KR20110080794A - 양면 연마장치용 다이아몬드 드레서 - Google Patents

양면 연마장치용 다이아몬드 드레서 Download PDF

Info

Publication number
KR20110080794A
KR20110080794A KR1020100001199A KR20100001199A KR20110080794A KR 20110080794 A KR20110080794 A KR 20110080794A KR 1020100001199 A KR1020100001199 A KR 1020100001199A KR 20100001199 A KR20100001199 A KR 20100001199A KR 20110080794 A KR20110080794 A KR 20110080794A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
segment
width
protrusion
groove
hole
Prior art date
Application number
KR1020100001199A
Other languages
English (en)
Other versions
KR101614433B1 (ko
Inventor
이영호
Original Assignee
주식회사 엘지실트론
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 엘지실트론 filed Critical 주식회사 엘지실트론
Priority to KR1020100001199A priority Critical patent/KR101614433B1/ko
Publication of KR20110080794A publication Critical patent/KR20110080794A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101614433B1 publication Critical patent/KR101614433B1/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
    • H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
    • H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
    • H01L21/302—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to change their surface-physical characteristics or shape, e.g. etching, polishing, cutting
    • H01L21/304—Mechanical treatment, e.g. grinding, polishing, cutting
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B53/00—Devices or means for dressing or conditioning abrasive surfaces
    • B24B53/12—Dressing tools; Holders therefor
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24D—TOOLS FOR GRINDING, BUFFING OR SHARPENING
    • B24D7/00—Bonded abrasive wheels, or wheels with inserted abrasive blocks, designed for acting otherwise than only by their periphery, e.g. by the front face; Bushings or mountings therefor
    • B24D7/06—Bonded abrasive wheels, or wheels with inserted abrasive blocks, designed for acting otherwise than only by their periphery, e.g. by the front face; Bushings or mountings therefor with inserted abrasive blocks, e.g. segmental

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)
  • Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)

Abstract

본 발명에 따른 양면 연마장치용 다이아몬드 드레서는 세그먼트(segment)와 몸체(body)의 결합과 분리가 용이하고 신속하게 이루어질 수 있고, 세그먼트 간의 평탄도를 개선할 수 있다는 장점을 가진다.

