KR20110041175A - 파장 검출기 및 이를 갖는 광 간섭 단층 촬영 장치 - Google Patents

파장 검출기 및 이를 갖는 광 간섭 단층 촬영 장치 Download PDF

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Abstract

파장 검출기는 제1 콜리메이터, 제1 회절 격자, 제1 초점 렌즈, 평행 슬릿 및 출사부를 포함한다. 제1 회절 격자는 제1 콜리메이터로부터 평행하게 출사된 제1 광을 입사각에 따른 복수의 파장들에 따라 회절시킨다. 제1 초점 렌즈는 제1 회절 격자로부터 출사된 제1 광을 포커싱한다. 평행 슬릿은 제1 초점 렌즈로부터 출사된 제1 광이 포커싱되는 위치에 배치되는 복수의 슬릿들을 가지며, 슬릿들의 위치에 따라 파장들 중 적어도 하나 이상의 검출 파장을 선택한다. 출사부는 평행 슬릿으로부터 제공된 검출 파장을 갖는 제2 광을 출사한다.

Description

파장 검출기 및 이를 갖는 광 간섭 단층 촬영 장치{WAVELENGTH DETECTOR AND OPTICAL COHERENCE TOPOGRAPHY HAVING THE SAME}
본 발명은 파장 검출기 및 이를 갖는 광 간섭 단층 촬영 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 정확한 파장 정보를 획득할 수 있는 파장 검출기 및 이를 갖는 광 간섭 단층 촬영 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 광 간섭 단층 촬영 장치(Optical coherence tomography: OCT)는 인체에 무해한 광을 이용하여 실시간으로 생체 조직 및 재료의 내부를 고해상도로 촬영할 수 있다. 특히, 상기 OCT는 파장이 짧은 간섭 광원을 이용하여 생체 조직 및 재료 내의 미세한 부분의 단층을 서브-마이크론(sub-micron) 영역까지 고해상도로 촬영 할 수 있다. 상기 OCT는 생체 조직의 내부를 비접촉, 비침습적으로 관찰할 수 있고, 부드러운 조직 간의 차이를 구분해 낼 수 있어서, 정밀한 영상을 촬영할 수 있다.
상기 OCT는 원리와 구조에 따라 주파수 영역(FD: Frequency Domain) OCT와 스펙트럼 영역(SD: Spectrum Domain) OCT로 분류할 수 있다. 상기 주파수 영역 OCT 및 상기 스펙트럼 영역 OCT는 기준부의 물리적 동작 없이 빛을 파장대별로 분리시 켜 검출하여 푸리에 변환(Fourier transform)을 통하여 깊이 정보를 획득하거나, 파장 가변 레이저를 광원으로 사용하여 샘플 깊이에 따른 비트 신호를 획득하여 푸리에 변환을 통하여 깊이 정보를 획득할 수 있다.
종래의 스펙트럼 영역 OCT는 광대역 광원을 사용한다. 상기 광대역 광원은 스펙트로미터(spectrometer)에 의해 파장대별로 측정체에서 반사되는 빛의 크기를 분석하여 영상화한다. 상기 스펙트로미터에 씨모스(CMOS: Complementary Oxide Semiconductor) 카메라 또는 씨씨디(CCD: Charge-Coupled Device) 카메라 형태의 라인 디텍터를 사용하고 상기 광대역 광원의 특정 파장이 상기 CCD 또는 상기 CMOS의 특정 픽셀에 맵핑 되도록 설계된다. 맵핑된 파장별 픽셀이 선형적으로 유지되는 것이 일반적이다. 상기 스펙트럼 영역 OCT는 픽셀 조합을 푸리에 변환하여 측정체의 깊이 정보를 획득한다. 상기 깊이 정보에 따라 해상도가 일정하게 유지되어야 하지만 파장에 따른 픽셀이 선형이라서 상기 측정체의 깊은 부분으로 갈수록 해상도가 급격히 떨어지는 것이 스펙트럼 영역 OCT에서 발생되는 문제점이다. 더욱이 실제 스펙트럼 영역 OCT를 구현할 때에는 회절격자로 인해 각 픽셀에 파장이 선형성을 확보하지 못한다.
