KR20110030336A - Photosensitive composition, photosensitive film, photosensitive laminate, method for forming permanent pattern and printed board - Google Patents

Photosensitive composition, photosensitive film, photosensitive laminate, method for forming permanent pattern and printed board Download PDF

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KR20110030336A KR1020100088643A KR20100088643A KR20110030336A KR 20110030336 A KR20110030336 A KR 20110030336A KR 1020100088643 A KR1020100088643 A KR 1020100088643A KR 20100088643 A KR20100088643 A KR 20100088643A KR 20110030336 A KR20110030336 A KR 20110030336A
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Abstract

PURPOSE: A photo-sensitive composition, a photo-sensitive film using the same, a photo-sensitive laminate, a method for forming a permanent pattern, and a printed board are provided to include the superior insulation reliability and to be used as solder resist for packages. CONSTITUTION: A photo-sensitive composition includes a binder, a polymeric compound, a photo-polymerization initiator, and an ion absorber. The ion absorber includes one or more of a bismuth compound, a zirconium compound, and an antimony oxide compound. The bismuth compound is a bismuth oxide. The zirconium compound is a zirconium phosphate. The antimony oxide compound is an antimony penta-oxide. The binder is selected from an epoxy (meta)acrylate resin, a (meta)acrylate resin, and a urethane resin.

Description

감광성 조성물, 감광성 필름, 감광성 적층체, 영구패턴 형성방법, 및 프린트 기판{PHOTOSENSITIVE COMPOSITION, PHOTOSENSITIVE FILM, PHOTOSENSITIVE LAMINATE, METHOD FOR FORMING PERMANENT PATTERN AND PRINTED BOARD}Photosensitive composition, photosensitive film, photosensitive laminate, permanent pattern forming method, and printed circuit board {PHOTOSENSITIVE COMPOSITION, PHOTOSENSITIVE FILM, PHOTOSENSITIVE LAMINATE, METHOD FOR FORMING PERMANENT PATTERN AND PRINTED BOARD}

본 발명은 레이저 노광에 의해 화상 형성을 행하는 솔더레지스트 재료로서 바람직한 감광성 조성물, 감광성 필름, 감광성 적층체, 영구패턴 형성방법, 및 프린트 기판에 관한 것이다.The present invention relates to a photosensitive composition, a photosensitive film, a photosensitive laminate, a method of forming a permanent pattern, and a printed board, which are suitable as solder resist materials for forming an image by laser exposure.

종래부터, 솔더레지스트 등의 영구패턴을 형성할 때에 지지체 상에 감광성 조성물을 도포하고, 건조함으로써 감광층을 형성시킨 감광성 필름이 사용되고 있다. 솔더레지스트 등의 영구패턴을 형성하는 방법으로서는, 예를 들면 영구패턴이 형성되는 동장적층판 등의 지지체 상에 감광성 필름을 적층시켜서 감광성 적층체를 형성하고, 상기 감광성 적층체에 있어서의 감광층에 대해여 노광을 행하며, 상기 노광 후에 감광층을 현상하여 패턴을 형성시키고, 그 후에 경화 처리 등을 행함으로써 영구패턴을 형성하는 방법 등이 알려져 있다.Conventionally, the photosensitive film which formed the photosensitive layer by apply | coating and drying a photosensitive composition on a support body when forming permanent patterns, such as a soldering resist, is used. As a method of forming a permanent pattern, such as a soldering resist, a photosensitive film is laminated | stacked on the support body, such as a copper clad laminated board in which a permanent pattern is formed, and a photosensitive laminated body is formed, for the photosensitive layer in the said photosensitive laminated body, For example, a method of forming a permanent pattern by performing exposure, developing a photosensitive layer after the exposure to form a pattern, and then performing a curing treatment or the like is known.

상기 솔더레지스트는 프린트 배선판 제조 등에 있어서 사용되고 있지만, 최근에는 BGA(볼 그리드 어레이), CSP(칩 사이즈 패키지), TCP(테이프 캐리어 패키지) 등의 반도체 패키지에도 사용되도록 되어 있다. 이러한 패키지용 솔더레지스트에는 절연 신뢰성의 가속 평가인 고속 가속 수명 시험(HAST 시험)의 향상이 강하게 요구되고 있고, 여러 가지 검토가 이루어지고 있다.Although the said solder resist is used for manufacture of a printed wiring board etc., in recent years, it is used for semiconductor packages, such as BGA (ball grid array), CSP (chip size package), and TCP (tape carrier package). Such a package solder resist is strongly required to improve the high-speed accelerated life test (HAST test), which is an accelerated evaluation of insulation reliability, and various studies have been made.

예를 들면, 일본 특허 공개 평 1-259591호 공보에는 마이그레이션 현상의 방지 효과가 큰 전자회로용 피복재에 관하여, 그 실시예에는 에폭시 수지에 인산 지르코늄과 납 히드록시아파타이트 혼합물, 안티몬산과 함수산화비스무트의 혼합물, 안티몬산 티타늄과 납 히드록시아파타이트의 혼합물을 배합한 것이 사용되고 있다. 또한, 상기 일본 특허 공개 평 1-259591호 공보의 제 3 페이지 우측 하단란∼제 4 페이지 우측 상단란에는 무기 이온 교환체의 구체예가 개시되어 있다.For example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 1-259591 discloses a coating material for electronic circuits having a large effect of preventing migration phenomenon. The examples include epoxy resins containing a mixture of zirconium phosphate and lead hydroxyapatite, antimony acid and bismuth oxide. The mixture which mix | blended the mixture and the mixture of titanium antimony acid and lead hydroxyapatite is used. Further, specific examples of the inorganic ion exchanger are disclosed in the lower right column of the third page to the upper right column of the fourth page of Japanese Patent Laid-Open No. 1-259591.

또한, 일본 특허 공개 평 8-176242호 공보는, 신뢰성이 높은 층간 절연재료용 수지 조성물에 관하여, 그 실시예에는 아크릴레이트 수지에 안티몬산 티타늄 또는 수산화인산 납을 첨가한 것이 사용되고 있다. 또한, 상기 일본 특허 공개 평 8-176242호 공보의 단락 [0044]∼[0046]에는 무기 이온 교환체의 구체적인 화합물이 개시되어 있다.Japanese Unexamined Patent Application Publication No. 8-176242 discloses a highly reliable resin composition for an interlayer insulating material, in which an antimony acid or titanium hydroxide is added to the acrylate resin. Further, paragraphs [0044] to [0046] of Japanese Patent Laid-Open No. 8-176242 disclose specific compounds of inorganic ion exchangers.

또한, 일본 특허 공개 2000-159859호 공보는 절연성, 내전식성이 우수한 감광성 수지 조성물에 관하여, 그 실시예에는 에폭시(메타)아크릴레이트 수지에 오산화안티몬, 삼산화아니티몬, 및 하이드로탈사이트 중 적어도 어느 하나를 혼합한 것이 사용되고 있다. 또한, 상기 일본 특허 공개 2000-159859호 공보의 다락 [0026]∼[0028]에는 음양 이온을 흡착하는 무기 이온 교환체, 양이온을 흡착하는 무기 이온 교환체, 음이온을 흡착하는 무기 이온 교환체의 예시 화합물이 기재되어 있다.In addition, Japanese Unexamined Patent Publication No. 2000-159859 discloses a photosensitive resin composition having excellent insulation and corrosion resistance, and examples thereof include at least any one of antimony pentoxide, antimony trioxide, and hydrotalcite in an epoxy (meth) acrylate resin. A mixture of these is used. Further, in the attic of the Japanese Unexamined Patent Application Publication No. 2000-159859, examples of inorganic ion exchangers that adsorb negative ions, inorganic ion exchangers that adsorb cations, and inorganic ion exchangers adsorbing anions Compounds are described.

그러나, 상기 선행 기술문헌에 기재되어 있는 기술은 모두 절연 신뢰성, 내열충격성, 보존 안정성, 고급감, 기판 밀착성, 내열성 등의 제 특성에 대해서 충분히 만족할 수 있는 성능을 갖는 것은 아니고, 더나은 개량, 개발이 요망되고 있는 것이 현 상황이다.However, all of the technologies described in the above prior art documents do not have sufficient performances to satisfy characteristics such as insulation reliability, thermal shock resistance, storage stability, high quality, substrate adhesion, and heat resistance, and further improvement and development This is what is desired.

본 발명은 우수한 절연 신뢰성, 내열충격성, 보존 안정성, 고급감, 기판 밀착성, 및 내열성을 겸비하고, 특히 패키지용 솔더레지스트로서 바람직한 감광성 조성물, 상기 감광성 조성물을 사용한 감광성 필름, 감광성 적층체, 영구패턴 형성방법, 및 프린트 기판을 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention combines excellent insulation reliability, thermal shock resistance, storage stability, high quality, substrate adhesion, and heat resistance, and is particularly preferable as a soldering resist for a package, a photosensitive film using the photosensitive composition, photosensitive laminate, permanent pattern formation It aims at providing a method and a printed circuit board.

상기 과제를 해결하기 위하여 본 발명자들이 예의 검토를 거듭한 결과, 특히 패키지용 솔더레지스트에 요구되는 절연 신뢰성, 내열충격성, 보존 안정성, 고급감, 기판 밀착성, 표면 경도, 내열성 등을 향상시키기 위해, 이온 흡착제로서 비스무트 화합물과, 지르코늄 화합물 및 산화안티몬 화합물 중 적어도 어느 하나를 병용함으로써 상기 문제를 효과적으로 해결할 수 있는 것을 발견하였다.In order to solve the above problems, the present inventors earnestly examined, and in particular, in order to improve insulation reliability, thermal shock resistance, storage stability, high quality, substrate adhesion, surface hardness, heat resistance, etc. required for a soldering package for resist, It has been found that the above problem can be effectively solved by using at least one of a bismuth compound, a zirconium compound and an antimony oxide compound together as an adsorbent.

본 발명은 본 발명자들에 의한 상기 지견에 의거하는 것이며, 상기 과제를 해결하기 위한 수단으로서는 이하와 같다. 즉,This invention is based on the said knowledge by the present inventors, As a means for solving the said subject, it is as follows. In other words,

<1> 바인더, 중합성 화합물, 광중합 개시제, 및 이온 흡착제를 적어도 함유하는 감광성 조성물로서,As a photosensitive composition containing at least a <1> binder, a polymeric compound, a photoinitiator, and an ion adsorption agent,

상기 이온 흡착제는 비스무트 화합물과, 지르코늄 화합물 및 산화안티몬 화합물 중 적어도 어느 하나를 함유하는 것을 특징으로 하는 감광성 조성물이다.The ion adsorbent is a photosensitive composition comprising a bismuth compound, at least one of a zirconium compound and an antimony oxide compound.

<2> <1>에 있어서, 비스무트 화합물은 산화비스무트인 감광성 조성물이다.<2> In <1>, a bismuth compound is a photosensitive composition which is bismuth oxide.

<3> <1>에 있어서, 지르코늄 화합물은 인산 지르코늄인 감광성 조성물이다.<3> In <1>, a zirconium compound is a photosensitive composition which is zirconium phosphate.

<4> <1>에 있어서, 산화안티몬 화합물은 오산화안티몬인 감광성 조성물이다.<4> In <1>, the antimony oxide compound is a photosensitive composition which is antimony pentoxide.

<5> <1>에 있어서, 비스무트 화합물(A)과, 지르코늄 화합물 및 산화안티몬 화합물 중 적어도 어느 하나(B)의 질량비(A:B)가 1:0.2∼1:5인 감광성 조성물이다.<5> The photosensitive composition as described in <1> whose mass ratio (A: B) of a bismuth compound (A), and a zirconium compound and an antimony oxide compound (B) is 1: 0.2-1: 5.

<6> <1>에 있어서, 바인더는 에폭시(메타)아크릴레이트 수지, (메타)아크릴레이트 수지, 및 우레탄 수지로부터 선택되는 감광성 조성물이다.<6> In <1>, a binder is the photosensitive composition chosen from an epoxy (meth) acrylate resin, a (meth) acrylate resin, and a urethane resin.

<7> <6>에 있어서, 바인더는 산변성 비닐기 함유 폴리우레탄 수지인 감광성 조성물이다.<7> In <6>, a binder is the photosensitive composition which is an acid-modified vinyl-group containing polyurethane resin.

<8> 바인더, 중합성 화합물, 광중합 개시제, 및 이온 흡착제를 적어도 함유하고,<8> a binder, a polymerizable compound, a photopolymerization initiator, and an ion adsorbent at least

상기 이온 흡착제는 비스무트 화합물과, 지르코늄 화합물 및 산화안티몬 화합물 중 적어도 어느 하나를 함유하는 감광성 조성물을 함유하는 감광층을 지지체 상에 갖고 이루어지는 것을 특징으로 하는 감광성 필름이다.The ion adsorbent is a photosensitive film comprising a photosensitive layer containing a bismuth compound and a photosensitive composition containing at least one of a zirconium compound and an antimony oxide compound on a support.

<9> 기판 상에 바인더, 중합성 화합물, 광중합 개시제, 및 이온 흡착제를 적어도 함유하고,At least a binder, a polymerizable compound, a photopolymerization initiator, and an ion adsorbent on the <9> substrate,

상기 이온 흡착제는 비스무트 화합물과, 지르코늄 화합물 및 산화안티몬 화합물 중 적어도 어느 하나를 함유하는 감광성 조성물을 함유하는 감광층을 갖는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체이다.The said ion adsorption agent is a photosensitive laminated body which has a photosensitive layer containing a bismuth compound and the photosensitive composition containing at least any one of a zirconium compound and an antimony oxide compound.

<10> 바인더, 중합성 화합물, 광중합 개시제, 및 이온 흡착제를 적어도 함유하고,<10> a binder, a polymerizable compound, a photopolymerization initiator, and an ion adsorbent at least;

상기 이온 흡착제는 비스무트 화합물과, 지르코늄 화합물 및 산화안티몬 화합물 중 적어도 어느 하나를 함유하는 감광성 조성물에 의해 형성된 감광층에 대하여 노광을 행하는 것을 적어도 포함하는 것을 특징으로 하는 영구패턴 형성방법이다.The ion adsorbent is a permanent pattern forming method comprising at least exposing a photosensitive layer formed of a photosensitive composition containing a bismuth compound and at least one of a zirconium compound and an antimony oxide compound.

<11> 바인더, 중합성 화합물, 광중합 개시제, 및 이온 흡착제를 적어도 함유하고,<11> a binder, a polymerizable compound, a photopolymerization initiator, and an ion adsorbent at least

상기 이온 흡착제는 비스무트 화합물과, 지르코늄 화합물 및 산화안티몬 화합물 중 적어도 어느 하나를 함유하는 감광성 조성물에 의해 형성된 감광층에 대하여 노광을 행하는 것을 적어도 포함하는 영구패턴 형성방법에 의해 영구패턴이 형성되는 것을 특징으로 하는 프린트 기판이다.The ion adsorbent is a permanent pattern is formed by a permanent pattern forming method comprising at least exposing a photosensitive layer formed of a photosensitive composition containing a bismuth compound and at least one of a zirconium compound and an antimony oxide compound. It is a printed circuit board made into.

본 발명에 의하면, 종래에 있어서의 여러 문제를 해결할 수 있고, 우수한 절연 신뢰성, 내열충격성, 보존 안정성, 고급감, 기판 밀착성, 및 내열성을 겸비하고, 특히 패키지용 솔더레지스트로서 바람직한 감광성 조성물, 상기 감광성 조성물을 이용한 감광성 필름, 감광성 적층체, 영구패턴 형성방법, 및 프린트 기판을 제공할 수 있다.INDUSTRIAL APPLICABILITY According to the present invention, various problems in the related art can be solved, and a photosensitive composition having excellent insulation reliability, thermal shock resistance, storage stability, high quality, substrate adhesion, and heat resistance, and particularly preferred as a soldering resist for a package, the photosensitive property A photosensitive film, a photosensitive laminate, a permanent pattern forming method, and a printed board using the composition can be provided.

(감광성 조성물)(Photosensitive composition)

본 발명의 감광성 조성물은 바인더, 중합성 화합물, 광중합 개시제, 및 이온 흡착제를 적어도 함유하여 이루어지고, 열가교제, 필요에 따라서 기타 성분을 더 함유하여 이루어진다.The photosensitive composition of this invention contains a binder, a polymeric compound, a photoinitiator, and an ion adsorption agent at least, and further contains a thermal crosslinking agent and other components as needed.

<이온 흡착제><Ion Adsorbent>

상기 이온 흡착제로서는 특별히 제한은 없고, 목적에 따라서 적당하게 선택할 수 있지만, 음이온 흡착제와 양이온 흡착제를 조합하여 사용하는 것이 유리 Cl-, 또는 가수분해성 Cl- 등의 음이온, 및 유리 Na+나 Cu2+의 음양 양 이온을 보충함으로써 상승적으로 절연 신뢰성이 향상되는 점에서 바람직하다.There is no restriction | limiting in particular as said ion adsorbent, Although it can select suitably according to the objective, It is preferable to use the combination of an anion adsorbent and a cationic adsorbent, and anion, such as free Cl <-> or hydrolyzable Cl <-> , and free Na <+> or Cu <2+> It is preferable in view of synergistically improving the insulation reliability by replenishing the positive and negative ions.

음양 양 이온을 흡착하는 이온 흡착제로서는 음양 이온 흡착제를 조합하는 것, 또는 산화베릴륨 수화물, 산화갈륨 수화물, 산화란탄 수화물, 산화철 수화물, 산화알루미늄 수화물, 산화티타늄 수화물, 산화지르코늄 수화물, 산화주석 수화물, 산화게르마늄 수화물, 산화토륨 수화물 등의 금속의 함수산화물 등을 들 수 있다. As an ion adsorbent which adsorbs yin-yang positive ions, a combination of yin-yang ion adsorbents or beryllium oxide hydrate, gallium oxide hydrate, lanthanum oxide hydrate, iron oxide hydrate, aluminum oxide hydrate, titanium oxide hydrate, zirconium oxide hydrate, tin oxide hydrate, and oxidation And hydrous oxides of metals such as germanium hydrate and thorium oxide hydrate.

또한, 도아 고세이 가부시키가이샤로부터 시판되고 있는 양 이온 교환체 IXE-1100(칼슘계), IXE-1320(안티몬, 마그네슘, 알루미늄계), IXE-600(안티몬, 비스무트계), IXE-633(안티몬, 비스무트계), IXE-680(안티몬, 비스무트계), IXE-6107(지르코늄, 비스무트계), IXE-6136(지르코늄, 비스무트계), IXE-2116(이트륨, 지르코늄계), IXE-7107(마그네슘, 알루미늄, 지르코늄계)도 사용할 수 있다.Moreover, the positive ion exchanger IXE-1100 (calcium system), IXE-1320 (antimony, magnesium, aluminum system), IXE-600 (antimony, bismuth system), IXE-633 (antimony) marketed by Toagosei Co., Ltd. , Bismuth type), IXE-680 (antimony, bismuth type), IXE-6107 (zirconium, bismuth type), IXE-6136 (zirconium, bismuth type), IXE-2116 (yttrium, zirconium type), IXE-7107 (magnesium) , Aluminum, zirconium series) can also be used.

상기 음이온 흡착제로는, 예를 들면 비스무트 화합물, 삼산화안티몬 수화물, 하이드로탈사이트류 등을 들 수 있다.As said anion adsorbent, a bismuth compound, antimony trioxide hydrate, hydrotalcites, etc. are mentioned, for example.

또한, 도아 고세이 가부시키가이샤로부터 시판되고 있는 음이온 교환체 IXE-500(비스무트계). IXE-530(비스무트계), IXE-550(비스무트계), IXE-700(마그네슘, 알루미늄계), IXE-700F(마그네슘, 알루미늄계), IXE-770(마그네슘, 알루미늄계), IXE-770D(마그네슘, 알루미늄계), IXE-702(알루미늄계), IXE-800(지르코늄계), IXE-1000(납계) 등을 들 수 있다.Moreover, the anion exchanger IXE-500 (bismuth system) marketed by Toagosei Co., Ltd .. IXE-530 (bismuth), IXE-550 (bismuth), IXE-700 (magnesium, aluminum), IXE-700F (magnesium, aluminum), IXE-770 (magnesium, aluminum), IXE-770D ( Magnesium, aluminum), IXE-702 (aluminum), IXE-800 (zirconium), IXE-1000 (lead), and the like.

상기 이온 흡착제로서는, 예를 들면 지르코늄 화합물, 산화안티몬 화합물, 산화망간 수화물, 산화규소 수화물, 산화니오브 수화물, 산화탄탈 수화물, 산화탄탈 수화물, 산화몰리브덴 수화물, 산화텅스텐 수화물 등의 금속의 함수산화물, 인산 지르코늄, 텅스텐산 지르코늄, 인몰리브덴산 안티몬, 인안티몬산, 몰리브덴산 지르코늄, 몰리브덴산 티타늄, 텅스텐산 티타늄, 몰리브덴산 주석, 텅스텐산 주석, 안티몬산 티타늄, 셀레늄산 지르코늄, 텔루르산 지르코늄, 규산 지르코늄, 인규산 지르코늄, 폴리인산 지르코늄, 트리폴리인산 크롬, 안티몬삼인산 등을 들 수 있다.Examples of the ion adsorbent include hydrous oxides and phosphoric acids of metals such as zirconium compounds, antimony oxide compounds, manganese oxide hydrates, silicon oxide hydrates, niobium oxide hydrates, tantalum oxide hydrates, tantalum oxide hydrates, molybdenum oxide hydrates, and tungsten oxide hydrates. Zirconium, zirconium tungstate, antimony molybdate, phosphorus antimonic acid, zirconium molybdate, titanium molybdate, titanium tungsten, tin molybdate, tin tungstate, titanium antimonate, zirconium selenium, zirconium tellurium, zirconium silicate, Zirconium phosphate, zirconium polyphosphate, chromium tripolyphosphate, antimony triphosphate, and the like.

또한, 도아 고세이 가부시키가이샤로부터 시판되고 있는 양이온 교환체 IXE-100(지르코늄계), IXE-150(지르코늄계), IXE-200(주석계), IXE300(안티몬계), IXE-400(티타늄계) 등을 들 수 있다.Moreover, cation exchanger IXE-100 (zirconium system), IXE-150 (zirconium system), IXE-200 (tin system), IXE300 (antimony system), IXE-400 (titanium system) marketed from Toagosei Co., Ltd. ), And the like.

본 발명에 있어서는, 상기 이온 흡착제로서 비스무트 화합물과, 지르코늄 화합물 및 산화안티몬 화합물 중 적어도 어느 한쪽을 병용한다.In this invention, at least one of a bismuth compound, a zirconium compound, and an antimony oxide compound is used together as said ion adsorbent.

상기 비스무트 화합물로서는, 예를 들면 산화비스무트, 티탄산 비스무트, 질산 비스무트, 살리실산 비스무트, 탄산 비스무트 등을 들 수 있다. 이들 중에서도 Cl-를 특이적으로 흡착하는 점에서 산화비스무트가 특히 바람직하다.As said bismuth compound, bismuth oxide, bismuth titanate, bismuth nitrate, bismuth salicylate, bismuth carbonate, etc. are mentioned, for example. Among these, bismuth oxide is especially preferable at the point which specifically adsorbs Cl <-> .

상기 지르코늄 화합물로서는, 예를 들면 인산 지르코늄, 텅스텐산 지르코늄, 몰리브덴산 지르코늄, 셀레늄산 지르코늄, 텔루르산 지르코늄 등을 들 수 있다. 이들 중에서도 Na+, K+ 등의 양이온을 선택적으로 이온 교환할 수 있고, 이온 교환 용량도 뛰어나는 점에서 인산 지르코늄이 특히 바람직하다.Examples of the zirconium compound include zirconium phosphate, zirconium tungstate, zirconium molybdate, zirconium selenate, zirconium tellurium and the like. Among these, zirconium phosphate is particularly preferable because cations such as Na + and K + can be selectively ion exchanged and the ion exchange capacity is also excellent.

상기 산화안티몬 화합물로서는, 예를 들면 오산화안티몬, 삼산화안티몬, 인 안티몬산, 안티몬산 지르코늄, 안티몬산 티타늄 등을 들 수 있다. 이들 중에서도, Na+를 선택적으로 흡착할 수 있는 점에서 오산화안티몬이 특히 바람직하다.Examples of the antimony oxide compound include antimony pentoxide, antimony trioxide, phosphorus antimonic acid, zirconium antimonate, titanium antimonate and the like. Among these, antimony pentoxide is especially preferable at the point which can selectively adsorb | suck Na <+> .

상기 비스무트 화합물(A)과, 지르코늄 화합물 및 산화안티몬 화합물 중 적어도 어느 하나(B)의 질량비(A:B)는 1:0.2∼1:5가 바람직하고, 1:0.5∼1:2가 보다 바람직하다. 음양 이온 흡착제의 한쪽이 치우쳐서 많아져 버리면 수지 매트릭스 중에서 음양 이온 흡착제의 흡착 작용에 저해가 생겨 버릴 경우가 있다.The mass ratio (A: B) of the bismuth compound (A) and at least one of the zirconium compound and the antimony oxide compound (B) is preferably from 1: 0.2 to 1: 5, more preferably from 1: 0.5 to 1: 2. Do. If one of the yin-yang ion adsorbents is shifted to increase, the adsorption action of the yin-ion ion adsorbent may be inhibited in the resin matrix.

상기 비스무트 화합물(A)이 지나치게 많으면 양이온 흡착제에 대하여 흡착 저해가 되고, 상기 지르코늄 화합물 및 산화안티몬 화합물 중 적어도 어느 하나(B)가 지나치게 많으면 음이온 흡착제에 대하여 흡착 저해가 되어 버릴 경우가 있다.When there are too many said bismuth compounds (A), adsorption inhibition will be inhibited with respect to a cation adsorbent, and when at least one (B) of the said zirconium compound and antimony oxide compound is too large, it may become adsorption inhibition with respect to an anion adsorbent.

상기 이온 흡착제의 상기 감광성 조성물 고형분 중의 합계 함유량은 0.5질량%∼10질량%가 바람직하고, 1질량%∼5질량%가 보다 바람직하다. 상기 합계 함유량이 10질량%를 초과하면 경화 불량, 해상성 및 밀착성이 저하될 경우가 있고, 0.5 질량% 미만이면 절연 신뢰성 향상의 효과가 작아져 버릴 경우가 있다.0.5 mass%-10 mass% are preferable, and, as for the total content in the said photosensitive composition solid content of the said ion adsorbent, 1 mass%-5 mass% are more preferable. When the said total content exceeds 10 mass%, hardening defect, resolution, and adhesiveness may fall, and when it is less than 0.5 mass%, the effect of the insulation reliability improvement may become small.

<바인더><Binder>

상기 바인더로서는 감광성기 및 알칼리 현상성을 부여하기 위한 산기를 도입한 화합물이면 특별히 제한은 없고, 목적에 따라서 적당하게 선택할 수 있고, 예를 들면 에폭시(메타)아크릴레이트 수지, (메타)아크릴레이트 수지, 우레탄 수지, 2개이상의 에폭시기를 갖는 에폭시 수지와 불포화 (메타)아크릴산을 반응시킨 후, 다염기산 무수물을 더 반응시켜서 얻어지는 중합체; (메타)아크릴산 에스테르와 불포화기를 함유하고 또한 적어도 1개의 산기를 갖는 화합물로부터 얻어진 공중합체의 일부의 산기에 글리시딜(메타)아크릴레이트를 부가시킨 변성 공중합체; 카르복실기 함유 (메타)아크릴계 공중합 수지와 지환식 에폭시기 함유 불포화 화합물의 반응에 의해 얻어지는 중합체 등을 들 수 있다.There is no restriction | limiting in particular if it is a compound which introduce | transduced the photosensitive group and the acidic radical for giving alkali developability as said binder, According to the objective, it can select suitably, For example, an epoxy (meth) acrylate resin and a (meth) acrylate resin A polymer obtained by further reacting a polybasic acid anhydride after reacting a urethane resin, an epoxy resin having two or more epoxy groups, and an unsaturated (meth) acrylic acid; A modified copolymer in which glycidyl (meth) acrylate is added to a part of an acid group of a copolymer obtained from a compound containing a (meth) acrylic acid ester and an unsaturated group and having at least one acid group; The polymer etc. which are obtained by reaction of a carboxyl group-containing (meth) acrylic-type copolymer resin and an alicyclic epoxy group containing unsaturated compound are mentioned.

이들 중에서도, 에폭시(메타)아크릴레이트 수지, (메타)아크릴레이트 수지, 우레탄 수지, (메타)아크릴산 에스테르와 불포화기를 함유하고, 또한 적어도 1개의 산기를 갖는 화합물로부터 얻어진 공중합체의 일부의 산기에 글리시딜(메타)아크릴레이트를 부가시킨 변성 공중합체가 보다 바람직하다.Among these, the acid groups of some of the copolymers obtained from a compound containing an epoxy (meth) acrylate resin, a (meth) acrylate resin, a urethane resin, a (meth) acrylic acid ester and an unsaturated group, and having at least one acid group More preferred is a modified copolymer to which cydyl (meth) acrylate is added.

상기 우레탄 수지로서는, 이하에 설명하는 산변성 비닐기 함유 폴리우레탄 수지가 내열충격성이 우수한 점으로부터 바람직하게 예시된다.As said urethane resin, the acid-modified vinyl-group containing polyurethane resin demonstrated below is preferably illustrated from the point which is excellent in heat shock resistance.

<<산변성 비닐기 함유 폴리우레탄 수지>><< acid-modified vinyl group containing polyurethane resin >>

상기 산변성 비닐기 함유 폴리우레탄 수지로서는 특별히 제한은 없고, 목적에 따라서 적당하게 선택할 수 있으며, 예를 들면 (i) 측쇄에 에틸렌성 불포화 결합을 갖는 폴리우레탄 수지, (ii) 카르복실기 함유 폴리우레탄과 분자 중에 에폭시기와 비닐기를 갖는 화합물을 반응시켜서 얻어지는 폴리우레탄 수지 등을 들 수 있다.There is no restriction | limiting in particular as said acid-modified vinyl-group containing polyurethane resin, According to the objective, it can select suitably, For example, (i) polyurethane resin which has ethylenically unsaturated bond in a side chain, (ii) carboxyl group-containing polyurethane, Polyurethane resin etc. which are obtained by making the compound which has an epoxy group and a vinyl group react in a molecule | numerator are mentioned.

-(i) 측쇄에 비닐기를 갖는 폴리우레탄 수지--(i) polyurethane resin having a vinyl group in the side chain-

상기 측쇄에 비닐기를 갖는 우레탄 수지로서는 특별히 제한은 없고, 목적에 따라서 적당하게 선택할 수 있으며, 예를 들면 그 측쇄에 하기 일반식(1)∼(3)으로 나타내어지는 관능기 중 적어도 1개를 갖는 것을 들 수 있다.There is no restriction | limiting in particular as a urethane resin which has a vinyl group in the said side chain, According to the objective, it can select suitably, For example, what has at least 1 of the functional groups represented by following General formula (1)-(3) in the side chain Can be mentioned.

Figure pat00001
Figure pat00001

상기 일반식(1)에 있어서, R1∼R3은 각각 독립적으로 수소원자 또는 1가의 유기기를 나타낸다. 상기 Rl로서는 특별히 제한은 없고, 목적에 따라서 적당하게 선택할 수 있으며, 예를 들면 수소원자, 치환기를 가져도 좋은 알킬기 등을 들 수 있다. 이들 중에서도 라디칼 반응성이 높은 점에서 수소원자, 메틸기가 바람직하다. 또한, 상기 R2 및 R3으로서는 특별히 제한은 없고, 목적에 따라서 적당하게 선택할 수 있으며, 각각 독립적으로, 예를 들면 수소원자, 할로겐 원자, 아미노기, 카르복실기, 알콕시카르보닐기, 술포기, 니트로기, 시아노기, 치환기를 가져도 좋은 알킬기, 치환기를 가져도 좋은 아릴기, 치환기를 가져도 좋은 알콕시기, 치환기를 가져도 좋은 아릴옥시기, 치환기를 가져도 좋은 알킬아미노기, 치환기를 가져도 좋은 아릴아미노기, 치환기를 가져도 좋은 알킬술포닐기, 치환기를 가져도 좋은 아릴술포닐기 등을 들 수 있다. 이들 중에서도 라디칼 반응성이 높은 점에서 수소원자, 카르복실기, 알콕시카르보닐기, 치환기를 가져도 좋은 알킬기, 치환기를 가져도 좋은 아릴기가 바람직하다.In the said General formula (1), R <1> -R <3> represents a hydrogen atom or monovalent organic group each independently. There is no restriction | limiting in particular as said R <1> , According to the objective, it can select suitably, For example, a hydrogen atom, the alkyl group which may have a substituent, etc. are mentioned. Among these, a hydrogen atom and a methyl group are preferable at the point of high radical reactivity. In addition, there is no restriction | limiting in particular as said R <2> and R <3> , According to the objective, it can select suitably, Each independently, for example, a hydrogen atom, a halogen atom, an amino group, a carboxyl group, an alkoxycarbonyl group, a sulfo group, a nitro group, a cyan Furnace group, alkyl group which may have a substituent, aryl group which may have a substituent, alkoxy group which may have a substituent, aryloxy group which may have a substituent, alkylamino group which may have a substituent, arylamino group which may have a substituent, The alkylsulfonyl group which may have a substituent, the arylsulfonyl group which may have a substituent, etc. are mentioned. Among these, in view of high radical reactivity, a hydrogen atom, a carboxyl group, an alkoxycarbonyl group, an alkyl group which may have a substituent, and an aryl group which may have a substituent are preferable.

