KR20110136672A - 광원 고정용 상부-리프팅 메커니즘을 가진 테스트 헤드 - Google Patents
광원 고정용 상부-리프팅 메커니즘을 가진 테스트 헤드 Download PDFInfo
- Publication number
- KR20110136672A KR20110136672A KR1020100083331A KR20100083331A KR20110136672A KR 20110136672 A KR20110136672 A KR 20110136672A KR 1020100083331 A KR1020100083331 A KR 1020100083331A KR 20100083331 A KR20100083331 A KR 20100083331A KR 20110136672 A KR20110136672 A KR 20110136672A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- rack
- lifting
- light source
- test head
- side rack
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M11/00—Testing of optical apparatus; Testing structures by optical methods not otherwise provided for
- G01M11/30—Testing of optical devices, constituted by fibre optics or optical waveguides
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
Abstract
케이스, 렌즈 튜브, 두 개의 측면 랙, 상부-리프팅 랙 및 광원 모듈을 포함하는 테스트 헤드가 개신된다. 본 발명은 전면 덮개판과 후면 개구부를 포함하고, 측면 랙은 광 조사 구멍과 함께 개구되도록 설치된다. 또한, 렌즈 튜브는 광 조사 구멍과 일치되도록 전면 덮개판의 내면 상에 설치되도록 설정된다. 두 개의 측면 랙은 전면 덮개판의 내면 상에 설치되도록 유사하게 설정되고, 상부-리프팅 랙은 두 개의 측면 랙과 축회전 가능하도록 결합되어 두 개의 측면 랙과의 접합을 위한 접근 또는 이들과의 후퇴를 위한 인상을 선택적으로 할 수 있다. 또한, 광원 모듈은 상부-리프팅 랙 상에 설치되도록 설정되고 렌즈 튜브와 일치된 발광부를 포함한다. 따라서 본 발명은 광원 모듈를 안정적으로 지지할 수 있고 상부-리프팅 메커니즘을 통하여 테스트 헤드 내부의 유지보수 또는 업그레이드를 신속하고 간이하게 수행할 수 있다.
Description
본 발명은 테스트 헤드에 관한 것으로, 특히 광원이 있고 광 감지 반도체소자 조사용으로 적합한 테스트장비 내의 테스트 헤드에 관한 것이다.
종래의 반도체 검사 기술에서는 광 감지 반도체소자 등을 검사할 때 반도체소자를 조사(illumination)하고 동시에 반도체소자에서 온 응답 신호를 검사하여 반도체가 정상 동작하고 있는지를 판단하기 위한 부가적 광원을 필요로 했다.
도 1은 종래의 테스트 헤드(test head)의 사시도이고, 도 2는 종래의 테스트 헤드의 단면도이고, 도 3은 종래의 테스트 헤드의 분해사시도이다. 도 1, 2, 및 3을 참조하면, 광원 조사(illimination)가 있는 종래의 테스트 헤드(9)가 도시되어 있고, 테스트 헤드의 케이스(enclosure)는 후방 덮개판(91)을 포함하고 있다. 광원부(92)는 처음에 체결부착 기부(base)(93)에 체결되어 부착되고, 다음에 체결부착 기부(93)는 후방 덮개판(91)에 체결된다. 또는, 체결부착 기부(93)가 먼저 체결된 후 광원부(92)가 체결부착 기부(93)에 체결되어 부착된다. 그러나 이러한 조립과정은 복잡하다. 더욱이, 체결부착 기부(93)와 광원부(92) 모두 일정한 무게가 있기 때문에 이러한 조립과정은 불편하고 위험을 초래하기 쉽다.
