KR20110117028A - 반사굴절식 카세그레인 대물렌즈 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 영상 면(image plane)(9)에 피사체(34)를 촬상하기 위한 반사굴절식 카세그레인 대물렌즈(CATADIOPTRIC CASSEGRAIN OBJECTIVE)(20)에 관한 것이며, 오목형의 1차 거울(24), 볼록형의 2차 거울(26) 및 상기 1차 거울 및 2차 거울(24, 26)의 수차를 보정하기 위한 복수의 보정 렌즈(28, 30, 32)를 포함한다. 매우 소형이면서 완전하게 수동적으로 온도 보상된 대물렌즈(20)는 매우 큰 시야각 6°과 매우 낮은 수차로 촬상하는 데 사용될 수 있으며 적어도 하나의 비구면 보정 렌즈(28)가 빔 경로(40) 중, 상기 1차 거울(24)에서의 반사 후 그리고 상기 2차 거울(26)에서의 반사 전의 경로 내에 배치된다.

Description

반사굴절식 카세그레인 대물렌즈{CATADIOPTRIC CASSEGRAIN OBJECTIVE}
본 발명은 영상 면(image plane)에 피사체를 촬상하기 위해, 오목형 1차 거울, 볼록형 2차 거울 및 상기 1차 및 2차 거울의 수차를 보정하기 위한 일련의 보정 렌즈를 구비하는 굴절식 카세그레인 대물렌즈에 관한 것이다.
반사 망원경은 통상적으로 포물선 1차 거울 및 쌍곡선 2차 거울을 사용하여, 영상 면에 피사체를 촬상한다. 이러한 2개-거울 설계에 의해서는, 구면 수차(spherical abberation) 및 코마 수차(coma)를 보정할 수 있지만, 비점 수차의 비축 수차(off-axis abberation) 및 상면만곡의 비축 수차를 보정할 수는 없다. 결과적으로, 카세그레인 대물렌즈는 통상적으로 직경이 1°인 매우 작은 시야각과 결합해서 사용할 때에만 적절하다. 시야각이 더 넓은 경우에는 보정 렌즈를 설치해야 한다. 이러한 시스템을 반사굴절식 카세그레인 대물렌즈라고 표기한다. 시야각은 직경을 3°까지 확장할 수 있으며, 보정 렌즈에 의해 수차들을 수용할 수 있다. 그렇지만, 이러한 보정 렌즈를 사용하면 대물렌즈를 더 크게 설계해야 한다.
본 발명의 목적은 소형의 반사굴절식 카세그레인 대물렌즈를 설명하는 것이다.
이 목적은 서두에서 언급한 타입의 반사굴절식 카세그레인 대물렌즈에 의해 달성되는 데, 이 경우 복수의 보정 렌즈 중 적어도 하나가, 빔 경로의 통로에서, 1차 거울에서의 반사 후 그리고 2차 거울에서의 반사 전의 경로 내에 배치된다. 하나의 보정 렌즈를 상기 1차 거울과 2차 거울 사이의 빔 경로의 통로에 배치함으로써 대물렌즈를 소형으로 설계하는 목적이 달성된다. 특히 이로운 보정 렌즈의 실시예에서, 이러한 배치에 의해, 대물렌즈가 받아들일 수 있는 수차를 가지며, 더 큰 시야각, 특히 직경 6°까지의 시야각에 있어서, 적절하게 될 수 있다.
도 1은 본 발명의 예시적 실시예에 따른 개략도이다.
1차 거울, 2차 거울 및 복수의 보정 렌즈가 배치되어 있는 대물렌즈를 이하에서 반사굴절식 카세그레인 대물렌즈라 할 수 있다. 1차 거울은 포물선형이고 2차 거울은 쌍곡선형이지만, 이것이 필수 사항은 아니다.
복수의 보정 렌즈는 상기 1차 및 2차 거울 중 적어도 하나의 수차를 보정하는 기능을 하며, 상기 1차 및 2차 거울과 함께 완전한 대물렌즈를 형성할 수 있다. 예를 들어, 상기 1차 및 2차 거울의 광학적 오차를 보정하는 데 기여하지 않는 커버 글래스 또는 보호 글래스, 필터 또는 그외 광학적 소자를 제외하곤, 검출기가 유리하게 배치되어 있는 영상 면과, 대물렌즈의 외측에 있는 피사체에 직선적으로 향하는 빔 경로의 부분 사이에 존재하는, 대물렌즈를 위한 추가의 렌즈 또는 빔-형성 광학 소자(baam-shaping optical element)가 없는 것이 합당하다.
