KR20190039365A

KR20190039365A - Gas Sampler and Gas detection device using the same

Info

Publication number: KR20190039365A
Application number: KR1020170128527A
Authority: KR
Inventors: 박승모
Original assignee: 박승모
Priority date: 2017-10-03
Filing date: 2017-10-03
Publication date: 2019-04-11

Abstract

Disclosed are a gas sampler and a detection device using the same which can be applied to an automatic detection device and a management system installed at a place where a gas leak can occur. The gas sampler includes: a bypass automatic flow controller to suck gas to be detected by a pump installed in a sampling device at a plurality of places, operate the sucked sample gas independently or mix the gas, and minimize effects on a sample length; a three-way valve and an inflow controller installed on a front end of a measurement module; and an automatic flow controller connected to a vacuum pump to minimize effects on a flow and a pressure in a mixing tank of air sucked by a plurality of valves. Calibration gas can be supplied to the measurement module by the three-way valve installed on a front end of a sensor by manual or automatic control. An inflow meter is installed on a front end of the measurement module to diagnose a state of the measurement module.

Description

Gas sampler and sensing device using same

본 발명은 가스 샘플러 및 이를 이용하는 감지 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게 가스 누설이 발생할 수 있는 장소에 설치되는 자동 검출 장치 및 관리 시스템에 적용할 수 있는 가스 샘플러 및 이를 이용하는 감지 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a gas sampler and a sensing device using the gas sampler, and more particularly, to a gas sampler applicable to an automatic detection device and a management system installed in a place where gas leakage can occur and a sensing device using the same.

일반적으로 대형 공장에서는 여러 설비가 상호 연결되어 있으며 특히 설비의 노후화, 작업자의 실수 등으로 누수나 누설이 발생할 수 있다. 그 경우, 누수나 누설 부위를 찾아내어 신속하게 누수나 누설 부위를 수리하고 누수나 누설로 인한 피해를 줄여야 한다. 하지만, 반도체 공정 등에서는 사람에게 유해한 화학약품을 많이 사용하여 적은 양의 누출로도 사람에게 치명적인 피해를 입히는 일이 빈번하다.Generally, in a large factory, various facilities are interconnected, and leakage or leakage may occur due to the deterioration of the facility and the operator's mistake. In such a case, it is necessary to locate leaks or leaks, repair leaks or leaks quickly, and reduce the damage caused by leaks or leaks. However, in semiconductor processing and the like, a lot of chemicals harmful to humans are frequently used, and even a small amount of leakage often causes fatal damage to people.

최근 석유화학단지, 반도체 공정 등에서 시설의 노후화나 작업자의 실수 등에 의한 약품 누출로 인하여 대형 사고로 이어질 우려가 많다. 그 경우, 시설물 손상, 복구비용 등의 막대한 손실이 있게 되지만, 종래의 누수나 누설 발생시에 감시자가 확인하기 전까지는 누설 발생 사실을 알기가 어려운 실정이었다.In recent petrochemical complexes and semiconductor processes, there is a possibility of major accidents due to the leakage of chemicals due to aging of facilities or mistakes by workers. In such a case, there is a huge loss such as facility damage, restoration cost, etc. However, it was difficult to know the leakage occurrence until the monitor confirms the leakage or leakage in the past.

더욱이, 반도체 공정 라인이나 대단위 화학 공업 단지, 발전소 등의 경우, 누설에 의한 심각한 피해가 예상되는 중요시설이지만, 이러한 시설 대부분에서도 재정적 이유, 적절한 방안 부재 등의 여러 가지 이유로 아직까지 일정한 장소에 측정 장비를 설치하고 관리 시스템을 적용하고 있지 못한 실정이다.In addition, semiconductor process lines, large-scale chemical industrial complexes, and power plants are important facilities that are expected to cause serious damage due to leakage. However, in many of these facilities, measurement facilities And the management system is not applied.

즉, 종래의 측정 장비는 1대의 측정 장비가 한 개의 장소만 측정 가능한 구조로 관리 시스템이 필요하지 않은 구조이 있었다.That is, a conventional measuring apparatus has a structure in which one measuring apparatus can measure only one place, and a management system is not required.

이와 같이, 반도체 공정 등에는 사람에게 생명을 위협할 수 있는 약품이 많이 사용되고 있기 때문에 공정을 전체 장소에 대하여 체계적으로 관리하고 누설이 있을 경우 그 피해를 최소화할 수 있는 방안이 절실히 요구되고 있는 실정이다.In this way, semiconductor manufacturing processes are often used for chemicals that can pose a life threat to human beings. Therefore, there is a desperate need for a system that can systematically manage the entire process and minimize the damage if leakage occurs .

등록특허공보 제10-1658507호(2016.09.12.)Patent Registration No. 10-1658507 (Dec. 12, 2016)

이에 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 샘플링제어서버, 샘플링장치, 측정장비 등의 프로그램을 통합하여 효율적으로 관리할 수 있도록 하는 가스 샘플러 및 이를 포함하는 감지 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, the present invention has been made keeping in mind the above problems occurring in the prior art, and an object of the present invention is to provide a gas sampler and a sensing device including the sampler, which can efficiently manage programs such as a sampling control server, a sampling device, There is a purpose.

본 발명의 다른 목적은, 반도체 공장, 화학공장 등의 경우 인간에게 유해한 화학약품을 사용할 수밖에 없는 실정에서 여러 장소를 동시에 관리하면서 누설이 발생할 경우 누설 장소를 빠른 시간에 찾아서 인적 물적 피해를 최소화시킬 수 있는 가스 샘플러 및 이를 포함하는 감지 장치를 제공하는데 있다.It is a further object of the present invention to provide a method and apparatus for controlling a plurality of places simultaneously in a semiconductor factory, a chemical factory, etc., in which a harmful chemical is inevitably used, And a sensing device including the gas sampler.

본 발명의 기존 기술에서는 흡입 라인은 한개 할 경우와 다수를 할경우는 기존 유량계의 일정 유량 국한되어 설정됨므로 측정모듈에 흡인 펌프의 압력차에 의한 영향이 발생되어 측정 모듈에 영향을 미치는 경우가 발생할 수 있어 본 발명을 측정 모듈에 영향을 미치는 것을 최소화 시킬 수 있는 샘플러를 제공하는데 있다.In the existing technology of the present invention, since the suction line is limited to a constant flow rate of the existing flow meter in the case of one or a plurality of suction lines, the influence of the pressure difference of the suction pump on the measurement module affects the measurement module The present invention is to provide a sampler capable of minimizing the influence of the present invention on a measurement module.