또한, 테스트 헤드의 하드웨어에 대하여 내부 검사회로보드(예를 들면, PE, Pin Electronics)카드)(94)를 교체하는 등의 유지보수 또는 업그레이드를 하려면 광원부(92)와 체결부착 기부(93)를 차례로 해체한 후 내부 유지보수 또는 업그레이드를 수행해야 한다. 이러한 해체과정은 다소 복잡하고 시간과 노력을 낭비하여, 장비를 설치하거나 이에 따르는 유지보수를 함에 있어서 비효율적이게 하며, 유휴시간을 늘려 비용을 증가시킨다. 더욱이, 광원 조사가 있는 종래의 테스트 헤드(9)는 단지 체결과 부착이라는 방식으로만 후방 덮개판(91)에 체결되어 부착된다. 광원부(92)와 체결부착 기부(93) 모두 일정한 무게가 있으므로, 체결부착 위한 나사가 망가지거나 후방 덮개판(91)이 변형되고 휘어지거나 심지어는 부러지는 위험까지도 초래할 수 있다.
따라서 상술한 문제들을 완화하고/하거나 해소하기 위하여 광원을 고정하기 위한 상부-리프팅(upper-lifting) 메커니즘을 포함하는 개선된 테스트 헤드를 제공할 필요가 있는 것이다.
본 발명은 광원 고정용 상부-리프팅 메커니즘을 가진 테스트 헤드를 제공하기 위한 것이다.
본 발명은 광원 고정용 상부-리프팅 메커니즘을 가진 테스트 헤드에 관한 것으로, 케이스, 렌즈 튜브, 측면 랙, 상부-리프팅 랙 및 광원 모듈을 포함한다. 케이스는 전면 덮개판과 후방 개구부를 포함하고, 전면 덮개판은 내면과 외면을 포함하고 광 조사 구멍과 함께 개구되도록 설치된다. 렌즈 튜브는 광 조사 구멍에 일치되도록 전면 덮개판의 내면 상에 설치되도록 설정된다. 측면 랙은 전면 덮개판의 내면 상에 설치되도록 설정된다. 상부-리프팅 랙은 측면 랙에 축회전 가능하도록 연결되고 측면 랙의 한쪽 말단과의 접합을 위한 접근 또는 이로부터 멀어지기 위한 인상을 선택적으로 할 수 있다. 더욱이, 광원 모듈은 상부-리프팅 랙 상에 설치되도록 설정되고 렌즈 튜브와 일치하도록 배치된 발광부를 포함한다. 따라서 본 발명은 광원 모듈를 안정적으로 지탱할 수 있고 상부-리프팅 메커니즘을 통하여 테스트 헤드 내부의 유지보수 또는 업그레이드를 신속하고 간이하게 수행할 수 있다.
본 발명은 적어도 하나의 공압 실린더를 포함하고, 적어도 하나의 공압 실리더(air pressure cylinder)의 양 말단은 측면 랙(side rack)과 상부-리프팅 랙(upper-lifting rack) 상에 각각 축회전 가능하도록 설치된다. 공압 실린더는 질소 실린더, 유압 실린더 또는 기타 등가의 장치일 수 있다. 공압 실린더의 도움으로 본 발명은 인상을 용이하게 하는 보조적인 힘을 가할 수 있고, 상부-리프팅 랙을 지지하고 고정할 수 있다. 더욱이, 본 발명은 전면 덮개판의 외면 상에 설치되도록 설정된 포고타워(Pogo Tower)를 더 포함하여, 검사용 반도체칩과 전기적으로 접촉할 수 있다.
또한, 본 발명은 위치제한조절부재(position-limiting and adjustment piece)를 더 포함하고 위치제한조절부재는 각각 측면 랙과 상부-리프팅 랙과 함게 축회전 가능하도록 설치된다. 위치제한조절부재의 도움으로, 본 발명은 상부-리프팅 랙의 인상(lifting)을 위한 스트로크(stroke)를 조절할 수 있고, 따라서 상부-리프팅 랙의 인상 높이를 제한할 수 있다. 더욱이, 위치제한조절부재는 위치제한레버(position-limiting lever), 슬라이딩베이스(sliding base) 및 회전베이스(rotation base)를 더 포함하고, 위치제한레버의 양 말단은 각각 정지부(stop portion)와 나사부재(screw segment)를 포함한다. 슬라이딩베이스는 상부-리프팅 랙 상에 설치되도록 설정되고, 회전베이스는 측면 랙 상에 축회전 가능하도록 설치되어 정지부와 나사부재 사이의 상대적 미끄러짐을 가능하게 하고, 위치제한레버의 나사부재는 회전베이스를 고정하도록 나사식으로 감긴다. 따라서 위치제한레버의 나사부재의 도움으로 본 발명은 슬라이딩베이스의 슬라이딩 스트로크를 조절할 수 있고 상부-리프팅 랙의 인상 높이를 조절 및 제한할 수 있다.
