KR20110005796U - Substrates transfer apparatus - Google Patents

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Abstract

본 고안은 기판 반송장치에 관한 것으로서, 메인프레임에 회전 가능하게 설치되는 다수개의 반송샤프트와 상기 반송샤프트에 설치되는 반송롤러 및 기판의 측면을 가이드하는 가이드수단으로 구성하되, 상기 가이드수단은 상기 메인프레임에 결합되는 지지부와 상기 지지부에 회전 가능하게 결합되어 기판의 일측면을 가이드하는 가이드롤러 및 상기 가이드롤러를 기판의 이송방향과 동일한 방향으로 회전시키는 구동수단으로 구성됨으로써, 상기 가이드롤러가 기판의 이송속도와 동일한 속도로 회전되면서 기판을 가이드할 수 있게 함으로써, 기판의 안정적인 이송을 확보함과 동시에 기판의 마모나 파손이 방지될 수 있게 하고, 또한 기판과 가이드롤러의 마찰을 최소화하여 파티클 등의 생성을 억제함으로써, 기판의 생산 수율을 향상시킬 수 있는 기판 반송장치에 관한 것이다.The present invention relates to a substrate conveying apparatus, comprising a plurality of conveying shafts rotatably installed on the main frame and a conveying roller provided on the conveying shaft and guide means for guiding the side surfaces of the substrate, the guide means being the main The guide roller is rotatably coupled to the support portion and the support portion is rotatably coupled to the support portion to guide one side of the substrate and the driving means for rotating the guide roller in the same direction as the transfer direction of the substrate, the guide roller is a By rotating the substrate at the same speed as the feeding speed, the substrate can be guided, thereby ensuring stable feeding of the substrate and preventing wear and damage of the substrate, and also minimizing friction between the substrate and the guide roller. By suppressing the production, it is possible to improve the production yield of the substrate It relates to a substrate transfer device.

가이드롤러, 구동수단 Guide roller, driving means

Description

기판 반송장치{Substrates transfer apparatus}Substates transfer apparatus

본 고안은 기판 반송장치에 관한 것으로서, 반송되는 기판의 일측면을 가이드하는 가이드수단을 구비하되, 상기 가이드수단에 구비되는 가이드롤러가 기판의 이송속도와 동일하게 회전되면서 기판을 가이드할 수 있게 함으로써, 기판의 안정적인 이송 확보는 물론 기판의 마모나 파손을 방지할 뿐 아니라, 기판과 가이드롤러의 마찰을 최소화하여 파티클 등의 생성을 억제함으로써, 기판의 생산 수율을 향상시킬 수 있는 기판 반송장치에 관한 것이다.The present invention relates to a substrate conveying apparatus, comprising a guide means for guiding one side of the substrate to be conveyed, by allowing the guide roller provided in the guide means to guide the substrate while rotating at the same speed as the conveying speed of the substrate. The present invention relates to a substrate transport apparatus that can improve the production yield of a substrate by not only securing stable transfer of the substrate but also preventing wear and damage of the substrate and minimizing friction between the substrate and the guide roller to suppress the generation of particles and the like. will be.

일반적으로 큰 화면과 높은 해상도 구현이 가능한 액정표시장치(LCD:liquid crystal display) 등에 사용되는 LCD 패널(Panel)은 기본적으로 전,후 두 장의 유리 기판 내에 액정을 주입시킨 후 실란트(sealant)로 밀봉시키고, 각 기판에 설치되는 전극을 통해 전압이나 전류를 부가하여 액정의 배열을 변화시킴으로써 빛을 투과 또는 차폐시켜 화상을 표시할 수 있게 하는 장치이다.In general, LCD panels used for liquid crystal displays (LCDs) that can realize a large screen and high resolution are basically sealed with sealants after injecting liquid crystal into two glass substrates. The device is a device that transmits or shields light so that an image can be displayed by changing the arrangement of liquid crystals by adding a voltage or a current through an electrode provided on each substrate.

따라서 유리 기판은 액정표시장치의 주요 부품 중의 하나로서, 표면에는 절연층, 컬러층, 편광층, 등 여러 박막층이 형성되어야 하기 때문에 반송장치에 의해 반송되면서 세정공정, 증착공정, 식각공정, 박리공정 등의 다수의 처리 공정을 거치게 된다.Therefore, the glass substrate is one of the main components of the liquid crystal display device. Since a thin film layer such as an insulating layer, a color layer, a polarizing layer, and the like must be formed on the surface of the glass substrate, the glass substrate is conveyed by the conveying device, and thus the cleaning process, the deposition process, the etching process, and the peeling process. It goes through a number of treatment processes, such as.

이때 기판은 반송롤러에 의해 회전 지지되면서 이동하게 되고, 반송장치의 측면에는 기판이 일정 방향으로 가이드될 수 있도록 기판의 측면을 가이드 하는 다수개의 가이드롤러가 설치된다.At this time, the substrate is moved while being rotated by the conveying roller, a plurality of guide rollers for guiding the side of the substrate is installed on the side of the conveying apparatus to guide the substrate in a predetermined direction.

