KR20110039169A - Heat treatment apparatus - Google Patents

Heat treatment apparatus Download PDF

Info

Publication number
KR20110039169A
KR20110039169A KR1020100019206A KR20100019206A KR20110039169A KR 20110039169 A KR20110039169 A KR 20110039169A KR 1020100019206 A KR1020100019206 A KR 1020100019206A KR 20100019206 A KR20100019206 A KR 20100019206A KR 20110039169 A KR20110039169 A KR 20110039169A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
furnace
resin
furnace body
heat
door
Prior art date
Application number
KR1020100019206A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR101624998B1 (en
Inventor
마사유키 무카이
Original Assignee
고요 써모 시스템 가부시끼 가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 고요 써모 시스템 가부시끼 가이샤 filed Critical 고요 써모 시스템 가부시끼 가이샤
Publication of KR20110039169A publication Critical patent/KR20110039169A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101624998B1 publication Critical patent/KR101624998B1/en

Links

Images

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
    • F27D—DETAILS OR ACCESSORIES OF FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS, IN SO FAR AS THEY ARE OF KINDS OCCURRING IN MORE THAN ONE KIND OF FURNACE
    • F27D1/00—Casings; Linings; Walls; Roofs
    • F27D1/18—Door frames; Doors, lids, removable covers
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
    • F27D—DETAILS OR ACCESSORIES OF FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS, IN SO FAR AS THEY ARE OF KINDS OCCURRING IN MORE THAN ONE KIND OF FURNACE
    • F27D1/00—Casings; Linings; Walls; Roofs
    • F27D1/18—Door frames; Doors, lids, removable covers
    • F27D1/1858—Doors
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
    • F27D—DETAILS OR ACCESSORIES OF FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS, IN SO FAR AS THEY ARE OF KINDS OCCURRING IN MORE THAN ONE KIND OF FURNACE
    • F27D7/00—Forming, maintaining, or circulating atmospheres in heating chambers
    • F27D7/06—Forming or maintaining special atmospheres or vacuum within heating chambers
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
    • F27D—DETAILS OR ACCESSORIES OF FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS, IN SO FAR AS THEY ARE OF KINDS OCCURRING IN MORE THAN ONE KIND OF FURNACE
    • F27D99/00—Subject matter not provided for in other groups of this subclass
    • F27D99/0073—Seals

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Furnace Housings, Linings, Walls, And Ceilings (AREA)
  • Furnace Details (AREA)
  • Muffle Furnaces And Rotary Kilns (AREA)

Abstract

PURPOSE: A heat treating device is provided to prevent a resin seal member from becoming corroded by gas or cured by heat. CONSTITUTION: A heat treating device comprises a furnace body(12). The furnace body holds workpiece to be thermally heated. The furnace body comprises a furnace tool, which is used for putting and taking the workpiece out. The furnace body comprises a first seal unit, which surrounds the furnace tool. The first seal unit comprises a first resin member and a resin sheet. The first resin member has insulation and elasticity, and the resin sheet covers the first resin member.

Description

열처리장치{HEAT TREATMENT APPARATUS}Heat Treatment Equipment {HEAT TREATMENT APPARATUS}

본 발명은, 예를 들어 액정패널용 글래스 기판 등의 워크 반입시 및 배출시에 개폐하는 도어에 의해 노체(爐體)의 노구(爐口)를 기밀적으로 폐쇄하도록 구성된 열처리장치에 관한 것이다.The present invention relates to a heat treatment apparatus configured to hermetically close the furnace mouth of a furnace body by, for example, a door that opens and closes at the time of carrying in and out of a workpiece such as a liquid crystal panel glass substrate.

열처리장치에 있어서, 노체의 내부 온도분포를 소망의 상태로 유지하기 위하여, 노체의 기밀성을 높이는 것이 중요하다. 종래, 노체의 기밀성을 높이기 위하여, 노체의 개구부를 구성하는 노구의 주위 및 노 뚜껑에 각각 실(seal)부재를 설치한 열처리장치가 존재한다.In the heat treatment apparatus, in order to maintain the internal temperature distribution of the furnace body in a desired state, it is important to increase the airtightness of the furnace body. Conventionally, in order to improve the airtightness of a furnace body, there exists a heat processing apparatus provided with the seal member in the circumference | surroundings of the furnace port which comprises the opening part of a furnace body, and a furnace lid, respectively.