상기 OCT는 패브리-페롯 간섭계(Fabry-Perot Interferometer) 또는 프리즘 및 광섬유(G) 격자(Fiber Bragg Grating)를 이용하여 파수 보정을 하며, 의료 영상 진단 분야의 레이저 단층 촬영, 광섬유(G) 센서 시스템, 또는 광통신 분야에 널리 사용되고 있다.
하지만, 상기 주파수 영역 OCT 및 상기 스펙트럼 영역 OCT는 패브리-페롯 간섭계 또는 프리즘 및 광섬유(G) 격자를 이용하여 파수 보정을 하기 때문에 비용이 고가이고, 여전히 기계적인 움직임이나 복잡한 정렬을 필요로 하기 때문에 안정성의 측면에서 문제가 있다.
이에 따라, 본 발명의 기술적 과제는 이러한 점에 착안한 것으로 본 발명의 목적은 라인 디텍터의 픽셀에 대응되는 정확한 파장 정보를 획득할 수 있는 파장 검출기를 제공한다.
또한, 본 발명의 다른 목적은 상기 파장 검출기를 갖는 광 간섭 단층 촬영 장치를 제공한다.
상기한 본 발명의 목적을 실현하기 위한 일 실시예에 따른 파장 검출기는 제1 콜리메이터, 제1 회절 격자, 제1 초점 렌즈, 평행 슬릿 및 출사부를 포함한다. 상기 제1 회절 격자는 상기 제1 콜리메이터로부터 평행하게 출사된 제1 광을 입사각에 따른 복수의 파장들에 따라 회절시킨다. 상기 제1 초점 렌즈는 상기 제1 회절 격자로부터 출사된 상기 제1 광을 포커싱한다. 상기 평행 슬릿은 상기 제1 초점 렌즈로부터 출사된 상기 제1 광이 포커싱되는 위치에 배치되는 복수의 슬릿들을 가지며, 상기 슬릿들의 위치에 따라 상기 파장들 중 적어도 하나 이상의 검출 파장을 선택한다. 상기 출사부는 상기 평행 슬릿으로부터 제공된 상기 검출 파장을 갖는 제2 광을 출사한다.
상기한 본 발명의 다른 목적을 실현하기 위한 일 실시예에 따른 광 간섭 단층 촬영 장치는 광원, 커플러, 샘플부, 기준부, 파장 검출기 및 측정부를 포함한다. 상기 광원은 복수의 파장들을 갖는 제1 광을 순차적으로 발생시킨다. 상기 커 플러는 상기 제1 광을 제1 분리광 및 제2 분리광으로 분리하고, 상기 제1 분리광 및 상기 제2 분리광을 결합시켜 간섭된 간섭광을 생성한다. 상기 샘플부는 상기 제1 분리광을 수신하여 반사시키고, 검출 대상이 된다. 사기 기준부는 상기 제2 분리광을 수신하여 반사시키고, 상기 샘플부의 기준이 된다. 상기 파장 검출기는 제1 콜리메이터, 상기 제1 콜리메이터로부터 평행하게 출사된 상기 제1 광을 입사각에 따른 복수의 파장들에 따라 회절시키는 제1 회절 격자, 상기 제1 회절 격자로부터 출사된 상기 제1 광을 포커싱하는 제1 초점 렌즈, 상기 제1 초점 렌즈로부터 출사된 상기 제1 광이 포커싱되는 위치에 배치되고, 복수의 슬릿들을 가지며, 상기 슬릿들의 위치에 따라 상기 파장들 중 적어도 하나 이상의 검출 파장을 선택하는 평행 슬릿 및 상기 평행 슬릿으로부터 제공된 상기 검출 파장을 갖는 제2 광을 출사하는 출사부를 갖는다. 상기 측정부는 상기 커플러로부터 상기 간섭광을 수신하고, 상기 광원의 파장들의 파장 정보와 맵핑된 픽셀 정보에 근거하여 상기 파장 정보 대 상기 픽셀 정보를 선형적으로 보정한다.