Description

양면 연마장치용 다이아몬드 드레서{Diamond dresser for double side polishing apparatus}
본 발명은 양면 연마장치용 다이아몬드 드레서에 관한 것으로서, 더욱 구체적으로는 세그먼트(segment)와 몸체(body)의 결합과 분리가 용이하고 신속하게 이루어질 수 있고 세그먼트 간의 평탄도를 개선할 수 있는, 양면 연마장치용 다이아몬드 드레서에 관한 것이다.
일반적으로, 웨이퍼 양면 연마(wafer double side polishing) 공정에서는 다이아몬드 드레서를 이용하여 주기적으로 패드를 연마한다. 다이아몬드 드레서는 정반의 내경부에 위치한 선기어(sun gear)와 정반의 외경부에 위치한 인터널 기어(internal) 사이에 설치되어 선기어 및 인터널 기어와 맞물려서 자전과 공전을 하면서 패드를 연마함으로써 패드 전체에 균일한 패드 드레싱(pad dressing) 효과를 가져온다.
상기 드레싱을 주기적으로 하면 연속 가동(run)에 의해 패드에 축적된 가공 잔류물을 제거할 수 있고 패드의 변형을 신선한(fresh) 상태로 전환할 수 있기 때문에 웨이퍼의 평탄도를 향상시킬 수 있다.
도 1 내지 도 3b에 나타난 바와 같이, 다이아몬드 드레서(diamond dresser)는 몸체(body)와, 몸체에 결합된 세그먼트(segment)로 이루어진다.
몸체(11)는 링 모양의 디스크 형상을 가진다. 몸체(11)에는 24개의 세그먼트(12)가 설치된다. 몸체(11)에는 몸체(11)를 관통하는 체결공(11a)이 형성되고, 체결공(11a)에는 몸체(11)와 세그먼트(12)를 결합시키기 위한 볼트가 삽입된다.
한 개의 세그먼트(12)를 몸체(11)에 결합시키기 위해서 4 개의 볼트가 사용되기 때문에 한 개의 다이아몬드 드레서(10)를 완성하기 위해서는 96번의 볼팅작업을 해야 하고, 드레싱 작업을 위해서는 4개의 다이아몬드 드레서(10)가 1세트(set)로 한꺼번에 사용되기 때문에 1세트의 다이아몬드 드레서(10)를 위해서는 384번의 볼팅작업이 필요하다. 한편, 다이아몬드 드레서(10)는 6개월 정도 사용되면 다이아몬드가 박리되고 연마되기 때문에 새로운 세그먼트(12)로 교체해야 한다.
위에 설명한 바와 같이, 세그먼트(12)와 몸체(11)의 결합 및 분리를 위해서 많은 볼팅작업이 필요하기 때문에 세그먼트(12)와 몸체(11)의 결합 및 분리에 많은 시간이 소요된다. 따라서, 웨이퍼 제조업체에서는 다이아몬드 드레서 제조업자(maker)에게 세그먼트 교체작업을 맡기고 있는데, 이에 따라 상기 제조업자에게 필요이상으로 비용이 많이 지불되고 있는 실정이다.
한편, 하나의 세그먼트(12)를 결합시키기 위한 4개의 볼트간에 조임 정도가 서로 다르면 세그먼트(12) 간의 높이와 평탄도가 맞지 않게 되는데, 이 경우에는 다이아몬드 드레싱 작업에 문제가 생길 수 있다.
본 발명은 세그먼트(segment)와 몸체(body)의 결합과 분리가 용이하고 신속하게 이루어질 수 있는, 양면 연마장치용 다이아몬드 드레서를 제공하는 데 그 목적이 있다.
본 발명의 또 다른 목적은 세그먼트 간의 평탄도를 개선할 수 있는, 양면 연마장치용 다이아몬드 드레서를 제공하는 데 있다.
상기 문제점들을 해결하기 위해서 본 발명에 따른 연마장치용 다이아몬드 드레서는, 링 모양의 디스크 형상을 가지고 양면 중에서 한쪽 면(31)에 요홈부가 형성된 몸체; 한쪽 면(21)에는 다이아몬드에 의한 드레싱층이 형성되고 다른쪽 면(22)에는 요홈부와 형합하는 돌출부가 형성되며, 돌출부가 요홈부에 삽입되어 몸체에 고정되는 세그먼트; 및, 몸체와 세그먼트를 결합시키는 체결부재;를 구비한다.
바람직하게, 상기 드레서는 몸체를 관통하도록 형성된 관통공; 및, 세그먼트에 소정 깊이로 형성되고 돌출부가 요홈부에 삽입된 경우에 관통공과 대응되는 위치에 형성된 체결홈;을 구비하고, 상기 체결부재는 관통공과 체결홈에 삽입되어 몸체와 세그먼트를 서로 결합시킨다.