그러나 종래의 가이드롤러는 다음과 같은 문제점이 있었다.However, the conventional guide roller has the following problems.

첫째, 종래의 가이드롤러는 자체 구동을 하지 않고, 단지 회전될 수 있게만 설치됨으로써, 기판의 이동에 의해 수동적으로 회전되는 비구동 방식이기 때문에 반송되는 기판의 흐름을 방해하는 요인으로 작용하여 슬립(slip)이 발생될 뿐 아니라, 잦은 마찰에 의해 기판의 마모나 파손이 발생되었으며, 둘째, 기판과 가이드롤러의 접촉부에서의 마모에 의한 파티클(particle) 등의 발생으로 인해 기판의 불량률이 증가하여 생산 수율이 저하되는 문제점이 있었다.First, the conventional guide roller is installed only to be rotated, not driven by itself, and thus is a non-drive type that is manually rotated by the movement of the substrate. In addition to slip, the wear and breakage of the substrate was caused by frequent friction. Second, the defect rate of the substrate was increased due to the generation of particles due to wear at the contact portion between the substrate and the guide roller. There was a problem that the yield is lowered.

본 고안은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로서, 본 고안의 목적은 기판의 측면을 가이드 하는 가이드롤러가 자체 구동하는 자구동 방식을 체택함으로써, 기판의 마모나 파손이 방지될 수 있게 할 뿐 아니라, 기판과 가이드롤러의 마찰을 최소화하여 마모에 의한 파티클(particle) 발생의 억제를 통해 기판의 불량률이 감소되도록 하는 것이다.The present invention has been made to solve the above problems, the object of the present invention is to adopt a self-driven method of self-driven guide roller for guiding the side of the substrate, it is possible to prevent the wear or damage of the substrate In addition, by minimizing the friction between the substrate and the guide roller, the defect rate of the substrate is reduced by suppressing particle generation due to wear.

본 고안은 다른 목적은 가이드롤러의 위치를 조정 가능하게 하여 기판의 이송 방향을 따라 가이드롤러가 정확한 위치에 정렬될 수 있게 함으로써, 기판과의 충돌이나 부정확한 가이드를 방지하여 기판의 원활하고 안정적인 반송을 확보하고자 하는 것이다.Another object of the present invention is to allow the position of the guide roller to be adjusted so that the guide roller can be aligned at the correct position along the transfer direction of the substrate, thereby preventing the collision with the substrate or incorrect guide, thereby smoothly and stably conveying the substrate. Is to secure.

본 고안의 또 다른 목적은 기판을 경사지게 이송하는 경사 반송장치에서 기판의 측면을 가이드할 수 있게 함으로써, 경사진 기판을 효과적으로 지지함과 동시에 기판에 가해지는 마찰이나 충격을 최소화하고자 하는 것이다.Another object of the present invention is to support the side of the substrate in the inclined conveying apparatus for conveying the substrate obliquely, to effectively support the inclined substrate while minimizing the friction or impact applied to the substrate.

상기 목적을 달성하기 위하여 본 고안은 메인프레임에 회전 가능하게 설치되는 다수개의 반송샤프트와 상기 반송샤프트에 설치되어 기판의 저면을 회전 지지하는 반송롤러 및 상기 기판의 측면을 가이드하는 가이드수단으로 구성된 기판 반송장치에 있어서, 상기 가이드수단은 상기 메인프레임에 설치되는 지지부와, 상기 지 지부에 회전가능하게 설치되어 상기 기판의 측면을 가이드하는 가이드롤러, 및 상기 가이드롤러를 상기 기판의 이송 방향 및 속도와 동일한 방향 및 속도로 회전시키는 구동수단을 포함하여 구성된다.In order to achieve the above object, the present invention includes a substrate comprising a plurality of conveying shafts rotatably installed on a main frame, a conveying roller installed on the conveying shaft to support the bottom of the substrate, and guide means for guiding the side of the substrate. In the conveying apparatus, the guide means includes a support part installed on the main frame, a guide roller rotatably installed on the support part, and a guide roller for guiding the side surface of the substrate, and the guide roller with a conveying direction and speed of the substrate. It comprises a drive means for rotating in the same direction and speed.

여기서 상기 지지부는 상기 가이드롤러를 회전 지지할 수 있게 기립 설치되는 회전샤프트와, 상기 샤프트의 상단부와 하단부가 결합되는 지지프레임, 및 상기 지지프레임의 하단부가 결합되며 상기 메인프레임에 고정 결합되는 고정블록으로 구성된다.Here, the support portion is a rotating shaft that is installed to support the rotation of the guide roller, the support frame is coupled to the upper end and the lower end of the shaft, and the fixed block is coupled to the lower end of the support frame fixed to the main frame It consists of.

이때 상기 고정블록은 상기 메인프레임에 나사 결합될 수 있게 결합공을 관통 형성하되, 상기 결합공은 결합 위치 조정이 가능하도록 장공으로 형성되는 것이 바람직하다.At this time, the fixing block is formed through the coupling hole to be screwed to the main frame, the coupling hole is preferably formed in the long hole to enable the coupling position adjustment.

