KR101116644B1 - 기판 건조 방법 및 장치 - Google Patents
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Abstract
Description
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 건조 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
120: 압력 용기 122: 드레인부
130: 이송 유닛 140: 약액 공급 유닛
150: 초임계 유체 공급 유닛 151: 가스 공급부
152: 액체 변환부 152a: 부스터
152b: 콘덴서 153: 초임계 변환부
153a: 펌프 153b: 저장 탱크
153c: 밸브
Claims (8)
- 세정 공정을 거친 기판의 젖음 상태를 유지시키기 위하여 상기 기판으로 약액을 공급하는 단계;
상기 젖음 상태의 기판을 건조 공정을 진행하기 위한 압력 용기 내부로 이송하는 단계;
상기 압력 용기 내부로 약액을 공급하여 상기 기판의 젖음 상태를 유지시키는 단계;
상기 기판의 건조를 위해 건조용 가스를 상변화시켜 초임계 유체를 생성하는 단계;
상기 압력 용기의 내부로 상기 초임계 유체를 공급하여 상기 기판의 건조 공정을 진행하는 단계를 포함하고,
상기 압력 용기 내부로 상기 초임계 유체를 공급하는 동시에 상기 압력 용기로 공급된 상기 약액을 상기 압력 용기로부터 드레인 시키는 것을 특징으로 하는 기판 건조 방법. - 삭제
- 제1항에 있어서, 상기 초임계 유체를 생성하는 단계는
상기 건조용 가스를 액체로 상변화시키는 단계; 및
상기 액체를 가압하여 초임계 유체로 상변화시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 건조 방법. - 세정 공정을 거친 기판의 젖음 상태를 유지시키기 위하여 상기 기판으로 약액을 공급하는 젖음 유지부;
상기 기판의 건조 공정이 진행되는 건조 공간을 제공하는 압력 용기;
상기 젖음 상태의 기판을 상기 압력 용기 내부로 이송하기 위한 이송 유닛;
상기 압력 용기 내부로 이송된 기판의 젖음 상태를 유지시키기 위하여 상기 압력 용기 내부로 약액을 공급하는 약액 공급 유닛;
상기 기판의 건조 공정을 진행하기 위하여 상기 압력 용기 내부로 건조용 가스로부터 상변화된 초임계 유체를 공급하는 초임계 유체 공급 유닛; 및
상기 압력 용기와 연결되며 상기 약액을 배출시키기 위한 드레인부을 포함하고,
상기 압력 용기 내부로 상기 초임계 유체를 공급하는 동시에 상기 압력 용기로 공급된 상기 약액을 상기 압력 용기로부터 상기 드레인부를 통해 드레인 시키는 것을 특징으로 하는 기판 건조 장치. - 제4항에 있어서, 상기 초임계 유체 공급 유닛은
상기 건조용 가스를 공급하는 가스 공급부;
상기 가스 공급부에 연결되며 상기 건조용 가스를 액체로 상변화시키는 액체 변환부; 및
상기 액체 변환부와 연결되며 상기 액체를 상기 초임계 유체로 상변화시키는 초임계 변환부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 건조 장치. - 제5항에 있어서, 상기 초임계 변환부는
상기 액체를 가압하여 상기 초임계 유체로 상변화시키기 위한 펌프; 및
상기 압력 용기로 공급되는 상기 초임계 유체의 공급 라인 상에 배치되며 상기 초임계 유체의 공급을 제어하는 밸브를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 건조 장치. - 제6항에 있어서, 상기 초임계 변환부는
상기 펌프와 연결되며 상기 펌프에 의해 상변화된 상기 초임계 유체를 저장하며 상기 밸브의 제어로 상기 초임계 유체를 상기 압력 용기 내부로 공급하는 저장 탱크를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 건조 장치.
- 삭제
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