KR20100128794A - Organic light emitting display device and method for fabricating the same - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: An organic light emitting display device and a fabricating method thereof are provided to prevent the voltage drop according to the increase of the sheet resistance by reducing the resistance of a second electrode by contacting an auxiliary electrode on the top of a bank insulation layer and the second electrode. CONSTITUTION: A first electrode(132) is formed on the fixed region of the light emission region and non-emitting area on a substrate(110). A bank insulating layer(138) is formed in the non-emitting area of the substrate. An auxiliary electrode(150) is formed on the top of the bank insulation layer of the non-emitting area.

Description

유기전계발광 표시장치와 그 제조방법 {Organic Light Emitting Display Device and Method for fabricating the same}Organic Light Emitting Display Device and Method for fabricating the same

본 발명은 유기전계발광 표시장치 및 그 제조방법에 관한 것으로, 특히 유기전계발광 표시장치의 소비전력 증가 및 휘도 불균일 현상을 방지할 수 있는 유기전계발광 표시장치와 그 제조방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an organic light emitting display device and a method of manufacturing the same, and more particularly, to an organic light emitting display device and a method of manufacturing the same, which can prevent an increase in power consumption and luminance unevenness of the organic light emitting display device.

다양한 정보를 화면으로 구현해 주는 영상 표시 장치는 정보 통신 시대의 핵심 기술로 더 얇고 더 가볍고 휴대가 가능하면서도 고성능의 방향으로 발전하고 있다. 근래 정보화 사회의 발전과 더불어, 표시장치에 대한 다양한 형태의 요구가 증대되면서, LCD(Liquid Crystalline Display), PDP(Plasma Display Panel), ELD(Electro Luminescent Display), FED(Field Emission Display) 등 평판표시장치에 대한 연구가 활발히 진행되고 있다. 그 중 음극선관(CRT)의 단점인 무게와 부피를 줄일 수 있는 평판 표시 장치로 유기 발광층의 발광량을 제어하여 영상을 표시하는 유기전계발광 표시장치 등이 각광 받고 있다. Video display devices that realize various information as screens are the core technologies of the information and communication era, and are developing in a direction of thinner, lighter, portable and high performance. With the development of the information society in recent years, various forms of display devices have increased, and flat displays such as liquid crystal display (LCD), plasma display panel (PDP), electro luminescent display (ELD), and field emission display (FED) There is an active research on the device. Among them, an organic light emitting display device that displays an image by controlling an emission amount of an organic light emitting layer as a flat panel display device that can reduce weight and volume, which is a disadvantage of a cathode ray tube (CRT), has been in the spotlight.

유기전계발광 표시장치는 전극 사이의 얇은 발광층을 이용한 자발광 소자로 종이와 같이 박막화가 가능하다는 장점을 갖고 있다. 액티브 매트릭스 유기전계발 광 표시장치(AMOLED)는 3색(R, G, B) 서브 화소로 구성된 화소들이 매트릭스 형태로 배열되어 화상을 표시하게 된다. 각 서브 화소는 유기전계 발광소자와, 그 유기전계 발광소자를 독립적으로 구동하는 셀 구동부를 구비한다. 셀 구동부는 적어도 2개의 박막 트랜지스터와 스토리지 커패시터를 포함하여 데이터 신호에 따라 유기전계발광 표시장치로 공급되는 전류량을 제어하여 유기전계발광 표시장치의 밝기를 제어한다. An organic light emitting display device is a self-luminous device using a thin light emitting layer between electrodes, and has an advantage of thinning like a paper. In an active matrix organic light emitting display device (AMOLED), pixels composed of three color (R, G, B) sub-pixels are arranged in a matrix to display an image. Each sub pixel includes an organic light emitting diode and a cell driver for independently driving the organic light emitting diode. The cell driver includes at least two thin film transistors and a storage capacitor to control the amount of current supplied to the organic light emitting display according to the data signal to control the brightness of the organic light emitting display.

종래의 유기전계 발광소자는 제 2 전극과, 유기발광층과, 제 1 전극으로 구성되며, 전면 발광(top emission)의 경우 발광면 쪽에 반투명 또는 투명 도전층으로 형성된 제 2 전극을 형성한다. 발광면 쪽의 제 2 전극은 하부의 물질층들 위에 전면적으로 형성되는데, 대화면으로 갈수록 제 2 전극의 면적이 증가하고, 이에 따라 저항값도 더욱 증가하여 전압 강하(IR drop) 현상이 발생한다. 이때, 제 2 전극의 저항 증가에 따른 전압 강하의 증가에 의하여 소비전력은 상승하고 유기전계발광 표시장치의 휘도 불균일을 초래하여 신뢰성이 감소한다.The conventional organic light emitting device includes a second electrode, an organic light emitting layer, and a first electrode, and in the case of top emission, forms a second electrode formed of a translucent or transparent conductive layer on the light emitting surface side. The second electrode toward the light emitting surface is formed on the entire surface of the lower material layers. The area of the second electrode increases as the large surface increases, and accordingly, the resistance value further increases to generate a voltage drop (IR drop). In this case, power consumption increases due to an increase in voltage drop due to an increase in resistance of the second electrode, resulting in uneven brightness of the organic light emitting display device, thereby decreasing reliability.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 유기전계발광 표시장치의 소비전력 증가 및 휘도 불균일 현상을 방지할 수 있는 유기전계발광 표시장치와 그 제조방법을 제공하는데 목적이 있다. An object of the present invention is to provide an organic light emitting display device and a method of manufacturing the same, which can prevent an increase in power consumption and luminance unevenness of the organic light emitting display device.

본 발명에 따른 유기전계발광 표시장치의 제조방법은 발광 영역과 비발광 영역으로 정의된 기판 상의 상기 발광 영역 및 상기 비발광 영역의 소정 영역에 제 1 전극을 형성하는 단계와, 상기 발광 영역의 상기 제 1 전극이 노출되도록 상기 기판의 상기 비발광 영역에 뱅크 절연층을 형성하는 단계와, 상기 비발광 영역의 상기 뱅크 절연층 상부면에 보조 전극을 형성하는 단계와, 상기 보조 전극이 형성된 상기 기판의 상기 발광 영역 및 상기 비발광 영역에 유기 발광층을 형성하는 단계와, 상기 유기 발광층이 형성된 상기 기판의 상기 발광 영역 및 상기 비발광 영역에 제 2 전극을 형성하는 단계 및 레이저를 조사하여 상기 보조 전극 상부에 형성된 상기 유기 발광층을 제거하고, 상기 보조 전극과 상기 제 2 전극을 접촉시키는 단계를 포함한다.A method of manufacturing an organic light emitting display device according to the present invention includes forming a first electrode on a predetermined area of the light emitting area and the non-light emitting area on a substrate defined as a light emitting area and a non-light emitting area; Forming a bank insulating layer in the non-emitting region of the substrate to expose a first electrode, forming an auxiliary electrode on an upper surface of the bank insulating layer of the non-emitting region, and forming the substrate on which the auxiliary electrode is formed Forming an organic light emitting layer in the light emitting region and the non-light emitting region of, forming a second electrode in the light emitting region and the non-light emitting region of the substrate on which the organic light emitting layer is formed, and irradiating a laser to the auxiliary electrode And removing the organic emission layer formed on the upper portion and contacting the auxiliary electrode and the second electrode.

