KR20100128179A - 3차원형상 측정장치 및 측정방법 - Google Patents

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Abstract

측정 시간을 단축시킬 수 있는 3차원형상 측정장치 및 측정방법이 개시되어 있다. 3차원형상 측정장치는 m개의 투영부, 결상부 및 제어부를 포함한다. m개의 투영부는 각각 조명원 및 격자소자를 포함하며, 격자소자를 n번 이송시키면서 매 이송시마다 측정대상물로 격자무늬조명을 투영한다. 결상부는 측정대상물에서 반사되는 격자무늬영상을 n×m회 촬영한다. 제어부는 m개의 투영부 중에서 어느 하나의 투영부를 이용하여 격자무늬영상을 촬영하는 동안에, 적어도 하나의 다른 투영부의 격자소자가 이송되도록 제어한다. 이와 같이, 카메라 촬상과 격자 이송을 동시에 진행함으로써, 3차원형상의 측정 시간을 큰폭으로 단축시킬 수 있다.

Description

3차원형상 측정장치 및 측정방법{Three-dimensional image measuring apparatus and method thereof}
본 발명은 3차원형상 측정장치 및 측정방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 2개 이상의 투영부를 이용하여 측정대상물의 3차원형상을 측정하는 3차원형상 측정장치 및 측정방법에 관한 것이다.
일반적으로, 자유곡면형태의 3차원형상을 측정하는 기술은 접촉식과 비접촉식으로 구분될 수 있다.
삼차원 측정기를 사용하여 접촉식으로 곡면상의 한 점씩 측정하여 전체 곡면형상을 측정하는 방식이 오래 전부터 널리 사용되어 왔으나, 이러한 방식은 측정시간이 과다하게 소용되는 단점이 있었다.
이러한 단점을 개선하기 위하여 비접촉 측정법이 연구되었으며, 특히, 대표적인 비접촉 측정법의 하나인 모아레 현상을 이용한 3차원 형상 측정법은 1970년 메도우스(Meadows)와 타카사키(Takasaki)에 의해 그림자식 모아레법이 처음 제안되었다. 이후, 요시노(Yoshino)는 측정영역을 확대할 수 있는 영사식 모아레법을 제안하여, 그림자식 모아레법의 단점이었던 측정에 사용되는 격자의 크기가 측정대상 물보다 커야하는 제한접과, 격자와 측정물 사이의 거리제한에 관한 문제를 해결하였다. 또한, 쿠자윈스카(Kujawinska)는 3차원 형상정보를 포함하는 모아레무늬 해석법으로 광간섭무늬해석에 사용되는 위상천이법을 적용함으로써 측정분해능이 괄목할만하게 향상되었고 무아레 무늬형태에 영향을 받지않는 측정이 가능하게 되었다.
최근에는 보다 정밀한 3차원형상의 측정을 위하여, 서로 다른 위치에 배치된 2개 이상의 투영부를 통해 측정대상물의 3차원형상을 측정하는 기술이 도입되고 있다.
도 1은 종래의 3차원형상 측정장치를 이용한 3차원형상 측정방법을 나타낸 도면이다. 도 1을 참조하면, 투영부를 2개 사용할 경우, 종래에는 제1 투영부를 통해 격자를 이송해가면서 복수의 영상들을 촬영한 후, 제2 투영부를 통해 격자를 이송해가면서 복수의 영상들을 촬영하는 방식으로 측정을 진행하였다.
그러나, 카메리 촬상 후 격자 이송이 이루어지는 구조로 인해 촬상 시간과 격자 이송 시간이 따로 필요하므로, 전체 측정 시간이 증가되며, 투영부의 개수가 증가할수록 측정 시간이 더욱 증가되는 문제가 발생된다.
따라서, 본 발명은 이와 같은 문제점을 감안한 것으로써, 본 발명은 3차원형상의 측정 시간을 단축시킬 수 있는 3차원형상 측정장치를 제공한다.
