KR20110087431A - 응고계면 단면적 감지시스템 및 이를 포함하는 실리콘 단결정 잉곳 제조 장치 - Google Patents

응고계면 단면적 감지시스템 및 이를 포함하는 실리콘 단결정 잉곳 제조 장치 Download PDF

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Abstract

실시예는 응고계면 단면적 감지시스템 및 이를 포함하는 실리콘 단결정 잉곳 제조 장치에 관한 것이다.
상세히, 실시예에 따른 응고계면 단면적 감지시스템 및 이를 포함하는 실리콘 단결정 잉곳 제조 장치는, 응고계면의 단면적을 감지하는 단면적감지부를 포함한다. 따라서, 상기 응고계면 단면적 감지시스템 및 이를 포함하는 실리콘 단결정 잉곳 제조 장치에 의하면, 테일링 과정의 수행 중에도 상기 응고계면의 상태를 지속적으로 관찰하고, 비정상적인 상황이 발생되는 경우에 신속하게 대처할 수 있는 이점이 있다.

Description

응고계면 단면적 감지시스템 및 이를 포함하는 실리콘 단결정 잉곳 제조 장치{System for sensing cross section of meniscus and Apparatus for manufacturing silicon single crystal ingot comprising the same}
실시예는 응고계면 단면적 감지시스템 및 이를 포함하는 실리콘 단결정 잉곳 제조 장치에 관한 것이다.
실리콘 단결정 잉곳 제조 장치는, 내부에 실리콘 단결정 잉곳의 생성을 위한 공간이 형성되는 챔버와, 실리콘 단결정 잉곳의 생성을 위한 기본 재료가 되는 실리콘 융액이 수용되기 위하여 상기 챔버 내부에 구비되는 도가니를 포함한다.
그리고, 상기 도가니의 하방에는 상기 도가니를 지지하고 회전 및 승강시키기 위한 지지 수단이 구비된다. 또한, 상기 도가니의 상방에는, 상기 실리콘 단결정 잉곳을 성장시키기 위한 시드와, 상기 시드가 고정되는 시드척이 구비된다. 상기 시드척에는, 상기 시드 및 시드를 인상시키기 위한 인상수단이 연결된다.
상기 시드가 상기 실리콘 융액에 접촉된 후 상기 단결정 잉곳이 성장하는 동안, 상기 실리콘 융액 및 단결정 잉곳의 경계면이 형성되는데, 상기 경계면을 응고계면(meniscus)라고 칭한다. 상기 응고계면은 상기 단결정 잉곳이 상기 실리콘 융액으로부터 분리되기 전까지는 지속적으로 유지된다.
한편, 상기 단결정 잉곳의 제조 공정 중에는, 상기 실리콘 융액으로부터 성장하는 상기 단결정 잉곳을 상기 실리콘 융액으로부터 분리시키기 위하여, 테일링(tailing) 과정이 수행된다. 이때, 상기 테일링 과정이 수행되는 동안, 상기 응고계면의 면적은 점차적으로 감소하게 된다.
그런데, 상기 테일링 과정에서, 상기 단결정 잉곳의 생성 환경에 따라 예상치 않는 시점 및 지점에서, 상기 단결정 잉곳이 상기 실리콘 융액으로부터 분리되는 현상이 발생되는 문제점이 있다.
상기 단결정 잉곳이 예상치 않는 시점 및 지점에서, 갑작스럽게 상기 실리콘 융액으로부터 분리되면, 상기 단결정 잉곳의 특성에 악영향을 미치는 문제점이 있다.
실시예는, 응고계면의 단면적을 감지하여 실리콘 단결정 잉곳의 제조 과정이 더욱 안정적으로 수행될 수 있는 응고계면 단면적 감지시스템 및 이를 포함하는 실리콘 단결정 잉곳 제조 장치를 제안하기 위한 것이다.