더욱이, 본 발명에서는, 측면 랙은 후방 개구부 바깥으로 돌출 연장될 수 있고, 상부-리프팅 랙과 접합하도록 일치된 측면 랙의 말단은 경사면을 포함하고, 측면 랙과 접합하도록 일치된 상부-리프팅 랙의 말단은 경사접합면을 포함한다. 따라서 경사면과 경사접합면을 통하여 일치되어 접합되는 측면 랙과 상부-리프팅 랙의 도움으로 본 발명은 특별한 각도로 접합하는 효과를 달성할 수 있고, 따라서 광원 모듈이 직접 조사하는 것을 용이하게 하여, 불필요한 굴절 또는 반사 메커니즘이나 장치를 필요로 하지 않게 된다.
또한, 본 발명은 전면 덮개판의 내면 상에 설치되도록 설정된 또 하나의 측면 랙을 포함한다. 상기 측면 랙과 상기 또 하나의 측면 랙은 각각 렌즈 튜브의 양 측면 상에 설치되어, 광원 모듈을 안정적으로 지지한다. 본 발명은 바닥판(base plate)과 체결조임부재(fastening and tightening piece)를 포함하고, 바닥판은 측면 랙의 하부상에 설치되도록 설정되고, 체결조임부재는 제1 체결부와 제2 체결부를 포함한다. 제1 체결부는 바닥판 상에 설치되도록 설정되고, 제2 체결부는 상부-리프팅 랙 상에 설치되도록 설정되고, 제1 체결부와 제2 체결부는 체결 또는 분리를 선택적으로 할 수 있다. 따라서 측면 랙상으로 상부-리프팅 랙을 고정시키기 위한 체결조임부재의 도움으로 상부-리프팅 랙이 흔들리거나 예기치않게 들리는 것을 방지할 수 있다. 본 발명의 이러한 설계가 없다면, 발광부는 렌즈 튜브에 일치될 수 없고 따라서 검사수행에 역효과를 줄 것이다.
바람직하게는 본 발명은 상판과 경첩을 더 포함할 수 있고, 상판은 측면 랙과 또 하나의 측면 랙의 상부 상에 설치되도록 설정되고, 경첩은 상판과 상부-리프팅 랙 상으로 축회전 가능하도록 연결되도록 설정된다. 따라서 경첩의 상판 상으로 축회전 가능한 연결을 통하여 상부-리프팅 랙의 인상을 용이하게 할 것이다.
본 발명의 다른 목적, 이점, 및 새로운 특징은 첨부된 도면을 참조하여 설명되는 이하의 상세한 설명으로부터 더욱 명백해질 것이다.
본 발명에 따르면, 광원 모듈은 상부-리프팅 랙 상에 설치되도록 설정되고 렌즈 튜브와 일치하도록 배치된 발광부를 포함한다. 따라서 본 발명은 광원 모듈를 안정적으로 지탱할 수 있고 상부-리프팅 메커니즘을 통하여 테스트 헤드 내부의 유지보수 또는 업그레이드를 신속하고 간이하게 수행할 수 있다. 또한, 경사면과 경사접합면을 통하여 일치되어 접합되는 측면 랙과 상부-리프팅 랙의 도움으로 본 발명은 특별한 각도로 접합하는 효과를 달성할 수 있고, 따라서 광원 모듈이 직접 조사하는 것을 용이하게 하여, 불필요한 굴절 또는 반사 메커니즘이나 장치를 줄일 수 있다.
