KR20110019700A - Vacuum evacuating head - Google Patents

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KR20110019700A
KR20110019700A KR1020100071825A KR20100071825A KR20110019700A KR 20110019700 A KR20110019700 A KR 20110019700A KR 1020100071825 A KR1020100071825 A KR 1020100071825A KR 20100071825 A KR20100071825 A KR 20100071825A KR 20110019700 A KR20110019700 A KR 20110019700A
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나오후미 고토
교스케 우치다
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쥬가이로 고교 가부시키가이샤
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Abstract

PURPOSE: A vacuum discharge head is provided to simplify a vacuum discharge process by pushing a sealing part to the discharge part of a product to seal the discharge part. CONSTITUTION: A head main body(4) is divided into a vacuum discharge space(5) and a partition wall(7). The head main body comprises a differential pressure driving space which is vacuum-processed while being independent of the vacuum discharge space. A maintenance unit(11) is supported by a partition wall. The maintenance unit maintains a sealing part(10) sealing hermetically the exhaust pipe of the product. The maintenance unit is moved to the opening of the head main body through deformation of the partition wall.

Description

진공 배기 헤드{VACUUM EVACUATING HEAD}Vacuum exhaust head {VACUUM EVACUATING HEAD}

본 발명은 제품의 배기구(排氣口)의 밀봉 기구(機構)를 구비하는 진공 배기 헤드에 관한 것이다.TECHNICAL FIELD This invention relates to the vacuum exhaust head provided with the sealing mechanism of the exhaust port of a product.

플라즈마 디스플레이 패널 등의 제조 공정에서는 제품 내부의 공기를 진공 배기하고, 필요에 따라 가스를 봉입해서 제품의 배기구를 밀봉하는 작업이 필요하게 된다. 고진공을 실현하기 위해서는 제품을 가열하면서 진공 처리(vacuuming)하는 것이 필요하다. 배기구의 밀봉 방법으로서는 배기구에 부착한 팁 관(tip tube)을 용단(溶斷)하는 방법과, 배기구에 밀봉 부재(뚜껑)를 열용융성(熱溶融性) 접착제(용융 금속 등)로 접착하는 방법이 있다. In manufacturing processes, such as a plasma display panel, the operation | work of vacuum evacuating the air in a product, sealing a gas exhaust port of a product by sealing gas as needed is required. In order to achieve high vacuum, it is necessary to vacuum the product while heating. As a sealing method of the exhaust port, a tip tube attached to the exhaust port is melted, and a sealing member (lid) is attached to the exhaust port with a heat-melt adhesive (melt metal, etc.). There is a way.

특허문헌 1 내지 3에 기재되어 있는 것과 같은 진공 배기 헤드는 제품의 배기구 주위에 밀착함으로써 밀봉되는 내부 공간을 가지고, 내부 공간을 진공 처리하여 제품을 진공으로 만들 수 있다. 또한, 이들의 진공 배기 헤드는 내부 공간에 밀봉 부재를 유지하고, 진공 처리 후에 제품의 배기구에 밀봉 부재를 누르는 로드를 구비하고 있지만, 로드의 미끄럼부의 축봉(軸封: shaft seal)이 어렵기 때문에, 제품을 진공 처리할 때, 로드의 축봉부를 가열하지 않도록 할 필요가 있다. Vacuum exhaust heads such as those described in Patent Documents 1 to 3 have an inner space that is sealed by being in close contact with the exhaust port of the product, and the product can be vacuumed by vacuuming the interior space. Moreover, these vacuum exhaust heads are provided with a rod which holds the sealing member in the internal space and presses the sealing member to the exhaust port of the product after the vacuum treatment, but the shaft seal of the sliding part of the rod is difficult. When the product is vacuumed, it is necessary not to heat the shaft of the rod.

이 때문에, 특허문헌 1 내지 3의 진공 배기 장치에서는 진공 배기 헤드 전체를 노(爐) 내에서 가열할 수 없어서, 로드의 축봉부를 가열로(챔버) 밖에 낸 상태에서 진공 처리를 한다. 또한, 이들의 진공 배기 장치는 로드의 선단 또는 그 부근에 소형의 히터를 설치하고, 접착제를 용융해서 밀봉 부재로 배기구를 밀봉할 때에도, 로드의 축봉부에 과도한 열이 가해지지 않도록 하고 있다. For this reason, in the vacuum evacuation apparatus of patent documents 1-3, the whole vacuum exhaust head cannot be heated in a furnace, and a vacuum process is performed in the state which removed the rod of the rod outside the heating furnace (chamber). In addition, these vacuum exhaust apparatuses are provided with a small heater at or near the tip of the rod, and prevents excessive heat from being applied to the rod portion of the rod even when the adhesive is melted to seal the exhaust port with the sealing member.