실시예에 따른 응고계면 단면적 감지시스템은, 실리콘 융액 및 단결정 잉곳을 포함하는 폐회로에 전기를 인가하는 전원; 상기 폐회로의 전기적인 상태를 이용하여, 상기 실리콘 융액 및 단결정 잉곳의 응고계면의 단면적을 감지하는 단면적감지부; 및 상기 응고계면의 단면적에 대응되는 신호를 출력하는 출력부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
실시예에 따른 실리콘 단결정 잉곳 제조 장치는, 내부에 실리콘 단결정 잉곳이 제조되기 위한 공간이 형성되는 챔버; 상기 챔버의 내부에 구비되고, 단결정 잉곳이 성장되기 위한 실리콘 융액이 수용되는 도가니; 및 상기 실리콘 융액 및 단결정 잉곳에 전기를 인가하여, 응고계면의 단면적을 감지하는 응고계면 단면적 감지시스템;을 포함하는 것을 특징으로 한다.
실시예에 따른 응고계면 단면적 감지시스템 및 이를 포함하는 실리콘 단결정 잉곳 제조 장치에 의하면, 테일링 과정이 수행되는 동안, 응고계면의 단면적이 지속적으로 감지된다. 그리고, 사용자는 상기 응고계면의 단면적을 실시간으로 모니터링할 수 있으므로, 실리콘 단결정 잉곳의 제조 과정이 더욱 안정적으로 수행될 수 있는 이점이 있다.
도 1은 실시예에 따른 응고계면 단면적 감지시스템 및 이를 포함하는 실리콘 단결정 잉곳 제조 장치의 구성을 보인 도면.
도 2는 실시예에 따른 응고계면 단면적 감지시스템의 제어 구성도.
도 3는 실시예에 따른 실리콘 단결정 잉곳 제조 장치에서 상태감지부의 사각 지점을 나타내는 도면.
도 4는 실시예에 따른 응고계면 단면적 감지시스템 및 이를 포함하는 실리콘 단결정 잉곳 제조 장치에서 응고계면의 단면적과 단면적감지부에 의한 출력 신호의 관계를 보인 그래프.
이하, 실시예에 따른 응고계면 단면적 감지시스템 및 이를 포함하는 실리콘 단결정 잉곳 제조 장치를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
(실시예)
도 1은 실시예에 따른 응고계면 단면적 감지시스템 및 이를 포함하는 실리콘 단결정 잉곳 제조 장치의 구성을 보인 도면이다.
도 1을 참조하면, 실시예에 따른 실리콘 단결정 잉곳 제조 장치는, 내부에 실리콘 단결정 잉곳(101)이 성장하기 위한 공간이 형성되는 챔버(1)와, 상기 실리콘 단결정 잉곳(101)의 원재료에 해당하는 실리콘 융액(100)이 수용되기 위한 도가니(10)와, 상기 도가니(10)를 가열하기 위한 가열부(20)와, 상기 실리콘 단결정 잉곳(101)을 향한 상기 가열부(20)의 열을 차단하기 위하여 상기 도가니(10)의 상방에 위치되는 상방 단열부(32)와, 상기 실리콘 단결정 잉곳(101)의 성장을 위한 시드(102)를 고정하기 위한 시드척(41)와, 상기 실리콘 단결정 잉곳(101)을 상방으로 인상시키기 위한 인상수단을 포함한다.
그리고, 상기 실리콘 단결정 잉곳 제조 장치는, 상기 도가니(10)를 지지하고 회전 및 상승시키기 위한 지지수단(50)과, 상기 챔버(1)의 내벽을 향한 상기 가열부(20)의 열을 차단하기 위한 측방 단열부(31)와, 상기 실리콘 단결정 잉곳(101)의 상태를 감지하기 위한 상태감지부(60)와, 상기 실리콘 단결정 잉곳(101)을 냉각하기 위한 냉각관(70)을 더 포함한다.