더욱 바람직하게, 관통공은 요홈부에 형성되고 체결홈은 돌출부에 형성된다.
여기에서, 요홈부는 그 길이방향의 입구(36)에서부터 끝단(37)으로 갈수록 그 폭(S1)이 줄어들거나 폭(S1)이 일정하고, 돌출부는 그 길이방향의 한쪽 끝단(26)에서부터 다른쪽 끝단(27)으로 갈수록 그 폭(W1)이 줄어들거나 폭(W1)이 일정하여 돌출부를 슬라이딩시켜서 요홈부에 삽입할 수 있다.
또한, 요홈부는 몸체의 한쪽 면(31)에서부터 다른쪽 면(34)으로 갈수록 그 폭(S1)이 증가하거나 폭(S1)이 일정하고, 돌출부의 하단(28)에서부터 상단(29)으로 갈수록 돌출부의 폭(W1)이 증가하거나 폭(W1)이 일정한 것이 바람직하다.
아울러, 요홈부는 몸체의 한쪽 면(31)에서부터 다른쪽 면(34)으로 갈수록 그 폭(S1)이 증가하고, 돌출부의 하단(28)에서부터 상단(29)으로 갈수록 돌출부의 폭(W1)이 증가하며, 관통공과 체결홈에는 탄성부재 및 고정용 볼이 설치되고, 탄성부재는 체결부재에 의해서 가압되어 세그먼트를 요홈부로부터 멀어지게 방향의 힘을 고정용 볼에 가하고, 고정용 볼은 체결홈에 삽입된 상태에서 상기 힘을 세그먼트에 가하는 것이 바람직하다. 이 경우에는 세그먼트 간의 평탄도를 향상시킬 수 있다는 장점이 있다.
본 발명에 따른 다이아몬드 드레서의 변형예는, 링 모양의 디스크 형상을 가지고 양면 중에서 한쪽 면(61)에 돌출부가 형성된 몸체; 한쪽 면에는 다이아몬드에 의한 드레싱층이 형성되고 다른쪽 면(52)에는 돌출부와 형합하는 요홈부가 형성되며, 요홈부에 돌출부가 삽입되어 몸체에 고정되는 세그먼트; 및, 몸체와 세그먼트를 결합시키는 체결부재;를 구비한다.
바람직하게, 상기 드레서는 몸체를 관통하도록 형성된 관통공; 및 세그먼트에 소정 깊이로 형성되고, 돌출부가 요홈부에 삽입된 경우에 관통공과 대응되는 위치에 형성된 체결홈;을 구비하고, 상기 체결부재는 관통공과 체결홈에 삽입되어 몸체와 세그먼트를 서로 결합시킨다.
더욱 바람직하게, 관통공은 돌출부에 형성되고 체결홈은 요홈부에 형성된다.
또한, 돌출부는 그 길이방향의 한쪽 끝단(66)에서부터 다른쪽 끝단(67)으로 갈수록 그 폭(S2)이 줄어들거나 폭(S2)이 일정하고, 요홈부는 그 길이방향의 한쪽 끝단(56)에서부터 다른쪽 끝단(57)으로 갈수록 그 폭(W2)이 줄어들거나 폭(W2)이 일정하여 세그먼트를 슬라이딩시켜서 요홈부에 돌출부를 삽입할 수 있는 것이 바람직하다.
아울러, 돌출부는 하단(68)에서부터 상단(69)으로 갈수록 그 폭(S2)이 증가하거나 폭(S2)이 일정하고, 세그먼트의 다른쪽 면(52)에서부터 한쪽 면으로 갈수록 요홈부의 폭(W2)이 증가하거나 폭(W2)이 일정한 것이 바람직하다.
나아가, 돌출부는 하단(68)에서부터 상단(69)으로 갈수록 그 폭(S2)이 증가하고, 세그먼트의 다른쪽 면(52)에서부터 한쪽 면으로 갈수록 요홈부의 폭(W2)이 증가하며, 관통공과 체결홈에는 탄성부재 및 고정용 볼이 설치되고, 탄성부재는 체결부재에 의해서 가압되어 세그먼트를 돌출부로부터 멀어지게 하는 방향의 힘을 고정용 볼에 가하고, 고정용 볼은 체결홈에 삽입된 상태에서 상기 힘을 세그먼트에 가하는 것이 바람직하다. 이 경우에는 세그먼트 간의 평탄도를 향상시킬 수 있다.
본 발명에 따른 양면 연마장치용 다이아몬드 드레서는 다음과 같은 효과를 가진다.
첫째, 세그먼트(segment)와 몸체(body)의 결합과 분리가 용이하고 신속하게 이루어질 수 있다.
둘째, 세그먼트 간의 평탄도를 개선할 수 있다.
셋째, 세그먼트를 몸체에 결합하는 과정에서 세그먼트의 몸체 내부쪽과 바깥쪽 방향이 바뀌어서 몸체에 결합되는 것을 방지할 수 있다.
도 1은 종래 기술에 따른 양면 연마장치용 다이아몬드 드레서를 보여주는 평면도.
도 2a는 도 1의 다이아몬드 드레서에 구비된 몸체의 앞면을 보여주는 평면도.
도 2b는 도 2a의 몸체의 뒷면을 보여주는 평면도.
