KR20110083055A - Testing apparatus for a particle counter manifold system - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 입자분석기 매니폴드 시스템용 테스트 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 입자분석기 매니폴드 시스템의 사용 시 파티클이 발생하는 매니폴드의 특정 포트에 대해 검사를 행하여 해당 포트의 이상유무를 판정할 수 있는 테스트 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a test apparatus for a particle analyzer manifold system, and more particularly, to inspect a particular port of a manifold where particles are generated when using the particle analyzer manifold system to determine whether there is an abnormality of the port. It is about a test apparatus.
잘 알려진 바와 같이, 입자 분석기(particle counter)는 공기 중에 부유하는 입자의 크기 및 양을 측정하는 장치로서, 그 적용 방식에 따라 크게 두 가지 방식으로 나누어지며, 하나는 에어로졸(aerosol) 방식이고, 다른 하나는 입자의 수와 크기에 따라 액체의 질을 측정하는 리퀴드(liquid) 방식이며, 기타의 방식으로, 클린룸내의 고정 위치를 연속적으로 모니터하고자 다른 입자 분석기 및 기타 방식의 입자 분석기들이 설비 모니터링 시스템(FMS: facility monitoring system)에 네트워크 접속된 원격(remote) 입자 분석기, 하나의 입자 분석기가 클린룸내의 여러 위치(많게는 32개소까지)로부터 공기를 흡입하는 다수의 취입포트를 통해 여러 위치를 샘플링하도록 연속 샘플링 시스템에 부착된 매니폴드(manifold) 입자 분석기, 소형으로 이동과 사용이 편리한 휴대형(handheld) 입자 분석기 등이 있다.As is well known, a particle counter is a device for measuring the size and amount of particles suspended in air, which is divided into two types according to the application method, one is an aerosol method, and the other is One is a liquid method that measures the quality of a liquid based on the number and size of particles. In another, other particle analyzers and other particle analyzers are used to monitor a fixed location in a clean room. Remote particle analyzer networked to a facility monitoring system (FMS), allowing a single particle sampler to sample multiple locations through multiple intake ports that draw air from multiple locations (up to 32 locations) in a clean room Manifold particle analyzer attached to a continuous sampling system, small size, easy to move and use handheld mouth Ruler analyzer.
에어로졸(aerosol) 방식의 입자 분석기는 공기 중 입자의 수량 및 크기에 의해 공기의 질을 판정하는데 사용되는 것으로, 이에 의해 실내 또는 주위 공기내의 오염 정도를 결정하며, 또한 통제된 환경, 예를 들어 반도체, 바이오, 제약, 디스크 드라이브, 우주 산업 등과 같이 환경의 오염에 민감한 클린룸(clean room)에서의 청정도를 이해하는데 사용된다.Aerosol particle analyzers are used to determine the quality of air by the quantity and size of particles in the air, thereby determining the degree of contamination in the room or surrounding air, and also in controlled environments such as semiconductors. It is used to understand the cleanliness of clean rooms that are sensitive to environmental pollution, such as biotechnology, pharmaceuticals, disk drives and the aerospace industry.
에어로졸 방식의 입자 분석기는, 통상 클린룸에서의 가동 전후의 압력 강하를 모니터링하는 질량 플로우 센서(flow sensor) 또는 압력 센서를 이용하여, 입자분석기의 내부의 유량을 확정하는 디바이스로서, 작고 저렴하여 용이하게 입수가 가능하다는 점에서 산업계에서 폭 넓게 사용되고 있으며, 발명의 명칭이 "Air pump for particle sensing using regenerative fan, and assosiated methods"인 미국특허 제6.167,107호(국제특허출원 PCT/US2000/019133호)에 개시되어 있는 바 참고할 수 있다.An aerosol particle analyzer is a device for determining the flow rate inside a particle analyzer by using a mass flow sensor or a pressure sensor that normally monitors a pressure drop before and after operation in a clean room. It is widely used in the industry in that it can be easily obtained, and US Patent No. 6.67,107 (International Patent Application No. PCT / US2000 / 019133) entitled “Air pump for particle sensing using regenerative fan, and assosiated methods”. It can be referred to.
