KR20110014676A - Conductors for photovoltaic cells: compositions containing submicron particles - Google Patents

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하이신 양
로베르토 이리자리
파트리시아 제이. 올리비에
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이 아이 듀폰 디 네모아 앤드 캄파니
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Abstract

본 발명의 실시 형태는 규소 반도체 소자와, 태양 전지 소자에 사용하기 위한 전도성 후막 조성물에 관한 것이다.Embodiments of the present invention relate to silicon semiconductor devices and conductive thick film compositions for use in solar cell devices.

Description

광전지용 전도체: 서브미크론 입자를 함유하는 조성물{CONDUCTORS FOR PHOTOVOLTAIC CELLS: COMPOSITIONS CONTAINING SUBMICRON PARTICLES}Photoconductor: Composition containing submicron particles {CONDUCTORS FOR PHOTOVOLTAIC CELLS: COMPOSITIONS CONTAINING SUBMICRON PARTICLES}

본 발명의 실시 형태는 규소 반도체 소자와, 태양 전지 소자에 사용하기 위한 전도성 후막 조성물에 관한 것이다.Embodiments of the present invention relate to silicon semiconductor devices and conductive thick film compositions for use in solar cell devices.

p형 베이스를 갖는 종래의 태양 전지 구조물은 전지의 전면(태양광 면(sun-side) 또는 조사면(illuminated side)이라고도 함) 상에 있을 수 있는 네거티브 전극 및 반대쪽 면 상에 있을 수 있는 포지티브 전극을 갖는다. 반도체 본체의 p-n 접합부로 떨어지는 적합한 파장의 방사선이 그 본체에서 정공-전자 쌍을 생성하기 위한 외부 에너지원으로서의 역할을 한다. p-n 접합부에 존재하는 전위차로 인해, 정공과 전자는 반대 방향으로 접합부를 가로질러 이동하여, 그에 의해 외부 회로에 전력을 전달할 수 있는 전류의 흐름이 생기게 한다. 대부분의 태양 전지는 금속화된, 즉 전기 전도성인 금속 접촉부를 구비한 규소 웨이퍼의 형태이다.Conventional solar cell structures having a p-type base may have a negative electrode that may be on the front side of the cell (also called the sun-side or illuminated side) and a positive electrode that may be on the opposite side. Has Appropriate wavelengths of radiation falling into the p-n junction of the semiconductor body serve as an external energy source for generating hole-electron pairs in the body. Due to the potential difference present in the p-n junction, holes and electrons move across the junction in opposite directions, thereby creating a current flow that can deliver power to the external circuit. Most solar cells are in the form of silicon wafers that are metallized, ie, have metal contacts that are electrically conductive.

개선된 전기적 성능을 갖는, 조성물, 구조물(예를 들어, 반도체, 태양 전지 또는 광다이오드 구조물), 및 반도체 소자(예를 들어, 반도체, 태양 전지 또는 광다이오드 소자), 및 그 제조 방법에 대한 요구가 있다.Demand for compositions, structures (eg, semiconductors, solar cells, or photodiode structures), and semiconductor devices (eg, semiconductors, solar cells, or photodiode devices) with improved electrical performance, and methods of making the same There is.

본 발명의 실시 형태는: (a) 하나 이상의 전도성 재료; (b) 하나 이상의 무기 결합제; 및 (c) 유기 비히클을 포함하며, 무기 성분의 1 내지 15 %가 서브미크론(submicron) 입자인 조성물에 관한 것이다. 일 실시 형태에서, 무기 성분의 85 내지 99 %는 d50이 1.5 내지 10 마이크로미터일 수 있다. 일 실시 형태에서, 하나 이상의 전도성 재료는 은을 포함할 수 있다. 일 실시 형태에서, 은의 일부분은 서브미크론 입자를 함유한다. 일 실시 형태에서, 서브미크론 입자는 d50이 0.1 내지 1 마이크로미터이다. 일 실시 형태에서, 서브미크론 입자는 d50이 0.1 내지 0.6 마이크로미터이다. 일 실시 형태에서, 입자는 이봉 크기 분포(bimodal size distribution)를 갖는다.Embodiments of the invention include: (a) one or more conductive materials; (b) one or more inorganic binders; And (c) an organic vehicle, wherein 1-15% of the inorganic component is submicron particles. In one embodiment, 85-99% of the inorganic component may have a d50 of 1.5-10 micrometers. In one embodiment, the one or more conductive materials can include silver. In one embodiment, the portion of silver contains submicron particles. In one embodiment, the submicron particles have a d50 of 0.1 to 1 micrometer. In one embodiment, the submicron particles have a d50 of 0.1 to 0.6 micrometers. In one embodiment, the particles have a bimodal size distribution.

본 조성물은: (a) Zn, Pb, Bi, Gd, Ce, Zr, Ti, Mn, Sn, Ru, Co, Fe, Cu, 및 Cr로부터 선택된 금속; (b) Zn, Pb, Bi, Gd, Ce, Zr, Ti, Mn, Sn, Ru, Co, Fe, Cu, 및 Cr로부터 선택된 하나 이상의 금속의 금속 산화물; (c) 소성시 (b)의 금속 산화물을 생성할 수 있는 임의의 화합물; 및 (d) 그 혼합물로 이루어진 군으로부터 선택되는 하나 이상의 첨가제를 포함할 수 있다. 일 실시 형태에서, 첨가제는 ZnO, 또는 소성시 ZnO를 형성하는 화합물을 포함할 수 있다. 일 실시 형태에서, ZnO 및/또는 무기 결합제는 서브미크론 입자를 포함할 수 있다. ZnO는 총 조성물의 2 내지 10 중량%일 수 있다. 유리 프릿은 총 조성물의 1 내지 6 중량%일 수 있다. 전도성 재료는 Ag를 포함할 수 있다. Ag는 조성물 중의 고형물의 90 내지 99 중량%일 수 있다. 일 실시 형태에서, 무기 성분은 총 조성물의 70 내지 95 중량%일 수 있다.The composition comprises: (a) a metal selected from Zn, Pb, Bi, Gd, Ce, Zr, Ti, Mn, Sn, Ru, Co, Fe, Cu, and Cr; (b) metal oxides of one or more metals selected from Zn, Pb, Bi, Gd, Ce, Zr, Ti, Mn, Sn, Ru, Co, Fe, Cu, and Cr; (c) any compound capable of producing the metal oxide of (b) upon firing; And (d) one or more additives selected from the group consisting of mixtures thereof. In one embodiment, the additive may include ZnO, or a compound that forms ZnO upon firing. In one embodiment, the ZnO and / or inorganic binder may comprise submicron particles. ZnO may be 2 to 10 weight percent of the total composition. The glass frit may be 1 to 6 weight percent of the total composition. The conductive material may comprise Ag. Ag may be 90 to 99% by weight of solids in the composition. In one embodiment, the inorganic component may be 70 to 95 weight percent of the total composition.

추가 실시 형태는: (a) 반도체 기판, 하나 이상의 절연막, 및 본 명세서에 기재된 후막 조성물을 제공하는 단계; (b) 절연막을 반도체 기판에 적용하는 단계; (c) 반도체 기판 상의 절연막에 후막 조성물을 적용하는 단계, 및 (d) 반도체, 절연막 및 후막 조성물을 소성하는 단계를 포함하는 반도체 소자의 제조 방법에 관한 것이다. 일 태양에서, 절연막은: 산화티타늄, 질화규소, SiNx:H, 산화규소 및 산화규소/산화티타늄으로부터 선택되는 하나 이상의 성분을 포함할 수 있다.Further embodiments include: (a) providing a semiconductor substrate, one or more insulating films, and a thick film composition described herein; (b) applying the insulating film to the semiconductor substrate; (c) applying a thick film composition to an insulating film on a semiconductor substrate, and (d) firing the semiconductor, insulating film, and thick film composition. In one aspect, the insulating film may comprise one or more components selected from: titanium oxide, silicon nitride, SiNx: H, silicon oxide and silicon oxide / titanium oxide.

추가 실시 형태는 본 명세서에 기재된 방법으로 제조된 반도체 소자에 관한 것이다. 일 태양은 본 명세서에 기재된 조성물을, 소성 전에, 포함하는 전극을 포함하는 반도체 소자에 관한 것이다. 일 실시 형태는 반도체 소자를 포함하는 태양 전지에 관한 것이다.Further embodiments relate to semiconductor devices made by the methods described herein. One aspect relates to a semiconductor device comprising an electrode comprising a composition described herein prior to firing. One embodiment relates to a solar cell comprising a semiconductor device.

일 실시 형태는 반도체 기판, 절연막, 및 전면 전극 - 여기서, 전면 전극은 아연-실리케이트, 윌레마이트(willemite), 및 비스무트 실리케이트로 이루어진 군으로부터 선택되는 하나 이상의 성분을 포함함 - 을 포함하는 반도체 소자에 관한 것이다.One embodiment includes a semiconductor substrate, an insulating film, and a front electrode, wherein the front electrode comprises at least one component selected from the group consisting of zinc-silicate, willemite, and bismuth silicate. It is about.