또한 상기 고정블럭의 중앙부에는 수직 방향으로 가이드블록을 돌출 형성하고, 상기 가이드블록이 상기 지지프레임의 하단부에 결합되게 할 수 있다.In addition, the central portion of the fixed block may be formed to project the guide block in the vertical direction, the guide block may be coupled to the lower end of the support frame.

또 상기 지지프레임의 하단부에는 결합부를 하향 연장 형성하여 상기 결합부가 상기 가이드블록에 결합되게 하되, 상기 결합부에 형성되는 결합공은 상기 지지프레임의 결합 위치 조정이 가능하도록 장공으로 형성되는 것이 바람직하다.In addition, the lower end of the support frame to form a coupling portion extending downward to the coupling portion is coupled to the guide block, the coupling hole formed in the coupling portion is preferably formed in the long hole to enable the coupling position adjustment of the support frame. .

한편 상기 구동수단은 상기 반송샤프트와 일체로 회전 가능하게 설치되는 구동기어, 및 상기 가이드롤러와 일체로 회전되도록 상기 회전샤프트에 결합하되, 상기 구동기어와 맞물려 회전될 수 있게 설치되는 종동기어로 구성된다.On the other hand, the driving means is a drive gear which is rotatably installed with the conveying shaft, and coupled to the rotation shaft to be integrally rotated with the guide roller, it is composed of a driven gear installed to rotate in engagement with the drive gear do.

여기서 상기 구동기어와 종동기어는 헬리컬 기어로 구성되는 것이 바람직하다.Here, the drive gear and the driven gear are preferably composed of a helical gear.

또한 본 고안의 상기 반송샤프트는 기판을 경사진 상태에서 이송 가능하도록 일정 각도 경사지게 구비되고, 상기 가이드수단은 상기 경사진 기판의 하측면에 접촉되어 기판을 회전 지지할 수 있도록 상기 메인프레임에 일정 간격으로 배열 설치되는 것을 특징으로 하는 기판 반송장치.In addition, the conveying shaft of the present invention is provided to be inclined at a predetermined angle to be able to transport the substrate in an inclined state, the guide means is in contact with the lower side of the inclined substrate in a predetermined interval so as to support the rotation of the substrate Substrate conveying apparatus, characterized in that arranged in the.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 고안은 첫째, 기판 가이드롤러가 자체 구동함으로써, 기판의 마모나 파손 방지는 물론 기판과 가이드롤러의 마찰을 최소화하여 마모에 의한 파티클(particle) 발생의 억제를 통해 기판의 불량률을 감소시켜 생산수율을 향상시킬 수 있는 효과가 있으며, 둘째, 가이드롤러의 정확한 위치 조정을 통해 기판의 원활하고 안정적인 반송을 확보함으로써, 반송 시간 단축 및 공정 효율 향상을 통해 생산성을 증대시킬 수 있는 효과가 있다.As described above, the present invention, firstly, by the substrate guide roller is self-driving, to prevent the wear and breakage of the substrate as well as to minimize the friction between the substrate and the guide roller to suppress the generation of particles (particle) due to wear of the substrate It has the effect of improving the production yield by reducing the defective rate, and secondly, by ensuring the smooth and stable conveying of the substrate through precise positioning of the guide roller, it is possible to increase the productivity by shortening the conveying time and improving the process efficiency It works.

이하 본 고안에 대하여 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 기판 반송장치의 개략적인 사시도를 나타낸 것이고, 도 2는 기판 반송장치에 가이드수단(150)이 설치된 상태의 사시도를 나타낸 것이다.1 is a schematic perspective view of a substrate transfer apparatus, and FIG. 2 is a perspective view of a state in which a guide unit 150 is installed in a substrate transfer apparatus.

도 1에 도시된 바와 같이, 기판 반송장치는 메인프레임(100)에 양단이 각각 회전 가능하게 결합된 다수개의 반송샤프트(110)가 이격되게 배열 설치되며, 반송샤프트(110)에는 다수개의 반송롤러(115)가 설치된다.As shown in FIG. 1, the substrate transport apparatus is provided with a plurality of transport shafts 110 rotatably coupled to both ends of the main frame 100 so as to be spaced apart from each other, and a plurality of transport rollers are provided on the transport shaft 110. 115 is installed.

반송롤러(115)는 반송샤프트(110)와 일체로 회전되면서 기판(200)(도2에 도시함)의 저면을 회전 지지함으로써, 투입되는 기판(200)을 화살표와 같은 방향으로 이송시키게 되는 것이다.The conveying roller 115 rotates and supports the bottom of the substrate 200 (shown in FIG. 2) while being integrally rotated with the conveying shaft 110, thereby transferring the fed substrate 200 in the same direction as the arrow. .

한편 메인프레임(100)에는 다수개의 반송샤프트(110)를 동일 방향으로 동시에 회전시키기 위한 구동부(120)가 설치된다.On the other hand, the main frame 100 is provided with a drive unit 120 for rotating the plurality of transport shafts 110 in the same direction at the same time.

구동부(120)에는 구동모터(121)와 구동샤프트(125)가 설치된다.The drive unit 120 is provided with a drive motor 121 and a drive shaft 125.