이와 같은 에어로졸 입자 분석기를 연속 샘플링 시스템에 부착한 것이 에어로졸 휴대형 입자 분석기 매니폴드 시스템으로서, 이를 도 1을 이용하여 간략히 설명하면, 매니폴드부(20)에는 클린룸내의 공기를 이송시켜 주는 수집튜브(collection tube)(10)들이 접속되는 다수의 취입포트(22)들이 형성된다. 이 매니폴드부(20)의 취입포트(22)중의 어느 하나를 통해 이송된 공기가 샘플링되어, 샘플링 유입관(32)을 통해 입자 분석기(30)로 유입되고, 입자 분석기(30)는 공기중의 절대 체적 유량에 대한 미립자를 측정한다. 매니폴드부(20)내에 흡입되어 입자 분석기(30)로 유입되지 않은 공기는 배기관(42)을 통해 펌프(40)로 유입되며, 마찬가지로, 입자분석기(30)내의 측정 후의 공기는 유출관(34)을 통해 펌프(40)로 유입되므로, 원격 입자 분석기에 비해 비교적 저렴하지만, 각각의 취입포트가 연속적으로 모니터링되어야 한다. 도면 중 미설명 부호 (44)와 (46)은 각각 진공 조절 노브와 필터이며, (50)은 컨트롤 케이블(52)을 통해 매니폴드부(20)를 제어하는 컨트롤 박스이고, (60)은 이더넷(ethernet cable)(54)을 통해 컨트롤 박스(50)와 연결된 FMS를 나타낸다. 또한 컨트롤 박스(50)와 입자 분석기(30)도 서로 이더넷 케이블(56)을 통해 연결되어 있다. Attaching such an aerosol particle analyzer to a continuous sampling system is an aerosol portable particle analyzer manifold system, which will be briefly described with reference to FIG. 1, the manifold unit 20 collects a tube for transporting air in a clean room ( A plurality of blowing
그런데, 이러한 입자 분석기를 이용한 에어로졸 매니폴드 시스템의 사용 현장에서 매니폴드부의 각각의 취입포트에 연결되는 수집튜브(10)가 꺽이거나 취입포트와의 연결부위에서 리키지(leakage)가 있게 되면, 파티클이 발생하게 되며, 이러한 파티클의 발생에 따른 매니폴드의 취입포트에 대한 이상유무를 검증해야 할 필요성이 있다.However, at the site of use of the aerosol manifold system using such a particle analyzer, when the
또한, 데이터 에러(data hunting)가 발생하게 되면, 입자 프로브(particle probe)가 설치된 클린룸내부의 위치에서 실측해야 하므로, 장비의 가동을 중지해야 하는 문제가 있다. In addition, when a data error occurs, since the measurement must be performed at a location inside the clean room where the particle probe is installed, there is a problem that the operation of the equipment must be stopped.
본 발명은 이러한 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 그 목적은 입자 분석기 매니폴드 시스템의 사용 시 파티클이 발생하는 매니폴드의 특정 포트에 대해 검사를 행하여 해당 포트의 이상유무를 편리하게 판정할 수 있는 테스트 장치를 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve this problem, and an object thereof is to inspect a particular port of a manifold in which particles are generated when using a particle analyzer manifold system, so that it is possible to conveniently determine whether there is an abnormality of the corresponding port. It is to provide a test device.
이러한 목적을 달성하기 위해 본 발명은 입자 분석기 매니폴드 시스템용 테스트 장치는 원통상의 테스트 챔버 본체와, 수집튜브와 연결되도록 본체의 일측에 형성되는 수집튜브 연결 포트와, 매니폴드부의 각 취입포트와 연결되도록 상기 본체의 타측에 형성되는 매니폴드 연결 포트와, 입자 분석기의 샘플링 유입관과 연결되도록 상기 본체의 타측에 형성되는 입자 분석기 유입 포트와, 입자 분석기의 유출관과 연결되도록 상기 본체의 타측에 형성되는 입자 분석기 유출 포트와, 상기 매니폴드부에서 발생한 진공압력에 의해 일정한 공기의 흐름을 유지하도록 상기 본체의 내부에 형성된 흐름 형성부를 포함한다.In order to achieve the above object, the present invention provides a test apparatus for a particle analyzer manifold system, a cylindrical test chamber main body, a collection tube connection port formed at one side of the main body so as to be connected to a collection tube, and each blowing port of the manifold part; A manifold connection port formed at the other side of the main body to be connected, a particle analyzer inlet port formed at the other side of the main body to be connected to the sampling inlet tube of the particle analyzer, and a second side of the main body to be connected to the outlet tube of the particle analyzer; And a particle analyzer outlet port formed therein, and a flow forming portion formed inside the main body to maintain a constant flow of air by the vacuum pressure generated in the manifold portion.