도 1은 종래의 테스트 헤드의 사시도;
도 2는 종래의 테스트 헤드의 단면도;
도 3은 종래의 테스트 헤드의 분해사시도;
도 4는 본 발명의 바람직한 하나의 구현예로서 장비의 전체 구성을 보여주는 평면도;
도 5는 본 발명의 바람직한 하나의 구현예로서 광원모듈이 인상된 모습을 보여주는 사시도;
도 6은 본 발명의 바람직한 하나의 구현예로서 광원모듈이 인상된 모습을 보여주는 측면도;
도 7은 본 발명의 바람직한 하나의 구현예에 따른 단면도; 그리고
도 8은 본 발명의 바람직한 하나의 구현예에 따른 분해사시도이다.
도 2는 종래의 테스트 헤드의 단면도;
도 3은 종래의 테스트 헤드의 분해사시도;
도 4는 본 발명의 바람직한 하나의 구현예로서 장비의 전체 구성을 보여주는 평면도;
도 5는 본 발명의 바람직한 하나의 구현예로서 광원모듈이 인상된 모습을 보여주는 사시도;
도 6은 본 발명의 바람직한 하나의 구현예로서 광원모듈이 인상된 모습을 보여주는 측면도;
도 7은 본 발명의 바람직한 하나의 구현예에 따른 단면도; 그리고
도 8은 본 발명의 바람직한 하나의 구현예에 따른 분해사시도이다.
도 4를 참조하면, 본 발명의 바람직한 하나의 구현예에 따른 광원을 고정하기 위한 상부-리프팅(upper-lifting) 기술을 포함하는 테스트 헤드에 대한 전체 장비를 보여주는 사시도가 도시되어 있다. 도시된 바와 같이, 반도체 검사 장치(10)는 주로 검사를 수행하기 위하여 보조광원을 필요로 하는 CCD, CMOS, 기타 반도체소자 등의 광 감지 반도체소자를 검사하는데 사용된다.
도 5는 본 발명의 바람직한 하나의 구현예에 따른 광원을 고정하기 위한 상부-리프팅 기술을 포함하는 테스트 헤드의 사시도이고, 도 6은 본 발명의 바람직한 구현예에 따른 광원을 고정하기 위한 상부-리프팅 기술을 포함하는 테스트 헤드의 단면도이다. 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이, 테스트 헤드(11)는 포고타워(Pogo Tower)(1), 케이스(enclosure)(2), 렌즈튜브(3), 두 개의 측면 랙(rack)(40, 41), 바닥판(42), 상판(43), 상부-리프팅 랙(5), 광원모듈(6), 공압 실린더(7) 및 체결조임부재(71)를 포함한다.
도 7은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 광원을 고정하기 위한 상부-리프팅 기술을 포함하는 테스트베드의 단면도이고, 도 8은 분해사시도이다. 도 7 및 도 8을 참조하면, 케이스(2)는 전면 덮개판(21)과 후방 개구부(22)를 포함하고, 전면 덮개판(21)은 내부면(212)과 외부면(213)을 포함하여 광 조사 구멍(211)과 함께 개구되어 설치된다. 렌즈튜브(3)는 광 조사 구멍(211)에 일치시켜 전면 덮개판(21)의 내부면(212) 상에 설치되도록 설정되고, 렌즈튜브(3)는 그 안에 광원의 조사 광도(illuminating intensity)를 향상시키기 위하여 광을 수렴하기 위한 복수의 렌즈(도시되지 않음)를 제공한다.
도시된 바와 같이, 두 개의 측면 랙(40, 41)은 전면 덮개판(21)의 내부면(212)상에 설치되도록 설정되고 후방 개부부(22) 밖으로 돌출되도록 연장된다. 두 개의 측면 랙(40, 41)은 렌즈튜브(3)의 양측에 각각 제공된다. 또한, 상판(43)은 두 개의 측면 랙(40, 41)의 상부면 상에 탑재되고 따라서 바닥판(42)은 하부면 상에 탑재되어, 두 개의 측면 랙(40, 41), 상판(43) 및 바닥판(42)은 견고한 사각형 구조를 형성한다. 또한, 상판(43)의 상부면 상에 경첩(52)이 설치된다. 경첩(52)을 상부-리프팅 랙(5)에 축회전 가능하도록 결합함으로써, 상부-리프팅 랙(5)은 두 개의 측면 랙(40, 41)의 한쪽 말단과의 접합을 위한 접근 또는 이와 멀어지기 위한 인상(lifting)을 선택적으로 할 수 있다.