본 발명의 또 다른 목적은, 전자제품 제조 라인에서 여러 공정의 진행되고 있는 제조 라인에서 여러 장소를 동시에서 가스를 샘플링하여 측정하고 있다가 일부분에서 누설 발생이 되면 검출되어 측정 장비에서 측정 농도가 설정 값보다 높게 되면 자동적으로 누설 장소를 자동 확인할 수 있는 가스 샘플러 및 이를 포함하는 감지 장치를 제공하는데 있다.It is a further object of the present invention to provide a method and apparatus for measuring the concentration of a gas in a measuring apparatus, A gas sampler capable of automatically detecting a leak location automatically when the temperature of the gas sampler becomes higher than a predetermined value, and a sensing device including the gas sampler.

상기 기술적 과제를 해결하기 위한 본 발명의 일 측면에 따른 가스 샘플러는, 복수의 장소에서 검지 대상 가스를 샘플링 장치에 내부에 설치되어 있는 펌프로 흡입하며 흡입된 샘플 가스는 밸브에 의하여 단독 또는 혼합이 동작이 되며 샘플길이에 대한 영향을 최소화하기 위한 바이패스 자동유량조절기 설치하고 측정 모듈 전단에 삼방향 밸브와 유입 유량조절기 설치한 것과, 복수개의 밸브에 의한 흡입된 공기의 혼합조에서 유량과 압력에 대한 영향을 최소화하기 위한 자동유량조절기 설치하고 진공펌프와 연결된 것과, 수동, 자동 제어에 의하여 감지기의 전단에 설치된 삼방향 밸브에 의하여 측정 모듈에 교정가스 공급도 가능하도록 하며, 측정모듈 전단에 유입 유량계를 설치하여 측정 모듈의 상태를 진단할 수 있는 특징을 가진다.According to an aspect of the present invention, there is provided a gas sampler, wherein a gas to be detected is sucked by a pump installed in a sampling device at a plurality of locations, In order to minimize the effect on the sample length, it is necessary to install a bypass automatic flow regulator, to install a three-way valve and an inflow flow regulator in front of the measurement module, and to control the flow rate and pressure It is possible to supply the calibration gas to the measuring module by means of the three-way valve installed on the front side of the sensor by the manual and automatic control, and the flow meter connected to the vacuum pump and the inlet flow meter So that the state of the measurement module can be diagnosed.

일실시예에서, 상기 공기 유입관과 결합되어 복수개의 유입관과 연결된 자동유량조절장치를 포함할 수 있다.In one embodiment, it may include an automatic flow control device associated with the air inlet pipe and connected to a plurality of inlet pipes.

일실시예에서, 감지기 또는 측정장치의 전단에 삼방향 밸브를 설치하여 삼방향 밸브를 교정가스등에 공급으로 감지기의 성능을 진단할 수 있다.In one embodiment, a three-way valve may be provided at the front end of the sensor or measuring device to provide a three-way valve to the calibration gas to diagnose the performance of the sensor.

일실시예에서, 감지기의 전단에 유량제어기를 설치하여 감지기의 유량을 표시할 수 있다.In one embodiment, a flow controller may be installed at the front end of the detector to indicate the flow rate of the detector.

일실시예에서, 감지기의 농도에 따라 자동으로 삼방향 밸브의 동작으로 감지기의 정상 유무 확인할 수 있다.In one embodiment, the presence or absence of a sensor may be automatically determined by operation of the three-way valve according to the concentration of the sensor.

일실시예에서, 상기 혼합관의 유입되는 공기의 량을 조절하기 위하여 자동유량 조절기 또는 동등 이상의 제어를 위한 구성부를 추가하여 포함할 수 있다.In one embodiment, an automatic flow regulator or a component for equal or greater control may be included to control the amount of air entering the mixing tube.

또한, 본 발명의 감지장치는 샘플러를 통해 유입된 샘플공기가 감지장치에 공급되며 유입된 공기의 농도를 알 수 있는 구조이다. 메인서버에서 샘플링제어장치를 통하여 프로그램에 의한 자동 제어로 샘플링장치를 제어하여 자동으로 누설 장소를 검출하는 장치로 수동이나 자동으로 제어 가능한 구조이며 또는 샘플링제어서버는 측정 장비 상태를 실시간으로 메인서버로 전송함으로 동작 상태를 중앙 제어실과 관리자에게 SMS 와 E-mail로 원방 또는 양방으로 전송할 수 있다.In addition, the sensing device of the present invention is a structure in which the sample air introduced through the sampler is supplied to the sensing device and the concentration of the introduced air can be known. It is a device that can automatically or manually control the sampling device by automatically controlling the sampling device through the sampling control device in the main server. It is a structure that can be controlled manually or automatically. By transmitting, the operation status can be transmitted to the central control room and the manager by SMS or e-mail to the remote control or both.

본 발명의 가스 샘플러는 공정의 여러 장소에서 샘플링 공기를 포집하는 샘플링장치와 측정장비를 모듈로 구성된다. 샘플링 장치의 경우, 여러 장소의 샘플링 공기를 일정한 장소로 모으기 위하여 샘플링 위치로부터의 거리가 다르므로 거리에 따른 바이패스의 자동유량기를 설치하고 일정한 유량을 끌어들이는 샘플 펌프를 설치한다. 바이패스의 유량계로 샘플링 유량을 일정하게 흘려보냄으로써 흡착성이 강한 약품(암모니아, 염화수소, 프로화수소 등)에 대하여 밸브 후단에는 유량계를 설치하지 않고 응답속도를 최대한 높을 수 있다. 감지기 전단에 3방향(3-way) 밸브를 설치하여 감지기의 성능 상태를 진단 가능하며 그에 의해 기존 감지기에서의 성능 상태 진단의 어려움으로 인해 발생할 수 있는 피해를 최소화할 수 있는 것을 특징으로 한다.The gas sampler of the present invention is composed of a sampling device for collecting the sampling air at various places in the process and a measuring device as a module. In the case of the sampling device, since the distance from the sampling position is different in order to collect sampling air of various places in a certain place, install a bypass automatic flow meter according to the distance and install a sample pump to draw a constant flow rate. It is possible to maximize the response speed without installing a flow meter at the downstream of the valve for chemicals with strong adsorption (ammonia, hydrogen chloride, hydrogen fluoride, etc.) by flowing the sampling flow rate constantly to the bypass flowmeter. A 3-way valve is installed at the front of the detector to diagnose the performance status of the detector, thereby minimizing the damage caused by difficulty in diagnosing the performance state of the existing detector.

본 발명에 따르면, 대형공장인 화학 공장, 반도체 공장 등 특히 인간에게 유해한 약품을 사용하고 있는 장소의 공정 설비를 효율적으로 관리할 수 있을 뿐만 아니라 그에 따른 불필요한 낭비를 줄이고 운영비용을 절감할 수 있는 효과가 있다.According to the present invention, it is possible not only to efficiently manage process equipment in a place where chemicals harmful to humans are used, such as a chemical factory and a semiconductor factory, which are large factories, but also to reduce unnecessary waste and reduce operating costs .

