KR20110090228A - 치수 측정 장치 - Google Patents

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KR20110090228A
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Abstract

치수 측정 장치가 제공된다. 치수 측정 장치는 광을 이용하여 대상물의 일단측 치수를 검출하는 제1 검출부, 상기 제1 검출부와 대응하여 일정 거리 이격되며, 광을 이용하여 대상물의 타단측 치수를 검출하는 제2 검출부, 상기 제1 검출부 및 상기 제2 검출부 각각에 의하여 검출되는 치수들과 상기 제1 검출부와 상기 제2 검출부의 이격된 거리에 기초하여 상기 대상물의 전체 치수를 산출하는 제어부를 포함한다.

Description

치수 측정 장치{Apparatus for measuring a size}
본 발명은 치수 측정 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 잉곳의 직경 측정 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 웨이퍼 제조 공정은 모래에서 규소(Si)를 추출, 정제하여 실리콘 원재료를 생성한 후 원하는 불순물을 주입하여 N형 또는 P형 실리콘 잉곳(ingot)을 제조하고, 제조된 실리콘 잉곳을 원하는 두께로 자르는 슬라이싱(slicing) 공정을 통하여 웨이퍼를 만든다.
잉곳은 단결정 성장로에서 성장되며, 성장된 잉곳(ingot)의 양호함을 체크하기 위하여 슬라이싱 공정 이전에 잉곳의 단위 길이당 직경(diameter)을 측정한다.
도 1은 버니어 캘리퍼스를 사용하여 잉곳의 직경을 측정하는 것을 나타내며, 도 2는 공압식 버니어 캘리퍼스를 사용하여 잉곳의 직경을 측정하는 것을 나타낸다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 일반적으로 직경이 200mm이하인 잉곳의 생산 공정에서는 버니어 캘리퍼스를 사용하는 직경 측정 방식이 사용된다. 즉 버니어 캘리버스(vernier calipers, 120)를 사용하여 잉곳(110)의 직경(D1)을 직접 측정할 수 있다. 또한 공압 실린더에 의한 버니어 캘리퍼스(130)를 사용하여 잉곳(110)의 직경(W1-(W2+W3))을 직접 측정할 수 있다.
직경이 300mm 정도인 잉곳의 생산 공정에서는 길이에 따라 사용자가 직접 측정하는 접촉식 측정 방식을 사용할 수도 있다.
버니어 캘리퍼스(120 또는 130)를 사용하는 직경 측정 방식은 측정자마다 측정 편차가 발생할 우려가 있고, 측정을 위한 작업 시간이 오래 걸리며, 작업자가 직접 측정하기 때문에 정확도가 떨어진다 또한 접촉식 측정 방식은 잉곳의 오염 또는 파손의 우려가 있다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 작업 시간을 단축시키고, 측정 편차가 없으며, 길이당 연속적인 직경 측정이 가능한 비접촉식의 치수 측정 장치를 제공하는데 있다.
상기와 같은 과제를 달성하기 위한 본 발명의 실시 예에 따른 치수 측정 장치는 광을 이용하여 대상물의 일단측 치수를 검출하는 제1 검출부, 상기 제1 검출부와 대응하여 일정 거리 이격되며, 광을 이용하여 대상물의 타단측 치수를 검출하는 제2 검출부, 상기 제1 검출부 및 상기 제2 검출부 각각에 의하여 검출되는 치수들과 상기 제1 검출부와 상기 제2 검출부의 이격된 거리에 기초하여 상기 대상물의 전체 치수를 산출하는 제어부를 포함한다.
본 발명의 실시 예에 따른 치수 측정 장치는 상기 제1 검출부와 상기 제2 검출부가 대향하는 방향 또는 그 반대 방향으로 상기 제1 검출부와 상기 제2 검출부 사이의 이격된 거리를 조정하는 거리 조절부를 더 포함할 수 있다. 또한 본 발명의 실시 예에 따른 치수 측정 장치는 상기 제1 검출부 및 상기 제2 검출부를 상기 제1 검출부와 상기 제2 검출부가 대향하는 방향과 수직인 방향으로 동시에 이동시키는 이동부를 더 포함할 수 있다.
