KR20110082308A - 기판 처리 장치 - Google Patents

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KR20110082308A
KR20110082308A KR1020100002218A KR20100002218A KR20110082308A KR 20110082308 A KR20110082308 A KR 20110082308A KR 1020100002218 A KR1020100002218 A KR 1020100002218A KR 20100002218 A KR20100002218 A KR 20100002218A KR 20110082308 A KR20110082308 A KR 20110082308A
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liquid
unit
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KR1020100002218A
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오래택
유재혁
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세메스 주식회사
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Abstract

기판 처리 장치는 초임계 유체를 이용하여 기판을 처리하는 제1 챔버, 상기 제1 챔버에 초임계 유체를 공급하는 초임계 유체 공급 유닛, 상기 초임계 유체 공급 유닛 및 상기 제1 챔버 사이를 연결시키며, 상기 초임계 유체 공급 유닛으로부터 제공된 상기 초임계 유체를 가압하여 상기 제1 챔버에 공급하는 제1 가압부 및 상기 제1 챔버 내부의 상기 초임계 유체를 상기 제1 가압부를 경유하여 순환시키는 제1 순환부을 포함한다.

Description

기판 처리 장치{Apparatus for processing a substrate}
본 발명은 기판 처리 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는 본 발명은 기판 상에 잔류하는 약액을 제거하기 위하여 초임계 유체를 이용하여 기판을 처리하는 기판 처리 장치에 관한 것이다.
일반적으로 식각액을 이용하여 기판 상에 패턴을 형성하는 식각 공정, 세정액을 이용하여 기판 상에 잔류하는 불순물을 제거하는 세정 공정 등에서 사용된 세식각액 및 세정액 등과 같은 약액으로 처리된 기판에 이소프로필알코올(IPA)과 질소(N2)와의 혼합가스를 제공하여 기판을 건조한다. 그러나, 기판 상에 형성된 패턴이 미세화됨에 따라, 상기 기판 건조시 상기 패턴 사이의 약액을 건조하기가 어렵다. 따라서, 상기 패턴 사이의 약액을 효과적으로 건조하기 위해 초임계 유체를 이용한 건조 기술이 제안된다. 상기 초임계 유체를 이용한 건조 기술은 약액 처리된 기판을 압력 용기 내에 반입하고, 액체 이산화탄소를 장치 내에 도입하여 기판 표면의 약액을 치환하고, 압력을 상승시켜 액체 이산화탄소를 초임계 상태로 상변화시켜서 초임계 건조 처리를 진행한 후 감압한다.
이때, 상기 압력 용기 내에 상기 초임계 유체로 기판을 건조하기 할 경우, 상기 초임계 유체가 상기 압력 용기 내에서의 흐름이 제한될 수 있다. 따라서 상기 초임계 유체가 상기 약액을 용해시키기 위한 용해도가 상대적으로 낮아 상기 기판 처리 공정이 지연되는 문제가 발생할 수 있다.
본 발명은 기판 상에 잔류하는 약액을 효과적으로 제거할 수 있는 기판 처리 장치를 제공한다.