구동모터(121)와 구동샤프트(125)는 회전축이 서로 평행하게 교차되도록 설치되며, 구동샤프트(125)에는 반송샤프트(110)의 단부에 결합되는 기어(117)에 맞물리도록 다수개의 기어(127)가 설치된다.The drive motor 121 and the drive shaft 125 are installed so that the rotation shafts cross each other in parallel, and the drive shaft 125 has a plurality of gears 127 to engage with the gear 117 coupled to the end of the transport shaft 110. ) Is installed.

따라서 구동모터(121)는 기어(123,127) 결합에 의해 구동샤프트(125)를 회전시키게 되고, 구동샤프트(125) 또한 기어(127,117) 결합에 의해 다수개의 반송샤프트(110)를 동일한 방향과 속도로 회전시키게 됨으로써, 기판(200)을 일정 방향으로 이송시키게 되는 것이다. Therefore, the drive motor 121 rotates the drive shaft 125 by the coupling of the gears 123 and 127, and the drive shaft 125 also moves the plurality of transport shafts 110 in the same direction and speed by the coupling of the gears 127 and 117. By rotating, the substrate 200 is transferred in a predetermined direction.

한편 가이드수단(150)은 도 2에 도시된 바와 같이, 기판 반송장치의 메인프레임(100)에 설치되는 것으로서, 기판(200)이 흔들림 없이 안정적으로 이송됨과 동시에 기판(200)과의 접촉 마찰이 최소화되도록 기판(200)의 측면을 가이드하게 된다.Meanwhile, as shown in FIG. 2, the guide means 150 is installed in the main frame 100 of the substrate transfer device, and the substrate 200 is stably transferred without shaking, and at the same time, the contact friction with the substrate 200 is reduced. Guide the side of the substrate 200 to minimize.

이때 가이드수단(150)은 반송샤프트(110) 사이에 설치될 수 있으며, 기판(200)의 안정적인 가이드를 위해 메인프레임(100)의 좌,우측에 다수개가 각각 배열 설치될 수 있다.In this case, the guide means 150 may be installed between the conveying shafts 110, and a plurality of guide means 150 may be arranged on the left and right sides of the main frame 100 for the stable guide of the substrate 200.

이하 본 고안의 기판 반송장치에 구비된 가이드수단(150)을 도 3과 도 4를 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, the guide means 150 provided in the substrate transfer device of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 3 and 4.

도 3은 본 고안의 가이드수단(150)의 분해 사시도를 나타낸 것이고, 도 4는 도 3의 결합 사시도를 나타낸 것이다.Figure 3 shows an exploded perspective view of the guide means 150 of the present invention, Figure 4 shows a combined perspective view of FIG.

도시된 바와 같이, 가이드수단(150)은 지지부(50)와 가이드롤러(60) 및 구동수단(80)(도2에 도시함)으로 구성된다.As shown, the guide means 150 is composed of a support 50, a guide roller 60 and a drive means 80 (shown in Figure 2).

지지부(50)는 기판 반송장치의 메인프레임(100)에 결합되는 것으로서, 회전샤프트(10)와 지지프레임(20) 및 고정블록(30)으로 구성된다.The support unit 50 is coupled to the main frame 100 of the substrate transfer device, and is composed of a rotating shaft 10, a support frame 20, and a fixed block 30.

회전샤프트(10)는 가이드롤러(60)가 결합되는 부분으로서 반송샤프트(110)와 평행하게 교차되도록 기립 설치되며, 양단부가 지지프레임(20)에 각각 회전 가능하게 결합된다.Rotating shaft 10 is a standing portion is installed so as to cross the parallel to the conveying shaft 110 as a guide roller 60 is coupled, both ends rotatably coupled to the support frame 20, respectively.

이때 회전샤프트(10)는 하기에서 설명하는 가이드롤러(60)와 구동기어(81)(도2에 도시함)를 지지하는 오링(O-ring)(15)이 다수개 설치될 수 있으며, 양단부에는 회전샤프트(10)의 원활한 회전을 위해 베어링(17)이 설치되는 것이 바람직하다.At this time, the rotary shaft 10 may be provided with a plurality of O-ring (15) for supporting the guide roller 60 and the drive gear 81 (shown in Figure 2) described below, both ends The bearing 17 is preferably installed in order to smoothly rotate the rotary shaft 10.

한편 지지프레임(20)은 회전샤프트(10)의 양단부를 각각 지지하는 것으로서, 상부지지블록(21)과 하부지지블록(23) 및 연결블록(25)으로 구성될 수 있다.Meanwhile, the support frame 20 supports both ends of the rotary shaft 10, and may include an upper support block 21, a lower support block 23, and a connection block 25.

연결블록(25)은 양단부가 상부지지블록(21)과 하부지지블록(23)에 각각 결합되어 상부지지블록(21)과 하부지지블록(23)을 고정시키게 된다.Both ends of the connection block 25 are coupled to the upper support block 21 and the lower support block 23 to fix the upper support block 21 and the lower support block 23.

이때 지지프레임(20)의 측면에는 가이드브래킷(26)이 설치될 수 있다.At this time, the guide bracket 26 may be installed on the side of the support frame 20.