상기 일반식(1)에 있어서, X는 산소원자, 유황원자, 또는 -N(R12)-를 나타내고, 상기 R12는 수소원자, 또는 1가의 유기기를 나타낸다. 상기 R12로서는 특별히 제한은 없고, 목적에 따라서 적당하게 선택할 수 있으며, 예를 들면 치환기를 가져도 좋은 알킬기 등을 들 수 있다. 이들 중에서도 라디칼 반응성이 높은 점에서 수소원자, 메틸기, 에틸기, 이소프로필기가 바람직하다.In the general formula (1), X represents an oxygen atom, a sulfur atom, or -N (R 12 )-, and R 12 represents a hydrogen atom or a monovalent organic group. There is no restriction | limiting in particular as said R <12> , According to the objective, it can select suitably, For example, the alkyl group etc. which may have a substituent are mentioned. Among these, a hydrogen atom, a methyl group, an ethyl group, and isopropyl group are preferable at the point of high radical reactivity.

여기에서, 도입할 수 있는 상기 치환기로서는 특별히 제한은 없고, 목적에 따라서 적당하게 선택할 수 있으며, 예를 들면 알킬기, 알케닐기, 알키닐기, 아릴기, 알콕시기, 아릴옥시기, 할로겐 원자, 아미노기, 알킬아미노기, 아릴아미노기, 카르복실기, 알콕시카르보닐기, 술포기, 니트로기, 시아노기, 아미드기, 알킬술포닐기, 아릴술포닐기 등을 들 수 있다.There is no restriction | limiting in particular as said substituent which can be introduce | transduced here, According to the objective, it can select suitably, For example, an alkyl group, an alkenyl group, an alkynyl group, an aryl group, an alkoxy group, an aryloxy group, a halogen atom, an amino group, Alkylamino group, arylamino group, carboxyl group, alkoxycarbonyl group, sulfo group, nitro group, cyano group, amide group, alkylsulfonyl group, arylsulfonyl group, etc. are mentioned.

Figure pat00002
Figure pat00002

상기 일반식(2)에 있어서, R4∼R8은 각각 독립적으로 수소원자 또는 1가의 유기기를 나타낸다. 상기 R4∼R8로서는 특별히 제한은 없고, 목적에 따라서 적당하게 선택할 수 있으며, 수소원자, 할로겐 원자, 아미노기, 디알킬아미노기, 카르복실기, 알콕시카르보닐기, 술포기, 니트로기, 시아노기, 치환기를 가져도 좋은 알킬기, 치환기를 가져도 좋은 아릴기, 치환기를 가져도 좋은 알콕시기, 치환기를 가져도 좋은 아릴옥시기, 치환기를 가져도 좋은 알킬아미노기, 치환기를 가져도 좋은 아릴아미노기, 치환기를 가져도 좋은 알킬술포닐기, 치환기를 가져도 좋은 아릴술포닐기 등을 들 수 있다. 이들 중에서도 라디칼 반응성이 높은 점에서 수소원자, 카르복실기, 알콕시카르보닐기, 치환기를 가져도 좋은 알킬기, 치환기를 가져도 좋은 아릴기가 바람직하다.In the said General formula (2), R <4> -R <8> represents a hydrogen atom or monovalent organic group each independently. Wherein R 4 ~R 8 is not particularly limited and can be suitably selected according to the purpose, take a hydrogen atom, a halogen atom, an amino group, a dialkylamino group, a carboxyl group, an alkoxycarbonyl group, a sulfo group, a nitro group, a cyano group, an optionally substituted An alkyl group which may have a substituent, an aryl group which may have a substituent, an alkoxy group which may have a substituent, an aryloxy group which may have a substituent, an alkylamino group which may have a substituent, an arylamino group which may have a substituent, and a substituent may have Alkylsulfonyl group, the arylsulfonyl group which may have a substituent, etc. are mentioned. Among these, in view of high radical reactivity, a hydrogen atom, a carboxyl group, an alkoxycarbonyl group, an alkyl group which may have a substituent, and an aryl group which may have a substituent are preferable.

도입할 수 있는 치환기로서는 상기 일반식(1)과 같은 것을 들 수 있다. 또한, Y는 산소원자, 유황원자, 또는 -N(R12)-를 나타낸다. 상기 R12는 상기 일반식(1)의 R12의 경우와 동의이며, 바람직한 예도 같다.As a substituent which can be introduce | transduced, the thing similar to the said General formula (1) is mentioned. In addition, Y is an oxygen atom, a sulfur atom, or -N (R 12) - represents a. Said R <12> is synonymous with the case of R <12> of the said General formula (1), and its preferable example is also the same.

Figure pat00003
Figure pat00003

상기 일반식(3)에 있어서, R9∼Rl1은 각각 독립적으로 수소원자 또는 1가의 유기기를 나타낸다. 상기 일반식(3) 중, 상기 R9로서는 특히 제한은 없고, 목적에 따라서 적당하게 선택할 수 있으며, 수소원자 또는 치환기를 가져도 좋은 알킬기 등을 들 수 있다. 이들 중에서도 라디칼 반응성이 높은 점에서 수소원자, 메틸기가 바람직하다. 상기 일반식(3) 중, 상기 R10 및 R11로서는 특별히 제한은 없고, 목적에 따라서 적당하게 선택할 수 있으며, 수소원자, 할로겐 원자, 아미노기, 디알킬아미노기, 카르복실기, 알콕시카르보닐기, 술포기, 니트로기, 시아노기, 치환기를 가져도 좋은 알킬기, 치환기를 가져도 좋은 아릴기, 치환기를 가져도 좋은 알콕시기, 치환기를 가져도 좋은 아릴옥시기, 치환기를 가져도 좋은 알킬아미노기, 치환기를 가져도 좋은 아릴아미노기, 치환기를 가져도 좋은 알킬술포닐기, 치환기를 가져도 좋은 아릴술포닐기 등을 들 수 있다. 이들 중에서도 라디칼 반응성이 높은 점에서 수소원자, 카르복실기, 알콕시카르보닐기, 치환기를 가져도 좋은 알킬기, 치환기를 가져도 좋은 아릴기가 바람직하다.Wherein in the formula (3), R 9 ~R l1, independently represent a hydrogen atom or a monovalent organic, respectively. There is no restriction | limiting in particular as said R <9> in the said General formula (3), It can select suitably according to the objective, The alkyl group etc. which may have a hydrogen atom or a substituent are mentioned. Among these, a hydrogen atom and a methyl group are preferable at the point of high radical reactivity. There is no restriction | limiting in particular as said R <10> and R <11> in the said General formula (3), According to the objective, it can select suitably, A hydrogen atom, a halogen atom, an amino group, a dialkylamino group, a carboxyl group, an alkoxycarbonyl group, a sulfo group, a nitro Group, cyano group, alkyl group which may have a substituent, aryl group which may have a substituent, alkoxy group which may have a substituent, aryloxy group which may have a substituent, alkylamino group which may have a substituent, and may have a substituent An arylamino group, the alkylsulfonyl group which may have a substituent, the arylsulfonyl group which may have a substituent, etc. are mentioned. Among these, in view of high radical reactivity, a hydrogen atom, a carboxyl group, an alkoxycarbonyl group, an alkyl group which may have a substituent, and an aryl group which may have a substituent are preferable.

여기에서, 도입할 수 있는 치환기로서는 상기 일반식(1)과 같은 것이 예시된다. 또한, Z는 산소원자, 유황원자, -N(R13)-, 또는 치환기를 가져도 좋은 페닐렌기를 나타낸다. 상기 R13으로서는 특별히 제한은 없고, 목적에 따라서 적당하게 선택할 수 있으며, 치환기를 가져도 좋은 알킬기 등을 들 수 있다. 이들 중에서도 라디칼 반응성이 높은 점에서 메틸기, 에틸기, 이소프로필기가 바람직하다.Here, as a substituent which can be introduce | transduced, the thing similar to the said General formula (1) is illustrated. Z represents an oxygen atom, a sulfur atom, -N (R 13 )-, or a phenylene group which may have a substituent. There is no restriction | limiting in particular as said R <13> , According to the objective, it can select suitably, The alkyl group etc. which may have a substituent are mentioned. Among these, a methyl group, an ethyl group, and an isopropyl group are preferable at the point of high radical reactivity.

상기 측쇄에 에틸렌성 불포화 결합을 갖는 우레탄 수지는 하기 일반식(4)으로 나타내어지는 디이소시아네이트 화합물의 적어도 1종과, 하기 일반식(5)으로 나타내어지는 디올 화합물의 적어도 1종의 반응 생성물로 나타내어지는 구조단위를 기본 골격으로 하는 폴리우레탄 수지이다.The urethane resin which has an ethylenically unsaturated bond in the said side chain is represented by at least 1 sort (s) of reaction product of the diisocyanate compound represented by following General formula (4), and the diol compound represented by following General formula (5). It is a polyurethane resin whose structural unit is a basic skeleton.

Figure pat00004
Figure pat00004

상기 일반식(4) 및 일반식(5) 중, X0 및 Y0은 각각 독립적으로 2가의 유기 잔기를 나타낸다.In the general formulas (4) and (5), X 0 and Y 0 each independently represent a divalent organic residue.

상기 일반식(4)으로 나타내어지는 디이소시아네이트 화합물, 또는 상기 일반식(5)으로 나타내어지는 디올 화합물의 적어도 어느 한쪽이 상기 일반식(1)∼(3)으로 나타내어지는 기 중 적어도 1개를 갖고 있으면, 상기 디이소시아네이트 화합물과 상기 디올 화합물의 반응 생성물로서 측쇄에 상기 일반식(1)∼(3)으로 나타내어지는 기가 도입된 폴리우레탄 수지가 생성된다. 이러한 방법에 의하면, 폴리우레탄 수지의 반응 생성 후에 소망의 측쇄를 치환, 도입하는 것보다 측쇄에 상기 일반식(1)∼(3)으로 나타내어지는 기가 도입된 폴리우레탄 수지를 용이하게 제조할 수 있다.At least one of the diisocyanate compound represented by the general formula (4) or the diol compound represented by the general formula (5) has at least one of the groups represented by the general formulas (1) to (3) If there exists, the polyurethane resin which introduce | transduced the group represented by the said General formula (1)-(3) into the side chain as a reaction product of the said diisocyanate compound and the said diol compound is produced. According to this method, the polyurethane resin in which the group represented by the said General formula (1)-(3) was introduce | transduced into the side chain rather than replacing and introducing a desired side chain after reaction reaction of a polyurethane resin can be manufactured easily. .

상기 일반식(4)으로 나타내어지는 디이소시아네이트 화합물로서는 특별히 제한되는 것은 아니고, 목적에 따라서 적당하게 선택할 수 있으며, 예를 들면 트리이소시아네이트 화합물과, 불포화기를 갖는 단관능의 알코올 또는 단관능의 아민 화합물 1당량을 부가반응시켜서 얻어지는 생성물 등을 들 수 있다.It does not restrict | limit especially as a diisocyanate compound represented by the said General formula (4), According to the objective, it can select suitably, For example, a triisocyanate compound and the monofunctional alcohol which has an unsaturated group, or a monofunctional amine compound 1 The product obtained by addition-reacting equivalent is mentioned.

상기 트리이소시아네이트 화합물로서는 특별히 제한되는 것은 아니고, 목적에 따라서 적당하게 선택할 수 있으며, 예를 들면 일본 특허 공개 2005-250438호 공보의 단락 [0034]∼[0035]에 기재된 화합물 등을 들 수 있다.It does not restrict | limit especially as said triisocyanate compound, According to the objective, it can select suitably, For example, the compound etc. of Paragraph [0034]-[0035] of Unexamined-Japanese-Patent No. 2005-250438 are mentioned.

상기 불포화기를 갖는 단관능의 알코올 또는 상기 단관능의 아민 화합물로서는 특별히 제한되는 것은 아니고, 목적에 따라서 적당하게 선택할 수 있으며, 예를 들면 일본 특허 공개 2005-250438호 공보의 단락 [0037]∼[0040]에 기재된 화합물 등을 들 수 있다.The monofunctional alcohol having the unsaturated group or the monofunctional amine compound is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the purpose. For example, paragraphs [0037] to [0040] of JP-A-2005-250438. ], Etc. are mentioned.

여기에서, 상기 폴리우레탄 수지의 측쇄에 불포화기를 도입하는 방법으로서는 특별히 제한은 없고, 목적에 따라서 적당하게 선택할 수 있지만, 폴리우레탄 수지 제조의 원료로서 측쇄에 불포화기를 함유하는 디이소시아네이트 화합물을 사용하는 방법이 바람직하다. 상기 디이소시아네이트 화합물로서는 특별히 제한은 없고, 목적에 따라서 적당하게 선택할 수 있으며, 트리이소시아네이트 화합물과 불포화기를 갖는 단관능의 알코올 또는 단관능의 아민 화합물 1당량을 부가반응시킴으로써 얻을 수 있는 디이소시아네이트 화합물이며, 예를 들면 일본 특허 공개 2005-250438호 공보의 단락 [0042]∼[0049]에 기재된 측쇄에 불포화기를 갖는 화합물 등을 들 수 있다.There is no restriction | limiting in particular as a method of introduce | transducing an unsaturated group into the side chain of the said polyurethane resin, Although it can select suitably according to the objective, The method of using the diisocyanate compound containing an unsaturated group in a side chain as a raw material of polyurethane resin manufacture. This is preferred. There is no restriction | limiting in particular as said diisocyanate compound, According to the objective, it can select suitably, It is a diisocyanate compound obtained by addition-reacting 1 equivalent of monofunctional alcohol or monofunctional amine compound which has a triisocyanate compound and an unsaturated group, For example, the compound etc. which have an unsaturated group in the side chain of Paragraph [0042]-[0049] of Unexamined-Japanese-Patent No. 2005-250438 are mentioned.

상기 측쇄에 에틸렌성 불포화 결합을 갖는 폴리우레탄 수지는 중합성 조성물 중의 다른 성분과의 상용성을 향상시키고, 보존 안정성을 향상시킨다고 하는 관점으로부터, 상기 불포화기를 함유하는 디이소시아네이트 화합물 이외의 디이소시아네이트 화합물을 공중합시킬 수도 있다.Polyurethane resins having ethylenically unsaturated bonds in the side chains include diisocyanate compounds other than the diisocyanate compounds containing the unsaturated groups from the viewpoint of improving compatibility with other components in the polymerizable composition and improving storage stability. It can also copolymerize.

상기 공중합시키는 디이소시아네이트 화합물로서는 특별히 제한은 없고, 목적에 따라서 적당하게 선택할 수 있으며, 예를 들면 하기 일반식(6)으로 나타내어지는 디이소시아네이트 화합물이다.There is no restriction | limiting in particular as a diisocyanate compound to copolymerize, According to the objective, it can select suitably, For example, it is a diisocyanate compound represented by following General formula (6).

Figure pat00005
Figure pat00005

상기 일반식(6) 중, L1은 치환기를 갖고 있어도 되는 2가의 지방족 또는 방향족 탄화수소기를 나타낸다. 필요에 따라, L1은 이소시아네이트기와 반응하지 않는 다른 관능기, 예를 들면 에스테르, 우레탄, 아미드, 우레이도기를 갖고 있어도 된다.In General Formula (6), L 1 represents a divalent aliphatic or aromatic hydrocarbon group which may have a substituent. As needed, L <1> may have another functional group which does not react with an isocyanate group, for example, ester, urethane, amide, and ureido group.

상기 일반식(6)으로 나타내어지는 디이소시아네이트 화합물로서는 특별히 제한은 없고, 목적에 따라서 적당하게 선택할 수 있으며, 예를 들면 2,4-톨릴렌디이소시아네이트, 2,4-톨릴렌디이소시아네이트의 2량체, 2,6-톨릴렌디렌디이소시아네이트, p-크실릴렌디이소시아네이트, m-크실릴렌디이소시아네이트, 4,4',-디페닐메탄디이소시아네이트, 1,5-나프틸렌디이소시아네이트, 3,3',-디메틸비페닐-4,4'-디이소시아네이트 등과 같은 방향족 디이소시아네이트 화합물; 헥사메틸렌디이소시아네이트, 트리메틸헥사메틸렌디이소시아네이트, 리신디이소시아네이트, 다이머산 디이소시아네이트 등의 지방족 디이소시아네이트 화합물; 이소포론디이소시아네이트, 4,4'-메틸렌비스(시클로헥실이소시아네이트), 메틸시클로헥산-2,4(또는 2,6)디이소시아네이트, 1,3-(이소시아네이트메틸)시클로헥산 등의 지환족 디이소시아네이트 화합물; 1,3-부틸렌글리콜 1몰과 톨릴렌디이소시아네이트 2몰의 부가체 등의 디올과 디이소시아네이트의 반응물인 디이소시아네이트 화합물; 등을 들 수 있다.There is no restriction | limiting in particular as a diisocyanate compound represented by the said General formula (6), According to the objective, it can select suitably, For example, the dimer of 2, 4- tolylene diisocyanate and 2, 4- tolylene diisocyanate, 2 , 6-tolylenedienediisocyanate, p-xylylenediisocyanate, m-xylylenediisocyanate, 4,4 ',-diphenylmethane diisocyanate, 1,5-naphthylenediisocyanate, 3,3',-dimethyl Aromatic diisocyanate compounds such as biphenyl-4,4'-diisocyanate; Aliphatic diisocyanate compounds such as hexamethylene diisocyanate, trimethylhexamethylene diisocyanate, lysine diisocyanate and dimer acid diisocyanate; Alicyclic diisocyanates such as isophorone diisocyanate, 4,4'-methylenebis (cyclohexyl isocyanate), methylcyclohexane-2,4 (or 2,6) diisocyanate, 1,3- (isocyanatemethyl) cyclohexane compound; Diisocyanate compounds which are reactants of diols and diisocyanates such as adducts of 1 mole of 1,3-butylene glycol and 2 moles of tolylene diisocyanate; Etc. can be mentioned.

상기 일반식(5)으로 나타내어지는 디올 화합물로서는 특별히 제한은 없고, 목적에 따라서 적당하게 선택할 수 있으며, 예를 들면 폴리에테르디올 화합물, 폴리에스테르디올 화합물, 폴리카보네이트디올 화합물 등을 들 수 있다.There is no restriction | limiting in particular as a diol compound represented by the said General formula (5), According to the objective, it can select suitably, For example, a polyetherdiol compound, a polyesterdiol compound, a polycarbonate diol compound, etc. are mentioned.

여기에서, 폴리우레탄 수지의 측쇄에 불포화기를 도입하는 방법으로서는, 상술의 방법 외에 폴리우레탄 수지 제조의 원료로서 측쇄에 불포화기를 함유하는 디올 화합물을 사용하는 방법도 바람직하다. 상기 측쇄에 불포화기를 함유하는 디올 화합물은, 예를 들면, 트리메티롤프로판모노알릴에테르와 같이 시판되고 있는 것이라도 좋고, 할로겐화디올 화합물, 트리올 화합물, 아미노디올 화합물 등의 화합물과, 불포화기를 함유하는 카르복실산, 산염화물, 이소시아네이트, 알코올, 아민, 티올, 할로겐화알킬 화합물 등의 화합물의 반응에 의해 용이하게 제조되는 화합물이어도 된다. 상기 측쇄에 불포화기를 함유하는 디올 화합물로서는 특별히 제한은 없고, 목적에 따라서 적당하게 선택할 수 있으며, 예를 들면 일본 특허 공개 2005-250438호 공보의 단락 [0057]∼[0060]에 기재된 화합물, 하기 일반식(G)으로 나타내어지는 일본 특허 공개 2005-250438호 공보의 단락 [0064]∼[0066]에 기재된 화합물 등을 들 수 있다. 이들 중에서도 하기 일반식(G)으로 나타내어지는 일본 특허 공개 2005-250438호 공보의 단락 [0064]∼[0066]에 기재된 화합물이 바람직하다.Here, as a method of introducing an unsaturated group into the side chain of a polyurethane resin, the method of using the diol compound containing an unsaturated group in a side chain as a raw material of polyurethane resin manufacture other than the above-mentioned method is also preferable. The diol compound which contains an unsaturated group in the said side chain may be marketed like a trimetholpropane monoallyl ether, for example, and contains compounds, such as a halogenated diol compound, a triol compound, an aminodiol compound, and an unsaturated group The compound may be easily produced by the reaction of a compound such as carboxylic acid, acid chloride, isocyanate, alcohol, amine, thiol, or halogenated alkyl compound. There is no restriction | limiting in particular as a diol compound containing an unsaturated group in the said side chain, According to the objective, it can select suitably, For example, the compound of Paragraph [0057]-[0060] of Unexamined-Japanese-Patent No. 2005-250438, and the following general And the compounds described in paragraphs [0064] to [0066] of JP 2005-250438 A shown by the formula (G). Among them, the compounds described in paragraphs [0064] to [0066] of JP 2005-250438 A represented by the following general formula (G) are preferable.

Figure pat00006
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단, 상기 일반식(G) 중, R1∼R3은 각각 독립적으로 수소원자 또는 1가의 유기기를 나타내고, A는 2가의 유기 잔기를 나타내며, X는 산소원자, 유황원자, 또는 -N(R12)-를 나타내고, 상기 R12는 수소원자, 또는 1가의 유기기를 나타낸다.In the above general formula (G), R 1 to R 3 each independently represent a hydrogen atom or a monovalent organic group, A represents a divalent organic residue, and X represents an oxygen atom, a sulfur atom, or -N (R). 12 )-, and R 12 represents a hydrogen atom or a monovalent organic group.

또한, 상기 일반식(G)에 있어서의 R1∼R3 및 X는 상기 일반식(1)에 있어서의 R1∼R3 및 X와 동의이며, 바람직한 형태도 같다.Further, the above-mentioned general formula R 1 ~R 3, and X in (G) is an R 1 ~R 3, and X and agreement in the general formula (1), as a preferred form.

상기 일반식(G)으로 나타내어지는 디올 화합물로부터 유래되는 폴리우레탄 수지를 사용함으로써 입체 장해가 큰 2급 알코올에 기인하는 폴리머 주쇄의 과잉한 분자운동을 억제하는 효과에 의해, 층의 피막 강도의 향상을 달성할 수 있는 것이라 생각된다.By using the polyurethane resin derived from the diol compound represented by the said General formula (G), the film strength of a layer is improved by the effect which suppresses the excessive molecular movement of the polymer main chain resulting from the secondary alcohol with a big steric hindrance. I think that can be achieved.

상기 측쇄에 에틸렌성 불포화 결합을 갖는 폴리우레탄 수지는, 예를 들면 중합성 조성물 중의 다른 성분과의 상용성을 향상시키고, 보존 안정성을 향상시킨다고 하는 관점에서, 상기 측쇄에 불포화기를 함유하는 디올 화합물 이외의 디올 화합물을 공중합시킬 수 있다.The polyurethane resin having an ethylenically unsaturated bond in the side chain is, for example, other than a diol compound containing an unsaturated group in the side chain from the viewpoint of improving compatibility with other components in the polymerizable composition and improving storage stability. The diol compound of can be copolymerized.

상기 측쇄에 불포화기를 함유하는 디올 화합물 이외의 디올 화합물로서는 특별히 제한은 없고, 목적에 따라서 적당하게 선택할 수 있으며, 예를 들면 폴리에테르디올 화합물, 폴리에스테르디올 화합물, 폴리카보네이트디올 화합물 등을 들 수 있다.There is no restriction | limiting in particular as diol compounds other than the diol compound which contains an unsaturated group in the said side chain, According to the objective, it can select suitably, For example, a polyetherdiol compound, a polyesterdiol compound, a polycarbonate diol compound, etc. are mentioned. .

상기 폴리에테르디올 화합물로서는 특별히 제한은 없고, 목적에 따라서 적당하게 선택할 수 있으며, 예를 들면 일본 특허 공개 2005-250438호 공보의 단락 [0068]∼[0076]에 기재된 화합물 등을 들 수 있다.There is no restriction | limiting in particular as said polyetherdiol compound, According to the objective, it can select suitably, For example, the compound etc. of Paragraph [0068]-[0076] of Unexamined-Japanese-Patent No. 2005-250438 are mentioned.

상기 폴리에스테르디올 화합물로서는 특별히 제한은 없고, 목적에 따라서 적당하게 선택할 수 있으며, 예를 들면 일본 특허 공개 2005-250438호 공보의 단락 [0077]∼[0079], 단락 [0083]∼[0085]에 있어서의 No.1∼No.8 및 No.13∼No.18에 기재된 화합물 등을 들 수 있다.There is no restriction | limiting in particular as said polyesterdiol compound, According to the objective, it can select suitably, For example, in Unexamined-Japanese-Patent No. 2005-250438, Paragraph [0077]-[0079], and [0083]-[0085] And the compounds described in Nos. 1 to 8 and Nos. 13 to 18.

상기 폴리카보네이트디올 화합물로서는 특별히 제한은 없고, 목적에 따라서 적당하게 선택할 수 있으며, 예를 들면 일본 특허 공개 2005-250438호 공보의 단락 [0080]∼[0081] 및 단락 [0084]에 있어서의 No.9∼No.12로 기재된 화합물 등을 들 수 있다.There is no restriction | limiting in particular as said polycarbonate diol compound, According to the objective, it can select suitably, For example, Paragraph [0080]-[0081] of Unexamined-Japanese-Patent No. 2005-250438, and No. in paragraph [0084] are mentioned. The compound described in 9-12., Etc. are mentioned.

또한, 상기 측쇄에 에틸렌성 불포화 결합을 갖는 폴리우레탄 수지의 합성에는, 상술한 디올 화합물 이외에 이소시아네이트기와 반응하지 않는 치환기를 갖는 디올 화합물을 병용할 수도 있다.In addition, the synthesis | combination of the polyurethane resin which has an ethylenically unsaturated bond in the said side chain can also use together the diol compound which has a substituent which does not react with an isocyanate group other than the diol compound mentioned above.

상기 이소시아네이트기와 반응하지 않는 치환기를 갖는 디올 화합물로서는 특별히 제한은 없고, 목적에 따라서 적당하게 선택할 수 있으며, 예를 들면 일본 특허 공개 2005-250438호 공보의 단락 [0087]∼[0088]에 기재된 화합물 등을 들 수 있다.There is no restriction | limiting in particular as a diol compound which has a substituent which does not react with the said isocyanate group, According to the objective, it can select suitably, For example, the compound as described in Paragraph [0087]-[0088] of Unexamined-Japanese-Patent No. 2005-250438, etc. Can be mentioned.

또한, 상기 측쇄에 에틸렌성 불포화 결합을 갖는 폴리우레탄 수지의 합성에는, 상술한 디올 화합물 이외에 카르복실기를 갖는 디올 화합물을 병용할 수도 있다. 상기 카르복실기를 갖는 디올 화합물로서는, 예를 들면 이하의 식(17)∼(19)에 나타내는 것이 포함된다.In addition, in the synthesis | combination of the polyurethane resin which has an ethylenically unsaturated bond in the said side chain, you may use together the diol compound which has a carboxyl group other than the diol compound mentioned above. As a diol compound which has the said carboxyl group, what is shown by following formula (17)-(19) is contained, for example.

Figure pat00007
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상기 식(17)∼(19) 중, R15로서는 수소원자, 치환기[예를 들면 시아노기, 니트로기, -F, -Cl, -Br, -I 등의 할로겐 원자, -CONH2, -COOR16, -OR16, -NHCONHR16, -NHCOOR16, -NHCOR16, -OCONHR16(여기에서, 상기 R16은 탄소수 1∼10의 알킬기, 또는 탄소수 7∼15의 아랄킬기를 나타낸다.) 등의 각 기가 포함된다.]를 갖고 있어도 되는 알킬기, 아랄킬기, 아릴기, 알콕시기, 아릴옥시기를 나타내는 것인 한 특별히 제한은 없고, 목적에 따라서 적당하게 선택할 수 있지만, 수소원자, 탄소수 1∼8개의 알킬기, 탄소수 6∼15개의 아릴기가 바람직하다. 상기 식(17)∼(19) 중, L9, L10, L11은 각각 동일하여도 좋고, 상위하여도 좋으며, 단결합, 치환기(예를 들면 알킬, 아랄킬, 아릴, 알콕시, 할로게노의 각 기가 바람직하다.)를 갖고 있어도 되는 2가의 지방족 또는 방향족 탄화수소기를 나타내는 것인 한 특별히 제한은 없고, 목적에 따라서 적당하게 선택할 수 있지만, 탄소수 1∼20개의 알킬렌기, 탄소수 6∼15개의 아릴렌기가 바람직하고, 탄소수 1∼8개의 알킬렌기가 보다 바람직하다. 또한 필요에 따라, 상기 L9∼L11 중에 이소시아네이트기와 반응하지 않는 다른 관능기, 예를 들면 카르보닐, 에스테르, 우레탄, 아미드, 우레이도, 에테르기를 갖고 있어도 된다. 또한, 상기 R15, L7, L8, L9 중의 2개 또는 3개로 환을 형성해도 좋다.In formulas (17) to (19), R 15 is a hydrogen atom, a substituent [for example, a cyano group, a nitro group, a halogen atom such as -F, -Cl, -Br, -I, -CONH 2 , -COOR 16 , -OR 16 , -NHCONHR 16 , -NHCOOR 16 , -NHCOR 16 , -OCONHR 16 (wherein R 16 represents an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms or an aralkyl group having 7 to 15 carbon atoms). Each group is included.] As long as it represents an alkyl group, an aralkyl group, an aryl group, an alkoxy group, or an aryloxy group which may have any of them, it is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the purpose. An alkyl group and a C6-C15 aryl group are preferable. In Formulas (17) to (19), L 9 , L 10 , and L 11 may be the same or different from each other, and may be a single bond or a substituent (for example, alkyl, aralkyl, aryl, alkoxy, or halogeno). Each group of is preferable.) As long as it represents a divalent aliphatic or aromatic hydrocarbon group which may have, there is no restriction | limiting in particular, Although it can select suitably according to the objective, C1-C20 alkylene group and C6-C15 aryl A benzene group is preferable and a C1-C8 alkylene group is more preferable. Moreover, as needed, you may have other functional groups which do not react with an isocyanate group in said L <9> -L <11> , for example, carbonyl, ester, urethane, amide, ureido, ether group. In addition, you may form a ring by two or three of said R <15> , L <7> , L <8> , L <9> .

상기 식(18) 중, Ar로서는 치환기를 갖고 있어도 되는 3가의 방향족 탄화수소기를 나타내는 것인 한 특별히 제한은 없고, 목적에 따라서 적당하게 선택할 수 있지만, 탄소수 6∼15개의 방향족기가 바람직하다.There is no restriction | limiting in particular as long as it represents the trivalent aromatic hydrocarbon group which may have a substituent as Ar in said Formula (18), Although it can select suitably according to the objective, A C6-C15 aromatic group is preferable.

상기 식(17)∼(19)으로 나타내어지는 카르복실기를 갖는 디올 화합물로서는 특별히 제한은 없고, 목적에 따라서 적당하게 선택할 수 있으며, 예를 들면, 3,5-디히드록시벤조산, 2,2-비스(히드록시메틸)프로피온산, 2,2-비스(2-히드록시에틸)프로피온산, 2,2-비스(3-히드록시프로필)프로피온산, 비스(히드록시메틸)아세트산, 비스(4-히드록시페닐)아세트산, 2,2-비스(히드록시메틸)부티르산, 4,4-비스(4-히드록시페닐)펜탄산, 주석산, N,N-디히드록시에틸글리신, N,N-비스(2-히드록시에틸)-3-카르복시-프로피온아미드 등을 들 수 있다.There is no restriction | limiting in particular as a diol compound which has a carboxyl group represented by said Formula (17)-(19), According to the objective, it can select suitably, For example, 3, 5- dihydroxy benzoic acid, 2, 2-bis (Hydroxymethyl) propionic acid, 2,2-bis (2-hydroxyethyl) propionic acid, 2,2-bis (3-hydroxypropyl) propionic acid, bis (hydroxymethyl) acetic acid, bis (4-hydroxyphenyl ) Acetic acid, 2,2-bis (hydroxymethyl) butyric acid, 4,4-bis (4-hydroxyphenyl) pentanoic acid, tartaric acid, N, N-dihydroxyethylglycine, N, N-bis (2- Hydroxyethyl) -3-carboxy-propionamide, and the like.