또한, 본 발명에 따르면, 여러 장소를 동시에 샘플링하고 샘플링 위치를 찾아서 알려주는 장치를 사용함으로써, 여러 장소를 모니터링하는 효과와 누설 위치를 가장 빠른 방법으로 찾아낼 수 있고, 그에 의해 화학 공장이나 반도체 공정에서 안전 사고 예방, 비용 절감 등에 크게 기여할 수 있다.Further, according to the present invention, by using an apparatus for simultaneously sampling several places and finding and notifying sampling positions, it is possible to find out the effect of monitoring various places and the leakage position in the fastest way, It can greatly contribute to safety accident prevention and cost reduction.

또한, 본 발명에 따르면, 반도체 공정 등 대단위 공정 설비의 여러 장소의 가스 분위기를 실시간 샘플링하여 관리함으로써 공정 설비의 여러 장소를 효율적으로 관리할 수 있을 뿐만 아니라 설비의 노후화 등으로 발생할 수 있는 파손이나 누설로 인하여 대형 사고를 미연에 방지하거나 안전사고를 최소화할 수 있는 효과가 있다.Further, according to the present invention, it is possible to efficiently manage various places of process facilities by real-time sampling and management of gas atmosphere at various places of large-scale process facilities such as semiconductor process, as well as to prevent breakage or leakage It is possible to prevent large accidents and to minimize safety accidents.

또한, 본 발명에 따르면, 대형 공장에서 여러 장소를 동시에 관리와 또한 공정의 노후화 등으로 발생한 누설위치를 찾아가는 장치를 제공할 수 있다. 특히, 반도체 공정과 같이 위험 약품을 취급하는 대단위 공정에서 공정 설비의 여러 장소에서의 가스 누출을 효율적으로 관리할 수 있는 누설발생장소 자동검출장치를 제공할 수 있다.Further, according to the present invention, it is possible to provide a device for searching for a leakage position caused by simultaneous management of various places in a large factory and deterioration of the process. In particular, it is possible to provide a leakage detection system automatic detection apparatus capable of efficiently managing gas leakage in various places of process facilities in a large-scale process for handling hazardous chemicals such as a semiconductor process.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 가스샘플러의 개략적인 구성도이다.
도 2은 본 발명의 다른 실시예에 따른 가스샘플러와 가스 장치의 개략적인 구성도이다.1 is a schematic configuration diagram of a gas sampler according to an embodiment of the present invention.
2 is a schematic configuration diagram of a gas sampler and a gas device according to another embodiment of the present invention.

이하, 본 발명의 실시예에 따른 가스 샘플러 및 이를 이용하는 감지 장치를 첨부된 도면을 통하여 상세히 설명한다.Hereinafter, a gas sampler according to an embodiment of the present invention and a sensing apparatus using the same will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 가스 샘플러의 개략적인 구성도이다.1 is a schematic configuration diagram of a gas sampler according to an embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 본 실시예에 따른 가스 샘플러(100)는, 복수 개의 공기 유입관(120)과 유입 솔레노이드 밸브(127)와 혼합관(130)과 자동유량조절기(135)와 바이패스관(140)과 바이패스 자동유량 조절기(145)와 삼방향밸브(174)와 유입 유량조절기(125) 공기 공급관(150) 및 진공 펌프(160)를 포함하여 형성된다. 또한, 상기 가스 샘플러(100) 는 복수 개의 공기 포집관(110) 및 청소용 공기 공급관(170)을 더 포함하여 형성될 수 있다.Referring to FIG. 1, the gas sampler 100 according to the present embodiment includes a plurality of air inflow pipes 120, an inflow solenoid valve 127, a mixing pipe 130, an automatic flow regulator 135, A three-way valve 174, an inflow flow rate controller 125, an air supply pipe 150, and a vacuum pump 160. The bypass 140, the bypass automatic flow controller 145, the three-way valve 174, The gas sampler 100 may further include a plurality of air collecting pipes 110 and a cleaning air supply pipe 170.

상기 가스 샘플러(100)는 공기 유입관(120)과 유입 솔레노이드 밸브(127)와 메인혼합관(130)과 자동유량조절기(135)와 바이패스관(140)과 바이패스 자동유량 조절기(145)와 삼방향밸브(174)와 유량 유량계(125) 공기 공급관(150) 및 진공 펌프(160)구성하며, 공기 포집관(110)이 가스 샘플러 본체(100a)로부터 외부로 연장되어 형성된다.The gas sampler 100 includes an air inlet pipe 120, an inlet solenoid valve 127, a main mixing pipe 130, an automatic flow regulator 135, a bypass pipe 140, a bypass automatic flow regulator 145, A three-way valve 174 and a flow rate meter 125 constitute an air supply pipe 150 and a vacuum pump 160. The air collection pipe 110 is formed to extend outward from the gas sampler main body 100a.

상기 가스 샘플러(100)는 가스 누설 여부를 감지하는 복수 개의 위치(이하 '감지 위치'라 한다)에서 동시에 포집되는 공기를 측정 모듈(20)로 공급한다.The gas sampler 100 supplies air to the measurement module 20 at the same time at a plurality of positions (hereinafter, referred to as 'sensing positions') for detecting gas leakage.

이때, 상기 가스 샘플러(100)는 각 감지 위치에서 포집되는 공기를 균일한 유량으로 측정 모듈(20)로 공급하여 삼방향밸브(174)와 유입 유량조절기(125)를 설치하여 감기의 공급되는 유량을 감시 또는 조절할 수 있다.At this time, the gas sampler 100 supplies the air collected at each sensing position to the measurement module 20 at a uniform flow rate to provide a three-way valve 174 and an inflow flow rate controller 125, Can be monitored or adjusted.

한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 가스 누설 감지 장치(10)는 가스 샘플러(100) 및 측정 모듈(20)을 포함하여 형성된다. 상기 측정 모듈(20)은 공기 포집관(110)의 개수가 많은 경우에 2대 이상으로 형성될 수 있다. 상기 가스측정 모듈(20)은 가스 성분의 성분 분석에 사용되는 일반적인 분석기로 형성된다.Meanwhile, a gas leakage sensing apparatus 10 according to an embodiment of the present invention includes a gas sampler 100 and a measurement module 20. The measurement module 20 may be formed of two or more air collecting pipes 110 when the number of the air collecting pipes 110 is large. The gas measurement module 20 is formed by a general analyzer used for analyzing the composition of the gas component.