<도 1>
도 1은 반도체 소자의 제조를 도시하는 공정 흐름도이다.
도 1에 도시된 도면 부호는 아래에 설명되어 있다.
10: p형 규소 기판
20: n형 확산층
30: 질화규소 막, 산화티타늄 막, 또는 산화규소 막
40: p+ 층(후면 전계, BSF)
60: 후면 상에 형성된 알루미늄 페이스트
61: 알루미늄 후면 전극(후면 알루미늄 페이스트를 소성함으로써 얻어짐)
70: 후면 상에 형성된 은 또는 은/알루미늄 페이스트
71: 은 또는 은/알루미늄 후면 전극(후면 은 페이스트를 소성함으로써 얻어짐)
500: 본 발명에 따른 전면 상에 형성된 은 페이스트
501: 본 발명에 따른 은 전면 전극(전면 은 페이스트를 소성함으로써 형성됨)
<Figure 1>
1 is a process flowchart showing the manufacture of a semiconductor device.
Reference numerals shown in FIG. 1 are described below.
10: p-type silicon substrate
20: n-type diffusion layer
30: silicon nitride film, titanium oxide film, or silicon oxide film
40: p + layer (rear field, BSF)
60: aluminum paste formed on the back side
61: aluminum back electrode (obtained by firing rear aluminum paste)
70: silver or silver / aluminum paste formed on the back side
71: silver or silver / aluminum back electrode (obtained by firing back silver paste)
500: silver paste formed on the front surface according to the present invention
501: Silver front electrode according to the present invention (formed by firing front silver paste)

증가된 효율을 갖는 개선된 태양 전지에 대한 요구가 있다. 증가된 높이를 갖는 좁은 전도체 라인의 형성에 적합한 전도성 조성물에 대한 요구가 있다. 본 발명의 태양은 서브미크론 입자를 함유하는 조성물에 관한 것이다. 조성물은 후막 조성물일 수 있다. 이러한 조성물은 태양 전지 전극을 형성하는 데 사용될 수 있다. 전극은 태양 전지의 전면 상에 있을 수 있다. 일 실시 형태에서, 전극 라인은 좁을 수 있으며 증가된 높이를 가질 수 있다.There is a need for improved solar cells with increased efficiency. There is a need for conductive compositions suitable for the formation of narrow conductor lines with increased height. Aspects of the present invention relate to compositions containing submicron particles. The composition may be a thick film composition. Such compositions can be used to form solar cell electrodes. The electrode can be on the front side of the solar cell. In one embodiment, the electrode lines can be narrow and can have increased height.

본 명세서에 사용되는 바와 같이, "후막 조성물"은 기판 상에서 소성시 두께가 1 내지 100 마이크로미터인 조성물을 말한다. 후막 조성물은 전도성 재료, 유리 조성물, 및 유기 비히클을 함유할 수 있다. 후막 조성물은 추가 성분을 포함할 수 있다. 본 명세서에 사용되는 바와 같이, 추가 성분은 "첨가제"라고 부른다.As used herein, "thick film composition" refers to a composition having a thickness of 1 to 100 microns upon firing on a substrate. The thick film composition may contain a conductive material, a glass composition, and an organic vehicle. The thick film composition may comprise additional components. As used herein, additional ingredients are referred to as "additives".

본 명세서에 기재된 조성물은 유기 매질 중에 분산된 하나 이상의 전기 기능성 재료 및 하나 이상의 유리 프릿을 포함한다. 이러한 조성물은 후막 조성물일 수 있다. 조성물은 또한 하나 이상의 첨가제(들)를 포함할 수 있다. 예시적인 첨가제는, 금속, 금속 산화물, 또는 소성 동안 이러한 금속 산화물을 생성할 수 있는 임의의 화합물을 포함할 수 있다.The compositions described herein comprise one or more electrically functional materials and one or more glass frits dispersed in an organic medium. Such a composition may be a thick film composition. The composition may also include one or more additive (s). Exemplary additives may include metals, metal oxides, or any compound capable of producing such metal oxides during firing.

일 실시 형태에서, 전기 기능성 분말은 전도성 분말일 수 있다. 일 실시 형태에서, 조성물(들), 예를 들어, 전도성 조성물이 반도체 소자에 사용될 수 있다. 이러한 실시 형태의 태양에서, 반도체 소자는 태양 전지 또는 광다이오드일 수 있다. 이러한 실시 형태의 추가 태양에서, 반도체 소자는 광범위한 반도체 소자 중 하나일 수 있다. 일 실시 형태에서, 반도체 소자는 태양 전지일 수 있다.In one embodiment, the electrically functional powder may be a conductive powder. In one embodiment, composition (s), such as conductive compositions, may be used in the semiconductor device. In an aspect of this embodiment, the semiconductor device may be a solar cell or a photodiode. In a further aspect of this embodiment, the semiconductor device can be one of a wide variety of semiconductor devices. In one embodiment, the semiconductor device can be a solar cell.

일 실시 형태에서, 본 명세서에 기재된 후막 조성물은 태양 전지에 사용될 수 있다. 이러한 실시 형태의 태양에서, 태양 전지 효율은 기준 태양 전지(reference solar cell)의 70% 초과일 수 있다. 추가 실시 형태에서, 태양 전지 효율은 기준 태양 전지의 80% 초과일 수 있다. 태양 전지 효율은 기준 태양 전지의 90% 초과일 수 있다.In one embodiment, the thick film compositions described herein can be used in solar cells. In aspects of this embodiment, the solar cell efficiency may be greater than 70% of the reference solar cell. In further embodiments, the solar cell efficiency may be greater than 80% of the reference solar cell. Solar cell efficiency may be greater than 90% of a reference solar cell.

일 실시 형태에서, 후막 조성물 내의 유기 매질 대 분산물 내의 무기 성분의 비는, 당업자에 의해 결정되는 바와 같이, 사용되는 유기 매질의 종류와 페이스트의 적용 방법에 따라 좌우될 수 있다. 일 실시 형태에서, 분산물은 양호한 습윤성을 얻기 위해 5 내지 30 중량%의 유기 매질(비히클) 및 70 내지 95 중량%의 무기 성분을 포함할 수 있다.In one embodiment, the ratio of the organic medium in the thick film composition to the inorganic component in the dispersion may depend on the type of organic medium used and the method of application of the paste, as determined by one skilled in the art. In one embodiment, the dispersion may comprise from 5 to 30% by weight of organic medium (vehicle) and from 70 to 95% by weight of inorganic components to obtain good wetting.

일 실시 형태에서, 무기 성분의 일부분은 서브미크론 입자일 수 있다. 이러한 실시 형태의 태양에서, 서브미크론 입자는 d50이 0.1 내지 1 마이크로미터일 수 있다. 추가 태양에서, 서브미크론 입자는 d50이 0.1 내지 0.8 마이크로미터일 수 있다. 추가 태양에서, 서브미크론 입자는 d50이 0.2 내지 0.6 마이크로미터일 수 있다.In one embodiment, the portion of the inorganic component may be submicron particles. In an aspect of this embodiment, the submicron particles can have a d50 of 0.1 to 1 micrometer. In a further aspect, the submicron particles can have a d50 of 0.1 to 0.8 micrometers. In a further aspect, the submicron particles can have a d50 of 0.2 to 0.6 micrometers.

일 실시 형태에서, 서브미크론 입자는 조성물의 1 내지 15 중량%일 수 있다. 추가 실시 형태에서, 서브미크론 입자는 조성물의 2 내지 10 중량%일 수 있다. 추가 실시 형태에서, 서브미크론 입자는 조성물의 3 내지 6 중량%일 수 있다.In one embodiment, the submicron particles can be 1-15% by weight of the composition. In further embodiments, the submicron particles can be 2 to 10 weight percent of the composition. In further embodiments, the submicron particles can be 3 to 6 weight percent of the composition.

일 실시 형태에서, 서브미크론 입자는 전도성 재료의 일부분을 포함할 수 있다. 일 태양에서, 전도성 재료의 1 내지 15 중량%가 서브미크론 입자일 수 있다. 추가 태양에서, 전도성 재료의 2 내지 10 중량%가 서브미크론 입자일 수 있다. 추가 태양에서, 전도성 조성물의 3 내지 6 중량%가 서브미크론 입자일 수 있다.In one embodiment, the submicron particles can comprise a portion of the conductive material. In one aspect, 1-15% by weight of the conductive material may be submicron particles. In a further aspect, 2 to 10% by weight of the conductive material may be submicron particles. In further aspects, 3 to 6 weight percent of the conductive composition may be submicron particles.

