KR20100131056A - Clamp for filament of ion injecting machine - Google Patents

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KR20100131056A
KR20100131056A KR1020090049736A KR20090049736A KR20100131056A KR 20100131056 A KR20100131056 A KR 20100131056A KR 1020090049736 A KR1020090049736 A KR 1020090049736A KR 20090049736 A KR20090049736 A KR 20090049736A KR 20100131056 A KR20100131056 A KR 20100131056A
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장진형
최환혁
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(주)제이씨이노텍
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Abstract

PURPOSE: A clamp for fixing filament in an ion implanting device is provided to stably supply power by fixing the rear of the filament by using a fastening controller and a connector assembled with a clamp body. CONSTITUTION: A clamp body(10) has a tapered fitting hole. A connector(20) is inserted into the fitting hole. A fastening controller(30) is combined with the connector and transfers the connector to the tapered direction of the fitting hole. The rear of the filament inserted to an insertion hole(21) of the connector is fixed.

Description

이온주입장치의 필라멘트 고정용 클램프{Clamp for filament of ion injecting machine}Clamp for fixing filament of ion implantation device

본 발명은 이온주입장치의 필라멘트 고정용 클램프에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 이온주입장치의 소스 헤드 조립체에서 열전자를 발생시켜 이온 생성을 가능하게 하는 필라멘트를 고정해주는 클램프에 관한 것이다.The present invention relates to a clamp for fixing the filament of the ion implantation device, and more particularly to a clamp for fixing the filament to generate ions by generating hot electrons in the source head assembly of the ion implantation device.

일반적으로, 반도체 소자를 제조하기 위한 공정 중에, 이온주입공정(Ion implantation)은, 순수 반도체 기판(Si 기판)에 붕소(B), 알루미늄(Al), 인듐(In)과 같은 p형 불순물과 안티몬(Sb), 인(P), 비소(As)와 같은 n형 불순물 등을 플라즈마 이온빔 상태로 만든 뒤 반도체 결정 속에 침투시켜 필요한 전도형 및 비저항의 소자를 얻는 공정으로, 기판에 주입되는 불순물의 농도를 용이하게 조절할 수 있고, 원하는 이온, 원하는 이온 량, 원하는 깊이만큼 기판의 표면에 이온을 주입할 수 있다는 장점이 있다. In general, during the process for manufacturing a semiconductor device, the ion implantation process is a p-type impurities such as boron (B), aluminum (Al), indium (In) and antimony on a pure semiconductor substrate (Si substrate). N-type impurities such as (Sb), phosphorus (P), and arsenic (As) are made into plasma ion beams, and then penetrated into semiconductor crystals to obtain devices of required conductivity and resistivity. It can be easily adjusted, the desired ion, the desired amount of ions, there is an advantage that the ion can be implanted to the surface of the substrate to the desired depth.

이러한 이온주입공정을 수행하는 이온주입장치는 이온빔을 생성하는 소스 헤 드 어셈블리(Source head assembly)와, 이온빔을 추출하여 뽑아 내주는 역할을 하는 매니퓰레이터 어셈블리(Manipulator assembly)를 포함하는데, 상기 소스 헤드 어셈블리에서 이온빔이 만들어지는 공간을 아크챔버(Arc chamber)라 한다.The ion implantation apparatus performing the ion implantation process includes a source head assembly for generating an ion beam and a manipulator assembly for extracting and extracting the ion beam. The space where the ion beam is made in is called an arc chamber.

상기 아크챔버에서는 반응가스(소스가스)를 필라멘트(Filament)에서 방출되는 열전자와 강제 충돌시켜, 중성상태의 반응가스에서 전자를 떼어내어 양이온을 생성시킨다. In the arc chamber, a reaction gas (source gas) is forcibly collided with hot electrons emitted from the filament, and electrons are removed from the reaction gas in a neutral state to generate cations.

즉, 이온주입장치를 이용해 반도체 기판에 이온 영역을 형성함에 있어서, 이온주입장치의 소스 헤드의 아크챔버 내에 주입되는 반응가스와 필라멘트에서 방사되는 열전자의 충돌로 생긴 이온화된 가스를 반도체 기판에 주입하여 이온 영역을 형성하는 것이다.That is, in forming the ion region on the semiconductor substrate by using the ion implanter, the ionized gas generated by the collision of the reaction gas injected into the arc chamber of the source head of the ion implanter and the hot electrons emitted from the filament is injected into the semiconductor substrate. To form an ionic region.