이러한 카르복실기의 존재에 의해 폴리우레탄 수지에 수소 결합성과 알칼리 가용성이라고 하는 특성을 부여할 수 있기 때문에 바람직하다. 보다 구체적으로는, 상기 측쇄에 에틸렌성 불포화 결합기를 갖는 폴리우레탄 수지가 측쇄에 카르복실기를 더 갖는 수지이며, 보다 구체적으로는 측쇄의 비닐기가 0.05mmol/g∼1.80mmol/g인 것이 바람직하고, 0.5mmol/g∼1.80mmol/g인 것이 보다 바람직하며, 0.75mmol/g∼1.60mmol/g인 것이 특히 바람직하고, 또한 측쇄에 카르복실기를 갖는 것이 바람직하며, 산가가 20mgKOH/g∼120mgKOH/g인 것이 바람직하고, 30mgKOH/g∼110mgKOH/g인 것이 보다 바람직하며, 35mgKOH/g∼100mgKOH/g이 특히 바람직하다.Since the presence of such a carboxyl group can give a polyurethane resin the characteristics of hydrogen bondability and alkali solubility, it is preferable. More specifically, it is preferable that the polyurethane resin which has an ethylenically unsaturated bond group in the said side chain is resin which has a carboxyl group in a side chain, More specifically, it is preferable that the vinyl group of a side chain is 0.05 mmol / g-1.80 mmol / g, and 0.5 It is more preferable that it is mmol / g-1.80 mmol / g, It is especially preferable that it is 0.75 mmol / g-1.60 mmol / g, It is preferable to have a carboxyl group in a side chain, It is preferable that an acid value is 20 mgKOH / g-120 mgKOH / g. It is more preferable that it is 30 mgKOH / g-110 mgKOH / g, and 35 mgKOH / g-100 mgKOH / g are especially preferable.

또한, 측쇄에 에틸렌성 불포화 결합을 갖는 폴리우레탄 수지의 합성에는, 상술한 디올 화합물 이외에 테트라카르복실산 2무수물을 디올 화합물로 개환시킨 화합물을 병용할 수도 있다.In addition, in the synthesis | combination of the polyurethane resin which has an ethylenically unsaturated bond in a side chain, the compound which ring-opened tetracarboxylic dianhydride to a diol compound can also be used together in addition to the diol compound mentioned above.

상기 테트라카르복실산 2무수물을 디올 화합물로 개환시킨 화합물로서는 특별히 제한은 없고, 목적에 따라서 적당하게 선택할 수 있으며, 예를 들면 일본 특허 공개 2005-250438호 공보의 단락 [0095]∼[0101]에 기재된 화합물 등을 들 수 있다.There is no restriction | limiting in particular as a compound which ring-opened the said tetracarboxylic dianhydride with a diol compound, According to the objective, it can select suitably, For example, Paragraph [0095]-[0101] of Unexamined-Japanese-Patent No. 2005-250438 The compound described is mentioned.

상기 측쇄에 에틸렌성 불포화 결합을 갖는 폴리우레탄 수지는 상기 디이소시아네이트 화합물 및 디올 화합물을, 비프로톤성 용매 중, 각각의 반응성에 따른 활성의 공지의 촉매를 첨가하고, 가열함으로써 합성된다. 합성에 사용되는 디이소시아네이트 및 디올 화합물의 몰비(Ma:Mb)로서는 특별히 제한은 없고, 목적에 따라서 적당하게 선택할 수 있으며, 1:1∼1.2:1이 바람직하고, 알코올류 또는 아민류 등으로 처리함으로써 분자량 또는 점도라는 소망의 물성 생성물이 최종적으로 이소시아네이트기가 잔존하지 않는 형태로 합성된다.The polyurethane resin which has an ethylenically unsaturated bond in the said side chain is synthesize | combined by adding the said diisocyanate compound and a diol compound in the aprotic solvent, the well-known catalyst of the activity according to each reactivity, and heating. 1 are preferred, and alcohols or amines, such as the molar ratio of diisocyanate and diol compounds used in synthesis (M a: M b) is not particularly limited and can be suitably selected according to the purpose, 1: 1 to 1.2 By treatment, the desired physical product of molecular weight or viscosity is finally synthesized in such a form that no isocyanate groups remain.

상기 에틸렌성 불포화 결합기의 상기 측쇄에 에틸렌성 불포화 결합을 갖는 폴리우레탄 수지에 있어서의 도입량으로서는 특별히 제한은 없고, 목적에 따라서 적당하게 선택할 수 있지만, 비닐기 당량으로서는 0.05mmol/g∼1.80mmol/g이 바람직하고, 0.5mmol/g∼1.80mmol/g이 보다 바람직하며, 0.75mmol/g∼1.60mmol/g이 특히 바람직하다. 또한, 상기 측쇄에 에틸렌성 불포화 결합을 갖는 폴리우레탄 수지에는 상기 에틸렌성 불포화 결합기와 함께 측쇄에 카르복실기가 도입되어 있는 것이 바람직하다. 산가로서는 20mgKOH/g∼120mgKOH/g이 바람직하고, 30mgKOH/g∼110mgKOH/g이 보다 바람직하며, 35mgKOH/g∼100mgKOH/g이 특히 바람직하다.There is no restriction | limiting in particular as the introduction amount in the polyurethane resin which has an ethylenically unsaturated bond in the said side chain of the said ethylenically unsaturated bond group, Although it can select suitably according to the objective, As a vinyl group equivalent, it is 0.05 mmol / g-1.80 mmol / g This is preferable, 0.5 mmol / g-1.80 mmol / g are more preferable, 0.75 mmol / g-1.60 mmol / g are especially preferable. Moreover, it is preferable that the carboxyl group is introduce | transduced in the side chain with the said ethylenically unsaturated bond group in the polyurethane resin which has an ethylenically unsaturated bond in the said side chain. As acid value, 20 mgKOH / g-120 mgKOH / g are preferable, 30 mgKOH / g-110 mgKOH / g are more preferable, 35 mgKOH / g-100 mgKOH / g are especially preferable.

상기 측쇄에 에틸렌성 불포화 결합을 갖는 폴리우레탄 수지의 중량 평균 분자량으로서는 특별히 제한은 없고, 목적에 따라서 적당하게 선택할 수 있지만, 5,000∼50,000이 바람직하고, 5,000∼30,000이 보다 바람직하다. 특히, 본 발명의 감광성 조성물을 감광성 솔더레지스트에 사용했을 경우에는 무기충전제와의 분산성이 뛰어나고, 크랙 내성과 내열성에도 뛰어나며, 알칼리성 현상액에 의한 비화상부의 현상성이 우수하다.There is no restriction | limiting in particular as a weight average molecular weight of the polyurethane resin which has an ethylenically unsaturated bond in the said side chain, Although it can select suitably according to the objective, 5,000-50,000 are preferable and 5,000-30,000 are more preferable. In particular, when the photosensitive composition of the present invention is used for a photosensitive soldering resist, it is excellent in dispersibility with an inorganic filler, excellent in crack resistance and heat resistance, and excellent in developability of a non-image portion by an alkaline developer.

또한, 상기 측쇄에 에틸렌성 불포화 결합을 갖는 폴리우레탄 수지로서는 폴리머 말단, 주쇄에 불포화기를 갖는 것도 바람직하게 사용된다. 폴리머 말단, 주쇄에 불포화기를 가짐으로써, 또한 감광성 조성물과 측쇄에 에틸렌성 불포화 결합을 갖는 폴리우레탄 수지와의 사이, 또는 측쇄에 에틸렌성 불포화 결합을 갖는 폴리우레탄 수지 사이에서 가교 반응성이 향상되고, 광경화물 강도가 증가한다. 여기에서, 불포화기로서는 가교 반응의 일어나기 용이함으로부터 탄소-탄소 이중결합을 갖는 것이 특히 바람직하다.Moreover, as a polyurethane resin which has an ethylenically unsaturated bond in the said side chain, what has an unsaturated group in a polymer terminal and a main chain is used preferably. Crosslinking reactivity is improved by having a polymer terminal and an unsaturated group in a main chain, and also between the photosensitive composition and the polyurethane resin which has an ethylenically unsaturated bond in a side chain, or between the polyurethane resin which has an ethylenically unsaturated bond in a side chain, Cargo strength increases Here, as an unsaturated group, what has a carbon-carbon double bond is especially preferable from the tendency of a crosslinking reaction to occur.

폴리머 말단에 불포화기를 도입하는 방법으로서는 이하에 나타내는 방법이 있다. 즉, 상술한 측쇄에 에틸렌성 불포화 결합을 갖는 폴리우레탄 수지의 합성의 공정에서의, 폴리머 말단의 잔존 이소시아네이트기와, 알코올류 또는 아민류 등으로 처리하는 공정에 있어서 불포화기를 갖는 알코올류 또는 아민류 등을 사용하면 좋다. 이러한 화합물로서는, 구체적으로는 앞서 불포화기를 갖는 단관능의 알코올 또는 단관능의 아민 화합물로서 예시된 예시 화합물과 같은 것을 들 수 있다.As a method of introducing an unsaturated group into a polymer terminal, there exists a method shown below. That is, in the process of synthesis | combining the polyurethane resin which has an ethylenically unsaturated bond in the above-mentioned side chain, the alcohol or amines etc. which have an unsaturated group are used in the process of processing with the residual isocyanate group of a polymer terminal, alcohol, amines, etc. Do it. As such a compound, the thing similar to the exemplary compound illustrated previously as monofunctional alcohol or monofunctional amine compound which has an unsaturated group is mentioned specifically ,.

또한, 불포화기는 도입량의 제어가 용이해서 도입량을 늘릴 수 있고, 또한, 가교 반응 효율이 향상된다고 하는 관점으로부터 폴리머 말단보다 폴리머 측쇄에 도입되는 것이 바람직하다.Moreover, it is preferable that an unsaturated group is introduce | transduced into a polymer side chain rather than a polymer terminal from a viewpoint that the introduction amount can be controlled easily, an introduction amount can be increased, and crosslinking reaction efficiency improves.

도입되는 에틸렌성 불포화 결합기로서는 특별히 제한은 없고, 목적에 따라서 적당하게 선택할 수 있지만, 가교 경화막 형성성의 점에서 메타크릴로일기, 아크릴로일기, 스티릴기가 바람직하고, 메타크릴로일기, 아크릴로일기가 보다 바람직하며, 가교 경화막의 형성성과 생보존성의 양립의 점에서 메타크릴로일기가 특히 바람직하다.There is no restriction | limiting in particular as an ethylenically unsaturated bond group introduce | transduced, Although it can select suitably according to the objective, From a point of crosslinking cured film formation property, a methacryloyl group, an acryloyl group, a styryl group is preferable, and a methacryloyl group and an acryl A diary is more preferable, and a methacryloyl group is especially preferable at the point of both the formation of a crosslinked cured film, and a biopreservation property.

또한, 메타크릴로일기의 도입량으로서는 특별히 제한은 없고, 목적에 따라서 적당하게 선택할 수 있지만, 비닐기 당량으로서는 0.05mmol/g∼1.80mmol/g이 바람직하고, 0.5mmol/g∼1.80mmol/g이 보다 바람직하며, 0.75m mo1/g∼1.60mmol/g이 특히 바람직하다.There is no restriction | limiting in particular as an introduction amount of a methacryloyl group, Although it can select suitably according to the objective, As vinyl group equivalent, 0.05 mmol / g-1.80 mmol / g are preferable, and 0.5 mmol / g-1.80 mmol / g are More preferably, 0.75 m mo1 / g-1.60 mmol / g are especially preferable.

주쇄에 불포화기를 도입하는 방법으로서는 주쇄 방향으로 불포화기를 갖는 디올 화합물을 폴리우레탄 수지의 합성에 사용하는 방법이 있다. 상기 주쇄 방향으로 불포화기를 갖는 디올 화합물로서는 특별히 제한은 없고, 목적에 따라서 적당하게 선택할 수 있으며, 예를 들면 cis-2-부텐-1,4-디올、 trans-2-부텐-1,4-디올, 폴리부타디엔디올 등을 들 수 있다.As a method of introducing an unsaturated group into the main chain, there is a method of using a diol compound having an unsaturated group in the main chain direction for the synthesis of a polyurethane resin. There is no restriction | limiting in particular as a diol compound which has an unsaturated group in the said main chain direction, According to the objective, it can select suitably, For example, cis-2-butene-1,4-diol, trans-2-butene-1,4-diol And polybutadiene diols.

상기 측쇄에 에틸렌성 불포화 결합을 갖는 폴리우레탄 수지는 상기 특정 폴리우레탄 수지와는 다른 구조를 갖는 폴리우레탄 수지를 포함하는 알칼리 가용성 고분자를 병용하는 것도 가능하다. 예를 들면 상기 측쇄에 에틸렌성 불포화 결합을 갖는 폴리우레탄 수지는 주쇄 및/또는 측쇄에 방향족기를 함유한 폴리우레탄 수지를 병용하는 것이 가능하다.The polyurethane resin which has an ethylenically unsaturated bond in the said side chain can also use together alkali-soluble polymer containing the polyurethane resin which has a structure different from the said specific polyurethane resin. For example, the polyurethane resin which has an ethylenically unsaturated bond in the said side chain can use together the polyurethane resin which contained the aromatic group in the main chain and / or the side chain.

상기 (i) 측쇄에 에틸렌성 불포화 결합을 갖는 폴리우레탄 수지의 구체예로서는, 예를 들면 일본 특허 공개 2005-250438호 공보의 단락 [0293]∼[0310]에 나타내어진 P-1∼P-31의 폴리머 등을 들 수 있다. 이들 중에서도 단락 [0308] 및 [0309]에 나타내어진 P-27 및 P-28의 폴리머가 바람직하다.As a specific example of the polyurethane resin which has an ethylenically unsaturated bond in said (i) side chain, For example, P-1-P-31 of Paragraph [0293]-[0310] of Unexamined-Japanese-Patent No. 2005-250438 are mentioned. Polymers; Among these, polymers of P-27 and P-28 shown in paragraphs [0308] and [0309] are preferable.

-(ii) 카르복실기 함유 폴리우레탄과 분자 중에 에폭시기와 비닐기를 갖는 화합물을 반응시켜서 얻어지는 폴리우레탄 수지--(ii) polyurethane resin obtained by making a compound which has an epoxy group and a vinyl group react in a carboxyl group-containing polyurethane and a molecule |

상기 폴리우레탄 수지는 디이소시아네이트와 카르복실산기 함유 디올을 필수 성분으로 하는 카르복실기 함유 폴리우레탄과, 분자 중에 에폭시기와 비닐기를 갖는 화합물을 반응시켜서 얻어지는 폴리우레탄 수지이다. 목적에 따라서, 디올 성분으로서 중량 평균 분자량 300 이하의 저분자 디올이나 중량 평균 분자량 500 이상의 저분자 디올을 공중합 성분으로서 첨가해도 된다.The said polyurethane resin is a polyurethane resin obtained by making the carboxyl group-containing polyurethane which makes a diisocyanate and carboxylic acid group containing diol an essential component, and the compound which has an epoxy group and a vinyl group in a molecule | numerator react. According to the objective, you may add the low molecular weight diol of a weight average molecular weight 300 or less and the low molecular weight diol of 500 or more of weight average molecular weight as a copolymerization component as a diol component.

상기 폴리우레탄 수지를 사용함으로써 무기충전제와의 안정된 분산성이나 내 크랙성이나 내충격성에 뛰어나기 때문에 내열성, 내습열성, 밀착성, 기계 특성, 전기 특성이 향상된다.By using the polyurethane resin, it is excellent in stable dispersibility, crack resistance, and impact resistance with the inorganic filler, so that heat resistance, moisture heat resistance, adhesion, mechanical properties, and electrical properties are improved.

또한, 상기 폴리우레탄 수지로서는 치환기를 갖고 있어도 되는 2가의 지방족 및 방향족 탄화수소의 디이소시아네이트와, C원자 및 N원자 중 어느 하나를 개재해서 COOH기와 2개의 OH기를 갖는 카르복실산 함유 디올을 필수성분으로 한 반응물로서, 얻어진 반응물과, -CO0- 결합을 통해서 분자 중에 에폭시기와 비닐기를 갖는 화합물을 반응시켜서 얻어지는 것이라도 된다.As the polyurethane resin, a diisocyanate of a divalent aliphatic and aromatic hydrocarbon which may have a substituent and a carboxylic acid-containing diol having a COOH group and two OH groups via any one of C and N atoms as essential components As one reactant, the obtained reactant may be obtained by reacting a compound having an epoxy group and a vinyl group in a molecule through a -CO0- bond.

또한, 상기 폴리우레탄 수지로서는 하기 일반식(I)으로 나타내어지는 디이소시아네이트와, 하기 일반식(II-1)∼(II-3)으로 나타내어지는 카르복실산기 함유 디올로부터 선택된 적어도 1종을 필수성분으로 하고, 목적에 따라서 하기 일반식(III-1)∼(III-5)으로 나타내어지는 중량 평균 분자량이 800∼3,000의 범위에 있는 고분자 디올로부터 선택된 적어도 1종과의 반응물이며, 얻어진 반응물과, 하기 일반식(IV-1)∼(IV-16)으로 나타내어지는 분자 중에 에폭시기와 비닐기를 갖는 화합물을 반응시켜서 얻어지는 것이라도 된다.Moreover, as said polyurethane resin, at least 1 sort (s) chosen from diisocyanate represented by the following general formula (I) and carboxylic acid group containing diol represented by the following general formula (II-1)-(II-3) is an essential component. According to the objective, the weight average molecular weight represented by following General formula (III-1)-(III-5) is a reactant with at least 1 sort (s) chosen from the polymeric diol in the range of 800-3,000, and the obtained reactant, What is obtained by making the compound which has an epoxy group and a vinyl group react in the molecule | numerator represented by following General formula (IV-1)-(IV-16) may be sufficient.

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단, 상기 일반식(I) 중, R1은 치환기(예를 들면 알킬기, 아랄킬기, 아릴기, 알콕시기, 할로게노기 중 어느 하나가 바람직하다)를 갖고 있어도 되는 2가의 지방족 또는 방향족 탄화수소를 나타낸다. 필요에 따라, 상기 R1은 이소시아네이트기와 반응하지 않는 다른 관능기, 예를 들면 에스테르기, 우레탄기, 아미드기, 우레이도기 중 어느 하나를 갖고 있어도 된다. 상기 일반식(I) 중, R2는 수소원자, 치환기[예를 들면 시아노기, 니트로기, 할로겐 원자(-F, -Cl, -Br, -I), -CONH2, -COOR6, -OR6, -NHCONHR6, -NHCOOR6, -NHCOR6, -OCONHR6, CONHR6(여기에서, R6은 탄소수 1∼10의 알킬기, 탄소수 7∼15의 아랄킬기 중 어느 하나를 나타낸다) 등의 각 기가 포함된다]를 갖고 있어도 되는 알킬기, 아랄킬기, 아릴기, 알콕시기, 또는 아릴옥시기를 나타낸다. 이들 중에서도 수소원자, 탄소수 1개∼3개의 알킬기, 탄소수 6개∼15개의 아릴기가 바람직하다. 상기 일반식(II-1) 및 일반식(II-2) 중, R3, R4 및 R5는 각각 동일하여도 달라고 되고, 단결합, 치환기(예를 들면 알킬기, 아랄킬기, 아릴기, 알콕시기, 할로게노기의 각 기가 바람직하다)를 갖고 있어도 되는 2가의 지방족 또는 방향족 탄화수소를 나타낸다. 이들 중에서도 탄소수 1∼20개의 알킬렌기, 탄소수 6∼15개의 아릴렌기가 바람직하고, 탄소수 1∼8개의 알킬렌기가 더욱 바람직하다. 또한 필요에 따라, 상기 R3, R4 및 R5 중에 이소시아네이트기와 반응하지 않는 다른 관능기, 예를 들면 카르보닐기, 에스테르기, 우레탄기, 아미드기, 우레이도기, 에테르기 중 어느 하나를 갖고 있어도 된다. 또한, 상기 R2, R3, R4 및 R5 중의 2개 또는 3개로 환을 형성해도 좋다. Ar은 치환기를 갖고 있어도 되는 3가의 방향족 탄화수소를 나타내고, 탄소수 6개∼15개의 방향족기가 바람직하다. However, in said general formula (I), R <1> represents the bivalent aliphatic or aromatic hydrocarbon which may have a substituent (for example, any one of an alkyl group, an aralkyl group, an aryl group, an alkoxy group, and a halogeno group is preferable). Indicates. As needed, said R <1> may have any other functional group which does not react with an isocyanate group, for example, ester group, urethane group, amide group, and ureido group. In General Formula (I), R 2 represents a hydrogen atom, a substituent [for example, a cyano group, a nitro group, a halogen atom (-F, -Cl, -Br, -I), -CONH 2 , -COOR 6 ,- OR 6 , -NHCONHR 6 , -NHCOOR 6 , -NHCOR 6 , -OCONHR 6 , CONHR 6 (wherein R 6 represents an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms or an aralkyl group having 7 to 15 carbon atoms) Each group is included]. It represents an alkyl group, an aralkyl group, an aryl group, an alkoxy group, or an aryloxy group which may have. Among these, a hydrogen atom, a C1-C3 alkyl group, and a C6-C15 aryl group are preferable. In said general formula (II-1) and general formula (II-2), R <3> , R <4> and R <5> may be the same respectively, and may be a single bond, a substituent (for example, an alkyl group, an aralkyl group, an aryl group, The divalent aliphatic or aromatic hydrocarbon which may have an alkoxy group and a halogeno group is preferable). Among these, a C1-C20 alkylene group and a C6-C15 arylene group are preferable, and a C1-C8 alkylene group is more preferable. Moreover, as needed, you may have other functional groups which do not react with an isocyanate group in said R <3> , R <4> and R <5> , for example, a carbonyl group, ester group, a urethane group, an amide group, a ureido group, and an ether group. In addition, you may form a ring by two or three of said R <2> , R <3> , R <4> and R <5> . Ar represents the trivalent aromatic hydrocarbon which may have a substituent, and a C6-C15 aromatic group is preferable.

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단, 상기 일반식(III-1)∼(III-3) 중, R7, R8, R9, R10 및 R11은 각각 동일하여도 좋고, 달라도 좋으며, 2가의 지방족 또는 방향족 탄화수소를 나타낸다. 상기 R7, R9, R10 및 Rl1은 각각 탄소수 2개∼20개의 알킬렌기 또는 탄소수 6개∼15개의 아릴렌기가 바람직하고, 탄소수 2개∼10개의 알킬렌 또는 탄소수 6개∼10개의 아릴렌기가 보다 바람직하다. 상기 R8은 탄소수 1개∼20개의 알킬렌기 또는 탄소수 6개∼15개의 아릴렌기를 나타내고, 탄소수 1개∼10개의 알킬렌 또는 탄소수 6개∼10개의 아릴렌기가 보다 바람직하다. 또한, 상기 R7, R8, R9, R10 및 R11 중에는 이소시아네이트기와 반응하지 않는 다른 관능기, 예를 들면 에테르기, 카르보닐기, 에스테르기, 시아노기, 올레핀기, 우레탄기, 아미드기, 우레이도기, 또는 할로겐 원자 등이 있어도 된다. 상기 일반식(III-4) 중, R12는 수소원자, 알킬기, 아릴기, 아랄킬기, 시아노기 또는 할로겐 원자를 나타낸다. 수소원자, 탄소수 1개∼10개의 알킬기, 탄소수 6개∼15개의 아릴기, 탄소수 7개∼15개의 아랄킬, 시아노기 또는 할로겐 원자가 바람직하고, 수소원자, 탄소수 1개∼6개의 알킬 및 탄소수 6개∼10개의 아릴기가 보다 바람직하다. 또한, 상기 R12 중에는 이소시아네이트기와 반응하지 않는 다른 관능기, 예를 들면 알콕시기, 카르보닐기, 올레핀기, 에스테르기 또는 할로겐 원자 등이 있어도 된다.However, in General Formulas (III-1) to (III-3), R 7 , R 8 , R 9 , R 10 and R 11 may be the same as or different from each other and represent a divalent aliphatic or aromatic hydrocarbon. . R 7 , R 9 , R 10 and R 1 are each preferably a C 2-20 alkylene group or a C 6-15 arylene group, each having 2 to 10 alkylenes or 6 to 10 carbon atoms. Arylene group is more preferable. R <8> represents a C1-C20 alkylene group or a C6-C15 arylene group, and its C1-C10 alkylene or a C6-C10 arylene group is more preferable. In addition, in R 7 , R 8 , R 9 , R 10 and R 11 , other functional groups which do not react with isocyanate groups, such as ether groups, carbonyl groups, ester groups, cyano groups, olefin groups, urethane groups, amide groups, and urea Pottery, a halogen atom, etc. may be sufficient. In General Formula (III-4), R 12 represents a hydrogen atom, an alkyl group, an aryl group, an aralkyl group, a cyano group, or a halogen atom. Hydrogen atom, C1-C10 alkyl group, C6-C15 aryl group, C6-C15 aralkyl, cyano group, or halogen atom is preferable, Hydrogen atom, C1-C6 alkyl, and C6 More preferably, 10 to 10 aryl groups are used. Moreover, in said R <12> , another functional group which does not react with an isocyanate group, for example, an alkoxy group, a carbonyl group, an olefin group, an ester group, or a halogen atom may be sufficient.

상기 일반식(III-5) 중, R13은 아릴기 또는 시아노기를 나타내고, 탄소수 6개∼10개의 아릴기 또는 시아노기가 바람직하다. 상기 일반식(III-4) 중, m은 2∼4의 정수를 나타낸다. 상기 일반식(III-1)∼(III-5) 중, n1, n2, n3, n4 및 n5는 각각 2 이상의 정수를 나타내고, 2∼100의 정수가 바람직하다. 상기 일반식(III-5) 중, n6은 0 또는 2 이상의 정수를 나타내고, 0 또는 2∼100의 정수가 바람직하다.In said general formula (III-5), R <13> represents an aryl group or a cyano group, and a C6-C10 aryl group or cyano group is preferable. M represents the integer of 2-4 in the said General formula (III-4). In the general formulas (III-1) to (III-5), n 1 , n 2 , n 3 , n 4 and n 5 each represent an integer of 2 or more, and an integer of 2 to 100 is preferable. In said general formula (III-5), n <6> represents the integer of 0 or 2 or more, and the integer of 0 or 2-100 is preferable.

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단, 상기 일반식(IV-1)∼(IV-16) 중, R14는 수소원자 또는 메틸기를 나타내고, R15는 탄소수 1∼10의 알킬렌기를 나타내고, R16은 탄소수 1∼10의 탄화수소기를 나타낸다. p는 0 또는 1∼10의 정수를 나타낸다.In the formulas (IV-1) to (IV-16), R 14 represents a hydrogen atom or a methyl group, R 15 represents an alkylene group having 1 to 10 carbon atoms, and R 16 represents a hydrocarbon having 1 to 10 carbon atoms. Group. p represents the integer of 0 or 1-10.

또한, 상기 폴리우레탄 수지는 또한 제 5 성분으로서, 카르복실산기 비함유의 저분자량 디올을 공중합시켜도 되고, 상기 저분자량 디올로서는 상기 일반식(III-1)∼(III-5)으로 나타내어지고, 중량 평균 분자량이 500 이하인 것이다. 상기 카르복실산기 비함유 저분자량 디올은 알칼리 용해성이 저하되지 않는 한, 또한 경화막의 탄성율이 충분히 낮게 유지할 수 있는 범위에서 첨가할 수 있다.Further, the polyurethane resin may further copolymerize a low molecular weight diol containing no carboxylic acid group as the fifth component, and are represented by the general formulas (III-1) to (III-5) as the low molecular weight diol, The weight average molecular weight is 500 or less. The said carboxylic acid group-containing low molecular weight diol can be added in the range which can maintain the elasticity modulus of a cured film sufficiently low, as long as alkali solubility does not fall.

상기 폴리우레탄 수지로서는, 특히 상기 일반식(I)으로 나타내어지는 디이소시아네이트와, 일반식(II-1)∼(II-3)으로 나타내어지는 카르복실산기 함유 디올에서 선택된 적어도 1종을 필수성분으로 하고, 목적에 따라서 일반식(III-1)∼(III-5)으로 나타내어지는 중량 평균 분자량이 800∼3,000의 범위에 있는 고분자 디올 로부터 선택된 적어도 1종이나, 일반식(III-1)∼(III-5)으로 나타내어지는 중량 평균 분자량이 500 이하의 카르복실산기 비함유의 저분자량 디올과의 반응물에, 또한 일반식(IV-1)∼(IV-16) 중 어느 하나로 나타내어지는 분자 중에 1개의 에폭시기와 적어도 1개의 (메타)아크릴기를 갖는 화합물을 반응해서 얻어지는, 산가가 20mgKOH/g∼120mgKOH/g인 알칼리 가용성 광가교성 폴리우레탄 수지가 바람직하다.Especially as said polyurethane resin, at least 1 sort (s) chosen from the diisocyanate represented by said general formula (I) and the carboxylic acid group containing diol represented by general formula (II-1)-(II-3) as an essential component According to the purpose, the weight average molecular weight represented by the general formulas (III-1) to (III-5) is at least one selected from polymer diols in the range of 800 to 3,000, or general formulas (III-1) to ( 1 in the molecule represented by any one of general formulas (IV-1) to (IV-16) in a reaction product with a low molecular weight diol having a weight average molecular weight of III-5) and a carboxylic acid group-free group having 500 or less. The alkali-soluble photocrosslinkable polyurethane resin whose acid value is 20 mgKOH / g-120 mgKOH / g obtained by reacting the compound which has two epoxy groups and at least 1 (meth) acryl group is preferable.

이들 고분자 화합물은 단독으로 사용해도 되고, 2종 이상을 병용해도 좋다. 감광성 조성물 등의 전체 고형분 중에 포함되는 상기 산변성 비닐기 함유 폴리우레탄 수지의 함유량으로서는 2질량%∼30질량%가 바람직하고, 5질량%∼25질량%가 보다 바람직하다. 상기 함유량이 2질량% 미만에서는 경화막의 고온시의 충분한 저탄성율이 얻어지지 않는 경우가 있고, 30질량%를 초과하면 현상성 열화나 경화막의 강인성 저하가 일어날 경우가 있다.These high molecular compounds may be used independently and may use 2 or more types together. As content of the said acid-modified vinyl-group containing polyurethane resin contained in total solids, such as a photosensitive composition, 2 mass%-30 mass% are preferable, and 5 mass%-25 mass% are more preferable. When the said content is less than 2 mass%, sufficient low modulus at the time of high temperature of a cured film may not be obtained, and when it exceeds 30 mass%, developability deterioration and toughness fall of a cured film may occur.

-카르복실기 함유 폴리우레탄과 분자 중에 에폭시기와 비닐기를 갖는 화합물을 반응시켜서 얻어지는 폴리우레탄 수지의 합성법-Synthesis method of polyurethane resin obtained by reacting carboxyl group-containing polyurethane with a compound having an epoxy group and a vinyl group in a molecule-

상기 폴리우레탄 수지의 합성 방법으로서는 상기 디이소시아네이트 화합물 및 디올 화합물을 비프로톤성 용매 중, 각각의 반응성에 따른 활성의 공지인 촉매를 첨가하고, 가열함으로써 합성된다. 사용하는 디이소시아네이트 및 디올 화합물의 몰비는 바람직하게는 0.8:1∼1.2:1이며, 폴리머 말단에 이소시아네이트기가 잔존했을 경우, 알코올류 또는 아민류 등으로 처리함으로써 최종적으로 이소시아네이트기가 잔존하지 않는 형태로 합성된다.As a synthesis method of the said polyurethane resin, the said diisocyanate compound and a diol compound are synthesize | combined by adding the well-known catalyst of the activity according to each reactivity in an aprotic solvent, and heating. The molar ratio of the diisocyanate to be used and the diol compound is preferably 0.8: 1 to 1.2: 1. When an isocyanate group remains at the polymer terminal, the molar ratio of the diisocyanate and diol compound to be used is synthesized in the form in which the isocyanate group does not finally remain by treating with an alcohol or an amine. .

--디이소시아네이트----Diisocyanate--

상기 일반식(I)으로 나타내어지는 디이소시아네이트 화합물로서는 특별히 제한은 없고, 목적에 따라서 적당하게 선택할 수 있으며, 예를 들면 일본 특허 공개 2007-2030호 공보의 단락 [0021]에 기재된 화합물 등을 들 수 있다.There is no restriction | limiting in particular as a diisocyanate compound represented by the said General formula (I), According to the objective, it can select suitably, For example, the compound etc. of Paragraph [0021] of Unexamined-Japanese-Patent No. 2007-2030 are mentioned. have.

--고분자량 디올----High molecular weight diols--

상기 일반식(III-1)∼(III-5)으로 나타내어지는 고분자량 디올 화합물로서는 특별히 제한은 없고, 목적에 따라서 적당하게 선택할 수 있으며, 예를 들면 일본 특허 공개 2007-2030호 공보의 단락 [0022]∼[0046]에 기재된 화합물 등을 들 수 있다.There is no restriction | limiting in particular as a high molecular weight diol compound represented by said general formula (III-1)-(III-5), According to the objective, it can select suitably, For example, Paragraph of Unexamined-Japanese-Patent No. 2007-2030 [ The compound described in 0022]-[0046], etc. are mentioned.