본 발명의 실시예에 따른 기판 처리 장치는 초임계 유체를 이용하여 기판을 처리하는 제1 챔버, 상기 제1 챔버에 초임계 유체를 공급하는 초임계 유체 공급 유닛, 상기 초임계 유체 공급 유닛 및 상기 제1 챔버 사이를 연결시키며, 상기 초임계 유체 공급 유닛으로부터 제공된 상기 초임계 유체를 가압하여 상기 제1 챔버에 공급하는 제1 가압부 및 상기 제1 챔버 내부의 상기 초임계 유체를 상기 제1 가압부를 경유하여 순환시키는 제1 순환부을 포함한다. 여기서, 상기 초임계 유체 공급 유닛은, 상기 초임계 유체을 생성하기 위해 건조용 가스를 공급하는 가스 공급부, 상기 가스 공급부에 연결되어 상기 가스를 액체로 상변화시키는 액체 변환부; 및 상기 액체 변환부 및 상기 제1 챔버를 상호 연결시키며 상기 액체를 상기 초임계 유체로 상변화시키는 초임계 유체 변환부를 포함할 수 있다. 또한, 상기 초임계 유체 변환부는 상기 액체 변환부로부터 상기 액체가 흐르는 액체 공급 라인, 상기 액체 공급 라인에 의하여 상기 액체 공급부와 연결되며, 상기 액체를 가압하여 상기 초임계 유체로 상변화시키기 위해 제1 펌프, 상기 제1 펌프 및 상기 제1 가압부를 상호 연결시키며 상기 초임계 유체가 흐르는 유로를 제공하는 제1 초임계 유체 공급 라인 및 상기 초임계 유체 공급 라인 상에 배치되며, 상기 초임계 유체를 저장하는 탱크를 포함할 수 있다. 그리고, 상기 제1 가압부는 상기 제1 초임계 유체 공급 라인 상에 배치되며 상기 초임계 유체를 가압하는 제2 펌프를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 제1 순환부는 상기 초임계 공급 유닛 및 상기 제1 가압부를 연결시키는 제1 초임계 유체 공급 라인으로부터 분기되며 상기 제1 챔버와 연통되는 제1 순환 라인 및 상기 제1 순환 라인 상에 배치되며, 상기 제1 순환 라인을 통하여 순환하는 상기 초임계 유체의 온도를 유지하는 제1 히터를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치는 상기 초임계 유체 공급 유닛으로부터 제공된 상기 초임계 유체를 이용하여 기판을 처리하는 제2 챔버, 상기 초임계 유체 공급 유닛 및 상기 제2 챔버 사이를 연결시키는 제2 초임계 유체 공급 라인, 상기 제2 초임계 유체 공급 라인 상에 배치되며, 상기 초임계 유체를 가압하여 상기 제2 챔버에 공급하는 제2 가압부 및 상기 제2 챔버 내부의 상기 초임계 유체를 순환시키는 제2 순환부를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 기판 처리 장치는 각 챔버에 연결되도록 배치된 가압부를 이용하여 상기 챔버 내의 초임계 유체를 개별적으로 제어할 수 있으며, 상기 가압부는 각 챔버에 연결된 순환부를 통하여 상기 챔버내의 초임계 유체를 원활하게 순환시킬 수 있다. 따라서 기판 처리 장치는 복수의 챔버 내에서 복수의 기판을 처리할 수 있으며, 챔버 내의 초임계 유체를 순환시킴으로써 초임계 유체 내에 약액이 효과적으로 용해될 수 있다. 나아가, 상기 순환부에 포함된 히터는 상기 챔버 내의 초임계 유체의 온도를 제어할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치를 설명하기 위한 블록도이다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 기판 처리 장치에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치를 설명하기 위한 블록도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치(100)는 제1 챔버(110), 초임계 유체 공급 유닛(120), 제1 가압부(161) 및 제1 순환부(165)를 포함한다. 상기 기판 처리 장치(100)는 제1 챔버(110) 내에 로딩된 기판 상에 잔류하는 약액을 제거하여 기판을 처리한다. 상기 기판은 반도체 소자를 형성하기 위한 웨이퍼 또는 평판 표시 소자를 형성하기 위한 유리 기판일 수 있다.
상기 제1 챔버(110)는 상기 기판을 처리하기 위한 공정을 진행하기 위한 공간을 제공한다. 상기 제1 챔버(110)는 하부 용기(미도시) 및 상부 용기(미도시)를 포함한다.