일 실시 형태에서, 조성물의 일부분은 d50이 1.5 내지 10 마이크로미터일 수 있다. 이러한 실시 형태의 태양에서, 조성물의 무기 성분의 85 내지 99 중량%는 d50이 1.5 내지 10 마이크로미터일 수 있다. 이러한 실시 형태의 태양에서, 조성물의 일부분은 d50이 2.0 내지 7.0 마이크로미터일 수 있다. 이러한 실시 형태의 태양에서, 조성물의 일부분은 d50이 2.5 내지 5.0 마이크로미터일 수 있다.In one embodiment, a portion of the composition may have a d50 of 1.5 to 10 micrometers. In an aspect of this embodiment, 85 to 99% by weight of the inorganic component of the composition may have a d50 of 1.5 to 10 microns. In an aspect of this embodiment, a portion of the composition may have a d50 of 2.0 to 7.0 micrometers. In an aspect of this embodiment, a portion of the composition may have a d50 of 2.5 to 5.0 micrometers.

추가 태양에서, 전도성 재료는 은을 포함할 수 있다. 일 태양에서, 전도성 재료의 50 내지 100 중량%가 은일 수 있다. 추가 태양에서, 전도성 재료의 70 내지 99 중량%, 70 내지 98 중량%, 또는 80 내지 95 중량%가 은일 수 있다.In further aspects, the conductive material may comprise silver. In one aspect, 50-100% by weight of the conductive material may be silver. In a further aspect, 70-99%, 70-98%, or 80-95% by weight of the conductive material may be silver.

유리 프릿Glass frit

본 발명의 태양에서, 조성물은 유리 프릿 조성물을 포함한다. 본 발명에 유용한 유리 프릿 조성물은 당업자에 의해 쉽게 인식될 것이다. 예를 들어, 전면 태양 전지 전극을 제조하는 데 사용되는 조성물에 유용한 유리 프릿 조성물이 사용될 수 있다. 예시적인 유리 프릿 조성물은 납 보로실리케이트 유리를 포함한다. 일 실시 형태에서, 본 발명에 유용한 유리 프릿 조성물은 20 내지 24 중량%의 SiO2, 0.2 내지 0.8 중량%의 Al2O3, 40 내지 60 중량%의 PbO, 및 5 내지 8 중량%의 B2O3를 포함할 수 있다. 일 실시 형태에서, 유리 프릿 조성물은 또한 3 내지 7 중량%의 TiO2를 선택적으로 포함할 수 있다. 일 실시 형태에서, 유리 프릿 조성물은 또한: 불소의 염, 플루오라이드, 금속 옥시플루오라이드 화합물 등을 포함하지만 이로 한정되지 않는 하나 이상의 불소-함유 성분을 선택적으로 포함할 수 있다. 이러한 불소-함유 성분은 PbF2, BiF3, AlF3, NaF, LiF, KF, CsF, ZrF4, TiF4 및/또는 ZnF2를 포함하지만 이로 한정되지 않는다. 일 실시 형태에서, 유리 프릿 조성물은 8 내지 13 중량%의 PbF2를 포함할 수 있다.In an aspect of the present invention, the composition comprises a glass frit composition. Glass frit compositions useful in the present invention will be readily appreciated by those skilled in the art. For example, glass frit compositions useful in the compositions used to make the front side solar cell electrodes can be used. Exemplary glass frit compositions include lead borosilicate glass. In one embodiment, glass frit compositions useful in the present invention comprise 20 to 24 weight percent SiO 2 , 0.2 to 0.8 weight percent Al 2 O 3 , 40 to 60 weight percent PbO, and 5 to 8 weight percent B 2 O 3 may include. In one embodiment, the glass frit composition may also optionally include 3-7 wt.% TiO 2 . In one embodiment, the glass frit composition may also optionally include one or more fluorine-containing components, including but not limited to: salts of fluorine, fluorides, metal oxyfluoride compounds, and the like. Such fluorine-containing components include, but are not limited to, PbF 2 , BiF 3 , AlF 3 , NaF, LiF, KF, CsF, ZrF 4 , TiF 4 and / or ZnF 2 . In one embodiment, the glass frit composition may comprise 8 to 13 weight percent PbF 2 .

이러한 실시 형태의 추가 태양에서, 후막 조성물은 유기 매질 중에 분산된 전기 기능성 분말 및 유리-세라믹 프릿을 포함할 수 있다. 일 실시 형태에서, 이러한 후막 전도체 조성물(들)은 반도체 소자에 사용될 수 있다. 이러한 실시 형태의 태양에서, 반도체 소자는 태양 전지 또는 광다이오드일 수 있다.In a further aspect of this embodiment, the thick film composition may comprise an electrically functional powder and a glass-ceramic frit dispersed in an organic medium. In one embodiment, such thick film conductor composition (s) can be used in semiconductor devices. In an aspect of this embodiment, the semiconductor device may be a solar cell or a photodiode.

전도성 재료Conductive material

일 실시 형태에서, 후막 조성물은 조성물에 적절한 전기 기능성 특성을 부여하는 기능성 상(functional phase)을 포함할 수 있다. 일 실시 형태에서, 전기 기능성 분말은 전도성 분말일 수 있다. 일 실시 형태에서, 전기 기능성 상은 전도성 재료(본 명세서에서, 전도성 입자라고도 함)를 포함할 수 있다. 전도성 입자는 예를 들어, 전도성 분말, 전도성 박편(flake), 또는 그 혼합물을 포함할 수 있다.In one embodiment, the thick film composition may comprise a functional phase that imparts appropriate electrical functional properties to the composition. In one embodiment, the electrically functional powder may be a conductive powder. In one embodiment, the electrically functional phase may comprise a conductive material (also referred to herein as conductive particles). The conductive particles can include, for example, conductive powder, conductive flakes, or mixtures thereof.

일 실시 형태에서, 전도성 입자는 Ag를 포함할 수 있다. 추가 실시 형태에서, 전도성 입자는 은(Ag) 및 알루미늄(Al)을 포함할 수 있다. 추가 실시 형태에서, 전도성 입자는, 예를 들어, 다음 중 하나 이상을 포함할 수 있다: Cu, Au, Ag, Pd, Pt, Al, Ag-Pd, Pt-Au 등. 일 실시 형태에서, 전도성 입자는 다음 중 하나 이상을 포함할 수 있다: (1) Al, Cu, Au, Ag, Pd 및 Pt; (2) Al, Cu, Au, Ag, Pd 및 Pt의 합금; 및 (3) 그 혼합물.In one embodiment, the conductive particles may comprise Ag. In further embodiments, the conductive particles may comprise silver (Ag) and aluminum (Al). In further embodiments, the conductive particles can include, for example, one or more of the following: Cu, Au, Ag, Pd, Pt, Al, Ag-Pd, Pt-Au, and the like. In one embodiment, the conductive particles may comprise one or more of the following: (1) Al, Cu, Au, Ag, Pd and Pt; (2) alloys of Al, Cu, Au, Ag, Pd and Pt; And (3) mixtures thereof.

일 실시 형태에서, 조성물의 기능성 상은 전기 전도성인 코팅되거나 코팅되지 않은 은 입자를 포함할 수 있다. 은 입자가 코팅되는 실시 형태에서, 은 입자는 계면활성제로 적어도 부분적으로 코팅된다. 일 실시 형태에서, 계면활성제는 다음의 비제한적인 계면활성제 중 하나 이상을 포함할 수 있다: 스테아르산, 팔미트산, 스테아레이트의 염, 팔미테이트의 염, 라우르산, 팔미트산, 올레산, 스테아르산, 카프르산, 미리스트산 및 리놀레산, 및 그 혼합물. 반대 이온은 수소, 암모늄, 나트륨, 칼륨 및 그 혼합물일 수 있지만 이로 한정되지 않는다.In one embodiment, the functional phase of the composition may include coated or uncoated silver particles that are electrically conductive. In embodiments in which silver particles are coated, the silver particles are at least partially coated with a surfactant. In one embodiment, the surfactant may comprise one or more of the following non-limiting surfactants: stearic acid, palmitic acid, salts of stearate, salts of palmitate, lauric acid, palmitic acid, oleic acid , Stearic acid, capric acid, myristic acid and linoleic acid, and mixtures thereof. Counter ions may be, but are not limited to, hydrogen, ammonium, sodium, potassium and mixtures thereof.

일 실시 형태에서, 은은 페이스트 조성물의 60 내지 90 중량%일 수 있다. 추가 실시 형태에서, 은은 페이스트 조성물의 70 내지 85 중량%일 수 있다. 추가 실시 형태에서, 은은 페이스트 조성물의 75 내지 85 중량%일 수 있다. 추가 실시 형태에서, 은은 페이스트 조성물의 78 내지 82 중량%일 수 있다.In one embodiment, silver may be 60-90% by weight of the paste composition. In further embodiments, silver may be 70-85% by weight of the paste composition. In further embodiments, silver may be 75 to 85 weight percent of the paste composition. In further embodiments, silver may be 78 to 82 weight percent of the paste composition.