또한, 상부-리프팅 랙(5)에 접합하는 두 개의 측면 랙(40, 41)의 각 일측은 경사면(411, 401)을 포함하고, 같은 방식으로 두 개의 측면 랙(40, 41)에 접합하는 상부-리프팅 랙(5)의 양측은 경사접합면(51)을 포함한다. 따라서 측면 랙(40, 41)을 경사접합면(51)과 경사면(411, 401)을 통하여 상부-리프팅 랙(5)과 접합시킴으로써, 특별한 각도로 접합하는 효과가 달성된다. 예를 들면, 측면 랙(40, 41)과 상부-리프팅 랙(5)을 직각으로 두었다면, 이는 광원 모듈(6)이 직접 발광하는 것을 용이하게 함으로써 불필요한 굴절 또는 반사 메커니즘이나 장치를 사용하지 않아도 된다. 또한, 통과 구멍(53)은 상부-리프팅 랙(5) 상에 개구되도록 설치되고 렌즈튜브(3)의 내부에 정확하게 일치된다.
또한, 도시된 광원 모듈(6)은 발광부(61)를 포함하여 상부-리프팅 랙(5) 상에 설치되도록 설정되고, 상부-리프팅 랙(5) 상에 개구되도록 설치된 통과 구멍(53)에 일치되고 따라서 렌즈 튜브(3)에도 일치된다. 따라서 광원 모듈(6)의 발광부(61)에서 방출된 빛은 통과 구멍(53)을 통하여 렌즈 튜브(3)로 들어갈 수 있다. 또한, 포고타워(Pogo Tower)(1)는 검사를 수행하기 위한 반도체 칩(도시되지 않음)과 전기적으로 접촉하기 위하여 전면 덮개판(21)의 외면(213) 상에 설치되도록 설정된다. 반면에, 플러깅(plugging) 회로보드(23)는 케이스(2)의 덮개판(21)의 내면(212), 예를 들면, 후면 개구부(22) 안에 설치되도록 설정된다. 따라서 플러깅 회로보드(23) 상에는 두 개의 측면 랙(40, 41)의 양측에 각각 배치된 복수의 테스트회로보드 삽입슬롯(231)에 제공된다. 테스트회로보드 삽입슬롯(231)은 PE카드 (Pin Electronics Card)(232)를 삽입하는 용도로 사용된다.
또한, 도면에는 두 개의 공압 실린더(7)가 도시되어 있다. 각 공압 실린더(7)의 양 말단은 각각 두 개의 측면 랙(40, 41)과 상부-리프팅 랙(5)에 축회전 가능하도록 설치된다. 본 구현예에서, 두 개의 공압 실린더(7)는 질소 실린더이다. 질소 실린더를 사용함으로써, 본 발명은 인상(lifting)을 용이하게 하기 위한 보조적 힘을 가할 수 있고, 상부-리프팅 랙(5)을 지지하고 고정할 수 있다. 또한, 본 발명은 위치제한조절부재(8)를 더 포함할 수 있고 위치제한조절부재(8)의 양 말단은 각각 측면 랙(40) 및 상부-리프팅 랙(5)과 축회전 가능하도록 설치된다. 본 발명의 바람직한 구현예에서, 위치제한조절부재(8)는 위치제한레버(position-limiting lever)(81), 슬라이딩베이스(sliding base)(82) 및 회전베이스(83)를 포함하고, 위치제한레버(81)의 양 말단은 정지부(811)와 나사부재(812)를 포함한다. 슬라이딩베이스(82)는 상부-리프팅 랙(5) 상에 설치되도록 설정되고 회전베이스(83)는 측면 랙(40) 상에 축회전 가능하도록 설치된다.
반면에, 슬라이딩베이스(82)는 위치제한레버(81)를 관통하도록 설치되어 정지부(811)와 나사부재(812) 사이를 미끄러지는 왕복운동을 할 수 있고, 위치제한레버(81)의 나사부재(812)는 회전(83)을 고정하도록 나사식으로 회전된다. 따라서 슬라이딩베이스(83)의 슬라이딩 스트로크(sliding stroke)를 조절하기 위한 위치제한레버(81)의 나사부재(812)에 의하여 본 발명은 상부-리프팅 랙이 들리는 높이를 조절하고 제한할 수 있다.