한편, 진공 배기 공정의 효율화에 대해서는 특허문헌 4에 기재된 바와 같이, 다수의 제품을 유지하고, 각각의 제품에 진공 배기 헤드를 누를 수 있는 카트를 사용하고, 카트 채로 가열로 내에서 가열하여, 다수의 제품의 진공 처리를 동시에 실시하는 것이 바람직하다. On the other hand, about the efficiency of a vacuum exhaust process, as described in patent document 4, it hold | maintains many products, uses the cart which can press a vacuum exhaust head for each product, and heats in a heating furnace with a cart, It is preferable to simultaneously perform vacuum processing of the product.

그러나, 상술한 바와 같이, 배기구에 밀봉 부재를 누르는 로드를 설치하면, 로드를 축봉 때문에 진공 배기 헤드 전체를 노 내에서 가열할 수 없기 때문에, 생산 효율을 높일 수 없었다. However, as mentioned above, when the rod which presses the sealing member is provided in the exhaust port, the whole vacuum exhaust head cannot be heated in the furnace because of the rod, and thus the production efficiency cannot be increased.

일본국 특개평 6-139935호 공보Japanese Patent Laid-Open No. 6-139935 JP2001-195983 AJP2001-195983 A JP2004-55480 AJP2004-55480 A 일본국 특허 제3866085호 공보Japanese Patent No. 3866085

상기 문제점을 감안하여, 본 발명은 고온의 노 내에서 제품의 배기구에 밀봉 부재를 눌러서 배기구를 밀봉할 수 있는 진공 배기 헤드를 제공하는 것을 과제로 한다. In view of the above problems, an object of the present invention is to provide a vacuum exhaust head capable of sealing an exhaust port by pressing a sealing member to an exhaust port of a product in a high temperature furnace.

상기 과제를 해결하기 위해, 본 발명에 의한 진공 배기 헤드는 개구(開口)가 제품에 의해 밀봉되어 진공 처리가 가능한 진공 배기 공간과, 상기 개구와 반대 측에 위치하고, 상기 진공 배기 공간과 변형 가능한 격벽에 의해 구분되고, 상기 진공 배기 공간과 독립해서 진공 처리가 가능한 차압(差壓) 구동 공간을 획정하는 헤드 본체와, 상기 격벽에 지지되고, 상기 제품의 배기구를 밀봉하는 밀봉 부재를 유지하며, 상기 격벽의 변형에 의해 상기 헤드 본체의 개구를 향해 이동 가능한 유지 부재를 포함하는 것으로 한다. MEANS TO SOLVE THE PROBLEM In order to solve the said subject, the vacuum exhaust head which concerns on this invention is a vacuum exhaust space in which an opening is sealed by a product, and can be vacuum-processed, and it is located on the opposite side to the said opening, and the said vacuum exhaust space and a partition which can deform | transform. And a head body for defining a differential pressure drive space capable of vacuuming independently of the vacuum exhaust space, and a sealing member supported by the partition wall and sealing the exhaust port of the product. It is assumed that the holding member is movable to the opening of the head main body by deformation of the partition wall.

이 구성에 의하면, 진공 배기 공간과 차압 구동 공간을 동시에 진공 처리하여, 제품 내의 기체를 진공 배기하고, 차압 구동 공간에 공기를 도입함으로써, 격벽을 진공 배기 공간 측으로 팽창시켜 유지 부재를 제품을 향해 이동시켜, 제품의 배기구에 밀봉 부재를 눌러서 밀봉할 수 있다. 또한, 이 구성에서는 유지 부재의 구동 기구에 축봉이 필요 없으므로, 진공 배기 헤드를 노 내에서 가열한 상태에서도 구동할 수 있다.According to this configuration, the vacuum exhaust space and the differential pressure drive space are vacuumed at the same time, the gas in the product is evacuated, and air is introduced into the differential pressure drive space, thereby expanding the partition wall toward the vacuum exhaust space to move the holding member toward the product. The sealing member can be sealed by pressing the sealing member into the exhaust port of the product. Moreover, in this structure, since the shaft is not needed for the drive mechanism of a holding member, it can drive even when the vacuum exhaust head is heated in the furnace.

또한, 본 발명의 진공 배기 헤드는 상기 유지 부재가 상기 격벽에 지지되고 상기 개구를 향해 연신(延伸)하는 로드 선단에 설치되며, 또한 상기 진공 배기 공간 내에 상기 로드를 축 방향으로 미끄럼 가능하게 유지하는 안내 부재를 포함해도 좋다. In addition, the vacuum exhaust head of the present invention is provided at the tip of the rod that the holding member is supported by the partition wall and extends toward the opening, and further slidably holds the rod in the vacuum exhaust space in the axial direction. You may also include a guide member.

이 구성에 의하면, 로드의 자세 및 이동 방향이 안내 부재에 의해 규제되므로, 유지 부재의 이동이 안정되고, 배기구의 밀봉이 확실하다. According to this structure, since the attitude | position and the moving direction of a rod are regulated by the guide member, the movement of a holding member is stabilized and sealing of an exhaust port is assured.