복수의 보정 렌즈의 적어도 두 개의 비구면 표면(aspheric surface)은 비점 수차(astigmatism)를 보정하는 데 필요하다. 상기 1차 거울과 2차 거울 사이의 빔 경로에서 복수의 보정 렌즈의 광학적 표면 중 적어도 하나는 바람직하게 비구면인데, 특히 외측 표면이 비구면이며, 즉, 빔 경로에서, 촬상된 피사체의 방향으로 또는 1차 거울에 대해 회전하는 표면이다. 하나의 보정 렌즈, 즉 빔 경로에서 1차 거울과 2차 거울 사이에 놓이는 렌즈는 바람직하게 구부러질 수 있는데, 즉 오목 광학 면 및 볼록 광학 면을 구비한다.
본 발명의 바람직한 요건에서, 빔 경로는 하나의 보정 렌즈를 통해 2회 안내된다. 빔 경로는 그러므로 하나의 보정 렌즈를 통해 외측 방향(outward directioin) 및 복귀 방향(return direction)으로 안내된다. 이에 따라 대물렌즈의 설계를 마찬가지로 매우 소형으로 할 수 있다. 이로운 진전에 따라, 빔 경로는 하나의 보정 렌즈의 중심 개구를 통해, 특히 상기 하나의 보정 렌즈를 통해 그 복귀 방향으로 안내된다. 이에 의해 상기 하나의 보정 렌즈가 필요로 하지 않는 중앙 설계 공간을, 추가의 광학 소자를 위한 설계 공간으로서 이용하는 것이 가능하게 된다.
이러한 배치는, 나머지 보정 렌즈들을 상기 개구의 공간 영역에 적어도 부분적으로 배치하면 더욱 소형화될 수 있다. 이 경우, 이러한 공간 영역은, 복수의 보정 렌즈의 단단한 본체가 채워지는 영역이 개구이지만 제공되지 않을 때, 구성될 수 있다. 그 결과, 단단한 본체는 개구의 영역에 2개의 허수면-지표면(imaginary plane-ground surface), 또는 하나의 보정 렌즈의 내측 표면 및 외측 표면의 곡선을 이루는 기하학적 구성(curved geometry)이 계속 이어지는 허수면을 가질 수 있다.
본 발명의 추가의 이로운 실시예에서는, 하나의 보정 렌즈, 즉 1차 거울과 2차 거울 사이의 빔 경로에 배치되어 있는 렌즈가, 2차 거울을 지지하는 캐리어 렌즈(carrier lens)이다. 렌즈의 이중 기능, 구체적으로 광학 기능 및 기계적 기능으로 인해, 추가의 지지 소자를 배치하는 것이 가능하며, 이에 따라 대물렌즈는 더 소형화될 수 있다. 캐리어 렌즈는 대물렌즈 내의 2차 렌즈가 느슨해지지 않으면서 2차 거울을 지지하는 구조체를 형성할 수 있다. 2차 렌즈를 위한 이러한 목적이 그 외측의 방사 주변에서 2차 거울에 기계적으로 고정되어 연결되는 것이 바람직하다. 보정 렌즈와 2차 거울 사이에는 내부 공간이 제공되는 데, 이 내부 공간에서는 빔 경로가 2차 거울 쪽으로 그리고 2차 거울로부터 멀어지게 횡단한다.
하나의 보정 렌즈가 산란 광 튜브(scattered light tube)에 의해 지지(support)되는 것도 제안된다. 산란 광 튜브의 이중 기능, 구체적으로 광학적 스크리닝 기능 및 기계적 홀딩 기능으로 인해, 추가의 지지 소자를 배치하는 것이 가능하며, 대물렌즈는 소형으로 유지될 수 있다. 여기서 지지(support)라 함은 지지 소자, 이 경우 보정 렌즈가 지지 없이 대물렌즈에서 느슨하게 될 수 있다는 것을 의미한다. 산란 광 튜브는 대물렌즈의 공간적 중심 영역을, 외부로부터 산란된 광에 대해 방사상으로 위쪽으로 차단한다. 1차 거울에 단단하게 연결되고 1차 거울의 위에 대해서는 직접적으로 고정될 수 있는 것이 바람직하다.