본 발명에 있어서, 흐름 형성부는 중간에 개방부가 형성되어, 상기 수집튜브 연결 포트와 입자 분석기 유입포트에 양단이 서로 연결되는 연결관과, 경사 가이드 통로가 형성되며, 이 가이드 통로가 상기 개방부와 연통되도록 상기 연결관과 결합되는 결합부재와, 개방단인 일단이 상기 결합부재의 경사 가이드 통로사이에 위치하도록 상기 입자 분석기 유출 포트와 상기 매니폴드 연결 포트의 각각에 타단이 연결된 제 1 및 2 내부관을 포함하며, 이때 경사 가이드 통로는 본체의 타측으로 경사진다.In the present invention, the flow forming portion is formed in the middle of the opening, the connecting tube is connected to both ends of the collecting tube connection port and the particle analyzer inlet port, and the inclined guide passage is formed, the guide passage is the opening and First and second inner ends connected to each of the particle analyzer outlet port and the manifold connection port such that a coupling member coupled to the connecting tube and an open end are positioned between the inclined guide passages of the coupling member to communicate with each other. And a pipe, wherein the inclined guide passage is inclined to the other side of the main body.
입자 분석기 유입 포트와 수집튜브 연결 포트는 서로 대응하게 위치되며, 상기 입자 분석기 유출 포트와 상기 매니폴드 연결 포트는 입자 분석기 유입 포트를 중심으로 상하에 설치된다.The particle analyzer inlet port and the collection tube connection port are located corresponding to each other, and the particle analyzer outlet port and the manifold connection port are installed above and below the particle analyzer inlet port.
본 발명에 의하면, 문제가 발생된 수집튜브 또는 연결부위에 대해 매니폴드 포트를 통해 연결하여 매니폴드부에서 발생한 진공압력을 이용하되, 샘플링된 공기를 입자 분석기에서 직접 측정할 수 있게 됨에 따라 파티클이 발생하는 매니폴드의 특정 포트의 이상유무를 편리하게 검사할 수 있는 효과를 가진다.According to the present invention, while using the vacuum pressure generated in the manifold portion by connecting through the manifold port to the collection tube or connection portion in question, the particles can be measured directly in the particle analyzer It has the effect that it can conveniently inspect the abnormality of the specific port of the generated manifold.
도 1은 종래의 입자분석기 매니폴드 시스템의 구성을 나타내는 다이어그램이고,
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 입자분석기 매니폴드 시스템용 테스트 장치를 나타내는 구성도이고,
도 3의 도 2의 흐름 형성부에 대한 상세도이다.1 is a diagram showing the configuration of a conventional particle analyzer manifold system,
2 is a block diagram showing a test apparatus for a particle analyzer manifold system according to an embodiment of the present invention,
3 is a detailed view of the flow forming part of FIG. 2.
이하 본 발명의 가장 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 더욱 상세히 설명하기로 한다.DETAILED DESCRIPTION Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those skilled in the art may easily implement the present invention.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 입자 분석기 매니폴드 시스템용 테스트 장치를 나타내고 있다. 도시된 바와 같이, 본 발명의 입자 매니폴드 시스템용 테스트 장치는 원통상의 테스트 챔버 본체(100)로서, 그 일측에는 수집튜브(10)와 연결되는 수집튜브 연결 포트(110)가 형성되며, 그 타측에는 매니폴드부(20)의 각 취입포트(22)와 연결되는 매니폴드 연결 포트(120)와, 입자분석기(30)의 샘플링 유입관(32)과 연결되는 입자 분석기 유입 포트(130)와, 입자 분석기(30)의 유출관(34)과 연결되는 입자 분석기 유출 포트(140)가 형성된다. 입자 분석기 유입 포트(130)와 수집튜브 연결 포트(110)는 서로 대응하게 위치되며, 입자 분석기 유출 포트(130)와 매니폴드 연결 포트(120)는 입자 분석기 유입 포트(130)를 중심으로 상하에 설치되어 있다.2 shows a test apparatus for a particle analyzer manifold system according to one embodiment of the invention. As shown, the test apparatus for the particle manifold system of the present invention is a cylindrical