--카르복실산기 함유 디올----Carboxylic acid group-containing diols--

또한, 상기 일반식(I1-1)∼(II-3)으로 나타내어지는 카르복실기를 갖는 디올 화합물로서는 특별히 제한은 없고, 목적에 따라서 적당하게 선택할 수 있으며, 예를 들면 일본 특허 공개 2007-2030호 공보의 단락 [0047]에 기재된 화합물 등을 들 수 있다.Moreover, there is no restriction | limiting in particular as a diol compound which has a carboxyl group represented by said general formula (I1-1)-(II-3), According to the objective, it can select suitably, For example, Unexamined-Japanese-Patent No. 2007-2030. The compound described in paragraph [0047], etc. are mentioned.

--카르복실산기 비함유 저분자량 디올--Low molecular weight diols containing no carboxylic acid groups

상기 카르복실산기 비함유 저분자량 디올로서는 특별히 제한은 없고, 목적에 따라서 적당하게 선택할 수 있으며, 예를 들면 일본 특허 공개 2007-2030호 공보의 단락 [0048]에 기재된 화합물 등을 들 수 있다.There is no restriction | limiting in particular as said carboxylic acid group-containing low molecular weight diol, According to the objective, it can select suitably, For example, the compound etc. of Paragraph [0048] of Unexamined-Japanese-Patent No. 2007-2030 are mentioned.

상기 카르복실산기 비함유 디올의 공중합량으로서는 저분자량 디올 중의 95몰% 이하가 바람직하고, 80몰% 이하가 보다 바람직하며, 50몰% 이하가 특히 바람직하다. 상기 공중합량이 95몰%를 초과하면 현상성이 좋은 우레탄 수지가 얻어지지 않는 경우가 있다.As a copolymerization amount of the said carboxylic acid group free diol, 95 mol% or less in a low molecular weight diol is preferable, 80 mol% or less is more preferable, 50 mol% or less is especially preferable. When the said copolymerization amount exceeds 95 mol%, the urethane resin with favorable developability may not be obtained.

상기 (ii) 카르복실기 함유 폴리우레탄과 분자 중에 에폭시기와 비닐기를 갖는 화합물을 반응시켜서 얻어지는 폴리우레탄 수지의 구체예로서는, 예를 들면 일본 특허 공개 2007-2030호 공보의 단락 [0314]∼[0315]에 나타내어진 U1∼U4, U6∼U11의 폴리머에 있어서의 에폭시기 및 비닐기 함유 화합물로서의 글리시딜아크릴레이트를, 글리시딜메타크릴레이트, 3,4-에폭시시클로헥실메틸아크릴레이트(상품명:사이크로머 A400, 다이셀 카가쿠 가부시키가이샤제), 3,4-에폭시시클로헥실메틸메타크릴레이트(상품명:사이크로머 M400, 다이셀 카가쿠 가부시키가이샤제)로 대신한 폴리머 등을 들 수 있다.As a specific example of the polyurethane resin obtained by making the said (ii) carboxyl group-containing polyurethane react with the compound which has an epoxy group and a vinyl group in a molecule | numerator, it shows, for example in Paragraph [0314]-[0315] of Unexamined-Japanese-Patent No. 2007-2030. Glycidyl acrylate as the epoxy group and the vinyl group-containing compound in the polymers of U1 to U4 and U6 to U11, glycidyl methacrylate and 3,4-epoxycyclohexylmethyl acrylate (trade name: cyclomer A400 And polymers substituted by Daicel Kagaku Co., Ltd., 3,4-epoxycyclohexylmethyl methacrylate (trade name: Cycler M400, manufactured by Daicel Kagaku Co., Ltd.), and the like.

-산변성 비닐기 함유 폴리우레탄 수지의 함유량-Content of acid-modified vinyl group-containing polyurethane resin

상기 산변성 비닐기 함유 폴리우레탄 수지의 상기 감광성 조성물에 있어서의 함유량으로서는 특별히 제한은 없고, 목적에 따라서 적당하게 선택할 수 있지만, 5질량%∼80질량%가 바람직하고, 20질량%∼75질량%가 보다 바람직하며, 30질량%∼70질량%가 특히 바람직하다.There is no restriction | limiting in particular as content in the said photosensitive composition of the said acid-modified vinyl-group containing polyurethane resin, Although it can select suitably according to the objective, 5 mass%-80 mass% are preferable, 20 mass%-75 mass% Is more preferable, and 30 mass%-70 mass% are especially preferable.

상기 함유량이 5질량% 미만이면 내크랙성이 양호하게 유지될 수 없는 경우가 있고, 80질량%를 초과하면 내열성이 파탄을 초래할 경우가 있다. 한편, 상기 함유량이 상기 특히 바람직한 범위 내이면 양호한 내크랙성과 내열성의 양립의 점에서 유리하다.If the said content is less than 5 mass%, crack resistance may not be maintained favorable, and when it exceeds 80 mass%, heat resistance may cause breakage. On the other hand, when the said content is in the said especially preferable range, it is advantageous at the point of compatible both crack resistance and heat resistance.

-산변성 비닐기 함유 폴리우레탄 수지의 중량 평균 분자량-Weight-average molecular weight of acid-modified vinyl group-containing polyurethane resin

상기 산변성 비닐기 함유 폴리우레탄 수지의 중량 평균 분자량으로서는 특별히 제한은 없고, 목적에 따라서 적당하게 선택할 수 있지만, 5,000∼60,000이 바람직하고, 5,000∼50,000이 보다 바람직하며, 5,000∼30,000이 특히 바람직하다. 상기 중량 평균 분자량이 5,000 미만이면 경화막의 고온시의 충분한 저탄성율이 얻어지지 않는 경우가 있고, 60,000을 초과하면 도포적성 및 현상성이 악화될 경우가 있다.There is no restriction | limiting in particular as a weight average molecular weight of the said acid-modified vinyl-group containing polyurethane resin, Although it can select suitably according to the objective, 5,000-60,000 are preferable, 5,000-50,000 are more preferable, 5,000-30,000 are especially preferable. . When the said weight average molecular weight is less than 5,000, sufficient low elastic modulus at the time of high temperature of a cured film may not be obtained, and when it exceeds 60,000, applicability and developability may deteriorate.

또한, 상기 중량 평균 분자량은, 예를 들면 고속 GPC 장치(토요소다사제, HLC-802A)를 사용하고, 0.5질량%의 THF 용액을 시료용액으로 하며, 컬럼은 TSKgel HZM-M 1개를 사용하고, 200μL의 시료를 주입하고, 상기 THF 용액으로 용리하여 25℃에서 굴절률 검출기 또는 UV 검출기(검출 파장 254㎚)에 의해 측정할 수 있다. 이어서, 표준 폴리스티렌으로 교정한 분자량 분포 곡선으로부터 중량 평균 분자량을 구했다.In addition, the said weight average molecular weight uses a high-speed GPC apparatus (made by Toureda Co., Ltd., HLC-802A), for example, 0.5 mass% THF solution as a sample solution, and uses 1 TSKgel HZM-M as a column. , 200 μL of sample can be injected, eluted with the THF solution, and measured at 25 ° C. with a refractive index detector or UV detector (detection wavelength 254 nm). Subsequently, the weight average molecular weight was calculated | required from the molecular weight distribution curve corrected with standard polystyrene.

-산변성 비닐기 함유 폴리우레탄 수지의 산가-Acid value of acid-modified vinyl group-containing polyurethane resin

상기 산변성 비닐기 함유 폴리우레탄 수지의 산가로서는 특별히 제한은 없고, 목적에 따라서 적당하게 선택할 수 있지만, 20mgKOH/g∼120mgKOH/g이 바람직하고, 30mgKOH/g∼110mgKOH/g이 보다 바람직하며, 35mgKOH/g∼100mgKOH/g이 특히 바람직하다. 상기 산가가 20mgKOH/g 미만이면 현상성이 불충분하게 될 경우가 있고, 120mgKOH/g을 초과하면 현상 속도가 지나치게 높기 때문에 현상의 컨트롤이 어렵게 될 경우가 있다.There is no restriction | limiting in particular as an acid value of the said acid-modified vinyl-group containing polyurethane resin, Although it can select suitably according to the objective, 20 mgKOH / g-120 mgKOH / g are preferable, 30 mgKOH / g-110 mgKOH / g are more preferable, 35 mgKOH / g-100 mgKOH / g is particularly preferable. If the acid value is less than 20 mgKOH / g, developability may be insufficient. If the acid value is more than 120 mgKOH / g, the development speed may be too high, which may make it difficult to control the development.

또한, 상기 산가는 예를 들면 JIS K0070에 준거해서 측정할 수 있다. 단, 샘플이 용해되지 않을 경우에는 용매로서 디옥산 또는 테트라히드로푸란 등을 사용한다.In addition, the said acid value can be measured based on JISK0070, for example. However, when the sample is not dissolved, dioxane or tetrahydrofuran is used as the solvent.

-산변성 비닐기 함유 폴리우레탄 수지의 비닐기 당량-Vinyl group equivalent of acid-modified vinyl group-containing polyurethane resin

상기 산변성 비닐기 함유 폴리우레탄 수지의 비닐기 당량으로서는 특별히 제한은 없고, 목적에 따라서 적당하게 선택할 수 있지만, 0.05mmol/g∼1.8mmol/g 이 바람직하고, 0.5mmol/g∼1.8mmol/g이 보다 바람직하며, 0.75mmol/g∼1.6mmol/g이 특히 바람직하다. 상기 비닐기 당량이 0.05mmol/g 미만이면 경화막의 내열성이 떨어질 경우가 있고, 1.8mmol/g을 초과하면 내크랙성이 악화될 경우가 있다.There is no restriction | limiting in particular as vinyl group equivalent of the said acid-modified vinyl-group containing polyurethane resin, Although it can select suitably according to the objective, 0.05 mmol / g-1.8 mmol / g are preferable, and 0.5 mmol / g-1.8 mmol / g This is more preferable, and 0.75 mmol / g-1.6 mmol / g are especially preferable. If the vinyl group equivalent is less than 0.05 mmol / g, the heat resistance of the cured film may be lowered, and if it exceeds 1.8 mmol / g, the crack resistance may deteriorate.

상기 비닐기 당량은 예를 들면 브롬가를 측정함으로써 구할 수 있다. 또한, 상기 브롬가는, 예를 들면 JIS K2605에 준거해서 측정할 수 있다.The said vinyl group equivalent can be calculated | required, for example by measuring a bromine value. In addition, the said bromine value can be measured based on JISK2605, for example.

상기 바인더의 상기 감광성 조성물 고형분 중의 함유량은 5질량%∼80질량%가 바람직하고, 30질량%∼60질량%가 보다 바람직하다. 상기 함유량이 5질량% 이상이면 현상성, 노광 감도가 양호하게 되고, 80질량% 이하이면 감광층의 점착성이 지나치게 강해지는 것을 방지할 수 있다.5 mass%-80 mass% are preferable, and, as for content in the said photosensitive composition solid content of the said binder, 30 mass%-60 mass% are more preferable. If the said content is 5 mass% or more, developability and exposure sensitivity will become favorable, and if it is 80 mass% or less, it can prevent that the adhesiveness of a photosensitive layer becomes too strong.

<중합성 화합물><Polymeric Compound>

상기 중합성 화합물로서는 특별히 제한은 없고, 목적에 따라서 적당하게 선택할 수 있지만, 예를 들면 에틸렌성 불포화 결합을 1개 이상 갖는 화합물이 바람직하다.There is no restriction | limiting in particular as said polymeric compound, Although it can select suitably according to the objective, For example, the compound which has one or more ethylenically unsaturated bond is preferable.

상기 에틸렌성 불포화 결합으로서는, 예를 들면 (메타)아크릴로일기, (메타)아크릴아미드기, 스티릴기, 비닐에스테르, 비닐에테르 등의 비닐기; 알릴에테르나 알릴에스테르 등의 알릴기 등을 들 수 있다.As said ethylenically unsaturated bond, For example, vinyl groups, such as a (meth) acryloyl group, a (meth) acrylamide group, a styryl group, a vinyl ester, and a vinyl ether; And allyl groups such as allyl ether and allyl ester.

상기 에틸렌성 불포화 결합을 1개 이상 갖는 화합물로서는 특별히 제한은 없고, 목적에 따라서 적당하게 선택할 수 있지만, 예를 들면 (메타)아크릴기를 갖는 모노머로부터 선택되는 적어도 1종이 적합하게 들 수 있다.There is no restriction | limiting in particular as a compound which has one or more of said ethylenically unsaturated bonds, Although it can select suitably according to the objective, For example, at least 1 sort (s) chosen from the monomer which has a (meth) acryl group is mentioned suitably.

상기 (메타)아크릴기를 갖는 모노머로서는 특별히 제한은 없고, 목적에 따라서 적당하게 선택할 수 있으며, 예를 들면 폴리에틸렌글리콜모노(메타)아크릴레이트, 폴리프로필렌글리콜모노(메타)아크릴레이트, 페녹시에틸(메타)아크릴레이트 등의 단관능 아크릴레이트나 단관능 메타크릴레이트; 폴리에틸렌글리콜디(메타)아크릴레이트, 폴리프로필렌글리콜디(메타)아크릴레이트, 트리메티롤에탄트리아크릴레이트, 트리메티롤프로판트리아크릴레이트, 트리메티롤프로판디아크릴레이트, 네오펜틸글리콜디(메타)아크릴레이트, 펜타에리스리톨테트라(메타)아크릴레이트, 펜타에리스리톨트리(메타)아크릴레이트, 디펜타에리스리톨헥사(메타)아크릴레이트, 디펜타에리스리톨펜타(메타)아크릴레이트, 헥산디올디(메타)아크릴레이트, 트리메티롤프로판트리(아크릴로일옥시프로필)에테르, 트리(아크릴로일옥시에틸)이소시아누레이트, 트리(아크릴로일옥시에틸)시아누레이트, 글리세린트리(메타)아크릴레이트, 트리메티롤프로판이나 글리세린, 비스페놀 등의 다관능 알코올에 에틸렌옥사이드나 프로필렌옥사이드를 부가반응한 후에 (메타)아크릴레이트화한 것, 일본 특허 공고 소 48-41708호, 일본 특허 공고 소 50-6034호, 일본 특허 공개 소 51-37193호 등의 각 공보에 기재되어 있는 우레탄아크릴레이트류; 일본 특허 공개 소 48-64183호, 일본 특허 공고 소 49-43191호, 일본 특허 공고 소 52-30490호 등의 각 공보에 기재되어 있는 폴리에스테르아크릴레이트류; 에폭시 수지와 (메타)아크릴산의 반응생성물인 에폭시아크릴레이트류 등의 다관능 아크릴레이트나 메타크릴레이트 등을 들 수 있다. 이들 중에서도 트리메티롤프로판트리(메타)아크릴레이트, 펜타에리스리톨테트라(메타)아크릴레이트, 디펜타에리스리톨헥사(메타)아크릴레이트, 디펜타에리스리톨펜타(메타)아크릴레이트가 특히 바람직하다.There is no restriction | limiting in particular as a monomer which has the said (meth) acryl group, According to the objective, it can select suitably, For example, polyethyleneglycol mono (meth) acrylate, polypropylene glycol mono (meth) acrylate, phenoxyethyl (meth) Monofunctional acrylates and monofunctional methacrylates, such as a) acrylate; Polyethylene glycol di (meth) acrylate, polypropylene glycol di (meth) acrylate, trimetholethane triacrylate, trimetholpropane triacrylate, trimetholpropane diacrylate, neopentyl glycol di (meth) Acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, hexanediol di (meth) acrylate, Trimetholpropane tri (acryloyloxypropyl) ether, tri (acryloyloxyethyl) isocyanurate, tri (acryloyloxyethyl) cyanurate, glycerin tri (meth) acrylate, trimetholol (Meth) acrylate after addition reaction of ethylene oxide or propylene oxide to polyfunctional alcohols such as propane, glycerin and bisphenol Urethane acrylates described in each publication such as yttrate, Japanese Patent Publication No. 48-41708, Japanese Patent Publication No. 50-6034, and Japanese Patent Publication No. 51-37193; Polyester acrylates described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 48-64183, Japanese Patent Publication No. 49-43191, and Japanese Patent Publication No. 52-30490; Polyfunctional acrylates, methacrylates, etc., such as epoxy acrylates which are reaction products of an epoxy resin and (meth) acrylic acid, are mentioned. Among these, trimetholpropane tri (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate and dipentaerythritol penta (meth) acrylate are particularly preferable.

상기 중합성 화합물의 상기 감광성 조성물 고형분 중의 함유량은 5질량%∼50질량%가 바람직하고, 10질량%∼40질량%가 보다 바람직하다. 상기 함유량이 5질량% 이상이면 현상성, 노광 감도가 양호하게 되고, 50질량% 이하이면 감광층의 점착성이 지나치게 강해지는 것을 방지할 수 있다.5 mass%-50 mass% are preferable, and, as for content in the said photosensitive composition solid content of the said polymeric compound, 10 mass%-40 mass% are more preferable. If the said content is 5 mass% or more, developability and exposure sensitivity will become favorable, and if it is 50 mass% or less, it can prevent that the adhesiveness of a photosensitive layer becomes too strong.

<광중합 개시제> <Photoinitiator>

상기 광중합 개시제로서는 상기 중합성 화합물의 중합을 개시하는 능력을 갖는 한 특별히 제한은 없고, 목적에 따라서 적당하게 선택할 수 있지만, 예를 들면 자외선 영역으로부터 가시의 광선에 대하여 감광성을 갖는 것이 바람직하고, 광여기된 증감제와 어떠한 작용을 발생시켜 활성 라디칼을 생성하는 활성제라도 되고, 모노머의 종류에 따라 양이온 중합을 개시시키는 개시제라도 된다.There is no restriction | limiting in particular as long as it has the ability to start superposition | polymerization of the said polymeric compound as said photoinitiator, Although it can select suitably according to the objective, For example, it is preferable to have photosensitivity with respect to visible light from an ultraviolet range, It may be an activator which generates an active radical by generating any action with an excited sensitizer, or may be an initiator that initiates cationic polymerization depending on the type of monomer.

또한, 상기 광중합 개시제는 파장 약 300㎚∼800㎚의 범위 내에 적어도 약 50의 분자 흡광계수를 갖는 성분을 적어도 1종 함유하고 있는 것이 바람직하다. 상기 파장은 330㎚∼500㎚가 보다 바람직하다.The photopolymerization initiator preferably contains at least one component having a molecular extinction coefficient of at least about 50 within a range of about 300 nm to 800 nm. As for the said wavelength, 330 nm-500 nm are more preferable.

상기 광중합 개시제로서는 중성의 광중합 개시제가 사용된다. 또한, 필요에 따라 기타 광중합 개시제를 함유하고 있어도 된다.As said photoinitiator, a neutral photoinitiator is used. Moreover, you may contain the other photoinitiator as needed.

상기 중성의 광중합 개시제로서는 특별히 제한은 없고, 목적에 따라서 적당하게 선택할 수 있지만, 적어도 방향족기를 갖는 화합물인 것이 바람직하고, (비스)아실포스핀옥사이드 또는 그 에스테르류, 아세토페논계 화합물, 벤조페논계 화합물, 벤조인에테르계 화합물, 케탈 유도체 화합물, 티오크산톤 화합물인 것이 보다 바람직하다. 상기 중성의 광중합 개시제는 2종 이상을 병용해도 좋다.There is no restriction | limiting in particular as said neutral photoinitiator, Although it can select suitably according to the objective, It is preferable that it is a compound which has an aromatic group at least, and it is preferable that it is (bis) acylphosphine oxide or its ester, an acetophenone type compound, and a benzophenone type It is more preferable that they are a compound, a benzoin ether type compound, a ketal derivative compound, and a thioxanthone compound. The said neutral photoinitiator may use 2 or more types together.

상기 광중합 개시제로서는, 예를 들면 (비스)아실포스핀옥사이드 또는 그 에스테르류, 아세토페논계 화합물, 벤조페논계 화합물, 벤조인에테르계 화합물, 케탈 유도체 화합물, 티오크산톤 화합물, 옥심 유도체, 유기 과산화물, 티오 화합물 등을 들 수 있다. 이들 중에서도 감광층의 감도, 보존성, 및 감광층과 프린트 배선판 형성용 기판의 밀착성 등의 관점으로부터 옥심 유도체, (비스)아실포스핀옥사이드 또는 그 에스테르류, 아세토페논계 화합물, 벤조페논계 화합물, 벤조인에테르계 화합물, 케탈 유도체 화합물, 티오크산톤 화합물이 바람직하다.As said photoinitiator, it is (bis) acylphosphine oxide or its ester, acetophenone type compound, a benzophenone type compound, a benzoin ether type compound, a ketal derivative compound, a thioxanthone compound, an oxime derivative, an organic peroxide, for example. And thio compounds. Among these, oxime derivatives, (bis) acylphosphine oxides or esters thereof, acetophenone compounds, benzophenone compounds, and benzo Preference is given to inether compounds, ketal derivative compounds and thioxanthone compounds.

상기 (비스)아실포스핀옥사이드로서는, 예를 들면 2,6-디메틸벤조일디페닐 포스핀옥사이드, 2,4,6-트리메틸벤조일디페닐포스핀옥사이드, 2,4,6-트리메틸벤조일페닐포스핀산 메틸에스테르, 2,6-디클로로벤조일페닐포스핀옥사이드, 2,6-디메톡시벤조일디페닐포스핀옥사이드, 비스(2,6-디메톡시벤조일)-2,4,4-트리메틸-펜틸포스핀옥사이드, 비스(2,4,6-트리메틸벤조일)-페닐포스핀옥사이드 등을 들 수 있다.As said (bis) acyl phosphine oxide, 2, 6- dimethyl benzoyl diphenyl phosphine oxide, 2, 4, 6- trimethyl benzoyl diphenyl phosphine oxide, 2, 4, 6- trimethyl benzoyl phenyl phosphinic acid Methyl ester, 2,6-dichlorobenzoylphenylphosphine oxide, 2,6-dimethoxybenzoyldiphenylphosphine oxide, bis (2,6-dimethoxybenzoyl) -2,4,4-trimethyl-pentylphosphine oxide And bis (2,4,6-trimethylbenzoyl) -phenylphosphine oxide.

상기 아세토페논계 화합물로서는, 예를 들면 아세토페논, 메톡시아세토페논, 1-페닐2-히드록시-2-메틸프로판-1-온, 1-히드록시시클로헥실페닐케톤, 4-디페녹시디클로로아세토페논, 디에톡시아세토페논, 1-(4-이소프로필페닐)-2-히드록시-2-메틸프로판-1-온 등을 들 수 있다.As said acetophenone type compound, for example, acetophenone, methoxyacetophenone, 1-phenyl 2-hydroxy-2-methylpropan-1-one, 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone, 4-diphenoxydichloro Acetophenone, diethoxy acetophenone, 1- (4-isopropylphenyl) -2-hydroxy-2-methylpropan-1-one, etc. are mentioned.

상기 벤조페논계 화합물로서는, 예를 들면 벤조페논, 4-페닐벤조페논, 벤조일벤조산 메틸, 4-페닐벤조페논, 히드록시벤조페논, 3,3'-디메틸-4-메톡시벤조페논, 디페녹시벤조페논 등을 들 수 있다.As said benzophenone type compound, for example, benzophenone, 4-phenylbenzophenone, methyl benzoyl benzoate, 4-phenylbenzophenone, hydroxy benzophenone, 3,3'- dimethyl- 4-methoxy benzophenone, diphenoxy Cibenzophenone etc. are mentioned.

상기 벤조인에테르계 화합물로서는, 예를 들면 벤조인에틸에테르, 벤조인프로필에테르 등을 들 수 있다.As said benzoin ether type compound, benzoin ethyl ether, benzoin propyl ether, etc. are mentioned, for example.

상기 케탈 유도체 화합물로서는, 예를 들면 벤질디메틸케탈 등을 들 수 있다.As said ketal derivative compound, benzyl dimethyl ketal etc. are mentioned, for example.

상기 티오크산톤 화합물로서는, 예를 들면 2-클로로티오크산톤, 2,4-디메틸티오크산톤, 2,4-디에틸티오크산톤, 2,4-디이소프로필티오크산톤, 이소프로필티오크산톤 등을 들 수 있다.As said thioxanthone compound, 2-chloro thioxanthone, 2, 4- dimethyl thioxanthone, 2, 4- diethyl thioxanthone, 2, 4- diisopropyl thioxanthone, isopropyl thi, for example Orcanthone etc. are mentioned.

본 발명에서 바람직하게 사용되는 옥심 유도체로서는, 예를 들면 하기 일반식(1)으로 나타내어진다.As an oxime derivative used preferably by this invention, it is represented by following General formula (1), for example.

Figure pat00033
Figure pat00033

단, 상기 일반식(1) 중, R1은 수소원자, 치환기를 가져도 좋은 아실기, 알콕시카르보닐기, 아릴옥시카르보닐기, 알킬술포닐기, 및 아릴술포닐기 중 어느 하나를 나타내고, R2는 각각 독립적으로 치환기를 나타낸다. m은 0∼4의 정수를 나타내고, 2 이상일 경우에는 서로 연결해 환을 형성해도 좋다. A는 4, 5, 6, 및 7원환 중 어느 하나를 나타낸다. 또한 A는 5 및 6원환 중 어느 하나인 것이 바람직하다.In the general formula (1), R 1 represents a hydrogen atom, an acyl group which may have a substituent, an alkoxycarbonyl group, an aryloxycarbonyl group, an alkylsulfonyl group, or an arylsulfonyl group, and R 2 is each independently. Represents a substituent. m represents the integer of 0-4, and when two or more, you may connect with each other and form a ring. A represents any of 4, 5, 6, and a 7-membered ring. Moreover, it is preferable that A is either 5 or 6 membered ring.

또한, 본 발명에서 사용되는 옥심 유도체(옥심 화합물)로서는 하기 일반식(2)으로 나타내어지는 것이 보다 바람직하다.Moreover, as an oxime derivative (oxime compound) used by this invention, what is represented by following General formula (2) is more preferable.

Figure pat00034
Figure pat00034

단, 상기 일반식(2) 중, R1은 수소원자, 치환기를 가져도 좋은 아실기, 알콕시카르보닐기, 아릴옥시카르보닐기, 알킬술포닐기, 및 아릴술포닐기 중 어느 하나를 나타내고, R2는 각각 독립적으로 치환기를 나타낸다. m은 0∼4의 정수를 나타내고, 2 이상일 경우에는 서로 연결하여 환을 형성해도 좋다. X는 CH2, O, 및 S 중 어느 하나를 나타낸다. A는 5 및 6원환 중 어느 하나를 나타낸다.However, in said General formula (2), R <1> represents either a hydrogen atom, the acyl group which may have a substituent, an alkoxycarbonyl group, an aryloxycarbonyl group, an alkylsulfonyl group, and an arylsulfonyl group, and R <2> is respectively independent Represents a substituent. m represents the integer of 0-4, and when two or more, you may connect with each other and form a ring. X represents any one of CH 2 , O, and S. A represents either 5 or 6 membered ring.

상기 일반식(1) 및 일반식(2) 중, R1로 나타내어지는 아실기로서는 지방족, 방향족, 및 복소환의 어느 것이라도 좋고, 치환기를 더 가져도 좋다.As the acyl group represented by R 1 in the general formulas (1) and (2), any of aliphatic, aromatics, and heterocycles may be used, and further have a substituent.

지방족기로서는 아세틸기, 프로파노일기, 부타노일기, 헥사노일기, 데카노일기, 페녹시아세틸기, 클로로아세틸기 등을 들 수 있다. 방향족기로서는 벤조일기, 나프토일기, 메톡시벤조일기, 니트로벤조일기 등을 들 수 있다. 복소환기로서는 푸라노일기, 티오페노일기 등을 들 수 있다.Examples of the aliphatic group include acetyl group, propanoyl group, butanoyl group, hexanoyl group, decanoyl group, phenoxyacetyl group, and chloroacetyl group. As an aromatic group, a benzoyl group, a naphthoyl group, a methoxy benzoyl group, a nitro benzoyl group, etc. are mentioned. Examples of the heterocyclic group include furanoyl group and thiophenoyl group.

치환기로서는 알콕시기, 아릴옥시기, 및 할로겐 원자 중 어느 하나가 바람직하다. 아실기로서는 총탄소수 2∼30인 것이 바람직하고, 총탄소수 2∼20인 것이 보다 바람직하며, 총탄소수 2∼16인 것이 특히 바람직하다. 이러한 아실기로서는, 예를 들면 아세틸기, 프로파노일기, 메틸프로파노일기, 부타노일기, 피발로일기, 헥사노일기, 시클로헥산카르보닐기, 옥타노일기, 데카노일기, 도데카노일기, 옥타데카노일기, 벤질카르보닐기, 페녹시아세틸기, 2-에틸헥사노일기, 클로로아세틸기, 벤조일기, 파라메톡시벤조일기, 2,5-디부톡시벤조일기, 1-나프토일기, 2-나프토일기, 피리딜카르보닐기, 메타크릴로일기, 아크릴로일기 등을 들 수 있다.As a substituent, any one of an alkoxy group, an aryloxy group, and a halogen atom is preferable. As an acyl group, it is preferable that it is C2-C30, It is more preferable that it is C2-C20, It is especially preferable that it is C2-C16. As such an acyl group, for example, an acetyl group, propanoyl group, methyl propanoyl group, butanoyl group, pivaloyl group, hexanoyl group, cyclohexanecarbonyl group, octanoyl group, decanoyl group, dodecanoyl group, octadecanoyl group, Benzylcarbonyl group, phenoxyacetyl group, 2-ethylhexanoyl group, chloroacetyl group, benzoyl group, paramethoxybenzoyl group, 2,5-dibutoxybenzoyl group, 1-naphthoyl group, 2-naphthoyl group, pyridyl Carbonyl group, methacryloyl group, acryloyl group, etc. are mentioned.

알킬옥시카르보닐기로서는 치환기를 갖고 있어도 되고, 총탄소수가 2∼30인 알콕시카르보닐기가 바람직하고, 총탄소수 2∼20인 것이 보다 바람직하며, 총탄소수 2∼16인 것이 특히 바람직하다. 이러한 알콕시카르보닐기로서는, 예를 들면 메톡시카르보닐기, 에톡시카르보닐기, 이소프로폭시카르보닐부톡시카르보닐기, 이소부틸옥시카르보닐기, 알릴옥시카르보닐기, 옥틸옥시카르보닐기, 도데실옥시카르보닐기, 에톡시에톡시카르보닐기를 들 수 있다.The alkyloxycarbonyl group may have a substituent, preferably an alkoxycarbonyl group having 2 to 30 carbon atoms, more preferably 2 to 20 carbon atoms, and particularly preferably 2 to 16 carbon atoms. Examples of such alkoxycarbonyl groups include methoxycarbonyl group, ethoxycarbonyl group, isopropoxycarbonylbutoxycarbonyl group, isobutyloxycarbonyl group, allyloxycarbonyl group, octyloxycarbonyl group, dodecyloxycarbonyl group and ethoxyethoxycarbonyl group. Can be.

아릴옥시카르보닐기로서는 치환기를 갖고 있어도 되고, 총탄소수 7∼30의 알콕시카르보닐기가 바람직하고, 총탄소수 7∼20인 것이 보다 바람직하며, 총탄소수 7∼16인 것이 특히 바람직하다. 이러한 아릴옥시카르보닐기로서는, 예를 들면 페녹시카르보닐기, 2-나프톡시카르보닐기, 파라메톡시페녹시카르보닐기, 2,5-디에톡시페녹시카르보닐기, 파라클로로페녹시카르보닐기, 파라니트로페녹시카르보닐기, 파라시아노페녹시카르보닐기를 들 수 있다.As an aryloxycarbonyl group, you may have a substituent, the alkoxycarbonyl group of 7-30 total carbons is preferable, It is more preferable that it is 7-20 total carbons, It is especially preferable that it is 7-16 total carbons. Examples of such aryloxycarbonyl groups include phenoxycarbonyl groups, 2-naphthoxycarbonyl groups, paramethoxyphenoxycarbonyl groups, 2,5-diethoxyphenoxycarbonyl groups, parachlorophenoxycarbonyl groups, paranitrophenoxycarbonyl groups, and paracyano. Phenoxycarbonyl group is mentioned.

알킬술포닐기로서는 치환기를 더 가져도 좋다. 상기 치환기로서는, 예를 들면 페닐기, 할로겐 원자, 알콕시기, 아릴옥시기, 알콕시카르보닐기, 아실옥시기, 아실아미노기, 카르바모일기, 시아노기, 카르복실산기, 술폰산기, 헤테로환기를 바람직하게 들 수 있다. 알킬술포닐기로서는 메틸술포닐기, 부틸술포닐기, 옥틸술포닐기, 데실술포닐기, 도데실술포닐기, 벤질술포닐기, 트리플루오로메틸술포닐기가 특히 바람직하게 예시된다.As an alkylsulfonyl group, you may further have a substituent. Examples of the substituent include phenyl group, halogen atom, alkoxy group, aryloxy group, alkoxycarbonyl group, acyloxy group, acylamino group, carbamoyl group, cyano group, carboxylic acid group, sulfonic acid group and heterocyclic group. have. As the alkylsulfonyl group, methylsulfonyl group, butylsulfonyl group, octylsulfonyl group, decylsulfonyl group, dodecylsulfonyl group, benzylsulfonyl group and trifluoromethylsulfonyl group are particularly preferably exemplified.