보다 상세히, 상기 챔버(1)는 전체적으로 내부가 빈 원통 형상이다. 그리고, 상기 챔버(1)의 중앙부에 상기 도가니(10)가 위치된다. 상기 도가니(10)는, 상기 실리콘 융액(100)이 수용될 수 있도록 전체적으로 오목한 그릇의 형상이다. 그리고, 상기 도가니(10)는, 상기 실리콘 융액(100)과 직접 접촉되는 석영 도가니(11)와, 상기 석영 도가니(11)의 외면을 둘러싸면서 상기 석영 도가니(11)를 지지하는 흑연 도가니(12)를 포함한다.
상기 도가니(10)의 측방에는 상기 도가니(10)를 향하여 열을 방출하기 위한 가열부(20)가 위치된다. 그리고, 상기 측방 단열부(31)는 상기 가열부(20)와 상기 챔버(1)의 내벽 사이에 구비된다.
또한, 상기 상방 단열부(32)는, 상기 챔버(1)의 내벽으로부터 상기 실리콘 융액(100)과 단결정 잉곳(101)의 경계면을 향하여 연장된다. 다만, 상기 상방 단열부(32)의 단부와 상기 경계면 사이를 통하여 아르곤 가스가 유동할 수 있도록, 상기 상방 단열부(32)의 단부가 상기 경계면과 이격되는 범위 내에서 연장된다.
다른 한편으로는, 상기 상방 단열부(32)의 단부는 상기 실리콘 단결정 잉곳(101)을 둘러싸게 된다. 즉, 상기 상방 단열부(32)는 상기 챔버(1)의 내부 공간을, 상기 실리콘 융액(100)이 가열되고 상기 실리콘 융액(100)으로부터 단결정 잉곳(101)이 성장되는 가열 챔버(11)와, 상기 단결정 잉곳(101)이 냉각되는 냉각 챔버(12)로 구획한다.
그리고, 상기 상태감지부(60)는 상기 상방 단열부(32)보다 상방에 해당하는 상기 챔버(1)의 일측에 구비된다. 이때, 상기 상태감지부(60)는, 상기 챔버(1) 상에서 상기 실리콘 융액(100)과 단결정 잉곳(101)의 경계면을 관찰 가능한 지점에 위치된다. 또한, 상기 상태감지부(60)는 상기 챔버(1)에 형성되는 홀(16)을 통하여 상기 실리콘 융액(100) 및 단결정 잉곳(101)에서 방출되는 적외선을 감지하고, 상기 적외선에 기초하여 상기 실리콘 융액(100), 단결정 잉곳(101) 및 경계면의 상태를 의미하는 신호를 발생시키는 역할을 한다.
이때, 상기 경계면의 상태는 예를 들면 상기 경계면의 온도 등과 같은 다양한 정보를 포함할 수 있다.
또한, 상기 시드척(41)의 하단에는 상기 시드(102)가 고정되고, 상기 단결정 잉곳(101)은 상기 시드(102)로부터 연속적으로 성장한다. 상기 시드척(41)이 상기 인상수단에 의하여 상방으로 인상됨으로써, 상기 시드(102) 및 단결정 잉곳(101)이 함께 상방으로 인상될 수 있다.
상기 인상수단은, 상기 시드척(41)에 연결되는 시드케이블(42)과, 상기 단결정 잉곳(101)이 인상되기 위한 동력을 제공하는 구동모터(미도시)를 포함한다. 상기 구동모터에 의하여 상기 시드케이블(42)을 당겨짐으로써, 상기 시드척(41), 시드(102) 및 단결정 잉곳(101)이 함께 상방으로 인상될 수 있다.
또한, 상기 지지수단(50)은, 상기 도가니(10)를 지지하는 지지부와, 상기 도가니(10)를 회전 및 승강시키기 위한 동력을 제공하는 구동모터(미도시)를 포함한다. 상기 지지부는 상기 도가니(10)의 하방에서 상기 도가니(10)의 저면을 지지하고, 상기 구동모터는 상기 지지부를 회전 및 승강시킴으로써 상기 도가니(10)가 회전 및 승강되도록 한다.