또한, 상기 가스 누설 측정 장치(10)는 별도의 제어부(미도시)를 구비하여 가스 샘플러(100)와 측정 모듈(20)의 작동을 제어할 수 있다In addition, the gas leakage measuring apparatus 10 may include a separate controller (not shown) to control the operation of the gas sampler 100 and the measuring module 20

상기 측정 모듈(20)은 가스 샘플러(100)로부터 공급되는 공기를 분석하여 감지 대상 가스의 농도를 산출하고, 산출된 농도로부터 감지 대상 가스의 누설 여부를 확인한다. The measurement module 20 analyzes the air supplied from the gas sampler 100 to calculate the concentration of the gas to be detected, and confirms whether the gas to be detected is leaked from the calculated concentration.

따라서, 상기 측정 모듈(20)은 감지 대상 가스의 누설이 있는 경우에 신속하게 가스가 누설된 감지 위치를 확인할 수 있도록 일반적인 장치이나 삼방향밸브(174)와 유입 유량계 (125)의 설치함으로 감지기의 정확한 성능 상태를 보다 파악할 수 있어서 감지 농도의 신뢰성을 높일 수 있다.Accordingly, the measurement module 20 can be installed in a general device or a three-way valve 174 and an inflow flow meter 125 to detect a leaked gas detection position in the presence of leakage of the gas to be detected, The accurate performance state can be grasped more reliably and the reliability of the detection concentration can be improved.

즉, 본 실시예에 따른 가스 샘플러는 혼합관에 유입되는 흡입 공기량과 측정모듈에 공급하는 흡인 유량을 조절하기 위하여 혼합관과 흡인펌프 사이에 유량조절기나 밸브 등으로 유량제어가 가능한 구조를 포함하는 것을 특징으로 한다. 혼합관(130)과 흡인펌프(160) 사이에는 유량조절기(135)나 밸브를 설치하여 유량을 제어할 수 있다.That is, the gas sampler according to the present embodiment includes a structure capable of controlling the flow rate between a mixing pipe and a suction pump by a flow regulator or a valve in order to regulate the amount of intake air flowing into the mixing pipe and the suction flow rate supplied to the measurement module . A flow rate controller 135 or a valve may be provided between the mixing pipe 130 and the suction pump 160 to control the flow rate.

또한, 상기 가스 누설 감지 장치(10)는 측정 모듈(20)로부터 산출된 농도로부터 감지 대상 가스의 누설 정도를 파악하고 필요한 경우에 연결된 별도의 모니터(관리자의 컴퓨터 모니터)에 알람 신호 와 SMS등을 생성할 수 있다. 또한, 상기 가스 누설 감지 장치(10)는 감지 대상 가스의 누설정도에 따라 가스 누설에 대한 대응 방법을 가이드하여 진행되는 공정의 중단 여부 및 인원 대피 명령등 필요한 조치를 취하는데 도움을 줄 수 있다.In addition, the gas leakage detection device 10 can detect the degree of leakage of the gas to be detected from the concentration calculated from the measurement module 20, and transmit an alarm signal and an SMS to a separate monitor (administrator's computer monitor) Can be generated. In addition, the gas leakage sensing apparatus 10 can guide the countermeasures against gas leakage according to the degree of leakage of the gas to be sensed, thereby helping to take necessary measures such as stopping the process and ordering a personnel evacuation.

이하에서, 공기는 감지 대상 가스가 누설되어 혼합된 공기를 포함하는 개념이며, 이 경우에 가스와 같은 개념으로 사용될 수 있다. 여기서 감지 대상 가스는 암모니아, 염화 수소 또는 프로화수소와 같이 흡착성이 강한 성분일 수 있다.Hereinafter, air is a concept including air mixed with the gas to be detected leaked, and in this case, it can be used as a concept of gas. Here, the gas to be detected may be a strong adsorbing component such as ammonia, hydrogen chloride or hydrogen fluoride.

상기 공기 포집관(110)은 복수 개의 공기 포집관(110)으로 구성되며, 2개, 4개, 8개 또는 다수개 등으로 형성될 수 있다. 상기 공기 포집관(110)은 감지 위치의 개소에 대응되는 개수로 형성될 수 있다. 상기 공기 포집관(110)은 복수 개가 가스 샘플러 본체들(100a, 100b, 100c)이 설치되는 위치로부터 각각 감지 위치로 연장되어 형성된다.The air collecting pipe 110 is composed of a plurality of air collecting pipes 110, and may be formed of two, four, eight, or a plurality of pieces. The air collecting pipe 110 may be formed in a number corresponding to the location of the sensing position. The air collecting pipe 110 is formed to extend from the position where the gas sampler bodies 100a, 100b, and 100c are installed to the sensing positions, respectively.

상기 공기 포집관(110)은 가스 샘플러 본체(100a)로부터 감지 위치까지의 거리에 따라 어느 하나 또는 전체가 서로 다른 길이로 형성될 수 있다. 또한, 상기 공기포집관(110)은 감지 위치까지의 경로에 따라 꺽이는 회수 또는 곡률이 다를 수 있다. The air collecting pipe 110 may have a length different from that of the gas sampler 100a according to the distance from the gas sampler main body 100a to the sensing position. The air collecting pipe 110 may have a different number of turns or different curvatures depending on the path to the sensing position.

따라서, 상기 공기 포집관(110)은 길이, 꺽이는 회수 또는 곡률에 따라 내부를 흐르는 공기의 마찰력이 다르게 되어 포집하는 공기의 유량이 다를 수 있다.Therefore, the air collecting pipe 110 may have a different frictional force of the air flowing in the inside thereof depending on the length, the number of turns, or the curvature, so that the flow rate of the air to be collected may be different.

상기 공기 포집관(110)은 복수 개로 형성되는 경우에 적어도 2개의 그룹으로 분리되어 감지 위치의 가스 누설을 감지하도록 형성될 수 있다. When the air collecting pipes 110 are formed as a plurality of air collecting pipes 110, the air collecting pipes 110 may be divided into at least two groups to detect gas leakage at the sensing position.

상기 공기 포집관(110)이 그룹으로 분리되어 형성되는 경우에 가스 누설이 진행되는 감지 위치를보다 신속하게 감지할 있다. 이에 대하여는 이하에서 보다 구체적으로 설명한다.In the case where the air collecting pipe 110 is divided into a group, the detection position where the gas leakage progresses can be detected more quickly. This will be described in more detail below.