그런데, 노구 주위가 고온상태로 됨으로써 실부재가 경화하는 것으로 마모가 발생하여 발진하기 쉽고, 그 결과, 노 내의 청정성(clean)이 떨어진다고 하는 문제가 발생하는 일이 있었다.By the way, when the circumference | surroundings of a furnace port become a high temperature, abrasion generate | occur | produces and it is easy to oscillate by hardening a seal member, As a result, the problem that the cleanness in a furnace falls may arise.

그래서, 종래의 열처리장치 중에는, 실부재의 내열성을 향상시켜서, 실부재로부터의 발진을 방지하는 기술을 채용하는 것이 있었다(예를 들어, 특허제3614748호 참조). 이 기술에 있어서는, 도 1에 나타낸 바와 같이, 노체(12)에 있어서 노구의 주위에 금속제의 실부재(130)를 설치하고, 이 실부재(130)에 대하여 도어(200)에 설치된 실부재(140)를 압접시킴으로써 노체(12) 및 도어(200) 사이의 기밀성을 유지하고 있다. 구체적으로는, 도 1에서는, 금속성의 실부재(130)에 대하여, 내열성 및 탄력성을 갖는 백업(backup)부재(142)를 피복하도록 구성된 내열수지 시트(144)를 압접시키는 구성이 채용되어 있다.Therefore, some conventional heat treatment apparatuses employ a technique of improving the heat resistance of the seal member to prevent oscillation from the seal member (see Patent No. 3614748, for example). In this technique, as shown in FIG. 1, in the furnace body 12, a seal member made of metal is provided around the furnace port, and the seal member provided in the door 200 with respect to the seal member 130 is provided. The airtightness between the furnace body 12 and the door 200 is maintained by crimping | bonding 140. FIG. Specifically, in FIG. 1, the structure which press-contacts the heat-resistant resin sheet 144 comprised so that the metallic seal member 130 may coat the backup member 142 which has heat resistance and elasticity is employ | adopted.

그러나, 상술의 특허제3614748호에 따른 기술에 있어서는, 도어(200) 측의 셔터(shutter)의 강도의 저하, 평면도의 악화, 및 중량의 증가라고 하는 좋지 않은 상황(단점)이 발생하는 일이 있다. 원래, 셔터는, 적정한 강도 및 평면도가 유지되고, 또한, 경량화를 도모할 수 있는 것이 바람직한 것이나, 상술의 특허문헌 1에 따른 기술에서는, 내열수지 시트(144)가 회동하는 도어(200)에 설치되는 등 복잡한 구성이 채용되어 있기 때문에, 셔터의 강도 저하, 평면도 악화, 및 중량 증가가 발생하기 쉽다.However, in the technique according to the above-mentioned patent 3614748, unfavorable situations (disadvantages) such as a decrease in the strength of the shutter on the door 200 side, a deterioration in the flatness, and an increase in weight occur. have. Originally, it is preferable that the shutter maintains appropriate strength and flatness, and that the weight can be reduced. However, in the technique according to Patent Document 1, the shutter is installed on the door 200 in which the heat resistant resin sheet 144 rotates. Since a complicated structure is adopted, such as lowering of the shutter, deterioration of flatness, and weight increase are likely to occur.

또, 실부재(130)(금속)와 내열수지 시트(144)의 경도가 크게 다르고, 또한, 실부재(130)와 내열수지 시트(144)의 접촉면적이 작기 때문에, 마모속도가 빠르게 되고, 그 결과로서, 실부재(130)와 내열수지 시트(144) 사이에서 발진이 발생하기 쉽다.Further, since the hardness of the seal member 130 (metal) and the heat resistant resin sheet 144 is greatly different, and the contact area between the seal member 130 and the heat resistant resin sheet 144 is small, the wear rate is increased, As a result, oscillation tends to occur between the seal member 130 and the heat resistant resin sheet 144.

그 한편으로, 도 1에 나타낸 구성에 있어서, 노체(12)의 금속성 실부재(130)를 단순히 수지성 실부재로 치환하였다 해도, 이 수지성의 실부재가 노 내로부터 발생하는 가스에 의해 부식하거나, 열에 의해 경화하거나 하는 것으로, 결국, 노구와 도어 사이의 기밀성을 장기간에 걸쳐 유지하는 것이 곤란하였다.On the other hand, in the structure shown in FIG. 1, even if the metallic seal member 130 of the furnace body 12 was simply replaced by a resin seal member, this resin seal member was corroded by the gas generated from the furnace. Or hardening by heat, and eventually, it was difficult to maintain the airtightness between the furnace port and the door for a long time.