상기 초임계 유체 공급 유닛(120)은 상기 처리 공정을 진행하기 위하여 상기 제1 챔버(110) 내부에 초임계 유체를 공급한다. 상기 초임계 유체는 임계온도(Tc) 및 임계압력(Pc) 이상의 영역에 있는 유체로서 기체와 액체의 구별이 모호해져 임계압력 이상의 압력을 가하여도 액화가 되지 않는 비응축성 특성을 가진다. 즉, 초임계 유체의 물성은 액체적인 성질과 기체적인 성질을 모두 가지고 있어서, 기체와 같은 확산도와 점성, 액체와 같은 용해능력을 가지고 있다. 상기 초임계 유체의 예로는 초임계 이산화탄소, 초임계 산소, 초임계 아르곤, 초임계 크립톤, 초임계 제논, 초임계 암모니아 등을 들 수 있다. 참고적으로, 초임계 이산화탄소는 임계온도가 31℃ 이고, 임계압력이 72.8 기압(atm) 정도로서 임계영역(35℃, 75atm)에서의 점성은 0.03cP, 표면장력은 0 dyne(S)/cm, 밀도는 300kg/㎥의 물성을 가진다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 초임계 유체 공급 유닛(120)은 가스 공급부(130), 액체 변환부(140) 및 초임계 유체 변환부(150)를 포함할 수 있다.
상기 가스 공급부(130)는 상기 초임계 유체를 형성하기 위한 건조용 가스를 공급한다. 예를 들면, 상기 건조용 가스는 이산화탄소 가스를 포함할 수 있다.
상기 액체 변환부(140)는 상기 가스 공급부(130)와 연결된다. 상기 액체 변환부(140)는 상기 가스 공급부(130)로부터 상기 건조용 가스를 공급받아 상기 건조용 가스를 액체 상태로 상변화시킨다. 예를 들면, 상기 액체 변환부(140)는 부스터(141) 및 콘덴서(142)를 포함할 수 있다. 상기 부스터(141)는 상기 건조용 가스의 압력을 증가시킬 수 있다. 예를 들면, 상기 건조용 가스의 압력은 50 내지 60bar로 조절될 수 있다. 이어서, 상기 콘덴서(142)는 상기 증가된 압력을 갖는 건조용 가스를 냉각되어 액체로 상변화 시킬 수 있다. 따라서 상기 콘덴서(142)로부터 유출되는 유체 상태는 액체일 수 있다.
상기 초임계 유체 변환부(150)는 상기 액체 변환부(140) 및 상기 제1 챔버(110)를 상호 연결시킨다. 상기 초임계 유체 변환부(150)는 상기 액체 변환부(140)로부터 유출된 액체를 초임계 유체로 상변화시킨다. 상기 초임계 유체 변환부(150)는 상변화된 상기 초임계 유체를 상기 제1 챔버(110)에 공급한다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 초임계 유체 변환부(150)는 제1 액체 공급 라인(151), 제1 펌프(153), 제1 초임계 유체 공급 라인(155) 및 탱크(157)를 포함할 수 있다.
상기 제1 액체 공급 라인(151)은 상기 액체 변환부(140) 및 상기 제1 펌프(153)를 상호 연결시킨다. 상기 제1 액체 공급 라인(151)은 상기 액체를 상기 액체 변환부(140)로부터 상기 제1 펌프(153)로 흐르는 유로를 제공한다.
상기 제1 펌프(153)는 상기 액체 변환부(140) 및 상기 탱크(157) 사이에 배치된다. 상기 제1 펌프(153)는 상기 액체의 압력 및 온도를 제어함으로써 상기 액체를 상기 초임계 유체로 변환시킨다.
상기 제1 초임계 유체 공급 라인(155)은 제1 펌프(153) 및 제1 챔버(110) 사이에 상기 초임계 유체가 흐르는 유로를 제공한다.
상기 탱크(157)는 상기 제1 초임계 유체 공급 라인(155) 상에 배치된다. 상기 탱크(157)는 상기 제1 펌프(153)에 의하여 변환된 상기 초임계 유체를 상기 제1 초임계 유체 공급 라인(155)으로 통하여 공급받아 상기 초임계 유체를 저장한다. 상기 탱크(157)는 상기 초임계 유체의 상태를 유지하기 위하여 그 내부의 압력 및 온도가 제어될 수 있다. 예를 들면, 상기 초임계 유체가 이산화탄소일 경우, 상기 탱크는 300bar 의 압력 및 60℃의 온도로 조절될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 초임계 유체 변환부(150)는 상기 제1 초임계 유체 공급 라인(155) 상에 배치되며 상기 탱크로부터 배출된 상기 초임계 유체들을 복수의 챔버로 분배하기 위한 매니 폴드(159) 및 상기 탱크(157)로부터 배출되는 상기 초임계 유체의 흐름을 제어하는 제1 밸브(162)를 더 포함할 수 있다.