일 실시 형태에서, 은은 조성물 중의 고형물(즉, 유기 비히클 제외)의 90 내지 99 중량%일 수 있다. 추가 실시 형태에서, 은은 조성물 중의 고형물의 92 내지 97 중량%일 수 있다. 추가 실시 형태에서, 은은 조성물 중의 고형물의 93 내지 95 중량%일 수 있다.In one embodiment, silver may be 90-99% by weight of solids (ie, excluding organic vehicle) in the composition. In further embodiments, silver may be 92-97 wt% of the solids in the composition. In further embodiments, silver may be 93 to 95 weight percent of solids in the composition.

본 명세서에서 사용되는 바와 같이, "입자 크기"는 "평균 입자 크기"를 의미하고자 하는 것이며, "평균 입자 크기"는 50% 용적 분포 크기(volume distribution size)를 의미한다. 용적 분포 크기는 마이크로트랙(Microtrac) 입자 크기 분석기를 사용한 LASER 회절 및 분산 방법을 포함하나 이로 한정되지 않는 당업자에 의해서 이해되는 다수의 방법에 의해 결정될 수 있다.As used herein, "particle size" is intended to mean "average particle size" and "average particle size" means 50% volume distribution size. The volume distribution size can be determined by a number of methods understood by one of ordinary skill in the art, including but not limited to LASER diffraction and dispersion methods using a Microtrac particle size analyzer.

일 실시 형태에서, 전도성 재료의 일부분은 서브미크론 입자일 수 있다. 이러한 실시 형태의 태양에서, 서브미크론 입자는 d50이 0.1 내지 1 마이크로미터일 수 있다. 추가 태양에서, 서브미크론 입자는 d50이 0.1 내지 0.8 마이크로미터일 수 있다. 추가 태양에서, 서브미크론 입자는 d50이 0.2 내지 0.6 마이크로미터일 수 있다.In one embodiment, the portion of the conductive material may be submicron particles. In an aspect of this embodiment, the submicron particles can have a d50 of 0.1 to 1 micrometer. In a further aspect, the submicron particles can have a d50 of 0.1 to 0.8 micrometers. In a further aspect, the submicron particles can have a d50 of 0.2 to 0.6 micrometers.

일 실시 형태에서, 전도성 재료의 1 내지 15 중량%가 서브미크론 입자일 수 있다. 추가 태양에서, 전도성 재료의 2 내지 10 중량%가 서브미크론 입자일 수 있다. 추가 태양에서, 전도성 조성물의 3 내지 6 중량%가 서브미크론 입자일 수 있다.In one embodiment, 1-15% by weight of the conductive material may be submicron particles. In a further aspect, 2 to 10% by weight of the conductive material may be submicron particles. In further aspects, 3 to 6 weight percent of the conductive composition may be submicron particles.

일 실시 형태에서, 전도성 재료의 일부분은 d50이 1.5 내지 10 마이크로미터일 수 있다. 이러한 실시 형태의 태양에서, 전도성 재료의 85 내지 99 중량%는 d50이 1.5 내지 10 마이크로미터일 수 있다. 이러한 실시 형태의 태양에서, 전도성 재료의 일부분은 d50이 2.0 내지 7.0 마이크로미터일 수 있다. 이러한 실시 형태의 태양에서, 전도성 재료의 일부분은 d50이 2.5 내지 5.0 마이크로미터일 수 있다.In one embodiment, the portion of the conductive material may have a d50 of 1.5 to 10 micrometers. In an aspect of this embodiment, 85 to 99% by weight of the conductive material may have a d50 of 1.5 to 10 microns. In an aspect of this embodiment, the portion of the conductive material may have a d50 of 2.0 to 7.0 micrometers. In an aspect of this embodiment, the portion of the conductive material may have a d50 of 2.5 to 5.0 micrometers.

첨가제additive

일 실시 형태에서, 후막 조성물은 하나 이상의 첨가제를 포함할 수 있다. 일 실시 형태에서, 첨가제는 다음 중 하나 이상으로부터 선택될 수 있다: (a) Zn, Pb, Bi, Gd, Ce, Zr, Ti, Mn, Sn, Ru, Co, Fe, Cu 및 Cr로부터 선택된 금속; (b) Zn, Pb, Bi, Gd, Ce, Zr, Ti, Mn, Sn, Ru, Co, Fe, Cu 및 Cr로부터 선택된 하나 이상의 금속의 금속 산화물; (c) 소성시 (b)의 금속 산화물을 생성할 수 있는 임의의 화합물; 및 (d) 그 혼합물.In one embodiment, the thick film composition may comprise one or more additives. In one embodiment, the additive may be selected from one or more of the following: (a) metals selected from Zn, Pb, Bi, Gd, Ce, Zr, Ti, Mn, Sn, Ru, Co, Fe, Cu and Cr ; (b) metal oxides of at least one metal selected from Zn, Pb, Bi, Gd, Ce, Zr, Ti, Mn, Sn, Ru, Co, Fe, Cu and Cr; (c) any compound capable of producing the metal oxide of (b) upon firing; And (d) mixtures thereof.

일 실시 형태에서, 첨가제는 Zn-함유 첨가제를 포함함 할 수 있다. Zn-함유 첨가제는 다음 중 하나 이상을 포함할 수 있다: (a) Zn, (b) Zn의 금속 산화물, (c) 소성시 Zn의 금속 산화물을 생성할 수 있는 임의의 화합물, 및 (d) 그 혼합물. 일 실시 형태에서, Zn-함유 첨가제는 Zn 수지산염을 포함할 수 있다.In one embodiment, the additive may include a Zn-containing additive. The Zn-containing additive may comprise one or more of the following: (a) Zn, (b) metal oxide of Zn, (c) any compound capable of producing metal oxide of Zn upon firing, and (d) Its mixture. In one embodiment, the Zn-containing additive may comprise Zn resinate.

일 실시 형태에서, Zn-함유 첨가제는 ZnO를 포함할 수 있다. 일 실시 형태에서, ZnO의 일부분은 서브미크론 입자를 포함할 수 있다.In one embodiment, the Zn-containing additive may comprise ZnO. In one embodiment, the portion of ZnO may comprise submicron particles.

일 실시 형태에서, ZnO는 총 조성물의 2 내지 10 중량% 범위로 조성물에 존재할 수 있다. 일 실시 형태에서, ZnO는 총 조성물의 3 내지 7 중량% 범위로 존재할 수 있다. 추가 실시 형태에서, ZnO는 총 조성물의 4 내지 6 중량% 범위로 존재할 수 있다.In one embodiment, ZnO may be present in the composition in the range of 2-10% by weight of the total composition. In one embodiment, ZnO may be present in the range of 3 to 7 weight percent of the total composition. In further embodiments, ZnO may be present in the range of 4 to 6 weight percent of the total composition.

유기 매질Organic medium

일 실시 형태에서, 본 명세서에 기재된 후막 조성물은 유기 매질을 포함할 수 있다. 무기 성분은, 예를 들어, 기계적 혼합에 의해 유기 매질과 혼합되어 페이스트를 형성할 수 있다. 광범위하게 다양한 불활성 점성 재료가 유기 매질로서 사용될 수 있다. 일 실시 형태에서, 유기 매질은 충분한 정도의 안정성을 가지고 무기 성분이 분산될 수 있는 것일 수 있다. 일 실시 형태에서, 매질의 리올로지 특성은 고형물의 안정적인 분산, 스크린 인쇄를 위한 적절한 점도 및 틱소트로피(thixotropy), 기판 및 페이스트 고형물의 적절한 습윤성, 양호한 건조 속도, 및 양호한 소성 특성을 포함하는 소정 적용 특성을 조성물에 부여할 수 있다. 일 실시 형태에서, 후막 조성물에 사용되는 유기 비히클은 비수성 불활성 액체일 수 있다. 증점제, 안정제 및/또는 기타 통상의 첨가제를 함유하거나 함유하지 않을 수 있는 임의의 다양한 유기 비히클의 사용이 고려된다. 유기 매질은 용매(들) 내 중합체(들)의 용액일 수 있다. 일 실시 형태에서, 유기 매질은 또한 계면활성제와 같은 성분을 하나 이상 포함할 수 있다. 일 실시 형태에서, 중합체는 에틸 셀룰로오스일 수 있다. 다른 예시적인 중합체에는 에틸하이드록시에틸 셀룰로오스, 우드 로진, 에틸 셀룰로오스와 페놀 수지의 혼합물, 저급 알코올의 폴리메타크릴레이트, 및 에틸렌 글리콜 모노아세테이트의 모노부틸 에테르, 또는 그 혼합물이 포함된다. 일 실시 형태에서, 본 명세서에 기재된 후막 조성물에서 유용한 용매에는 에스테르 알코올 및 테르펜, 예를 들어 알파- 또는 베타-테르핀올, 또는 이들과 다른 용매, 예를 들어, 등유, 다이부틸프탈레이트, 부틸 카르비톨, 부틸 카르비톨 아세테이트, 헥실렌 글리콜 및 고비점 알코올 및 알코올 에스테르의 혼합물이 포함된다. 추가 실시 형태에서, 유기 매질은 기판 상에 적용된 후의 신속한 경화를 촉진하기 위한 휘발성 액체를 포함할 수 있다.In one embodiment, the thick film compositions described herein may comprise an organic medium. The inorganic component can be mixed with the organic medium, for example by mechanical mixing, to form a paste. A wide variety of inert viscous materials can be used as the organic medium. In one embodiment, the organic medium can be one that has a sufficient degree of stability and can disperse the inorganic components. In one embodiment, the rheological properties of the medium include certain applications including stable dispersion of solids, adequate viscosity and thixotropy for screen printing, adequate wettability of substrate and paste solids, good drying speed, and good plasticity properties. Properties can be imparted to the composition. In one embodiment, the organic vehicle used in the thick film composition may be a non-aqueous inert liquid. The use of any of a variety of organic vehicles, which may or may not contain thickeners, stabilizers and / or other conventional additives, is contemplated. The organic medium may be a solution of polymer (s) in solvent (s). In one embodiment, the organic medium may also include one or more components such as surfactants. In one embodiment, the polymer may be ethyl cellulose. Other exemplary polymers include ethylhydroxyethyl cellulose, wood rosin, mixtures of ethyl cellulose and phenolic resins, polymethacrylates of lower alcohols, and monobutyl ethers of ethylene glycol monoacetate, or mixtures thereof. In one embodiment, solvents useful in the thick film compositions described herein include ester alcohols and terpenes such as alpha- or beta-terpinol, or other solvents such as kerosene, dibutylphthalate, butyl carbitol , Butyl carbitol acetate, hexylene glycol and mixtures of high boiling alcohols and alcohol esters. In further embodiments, the organic medium may comprise a volatile liquid to promote rapid curing after being applied on the substrate.