본 발명의 목적은, 도어측의 셔터의 구성 간소화를 도모하면서, 노구와 도어 사이의 기밀성을 유지하기 위한 실에 있어서 발진이 생기는 것을 효과적으로 방지하고, 또한, 노구와 도어 사이의 기밀성을 장기간에 걸쳐 유지하는 것이 가능한 열처리장치를 제공하는데 있다.The object of the present invention is to prevent the occurrence of dust in the seal for maintaining airtightness between the furnace port and the door, while simplifying the configuration of the shutter on the door side, and also to improve the airtightness between the furnace port and the door for a long time. It is to provide a heat treatment apparatus that can be maintained.

본 발명에 따른 열처리장치는, 노체 및 도어를 구비하고 있다. 노체는, 열처리되는 워크를 수용하도록 구성되어 있고, 워크(workpiece)의 반입 및 반출을 행하기 위한 노구를 구비한다. 또, 이 노체에는, 노구를 에워싸도록 제1실부가 설치되어 있다.The heat treatment apparatus according to the present invention includes a furnace body and a door. The furnace body is configured to accommodate a workpiece to be heat treated, and includes a furnace port for carrying in and taking out a workpiece. Moreover, the 1st room part is provided in this furnace body so that the furnace opening may be enclosed.

도어는, 제1실부에 대응하는 위치에 배치된 제2실부를 구비하고, 제1실부 및 제2실부를 개재하여 노구를 기밀적으로 폐쇄 가능하게 구성된다.The door is provided with the 2nd chamber part arrange | positioned in the position corresponding to a 1st chamber part, and is comprised so that a furnace opening can be closed airtight via a 1st chamber part and a 2nd chamber part.

제1실부는, 단열성 및 탄력성을 갖는 제1수지부재와, 제1수지부재를 피복하도록 구성된 내열성을 갖는 수지시트를 구비한다. 제1수지부재의 소재의 예로서 발포 바이톤(viton) 또는 불소계고무(Fluoroelastomer)를 들 수 있다. 또, 수지시트는, 내약품성이 우수하고, 사용온도에 견디는 물질이며, 또한, 마모계수가 작아 미끄럼성이 좋은 것이 바람직하고, 그 소재의 예로서, 예를 들어 폴리테트라플르오르에틸렌(Polytetrafluoroethylene, PTFE) 등의 불소계수지(fluororesin), 또는 폴리이미드(polyimide)를 들 수 있다.The first chamber portion includes a first resin member having heat insulation and elasticity, and a resin sheet having heat resistance configured to cover the first resin member. Examples of the material of the first resin member include foamed viton or fluoroelastomer. In addition, the resin sheet is a substance which is excellent in chemical resistance and withstands use temperature, and has a low coefficient of wear and good sliding property. Examples of the material include, for example, polytetrafluoroethylene (Polytetrafluoroethylene, Fluororesins such as PTFE), or polyimide.

또, 제2실부재는, 내열성을 갖는 판상의 제2수지부재를 구비한다. 제2수지부재의 구성 예로서, 폴리테트라플르오르에틸렌 등의 불소계수지로 이루어진 수지 블럭(block)을 들 수 있다.In addition, the second chamber member includes a plate-shaped second resin member having heat resistance. As a structure example of a 2nd resin member, the resin block which consists of fluorine-type resins, such as polytetrafluoroethylene, is mentioned.

이상의 구성에 있어서는, 노체 측에, 금속 등에 비교하여 경도가 낮은 수지재료로 이루어진 제1실부가 설치되고, 도어 측에도, 수지재료로 이루어진 제2실부가 설치되기 때문에, 노체 및 도어 사이의 실에 있어서 마모가 발생하기 어렵게 되어 있다.In the above structure, since the 1st chamber part which consists of resin materials with low hardness compared with a metal etc. is provided in the furnace body side, and the 2nd chamber part which consists of resin materials is provided also in the door side, in the chamber between a furnace body and a door, Wear is less likely to occur.

또, 제2실부가 판상을 나타내고 있기 때문에, 제1실부를 구성하는 수지시트와 면접촉 하도록 되어, 접촉면적을 넓히는 것이 가능하게 된다. 또한, 수지시트를 노체에 안정적으로 고정하는 것이 가능하게 되는 것으로부터, 도어의 동작에 기인하여 수지시트가 변위하지 않기 때문에, 수지시트에 가해지는 마찰 등의 외력의 작용을 필요 최소한으로 억제하는 것이 가능하게 된다.In addition, since the second chamber portion has a plate shape, the second chamber portion is brought into surface contact with the resin sheet constituting the first chamber portion, thereby making it possible to increase the contact area. In addition, since the resin sheet can be stably fixed to the furnace body, and the resin sheet does not displace due to the operation of the door, it is necessary to minimize the action of external forces such as friction applied to the resin sheet to the minimum necessary. It becomes possible.