도 3a는 도 1의 다이아몬드 드레서에 구비된 세그먼트를 보여주는 평면도.
도 3b는 도 3a의 세그먼트가 도 2a의 몸체에 설치된 것을 보여주는 평면도.
도 4는 본 발명의 제1 실시예에 따른 양면 연마장치용 다이아몬드 드레서의 몸체의 일부를 보여주는 사시도.
도 5는 본 발명의 제1 실시예에 따른 양면 연마장치용 다이아몬드 드레서의 세그먼트를 보여주는 사시도.
도 6은 도 5의 세그먼트가 도 4의 몸체에 설치된 것을 보여주는 부분 단면도.
도 7은 본 발명의 제2 실시예에 따른 양면 연마장치용 다이아몬드 드레서를 보여주는 부분 단면도.
도 8은 본 발명의 제3 실시예에 따른 양면 연마장치용 다이아몬드 드레서의 몸체의 일부를 보여주는 사시도.
도 9는 본 발명의 제3 실시예에 따른 양면 연마장치용 다이아몬드 드레서의 세그먼트를 보여주는 사시도.
이하, 첨부된 도면들을 참조로 본 발명의 바람직한 실시예에 대해서 상세히 설명하기로 한다. 이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다. 따라서, 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일 실시예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.
도 4는 본 발명의 제1 실시예에 따른 양면 연마장치용 다이아몬드 드레서의 몸체의 일부를 보여주는 사시도이고, 도 5는 상기 양면 연마장치용 다이아몬드 드레서의 세그먼트를 보여주는 사시도이며, 도 6은 상기 세그먼트가 상기 몸체에 설치된 것을 보여주는 단면도이다.
도면을 참조하면, 양면 연마장치용 다이아몬드 드레서(100)는 몸체(30)와, 몸체(30)에 설치된 세그먼트(20) 및, 몸체(30)에 세그먼트(20)를 설치하기 위한 체결부재(40)를 구비한다.
몸체(30)는 링 모양의 디스크 형상을 가진다. 상기 디스크 형상의 바깥쪽에는 선기어 및 인터널 기어와 맞물리는 기어가 형성된다. 도 4에서는 상기 기어의 도시가 생략되었다.
몸체(30)의 양면(31)(34) 중에서 한쪽 면(31)에는 요홈부(32)가 소정간격으로 복수 개가 형성된다. 요홈부(32)의 개수는 세그먼트(20)의 개수와 동일하다. 즉, 각 요홈부(32)에는 하나의 세그먼트(20)가 설치된다.
요홈부(32)에는 세그먼트(20)의 돌출부(23)가 요홈부(32)의 길이방향(y방향)을 따라 슬라이딩되어서 삽입된다. 이를 위해서, 요홈부(32)는 그 길이방향(y 방향)의 입구(36)에서부터 끝단(37)으로 갈수록 그 폭(S1)이 줄어들거나 일정한 것이 바람직한데, 입구(36)에서부터 끝단(37)으로 갈수록 폭(S1)이 줄어들도록 형성되는 것이 더욱 바람직하다. 이것은 세그먼트(20)가 몸체(30)에 설치된 후에 임의로 y 방향으로 이탈하는 것을 방지하기 위해서이다.
또한, 요홈부(32)는 몸체(31)의 한쪽 면(31)에서부터 다른쪽 면(34)으로 갈수록 그 폭(S1)이 증가하거나 일정한 것이 바람직한데, 폭(S1)이 증가하도록 형성된 것이 더욱 바람직하다. 요홈부(32)의 폭(S1)이 한쪽 면(31)에서부터 다른쪽 면(34)으로 갈수록 증가하면 요홈부(32)에 삽입된 돌출부(23)가 -z 방향으로 임의로 이탈하는 것을 방지할 수 있다.
한편, 몸체(30)에는 세그먼트(20)를 체결하기 위한 관통공(33)이 형성되는데, 관통공(33)은 몸체(30)를 관통하도록 형성된다. 관통공(33)은 요홈부(32)에 형성되는 것이 바람직하다. 관통공(33)은 돌출부(23)가 요홈부(32)에 삽입된 상태에서 체결홈(24)과 대응되도록 형성된다.
세그먼트(20)는 몸체(30)에 복수 개가 설치된다. 세그먼트(20)의 한쪽 면(21)에는 다이아몬드에 의한 드레싱층이 형성되고 다른쪽 면(22)에는 돌출부(23)가 형성된다.