이러한 필라멘트는 도 1에 도시된 바와 같이 소스 헤드 조립체에 구성되는 클램프에 의해 두 개의 뒷단이 각각 고정된다.These filaments are respectively fixed at the two rear ends by clamps configured in the source head assembly as shown in FIG. 1.

열전자 방출 부재인 필라멘트는 사용 주기의 연장을 위해 다양한 모양으로 변형되어 왔으며, 전원을 전달하여 공급하는 클램프와의 연결을 위해 그 뒷단은 도 2와 같이 일자형상으로 제작된다.The filament, which is a hot electron emission member, has been deformed into various shapes to extend the use cycle, and the rear end thereof is manufactured in a straight shape as shown in FIG. 2 for connection with a clamp for transmitting and supplying power.

첨부한 도 1은 이온주입장치의 소스 헤드 조립체를 도시한 사시도이고, 도 2는 종래 이온주입장치의 필라멘트의 실시예를 보여주는 도면이며, 도 3은 종래 이온주입장치의 필라멘트 고정용 클램프의 실시예를 보여주는 도면이다.1 is a perspective view showing a source head assembly of the ion implanter, Figure 2 is a view showing an embodiment of the filament of the conventional ion implanter, Figure 3 is an embodiment of a clamp for fixing the filament of the conventional ion implanter Figure showing.

종래 클램프는 도 3에 도시된 바와 같이, 대략 직사각 형상의 클램프 본체 에 슬롯(1)이 형성되고, 상기 슬롯(1)과 연결되는 지그홀(2) 및 필라멘트홀(3)이 구비된다.As shown in FIG. 3, the conventional clamp has a slot 1 formed in a substantially rectangular clamp body, and includes a jig hole 2 and a filament hole 3 connected to the slot 1.

이러한 클램프에 필라멘트를 설치하기 위하여, 먼저 지그를 상기 지그홀(2)에 삽입하여 슬롯(1)과 함께 필라멘트홀(3)이 벌어지도록 하여 필라멘트가 삽입될 공간을 마련한 다음, 상기 필라멘트의 뒷단을 필라멘트홀(3)에 삽입한 후 지그홀(2)에서 지그를 빼면, 클램프의 자체 텐션(tension)에 의해 필라멘트홀(3) 및 슬롯(1)이 원상태로 오므려지면서 필라멘트가 고정된다.In order to install a filament in such a clamp, a jig is first inserted into the jig hole 2 so that the filament hole 3 is opened together with the slot 1 to prepare a space for the filament to be inserted, and then the rear end of the filament is When the jig is removed from the jig hole 2 after being inserted into the filament hole 3, the filament is fixed while the filament hole 3 and the slot 1 are retracted by the tension of the clamp.

상기 필라멘트는 클램프에서 전원을 공급받아 전류가 흐르게 되면 자체 저항에 부딪혀 열전자를 생성하면서 약 1,500 ~ 2,000℃의 고온이 발생된다.When the filament is powered from the clamp and the current flows, the filament encounters its own resistance to generate hot electrons, thereby generating a high temperature of about 1,500 to 2,000 ° C.

이렇게 필라멘트는 고온조건으로 사용되므로 몰리브덴(molybdenum)과 같은 소재를 이용하여 제작된다.Since the filament is used under high temperature conditions, it is manufactured using a material such as molybdenum.

그러나, 이와 같이 사용되는 종래 클램프는 물리적으로 힘을 가하여 강제로 벌리는 조작 형태이기 때문에 지그홀(2)에 지그를 삽입하는 과정에서 클램프 본체 중 얇은 부분이 깨짐에 따라 사용이 불가능하게 되는 문제가 발생하고, 또한 장기간 사용함에 따라 지그홀(2)을 벌렸다 오므리는 작업이 반복적으로 수행되면서 클램프 본체의 텐션기능이 점차 소멸되어 지그홀(2)에서 지그를 빼도 벌어진 필라멘트홀(3)이 오므려지지 않는 문제가 발생하게 된다.However, since the conventional clamp used in this manner is an operation type that is forcibly opened by applying physical force, a problem arises in that a thin part of the clamp body is broken in the process of inserting the jig into the jig hole (2). In addition, as the long-term use of the jig hole (2) is opened and retracted operation is repeatedly performed, the tension function of the clamp main body gradually disappears and the filament hole (3) that is opened even if the jig is removed from the jig hole (2) is not closed. Will cause problems.