또한 테스트 챔버 본체(100)의 내부에는 매니폴드부(20)에서 발생한 진공압력에 의해 일정한 공기의 흐름을 유지하도록 흐름 형성부(150)를 형성한다. 이 흐름 형성부(150)는 수집튜브 연결 포트(110)와 입자 분석기 유입 포트(130)에 양단이 서로 연결되는 연결관(160)과, 이 연결관(160)을 서로 결합하는 결합부재(180)로 이루어지며, 연결관(160)에는 개방부(162)가 형성되고, 결합부재(180)에는 경사 가이드 통로(182)가 형성되며, 이때 가이드 통로(182)가 개방부(162)와 연통된다.In addition, the
한편, 입자 분석기 유출 포트(140)와 결합부재(180)의 경사 가이드 통로(182)의 사이 및 매니폴드 연결 포트(120)와 결합부재(180)의 경사 가이드 통로(182)의 사이에는 일단이 개방단부이고, 타단이 상기 매니폴드 연결 포트(120)와 입자 분석기 유출 포트(140)와 각각 연결되는 제 1 및 2 내부관(172)(174)가 위치된다.Meanwhile, one end is disposed between the particle
도 3에 상세히 도시된 바와 같이, 결합부재(180)의 경사 가이드 통로(182)는 본체(100)의 타측으로 소정의 각도로 경사지되 그 직경은 1-3mm이지만, 샘플링 공기의 흐름율에 따라 조절될 수 있다.As shown in detail in FIG. 3, the
이와 같이 구성된 본 발명의 입자 분석기 매니폴드 시스템용 테스트 장치의 작동을 도 1 내지 도 3을 참조하여 설명하면 다음과 같다.Operation of the test apparatus for the particle analyzer manifold system of the present invention configured as described above will be described with reference to FIGS. 1 to 3.
클린룸내의 공기를 이송하고자 매니폴드부(20)의 각 취입포트(22)에 연결된 수집튜브 중에서 꺽이거나 취입포드(22)와의 연결부위에서 리크(leakage)가 발생하게 되면, 발생된 포인트에 대한 평가를 위해 매니폴드부(20)에 연결된 수집튜브(10)를 제거한 후, 제거한 수집튜브(10)를 테스트 챔버 본체(100)의 일측에 형성된 수집튜브 연결 포트(110)에 연결시키고, 입자 분석기(30)의 샘플링 유입관(32)과 유출관(34)을 각각 입자 분석기 유입 포트(130)와 유출 포트(140)에 연결시킨다.Evaluate the generated points when bending in the collection tube connected to each blowing
이어서, 매니폴드부(20)의 미사용 취입포트(22) 또는 검증 대상 취입포트(22)와 본체(100)의 타측에 형성된 매니폴드 연결 포트(120)와 연결하여, 매니폴드부(20)내부의 진공압력이 본체(100)내부의 압력과 균일하게 함으로서 수집튜브 연결 포트(110)에 연결된 수집튜브(10)의 개방단을 통해 샘플링하고자 하는 공기가 연결관(160)으로 이송되어, 입자 분석기 유입 포트(130)와 샘플링 유입관(32)을 통해 입자 분석기(30)로 유입되어 측정된 후, 유출관(34)과 입자 분석기 유출 포트(140)를 통해 본체(100)로 배출된 후, 매니폴드 연결 포트(120)로 빠져나가게 된다. 이러한 일련의 과정을 거쳐 매니폴드부의 특정 취입포트의 환경상태나 이상유무를 편리하게 판단하게 된다. Subsequently, the manifold portion 20 is connected to the unused blowing
이상에서 설명한 것은 본 발명에 따른 입자 분석기 매니폴드 시스템용 테스트 장치의 하나의 바람직한 실시예에 불과한 것으로서, 상기한 실시예에 한정되지 않는 것이며, 이하의 특허청구범위에서 청구하는 바와 같이 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변경 실시가 가능한 범위까지 본 발명의 기술적 정신이 있다고 할 것이다.What has been described above is only one preferred embodiment of the test apparatus for the particle analyzer manifold system according to the present invention, which is not limited to the above-described embodiment, and the subject matter of the present invention as claimed in the following claims. Without departing from the technical spirit of the present invention to the extent that any person of ordinary skill in the art to which the present invention pertains various modifications can be made.