상기 제1 가압부(161)는 상기 초임계 유체 공급 유닛(120) 및 상기 제1 챔버(110)를 상호 연결시킨다. 상기 제1 가압부(161)는, 예를 들면 상기 제1 밸브(162) 및 상기 제1 챔버(110) 사이의 상기 제1 초임계 유체 공급 라인(155) 상에 배치될 수 있다. 상기 제1 가압부(161)는 상기 제1 초임계 유체 공급 라인(155)으로 흐르는 상기 초임계 유체를 가압하여 상기 제1 챔버(110)에 공급한다. 이때 상기 초임계 유체가 그 초임계 상태를 유지할 수 있도록 상기 제1 가압부(161)가 상기 초임계 유체를 가압하여 상기 제1 챔버(110) 내부에 상기 초임계 유체를 공급할 수 있다. 또한, 상기 제1 챔버(110) 내부의 압력이 감소할 경우, 상기 제1 가압부(161)는 상기 제1 챔버(110) 내부로 상기 초임계 유체를 추가적으로 공급할 수 있다. 또한, 상기 제1 가압부(161)는 상기 제1 챔버(110)로부터 상기 초임계 유체가 상기 제1 순환 라인(166)을 통하여 순환할 수 있도록 가압된 유체를 상기 제1 챔버(110)에 제공할 수 있다. 상기 제1 가압부(161)는, 예를 들면, 제2 펌프(161)를 포함할 수 있다. 상기 제1 가압부 및 상기 제2 펌프에 대하여 동일한 참조 번호 161이 적용된다.
상기 제1 순환부(165)는 상기 제1 챔버(110) 및 상기 제1 초임계 유체 공급 라인(155)의 일부를 상호 연결된다. 상기 제1 순환부(165)는 내부에 제공된 상기 초임계 유체를 순환시킨다. 상기 제1 챔버(110) 내의 상기 초임계 유체가 순환함에 따라 상기 제1 챔버(110)내에 상기 초임계 유체의 유동이 원활하게 된다. 따라서, 상기 초임계 유체가 상기 제1 순환부(165)를 통하여 순환하기 때문에 상기 초임계 유체 내에 상기 기판 상에 잔류하는 약액이 효율적으로 용해될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 제1 순환부(165)는 제1 순환 라인(166), 제2 밸브(167) 및 제1 히터(168)를 포함한다.
상기 제1 순환 라인(166)은 상기 제1 밸브(162) 및 상기 제2 펌프(161) 사이의 상기 제1 초임계 유체 공급 라인(155)으로부터 분기되어 상기 제1 챔버(110)까지 연장된다. 상기 제1 순환 라인(166)은 상기 제1 챔버(110)로부터 상기 제1 초임계 유체 공급 라인(155)으로 상기 초임계 유체를 순환시키는 유로를 제공한다.
상기 제2 밸브(167)는 상기 제1 순환 라인(166) 상에 배치된다. 상기 제2 밸브(167)는 상기 제1 챔버(110)로부터 상기 제1 초임계 유체 공급 라인(155)으로 상기 초임계 유체의 흐름을 제어할 수 있다. 예를 들면, 상기 제1 챔버(110)가 상기 초임계 유체로 채워져 기판 처리 공정을 진행할 경우, 상기 제1 순환 라인(155)에 배치된 상기 제2 밸브(167)가 개방되어 상기 제1 순환 라인(166)을 통하여 상기 제1 챔버(110)에 공급된 초임계 유체가 순환될 수 있다. 이와 다르게, 상기 제1 챔버(110) 내의 공정이 종료된 후 차후 공정이 진행되기 전까지 상기 제2 밸브(167)는 클로징 된다.