이러한 클램프는 통상 그 가격이 30 ~ 35만원 정도 되고, 필라멘트의 양측 뒷단을 모두 고정하기 위해 2개를 사용하려면 약 60 ~ 70 만원 정도가 소요된다.These clamps usually cost about 30-350,000 won, and it takes about 60-700,000 won to use two to fix both rear ends of the filament.

통상 클램프의 텐션 소멸시기는 3 ~ 6개월 정도로 텐션이 소멸되면 폐기 처분하고, 클램프의 텐션 소멸시기보다 클램프의 깨짐 현상이 보다 빈번하게 발생하 므로, 이에 따라 종래 클램프는 교체비용의 소모가 큰 문제가 있다.Normally, the tension disappearance time of the clamp is discarded when the tension is extinguished for about 3 to 6 months, and the breakage of the clamp occurs more frequently than the tension disappearance time of the clamp. have.

또한, 클램프는 필라멘트 홀에 삽입된 필라멘트와 상기 필라멘트 홀의 내벽면이 면접촉을 하게 되는데, 종래 클램프는 클램프 본체의 두께가 얇아서 필라멘트와 필라멘트홀의 접촉면적이 작기 때문에 접촉불량이 발생하여 접촉저항이 생기는 문제도 있다.In addition, the clamp is a surface contact between the filament inserted into the filament hole and the inner wall surface of the filament hole, the conventional clamp has a small contact area between the filament and the filament hole because the thickness of the clamp body is small, so that the contact failure is generated There is a problem.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 발명한 것으로서, 클램프 본체에 조립고정되는 커넥터를 구비하여 자체 텐션의 소멸로 인한 폐기 처분시 상기 커넥터만 교체하여 재사용할 수 있는 이온주입장치의 필라멘트 고정용 클램프를 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention has been invented to solve the above problems, having a connector fixed to the clamp body for fixing the filament of the ion implantation device that can be reused by replacing only the connector when discarded due to the extinction of its own tension The purpose is to provide a clamp.

상기한 목적을 달성하기 위해 본 발명은 테이퍼진 끼움홀이 구비되는 클램프 본체; 상기 끼움홀에 삽입되는 커넥터; 상기 커넥터에 체결되어 상기 끼움홀의 테이퍼진 방향으로 커넥터를 이동시키는 조임조절부재;를 포함하여 상기 커넥터의 삽입홀에 삽입된 필라멘트의 후단부가 고정되도록 구성된 것을 특징으로 하는 이온주입장치의 필라멘트 고정용 클램프를 제공한다.The present invention to achieve the above object is the clamp body is provided with a tapered fitting hole; A connector inserted into the fitting hole; A fastening control member fastened to the connector to move the connector in a tapered direction of the fitting hole; and a rear end portion of the filament inserted into the insertion hole of the connector is configured to be fixed. To provide.

본 발명에 따른 이온주입장치의 필라멘트 고정용 클램프는 클램프 본체에 조립고정되는 커넥터와 조임조절부재를 이용하여 필라멘트의 후단부를 고정할 수 있다. The filament fixing clamp of the ion implantation apparatus according to the present invention can fix the rear end portion of the filament by using a connector and a tightening control member fixed to the clamp body.

그리고, 필라멘트가 커넥터의 삽입홀에 삽입되어 고정됨으로써 필라멘트의 후단부와 커넥터의 내주면 간에 접촉면적이 커지게 되어 접촉 성능이 향상되고, 클 램프로부터 안정적인 전원공급을 전달받을 수 있는 효과가 있다.In addition, the filament is inserted into and fixed in the insertion hole of the connector, thereby increasing the contact area between the rear end of the filament and the inner circumferential surface of the connector, thereby improving contact performance and receiving a stable power supply from the clamp.