상기와 같은 과제를 달성하기 위한 본 발명의 실시 예에 따른 치수 측정 장치는 광을 조사하는 제1 발광부, 상기 제1 발광부와 제1 방향으로 이격되고, 상기 제1 발광부로부터 조사되는 광 중에서 대상물의 일단측에 의하여 미차단되는 광을 수광하여 상기 일단측의 치수를 검출하는 제1 수광부, 제2 방향으로 상기 제1 발광부와 이격되어 위치하며, 광을 조사하는 제2 발광부, 및 상기 제2 발광부와 상기 제1 방향으로 이격되고, 상기 제2 방향으로 상기 제1 수광부와 이격되어 위치하며, 상기 제2 발광부로부터 조사되는 광 중에서 상기 대상물의 타단측에 의하여 미차단되는 광을 수광하여 상기 타단측의 치수를 검출하는 제2 수광부를 포함하며, xyz좌표계에서 상기 제1 방향은 z축 방향이고, 상기 제2 방향은 x축 방향인 것을 특징으로 한다.
또한 본 발명의 다른 실시 예에 따른 치수 측정 장치는 상기 일단측의 치수, 상기 타단측의 치수, 및 상기 제1 수광부와 상기 제2 수광부의 이격되는 거리에 기초하여 상기 대상물의 전체 치수를 산출하는 제어부를 더 포함할 수 있다.
또한 본 발명의 다른 실시 예에 따른 치수 측정 장치는 상기 제1 발광부와 상기 제2 발광부 사이의 이격되는 거리, 및 상기 제1 수광부와 상기 제2 수광부 사이의 이격되는 거리를 조정하는 거리 조절부를 더 포함할 수 있다.
또한 본 발명의 다른 실시 예에 따른 치수 측정 장치는 상기 제1 발광부, 상기 제2 발광부, 상기 제1 수광부, 및 상기 제2 수광부를 제3 방향으로 동시에 동일한 거리만큼 이동시키는 이동부를 더 포함하고, 상기 제3 방향은 xyz좌표계에서 y축 방향인 것을 특징으로 한다.
본 발명의 실시 예에 따른 치수 측정 장치는 레이저 마이크로미터를 사용하기 때문에 대상물의 직접적인 접촉이 없으므로 제품의 오염 및 파손의 우려가 없고, 고속의 응답성을 보이며, 측정값의 반복성에 따른 정밀한 측정값이 확보되며, 서보 모터를 이용하기 때문에 고분해능의 특성을 보이므로 연속에 가까운 측정값을 얻을 수 있는 효과가 있다.
도 1은 버니어 캘리퍼스를 사용하여 잉곳의 직경을 측정하는 것을 나타낸다.
도 2는 공압식 버니어 캘리퍼스를 사용하여 잉곳의 직경을 측정하는 것을 나타낸다.
도 3a는 본 발명의 실시 예에 따른 잉곳의 직경 측정 장치의 사시도를 나타낸다.
도 3b는 도 3a에 도시된 잉곳의 직경 측정 장치의 단면도를 나타낸다.
도 4는 도 3b에 도시된 치수 측정 장치의 일부분의 확대도이다.
도 5는 치수 측정 장치에 의하여 측정되는 잉곳의 직경을 나타내는 표이다.
도 6은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 치수 측정 장치를 나타낸다.
도 7a는 제1 마이크로미터와 제2 마이크로미터 사이의 이격 거리의 하한 값을 나타낸다
도 7b는 제1 마이크로미터와 제2 마이크로미터 사이의이격 거리의 상한 값을 나타낸다.
이하, 본 발명의 기술적 과제 및 특징들은 첨부된 도면 및 실시 예들에 대한 설명을 통하여 명백하게 드러나게 될 것이다. 본 발명을 구체적으로 살펴보면 다음과 같다.
도 3a는 본 발명의 실시 예에 따른 치수 측정 장치의 사시도를 나타내며, 도 3b는 도 3a에 도시된 치수 측정 장치의 일 단면도를 나타내고, 도 4는 도 3b에 도시된 치수 측정 장치의 일부분의 확대도이다. 도 3a, 도 3b, 및 도 4는 잉곳의 직경을 측정하는 실시 예를 나타낸다.