또한, 본 발명의 진공 배기 헤드에서, 상기 차압 구동 공간은 상기 진공 배기 공간보다 단면적이 작아도 좋다. In the vacuum exhaust head of the present invention, the differential pressure drive space may have a smaller cross-sectional area than the vacuum exhaust space.

이 구성에 의하면, 진공 배기 공간과 차압 구동 공간과의 경계에 단차(段差)가 생기기 때문에, 이 단차에 격벽을 고정할 수 있다. 또한, 차압 구동 공간의 용적을 작게 함으로써, 진공 배기 공간과 차압 구동 공간을 동시에 진공 처리하면, 먼저 차압 구동 공간의 내부 압력이 저하하기 때문에, 제품의 진공 처리가 완료되기 전에 유지 부재가 돌출해서 제품의 배출구를 막아버리는 일이 없다. According to this structure, since a level | step difference arises in the boundary between a vacuum exhaust space and a differential pressure drive space, a partition can be fixed to this step | step. In addition, if the vacuum exhaust space and the differential pressure driving space are vacuumed at the same time by reducing the volume of the differential pressure driving space, the internal pressure of the differential pressure driving space first decreases, so that the holding member protrudes before the vacuum processing of the product is completed. We do not block outlet of.

또한, 본 발명의 진공 배기 헤드에서, 상기 개구의 주위에 상기 제품과 밀착하는 오링(O-ring)을 포함해도 좋다. In the vacuum exhaust head of the present invention, an O-ring in close contact with the product may be included around the opening.

이 구성에 의하면, 진공 배기 헤드와 제품 간의 기밀이 확보될 수 있다. According to this configuration, airtightness between the vacuum exhaust head and the product can be ensured.

본 발명에 의하면, 진공 배기 헤드 내부의 격벽 변형에 의해 유지 부재를 구동하고, 제품의 배기구를 밀봉하는 밀봉 부재로 제품을 누르기 때문에, 유지 부재 및 유지 부재의 구동 기구가 완전히 진공 배기 헤드 내부에 수용(收容)되어 있다. 이 때문에, 구동 기구의 축봉이 불필요하고, 열에 약한 부분이 없으므로, 진공 배기 헤드 전체를 가열로 내에서 고온에 쐴 수 있다. 이로 인하여, 진공 배기 공정의 간소화 또는 처리 능력의 증대가 가능하게 된다. According to the present invention, since the holding member is driven by the partition deformation inside the vacuum exhaust head and the product is pressed by the sealing member sealing the exhaust port of the product, the holding member and the drive mechanism of the holding member are completely accommodated in the vacuum exhaust head. (收容) For this reason, since the shaft of a drive mechanism is unnecessary and there is no weak part in heat, the whole vacuum exhaust head can be immersed in high temperature in a heating furnace. As a result, the vacuum evacuation process can be simplified or the processing capacity can be increased.

도 1은 본 발명의 제1실시형태의 진공 배기 헤드의 단면도이다.
도 2는 도 1의 진공 배기 헤드의 배기구 밀봉시의 단면도이다.
도 3은 도 1의 진공 배기 헤드를 다수 구비하는 처리 카트이다.
도 4는 본 발명의 제2실시형태의 진공 배기 헤드의 단면도이다.1 is a cross-sectional view of a vacuum exhaust head of a first embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a cross-sectional view at the time of sealing the exhaust port of the vacuum exhaust head of FIG. 1. FIG.
3 is a processing cart having a plurality of vacuum exhaust heads of FIG.
4 is a cross-sectional view of the vacuum exhaust head of the second embodiment of the present invention.

본 발명의 실시형태에 대해 도면을 참조하면서 설명한다. 도 1에 본 발명의 제1실시형태의 진공 배기 헤드(1)를 나타낸다. 진공 배기 헤드(1)는 플라즈마 디스플레이 패널과 같은 중공(中空)의 제품(2)과 진공원(眞空源)(3)을 접속하고, 제품(2) 내부의 기체를 진공 배기해서 밀봉하기 위한 것이다. Embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. The vacuum exhaust head 1 of 1st Embodiment of this invention is shown in FIG. The vacuum exhaust head 1 is for connecting a hollow product 2 such as a plasma display panel and a vacuum source 3 to vacuum-exhaust and seal the gas inside the product 2. .