상기 제1 히터(168)는 제1 순환 라인(166) 상에 흐르는 상기 초임계 유체의 온도를 제어할 수 있다. 상기 제1 히터(168)는 제1 순환 라인(166) 상에 흐르는 상기 초임계 유체의 온도를 제어함으로써, 상기 초임계 유체의 상변화를 억제할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치(100)는 제2 챔버(170), 제2 초임계 유체 공급 라인(173), 제2 가압부(171) 및 제2 순환부(175)를 더 포함할 수 있다.
상기 제2 챔버(170)는 초임계 유체를 이용하여 기판을 처리하는 처리 공간을 제공한다. 상기 제2 챔버(170)는 상기 제1 챔버(110)와 동시에 기판을 처리할 수 있으며, 이와 다르게, 개별적으로 독립하여 기판들을 각각 처리할 수 있다. 따라서, 기판 처리 효율이 개선될 수 있다.
상기 제2 초임계 유체 공급 라인(173)은 상기 제1 초임계 유체 공급 라인(155)으로부터 분기되어 상기 제2 챔버(170)와 연결된다. 예를 들면, 상기 제2 초임계 유체 공급 라인(173)은 상기 매니 폴드(159)에 체결될 수 있다. 상기 제2 초임계 유체 공급 라인(173)은 상기 초임계 유체 공급 유닛(120), 특히 탱크(157)로부터 상기 제2 챔버(170)로 초임계 유체가 흐르는 유로를 제공한다. 상기 제2 가압부(171)는 상기 제2 초임계 유체 공급 라인(173) 상에 배치되며, 상기 초임계 유체를 가압하여 상기 제2 챔버(170)에 공급한다. 상기 제2 순환부(175)는 상기 제2 챔버(170) 내부의 상기 초임계 유체를 순환시킨다. 상기 제2 순환부(175)는 제2 순환 라인(176), 제3 밸브(177) 및 제2 히터(178)를 포함할 수 있다. 상기 제2 순환부(175)는 상기 제1 순환부(165)와 실질적으로 동일한 구성을 가지므로 이에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 기판 처리 장치(100)는 드레인부(180)를 더 포함할 수 있다. 상기 드레인부(180)는 상기 초임계 유체를 이용하여 기판을 건조시킨 후 약액이 용해된 상기 초임계 유체를 상기 제1 또는 제2 챔버들(110, 170)로부터 배출시킨다. 상기 드레인부(180)는 제1 및 제2 배출 라인들(183, 184), 상기 제1 및 제2 배출 라인들(183, 184) 상에 배치되며 상기 제1 및 제2 챔버들(110, 170)로부터 배출되는 초임계 유체의 흐름을 제어하는 제3 및 제4 밸브(181, 182) 및 상기 초임계 유체에 용해된 상기 약액을 상기 초임계 유체로부터 분리하는 분리기(185)를 포함할 수 있다. 상기 분리기(185)에 의해 분리된 초음계 유체된 액체로 상변화되어 상기 상변화된 액체는 배출될 수 있다.
이하, 상기 기판 처리 장치를 이용하여 기판을 처리하는 방법을 설명하기로 한다.
먼저 젖음 상태가 유지된 기판을 제1 챔버(110) 내부로 공급한다. 상기 기판 상에는 예를 들면 이소프로필알코올을 도포한 습식 이송 방식으로 이송될 수 있다. 따라서 기판 이송중 상기 기판에 형성된 패턴이 기울어지는 것이 억제될 수 있다.
이후, 기판을 건조하기 위한 건조용 가스를 액체를 상변화시킨다. 상기 상변화된 액체는 예를 들면, 이산화탄소 액체일 수 있다. 상기 건조용 가스를 상변화된 액체로 상변화시키기 위하여 상기 건조용 가스의 압력 및 온도를 조절하는 부스터(141) 및 콘덴서(143)를 포함하는 액체 변환부(140)가 이용될 수 있다.