도 3a, 도 3b, 및 도 4를 참조하면, 치수 측정 장치(300)는 제1 발광부(312), 제1 수광부(322), 제2 발광부(314), 제2 수광부(324), 거리 조절부(332,334), 이동부(360), 및 제어부(335)를 포함한다.
제1 발광부(312)는 제1 수광부(322)를 향하여 일정한 광 조사 영역(이하 "제1 광 조사 영역"이라 한다)을 갖도록 광(342, 예컨대, 레이저(laser))을 조사한다. 여기서 일정한 광 조사 영역이라 함은 제1 발광부(312)에서 제1 수광부(322)로 조사되는 광의 폭(또는 면적)을 의미한다.
제1 수광부(322)는 제1 발광부(312)와 대향하여 이격하여 위치하며, 제1 발광부(312)로부터 조사되는 광 중에서 대상물(예컨대, 잉곳)의 일단측에 의하여 미차단되는 광을 수광하여 상기 일단측의 치수(예컨대, 잉곳의 일단측의 폭)를 검출한다. 이하 제1 발광부(312)와 제1 수광부(322)가 서로 대향하는 방향을 "제1 방향(예컨대, xyz 좌표의 z축 방향)"이라 한다.
제2 발광부(314)는 제1 방향과 직교인 방향(이하 "제2 방향"이라 한다, 예컨대, xyz좌표의 x축 방향)으로 제1 발광부(312)와 일정 거리(C) 이격되어 위치하며, 제2 수광부(324)를 향하여 일정한 광 조사 영역(이하 "제2 광 조사 영역"이라 한다)을 갖도록 광(344)을 조사한다.
제2 수광부(324)는 제1 방향으로 제2 발광부(314)와 대향하여 이격하고, 제2 방향으로 제1 수광부(322)와 일정 거리(C) 이격되도록 위치하며, 제2 발광부(314)로부터 조사되는 광 중에서 대상물(예컨대, 잉곳)의 타단측에 의하여 미차단되는 광을 수광하여 타단측의 치수(예컨대, 잉곳의 타단측의 폭)를 검출한다. 이때 제1 발광부(312)와 제2 발광부(314) 사이의 이격 거리(이하 "제1 이격 거리"라 한다)와 제1 수광부(322)와 제2 수광부(324) 사이의 이격 거리(이하 "제2 이격 거리"라 한다)는 동일하다.
거리 조절부(332,334)는 제1 발광부(312)와 제2 발광부(314) 사이의 이격되는 거리(C), 및 제1 수광부(322)와 제2 수광부(324) 사이의 이격되는 거리(C)를 조정한다.
거리 조절부는 제1 거리 조절부(332) 및 제2 거리 조절부(334)를 포함한다. 제1 거리 조절부(332)는 제1 발광부(312) 및 제2 발광부(314)에 각각 연결되며, 제1 발광부(312) 또는 제2 발광부(314)를 제2 방향으로 이동시킴으로써 제1 이격 거리를 조정할 수 있다. 제2 거리 조절부(334)는 제1 수광부(322)와 제2 수광부(324)에 각각 연결되며, 제1 수광부(322) 또는 제2 수광부(324)를 제2 방향으로 이동시킴으로써 제2 이격 거리를 조정할 수 있다. 이때 제1 이격 거리와 제2 이격 거리는 동일하게 조정된다. 여기서 제2 방향은 xyz 좌표계에서 x축 방향이다.
이때 제1 거리 조절부(332) 및 제2 거리 조절부(334) 각각은 볼 스크류(ball screw), 및 볼트(bolts)와 너트(nuts)의 결합 구조 형태와 같이 거리를 조절할 수 있는 다양한 형태로 구현될 수 있다.
상술한 바와 달리, 본 발명의 다른 실시 예에서는 잉곳의 직경을 측정하기 위하여 미리 설정된 이격 거리만큼 이격되도록 제1 발광부(312)와 제1 수광부(322) 및 제2 발광부(314)와 제2 수광부(324)를 고정시킬 수도 있다.