또한, 본 발명은 필라멘트의 삽입으로 인해 커넥터의 텐션이 소멸될 경우, 클램프 전체가 아닌 커넥터 하나만 교체하면 재사용이 가능하므로, 교체 비용이 절감되는 효과를 얻을 수 있다.In addition, in the present invention, when the tension of the connector is extinguished due to the insertion of the filament, it is possible to reuse by replacing only one connector instead of the entire clamp, thereby reducing the replacement cost.

또한, 본 발명은 약 3,000℃ 이상의 고온을 견딜 수 있는 텅스텐을 이용하여 제작한 커넥터를 이용함으로써 열전자 생성시 고온으로 발열되는 필라멘트에 대한 내열성이 우수한 효과가 있다.In addition, the present invention has an effect of excellent heat resistance for filaments that are generated at high temperatures during hot electron generation by using a connector manufactured using tungsten that can withstand high temperatures of about 3,000 ° C. or higher.

본 발명에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로 본 발명을 한정하려는 의도가 아니며, 단수의 표현은 문맥상 명백히 다르게 뜻하지 않는 한 복수의 표현을 포함한다.The terminology used herein is for the purpose of describing particular embodiments only and is not intended to be limiting of the invention, as used in the singular and the plural unless the context clearly indicates otherwise.

본 발명의 실시예로는 다수 개가 존재할 수 있으며, 설명에 있어서 종래의 기술과 동일한 부분에 대하여 중복되는 설명은 생략되는 것도 있다.There may be a plurality of embodiments of the present invention, and overlapping descriptions of the same parts as in the prior art may be omitted.

본 발명에 따른 클램프는 이온주입장치의 필라멘트를 고정하기 위하여 사용됨에 따라 클램프의 텐션(tension) 기능이 소멸되더라도 클램프 전체가 아닌 일부만 교체한 재사용이 가능하고, 필라멘트와 클램프 간에 접촉면적을 증대시켜 접촉 성능이 향상되게 한다.As the clamp according to the present invention is used to fix the filament of the ion implantation apparatus, even if the tension function of the clamp is extinguished, only a part of the clamp can be reused, and the contact area is increased by increasing the contact area between the filament and the clamp. To improve performance.

이하, 첨부된 도면을 참조로 하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

첨부한 도 4는 본 발명에 따른 이온주입장치의 필라멘트 고정용 클램프의 일실시예를 도시한 분해 사시도이고, 도 5는 본 발명에 따른 일실시예의 결합 사시도이며, 도 6은 본 발명에 따른 일실시예의 장착 과정을 도시한 도면이다.Figure 4 is an exploded perspective view showing an embodiment of the clamp for fixing the filament of the ion implantation apparatus according to the present invention, Figure 5 is a combined perspective view of one embodiment according to the present invention, Figure 6 is one according to the present invention Figure is a diagram showing the mounting process of the embodiment.

도시된 바와 같이, 본 발명은 테이퍼진 끼움홀(11)이 구비되는 클램프 본체(10)와, 상기 끼움홀(10)에 삽입되는 커넥터(20)와, 상기 커넥터(20)의 하단부(20b)에 체결되어 상기 끼움홀(11)의 테이퍼진 방향 즉, 넓은 쪽에서 좁은 쪽으로 커넥터(20)를 이동시키는 조임조절부재(30)를 포함하여 필라멘트(F)의 후단부(일자형의 끝부분)를 꽉 조여주는 형태로 고정하는 클램프를 구성한다.As shown, the present invention is a clamp body 10 is provided with a tapered fitting hole 11, the connector 20 is inserted into the fitting hole 10, the lower end portion 20b of the connector 20 The rear end of the filament (F) including a tightening adjusting member 30 which is fastened to the tapered direction of the fitting hole 11, that is, the connector 20 moves from the wide side to the narrow side. It consists of a clamp that is fixed in the form of tightening.

본 발명의 실시예에서 커넥터(20)는 테이퍼진 원기둥 형상의 상단부(20a)와, 외주면에 나사선을 가지는 하단부(20b)가 일체로 형성된다.In the embodiment of the present invention, the connector 20 is integrally formed with an upper end portion 20a of a tapered cylindrical shape and a lower end portion 20b having a screw line on an outer circumferential surface thereof.