상기 공기 유입관(120)은 일단이 공기 포집관(110)과 연결되며, 타단이 혼합관(130) 및 공기 공급관(150)과 연결된다. 상기 공기 유입관(120)은 혼합관(130)을 통하고 자동유량조절기(135) 후단에서 펌프(160)와 직렬로 연결된다. 상기 공기 유입관(120)은 적어도 공기 포집관(110)의 개수에 대응되는 개수로 형성된다. 상기 공기 유입관(120)은 개수가 공기 포집관(110)보다 많은 경우에 일부가 공기 포집관(110)과 연결되지 않고 유입 솔레노이드 밸브(127)에 의하여 차단될 수 있다. 상기 공기 유입관(120)은 공기 포집관(110)으로부터 유입되는 공기를 혼합관(130) 삼방향밸브(174)와 유입 유량조절기(125)에서 공기 공급관(150)으로 공급한다.One end of the air inlet pipe 120 is connected to the air collecting pipe 110 and the other end is connected to the mixing pipe 130 and the air supply pipe 150. The air inlet pipe 120 is connected to the pump 160 in series through the mixing pipe 130 and at the rear end of the automatic flow controller 135. The air inlet pipe 120 is formed at least in a number corresponding to the number of the air collecting pipes 110. When the number of the air inlet pipes 120 is larger than the number of the air collecting pipes 110, a part of the air inlet pipes 120 may not be connected to the air collecting pipe 110 but may be blocked by the inlet solenoid valve 127. The air inlet pipe 120 supplies the air introduced from the air collection pipe 110 to the air supply pipe 150 through the three-way valve 174 and the inflow flow rate controller 125 of the mixing pipe 130.

상기 공기 유입관(120)은 가스 샘플러(100) 내부에서 길이를 최소화하여 공기 유입관(120)의 길이에 따라 측정모듈(20)로 공급되는 공기의 공급량이 변화되는 것을 최소화한다. The length of the air inlet pipe 120 is minimized within the gas sampler 100 to minimize changes in the amount of air supplied to the measurement module 20 according to the length of the air inlet pipe 120.

또한, 상기 공기 유입관(120)은 길이를 최소화하여 진공펌프(160)의 진동에 의한 영향을 최소화한다. In addition, the length of the air inlet pipe 120 is minimized to minimize the influence of the vibration of the vacuum pump 160.

또한, 상기 공기 유입관(120)은 포집되어 유입되는 공기를 상대적으로 짧은 시간내에 측정 모듈(20)로 공급하여 가스 누설 여부의 감지에 소요되는 시간을 단축한다.In addition, the air inlet pipe 120 supplies the collected air to the measurement module 20 in a relatively short time, thereby shortening the time required for detection of gas leakage.

상기 공기 유입관(120)은 바람직하게는 공기 포집관(110)과 동일하거나 큰 직경을 가지도록 형성된다. 상기 공기 유입관(120)의 직경이 공기 포집관(110)보다 작은 경우에 공기 포집관(110)에 포집된 공기가 원활하게 공기 유입관(120)으로 유입되지 않을 수 있다.The air inlet pipe 120 is preferably formed to have a diameter equal to or larger than that of the air collecting pipe 110. The air collected in the air collecting pipe 110 may not flow smoothly into the air inlet pipe 120 when the diameter of the air inlet pipe 120 is smaller than the diameter of the air collecting pipe 110.

상기 삼방향밸브(174)와 유입 유량조절기(125)(125)는 혼합관(130)과 측정모듈(20)의 중간에 결합되며, 바람직하게는 공기 공급관(150)과 연결되는 타단에 인접한 위치에 결합되다. 상기 유입 유량조절기(125)는 측정모 듈(20)에 공급하는 공기의 유량을 표시한다. 즉 한편, 상기 유입 유량조절기(125) 측정 모듈(20) 공급하는 흐르는 공기의 유량을 조절하는 조절 기능을 구비하여, 측정모듈(20)로 공급되는 공기의 유량을 조절하도록 형성될 수 있다. 상기 유입 유량조절기(125) 가스의 유량을 표시 또는 제어하는 일반적인 유량계로 형성될 수 있다.The three-way valve 174 and the inflow flow controllers 125 and 125 are coupled between the mixing pipe 130 and the measurement module 20 and are preferably connected to the air supply pipe 150, Lt; / RTI > The inflow flow regulator 125 indicates the flow rate of the air to be supplied to the measurement module 20. In other words, the inflow flow rate controller 125 may be provided to control the flow rate of the air supplied to the measurement module 20 and to adjust the flow rate of the air supplied to the measurement module 20. The inlet flow regulator 125 may be formed as a general flow meter that displays or controls the flow rate of the gas.

한편, 유입 유량조절기(125)는 설치는 메모리 임팩트(memory impact)를 감소시켜기 위해 탈부착 가능한 구조로 가능하고 감지 대상 가스의 누설 농도 산출이 효율적으로 진행되도록 할 수 있다.On the other hand, the inflow flow regulator 125 can be installed in a detachable structure to reduce memory impact and can efficiently calculate the leakage concentration of the gas to be detected.

상기 공기 공급관(150)은 적어도 1개로 형성되며, 복수 개의 공기 유입관(120)과 동시에 연결된다. 이때, 상기 공기 공급관(150)은 일단이 복수 개의 공기 유입관(120)에 연결되고 타단이 측정모듈(20)에 연결된다. The air supply pipe 150 is formed of at least one and connected to a plurality of air inlet pipes 120 at the same time. At this time, one end of the air supply pipe 150 is connected to the plurality of air inlet pipes 120, and the other end is connected to the measurement module 20.

상기 공기 공급관(150)은 측정모듈(20)의 개수에 대응되는 개수로 형성된다. The air supply pipe 150 is formed in a number corresponding to the number of the measurement modules 20.

상기 공기공급관(150)은 복수 개의 공기 유입관(120)으로부터 유입되는 공기를 측정모듈(20)로 공급한다. 따라서, 상기 공기 공급관(150)은 복수 개의 공기 유입관(120)으로부터 유입되는 공기가 자연스럽게 혼합되면서 측정모듈(20)로 공급되도록 한다.The air supply pipe 150 supplies the air introduced from the plurality of air inlet pipes 120 to the measurement module 20. Accordingly, the air supply pipe 150 is supplied to the measurement module 20 while naturally flowing air from the plurality of air inlet pipes 120 is mixed.

상기 진공 펌프(160)는 혼합관(130)의 타단과 바이패스관(140)의 타단과 연결된다. The vacuum pump 160 is connected to the other end of the mixing pipe 130 and the other end of the bypass pipe 140.

상기 진공 펌프(160)는 공기 포집관(110)으로부터 공기를 포집하는데 필요한 흡인력을 제공한다. The vacuum pump 160 provides a suction force necessary to collect air from the air collecting pipe 110.

상기 진공 펌프(160)는 혼합관(130) 및 바이패스관(140)에 동시에 연결되어 있으므로 혼합관(130)과 바이패스관(140)을 통하여 공기 포집관(110)에 흡인력을 제공한다. Since the vacuum pump 160 is connected to the mixing pipe 130 and the bypass pipe 140 at the same time, the vacuum pump 160 provides the suction force to the air collecting pipe 110 through the mixing pipe 130 and the bypass pipe 140.