또한, 산란 광 튜브가 하나의 보정 렌즈를 통해 2차 거울을 지지할 때, 상기 하나의 보정 렌즈를 통해 산란 광 튜브에 의해 간접적으로 상기 2차 거울이 대물렌즈 내의 그 위치에 유지되도록 하는 것이 바람직하다.
영상 면이 1차 거울과 2차 거울 사이의 공간 영역 내에 배치될 때 소형화 설계가 마찬가지로 촉진된다. 여기서는 1차 거울과 2차 거울 사이에서 공간적으로 피사체의 영상을 기록하기 위한 검출기를 배치하는 것이 바람직하다.
또한, 대물렌즈의 모든 보정 렌즈가 이 대물렌즈의 공간적 최외각 소자와 상기 1차 거울과 2차 거울 사이의 공간 영역에서의 영상 면 사이에 배치되는 것이 바람직하다. 상기 공간적 최외각 소자는 이 경우 대물렌즈의 소자인데 빔 경로 내의 피사체에 가장 근접해서 배치된다. 여기서는 모든 보정 렌즈가 1차 거울보다 2차 거울에 더 가깝게 배치되는 것이 바람직하다. 이에 의해 빔 경로에서 볼 때 영상 면 너머에 있는 추가의 소자가 1차 거울과 2차 거울 사이의 공간을 얻도록 하고 결굴 대물렌즈 내측에 있게 되는 것이 가능하다.
보정 렌즈의 수는 적어도 3개인 것이 바람직하지만, 특히, 많아야 3개인 것이 바람직하다. 보조 렌즈들은 대물렌즈의 유일한 렌즈인 것이 바람직한데, 즉 촬상될 피사체와 영상 면 사이의 유일한 렌즈이다. 복수의 보정 렌즈는 2개의 수렴 렌즈(converging lens) 및 발산 렌즈(diverging lens)로 이루어지는 것이 바람직하다. 복수의 보정 렌즈는 적어도 두 개의 비구면을 포함하는 데, 이 두 개의 비구면 중 적어도 하나는 수렴 렌즈 위에 배치되고 적어도 하나는 발산 렌즈 위에 배치된다.
보정 렌즈의 수는 서로 다른 광학적 속성을 가지는 두 개의 그룹으로 분할되는 것이 바람직하다. 그러므로 제1 그룹은 하나 이상의 수렴 렌즈를 독점해서 가질 수 있고, 제2 그룹은 하나 이상의 발산 렌즈를 독점으로 가질 수 있다. 제1 그룹의 모든 렌즈는 동일한 재료로 형성되는 것이 바람직하며, 제2 그룹의 모든 렌즈는 서로 다른 재료로 형성되는 것이 바람직하다. 제1 그룹의 렌즈들이 제2 그룹의 가능한 수 개의 렌즈보다 낮은 색 수차를 가지도록 하는 것이 바람직하다. 여기서, 제1 그룹의 색 수차는 제2 그룹의 색 수차의 역(reverse) 또는 네거티브(negative)인 것이 바람직하다. 제1 그룹의 렌즈는 제2 그룹의 가능한 수 개의 렌즈의 색 수차를 보상하는 것이 바람직하다.
본 발명의 바람직한 추가의 실시예에서, 복수의 보정 렌즈는 적어도 두 개 그룹으로 이루어지되 각각의 그룹이 적어도 하나의 보정 렌즈를 포함하며, 온도 변화가 있는 경우, 한 그룹의 보정 렌즈에서 광학적 변화가 나타나며, 다른 그룹의 보정 렌즈가 상기 광학적 변화를 적어도 부분적으로 보정한다. 광학적 변화는 초점 거리의 변화일 수 있다. 이에 의해 온도가 변할 때조차도 피사체가 항상 영상 면에서 선명하게 촬상되도록 적어도 부분적으로 대물렌즈의 수동적 온도 보상(passive temperature compensation)이 달성될 수 있다.
1차 거울의 반사 면의 기판 재료가 2차 거울의 반사 면의 기판 재료보다 열 팽창 계수가 클 때 온도 보상은 촉진된다. 적어도 2배, 특히 5배 큰 열 팽창 계수가 이롭다. 또한, 1차 거울과 2차 거울 사이의 스페이서 재료(spacer material), 예를 들어 산란 광 튜브 및 광학적 캐리어 렌즈와 관련해서, 1차 거울의 반사 면의 기판 재료에 대해서도 동일하게 유지된다.