여기서, 상기 레이저는 상기 보조 전극 상부면의 상기 유기 발광층에 조사된다.Here, the laser is irradiated to the organic light emitting layer of the upper surface of the auxiliary electrode.

그리고, 상기 레이저의 파장 범위는 500nm ~ 650nm이다.The wavelength range of the laser is 500 nm to 650 nm.

상기 보조 전극은 은, 구리, 금, 알루미늄, 마그네슘, 네오디뮴, 이들의 합 금, 또는 이들의 적층으로 형성된다.The auxiliary electrode is formed of silver, copper, gold, aluminum, magnesium, neodymium, alloys thereof, or a stack thereof.

유기전계발광 표시장치의 제조방법은 상기 제 1 전극을 형성하는 단계 전에 상기 기판의 상기 비발광 영역에 구동용 트랜지스터를 형성하는 단계와, 상기 구동용 트랜지스터의 소정 영역을 노출시키도록 상기 기판 전면에 평탄화막을 형성하는 단계를 더 포함한다.A method of manufacturing an organic light emitting display device includes forming a driving transistor in the non-light emitting region of the substrate before forming the first electrode, and exposing a predetermined region of the driving transistor to the entire surface of the substrate. The method further includes forming a planarization film.

이때, 상기 보조 전극은 상기 구동용 트랜지스터를 형성하는 단계에서 사용되는 도전 물질로 형성된다.In this case, the auxiliary electrode is formed of a conductive material used in forming the driving transistor.

상기 뱅크 절연층은 폴리 이미드로 형성된다.The bank insulating layer is formed of polyimide.

이때, 상기 보조 전극의 폭이 상기 뱅크 절연층의 폭보다 좁도록 상기 보조 전극을 형성한다.In this case, the auxiliary electrode is formed such that the width of the auxiliary electrode is smaller than the width of the bank insulating layer.

본 발명에 따른 유기전계발광 표시장치는 발광 영역과 비발광 영역으로 정의된 기판의 상기 비발광 영역에 형성된 구동용 트랜지스터와 전기적으로 연결된 제 1 전극과, 상기 발광 영역의 상기 제 1 전극이 노출되도록 상기 기판의 상기 비발광 영역에 형성되어 서브 화소 단위를 분리시키는 뱅크 절연층과, 상기 비발광 영역의 상기 뱅크 절연층 상부면에 형성된 보조 전극과, 상기 발광 영역의 상기 제 1 전극 상부에 형성된 유기 발광층 및 상기 보조 전극 및 상기 유기 발광층을 포함하는 상기 기판에 형성된 제 2 전극을 포함한다.The organic light emitting display device according to the present invention includes a first electrode electrically connected to a driving transistor formed in the non-light emitting area of a substrate defined as a light emitting area and a non-light emitting area, and the first electrode of the light emitting area is exposed. A bank insulating layer formed in the non-light emitting region of the substrate to separate sub-pixel units, an auxiliary electrode formed on an upper surface of the bank insulating layer of the non-light emitting region, and an organic layer formed on the first electrode of the light emitting region And a second electrode formed on the substrate including a light emitting layer and the auxiliary electrode and the organic light emitting layer.

본 발명은 뱅크절연막 상부의 보조 전극을 제 2 전극과 접촉시켜 제 2 전극의 저항을 낮춤으로써, 면저항의 증가에 따른 전압강하를 방지하고 유기전계발광 표시장치의 소비전력 상승을 방지할 수 있다.According to the present invention, the auxiliary electrode on the bank insulating layer is brought into contact with the second electrode to lower the resistance of the second electrode, thereby preventing a voltage drop caused by an increase in sheet resistance and preventing an increase in power consumption of the organic light emitting display device.

아울러, 대면적 유기전계발광 표시장치의 휘도 불균일을 방지하여 유기전계발광 표시장치의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.In addition, the luminance unevenness of the large area organic light emitting display device can be prevented to improve the reliability of the organic light emitting display device.

이하, 첨부된 도면을 통해 본 발명에 따른 유기전계발광 표시장치 및 그 제조방법을 구체적으로 살펴보면 다음과 같다.Hereinafter, an organic light emitting display device and a method of manufacturing the same according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 유기전계발광 표시장치를 도시한 단면도이다. 1 is a cross-sectional view illustrating an organic light emitting display device according to an exemplary embodiment of the present invention.

본 발명에 따른 유기전계발광 표시장치는 다수의 서브 화소들로 구성되며, 하나의 서브 화소는 발광 영역과 비발광 영역으로 정의된 기판(110) 상에 형성된 서브 화소 구동부와, 유기전계 발광소자와, 서브 화소를 정의하는 뱅크 절연층(138) 및 뱅크 절연층(138) 상에 형성된 보조 전극(150)을 포함한다. The organic light emitting display device according to the present invention includes a plurality of sub pixels, and one sub pixel includes a sub pixel driver formed on a substrate 110 defined as a light emitting area and a non-light emitting area, an organic light emitting device, A bank insulating layer 138 defining a sub pixel and an auxiliary electrode 150 formed on the bank insulating layer 138 are included.

서브 화소 구동부는 다수의 신호 라인과 박막 트랜지스터 및 절연막들을 포함하며, 각 서브 화소에 형성된 서브 화소 구동부는 주로 스위치용 트랜지스터(미도시)와, 구동용 트랜지스터(120)와 스토리지 커패시터(160)를 포함한다. 스위치용 트랜지스터는 게이트 라인의 스캔 신호에 응답하여 데이터 라인으로부터의 데이터 신호를 공급하고, 구동용 트랜지스터(120)는 스위치용 트랜지스터로부터의 데이터 신호에 응답하여 유기전계 발광소자에 흐르는 전류량을 제어한다. 스토리지 커패시터(160)는 스위치용 트랜지스터가 턴-오프되더라도 구동용 트랜지스터(120)를 통해 일정한 전류가 흐르게 하는 역할을 한다.The sub pixel driver includes a plurality of signal lines, thin film transistors, and insulating layers, and the sub pixel driver formed in each sub pixel mainly includes a switching transistor (not shown), a driving transistor 120, and a storage capacitor 160. do. The switching transistor supplies a data signal from the data line in response to the scan signal of the gate line, and the driving transistor 120 controls the amount of current flowing through the organic light emitting element in response to the data signal from the switching transistor. The storage capacitor 160 serves to allow a constant current to flow through the driving transistor 120 even when the switching transistor is turned off.