또, 노체 측에 설치된 제1수지재료가 수지시트에 의해 피복되어 있기 때문에, 제1수지재료가, 노 내로부터 발생하는 가스에 의해 부식하거나, 열에 의해 경화하거나 하는 것이 방지된다. 또한, 도어 측이 아니라 노체 측에 수지시트를 배치하고 있기 때문에, 도어 측의 셔터 구성의 간소화가 도모되고, 셔터의 평면도 향상이나 경량화가 가능하게 된다.In addition, since the first resin material provided on the furnace body side is covered with the resin sheet, the first resin material is prevented from being corroded by the gas generated from the inside of the furnace or cured by heat. In addition, since the resin sheet is disposed not on the door side but on the furnace body side, the shutter configuration on the door side can be simplified, and the flatness of the shutter can be improved and the weight can be reduced.

본 발명에 의하면, 도어 측의 셔터 구성의 간소화를 도모하면서, 노구와 도어 사이의 기밀성을 유지하기 위한 실에 있어서 발진이 생기는 것을 효과적으로 방지하고, 또한, 노구와 도어 사이의 기밀성을 장기간에 걸쳐 유지하는 것이 가능하게 된다.According to the present invention, while simplifying the shutter configuration on the door side, dust is effectively prevented from occurring in the seal for maintaining the airtightness between the furnace port and the door, and the airtightness between the furnace port and the door is maintained for a long time. It becomes possible.

도 1은 종래의 열처리장치의 개략 구성의 예를 나타낸 도면이다.
도 2는 본 발명의 실시형태에 따른 IR로의 개략 구성을 나타낸 도면이다.
도 3a ~ 도 3c는 IR로에 이용되는 도어의 구성 예를 나타낸 도면이다.
도 4는 노체 및 도어 사이의 실 구성 예를 나타낸 도면이다.1 is a view showing an example of a schematic configuration of a conventional heat treatment apparatus.
2 is a view showing a schematic configuration of an IR furnace according to an embodiment of the present invention.
3A to 3C are diagrams showing an example of the configuration of the door used in the IR furnace.
4 is a diagram illustrating an example of a seal configuration between a furnace body and a door.

도 2는, 본 발명의 실시형태에 따른 매엽식 클린 소성로인, 다단식 IR(Infrared Rediation)로(10)의 개략을 나타낸 도면이다. 이하의 실시형태에서는, 본 발명에 따른 열처리장치의 예로서 IR로(10)를 설명하나, 본 발명의 적용 범위는, 적외선 히터를 이용한 것에 한정하는 것은 아니며, 열풍순환 가열방식이나 핫 플레이트(hot plate) 가열식 등의 다른 가열방식의 열처리장치에도 본 발명을 적용하는 것이 가능하다.FIG. 2 is a diagram schematically illustrating a multi-stage IR (Infrared Rediation) furnace 10, which is a sheet type clean firing furnace according to an embodiment of the present invention. In the following embodiment, although the IR furnace 10 is demonstrated as an example of the heat processing apparatus which concerns on this invention, the application range of this invention is not limited to what used the infrared heater, The hot-air circulation heating system and hot plate (hot) plate) It is possible to apply this invention to the heat processing apparatus of another heating system, such as a heating type.

도 2에 나타낸 바와 같이, IR로(10)는, 열처리 되어야 할 워크(15)가 수용되는 노체(12)를 상부에 구비한다. 이 실시형태에서는, 액정 디스플레이용의 글래스기판을 워크(15)로서 이용하고 있으나, 워크(15)의 예는 이것에 한정되지 않는다. 노체(12)의 아래에는, IR로(10)에 있어서 구동계 기판이나 제어계 기판을 수납한 제어부(16)가 배치된다. 제어부(16)는, IR로(10)의 동작을 총괄적으로 제어하도록 구성된다.As shown in FIG. 2, the IR furnace 10 includes a furnace body 12 on which the work 15 to be heat treated is accommodated. In this embodiment, although the glass substrate for liquid crystal displays is used as the workpiece | work 15, the example of the workpiece | work 15 is not limited to this. Under the furnace body 12, the control part 16 which accommodated the drive system board | substrate and the control system board | substrate in the IR path 10 is arrange | positioned. The control unit 16 is configured to collectively control the operation of the IR furnace 10.