그리고, 상기 냉각관(70)은 전체적으로 상하 방향으로 긴 중공형의 원통 형상이다. 그리고, 상기 냉각관(70)은 상기 단결정 잉곳(101)의 상방에 해당하는 상기 챔버(1)의 상면에 고정된다.
그리고, 상기 냉각관(70)의 내부에는, 상기 단결정 잉곳(101)의 냉각을 위한 물이 유동하기 위한 유로가 형성된다. 상기 단결정 잉곳(101)의 쿨링(cooling) 과정이 수행되는 동안, 상기 단결정 잉곳(101)은 상기 냉각관(70)의 내측에 위치되고 상기 냉각관(70)을 통하여 물이 유동하는 방식으로 상기 단결정 잉곳(101)이 냉각될 수 있다.
한편, 상기 실리콘 단결정 잉곳 제조 장치는, 상기 실리콘 융액(100) 및 단결정 잉곳(101)의 경계면 즉, 응고계면(103)의 면적을 감지하기 위한 응고계면 단면적 감지시스템을 더 포함한다.
이하에서는 실시예에 따른 응고계면 단면적 감지시스템에 대하여 첨부한 도면을 참조하여 상세하세 설명한다.
도 2는 실시예에 따른 응고계면 단면적 감지시스템의 제어 구성도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 상기 응고계면 단면적 감지시스템은, 실리콘 융액(100) 및 단결정 잉곳(101)에 전기를 인가하기 위한 전원(81)과, 상기 응고계면(103)의 단면적에 대응되는 신호를 출력하는 단면적감지부(82)와, 상기 응고계면(103)의 단면적을 의미하는 신호를 사용자가 인지할 수 있도록 출력하는 출력부(86)와, 상기 전원(81) 및 단면적감지부(82)로부터 전송된 정보에 기초하여 상기 출력부(86)를 통하여 출력되는 신호를 제어하는 제어부(85)를 포함한다. 이때, 상기 전원(81), 단면적감지부(82), 출력부(86) 및 제어부(85)는, 제어 신호를 주고 받을 수 있도록 전기적으로 연결된다.
그리고, 상기 전원(81) 및 단면적감지부(82)가 상기 지지수단(50) 및 시드케이블(42)에 전기적으로 연결됨으로써, 상기 전원(81), 단면적감지부(82), 지지수단(50), 도가니(10), 실리콘 융액(100), 단결정 잉곳(101), 시드(102), 시드척 및 시드케이블(42)은 전기적으로 폐회로를 형성한다. 따라서, 상기 전원(81)에 의한 전기는, 상기 폐회로를 따라 상기 실리콘 융액(100) 및 단결정 잉곳(101)에 인가될 수 있다.
이때, 상기 단면적감지부(82)는 상기 폐회로의 전기적인 특성을 이용하여 상기 응고계면(103)의 단면적을 감지할 수 있다.
보다 상세히, 상기 전원(81)은 상기 폐회로에 일정한 양의 전류를 인가한다. 그러면, 상기 단결정 잉곳(101)의 제조 과정에서, 상기 응고계면(103)의 단면적이 변화함에 따라 상기 폐회로에 걸리는 전압의 크기는 함께 변하게 된다. 따라서, 상기 단면적감지부(82)는 상기 폐회로에 걸리는 전압의 크기를 감지하는 방식으로 상기 응고계면(103)의 단면적을 산출할 수 있다. 이때, 상기 단면적은, 상기 응고계면을 수평 방향으로 자른 단면의 면적을 의미한다.
다만, 상기 단면적감지부(82)가 상기 응고계면(103)의 단면적을 감지하는 방식은 이에 한정되지 않는다. 즉, 상기 단면적감지부(82)는, 상기 전원(81)이 상기 폐회로에 일정한 크기의 전압을 인가하고 상기 응고계면(103)의 단면적 변화에 따라 변하는 전류의 크기를 감지하는 방식 등과 같은 다양한 방식으로 상기 응고계면(103)의 단면적을 감지할 수 있다.