구동용 트랜지스터(120)는 기판(110)의 비발광 영역의 버퍼층(112) 상에 형성된 반도체층(122)과, 게이트 절연막(114)을 사이에 두고 반도체층(122)의 채널부와 중첩되도록 형성된 게이트 전극(124)을 포함한다. 그리고, 구동용 트랜지스터(120)는 게이트 전극(124) 양 측부의 반도체층(122) 내에 불순물 이온이 주입된 소오스 영역과 드레인 영역 각각에 층간 절연막(116) 및 게이트 절연막(114)에 형성된 콘택홀을 통해 콘택된 소스 전극(126) 및 드레인 전극(127)을 더 포함한다. The driving transistor 120 overlaps the channel portion of the semiconductor layer 122 with the semiconductor layer 122 formed on the buffer layer 112 of the non-light emitting region of the substrate 110 and the gate insulating layer 114 interposed therebetween. The formed gate electrode 124 is included. In addition, the driving transistor 120 includes contact holes formed in the interlayer insulating layer 116 and the gate insulating layer 114 in the source and drain regions in which the impurity ions are injected into the semiconductor layer 122 at both sides of the gate electrode 124. It further includes a source electrode 126 and a drain electrode 127 contacted through.

이때, 커패시터(160)의 하부 전극은 반도체층(122)과 동일한 물질로 이루어지고, 상부 전극은 게이트 전극(124)과 동일한 물질로 이루어진다. 도시되지는 않았지만, 지고, 커패시터(160)의 하부 전극이 게이트 전극과 동일한 물질과 이루어지고, 상부 전극은 소오스 전극(126) 및 드레인 전극(127)과 동일한 물질로 이루어질 수도 있다.In this case, the lower electrode of the capacitor 160 is made of the same material as the semiconductor layer 122, and the upper electrode is made of the same material as the gate electrode 124. Although not shown, the lower electrode of the capacitor 160 may be made of the same material as the gate electrode, and the upper electrode may be made of the same material as the source electrode 126 and the drain electrode 127.

상술한 구동용 트랜지스터(120)는 평탄화막(118)에 형성된 콘택홀(119)을 통해 제 1 전극(132)과 전기적으로 접속되어 유기전계 발광소자에 전계를 인가한다.The driving transistor 120 is electrically connected to the first electrode 132 through a contact hole 119 formed in the planarization layer 118 to apply an electric field to the organic light emitting diode.

유기전계 발광소자는 전류의 흐름에 따라 적, 녹, 청색의 빛을 발광하여 소정의 화상 정보를 표시하는 것으로, 제 1 전극(132)과, 대향 전극인 제 2 전극(136) 및 이들 사이에 배치되어 발광하는 유기 발광층(134)을 포함한다. 제 1 전극(132)과 제 2 전극(136)은 서로 절연되어 있으며, 유기 발광층(134)에 서로 다른 극성의 전압을 가해 발광이 이뤄지도록 한다. The organic light emitting device emits red, green, and blue light according to the flow of current to display predetermined image information. The organic light emitting device displays the first electrode 132, the second electrode 136, which is the opposite electrode, and the gap between them. The organic light emitting layer 134 is disposed to emit light. The first electrode 132 and the second electrode 136 are insulated from each other, and light is emitted by applying voltages of different polarities to the organic light emitting layer 134.

제 1 전극(132)은 평탄화막(118)에 형성된 콘택홀(119)을 통해 구동용 트랜지스터(120)의 드레인 전극(127)과 전기적으로 연결되도록 평탄화막(118) 위에 형 성된다. 이때, 제 1 전극(132)은 Cr, Al, AlNd, Mo, Cu, W, Au, Ni, Ag 등으로 형성될 수 있고, 이들의 합금이나 산화물로도 형성 가능하다. 또는, ITO/반사층/ITO의 다층(multilayer)으로 형성하여 유기 발광층(134)의 발광색이 반사층에 의해 위로 향하게 할 수도 있다. 제 1 전극(132)은 서브 화소의 경계에서 소정 거리가 이격되어 인접한 서브 화소의 제 1 전극(132)과 연결되지 않도록 형성된다. The first electrode 132 is formed on the planarization layer 118 to be electrically connected to the drain electrode 127 of the driving transistor 120 through the contact hole 119 formed in the planarization layer 118. In this case, the first electrode 132 may be formed of Cr, Al, AlNd, Mo, Cu, W, Au, Ni, Ag, or the like, and may be formed of an alloy or an oxide thereof. Alternatively, the light emitting color of the organic light emitting layer 134 may be turned upward by the reflective layer by forming a multilayer of ITO / reflective layer / ITO. The first electrode 132 is formed so as not to be connected to the first electrode 132 of an adjacent sub pixel by a predetermined distance from the boundary of the sub pixel.

유기 발광층(134)은 제 1 전극(132)과 제 2 전극(136)에서 각기 주입된 정공과 전자가 결합하여 형성된 액시톤이 기저상태로 떨어지면서 빛이 발광되는 층이다. 이러한 유기 발광층(134)은 정공 주입층(hole injection layer: HIL), 정공 수송층(hole transporting layer: HTL), 발광층(emission layer: EL), 전자 수송층(electron transporting layer: ETL), 전자 주입층(electron injection layer: EIL)을 포함한다. 이때, 유기 발광층(134)은 구동용 트랜지스터(120)가 형성된 비발광 영역을 제외한 발광 영역에 형성되도록 뱅크 절연층(138)의 측벽으로부터 연장되어 발광 영역의 기판(110) 상에 형성된다.The organic emission layer 134 is a layer in which light is emitted while the axtone formed by combining holes and electrons injected from the first electrode 132 and the second electrode 136 falls to the ground state. The organic light emitting layer 134 may include a hole injection layer (HIL), a hole transporting layer (HTL), an emission layer (EL), an electron transporting layer (ETL), and an electron injection layer (HTL). electron injection layer (EIL). In this case, the organic light emitting layer 134 extends from the sidewall of the bank insulating layer 138 to be formed in the light emitting region other than the non-light emitting region in which the driving transistor 120 is formed, and is formed on the substrate 110 of the light emitting region.