아릴술포닐기로서는 치환기를 더 가져도 좋다. 상기 치환기로서는, 예를 들면 페닐기, 할로겐 원자, 알콕시기, 아릴옥시기, 알콕시카르보닐기, 아실옥시기, 아실아미노기, 카르바모일기, 시아노기, 카르복실산기, 술폰산기, 헤테로환기를 바람직하게 들 수 있다. 아릴술포닐기로서는 벤젠술포닐기, 톨루엔술포닐기, 클로로벤젠술포닐기, 부톡시벤젠술포닐기, 2,5-디부톡시벤젠술포닐기, 파라니트로벤젠술포닐기, 퍼플루오로벤젠술포닐기를 특히 바람직하게 들 수 있다.As an arylsulfonyl group, you may further have a substituent. Examples of the substituent include phenyl group, halogen atom, alkoxy group, aryloxy group, alkoxycarbonyl group, acyloxy group, acylamino group, carbamoyl group, cyano group, carboxylic acid group, sulfonic acid group and heterocyclic group. have. As the arylsulfonyl group, benzenesulfonyl group, toluenesulfonyl group, chlorobenzenesulfonyl group, butoxybenzenesulfonyl group, 2,5-dibutoxybenzenesulfonyl group, paranitrobenzenesulfonyl group and perfluorobenzenesulfonyl group are particularly preferably mentioned. Can be.

상기 일반식(1) 및 일반식(2) 중, R2로 나타내어지는 치환기로서는 지방족, 방향족, 복소방향족, 할로겐 원자, -OR3, -SR3, -NR3R4를 들 수 있다. R3 및 R4는 서로 연결해서 환을 형성해도 좋다. 또한, R3 및 R4는 각각 독립적으로 수소원자 또는 지방족기, 방향족기, 복소방향족기 중 어느 하나를 나타낸다. m이 2 이상이며, 서로 연결해서 환을 형성하는 경우에는 각각 독립된 R2끼리 환을 형성해도 좋고, R3 및 R4 중 적어도 어느 한쪽을 개재해서 환을 형성해도 좋다.Examples of the substituents represented by R 2 in the general formulas (1) and (2) include aliphatic, aromatic, heteroaromatic, halogen atoms, -OR 3 , -SR 3 , and -NR 3 R 4 . R 3 and R 4 may be connected to each other to form a ring. R 3 and R 4 each independently represent a hydrogen atom or an aliphatic group, an aromatic group or a heteroaromatic group. When m is 2 or more and mutually connects and forms a ring, independent R <2> may form a ring each independently, and may form a ring through at least one of R <3> and R <4> .

상기 치환기 R2를 개재하여 환을 형성하는 경우에는 하기 구조를 들 수 있다.When forming a ring through the said substituent R <2> , the following structures are mentioned.

Figure pat00035
Figure pat00035

상기 구조식 중, Y 및 Z는 CH2, -O-, -S-, 및 -NR- 중 어느 하나를 나타낸다.In the above structural formula, Y and Z represent any one of CH 2 , -O-, -S-, and -NR-.

R2, R3, 및 R4의 지방족기, 방향족기, 및 복소방향족기의 구체예로서는, 상기 R1과 같은 것을 들 수 있다.Specific examples of the aliphatic group, aromatic group, and heteroaromatic group of R 2 , R 3 , and R 4 include the same groups as those described above for R 1 .

상기 일반식(1)으로 나타내어지는 옥심 화합물의 구체예로서는, 하기 구조식(1)∼(51)으로 나타내어지는 화합물을 들 수 있지만, 본 발명은 이것들에 한정되는 것은 아니다.Although the compound represented by following structural formula (1)-(51) is mentioned as a specific example of the oxime compound represented by the said General formula (1), This invention is not limited to these.

Figure pat00036
Figure pat00036

Figure pat00037
Figure pat00037

또한, 본 발명에서 사용되는 옥심 화합물은 1H-NMR 스펙트럼, UV-vis 흡수 스펙트럼을 측정해서 동정(同定)할 수 있다.In addition, the oxime compound used by this invention can be identified by measuring a 1 H-NMR spectrum and a UV-vis absorption spectrum.

상기 옥심 화합물의 제조방법으로서는 대응하는 옥심 화합물과 아실 염화물 또는 무수물과의 염기(예를 들면 트리에틸아민, 피리딘) 존재 하에서, THF, DMF, 아세토니트릴 등의 불활성 용매 중이나, 피리딘과 같은 염기성 용매 중에서 반응 시킴으로써 용이하게 합성할 수 있다. 상기 반응온도로서는 -10℃∼60℃가 바람직하다.As the method for preparing the oxime compound, in the presence of a base (for example, triethylamine, pyridine) of a corresponding oxime compound and an acyl chloride or anhydride, in an inert solvent such as THF, DMF, acetonitrile, or in a basic solvent such as pyridine It can be synthesize | combined easily by making it react. As said reaction temperature, -10 degreeC-60 degreeC is preferable.

또한, 상기 아실 염화물로서 클로로포름산 에스테르, 알킬술포닐클로라이드, 아릴술포닐클로라이드를 사용함으로써 대응하는 여러 가지 옥심에스테르 화합물이 합성 가능하다.In addition, various oxime ester compounds can be synthesized by using chloroform acid ester, alkylsulfonyl chloride and arylsulfonyl chloride as the acyl chloride.

상기 옥심 화합물 제조시의 출발 재료로서 사용되는 옥심 화합물의 합성방법으로서는, 표준적인 화학의 교과서(예를 들면 J. March, Advanced Organic Chemistry, 4th Edition, Wiley Interscience, 1992), 또는 전문적인 모노그래프, 예를 들면 S. R. Sandler & W. Karo, Organic functional group preparations, Vol. 3, Academic Press에 기재된 여러 가지 방법에 의해 얻을 수 있다.As a method for synthesizing the oxime compound used as a starting material in preparing the oxime compound, a standard chemistry textbook (for example, J. March, Advanced Organic Chemistry, 4th Edition, Wiley Interscience, 1992), or a professional monograph, See, eg, SR Sandler & W. Karo, Organic functional group preparations, Vol. It can obtain by the various methods described in 3, Academic Press.

상기 옥심 화합물의 특히 바람직한 합성방법으로서는, 예를 들면 알데히드 또는 케톤과, 히드록실아민, 또는 그 염을 에탄올 또는 에탄올수와 같은 극성 용매 중에서 반응시키는 방법을 들 수 있다. 이 경우, 아세트산 나트륨 또는 피리딘과 같은 염기를 첨가해서 반응 혼합물의 pH를 제어한다. 반응속도가 pH 의존성이며, 염기는 개시시에 또는 반응 동안 연속적으로 첨가할 수 있는 것은 주지이다. 피리딘과 같은 염기성 용매를 염기 및/또는 용매 또는 조용제로서 사용할 수도 있다. 상기 반응온도로서는, 일반적으로는 혼합물의 환류 온도, 즉 약 60℃∼120℃가 바람직하다.As a particularly preferable method for synthesizing the oxime compound, a method of reacting an aldehyde or a ketone with a hydroxylamine or a salt thereof in a polar solvent such as ethanol or ethanol water can be mentioned. In this case, the pH of the reaction mixture is controlled by adding a base such as sodium acetate or pyridine. It is well known that the rate of reaction is pH dependent and that the base can be added continuously at the start or during the reaction. Basic solvents such as pyridine may also be used as the base and / or solvent or co-solvent. As said reaction temperature, generally, the reflux temperature of a mixture, ie, about 60 to 120 degreeC is preferable.

상기 옥심 화합물의 다른 더나은 바람직한 합성방법으로서는, 아질산 또는 아질산 알킬에 의한 「활성」 메틸렌기의 니트로소화에 의한 방법을 들 수 있다. 예를 들면, Organic Syntheses coll. Vol. VI(J. Wiley & Sons, New York, 1988), pp. 199 and 840에 기재된 바와 같은 알칼리성 조건과, 예를 들면 Organic Synthesis coll. Vol. V, pp. 32 and 373, coll. Vol. III, pp. 191 and 513, coll. Vol. II, pp. 202, 204 and 363에 기재된 바와 같은 산성 조건의 쌍방이, 출발 재료로서 사용되는 옥심 화합물의 합성에 바람직하다. As a further preferable synthesis method of the said oxime compound, the method by nitrosation of the "active" methylene group by nitrous acid or alkyl nitrite is mentioned. For example, Organic Syntheses coll. Vol. VI (J. Wiley & Sons, New York, 1988), pp. Alkaline conditions as described in 199 and 840 and, for example, Organic Synthesis coll. Vol. V, pp. 32 and 373, coll. Vol. III, pp. 191 and 513, coll. Vol. II, pp. Both acidic conditions as described in 202, 204 and 363 are preferred for the synthesis of oxime compounds used as starting materials.

상기 아질산으로서는 통상 아질산 나트륨으로부터 생성된다.The nitrous acid is usually produced from sodium nitrite.

상기 아질산 알킬로서는, 예를 들면 아질산 메틸, 아질산 에틸, 아질산 이소프로필, 아질산 부틸 또는 아질산 이소아밀 등을 들 수 있다.As said alkyl nitrite, methyl nitrite, ethyl nitrite, isopropyl nitrite, butyl nitrite, isoamyl nitrite, etc. are mentioned, for example.

상기 옥심에스테르의 기로서는 2종류의 입체 배치 (Z) 또는 (E)로 존재하는 것이라도 된다. 관용의 방법에 의해 이성체를 분리해도 좋고, 이성체 혼합물을 광개시용의 종으로서 그대로 사용해도 된다. 따라서, 상기 옥심 화합물은 상기 구조식(1)∼(51)의 화합물의 입체 배치 상의 이성체의 혼합물이라도 된다.As group of the said oxime ester, what exists in two types of three-dimensional arrangement (Z) or (E) may be sufficient. An isomer may be isolate | separated by the usual method, and an isomer mixture may be used as it is as a seed for photoinitiation. Therefore, the said oxime compound may be a mixture of the isomers of the steric configuration of the compounds of the structural formulas (1) to (51).

상기 옥심 화합물은 보존 안정성이 뛰어나고, 고감도임으로써 중합성 조성물에 첨가함으로써 보존시는 중합을 발생시키는 일없이 보존 안정성이 뛰어나고, 에너지선, 특히 광의 조사에 의해 활성 라디칼을 발생해서 효율적으로 중합을 개시하여, 상기 중합성 화합물이 단시간에 효율적으로 중합할 수 있는 고감도의 중합성 조성물을 얻을 수 있다.The oxime compound is excellent in storage stability, and is highly sensitive, so that the oxime compound is added to the polymerizable composition so that it is excellent in storage stability without generating polymerization at the time of storage, and generates active radicals by irradiation with energy rays, especially light, thereby initiating polymerization efficiently. Thus, a highly sensitive polymerizable composition capable of efficiently polymerizing the polymerizable compound in a short time can be obtained.

상기 광중합 개시제는 1종 단독으로 사용해도 좋고, 2종 이상을 병용해도 좋다.The said photoinitiator may be used individually by 1 type, and may use 2 or more types together.

상기 광중합 개시제의 상기 감광성 조성물 고형분 중의 함유량은 0.1질량%∼30질량%가 바람직하고, 0.5질량%∼20질량%가 보다 바람직하며, 0.5질량%∼15질량%가 특히 바람직하다.0.1 mass%-30 mass% are preferable, as for content in the said photosensitive composition solid content of the said photoinitiator, 0.5 mass%-20 mass% are more preferable, 0.5 mass%-15 mass% are especially preferable.

<열가교제><Heat cross-linking>

상기 열가교제로서는 특별히 제한은 없고, 목적에 따라서 적당하게 선택할 수 있으며, 상기 감광성 필름을 이용하여 형성되는 감광층의 경화 후의 막강도를 개량하기 위해서 현상성 등에 악영향을 주지 않는 범위에서, 예를 들면 에폭시 화합물을 함유하는 화합물(예를 들면, 1분자 내에 적어도 2개의 옥시란기를 갖는 에폭시 화합물), 1분자 내에 적어도 2개의 옥세타닐기를 갖는 옥세탄 화합물을 사용할 수 있고, 일본 특허 공개 2007-47729호 공보에 기재되어 있는 옥시란기를 갖는 에폭시 화합물, β위치에 알킬기를 갖는 에폭시 화합물, 옥세타닐기를 갖는 옥세탄 화합물, 폴리이소시아네이트 화합물, 폴리이소시아네이트 및 그 유도체의 이소시아네이트기에 블록제를 반응시켜서 얻어지는 화합물 등을 들 수 있다.There is no restriction | limiting in particular as said thermal crosslinking agent, According to the objective, it can select suitably, In order to improve the film strength after hardening of the photosensitive layer formed using the said photosensitive film, for example, in the range which does not adversely affect developability etc., for example A compound containing an epoxy compound (for example, an epoxy compound having at least two oxirane groups in one molecule), an oxetane compound having at least two oxetanyl groups in one molecule can be used, and JP 2007-47729 A A compound obtained by reacting an isocyanate group of an epoxy compound having an oxirane group, an epoxy compound having an alkyl group at the β-position, an oxetane compound having an oxetanyl group, a polyisocyanate compound, a polyisocyanate, and derivatives thereof described in the publication. Etc. can be mentioned.

또한, 상기 열가교제로서 멜라민 유도체를 사용할 수 있다. 상기 멜라민 유도체로서는, 예를 들면 메티롤멜라민, 알킬화 메티롤멜라민(메티롤기를 메틸, 에틸, 부틸 등으로 에테르화한 화합물) 등을 들 수 있다. 이것들은 1종 단독으로 사용해도 좋고, 2종 이상을 병용해도 좋다. 이들 중에서도 보존 안정성이 양호하고, 감광층의 표면 경도 또는 경화막의 막강도 자체의 향상에 유효한 점에서 알킬화 메티롤멜라민이 바람직하고, 헥사메틸화 메티롤멜라민이 특히 바람직하다.In addition, a melamine derivative may be used as the thermal crosslinking agent. Examples of the melamine derivatives include methirolmelamine and alkylated methirolmelamine (compounds obtained by etherification of a methrol group with methyl, ethyl, butyl, etc.) and the like. These may be used individually by 1 type and may use 2 or more types together. Among them, alkylated methirolmelamine is preferred, and hexamethylated methirolmelamine is particularly preferable because of its good storage stability, and the effect of improving the surface hardness of the photosensitive layer or the film strength itself of the cured film.

상기 열가교제의 상기 감광성 조성물 고형분 중의 함유량은 1질량%∼50질량%가 바람직하고, 3질량%∼30질량%가 보다 바람직하다. 상기 함유량이 1질량% 이상이면 경화막의 막강도가 향상되고, 50질량% 이하이면 현상성, 노광 감도가 양호하게 된다.1 mass%-50 mass% are preferable, and, as for content in the said photosensitive composition solid content of the said thermal crosslinking agent, 3 mass%-30 mass% are more preferable. The film strength of a cured film improves that the said content is 1 mass% or more, and developability and exposure sensitivity will become favorable when it is 50 mass% or less.

상기 에폭시 화합물로서는, 예를 들면 1분자 중에 적어도 2개의 옥시란기를 갖는 에폭시 화합물, β위치에 알킬기를 갖는 에폭시기를 적어도 1분자 중에 2개 함유하는 에폭시 화합물 등을 들 수 있다.Examples of the epoxy compound include an epoxy compound having at least two oxirane groups in one molecule and an epoxy compound containing two epoxy groups having at least one epoxy group in the β-position in one molecule.

상기 1분자 중에 적어도 2개의 옥시란기를 갖는 에폭시 화합물로서는, 예를 들면 비크실레놀형 또는 비페놀형 에폭시 수지(「YX4000 재팬 에폭시 레진사제」등) 또는 이들 혼합물, 이소시아누레이트 골격 등을 갖는 복소환식 에폭시 수지(「TEPIC; 닛산 카가쿠 고교 가부시키가이샤제」, 「아랄다이트 PT810; 치바 스페셜티 케미컬즈사제」 등), 비스페놀A형 에폭시 수지, 노볼락형 에폭시 수지, 비스페놀F형 에폭시 수지, 수소 첨가 비스페놀A형 에폭시 수지, 비스페놀S형 에폭시 수지, 페놀노볼락형 에폭시 수지, 크레졸노볼락형 에폭시 수지, 할로겐화 에폭시 수지(예를 들면 저브롬화 에폭시 수지, 고할로겐화 에폭시 수지, 브롬화 페놀노볼락형 에폭시 수지 등), 알릴기 함유 비스페놀A형 에폭시 수지, 트리스페놀메탄형 에폭시 수지, 디페닐디메탄올형 에폭시 수지, 페놀비페닐렌형 에폭시 수지, 디시클로펜타디엔형 에폭시 수지(「HP-7200, HP-7200H; 다이니폰 잉크 카가쿠 고교 가부시키가이샤제」 등), 글리시딜아민형 에폭시 수지(디아미노디페닐메탄형 에폭시 수지, 디글리시딜아닐린, 트리글리시딜아미노페놀 등), 글리시딜에스테르형 에폭시 수지(프탈산 디글리시딜에스테르, 아디프산 디글리시딜에스테르, 헥사히드로프탈산 디글리시딜에스테르, 다이머산 디글리시딜에스테르 등) 히단토인형 에폭시 수지, 지환식에폭시 수지[3,4-에폭시시클로헥실메틸-3',4'-에폭시시클로헥산카르복실레이트, 비스(3,4-에폭시시클로헥실메틸)아디페이트, 디시클로펜타디엔디에폭시드, 「GT-300, GT-400, ZEHPE3150; 다이셀 카가쿠 고교 가부시키가이샤제」 등], 이미드형 지환식 에폭시 수지, 트리히드록시페닐메탄형 에폭시 수지, 비스페놀A 노볼락형 에폭시 수지, 테트라페니롤에탄형 에폭시 수지, 글리시딜프탈레이트 수지, 테트라글리시딜크실레노일에탄 수지, 나프탈렌기 함유 에폭시 수지(나프톨아랄킬형 에폭시 수지, 나프톨노볼락형 에폭시 수지, 4관능 나프탈렌형 에폭시 수지, 시판품으로서는 「ESN-190, ESN-360; 신닛테츠 카가쿠 고교 가부시키가이샤제」, 「HP-4032, EXA-4750, EXA-4700; 다이니폰 잉크 카가쿠 고교 가부시키가이샤제」 등), 페놀 화합물과 디비닐벤젠이나 디시클로펜타디엔 등의 디올레핀 화합물의 부가반응에 의해 얻어지는 폴리페놀 화합물과, 에피클로로히드린과의 반응물, 4-비닐시클로헥센-1-옥사이드의 개환 중합물을 과아세트산 등으로 에폭시화한 것, 선상 인함유 구조를 갖는 에폭시 수지, 환상 인함유 구조를 갖는 에폭시 수지, α-메틸스틸벤형 액정 에폭시 수지, 디벤조일옥시벤젠형 액정 에폭시 수지, 아조페닐형 액정 에폭시 수지, 아조메틴페닐형 액정 에폭시 수지, 비나프틸형 액정 에폭시 수지, 아진형 에폭시 수지, 글리시딜메타아크릴레이트 공중합계 에폭시 수지(「CP-50S, CP-50M; 니혼 유시 가부시키가이샤제」 등), 시클로헥실말레이미드와 글리시딜메타아크릴레이트의 공중합 에폭시 수지, 비스(글리시딜옥시페닐)플루오렌형 에폭시 수지, 비스(글리시딜옥시페닐)아다만탄형 에폭시 수지 등을 들 수 있지만, 이것들에 한정되는 것은 아니다. 이들 에폭시 수지는 1종 단독으로 사용해도 좋고, 2종 이상을 병용해도 좋다.As an epoxy compound which has at least 2 oxirane group in the said one molecule, For example, Hexane type | mold or a biphenol type epoxy resin ("YX4000 Japan epoxy resin company make", etc.), or these mixtures, a hetero having an isocyanurate skeleton etc. Cyclic epoxy resin ("TEPIC; Nissan Kagaku Kogyo Co., Ltd.", "Araldite PT810; Chiba Specialty Chemicals", etc.) Bisphenol-A epoxy resin, a novolak-type epoxy resin, a bisphenol F-type epoxy resin, Hydrogenated bisphenol A type epoxy resin, bisphenol S type epoxy resin, phenol novolak type epoxy resin, cresol novolak type epoxy resin, halogenated epoxy resin (for example, low brominated epoxy resin, high halogenated epoxy resin, brominated phenol novolak type) Epoxy resins, etc.), allyl group-containing bisphenol-A epoxy resin, trisphenol methane-type epoxy resin, diphenyl dimethanol-type epoxy Resin, phenol biphenylene type epoxy resin, dicyclopentadiene type epoxy resin ("HP-7200, HP-7200H; Dainippon ink Kagaku Kogyo Co., Ltd.", etc.), glycidylamine type epoxy resin (diamino Diphenylmethane type epoxy resin, diglycidyl aniline, triglycidylaminophenol, etc., glycidyl ester type epoxy resin (phthalic acid diglycidyl ester, adipic acid diglycidyl ester, hexahydrophthalic acid diglycyl) Cydyl ester, dimeric acid diglycidyl ester, etc.) hydantoin type epoxy resin, alicyclic epoxy resin [3,4-epoxycyclohexylmethyl-3 ', 4'-epoxycyclohexanecarboxylate, bis (3, 4-epoxycyclohexylmethyl) adipate, dicyclopentadiene diepoxide, "GT-300, GT-400, ZEHPE3150; Daicel Kagaku Kogyo KK, etc.], imide type alicyclic epoxy resin, trihydroxyphenylmethane type epoxy resin, bisphenol A novolak type epoxy resin, tetraphenyrolethane type epoxy resin, glycidyl phthalate resin , Tetraglycidyl xylenoyl ethane resin, naphthalene group-containing epoxy resin (naphthol aralkyl type epoxy resin, naphthol novolak type epoxy resin, tetrafunctional naphthalene type epoxy resin, commercially available products "ESN-190, ESN-360; Shinnitetsu Ka. Gaku Kogyo Co., Ltd. "," HP-4032, EXA-4750, EXA-4700; Dainippon ink Kagaku Kogyo Co., Ltd. ", etc.), a phenolic compound, and diolefins, such as divinylbenzene and dicyclopentadiene Epoxy reaction of the polyphenol compound obtained by the addition reaction of the compound, the reaction product of epichlorohydrin, and the ring-opening polymer of 4-vinylcyclohexene-1-oxide with peracetic acid, etc. Epoxy resin having a linear phosphorus-containing structure, epoxy resin having a cyclic phosphorus-containing structure, α-methylstilbene type liquid crystal epoxy resin, dibenzoyloxybenzene type liquid crystal epoxy resin, azophenyl type liquid crystal epoxy resin, azomethinephenyl type Liquid crystal epoxy resin, binaphthyl type liquid crystal epoxy resin, azine epoxy resin, glycidyl methacrylate copolymer type epoxy resin ("CP-50S, CP-50M; the Nippon Yushi Corporation", cyclohexyl maleimide, etc.). Although the copolymerization epoxy resin of a and glycidyl methacrylate, a bis (glycidyl oxyphenyl) fluorene type epoxy resin, a bis (glycidyl oxyphenyl) adamantane type epoxy resin, etc. are mentioned, It is limited to these. no. These epoxy resins may be used individually by 1 type, and may use 2 or more types together.

또한, 1분자 중에 적어도 2개의 옥시란기를 갖는 상기 에폭시 화합물 이외에, β위치에 알킬기를 갖는 에폭시기를 적어도 1분자 중에 2개 함유하는 에폭시 화합물을 사용할 수 있고, β위치가 알킬기로 치환된 에폭시기(보다 구체적으로는, β-알킬 치환 글리시딜기 등)를 함유하는 화합물이 특히 바람직하다.In addition to the epoxy compound having at least two oxirane groups in one molecule, an epoxy compound containing two epoxy groups in at least one molecule having an alkyl group at the β-position can be used, and an epoxy group having a β-position substituted with an alkyl group (more Specifically, the compound containing (beta) -alkyl substituted glycidyl group etc.) is especially preferable.

상기 β위치에 알킬기를 갖는 에폭시기를 적어도 함유하는 에폭시 화합물은, 1분자 중에 함유되는 2개 이상의 에폭시기의 전부가 β-알킬 치환 글리시딜기라도 되고, 적어도 1개의 에폭시기가 β-알킬 치환 글리시딜기라도 된다.In the epoxy compound containing at least an epoxy group having an alkyl group at the β-position, all of two or more epoxy groups contained in one molecule may be a β-alkyl substituted glycidyl group, and at least one epoxy group is a β-alkyl substituted glyci It may be a deal.

상기 옥세탄 화합물로서는, 예를 들면 1분자 내에 적어도 2개의 옥세타닐기를 갖는 옥세탄 화합물을 들 수 있다.As said oxetane compound, the oxetane compound which has at least 2 oxetanyl group in 1 molecule is mentioned, for example.

구체적으로는, 예를 들면 비스[(3-메틸-3-옥세타닐메톡시)메틸]에테르, 비스[(3-에틸-3-옥세타닐메톡시)메틸]에테르, 1,4-비스[(3-메틸-3-옥세타닐메톡시)메틸]벤젠, 1,4-비스[(3-에틸-3-옥세타닐메톡시)메틸]벤젠, (3-메틸-3-옥세타닐)메틸아크릴레이트, (3-에틸-3-옥세타닐)메틸아크릴레이트, (3-메틸-3-옥세타닐)메틸메타크릴레이트, (3-에틸-3-옥세타닐)메틸메타크릴레이트 또는 이들 올리고머 또는 공중합체 등의 다관능 옥세탄류 외에, 옥세탄 기를 갖는 화합물과, 노볼락 수지, 폴리(p-히드록시스티렌), 카르도형 비스페놀류, 칼릭사렌류, 칼릭스레졸시나렌류, 실세스퀴옥산 등의 수산기를 갖는 수지 등의 에테르 화합물을 들 수 있고, 이 밖에 옥세탄환을 갖는 불포화 모노머와 알킬(메타)아크릴레이트의 공중합체 등도 들 수 있다.Specifically, for example, bis [(3-methyl-3-oxetanylmethoxy) methyl] ether, bis [(3-ethyl-3-oxetanylmethoxy) methyl] ether, 1,4-bis [( 3-methyl-3-oxetanylmethoxy) methyl] benzene, 1,4-bis [(3-ethyl-3-oxetanylmethoxy) methyl] benzene, (3-methyl-3-oxetanyl) methylacrylic Latex, (3-ethyl-3-oxetanyl) methylacrylate, (3-methyl-3-oxetanyl) methyl methacrylate, (3-ethyl-3-oxetanyl) methylmethacrylate or these In addition to polyfunctional oxetanes such as oligomers or copolymers, compounds having an oxetane group, novolak resins, poly (p-hydroxystyrenes), cardo-type bisphenols, calixarenes, calyx resorcinylenes, and silses Ether compounds, such as resin which has a hydroxyl group, such as quoxane, are mentioned, In addition, the copolymer of the unsaturated monomer which has an oxetane ring, and an alkyl (meth) acrylate etc. are mentioned.

또한, 상기 폴리이소시아네이트 화합물로서는, 일본 특허 공개 평5-9407호 공보 기재의 폴리이소시아네이트 화합물을 사용할 수 있고, 상기 폴리이소시아네이트 화합물은 적어도 2개의 이소시아네이트기를 함유하는 지방족, 환식 지방족 또는 방향족기 치환 지방족 화합물로부터 유도되어 있어도 된다. 구체적으로는, 2관능 이소시아네이트(예를 들면, 1,3-페닐렌디이소시아네이트와 1,4-페닐렌디이소시아네이트의 혼합물, 2,4- 및 2,6-톨루엔디이소시아네이트, 1,3- 및 1,4-크실릴렌디이소시아네이트, 비스(4-이소이사네이트-페닐)메탄, 비스(4-이소시아네이트시클로헥실)메탄, 이소포론디이소시아네이트, 헥사메틸렌디이소시아네이트, 트리메틸헥사메틸렌디이소시아네이트 등), 상기 2관능 이소시아네이트와, 트리메티롤프로판, 펜타에리스리톨, 글리세린 등의 다관능 알코올; 상기 다관능 아코올의 알킬렌옥사이드 부가체와, 상기 2관능 이소시아네이트의 부가체; 헥사메틸렌디이소시아네이트, 헥사메틸렌-1,6-디이소시아네이트 또는 그 유도체 등의 환식 3량체; 등을 들 수 있다.Moreover, as said polyisocyanate compound, the polyisocyanate compound of Unexamined-Japanese-Patent No. 5-9407 can be used, The said polyisocyanate compound is an aliphatic, cyclic aliphatic, or aromatic group substituted aliphatic compound containing at least 2 isocyanate groups. It may be induced. Specifically, difunctional isocyanate (for example, a mixture of 1,3-phenylenediisocyanate and 1,4-phenylenediisocyanate, 2,4- and 2,6-toluene diisocyanate, 1,3- and 1, 4-xylylene diisocyanate, bis (4-isoisanate-phenyl) methane, bis (4-isocyanate cyclohexyl) methane, isophorone diisocyanate, hexamethylene diisocyanate, trimethyl hexamethylene diisocyanate, etc.), the said bifunctional Isocyanates and polyfunctional alcohols such as trimetholpropane, pentaerythritol and glycerin; An alkylene oxide adduct of the polyfunctional acol and an adduct of the difunctional isocyanate; Cyclic trimers such as hexamethylene diisocyanate, hexamethylene-1,6-diisocyanate or derivatives thereof; Etc. can be mentioned.

상기 폴리이소시아네이트 화합물에 블록제를 반응시켜서 얻어지는 화합물, 즉 폴리이소시아네이트 및 그 유도체의 이소시아네이트기에 블록제를 반응시켜서 얻어지는 화합물에 있어서의 이소시아네이트기 블록제로서는, 알코올류(예를 들면, 이소프로판올, tert-부탄올 등), 락탐류(예를 들면, ε-카프로락탐 등), 페놀류(예를 들면, 페놀, 크레졸, p-tert-부틸페놀, p-sec-부틸페놀, p-sec-아밀페놀, p-옥틸페놀, p-노닐페놀 등), 복소환식 히드록실 화합물(예를 들면, 3-히드록시피리딘, 8-히드록시퀴놀린 등), 활성 메틸렌 화합물(예를 들면, 디알킬말로네이트, 메틸에틸케톡심, 아세틸아세톤, 알킬아세토아세테이트옥심, 아세트옥심, 시클로헥사논옥심 등) 등을 들 수 있다. 이것들 외에, 일본 특허 공개 평6-295060호 공보 기재의 분자 내에 적어도 1개의 중합 가능한 이중결합 및 적어도 1개의 블록 이소시아네이트기 중 어느 하나를 갖는 화합물 등을 사용할 수 있다.As an isocyanate group blocking agent in the compound obtained by making a blocking agent react with the said polyisocyanate compound, ie, a compound obtained by making a blocking agent react with the isocyanate group of polyisocyanate and its derivatives, alcohols (for example, isopropanol and tert-butanol) ), Lactams (e.g., epsilon -caprolactam, etc.), phenols (e.g., phenol, cresol, p-tert-butylphenol, p-sec-butylphenol, p-sec-amylphenol, p- Octylphenol, p-nonylphenol, etc.), heterocyclic hydroxyl compounds (e.g., 3-hydroxypyridine, 8-hydroxyquinoline, etc.), active methylene compounds (e.g., dialkylmalonates, methylethylke Toxin, acetylacetone, alkyl acetoacetate oxime, acetoxime, cyclohexanone oxime and the like). In addition to these, compounds having at least one polymerizable double bond and at least one block isocyanate group in the molecule of JP-A-6-295060 can be used.

상기 멜라민 유도체로서는, 예를 들면 메티롤멜라민, 알킬화 메티롤멜라민(메티롤기를 메틸, 에틸, 부틸 등으로 에테르화한 화합물) 등을 들 수 있다. 이것들은 1종 단독으로 사용해도 좋고, 2종 이상을 병용해도 좋다. 이들 중에서도 보존 안정성이 양호하고, 감광층의 표면 경도 또는 경화막의 막강도 자체의 향상에 유효한 점에서 알킬화 메티롤멜라민이 바람직하고, 헥사메틸화 메티롤멜라민이 특히 바람직하다.Examples of the melamine derivatives include methirolmelamine and alkylated methirolmelamine (compounds obtained by etherification of a methrol group with methyl, ethyl, butyl, etc.) and the like. These may be used individually by 1 type and may use 2 or more types together. Among them, alkylated methirolmelamine is preferred, and hexamethylated methirolmelamine is particularly preferable because of its good storage stability, and the effect of improving the surface hardness of the photosensitive layer or the film strength itself of the cured film.