또한, 본 발명은 3차원형상의 측정 시간을 단축시킬 수 있는 3차원형상 측정 방법을 제공한다.
본 발명의 일 특징에 따른 3차원형상 측정장치는 m개의 투영부, 결상부 및 제어부를 포함한다. 상기 m개의 투영부는 각각 조명원 및 격자소자를 포함하며, 상기 격자소자를 n번 이송시키면서 매 이송시마다 측정대상물로 격자무늬조명을 투영한다. 상기 결상부는 상기 측정대상물에서 반사되는 격자무늬영상을 n×m회 촬영한다. 상기 제어부는 상기 m개의 투영부 중에서 어느 하나의 투영부를 이용하여 상기 격자무늬영상을 촬영하는 동안에, 적어도 하나의 다른 투영부의 격자소자가 이송되도록 제어한다. 상기 n 및 m은 2 이상의 자연수이다.
일 실시예로, 상기 m이 2인 경우, 상기 제어부는 첫번째 투영부를 이용하여 상기 격자무늬영상을 1회 촬영하는 동안에 두번째 투영부의 상기 격자소자를 2π/n 만큼 이송시키며, 이어서 상기 두번째 투영부를 이용하여 상기 격자무늬영상을 1회 촬영하는 동안에 상기 첫번째 투영부의 상기 격자소자를 2π/n 만큼 이송시킨다.
다른 실시예로, 상기 m이 3 이상인 경우, 상기 제어부는 첫번째 투영부로부터 m번째 투영부까지를 각각 한번씩 이용하여 상기 격자무늬영상을 m회 촬영함과 동시에, 상기 m회의 촬영 기간 중에서 자신이 촬영에 이용되고 있지 않은 투영부의 상기 격자소자를 비촬영 기간 동안에 2π/n 만큼 이송시킨다. 또한, 상기 제어부는 각각의 상기 투영부가 상기 격자무늬조명을 투영하는 시기에 앞서 적어도 2회의 촬영 기간 이전에 자신의 상기 격자소자를 이송시킬 수 있다.
상기 제어부는 상기 m개의 투영부 중 어느 하나의 투영부를 이용하여 상기 격자무늬영상을 촬영한 후, 바로 이어지는 다른 투영부를 이용한 촬영 기간에 상기 어느 하나의 투영부의 격자소자를 이송시킬 수 있다.
본 발명의 일 특징에 따른 3차원형상 측정방법에 따르면, 조명원 및 격자소자를 포함하는 m개의 투영부를 통해 상기 격자소자를 n번 이송시키면서 매 이송시마다 측정대상물로 격자무늬조명을 투영하여 상기 측정대상물에서 반사되는 격자무늬영상을 n×m회 촬영하여 3차원형상을 측정하는 방법에 있어서, 상기 m개의 투영부 중에서, 어느 하나의 투영부를 이용하여 상기 격자무늬영상을 촬영하는 동안에, 적어도 하나의 다른 투영부의 격자소자를 이송시킨다. 상기 n 및 m은 2 이상의 자연수이다.
상기 m이 2인 경우, 첫번째 투영부를 이용하여 상기 격자무늬영상을 1회 촬영하는 동안에 두번째 투영부의 상기 격자소자를 2π/n 만큼 이송시키고, 이어서 상기 두번째 투영부를 이용하여 상기 격자무늬영상을 1회 촬영하는 동안에 상기 첫번째 투영부의 상기 격자소자를 2π/n 만큼 이송시킬 수 있다.
상기 m이 3 이상인 경우, 첫번째 투영부로부터 m번째 투영부까지를 각각 한번씩 이용하여 상기 격자무늬영상을 m회 촬영함과 동시에, 상기 m회의 촬영 기간 중에서 자신이 촬영에 이용되고 있지 않은 투영부의 상기 격자소자를 비촬영 기간 동안에 2π/n 만큼 이송시킬 수 있다. 이때, 각각의 상기 투영부가 상기 격자무늬조명을 투영하는 시기에 앞서 적어도 2회의 촬영 기간 이전에 자신의 상기 격자소자를 이송시킬 수 있다.