제 2 전극(136)은 유기 발광층(134)으로부터 발광된 빛이 소자 밖으로 나올 수 있도록 투명 도전층으로 형성된다. 투명 도전층으로는 인듐주석산화물(Indium Tin Oxide: ITO), 주석산화물(Tin Oxide: TO), 인듐아연산화물(Indium Zinc Oxide: IZO), 인듐주석아연산화물(Indium Tin Zinc Oxide: ITZO) 또는 이들의 조합으로 형성된다. 제 2 전극(136)은 판형으로 기판(110) 상에 전면적으로 형성된다. The second electrode 136 is formed of a transparent conductive layer so that light emitted from the organic light emitting layer 134 can come out of the device. As the transparent conductive layer, indium tin oxide (ITO), tin oxide (TO), indium zinc oxide (IZO), indium tin zinc oxide (ITZO), or these It is formed by the combination of. The second electrode 136 is formed on the entire surface of the substrate 110 in a plate shape.

이와 같이 형성된 유기전계 발광소자는 뱅크 절연층(138)에 의하여 서브 화소 단위로 분리되며, 서브 화소 단위로 적, 녹, 청색광을 방출하여 영상을 표현할 수 있다. The organic light emitting diode formed as described above is separated into sub pixel units by the bank insulating layer 138, and red, green, and blue light may be emitted in sub pixel units to represent an image.

한편, 뱅크 절연층(138)은 유기전계 발광소자의 제 2 전극(136)과 그 하부에 형성된 다른 배선 또는 소자들이 서로 간섭되지 않도록 절연시키는 역할도 한다. 이를 위해, 뱅크 절연층(138)은 비발광 영역의 구동용 트랜지스터(120) 상의 제 1 전극(132)은 덮고 발광 영역의 제 1 전극(132)은 노출시키도록 기판(110)의 비발광 영역에 형성된다. Meanwhile, the bank insulating layer 138 also insulates the second electrode 136 of the organic light emitting diode and other wirings or elements formed under the organic light emitting diode from interfering with each other. To this end, the bank insulating layer 138 covers the first electrode 132 on the driving transistor 120 in the non-light emitting region and exposes the first electrode 132 of the light emitting region to expose the non-light emitting region of the substrate 110. Is formed.

뱅크 절연층(138)의 재료는 유기 물질 또는 무기 물질이 사용될 수 있으며, 유기 물질로는 폴리이미드 등을 들 수 있고, 무기 물질로는 실리콘 질화막 또는 실리콘 산화막 등을 들 수 있다. 뱅크 절연층(138)을 실리콘 질화막 또는 실리콘 산화막을 이용하여 형성할 경우, 보조 전극(150)을 형성하기 위한 후속 공정에서 뱅크 절연층(138)이 평탄화막(118)으로부터 들뜨는 필링 현상이 발생할 수 있다. 따라서, 필링 현상의 발생방지 등 유기전계 발광소자의 열화를 방지하기 위하여 뱅크 절연층(138)으로 폴리이미드를 사용하는 것이 보다 바람직하다.As the material of the bank insulating layer 138, an organic material or an inorganic material may be used. Examples of the organic material may include polyimide and the like, and the inorganic material may include a silicon nitride film or a silicon oxide film. When the bank insulating layer 138 is formed using a silicon nitride film or a silicon oxide film, a peeling phenomenon may occur in which the bank insulating layer 138 is lifted from the planarization film 118 in a subsequent process of forming the auxiliary electrode 150. have. Therefore, it is more preferable to use polyimide as the bank insulating layer 138 in order to prevent deterioration of the organic light emitting device such as the occurrence of peeling phenomenon.

뱅크 절연층(138)과 제 2 전극(136) 사이에는 제 2 전극(136)의 면 저항을 저하시키기 위한 보조 전극(150)이 형성된다.An auxiliary electrode 150 is formed between the bank insulating layer 138 and the second electrode 136 to lower the sheet resistance of the second electrode 136.

보조 전극(150)은 제 2 전극(136)과 전기적으로 연결되도록 뱅크 절연층(138)의 상부면에 형성된다. 보조 전극(150)은 서브 화소 구동부의 배선에 사용되는 각종 도전물질을 이용하여 형성될 수 있다. 보조 전극(150)의 예로는 제 2 전극(136)에 비해 낮은 전기저항을 갖으면서 전기 전도도가 높은 은(Ag), 구리(Cu), 금(AU), 알루미늄(Al), 마그네슘(Mg), 네오디뮴(Nd), 이들의 합금, 또는 이들의 적층을 이용하여 형성될 수 있다. The auxiliary electrode 150 is formed on the top surface of the bank insulating layer 138 to be electrically connected to the second electrode 136. The auxiliary electrode 150 may be formed using various conductive materials used for wiring of the sub pixel driver. Examples of the auxiliary electrode 150 include silver (Ag), copper (Cu), gold (AU), aluminum (Al), and magnesium (Mg), which have lower electrical resistance than the second electrode 136 and have high electrical conductivity. , Neodymium (Nd), alloys thereof, or laminations thereof.

이때, 보조 전극(150)의 두께는 1000Å~3000Å이 되도록 한다. 보조 전극(150)의 폭이 넓을수록 제 2 전극(136)의 저항값을 낮출 수 있으나, 보조 전극(150)의 폭은 뱅크 절연층(138)의 폭보다 좁게 형성되도록 한다. 보조 전극(150)을 뱅크 절연층(138)의 폭보다 좁게 형성하는 것은 공정마진을 고려한 것으로 마진에 오차가 생기더라도 발광 영역에는 영향이 없도록 하여 개구율 저하를 방지하기 위함이다.At this time, the thickness of the auxiliary electrode 150 is 1000 kPa ~ 3000 kPa. As the width of the auxiliary electrode 150 is wider, the resistance of the second electrode 136 may be lowered, but the width of the auxiliary electrode 150 is smaller than the width of the bank insulating layer 138. The auxiliary electrode 150 is formed to be narrower than the width of the bank insulating layer 138 in order to prevent a decrease in the aperture ratio by not affecting the light emitting area even if a margin is errored.

이렇듯, 제 2 전극(136) 하부에 제 2 전극(136)과 전기적으로 연결되는 보조 전극(150)을 형성할 경우 제 2 전극(136)의 면 저항을 저하시켜 제 2 전극(136)의 전압 강하 발생을 억제할 수 있다. 아울러, 제 2 전극(136)의 전압 강하에 따른 휘도 불균일 현상을 효과적으로 억제할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 유기전계발광 표시장치는 낮은 구동전압으로 구동이 가능하고 휘도를 균일하게 하여 신뢰성을 향상시킬 수 있다.As such, when the auxiliary electrode 150 that is electrically connected to the second electrode 136 is formed below the second electrode 136, the surface resistance of the second electrode 136 is lowered to thereby lower the voltage of the second electrode 136. The occurrence of a drop can be suppressed. In addition, it is possible to effectively suppress the luminance unevenness caused by the voltage drop of the second electrode 136. Therefore, the organic light emitting display device according to the present invention can be driven with a low driving voltage and can improve the reliability by making the luminance uniform.