즉, 상기 폐회로의 전기적인 특성에는, 전류, 전압, 저항 중 적어도 하나가 포함될 수 있다.
이하에서는 실시예에 따른 응고계면의 단면적 감지시스템 및 이를 포함하는 실리콘 단결정 잉곳 제조 장치의 작용에 대하여 첨부한 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.
도 3는 실시예에 따른 실리콘 단결정 잉곳 제조 장치에서 상태감지부(60)의 사각 지점을 나타내는 도면이고, 도 4는 실시예에 따른 응고계면 단면적 감지시스템 및 이를 포함하는 실리콘 단결정 잉곳 제조 장치에서 응고계면의 단면적과 단면적감지부에 의한 출력 신호의 관계를 보인 그래프이다.
도 3 및 도 4를 참조하면, 상기 단결정 잉곳(101)의 제조 과정 중에 상기 응고계면(103)의 상태는 상기 상태감지부(60)로써 관찰될 수 있다.
그런데, 상기 단결정 잉곳(101)을 상기 실리콘 융액(100)으로부터 분리하는 테일링 과정에서는, 상기 응고계면(103)이 상기 상태감지부(60)로써 관찰할 수 없는 사각 지점에 놓이게 된다.
상세히, 상기 테일링 과정에서는, 상기 단결정 잉곳(101)의 직경이 하방으로 갈수록 점차적으로 감소하게 된다. 그런데, 상기 상태감지부(60)는, 상기 챔버의 내부 구조상, 상기 응고계면(103)을 직접 관찰하기 위하여 상기 응고계면(103)을 기준으로 비스듬한 상방에 위치하게 된다. 따라서, 상기 테일링 과정 중에는, 상기 상태감지부(60)의 관점에서 볼 때, 상기 단결정 잉곳(101)의 하부 숄더에 의하여 상기 응고계면(103)이 가려지는 현상이 발생될 수 있다.
이러한 상황에서는, 상기 상태감지부(60)만으로는 상기 응고계면(103)의 상태를 관찰할 수가 없으므로, 상기 단결정 잉곳(101)이 예상치 못한 시점 및 지점에서 상기 실리콘 융액(100)으로부터 갑작스럽게 분리되는 현상이 발생할 수도 있다.
그러나, 실시예에 따른 응고계면 단면적 감지시스템 및 이를 포함하는 실리콘 단결정 잉곳 제조 장치는, 상기 테일링 과정 중에도, 상기 응고계면 단면적 감지시스템을 통하여 상기 응고계면(103)의 단면적을 지속적으로 감지할 수 있다.
상세히, 상기 테일링 과정에서는 상기 응고계면(103)의 단면적이 점차적으로 감소하게 되므로, 상기 실리콘 융액(100) 및 단결정 잉곳(101)을 포함하는 폐회로에 걸리는 전압이 변화하게 된다. 그리고, 상기 단면적감지부(82)는 상기 전압을 감지하여, 상기 전압 및 상기 응고계면(103)의 단면적에 대응되는 신호를 생성하여 상기 제어부(85)로 전송할 수 있다. 상기 제어부(85)는 상기 단면적에 대응되는 신호를 상기 출력부(86)로 전송하고, 상기 출력부(86)를 통하여 상기 단면적에 대응되는 신호가 사용자가 인지 가능하게 출력될 수 있다. 즉, 상기 테일링 과정 중에도, 상기 응고계면(103)의 단면적을 지속적으로 감지할 수 있는 것이다.
이때, 상기 단면적감지부(82)에 의하여 생성되는 신호(A)와 상기 응고계면(103)의 단면적(B) 간의 관계는 도 4에 도시된다. 도 4의 그래프에서 가로축은 상기 단결정 잉곳 상에서 상기 테일링 과정이 시작된 지점으로부터 해당 지점까지의 거리를 의미한다.
