KR20110056880A - Method and apparatus for airtight inspection using equalization - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: An airtightness inspection method and apparatus using pressure equilibrium are provided to accurately check the airtight seal of an inspection target within a short time. CONSTITUTION: An airtightness inspection apparatus using pressure equilibrium comprises a receiver tank(200) which stores compressed air, a pressure equalization line(210) which connects the receiver tank and an inspection target so that the compressed air of the receiver tank is provided to the inspection target to make pressure equilibrium, a flow meter(220) which is installed in the pressure equalization line to measure the flow rate of compressed air delivered from the receiver tank to the inspection target, a first opening/closing valve(230) which is installed in the pressure equalization line, and a control unit(600) which displays the detected flow rate of compressed air and determines the leakage of the inspection target according to the detected flow rate after the pressure equilibrium between the inspection target and the receiver tank.

Description

압력평형을 이용한 기밀검사장치 및 방법{method and apparatus for airtight inspection using equalization} Method and apparatus for airtight inspection using equalization

본 발명은 검사 대상이 되는 물품의 기밀상태를 검사하기 위한 기밀검사장치 및 방법에 관한 것이다. The present invention relates to an airtight inspection apparatus and method for inspecting the airtight state of an article to be inspected.

기밀이 요구되는 제품, 즉 오일탱크, 라디에이터와 같은 제품은 제작과정에서 기밀검사를 필수적으로 거치게 되는데, 종래의 기밀검사 방법의 일 실시예는 공기가 충진된 검사대상물을 물속에 넣어 공기가 유출될 때 발생되는 기포현상으로 기밀여부를 확인하였다. 그러나 이 방법은 검사대상물을 반드시 물속에 넣은 상태로 검사해야하므로 측정공수가 증가하여 작업이 번거로울 뿐만 아니라 물속에 넣을 수 없는 검사대상물은 측정이 불가능한 단점이 있다. Products that require airtightness, that is, products such as oil tanks and radiators are essentially subjected to the airtight test during the manufacturing process. One embodiment of the conventional airtight test method is to put an air-filled test object in the water to leak air When the bubble phenomenon occurs when the confidentiality was confirmed. However, this method must be inspected while the object is in the water, which increases the man-hours of the measurement, which is cumbersome, and also makes it impossible to measure the object that cannot be placed in the water.

그리고, 다른 실시예로는 검사대상물에 공기를 충진시키고 이 검사대상물에 압력게이지를 부착하여 공기가 유출될 때 발생하는 압력게이지의 변화에 따라 기밀여부를 확인하였다. 그러나 공기압의 변화에 따라 측정하는 방법은 충진된 공기가 미량으로 유출되는 경우가 대부분이므로 측정에 많은 시간이 소요될 뿐만 아니라 압력게이지의 변화를 육안으로 확인하여야 하므로 수작업에 의존해야 하는 불편함 이 있었다. In another embodiment, air is filled in the inspection object and a pressure gauge is attached to the inspection object to check whether it is airtight according to a change in the pressure gauge generated when air flows out. However, the method of measuring according to the change of air pressure is a large amount of the air is filled out a small amount of time, it takes a lot of time to measure, and it is inconvenient to rely on manual work because the change of the pressure gauge should be visually confirmed.

그리고, 또 다른 실시예로는 일본 특허 공개 평4-221733호 공보나, 일본 특허 제3186438호 공보에 있어서는 차압 센서를 이용하여 검사대상물 내의 기체의 압력과 가압 가스원으로부터 공급된 가압 기체의 압력과의 압력차를 검출함으로써 리크의 유무를 판정하였다. 그러나, 상술한 일본 특허 공개 평4-221733호 공보 및 일본 특허 제3186438호 공보에 개시된 바와 같은 차압 센서를 이용하는 방식은 센서가 고가인 것에 부가하여 복잡한 배관 구조가 필요하고, 또한 복잡한 보정 처리도 필요해, 일반적으로 시스템이 복잡해지는 문제가 있다.In another embodiment, Japanese Patent Application Laid-Open No. 4-221733 or Japanese Patent No. 3186438 uses a differential pressure sensor to detect the pressure of the gas in the inspection object and the pressure of the pressurized gas supplied from the pressurized gas source. The presence or absence of the leak was determined by detecting the pressure difference of. However, the method using the differential pressure sensor as disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open Nos. 4-221733 and 3186438 described above requires a complicated piping structure in addition to the expensive sensor, and also requires a complicated correction process. In general, there is a problem of complicated systems.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 검사 대상물의 기밀상태를 단시간에 정확하게 확인할 수 있는 압력평형을 이용한 기밀검사장치 및 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-described problems, and an object thereof is to provide an airtight inspection apparatus and method using pressure balance which can accurately check the airtight state of an inspection object in a short time.

또한 본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 저렴하고, 또한 소형이고, 자동적이고 또한 고정밀도로 검사대상물의 리크 판정이 가능한 압력평형을 이용한 기밀검사장치 및 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.In addition, an object of the present invention is to provide an airtight inspection apparatus and method using pressure balance, which is inexpensive, compact, automatic, and can accurately determine leakage of an inspection object.

본 발명의 목적은 여기에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The objects of the present invention are not limited thereto, and other objects not mentioned can be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