한편, 도면에서는 전면 발광의 유기전계발광 표시장치에 대하여 도시하고 있지만, 제 1 전극과 제 2 전극의 재료를 바꿈으로써 후면 발광의 유기전계발광 표시장치를 실시할 수도 있다.On the other hand, although the organic light emitting display of the top emission is shown in the drawing, the organic light emitting display of the bottom emission may be implemented by changing the materials of the first electrode and the second electrode.

이하, 도 2a 내지 도 2f를 참조하여 도 1에 도시된 유기전계발광 표시장치의 제조방법을 설명하기로 한다. Hereinafter, a method of manufacturing the organic light emitting display device illustrated in FIG. 1 will be described with reference to FIGS. 2A to 2F.

도 2a를 참조하면, 본 발명에 따른 유기전계발광 표시장치의 제조방법은 우선, 서브 화소 단위로 형성된 구동용 트랜지스터(120)와, 구동용 트랜지스터(120) 를 덮는 평탄화막(118)이 형성된 기판(110)을 준비한다. 이때, 기판(110)은 발광 영역과 비발광 영역으로 정의되고, 기판(110)의 비발광 영역에 구동용 트랜지스터(120)가 형성되어 있다. 구동용 트랜지스터(120) 측부에는 구동용 트랜지스터(120)를 통해 일정한 전류가 흐르게 하는 역할을 하는 스토리지 커패시터(160)가 형성되어 있다. 도시하고 있지 않지만 기판(110) 상에는 구동용 트랜지스터(120) 외에 스위치 역할을 하는 스위치용 트랜지스터와, 소자에 전원과 구동용 신호를 공급하는 다수의 배선(미도시)들이 더 형성될 수 있다. Referring to FIG. 2A, a method of manufacturing an organic light emitting display device according to an exemplary embodiment of the present invention may include a substrate on which a driving transistor 120 formed in sub pixel units and a planarization film 118 covering the driving transistor 120 are formed. Prepare 110. In this case, the substrate 110 is defined as a light emitting area and a non-light emitting area, and the driving transistor 120 is formed in the non-light emitting area of the substrate 110. The storage capacitor 160 is formed at the side of the driving transistor 120 to allow a constant current to flow through the driving transistor 120. Although not shown, a switching transistor serving as a switch in addition to the driving transistor 120 and a plurality of wirings (not shown) for supplying power and driving signals to the device may be further formed on the substrate 110.

구체적으로, 비발광 영역의 기판(110) 위에 포토 및 식각 공정으로 다결정 실리콘막을 섬 형상으로 패터닝하여 반도체층을 형성한다. 반도체층을 포함한 전면에 게이트 절연막과 금속막을 차례로 적층한 후 포토 및 식각 공정으로 금속막을 패터닝하여 반도체층의 중앙 부분에 대응하여 중첩되는 위치에 게이트 전극을 형성한다. Specifically, the semiconductor layer is formed by patterning the polycrystalline silicon film in an island shape on the substrate 110 in the non-light emitting region by photo and etching processes. After the gate insulating film and the metal film are sequentially stacked on the entire surface including the semiconductor layer, the metal film is patterned by a photo and etching process to form a gate electrode at an overlapping position corresponding to the central portion of the semiconductor layer.

다음으로, 게이트 전극을 마스크로 이용해 반도체층에 소스-드레인 영역을 형성하고, 불순물 이온이 주입되지 않은 채널 영역을 형성한 다음, 소스-드레인 영역에 각각 연결되는 소스 전극 및 드레인 전극을 형성하여 도 1에 도시된 바와 같이 구동용 트랜지스터(120)를 기판(110) 상에 서브 화소 단위로 형성한다. Next, a source-drain region is formed in the semiconductor layer using the gate electrode as a mask, a channel region in which impurity ions are not implanted, and a source electrode and a drain electrode respectively connected to the source-drain region are formed. As shown in FIG. 1, the driving transistor 120 is formed on the substrate 110 in sub pixel units.

이어서, 구동용 트랜지스터(120)의 드레인 전극을 노출시키는 콘택홀(119)을 갖는 평탄화막(118)을 기판(110) 상에 형성한다. 평탄화막(118)으로는 실리콘 질화막, 실리콘 산화막 또는 실리콘 산화막/실리콘 질화막의 적층막과 같은 무기 물질이 이용될 수 있다. Next, a planarization film 118 having a contact hole 119 exposing the drain electrode of the driving transistor 120 is formed on the substrate 110. As the planarization layer 118, an inorganic material such as a silicon nitride layer, a silicon oxide layer, or a laminated layer of a silicon oxide layer / silicon nitride layer may be used.

도 2b를 참조하면, 콘택홀(119)을 통해 노출된 구동용 트랜지스터(120)의 드레인 전극과 전기적으로 연결되는 제 1 전극(132)을 평탄화막(118) 상에 형성한다. 제 1 전극(132)은 Cr, Al, AlNd, Mo, Cu, W, Au, Ni, Ag 등이 스퍼터링 등의 증착방법으로 형성될 수 있고, 이들의 합금이나 산화물 또는 ITO/반사막/ITO의 다층(multilayer)으로도 형성될 수 있다.Referring to FIG. 2B, a first electrode 132 electrically connected to the drain electrode of the driving transistor 120 exposed through the contact hole 119 is formed on the planarization layer 118. The first electrode 132 may be formed of Cr, Al, AlNd, Mo, Cu, W, Au, Ni, Ag, or the like by sputtering or the like, and may include an alloy, an oxide thereof, or a multilayer of ITO / reflective film / ITO. It may also be formed as a multilayer.

도 2c를 참조하면, 유기전계 발광소자를 서브 화소 단위별로 분리시키는 뱅크 절연층(138)을 형성한다. Referring to FIG. 2C, a bank insulating layer 138 that separates the organic light emitting diodes for each sub pixel unit is formed.