그리고, 상기 그래프의 세로축은 상기 응고계면(103)의 단면적에 대응되는 신호의 값을 의미한다. 보다 상세히, 상기 응고계면(103)의 단면적(B)이 상대적으로 큰 경우에는 상기 단면적감지부(82)에서 생성되는 신호(A)도 큰 값을 가지고, 상기 응고계면(103)의 단면적(B)이 상대적으로 작은 경우에는 상기 단면적감지부(82)에서 생성되는 신호(A)도 작은 값을 가지는 것을 알 수 있다. 즉, 상기 응고계면(103)의 단면적(B)과 상기 단면적감지부(82)에 의하여 생성되는 신호(A)의 값은, 서로 비례하는 것이다.
한편, 상기 출력부(86)에는 상기 단면적감지부(82)에 의하여 감지되는 상기 응고계면(103)의 단면적에 대응되는 신호와, 기준 단면적에 대응되는 신호가 함께 출력될 수 있다. 여기서, 상기 기준 단면적은, 정상적인 상황에서 변화되는 상기 응고계면의 단면적을 의미한다.
에를 들어, 정상적인 테일링 과정에서는, 상기 응고계면(103)의 단면적이 점차적으로 감소되는 경향이 나타날 것이다. 그러면, 정상적인 테일링 과정에서 상기 테일링 과정이 시작된 지점으로부터 거리에 따라 나타나는 응고계면(103)의 단면적이, 상기 단면적감지부에 의하여 감지된 상기 응고계면(103)의 단면적과 함께 상기 출력부에 출력될 수 있는 것이다.
그러면, 상기 기준 단면적을 기준으로, 상기 단면적감지부에 의하여 감지되는 상기 응고계면의 단면적이 차이를 보이는 경우에는, 사용자는 상기 테일링 과정이 비정상적으로 수행되고 있음을 인지할 수 있는 것이다.
한편, 상기 응고계면 단면적 감지시스템은 상기 테일링 과정이 수행되는 경우에 한하여 선택적으로 작동될 수 있다. 이러한 경우에는, 상기 상태감지부(60)만으로도 상기 응고계면(103)의 상태를 감지할 수 있는 경우에는, 상기 응고계면 단면적 감지시스템의 작동이 정지되므로, 에너지 소비량이 감소될 수 있는 이점이 있다.
다만, 상기 응고계면(103)의 다각적인 관찰이나, 상기 상태감지부(60)의 보완 등과 같은 다른 측면에서는, 상기 응고계면 단면적 감지시스템이 지속적으로 작동되는 것이 더 효과적일 수도 있으므로, 상기 응고계면 단면적 감지시스템이 작동되는 시간은 이에 한정되지는 않는다.
상기한 방법으로, 사용자는 상기 응고계면(103)의 단면적을 실시간으로 관찰할 수 있다. 따라서, 사용자가, 예를 들면 상기 응고계면(103)의 단면적이 급격히 감소되는 경우와 같이 비정상적인 상황을 용이하게 인지하고 신속하게 대처할 수 있는 이점이 있다.
본 발명은 기재된 실시예 및 도면에 의해 한정되는 것이 아니고, 청구항의 권리범위에 속하는 범위 안에서 다양한 다른 실시예가 가능하다.