이러한 파장 검출기 및 이를 갖는 광 간섭 단층 촬영 장치에 따르면, 파장 검출기가 복수의 슬릿들이 형성된 평행 슬릿을 포함함으로써, 상기 슬릿들의 위치에 따라 상기 측정부에 제공된 선택광의 파장을 정확하게 측정할 수 있다.
또한, 상기 평행 슬릿에 형성된 복수의 슬릿들 각각의 위치가 다르므로, 상기 평행 슬릿을 이동하지 않아 기계적으로 안정적인 파장 정보를 획득할 수 있고, 상기 위치에 따라 상기 측정부에 제공된 선택광의 파장을 정확하게 측정할 수 있 다.
이하, 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 보다 상세하게 설명하기로 한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.
본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않 는 것으로 이해되어야 한다. 또한, 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 위에 있다고 할 경우, 이는 다른 부분 바로 위에 있는 경우뿐만 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다. 반대로 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 아래에 있다고 할 경우, 이는 다른 부분 바로 아래에 있는 경우뿐만 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 광 간섭 단층 촬영 장치의 블록도이다. 도 2는 도 1의 파장 검출기를 구체적으로 나타내는 구성도이다. 도 3a 및 도 3b는 도 2의 평행 슬릿에 형성된 슬릿들의 구체적인 형상을 나타내는 평면도이다.
도 1 내지 도 3b를 참조하면, 본 실시예에 따른 광 간섭 단층 촬영 장치(100)는 광원(110), 파장 검출기(200), 커플러(coupler, 120), 샘플부(130), 기준부(140) 및 측정부(150)를 포함할 수 있다.
상기 광원(110)은 복수의 파장들을 갖는 입력광(L1)을 순차적 및 연속적으로 발생시킬 수 있다. 본 실시예에 따르면, 상기 광원(110)은 상기 파장 검출기(200)에 광섬유(G)에 의해 연결될 수 있다. 하지만, 상기 광원(100)은 상기 커플러(120)에 상기 광섬유(G)(G)에 의해 직접 연결될 수도 있다.
상기 광원(110)은 발광 다이오드(LED), 수퍼 루미네슨트 다이오드(Super Luminescent Diode: SLD), 패키지 레이저 다이오드 모듈 또는 프리퀀시 스위핑 레이저 소스(frequency sweeping laser source) 중 하나일 수 있다.
상기 파장 검출기(200)는 제1 콜리메이터(210), 제1 회절 격자(220), 제1 초점 렌즈(230), 평행 슬릿(240 또는 240a) 및 출사부(300)을 포함할 수 있다.
본 실시예에 따르면, 상기 파장 검출기(200)는 상기 광원(110) 및 상기 커플러(120) 사이에 배치되어 있지만, 상기 파장 검출기(200)는 상기 샘플부(130), 상기 기준부(140) 및 상기 측정부(150) 중 하나와 상기 커플러(120) 사이에 배치될 수도 있다.
상기 제1 콜리메이터(210)는 상기 광원(110)으로부터 출사되는 상기 입력광(L1)을 평행시켜 상기 제1 회절 격자(220)에 제공할 수 있다.
상기 제1 회절 격자(220)는 상기 제1 콜리메이터(210)로부터 출사된 상기 입력광(L1)을 입사각에 따른 복수의 파장들에 따라 회절시켜 상기 제1 초점 렌즈(230)에 제공할 수 있다.
상기 제1 회절 격자(220)는 평면 유리나 오목 금속판에 복수의 평행선들을 좁은 간격으로 새겨서, 회절과 간섭을 이용하여 광의 스펙트럼을 얻을 수 있다.
상기 제1 초점 렌즈(230)는 상기 제1 회절 격자(220)로부터 출사된 상기 입력광(L1)을 포커싱(focusing)하여 상기 평행 슬릿(240 또는 240a)에 제공할 수 있다.
상기 평행 슬릿(240)은 상기 입력광(L1)이 상기 제1 초점 렌즈(230)에 의해 포커싱되는 위치에 배치될 수 있다. 상기 평행 슬릿(240 또는 240a)은 복수의 슬릿들(241 또는 242)을 포함할 수 있다. 상기 슬릿들(241)은, 도 3a에 도시된 바와 같이, 원 형상이거나, 도 3b에 도시된 바와 같이, 사각 형상일 수 있다.