노체(12)의 내부에는, 다단상으로 배치된 복수의 열처리부(14)가 설치된다. 각 열처리부(14)는, 워크(15)를 설정온도까지 가열하도록 구성된 히터유닛(heater unit)(18)을 구비한다. 또, 각 열처리부(14)의 전면측에는, 도 3a~도 3c에 나타낸 바와 같이, 워크(15)의 통과시에 개폐하도록 구성된 도어(20)가 설치된다. 도어(20)는, 각 열처리부(14)에 대응하는 위치에 복수 설치되어 있고, 대응하는 열처리부(14)에 대하여 워크(15)가 반입될 때, 및 대응하는 열처리부(14)로부터 워크가 반출될 때에 개방하도록 구성되어 있다.In the furnace body 12, a plurality of heat treatment units 14 arranged in multiple stages are provided. Each heat treatment unit 14 includes a heater unit 18 configured to heat the work 15 to a set temperature. Moreover, the door 20 comprised so that opening and closing at the time of the passage of the workpiece | work 15 is provided in the front side of each heat processing part 14 as FIG. 3A-FIG. 3C. The door 20 is provided in multiple numbers in the position corresponding to each heat processing part 14, and when the workpiece | work 15 is carried in with respect to the corresponding heat processing part 14, and the workpiece | work from the corresponding heat processing part 14, It is configured to open when is taken out.

도어(20)는, 도 3b에 나타낸 바와 같이, 셔터(26), 메인 프레임(22), 구동유닛(28)을 구비한다. 셔터(26)는, 노체(12)의 내부와 외부를 열적으로 차단하도록 구성된다. 메인 프레임(22)은, 셔터(26)을 지지하도록 구성되어 있고, 도어(20)의 강도를 확보하기 위한 기능을 구비한다. 여기서는, 셔터(26)의 구성으로서 강판제의 용기와, 그 용기의 내부에 수납된 세라믹 화이버(ceramic fiber)제의 단열재를 구비하는 구성이 채용되고, 메인 프레임(22)의 소재로서 알루미늄(aluminium)이 채용되어 있으나, 셔터(26) 및 메인 프레임(22)의 소재는 이것에 한정되는 것은 아니다.As shown in FIG. 3B, the door 20 includes a shutter 26, a main frame 22, and a drive unit 28. The shutter 26 is configured to thermally block the inside and outside of the furnace body 12. The main frame 22 is configured to support the shutter 26 and has a function for securing the strength of the door 20. In this case, a structure including a steel plate container and a heat insulating material made of ceramic fiber housed inside the container is adopted as the shutter 26, and aluminum is used as the material of the main frame 22. Is employed, but the material of the shutter 26 and the main frame 22 is not limited to this.

구동유닛(28)은, 메인 프레임(22)에 연결구(24)를 개재하여 고정된다. 또, 구동유닛(28)은, 도 3c에 나타낸 바와 같이, 아암(285)을 개재하여 메인 프레임(22)에 접속됨과 함께 수평방향으로 배치된 회전축(280)을 회전 구동하도록 구성된다. 회전축(280)은, 개구부 근방의 소정위치에 배치된 도어 지지체(282)에 설치된 축수(284)에 지지되어 있고, 커플링(coupling)(286)을 개재하여 로타리 엑츄에이터(rotary actuator)(288)에 접속되어 있다. 이 구성에 있어서, 로타리 엑츄에이터(288)가 약 90도 회전하는 것에 의해, 도 3b에 나타낸 바와 같이 도어(20)가 개폐동작을 행한다. 단, 여기서 설명한 구성은 구동유닛(28) 구성의 일 예를 나타낸 것에 불과하고, 구동유닛(28)의 구성은 도 3c에 나타낸 구성에 한정되는 것은 아니다.The drive unit 28 is fixed to the main frame 22 via the connector 24. In addition, as shown in FIG. 3C, the drive unit 28 is configured to rotately drive the rotating shaft 280 arranged in the horizontal direction while being connected to the main frame 22 via the arm 285. The rotary shaft 280 is supported by an axis number 284 provided on the door support 282 disposed at a predetermined position near the opening, and is provided with a rotary actuator 288 via a coupling 286. Is connected to. In this configuration, when the rotary actuator 288 rotates about 90 degrees, the door 20 performs the opening and closing operation as shown in FIG. 3B. However, the configuration described here is merely an example of the configuration of the drive unit 28, the configuration of the drive unit 28 is not limited to the configuration shown in Figure 3c.