돌출부(23)는 요홈부(32)와 형합하는 구조를 가진다. 바람직하게, 돌출부(23)는 그 길이방향(y 방향)의 한쪽 끝단(26)에서부터 다른쪽 끝단(27)으로 갈수록 그 폭(W1)이 줄어들거나 폭(W1)이 일정하다. 따라서, 요홈부(32)의 입구(36)에 돌출부(23)를 위치시킨 상태에서 세그먼트(20)를 슬라이딩시켜 돌출부(23)를 요홈부(32)에 삽입할 수 있다.
또한, 돌출부(23)는 그 하단(28)에서부터 상단(29)으로 갈수록 폭(W1)이 증가하거나 폭(W1)이 일정한 것이 바람직한데, 하단(28)에서부터 상단(29)으로 갈수록 돌출부(23)의 폭(W1)이 증가하도록 형성된 것이 더욱 바람직하다. 돌출부(23)의 폭(W1)이 하단(28)에서부터 상단(29)으로 갈수록 증가하면 돌출부(23)가 요홈부(32)에 삽입된 상태에서 세그먼트(20)가 임의로 -z 방향으로 이탈하는 것을 방지할 수 있다.
세그먼트(20)에는 체결홈(24)이 형성된다. 체결홈(24)은 돌출부(23)에 소정 깊이로 형성되는 것이 바람직한데, 체결홈(24)은 돌출부(23)가 요홈부(32)에 삽입된 상태에서 관통공(33)과 대응되도록 형성된다.
체결부재(40)는 세그먼트(20)를 몸체(30)에 결합시킨다. 전술한 바와 같이, 돌출부(23)와 요홈부(32)가 서로 형합하는 구조를 가지고 돌출부(23)와 요홈부(32)가 길이방향(y방향)으로 갈수록 그 폭(S1)(W1)이 줄어들며 돌출부(23)와 요홈부(32)가 z방향으로 갈수록 그 폭(S1)(W1)이 커지기 때문에 체결부재(40)는 세그먼트(20)가 -y 방향으로 이탈하는 것만 방지하면 된다. 따라서, 본 발명에 따른 다이아몬드 드레서(100)는 한 개의 체결부재(40)만으로도 세그먼트(20)를 몸체(30)에 효과적으로 고정할 수 있다는 특징을 가진다. 즉, 체결홈(24)과 관통공(33) 및 체결부재(40)가 각각 하나씩만 구비되면 된다. 하나의 체결부재(40)만으로도 세그먼트(20)를 몸체(30)에 효과적으로 고정할 수 있기 때문에 세그먼트(20)의 결합 및 분리 작업이 간단하고 신속하며 효과적으로 이루어질 수 있다.
한편, 도 7은 본 발명의 제2 실시예에 따른 양면 연마장치용 다이아몬드 드레서를 보여주는 부분 단면도이다.
상기 양면 연마장치용 다이아몬드 드레서(100a)는 몸체(30)와, 몸체(30)에 설치되는 세그먼트(20)와, 체결부재(40a)와, 탄성부재(42) 및, 고정용 볼(44)을 구비한다. 몸체(30)와 세그먼트(20)는 제1 실시예의 몸체(30) 및 세그먼트(20)와 각각 동일한 구조를 가지고 있기 때문에 여기서는 설명을 생략하기로 한다.
다이아몬드 드레서(100a)는 체결부재(40a)와 탄성부재(42) 및 고정용 볼(44)이 협력하여 세그먼트(20)를 몸체(30)에 고정한다는 특징을 가진다.
탄성부재(42)는 관통공(33)에 설치되고, 고정용 볼(44)은 탄성부재(42)와 체결홈(24) 사이에 설치된다. 탄성부재(42)로는 통상적인 스프링 등이 사용될 수 있다. 탄성부재(42)는 체결부재(40a)에 의해서 가압된 상태에서 세그먼트(20)를 요홈부(32)로부터 멀어지게 방향(-z 방향)의 힘을 고정용 볼(44)에 가하고, 고정용 볼(44)은 체결홈(24)에 삽입된 상태에서 상기 힘을 세그먼트(20)에 가한다.
'배경기술'에서 설명한 바와 같이, 각 세그먼트(20) 간에 평탄도가 불량하면 패드 드레싱에 부정적인 영향을 주게 된다. 다이아몬드 드레서(100a)는 각 세그먼트(20) 간에 높이 차이가 다소 있더라도 탄성부재(42)가 상기 높이 차이를 흡수할 수 있기 때문에 양호한 평탄도를 보여줄 수 있다.
한편, 이상에서는 세그먼트(20)에 돌출부(23)가 형성되고 몸체(30)에 요홈부(32)가 형성된 것을 설명하였으나, 세그먼트에 요홈부가 형성되고 몸체에 돌출부가 형성될 수도 있다. 도 8은 돌출부가 형성된 몸체의 일부를 보여주는 사시도이고, 도 9는 요홈부가 형성된 세그먼트를 보여주는 사시도이다. 제3 실시예에 따른 다이아몬드 드레서는 상기 몸체(60)와, 상기 세그먼트(50) 및, 체결부재(미도시)를 구비한다.