2차 거울의 기판 재료는 1차 거울과 2차 거울 사이의 빔 경로에 배치되어 있는 하나의 보정 렌즈의 재료와 동일한 것이 바람직하다. 또한, 2차 거울의 기판 재료가 산란 광 튜브의 재료와 동일할 때 이롭다. 또한, 하나의 보정 렌즈의 재료가 산란 광 튜브의 재료와 동일할 때도 이롭다. 대물렌즈의 기계적 안정성은 한 가지 방식 또는 온동 변동이 큰 경우에는 다른 방식으로 확보될 수 있다.
또한, 상기 보정 렌즈가 1차 거울의 초점 거리보다 적어도 1/2, 특히 적어도 1/3만큼 작은 초점 거리를 가질 때 이롭다.
본 발명의 예시적 실시예를 설명하는 이하의 도면에 대한 상세한 설명은 추가의 이점을 제공한다. 도면 및 상세한 설명은 당업자가 개별적으로 이롭게 고려하고, 감각적인 추가의 조합을 형성할 조합으로 다수의 특징을 포함한다.
도면에서 단독의 특징에 미사일(14)의 호밍 헤드(homing head)(12)가 도시되어 있으며, 이 호밍 헤드의 선단부는 투명 돔(16)으로 경계가 이루어진다. 투명성은 검출기(18), 예를 들어 매트릭스 검출기가 감지하는 파장 영역에서의 전자기 방사와 관련되어 있다. 호밍 헤드(12)에는 지렛대 받침(fulcrum)(22)을 중심으로 메커니즘(도시되지 않음)에 의해 2차원으로 피봇팅될 수 있는 반사굴절식 카세그레인 대물렌즈의 형태로 대물렌즈가 배치되어 있다. 대물렌즈(10)는 오목 반사 면(1)을 가지는 비구면 1차 거울(24), 볼록 반사 면(4)을 가지는 비구면 2차 거울(26), 및 상기 1차 거울 및 2차 거울의 비점 수차를 보정하기 위한 3개의 보정 렌즈(38, 30, 32)를 포함한다.
제1 보정 렌즈(28)는 높은 포지티브 굴절력(refractive power) 및 포지티브 벤딩(bending)을 가지는 수렴 렌즈이다. 2차 보정 렌즈(30)는 발산 렌즈이고, 강력한 네거티브 굴절력을 가지며, 마찬가지로 포지티브 벤딩을 가진다. 3차 보정 렌즈(32)는 제1 보정 렌즈(28)보다 낮은 포지티브 굴절력 및 네거티브 벤딩을 가진다.
멀리 이동해 있고 호밍 헤드(12) 외측에 있는 피사체(24)는 대물렌즈(20)에 의해 촬상되는 데, 즉 대물렌즈(20)의 영상 면(11)에 놓여 있는 검출기(18) 위의 1차 거울 및 2차 거울(24, 26) 및 3개의 보정 렌즈(28, 30, 32)에 의해 촬상된다. 검출기(18)는 3㎛ 내지 5㎛의 중간 적외선 영역에서 민감하며, 냉각기(36)에 의해 냉각되며 신호를 보내기 위한 처리 수단(38)에 연결되어 있다. 처리 수단(38)은 피사체(34)의 영상 처리 및 영상의 평가를 위해 설치된다.
대물 렌즈(20)의 특별한 설계에 의해 두 가지 이점이 달성된다: 먼저, 대물렌즈(20)는 매우 소형이고, 둘째, +/- 3°의 시야각으로 촬상할 수 있는 데, 즉, 6°의 직경이고, 영상 면(11)에서의 비점 수차가 매우 낮다. 또한, 매우 소형의 구성인 동시에 온도 변화에 안정적이기 때문에, -50°내지 +70°의 온도 변동에서도 피사체를 영상 면(11)에 선명하게 촬상한다. 이러한 장점은 특히 3개의 보정 렌즈(28, 30, 32)의 타입 및 배치에 의해 달성되며, 3개의 보정 렌즈 중 제1 보정 렌즈(28)는 1차 거울과 2차 거울(24, 26) 사이의 빔 경로(40)에 배치되는 데, 즉 피사체(34)로부터 입사하는 광 빔의 반사 면(3) 상에서의 반사 후 그리고 반사 면(6) 상에서의 반사 전의 경로 내에 배치된다.