또한, 본 발명은 제1 체결부(711)와 제2 체결부(712)를 포함하는 체결조임부재(71)를 포함한다. 제1 체결부(711)는 바닥판(42) 상에 설치되도록 설정되고 제2 체결부(712)는 상부-리프팅 랙(5) 상에 설치되도록 설정되며, 제1 체결부(711)와 제2 체결부(712)는 선택적으로 체결 또는 분리될 수 있다. 따라서 상부-리프팅 랙(5)을 측면 랙(40, 41)으로 고정함으로써 상부-리프팅 랙(5)이 흔들리거나 예기치 않게 들리는 것을 방지할 수 있다. 이와 같은 본 발명의 설계가 없다면 발광부(61)는 렌즈 튜브(3)와 일치될 수 없고 검사를 수행하는데 차질을 줄 것이다.
본 발명을 바람직한 구현예와 관련하여 설명하였으나, 특허청구범위에서 청구되는 본 발명의 범위를 벗어남이 없이 다른 많은 수정과 변형이 이루어질 수 있다는 것이 이해되어야 한다.
Claims (6)
- 내면과 외면을 포함하고 광 조사 구멍(light illuminating hole)과 함께 개구되도록 설치된 전면 덮개판, 및 후면 개구부를 포함하는 케이스;
상기 전면 덮개판의 상기 내면 상에 설치되어 상기 광 조사 구멍에 맞추어지도록 설정된 렌즈 튜브(lens tube);
상기 전면 덮개판의 상기 내면 상에 설치되도록 설정된 측면 랙(side rack);
상기 측면 랙에 축회전 가능하도록 연결되고, 상기 측면 랙의 한쪽 말단과의 접합을 위한 접근 또는 상기 측면 랙의 한쪽 말단으로부터의 후퇴를 위한 리프팅(lifting)을 선택적으로 할 수 있는 상부-리프팅 랙(upper-lifting rack); 및
상기 상부-리프팅 랙 상에 설치되도록 설정되고 상기 렌즈 튜브에 맞추어진 발광부를 포함하는 광원 모듈;
을 포함하는 광원 고정용 상부-리프팅 메커니즘을 가진 테스트 헤드(test head).
- 제1항에 있어서, 적어도 하나의 공압 실린더를 더 포함하고, 상기 적어도 하나의 공압 실린더의 양 말단은 각각 상기 측면 랙과 상기 상부-리프팅 랙 상에 축회전 가능하도록 설치되는 것을 특징으로 하는 광원 고정용 상부-리프팅 메커니즘을 가진 테스트 헤드.
- 제1항에 있어서, 위치제한조절부재를 더 포함하고, 상기 위치제한조절부재의 양 말단은 각각 상기 측면 랙과 상기 상부-리프팅 랙 상에 축회전 가능하도록 설치되는 것을 특징으로 하는 광원 고정용 상부-리프팅 메커니즘을 가진 테스트 헤드.
- 제1항에 있어서, 상기 전면 덮개판의 상기 내면 상에 설치되도록 설정된 또 하나의 측면 랙을 더 포함하고, 상기 측면 랙과 상기 또 하나의 측면 랙은 각각 상기 렌즈 튜브의 양쪽 면 상에 설치되는 것을 특징으로 하는 광원 고정용 상부-리프팅 메커니즘을 가진 테스트 헤드.
- 제4항에 있어서, 바닥판 및 체결조임부재를 더 포함하고, 상기 바닥판은 상기 측면 랙과 상기 또 하나의 측면 랙의 하부상에 설치되도록 설정되고, 상기 체결조임부재는 제1 체결부 및 제2 체결부를 포함하고, 상기 제1 체결부는 상기 바닥판 상에 설치되도록 설정되고, 상기 제2 체결부는 상기 상부-리프팅 랙 상에 설치되도록 설정되고, 상기 제1 체결부와 상기 제2 체결부는 체결과 분리를 선택적으로 할 수 있는 것을 특징으로 하는 광원 고정용 상부-리프팅 메커니즘을 가진 테스트 헤드.