상기한 과제를 달성하기 위한 본 발명의 압력평형을 이용한 기밀검사장치는 압축된 공기가 저장된 리시버 탱크; 상기 리시버 탱크와 상기 검사대상물을 연결하여 상기 리시버 탱크에 저장된 압축공기가 상기 검사대상물로 제공되면서 압력 평형을 이루도록 하는 압력평형라인; 상기 압력평형라인상에 설치되어 상기 리시버 탱크에서 상기 검사대상물로 이동하는 압축공기의 유량을 측정하는 질량유량계; 상기 압력평형라인상에 설치되는 제1개폐밸브; 및 상기 질량유량계에서 측정된 압축공기의 유량값을 표시하고, 상기 리시버 탱크와 상기 검사대상물의 압력 평형시간 이후에 발생되는 유량값에 따라 상기 검사대상물의 리크 여부를 판단하는 제어부를 포함한다.Leak test device using the pressure balance of the present invention for achieving the above object is a receiver tank is stored compressed air; A pressure balancing line connecting the receiver tank and the inspection object to achieve a pressure balance while providing compressed air stored in the receiver tank to the inspection object; A mass flow meter installed on the pressure balance line to measure a flow rate of the compressed air moving from the receiver tank to the inspection object; A first opening / closing valve installed on the pressure balancing line; And a controller for displaying the flow rate of the compressed air measured by the mass flow meter and determining whether the inspection object is leaked according to the flow rate value generated after the pressure balance time between the receiver tank and the inspection object.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 압력평형라인으로부터 분기되어 상기 질량 유량계와 상기 제1개폐밸브를 경유하지 않고 상기 리시버 탱크에 저장된 압축공기를 상기 검사대상물로 신속하게 제공하기 위한 바이패스 라인과, 상기 바이패스 라인에 설치되는 바이패스 밸브를 더 포함한다.According to an embodiment of the present invention, a bypass line branched from the pressure balance line for quickly providing compressed air stored in the receiver tank to the inspection object without passing through the mass flow meter and the first opening / closing valve, It further includes a bypass valve installed in the bypass line.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 리시버 탱크의 체적은 상기 검사대상물의 체적보다 크다.According to an embodiment of the present invention, the volume of the receiver tank is larger than the volume of the inspection object.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 질량유량계와 상기 제1개폐밸브 사이에서 분기되고, 일정량의 누설량을 갖는 더미밸브가 설치된 더미 라인을 더 포함한다.According to an embodiment of the present invention, the apparatus further includes a dummy line branched between the mass flow meter and the first opening / closing valve and provided with a dummy valve having a certain amount of leakage.

본 발명의 실시예에 따르면, 공기를 압축하는 에어 컴프레셔; 상기 에어 컴프레셔를 통해 상기 리시버 탱크로 압축된 공기를 공급하는 공급라인; 및 상기 공급 라인 상에 설치되는 압력조절밸브 및 제2개폐밸브를 더 포함한다.According to an embodiment of the present invention, an air compressor for compressing air; A supply line for supplying compressed air to the receiver tank through the air compressor; And a pressure control valve and a second open / close valve installed on the supply line.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 리시버 탱크의 압력을 측정하는 제1압력 계; 상기 검사대상물의 압력을 측정하는 제2압력계를 더 포함한다.According to an embodiment of the invention, the first pressure gauge for measuring the pressure of the receiver tank; It further comprises a second pressure gauge for measuring the pressure of the inspection object.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 압력평형라인 또는 바이패스라인에 연결되며, 리크 검사후 상기 검사대상물에 채워진 압축공기를 대기중으로 방출하기 위해 배기밸브를 갖는 배기라인을 더 포함한다.According to an embodiment of the present invention, the pressure balance line or bypass line, and further comprises an exhaust line having an exhaust valve for exhausting the compressed air filled in the inspection object to the atmosphere after the leak test.

상기한 과제를 달성하기 위한 공기유량변화를 이용한 검사대상물의 기밀검사방법은 리시버 탱크에 압축 공기를 저장하는 단계; 상기 리시버 탱크에 저장된 압축공기가 검사대상물로 제공되도록 함으로써, 상기 리시버 탱크와 상기 검사대상물 간의 압력 평형을 이루도록 하는 압력평형단계; 상기 리시버 탱크와 상기 검사대상물 간의 압력 평형이 이루어진 후 상기 리시버 탱크로부터 상기 검사대상물로의 에어 이동이 있는지를 질량 유량계를 통해 에어 유량을 검출하는 단계; 및 상기 리시버 탱크와 상기 검사대상물의 압력 평형시간 이후에 발생되는 유량값에 따라 상기 검사대상물의 리크 여부를 판단하는 판별단계를 포함한다.Airtight inspection method of the inspection object using the air flow change to achieve the above object is the step of storing the compressed air in the receiver tank; A pressure balance step of achieving a pressure balance between the receiver tank and the inspection object by providing the compressed air stored in the receiver tank to the inspection object; Detecting an air flow rate through a mass flow meter to determine whether there is air movement from the receiver tank to the inspected object after the pressure balance between the receiver tank and the inspected object is achieved; And a determining step of determining whether the inspection object is leaked according to a flow rate value generated after the pressure balance time of the receiver tank and the inspection object.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 압력평형단계는 상기 리시버 탱크와 상기 검사대상물을 연결하는 압력평형라인과 바이패스라인을 개방하여 상기 리시버 탱크에 저장된 압축공기가 신속하게 검사대상물로 제공되도록 하는 압력이동단계; 및 상기 바이패스라인을 폐쇄한 후 상기 리시버 탱크와 상기 검사대상물 간의 압력 평형 안정화가 이루도록 하는 압력평형 안정화 단계를 포함한다.According to an embodiment of the present invention, the pressure balancing step is to open the pressure balance line and the bypass line connecting the receiver tank and the inspection object to quickly provide the compressed air stored in the receiver tank to the inspection object. Moving step; And a pressure balance stabilization step of achieving a pressure balance stabilization between the receiver tank and the inspection object after closing the bypass line.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 유량 검출 단계에서 상기 질량 유량계는 상기 압력평형라인에 설치되어 상기 압력평형라인을 통해 이동되는 유량을 검출한다.According to an embodiment of the present invention, in the flow rate detecting step, the mass flow meter is installed in the pressure balance line to detect the flow rate moving through the pressure balance line.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 판별단계는 상기 질량유량계로부터의 검출량이 제로이거나 기설정값 이하이면 상기 검사대상물의 기밀이 완전하여 리크가 존재하지 않은 것으로 판별하고, 상기 리시버 탱크에서 상기 검사대상물로 에어 이동이 발생되면서 상기 질량유량계로부터의 검출량이 검출되거나 또는 기설정값 이상이면 상기 검사대상물에 리크가 존재하는 것으로 판별한다.According to an embodiment of the present invention, the determining step, if the detection amount from the mass flow meter is zero or less than a predetermined value, it is determined that the leak is not present because the airtightness of the inspection object is complete, and the inspection object in the receiver tank When the air flow is generated while the detection amount from the mass flow meter is detected or more than a predetermined value, it is determined that there is a leak in the inspection object.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 압력이동단계에서는 상기 리시버 탱크에 압축 공기를 보충하기 위해 상기 검사대상물로 이동된 압축공기량을 보충하기 위해 상기 리시버 탱크에 압축 공기를 공급하는 단계를 더 포함한다.According to an embodiment of the present invention, the pressure movement step further comprises the step of supplying compressed air to the receiver tank to replenish the amount of compressed air moved to the inspection object to replenish the compressed air to the receiver tank.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 유량 검출 단계 전에 상기 리시버 탱크로부터 압축공기가 상기 검사대상물로 제공되는지를 확인하기 위해 상기 검사대상물의 내부 압력을 측정하여 상기 검사대상물의 막힘 불량이 있는지를 확인하는 단계를 더 포함한다. According to an embodiment of the present invention, to determine whether there is a blockage failure of the inspection object by measuring the internal pressure of the inspection object to confirm whether compressed air is provided to the inspection object from the receiver tank before the flow rate detecting step. It further comprises a step.