구체적으로, 제 1 전극(132)이 형성된 기판(110) 전면에 절연물질을 도포한 후 선택적으로 제거하여 구동용 트랜지스터(120)가 형성된 기판(110)의 비발광 영역에 뱅크 절연층(138)을 형성한다. 이때, 뱅크 절연층(138)으로는 유기 물질 또는 무기 물질이 사용되며, 유기 물질로는 폴리이미드 등을 들 수 있고, 무기 물질로는 실리콘 질화막 또는 실리콘 산화막 등을 들 수 있다. 한편, 후속 공정에서 뱅크 절연층(138)이 평탄화막(118)으로부터 들뜨는 필링 현상이 발생되는 것을 방지하기 위해서 뱅크 절연층(138)으로 폴리이미드를 사용하는 것이 바람직하다.Specifically, the bank insulating layer 138 is applied to the non-light emitting region of the substrate 110 on which the driving transistor 120 is formed by applying an insulating material to the entire surface of the substrate 110 on which the first electrode 132 is formed and then selectively removing the insulating material. To form. In this case, an organic material or an inorganic material may be used as the bank insulating layer 138, and polyimide may be used as the organic material, and a silicon nitride film or a silicon oxide film may be used as the inorganic material. On the other hand, it is preferable to use polyimide as the bank insulating layer 138 in order to prevent the peeling phenomenon that the bank insulating layer 138 is lifted from the planarization film 118 in a subsequent process.

도 2d를 참조하면, 뱅크 절연층(138) 상부에 보조 전극(150)을 형성한다.Referring to FIG. 2D, the auxiliary electrode 150 is formed on the bank insulating layer 138.

구체적으로, 뱅크 절연층(138)을 포함하는 기판(110) 전면에 도전 물질을 스퍼터링 등의 증착 방법으로 증착한 후 선택적으로 제거하여 뱅크 절연층(138) 상부면에만 도전 물질이 남도록 하여 보조 전극(150)을 형성한다.Specifically, the conductive material is deposited on the entire surface of the substrate 110 including the bank insulating layer 138 by a deposition method such as sputtering, and then selectively removed so that the conductive material remains only on the upper surface of the bank insulating layer 138. 150 is formed.

보조 전극(150)을 이루는 도전 물질로는 서브 화소 구동부의 배선에 사용되는 각종 도전 물질이 이용될 수도 있으며, 예로는 후속공정에서 형성될 제 2 전극 에 비해 낮은 전기저항을 갖으면서 전기 전도도가 높은 도전 물질이 사용될 수 있다. 구체적으로 보조 전극(150)은 은(Ag), 구리(Cu), 금(AU), 알루미늄(Al), 마그네슘(Mg), 네오디뮴(Nd), 이들의 합금, 또는 이들의 적층을 이용하여 형성된다. As the conductive material constituting the auxiliary electrode 150, various conductive materials used for wiring of the sub-pixel driver may be used. For example, the conductive material has a low electrical resistance and high electrical conductivity compared to the second electrode to be formed in a subsequent process. Conductive materials can be used. Specifically, the auxiliary electrode 150 is formed using silver (Ag), copper (Cu), gold (AU), aluminum (Al), magnesium (Mg), neodymium (Nd), alloys thereof, or a stack thereof. do.

이때, 보조 전극(150)의 두께는 1000Å~3000Å이 되도록 한다. 보조 전극(150)의 폭이 넓을수록 제 2 전극(136)의 저항값을 낮출 수 있으나, 보조 전극(150)의 폭은 뱅크 절연층(138)의 폭보다 좁게 형성되도록 한다. 보조 전극(150)을 뱅크 절연층(138)의 폭보다 좁게 형성하는 것을 공정마진을 고려한 것으로 마진에 오차가 생기더라도 발광 영역에는 영향이 없도록 하여 개구율 저하를 방지하기 위함이다.At this time, the thickness of the auxiliary electrode 150 is 1000 kPa ~ 3000 kPa. As the width of the auxiliary electrode 150 is wider, the resistance of the second electrode 136 may be lowered, but the width of the auxiliary electrode 150 is smaller than the width of the bank insulating layer 138. The formation of the auxiliary electrode 150 to be narrower than the width of the bank insulating layer 138 is taken into consideration in order to prevent a decrease in the aperture ratio by not affecting the light emitting area even if an error occurs in the margin.

한편, 보조 전극을 유기 발광층 형성 후에 형성한다면, 보조 전극 형성시 이용되는 마스크의 투과부분을 보조 전극을 이루는 물질이 메우게 되어 마스크를 더 이상 사용하지 못하고 폐기처분 해야하는 문제가 있다. 그러나, 본 발명은 보조 전극(150)을 후속 공정에서 형성될 유기 발광층(134)을 형성하기 전인 뱅크 절연층(138) 형성공정 다음으로 형성하므로, 전술한 문제가 발생하지 않고 마스크를 계속하여 사용할 수 있어 공정에 드는 비용을 감소시킬 수 있다.On the other hand, if the auxiliary electrode is formed after the organic light emitting layer is formed, the material forming the auxiliary electrode is filled in the transparent portion of the mask used for forming the auxiliary electrode there is a problem that the mask can no longer be used and disposed of. However, since the auxiliary electrode 150 is formed after the bank insulating layer 138 forming process before forming the organic light emitting layer 134 to be formed in a subsequent process, the mask can be used continuously without the aforementioned problem. This can reduce the cost of the process.

도 2e를 참조하면, 발광 영역 및 비발광 영역의 기판(110) 전면에 유기 발광층(134)과 제 2 전극(136)을 순차적으로 적층한다.Referring to FIG. 2E, the organic emission layer 134 and the second electrode 136 are sequentially stacked on the entire surface of the substrate 110 in the emission area and the non-emission area.

구체적으로, 보조 전극(150), 뱅크 절연층(138)의 측벽 및 뱅크 절연층(138)에 의해 노출된 제 1 전극(132) 상에 열증착 등의 증착 방법을 통해 유기물로 적층된 유기 발광층(132)을 형성한다. 이러한 유기 발광층(132)은 정공 주입층(hole injection layer: HIL), 정공 수송층(hole transporting layer: HTL), 발광층(emission layer: EL), 전자 수송층(electron transporting layer: ETL), 전자 주입층(electron injection layer: EIL)을 포함한다. 여기서, 발광층은 뱅크 절연층(138)에 의하여 서브 화소 단위로 분리되어, 서브 화소 단위로 적, 녹, 청색광을 방출하도록 형성된다. Specifically, the organic light emitting layer laminated with the organic material through a deposition method such as thermal deposition on the auxiliary electrode 150, the sidewall of the bank insulating layer 138, and the first electrode 132 exposed by the bank insulating layer 138. 132 is formed. The organic light emitting layer 132 includes a hole injection layer (HIL), a hole transporting layer (HTL), an emission layer (EL), an electron transporting layer (ETL), and an electron injection layer (HTL). electron injection layer (EIL). Here, the light emitting layer is separated by the bank insulating layer 138 in sub pixel units, and is formed to emit red, green, and blue light in the sub pixel units.