<기타 성분><Other Ingredients>

상기 기타의 성분으로서는 특별히 제한은 없고, 목적에 따라서 적당하게 선택할 수 있으며, 예를 들면, 필러, 열경화 촉진제, 열중합 금지제, 가소제, 착색제(착색 안료 또는 염료) 등을 들 수 있고, 또한 기재 표면으로의 밀착 촉진제 및 그 밖의 조제류(예를 들면, 도전성 입자, 충전제, 소포제, 난연제, 레벨링제, 박리 촉진제, 산화 방지제, 향료, 표면장력 조정제, 연쇄 이동제 등)를 병용해도 좋다.There is no restriction | limiting in particular as said other components, According to the objective, it can select suitably, For example, a filler, a thermosetting accelerator, a thermal polymerization inhibitor, a plasticizer, a coloring agent (colored pigment or dye), etc. are mentioned, The adhesion promoter to the substrate surface and other preparations (for example, conductive particles, fillers, antifoaming agents, flame retardants, leveling agents, peeling accelerators, antioxidants, fragrances, surface tension modifiers, chain transfer agents, etc.) may be used in combination.

이들 성분을 적당하게 함유시킴으로써 목적으로 하는 감광성 필름의 안정성, 사진성, 막물성 등의 성질을 조정할 수 있다.By containing these components suitably, properties, such as stability, a photographic property, and film | membrane property of the target photosensitive film, can be adjusted.

상기 필러에 대해서는, 예를 들면 일본 특허 공개 2008-250074호 공보의 단락 [0098]∼[0099]에 상세하게 기재되어 있다.The filler is described in detail in, for example, paragraphs [0098] to [0099] of JP-A-2008-250074.

상기 열중합 금지제에 대해서는, 예를 들면 일본 특허 공개 2008-250074호 공보의 단락 [0101]∼[0102]에 상세하게 기재되어 있다.The thermal polymerization inhibitor is described in detail in, for example, paragraphs [0101] to [0102] of JP2008-250074A.

상기 열경화 촉진제에 대해서는, 예를 들면 일본 특허 공개 2008-250074호 공보의 단락 [0093]에 상세하게 기재되어 있다.The thermosetting accelerator is described in detail in, for example, paragraph [0093] of JP2008-250074A.

상기 가소제에 대해서는, 예를 들면 일본 특허 공개 2008-250074호 공보의 단락 [0103]∼[0104]에 상세하게 기재되어 있다.The plasticizer is described in detail in, for example, paragraphs [0103] to [0104] of JP2008-250074A.

상기 착색제에 대해서는, 예를 들면 일본 특허 공개 2008-250074호 공보의 단락 [0105]∼[0106]에 상세하게 기재되어 있다.About the said coloring agent, it describes in detail in paragraphs [0105]-[0106] of Unexamined-Japanese-Patent No. 2008-250074, for example.

상기 밀착 촉진제에 대해서는, 예를 들면 일본 특허 공개 2008-250074호 공보의 단락 [0107]∼[0109]에 상세하게 기재되어 있다.The adhesion promoter is described in detail in paragraphs [0107] to [0109] of JP2008-250074A, for example.

(감광성 필름)(Photosensitive film)

본 발명의 감광성 필름은 적어도 지지체와, 상기 지지체 상에 본 발명의 감광성 조성물로 이루어지는 감광층을 가지고 이루어지고, 필요에 따라서 기타의 층을 더 가지고 이루어진다.The photosensitive film of this invention consists of at least a support body and the photosensitive layer which consists of the photosensitive composition of this invention on the said support body, and further has other layers as needed.

-지지체-Support

상기 지지체로서는 특별히 제한은 없고, 목적에 따라서 적당하게 선택할 수 있지만, 상기 감광층을 박리 가능하고, 또한 광의 투과성이 양호한 것이 바람직하고, 또한 표면의 평활성이 양호한 것이 보다 바람직하다.There is no restriction | limiting in particular as said support body, Although it can select suitably according to the objective, it is preferable that the said photosensitive layer is peelable, and that light transmittance is favorable, and that surface smoothness is more preferable.

상기 지지체는 합성수지제이고, 또한 투명한 것이 바람직하며, 예를 들면, 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리에틸렌나프타레이트, 폴리프로필렌, 폴리에틸렌, 셀룰로오스 트리아세테이트, 셀룰로오스 디아세테이트, 폴리(메타)아크릴산 알킬에스테르, 폴리(메타)아크릴산 에스테르 공중합체, 폴리염화비닐, 폴리비닐알코올, 폴리카보네이트, 폴리스티렌, 셀로판, 폴리염화비닐리덴 공중합체, 폴리아미드, 폴리이미드, 염화비닐·아세트산 비닐 공중합체, 폴리테트라플루오로에틸렌, 폴리트리플루오로에틸렌, 셀룰로오스계 필름, 나일론 필름 등의 각종 플라스틱 필름을 들 수 있고, 이들 중에서도 폴리에틸렌테레프탈레이트가 특히 바람직하다. 이들은 1종 단독으로 사용해도 좋고, 2종 이상을 병용해도 좋다.The support is made of a synthetic resin and is preferably transparent. For example, polyethylene terephthalate, polyethylene naphthalate, polypropylene, polyethylene, cellulose triacetate, cellulose diacetate, poly (meth) acrylic acid alkyl ester, poly (meth) Acrylic ester copolymer, polyvinyl chloride, polyvinyl alcohol, polycarbonate, polystyrene, cellophane, polyvinylidene chloride copolymer, polyamide, polyimide, vinyl chloride vinyl acetate copolymer, polytetrafluoroethylene, polytrifluoro Various plastic films, such as a low ethylene, a cellulose film, and a nylon film, are mentioned, Among these, polyethylene terephthalate is especially preferable. These may be used individually by 1 type and may use 2 or more types together.

상기 지지체의 두께는 특별히 제한은 없고, 목적에 따라서 적당하게 선택할 수 있지만, 예를 들면, 2㎛∼150㎛가 바람직하고, 5㎛∼100㎛가 보다 바람직하며, 8㎛∼50㎛가 특히 바람직하다.There is no restriction | limiting in particular in the thickness of the said support body, Although it can select suitably according to the objective, For example, 2 micrometers-150 micrometers are preferable, 5 micrometers-100 micrometers are more preferable, 8 micrometers-50 micrometers are especially preferable. Do.

상기 지지체의 형상으로서는 특별히 제한은 없고, 목적에 따라서 적당하게 선택할 수 있지만, 장척상이 바람직하다. 상기 장척상의 지지체의 길이는 특별히 제한은 없고, 예를 들면 10∼20,000m의 길이의 것을 들 수 있다.There is no restriction | limiting in particular as a shape of the said support body, Although it can select suitably according to the objective, the elongate phase is preferable. There is no restriction | limiting in particular in the length of the said elongate support body, For example, the thing of the length of 10-20,000m is mentioned.

-감광층-Photosensitive layer

상기 감광층은 감광성 조성물로 이루어지는 층이면 특별히 제한은 없고, 목적에 따라서 적당하게 선택할 수 있다.There is no restriction | limiting in particular if the said photosensitive layer consists of a photosensitive composition, According to the objective, it can select suitably.

또한, 상기 감광층의 적층수로서는 특별히 제한은 없고, 목적에 따라서 적당하게 선택할 수 있으며, 예를 들면 1층이라도 되고, 2층 이상이라도 된다.There is no restriction | limiting in particular as a lamination number of the said photosensitive layer, According to the objective, it can select suitably, For example, one layer may be sufficient and two or more layers may be sufficient.

상기 감광층의 형성방법으로서는 상기 지지체 상에 본 발명의 상기 감광성 조성물을 물 또는 용제에 용해, 유화 또는 분산시켜서 감광성 조성물 용액을 조제하고, 상기 용액을 직접 도포하여 건조시킴으로써 적층하는 방법을 들 수 있다.As a formation method of the said photosensitive layer, the method of laminating | stacking is prepared by melt | dissolving, emulsifying, or disperse | distributing the said photosensitive composition of this invention in water or a solvent on the said support body, preparing a photosensitive composition solution, and apply | coating and drying the said solution directly. .

상기 감광성 조성물 용액의 용제로서는 특별히 제한은 없고, 목적에 따라서 적당하게 선택할 수 있으며, 예를 들면, 메탄올, 에탄올, 노말-프로판올, 이소프로판올, 노말-부탄올, 세컨더리부탄올, 노말-헥사놀 등의 알코올류; 아세톤, 메틸에틸케톤, 메틸이소부틸케톤, 시클로헥사논, 디이소부틸케톤 등의 케톤류; 아세트산 에틸, 아세트산 부틸, 아세트산-노말-아밀, 황산 메틸, 프로피온산 에틸, 프탈산 디메틸, 벤조산 에틸, 및 메톡시프로필아세테이트 등의 에스테르류; 톨루엔, 크실렌, 벤젠, 에틸벤젠 등의 방향족 탄화수소류; 사염화탄소, 트리클로로에틸렌, 클로로포름, 1,1,1-트리클로로에탄, 염화메틸렌, 모노클로로벤젠 등의 할로겐화 탄화수소류; 테트라히드로푸란, 디에틸에테르, 에틸렌글리콜모노메틸에테르, 에틸렌글리콜모노에틸에테르, 1-메톡시-2-프로판올 등의 에테르류; 디메틸포름아미드, 디메틸 아세트아미드, 디메틸렌술폭사이드, 설포란 등을 들 수 있다. 이들은 1종 단독으로 사용해도 좋고, 2종 이상을 병용해도 좋다. 또한, 공지의 계면활성제를 첨가해도 좋다.There is no restriction | limiting in particular as a solvent of the said photosensitive composition solution, According to the objective, it can select suitably, For example, alcohol, such as methanol, ethanol, normal-propanol, isopropanol, normal-butanol, secondary butanol, and normal-hexanol ; Ketones such as acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, cyclohexanone and diisobutyl ketone; Esters such as ethyl acetate, butyl acetate, acetate-normal-amyl, methyl sulfate, ethyl propionate, dimethyl phthalate, ethyl benzoate, and methoxypropyl acetate; Aromatic hydrocarbons such as toluene, xylene, benzene and ethylbenzene; Halogenated hydrocarbons such as carbon tetrachloride, trichloroethylene, chloroform, 1,1,1-trichloroethane, methylene chloride and monochlorobenzene; Ethers such as tetrahydrofuran, diethyl ether, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether and 1-methoxy-2-propanol; Dimethyl formamide, dimethyl acetamide, dimethylene sulfoxide, sulfolane, etc. are mentioned. These may be used individually by 1 type and may use 2 or more types together. Moreover, you may add a well-known surfactant.

상기 도포의 방법으로서는 특별히 제한은 없고, 목적에 따라서 적당하게 선택할 수 있으며, 예를 들면 스핀 코터, 슬릿 스핀 코터, 롤 코터, 다이 코터, 커튼 코터 등을 이용하여, 상기 지지체에 직접 도포하는 방법을 들 수 있다.There is no restriction | limiting in particular as said coating method, According to the objective, it can select suitably, For example, the method of apply | coating directly to the said support body using a spin coater, a slit spin coater, a roll coater, a die coater, a curtain coater, etc. Can be mentioned.

상기 건조의 조건으로서는 각 성분, 용매의 종류, 사용 비율 등에 따라서도 다르지만, 통상 60℃∼110℃의 온도에서 30초간∼15분간 정도이다.As said drying conditions, although it changes also with each component, the kind of solvent, a use ratio, etc., it is about 30 to 15 minutes normally at the temperature of 60 degreeC-110 degreeC.

상기 감광층의 두께로서는 특별히 제한은 없고, 목적에 따라서 적당하게 선택할 수 있지만, 예를 들면 1㎛∼100㎛가 바람직하고, 2㎛∼50㎛가 보다 바람직하며, 4㎛∼30㎛가 특히 바람직하다.There is no restriction | limiting in particular as thickness of the said photosensitive layer, Although it can select suitably according to the objective, For example, 1 micrometer-100 micrometers are preferable, 2 micrometers-50 micrometers are more preferable, 4 micrometers-30 micrometers are especially preferable. Do.

<기타 층><Other floors>

상기 기타 층으로서는 특별히 제한은 없고, 목적에 따라서 적당하게 선택할 수 있으며, 예를 들면 보호필름, 열가소성 수지층, 배리어층, 박리층, 접착층, 광흡수층, 표면보호층 등의 층을 들 수 있다. 상기 감광성 필름은 이들 층을 1종 단독으로 갖고 있어도 되고, 2종 이상을 갖고 있어도 된다.There is no restriction | limiting in particular as said other layer, According to the objective, it can select suitably, For example, layers, such as a protective film, a thermoplastic resin layer, a barrier layer, a peeling layer, an adhesive layer, a light absorption layer, and a surface protective layer, are mentioned. The said photosensitive film may have these layers individually by 1 type, and may have 2 or more types.

<<보호필름>><< protective film >>

상기 감광성 필름은 상기 감광층 상에 보호필름을 형성해도 좋다. The said photosensitive film may form a protective film on the said photosensitive layer.

상기 보호필름으로서는, 예를 들면 상기 지지체에 사용되는 것, 종이, 폴리에틸렌, 폴리프로필렌이 라미네이트된 종이 등을 들 수 있고, 이들 중에서도 폴리에틸렌 필름, 폴리프로필렌 필름이 바람직하다.As said protective film, what is used for the said support | support, paper, polyethylene, the paper laminated | stacked polypropylene, etc. are mentioned, for example, Among these, a polyethylene film and a polypropylene film are preferable.

상기 보호필름의 두께는 특별히 제한은 없고, 목적에 따라서 적당하게 선택할 수 있지만, 예를 들면 5㎛∼100㎛가 바람직하고, 8㎛∼50㎛가 보다 바람직하며, 10㎛∼30㎛가 특히 바람직하다.Although the thickness of the said protective film does not have a restriction | limiting in particular, According to the objective, it can select suitably, For example, 5 micrometers-100 micrometers are preferable, 8 micrometers-50 micrometers are more preferable, 10 micrometers-30 micrometers are especially preferable. Do.

상기 지지체와 보호필름의 조합(지지체/보호필름)으로서는, 예를 들면 폴리에틸렌테레프탈레이트/폴리프로필렌, 폴리에틸렌테레프탈레이트/폴리에틸렌, 폴리염화비닐/셀로판, 폴리이미드/폴리프로필렌, 폴리에틸렌테레프탈레이트/폴리에틸렌테레프탈레이트 등을 들 수 있다. 또한, 지지체 및 보호필름의 적어도 어느 하나를 표면처리함으로써 층간 접착력을 조정할 수 있다. 상기 지지체의 표면처리는 상기 감광층과의 접착력을 높이기 위해서 실시되어도 좋고, 예를 들면 프라이머층의 도포, 코로나 방전 처리, 화염 처리, 자외선 조사 처리, 고주파 조사 처리, 글로우 방전 조사 처리, 활성 플라즈마 조사 처리, 레이저 광선 조사 처리 등을 들 수 있다.As the combination (support / protective film) of the support and the protective film, for example, polyethylene terephthalate / polypropylene, polyethylene terephthalate / polyethylene, polyvinyl chloride / cellophane, polyimide / polypropylene, polyethylene terephthalate / polyethylene terephthalate Etc. can be mentioned. In addition, the interlayer adhesion may be adjusted by surface treatment of at least one of the support and the protective film. The surface treatment of the support may be carried out in order to increase the adhesion with the photosensitive layer, and for example, coating of a primer layer, corona discharge treatment, flame treatment, ultraviolet irradiation treatment, high frequency irradiation treatment, glow discharge irradiation treatment, active plasma irradiation Treatment, laser beam irradiation treatment, and the like.

또한, 상기 지지체와 상기 보호필름의 정마찰계수는 0.3∼1.4가 바람직하고, 0.5∼1.2가 보다 바람직하다.Moreover, 0.3-1.4 are preferable and, as for the static friction coefficient of the said support body and the said protective film, 0.5-1.2 are more preferable.

상기 정마찰계수가 0.3 이상이면 지나치게 미끄러짐에 의해 롤 형상으로 한 경우에 권취 어긋남이 발생하는 것을 방지할 수 있고, 1.4 이하이면 양호한 롤 형상으로 권취할 수 있다.If the said static friction coefficient is 0.3 or more, winding shift | offset | difference can be prevented from occurring when it is made into a roll shape by slipping too much, and if it is 1.4 or less, it can wind up to a favorable roll shape.

상기 감광성 필름은, 예를 들면 원통 형상의 권심에 권취하여 장척상으로 롤 형상으로 권취하여 보관되는 것이 바람직하다. 상기 장척상의 감광성 필름의 길이는 특별히 제한은 없고, 예를 들면 10m∼20,000m의 범위로부터 적당하게 선택할 수 있다. 또한, 유저가 사용하기 쉽도록 슬릿 가공하고, 100m∼1,000m 범위의 장척체를 롤 형상으로 하여도 된다. 또한, 이 경우에는 상기 지지체가 가장 외측이 되도록 권취하는 것이 바람직하다. 또한, 상기 롤 형상의 감광성 필름을 시트 형상으로 슬릿해도 좋다. 보관할 때에 끝면의 보호, 엣지 퓨전을 방지하는 관점으로부터 끝면에는 세퍼레이터(특히 방습성의 것, 건조제가 들어간 것)를 설치하는 것이 바람직하고, 또한 곤포도 투습성이 낮은 소재를 사용하는 것이 바람직하다.It is preferable that the said photosensitive film is wound up and stored in roll shape in elongate shape, for example, by winding in a cylindrical core. There is no restriction | limiting in particular in the length of the said elongate photosensitive film, For example, it can select suitably from the range of 10m-20,000m. Moreover, you may slit process so that a user may use it, and you may make the elongate body of 100 m-1,000 m range into roll shape. In this case, it is preferable that the support is wound up to the outermost side. Moreover, you may slit the said roll-shaped photosensitive film in sheet form. When storing, it is preferable to provide a separator (particularly moisture-proof and a desiccant containing) on the end surface from the viewpoint of protecting the end surface and preventing edge fusion, and it is preferable to use a material having a low moisture permeability for packing.

상기 보호필름은 상기 보호필름과 상기 감광층의 접착성을 조정하기 위해서 표면처리해도 좋다. 상기 표면처리는, 예를 들면 상기 보호필름의 표면에 폴리올가노실록산, 불소화 폴리올레핀, 폴리플루오로에틸렌, 폴리비닐알코올 등의 폴리머로 이루어지는 프라이머층을 형성시킨다. 상기 프라이머층의 형성은 상기 폴리머 의 도포액을 상기 보호필름의 표면에 도포한 후, 30℃∼150℃에서 1∼30분간 건조 시킴으로써 형성시킬 수 있다. 상기 건조시의 온도는 50℃∼120℃가 특히 바람직하다.The protective film may be surface treated in order to adjust the adhesion between the protective film and the photosensitive layer. The surface treatment forms, for example, a primer layer made of a polymer such as polyorganosiloxane, fluorinated polyolefin, polyfluoroethylene, polyvinyl alcohol, etc. on the surface of the protective film. The primer layer may be formed by applying the polymer coating liquid to the surface of the protective film and then drying at 30 ° C. to 150 ° C. for 1 to 30 minutes. As for the temperature at the time of the said drying, 50 degreeC-120 degreeC is especially preferable.

(감광성 적층체)(Photosensitive laminated body)

상기 감광성 적층체는 적어도 기체와, 상기 기체 상에 설치된 감광층을 가지고 이루어지고, 목적에 따라서 적당하게 선택되는 그 밖의 층을 적층해서 이루어진다.The said photosensitive laminated body consists of at least base | substrate and the photosensitive layer provided on the said base | substrate, and is laminated | stacked by the other layer suitably selected according to the objective.

상기 감광층은 상술의 제조방법으로 제작된 상기 감광성 필름으로부터 전사된 것이며, 상술과 동일한 구성을 갖는다.The photosensitive layer is transferred from the photosensitive film produced by the above-described manufacturing method, and has the same configuration as described above.

<기체><Gas>

상기 기체는 감광층이 형성되는 피처리 기체, 또는 본 발명의 감광성 필름의 적어도 감광층이 전사되는 피전사체로 되는 것으로, 특별히 제한은 없고, 목적에 따라서 적당하게 선택할 수 있으며, 예를 들면 표면 평활성이 높은 것으로부터 요철이 있는 표면을 가지는 것까지 임의로 선택할 수 있다. 판형상의 기체가 바람직하고, 소위 기판이 사용된다. 구체적으로는, 공지의 프린트 배선판 제조용의 기판(프린트 기판), 유리판(소다유리판 등), 합성 수지성의 필름, 종이, 금속판 등을 들 수 있다.The substrate is a target gas to which the photosensitive layer is formed, or a transfer body to which at least the photosensitive layer of the photosensitive film of the present invention is transferred, and is not particularly limited, and may be appropriately selected according to the purpose, for example, surface smoothness. It can select arbitrarily from this high thing to the thing with the uneven surface. A plate-shaped gas is preferable and a so-called substrate is used. Specifically, the board | substrate (print board | substrate) for manufacturing a well-known printed wiring board, a glass plate (such as a soda glass plate), a synthetic resin film, paper, a metal plate, etc. are mentioned.

<감광성 적층체의 제조방법><Method for Producing Photosensitive Laminate>

상기 감광성 적층체의 제조방법으로서 본 발명의 감광성 필름에 있어서의 적어도 감광층을 가열 및 가압 중 적어도 어느 하나를 행하면서 전사해서 적층하는 방법을 들 수 있다.As a manufacturing method of the said photosensitive laminated body, the method of transferring and laminating | stacking at least any one of a heating and pressurization at least the photosensitive layer in the photosensitive film of this invention is mentioned.

상기 감광성 적층체의 제조방법은 상기 기체의 표면에 본 발명의 감광성 필름을 가열 및 가압 중 적어도 어느 하나를 행하면서 적층한다. 또한, 상기 감광성 필름이 상기 보호필름을 가질 경우에는 상기 보호필름을 박리하고, 상기 기체에 상기 감광층이 겹치도록 해서 적층하는 것이 바람직하다.The manufacturing method of the said photosensitive laminated body is laminated | stacked on the surface of the said base, performing the photosensitive film of this invention at least any one of heating and pressurization. In addition, when the said photosensitive film has the said protective film, it is preferable to peel off the said protective film and to laminate | stack so that the said photosensitive layer may overlap with the said base | substrate.

상기 가열온도는 특별히 제한은 없고, 목적에 따라서 적당하게 선택할 수 있으며, 예를 들면 15℃∼180℃가 바람직하고, 60℃∼140℃가 보다 바람직하다.There is no restriction | limiting in particular in the said heating temperature, According to the objective, it can select suitably, For example, 15 degreeC-180 degreeC is preferable, and 60 degreeC-140 degreeC is more preferable.

상기 가압의 압력은 특별히 제한은 없고, 목적에 따라서 적당하게 선택할 수 있으며, 예를 들면, 0.1MPa∼1.0MPa가 바람직하고, 0.2MPa∼0.8MPa가 보다 바람직하다.There is no restriction | limiting in particular in the pressure of the said pressurization, According to the objective, it can select suitably, For example, 0.1 MPa-1.0 MPa are preferable, and 0.2 MPa-0.8 MPa are more preferable.

상기 가열의 적어도 어느 하나를 행하는 장치로서는 특별히 제한은 없고, 목적에 따라서 적당하게 선택할 수 있으며, 예를 들면 라미네이터(예를 들면, 다이세이 라미네이터 가부시키가이샤 제, VP-II, 니치고모톤 가부시키가이샤제, VP130) 등이 바람직하게 예시된다. There is no restriction | limiting in particular as an apparatus which performs at least any of the said heating, According to the objective, it can select suitably, For example, a laminator (for example, Daisei Laminator Co., Ltd., VP-II, Nichigomoton Co., Ltd.). Kaiser, VP130) etc. are mentioned preferably.

본 발명의 감광성 필름 및 상기 감광성 적층체는 막두께가 균일하고 핀홀이나 뭉침(cissing) 등의 면상 결함의 발생 비율이 매우 낮기 때문에, 절연 신뢰성이 뛰어나고, 고정세한 영구패턴(보호막, 층간 절연막, 및 솔더레지스트 패턴 등)을 효율적으로 형성 가능하다. 따라서, 전자재료 분야에 있어서의 고정세한 영구패턴의 형성용으로서 널리 사용할 수 있고, 특히, 프린트 기판의 영구패턴 형성용에 적합하게 사용할 수 있다.Since the photosensitive film and the photosensitive laminate of the present invention have a uniform film thickness and a very low incidence of surface defects such as pinholes and cissing, the photosensitive film has excellent insulation reliability and high definition permanent patterns (protective film, interlayer insulating film, And solder resist patterns) can be efficiently formed. Therefore, it can be widely used for forming a high-definition permanent pattern in the field of electronic materials, and can be used especially for permanent pattern formation of a printed board.

(영구패턴 형성방법)(Permanent pattern formation method)

본 발명의 영구패턴 형성방법은 노광공정을 적어도 포함하고, 또한 필요에 따라 적당하게 선택한 현상공정 등의 그 밖의 공정을 포함한다.The permanent pattern forming method of the present invention includes at least an exposure step, and further includes other steps such as a developing step appropriately selected as necessary.

<노광공정>Exposure process

상기 노광공정은 본 발명의 감광성 적층체에 있어서의 감광층에 대하여 노광을 행하는 공정이다. 본 발명의 감광성 적층체에 대해서는 상술한 바와 같다.The said exposure process is a process of exposing to the photosensitive layer in the photosensitive laminated body of this invention. The photosensitive laminated body of this invention is as above-mentioned.

상기 노광의 대상으로서는 상기 감광성 적층체에 있어서의 감광층인 한 특별히 제한은 없고, 목적에 따라서 적당하게 선택할 수 있으며, 예를 들면 상술한 바와 같이, 기재 상에 감광성 필름을 가열 및 가압 중 적어도 어느 하나를 행하면서 적층해서 형성한 감광성 적층체에 대하여 행하여지는 것이 바람직하다.There is no restriction | limiting in particular as an object of the said exposure as long as it is a photosensitive layer in the said photosensitive laminated body, According to the objective, it can select suitably, For example, as mentioned above, at least any of heating and pressurizing a photosensitive film on a base material It is preferable to carry out about the photosensitive laminated body formed by laminating | stacking while doing one.

상기 노광으로서는 특별히 제한은 없고, 목적에 따라서 적당하게 선택할 수 있으며, 디지털 노광, 아날로그 노광 등을 들 수 있지만, 이들 중에서도 디지털 노광이 바람직하다.There is no restriction | limiting in particular as said exposure, According to the objective, it can select suitably, Digital exposure, analog exposure, etc. are mentioned, Among these, digital exposure is preferable.

<기타 공정><Other Processes>

상기 기타 공정으로서는 특별히 제한은 없고, 목적에 따라서 적당하게 선택할 수 있으며, 예를 들면 기재의 표면처리 공정, 현상공정, 경화처리 공정, 포스트 노광공정 등을 들 수 있다.There is no restriction | limiting in particular as said other process, According to the objective, it can select suitably, For example, the surface treatment process of a base material, a developing process, a hardening process, a post exposure process, etc. are mentioned.

<<현상공정>><< Development Process >>

상기 현상으로서는 상기 감광층의 미노광 부분을 제거함으로써 행하여진다.The development is performed by removing the unexposed portion of the photosensitive layer.

상기 미경화 영역의 제거방법으로서는 특별히 제한은 없고, 목적에 따라서 적당하게 선택할 수 있으며, 예를 들면 현상액을 이용하여 제거하는 방법 등을 들 수 있다.There is no restriction | limiting in particular as a removal method of the said unhardened area | region, According to the objective, it can select suitably, For example, the method of removing using a developing solution, etc. are mentioned.

상기 현상액으로서는 특별히 제한은 없고, 목적에 따라서 적당하게 선택할 수 있지만, 예를 들면 알칼리성 수용액, 수계 현상액, 유기용제 등을 들 수 있고, 이들 중에서도 약알칼리성의 수용액이 바람직하다. 상기 약알칼리 수용액의 염기 성분으로서는, 예를 들면 수산화리튬, 수산화나트륨, 수산화칼륨, 탄산리튬, 탄산나트륨, 탄산칼륨, 탄산수소리튬, 탄산수소나트륨, 탄산수소칼륨, 인산나트륨, 인산칼륨, 피로인산나트륨, 피로인산칼륨, 붕사 등을 들 수 있다.There is no restriction | limiting in particular as said developing solution, Although it can select suitably according to the objective, For example, an alkaline aqueous solution, an aqueous developing solution, an organic solvent, etc. are mentioned, Among these, a weakly alkaline aqueous solution is preferable. Examples of the base component of the weak alkaline aqueous solution include lithium hydroxide, sodium hydroxide, potassium hydroxide, lithium carbonate, sodium carbonate, potassium carbonate, lithium carbonate, sodium hydrogen carbonate, potassium hydrogen carbonate, sodium phosphate, potassium phosphate, and sodium pyrophosphate. And potassium pyrophosphate, borax and the like.

상기 약알칼리성의 수용액의 pH는, 예를 들면 8∼12가 바람직하고, 9∼11이 보다 바람직하다. 상기 약알칼리성의 수용액으로서는 예를 들면, 0.1질량%∼5질량%의 탄산나트륨 수용액 또는 탄산칼륨 수용액 등을 들 수 있다.8-12 are preferable and, as for pH of the said weakly alkaline aqueous solution, 9-11 are more preferable, for example. As said weak alkaline aqueous solution, 0.1 mass%-5 mass% of sodium carbonate aqueous solution or potassium carbonate aqueous solution, etc. are mentioned, for example.

상기 현상액의 온도는 상기 감광층의 현상성에 맞춰서 적당하게 선택할 수 있지만, 예를 들면 약 25℃∼40℃가 바람직하다.Although the temperature of the said developing solution can be suitably selected according to the developability of the said photosensitive layer, about 25 degreeC-40 degreeC is preferable, for example.

상기 현상액은 계면활성제, 소포제, 유기염기(예를 들면 에틸렌디아민, 에탄올아민, 테트라메틸암모늄하이드로옥사이드, 디에틸렌트리아민, 트리에틸렌펜타민, 모르폴린, 트리에탄올아민 등)나, 현상을 촉진시키기 위해서 유기용제(예를 들면 알코올류, 케톤류, 에스테르류, 에테르류, 아미드류, 락톤류 등) 등과 병용해도 좋다. 또한 상기 현상액은 물 또는 알칼리 수용액과 유기용제를 혼합한 수계 현상액이라도 되고, 유기용제 단독이라도 된다.The developer is a surfactant, an antifoaming agent, an organic base (for example, ethylenediamine, ethanolamine, tetramethylammonium hydrooxide, diethylenetriamine, triethylenepentamine, morpholine, triethanolamine, etc.) and in order to promote development. You may use together with the organic solvent (for example, alcohol, ketones, ester, ether, amide, lactone, etc.). The developer may be an aqueous developer in which water or an alkali aqueous solution and an organic solvent are mixed, or may be an organic solvent alone.

<<경화처리 공정>><< hardening process >>

상기 경화처리 공정은 상기 현상공정이 행하여진 후, 형성된 패턴에 있어서의 감광층에 대하여 경화처리를 행하는 공정이다.The said hardening process is a process of hardening | curing the photosensitive layer in the formed pattern after the said image development process is performed.

상기 경화처리 공정으로서는 특별히 제한은 없고, 목적에 따라서 적당하게 선택할 수 있지만, 예를 들면 전면 노광처리, 전면 가열처리 등을 적합하게 들 수 있다.There is no restriction | limiting in particular as said hardening process, Although it can select suitably according to the objective, For example, a front surface exposure process, a front surface heat treatment, etc. are mentioned suitably.

상기 전면 노광처리의 방법으로서는, 예를 들면 상기 현상 후에 상기 영구패턴이 형성된 상기 감광성 적층체 상의 전면을 노광하는 방법을 들 수 있다. 상기 전면 노광에 의해 상기 감광층을 형성하는 감광성 조성물 중의 수지의 경화가 촉진되어 상기 영구패턴의 표면이 경화된다.As a method of the said front surface exposure process, the method of exposing the whole surface on the said photosensitive laminated body in which the said permanent pattern was formed after the said image development is mentioned, for example. Curing of resin in the photosensitive composition which forms the said photosensitive layer by the said front surface exposure is accelerated | stimulated, and the surface of the said permanent pattern is hardened.

상기 전면 노광을 행하는 장치로서는 특별히 제한은 없고, 목적에 따라서 적당하게 선택할 수 있지만, 예를 들면 초고압 수은등 등의 UV 노광기를 적합하게 들 수 있다.There is no restriction | limiting in particular as an apparatus which performs the said front surface exposure, Although it can select suitably according to the objective, For example, UV exposure machines, such as an ultrahigh pressure mercury lamp, are mentioned suitably.

상기 전면 가열처리의 방법으로서는 상기 현상 후에 상기 영구패턴이 형성된 상기 감광성 적층체 상의 전면을 가열하는 방법을 들 수 있다. 상기 전면 가열에 의해 상기 영구패턴 표면의 막강도가 높아진다.As a method of the said front surface heat processing, the method of heating the whole surface on the said photosensitive laminated body in which the said permanent pattern was formed after the said image development is mentioned. The film strength of the surface of the permanent pattern is increased by the front heating.