진공 배기 헤드(1)는 상부가 개구된 대략 바닥이 있는 통상(筒狀)의 헤드 본체(4)를 갖는다. 헤드 본체(4)의 내부 공간은 상측의 단면적이 큰 진공 배기 공간(5)과, 하측(개구와 반대 측)의 단면적이 작은 차압 구동 공간(6)으로, 고무제의 격벽(다이어프램: diaphragm)(7)에 의해 구분되어 있다. 다이어프램(7)은 진공 배기 공간(5)과 차압 구동 공간(6)과의 단차 부분에 접착 고정되어 있다. The vacuum exhaust head 1 has a normal head body 4 having a substantially bottom with an open top. The inner space of the head main body 4 is a vacuum exhaust space 5 having a large cross-sectional area on the upper side and a differential pressure drive space 6 having a small cross-sectional area on the lower side (opposite side of the opening), and a rubber partition (diaphragm). It is divided by (7). The diaphragm 7 is adhesively fixed to the stepped portion between the vacuum exhaust space 5 and the differential pressure drive space 6.

다이어프램(7)의 중앙에는 헤드 본체(4)의 개구를 향해 수직으로 연신하는 로드(8)가 고정되어 있다. 로드(8)는 상단(上端)에 제품(2)의 배기구(9)를 밀봉하기 위한 밀봉 부재(10)를 유지하는 테이블 형상의 유지 부재(11)를 갖는다. 또한, 로드(8)는 진공 배기 공간(5) 내에 배치한 판자 형상의 안내 부재(12)에 미끄럼 가능하게 유지되어 있다. 안내 부재(12)에는 공기의 통과를 허용하는 구멍(12a)이 형성되어 있다. In the center of the diaphragm 7, a rod 8 extending vertically toward the opening of the head main body 4 is fixed. The rod 8 has a table-shaped holding member 11 for holding the sealing member 10 for sealing the exhaust port 9 of the product 2 on the upper end. In addition, the rod 8 is slidably held by the board-shaped guide member 12 disposed in the vacuum exhaust space 5. The guide member 12 is formed with a hole 12a to allow passage of air.

헤드 본체(4)는 진공 배기 공간(5) 및 차압 구동 공간(6)에 각각 개구하는 배기 통로(13, 14)를 갖는다. 진공 배기 공간(5) 및 차압 구동 공간(6)은 각각 내압(耐壓) 호스(15, 16)를 통해, 진공원(3)으로부터 진공압을 공급(진공 처리)하기 위한 진공 회로(17)에 접속되어 있다. The head body 4 has exhaust passages 13 and 14 that open in the vacuum exhaust space 5 and the differential pressure drive space 6, respectively. The vacuum exhaust space 5 and the differential pressure drive space 6 respectively supply a vacuum pressure (vacuum treatment) from the vacuum source 3 through the internal pressure hoses 15 and 16. Is connected to.

또한, 상단에 개구를 둘러싸도록 오링(18)을 갖추어, 제품에 기밀하게 밀착한다. 또한, 헤드 본체(4)는 냉수원(冷水源)(19)으로부터 공급되는 냉각수를 순환시키는 냉각 유로(20)를 갖는다. Moreover, the O-ring 18 is provided so that an opening may be surrounded by an upper end, and it will adhere to a product tightly. Moreover, the head main body 4 has the cooling flow path 20 which circulates the cooling water supplied from the cold water source 19. As shown in FIG.

진공 회로(17)는 진공 차단 밸브(21) 및 유량 조절 밸브(22)를 통해 진공원(3)에 진공 배기 공간(5)을 접속하고, 진공 배기 공간(5)의 내부 압력을 검출하기 위한 압력 스위치(23)를 구비하는 관로와, 진공 배기 공간(5)에 접속되는 상기 관로에서 분기되고 연락 밸브(24)를 통해 차압 구동 공간(6)에 접속하여, 차압 구동 공간(6)의 내부 압력을 검출하기 위한 압력 스위치(25)를 구비하는 관로를 갖는다. The vacuum circuit 17 connects the vacuum exhaust space 5 to the vacuum source 3 via the vacuum shutoff valve 21 and the flow control valve 22, and detects the internal pressure of the vacuum exhaust space 5. The inside of the differential pressure drive space 6 is connected to the differential pressure drive space 6 through a contact valve 24 branched from the pipeline having a pressure switch 23 and the passage connected to the vacuum exhaust space 5. It has a conduit provided with a pressure switch 25 for detecting pressure.

진공 배기 공간(5)에 접속되는 관로에는 진공 배기 공간(5)을 대기(大氣) 개방하기 위한 진공 배기 공간 개방 밸브(26)가 설치되고, 차압 구동 공간(6)에 접속되는 관로에는 차압 구동 공간(6)을 유량 조절 밸브(27)를 통해 대기 개방하는 차압 구동 공간 개방 밸브(28)가 설치되어 있다. The pipeline connected to the vacuum exhaust space 5 is provided with a vacuum exhaust space opening valve 26 for opening the vacuum exhaust space 5 to the atmosphere, and the differential pressure drive is provided in the pipeline connected to the differential pressure drive space 6. The differential pressure drive space opening valve 28 which opens the space 6 to the atmosphere via the flow control valve 27 is provided.