본 발명에 의하면, 검사 대상물의 기밀상태를 단시간에 정확하게 확인할 수 있다.According to the present invention, the airtight state of the inspection object can be confirmed accurately in a short time.

또한 본 발명은 저렴하고, 또한 소형이고, 자동적이고 또한 고정밀도로 검사대상물의 리크 판정이 가능하다.In addition, the present invention is inexpensive, compact, automatic, and can accurately determine the leakage of an inspection object.

이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 압력평형을 이용한 기밀검사장치 및 방법을 상세히 설명하기로 한다. 우선 각 도면의 구성 요소들에 참조 부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성 요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다. Hereinafter, an airtight inspection apparatus and a method using pressure balance according to a preferred embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. First, in adding reference numerals to the components of each drawing, it should be noted that the same reference numerals are assigned to the same components as much as possible, even if shown on different drawings. In the following description of the present invention, a detailed description of known functions and configurations incorporated herein will be omitted when it may make the subject matter of the present invention rather unclear.

( 실시 예 )(Example)

도 1은 본 발명에 따른 압력평형을 이용한 기밀검사장치를 설명하기 위한 구성도이다. 1 is a block diagram for explaining an airtight inspection apparatus using the pressure balance according to the present invention.

도 1을 참조하면, 본 발명의 기밀검사장치(10)는 에어 컴프레셔(100), 공급라인(110), 리시버 탱크(200), 압력평형라인(210), 질량유량계(220), 제1개폐밸브(230), 바이패스라인(300), 더미라인(400), 배기라인(500), 제어부(600) 등을 포함한다.1, the airtight inspection apparatus 10 of the present invention is an air compressor 100, supply line 110, receiver tank 200, pressure balance line 210, mass flow meter 220, the first opening and closing The valve 230, the bypass line 300, the dummy line 400, the exhaust line 500, and the controller 600 may be included.

에어 컴프레셔(100)는 일정한 압력의 에어(압축공기)를 생성하며, 이렇게 생성된 압축 공기는 공급라인을 통해 리시버 탱크(200)에 저장된다. 공급라인(110)에는 통상의 압력조절밸브(112)와, 온/오프밸브인 제2개폐밸브(114)가 설치된다. 리시버 탱크(200)의 압력은 압력조절밸브(112)에 의해 일정한 압력(예를 들어 3kg/㎠압력)까지 상승하게 된다. The air compressor 100 generates air of a constant pressure (compressed air), and the compressed air thus generated is stored in the receiver tank 200 through a supply line. The supply line 110 is provided with a normal pressure control valve 112 and a second open / close valve 114 that is an on / off valve. The pressure of the receiver tank 200 is raised to a predetermined pressure (for example, 3kg / cm 2 pressure) by the pressure control valve 112.

리시버 탱크(200)에는 에어 컴프레셔(100)를 통해 공급받은 압축 공기가 저장된다. 리시버 탱크(200)의 체적은 검사대상물(1)의 체적보다 반듯이 커야 하며, 본 실시예에서 리시버 탱크(200)의 체적은 15L, 검사대상물(1)의 체적은 1L로 설정 하고 있다. 하지만 이는 일 예에 불과하며, 최소한 리시버 탱크(200)는 검사대상물(1)보다 2배 이상의 체적을 갖는 것이 바람직하며, 좀 더 바람직하게는 10~20배 정도의 체적을 갖는 것이 좋다. 물론, 리시버 탱크(200)의 체적은 검사대상물의 체적보다 크면 클수록 리크 검사 과정에서 보다 정밀하고 신속한 유량 검출이 가능하다.The receiver tank 200 stores the compressed air supplied through the air compressor 100. The volume of the receiver tank 200 must be larger than the volume of the inspection object 1, and in this embodiment, the volume of the receiver tank 200 is set to 15L, the volume of the inspection object 1 is 1L. However, this is only one example, and at least the receiver tank 200 preferably has a volume of 2 times or more than the inspection object 1, and more preferably, 10 to 20 times the volume. Of course, as the volume of the receiver tank 200 is larger than the volume of the inspection object, more precise and rapid flow rate detection is possible in the leak inspection process.

리시버 탱크(200)는 압력평형라인(210)을 통해 검사대상물(1)을 연통된다. 압력평형라인(210)의 일단에는 커넥터(218)가 설치되는데, 커넥터(218)는 측정대상물(1)인 라디에이터의 입구(냉각수 주입포트)에 기밀을 유지한 상태로 연결되며, 측정대상물의 입구에 클램프 방식으로 착탈가능하게 연결된다. 커넥터(218)는 검사대상물의 입구의 크기 또는 모양에 따라 선택적으로 달라지게 형성되어 그 연결부분의 기밀이 유지되도록 한다. 한편, 제1압력계(20)는 리시버 탱크(200)의 압력 상태를 체크하기 위한 것으로, 제1압력계(20)를 통해 리시버 탱크(200) 내부의 압력 상태를 판단할 수가 있다. 그리고 제2압력계(30)는 검사대상물(1)의 압력 상태를 체크하기 위한 것이다. 제2압력계(30)는 검사대상물의 후단 즉, 압축에어가 유입되는 부분과 가장 먼 위치에서 압력을 측정하는 것이 바람직하다. The receiver tank 200 communicates the inspection object 1 through the pressure balance line 210. A connector 218 is installed at one end of the pressure balancing line 210, and the connector 218 is connected to the inlet (cooling water injection port) of the radiator, which is the measurement object 1, in a state of airtightness, and the entrance of the measurement object. It is detachably connected in a clamping manner. The connector 218 is selectively formed depending on the size or shape of the entrance of the object to be inspected to maintain the airtightness of the connection portion. On the other hand, the first pressure gauge 20 is for checking the pressure state of the receiver tank 200, it is possible to determine the pressure state inside the receiver tank 200 through the first pressure gauge 20. And the second pressure gauge 30 is for checking the pressure state of the inspection object (1). The second pressure gauge 30 preferably measures the pressure at the rear end of the inspection object, that is, the position farthest from the portion where the compressed air is introduced.