상기 몸체(60)는 링 모양의 디스크 형상을 가진다. 상기 디스크 형상의 바깥에는 선기어 및 인터널 기어와 맞물리는 기어가 형성된다. 도 8에서는 상기 기어의 도시가 생략되었다.
몸체(60)의 양면 중에서 한쪽 면(61)에는 돌출부(62)가 소정간격으로 복수 개가 형성된다. 돌출부(62)의 개수는 세그먼트(50)의 개수와 동일하다. 즉, 각 돌출부(62)에는 하나의 세그먼트(50)가 설치된다.
돌출부(62)는 세그먼트(50)의 요홈부(53)가 -y 방향을 따라 슬라이딩되어서 삽입된다. 이를 위해서, 돌출부(62)는 한쪽 끝단(66)에서부터 다른쪽 끝단(67)으로 갈수록 그 폭(S2)이 줄어들거나 일정한 것이 바람직한데, 한쪽 끝단(66)에서부터 다른쪽 끝단(67)으로 갈수록 폭(S2)이 줄어들도록 형성되는 것이 더욱 바람직하다. 이것은 세그먼트(50)가 몸체(60)에 설치된 후에 임의로 y 방향으로 이탈하는 것을 방지하기 위해서이다.
또한, 돌출부(62)는 그 하단(68)에서부터 상단(69)으로 갈수록 그 폭(S2)이 증가하거나 일정한 것이 바람직한데, 폭(S2)이 증가하도록 형성된 것이 더욱 바람직하다. 돌출부(62)의 폭(S2)이 하단(68)에서부터 상단(69)으로 갈수록 증가하면 세그먼트(50)가 -z 방향으로 임의로 이탈하는 것을 방지할 수 있다.
한편, 몸체(60)에는 세그먼트(50)를 체결하기 위한 관통공(63)이 형성되는데, 관통공(63)은 몸체(60)를 관통하도록 형성된다. 관통공(63)은 돌출부(62)에 형성되는 것이 바람직하다. 관통공(63)은 돌출부(62)가 요홈부(53)에 삽입된 상태에서 체결홈(54)과 대응되도록 형성된다.
세그먼트(50)는 몸체(60)에 복수 개가 설치된다. 세그먼트(50)의 한쪽 면에는 다이아몬드에 의한 드레싱층이 형성되고 다른쪽 면(52)에는 요홈부(53)가 형성된다.
요홈부(53)는 돌출부(62)와 형합하는 구조를 가진다. 바람직하게, 요홈부(53)는 그 길이방향(y 방향)의 한쪽 끝단(56)에서부터 다른쪽 끝단(57)으로 갈수록 그 폭(W2)이 줄어들거나 폭(W2)이 일정하다. 따라서, 요홈부(53)의 한쪽 끝단(56)을 돌출부(62)에 위치시킨 상태에서 세그먼트(50)를 슬라이딩시켜 요홈부(53)에 돌출부(62)를 삽입할 수 있다.
또한, 요홈부(53)는 다른쪽 면(52)에서부터 한쪽 면으로 갈수록 폭(W2)이 증가하거나 폭(W2)이 일정한 것이 바람직한데, 다른쪽 면(52)에서부터 한쪽 면으로 갈수록 폭(W2)이 증가하도록 형성된 것이 더욱 바람직하다. 요홈부(53)의 폭(W2)이 다른쪽 면(52)에서부터 한쪽 면으로 갈수록 증가하면 돌출부(62)가 요홈부(53)에 삽입된 상태에서 세그먼트(50)가 임의로 -z 방향으로 이탈하는 것을 방지할 수 있다.
세그먼트(50)에는 체결홈(54)이 형성된다. 체결홈(54)은 요홈부(53)에 소정 깊이로 형성되는 것이 바람직한데, 체결홈(54)은 돌출부(62)가 요홈부(53)에 삽입된 상태에서 관통공(63)과 대응되도록 형성된다.
체결부재는 세그먼트(50)를 몸체(60)에 결합시킨다. 체결부재는 제1 실시예의 체결부재(40)와 동일한 구성을 가지므로 여기서는 설명을 생략하기로 한다.
한편, 제3 실시예에 따른 다이아몬드 드레서는 탄성부재(도 7의 42)와 고정용 볼(도 7의 44)을 더 구비할 수도 있다. 탄성부재(42)는 관통공(63)에 설치되고, 고정용 볼(44)은 탄성부재(42)와 체결홈(54) 사이에 설치된다. 탄성부재(42)는 체결부재(40a)에 의해서 가압된 상태에서 세그먼트(50)를 돌출부(62)로부터 멀어지게 방향(-z 방향)의 힘을 고정용 볼(44)에 가하고, 고정용 볼(44)은 체결홈(54)에 삽입된 상태에서 상기 힘을 세그먼트(50)에 가한다.
30, 60 : 몸체 20, 50 : 세그먼트
23, 62 : 돌출부 32, 53 : 요홈부
100, 100a : 양면 연마장치용 다이아몬드 드레서