한편 고정블록(30)은 반송장치의 메인프레임(100)에 결합되어 지지프레임(20)을 고정시키는 것으로서, 메인프레임(100)에 나사 결합 가능하도록 한 쌍의 결합공(32)이 관통 형성될 수 있으며, 이때 결합공(32)은 결합 위치 조정이 가능하도록 장공으로 형성되는 것이 바람직하다.Meanwhile, the fixing block 30 is fixed to the support frame 20 by being coupled to the main frame 100 of the transport apparatus, and a pair of coupling holes 32 may be formed therethrough so as to be screwed to the main frame 100. In this case, the coupling hole 32 is preferably formed in the long hole to enable the coupling position adjustment.

이때 고정블록(30)의 중앙부에는 수직 방향으로 가이드블록(35)이 돌출 형성된다.At this time, the guide block 35 is formed to protrude in the center of the fixed block 30 in the vertical direction.

가이드블록(35)은 지지프레임(20)의 하부지지블록(23)과 결합되는 것으로서 나사결합공(38)이 관통 형성된다.Guide block 35 is to be coupled to the lower support block 23 of the support frame 20, the screw coupling hole 38 is formed through.

한편 지지프레임(20)의 하부지지블록(23)에는 가이드블록(35)과 결합될 수 있도록 일측부에서 하향 연장되어 돌출 형성되는 결합부(27)가 구비되며, 이때 결합부(27)에는 가이드블록(35)의 나사결합공(38)에 대응되게 결합공(28)이 관통 형성된다.Meanwhile, the lower support block 23 of the support frame 20 is provided with a coupling part 27 extending downwardly from one side to protrude from the guide block 35 so that the coupling part 27 is guided. Coupling holes 28 are formed to correspond to the screw coupling holes 38 of the block 35.

이때 결합공(28)은 결합부(27)의 결합 위치 조정이 가능하도록 장공으로 형성되는 것이 바람직하다.At this time, the coupling hole 28 is preferably formed in the long hole to enable the coupling position adjustment of the coupling portion 27.

따라서 본 고안의 가이드수단(150)은 고정블록(30)의 결합 위치를 조정함으로써, 하기에서 설명하는 구동기어(81)와 종동기어(85)가 정확하게 맞물릴 수 있게 할 뿐 아니라, 가이드롤러(60)가 기판(200)의 이송 방향을 따라 적정 간격으로 배열되도록 할 수 있으며, 또한 결합부(27)의 결합 위치를 조정함으로써, 가이드롤러(60)의 횡 방향(기판 이송방향과 직각 방향) 위치 조정이 가능하게 되어 가이드롤러(60)가 기판(200)의 측면에 정확하게 접촉되어 정렬되도록 할 수 있다.Therefore, the guide means 150 of the present invention, by adjusting the coupling position of the fixed block 30, not only allows the drive gear 81 and the driven gear 85 to be described below to be accurately engaged, the guide roller ( 60 may be arranged at appropriate intervals along the conveyance direction of the substrate 200, and by adjusting the engagement position of the engaging portion 27, the transverse direction of the guide roller 60 (perpendicular to the substrate conveyance direction) The position adjustment may be performed so that the guide roller 60 may be accurately aligned with the side surface of the substrate 200.

한편 가이드롤러(60)는 회전샤프트(10)와 일체로 회전 가능하도록 회전샤프트(10)에 결합되며, 이때 외주면이 기판(200)의 측면에 정확하게 접촉되어 회전될 수 있도록 적정 높이에 설치된다.On the other hand, the guide roller 60 is coupled to the rotary shaft 10 so as to be integrally rotatable with the rotary shaft 10, at which time the outer peripheral surface is installed at an appropriate height so that it can be rotated in precise contact with the side of the substrate 200.

가이드롤러(60)의 재질은 각 공정에서 사용되는 약액 등에 따라 달라질 수 있으나, 세라믹 등의 소재가 사용될 수 있으며, 직경은 기판(200)의 이송속도와 외주면의 접선 속도가 일치되도록 적절하게 선정될 수 있을 것이다.The material of the guide roller 60 may vary depending on the chemical liquid used in each process, but a material such as ceramic may be used, and the diameter may be appropriately selected so that the feeding speed of the substrate 200 and the tangential speed of the outer circumferential surface thereof may match. Could be.

이하 구동수단(80)을 도 2 내지 도 4를 참조하여 설명한다.Hereinafter, the driving means 80 will be described with reference to FIGS. 2 to 4.

구동수단(80)은 반송샤프트(110)의 회전력을 회전샤프트(10)에 전달하여 가이드롤러(60)가 기판(200)의 이송 방향 및 이송 속도와 동일한 방향 및 속도로 회전될 수 있게 하는 것으로서, 구동기어(81)와 종동기어(85)로 구성된다.The driving means 80 transmits the rotational force of the conveying shaft 110 to the rotating shaft 10 so that the guide roller 60 can be rotated in the same direction and speed as the conveying direction and the conveying speed of the substrate 200. And a drive gear 81 and a driven gear 85.