상기 m개의 투영부 중 어느 하나의 투영부를 이용하여 상기 격자무늬영상을 촬영한 후, 바로 이어지는 다른 투영부를 이용한 촬영 기간에 상기 어느 하나의 투영부의 격자소자를 이송시킬 수 있다.
이와 같은 3차원형상 측정장치 및 측정방법에 따르면, 카메라 촬상과 격자 이송을 동시에 진행함으로써, 3차원형상의 측정 시간을 큰폭으로 단축시킬 수 있다. 또한, 측정 시간의 단축으로 인해 카메라의 촬상 시간을 필요한 만큼 증가시킬 수 있어 촬상에 필요한 광량의 확보가 가능해질 수 있다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성 요소는 제2 구성 요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성 요소도 제1 구성 요소로 명명될 수 있다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예들을 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다 르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 갖는다.
일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여, 본 발명의 바람직한 실시예들을 보다 상세하게 설명한다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 3차원형상 측정장치를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 3차원형상 측정장치(100)는 m개의 투영부(110), 결상부(120) 및 제어부(130)를 포함한다. 여기서, m은 2 이상의 자연수이다.
m개의 투영부(110)는 각각 워크 스테이지(140)에 고정된 측정대상물(150)에 격자무늬조명을 투영시킨다. 다수의 투영부(110)는 측정대상물(150)의 법선에 대하여 일정한 각도로 기울어진 격자무늬조명을 조사하도록 배치될 수 있다. 예를 들어, 3차원형상 측정장치(100)는 2개, 3개, 4개 또는 6개의 투영부(110)를 포함할 수 있으며, 다수의 투영부(110)는 측정대상물(150)의 법선에 대하여 대칭적으로 배치될 수 있다.
각각의 투영부(110)는 조명원(111) 및 격자소자(112)를 포함한다. 또한, 각각의 투영부(110)는 투영 렌즈부(113)를 더 포함할 수 있다. 조명원(111)은 측정대상물(150)을 향하여 광을 조사한다. 격자소자(112)는 조명원(111)에서 조사된 광을 격자무늬에 따른 격자무늬조명으로 변환시킨다. 격자소자(112)는 위상천이된 격자무늬조명을 발생시키기 위해 엑추에이터 등의 격자이송기구(미도시)를 통해 2π/n 만큼씩 n번 이송된다. 여기서, n은 2 이상의 자연수이다. 투영 렌즈부(113)는 격자소자(112)에 의해 생성된 격자무늬조명을 측정대상물(150)에 투영시킨다. 투영 렌즈부(113)는 예를 들어, 다수의 렌즈 조합으로 형성될 수 있으며, 격자소자(112)를 통해 형성된 격자무늬조명을 포커싱하여 측정대상물(150)에 투영시킨다. 따라서, 각각의 투영부(110)는 격자소자(112)를 n번 이송시키면서 매 이송시마다 측정대상물(150)로 격자무늬조명을 투영한다.
결상부(120)는 측정대상물(150)에 투영된 격자무늬조명에 의해 측정대상물(150)에서 반사되는 격자무늬영상을 촬영한다. 3차원형상 측정장치(100)가 m개의 투영부(110)를 포함하고, 각 투영부(110)에서 n번의 촬영을 진행하여야 하므로, 결상부(120)는 n×m회의 촬영을 진행하게 된다. 결상부(120)는 격자무늬영상의 촬영을 위하여, 카메라(121) 및 결상 렌즈부(122)를 포함할 수 있다. 카메라(121)는 CCD 또는 CMOS 카메라를 사용할 수 있다. 따라서, 측정대상물(150)에서 반사된 격자무늬영상은 결상 렌즈부(122)를 거쳐 카메라(121)에 의해 촬영된다.