상기 커넥터(20)에는 필라멘트(F)의 후단부가 삽입되는 삽입홀(21)이 구비되고, 상기 삽입홀(21)은 커넥터(20)의 상단에서 하단까지 길이방향을 따라 관통가능하게 형성된다.The connector 20 is provided with an insertion hole 21 into which the rear end of the filament F is inserted, and the insertion hole 21 is formed to be penetrating along the length direction from the upper end to the lower end of the connector 20.

그리고, 상기 삽입홀(21)에 필라멘트(F)가 삽입됨에 따라 자체 텐션 및 구조적 특징에 의해 상기 커넥터(20)의 상단부(20a)가 벌어질 수 있도록 하기 위하여, 상기 삽입홀(21)에서 방사상으로 연장되는 복수의 슬롯(23)이 구비된다.As the filament F is inserted into the insertion hole 21, the upper end portion 20a of the connector 20 may be opened by its tension and structural features, and thus, the filament F may be radially formed in the insertion hole 21. It is provided with a plurality of slots 23 extending to.

도 7은 본 발명에 따른 커넥터의 실시예들을 도시한 사시도로서, 상기 슬롯(23)은 커넥터(20)의 외주면까지 연장되어 형성되고, 이에 따라 상기 커넥터(20)의 상단부(20a)가 2 ~ 4개로 분리된 형태로 구비될 수 있다.7 is a perspective view showing embodiments of the connector according to the present invention, wherein the slot 23 is formed to extend to the outer circumferential surface of the connector 20, so that the upper end portion 20a of the connector 20 is 2 ~ It may be provided in four separated forms.

상기 커넥터(20)에 5개 이상의 슬롯(23)이 형성되면 커넥터(20)의 상단 부(20a)가 너무 많은 수의 갈래로 분할됨에 따라 상기 삽입홀(21)이 균일하게 조여지기 어렵기 때문에 삽입홀(21)의 내주면과 필라멘트(F)의 후단부 간에 접촉 불량이 발생될 가능성이 있다.When five or more slots 23 are formed in the connector 20, the insertion hole 21 is difficult to be uniformly tightened as the upper portion 20a of the connector 20 is divided into too many branches. There is a possibility that poor contact occurs between the inner circumferential surface of the insertion hole 21 and the rear end of the filament F.

한편, 통상 필라멘트(F)는 전원을 공급받아 열전자를 생성하면서 약 1,500 ~ 2,000℃ 정도의 고온으로 발열되기 때문에, 본 발명에서 커넥터(20)는 약 3,000℃ 정도의 고온을 견딜 수 있는 텅스텐(tungsten) 소재를 이용하여 제작되는 것이 바람직하다.On the other hand, since the filament (F) is typically heat generated at a high temperature of about 1,500 ~ 2,000 ℃ while generating hot electrons by receiving power, the connector 20 in the present invention is tungsten (tungsten) that can withstand a high temperature of about 3,000 ℃ It is preferable to be produced using the material.

본 발명의 실시예에서 클램프 본체(10)는 몰리브덴(molybdenum) 소재로 제작되고, 대략 직육면체 형상으로 마련된다.In the embodiment of the present invention, the clamp body 10 is made of molybdenum (molybdenum) material, it is provided in a substantially rectangular parallelepiped shape.

상기 클램프 본체(10)의 일측에는 상기 커넥터(20)가 끼워질 수 있는 끼움홀(11)이 테이퍼진 형상으로 구비되고, 커넥터(20)가 상기 끼움홀(11)에서 이탈되는 것을 방지하기 위하여 상기 끼움홀(11)의 가장 큰 내측 둘레는 커넥터(20)의 가장 큰 외측 둘레보다 작게 형성되는 것이 바람직하다.One side of the clamp body 10 is provided with a fitting hole 11 into which the connector 20 can be fitted in a tapered shape, and to prevent the connector 20 from being separated from the fitting hole 11. The largest inner circumference of the fitting hole 11 is preferably smaller than the largest outer circumference of the connector 20.