또한, 진공 회로(17)는 진공 배기 공간(5) 및 차압 구동 공간(6)의 내부 압력을 조작자가 눈으로 확인할 수 있도록 압력계(29, 30)도 갖추고 있다. The vacuum circuit 17 also includes pressure gauges 29 and 30 so that an operator can visually check the internal pressure of the vacuum exhaust space 5 and the differential pressure drive space 6.

진공 배기 헤드(1)에서 제품(2)을 진공 처리할 때는 로드(8)의 유지 부재(11)에 접착제(31)를 도포한 밀봉 부재(10)를 탑재한다. 로드(8)는 진공 배기 공간(5) 및 차압 구동 공간(6)을 대기 개방한 상태로, 유지 부재(11)를 진공 배기 공간(5) 내에 유지하고, 밀봉 부재(10)를 진공 배기 헤드(1) 위에 배치한 제품(2)의 배기구(9)로부터 충분히 이간(離間)시킨다. 또한, 이때, 다이어프램(7)은 로드(8)나 유지 부재(11) 등의 중량에 의해, 차압 구동 공간(6) 측으로 약간 휘어져 있다. When vacuuming the product 2 in the vacuum exhaust head 1, the sealing member 10 which apply | coated the adhesive 31 to the holding member 11 of the rod 8 is mounted. The rod 8 holds the holding member 11 in the vacuum exhaust space 5 with the vacuum exhaust space 5 and the differential pressure drive space 6 open to the atmosphere, and the sealing member 10 holds the vacuum exhaust head. (1) It fully separates from the exhaust port 9 of the product 2 arrange | positioned above. At this time, the diaphragm 7 is slightly bent toward the differential pressure drive space 6 by the weight of the rod 8, the holding member 11, and the like.

진공 배기 헤드(1) 및 제품(2)을 가열로 내에 배치하고 가열하면서, 진공 회로(17)의 연락 밸브(24)를 개방하고 나서, 진공 차단 밸브(21)를 개방함으로써, 진공 배기 공간(5) 및 차압 구동 공간(6)을 동시에 진공 처리한다. 진공 배기 헤드(1)는 오링(18)에 의해 제품(2)과 밀착하고, 제품(2)의 배기구(9), 진공 배기 공간(5) 내에 배치된 안내 부재(12)의 구멍(12a) 및 배기 통로(13)를 통해 제품(2) 내의 기체를 진공 회로(17)로 배기한다. The vacuum exhaust space ( 5) and the differential pressure drive space 6 are vacuumed at the same time. The vacuum exhaust head 1 is in close contact with the product 2 by the O-ring 18, and the hole 12a of the guide member 12 disposed in the exhaust port 9 of the product 2 and the vacuum exhaust space 5. And the gas in the product 2 through the exhaust passage 13 to the vacuum circuit 17.

이때, 진공 배기 공간(5)은 제품(2)의 내부 공간과 연통(連通)하고 있기 때문에 용적이 크고, 용적이 작은 차압 구동 공간(6)이 먼저 진공 된다. 이 때문에, 고무제의 격벽(7)은 차압 구동 공간(6) 측으로 튀어나오도록 탄성 변형하며 로드(8)를 하강시킨다. 이로 인하여, 제품(2)을 진공 처리하기 전에 로드(8)가 상승해서, 접착제(31)가 제품(2)에 맞닿는 일이 없다. At this time, since the vacuum exhaust space 5 communicates with the internal space of the product 2, the differential pressure drive space 6 having a large volume and a small volume is first vacuumed. For this reason, the rubber partition 7 is elastically deformed so as to protrude toward the differential pressure drive space 6 and lowers the rod 8. For this reason, before the vacuum processing of the product 2, the rod 8 raises and the adhesive 31 does not contact the product 2, either.

제품(2)의 진공 처리가 완료되면, 진공 배기 공간(5)과 차압 구동 공간(6)과의 압력 차이가 없어지므로, 격벽(7)은 진공 배기 공간(5) 및 차압 구동 공간(6)을 대기 개방하였을 때와 거의 동일한 위치에서 로드(8)를 지지한다. When the vacuum treatment of the product 2 is completed, the pressure difference between the vacuum exhaust space 5 and the differential pressure drive space 6 is eliminated, so that the partition wall 7 is the vacuum exhaust space 5 and the differential pressure drive space 6. The rod 8 is supported at approximately the same position as when it was opened to the atmosphere.

진공 회로(17)는 제품(2)을 진공 처리한 후, 예를 들면, 플라즈마 디스플레이 패널용의 발광 가스 등의 미량의 가스를 진공 배기 공간(5)을 통해 제품(2) 내부에 도입할 수 있도록, 가스 공급 통로를 갖추어도 좋다. After vacuuming the product 2, the vacuum circuit 17 can introduce a small amount of gas such as a light emitting gas for a plasma display panel into the product 2 through the vacuum exhaust space 5. The gas supply passage may be provided.