질량 유량계(220)와 온/오프 밸브인 제1개폐밸브(230)는 압력평형라인(210)상에 설치된다. 질량유량계(220)는 예컨대 5cc/min 분당 5cc의 유량을 검출할 수 있는 정밀유량계가 사용된다. 질량 유량계(220)는 리시버 탱크(200)를 기준으로 제1개폐 밸브(230) 전단에 위치된다. The mass flow meter 220 and the on / off valve first opening / closing valve 230 are installed on the pressure balancing line 210. As the mass flow meter 220, a precision flow meter capable of detecting a flow rate of 5 cc / min, for example, 5 cc / min is used. The mass flow meter 220 is positioned in front of the first opening / closing valve 230 with respect to the receiver tank 200.

바이패스라인(300)은 압력평형라인(200)으로부터 분기되어 질량 유량계(220) 와 제1개폐밸브(230)를 경유하지 않고 우회하는 라인이다. 바이패스라인(300)은 리시버 탱크(200)에 저장된 압축공기를 검사대상물(1)로 신속하게 제공하기 위한 것이다. 바이패스 라인(300)에는 온오프 밸브인 바이패스 밸브(310)가 설치된다. 바이패스라인(300)은 압력평형 단계인 압력 이동단계에서 사용되며, 압력 이동 단계에서는 리시버 탱크(200)와 검사대상물(1)을 연결하는 압력평형라인(210)과 바이패스라인(300)을 개방함으로써 리시버 탱크(200)에 저장된 압축공기가 신속하게 검사대상물(1)로 제공된다. 만약, 바이패스라인(300)이 제공되지 않는다면 리시버 탱크(200)에 저장된 압축공기는 압력평형라인(210)을 통해서만 검사대상물(1)로 이동되어야 함으로 압력이 이동되는데 상당한 시간이 소요된다. 따라서, 바이패스라인(300)은 빠른 압력 이동을 위해 필수적인 구성이다. The bypass line 300 is a line branched from the pressure balance line 200 and bypassed without passing through the mass flow meter 220 and the first opening / closing valve 230. The bypass line 300 is for quickly providing the compressed air stored in the receiver tank 200 to the inspection object 1. The bypass line 300 is provided with a bypass valve 310 that is an on-off valve. The bypass line 300 is used in the pressure movement stage, which is the pressure balance stage, and in the pressure movement stage, the pressure balance line 210 and the bypass line 300 connecting the receiver tank 200 and the inspection object 1 to each other. By opening, the compressed air stored in the receiver tank 200 is quickly provided to the inspection object 1. If the bypass line 300 is not provided, the compressed air stored in the receiver tank 200 should be moved to the inspection object 1 only through the pressure balance line 210, so that a considerable time is required to move the pressure. Thus, bypass line 300 is an essential configuration for rapid pressure movement.

더미 라인(400)은 압력평형라인(210)으로부터 분기된다. 더미 라인(400)의 분기점은 질량 유량계(220)와 제1개폐밸브(230) 사이에 위치되며, 더미라인(400)에는 온오프 밸브인 더미밸브(410)가 설치되며, 더미라인(400) 후단에는 더미 밸브(410) 개방시 일정한 유량이 대기로 빠져나갈 수 있도록 일정한 누설량을 보유한 더미마스터(420)가 설치되어 있다. 즉, 더미 라인(400)은 검사대상물의 리크 검사를 하기 전(검사초기)에 제1개폐밸브(230)를 차단한 상태에서 더미 밸브(410)를 개방하여 더미 마스터(420)로부터 누설되는 량을 질량 유량계가 검출하지 않으면 경고조치 후 점검을 실시하게 된다. The dummy line 400 branches off from the pressure balance line 210. The branch point of the dummy line 400 is located between the mass flow meter 220 and the first opening / closing valve 230, and the dummy line 400 is provided with a dummy valve 410 which is an on / off valve, and the dummy line 400. At the rear end, a dummy master 420 having a constant leakage amount is installed to allow a constant flow rate to escape to the atmosphere when the dummy valve 410 is opened. That is, the dummy line 400 is an amount of leakage from the dummy master 420 by opening the dummy valve 410 in a state in which the first opening / closing valve 230 is blocked before the leak inspection of the inspection object (initial inspection). If the mass flowmeter does not detect this, a warning is taken and then checked.

배기라인(500)은 바이패스라인(300)에 연결되며, 리크 검사후 검사대상물(1)에 채워진 압축공기를 대기중으로 벤트하기 위해 사용된다. 배기라인(500)에는 온 오프 밸브인 배기밸브(510)가 설치된다.The exhaust line 500 is connected to the bypass line 300, and is used to vent the compressed air filled in the inspection object 1 into the atmosphere after the leak inspection. The exhaust line 500 is provided with an exhaust valve 510 that is an on-off valve.

제어부(600)는 리시버 탱크(200)와 검사대상물(1)의 압력 평형시간 이후에 발생되는 유량값에 따라 검사대상물(1)의 리크 여부를 판단한다. 제어부(600)는 질량 유량계(220)로부터의 검출량이 제로이거나 기설정값(리크 판별 기준값으로, 리크유량으로 표기) 이하이면 검사대상물(1)의 기밀이 완전하여 리크가 존재하지 않은 것으로 판별하고, 리시버 탱크(200)에서 검사대상물(1)로 에어 이동이 발생되면서 질량유량계(220)로부터의 검출량이 검출되거나 또는 기설정값 이상이면 검사대상물(1)에 리크가 존재하는 것으로 판정한다. The controller 600 determines whether the inspection object 1 is leaked based on a flow rate value generated after the pressure balance time between the receiver tank 200 and the inspection object 1. If the detection amount from the mass flow meter 220 is zero or less than or equal to a preset value (a leak discrimination reference value, expressed as a leak flow rate), the control unit 600 determines that leak is not present because the airtightness of the inspection object 1 is complete. When the air flow is generated from the receiver tank 200 to the inspection object 1 and the amount of detection from the mass flow meter 220 is detected or more than a predetermined value, it is determined that a leak exists in the inspection object 1.