제어부(130)는 3차원형상 측정장치(100)에 포함된 구성요소들의 동작을 전체적으로 제어한다. 제어부(130)는 격자소자(112)를 n번 이송시키면서 매 이송시마다 측정대상물(150)로 격자무늬조명을 투영하도록 투영부(110)를 제어한다. 또한, 제어부(130)는 측정대상물(150)에서 반사되는 격자무늬영상을 촬영하도록 결상부(120)를 제어한다.
특히, 3차원형상 측정장치(100)의 전체적인 측정시간을 감소시키기 위하여, 제어부(130)는 m개의 투영부(110) 중에서, 어느 하나의 투영부(130)를 이용하여 격자무늬영상을 촬영하는 동안에, 적어도 하나의 다른 투영부(110)의 격자소자(112)가 이송되도록 제어한다. 바람직하게, 제어부(130)는 m개의 투영부(110) 중에서 어느 하나의 투영부(110)를 이용하여 격자무늬영상을 촬영한 후, 바로 이어지는 다른 투영부(110)를 이용한 촬영 기간에 상기 어느 하나의 투영부(110)의 격자소자(112)를 2π/n 만큼 이송시킬 수 있다.
도 3은 2개의 투영부를 포함하는 3차원형상 측정장치의 구동방법을 나타낸 도면이다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 3차원형상 측정장치(100)는 2개의 투영부(110) 즉, 제1 투영부(110a) 및 제2 투영부(110b)를 포함한 다.
제어부(130)는 첫번째 투영부 즉, 제1 투영부(110a)를 이용하여 격자무늬영상1을 1회 촬영하는 기간 동안에, 두번째 투영부 즉, 제2 투영부(110b)의 격자소자(112)를 2π/n의 위상에 대응되는 길이 만큼 이송시킨다. 이어서, 제어부(130)는 제2 투영부(110b)를 이용하여 격자무늬영상2를 1회 촬영하는 기간 동안에, 제1 투영부(110a)의 격자소자(112)를 2π/n의 위상에 대응되는 길이 만큼 이송시킨다. 즉, 제어부(130)는 제1 투영부(110a)를 이용하여 격자무늬영상1을 촬영한 후, 바로 이어지는 제2 투영부(110b)를 이용한 촬영 기간에 제1 투영부(110a)의 격자소자(112)를 이송시킨다. 이어서, 제어부(130)는 제1 투영부(110a) 및 제2 투영부(110b)를 통해 상기와 같은 과정을 여러번 반복하여, 격자무늬영상3에서 격자무늬영상8까지의 촬영을 진행하도록 제어한다.
이후, 제어부(130)는 제1 투영부(110a)를 이용하여 촬영된 격자무늬영상1, 3, 5 및 7을 합성하여 제1 위상정보를 획득하고, 제2 투영부(110b)를 이용하여 촬영된 격자무늬영상2, 4, 6 및 8을 합성하여 제2 위상정보를 획득한 후, 상기 제1 위상정보 및 제2 위상정보를 이용하여 측정대상물(150)의 3차원형상을 측정한다.
이와 같이, 카메라 촬상과 격자 이송을 동시에 진행하게 되면, 도 1에 도시된 방식에 비하여 측정 시간을 큰폭으로 단축시킬 수 있다. 또한, 측정 시간의 단축으로 인해 카메라의 촬상 시간을 필요한 만큼 증가시킬 수 있어 촬상에 필요한 광량의 확보가 가능해질 수 있다.
도 3에서는, 각 투영부(110)를 통해 4번의 촬영을 진행하는 4-버킷(bucket) 방식을 예로 들어 설명하였으나, 이 외에도 3-버킷 등의 다양한 버킷 방식에도 상기한 구동 방식이 적용될 수 있다.
한편, 3차원형상 측정장치(100)가 3개 이상의 투영부(110)를 포함할 경우, 제어부(130)는 첫번째 투영부로부터 마지막번째 투영부, 즉 m번째 투영부까지를 각각 한번씩 이용하여 격자무늬영상을 m회 촬영함과 동시에, 상기 m회의 촬영 기간 중에서 자신이 촬영에 이용되고 있지 않은 투영부의 격자소자를 비촬영 기간 동안에 2π/n 만큼 이송시킨다. 예를 들어, 3차원형상 측정장치가 3개의 투영부를 포함하는 경우의 구동 방법을 도 4를 참조하여 설명한다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 3차원형상 측정장치의 구동방법을 나타낸 도면이다.