제품(2)의 진공 처리가 완료(압력 스위치(23)가 소정의 진공압을 검출)되고, 필요에 따라 제품(2)에 가스를 공급하였으면, 진공 회로(17)의 연락 밸브(24)를 폐쇄하고 나서, 차압 구동 공간 개방 밸브(28)를 개방하여 차압 구동 공간(6)만 대기 개방한다. 이렇게 하면, 차압 구동 공간(6)의 내부 압력이 진공 배기 공간(5)의 내부 압력에 비해 높아지기 때문에, 도 2에 나타낸 바와 같이, 격벽(7)은 진공 배기 공간(5) 측으로 돌출해서 로드(8)를 들어올린다. 이로 인하여, 유지 부재(11)는 헤드 본체(4)의 개구를 향해 이동하고, 밀봉 부재(10)를 제품에 눌러서, 밀봉 부재(10)에 의해 배기구(9)를 덮는다. When the vacuum treatment of the product 2 is completed (the pressure switch 23 detects a predetermined vacuum pressure) and gas is supplied to the product 2 as necessary, the contact valve 24 of the vacuum circuit 17 is opened. After closing, the differential pressure drive space opening valve 28 is opened to open only the differential pressure drive space 6 to the atmosphere. In this case, since the internal pressure of the differential pressure drive space 6 becomes higher than the internal pressure of the vacuum exhaust space 5, as shown in FIG. 2, the partition wall 7 protrudes toward the vacuum exhaust space 5 side to form a rod ( 8) Lift up. For this reason, the holding member 11 moves toward the opening of the head main body 4, presses the sealing member 10 to a product, and covers the exhaust port 9 by the sealing member 10. FIG.

헤드 본체(4)는 냉각 유로(19) 내를 순환하는 냉각수에 의해 냉각되고, 고무 제의 격벽(7) 및 오링(18)을 내열 온도 이하로 유지한다. 냉각수에 의해 직접 냉각되지 않는 제품(2)의 배기구(9) 주위는, 노 내 온도의 상승에 따라 온도가 높아지기 때문에, 눌러진 밀봉 부재(10)에 도포한 접착제(31)를 융해시킨다. The head main body 4 is cooled by the cooling water circulating in the cooling flow path 19, and keeps the rubber partition 7 and the O-ring 18 below heat-resistant temperature. Since the temperature increases around the exhaust port 9 of the product 2 which is not directly cooled by the cooling water, the adhesive 31 applied to the pressed sealing member 10 is melted.

그 후, 차압 구동 공간(6)의 내부 압력을 진공 배기 공간(5)보다도 높게 유지해서 밀봉 부재(10)를 누른 채, 노 내 온도를 내려서 접착제(31)를 고화함으로써, 배기구(9)의 밀봉 부재(10)에 의한 밀봉을 확실하게 한다. Thereafter, the internal pressure of the differential pressure drive space 6 is maintained higher than that of the vacuum exhaust space 5, and while the sealing member 10 is pressed, the furnace temperature is lowered to solidify the adhesive 31 so as to solidify the adhesive port 31. The sealing by the sealing member 10 is ensured.

이어서, 노 내로부터 진공 배기 헤드(1)를 제품(2)과 함께 꺼낸 후, 진공 차단 밸브(21)를 폐쇄하고 나서 진공 배기 공간 개방 밸브(26)를 개방함으로써, 진공 배기 공간(5)을 대기 개방한다. 이렇게 하면, 다시 진공 배기 공간(5)과 차압 구동 공간(6)과의 압력 차이가 없어지므로, 격벽(7)이 하강해서 로드(8)를 후퇴시킨다. 이때, 진공 배기 공간(5)이 대기압이 되어, 오링(18)의 밀착력도 손실되고, 진공 배기 헤드(1)와 제품(2)을 분리하여 제품(2)을 다음 공정으로 보낼 수 있게 된다. Subsequently, after the vacuum exhaust head 1 is taken out from the furnace together with the product 2, the vacuum exhaust space 5 is opened by closing the vacuum shutoff valve 21 and then opening the vacuum exhaust space opening valve 26. Open the atmosphere. In this case, since the pressure difference between the vacuum exhaust space 5 and the differential pressure drive space 6 is eliminated again, the partition wall 7 descends and the rod 8 is retracted. At this time, the vacuum exhaust space 5 becomes atmospheric pressure, and the adhesion force of the O-ring 18 is also lost, and the vacuum exhaust head 1 and the product 2 can be separated and the product 2 can be sent to the next process.