일 실시 형태에서, 중합체는, 예를 들어, 총 조성물의 8 중량% 내지 11 중량%의 범위로 유기 매질에 존재할 수 있다. 후막 은 조성물은 유기 매질을 사용하여 소정의 스크린 인쇄가능한 점도로 조정될 수 있다.In one embodiment, the polymer may be present in the organic medium, for example, in the range of 8% to 11% by weight of the total composition. The thick film silver composition can be adjusted to the desired screen printable viscosity using an organic medium.

소성된 후막 조성물Calcined Thick Film Composition

일 실시 형태에서, 유기 매질은 반도체 소자의 건조 및 소성 동안 제거될 수 있다. 일 태양에서, 유리 프릿, Ag, 및 첨가제는 소성 동안 소결되어 전극을 형성할 수 있다. 소성된 전극은 소성 및 소결 공정으로부터 생성되는 성분, 조성물 등을 포함할 수 있다.In one embodiment, the organic medium may be removed during drying and firing of the semiconductor device. In one aspect, the glass frit, Ag, and additives may be sintered during firing to form the electrode. The fired electrode may include components, compositions, and the like, resulting from the firing and sintering processes.

이러한 실시 형태의 태양에서, 반도체 소자는 태양 전지 또는 광다이오드일 수 있다.In an aspect of this embodiment, the semiconductor device may be a solar cell or a photodiode.

반도체 소자의 제조 방법Manufacturing Method of Semiconductor Device

일 실시 형태는 반도체 소자의 제조 방법에 관한 것이다. 일 실시 형태에서, 반도체 소자는 태양 전지 소자에 사용될 수 있다. 반도체 소자는 전면 전극을 포함할 수 있으며, 소성 전에, 전면(조사면) 전극은 본 명세서에 기재된 조성물(들)을 포함할 수 있다.One embodiment relates to a method for manufacturing a semiconductor device. In one embodiment, semiconductor devices can be used in solar cell devices. The semiconductor device may comprise a front electrode, and prior to firing, the front (irradiation surface) electrode may comprise the composition (s) described herein.

일 실시 형태에서, 반도체 소자의 제조 방법은: (a) 반도체 기판을 제공하는 단계; (b) 절연막을 반도체 기판에 적용하는 단계; (c) 본 명세서에 기재된 조성물을 절연막에 적용하는 단계; 및 (d) 소자를 소성하는 단계를 포함한다.In one embodiment, a method of manufacturing a semiconductor device comprises: (a) providing a semiconductor substrate; (b) applying the insulating film to the semiconductor substrate; (c) applying the composition described herein to an insulating film; And (d) firing the device.

본 명세서에 기재된 방법 및 소자에 유용한 예시적인 반도체 기판은 당업자에 의해 인식되며: 단결정 규소, 다결정질 규소, 리본 규소(ribbon silicon) 등을 포함하지만 이로 한정되지 않는다. 반도체 기판은 접합부를 지닐 수 있다. 반도체 기판은 인 및 붕소로 도핑되어 p/n 접합부를 형성할 수 있다. 반도체 기판을 도핑하는 방법은 당업자에 의해 이해된다.Exemplary semiconductor substrates useful in the methods and devices described herein are recognized by those skilled in the art: including but not limited to single crystal silicon, polycrystalline silicon, ribbon silicon, and the like. The semiconductor substrate may have a junction. The semiconductor substrate may be doped with phosphorus and boron to form a p / n junction. Methods of doping a semiconductor substrate are understood by those skilled in the art.

반도체 기판은 당업자에 의해 인식되는 바와 같이 크기(길이 x 폭) 및 두께가 다양할 수 있다. 비제한적인 예에서, 반도체 기판의 두께는 50 내지 500 마이크로미터; 100 내지 300 마이크로미터; 또는 140 내지 200 마이크로미터일 수 있다. 비제한적인 예에서, 반도체 기판의 길이 및 폭은 둘 모두 동일하게 100 내지 250 ㎜; 125 내지 200 ㎜; 또는 125 내지 156 ㎜일 수 있다.The semiconductor substrate can vary in size (length x width) and thickness as will be appreciated by those skilled in the art. In a non-limiting example, the thickness of the semiconductor substrate can range from 50 to 500 micrometers; 100 to 300 micrometers; Or 140 to 200 micrometers. In a non-limiting example, the length and width of the semiconductor substrate are both equally 100 to 250 mm; 125 to 200 mm; Or 125 to 156 mm.

본 명세서에 기재된 방법 및 소자에 유용한 예시적인 절연막은 당업자에 의해 인식되며: 질화규소, 산화규소, 산화티타늄, SiNx:H, 수소화 비정질 질화규소, 및 산화규소/산화티타늄 막을 포함하지만 이로 한정되지 않는다. 절연막은 PECVD, CVD, 및/또는 당업자에게 알려져 있는 다른 기술에 의해서 형성될 수 있다. 절연막이 질화규소인 실시 형태에서, 질화규소막은 플라즈마 화학 기상 증착(PECVD), 열 CVD 공정, 또는 물리 기상 증착(PVD)에 의해서 형성될 수 있다. 절연막이 산화규소인 실시 형태에서, 산화규소막은 열적 산화, 열 CVD, 플라즈마 CVD, 또는 PVD에 의해서 형성될 수 있다. 절연막(또는 층)은 또한 반사방지 코팅(ARC)이라고도 부를 수 있다.Exemplary insulating films useful in the methods and devices described herein are recognized by those skilled in the art: silicon nitride, silicon oxide, titanium oxide, SiN x : H, hydrogenated amorphous silicon nitride, and silicon oxide / titanium oxide films. The insulating film can be formed by PECVD, CVD, and / or other techniques known to those skilled in the art. In the embodiment where the insulating film is silicon nitride, the silicon nitride film may be formed by plasma chemical vapor deposition (PECVD), thermal CVD process, or physical vapor deposition (PVD). In the embodiment where the insulating film is silicon oxide, the silicon oxide film may be formed by thermal oxidation, thermal CVD, plasma CVD, or PVD. The insulating film (or layer) may also be called an antireflective coating (ARC).