계속해서, 도 4를 이용하여, 노체(12)와 도어(20) 사이의 실(seal)에 대하여 설명한다. 셔터(26) 및 노체(12) 사이에 개재하도록, 환상의 제1실부(40) 및 환상의 제2실부(30)가 배치된다. 여기서는, 제2실부(30)는, 수지블록(32)에 의해 구성된다. 수지블록(32)은, 비스(screw) 등에 의해 셔터(26)에 교환 가능한 상태로 취부되어 있다. 수지블록(32)의 소재의 예로서는, 예를 들어 폴리테트라플루오르에틸렌 등의 불소수지를 들 수 있다. 여기서는, 수지블록(32)이 본원발명의 제2수지부재에 대응한다.Subsequently, a seal between the furnace body 12 and the door 20 will be described with reference to FIG. 4. The annular first chamber part 40 and the annular second chamber part 30 are disposed so as to be interposed between the shutter 26 and the furnace body 12. Here, the 2nd chamber part 30 is comprised by the resin block 32. As shown in FIG. The resin block 32 is mounted in a state in which it is replaceable with the shutter 26 by a screw or the like. As an example of the raw material of the resin block 32, fluororesins, such as polytetrafluoroethylene, are mentioned, for example. Here, the resin block 32 corresponds to the second resin member of the present invention.

제1실부(40)는, 백업부재(42), 수지시트(44), 및 시트 누름 판금(46)을 구비한다. 백업부재(42)는, 노체(12)의 외측에 있어서 개구부의 주위에 형성된 환상의 셔터 실 수용홈(122)에 배치된다. 백업부재(42)의 소재의 예로서는, 발포 바이톤이나 불소계 고무(모두 내열온도는, 230℃ 정도)를 들 수 있으나, 이것에 한정되는 것은 아니다. 또한, 여기서는, 백업부재(42)가 본원발명의 제1수지부재에 대응한다.The first chamber portion 40 includes a backup member 42, a resin sheet 44, and a sheet pressing sheet metal 46. The backup member 42 is disposed in an annular shutter chamber accommodating groove 122 formed around the opening on the outside of the furnace body 12. Examples of the raw material of the backup member 42 include, but are not limited to, foamed viton and fluorine rubber (both heat resistance is about 230 ° C). In addition, here, the backup member 42 corresponds to the 1st resin member of this invention.

수지시트(44)는, 백업부재(42)를 덮어 보이지 않도록 배치된다. 수지시트(44)의 소재의 예로서는, 폴리이미드(내열온도는, 250℃ 정도)를 들 수 있으나, 이것에 한정되는 것은 아니다. 시트 누름 판금(46)은, 셔터 실 수용홈(122)의 양측에 있어서 수지시트(44)를 노체(12)에 고정하도록, 고정구를 개재하여 노체(12)에 고착되어 있다. 시트 누름 판금(46)의 소재의 예로서는, 스테인레스(stainless)(예를 들어, 노체(12)의 강재와 동일한 것)를 들 수 있으나, 이것에 한정되는 것은 아니다.The resin sheet 44 is disposed so as not to cover the backup member 42. As an example of the raw material of the resin sheet 44, although polyimide (heat resistance temperature is about 250 degreeC) is mentioned, it is not limited to this. The sheet pressing sheet metal 46 is fixed to the furnace body 12 via fasteners so as to fix the resin sheet 44 to the furnace body 12 at both sides of the shutter chamber accommodating groove 122. As an example of the raw material of the sheet | seat pressing sheet metal 46, stainless (for example, the same thing as the steel material of the furnace 12) is mentioned, but it is not limited to this.

이상의 구성에 의하면, 수지시트(44)를 포함하는 제1실부(40)를 노체(12) 측에 취부함으로써, 도어(20) 측의 셔터(26)의 구성 간소화를 도모할 수 있기 때문에, 셔터(26)의 평면도를 향상시키거나, 셔터의 강도를 높이거나, 셔터(26)를 경량화하거나 하는 것이 가능하게 된다.According to the above structure, since the structure of the shutter 26 of the door 20 side can be simplified by attaching the 1st chamber part 40 containing the resin sheet 44 to the furnace body 12 side, the shutter It is possible to improve the flatness of (26), to increase the intensity of the shutter, or to reduce the weight of the shutter (26).