이어서, 유기 발광층(134) 상에 투명 도전층을 증착한 후 마스크를 이용한 포토리쏘그래피 공정 및 식각 공정을 통해 제 2 전극(136)을 형성한다. 투명 도전층으로 인듐주석산화물(Indium Tin Oxide: ITO), 주석산화물(Tin Oxide: TO), 인듐아연산화물(Indium Zinc Oxide: IZO), 인듐주석아연산화물(Indium Tin Zinc Oxide: ITZO) 또는 이들의 조합이 이용된다. Subsequently, after the transparent conductive layer is deposited on the organic light emitting layer 134, the second electrode 136 is formed through a photolithography process and an etching process using a mask. Indium Tin Oxide (ITO), Tin Oxide (TO), Indium Zinc Oxide (IZO), Indium Tin Zinc Oxide (ITZO), or a transparent conductive layer Combination is used.

한편, 도면에서는 전면 발광의 유기전계발광 표시장치에 대하여 도시하고 있지만, 제 1 전극과 제 2 전극의 재료를 바꿈으로써 후면 발광의 유기전계발광 표시장치를 제조할 수도 있다.On the other hand, although the organic light emitting display of the top emission is shown in the drawing, the organic light emitting display of the bottom emission can be manufactured by changing the materials of the first electrode and the second electrode.

도 2f를 참조하면, 보조 전극(150) 상에 형성된 유기 발광층(134)을 제거하여 보조 전극(150)과 제 2 전극(136)을 전기적으로 연결시킨다.Referring to FIG. 2F, the organic light emitting layer 134 formed on the auxiliary electrode 150 is removed to electrically connect the auxiliary electrode 150 and the second electrode 136.

구체적으로, 뱅크 절연층(138) 상부면의 보조 전극(150) 상에 형성된 유기 발광층(134)에 레이저를 조사하여 유기 발광층(134)은 제거하고, 제 2 전극(136)을 녹임으로써 보조 전극(150)과 제 2 전극(136)이 전기적으로 연결되도록 한다.Specifically, the organic light emitting layer 134 is removed by irradiating a laser to the organic light emitting layer 134 formed on the auxiliary electrode 150 on the upper surface of the bank insulating layer 138, and the auxiliary electrode is melted by melting the second electrode 136. The 150 and the second electrode 136 are electrically connected to each other.

이때, 레이저를 500nm 미만의 단파장으로 조사할 경우 강한 에너지로 인하여 박막이 튀는 등 이물질이 많이 발생하게 되고, 보조 전극의 하부에 형성된 뱅크 절 연층에 영향을 줄 수 있다. 레이저를 650nm 초과의 장파장으로 조사할 경우 에너지가 약해 유기 발광층을 완전히 제거할 수가 없다. 따라서, 유기 발광층(134)을 완전히 제거하여 보조 전극(150)의 전면이 제 2 전극(136)과 접촉되도록 함과 동시에 보조 전극(150) 하부의 뱅크 절연층(138)에 영향을 주지 않도록 레이저의 파장 범위는 500nm ~ 650nm가 되도록 한다. In this case, when the laser is irradiated with a short wavelength of less than 500nm, a large amount of foreign substances such as splashing of the thin film due to strong energy may occur, and may affect the bank insulation layer formed under the auxiliary electrode. When the laser is irradiated with a long wavelength of more than 650 nm, the energy is weak and the organic light emitting layer cannot be completely removed. Therefore, the organic light emitting layer 134 is completely removed so that the front surface of the auxiliary electrode 150 is in contact with the second electrode 136 and the laser is not affected in the bank insulating layer 138 under the auxiliary electrode 150. The wavelength range of is 500nm ~ 650nm.

구체적인 일 실험예로 보조 전극(AlNd; 2000Å)/유기 발광층(1000Å)/제 2 전극(Al, 10Å/Ag, 150Å)으로 구성된 유기전계 발광소자의 레이저 조사 전의 표면 저항은 7.8Ω이었으며, 레이저 조사 후의 표면 저항은 0.3Ω이었다. 이때, 레이저의 파장범위는 532nm였으며, 보조 전극 하부의 뱅크 절연층의 막질에는 아무런 영향이 없음이 확인되었다. 이렇듯, 본 발명은 제 2 전극(136)과 전기적으로 연결되는 보조 전극(150)을 비발광 영역의 뱅크 절연층(138) 상에 구비함으로써, 2 전극(136)의 면 저항을 낮출 수 있다. As a specific experimental example, the surface resistance of the organic light emitting diode including the auxiliary electrode (AlNd; 2000 Hz) / organic light emitting layer (1000 Hz) / second electrode (Al, 10 mA / Ag, 150 Hz) before laser irradiation was 7.8 Ω, and the laser irradiation was performed. The surface resistance after this was 0.3 Ω. At this time, the wavelength range of the laser was 532nm, it was confirmed that there is no effect on the film quality of the bank insulating layer under the auxiliary electrode. As described above, according to the present invention, by providing the auxiliary electrode 150 electrically connected to the second electrode 136 on the bank insulating layer 138 in the non-light emitting area, the surface resistance of the second electrode 136 may be lowered.

그 결과, 구동용 트랜지스터(120)의 구동 전압이 증가하는 것을 방지하여 소비전력을 감소시킬 수 있다. 아울러, 제 2 전극(136)의 면 저항 성분을 보상하여 전압 강하를 방지할 수 있으므로 휘도를 향상시킬 수 있다. As a result, the driving voltage of the driving transistor 120 may be prevented from increasing, thereby reducing power consumption. In addition, since the voltage drop can be prevented by compensating the surface resistance component of the second electrode 136, the luminance can be improved.

이상에서 설명한 기술들은 현재 바람직한 실시예를 나타내는 것이고, 본 발명은 상술한 실시 예 및 첨부된 도면에 한정되는 것은 아니다. 실시예의 변경 및 다른 용도는 당업자들에게는 알 수 있을 것이며, 상기 변경 및 다른 용도는 본 발명의 취지 내에 포함되거나 또는 첨부된 청구범위의 범위에 의해 정의된다. The above-described techniques represent presently preferred embodiments, and the present invention is not limited to the above-described embodiments and the accompanying drawings. Modifications and other uses of the embodiments will be apparent to those skilled in the art, and such changes and other uses are defined by the scope of the claims contained within or appended to the spirit of the invention.

도 1은 본 발명에 따른 유기전계발광 표시장치를 도시한 단면도이다.1 is a cross-sectional view illustrating an organic light emitting display device according to the present invention.