10 : 수집튜브 20 : 매니폴드부
30 : 입자분석기 40 : 펌프
100 : 테스트 챔버 본체 110 : 수집튜브 연결 포트
120 : 매니폴드 연결 포트 130 : 입자분석기 유입 포트
140 : 입자분석기 유출 포트 150 : 흐름 형성부
160 : 연결관 162 : 개방부
172,174 : 제 1 및 제 2 내부관 180 : 결합부재
182 : 경사 가이드 통로10: collection tube 20: manifold
30: particle analyzer 40: pump
100: test chamber body 110: collection tube connection port
120: manifold connection port 130: particle analyzer inlet port
140: particle analyzer outlet port 150: flow forming unit
160: connector 162: opening
172,174: first and second inner tube 180: coupling member
182: inclined guide passage
Claims (4)
원통상의 테스트 챔버 본체와,
수집튜브와 연결되도록 상기 본체의 일측에 형성되는 수집튜브 연결 포트와,
매니폴드부의 각 취입포트와 연결되도록 상기 본체의 타측에 형성되는 매니폴드 연결 포트와,
입자 분석기의 샘플링 유입관과 연결되도록 상기 본체의 타측에 형성되는 입자 분석기 유입 포트와,
상기 입자 분석기의 유출관과 연결되도록 상기 본체의 타측에 형성되는 입자 분석기 유출 포트와,
상기 매니폴드부에서 발생한 진공압력에 의해 상기 수집튜브 연결 포트를 통해 상기 본체내로 유입되는 공기가 상기 입자 분석기 유입 포트를 통해 일정하게 흐르도록 상기 본체의 내부에 형성된 흐름 형성부를 포함하는
입자 분석기 매니폴드 시스템용 테스트 장치.
A test apparatus for a particle analyzer manifold system,
Cylindrical test chamber body,
A collection tube connection port formed at one side of the main body to be connected to the collection tube;
A manifold connecting port formed on the other side of the main body so as to be connected to each blowing port of the manifold part;
A particle analyzer inlet port formed at the other side of the main body so as to be connected to a sampling inlet tube of the particle analyzer;
A particle analyzer outlet port formed at the other side of the main body so as to be connected to the outlet tube of the particle analyzer;
And a flow forming part formed inside the main body such that air flowing into the main body through the collecting tube connection port by the vacuum pressure generated in the manifold part flows uniformly through the particle analyzer inlet port.
Test equipment for particle analyzer manifold systems.
상기 흐름 형성부는
중간에 개방부가 형성되어, 상기 수집튜브 연결 포트와 입자 분석기 유입포트에 양단이 서로 연결되는 연결관과,
경사 가이드 통로가 형성되며, 이 가이드 통로가 상기 개방부와 연통되도록 상기 연결관과 결합되는 결합부재와,
개방단인 일단이 상기 결합부재의 경사 가이드 통로사이에 위치하도록 상기 입자 분석기 유출 포트와 상기 매니폴드 연결 포트의 각각에 타단이 연결된 제 1 및 2 내부관을 포함하는
입자 분석기 매니폴드형 시스템의 테스트 장치.
The method of claim 1,
The flow forming unit
Opening is formed in the middle, and the connecting tube is connected to both ends of the collecting tube connection port and the particle analyzer inlet port,
An inclined guide passage is formed, and a coupling member coupled to the connecting pipe so that the guide passage communicates with the opening portion;
A first and a second inner tube having the other end connected to each of the particle analyzer outlet port and the manifold connection port so that one end, which is an open end, is located between the inclined guide passages of the coupling member.
Test equipment for particle analyzer manifold systems.
상기 경사 가이드 통로는 상기 본체의 타측으로 경사지는
입자 분석기 매니폴드형 시스템의 테스트 장치.
The method of claim 2,
The inclined guide passage is inclined toward the other side of the main body
Test equipment for particle analyzer manifold systems.
상기 입자 분석기 유입 포트와 상기 수집튜브 연결 포트는 서로 대응하게 위치되며,
상기 입자 분석기 유출 포트와 상기 매니폴드 연결 포트는 상기 입자 분석기 유입 포트를 중심으로 상하에 설치되는
입자 분석기 매니폴드 시스템용 테스트 장치.The method of claim 1,
The particle analyzer inlet port and the collection tube connection port are located corresponding to each other,
The particle analyzer outlet port and the manifold connection port are installed above and below the particle analyzer inlet port.
Test equipment for particle analyzer manifold systems.
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
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