또, 수지블록(32)으로서 금속에 비교하여 경도가 낮은 내열수지재료를 이용하고, 또한, 수지블록(32)과 수지시트(44)를 면접촉시킴으로써, 수지시트(44)와 수지블록(32) 사이의 스침이 현저하게 저감된다. 그 결과, 발진을 억제하는 것이 가능하게 되고, 또한, 메인터넌스(maintenance) 주기를 장기화하는 것이 가능하게 된다. 더욱이, 수지시트(44)가, 불안정한 도어(20) 측이 아니라, 노체(12) 측에 고정된 상태로 배치되기 때문에, 수지시트(44) 및 백업부재(42)의 메인터넌스 시의 작업성이 향상된다.As the resin block 32, a heat resistant resin material having a lower hardness than that of a metal is used, and the resin block 44 and the resin block 44 are brought into surface contact with the resin block 32 and the resin sheet 44. The grazing between) is significantly reduced. As a result, it becomes possible to suppress oscillation and to prolong the maintenance cycle. Furthermore, since the resin sheet 44 is arranged in a fixed state on the furnace body 12 side instead of the unstable door 20 side, workability during maintenance of the resin sheet 44 and the backup member 42 is maintained. Is improved.

상술의 실시형태에서는, 매엽식 클린 소성로에서, 청정도, 수율, 메인터넌스 주기, 메인터넌스의 작업성을 향상시키는 예를 설명하였지만, 본 발명은, 매엽식 클린 소성로 이외에도, 연속로 등에 적용한 경우에서도 동일한 작용효과를 향수하는 것이 가능하다.In the above-described embodiment, an example of improving the cleanliness, yield, maintenance cycle, and workability of the maintenance has been described in the single-leaf type clean firing furnace. It is possible to perfume the effect.

상술의 실시형태의 설명은, 모든 점에서 예시이며, 제한적인 것이 아니라고 생각되어야 한다. 본 발명의 범위는, 상술의 실시형태는 아니며, 특허청구의 범위에 의해 나타난다. 또한, 본 발명의 범위에는, 특허청구의 범위와 균등의 의미 및 범위 내에서 모든 변경이 포함되는 것이 의도된다.The description of the above-described embodiments is to be considered in all respects as illustrative and not restrictive. The scope of the present invention is not the above-described embodiment, but is indicated by the claims. In addition, the scope of the present invention is intended to include all the changes within the meaning and range of a claim and equality.

Claims (3)

열처리 되는 워크를 수용하는 노체로서, 상기 워크의 반입 및 반출을 행하기 위한 노구를 구비하고, 또한, 상기 노구를 에워싸도록 제1실부가 설치된 노체와,
상기 제1실부에 대응하는 위치에 배치된 제2실부를 구비하고, 상기 제1실부 및 상기 제2실부를 개재하여 상기 노구를 기밀적으로 폐쇄 가능한 도어를 구비한 열처리장치로서,
상기 제1실부는, 단열성 및 탄력성을 갖는 제1수지부재와, 상기 제1수지부재를 피복하도록 구성된 내열성을 갖는 수지시트를 구비하는 한편,
상기 제2실부는, 내열성을 갖는 판상의 제2수지부재를 구비한 열처리장치.A furnace for accommodating a work to be heat-treated, the furnace having a furnace port for carrying in and carrying out the work, and a furnace body in which a first chamber is provided to surround the furnace port;
A heat treatment apparatus comprising a second chamber portion disposed at a position corresponding to the first chamber portion, and having a door capable of hermetically closing the furnace port via the first chamber portion and the second chamber portion.
The first chamber portion includes a first resin member having heat insulation and elasticity, and a resin sheet having heat resistance configured to cover the first resin member,
And the second chamber portion includes a plate-shaped second resin member having heat resistance. 제1항에 있어서,
상기 제1수지부재는, 상기 노구를 에워싸도록 형성된 홈부에 배치되어 있고, 상기 수지시트는, 상기 노체에 있어서 상기 홈부의 양측에 판금을 개재하여 고정되고, 또한, 상기 제2수지부재가 수지블록에 의해 구성된 열처리장치.The method of claim 1,
The first resin member is disposed in a groove portion formed to surround the furnace port, and the resin sheet is fixed to both sides of the groove portion in the furnace body via sheet metal, and the second resin member is made of resin. Heat treatment device composed of blocks. 제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 제1수지부재는, 발포 바이톤 또는 불소계 고무에 의해 구성되어 있고, 상기 수지시트는, 폴리이미드 또는 불소계 수지에 의해 구성된 열처리장치.The method according to claim 1 or 2,
And the first resin member is made of foamed viton or fluorine rubber, and the resin sheet is made of polyimide or fluorine resin.
KR1020100019206A 2009-10-09 2010-03-03 Heat treatment apparatus KR101624998B1 (en)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JPJP-P-2009-235068 2009-10-09
JP2009235068A JP5567812B2 (en) 2009-10-09 2009-10-09 Heat treatment equipment