제어부(600)는 공급라인(110)과 압력평형라인(210) 그리고 바이패스라인(300), 더미라인(400) 그리고 배기라인(500) 등에 각각 구비된 밸브들을 선택적으로 온/오프 작동되도록 제어한다. 제어부(600)에 의해 제어되는 제1개폐밸브(230), 제2개폐밸브(112), 바이패스밸브(310), 배기밸브(510) 등은 전기적 신호에 의해 에어의 유동 라인을 개폐시키도록 하는 솔레노이드 밸브를 사용하는 것이 가장 바람직하다. The control unit 600 controls to selectively turn on / off valves provided in the supply line 110, the pressure balancing line 210, and the bypass line 300, the dummy line 400, and the exhaust line 500, respectively. do. The first opening / closing valve 230, the second opening / closing valve 112, the bypass valve 310, the exhaust valve 510, and the like controlled by the controller 600 may open or close the flow line of air by an electrical signal. It is most preferable to use a solenoid valve.

제어부(600)는 질량 유량계(220)로부터 체크되는 검출량을 가시적으로 확인이 가능하도록 표시부(610)를 갖는다. 제어부(600)의 표시부(610)에는 검출유량, 리크유량, 리크검출시간, 압력평형시간, 벤트시간, 압력도달지연시간 등이 표시되며, 또한 제1,2개폐밸브(230,112), 바이패스밸브(310), 배기밸브(510) 등의 온/오프 상태가 표시된다. 그리고, 검사대상물(1)의 리크 판정 유무에 따라 점등되는 경고등을 포함할 수 있다.The control unit 600 has a display unit 610 to visually check the detection amount checked from the mass flow meter 220. The display unit 610 of the controller 600 displays the detected flow rate, the leak flow rate, the leak detection time, the pressure equilibrium time, the vent time, the pressure reaching delay time, and the first and second open / close valves 230 and 112 and the bypass valve. An on / off state of the 310 and the exhaust valve 510 is displayed. And, it may include a warning light that is lit in accordance with the presence or absence of the leak determination of the inspection object (1).

상술한 구성을 갖는 본 발명의 기밀검사장치에서의 기밀검사방법을 설명하면 다음과 같다.Referring to the airtight test method in the airtight test apparatus of the present invention having the above-described configuration is as follows.

도 2는 본 발명에 따른 압력평형을 이용한 기밀검사방법을 설명하기 위한 플로우챠트이고, 도 3은 리시버 탱크와 검사대상물의 압력 변화를 보여주는 그래프이다. Figure 2 is a flow chart for explaining the airtight inspection method using the pressure balance according to the present invention, Figure 3 is a graph showing the pressure change of the receiver tank and the inspection object.

우선, 기밀검사과정은 크게 압축공기 저장단계, 압력평형단계(S100), 유량 검출단계(S200), 판정단계(S300) 그리고 벤트 단계(S400)로 크게 구분된다. First, the airtightness inspection process is largely divided into compressed air storage step, pressure balance step (S100), flow rate detection step (S200), determination step (S300) and vent step (S400).

압축공기 저장단계에서는 에어 컴프레셔(100)에서 생성된 압축공기가 공급라인(110)을 통해 리시버 탱크(200)에 저장된다. 압축공기 저장단계는 검사를 처음 시작하는 초기 단계에서만 1회 시행되며, 그 이후부터는 항상 리시버 탱크에 충분한 압축 공기가 저장되어 있기 때문에 도 2의 플로우챠트에서는 생략되었다. In the compressed air storage step, the compressed air generated by the air compressor 100 is stored in the receiver tank 200 through the supply line 110. The compressed air storage step is carried out only once in the initial stage of starting the inspection, and since that time, since enough compressed air is always stored in the receiver tank, it is omitted in the flowchart of FIG.

압력평형단계(S100)를 세분화하면, 압력이동단계(S110), 압력도달시간지연 단계(S120) 그리고 안정화단계(S130)로 구분할 수 있다. When the pressure balancing step (S100) is subdivided, it can be divided into a pressure moving step (S110), a pressure reaching time delay step (S120) and a stabilization step (S130).

압력이동단계(S110)에서는 리시버 탱크(200)에 저장된 압축공기가 검사대상물(1)로 신속하게 제공되도록 제1개폐밸브(230)와 바이패스 밸브(310)를 개방함으로 리시버 탱크(200)와 검사대상물(1) 간의 압력 이동이 이루어진다. 특히, 압력이동단계에서 제2개폐밸브(112)를 개방하는 이유는 리시버 탱크(200)로부터 검사대상물(1)로 이동되는 압축공기의 양만큼 리시버 탱크에 압축공기를 보충해주기 위함이다. 압력평형단계에서 리시버 탱크(200)는 일시적으로 압력이 떨어지지만 공급라인(110)을 통해 충분한 압축공기가 보충되면서 검사전 기준압력(공급압력)으로 회 복하게 된다. In the pressure movement step (S110), the receiver tank 200 and the receiver valve 200 are opened by opening the first opening / closing valve 230 and the bypass valve 310 so that the compressed air stored in the receiver tank 200 is quickly provided to the inspection object 1. The pressure movement between the inspection object 1 is made. In particular, the reason for opening the second opening / closing valve 112 in the pressure movement step is to replenish the compressed air to the receiver tank by the amount of compressed air moved from the receiver tank 200 to the inspection object 1. In the pressure equalization step, the receiver tank 200 temporarily drops in pressure, but recovers to a reference pressure (supply pressure) before inspection as sufficient compressed air is replenished through the supply line 110.

도 4는 압력 이동단계에서 리시버 탱크에 압축공기를 보충하지 않은 경우, 리시버 탱크와 검사대상물의 압력 변화를 보여주는 그래프이다. 도 4에서와 같이, 리시버 탱크의 압력이 검사 시작시점부터 떨어지면서 검사대상물의 압력과 압력 평형을 이루게 된다. 즉, 압력 이동단계에서 리시버 탱크에 압축공기를 보충하지 않으면 리시버 탱크와 검사대상물의 평형 압력은 공급압력 보다 낮은 압력에서 이루어진다. 4 is a graph showing a change in pressure of the receiver tank and the inspection object when the compressed air is not replenished in the receiver tank in the pressure movement step. As shown in Figure 4, the pressure of the receiver tank is dropped from the start point of the test to achieve the pressure balance of the test object. That is, if the receiver tank is not replenished with compressed air in the pressure movement step, the equilibrium pressure of the receiver tank and the inspection object is made at a pressure lower than the supply pressure.