구동기어(81)는 반송장치에 구비되는 반송샤프트(110)와 일체로 회전 가능하도록 반송샤프트(110)에 결합되고, 종동기어(85)는 회전샤프트(10)와 일체로 회전되도록 회전샤프트(10)에 결합된다.The drive gear 81 is coupled to the conveying shaft 110 so as to be integrally rotatable with the conveying shaft 110 provided in the conveying apparatus, and the driven gear 85 rotates integrally with the rotating shaft 10. 10).

따라서 구동기어(81)와 종동기어(85)는 회전 중심축이 평행하게 서로 교차되도록 설치된 상태에서 서로 기어 결합됨으로써 회전력을 전달시키게 되는 것이다.Therefore, the driving gear 81 and the driven gear 85 are geared to each other in a state in which the rotational center axes are installed to cross each other in parallel to transmit the rotational force.

이때 구동기어(81)와 종동기어(85)의 결합은 보다 안정적인 회전력 전달을 위해 크로스 헬리컬 기어(나사기어)로 형성되는 것이 바람직하나, 이에 한정되는 것은 아니며 일반적인 웜기어로 구성될 수도 있을 것이다.At this time, the coupling of the driving gear 81 and the driven gear 85 is preferably formed of a cross helical gear (screw gear) for more stable rotational force transmission, but is not limited thereto and may be configured as a general worm gear.

또한 구동기어(81)와 종동기어(85)는 기판 처리 공정의 특성상 회전력 전달과정에서 마찰이나 충격 등에 의한 파티클 등의 발생을 억제하는 것이 중요하므로 PP(Poly Propylene)이나 UHWM(초고분자 폴리에틸렌) 등의 소재가 사용되는 것이 바람직하다.In addition, since the drive gear 81 and the driven gear 85 are important to suppress the generation of particles due to friction or impact during the rotational force transmission process due to the characteristics of the substrate processing process, PP (Poly Propylene) or UHWM (Ultra High Polymer Polyethylene) It is preferable that the material of is used.

이하 본 고안의 기판 반송장치의 작동 과정을 도 1 및 도 2를 참조하여 설명한다.Hereinafter, an operation process of the substrate transport apparatus of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 and 2.

도 1에 도시된 바와 같이, 먼저 구동모터(121)가 회전되면 구동샤프트(125)가 회전됨과 동시에 구동샤프트(125)에 각각 맞물려 있는 반송샤프트(110)가 동일 방향과 동일 속도로 회전됨으로써, 기판(200)을 이송시키게 된다.As shown in FIG. 1, when the driving motor 121 is first rotated, the driving shaft 125 is rotated and the conveying shafts 110 respectively engaged with the driving shaft 125 are rotated at the same speed and in the same direction. The substrate 200 is transferred.

이때, 반송샤프트(110)가 회전되면 도 2에 도시된 바와 같이, 반송샤프트(110)에 결합된 구동기어(81)가 회전하게 되고, 구동기어(81)에 기어 결합되어 있는 종동기어(85)가 회전됨과 동시에 회전샤프트(10)가 회전됨으로써, 가이드롤러(60) 또한 회전하게 되는 것이다.At this time, when the transport shaft 110 is rotated, as shown in FIG. 2, the drive gear 81 coupled to the transport shaft 110 rotates, and the driven gear 85 geared to the drive gear 81. At the same time that the rotation shaft 10 is rotated, the guide roller 60 is also rotated.

여기서 가이드롤러(60)의 외주면은 기판(200)의 이송속도와 동일한 속도로 기판(200)의 측면에 접촉되어 회전됨으로써, 기판(200)을 가이드 하게 되는 것이다.Here, the outer circumferential surface of the guide roller 60 is in contact with the side surface of the substrate 200 at the same speed as the feeding speed of the substrate 200 to rotate, thereby guiding the substrate 200.

이때 기판(200)의 측면과 가이드롤러(60)는 고정블록(30)의 결합 위치와 하부지지블록(23)에 구비된 결합부(27)의 결합 위치를 적절히 조정하여 기판(200)의 측면과 최적의 접촉이 유지되도록 할 수 있을 것이다.At this time, the side of the substrate 200 and the guide roller 60 is appropriately adjusted to the coupling position of the fixing block 30 and the coupling position of the coupling portion 27 provided in the lower support block 23 side of the substrate 200 It will be possible to maintain an optimum contact with.

이하 도 5를 참조하여 본 고안의 가이드수단(150)이 기판(200)을 경사지게 이송하는 기판 반송장치(경사 반송장치)에 설치된 일 실시예를 설명한다.Hereinafter, with reference to Figure 5 will be described an embodiment in which the guide means 150 of the present invention is installed on a substrate transfer device (inclined transfer device) for transferring the substrate 200 inclined.

도 5는 본 고안의 가이드수단(150)이 경사 반송장치에 설치된 일 실시예를 나타낸 것이다.5 shows an embodiment in which the guide means 150 of the present invention is installed in the inclined conveying apparatus.