도 6에 도시된 바와 같이, 필라멘트(F)의 후단부가 삽입된 커넥터(20)를 클램프 본체(10)의 끼움홀(11)에 삽입한 다음, 조임조절부재(예를 들어 상기 커넥터의 나선형 하단부에 체결가능한 나선형 내벽면을 가진 부재)(30)를 커넥터(20)의 하단부(20b)에 체결하면 상기 커넥터(20)가 클램프 본체(10)의 끼움홀(11)의 테이퍼진 방향으로 당겨지게 되어 이동된다.As shown in FIG. 6, the connector 20 into which the rear end of the filament F is inserted is inserted into the fitting hole 11 of the clamp body 10, and then the tightening control member (for example, the spiral lower end of the connector). Member 30 having a spiral inner wall surface which can be fastened to the lower end 20b of the connector 20 is pulled in the tapered direction of the fitting hole 11 of the clamp body 10. Is moved.

상기 커넥터(20)의 이동으로 인해 커넥터(20)의 상단부(20a)가 상기 끼움홀(11)의 사이즈에 따라 조여지게 되고, 이에 따라 상기 커넥터(20)의 삽입홀(21) 이 작아지게 되어 필라멘트(F)의 후단부가 커넥터(20)에 고정된다.Due to the movement of the connector 20, the upper end portion 20a of the connector 20 is tightened according to the size of the fitting hole 11, and thus the insertion hole 21 of the connector 20 is reduced. The rear end of the filament F is fixed to the connector 20.

본 발명은 상기 조임조절부재(30) 및 커넥터(20)의 나선형 하단부(20b) 간에 나사체결 정도를 조정하여 커넥터(20)의 당겨지는 정도 혹은 끼움홀(11)에서의 이동거리를 조절함으로써 커넥터(20) 및 삽입홀(21)의 조여지는 정도를 조절하고 필라멘트(F)에 대한 커넥터(20)의 고정력을 조절한다.The present invention adjusts the degree of screwing between the tightening adjustment member 30 and the spiral lower end (20b) of the connector 20 by adjusting the degree of pulling of the connector 20 or the moving distance in the fitting hole (11) Adjust the tightening degree of the 20 and the insertion hole 21, and adjusts the fixing force of the connector 20 to the filament (F).

한편, 본 발명에서 조임조절부재(30)는 커넥터(20)나 클램프 본체(10)와 같이 텅스텐이나 몰리브덴 소재를 이용하여 제작되는 것이 바람직하다.On the other hand, in the present invention, the tightening control member 30 is preferably manufactured using a tungsten or molybdenum material, such as the connector 20 or the clamp body 10.

첨부한 도 8은 본 발명에 따른 다른 실시예를 도시한 분해 사시도이고, 도 9는 본 발명에 따른 다른 실시예의 결합 사시도이다.8 is an exploded perspective view showing another embodiment according to the present invention, Figure 9 is a combined perspective view of another embodiment according to the present invention.

본 발명에 따른 다른 실시예의 설명에 있어서 전술한 바와 같은 일실시예의 기술과 동일한 부분에 대하여 중복되는 설명은 생략되는 것도 있다.In the description of other embodiments according to the present invention, overlapping descriptions of the same parts as those of the above-described embodiments may be omitted.

본 발명은 상기와 같은 커넥터(20)의 자체 텐션을 보강하기 위하여 도 8 및 도 9와 같은 다른 실시예를 제시한다.The present invention proposes another embodiment as shown in FIGS. 8 and 9 to reinforce the tension of the connector 20 as described above.

도 8 및 도 9에 도시된 바와 같이, 본 발명의 다른 실시예는 도 4 내지 도 6과 같은 클램프 구성에 가압볼트(40)가 더 포함되어 구성된다.As shown in Figure 8 and 9, another embodiment of the present invention is configured to further include a pressure bolt 40 in the clamp configuration as shown in Figures 4 to 6.

클램프 본체(10)에는 상기 가압볼트(40)가 끼워지기 위한 볼트홀(13)이 2개 이상 구비되고, 상기 볼트홀(13)은 상기 끼움홀(11)의 일측에서 클램프 본체(10)의 외주면까지 관통되게 형성된다.The clamp main body 10 is provided with two or more bolt holes 13 to which the pressure bolt 40 is fitted, and the bolt holes 13 are located at one side of the fitting hole 11 of the clamp main body 10. It is formed to penetrate to the outer peripheral surface.