본 명세서에 기재된 조성물은 스크린 인쇄, 잉크젯, 공압출, 시린지 분배(syringe dispense), 직접 기록(direct writing), 및 에어로졸 잉크젯을 포함하지만 이로 한정되지 않는 당업자에게 알려진 다양한 방법에 의해서 ARC-코팅된 반도체 기판에 적용될 수 있다. 일 실시 형태에서, 조성물은 본 명세서에 참고로 포함된 미국 특허 공개 제2003/0100824호에 기재된 방법 및 장치를 사용하여 기판에 적용될 수 있다. 조성물은 패턴으로 적용될 수 있다. 조성물은 소정의 형상으로, 그리고 소정의 위치에 적용될 수 있다. 일 실시 형태에서, 조성물은 전면 전극의 전도성 핑거(conductive finger) 및 버스바(busbar) 둘 모두를 형성하는 데 사용될 수 있다. 일 실시 형태에서, 전도성 핑거의 라인 폭은 10 내지 200 마이크로미터; 40 내지 150 마이크로미터; 또는 60 내지 100 마이크로미터일 수 있다. 일 실시 형태에서, 전도성 핑거의 라인 폭은 10 내지 100 마이크로미터; 15 내지 80 마이크로미터; 또는 20 내지 75 마이크로미터일 수 있다. 일 실시 형태에서, 전도성 핑거의 라인 두께는 5 내지 50 마이크로미터; 10 내지 35 마이크로미터; 또는 15 내지 30 마이크로미터일 수 있다. 추가 실시 형태에서, 조성물은 전도성, Si 접촉 핑거를 형성하는 데 사용될 수 있다.The compositions described herein are ARC-coated semiconductors by various methods known to those skilled in the art, including but not limited to screen printing, inkjet, coextrusion, syringe dispense, direct writing, and aerosol inkjet. It can be applied to a substrate. In one embodiment, the composition can be applied to a substrate using the methods and apparatus described in US Patent Publication No. 2003/0100824, which is incorporated herein by reference. The composition can be applied in a pattern. The composition can be applied in any shape and at any location. In one embodiment, the composition can be used to form both conductive fingers and busbars of the front electrode. In one embodiment, the line width of the conductive finger is between 10 and 200 micrometers; 40 to 150 micrometers; Or 60 to 100 micrometers. In one embodiment, the line width of the conductive finger is between 10 and 100 micrometers; 15 to 80 micrometers; Or 20 to 75 micrometers. In one embodiment, the line thickness of the conductive finger is between 5 and 50 micrometers; 10 to 35 micrometers; Or 15 to 30 micrometers. In further embodiments, the composition can be used to form conductive, Si contact fingers.

ARC-코팅된 반도체 기판 상에 코팅된 조성물은 당업자에 의해 인식되는 바와 같이, 예를 들어, 0.5 내지 10분 동안 건조한 다음 소성할 수 있다. 일 실시 형태에서, 휘발성 용매 및 유기물이 건조 공정 동안 제거될 수 있다. 소성 조건은 당업자에 의해 인식될 것이다. 예시적인, 비제한적인 소성 조건에서, 규소 웨이퍼 기판은 600 내지 900℃의 최대 온도로 1초 내지 2분의 지속시간 동안 가열된다. 일 실시 형태에서, 소성 중 도달되는 최대 규소 웨이퍼 온도는 1 내지 10초의 지속시간 동안 650 내지 800℃의 범위이다. 추가 실시 형태에서, 전도성 후막 조성물(들)로부터 형성된 전극은 산소와 질소의 혼합 가스로 구성되는 분위기에서 소성될 수 있다. 이러한 소성 공정은 유기 매질을 제거하고 전도성 후막 조성물 내의 Ag 분말과 유리 프릿을 소결시킨다. 추가 실시 형태에서, 전도성 후막 조성물(들)로부터 형성되는 전극은 산소를 함유하지 않는 불활성 분위기에서 유기 매질 제거 온도를 초과하여 소성될 수 있다. 이러한 소성 공정은 후막 조성물 중의 베이스 금속 전도성 재료, 예를 들어, 구리를 소결 또는 용융시킨다.The composition coated on the ARC-coated semiconductor substrate can be dried, for example, for 0.5 to 10 minutes and then calcined, as will be appreciated by those skilled in the art. In one embodiment, volatile solvents and organics can be removed during the drying process. Firing conditions will be recognized by those skilled in the art. In an exemplary, non-limiting firing condition, the silicon wafer substrate is heated to a maximum temperature of 600-900 ° C. for a duration of 1 second to 2 minutes. In one embodiment, the maximum silicon wafer temperature reached during firing is in the range of 650-800 ° C. for a duration of 1-10 seconds. In a further embodiment, the electrode formed from the conductive thick film composition (s) can be fired in an atmosphere consisting of a mixed gas of oxygen and nitrogen. This firing process removes the organic medium and sinters the Ag powder and the glass frit in the conductive thick film composition. In further embodiments, the electrodes formed from the conductive thick film composition (s) may be fired above the organic medium removal temperature in an inert atmosphere containing no oxygen. This firing process sinters or melts the base metal conductive material, such as copper, in the thick film composition.

일 실시 형태에서, 소성 동안, 소성되는 전극(바람직하게는 핑거)이 절연막과 반응하고 이에 침투하여, 규소 기판과 전기 접점을 형성할 수 있다.In one embodiment, during firing, the electrode (preferably a finger) to be fired can react with and penetrate the insulating film to form an electrical contact with the silicon substrate.

추가 실시 형태에서, 소성 전에, 다른 전도성 재료 및 소자 향상 재료가 반도체 소자의 반대 유형 영역에 적용되고 본 명세서에 기재된 조성물과 동시 소성되거나 순차적으로 소성된다. 소자의 반대 유형 영역은 소자의 반대쪽 면 상에 있다. 재료는 전기 접점, 패시베이팅 층(passivating layer), 및 남땜가능한 태빙 영역(solderable tabbing area)으로서 역할을 한다.In further embodiments, prior to firing, other conductive materials and device enhancement materials are applied to the opposite type region of the semiconductor device and co-fired or sequentially fired with the compositions described herein. The opposite type region of the device is on the opposite side of the device. The material serves as an electrical contact, a passivating layer, and a solderable tabbing area.

일 실시 형태에서, 반대 유형 영역은 소자의 비조사면(non-illuminated side)(후면) 상에 있을 수 있다. 이러한 실시 형태의 태양에서, 후면 전도성 재료는 알루미늄을 함유할 수 있다. 예시적인 후면 알루미늄-함유 조성물 및 적용 방법이, 예를 들어, 본 명세서에 참고로 포함된 미국 특허 출원 공개 제2006/0272700호에 기재되어 있다.In one embodiment, the opposite type region may be on the non-illuminated side (rear) of the device. In an aspect of this embodiment, the backside conductive material may contain aluminum. Exemplary backside aluminum-containing compositions and methods of application are described, for example, in US Patent Application Publication 2006/0272700, which is incorporated herein by reference.

추가 태양에서, 남땜가능한 태빙 재료는 알루미늄 및 은을 함유할 수 있다. 알루미늄 및 은을 함유하는 예시적인 태빙 조성물은, 예를 들어, 본 명세서에 참고로 포함된 미국 특허 공개 제2006/0231803호에 기재되어 있다.In a further aspect, the solderable tabbing material may contain aluminum and silver. Exemplary tabbing compositions containing aluminum and silver are described, for example, in US Patent Publication No. 2006/0231803, which is incorporated herein by reference.

추가 실시 형태에서, p 및 n 영역이 나란히 형성되기 때문에 소자의 반대 유형 영역에 적용된 재료는 본 명세서에 기재된 재료에 인접한다. 이러한 소자는 모든 금속 접점 재료를 소자의 비조사면(후면) 상에 위치시켜 조사면(전면) 상으로의 입사광을 최대화시킨다.In further embodiments, the materials applied to the opposite type regions of the device are adjacent to the materials described herein because the p and n regions are formed side by side. Such devices place all metal contact materials on the non-irradiated surface (back side) of the device to maximize incident light onto the irradiated surface (front side).

반도체 소자는 접합부를 지닌 반도체 기판 및 그의 주 표면 상에 형성된 질화규소 절연막으로 구성되는 구조 요소로부터 다음 방법에 의해 제조될 수 있다. 반도체 소자의 제조 방법은, 절연막 상에, 소정 형상으로 그리고 소정 위치에서, 절연막에 침투할 수 있는 능력을 갖는 전도성 후막 조성물을 적용(예를 들어, 코팅 및 인쇄)하는 단계와, 이어서, 전도성 후막 조성물이 용융되어 절연막을 관통하도록 소성하는 단계와, 규소 기판과의 전기 접점을 달성하는 단계를 포함한다. 전기 전도성 후막 조성물은, 본 명세서에 기재된 바와 같이, 유기 비히클에 분산되어 있는 은 분말, Zn-함유 첨가제 및 300 내지 600℃의 연화점을 갖는 유리 또는 유리 분말 혼합물과, 선택적으로 부가적인 금속/금속 산화물 첨가제(들)로 제조되는 후막 페이스트 조성물이다.The semiconductor element can be manufactured by the following method from a structural element consisting of a semiconductor substrate having a junction and a silicon nitride insulating film formed on its main surface. A method of manufacturing a semiconductor device includes applying (eg, coating and printing) a conductive thick film composition having the ability to penetrate the insulating film on a insulating film, in a predetermined shape and at a predetermined position, and then conducting a conductive thick film. Baking the composition to melt and penetrate the insulating film, and achieving electrical contact with the silicon substrate. The electrically conductive thick film composition, as described herein, comprises a silver powder, a Zn-containing additive, and a glass or glass powder mixture having a softening point of 300 to 600 ° C., optionally as an additional metal / metal oxide, dispersed in an organic vehicle. Thick film paste composition prepared with additive (s).

본 발명의 일 실시 형태는 본 명세서에 기재된 방법으로 제조된 반도체 소자에 관한 것이다. 본 명세서에 기재된 조성물을 함유하는 소자는 상기한 바와 같이, 아연-실리케이트를 함유할 수 있다.One embodiment of the present invention relates to a semiconductor device manufactured by the method described herein. Devices containing the compositions described herein may contain zinc-silicates, as described above.