압력 이동단계에서 리시버 탱크에 압축공기를 보충하는 이유에 대해 보충 설명을 하자면, 도 5a에 도시된 바와 같이 리시버 탱크에 압축 에어가 충만된 상태에서는 검사대상물에서 리크되는 유량만큼 질량 유량계가 정확하게 리크 유량을 측정할 수 있다. 그러나 도 5b에서와 같이 리시버 탱크의 압축공기를 보충하지 않은 상태에서는 압력 평형후 질량 유량계가 약간의 딜레이 시간 후에 리크 유량을 100% 정확하게 측정하지 못하게 된다. 물론, 리시버 탱크에 압축공기를 보충하지 않는다고 해서 검사대상물에서 리크되는 유량을 질량 유량계가 전혀 측정하지 못하는 것은 아니기 때문에 그 정확성은 떨어질 수 있지만 허용범위 안에 포함된다면 리크 검사가 가능하다. The reason for replenishing the compressed air to the receiver tank in the pressure movement step, as shown in Figure 5a, in the state in which the receiver tank is filled with compressed air, the flow rate of the mass flow meter is exactly as the flow rate leaked from the inspection object Can be measured. However, in the state in which the compressed air of the receiver tank is not replenished as shown in FIG. 5B, the mass flow meter after pressure equilibrium does not accurately measure the leak flow rate 100% after a slight delay time. Of course, the lack of replenishment of compressed air in the receiver tank does not mean that the mass flowmeter cannot measure the flow rate leaked from the inspection object at all.

압력도달지연단계(S120)는 압력안정화 단계(S130)에 포함된다고 볼 수 있는 과정이지만, 제어부(600)에서 압력도달지연이라는 딜레이 시간을 별도로 설정하고 있음으로 이 부분에 대해 간단히 설명한다. 압력도달지연 단계(S120)에서는 제1개폐밸브(230)를 제외하고 바이패스 밸브(310)와 제2개폐밸브(112)는 차단한다. 압력 도달지연 단계는 검사대상물(1)의 체적 및 내부 공간의 특성에 따라 그 시간을 달리 설정할 수 있다. 예컨대, 검사대상물의 내부 공간이 굴곡이 많고 복잡한 구조(예를 들면 라디에이터와 같은 대상물)라면 압축공기가 검사대상물의 내부 공간 구석구석까지 도달하는데 걸리는 시간이 단순한 용기타입의 검사대상물보다 상대적으로 더 많이 소요된다. 따라서, 이러한 검사대상물의 내부 구조에 따른 압력 도달 시간이라는 추가시간을 따로 설정할 수 있도록 한 것이다. 하지만, 압력도달지연은 앞에서 이야기 한 것처럼 압력 안정화 단계(S130)에 포함될 수 있다. Pressure reaching delay step (S120) is a process that can be seen to be included in the pressure stabilization step (S130), but the control unit 600 will be described briefly this part by setting a delay time called the pressure reaching delay separately. In the pressure delay delay step S120, the bypass valve 310 and the second open / close valve 112 are blocked except the first open / close valve 230. The pressure arrival delay step may be set differently depending on the volume of the inspection object 1 and the characteristics of the internal space. For example, if the internal space of the inspection object is curved and complex structure (for example, an object such as a radiator), the time taken for compressed air to reach every corner of the interior space of the inspection object is relatively higher than that of a simple container type object. It takes Therefore, the additional time of the pressure arrival time according to the internal structure of the inspection object is to be set separately. However, the pressure delivery delay may be included in the pressure stabilization step (S130) as described above.

압력안정화 단계(S130)는 리시버 탱크(200)와 검사대상물(1)의 압력평형이 안정적으로 이루어지기 위해 필요한 시간이다. Pressure stabilization step (S130) is the time required for the pressure balance between the receiver tank 200 and the inspection object (1) to be stable.

이처럼, 본 발명에서는 리시버 탱크에 저장된 압축에어를 사용하여 검사대상물의 리크 검사를 실시하기 때문에 리시버 탱크로 공급되는 압축에어의 변화량에 영향을 미치지 않는다. As described above, in the present invention, since the leak inspection of the inspection object is performed using the compressed air stored in the receiver tank, the amount of change in the compressed air supplied to the receiver tank is not affected.

유량 검출 단계(S200)는 리시버 탱크(200)와 검사대상물(1)의 압력평형이 완전히 이루어진 후 압력평형라인(210) 상에서의 유량 이동을 검출하기 위한 것으로, 압력평형라인(210)에 설치된 질량 유량계(220)가 유량을 검출하여 제어부(600)로 그 검출량을 제공한다. 예컨대, 검사대상물에 리크가 존재하는 경우 체적이 큰 리시버 탱크의 압축에어가 검사대상물로 이동하게 되며, 질량 유량계(220)는 이동 유량을 검출하게 된다. Flow detection step (S200) is for detecting the flow of the flow on the pressure balance line 210 after the pressure balance between the receiver tank 200 and the inspection object 1 is completely made, the mass installed in the pressure balance line 210 The flow meter 220 detects the flow rate and provides the detected amount to the control unit 600. For example, if there is a leak in the inspection object, the compressed air of the receiver tank having a large volume moves to the inspection object, and the mass flow meter 220 detects the moving flow rate.

판정 단계(S300)는 리시버 탱크(200)와 검사대상물(1)의 압력 평형시간 이후에 발생되는 유량값에 따라 검사대상물(1)의 리크 여부를 판단한다. 제어부(600)는 질량 유량계(220)로부터의 검출량이 제로이거나 기설정값(리크 판별 기준값으로, 리크유량으로 표기) 이하이면 양품, 질량유량계(220)로부터 유량이 검출되거나 또는 기설정값 이상이면 리크 불량으로 판정한다. 여기서 기설정값(리크유량)을 설정하는 이유는 검사대상물에 따라 미세한 리크는 양품으로 판정할 수 있기 때문에 리크를 판정하는 기준값이라고 볼 수 있다. 하지만, 미세한 리크도 허용되지 말아야 하는 검사대상물이라면 그 기준값을 제로로 설정하게 된다. 제어부(600)에서 리크 유무를 판정한 후 그 결과는 표시부(610)에 표기하게 된다. The determination step (S300) determines whether the inspection object 1 is leaked according to the flow rate value generated after the pressure balance time between the receiver tank 200 and the inspection object 1. If the detected amount from the mass flow meter 220 is zero or less than or equal to the preset value (leak discrimination reference value, denoted as the leak flow rate), the controller 600 detects a good quality or a flow rate from the mass flow meter 220 or exceeds the preset value. It is determined that the leak is bad. The reason why the preset value (leak flow rate) is set here can be regarded as a reference value for determining the leak since fine leak can be determined as good quality according to the inspection object. However, if the test object should not be allowed to have a minute leak, the reference value is set to zero. After the controller 600 determines whether there is a leak, the result is displayed on the display unit 610.