상기 슬릿들(241 또는 242)의 개수는 실험적 데이터에 근거하여 결정될 수 있다. 상기 슬릿들(241 또는 242) 각각은 서로 다른 위치들에 따른 위치 정보들을 가질 수 있다.
따라서, 상기 입사광(L1)이 상기 슬릿들(241 또는 242) 중 특정 위치에 배치된 특정 슬릿을 통과함으로써, 상기 평행 슬릿(240 또는 240a)은 특정 파장의 선택광(L2)을 출력할 수 있다. 상기 선택광(L2)는 상기 특정 위치에 따른 위치 정보를 가질 수 있다.
상기 출사부(300)은 제2 초점 렌즈(230a), 제2 회절 격자(220a) 및 제2 콜리메이터(210a)를 포함할 수 있다. 따라서, 상기 파장 검출기(200)는 상기 출사부(300)에 의해 투과형으로 동작될 수 있다.
상기 제2 초점 렌즈(230a)는 상기 선택광(L2)을 포커싱하고, 상기 제2 회절 격자(220a)는 포커싱된 상기 선택광(L2)을 회절시키고, 상기 제2 콜리메이터(210a)는 상기 선택광(L2)을 평행하게 진행시킬 수 있다.
상기 커플러(120)는 상기 광원(110)으로부터 제공받은 상기 선택광(L2)을 제1 분리광(DL1) 및 제2 분리광(DL2)으로 분리할 수 있다. 상기 커플러(120)는 상기 제1 분리광(DL1)을 상기 샘플부(130)에 제공하고, 상기 제2 분리광(DL2)을 상기 기준부(130)에 제공할 수 있다.
또한, 상기 커플러(120)는 상기 샘플부(130)에 의해 반사된 상기 제1 분리광(DL1) 및 상기 기준부(140)에 의해 반사된 상기 제2 분리광(DL2)을 결합시켜 간섭을 일으킨 간섭광(IL)을 상기 측정부(150)에 제공할 수 있다.
상기 샘플부(130)은 측정하고자 하는 대상, 예를 들면, 생체 조직에 직접적으로 상기 제1 분리광(DL1)을 제공할 수 있다. 상기 샘플부(130)은 상기 커플 러(120)에 상기 광섬유(G)에 의해 연결되어, 상기 제1 분리광(DL1)을 제공받고, 반사시킬 수 있다.
상기 기준부(140)은 상기 샘플부(130)의 기준이 될 수 있다. 상기 기준부(140)은 상기 커플러(120)에 상기 광섬유(G)에 의해 연결되어, 상기 제2 분리광(DL2)을 제공받고, 반사시킬 수 있다.
상기 측정부(150)는 라인형 씨모스(CMOS: Complementary Oxide Semiconductor) 카메라 또는 라인형 씨씨디(CCD: Charge-Coupled Device) 카메라를 포함할 수 있다. 따라서, 상기 측정부(150)는 상기 CMOS 카메라 또는 상기 CCD 카메라의 픽셀에 따른 픽셀 정보를 가질 수 있다.
상기 측정부(150)는 상기 파장 검출기(200)로부터 제공된 상기 선택광(L2)의 파장 정보에 근거하여 상기 파장을 계산할 수 있다. 따라서, 상기 측정부(150)는 상기 파장 정보를 상기 픽셀 정보에 일대일 맵핑(mapping)시킬 수 있다.
상기 측정부(150))는 상기 광원(110)이 프리퀀시 스위핑 레이저 소스인 경우, 임의의 슬릿 패턴들을 갖는 평행 슬릿을 제작하고 광대역 광원을 광스펙트럼 분석기(optical spectrum analyzer: OSA)를 통해 측정된 상기 슬릿 패턴들 각각의 위치에 따른 파장들에 근거하여, 스위핑하는 소스의 파장을 시간 및 상기 슬릿들(241 또는 242)의 위치에 따라 파장을 측정하여 파수를 선형적으로 보정할 수 있다.