본 발명의 일 실시 형태는 상기에 기재된 방법으로 제조된 반도체 소자에 관한 것이다.One embodiment of the present invention relates to a semiconductor device manufactured by the method described above.

본 명세서에 기재된 후막 조성물과 함께 사용될 수 있는 추가적인 기판, 소자, 제조 방법 등이 미국 특허 출원 공개 제2006/0231801호, 제2006/0231804호 및 제2006/0231800호에 기재되어 있으며, 이들은 본 명세서에 전체적으로 참고로 포함된다.Additional substrates, devices, manufacturing methods, and the like that can be used with the thick film compositions described herein are described in US Patent Application Publication Nos. 2006/0231801, 2006/0231804, and 2006/0231800, which are described herein. It is incorporated by reference in its entirety.

[실시예][Example]

약 100℃에서 유기 용매에 중합체를 용해시켜 유기 매질을 제조하였다. 유기 매질에, 은 분말, 유리 프릿, 산화아연 및 기타 첨가제를 포함한, 기타 성분들을 첨가하였다. 생성된 혼합물을 후막 페이스트 제조 산업분야에 알려진 롤-밀 공정에 의해서 분산시켰다. 표 1에 나타낸, 조성물 I, 조성물 II, 및 조성물 III을 형성하였다.The organic medium was prepared by dissolving the polymer in an organic solvent at about 100 ° C. To the organic medium, other ingredients were added, including silver powder, glass frit, zinc oxide and other additives. The resulting mixture was dispersed by a roll-mill process known in the thick film paste manufacturing industry. Compositions I, II, and III, shown in Table 1, were formed.

조성물 I 및 조성물 II로부터의 페이스트를 인쇄 전에 로키(Roki) 40L-SHP-200XS 필터 캡슐을 통해 여과하였다. 조성물 III는 여과없이 사용하였다.Pastes from Compositions I and II were filtered through a Roki 40L-SHP-200XS filter capsule prior to printing. Composition III was used without filtration.

ID/OD 50/75 ㎛의 재사용가능한 세라믹 펜 팁을 사용하여, 엔스크립트 인크(nScrypt Inc)에서 제조된 3D-450 스마트펌프(Smart Pump™) 프린터에 의해 실온에서 페이스트를 평가하였다. 펌프 압력은 68.9 ㎪ 내지 689.5 ㎪(10 psi 내지 100 psi)였다. 인쇄 속도는 초당 200 ㎜ 내지 초당 300 ㎜였다. 펜 팁과 기판 표면 사이의 간극은 150 ㎛였다.Pastes were evaluated at room temperature using a 3D-450 Smart Pump ™ printer manufactured by nScrypt Inc, using a reusable ceramic pen tip of ID / OD 50/75 μm. The pump pressure was 108.9 to 100 psi (68.9 kPa to 689.5 kPa). The print speed was 200 mm per second to 300 mm per second. The gap between the pen tip and the substrate surface was 150 μm.

10개의 10.2 cm(4인치) 길이의 라인의 그룹들을 인쇄하고, 150℃에서 20분 동안 박스 오븐에서 건조하고, 850℃ 피크 온도에서 2분 동안 벨트로(belt furnace)에서 소성하였다.Groups of ten 10.2 cm (4 inch) long lines were printed, dried in a box oven at 150 ° C. for 20 minutes, and fired in a belt furnace at 850 ° C. peak temperature for 2 minutes.

[표 I]TABLE I

Figure pct00001
Figure pct00001

은 분말 I, 크기가 D10= 0.88, D50 = 4.60, D95 = 10.73 마이크로미터인, 구 형상 및 박편 형상의 혼합물.A mixture of spherical and flake shapes having silver powder I, sizes D10 = 0.88, D50 = 4.60, D95 = 10.73 micrometers.

은 분말 II, 크기가 D10= 1.0 , D50 = 1.71, D95 = 4.41 마이크로미터이고 표면적이 0.44 m2/g인, 구 형상 분말.Silver powder II, spherical powder with size D10 = 1.0, D50 = 1.71, D95 = 4.41 micrometer and surface area of 0.44 m 2 / g.

은 분말 III, 크기가 D10= 0.26 , D50 = 0.45, D95 = 1.67 마이크로미터이고, 고형물이 99.5%인, 구 형상 분말. 표면적은 1.0 m2/g임.Silver powder III, spherical powder with sizes D10 = 0.26, D50 = 0.45, D95 = 1.67 micrometers, and 99.5% solids. Surface area is 1.0 m2 / g.

유리 프릿 I, 크기가 D10 = 0.36, D50 = 0.61 및 D95 = 1.44 마이크로미터인, 유리 조성물의 중량%를 기준으로, SiO2 23.0%, Al2O3 0.4%, PbO 58.8% 및 B2O3 7.8%.Glass frit I, SiO 2 23.0%, Al 2 O 3 0.4%, PbO 58.8% and B 2 O 3 , based on the weight percent of the glass composition, having sizes D10 = 0.36, D50 = 0.61 and D95 = 1.44 micrometers 7.8%.

유리 프릿 II, 크기가 D10 = 0.42, D50 = 0.77 및 D90 = 1.96 마이크로미터인, 유리 조성물의 중량%를 기준으로, SiO2 22.08%, Al2O3 0.38%, PbO 46.68%, B2O3 6.79%, TiO2 5.86% 및 PbF2 10.72%.Glass frit II, SiO 2 22.08%, Al 2 O 3 0.38%, PbO 46.68%, B 2 O 3 , based on the weight percent of the glass composition, having sizes D10 = 0.42, D50 = 0.77 and D90 = 1.96 micrometers 6.79%, TiO 2 5.86% and PbF 2 10.72%.

유리 프릿 III, 크기가 D10 = 0.34, D50 = 0.50 및 D95 = 0.89 마이크로미터인, 유리 조성물의 중량%를 기준으로, SiO2 22.08%, Al2O3 0.38%, PbO 46.68%, B2O3 6.79%, TiO2 5.86% 및 PbF2 10.72%. 산화아연, 알드리치 케미칼스(Aldrich Chemicals)로부터 구매.Glass frit III, SiO 2 22.08%, Al 2 O 3 0.38%, PbO 46.68%, B 2 O 3 , based on the weight percent of the glass composition, having dimensions D10 = 0.34, D50 = 0.50 and D95 = 0.89 micrometers 6.79%, TiO 2 5.86% and PbF 2 10.72%. Zinc oxide, purchased from Aldrich Chemicals.

실시예 I. 조성물 I은 펜 팁이 막히기 전 5분 미만의 기간동안 344.7 ㎪(50 psi) 미만의 펌프 압력 하에서 50/75 마이크로미터 펜 팁을 통과할 수 있었다. 최적 결과의 소성된 라인은 폭이 83 마이크로미터이고 높이가 13 마이크로미터였다.Example I. Composition I could pass a 50/75 micron pen tip under a pump pressure of less than 50 psi (344.7 kPa) for a period of less than 5 minutes before the pen tip was clogged. The resulting fired lines were 83 micrometers wide and 13 micrometers high.

실시예 II. 조성물 I은 펜 팁이 막히기 전 30 분 미만의 기간 동안 413.7 ㎪(60 psi) 미만의 펌프 압력 하에서 75/125 마이크로미터 펜 팁을 통과할 수 있었다. 최적 결과의 소성된 라인은 폭이 100 마이크로미터이고 높이가 12 마이크로미터였다.Example II. Composition I could pass a 75/125 micrometer pen tip under a pump pressure of less than 60 psi (413.7 kPa) for a period of less than 30 minutes before the pen tip was clogged. The best result fired lines were 100 micrometers wide and 12 micrometers high.

실시예 III. 조성물 II는 인쇄가 중단되기 전 적어도 30분의 기간 동안 68.9 ㎪ 내지 689.5 ㎪(10 psi 내지 100 psi)의 범위의 펌프 압력 하에서 50/75 마이크로미터 펜 팁을 통과할 수 있었다. 최적 결과의 소성된 라인은 폭이 89 마이크로미터이고 높이가 19 마이크로미터였다.Example III. Composition II could pass through a 50/75 micron pen tip under a pump pressure in the range of 10 psi to 100 psi (68.9 kPa to 689.5 kPa) for a period of at least 30 minutes before printing was stopped. The resulting fired lines were 89 micrometers wide and 19 micrometers high.

실시예 IV. 중량 백분율 비가 95.5 대 4.5인, 조성물 II와 조성물 III의 블렌드는 인쇄가 중단되기 전 적어도 3시간의 기간 동안 68.9 ㎪ 내지 551.6 ㎪(10 psi 내지 80 psi)의 범위의 펌프 압력 하에서 50/75 마이크로미터 펜 팁을 통과할 수 있었다. 최적 결과의 소성된 라인은 폭이 67 마이크로미터이고 높이가 25 마이크로미터였다.Example IV. Blends of composition II and composition III, having a weight percentage ratio of 95.5 to 4.5, are 50/75 micrometers under a pump pressure ranging from 68.9 kPa to 551.6 kPa (10 psi to 80 psi) for a period of at least 3 hours before printing is stopped. I could go through the pen tip. The resulting fired lines were 67 micrometers wide and 25 micrometers high.