상기 진공 펌프(160)는 공기 포집관(110)의 개수와가스 측정 모듈(20)에서 분석에 필요로 하는 공기의 유량을 고려하여 적정한 흡인력을 제공하도록 형성된다. The vacuum pump 160 is formed to provide a proper suction force in consideration of the number of the air collecting pipes 110 and the flow rate of the air required for the analysis in the gas measuring module 20. [

또한, 상기 진공 펌프(160)는 공기 포집관(110)의 길이가 증가되거나 공기 포집관(110)의 직경에 감소하는 경우에 공기의 흐름에 따른 마찰력 증가로 인하여 증가되는 흡인력을 제공하도록 형성될 수 있다.상기 청소용 공기 공급관(170)은 일단이 개방되고 타단이 혼합관(130)에 연결된다. 상기 청소용 공기 공급관(170)은 개방된 일단에 별도의 공기 공급 모듈(미도시)이나 질소 가스 공급 모듈(미도시)이 연결될 수 있다. 상기 청소용 공기공급관(170)은 혼합관(130)에 연결된다. 상기 청소용 공기 공급관(170)은 중간에 차폐용 솔레노이드 밸브(173)가 결합되며, 필요한 경우에만 청소용 공기를 공급한다.In addition, the vacuum pump 160 may be configured to provide a suction force that is increased due to an increase in frictional force according to the flow of air when the length of the air collecting pipe 110 is increased or decreased in diameter of the air collecting pipe 110 The cleaning air supply pipe 170 is opened at one end and connected to the mixing pipe 130 at the other end. A separate air supply module (not shown) or a nitrogen gas supply module (not shown) may be connected to the open end of the cleaning air supply pipe 170. The cleaning air supply pipe 170 is connected to the mixing pipe 130. The cleaning air supply pipe 170 is connected to a solenoid valve 173 for shielding in the middle, and supplies cleaning air only when necessary.

다음은 본 발명의 일 실시예에 따른 가스 샘플러(100)의 작동 방법에 대하여 설명한다. 이하에서는 도 1에서 도시된 바와 같이 공기 유입관(120)이 4개로 형성 되는 경우를 기준으로 설명한다.Next, a method of operating the gas sampler 100 according to an embodiment of the present invention will be described. Hereinafter, as shown in FIG. 1, four air inlet pipes 120 will be described.

먼저, 상기 공기 포집관(110)의 일단을 감지 위치에 위치시키고 타단을 공기유입관(120)에 결합시킨다. 상기에서 설명한 바와 같이, 공기 포집관(110)은 감지대상 가스의 누설을 감지하는 감지 위치와 가스 샘플러(100)의 본체와의 거리에 따라 서로 다른 길이로 형성된다. 상기 진공 펌프(160)를 가동하고 각 공기 유입관(120)에 결합되어 있는 유입 솔레노이드 밸브(127)를 열어 공기 포집관(110)을통하여 공기가 포집되어 공기 유입관(120)으로 유입되도록 한다. 상기 공기 유입관(120)으로 유입되는 공기는 일부가 바이패스 자동유량 조절계(145)를 통하여 진공 펌프(160)로 흐르며, 일부가 자동유량조절기(135)를 통하여 진공 펌프(160)로 흐른다. 상기 자동 유량조절기(135)는 진공 펌프(160)를 통하여 흐르는 전체 공기의 유량을 표시한다. 이때, 상기 바이패스 자동유량 조절계(145)를 흐르는 공기의 유량이 표시 및 제어할 수 있다.First, one end of the air collecting pipe 110 is positioned at the sensing position and the other end is coupled to the air inlet pipe 120. As described above, the air collecting pipe 110 is formed to have a different length depending on the sensing position for detecting the leakage of the gas to be sensed and the distance between the body of the gas sampler 100 and the body. The vacuum pump 160 is operated and the inflow solenoid valve 127 connected to each air inflow pipe 120 is opened to collect the air through the air collecting pipe 110 and flow into the air inflow pipe 120 . A part of the air flowing into the air inflow pipe 120 flows to the vacuum pump 160 through the bypass automatic flow rate controller 145 and a part of the air flows to the vacuum pump 160 through the automatic flow controller 135. The automatic flow regulator 135 indicates the flow rate of the total air flowing through the vacuum pump 160. At this time, the flow rate of the air flowing through the bypass automatic flow rate controller 145 can be displayed and controlled.

다음으로, 상기 유입 유량조절기(125)를 통과하는 기준 공기 유량을 설정한다.Next, the reference air flow rate passing through the inflow flow rate controller 125 is set.

상기 기준 공기 유량은 측정 모듈(20)이 필요로 유량을 반영하여 결정한다.The reference air flow rate is determined by the measurement module 20 reflecting the required flow rate.

다음은 본 발명의 다른 실시예에 따른 가스 샘플러를 설명한다.The following describes a gas sampler according to another embodiment of the present invention.

본 발명의 다른 실시예에 따른 가스 샘플러(200)는, 도 2를 참조하면, 복수개의 공기 유입관(120)과 유입 솔레노이드 밸브(127)와 혼합관(130)과 자동 유량조절기(135)와 바이패스관(140)과 바이패스 자동유량 조절기(145)와 공기 공급관(150)와 진공 펌프(160)와 삼방향밸브(174)와 유입 유량조절기(125) 포함하여 형성된다. 2, a gas sampler 200 according to another embodiment of the present invention includes a plurality of air inlet pipes 120, an inlet solenoid valve 127, a mixing pipe 130, an automatic flow regulator 135, A bypass pipe 140, a bypass automatic flow controller 145, an air supply pipe 150, a vacuum pump 160, a three-way valve 174, and an inflow flow controller 125.

발명의 다른 실시예에 따른 가스 샘플러(200)는 본 발명의 일 실시예에 따른 가스 샘플러(100)와 다른 구성들은 동일 또는 유사하게 형성된다.The gas sampler 200 according to another embodiment of the present invention is formed the same or similar to the other configurations of the gas sampler 100 according to an embodiment of the present invention.

따라서, 이하에서는 상기 가스 샘플러(200)에 대하여 삼방향밸브(274)와 유입 유량계관(283) 및 유입 유량조절기(125)를 중심으로 설명한다. 또한, 상기 가스 샘플러(200)에서 본 발명의 일 실시예에 따른 가스 샘플러(100)의 구성과 동일 유사한 구성에 대하여는 동일한 도면 부호를 사용하며 차이가 있는 점을 중심으로 설명 한다.Accordingly, the three-way valve 274, the inflow flow meter pipe 283, and the inflow flow rate adjuster 125 will be mainly described with respect to the gas sampler 200. In the gas sampler 200, the same components as those of the gas sampler 100 according to an embodiment of the present invention are denoted by the same reference numerals, and differences will be mainly described.