진공 배기 헤드(1)에서, 격벽(7)은 냉각수에 의해 냉각되는 헤드 본체(4)의 내부에 수용되어 있고, 직접 가열로의 열에 노출되는 일이 없다. 이 때문에, 격벽(7)은 내열성이 뒤떨어진다고 해도, 진공 배기 헤드(1)를 가열로 내에 배치한 상태로 파단(破斷)하는 일이 없이 팽창 수축이 가능하다. 또한, 냉각수를 대신하여 다른 종류의 냉각 유체를 사용해도 좋다. In the vacuum exhaust head 1, the partition 7 is accommodated inside the head main body 4 cooled by the cooling water, and is not exposed to the heat of the direct heating furnace. For this reason, even if the partition 7 is inferior in heat resistance, expansion contraction is possible without breaking in the state which arrange | positioned the vacuum exhaust head 1 in the heating furnace. In addition, other types of cooling fluid may be used instead of the cooling water.

또한, 진공 배기 헤드(1)에서, 차압 구동 공간(6)의 대기 개방 속도, 즉, 차압 구동 공간(6)으로의 공기의 공급 속도를, 유량 조절 밸브(27)의 개방 정도에 따라 조절하면, 로드(8)의 상승 속도를 조절할 수 있으며, 접착제(31)의 비산(飛散)을 방지할 수 있다. In addition, in the vacuum exhaust head 1, if the atmospheric opening speed of the differential pressure drive space 6, that is, the supply rate of air to the differential pressure drive space 6 is adjusted in accordance with the opening degree of the flow regulating valve 27, The rising speed of the rod 8 can be adjusted, and scattering of the adhesive 31 can be prevented.

본 발명의 진공 배기 헤드(1)는 소형이고, 노 내에서 제품(2)과 함께 가열할 수 있으므로, 도 3에 나타낸 바와 같이, 다수의 제품(2)을 유지하는 카트(32)에 병렬로 부착해서, 다수의 제품(2)을 동시에 진공 배기 및 밀봉을 할 수 있다.Since the vacuum exhaust head 1 of the present invention is compact and can be heated together with the product 2 in the furnace, as shown in FIG. 3, in parallel to a cart 32 holding a plurality of products 2. By attaching, a plurality of products 2 can be evacuated and sealed at the same time.

도 4에서는 본 발명의 제2실시형태의 진공 배기 헤드(1a)를 나타낸다. 본 실시형태에서, 제1실시형태와 동일한 구성 요소에는 동일한 부호를 붙여서 중복 설명을 생략한다. In FIG. 4, the vacuum exhaust head 1a of 2nd Embodiment of this invention is shown. In this embodiment, the same code | symbol is attached | subjected to the same component as 1st Embodiment, and duplication description is abbreviate | omitted.

진공 배기 헤드(1a)는 로드(8)의 하단에 원판(33)이 설치되고, 헤드 본체(4)의 바닥 벽과 원판(33)에 의해 양단이 밀봉된 금속제의 벨로스(bellows)(34)에 의해 차압 구동 공간(6)이 획정되어 있다. 즉, 본 실시형태에서는 벨로스(34)가 진공 배기 공간(5)과 차압 구동 공간(6)을 구분하는 격벽이다. The vacuum exhaust head 1a is provided with a disc 33 at the lower end of the rod 8, and metal bellows 34 whose both ends are sealed by the bottom wall of the head body 4 and the disc 33. The differential pressure drive space 6 is defined by this. That is, in this embodiment, the bellows 34 is a partition which divides the vacuum exhaust space 5 and the differential pressure drive space 6.

이 진공 배기 헤드(1a)에서도, 진공 배기 공간(5)과 차압 구동 공간(6)과의 압력 차이에 의해 벨로스(34)를 신축시켜서 로드(8)를 승강시킬 수 있다. Also in this vacuum exhaust head 1a, the bellows 34 can be stretched and raised and lowered by the pressure difference between the vacuum exhaust space 5 and the differential pressure drive space 6.

이상의 실시형태에서는 안내 부재(12)에 의해 로드(8)의 자세 및 이동 방향을 규제하고 있지만, 격벽의 팽창 및 수축이 안정되어 있으면, 안내 부재(12)를 생략하여도 좋고, 그에 따라 헤드 본체(4)의 높이를 낮게 하여도 좋다. In the above embodiment, although the attitude | position and the moving direction of the rod 8 are regulated by the guide member 12, if the expansion and contraction of a partition are stabilized, the guide member 12 may be abbreviate | omitted and, accordingly, a head main body The height of (4) may be made low.

또한, 본 실시형태의 진공 회로(17)의 차압 구동 공간(6)에 접속된 관로에는 공기압축기(air compressor) 등으로 이루어지는 공기압축원(壓空源)(35)으로부터, 레귤레이터(36)로 압력 조정한 압축 공기가, 공기압축 공급 밸브(37)를 통해 공급할 수 있게 되어 있다. In addition, in the conduit connected to the differential pressure drive space 6 of the vacuum circuit 17 of the present embodiment, a pressure is applied to the regulator 36 from an air compression source 35 made of an air compressor or the like. The adjusted compressed air can be supplied through the air compression supply valve 37.