제1 광 조사 영역 및 제2 광 조사 영역보다 더 큰 치수를 갖는 대상물(예컨대, 잉곳)에 대하여 치수를 측정하기 위해서는 대상물의 일단측이 제1 광 조사 영역의 일부를 차단하고, 대상물의 타단측이 제2 광 조사 영역의 일부를 차단하도록 제1 이격 거리 및 제2 이격 거리를 설정해야 한다. 또한 대상물의 일단측이 제1 광 조사 영역을 벗어나지 않고, 대상물의 타단측이 제2 광 조사 영역을 벗어나지 않도록 제1 이격 거리와 제2 이격 거리를 조정해야 한다.
제1 발광부(312)와 제1 수광부(322) 사이에 빛을 차단하는 대상물(예컨대, 잉곳의 일단측)이 있을 경우에는 제1 수광부(322)는 광 조사 영역 중 대상물(예컨대, 잉곳의 일단측)에 의해 차단되는 영역은 수광하지 못한다. 이때 수광하지 못하는 영역이 대상물의 일단측의 폭에 해당한다.
예컨대, 잉곳의 직경 측정을 위하여, 제1 발광부(312)로부터 조사되는 광(342)의 일부는 잉곳(301)의 일단측(예컨대, 잉곳의 일 외측부)에 의하여 차단되며, 차단되지 않은 광(343)만이 제1 수광부(322)에 의해 감지된다.
또한 제2 발광부(314)로부터 조사되는 광(344)의 일부는 잉곳(301)의 타단측에 의하여 차단되며, 차단되지 않은 광(345)만이 제2 수광부(324)에 의해 감지된다.
예컨대, 제1 수광부(322)는 다수의 광 감지 센서들(미도시)을 포함하는데, 광 감지 센서들 중에서 광 감지 부분(edge)과 광 미감지 부분(edge)을 추출하여 잉곳(301)의 일단측에 의하여 수광이 차단되는 광 미감지 영역에 대한 폭(A, 이하 "제1폭"이라 한다)을 검출할 수 있다. 또한 제2 수광부(324)는 잉곳(301)의 타단측에 의하여 수광이 차단되는 광 미감지 영역에 대한 폭(B, 이하 "제2폭"이라 한다)을 검출할 수 있다.
제어부(430)는 제1 수광부(322)에 의해 검출되는 제1폭(A), 제2 수광부(324)에 의하여 검출되는 제2폭(B), 및 제2 이격 거리(C)를 합하여 잉곳(301)의 직경(A+B+C)을 산출할 수 있다.
이동부(360)는 제1 발광부(312), 제2 발광부(314), 제1 수광부(322), 및 제2 수광부(324)를 제3 방향으로 동시에 동일한 거리만큼 이동시킨다. 예컨대, 이동부(360)는 제1 발광부(312), 제2 발광부(314), 제1 수광부(322), 및 제2 수광부(324)를 잉곳의 길이 방향으로 동일한 거리(예컨대, 1mm)만큼 이동시킨다. 예컨대, xyz 좌표계에서 제1 방향은 z축 방향이고, 제2 방향은 x축일 때, 제3 방향은 잉곳의 길이 방향인 y축 방향일 수 있다.
이동부(360)는 제1 내지 제4 모터들(362,364,366,368) 및 제1 내지 제4 볼 스크류(ball screw, 352,354,356,358)로 구현될 수 있다. 이때 제1 내지 제4 모터들은 서보 모터(servomotor)일 수 있다.
예컨대, 제1 볼 스크류(352)는 제1 발광부(312)에 연결되고, 제2 볼 스크류(354)는 제2 발광부에 연결되고, 제3 볼 스크류(356)는 제1 수광부(322)에 연결되고, 제4 볼 스크류(358)는 제2 수광부(324)에 연결된다.
제1 모터 내지 제4 모터들(362,364,366,368) 각각은 제1 내지 제4 볼 스크류들(352,354,356,358)을 회전시키며, 제1 내지 제4 볼 스크류들(352,354,356,358)이 회전함에 따라 제1 발광부(312), 제2 발광부(314), 제1 수광부(322), 및 제2 수광부(324)는 잉곳의 길이 방향인 y축 방향으로 이동할 수 있다.