Claims (12)

  1. 링 모양의 디스크 형상을 가지고, 양면 중에서 한쪽 면(31)에 요홈부가 형성된 몸체;
    한쪽 면(21)에는 다이아몬드에 의한 드레싱층이 형성되고 다른쪽 면(22)에는 요홈부와 형합하는 돌출부가 형성되며, 돌출부가 요홈부에 삽입되어 몸체에 고정되는 세그먼트; 및
    몸체와 세그먼트를 결합시키는 체결부재;를 구비하는 것을 특징으로 하는, 양면 연마장치용 다이아몬드 드레서.
  2. 제1항에 있어서,
    몸체를 관통하도록 형성된 관통공; 및
    세그먼트에 소정 깊이로 형성되고, 돌출부가 요홈부에 삽입된 경우에 관통공과 대응되는 위치에 형성된 체결홈;을 구비하고,
    상기 체결부재는 관통공과 체결홈에 삽입되어 몸체와 세그먼트를 서로 결합시키는 것을 특징으로 하는, 양면 연마장치용 다이아몬드 드레서.
  3. 제2항에 있어서,
    관통공은 요홈부에 형성되고 체결홈은 돌출부에 형성된 것을 특징으로 하는, 양면 연마장치용 다이아몬드 드레서.
  4. 제2항 또는 제3항에 있어서,
    요홈부는 그 길이방향의 입구(36)에서부터 끝단(37)으로 갈수록 그 폭(S1)이 줄어들거나 폭(S1)이 일정하고,
    돌출부는 그 길이방향의 한쪽 끝단(26)에서부터 다른쪽 끝단(27)으로 갈수록 그 폭(W1)이 줄어들거나 폭(W1)이 일정하여 돌출부를 슬라이딩시켜서 요홈부에 삽입할 수 있는 것을 특징으로 하는, 양면 연마장치용 다이아몬드 드레서.
  5. 제4항에 있어서,
    요홈부는 몸체의 한쪽 면(31)에서부터 다른쪽 면(34)으로 갈수록 그 폭(S1)이 증가하거나 폭(S1)이 일정하고,
    돌출부의 하단(28)에서부터 상단(29)으로 갈수록 돌출부의 폭(W1)이 증가하거나 폭(W1)이 일정한 것을 특징으로 하는, 양면 연마장치용 다이아몬드 드레서.
  6. 제5항에 있어서,
    요홈부는 몸체의 한쪽 면(31)에서부터 다른쪽 면(34)으로 갈수록 그 폭(S1)이 증가하고, 돌출부의 하단(28)에서부터 상단(29)으로 갈수록 돌출부의 폭(W1)이 증가하며,
    관통공과 체결홈에는 탄성부재 및 고정용 볼이 설치되고,
    탄성부재는 체결부재에 의해서 가압되어 세그먼트를 요홈부로부터 멀어지게 방향의 힘을 고정용 볼에 가하고, 고정용 볼은 체결홈에 삽입된 상태에서 상기 힘을 세그먼트에 가하는 것을 특징으로 하는, 양면 연마장치용 다이아몬드 드레서.
  7. 링 모양의 디스크 형상을 가지고, 양면 중에서 한쪽 면(61)에 돌출부가 형성된 몸체;
    한쪽 면에는 다이아몬드에 의한 드레싱층이 형성되고 다른쪽 면(52)에는 돌출부와 형합하는 요홈부가 형성되며, 요홈부에 돌출부가 삽입되어 몸체에 고정되는 세그먼트; 및
    세그먼트를 몸체에 결합시키는 체결부재;를 구비하는 것을 특징으로 하는, 양면 연마장치용 다이아몬드 드레서.
  8. 제7항에 있어서,
    몸체를 관통하도록 형성된 관통공; 및
    세그먼트에 소정 깊이로 형성되고, 돌출부가 요홈부에 삽입된 경우에 관통공과 대응되는 위치에 형성된 체결홈;을 구비하고,
    상기 체결부재는 관통공과 체결홈에 삽입되어 몸체와 세그먼트를 서로 결합시키는 것을 특징으로 하는, 양면 연마장치용 다이아몬드 드레서.
  9. 제8항에 있어서,
    관통공은 돌출부에 형성되고 체결홈은 요홈부에 형성된 것을 특징으로 하는, 양면 연마장치용 다이아몬드 드레서.
  10. 제8항 또는 제9항에 있어서,
    돌출부는 그 길이방향의 한쪽 끝단(66)에서부터 다른쪽 끝단(67)으로 갈수록 그 폭(S2)이 줄어들거나 폭(S2)이 일정하고,
    요홈부는 그 길이방향의 한쪽 끝단(56)에서부터 다른쪽 끝단(57)으로 갈수록 그 폭(W2)이 줄어들거나 폭(W2)이 일정하여 세그먼트를 슬라이딩시켜서 요홈부에 돌출부를 삽입할 수 있는 것을 특징으로 하는, 양면 연마장치용 다이아몬드 드레서.
  11. 제10항에 있어서,
    돌출부는 하단(68)에서부터 상단(69)으로 갈수록 그 폭(S2)이 증가하거나 폭(S2)이 일정하고,
    세그먼트의 다른쪽 면(52)에서부터 한쪽 면으로 갈수록 요홈부의 폭(W2)이 증가하거나 폭(W2)이 일정한 것을 특징으로 하는, 양면 연마장치용 다이아몬드 드레서.
  12. 제11항에 있어서,
    돌출부는 하단(68)에서부터 상단(69)으로 갈수록 그 폭(S2)이 증가하고, 세그먼트의 다른쪽 면(52)에서부터 한쪽 면으로 갈수록 요홈부의 폭(W2)이 증가하며,
    관통공과 체결홈에는 탄성부재 및 고정용 볼이 설치되고,
    탄성부재는 체결부재에 의해서 가압되어 세그먼트를 돌출부로부터 멀어지게 하는 방향의 힘을 고정용 볼에 가하고, 고정용 볼은 체결홈에 삽입된 상태에서 상기 힘을 세그먼트에 가하는 것을 특징으로 하는, 양면 연마장치용 다이아몬드 드레서.
KR1020100001199A 2010-01-07 2010-01-07 양면 연마장치용 다이아몬드 드레서 KR101614433B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020100001199A KR101614433B1 (ko) 2010-01-07 2010-01-07 양면 연마장치용 다이아몬드 드레서