이어서 상기 초임계 유체 변환부(150)는 상기 상변화된 액체를 상변화시켜 초임계 유체로 상변화시킨다. 예를 들면, 상기 제1 펌프(153)는 상기 상변화된 액체를 초임계 유체로 상변화시킨다. 이어서, 상기 초임계 유체 변환부(150)는 상기 상변화된 초임계 유체를 상기 제1 챔버(110) 내부로 공급하여 상기 기판을 처리할 수 있다. 이때, 상기 초임계 유체 공급 유닛(120)은 상기 제1 챔버(110)의 내부에 공급된 상기 초임계 유체의 상변화를 억제할 수 있을 정도로 공급한다. 따라서, 상기 초임계 유체 공급 유닛(120)은 상기 제2 챔버(170)에 공급할 초임계 유체를 저장할 수 있다.
또한, 상기 제1 가압부(161)는 상기 초임계 유체를 가압하여 상기 제1 챔버(110)에 공급한다. 따라서 상기 제1 챔버(110) 내에는 초임계 유체의 상태를 유지할 수 있도록 온도 및 압력이 제어될 수 있다. 또한, 상기 제1 가압부(161)는 상기 제1 챔버(110) 내에 상기 기판을 처리하는 처리 공정이 진행중에도 상기 제1 챔버 내로 초임계 유체를 제공할 수 있다.
이후, 상기 제1 순환부(165)는 상기 제1 챔버(110) 내에 상기 초임계 유체를 순환시킨다. 이때 상기 제1 가압부(161)는 상기 제1 챔버(110) 내로 추가적으로 초임계 유체를 공급할 수 있다. 따라서, 상기 제1 챔버(110) 내의 상기 초임계 유체의 흐름이 원활해져서 상기 초임계 유체의 유동 중 상기 기판 상에 잔류하는 약액이 효과적으로 상기 초임계 유체에 의하여 용해될 수 있다.
한편, 상기 제1 챔버(110)에 초임계 유체를 공급한 후 상기 탱크(157) 내에 저장된 초임계 유체는 상기 제2 챔버(170)에 공급된다. 상기 제2 가압부(171)는 상기 탱크(157)로부터 상기 제2 챔버(170)에 공급되는 상기 초임계 유체를 가압한다. 상기 제2 순환부(175)는 상기 제2 챔버(170) 내부의 상기 초임계 유체를 순환시켜서 상기 제2 챔버(170) 내부의 초임계 유체에 상기 약액이 원활하게 용해될 수 있도록 한다.
따라서, 본 발명의 기판 처리 장치는 각 챔버에 연결되도록 배치된 가압부를 이용하여 상기 챔버 내의 초임계 유체를 개별적으로 제어할 수 있으며, 상기 가압부는 각 챔버에 연결된 순환부를 통하여 상기 챔버내의 초임계 유체를 원활하게 순환시킬 수 있다. 따라서 기판 처리 장치는 복수의 챔버 내에서 복수의 기판을 처리할 수 있으며, 챔버 내의 초임계 유체를 순환시킴으로써 초임계 유체 내에 약액이 효과적으로 용해될 수 있다. 나아가, 상기 순환부에 포함된 히터는 상기 챔버 내의 초임계 유체의 온도를 제어할 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 실시예들에 따른 기판 처리 장치는 각 챔버에 연결되도록 배치된 가압부를 이용하여 상기 챔버 내의 초임계 유체를 개별적으로 제어할 수 있으며, 상기 가압부는 각 챔버에 연결된 순환부를 통하여 상기 챔버내의 초임계 유체를 원활하게 순환시킬 수 있다. 따라서 기판 처리 장치는 복수의 챔버 내에서 복수의 기판을 처리할 수 있으며, 챔버 내의 초임계 유체를 순환시킴으로써 초임계 유체 내에 약액이 효과적으로 용해될 수 있다. 나아가, 상기 순환부에 포함된 히터는 상기 챔버 내의 초임계 유체의 온도를 제어할 수 있다. 본 발명의 실시예들에 따른 기판 건조 장치 및 기판 건조 방법은 평판 표시 장치의 건조 공정 및 반도체 장치의 건조 공정을 수행하기 위한 건조 장치에 적용될 수 있을 것이다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