1 : 챔버 10 : 도가니
100 : 실리콘 융액 101 : 실리콘 잉곳
81 : 전원 82 : 단면적 감지부

Claims (13)

  1. 실리콘 융액 및 단결정 잉곳을 포함하는 폐회로에 전기를 인가하는 전원;
    상기 폐회로의 전기적인 상태를 이용하여, 상기 실리콘 융액 및 단결정 잉곳의 응고계면의 단면적을 감지하는 단면적감지부; 및
    상기 응고계면의 단면적에 대응되는 신호를 출력하는 출력부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 응고계면 단면적 감지시스템.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 폐회로는, 상기 전원, 실리콘 융액, 단결정 잉곳 및 단면적감지부가 전기적으로 연결되어 형성되는 것을 특징으로 하는 응고계면 단면적 감지시스템.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 폐회로의 전기적인 상태는, 전압, 전류, 저항 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 응고계면 단면적 감지시스템.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 단면적감지부는 상기 단결정 잉곳의 테일링(tailing) 과정이 수행되는 경우에 선택적으로 작동되는 것을 특징으로 하는 응고계면 단면적 감지시스템.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 출력부를 통하여, 정상적인 테일링 과정이 수행되는 경우의 상기 응고계면의 단면적을 의미하는 기준 단면적에 대응되는 신호가, 상기 응고계면의 단면적에 대응되는 신호와 함께 출력되는 것을 특징으로 하는 응고계면 단면적 감지시스템.
  6. 내부에 실리콘 단결정 잉곳이 제조되기 위한 공간이 형성되는 챔버;
    상기 챔버의 내부에 구비되고, 단결정 잉곳이 성장되기 위한 실리콘 융액이 수용되는 도가니; 및
    상기 실리콘 융액 및 단결정 잉곳에 전기를 인가하여, 응고계면의 단면적을 감지하는 응고계면 단면적 감지시스템;을 포함하는 것을 특징으로 하는 실리콘 단결정 잉곳 제조 장치.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 응고계면 단면적 감지시스템은, 상기 실리콘 융액 및 단결정 잉곳을 포함하여 형성되는 폐회로의 전기적인 특성을 이용하여, 상기 응고계면의 단면적을 감지하는 것을 특징으로 하는 실리콘 단결정 잉곳 제조 장치.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 단결정 잉곳의 생성을 위한 시드;
    상기 시드가 고정되는 시드척; 및
    상기 시드척에 연결되는 시드케이블;을 더 포함하고,
    상기 폐회로는, 상기 도가니, 실리콘 융액, 단결정 잉곳, 시드, 시드척, 시드케이블, 응고계면 단면적 감지시스템이 전기적으로 연결되어 형성되는 것을 특징으로 하는 실리콘 단결정 잉곳 제조 장치.
  9. 제 7 항에 있어서,
    상기 폐회로의 전기적인 특성은, 전압, 전류, 저항 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 실리콘 단결정 잉곳 제조 장치.
  10. 제 6 항에 있어서,
    상기 응고계면 단면적 감지시스템은, 상기 단결정 잉곳의 테일링 과정이 수행되는 경우에 한하여 선택적으로 작동되는 것을 특징으로 하는 실리콘 단결정 잉곳 제조 장치.
  11. 제 6 항에 있어서,
    적외선을 이용하여 응고계면의 상태를 감지하는 상태감지부를 더 포함하고,
    상기 응고계면 단면적 감지시스템은, 상기 응고계면이 상기 상태감지부의 사각 지점에 위치되는 경우에 한하여 선택적으로 작동되는 것을 특징으로 하는 실리콘 단결정 잉곳 제조 장치.
  12. 제 6 항에 있어서,
    상기 응고계면 단면적감지시스템은,
    전기를 발생시키는 전원;
    상기 응고계면의 단면적을 감지하는 단면적감지부; 및
    상기 응고계면의 단면적에 대응되는 신호를 출력하는 출력부를 포함하는 것을 특징으로 하는 실리콘 단결정 잉곳 제조 장치.
  13. 제 12 항에 있어서,
    상기 출력부는, 정상적인 테일링 과정이 수행되는 경우의 상기 응고계면의 단면적을 의미하는 기준 단면적에 대응되는 신호가, 상기 응고계면의 단면적에 대응되는 신호와 함께 출력하는 것을 특징으로 하는 실리콘 단결정 잉곳 제조 장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101415370B1 (ko) * 2011-08-31 2014-07-07 주식회사 엘지실트론 잉곳 성장 장치 및 잉곳 제조 방법

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