판정단계(S300) 후에는 제1개폐밸브를 차단하고 배기밸브를 개방하여 검사대상물에 채워진 압축공기를 벤트시키는 벤트 단계(S400)를 거치면 검사가 완료된다.After the determination step (S300), the inspection is completed by passing the vent step (S400) for shutting off the first opening / closing valve and opening the exhaust valve to vent the compressed air filled in the inspection object.

한편, 도면에는 표시하지 않았지만 유량 검출 단계 직전에 리시버 탱크(200)로부터 압축공기가 검사대상물(1)로 제공되는지를 확인하기 위해 검사대상물(1)에 연결된 제2압력계(30)가 내부 압력을 측정하여 검사대상물(1)의 막힘 불량이 있는지를 확인하는 단계가 추가될 수 있으며, 이 과정은 검사대상물에 따라 적용되거나 적용되지 않을 수도 있다.On the other hand, although not shown in the drawing, the second pressure gauge 30 connected to the inspection object 1 checks the internal pressure to check whether compressed air is provided to the inspection object 1 from the receiver tank 200 immediately before the flow rate detection step. The step of measuring and checking whether there is a blockage of the inspection object 1 may be added, and this process may or may not be applied depending on the inspection object.

이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시 예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시 예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해 석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.The foregoing description is merely illustrative of the technical idea of the present invention, and various changes and modifications may be made by those skilled in the art without departing from the essential characteristics of the present invention. Therefore, the embodiments disclosed in the present invention are not intended to limit the technical idea of the present invention but to describe the present invention, and the scope of the technical idea of the present invention is not limited by these embodiments. The scope of protection of the present invention should be interpreted by the following claims, and all technical ideas within the scope equivalent thereto should be construed as being included in the scope of the present invention.

도 1은 본 발명에 따른 압력평형을 이용한 기밀검사장치를 설명하기 위한 구성도이다. 1 is a block diagram for explaining an airtight inspection apparatus using the pressure balance according to the present invention.

도 2는 본 발명에 따른 압력평형을 이용한 기밀검사방법을 설명하기 위한 플로우챠트이다.Figure 2 is a flow chart for explaining the airtight inspection method using the pressure balance according to the present invention.

도 3은 리시버 탱크와 검사대상물의 압력 변화를 보여주는 그래프이다. 3 is a graph showing the change in pressure of the receiver tank and the inspection object.

도 4는 압력 이동단계에서 리시버 탱크에 압축공기를 보충하지 않은 경우, 리시버 탱크와 검사대상물의 압력 변화를 보여주는 그래프이다. 4 is a graph showing a change in pressure of the receiver tank and the inspection object when the compressed air is not replenished in the receiver tank in the pressure movement step.

도 5a는 리시버 탱크에 압축 에어가 충만된 상태에서 검사대상물로부터 리크되는 유량을 질량 유량계가 검출하는 것을 보여주는 도면이다.5A is a view showing that the mass flow meter detects a flow rate leaking from an inspection object in a state where the receiver tank is filled with compressed air.

도 5b는 리시버 탱크의 압축공기를 보충하지 않은 상태에서는 검사대상물로부터 리크되는 유량을 질량 유량계가 검출하는 것을 보여주는 도면이다.5B is a view showing that the mass flow meter detects the flow rate leaked from the inspection object in the state that the compressed air of the receiver tank is not replenished.

< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 ><Description of Symbols for Main Parts of Drawings>

100 : 에어 컴프레셔 110 : 공급라인100: air compressor 110: supply line

200 : 리시버 탱크 210 : 압력평형라인200: receiver tank 210: pressure balance line

220 : 질량 유량계 300 : 바이패스라인220: mass flow meter 300: bypass line

400 : 더미라인 500 : 배기라인400: dummy line 500: exhaust line

600 : 제어부600: control unit

Claims (13)