본 발명의 다른 실시예에 따른 가스 샘플러(200)는 적어도 2개의 샘플러 유닛(200a, 200b, 200c)으로 분리되어 형성된다. 예를 들면, 상기 가스 샘플러(200)는, 도2를 참조하면, 제 1 샘플러 유닛(200a)과 제 2 샘플러 유닛(200b)과 샘플러 유닛(200c)으로 형성될 수 있다. 상기 샘플러 유닛(200a, 200b, 200c)은 1 대의 진공 펌프(160)와 1개의 혼합관(130)과 자동유량조절기(135)와 복수 개의 공기 포집관(110)과 공기 유입관(120)과 바이패스관(140)과 바이패스 유량 조절기(145)와 삼방향밸브(174) 유입 유량계관(283) 유입 유량조절기(125)가 연결되어 형성될 수 있다. 예를 들면, 상기 샘플러 유닛(200a, 200b, 200c)은 공기 포집관(110)과 공기 유입관(120) 및 바이패스관(140)이 2개~ 10개로 형성될 수 있다. 유입유량계(125)상기 후단은 샘플러 유닛(200a, 200b,200c)의 함께 공기 공급관(150)에 연결된다. 상기 샘플러 유닛(200a, 200b, 200c)은 서로 독립적으로 또는 혼합적으로 공기를 포집하여 1 개의 공기 공급관(150)을 통하여 측정 모듈(20)로 공급한다. 즉, 상기 샘플러 유닛(200a, 200b, 200c)은 진공 펌프(160)의 작동에 의하여 복수개의 공기 포집관(110)으로부터 공기를 포집할 수 있도록 형성될 수 있다. 공기 공급관(150)을 통하여 가스 측정 모듈(20)로 공급한다. 상기 가스 샘플러(200)는 감지 위치의 개소에 따라 샘플러 유닛(200a, 200b, 200c)의 개수 및 공기 포집관(110)의 개수가 달리 형성될 수 있다.The gas sampler 200 according to another embodiment of the present invention is formed separately from at least two sampler units 200a, 200b, and 200c. For example, referring to FIG. 2, the gas sampler 200 may include a first sampler unit 200a, a second sampler unit 200b, and a sampler unit 200c. The sampler units 200a, 200b and 200c include a single vacuum pump 160, a mixing pipe 130, an automatic flow controller 135, a plurality of air collecting pipes 110, an air inlet pipe 120, The bypass pipe 140, the bypass flow controller 145, the three-way valve 174, the inflow flow meter pipe 283, and the inflow flow controller 125 may be connected to each other. For example, the sampler units 200a, 200b, and 200c may have two to ten air collecting pipes 110, an air inlet pipe 120, and a bypass pipe 140. The downstream end of the inlet flow meter 125 is connected to the air supply pipe 150 together with the sampler units 200a, 200b and 200c. The sampler units 200a, 200b and 200c collect air individually or in combination and supply the collected air to the measurement module 20 through one air supply pipe 150. [ That is, the sampler units 200a, 200b, and 200c may be configured to collect air from a plurality of air collecting pipes 110 by the operation of the vacuum pump 160. [ And supplies it to the gas measurement module 20 through the air supply pipe 150. The number of the sampler units 200a, 200b, 200c and the number of the air collecting tubes 110 may be different depending on the location of the sensing position.

따라서, 상기 가스 샘플러(200)는 다수 개소 이상의 감지 위치에 대하여 가스누설 여부를 측정하는데 사용되는 사용될 수 있다. 상기 가스 샘플러(200)는 감지 위치의 개소가 많은 경우에 보다 신속하게 가스 누설 위치를 확인할 수 있다.Therefore, the gas sampler 200 can be used to measure gas leakage at a plurality of sensing positions. The gas sampler 200 can more quickly confirm the gas leakage position when there are many points of the sensing position.

상기 가스 샘플러(200)는 각각의 삼방향 밸브(174)와 유입유량조절기(125)가 원격 제어가 가능하도록 형성되며, 프로그래밍에 의하여 제어되도록 형성될 수 있다. 상기 가스 샘플러(200)는 제 1 샘플러 유닛(200a)과 제 2 샘플러 유닛(200b)과 제 3 샘플러 유닛(200c)을 통하여 측정 모듈(20)로 공기를 공급하며, 가스 누설이 감지되면 제 1 샘플러 유닛(200a)과 제 2 샘플러 유닛(200b)과 제 3 샘플러 유닛(200c)의 유입 솔레노이브 밸브(127)를 원격으로 제어하여 순차적으로 열고 닫으면서 가스 누설이 있는 감지 위치를 자동으로 찾도록 할 수 있다.The gas sampler 200 is configured to allow remote control of each of the three-way valve 174 and the inflow flow regulator 125, and may be configured to be controlled by programming. The gas sampler 200 supplies air to the measurement module 20 through the first sampler unit 200a, the second sampler unit 200b and the third sampler unit 200c. When gas leakage is detected, The inlet and outlet solenoid valves 127 of the sampler unit 200a, the second sampler unit 200b and the third sampler unit 200c are remotely controlled and opened and closed sequentially to automatically detect a gas leaked detection position .

상기 가스 샘플러(200)는 각각의 유입 솔레노이브 밸브(127)의 제어에 의하여 원하는 수량만큼 또는 순차적으로 제 1 샘플러 유닛(200a)과 제 2 샘플러 유닛(200b)과 제 3 샘플러 유닛(200c)의 구분없이 유입 솔레노이브 밸브(127)의 제어 통하여 측정 모듈(20)로 공기를 공급할 수 있다.The gas sampler 200 is connected to the first sampler unit 200a, the second sampler unit 200b and the third sampler unit 200c by a desired amount or sequentially by the control of the respective inlet solenoid valves 127, It is possible to supply air to the measurement module 20 through the control of the inflow solenoid valve 127 without discrimination.

상기 공기 유입관(120)은 타단이 유입 솔레노이브 밸브(127)에 연결된다. 상기 공기 유입관(120)은 유입되는 바이패스 자동유량조절기(145)로 공기를 공급한다. The other end of the air inflow pipe 120 is connected to the inflow solenoid valve 127. The air inlet pipe 120 supplies air to the bypass automatic flow controller 145.

상기 유입되는 바이패스 자동유량조절기(145)의 타단이 샘플펌프(160)에 연결된다. The other end of the flow-in bypass automatic regulator 145 is connected to the sample pump 160.

상기 혼합관(130)은 일단이 삼방향밸브(174)에 연결된다. 상기 혼합관(130)은 삼방향밸브(174)에 공급되는 공기를 흡입한다.One end of the mixing pipe 130 is connected to the three-way valve 174. The mixing pipe 130 sucks air supplied to the three-way valve 174.