도 4를 참조하면, 3차원형상 측정장치는 3개의 투영부 즉, 제1 투영부, 제2 투영부 및 제3 투영부를 포함할 수 있다. 예를 들어, 측정대상물을 중심으로 120도씩 떨어지도록 배치된다.
3개의 투영부 중에서 첫번째 투영부 즉, 제1 투영부를 이용하여 격자무늬영상1을 촬영하는 기간 동안에, 나머지 투영부들 중의 어느 하나, 예를 들어, 제3 투영부의 격자소자를 2π/n의 위상에 대응되는 길이 만큼 이송시킨다. 이후, 두번째 투영부 즉, 제2 투영부를 이용하여 격자무늬영상2를 촬영하는 기간 동안에, 나머지 투영부들 중의 어느 하나, 예를 들어, 제1 투영부의 격자소자를 2π/n의 위상에 대응되는 길이 만큼 이송시킨다. 이후, 제3 투영부를 이용하여 격자무늬영상3을 촬영하는 기간 동안에, 나머지 투영부들 중의 어느 하나, 예를 들어, 제2 투영부의 격자소자를 2π/n의 위상에 대응되는 길이 만큼 이송시킨다. 이후, 제1 투영부, 제2 투영부 및 제3 투영부를 이용하여 상기와 같은 과정을 여러번 반복하여, 격자무늬영상4에서 격자무늬영상12까지의 촬영을 진행한다.
한편, 영상 촬영 시간의 단축으로 인하여 격자소자의 이송 시간이 상대적으로 길어질 수 있다. 예를 들어, 영상 촬상 시간이 약 5ms이고, 격자소자의 이송 시간이 약 7ms일 경우, 격자소자의 이송 시간이 영상 촬상 시간에 비하여 약 2ms 정도 길어지게 된다. 이럴 경우, 격자소자의 이송이 1회의 영상 촬영 기간 내에 이루어질 수 없게 되므로, 격자소자의 이송은 2회의 영상 촬영 기간에 걸쳐 이루어지게 된다. 따라서, 각각의 투영부는 격자무늬조명을 투영하는 시기에 앞서 적어도 2회의 영상 촬상 기간 이전에 자신의 격자소자를 이송시키는 것이 바람직하다. 예를 들어, 제1 투영부는 격자무늬영상4를 촬영하기에 앞서 격자무늬영상2와 격자무늬영상3을 촬영하는 2회의 영상 촬영 기간에 걸쳐 격자소자를 이송하는 것이 바람직하다. 이를 위해, 각각의 투영부는 격자무늬영상을 촬영한 후, 바로 이어서 자신의 격자소자를 이송하는 것이 바람직하다.
격자무늬영상1에서 격자무늬영상12까지의 촬영이 완료된 후, 제1 투영부를 이용하여 촬영된 격자무늬영상1, 4, 7, 10을 합성하여 제1 위상정보를 획득하고, 제2 투영부를 이용하여 촬영한 격자무늬영상2, 5, 8, 11을 합성하여 제2 위상정보를 획득하고, 제3 투영부를 이용하여 촬영된 격자무늬영상3, 6, 9, 12를 합성하여 제3 위상정보를 획득한 후, 상기 제1 위상정보, 제2 위상정보 및 제3 위상정보를 이용하여 측정대상물의 3차원형상을 측정한다.
도 4에서는, 각 투영부를 통해 4번의 촬영을 진행하는 4-버킷(bucket) 방식을 예로 들어 설명하였으나, 이 외에도 3-버킷 등의 다양한 버킷 방식에도 상기한 구동 방식이 적용될 수 있다. 또한, 도 4에 도시된 구동 방식은 4개 이상의 투영부를 포함하는 3차원형상 측정장치에도 적용될 수 있다.