도 3a 및 도 3b에 도시된 본 발명의 실시 예에 따른 치수 측정 장치(300)는 이동부(360)에 의하여 제1 발광부(312), 제1 수광부(322), 제2 발광부(314), 및 제2 수광부(324)가 잉곳의 길이 방향인 y축 방향으로 이동하면서 잉곳의 직경을 연속적으로 측정한다. 예컨대, 치수 측정 장치(300)는 이동부(360)에 의하여 잉곳의 길이 방향인 y축 방향으로 이동하면서 초당 2400회를 반복하여 잉곳의 직경을 측정할 수 있다.
도 5는 치수 측정 장치(300)에 의하여 측정되는 잉곳의 직경을 나타내는 표이다. 도 5를 참조하면, 제1 수광부(322)와 제2 수광부(324) 사이의 거리는 고정 값(C)으로 설정된다. 잉곳의 직경(W)은 제1 수광부(322)에 의하여 측정된 잉곳의 일단측 부분에 대한 폭(A), 제2 수광부(324)에 의하여 측정된 잉곳의 타단측 부분에 대한 폭(B), 및 제1 수광부(322)와 제2 수광부(324) 사이의 거리(C)를 합한 값이 된다. 도 5는 치수 측정 장치(300)의 이동에 의하여 연속적인 잉곳의 직경(W)에 대한 측정값을 나타낸다.
도 6은 본 발명의 또 다른 실시 예에 따른 치수 측정 장치(600)를 나타낸다. 도 6을 참조하면, 치수 측정 장치(600)는 제1 레이저 마이크로미터(610), 제2 레이저 마이크로미터(620), 거리 조절부(630), 제어부(640) 및 이동부(650)를 포함한다.
제1 레이저 마이크로미터(610)는 레이저(laser)를 이용하여 대상물(미도시; 예컨대, 잉곳)의 일단측의 폭을 검출하며, 제1 검출폭(W1)을 갖는다. 이때 제1 검출폭(W1)은 20~30mm일 수 있다.
제2 레이저 마이크로미터(620)는 레이저를 이용하여 대상물의 타단측의 폭을 검출하며, 제2 검출폭(W2)을 갖는다. 이때 제2 검출폭(W2)은 20~30mm일 수 있다. 여기서 제1 및 제2 검출폭(W1,W2)은 제1 및 제2 레이저 마이크로미터들(610,620)이 측정 가능한 최대 검출폭을 의미한다. 이때 측정하고자 하는 대상물의 폭 또는 직경은 상기 제1 검출폭(W1) 및 상기 제2 검출폭(W2)보다 크다.
제1 레이저 마이크로미터(610)와 제2 마이크로미터(620)는 서로 일정 거리(D) 이격하여 위치한다. 이때 측정하고자 하는 대상물은 제1 레이저 마이크로미터(610)와 제2 마이크로미터(620) 사이에 위치한다.
예컨대, 측정하고자 하는 잉곳의 직경보다 작은 검출폭을 갖는 제1 마이크로미터(610) 및 제2 마이크로미터(620)를 이용하여 잉곳의 직경을 측정하기 위해서는 제1 마이크로미터(610)와 제2 마이크로미터(620)의 이격 거리(D)는 하한 값(D1)보다 크고 상한 값(D2)보다 작은 값을 갖는 일정한 범위(D1<D<D2) 내이어야 한다.
도 7a는 제1 마이크로미터(610)와 제2 마이크로미터(620) 사이의 이격 거리(D)의 하한 값(D1)을 나타내고, 도 7b는 제1 마이크로미터와 제2 마이크로미터 사이의 이격 거리(D)의 상한 값(D2)을 나타낸다.
도 7a에 도시된 바와 같이, 제1 검출폭(W1)과 제2 검출폭(W2)을 합한 값에 이격 거리(D)를 더한 값이 잉곳(310)의 직경보다 커야 한다. 따라서 하한 값(D1)은 측정하고자하는 잉곳의 직경에서 제1 검출폭(W1)과 제2 검출폭(W2)을 뺀 값이다.
도 7b에 도시된 바와 같이, 제1 레이저 마이크로미터(610)와 제2 레이저 마이크로미터(620)의 이격 거리는 측정하고자 하는 대상물의 직경보다 작아야 한다. 따라서 상한 값(D2)은 측정하고자 하는 대상물의 직경이 된다. 측정하고자 하는 대상물의 직경이 일정한 오차 범위를 가질 때, 오차 범위에 따라 이격 거리(D)의 하한 값(D1) 및 상한 값(D2)도 변할 수 있다.