빔 경로 내의 제1 보정 렌즈(28)는 접시 형으로 설계되어 있으며, 그 주변부의 가장자리는 원형으로 2차 거울(26)에 직접 연결되어 고정되어 있다. 이러한 방식에서, 보정 렌즈(28)는 2차 거울(26)을 지지하는 캐리어 렌즈를 형성한다. 그 중심에서, 보정 렌즈(28)는 개구(42)를 가지는 데, 이 개구(42)를 통해 빔 경로(40)가 2차 거울(26)로부터 검출기(18)로 안내된다. 다른 2차, 3차 보정 렌즈(30, 32)는 개구(42)의 공간 영역에 배치된다.
제1 보정 렌즈(28)는 산란 광 튜브(44) 상의 개구(42)의 영역 내에 직접 고정되어 있고, 이에 의해 산란 광 튜브(44)는 제1 보정 렌즈(28)와 2차 거울(26)을 모두 지지한다. 산란 광 튜브(44)는 제1 보정 렌즈(28)에 대향하는 측면 상에서 1차 거울(24)에 연결되어 있으며, 이에 따라 1차 거울(24)과 2차 거울(26) 사이에서 단단하게 연결된다.
렌즈 트리플릿(lens triplet) 중 두 개의 렌즈(28, 32)는 실리콘으로 만들어진 수렴 렌즈이고, 3㎛ 내지 5㎛의 중간 영역에서 매우 작은 색 수차를 가진다. 중간의 보정 렌즈(30)는 게르마늄으로 만들어진 발산 렌즈이다. 실리콘과는 상대적으로, 게르마늄은 크고 반대인 색 수차를 가지며, 이에 따라 두 개의 외측 보정 렌즈(28, 32)의 색 수차는 중간의 보정 렌즈(30)의 색 수차에 의해 보상된다. 3개의 조의 렌즈는 2개의 비구면으로 설계되는 데, 구체적으로 보정 렌즈(28)의 외측 표면(4) 및 보정 렌즈(30)의 외측 표면(5) 상의 비구면으로 설계된다.
1차 거울 및 2차 거울(24, 26)의 반사 면(3, 6), 보정 렌즈(28)의 광학 면(4, 5), 보정 렌즈(30)의 광학 면(7, 8), 및 보정 렌즈(32)의 광학 면(9, 10)에 대한 기하학적 데이터가 이하의 표에 주어진다:
Figure pat00001
원뿔형 및 다항 비구면 데이터가 이하의 표에 주어진다:
Figure pat00002
비구면 데이터는 비구면에 대한 이하의 공식에 따라 규정된다.
Figure pat00003
r은 방사 좌표(radial coordiante)를 나타내며, cv는 곡률을 나타내고, cc는 원추 곡면 계수(conic constant)를 나타낸다. ad, ae, af, ag는 비구면 계수이다.
보정 렌즈(28, 30, 32)의 재료 선택으로 인해, 렌즈 트리플릿으로서의 광학적 특성은 어느 정도 수동적으로 온도 보상되는 데, 왜냐하면 수렴 렌즈로서의 실리콘이 낮은 온도 의존성을 가지고, 게르마늄이 굴절률에 대한 높은 온도 의존성을 가지지만, 발산 렌즈에 대해 반대 방향이거나 또는 실리콘에 대한 음의 부호를 가기지 때문이다. 그렇지만, 창조적인 대물렌즈 설계의 경우, 거울 및 스페이서 재료에 대한 선택을 통해 -50°내지 +70°의 큰 구간에서 적어도 크게 그리고 완전한 수동적 온도 보상을 새로운 방식으로 달성하는 것이 가능하다. 1차 거울(24), 또는 적어도 1차 거울(24)의 반사 면의 지지부가, 알루미늄과 같이, 합당하게 20 x 10-6 K-1(실내 온도) 이상인 제1 열 팽창을 가지는 재료로 구성될 때 이러한 목적은 바람직하다. 2차 거울(26), 또는 적어도 2차 거울(26)의 반사 면의 지지부, 및 도시된 예시적 실시예에서, 산란 광 튜브(44) 및 캐리어 렌즈(28)로 이루어지는 1차 거울(24)과 관련된 스페이서 재료, 마찬가지로 생각해 낼 수 있는 바람직한 그외의 배치는, 대조적으로, 낮은 열 팽창을 가지는 재료로 이루어지는 데, 예를 들어 티타늄과 같이, 바람직하게 10 x 10-6 K-1 이하인, 더 바람직하게는, 실리콘과 같이, 2.5 x 10-6 K-1 이하인 낮은 열 팽창을 가지는 재료로 이루어진다.