또한, 본 발명은 볼트홀(13)에 삽입된 가압볼트(40)가 상기 커넥터(20)를 안정적으로 밀어 조일 수 있도록 하기 위하여, 도 8에 도시된 바와 같이, 클램프 본 체(10)의 옆면 쪽에 형성된 두 개의 볼트홀(13)이 상호 수직을 이루는 것이 바람직하다.In addition, the present invention in order to enable the pressure bolt 40 inserted into the bolt hole 13 to push the connector 20 stably, as shown in Figure 8, the side surface of the clamp body 10 It is preferable that the two bolt holes 13 formed at the sides are perpendicular to each other.

도 10은 본 발명에 따른 다른 실시예의 장착 과정을 도시한 도면이다.10 is a view showing a mounting process of another embodiment according to the present invention.

볼트홀(13)에 끼워진 가압볼트(40)가 왼쪽과 아래쪽 즉 상호 수직한 방향에서 커넥터(20)를 밀어주면, 상기 커넥터(20)는 끼움홀(11)의 내벽면에 지지되면서 커넥터(20)의 삽입홀(212)이 작아지며 조여지는 효과를 얻게 된다.When the pressure bolt 40 inserted in the bolt hole 13 pushes the connector 20 in the left and the bottom, that is, the mutually perpendicular direction, the connector 20 is supported on the inner wall surface of the fitting hole 11 and the connector 20 ), The insertion hole 212 becomes smaller and the effect of being tightened is obtained.

본 발명에서 가압볼트(40)는 볼트홀(13)에 압입되어 커넥터(20)를 조이는 것이 가능하긴 하나, 바람직하게는 가압볼트(40)의 외주면 및 볼트홀(13)의 내주면에 나사선을 형성하여 상기 볼트홀(13)에 나사체결된 가압볼트(40)가 커넥터(20)를 안정적으로 조일 수 있도록 한다.In the present invention, the pressure bolt 40 is pressed into the bolt hole 13 to tighten the connector 20, but preferably, a thread is formed on the outer circumferential surface of the pressure bolt 40 and the inner circumferential surface of the bolt hole 13. Pressurized bolt 40 screwed to the bolt hole 13 so that the connector 20 can be tightened stably.

또한, 상기 가압볼트(40)가 볼트홀(13)에 삽입되는 정도를 조절하여 커넥터(20)의 조임 정도를 조정하는 것이 가능하다.In addition, it is possible to adjust the tightening degree of the connector 20 by adjusting the degree to which the pressure bolt 40 is inserted into the bolt hole (13).

그리고, 상기 커넥터(20)와 필라멘트(F) 간에 접촉성능을 위하여 복수의 가압볼트(20)에 의해 커넥터(20)에 작용하는 각각의 하중을 동일하게 조정하는 것이 바람직하다. And, it is preferable to equally adjust the respective loads acting on the connector 20 by the plurality of pressure bolts 20 for the contact performance between the connector 20 and the filament (F).

이와 같이 본 발명은 필라멘트(F)의 후단부를 고정하기 위하여 조립체결되는 커넥터(20)와 클램프 본체(10) 및 조임조절부재(30)로 구성되는 클램프를 제공함으로써, 클램프의 자체 텐션 소멸시 즉, 상기 커넥터(20)의 자체 텐션 소멸시 본 발명에 따른 가압볼트(40)를 이용하여 텐션을 보강하거나, 또는 커넥터(20)만 교체하여 재사용할 수 있으므로 클램프의 교체 비용이 매우 절감되는 효과를 얻을 수 있 다.As such, the present invention provides a clamp composed of the connector 20, the clamp body 10, and the tightening control member 30, which are assembled to fix the rear end of the filament F, so that the self-tension of the clamp disappears. When the self-tension of the connector 20 is extinguished, it is possible to reinforce the tension by using the pressure bolt 40 according to the present invention, or to replace and reuse only the connector 20, thereby greatly reducing the cost of replacing the clamp. You can get it.

또한, 본 발명은 클램프와 필라멘트 간에 접촉면적도 증대되어 접촉 성능의 향상을 기대할 수 있다.In addition, in the present invention, the contact area between the clamp and the filament is also increased, and the improvement of the contact performance can be expected.

이상에서는 본 발명을 특정의 바람직한 실시예에 대하여 도시하고 설명하였으나, 본 발명은 이러한 실시예에 한정되지 않으며, 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 실시할 수 있는 다양한 형태의 실시예들을 모두 포함한다.While the invention has been shown and described with respect to certain preferred embodiments thereof, the invention is not limited to these embodiments, and has been claimed by those of ordinary skill in the art to which the invention pertains. It includes all the various forms of embodiments that can be implemented without departing from the spirit.