거리 조절부(630)는 제1 레이저 마이크로미터(610) 및 제2 레이저 마이크로미터(620)에 각각 연결되며, 제1 레이저 마이크로미터(610)와 제2 레이저 마이크로미터(620) 사이의 이격 거리를 조정한다. 즉 거리 조절부(630)는 측정하고자 하는 대상물의 직경에 따라 이격 거리를 조절할 수 있다. 거리 조절부(630)는 도 3b에 도시된 제1 거리 조절부(332), 및 제2 거리 조절부(334)와 같은 형태로 구현될 수 있다.
제어부(640)는 제1 마이크로미터(610)에 의하여 검출되는 대상물(예컨대, 잉곳)의 일단측의 폭(A), 제2 마이크로미터(620)에 의하여 검출되는 대상물의 타단측 폭(B), 및 이격 거리(D)를 합하여 대상물(예컨대, 잉곳)의 치수(예컨대, 직경)를 산출한다.
이동부(650)는 제1 마이크로미터(610) 및 제2 마이크로미터(620)를 동시에 잉곳의 길이 방향으로 동시에 동일한 거리(예컨대, 1mm)만큼 이동시킨다. 예컨대, xyz 좌표계에서 제1 마이크로미터(610)와 제2 마이크로미터(620)가 서로 대향하는 방향이 x축 방향이고, 잉곳의 길이 방향은 y축 방향일 수 있다.
이동부(650)는 도 3b에 도시된 바와 같이, 볼 스크류들과 서보 모터의 형태로 구현될 수 있다. 예컨대, 제1 마이크로미터(610)에 연결되는 제5 볼 스크류(미도시)와 제2 마이크로미터(620)와 각각 연결되는 제5 볼 스크류(미도시), 및 제5 볼 스크류와 제6 볼 스크류를 회전시키는 서보 모터들로 구현될 수 있다.
상술한 바와 같이 본원 발명의 실시 예에 따른 치수 직경 측정 장치는 레이저 마이크로미터를 사용하기 때문에 잉곳의 직접적인 접촉이 없으므로 제품의 오염 및 파손의 우려가 없고, 고속의 응답성에 의하여 측정 시간이 단축되며, 측정값의 반복성에 따른 정밀한 측정값이 확보된다. 또한 서보 모터를 이용하기 때문에 고분해능의 특성을 보이므로 연속에 가까운 직경 측정값을 얻을 수 있다.
이상에서 설명한 본 발명은 상술한 실시 예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술분야에서 종래의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 정하여져야만 할 것이다.
110, 301:잉곳, 120:버니어 캘리버스, 130:공압식 버니어 캘리버스,
300,600: 치수 측정 장치, 312, 314: 발광부, 322,324: 수광부,
332,334, 630: 거리 조절부, 335,640:제어부, 342,344: 조사되는 광,
343,345:차단되지 않는 광, 352,354,356,358: 볼 스크류, 360,650: 이동부,
362,354,366,368: 모터, 610, 620: 레이저 마이크로미터.

Claims (12)

  1. 광을 이용하여 대상물의 일단측 치수를 검출하는 제1 검출부;
    상기 제1 검출부와 대응하여 일정 거리 이격되며, 광을 이용하여 대상물의 타단측 치수를 검출하는 제2 검출부;
    상기 제1 검출부 및 상기 제2 검출부 각각에 의하여 검출되는 치수들과 상기 제1 검출부와 상기 제2 검출부의 이격된 거리에 기초하여 상기 대상물의 전체 치수를 산출하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 치수 측정 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 치수 측정 장치는,
    상기 제1 검출부와 상기 제2 검출부가 대향하는 방향 또는 그 반대 방향으로 상기 제1 검출부와 상기 제2 검출부 사이의 이격된 거리를 조정하는 거리 조절부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 치수 측정 장치.