1 표면
2 표면
3 반사 면
4 표면
5 표면
6 반사 면
7 표면
8 표면
9 표면
10 표면
11 영상 면
12 호밍 헤드
14 미사일
16 돔
18 검출기
20 대물렌즈
22 지렛대 받침
24 1차 거울
26 2차 거울
28 보정 렌즈
30 보정 렌즈
32 보정 렌즈
34 피사체
36 냉각기
38 처리 수단
40 빔 경로
42 개구
44 산란 광

Claims (11)

  1. 영상 면(image plane)(11)에 피사체(34)를 촬상하기 위한 반사굴절식 카세그레인 대물렌즈(CATADIOPTRIC CASSEGRAIN OBJECTIVE)(20)에 있어서,
    오목형의 1차 거울(24), 볼록형의 2차 거울(26) 및 상기 1차 거울 및 상기 2차 거울의 수차를 보정하기 위한 복수의 보정 렌즈(28, 30, 32)를 포함하며,
    상기 복수의 보정 렌즈 중 적어도 하나(28)는, 빔 경로(40) 중, 상기 1차 거울(24)에서의 반사 후 그리고 상기 2차 거울(26)에서의 반사 전의 경로 내에 배치되는, 반사굴절식 카세그레인 대물렌즈.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 빔 경로(40)는 상기 하나의 보정 렌즈(28)의 중심 개구(central opening)(42)를 통해 안내되는, 반사굴절식 카세그레인 대물렌즈.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 복수의 보정 렌즈 중 나머지 렌즈들(30, 32)은 상기 중심 개구(42)의 공간 영역에 적어도 부분적으로 배치되는, 반사굴절식 카세그레인 대물렌즈.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 하나의 보정 렌즈(28)는 상기 2차 거울(26)을 지지하는 캐리어 렌즈(carrier lens)인, 반사굴절식 카세그레인 대물렌즈.
  5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 하나의 보정 렌즈(28)는 산란 광 튜브(scattered light tube)(44)에 의해 지지되는, 반사굴절식 카세그레인 대물렌즈.
  6. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 영상 면(11)은 상기 1차 거울(24)과 상기 2차 거울(26) 사이의 공간 영역에 배치되는, 반사굴절식 카세그레인 대물렌즈.
  7. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 복수의 보정 렌즈(28, 30, 32)는 상기 1차 거울(24)과 상기 2차 거울(26) 사이의 공간 영역에서 상기 영상 면(11)과 상기 피사체(34)와 사이에 배치되는, 반사굴절식 카세그레인 대물렌즈.
  8. 제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 복수의 보정 렌즈(28, 30, 32)는 적어도 두 개의 그룹으로 이루어지되, 각각의 그룹이 적어도 하나의 보정 렌즈(28, 30, 32)를 포함하며,
    온도 변화가 있는 경우, 한 그룹의 보정 렌즈(30)에서 광학적 변화가 나타나며,
    다른 그룹의 보정 렌즈(28, 32)가 상기 광학적 변화를 적어도 부분적으로 보정하는, 반사굴절식 카세그레인 대물렌즈.
  9. 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 1차 거울(24)의 반사 면(3)의 기판 재료는 상기 2차 거울(26)의 반사 면(6)의 기판 재료보다 큰 열 팽창 계수를 가지는, 반사굴절식 카세그레인 대물렌즈.
  10. 제1항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 2차 거울(26)의 반사 면(6)의 기판 재료는 상기 하나의 보정 렌즈(28)의 렌즈 재료와 같은, 반사굴절식 카세그레인 대물렌즈.
  11. 제1항 내지 제10항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 하나의 보정 렌즈(28)는 상기 1차 거울(24)의 초점 거리보다 적어도 1/2만큼 작은 초점 거리를 가지는, 반사굴절식 카세그레인 대물렌즈.
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