본 실시예에 따르면, 상기 평행 슬릿(240 또는 240a)의 복수의 슬릿들(241 또는 242)의 위치에 따라 측정되는 상기 선택광(L2)의 파장을 정확하게 검출하고, 상기 파장의 파장 정보를 상기 픽셀 정보와 일대일 맵핑함으로써, 상기 파장 정보 대 상기 픽셀 정보를 선형적으로 보정할 수 있다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 광 간섭 단층 촬영 장치의 블록도이다. 도 5는 도 4의 파장 검출기를 구체적으로 나타내는 구성도이다.
본 실시예는 도 1의 파장 검출기(200)의 출사부(300)의 구성과 상이하여 도 1의 측정부(150)의 연결이 변경된 것을 제외하고 동일한 구성을 가지므로, 동일한 구성에 대해 동일한 참조 번호를 부여하고, 반복되는 설명을 생략할 것이다.
도 4 및 도 5를 참조하면, 본 실시예에 따른 파장 검출기(200A)는 제1 콜리메이터(210), 제1 회절 격자(220), 제1 초점 렌즈(230), 평행 슬릿(240 또는 240a) 및 출사부(250)를 포함할 수 있다.
상기 제1 콜리메이터(210)는 상기 광원(110)으로부터 출사되는 상기 입력광(L1)을 평행시켜 상기 제1 회절 격자(220)에 제공할 수 있다.
상기 제1 회절 격자(220)는 상기 제1 콜리메이터(210)로부터 출사된 상기 입력광(L1)을 입사각에 따른 복수의 파장들에 따라 회절시켜 상기 제1 초점 렌즈(230)에 제공할 수 있다.
상기 제1 회절 격자(220)는 평면 유리나 오목 금속판에 복수의 평행선들을 좁은 간격으로 새겨서, 회절과 간섭을 이용하여 광의 스펙트럼을 얻을 수 있다.
상기 제1 초점 렌즈(230)는 상기 제1 회절 격자(220)로부터 출사된 상기 입력광(L1)을 포커싱(focusing)하여 상기 평행 슬릿(240 또는 240a)에 제공할 수 있다.
상기 평행 슬릿(240 또는 240a)은 상기 입력광(L1)이 상기 제1 초점 렌즈(230)에 의해 포커싱 되는 위치에 배치될 수 있다. 상기 평행 슬릿(240 또는 240a)은 복수의 슬릿들(241 및 242)을 포함할 수 있다. 상기 슬릿들(241)은, 도 3a에 도시된 바와 같이, 원 형상이거나, 도 3b에 도시된 바와 같이, 사각 형상일 수 있다.
상기 슬릿들(241 및 242)의 개수는 실험적 데이터에 근거하여 결정될 수 있다. 상기 슬릿들(241 및 242) 각각은 서로 다른 위치들에 따른 위치 정보들을 가질 수 있다.
따라서, 상기 입사광(L1)이 상기 슬릿들(241 및 242) 중 특정 위치에 배치된 특정 슬릿을 통과함으로써, 상기 평행 슬릿(240 또는 240a)은 특정 파장의 선택광(L2)을 출력할 수 있다. 상기 선택광(L2)는 상기 특정 위치에 따른 위치 정보를 가질 수 있다.
상기 출사부(250)는 반사 미러(250)일 수 있다. 따라서, 상기 파장 검출기(200A)는 상기 반사 미러(250)에 의해 반사형으로 동작될 수 있다.
상기 선택광(L2)은 상기 반사 미러(250)에 의해 반사되어, 상기 평행 슬릿(240 또는 240a), 상기 제1 초점 렌즈(230), 상기 제1 회절 격자(220), 상기 제1 콜리메이터(210)를 통과하여, 상기 측정부(150A)에 제공될 수 있다.
상기 측정부(150A)는 광섬유(G)에 의해 상기 파장 검출기(200A) 및 상기 커플러(120)에 연결될 수 있다. 상기 측정부(150A)는 상기 파장 검출기(200A)로부터 상기 선택광(L2)을 제공받고, 상기 커플러(120)로부터 상기 간섭광(IL)을 제공받을 수 있다.