- 제4항에 있어서, 상판 및 경첩을 더 포함하고, 상기 상판은 상기 측면 랙과 상기 또 하나의 측면 랙의 상부상에 설치되도록 설정되고, 상기 경첩은 상기 상판과 상기 상부-리프팅 랙 상으로 축회전 가능하게 연결되도록 설정되는 것을 특징으로 하는 광원 고정용 상부-리프팅 메커니즘을 가진 테스트 헤드.
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| TW099211448 | 2010-06-15 | ||
| TW099211448U TWM391099U (en) | 2010-06-15 | 2010-06-15 | Testing head with flip-up fixing mechanism |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20110136672A true KR20110136672A (ko) | 2011-12-21 |
Family
ID=45503293
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020100083331A KR20110136672A (ko) | 2010-06-15 | 2010-08-27 | 광원 고정용 상부-리프팅 메커니즘을 가진 테스트 헤드 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR20110136672A (ko) |
| TW (1) | TWM391099U (ko) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103837714A (zh) * | 2012-11-27 | 2014-06-04 | 海洋王（东莞）照明科技有限公司 | 双端气体放电灯测试装置及其固定结构 |
-
2010
- 2010-06-15 TW TW099211448U patent/TWM391099U/zh not_active IP Right Cessation
- 2010-08-27 KR KR1020100083331A patent/KR20110136672A/ko active IP Right Grant
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103837714A (zh) * | 2012-11-27 | 2014-06-04 | 海洋王（东莞）照明科技有限公司 | 双端气体放电灯测试装置及其固定结构 |
| CN103837714B (zh) * | 2012-11-27 | 2016-09-07 | 海洋王（东莞）照明科技有限公司 | 双端气体放电灯测试装置及其固定结构 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| TWM391099U (en) | 2010-10-21 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7056000B2 (en) | Apparatus for testing a light emitting device, and a method for testing light emitting devices | |
| US6297654B1 (en) | Test socket and method for testing an IC device in a dead bug orientation | |
| TW200730842A (en) | Camera based pin grid array (PGA) inspection system with pin base mask and low angle lighting | |
| KR102083759B1 (ko) | 광학기구 정렬 검사장치 | |
| EP2620699A1 (en) | Illumination device, and illumination system provided with multiple illumination devices | |
| JP2009530665A5 (ko) | ||
| US20100328449A1 (en) | Support stand and imaging measurement device using the same | |
| US20200260936A1 (en) | Light source apparatus for endoscope | |
| KR20110136672A (ko) | 광원 고정용 상부-리프팅 메커니즘을 가진 테스트 헤드 | |
| JP2006214859A (ja) | 撮像装置 | |
| TWI465788B (zh) | 攝像模組及其組裝方法 | |
| US20040150798A1 (en) | Fixing structure for light valve | |
| TWI300480B (en) | Apparatus for testing circuit boards | |
| US20210406572A1 (en) | Biometric information imaging device | |
| TW201923369A (zh) | 光源測試裝置 | |
| US20210200065A1 (en) | Lens device with shading structure | |
| JP2982614B2 (ja) | イメージスキャナ装置 | |
| KR20200070870A (ko) | 카메라 모듈 검사용 소켓 | |
| CN219845521U (zh) | 一种可视化医用辅助设备 | |
| TWI722743B (zh) | 具有遮光結構的鏡頭裝置 | |
| KR100365761B1 (ko) | 이미지센서 칩 테스트 장치 | |
| CN208353462U (zh) | 视觉装置 | |
| CN219736569U (zh) | 光谱传感器模组检测装置 | |
| TWI470211B (zh) | A light-emitting diode-illuminated reflective imaging device | |
| KR200387223Y1 (ko) | 리플렉터의 어댑터 구조 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A201 | Request for examination | ||
| E902 | Notification of reason for refusal | ||
| E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
| NORF | Unpaid initial registration fee |