압력평형을 이용한 기밀검사장치에 있어서:In the air tightness tester using pressure balance: 압축된 공기가 저장된 리시버 탱크;A receiver tank in which compressed air is stored; 상기 리시버 탱크와 검사대상물을 연결하여 상기 리시버 탱크에 저장된 압축공기가 상기 검사대상물로 제공되면서 압력 평형을 이루도록 하는 압력평형라인; A pressure balancing line connecting the receiver tank and the inspection object to achieve a pressure balance while providing the compressed air stored in the receiver tank to the inspection object; 상기 압력평형라인상에 설치되어 상기 리시버 탱크에서 상기 검사대상물로 이동하는 압축공기의 유량을 측정하는 질량유량계;A mass flow meter installed on the pressure balance line to measure a flow rate of the compressed air moving from the receiver tank to the inspection object; 상기 압력평형라인상에 설치되는 제1개폐밸브; 및A first opening / closing valve installed on the pressure balancing line; And 상기 질량유량계에서 검출된 압축공기의 유량을 표시하고, 상기 리시버 탱크와 상기 검사대상물의 압력 평형시간 이후에 발생되는 검출량에 따라 상기 검사대상물의 리크 여부를 판단하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기밀검사장치. And a control unit for displaying the flow rate of the compressed air detected by the mass flow meter and determining whether the inspection object is leaked according to the detection amount generated after the pressure balance time of the receiver tank and the inspection object. Inspection device. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 압력평형라인으로부터 분기되어 상기 질량 유량계와 상기 제1개폐밸브를 경유하지 않고 상기 리시버 탱크에 저장된 압축공기를 상기 검사대상물로 제공하기 위한 바이패스 라인과, 상기 바이패스 라인에 설치되는 바이패스 밸브를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기밀검사장치. A bypass line branched from the pressure balancing line to provide compressed air stored in the receiver tank to the inspection object without passing through the mass flow meter and the first opening / closing valve, and a bypass valve installed in the bypass line. Leakage inspection device characterized in that it further comprises. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,The method according to claim 1 or 2, 상기 리시버 탱크의 체적은 상기 검사대상물의 체적보다 큰 것을 특징으로 하는 기밀검사장치. The receiver tank is characterized in that the volume of the receiver tank is larger than the volume of the inspection object. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,The method according to claim 1 or 2, 상기 질량유량계와 상기 제1개폐밸브 사이에서 분기되고, 일정량의 누설량을 갖는 더미밸브가 설치된 더미 라인을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기밀검사장치. And a dummy line branched between the mass flow meter and the first opening / closing valve and provided with a dummy valve having a certain amount of leakage. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,The method according to claim 1 or 2, 공기를 압축하는 에어 컴프레셔;An air compressor for compressing air; 상기 에어 컴프레셔를 통해 상기 리시버 탱크로 압축된 공기를 공급하는 공급라인; 및A supply line for supplying compressed air to the receiver tank through the air compressor; And 상기 공급 라인 상에 설치되는 압력조절밸브 및 제2개폐밸브를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기밀검사장치. The air tightness inspection device further comprises a pressure regulating valve and a second opening and closing valve installed on the supply line. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,The method according to claim 1 or 2, 상기 리시버 탱크의 압력을 측정하는 제1압력계;A first manometer for measuring the pressure of the receiver tank; 상기 검사대상물의 압력을 측정하는 제2압력계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기밀검사장치. A gas tightness inspection device further comprises a second pressure gauge for measuring the pressure of the inspection object. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,The method according to claim 1 or 2, 상기 압력평형라인 또는 바이패스라인에 연결되며, 리크 검사후 상기 검사대상물에 채워진 압축공기를 대기중으로 방출하기 위해 배기밸브를 갖는 배기라인을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기밀검사장치. And an exhaust line connected to the pressure balance line or the bypass line, the exhaust line having an exhaust valve for releasing compressed air filled in the inspection object into the atmosphere after the leak inspection. 공기유량변화를 이용한 검사대상물의 기밀검사방법에 있어서:In the airtight inspection method of the inspection object using the air flow change: 리시버 탱크에 압축 공기를 저장하는 단계;Storing compressed air in the receiver tank; 상기 리시버 탱크에 저장된 압축공기가 검사대상물로 제공되도록 함으로써, 상기 리시버 탱크와 상기 검사대상물 간의 압력 평형을 이루도록 하는 압력평형단계;A pressure balance step of achieving a pressure balance between the receiver tank and the inspection object by providing the compressed air stored in the receiver tank to the inspection object; 상기 리시버 탱크와 상기 검사대상물 간의 압력 평형이 이루어진 후 상기 리시버 탱크로부터 상기 검사대상물로의 에어 이동이 있는지를 질량 유량계를 통해 에어 유량을 검출하는 단계; 및Detecting an air flow rate through a mass flow meter to determine whether there is air movement from the receiver tank to the inspected object after the pressure balance between the receiver tank and the inspected object is achieved; And 상기 리시버 탱크와 상기 검사대상물의 압력 평형시간 이후에 발생되는 유량값에 따라 상기 검사대상물의 리크 여부를 판단하는 판별단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사대상물의 기밀검사방법.And a determining step of determining whether the inspection object is leaked according to a flow rate value generated after the pressure balance time of the receiver tank and the inspection object. 제 8 항에 있어서, The method of claim 8, 상기 압력평형단계는The pressure balancing step 상기 리시버 탱크와 상기 검사대상물을 연결하는 압력평형라인과 바이패스라인을 개방하여 상기 리시버 탱크에 저장된 압축공기가 신속하게 검사대상물로 제공되도록 하는 압력이동단계; 및 A pressure movement step of opening a pressure balance line and a bypass line connecting the receiver tank and the inspection object so that the compressed air stored in the receiver tank is quickly provided to the inspection object; And 상기 바이패스라인을 폐쇄한 후 상기 리시버 탱크와 상기 검사대상물 간의 압력 평형 안정화가 이루도록 하는 압력평형 안정화 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사대상물의 기밀검사방법.And closing the bypass line to stabilize the pressure balance between the receiver tank and the inspection object. 제 9 항에 있어서, The method of claim 9, 상기 유량 검출 단계에서 In the flow rate detection step 상기 질량 유량계는 상기 압력평형라인에 설치되어 상기 압력평형라인을 통해 이동되는 유량을 검출하는 것을 특징으로 하는 검사대상물의 기밀검사방법.The mass flow meter is installed in the pressure balance line, the airtight inspection method of the inspection object, characterized in that for detecting the flow rate moving through the pressure balance line. 제 8 항 또는 제 9 항에 있어서, 10. The method according to claim 8 or 9, 상기 판별단계는The determining step 상기 질량유량계로부터의 검출량이 제로이거나 기설정값 이하이면 상기 검사대상물의 기밀이 완전하여 리크가 존재하지 않은 것으로 판별하고, 상기 리시버 탱크에서 상기 검사대상물로 에어 이동이 발생되면서 상기 질량유량계로부터의 검출량이 검출되거나 또는 기설정값 이상이면 상기 검사대상물에 리크가 존재하는 것으로 판별하는 것을 특징으로 하는 검사대상물의 기밀검사방법. If the detection amount from the mass flow meter is zero or less than the preset value, it is determined that the leak is not present because the airtightness of the inspection object is complete, and the air flow is generated from the receiver tank to the inspection object, and the detection amount from the mass flow meter is detected. And if it is detected or equal to or more than a preset value, it is determined that leak exists in the inspection object. 제 9 항에 있어서, The method of claim 9, 상기 압력이동단계에서는In the pressure movement step 상기 검사대상물로 이동된 압축공기량을 보충하기 위해 상기 리시버 탱크에 압축 공기를 공급하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 검사대상물의 기밀검사방법. And supplying compressed air to the receiver tank to replenish the amount of compressed air moved to the inspection object. 제 8 항 또는 제 9 항에 있어서, 10. The method according to claim 8 or 9, 상기 유량 검출 단계 전에 상기 리시버 탱크로부터 압축공기가 상기 검사대상물로 제공되는지를 확인하기 위해 상기 검사대상물의 내부 압력을 측정하여 상기 검사대상물의 막힘 불량이 있는지를 확인하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 검사대상물의 기밀검사방법.And checking the internal pressure of the inspection object to check whether there is a blockage of the inspection object to determine whether compressed air is provided to the inspection object from the receiver tank before the flow rate detecting step. Method of confidentiality inspection of the inspection object.
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