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20110039169A true KR20110039169A (en) 2011-04-15
KR101624998B1 KR101624998B1 (en) 2016-05-27

Family

ID=43906926

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020100019206A KR101624998B1 (en) 2009-10-09 2010-03-03 Heat treatment apparatus

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP5567812B2 (en)
KR (1) KR101624998B1 (en)
CN (1) CN102040339B (en)
TW (2) TWI510750B (en)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112815696B (en) * 2020-12-31 2022-12-27 重庆长江造型材料（集团）股份有限公司 Forced air supply system of horizontal furnace

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4891686U (en) * 1972-02-05 1973-11-02
JP2843471B2 (en) * 1992-12-16 1999-01-06 川崎重工業株式会社 Airtight structure of partition door in vacuum processing furnace
JPH11281258A (en) * 1998-03-30 1999-10-15 Kurimoto Ltd High temperature sealed container
JP3614748B2 (en) * 2000-03-08 2005-01-26 株式会社デンコー Heat treatment equipment
JP3720784B2 (en) * 2002-03-20 2005-11-30 光洋サーモシステム株式会社 Hot air circulation oven
JP4102168B2 (en) * 2002-11-18 2008-06-18 新日本製鐵株式会社 Seal structure of the opening for in-furnace maintenance
CN1303227C (en) * 2005-06-30 2007-03-07 上海交通大学 Work piece sealing transfer device of vertical heating treatment production line
JP5074707B2 (en) * 2006-05-26 2012-11-14 光洋サーモシステム株式会社 Heating device
CN201003064Y (en) * 2007-01-23 2008-01-09 包头铝业股份有限公司 Homogenizing furnace gate sealing system with front wall not installed with cooling system
JP5569999B2 (en) * 2008-10-10 2014-08-13 光洋サーモシステム株式会社 Heat treatment equipment

Also Published As

Publication number Publication date
JP5567812B2 (en) 2014-08-06
TWI542848B (en) 2016-07-21
KR101624998B1 (en) 2016-05-27
TWI510750B (en) 2015-12-01
CN102040339B (en) 2015-11-25
TW201610382A (en) 2016-03-16
JP2011080730A (en) 2011-04-21
CN102040339A (en) 2011-05-04
TW201113490A (en) 2011-04-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5329095A (en) Thermal treatment apparatus utilizing heated lid
JP2021503716A (en) High-pressure steam annealing processing equipment
JP5235407B2 (en) Substrate mounting mechanism and substrate processing apparatus
TW200535940A (en) High productivity plasma processing chamber
WO2005041284A1 (en) Vertical heat treatment device
JPWO2008156031A1 (en) Vacuum processing equipment
CN113707575A (en) Flange and apparatus for processing substrate
KR20110039169A (en) Heat treatment apparatus
JP5569999B2 (en) Heat treatment equipment
JP4503397B2 (en) Vertical heat treatment apparatus and rapid cooling method for processing vessel
KR20140034028A (en) Heat treatment apparatus
JP5773815B2 (en) Heat treatment equipment
KR101182204B1 (en) Explosion Proof In-line Heater
KR20140085584A (en) Substrate processing device and substrate processing method using same
JP2020096062A (en) Processing chamber and substrate processing apparatus
JP7417042B2 (en) incubator
JP7048678B2 (en) Heat treatment oven for substrate
KR101544004B1 (en) Improved Door for Heat Treatment Chamber of Substrates, and Heat Treatment Chamber and Apparatus of Substrate Having the Same
JP2001358084A (en) Thermal treatment device
JP4354371B2 (en) Metal material surface modification heat treatment equipment
KR100730743B1 (en) Apparatus for baking substrate
JP2002025995A (en) Vertical heat treatment equipment
CN108700380B (en) The door structure of heat-treatment furnace
JP2000021799A (en) Single-wafer processing type treatment apparatus
JP2005249276A (en) Clean oven

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190313

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20200303

Year of fee payment: 5