도 1은 이온주입장치의 소스 헤드 조립체를 도시한 사시도1 is a perspective view showing a source head assembly of the ion implanter

도 2는 종래 이온주입장치의 필라멘트의 실시예들을 보여주는 도면2 is a view showing embodiments of the filament of the conventional ion implantation device

도 3은 종래 이온주입장치의 필라멘트 고정용 클램프의 실시예들을 보여주는 도면3 is a view showing embodiments of the clamp for fixing the filament of the conventional ion implantation device

도 4는 본 발명에 따른 이온주입장치의 필라멘트 고정용 클램프의 일실시예를 도시한 분해 사시도Figure 4 is an exploded perspective view showing an embodiment of the clamp for fixing the filament of the ion implantation apparatus according to the present invention

도 5는 본 발명에 따른 일실시예의 결합 사시도5 is a perspective view of the combination of one embodiment according to the present invention

도 6은 본 발명에 따른 일실시예의 장착 과정을 도시한 도면6 is a diagram illustrating a mounting process of an embodiment according to the present invention.

도 7은 본 발명에 따른 커넥터의 실시예들을 도시한 사시도7 is a perspective view showing embodiments of a connector according to the present invention;

도 8은 본 발명에 따른 다른 실시예를 도시한 분해 사시도8 is an exploded perspective view showing another embodiment according to the present invention;

도 9는 본 발명에 따른 다른 실시예의 결합 사시도9 is a perspective view of a combination of another embodiment according to the present invention

도 10은 본 발명에 따른 다른 실시예의 장착 과정을 도시한 도면10 is a view showing a mounting process of another embodiment according to the present invention.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>

10 : 클램프 본체 11 : 끼움홀10 clamp body 11: fitting hole

13 : 볼트홀 20 : 커넥터13 bolt hole 20 connector

20a : 커넥터 상단부 20b : 커넥터 하단부20a: Connector upper part 20b: Connector lower part

21 : 삽입홀 23 : 슬롯21: insertion hole 23: slot

30 : 조임조절부재 40 : 가압볼트30: tightening control member 40: pressure bolt

Claims (4)

테이퍼진 끼움홀이 구비되는 클램프 본체;A clamp body having a tapered fitting hole; 상기 끼움홀에 삽입되는 커넥터;A connector inserted into the fitting hole; 상기 커넥터에 체결되어 상기 끼움홀의 테이퍼진 방향으로 커넥터를 이동시키는 조임조절부재;A tightening control member fastened to the connector to move the connector in a tapered direction of the fitting hole; 를 포함하여 상기 커넥터의 삽입홀에 삽입된 필라멘트의 후단부가 고정되도록 구성된 것을 특징으로 하는 이온주입장치의 필라멘트 고정용 클램프.Clamp for fixing the filament of the ion implantation device, characterized in that configured to be fixed to the rear end of the filament inserted into the insertion hole of the connector. 청구항 1에 있어서,The method according to claim 1, 상기 클램프 본체의 볼트홀에 장착되어 상기 커넥터를 가압하는 가압볼트가 더 구비되어, 상기 커넥터의 삽입홀에 삽입된 필라멘트의 후단부를 고정하도록 구성된 것을 특징으로 하는 이온주입장치의 필라멘트 고정용 클램프.And a pressurizing bolt mounted to the bolt hole of the clamp body to pressurize the connector, and configured to fix a rear end portion of the filament inserted into the insertion hole of the connector. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,The method according to claim 1 or 2, 상기 커넥터는 삽입홀에서 방사상으로 연장되는 슬롯에 의해 상기 커넥터가 2 ~ 4개의 분리된 형태로 형성되는 것을 특징으로 하는 이온주입장치의 필라멘트 고정용 클램프.The connector is a filament fixing clamp of the ion implantation device, characterized in that the connector is formed in two to four separated by a slot extending radially from the insertion hole. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,The method according to claim 1 or 2, 상기 커넥터의 재질은 텅스텐인 것을 특징으로 하는 이온주입장치의 필라멘트 고정용 클램프.Filament fixing clamp of the ion implanter, characterized in that the material of the connector is tungsten.
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