를 이용하고, 온도 85 ℃, 습도 85 % RH, 1000 시간의 THT 테스트(Thermal Humidity Test) 후에 행하였다. THT 테스트 후 저항값에 기초하여, 접속 신뢰성을 이하의 기준에 따라 A 또는 B의 2단계로 평가하였다. 각 회로 접속 구조체의 측정 결과를 하기 표 3에 나타내었다.The resistance value between the circuit of a glass substrate and the electrode of a semiconductor element was measured using the produced circuit connection structure. The measurement was performed using a multimeter (device name: MLR21, manufactured by ETAC) after a THT test (Thermal Humidity Test) at a temperature of 85 ° C., a humidity of 85% RH, and 1000 hours. Based on the resistance value after the THT test, connection reliability was evaluated in two stages of A or B according to the following criteria. The measurement results of each circuit connection structure are shown in Table 3 below.

A: 10 Ω 미만 A: less than 10 Ω

B: 10 Ω 이상B: 10 Ω or more

Figure pat00003
Figure pat00003

본 발명의 회로 접속용 접착 필름은, 두께가 얇은 회로 부재끼리의 접속에 이용된 경우에도, 필름 형성성, 휘어짐 및 접속 신뢰성 중 어느 것에 관해서도 우수한 특성을 나타내었다.The adhesive film for circuit connection of this invention showed the outstanding characteristic also regarding any of film formation property, curvature, and connection reliability, even when used for the connection of thin circuit members.

1…기판, 1a…유리 기판, 1b…배선 패턴, 2…반도체 소자, 2a…IC칩, 2b…범프 전극, 3a…절연성 접착제층, 3b…도전성 접착제층, 4a, 4b…접착제 조성물, 5…도전 입자, 6a, 6b…경화물, 10…회로 접속용 접착 필름, 100…회로 접속 구조체, 200…적층체. One… Substrate, 1a... Glass substrate, 1b... Wiring pattern, 2... Semiconductor element, 2a... IC chip, 2b... Bump electrode, 3a... Insulating adhesive layer, 3b... Conductive adhesive layers, 4a, 4b... Adhesive composition, 5... Conductive particles, 6a, 6b... Hardened | cured material, 10... Adhesive film for circuit connection, 100... Circuit connection structure, 200. Laminate.

Claims (5)