차압 구동 공간(6)을 대기 개방한 후, 혹은, 대기 개방을 생략하여 연락 밸브(24) 및 차압 구동 공간 개방 밸브(28)를 폐쇄한 상태로, 차압 구동 공간(6)에 압축 공기를 공급함으로써, 밀봉 부재(10)를 제품(2)에 의해 강한 힘으로 누를 수 있다. 이로 인하여, 차압 구동 공간(6)의 단면적이 작은 경우에도, 밀봉 부재(10)의 제품(2)에 대한 밀착을 확보할 수 있다. Compressed air is supplied to the differential pressure drive space 6 after the differential pressure drive space 6 is opened to the atmosphere or in a state where the communication valve 24 and the differential pressure drive space open valve 28 are closed by omitting the atmospheric release. Thereby, the sealing member 10 can be pressed with a strong force by the product 2. For this reason, even when the cross-sectional area of the differential pressure drive space 6 is small, the close contact with the product 2 of the sealing member 10 can be ensured.

또한, 진공 배기 헤드(1a)와 제품(2)을 분리할 때, 진공 배기 공간 개방 밸브(26)를 개방하지 않고, 연락 밸브(24)를 개방하여 압축 공기를 진공 배기 공간(5)에도 공급하면, 진공 배기 공간(5)에 재빠르게 공기를 공급하여, 진공 배기 헤드(1a)를 신속하게 제품(2)으로부터 분리할 수 있다. 이것은 진공 회로(17)의 관로나 내압 호스(15, 16)의 지름이 작고, 경로 길이가 긴 경우에 특히 유효하다. In addition, when separating the vacuum exhaust head 1a and the product 2, the communication valve 24 is opened to supply compressed air to the vacuum exhaust space 5 without opening the vacuum exhaust space opening valve 26. In this case, air can be supplied to the vacuum exhaust space 5 quickly, and the vacuum exhaust head 1a can be quickly separated from the product 2. This is particularly effective when the diameter of the pipeline of the vacuum circuit 17 or the pressure resistant hoses 15 and 16 is small and the path length is long.

1: 진공 배기 헤드 2: 제품
3: 진공원 4: 헤드 본체
5: 진공 배기 공간 6: 차압 구동 공간
7: 격벽 8: 로드
9: 배기구 10: 밀봉 부재
11: 유지 부재 12: 안내 부재
13, 14: 배기로 17: 진공 회로
18: 오링 19: 냉수원
20: 냉각 유로 31: 접착제
32: 카트 33: 원판
34: 벨로스(격벽)1: vacuum exhaust head 2: Product
3: vacuum source 4: head body
5: vacuum exhaust space 6: differential pressure driving space
7: bulkhead 8: load
9: exhaust port 10: sealing member
11: retaining member 12: guide member
13, 14: exhaust passage 17: vacuum circuit
18: O-ring 19: cold water source
20: cooling passage 31: adhesive
32: Cart 33: Disc
34: bellows

Claims (4)

개구(開口)가 제품에 의해 밀봉되어 진공 처리가 가능한 진공 배기 공간과, 상기 개구와 반대 측에 위치하고, 상기 진공 배기 공간과 변형 가능한 격벽에 의해 구분되고, 상기 진공 배기 공간과 독립하여 진공 처리가 가능한 차압(差壓) 구동 공간을 획정하는 헤드 본체와,
상기 격벽에 지지되고, 상기 제품의 배기구(排氣口)를 밀봉하는 밀봉 부재를 유지하며, 상기 격벽의 변형에 의해 상기 헤드 본체의 개구를 향해 이동 가능한 유지 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 배기 헤드.The opening is sealed by a product, and is separated by a vacuum exhaust space capable of vacuum treatment, and is separated by the vacuum exhaust space and a deformable partition located on the side opposite to the opening, and the vacuum treatment is independent of the vacuum exhaust space. A head body defining a possible differential pressure drive space;
A holding member which is supported by the partition wall and holds a sealing member sealing the exhaust port of the product, and is movable toward the opening of the head body by the deformation of the partition wall. head. 청구항 1에 있어서,
상기 유지 부재는 상기 격벽에 지지되고, 상기 개구를 향해 연신(延伸)하는 로드 선단에 설치되며,
상기 진공 배기 공간 내에 상기 로드를 축 방향으로 미끄럼 가능하게 유지하는 안내 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 배기 헤드.The method according to claim 1,
The holding member is supported at the partition wall, and is provided at a rod tip extending toward the opening,
And a guide member for slidably holding the rod in the vacuum exhaust space in the axial direction. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
상기 차압 구동 공간은 상기 진공 배기 공간보다도 단면적이 작은 것을 특징으로 하는 진공 배기 헤드.The method according to claim 1 or 2,
And the differential pressure drive space has a smaller cross-sectional area than the vacuum exhaust space. 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 있어서,
상기 개구 주위에, 상기 제품과 밀착하는 오링을 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 배기 헤드.The method according to any one of claims 1 to 3,
And an O-ring in close contact with said product around said opening.
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