실시예 V. 조성물 III은 206.8 ㎪(30 psi) 초과의 펌프 압력 하에서 50/75 마이크로미터 펜 팁을 통해 인쇄할 수 없었다. 206.8 ㎪(30 psi) 하에서, 인쇄는 펜 팁이 막히기 전 5초 미만동안 지속되었다.Example V. Composition III could not print through a 50/75 micron pen tip under a pump pressure of more than 30 psi. At 30 psi, printing continued for less than 5 seconds before the pen tip was clogged.

실시예 VI. 조성물 III은 413.7 ㎪(60 psi) 초과의 펌프 압력 하에서 75/125 마이크로미터 펜 팁을 통해 인쇄할 수 있었다 413.7 ㎪(60 psi) 하에서, 인쇄는 펜 팁이 막히기 전 5분 미만동안 지속되었다.Example VI. Composition III could print through a 75/125 micrometer pen tip under a pump pressure greater than 60 psi. Under 60 psi, printing continued for less than 5 minutes before the pen tip was clogged.

실시예 VII. 중량 기준으로 90 대 10 내지 10 대 90 범위의 비를 갖는, 조성물 II와 조성물 III의 일련의 블렌드를 제조하고 인쇄하였다. 일단 조성물 III이 30% 초과이면, 50/75 마이크로미터 펜 팁은 1분 이내에 막혔다.Example VII. A series of blends of Composition II and Composition III were prepared and printed, having a ratio in the range of 90 to 10 to 10 to 90 by weight. Once composition III was greater than 30%, the 50/75 micron pen tip was clogged within 1 minute.

실시예 VIII. 상기 인쇄된 기판의 효율을 분석한다. 예시적인 효율 시험을 하기에 제공한다. 실시예 IV로부터의 태양 전지의 효율은 다른 실시예로부터의 태양 전지의 효율보다 더 클 것으로 예상된다.Example VIII. Analyze the efficiency of the printed substrate. Exemplary efficiency tests are provided below. The efficiency of the solar cells from Example IV is expected to be greater than the efficiency of the solar cells from other examples.

테스트 절차-효율Test procedure-efficiency

본 명세서에 기재된 방법에 따라 구성된 태양 전지를 전환 효율에 대해 시험한다. 예시적인 효율 시험 방법을 하기에 제공한다.Solar cells constructed according to the methods described herein are tested for conversion efficiency. An exemplary efficiency test method is provided below.

일 실시 형태에서, 본 명세서에 기재된 방법에 따라 구성된 태양 전지를 효율 측정용 시판 I-V 시험기(ST-1000)에 넣는다. I-V 시험기 내의 제논 아크(Xe Arc) 램프는 기지의 강도로 태양광을 시뮬레이팅하고 전지의 전면을 조사한다.In one embodiment, a solar cell constructed according to the method described herein is placed in a commercial I-V tester (ST-1000) for efficiency measurement. Xen Arc lamps in I-V testers simulate sunlight at a known intensity and irradiate the front of the cell.

테스터는 다점 접촉 방법을 사용해 대략 400 부하 저항 설정에서 전류(I) 및 전압(V)을 측정하여 전지의 I-V 곡선을 결정한다. I-V 곡선으로부터 곡선 인자(fill factor; FF) 및 효율(Eff) 둘 모두를 계산한다.The tester uses the multipoint contact method to determine the I-V curve of the cell by measuring the current (I) and voltage (V) at approximately 400 load resistance settings. Both the fill factor (FF) and the efficiency (Eff) are calculated from the I-V curve.

Claims (15)

(a) 반도체 기판, 하나 이상의 절연막 및 후막 조성물을 제공하는 단계; (b) 반도체 기판에 절연막을 적용하는 단계; (c) 반도체 기판 상의 절연막에 후막 조성물을 적용하는 단계; 및 (d) 반도체, 절연막 및 후막 조성물을 소성하는 단계를 포함하는 방법에 의해 제조되고,
후막 조성물은 (i) 하나 이상의 전도성 재료와, (ii) 하나 이상의 무기 결합제와, (iii) 유기 비히클을 포함하며,
무기 성분의 1 내지 15%는 서브미크론(submicron) 입자인 반도체 소자.
(a) providing a semiconductor substrate, at least one insulating film and a thick film composition; (b) applying an insulating film to the semiconductor substrate; (c) applying the thick film composition to the insulating film on the semiconductor substrate; And (d) firing the semiconductor, insulating film and thick film composition,
The thick film composition comprises (i) at least one conductive material, (ii) at least one inorganic binder, and (iii) an organic vehicle,
1-15% of the inorganic component is a submicron particle.
(a) 하나 이상의 전도성 재료;
(b) 하나 이상의 무기 결합제; 및
(c) 유기 비히클을 포함하며,
무기 성분의 1 내지 15%는 서브미크론 입자인 조성물을, 소성 전에, 포함하는 전극을 포함하는 반도체 소자.
(a) one or more conductive materials;
(b) one or more inorganic binders; And
(c) comprises an organic vehicle,
A semiconductor device comprising an electrode comprising, before firing, a composition wherein 1 to 15% of the inorganic component is submicron particles.
제2항에 있어서, 무기 성분의 85 내지 99 %는 d50이 1.5 내지 10 마이크로미터인 소자.The device of claim 2, wherein 85 to 99% of the inorganic components have a d 50 of 1.5 to 10 microns. 제2항에 있어서, 하나 이상의 전도성 재료는 은을 포함하는 소자.The device of claim 2, wherein the at least one conductive material comprises silver. 제4항에 있어서, 서브미크론 입자는 은을 포함하는 소자.The device of claim 4, wherein the submicron particles comprise silver. 제2항에 있어서, 서브미크론 입자는 d50이 0.1 내지 1 마이크로미터인 소자.The device of claim 2, wherein the submicron particles have a d50 of 0.1 to 1 micron. 제2항에 있어서, 서브미크론 입자는 d50이 0.1 내지 0.6 마이크로미터인 소자.The device of claim 2, wherein the submicron particles have a d50 of 0.1 to 0.6 micrometers. 제2항에 있어서, 무기 성분은 이봉 크기 분포(bimodal size distribution)를 갖는 소자.The device of claim 2, wherein the inorganic component has a bimodal size distribution. 제2항에 있어서, 후막 조성물은 하나 이상의 첨가제를 추가로 포함하는 소자.The device of claim 2, wherein the thick film composition further comprises one or more additives. 제9항에 있어서, 하나 이상의 첨가제는 (a) Zn, Pb, Bi, Gd, Ce, Zr, Ti, Mn, Sn, Ru, Co, Fe, Cu 및 Cr로부터 선택된 금속; (b) Zn, Pb, Bi, Gd, Ce, Zr, Ti, Mn, Sn, Ru, Co, Fe, Cu 및 Cr로부터 선택된 하나 이상의 금속의 금속 산화물; (c) 소성시 (b)의 금속 산화물을 생성할 수 있는 임의의 화합물; 및 (d) 그 혼합물로 이루어진 군으로부터 선택되는 성분을 포함하는 소자.The method of claim 9, wherein the one or more additives comprise (a) a metal selected from Zn, Pb, Bi, Gd, Ce, Zr, Ti, Mn, Sn, Ru, Co, Fe, Cu and Cr; (b) metal oxides of at least one metal selected from Zn, Pb, Bi, Gd, Ce, Zr, Ti, Mn, Sn, Ru, Co, Fe, Cu and Cr; (c) any compound capable of producing the metal oxide of (b) upon firing; And (d) a component selected from the group consisting of mixtures thereof. 제10항에 있어서, 하나 이상의 무기 첨가제는 ZnO를 포함하는 소자.The device of claim 10, wherein the one or more inorganic additives comprise ZnO. 제5항에 있어서, 서브미크론 입자는 ZnO 및 무기 결합제를 추가로 포함하는 소자.The device of claim 5, wherein the submicron particles further comprise ZnO and an inorganic binder. 제2항에 있어서, 절연막 및 반도체 기판을 추가로 포함하는 소자.The device of claim 2, further comprising an insulating film and a semiconductor substrate. 제2항의 반도체 소자를 포함하는 태양 전지.A solar cell comprising the semiconductor device of claim 2. 제13항에 있어서, 절연막은 산화티타늄, 질화규소, SiNx:H, 산화규소 및 산화규소/산화티타늄으로부터 선택되는 하나 이상의 성분을 포함하는 소자.The device of claim 13, wherein the insulating film comprises one or more components selected from titanium oxide, silicon nitride, SiN x: H, silicon oxide, and silicon oxide / titanium oxide.
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