접착제 조성물 및 도전 입자를 함유하는 도전성 접착제층과, 접착제 조성물을 함유하고 도전 입자를 함유하지 않은 절연성 접착제층을 구비하는 회로 접속용 접착 필름이며,
상기 도전성 접착제층에 함유되는 접착제 조성물이 (a) 유리 전이 온도 40 내지 70 ℃의 필름 형성재, (b) 에폭시 수지 및 (c) 잠재성 경화제를 포함하고,
두께 0.3 mm 이하의 제1 회로 기판의 주면 상에 제1 회로 전극이 형성된 제1 회로 부재와, 두께 0.3 mm 이하의 제2 회로 기판의 주면 상에 제2 회로 전극이 형성된 제2 회로 부재를, 상기 제1 회로 전극 및 상기 제2 회로 전극을 대향시킨 상태에서 전기적으로 접속하기 위한 회로 접속용 접착 필름.
It is an adhesive film for circuit connection provided with the electrically conductive adhesive layer containing an adhesive composition and electroconductive particle, and the insulating adhesive layer containing an adhesive composition and not containing conductive particle,
The adhesive composition contained in the said conductive adhesive layer contains the film forming material of (a) glass transition temperature of 40-70 degreeC, (b) epoxy resin, and (c) latent hardening | curing agent,
A first circuit member having a first circuit electrode formed on a main surface of a first circuit board having a thickness of 0.3 mm or less, and a second circuit member having a second circuit electrode formed on a main surface of a second circuit board having a thickness of 0.3 mm or less, The adhesive film for circuit connections for electrically connecting in the state which the said 1st circuit electrode and the said 2nd circuit electrode faced.
제1항에 있어서, 상기 도전성 접착제층 및/또는 상기 절연성 접착제층이 (d) 절연성 입자를 더 함유하는 것인 회로 접속용 접착 필름. The adhesive film for circuit connection of Claim 1 in which the said conductive adhesive layer and / or the said insulating adhesive layer further contain (d) insulating particle. 두께 0.3 mm 이하의 제1 회로 기판의 주면 상에 제1 회로 전극이 형성된 제1 회로 부재와,
두께 0.3 mm 이하의 제2 회로 기판의 주면 상에 제2 회로 전극이 형성되고, 상기 제2 회로 전극이 상기 제1 회로 전극과 대향하도록 배치되어, 상기 제2 회로 전극이 상기 제1 회로 전극과 전기적으로 접속되어 있는 제2 회로 부재와,
상기 제1 회로 부재와 상기 제2 회로 부재 사이에 개재하는 접속부
를 구비하고,
상기 접속부가 제1항 또는 제2항에 기재된 회로 접속용 접착 필름의 경화물인 회로 접속 구조체.
A first circuit member having a first circuit electrode formed on a main surface of a first circuit board having a thickness of 0.3 mm or less,
A second circuit electrode is formed on the main surface of the second circuit board having a thickness of 0.3 mm or less, and the second circuit electrode is disposed to face the first circuit electrode, so that the second circuit electrode is connected to the first circuit electrode. A second circuit member which is electrically connected,
A connecting portion interposed between the first circuit member and the second circuit member.
And
The circuit connection structure whose said connection part is hardened | cured material of the adhesive film for circuit connections of Claim 1 or 2.
두께 0.3 mm 이하의 제1 회로 기판의 주면 상에 제1 회로 전극이 형성된 제1 회로 부재 및 두께 0.3 mm 이하의 제2 회로 기판의 주면 상에 제2 회로 전극이 형성된 제2 회로 부재를 구비하는 한쌍의 회로 부재 사이에, 제1항 또는 제2항에 기재된 회로 접속용 접착 필름을 개재시켜 적층체를 얻는 공정과,
상기 적층체를 가열 및 가압하여 상기 회로 접속용 접착 필름을 경화시킴으로써, 상기 한쌍의 회로 부재 사이에 개재하고, 대향 배치된 상기 제1 회로 전극과 상기 제2 회로 전극이 전기적으로 접속되도록 상기 한쌍의 회로 부재끼리를 접착하는 접속부를 형성하는 공정
을 구비하는 회로 접속 구조체의 제조 방법.
A first circuit member having a first circuit electrode formed on a main surface of a first circuit board having a thickness of 0.3 mm or less and a second circuit member having a second circuit electrode formed on a main surface of a second circuit board having a thickness of 0.3 mm or less Between a pair of circuit members, the process of obtaining a laminated body through the adhesive film for circuit connections of Claim 1 or 2,
By heating and pressing the said laminated body and hardening the said adhesive film for circuit connections, the said 1st circuit electrode and the said 2nd circuit electrode interposed between the said pair of circuit members, and are electrically connected so that the said 2nd circuit electrode may be electrically connected Process of forming the connection part which adhere | attaches circuit members
The manufacturing method of the circuit connection structure provided with.
두께 0.3 mm 이하의 제1 회로 기판의 주면 상에 제1 회로 전극이 형성된 제1 회로 부재와,
두께 0.3 mm 이하의 제2 회로 기판의 주면 상에 제2 회로 전극이 형성된 제2 회로 부재와,
상기 제1 회로 부재 및 상기 제2 회로 부재 사이에 배치된 제1항 또는 제2항에 기재된 회로 접속용 접착 필름
을 상기 제1 회로 전극과 상기 제2 회로 전극이 대향 배치된 상태에서 가열 및 가압하여, 상기 제1 회로 전극과 상기 제2 회로 전극을 전기적으로 접속하는, 회로 부재의 접속 방법.
A first circuit member having a first circuit electrode formed on a main surface of a first circuit board having a thickness of 0.3 mm or less,
A second circuit member having a second circuit electrode formed on a main surface of a second circuit board having a thickness of 0.3 mm or less,
The adhesive film for circuit connection of any one of Claims 1-5 arrange | positioned between the said 1st circuit member and the said 2nd circuit member.
Heating and pressurizing in a state where the first circuit electrode and the second circuit electrode are opposed to each other to electrically connect the first circuit electrode and the second circuit electrode.
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