본 실시예에 따르면, 상기 평행 슬릿(240 또는 240a)의 복수의 슬릿들(241 또는 242)의 위치에 따라 측정되는 상기 선택광(L2)의 파장을 정확하게 검출하고, 상기 파장의 파장 정보를 상기 픽셀 정보와 일대일 맵핑함으로써, 상기 파장 정보 대 상기 픽셀 정보를 선형적으로 보정할 수 있다. 또한, 상기 파장 검출기(200A)의 출사부(250)가 반사 미러로 구성됨으로써, 제조 비용을 감소시킬 수 있다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명의 실시예들에 따르면, 파장 검출기가 복수의 슬릿들이 형성된 평행 슬릿을 포함함으로써 상기 슬릿들의 위치에 따라 상기 측정부에 제공된 선택광의 파장을 정확하게 측정할 수 있다. 특히, 파장 검출기가 이동형 슬릿을 사용하지 않고 병렬형 고정 슬릿을 사용함으로써, 슬릿의 이동에 따른 기계적 불안정을 제거하여 스펙트럼 영역 OCT의 해상도를 깊이별로 일정하게 유지할 수 있다.
또한, 파장 검출기가 복수의 슬릿들이 형성된 평행 슬릿을 포함함으로써, 상기 슬릿들의 위치에 따라 상기 측정부에 제공된 선택광의 파장을 정확하게 측정할 수 있다.
또한, 상기 평행 슬릿에 형성된 복수의 슬릿들 각각의 위치가 다르므로, 상기 평행 슬릿을 이동하지 않고 상기 위치에 따라 상기 측정부에 제공된 선택광의 파장을 정확하게 측정할 수 있다.
이상에서는 실시예들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 광 간섭 단층 촬영 장치의 블록도이다.
도 2는 도 1의 파장 검출기를 구체적으로 나타내는 구성도이다.
도 3a 및 도 3b는 도 2의 평행 슬릿에 형성된 슬릿들의 구체적인 형상을 나타내는 평면도이다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 광 간섭 단층 촬영 장치의 블록도이다.
도 5는 도 4의 파장 검출기를 구체적으로 나타내는 구성도이다.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
100, 100A: 광 간섭 단층 촬영 장치 110: 광원
120: 커플러 130: 샘플부
140: 기준부 150, 150A: 측정부
200, 200A: 파장 검출기 210: 제1 콜리메이터
220: 제1 회절 격자 230: 제1 초점 렌즈
240, 240a: 평행 슬릿 250, 300: 출사부

Claims (17)

  1. 제1 콜리메이터;
    상기 제1 콜리메이터로부터 평행하게 출사된 제1 광을 입사각에 따른 복수의 파장들에 따라 회절시키는 제1 회절 격자;
    상기 제1 회절 격자로부터 출사된 상기 제1 광을 포커싱하는 제1 초점 렌즈;
    상기 제1 초점 렌즈로부터 출사된 상기 제1 광이 포커싱되는 위치에 배치되는 복수의 슬릿들을 가지며, 상기 슬릿들의 위치에 따라 상기 파장들 중 적어도 하나 이상의 검출 파장을 선택하는 평행 슬릿; 및
    상기 평행 슬릿으로부터 제공된 상기 검출 파장을 갖는 제2 광을 출사하는 출사부를 포함하는 파장 검출기.
  2. 제1항에 있어서, 상기 슬릿들 각각은 원 형상인 것을 특징으로 하는 파장 검출기.
  3. 제2항에 있어서, 상기 슬릿들은 서로 다른 위치들을 갖고,
    상기 서로 다른 위치들은 상기 검출 파장의 정보를 갖는 것을 특징으로 하는 파장 검출기.
  4. 제1항에 있어서, 상기 슬릿들 각각은 사각 형상 및 라인 형상 중 하나인 것을 특징으로 하는 파장 검출기.
  5. 제4항에 있어서, 상기 슬릿들은 서로 다른 위치들을 갖고,
    상기 서로 다른 위치들은 상기 검출 파장의 정보를 갖는 것을 특징으로 하는 파장 검출기.