100 : 기판 처리 장치 110 : 제1 챔버
120 : 초임계 유체 공급 유닛 130 : 가스 공급부
140 : 액체 변환부 150 : 초임계 유체 변환부
161 : 제1 가압부 165 : 제1 순환부
170 : 제2 챔버 171 : 제2 가압부
175 : 제2 가압부 180 : 드레인부

Claims (6)

  1. 초임계 유체를 이용하여 기판을 처리하는 제1 챔버;
    상기 제1 챔버에 초임계 유체를 공급하는 초임계 유체 공급 유닛;
    상기 초임계 유체 공급 유닛 및 상기 제1 챔버 사이를 연결시키며, 상기 초임계 유체 공급 유닛으로부터 제공된 상기 초임계 유체를 가압하여 상기 제1 챔버에 공급하는 제1 가압부; 및
    상기 제1 챔버 내부의 상기 초임계 유체를 상기 제1 가압부를 경유하여 순환시키는 제1 순환부을 포함하는 것을 특징으로 하는 초임계 유체를 이용한 기판 처리 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 초임계 유체 공급 유닛은,
    상기 초임계 유체을 생성하기 위해 건조용 가스를 공급하는 가스 공급부;
    상기 가스 공급부에 연결되어 상기 가스를 액체로 상변화시키는 액체 변환부; 및
    상기 액체 변환부 및 상기 제1 챔버를 상호 연결시키며 상기 액체를 상기 초임계 유체로 상변화시키는 초임계 유체 변환부를 포함하는 것을 특징으로 하는 초임계 유체를 이용한 기판 처리 장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 초임계 유체 변환부는
    상기 액체 변환부로부터 상기 액체가 흐르는 액체 공급 라인;
    상기 액체 공급 라인에 의하여 상기 액체 변환부와 연결되며, 상기 액체를 가압하여 상기 초임계 유체로 상변화시키기 위해 제1 펌프;
    상기 제1 펌프 및 상기 제1 가압부를 상호 연결시키며 상기 초임계 유체가 흐르는 유로를 제공하는 제1 초임계 유체 공급 라인; 및
    상기 제1 초임계 유체 공급 라인 상에 배치되며, 상기 초임계 유체를 저장하는 탱크를 포함하는 것을 특징으로 하는 초임계 유체를 이용한 기판 처리 장치.
  4. 제3항에 있어서, 상기 제1 가압부는 상기 초임계 유체 공급 라인 상에 배치되며 상기 초임계 유체를 가압하는 제2 펌프를 포함하는 것을 특징으로 하는 초임계 유체를 이용한 기판 처리 장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 제1 순환부는,
    상기 초임계 공급 유닛 및 상기 제1 가압부를 연결시키는 제1 초임계 유체 공급 라인으로부터 분기되며 상기 제1 챔버와 연통되는 제1 순환 라인; 및
    상기 제1 순환 라인 상에 배치되며, 상기 제1 순환 라인을 통하여 순환하는 상기 초임계 유체의 온도를 유지하는 제1 히터를 포함하는 것을 특징으로 하는 초임계 유체를 이용한 기판 처리 장치.
  6. 제1항에 있어서, 상기 초임계 유체 공급 유닛으로부터 제공된 상기 초임계 유체를 이용하여 기판을 처리하는 제2 챔버;
    상기 초임계 유체 공급 유닛 및 상기 제2 챔버 사이를 연결시키는 제2 초임계 유체 공급 라인;
    상기 제2 초임계 유체 공급 라인 상에 배치되며, 상기 초임계 유체를 가압하여 상기 제2 챔버에 공급하는 제2 가압부; 및
    상기 제2 챔버 내부의 상기 초임계 유체를 순환시키는 제2 순환부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 초임계 유체를 이용한 기판 처리 장치.

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