상기 전면 가열에 있어서의 가열온도는 120℃∼250℃가 바람직하고, 120℃∼200℃가 보다 바람직하다. 상기 가열온도가 120℃ 이상이면 가열처리에 의해 막강도가 향상되고, 250℃ 이하이면 상기 감광성 조성물 중의 수지의 분해가 발생하여 막질이 약하게 물러지는 것을 방지할 수 있다.120 degreeC-250 degreeC is preferable, and, as for the heating temperature in the said front heating, 120 degreeC-200 degreeC is more preferable. When the said heating temperature is 120 degreeC or more, film | membrane intensity | strength improves by heat processing, and when it is 250 degrees C or less, decomposition | disassembly of resin in the said photosensitive composition may arise and it can prevent that a film quality is weakly receded.

상기 전면 가열에 있어서의 가열시간은 10분∼120분이 바람직하고, 15분∼60분이 보다 바람직하다.10 minutes-120 minutes are preferable, and, as for the heating time in the said whole surface heating, 15 minutes-60 minutes are more preferable.

상기 전면 가열을 행하는 장치로서는 특별히 제한은 없고, 공지의 장치 중에서 목적에 따라 적당하게 선택할 수 있으며, 예를 들면 드라이 오븐, 핫플레이트, IR 히터 등을 들 수 있다.There is no restriction | limiting in particular as an apparatus which performs said whole surface heating, It can select suitably from a well-known apparatus according to the objective, For example, a dry oven, a hotplate, an IR heater, etc. are mentioned.

상기 영구패턴의 형성방법이 보호막, 층간 절연막, 및 솔더레지스트 패턴 중 적어도 어느 하나를 형성하는 영구패턴 형성방법일 경우에는, 프린트 배선판 상에 상기 영구패턴 형성방법에 의해 영구패턴을 형성하고, 또한 이하와 같이 납땜을 행할 수 있다.When the permanent pattern forming method is a permanent pattern forming method for forming at least one of a protective film, an interlayer insulating film, and a solder resist pattern, a permanent pattern is formed on the printed wiring board by the permanent pattern forming method. Soldering can be performed as follows.

즉, 상기 현상에 의해 상기 영구패턴인 경화층이 형성되고, 상기 프린트 배선판의 표면에 금속층이 노출된다. 상기 프린트 배선판의 표면에 노출된 금속층 부위에 대하여 금도금을 행한 후에 납땜을 행한다. 그리고, 납땜을 행한 부위에 반도체나 부품 등을 실장한다. 이 때, 상기 경화층에 의한 영구패턴이 보호막 또는 절연막(층간 절연막), 솔더레지스트로서의 기능을 발휘하여 외부로부터의 충격이나 이웃끼리의 전극의 도통이 방지된다.That is, the hardening layer which is the said permanent pattern is formed by the said phenomenon, and a metal layer is exposed on the surface of the said printed wiring board. Soldering is performed after gold plating is performed on the metal layer part exposed on the surface of the printed wiring board. Then, a semiconductor, a component, or the like is mounted on the soldered portion. At this time, the permanent pattern by the hardened layer functions as a protective film, an insulating film (interlayer insulating film), and a solder resist, thereby preventing external shock and conduction of electrodes between neighbors.

(프린트 기판)(Printed board)

본 발명의 프린트 기판은 적어도 기체와, 상기 영구패턴 형성방법에 의해 형성된 영구패턴을 가지고 이루어지고, 또한 필요에 따라 적당하게 선택한 그 밖의 구성을 갖는다.The printed board of this invention has at least a base | substrate and the permanent pattern formed by the said permanent pattern formation method, and has the other structure suitably selected as needed.

그 밖의 구성으로서는 특별히 제한은 없고, 목적에 따라서 적당하게 선택할 수 있고, 예를 들면 기재와 상기 영구패턴 사이에 절연층이 더 형성된 빌드업 기판 등을 들 수 있다.There is no restriction | limiting in particular as another structure, According to the objective, it can select suitably, For example, the buildup board | substrate etc. which further provided the insulating layer between the base material and the said permanent pattern are mentioned.

[실시예][Example]

이하, 본 발명의 실시예를 설명하지만, 본 발명은 이들 실시예에 조금도 한정되는 것은 아니다.Hereinafter, although the Example of this invention is described, this invention is not limited to these Examples at all.

(합성예 1)Synthesis Example 1

-바인더(B-1)의 합성-Synthesis of Binder (B-1)

1,000mL의 3구 플라스크 내에 1-메톡시-2-프로판올 90.6g을 넣고, 질소기류하에서 90℃까지 가열했다. 이것에 벤질메타크릴레이트 105.8g, 메타크릴산 120.6g의 1-메톡시-2-프로판올 156g 용액과, V-601(와코쥰야쿠 가부시키가이샤제) 7.24g의 1-메톡시-2-프로판올 50g 용액을 각각 3시간에 걸쳐서 적하했다. 적하 종료 후, 1시간 더 가열해서 반응시켰다. 이어서, V-601(와코쥰야쿠 가부시키가이샤제) 2.00g의 1-메톡시-2-프로판올 20g 용액을 1시간에 걸쳐서 적하했다. 적하 종료 후, 3시간 더 가열해서 반응시킨 후, 가열을 멈추고 벤질메타크릴레이트/메타크릴산(30/70mol%비)의 공중합체를 얻었다.90.6 g of 1-methoxy-2-propanol was put into a 1,000 mL three neck flask, and it heated to 90 degreeC under nitrogen stream. Into this, 105.8 g of benzyl methacrylate and 156 g of 1-methoxy-2-propanol of 120.6 g of methacrylic acid and 7.24 g of 1-methoxy-2-propanol of V-601 (manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.) Each 50 g solution was dripped over 3 hours. After completion of the dropwise addition, the mixture was heated and reacted for 1 hour. Next, a 20-g solution of 2.00 g of V-601 (manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.) 2.00 g was added dropwise over 1 hour. After completion of the dropwise addition, the mixture was further heated and reacted for 3 hours, and then the heating was stopped to obtain a copolymer of benzyl methacrylate / methacrylic acid (30/70 mol% ratio).

이어서, 적하 깔때기에 글리시딜메타크릴레이트 105.2g, 1-메톡시-2-프로판올 20g을 첨가하고, 상기 플라스크에 p-메톡시페놀 0.34g을 첨가하여 교반해서 용해시켰다. 용해 후, 트리페닐포스핀 0.82g을 첨가하고, 100℃로 가열한 후에 적하 깔때기로부터 글리시딜메타크릴레이트를 1시간에 걸쳐서 적하하여 부가반응을 행하였다. 글리시딜메타크릴레이트가 소실된 것을 가스크로마토그래피로 확인하고 가열을 멈췄다. 1-메톡시-2-프로판올 45.8g을 첨가했다. 이상에 의해, 하기 식으로 나타내어지는 바인더(B-1)의 용액(고형분 45질량%)을 합성했다.Next, 105.2 g of glycidyl methacrylate and 20 g of 1-methoxy-2-propanol were added to the dropping funnel, and 0.34 g of p-methoxyphenol was added to the flask, followed by stirring to dissolve. After dissolution, 0.82 g of triphenylphosphine was added, and after heating to 100 ° C, glycidyl methacrylate was added dropwise from the dropping funnel over 1 hour to conduct an addition reaction. The loss of glycidyl methacrylate was confirmed by gas chromatography and the heating was stopped. 45.8 g of 1-methoxy-2-propanol was added. As mentioned above, the solution (solid content 45 mass%) of the binder (B-1) represented by a following formula was synthesize | combined.

얻어진 바인더(B-1)의 산가는 121mgKOH/g, 중량 평균 분자량은 3.1만이었다.The acid value of the obtained binder (B-1) was 121 mgKOH / g and the weight average molecular weight was 3.10,000.

Figure pat00038
Figure pat00038

(합성예 2) Synthesis Example 2

-산변성 비닐기 함유 폴리우레탄 수지 U1의 합성-Synthesis of Acid-modified Vinyl Group-containing Polyurethane Resin U1

콘덴서, 및 교반기를 구비한 500mL의 3구 둥근바닥 플라스크 내에 2,2-비스(히드록시메틸)프로피온산(DMPA) 10.86g(0.081몰)과 글리세롤모노메타크릴레이트(GLM) 16.82g(0.105몰)을 프로필렌글리콜모노메틸에테르모노아세테이트 79mL에 용해했다. 이것에 4,4-디페닐메탄디이소시아네이트(MDI) 37.54g(0.15몰), 2,6-디-t-부틸히드록시톨루엔 0.1g, 촉매로서 상품명:네오스탄 U-600(닛토카세이 가부시키가이샤제) 0.2g을 첨가하고, 75℃에서 5시간 가열 교반했다. 그 후에 메틸알코올 9.61mL로 희석하여 30분간 교반하고, 145g의 폴리머 용액을 얻었다. 10.86 g (0.081 mol) of 2,2-bis (hydroxymethyl) propionic acid (DMPA) and 16.82 g (0.105 mol) of glycerol monomethacrylate (GLM) in a 500 mL three-necked round bottom flask equipped with a condenser and a stirrer. Was dissolved in 79 mL of propylene glycol monomethyl ether monoacetate. 37.54 g (0.15 mol) of 4, 4- diphenylmethane diisocyanate (MDI), 0.1 g of 2, 6- di- t-butylhydroxytoluenes, a brand name as a catalyst: Neostane U-600 (Nitto Kasei Co., Ltd.) 0.2 g of Shikisha Co., Ltd. was added, and it heated and stirred at 75 degreeC for 5 hours. Thereafter, the mixture was diluted with 9.61 mL of methyl alcohol and stirred for 30 minutes to obtain 145 g of a polymer solution.

얻어진 산변성 비닐기 함유 폴리우레탄 수지 U1은 고형분 산가가 70mgKOH/g이며, 겔투과 크로마토그래피(GPC)로 측정한 중량 평균 분자량(폴리스티렌 표준)이 8,000이며, 비닐기 당량이 1.5mmol/g이었다.The obtained acid-modified vinyl-group containing polyurethane resin U1 had a solid acid value of 70 mgKOH / g, the weight average molecular weight (polystyrene standard) measured by gel permeation chromatography (GPC) was 8,000, and the vinyl group equivalent was 1.5 mmol / g.

상기 산가는 JIS K0070에 준거해서 측정했다. 단, 샘플이 용해되지 않는 경우에는 용매로서 디옥산 또는 테트라히드로푸란 등을 사용했다.The said acid value was measured based on JISK0070. However, when a sample did not melt | dissolve, dioxane, tetrahydrofuran, etc. were used as a solvent.

상기 중량 평균 분자량은 고속 GPC 장치(토요소다 가부시키가이샤제, HLC-802A)를 사용해서 측정했다. 즉, 0.5질량%의 HHF 용액을 시료 용액으로 하고, 컬럼은 TSKgelGMH 62개을 사용하며, 200μL의 시료를 주입하고, 상기 THF 용액에서 용리하여 25℃에서 굴절률 검출기에 의해 측정했다. 이어서, 표준 폴리스티렌으로 교정한 분자량 분포 곡선으로부터 중량 평균 분자량을 구했다.The said weight average molecular weight was measured using the high speed GPC apparatus (The HLC-802A by Toyo Chemical Co., Ltd.). That is, 0.5 mass% HHF solution was used as a sample solution, and the column used 62 TSKgelGMH, 200 microliters of samples were injected, eluted in the THF solution, and measured by the refractive index detector at 25 degreeC. Subsequently, the weight average molecular weight was calculated | required from the molecular weight distribution curve corrected with standard polystyrene.

상기 비닐기 당량은 브롬가를 JIS K2605에 준거해서 측정함으로써 구했다.The said vinyl group equivalent was calculated | required by measuring bromine number based on JISK2605.

(합성예 3) Synthesis Example 3

-산변성 비닐기 함유 폴리우레탄 수지 U2의 합성-Synthesis of Acid-modified Vinyl Group-containing Polyurethane Resin U2

합성예 2에 있어서, 4,4-디페닐메탄디이소시아네이트(MDI) 37.54g(0.15몰)을 4,4-디페닐메탄디이소시아네이트(MDI) 30.03g(0.12몰)과 헥사메틸렌디이소시아네이트(HMDI) 5.05g(0.03몰)의 조합으로 바꾸고, 2,2-비스(히드록시메틸)프로피온산(DMPA) 10.86g(0.081몰)과 글리세롤모노메타크릴레이트(GLM) 16.82g(0.105몰)의 조합을 2,2-비스(히드록시메틸)부탄산(DMBA) 10.22g(0.069몰)과 글리세롤모노메타크릴레이트(GLM) 12.97g(0.081몰)과 폴리프로필렌글리콜(분자량 400)(PPG 400) 4.80g(0.012몰)의 조합으로 바꾸며, 프로필렌글리콜모노메틸에테르모노아세테이트 79mL를 77mL로 바꾼 이외는, 합성예 2와 마찬가지로 해서 산변성 비닐기 함유 폴리우레탄 수지 U2를 합성했다.In Synthesis Example 2, 37.54 g (0.15 mol) of 4,4-diphenylmethane diisocyanate (MDI) was charged with 30.03 g (0.12 mol) of 4,4-diphenylmethane diisocyanate (MDI) and hexamethylene diisocyanate (HMDI). ) 5.05 g (0.03 mole), and a combination of 10.86 g (0.081 mole) of 2,2-bis (hydroxymethyl) propionic acid (DMPA) and 16.82 g (0.105 mole) of glycerol monomethacrylate (GLM) 10.22 g (0.069 mol) of 2,2-bis (hydroxymethyl) butanoic acid (DMBA), 12.97 g (0.081 mol) of glycerol monomethacrylate (GLM) and 4.80 g of polypropylene glycol (molecular weight 400) (PPG 400) The acid-modified vinyl-group-containing polyurethane resin U2 was synthesized in the same manner as in Synthesis Example 2, except that 79 mL of propylene glycol monomethyl ether monoacetate was changed to 77 mL instead of the combination of (0.012 mol).

얻어진 산변성 비닐기 함유 폴리우레탄 수지 U2는 고형분 산가가 65mgKOH/g이며, 겔투과 크로마토그래피(GPC)로 측정한 중량 평균 분자량(폴리스티렌 표준)이 15,000이며, 비닐기 당량이 1.26mmol/g이었다.The obtained acid-modified vinyl-group containing polyurethane resin U2 had a solid acid value of 65 mgKOH / g, the weight average molecular weight (polystyrene standard) measured by gel permeation chromatography (GPC) was 15,000, and the vinyl group equivalent was 1.26 mmol / g.

(실시예 1) (Example 1)

-감광성 필름의 제조-Production of Photosensitive Film

지지체로서의 두께 16㎛의 폴리에틸렌테레프탈레이트 필름(도레이 가부시키가이샤제, 16FB50) 상에 하기의 조성으로 이루어지는 감광성 조성물 용액을 도포하고, 건조시켜서 상기 지지체 상에 두께 30㎛의 감광층을 형성했다. 상기 감광층 상에 보호층으로서 두께 20㎛의 폴리프로필렌 필름(오우지 톡슈시 가부시키가이샤제, 알판 E-200)을 적층하여 감광성 필름을 제조했다.The photosensitive composition solution which consists of the following composition was apply | coated on the polyethylene terephthalate film (16FB50 by Toray Industries, Ltd.) of thickness 16micrometer as a support body, and it dried, and formed the photosensitive layer of thickness 30micrometer on the said support body. A photosensitive film was prepared by laminating a polypropylene film (Oji Tokushi Co., Ltd., Alpan E-200) having a thickness of 20 µm as a protective layer on the photosensitive layer.

-감광성 조성물 용액의 조성-Composition of Photosensitive Composition Solution

· 합성예 1의 바인더(B-1) 용액(고형분 45질량%) …37.2질량부· Binder (B-1) solution of synthesis example 1 (solid content: 45 mass%). 37.2 parts by mass

· 중합성 화합물(A-DPH, 신나카무라 카가쿠 고교 가부시키가이샤제)…11.15질량부Polymerizable compound (A-DPH, manufactured by Shin-Nakamura Kagaku Kogyo Co., Ltd.). 11.15 parts by mass

· 열가교제(에포토토 YDF-170, 도토 카세이 가부시키가이샤제, 비스페놀F형 에폭시 수지) …2.0질량부· Thermal crosslinking agent (Efototo YDF-170, manufactured by Toto Kasei Co., Ltd., bisphenol F type epoxy resin); 2.0 parts by mass

· 하기 구조식 C-1로 나타내어지는 광중합 개시제 …1.0질량부· Photoinitiator represented by the following structural formula C-1. 1.0 parts by mass

Figure pat00039
Figure pat00039

· 산화비스무트(도아고세이 가부시키가이샤제, IXE-530) …0.45질량부Bismuth oxide (manufactured by Toagosei Co., Ltd., IXE-530). 0.45 parts by mass

· 인산 지르코늄(도아고세이 가부시키가이샤제, IXE-100) …0.45질량부Zirconium phosphate (manufactured by Toagosei Co., Ltd., IXE-100). 0.45 parts by mass

· 안료 분산액(이하, 「G-1」이라고 칭할 경우도 있음) …36.1질량부Pigment dispersion liquid (Hereinafter, it may be called "G-1"). 36.1 parts by mass

· 메가팩 F-780F(다이니폰 잉크 카가쿠 고교 가부시키가이샤제)의 30질량% 메틸에틸케톤 용액 …0.13질량부30 mass% methyl ethyl ketone solution of Megapack F-780F (manufactured by Dainippon Ink & Chemicals Co., Ltd.). 0.13 parts by mass

· 메틸에틸케톤(용매) …12.0질량부 Methyl ethyl ketone (solvent). 12.0 parts by mass

또한, 상기 안료 분산액(G-1)은 실리카(아도마텍스 가부시키가이샤제, SO-C2) 30질량부와, 합성예 1의 바인더(B-1) 용액 48.2질량부와, 프탈로시아닌 블루 0.51질량부와, 안트라퀴논계 황색 안료(C.I. PY24) 0.14질량부와, 아세트산 노르말프로필 59.0질량부를 미리 혼합한 후, 모터밀 M-250(아이거사제)으로, 지름 1.0㎜의 지르코니아 비드를 사용하고, 주속 9m/s로 3시간 분산하여 조제했다.In addition, the said pigment dispersion (G-1) is 30 mass parts of silica (made by Adomatex, SO-C2), 48.2 mass parts of binder (B-1) solutions of the synthesis example 1, and 0.51 mass of phthalocyanine blue After mixing a part, 0.14 mass part of anthraquinone type yellow pigments (CI PY24), and 59.0 mass part of normal propyl acetates previously, zirconia bead of diameter 1.0mm is used with motor mill M-250 (made by Iger company), It was prepared by dispersing at 9 m / s for 3 hours.

-기체로의 적층-Lamination to gas

상기 기체로서 동장적층판(스루홀 없음, 구리두께 12㎛)의 표면에 화학연마 처리를 실시해서 조제했다. 상기 동장적층판 상에 상기 감광성 필름의 감광층이 상기 동장적층판에 접하도록 해서 상기 감광성 필름에 있어서의 보호필름을 박리하면서 진공 라미네이터(니치고모톤 가부시키가이샤제, VP130)를 이용하여 적층시키고, 상기 동장적층판과, 상기 감광층과, 상기 폴리에틸렌테레프탈레이트 필름(지지체)이 이 순서로 적층된 감광성 적층체를 제작했다.As the substrate, a chemical polishing treatment was carried out on the surface of a copper clad laminate (without through hole and copper thickness of 12 µm) to prepare. On the copper clad laminate, the photosensitive layer of the photosensitive film was brought into contact with the copper clad laminate and peeled off using a vacuum laminator (VP130, manufactured by Nichigo Moton Co., Ltd.) while peeling off the protective film in the photosensitive film. The photosensitive laminated body by which the copper clad laminated board, the said photosensitive layer, and the said polyethylene terephthalate film (support) were laminated | stacked in this order was produced.

압착 조건은 진공처리의 시간 40초, 압착온도 70℃, 압착압력 0.2MPa, 가압시간 10초로 했다.The crimping conditions were 40 seconds of vacuum processing, 70 degreeC of pressing temperature, 0.2MPa of pressing pressures, and 10 second of pressurization times.

얻어진 감광성 적층체 등에 대해서 이하와 같이 해서 절연 신뢰성, 감도, 내열충격성, 현상성, 해상성, 보존 안정성, 내열성, 기판 밀착성, 및 표면 경도의 평가를 행하였다. 결과를 표 1에 나타낸다.Evaluation of insulation reliability, sensitivity, thermal shock resistance, developability, resolution, storage stability, heat resistance, board | substrate adhesiveness, and surface hardness was performed as follows about the obtained photosensitive laminated body. The results are shown in Table 1.

<절연 신뢰성(HAST 시험)>Insulation Reliability (HAST Test)

상기 기재로서 구리두께 12㎛의 동장적층판을 라인/스페이스=50㎛/50㎛가 되도록 빗형으로 배선 형성한 것을 사용한 이외는, 상기 영구패턴의 형성방법과 마찬가지로 해서 작성된 영구패턴에 대해서 고속 가속 수명 시험(HAST 시험)을 행해 덴드라이트와 절연저항(Ω)을 평가했다. HAST 시험에서는 고가속도 시험기를 사용하고, 전자부품 모듈을 온도가 130℃이고 상대습도가 85%의 분위기 중, 전압 150V를 200시간 인가한 후에 동 조건 하에서 도체 범프의 절연저항(Ω)을 측정하고, 그 후에 도체 범프의 덴드라이트 관찰을 행해 이하와 같이 평가했다.A high-speed accelerated life test was performed on the permanent pattern produced in the same manner as the permanent pattern forming method except that the copper-clad laminate having a copper thickness of 12 μm was formed by comb-wiring such that the line / space was 50 μm / 50 μm. (HAST test) was performed to evaluate the dendrite and the insulation resistance (Ω). In the HAST test, a high acceleration tester is used, and the insulation resistance (Ω) of the conductor bumps is measured under the same conditions after applying a voltage of 150 V for 200 hours in an electronic component module at 130 ° C. and a relative humidity of 85%. Then, the dendrite observation of the conductor bump was performed and it evaluated as follows.

[평가기준][Evaluation standard]

◎ : 배선이 전혀 변화 없음◎: No change in wiring

○ : 덴드라이트는 보이지 않지만 양극 배선이 약간 변화되어 있음(Circle): No dendrite is seen but the anode wiring is a little changed.

△ : 덴드라이트는 보이지 않지만 양극 배선이 보기 흉함(Triangle | delta): A dendrite is not seen but an anode wiring is unsightly

× : 덴드라이트 있음×: With dendrites

<내열충격성(내크랙성)><Heat resistance (crack resistance)>

신뢰성 시험 항목으로서 온도 사이클 시험(TCT)에 의해 크랙이나 박리 등의 외관과 저항치 변화율을 평가했다. TCT는 기상 냉열 시험기를 사용하고, 전자부품 모듈을 온도가 -55℃ 및 125℃의 기상 중에 각 30분간 방치하고, 이것을 1사이클로 해서 1,000사이클의 조건으로 행하고, 이하의 기준으로 내열충격성을 평가했다.As a reliability test item, the appearance and the change rate of resistance value such as cracks and peeling were evaluated by a temperature cycle test (TCT). TCT used a gaseous-phase cold-heat tester, and left the electronic component module in the gaseous phase of temperature of -55 degreeC and 125 degreeC for 30 minutes, performed it on the conditions of 1,000 cycles as this cycle, and evaluated the thermal shock resistance on the following references | standards. .

[평가기준][Evaluation standard]

○ : 크랙 발생 빈도 10% 이하○: 10% or less cracking frequency

△ : 크랙 발생 빈도 11%∼20% 이하 △: crack occurrence frequency 11% to 20% or less

× : 크랙 발생 빈도 21% 이상×: 21% or more crack occurrence frequency

<감도><Sensitivity>

상기 감광성 적층체를 실온(23℃)에서 55%RH로 10분간 정치했다. 얻어진 상기 감광성 적층체의 감광층 표면에 INPREX IP-3000(후지 필름 가부시키가이샤제, 픽셀 피치=1.0㎛)을 이용하여 L/S(라인/스페이스)=50㎛/50㎛의 패턴 데이터를 0.5mJ/㎠로부터 21/2배 간격으로 500mJ/㎠까지의 광에너지량이 다른 광을 조사해서 노광하고, L/S(라인/스페이스)=50㎛/50㎛의 라인 패턴을 경화시켰다. 실온에서 10분간 정치한 후, 상기 감광성 적층체로부터 상기 지지체를 박리하여 동장적층판 상의 감광층의 전면에 30℃의 1질량% 탄산나트륨 수용액을 스프레이압 0.15MPa로 최단 현상시간의 2배∼3배의 시간(또는 40초∼60초) 스프레이 현상하고, 미경화의 영역을 용해 제거했다. 이렇게 하여 얻어진 L=50㎛의 패턴 선폭을 레이저 현미경(VK-9500, 기엔스사제;대물렌즈 50배)을 이용하여 측정하고, 선폭이 50㎛가 되는 노광량을 감도(최적 노광량)로 하여 하기 기준으로 평가했다.The said photosensitive laminated body was left to stand by 55% RH for 10 minutes at room temperature (23 degreeC). The pattern data of L / S (line / space) = 50 micrometers / 50 micrometers was 0.5 using INPREX IP-3000 (manufactured by Fujifilm Co., Ltd., pixel pitch = 1.0 micrometer) on the photosensitive layer surface of the obtained photosensitive laminated body. The light energy amount from mJ / cm 2 to 500 mJ / cm 2 at different intervals of 2 1/2 times was irradiated and exposed, and the line pattern of L / S (line / space) = 50 micrometer / 50 micrometers was hardened. After standing at room temperature for 10 minutes, the support was peeled off from the photosensitive laminate, and 30% of a 1% by mass aqueous solution of sodium carbonate was sprayed at 0.15 MPa on the entire surface of the photosensitive layer on the copper-clad laminate at a rate of 2 to 3 times the shortest development time. Spray development was carried out for a time (or 40 seconds to 60 seconds) to remove and remove the uncured area. The pattern line width of L = 50 μm thus obtained was measured using a laser microscope (VK-9500, manufactured by Gence Co., Ltd .; objective lens 50 times), and the following reference was made based on the exposure amount at which the line width was 50 μm as the sensitivity (optimal exposure amount). Rated by

[평가기준][Evaluation standard]

◎ : 30mj보다 고감도이며, 감도가 매우 우수함◎: Higher sensitivity than 30mj, very excellent sensitivity

○ : 39mj∼30mj의 감도이며, 감도가 우수함(Circle): It is the sensitivity of 39mj-30mj, and is excellent in sensitivity.

△ : 50mj∼40mj의 감도이며, 감도가 약간 떨어짐(Triangle | delta): It is a sensitivity of 50mj-40mj, and a sensitivity falls slightly

× : 50mj보다 저감도이며, 감도가 떨어짐×: lower sensitivity than 50mj and inferior sensitivity

<현상성(최단 현상시간)><Developability (shortest development time)>

상기 감광성 적층체로부터 폴리에틸렌테레프탈레이트 필름(지지체)을 박리하여 동장적층판 상의 상기 감광층의 전면에 30℃의 1질량% 탄산나트륨 수용액을 0.15MPa의 압력으로 스프레이하고, 탄산나트륨 수용액의 스프레이 개시로부터 동장적층판 상의 감광층이 용해되고 제거될 때까지 요한 시간을 측정하고, 이것을 최단 현상시간으로 해서 하기 기준으로 평가했다. 이 최단 현상시간이 짧을수록 현상성이 우수하다.The polyethylene terephthalate film (support) was peeled off from the photosensitive laminate, and a 30 ° C. 1% by mass aqueous sodium carbonate solution was sprayed at a pressure of 0.15 MPa on the entire surface of the photosensitive layer on the copper clad laminate, and the sodium carbonate aqueous solution was started on the copper clad laminate. The time required until the photosensitive layer was dissolved and removed was measured, and this was evaluated based on the following criteria as the shortest developing time. The shorter the development time, the better the developability.

[평가기준][Evaluation standard]

○ : 현상시간이 35초 이하이며, 현상성이 양호함(Circle): Developing time is 35 second or less, and developability is favorable.

△ : 현상시간이 45초 이하이며, 현상성이 약간 떨어짐(Triangle | delta): Developing time is 45 second or less, and developability falls slightly.

× : 현상시간이 45초를 초과하고, 현상성이 떨어짐X: Developing time exceeds 45 second, and developability is inferior

<해상성의 평가><Evaluation of Resolution>

상기 감광성 적층체를 실온(23℃)에서 55%RH로 10분간 정치했다. 얻어진 감광성 적층체의 폴리에틸렌테레프탈레이트 필름(지지체) 상으로부터 상기 패턴형성장치를 이용하여, 둥근 구멍 패턴을 이용하여 둥근 구멍의 지름 폭 50∼200㎛의 둥근 구멍을 형성할 수 있도록 노광을 행하였다.The said photosensitive laminated body was left to stand by 55% RH for 10 minutes at room temperature (23 degreeC). Exposure was performed from the polyethylene terephthalate film (support) of the obtained photosensitive laminated body using the said pattern forming apparatus so that a round hole of 50-200 micrometers in diameter width of a round hole could be formed using a round hole pattern.

이 때의 노광량은 상기 감도의 평가에 있어서의 상기 감광성 필름의 감광층을 경화시키기 위해서 필요한 광에너지량이다. 실온에서 10분간 정치한 후, 상기 감광성 적층체로부터 폴리에틸렌테레프탈레이트 필름(지지체)을 박리하였다. The exposure amount at this time is an amount of light energy required for curing the photosensitive layer of the photosensitive film in the evaluation of the sensitivity. After standing at room temperature for 10 minutes, the polyethylene terephthalate film (support) was peeled from the photosensitive laminate.

동장적층판 상의 감광층의 전면에 상기 현상액으로서 30℃의 1질량% 탄산나트륨 수용액을 스프레이압 0.15MPa로 상기 최단 현상시간의 2배의 시간 스프레이하고, 미경화 영역을 용해 제거했다.A 1 mass% sodium carbonate aqueous solution at 30 ° C. was sprayed at a spray pressure of 0.15 MPa twice the time of the shortest developing time on the entire surface of the photosensitive layer on the copper clad laminate to remove and remove the uncured region.

이렇게 하여 얻어진 경화수지 패턴이 있는 동장적층판의 표면을 광학현미경으로 관찰하고, 패턴의 둥근 구멍 저부에 잔사가 없는 것, 패턴부의 말림·박리 등의 이상이 없고, 또한 스페이스 형성 가능한 최소의 둥근 구멍 패턴 폭을 측정하고, 이것을 해상도로 해서 하기 기준으로 평가했다. 상기 해상도는 수치가 작을수록 양호하다.The surface of the copper-clad laminate with the cured resin pattern thus obtained was observed with an optical microscope, and there were no residues at the bottom of the round hole of the pattern, and there was no abnormality such as curling or peeling of the pattern portion, and the smallest round hole pattern capable of forming a space. The width was measured and evaluated as the following reference | standard as the resolution. The smaller the numerical value, the better.

[평가기준][Evaluation standard]

○ : 지름 120㎛ 이하의 둥근 구멍이 해상 가능하고, 해상성이 양호함(Circle): Round hole with a diameter of 120 micrometers or less is resolvable, and resolution is favorable.

△ : 지름 200㎛ 이하의 둥근 구멍이 해상 가능하고, 해상성이 약간 떨어짐(Triangle | delta): A round hole with a diameter of 200 micrometers or less is resolvable, and the resolution falls a little.

× : 둥근 구멍이 해상 불가이며, 해상성이 떨어짐×: Round hole is not resolvable and resolution is inferior

<보존 안정성><Storage stability>

상기 감광성 필름을 40℃의 조건에서 5일 보관했다. 동장적층판 상에 적층하고, 최단 현상시간(tr)을 측정했다. 보관 전의 최단 현상시간(to)과의 비(r)=tr/t0가작을수록 보존 안정성이 우수하다.The said photosensitive film was stored for 5 days on 40 degreeC conditions. It laminated | stacked on the copper clad laminated board and measured the shortest developing time (t r ). The smaller the ratio (r) = t r / t 0 to the shortest developing time (t o ) before storage, the better the storage stability.

[평가기준][Evaluation standard]

○ : r이 1.5 이하이며, 보존 안정성이 뛰어남○: r is 1.5 or less and excellent storage stability

○△ : r이 2.0 이하이며, 보존 안정성이 양호함○ △: r is 2.0 or less, and storage stability is good.

△× : r이 2.5 이하이며, 보존 안정성이 약간 떨어짐Δ ×: r is 2.5 or less and storage stability is slightly inferior

× : r이 2.5 이상이며, 보존 안정성이 떨어짐X: r is 2.5 or more and storage stability is inferior

<내열성><Heat resistance>

기판 상에 각 감광성 조성물로 이루어지는 솔더레지스트막을 형성하고, 상기 막 상에 로진계 플럭스(flux)를 도포한 평가 기판을 미리 260℃로 설정한 땜납조에 30초간 침지하고, 변성 알코올로 플럭스를 세정한 후, 육안에 의한 솔더레지스트막의 팽창, 박리, 및 변색에 대해서 하기 기준에 의해 평가했다.The solder resist film which consists of each photosensitive composition was formed on the board | substrate, the evaluation board | substrate which apply | coated rosin-type flux on the said film was immersed in the solder bath set to 260 degreeC for 30 second, and the flux was wash | cleaned with denatured alcohol. Thereafter, the expansion, peeling, and discoloration of the solder resist film by visual observation were evaluated according to the following criteria.