  3. 상기 제1항에 있어서, 상기 치수 측정 장치는,
    상기 제1 검출부 및 상기 제2 검출부를 상기 제1 검출부와 상기 제2 검출부가 대향하는 방향과 수직인 방향으로 동시에 이동시키는 이동부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 치수 측정 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 대상물은 일정한 직경과 길이를 갖는 잉곳(ingot)이며,
    상기 제1 검출부는 상기 잉곳의 일단측 폭을 검출하고,
    상기 제2 검출부는 상기 잉곳의 타단측 폭을 검출하고,
    상기 제어부는,
    상기 제1 검출부 및 상기 제2 검출부 각각에 의하여 검출되는 폭들과 상기 제1 검출부와 상기 제2 검출부의 이격된 거리에 기초하여 상기 잉곳의 직경을 산출하는 것을 특징으로 하는 치수 측정 장치.
  5. 제4항에 있어서, 상기 이동부는,
    상기 제1 검출부 및 상기 제2 검출부를 상기 잉곳의 길이 방향으로 동시에 이동시키는 것을 특징으로 하는 치수 측정 장치.
  6. 제1항에 있어서, 상기 제1 검출부 및 제2 검출부 각각은,
    레이저 마이크로미터인 것을 특징으로 하는 치수 측정 장치.
  7. 광을 조사하는 제1 발광부;
    상기 제1 발광부와 제1 방향으로 이격되고, 상기 제1 발광부로부터 조사되는 광 중에서 대상물의 일단측에 의하여 미차단되는 광을 수광하여 상기 일단측의 치수를 검출하는 제1 수광부;
    제2 방향으로 상기 제1 발광부와 이격되어 위치하며, 광을 조사하는 제2 발광부; 및
    상기 제2 발광부와 상기 제1 방향으로 이격되고, 상기 제2 방향으로 상기 제1 수광부와 이격되어 위치하며, 상기 제2 발광부로부터 조사되는 광 중에서 상기 대상물의 타단측에 의하여 미차단되는 광을 수광하여 상기 타단측의 치수를 검출하는 제2 수광부를 포함하며,
    xyz좌표계에서 상기 제1 방향은 z축 방향이고, 상기 제2 방향은 x축 방향인 것을 특징으로 하는 치수 측정 장치.
  8. 제7항에 있어서, 상기 치수 측정 장치는,
    상기 일단측의 치수, 상기 타단측의 치수, 및 상기 제1 수광부와 상기 제2 수광부의 이격되는 거리에 기초하여 상기 대상물의 전체 치수를 산출하는 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 치수 측정 장치.
  9. 제7항에 있어서, 상기 치수 측정 장치는,
    상기 제1 발광부와 상기 제2 발광부 사이의 이격되는 거리, 및 상기 제1 수광부와 상기 제2 수광부 사이의 이격되는 거리를 조정하는 거리 조절부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 치수 측정 장치.
  10. 제8항에 있어서, 상기 치수 측정 장치는,
    상기 제1 발광부, 상기 제2 발광부, 상기 제1 수광부, 및 상기 제2 수광부를 제3 방향으로 동시에 동일한 거리만큼 이동시키는 이동부를 더 포함하고,
    상기 제3 방향은 xyz좌표계에서 y축 방향인 것을 특징으로 하는 치수 측정 장치.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 대상물은 일정한 직경과 길이를 갖는 잉곳(ingot)이며,
    상기 제1 수광부는 상기 잉곳의 일단측 폭을 검출하고,
    상기 제2 수광부는 상기 잉곳의 타단측 폭을 검출하고,
    상기 제어부는 상기 잉곳의 일단측 폭, 타단측 폭, 및 상기 제1 수광부와 상기 제2 수광부 사이의 이격되는 거리를 합하여 상기 잉곳의 직경을 산출하는 것을 특징으로 하는 치수 측정 장치.
  12. 제11항에 있어서, 상기 제3 방향은 상기 잉곳의 길이 방향인 것을 특징으로 하는 치수 측정 장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101347907B1 (ko) * 2012-09-12 2014-01-07 엑셀랩주식회사 배관 비파괴 검사 자동화 장치
KR101402845B1 (ko) * 2013-01-23 2014-06-02 주식회사 엘지실트론 사파이어 잉곳 그라인딩 방법
CN112842331A (zh) * 2020-12-30 2021-05-28 广东蚬壳家电有限公司 一种血氧仪及血氧浓度测量方法

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