  6. 제1항에 있어서, 상기 출사부는,
    상기 제2 광을 포커싱하는 상기 제2 초점 렌즈;
    상기 제2 초점 렌즈로부터 출사된 상기 제2 광을 회절시키는 제2 회절 격자; 및
    상기 제2 회절 격자로부터 출사된 상기 제2 광을 평행하게 출사하는 제2 콜리메이터를 포함하는 것을 특징으로 하는 파장 검출기.
  7. 제1항에 있어서, 상기 출사부는 상기 제2 광을 반사시키는 반사 미러를 포함하는 것을 특징으로 하는 파장 검출기.
  8. 복수의 파장들을 갖는 제1 광을 순차적으로 발생시키는 광원;
    상기 제1 광을 제1 분리광 및 제2 분리광으로 분리하고, 상기 제1 분리광 및 상기 제2 분리광을 결합시켜 간섭된 간섭광을 생성하는 커플러;
    상기 제1 분리광을 수신하여 반사시키고, 검출 대상이 되는 샘플부;
    상기 제2 분리광을 수신하여 반사시키고, 상기 샘플부의 기준이 되는 기준부;
    제1 콜리메이터, 상기 제1 콜리메이터로부터 평행하게 출사된 상기 제1 광을 입사각에 따른 복수의 파장들에 따라 회절시키는 제1 회절 격자, 상기 제1 회절 격자로부터 출사된 상기 제1 광을 포커싱하는 제1 초점 렌즈, 상기 제1 초점 렌즈로부터 출사된 상기 제1 광이 포커싱되는 위치에 배치되고, 복수의 슬릿들을 가지며, 상기 슬릿들의 위치에 따라 상기 파장들 중 적어도 하나 이상의 검출 파장을 선택하는 평행 슬릿 및 상기 평행 슬릿으로부터 제공된 상기 검출 파장을 갖는 제2 광을 출사하는 출사부를 갖는 파장 검출기; 및
    상기 커플러로부터 상기 간섭광을 수신하고, 상기 광원의 파장들의 파장 정보와 맵핑된 픽셀 정보에 근거하여 상기 파장 정보 대 상기 픽셀 정보를 선형적으로 보정하는 측정부를 포함하는 광 간섭 단층 촬영 장치.
  9. 제8항에 있어서, 상기 파장 검출기는 상기 광원, 상기 샘플부, 상기 기준부 및 상기 측정부 중 적어도 하나에 연결되는 것을 특징으로 하는 광 간섭 단층 촬영 장치.
  10. 제8항에 있어서, 상기 슬릿들 각각은 원 형상인 것을 특징으로 하는 광 간섭 단층 촬영 장치.
  11. 제10항에 있어서, 상기 슬릿들은 서로 다른 위치들을 갖고,
    상기 서로 다른 위치들은 상기 검출 파장의 정보를 갖는 것을 특징으로 하는 광 간섭 단층 촬영 장치.
  12. 제8항에 있어서, 상기 슬릿들 각각은 사각 형상 및 라인형상 중의 어느 하나인 것을 특징으로 하는 광 간섭 단층 촬영 장치.
  13. 제12항에 있어서, 상기 슬릿들은 서로 다른 위치들을 갖고,
    상기 서로 다른 위치들은 상기 검출 파장의 정보를 갖는 것을 특징으로 하는 광 간섭 단층 촬영 장치.
  14. 제8항에 있어서, 상기 출사부는,
    상기 제2 광을 포커싱하는 상기 제2 초점 렌즈;
    상기 제2 초점 렌즈로부터 출사된 상기 제2 광을 회절시키는 제2 회절 격자; 및
    상기 제2 회절 격자로부터 출사된 상기 제2 광을 평행하게 출사하는 제2 콜리메이터를 포함하는 것을 특징으로 하는 광 간섭 단층 촬영 장치.
  15. 제14항에 있어서, 상기 제2 콜리메이터가 상기 측정부에 연결되는 것을 특 징으로 하는 광 간섭 단층 촬영 장치.
  16. 제8항에 있어서, 상기 출사부는 상기 제2 광을 반사시키는 반사 미러를 포함하는 것을 특징으로 하는 광 간섭 단층 촬영 장치.
  17. 제16항에 있어서, 상기 제1 콜리메이터가 상기 측정부에 연결되는 것을 특징으로 하는 광 간섭 단층 촬영 장치.
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