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020100001199A KR101614433B1 (ko) 2010-01-07 2010-01-07 양면 연마장치용 다이아몬드 드레서

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20110080794A true KR20110080794A (ko) 2011-07-13
KR101614433B1 KR101614433B1 (ko) 2016-04-21

Family

ID=44919642

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020100001199A KR101614433B1 (ko) 2010-01-07 2010-01-07 양면 연마장치용 다이아몬드 드레서

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101614433B1 (ko)

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101353087B1 (ko) * 2012-07-10 2014-01-17 김용권 연마장치
WO2014055031A1 (en) * 2012-10-05 2014-04-10 Scanmaskin Sverige Ab Holder arrangement for grinding tools
CN104875131A (zh) * 2015-05-28 2015-09-02 江苏耐尔特钻石有限公司 一种金刚石磨盘
WO2016125973A1 (ko) * 2015-02-02 2016-08-11 이화다이아몬드공업 주식회사 그라인딩 공구
KR20180126144A (ko) * 2017-05-17 2018-11-27 모던세라믹스(주) 드레싱 블록의 교체가 가능한 포지셔너 및 그 제조방법
KR20220091104A (ko) * 2020-12-23 2022-06-30 에스케이실트론 주식회사 패드 플레이트 모듈 및 웨이퍼 에지 폴리싱 장치
WO2022251798A1 (en) * 2021-05-24 2022-12-01 Malish Corporation Mastic concrete coating removal tool

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003136412A (ja) * 2001-11-01 2003-05-14 Ebara Corp 研磨工具及び研磨装置

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101353087B1 (ko) * 2012-07-10 2014-01-17 김용권 연마장치
WO2014055031A1 (en) * 2012-10-05 2014-04-10 Scanmaskin Sverige Ab Holder arrangement for grinding tools
WO2016125973A1 (ko) * 2015-02-02 2016-08-11 이화다이아몬드공업 주식회사 그라인딩 공구
CN104875131A (zh) * 2015-05-28 2015-09-02 江苏耐尔特钻石有限公司 一种金刚石磨盘
KR20180126144A (ko) * 2017-05-17 2018-11-27 모던세라믹스(주) 드레싱 블록의 교체가 가능한 포지셔너 및 그 제조방법
KR20220091104A (ko) * 2020-12-23 2022-06-30 에스케이실트론 주식회사 패드 플레이트 모듈 및 웨이퍼 에지 폴리싱 장치
WO2022251798A1 (en) * 2021-05-24 2022-12-01 Malish Corporation Mastic concrete coating removal tool

Also Published As

Publication number Publication date
KR101614433B1 (ko) 2016-04-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR20110080794A (ko) 양면 연마장치용 다이아몬드 드레서
CN102712073B (zh) 研磨头及研磨装置
EP1808887A4 (en) PROCESS FOR PRODUCING SEMICONDUCTOR WAFER AND SEMICONDUCTOR WAFER
KR20080046715A (ko) 폴리싱 플래튼 및 폴리싱 장치
TW201743378A (zh) 研磨方法
US20110312254A1 (en) Method and apparatus for dressing polishing pad
KR101079468B1 (ko) 양면 연마장치용 캐리어 및 이를 이용한 양면 연마방법
CN203622206U (zh) 一种带锥面弹性夹头的滚盘工件主轴
KR101292227B1 (ko) 웨이퍼 연마용 패드 드레싱 장치
TW200742636A (en) Retaining ring with dresser for CMP
KR100901019B1 (ko) 양면 연마기 및 이를 이용한 연마 방법
KR101941768B1 (ko) 웨이퍼의 양면 연마장치
KR101443459B1 (ko) 니들 드레서 및 이를 포함하는 웨이퍼 양면 연마장치
JP3587505B2 (ja) 研磨用キャリア
KR20100062369A (ko) 연마패드용 드레서
CN210414162U (zh) 一种抛光磨块组件
KR20110106014A (ko) 드레서 및 이를 포함하는 웨이퍼 양면 연마 장치
JP2004223684A (ja) ウェーハノッチ研磨用パッド
KR20130079696A (ko) 양면 연마장비 및 이에 적용된 연마 패드용 드레서
KR20140002872A (ko) 웨이퍼 연마 장치 및 웨이퍼 연마 방법
CN111546203B (zh) 一种高适应性砂光机
KR101504221B1 (ko) 대형기판 및 대형기판의 균일한 연마를 위한 연마 방법
KR20120001816U (ko) Ｃｍｐ 드레서
CN201320716Y (zh) 一种砂带轮
KR20100082137A (ko) 양면 연마 장치용 캐리어와 프레이트 및 이를 이용한 양면 연마 장치

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190325

Year of fee payment: 4