도시된 바와 같이, 기판(200)을 경사지게 이송하는 기판 반송장치는 메인프레임(200)에 회전 가능하게 설치되는 반송샤프트(210)와 기판의 저면을 회전 지지하는 반송롤러(215) 및 기판의 측면을 가이드하는 가이드수단(150)으로 구성하되, 반송샤프트(210)는 기판(200)이 일측 방향으로 경사진 상태에서 이송될 수 있도록 일정 각도 경사지게 설치된다.As shown in the drawing, the substrate conveying apparatus for conveying the substrate 200 inclinedly includes a conveying shaft 210 rotatably installed on the main frame 200 and a conveying roller 215 for rotationally supporting the bottom of the substrate and a side surface of the substrate. Consists of a guide means 150 for guiding, the conveying shaft 210 is installed to be inclined at an angle so that the substrate 200 can be transferred in a state inclined in one direction.

이때 가이드수단(150)은 경사 방향의 하부에 위치하는 기판(200)의 하측면을 회전 지지할 수 있도록 메인프레임(200)에 일정 간격으로 이격되게 배열 설치된다.At this time, the guide means 150 is arranged to be spaced apart at regular intervals on the main frame 200 so as to support the lower side of the substrate 200 located in the lower portion of the inclined direction.

한편 구동부(220)에 의해 반송샤프트(210)가 회전시 기판(200)은 경사진 상태로 반송되는 특성상 경사 방향의 하측부로 슬라이딩 되어 이동하려는 힘을 받게 되고, 이때 가이드수단(150)에 구비된 가이드롤러(60)의 외주면이 기판(200)의 일측면에 밀착되어 기판(200)을 회전 지지함으로써, 기판(200)의 경사 이송을 효과적으로 가이드할 수 있게 되는 것이다.On the other hand, when the conveying shaft 210 is rotated by the driving unit 220, the substrate 200 is slid to the lower side in the inclined direction due to the characteristic of being conveyed in an inclined state, and receives a force to move, and the guide means 150 The outer circumferential surface of the guide roller 60 is in close contact with one side of the substrate 200 to rotate and support the substrate 200, thereby effectively guiding the inclined transfer of the substrate 200.

따라서 본 고안은 기판(200)을 수평 또는 경사진 상태로 이송하는 기판 반송장치에 있어서, 가이드수단(150)의 가이드롤러(60)가 기판(200)의 측면에 접촉되어 자체 구동하는 자구동 방식을 체택함으로써, 기판(200)과 가이드롤러(60)의 마찰이 최소화되어 기판(200)의 마모나 파손이 방지될 수 있을 뿐 아니라, 마모에 의한 파티클(particle) 발생의 억제를 통해 기판(200)의 불량률을 감소시킬 수 있으며, 또한 가이드롤러(60)의 위치를 조정하여 기판(200)의 이송 방향을 따라 가이드롤러(60)가 정확한 위치에 정렬될 수 있어 기판의 원활하고 안정적인 이송을 가이드 할 수 있게 되는 것이다.Therefore, the present invention provides a self-driving method in which the guide roller 60 of the guide means 150 is in contact with the side surface of the substrate 200 in the substrate transport apparatus for transferring the substrate 200 in a horizontal or inclined state. In this case, the friction between the substrate 200 and the guide roller 60 can be minimized to prevent wear or breakage of the substrate 200, and the substrate 200 can be suppressed by suppressing particle generation due to wear. ) Can be reduced, and also by adjusting the position of the guide roller 60, the guide roller 60 can be aligned in the correct position along the transfer direction of the substrate 200 to guide the smooth and stable transfer of the substrate You can do it.

이상, 상기의 실시 예는 단지 설명의 편의를 위해 예시로서 설명한 것에 불과하므로 실용신안등록청구범위를 한정하는 것은 아니다.As mentioned above, since the above embodiments are merely described as examples for convenience of description, they do not limit the utility model registration claims.

도 1은 기판 반송장치의 개략적인 사시도,1 is a schematic perspective view of a substrate transfer device;

도 2는 본 고안의 기판 반송장치에 가이드수단이 설치된 상태의 사시도,2 is a perspective view of a state in which a guide means is installed in the substrate transfer device of the present invention;

도 3은 가이드수단의 분해 사시도,3 is an exploded perspective view of the guide means;

도 4는 도 3의 결합 사시도,4 is a perspective view of the combination of FIG.

도 5는 본 고안의 가이드수단이 경사 반송장치에 설치된 일 실시예의 사시도이다.5 is a perspective view of an embodiment in which the guide means of the present invention are installed in the inclined conveying apparatus.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

10 : 회전샤프트 15 : 오링10: rotation shaft 15: O-ring

17 : 베어링 20 : 지지프레임17: bearing 20: support frame

21 : 상부지지블록 23 : 하부지지블록21: upper support block 23: lower support block

25 : 연결블록 26 : 가이드브래킷25: connecting block 26: guide bracket

27 : 결합부 28, 32: 결합공27: coupling portion 28, 32: coupling hole

30 : 고정블록 35 : 가이드블록30: fixed block 35: guide block

38 : 나사결합공 50 : 지지부38: screwing hole 50: support

60 : 가이드롤러 80 : 구동수단 60: guide roller 80: drive means

81 : 구동기어 85 : 종동기어81: drive gear 85: driven gear

100,200 : 메인프레임 110,210 : 반송샤프트100,200: mainframe 110,210: carrier shaft

115,215 : 반송롤러 117,123,127 : 기어115,215: Transport rollers 117,123,127: Gears

120,220 : 구동부 121 : 구동모터120,220: drive unit 121: drive motor

125: 구동샤프트 150 : 가이드수단125: drive shaft 150: guide means

200 : 기판 200: substrate

Claims (8)