[평가기준][Evaluation standard]

○ : 전혀 변화가 확인되지 않고, 내열성이 뛰어남(Circle): A change is not confirmed at all and it is excellent in heat resistance.

△ : 일부 팽창, 박리가 보이지만, 내열성이 양호함(Triangle | delta): Although some expansion and peeling are seen, heat resistance is favorable.

× : 도막에 팽창, 박리가 있음×: swelling and peeling in the coating film

<기판 밀착성><Substrate adhesiveness>

기판 상에 각 감광성 조성물로 이루어지는 솔더레지스트막을 형성했다. 상기 솔더레지스트막에 1㎝×1㎝의 구획 내를 종횡 1㎜ 간격의 선으로 구획하고, 1㎜×1㎜의 구획이 100개 생기도록 커터나이프로 지스트막만을 절단하여 기재가 끊어지지 않도록 절개를 넣었다. 이어서, 절개를 넣은 레지스트막에 셀로판테이프(니토덴코 가부시키가이샤제, 상품명 셀로판테이프 No.29)를 붙이고, 90도의 각도로 당겨올려서 그 때에 1㎜×1㎜의 구획이 몇개 박리되는지를 측정했다. 1개의 박리도 없고, 또한 각각의 구획에 결손이 없는 것이 양호하다. 박리, 결손을 하기 기준에 의해 평가했다.The soldering resist film which consists of each photosensitive composition was formed on the board | substrate. The solder resist film is divided into 1 cm × 1 cm sections with lines of 1 mm vertically and horizontally, and only the cutter knife is cut so that 100 substrates having 1 mm × 1 mm are cut so that the substrate is not broken. Put it. Subsequently, a cellophane tape (Nitto Denko Co., Ltd., a cellophane tape No. 29) was affixed to the insulated resist film, it was pulled up at an angle of 90 degrees, and the number of 1 mm x 1 mm sections was measured at that time. . It is preferable that there is no single peeling and there is no defect in each compartment. Peeling and defect were evaluated by the following reference | standard.

[평가기준][Evaluation standard]

○ : 박리 및 결손이 없고, 기판 밀착성이 뛰어남(Circle): It has no peeling and a defect, and is excellent in board | substrate adhesiveness.

△ : 박리되지 않지만, 일부 결손이 있어 기판 밀착성이 약간 떨어짐 (Triangle | delta): Although not peeling, there exist some defects and a board | substrate adhesiveness falls slightly.

× : 부분적으로 박리가 생기고, 기판 밀착성이 떨어짐X: Peeling partially occurs, resulting in poor substrate adhesion

<표면 경도> <Surface hardness>

기판 상에 각 감광성 조성물로 이루어지는 솔더레지스트막을 형성했다. 이것에 JIS K-5400의 시험법에 따라서 연필경도 시험기를 이용하여 하중 1kg을 가했을 때의 레지스트막에 상처가 생기지 않는 가장 높은 경도를, 하기 기준에 의해 평가했다.The soldering resist film which consists of each photosensitive composition was formed on the board | substrate. According to the test method of JISK-5400, the highest hardness which a scratch does not generate | occur | produce in a resist film at the time of applying a load of 1 kg using a pencil hardness tester was evaluated by the following reference | standard.

[평가기준][Evaluation standard]

○ : 4H 초과이며, 표면 경도가 뛰어남○: more than 4H and excellent surface hardness

△ : 3H∼4H이며, 표면 경도가 약간 떨어짐(Triangle | delta): It is 3H-4H, and surface hardness falls slightly.

× : 2H 이하이며, 표면 경도가 떨어짐X: 2H or less and surface hardness is inferior

(실시예 2)(Example 2)

실시예 1에 있어서 인산 지르코늄의 배합량을 0.45질량부에서 0.90질량부로 바꾼 이외는, 실시예 1과 마찬가지로 해서 감광성 필름, 감광성 적층체, 및 영구패턴을 제작했다.In Example 1, the photosensitive film, the photosensitive laminated body, and the permanent pattern were produced like Example 1 except having changed the compounding quantity of zirconium phosphate from 0.45 mass part to 0.90 mass part.

얻어진 감광성 적층체 등에 대해서, 실시예 1과 마찬가지로 해서 절연 신뢰성, 감도, 내열충격성, 현상성, 해상성, 보존 안정성, 내열성, 기판 밀착성, 및 표면 경도의 평가를 행하였다. 결과를 표 1에 나타낸다.In the same manner as in Example 1, the obtained photosensitive laminate and the like were evaluated for insulation reliability, sensitivity, thermal shock resistance, developability, resolution, storage stability, heat resistance, substrate adhesion, and surface hardness. The results are shown in Table 1.

(실시예 3)(Example 3)

실시예 1에 있어서 산화비스무트의 배합량을 0.45질량부에서 0.90질량부로 바꾼 이외는 실시예 1과 마찬가지로 해서 감광성 필름, 감광성 적층체, 및 영구패턴을 제작했다.In Example 1, the photosensitive film, the photosensitive laminated body, and the permanent pattern were produced like Example 1 except having changed the compounding quantity of bismuth oxide from 0.45 mass part to 0.90 mass part.

얻어진 감광성 적층체 등에 대해서, 실시예 1과 마찬가지로 해서 절연 신뢰성, 감도, 내열충격성, 현상성, 해상성, 보존 안정성, 내열성, 기판 밀착성, 및 표면 경도의 평가를 행하였다. 결과를 표 1에 나타낸다.In the same manner as in Example 1, the obtained photosensitive laminate and the like were evaluated for insulation reliability, sensitivity, thermal shock resistance, developability, resolution, storage stability, heat resistance, substrate adhesion, and surface hardness. The results are shown in Table 1.

(실시예 4)(Example 4)

실시예 1의 감광성 조성물 용액에 있어서의 인산 지르코늄 0.45질량부를 오산화안티몬(도아고세이 가부시키가이샤제, IXE-300) 0.45질량부로 바꾼 이외는 실시예 1과 마찬가지로 해서 감광성 필름, 감광성 적층체, 및 영구패턴을 제작했다.A photosensitive film, a photosensitive laminate, and a permanent film were prepared in the same manner as in Example 1 except that 0.45 parts by mass of zirconium phosphate in the photosensitive composition solution of Example 1 was changed to 0.45 parts by mass of antimony pentoxide (manufactured by Toagosei Co., Ltd., IXE-300). Made a pattern.

얻어진 감광성 적층체 등에 대해서, 실시예 1과 마찬가지로 해서 절연 신뢰성, 감도, 내열충격성, 현상성, 해상성, 보존 안정성, 내열성, 기판 밀착성, 및 표면 경도의 평가를 행하였다. 결과를 표 1에 나타낸다.In the same manner as in Example 1, the obtained photosensitive laminate and the like were evaluated for insulation reliability, sensitivity, thermal shock resistance, developability, resolution, storage stability, heat resistance, substrate adhesion, and surface hardness. The results are shown in Table 1.

(실시예 5)(Example 5)

실시예 4에 있어서 오산화안티몬의 배합량 0.45질량부를 0.90질량부로 바꾼 이외는 실시예 4와 마찬가지로 해서 감광성 필름, 감광성 적층체, 및 영구패턴을 제작했다.In Example 4, the photosensitive film, the photosensitive laminated body, and the permanent pattern were produced like Example 4 except having changed 0.45 mass part of antimony pentoxide into 0.90 mass part.

얻어진 감광성 적층체 등에 대해서, 실시예 1과 마찬가지로 해서 절연 신뢰성, 감도, 내열충격성, 현상성, 해상성, 보존 안정성, 내열성, 기판 밀착성, 및 표면 경도의 평가를 행하였다. 결과를 표 1에 나타낸다.In the same manner as in Example 1, the obtained photosensitive laminate and the like were evaluated for insulation reliability, sensitivity, thermal shock resistance, developability, resolution, storage stability, heat resistance, substrate adhesion, and surface hardness. The results are shown in Table 1.

(실시예 6)(Example 6)

실시예 4에 있어서 산화비스무트의 배합량 0.45질량부를 0.90질량부로 바꾼 이외는 실시예 4와 마찬가지로 해서 감광성 필름, 감광성 적층체, 및 영구패턴을 제작했다.In Example 4, the photosensitive film, the photosensitive laminated body, and the permanent pattern were produced like Example 4 except having changed 0.45 mass part of bismuth oxide into 0.90 mass part.

얻어진 감광성 적층체 등에 대해서, 실시예 1과 마찬가지로 해서 절연 신뢰성, 감도, 내열충격성, 현상성, 해상성, 보존 안정성, 내열성, 기판 밀착성, 및 표면 경도의 평가를 행하였다. 결과를 표 1에 나타낸다.In the same manner as in Example 1, the obtained photosensitive laminate and the like were evaluated for insulation reliability, sensitivity, thermal shock resistance, developability, resolution, storage stability, heat resistance, substrate adhesion, and surface hardness. The results are shown in Table 1.

(실시예 7)(Example 7)

실시예 1의 감광성 조성물 용액에 있어서의 산화비스무트 0.45질량부 및 인산 지르코늄 0.45질량부를, 산화비스무트 0.30질량부, 인산 지르코늄 0.30질량부, 및 오산화안티몬 0.30질량부로 바꾼 이외는, 실시예 1과 마찬가지로 해서 감광성 필름, 감광성 적층체, 및 영구패턴을 제작했다.Except having changed 0.45 mass part of bismuth oxides and 0.45 mass part of zirconium phosphates in 0.30 mass part of bismuth oxides, 0.30 mass part of zirconium phosphates, and 0.30 mass part of antimony pentoxide, in the photosensitive composition solution of Example 1, it carried out similarly to Example 1 The photosensitive film, the photosensitive laminated body, and the permanent pattern were produced.

얻어진 감광성 적층체 등에 대해서, 실시예 1과 마찬가지로 해서 절연 신뢰성, 감도, 내열충격성, 현상성, 해상성, 보존 안정성, 내열성, 기판 밀착성, 및 표면 경도의 평가를 행하였다. 결과를 표 1에 나타낸다.In the same manner as in Example 1, the obtained photosensitive laminate and the like were evaluated for insulation reliability, sensitivity, thermal shock resistance, developability, resolution, storage stability, heat resistance, substrate adhesion, and surface hardness. The results are shown in Table 1.

(실시예 8)(Example 8)

실시예 1에 있어서 합성예 1의 바인더(B-1) 용액(고형분 45질량%)을 합성예 2의 산변성 비닐기 함유 폴리우레탄 수지 U1의 용액(고형분 45질량%)으로 바꾼 이외는, 실시예 1과 마찬가지로 해서 감광성 필름, 감광성 적층체, 및 영구패턴을 제작했다.Except having changed the binder (B-1) solution (solid content 45 mass%) of the synthesis example 1 into the solution (solid content 45 mass%) of the acid-modified vinyl-group-containing polyurethane resin U1 of the synthesis example 2 in Example 1. In the same manner as in Example 1, a photosensitive film, a photosensitive laminate, and a permanent pattern were produced.

얻어진 감광성 적층체 등에 대해서, 실시예 1과 마찬가지로 해서 절연 신뢰성, 감도, 내열충격성, 현상성, 해상성, 보존 안정성, 내열성, 기판 밀착성, 및 표면 경도의 평가를 행하였다. 결과를 표 1에 나타낸다.In the same manner as in Example 1, the obtained photosensitive laminate and the like were evaluated for insulation reliability, sensitivity, thermal shock resistance, developability, resolution, storage stability, heat resistance, substrate adhesion, and surface hardness. The results are shown in Table 1.

(실시예 9)(Example 9)

실시예 2에 있어서 합성예 1의 바인더(B-1) 용액(고형분 45질량%)을 합성예 2의 산변성 비닐기 함유 폴리우레탄 수지 U1의 용액(고형분 45질량%)으로 바꾼 이외는, 실시예 2와 마찬가지로 해서 감광성 필름, 감광성 적층체, 및 영구패턴을 제작했다.Except having changed the binder (B-1) solution (solid content 45 mass%) of the synthesis example 1 into the solution (solid content 45 mass%) of the acid-modified vinyl-group-containing polyurethane resin U1 of the synthesis example 2 in Example 2. In the same manner as in Example 2, a photosensitive film, a photosensitive laminate, and a permanent pattern were produced.

얻어진 감광성 적층체 등에 대해서, 실시예 1과 마찬가지로 해서 절연 신뢰성, 감도, 내열충격성, 현상성, 해상성, 보존 안정성, 내열성, 기판 밀착성, 및 표면 경도의 평가를 행하였다. 결과를 표 1에 나타낸다.In the same manner as in Example 1, the obtained photosensitive laminate and the like were evaluated for insulation reliability, sensitivity, thermal shock resistance, developability, resolution, storage stability, heat resistance, substrate adhesion, and surface hardness. The results are shown in Table 1.

(실시예 10)(Example 10)

실시예 1에 있어서 합성예 1의 바인더(B-1) 용액(고형분 45질량%)을 합성예 3의 산변성 비닐기 함유 폴리우레탄 수지 U2의 용액(고형분 45질량%)으로 바꾼 이외는, 실시예 1과 마찬가지로 해서 감광성 필름, 감광성 적층체, 및 영구패턴을 제작했다.Except having changed the binder (B-1) solution (solid content 45 mass%) of the synthesis example 1 into the solution (solid content 45 mass%) of the acid-modified vinyl-group-containing polyurethane resin U2 of the synthesis example 3 in Example 1. In the same manner as in Example 1, a photosensitive film, a photosensitive laminate, and a permanent pattern were produced.

얻어진 감광성 적층체 등에 대해서, 실시예 1과 마찬가지로 해서 절연 신뢰성, 감도, 내열충격성, 현상성, 해상성, 보존 안정성, 내열성, 기판 밀착성, 및 표면 경도의 평가를 행하였다. 결과를 표 1에 나타낸다.In the same manner as in Example 1, the obtained photosensitive laminate and the like were evaluated for insulation reliability, sensitivity, thermal shock resistance, developability, resolution, storage stability, heat resistance, substrate adhesion, and surface hardness. The results are shown in Table 1.

(실시예 11)(Example 11)

실시예 2에 있어서 합성예 1의 바인더(B-1) 용액(고형분 45질량%)을 합성예 3의 산변성 비닐기 함유 폴리우레탄 수지 U2의 용액(고형분 45질량%)으로 바꾼 이외는, 실시예 2와 마찬가지로 해서 감광성 필름, 감광성 적층체, 및 영구패턴을 제작했다.It carried out except having changed the binder (B-1) solution (solid content 45 mass%) of the synthesis example 1 into the solution (solid content 45 mass%) of the acid-modified vinyl-group-containing polyurethane resin U2 of the synthesis example 3 in Example 2. In the same manner as in Example 2, a photosensitive film, a photosensitive laminate, and a permanent pattern were produced.

얻어진 감광성 적층체 등에 대해서, 실시예 1과 마찬가지로 해서 절연 신뢰성, 감도, 내열충격성, 현상성, 해상성, 보존 안정성, 내열성, 기판 밀착성, 및 표면 경도의 평가를 행하였다. 결과를 표 1에 나타낸다.In the same manner as in Example 1, the obtained photosensitive laminate and the like were evaluated for insulation reliability, sensitivity, thermal shock resistance, developability, resolution, storage stability, heat resistance, substrate adhesion, and surface hardness. The results are shown in Table 1.

(비교예 1)(Comparative Example 1)

실시예 1의 감광성 조성물 용액에 있어서의 산화비스무트 및 인산 지르코늄을 첨가하지 않는 이외는, 실시예 1과 마찬가지로 해서 감광성 필름, 감광성 적층체, 및 영구패턴을 제작했다.A photosensitive film, a photosensitive laminate, and a permanent pattern were prepared in the same manner as in Example 1 except that bismuth oxide and zirconium phosphate in the photosensitive composition solution of Example 1 were not added.

얻어진 감광성 적층체 등에 대해서, 실시예 1과 마찬가지로 해서 절연 신뢰성, 감도, 내열충격성, 현상성, 해상성, 보존 안정성, 내열성, 기판 밀착성, 및 표면 경도의 평가를 행하였다. 결과를 표 1에 나타낸다.In the same manner as in Example 1, the obtained photosensitive laminate and the like were evaluated for insulation reliability, sensitivity, thermal shock resistance, developability, resolution, storage stability, heat resistance, substrate adhesion, and surface hardness. The results are shown in Table 1.

(비교예 2)(Comparative Example 2)

실시예 1의 감광성 조성물 용액에 있어서의 산화비스무트 0.45질량부 및 인산 지르코늄 0.45질량부를 산화비스무트 0.90질량부로 바꾼 이외는, 실시예 1과 마찬가지로 해서 감광성 필름, 감광성 적층체, 및 영구패턴을 제작했다.The photosensitive film, the photosensitive laminated body, and the permanent pattern were produced like Example 1 except having changed 0.45 mass part of bismuth oxides and 0.45 mass part of zirconium phosphates into 0.90 mass part of bismuth oxides in the photosensitive composition solution of Example 1.

얻어진 감광성 적층체 등에 대해서, 실시예 1과 마찬가지로 해서 절연 신뢰성, 감도, 내열충격성, 현상성, 해상성, 보존 안정성, 내열성, 기판 밀착성, 및 표면 경도의 평가를 행하였다. 결과를 표 1에 나타낸다.In the same manner as in Example 1, the obtained photosensitive laminate and the like were evaluated for insulation reliability, sensitivity, thermal shock resistance, developability, resolution, storage stability, heat resistance, substrate adhesion, and surface hardness. The results are shown in Table 1.

(비교예 3)(Comparative Example 3)

실시예 1의 감광성 조성물 용액에 있어서의 산화비스무트 0.45질량부 및 인산 지르코늄 0.45질량부를 인산 지르코늄 0.90질량부로 바꾼 이외는, 실시예 1과 마찬가지로 해서 감광성 필름, 감광성 적층체, 및 영구패턴을 제작했다.The photosensitive film, the photosensitive laminated body, and the permanent pattern were produced like Example 1 except having changed 0.45 mass part of bismuth oxides and 0.45 mass part of zirconium phosphates into 0.90 mass part of zirconium phosphates in the photosensitive composition solution of Example 1.

얻어진 감광성 적층체 등에 대해서, 실시예 1과 마찬가지로 해서 절연 신뢰성, 감도, 내열충격성, 현상성, 해상성, 보존 안정성, 내열성, 기판 밀착성, 및 표면 경도의 평가를 행하였다. 결과를 표 1에 나타낸다.In the same manner as in Example 1, the obtained photosensitive laminate and the like were evaluated for insulation reliability, sensitivity, thermal shock resistance, developability, resolution, storage stability, heat resistance, substrate adhesion, and surface hardness. The results are shown in Table 1.

(비교예 4)(Comparative Example 4)

실시예 1의 감광성 조성물 용액에 있어서의 산화비스무트 0.45질량부 및 인산 지르코늄 0.45질량부를 인산 지르코늄 0.45질량부 및 오산화안티몬 0.45질량부로 바꾼 이외는, 실시예 1과 마찬가지로 해서 감광성 필름, 감광성 적층체, 및 영구패턴을 제작했다.The photosensitive film, the photosensitive laminated body, and the same method as in Example 1 except for changing 0.45 parts by mass of bismuth oxide and 0.45 parts by mass of zirconium phosphate in 0.45 parts by mass of zirconium phosphate and 0.45 parts by mass of antimony pentoxide in the photosensitive composition solution of Example 1. A permanent pattern was produced.

얻어진 감광성 적층체 등에 대해서, 실시예 1과 마찬가지로 해서 절연 신뢰성, 감도, 내열충격성, 현상성, 해상성, 보존 안정성, 내열성, 기판 밀착성, 및 표면 경도의 평가를 행하였다. 결과를 표 1에 나타낸다.In the same manner as in Example 1, the obtained photosensitive laminate and the like were evaluated for insulation reliability, sensitivity, thermal shock resistance, developability, resolution, storage stability, heat resistance, substrate adhesion, and surface hardness. The results are shown in Table 1.

(비교예 5)(Comparative Example 5)

실시예 1의 감광성 조성물 용액에 있어서의 산화비스무트 0.45질량부 및 인산 지르코늄 0.45질량부를 오산화안티몬 0.90질량부로 바꾼 이외는, 실시예 1과 마찬가지로 해서 감광성 필름, 감광성 적층체, 및 영구패턴을 제작했다.The photosensitive film, the photosensitive laminated body, and the permanent pattern were produced like Example 1 except having changed 0.45 mass part of bismuth oxides and 0.45 mass part of zirconium phosphates into 0.90 mass part of antimony pentoxide in the photosensitive composition solution of Example 1.

얻어진 감광성 적층체 등에 대해서, 실시예 1과 마찬가지로 해서 절연 신뢰성, 감도, 내열충격성, 현상성, 해상성, 보존 안정성, 내열성, 기판 밀착성, 및 표면 경도의 평가를 행하였다. 결과를 표 1에 나타낸다.In the same manner as in Example 1, the obtained photosensitive laminate and the like were evaluated for insulation reliability, sensitivity, thermal shock resistance, developability, resolution, storage stability, heat resistance, substrate adhesion, and surface hardness. The results are shown in Table 1.

(비교예 6)(Comparative Example 6)

실시예 1의 감광성 조성물 용액에 있어서의 산화비스무트 0.45질량부 및 인산 지르코늄 0.45질량부를 하이드로탈사이트(도아고세이 가부시키가이샤제, IXE-700F) 0.90질량부로 바꾼 이외는, 실시예 1과 마찬가지로 해서 감광성 필름, 감광성 적층체, 및 영구패턴을 제작했다.Photosensitive composition in the same manner as in Example 1 except that 0.45 parts by mass of bismuth oxide and 0.45 parts by mass of zirconium phosphate in the photosensitive composition solution of Example 1 were changed to 0.90 parts by mass of hydrotalcite (IXE-700F, manufactured by Toagosei Co., Ltd.). A film, the photosensitive laminated body, and the permanent pattern were produced.

얻어진 감광성 적층체 등에 대해서, 실시예 1과 마찬가지로 해서 절연 신뢰성, 감도, 내열충격성, 현상성, 해상성, 보존 안정성, 내열성, 기판 밀착성, 및 표면 경도의 평가를 행하였다. 결과를 표 1에 나타낸다.In the same manner as in Example 1, the obtained photosensitive laminate and the like were evaluated for insulation reliability, sensitivity, thermal shock resistance, developability, resolution, storage stability, heat resistance, substrate adhesion, and surface hardness. The results are shown in Table 1.

(비교예 7)(Comparative Example 7)

실시예 1의 감광성 조성물 용액에 있어서의 산화비스무트 0.45질량부 및 인산 지르코늄 0.45질량부를 오산화안티몬 0.45질량부 및 하이드로탈사이트 0.45질량부로 바꾼 이외는, 실시예 1과 마찬가지로 해서 감광성 필름, 감광성 적층체, 및 영구패턴을 제작했다.The photosensitive film, the photosensitive laminated body, and the like of Example 1 except having changed 0.45 mass part of bismuth oxides and 0.45 mass part of zirconium phosphates into 0.45 mass part of antimony pentoxide and 0.45 mass part of hydrotalcites in the photosensitive composition solution of Example 1 And a permanent pattern was produced.

얻어진 감광성 적층체 등에 대해서, 실시예 1과 마찬가지로 해서 절연 신뢰성, 감도, 내열충격성, 현상성, 해상성, 보존 안정성, 내열성, 기판 밀착성, 및 표면 경도의 평가를 행하였다. 결과를 표 1에 나타낸다.In the same manner as in Example 1, the obtained photosensitive laminate and the like were evaluated for insulation reliability, sensitivity, thermal shock resistance, developability, resolution, storage stability, heat resistance, substrate adhesion, and surface hardness. The results are shown in Table 1.

[표 1-1]Table 1-1

Figure pat00040
Figure pat00040

[표 1-2]TABLE 1-2

Figure pat00041
Figure pat00041

[표 1-3][Table 1-3]

Figure pat00042
Figure pat00042

표 1의 결과로부터, 실시예 1∼11은 비교예 1∼7에 비하여 절연 신뢰성, 내열충격성, 감도, 현상성, 및 해상도에 뛰어나고, 또한 보존 안정성, 내열성, 기판 밀착성, 및 표면 경도가 향상되는 것을 알 수 있었다.From the results of Table 1, Examples 1-11 are excellent in insulation reliability, thermal shock resistance, a sensitivity, developability, and the resolution compared with Comparative Examples 1-7, and storage stability, heat resistance, board | substrate adhesiveness, and surface hardness are improved. I could see that.

본 발명의 감광성 조성물은 고감도화를 꾀할 수 있고, 절연 신뢰성, 내열충격성, 기판 밀착성, 표면 경도, 내열성, 보존 안정성, 및 현상성을 개량할 수 있으므로, 특히 필름형 솔더레지스트에 적합하게 사용할 수 있다.Since the photosensitive composition of the present invention can achieve high sensitivity, and can improve insulation reliability, thermal shock resistance, substrate adhesion, surface hardness, heat resistance, storage stability, and developability, it can be particularly suitably used for film solder resists. .

본 발명의 감광성 필름은 내열성 및 보존 안정성이 향상되고, 고정세한 영구패턴을 효율적으로 형성 가능하기 때문에 보호막, 층간 절연막, 및 솔더레지스트 패턴 등의 영구패턴 등의 각종 패턴형성, BGA(볼 그리드 어레이), CSP (칩 사이즈 패키지), TCP(테이프 캐리어 패키지) 등의 반도체 패키지 형성용, 컬러필터, 기둥재, 리브재, 스페이서, 격벽 등의 액정 구조부재의 제조, 홀로그램, 마이크로머신, 프루프의 제조 등에 적합하게 사용할 수 있고, 특히 프린트 기판의 영구패턴 형성용, BGA(볼 그리드 어레이), CSP(칩 사이즈 패키지), TCP(테이프 캐리어 패키지) 등의 반도체 패키지의 형성에 적합하게 사용할 수 있다.Since the photosensitive film of the present invention has improved heat resistance and storage stability and can efficiently form a high-definition permanent pattern, various patterns such as a permanent pattern such as a protective film, an interlayer insulating film, and a solder resist pattern, and a ball grid array (BGA) ), For manufacturing semiconductor packages such as CSP (chip size package), TCP (tape carrier package), manufacturing of liquid crystal structural members such as color filters, pillars, ribs, spacers, partitions, manufacturing of holograms, micromachines, and proofs It can be used suitably, etc., and especially can be used for formation of semiconductor packages, such as permanent pattern formation of a printed circuit board, BGA (ball grid array), CSP (chip size package), and TCP (tape carrier package).

본 발명의 영구패턴 형성방법은 본 발명의 상기 감광성 조성물을 사용하기 때문에, BGA(볼 그리드 어레이), CSP(칩 사이즈 패키지), TCP(테이프 캐리어 패키지) 등의 반도체 패키지 형성용, 보호막, 층간 절연막, 및 솔더레지스트 패턴 등의 영구패턴 등의 각종 패턴 형성용, 컬러필터, 기둥재, 리브재, 스페이서, 격벽 등의 액정 구조부재의 제조, 홀로그램, 마이크로머신, 프루프의 제조 등에 적합하게 사용할 수 있고, 특히 프린트 기판의 영구패턴 형성, BGA(볼 그리드 어레이), CSP(칩 사이즈 패키지), TCP(테이프 캐리어 패키지) 등의 반도체 패키지의 형성에 적합하게 사용할 수 있다.Since the permanent pattern forming method of the present invention uses the photosensitive composition of the present invention, a protective film and an interlayer insulating film for forming semiconductor packages such as BGA (ball grid array), CSP (chip size package), TCP (tape carrier package), etc. It can be suitably used for forming various patterns such as permanent patterns such as, and solder resist patterns, manufacturing of liquid crystal structural members such as color filters, pillars, ribs, spacers, partitions, holograms, micromachines, and proofs. In particular, it can be suitably used for forming a permanent pattern of a printed board, forming a semiconductor package such as BGA (ball grid array), CSP (chip size package), TCP (tape carrier package), or the like.

Claims (11)

바인더, 중합성 화합물, 광중합 개시제, 및 이온 흡착제를 적어도 함유하는 감광성 조성물로서:
상기 이온 흡착제는 비스무트 화합물과, 지르코늄 화합물 및 산화안티몬 화합물 중 하나 이상을 함유하는 것을 특징으로 하는 감광성 조성물.
As a photosensitive composition containing at least a binder, a polymerizable compound, a photopolymerization initiator, and an ion adsorbent:
Said ion adsorbent contains a bismuth compound and one or more of a zirconium compound and an antimony oxide compound.
제 1 항에 있어서,
상기 비스무트 화합물은 산화비스무트인 것을 특징으로 하는 감광성 조성물.
The method of claim 1,
The bismuth compound is a photosensitive composition, characterized in that bismuth oxide.
제 1 항에 있어서,
상기 비스무트 화합물은 인산 지르코늄인 것을 특징으로 하는 감광성 조성물.
The method of claim 1,
The bismuth compound is a photosensitive composition, characterized in that zirconium phosphate.
제 1 항에 있어서,
상기 산화안티몬 화합물은 오산화안티몬인 것을 특징으로 하는 감광성 조성물.
The method of claim 1,
The antimony oxide compound is a photosensitive composition, characterized in that the antimony pentoxide.
제 1 항에 있어서,
상기 비스무트 화합물(A)과, 상기 지르코늄 화합물 및 산화안티몬 화합물 중 하나 이상(B)의 질량비(A:B)는 1:0.2∼1:5인 것을 특징으로 하는 감광성 조성물.
The method of claim 1,
The mass ratio (A: B) of the bismuth compound (A) and at least one (B) of the zirconium compound and the antimony oxide compound is 1: 0.2 to 1: 5.
제 1 항에 있어서,
상기 바인더는 에폭시(메타)아크릴레이트 수지, (메타)아크릴레이트 수지, 및 우레탄 수지로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 감광성 조성물.
The method of claim 1,
The binder is selected from epoxy (meth) acrylate resin, (meth) acrylate resin, and urethane resin.
제 6 항에 있어서,
상기 바인더는 산변성 비닐기 함유 폴리우레탄 수지인 것을 특징으로 하는 감광성 조성물.
The method according to claim 6,
The binder is a photosensitive composition, characterized in that the acid-modified vinyl group-containing polyurethane resin.
바인더, 중합성 화합물, 광중합 개시제, 및 이온 흡착제를 적어도 함유하고;
상기 이온 흡착제는 비스무트 화합물과, 지르코늄 화합물 및 산화안티몬 화합물 중 하나 이상을 함유하는 감광성 조성물을 함유하는 감광층을 지지체 상에 가지고 이루어지는 것을 특징으로 하는 감광성 필름.
At least a binder, a polymerizable compound, a photopolymerization initiator, and an ion adsorbent;
Said ion adsorbent has a photosensitive layer containing a bismuth compound and the photosensitive composition containing at least one of a zirconium compound and an antimony oxide compound on a support body, The photosensitive film characterized by the above-mentioned.
기체 상에 바인더, 중합성 화합물, 광중합 개시제, 및 이온 흡착제를 적어도 함유하고;
상기 이온 흡착제는 비스무트 화합물과, 지르코늄 화합물 및 산화안티몬 화합물 중 하나 이상을 함유하는 감광성 조성물을 함유하는 감광층을 갖는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체.
At least a binder, a polymerizable compound, a photopolymerization initiator, and an ion adsorbent on the substrate;
Said ion adsorbent has a photosensitive layer containing a bismuth compound and the photosensitive composition containing one or more of a zirconium compound and an antimony oxide compound.
바인더, 중합성 화합물, 광중합 개시제, 및 이온 흡착제를 적어도 함유하고;
상기 이온 흡착제는 비스무트 화합물과, 지르코늄 화합물 및 산화안티몬 화합물 중 하나 이상을 함유하는 감광성 조성물에 의해 형성된 감광층에 대하여 노광을 행하는 것을 적어도 포함하는 것을 특징으로 하는 영구패턴 형성방법.
At least a binder, a polymerizable compound, a photopolymerization initiator, and an ion adsorbent;
And the ion adsorbent comprises at least exposing the photosensitive layer formed by a photosensitive composition containing a bismuth compound and at least one of a zirconium compound and an antimony oxide compound.
바인더, 중합성 화합물, 광중합 개시제, 및 이온 흡착제를 적어도 함유하고;
상기 이온 흡착제는 비스무트 화합물과, 지르코늄 화합물 및 산화안티몬 화합물 중 하나 이상을 함유하는 감광성 조성물에 의해 형성된 감광층에 대하여 노광을 행하는 것을 적어도 포함하는 영구패턴 형성방법에 의해 영구패턴이 형성되는 것을 특징으로 하는 프린트 기판.
At least a binder, a polymerizable compound, a photopolymerization initiator, and an ion adsorbent;
The ion adsorbent is characterized in that the permanent pattern is formed by a permanent pattern forming method comprising at least exposing to a photosensitive layer formed of a photosensitive composition containing a bismuth compound and at least one of a zirconium compound and an antimony oxide compound. Printed circuit board.
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