도 2a 내지 2f는 도 1에 도시된 유기전계발광 표시장치의 제조방법을 나타내는 단면도이다.2A through 2F are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing the organic light emitting display device illustrated in FIG. 1.

<<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>><< Explanation of symbols for main part of drawing >>

110: 기판 118: 평탄화막110: substrate 118: planarization film

120: 구동용 트랜지스터 132: 제 1 전극120: driving transistor 132: first electrode

134: 유기 발광층 136: 제 2 전극134: organic light emitting layer 136: second electrode

138: 뱅크 절연층 150: 보조 전극138: bank insulating layer 150: auxiliary electrode

Claims (10)

발광 영역과 비발광 영역으로 정의된 기판 상의 상기 발광 영역 및 상기 비발광 영역의 소정 영역에 제 1 전극을 형성하는 단계;Forming a first electrode on a predetermined area of the light emitting area and the non-light emitting area on a substrate defined as a light emitting area and a non-light emitting area; 상기 발광 영역의 상기 제 1 전극이 노출되도록 상기 기판의 상기 비발광 영역에 뱅크 절연층을 형성하는 단계;Forming a bank insulating layer on the non-light emitting area of the substrate to expose the first electrode of the light emitting area; 상기 비발광 영역의 상기 뱅크 절연층 상부면에 보조 전극을 형성하는 단계;Forming an auxiliary electrode on an upper surface of the bank insulating layer in the non-light emitting region; 상기 보조 전극이 형성된 상기 기판의 상기 발광 영역 및 상기 비발광 영역에 유기 발광층을 형성하는 단계; Forming an organic emission layer on the emission area and the non-emission area of the substrate on which the auxiliary electrode is formed; 상기 유기 발광층이 형성된 상기 기판의 상기 발광 영역 및 상기 비발광 영역에 제 2 전극을 형성하는 단계; 및Forming a second electrode in the light emitting region and the non-light emitting region of the substrate on which the organic light emitting layer is formed; And 레이저를 조사하여 상기 보조 전극 상부에 형성된 상기 유기 발광층을 제거하고, 상기 보조 전극과 상기 제 2 전극을 접촉시키는 단계를 포함하는 유기전계발광 표시장치의 제조방법.Irradiating a laser to remove the organic light emitting layer formed on the auxiliary electrode, and contacting the auxiliary electrode with the second electrode. 제 1 항에 있어서, 상기 레이저는 상기 보조 전극 상부면의 상기 유기 발광층에 조사되는 유기전계발광 표시장치의 제조방법.The method of claim 1, wherein the laser is irradiated to the organic light emitting layer on an upper surface of the auxiliary electrode. 제 1 항에 있어서, 상기 레이저의 파장 범위는 500nm ~ 650nm인 유기전계발광 표시장치의 제조방법.The method of claim 1, wherein the wavelength range of the laser is 500 nm to 650 nm. 제 1 항에 있어서, 상기 보조 전극은 은, 구리, 금, 알루미늄, 마그네슘, 네오디뮴, 이들의 합금, 또는 이들의 적층으로 형성되는 유기전계발광 표시장치의 제조방법.The method of claim 1, wherein the auxiliary electrode is formed of silver, copper, gold, aluminum, magnesium, neodymium, an alloy thereof, or a stack thereof. 제 1 항에 있어서, 상기 제 1 전극을 형성하는 단계 전에 상기 기판의 상기 비발광 영역에 구동용 트랜지스터를 형성하는 단계와,The method of claim 1, further comprising: forming a driving transistor in the non-light emitting region of the substrate before forming the first electrode; 상기 구동용 트랜지스터의 소정 영역을 노출시키도록 상기 기판 전면에 평탄화막을 형성하는 단계를 더 포함하는 유기전계발광 표시장치의 제조방법.And forming a planarization film on the entire surface of the substrate to expose a predetermined region of the driving transistor. 제 5 항에 있어서, 상기 보조 전극은 상기 구동용 트랜지스터를 형성하는 단계에서 사용되는 도전 물질로 형성되는 유기전계발광 표시장치의 제조방법.The method of claim 5, wherein the auxiliary electrode is formed of a conductive material used in forming the driving transistor. 제 1 항에 있어서, 상기 뱅크 절연층은 폴리 이미드로 형성되는 유기전계발광 표시장치의 제조방법.The method of claim 1, wherein the bank insulating layer is formed of polyimide. 제 1 항에 있어서, 상기 보조 전극의 폭이 상기 뱅크 절연층의 폭보다 좁도록 상기 보조 전극을 형성하는 유기전계발광 표시장치의 제조방법.The method of claim 1, wherein the auxiliary electrode is formed such that a width of the auxiliary electrode is smaller than a width of the bank insulating layer. 발광 영역과 비발광 영역으로 정의된 기판의 상기 비발광 영역에 형성된 구 동용 트랜지스터와 전기적으로 연결된 제 1 전극;A first electrode electrically connected to a driving transistor formed in the non-light emitting area of the substrate defined as a light emitting area and a non-light emitting area; 상기 발광 영역의 상기 제 1 전극이 노출되도록 상기 기판의 상기 비발광 영역에 형성되어 서브 화소 단위를 분리시키는 뱅크 절연층;A bank insulating layer formed in the non-light emitting area of the substrate to expose the first electrode of the light emitting area to separate sub pixel units; 상기 비발광 영역의 상기 뱅크 절연층 상부면에 형성된 보조 전극;An auxiliary electrode formed on an upper surface of the bank insulating layer in the non-light emitting region; 상기 발광 영역의 상기 제 1 전극 상부에 형성된 유기 발광층; 및An organic emission layer formed on the first electrode of the emission region; And 상기 보조 전극 및 상기 유기 발광층을 포함하는 상기 기판에 형성된 제 2 전극을 포함하는 유기전계발광 표시장치.And a second electrode formed on the substrate including the auxiliary electrode and the organic light emitting layer. 제 9 항에 있어서, 상기 보조 전극의 폭은 상기 뱅크 절연층의 폭보다 좁고,The method of claim 9, wherein the width of the auxiliary electrode is smaller than the width of the bank insulating layer, 상기 보조 전극은 은, 구리, 금, 알루미늄, 마그네슘, 네오디뮴, 이들의 합금, 또는 이들의 적층으로 형성되고,The auxiliary electrode is formed of silver, copper, gold, aluminum, magnesium, neodymium, alloys thereof, or a stack thereof. 상기 뱅크 절연층은 폴리 이미드로 형성되는 유기전계발광 표시장치.The bank insulating layer is formed of polyimide.
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