상기 혼합관(130)은 일단이 자동유량조절기(125)에 연결된다.One end of the mixing pipe 130 is connected to the automatic flow controller 125.

상기 혼합관(130)은 자동유량조절기(135)에 공급되는 공기를 흡입하고 타단은 샘플펌프(160)에 연결되어 흡입된 공기의 량을 조절하도록 형성된다.The mixing pipe 130 sucks air supplied to the automatic flow regulator 135 and the other end is connected to the sample pump 160 to adjust the amount of the sucked air.

상기 자동유량조절기(125)는 삼방향밸브(174)으로부터 유입되는 공기를 측정 모듈(20)로 공급한다.The automatic flow regulator 125 supplies air from the three-way valve 174 to the measurement module 20.

따라서, 상기 가스 샘플러(200)는 다수의 공기 포집관(110)에 대하여 순차적으로 가스 누설 여부를 확인하는 경우보다 신속하게 가스 누설이 있는 감지 위치를 확인할 수 있고 측정 모쥴(20)의 정상 유무도 확인할 수 있다.Therefore, the gas sampler 200 can detect the gas leaked position more quickly than the case where it is checked sequentially whether or not the gas is leaked to the plurality of air collecting pipes 110, and the normal state of the measuring module 20 Can be confirmed.

본 발명의 가스 샘플러는 감지 대상 가스의 누설 여부를 감지하는 감지 위치로 연장되어 공기를 포집하는 복수 개의 공기 포집관과, 복수 개로 형성되어 일단이 각각 상기 공기 포집관과 연결되어 상기 공기 포집관으로부터 공기가 유입되는 공기 유입관과, 상기 공기 유입관에 결합되는 유입 솔레노이드 밸브와, 복수 개의 상기 공기 유입관과 연결되어 상기 공기 유입관으로부터 공급되는 공기가 흐르는 혼합관과, 상기 혼합관에 결합되어 상기 혼합관을 흐르는 공기의 유량을 제어하는 바이패스 자동유량조절기와, 상기 혼합관과 연결되어 상기 공기 혼합관에서 공기를 포집하는데 필요한 흡인력을 제공하는 진공 펌프와, 일단이 상기 복수 개의 상기 공기 유입관과 연결되어 삼방향 밸브와 자동유량조절기, 측정 모듈로 공기를 공급하는 공기 공급관, 상기 공기 유입관의 개수에 대응되는 개수로 형성되며, 일단이 각각 상기 공기 유입관에 연결되며, 타단이 상기 진공 펌프에 연결되는 바이패스 자동조절기 및 상기 혼합관과 연결되어 있는 자동유량조절기 결합되어 상기 혼합관의 흐르는 공기의 유량을 제어하는 자동으로 조절하는 것을 포함하는 것을 특징으로 한다. 또한 삼방향 밸브를 설치하여 삼방향밸브로 교정가스등을 공급하여 측정모듈의 성능을 진단할 수 있는 것을 특징으로 한다.The gas sampler of the present invention includes a plurality of air collecting tubes extending to a sensing position for detecting leakage of a gas to be sensed and collecting air, and a plurality of air collecting tubes each having one end connected to the air collecting tube, An air inlet pipe through which air flows, an inlet solenoid valve connected to the air inlet pipe, a mixing pipe connected to the plurality of air inlet pipes and through which the air supplied from the air inlet pipe flows, A bypass pump for controlling a flow rate of air flowing through the mixing pipe, a vacuum pump connected to the mixing pipe for providing a suction force necessary for trapping air in the air mixing pipe, A three-way valve and an automatic flow regulator connected to the pipe, an air supply pipe supplying air to the measurement module, A bypass automatic regulator having a number corresponding to the number of the air inlet pipes and having one end connected to the air inlet pipe and the other end connected to the vacuum pump and an automatic flow controller connected to the mixing pipe, And automatically controlling the flow rate of air flowing through the mixing tube. Further, a three-way valve is provided to supply a calibration gas or the like to the three-way valve, thereby diagnosing the performance of the measurement module.

또한, 공기의 유입관에 유입되는 공기는 유입 솔레노이드 밸브에 의하여 유입 솔레노이드 밸브 수량 범위 내에서 어떠한 조합도 가능한 것을 특징으로 한다.Further, the air introduced into the inflow pipe of the air can be any combination of the inflow solenoid valve within the range of the inflow solenoid valve quantity.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the present invention as defined by the following claims It can be understood that

10 : 가스누설 감지 자징 20 : 측정 모듈
100, 200 : 가스 샘플러
110 : 공기 포집관 120 : 공기 유입관
125 : 유입 유량조절기 127 : 유입 솔레노이드 밸브
130 : 혼합관 135 : 자동유량조절기
140 : 바이패스관 145 : 바이패스 자동유량조절기
150 : 공기 공급관 160 : 진공 펌프
170 : 제로 공급관 174 : 삼방향밸브
175 : 교정가스 공급관 283 : 유입 유량계관10: Gas Leakage Detection 20: Measurement Module
100, 200: gas sampler
110: air collecting pipe 120: air inlet pipe
125: Inflow flow regulator 127: Inflow solenoid valve
130: mixing tube 135: automatic flow regulator
140: Bypass tube 145: Bypass automatic flow controller
150: air supply pipe 160: vacuum pump
170: zero supply pipe 174: three-way valve
175: calibration gas supply pipe 283: inflow flow pipe

Claims

The gas to be detected is sucked by the pump installed in the sampling device at a plurality of places, and the sucked sample gas is operated by the valve alone or mixed. Bypass automatic flow regulator is installed to minimize the influence on the sample length A three-way valve and an inflow-flow regulator are installed in front of the measurement module,
An automatic flow regulator for minimizing the influence on the flow rate and the pressure in the mixing tank of the air sucked by the plurality of valves is provided and connected to the vacuum pump,
Manual and automatic control allows the supply of calibration gas to the measuring module by means of a three-way valve installed on the front of the measuring module, and a gas having a characteristic capable of diagnosing the state of the measuring module by installing an influent flow meter at the front of the measuring module Sampler.

The method of claim 1, wherein
And an automatic flow control device coupled to the air inlet pipe and connected to the plurality of inlet pipes, wherein the automatic flow control device can be installed in front of each valve of the inlet valve.

The method of claim 1, wherein
Wherein a three-way valve is provided in front of the measurement module to diagnose the performance of the measurement module by supplying a calibration gas or the like to the three-way valve.

The method of claim 1, wherein
And a flow controller is installed at the front end of the measurement module to display a flow rate to the measurement module.

The method of claim 1, wherein
Wherein the three-way valve operates automatically according to the concentration of the measurement module to check whether the detector is normal or not.

The method of claim 1, wherein
Characterized in that the gas sampler comprises a control equal to or greater than an automatic flow regulator for regulating the amount of air entering the mixing tube.