메인프레임에 회전 가능하게 설치되는 다수개의 반송샤프트와 상기 반송샤프트에 설치되어 기판의 저면을 회전 지지하는 반송롤러 및 상기 기판의 측면을 가이드하는 가이드수단으로 구성된 기판 반송장치에 있어서,A substrate conveying apparatus comprising a plurality of conveying shafts rotatably installed on a main frame, a conveying roller provided on the conveying shaft to rotationally support a bottom surface of the substrate, and guide means for guiding the side surfaces of the substrate. 상기 가이드수단은, The guide means, 상기 메인프레임에 결합되는 지지부;A support coupled to the mainframe; 상기 지지부에 회전가능하게 설치되어 상기 기판의 측면을 가이드하는 가이드롤러; 및A guide roller rotatably installed on the support part to guide the side surface of the substrate; And 상기 가이드롤러를 상기 기판의 이송 방향 및 속도와 동일한 방향 및 속도로 회전시키는 구동수단;Driving means for rotating the guide roller in the same direction and speed as the transfer direction and speed of the substrate; 을 포함하여 구성되는 기판 반송장치.Substrate conveying apparatus configured to include. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 지지부는,The support portion 상기 가이드롤러를 회전 지지할 수 있게 기립 설치되는 회전샤프트;A rotating shaft standing up to support the guide roller in rotation; 상기 샤프트의 상단부와 하단부가 결합되는 지지프레임; 및A support frame to which an upper end and a lower end of the shaft are coupled; And 상기 지지프레임의 하단부가 결합되며, 상기 메인프레임에 고정 결합되는 고정블록;A fixed block coupled to the lower end of the support frame and fixed to the main frame; 으로 구성되는 것을 특징으로 하는 기판 반송장치.Substrate conveying apparatus, characterized in that consisting of. 제2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 고정블록은 상기 메인프레임에 나사 결합될 수 있게 결합공을 관통 형성하되, 상기 결합공은 결합 위치 조정이 가능하도록 장공으로 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 반송장치.The fixing block is formed through the coupling hole to be screwed to the main frame, the coupling hole is characterized in that the substrate conveying apparatus is formed in a long hole to enable the position adjustment. 제3항에 있어서,The method of claim 3, 상기 고정블럭의 중앙부에는 수직 방향으로 가이드블록을 돌출 형성하고, 상기 가이드블록이 상기 지지프레임의 하단부에 결합되게 한 것을 특징으로 하는 기판 반송장치.And a guide block protruding from the center of the fixed block in a vertical direction, and the guide block is coupled to a lower end of the support frame. 제4항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 지지프레임의 하단부에는 결합부를 하향 연장 형성하여 상기 결합부가 상기 가이드블록에 결합되게 하되, 상기 결합부에 형성되는 결합공은 상기 지지프레임의 결합 위치 조정이 가능하도록 장공으로 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 반송장치.Wherein the lower end of the support frame to form a coupling portion extending downward to the coupling portion is coupled to the guide block, the coupling hole formed in the coupling portion is characterized in that formed in the long hole so that the coupling position adjustment of the support frame Substrate Carrier. 제2항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 2 to 5, 상기 구동수단은,The driving means includes: 상기 반송샤프트와 일체로 회전 가능하게 설치되는 구동기어; 및 A drive gear rotatably installed integrally with the transport shaft; And 상기 가이드롤러와 일체로 회전되도록 상기 회전샤프트에 결합하되, 상기 구동기어와 맞물려 회전될 수 있게 설치되는 종동기어;A driven gear coupled to the rotary shaft to be integrally rotated with the guide roller, the driven gear being installed to rotate in engagement with the drive gear; 로 구성되는 것을 특징으로 하는 기판 반송장치.Substrate conveying apparatus, characterized in that consisting of. 제6항에 있어서,The method of claim 6, 상기 구동기어와 종동기어는 헬리컬 기어로 구성되는 것을 특징으로 기판 반송장치.The driving gear and the driven gear is a substrate transfer device, characterized in that consisting of a helical gear. 제6항에 있어서,The method of claim 6, 상기 반송샤프트는 기판을 경사진 상태에서 이송 가능하도록 일정 각도 경사지게 구비되고, 상기 가이드수단은 상기 경사진 기판의 하측면에 접촉되어 기판을 회전 지지할 수 있도록 상기 메인프레임에 일정 간격으로 배열 설치되는 것을 특징으로 하는 기판 반송장치.The conveying shaft is inclined at a predetermined angle to be able to transport the substrate in an inclined state, the guide means is in contact with the lower side of the inclined substrate to be arranged at regular intervals so as to support the substrate rotationally supported Substrate conveying apparatus, characterized in that.
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