앞서 설명한 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 바람직한 실시예들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술분야에 통상의 지식을 갖는 자라면 후술될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있을 것이다. 따라서, 전술한 설명 및 아래의 도면은 본 발명의 기술사상을 한정하는 것이 아닌 본 발명을 예시하는 것으로 해석되어져야 한다.
도 1은 종래의 3차원형상 측정장치를 이용한 3차원형상 측정방법을 나타낸 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 3차원형상 측정장치를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 3은 2개의 투영부를 포함하는 3차원형상 측정장치의 구동방법을 나타낸 도면이다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 3차원형상 측정장치의 구동방법을 나타낸 도면이다.
<주요 도면번호에 대한 간단한 설명>
100: 3차원형상 측정장치 110: 투영부
111: 조명원 112: 격자소자
113: 투영 렌즈부 120: 결상부
121: 카메라 122: 결상 렌즈부
130: 제어부 140: 워크 스테이지
150: 측정대상물

Claims (10)

  1. 조명원 및 격자소자를 포함하며, 상기 격자소자를 n번 이송시키면서 매 이송시마다 측정대상물로 격자무늬조명을 투영하는 m개의 투영부;
    상기 측정대상물에서 반사되는 격자무늬영상을 n×m회 촬영하는 결상부; 및
    상기 m개의 투영부 중에서, 어느 하나의 투영부를 이용하여 상기 격자무늬영상을 촬영하는 동안에, 적어도 하나의 다른 투영부의 격자소자가 이송되도록 제어하는 제어부를 포함하는 3차원형상 측정장치.
    (여기서, n 및 m은 2 이상의 자연수)
  2. 제1항에 있어서, 상기 m이 2인 경우,
    상기 제어부는 첫번째 투영부를 이용하여 상기 격자무늬영상을 1회 촬영하는 동안에 두번째 투영부의 상기 격자소자를 2π/n 만큼 이송시키며, 이어서 상기 두번째 투영부를 이용하여 상기 격자무늬영상을 1회 촬영하는 동안에 상기 첫번째 투영부의 상기 격자소자를 2π/n 만큼 이송시키는 것을 특징으로 하는 3차원형상 측정장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 m이 3 이상인 경우,
    상기 제어부는 첫번째 투영부로부터 m번째 투영부까지를 각각 한번씩 이용하여 상기 격자무늬영상을 m회 촬영함과 동시에, 상기 m회의 촬영 기간 중에서 자신 이 촬영에 이용되고 있지 않은 투영부의 상기 격자소자를 비촬영 기간 동안에 2π/n 만큼 이송시키는 것을 특징으로 하는 3차원형상 측정장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 제어부는 각각의 상기 투영부가 상기 격자무늬조명을 투영하는 시기에 앞서 적어도 2회의 촬영 기간 이전에 자신의 상기 격자소자를 이송시키는 것을 특징으로 하는 3차원형상 측정장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 제어부는 상기 m개의 투영부 중 어느 하나의 투영부를 이용하여 상기 격자무늬영상을 촬영한 후, 바로 이어지는 다른 투영부를 이용한 촬영 기간에 상기 어느 하나의 투영부의 격자소자를 이송시키는 것을 특징으로 하는 3차원형상 측정장치.
  6. 조명원 및 격자소자를 포함하는 m개의 투영부를 통해 상기 격자소자를 n번 이송시키면서 매 이송시마다 측정대상물로 격자무늬조명을 투영하여 상기 측정대상물에서 반사되는 격자무늬영상을 n×m회 촬영하여 3차원형상을 측정하는 방법에 있어서,
    상기 m개의 투영부 중에서, 어느 하나의 투영부를 이용하여 상기 격자무늬영상을 촬영하는 동안에, 적어도 하나의 다른 투영부의 격자소자를 이송시키는 것을 특징으로 하는 3차원형상 측정방법.
    (여기서, n 및 m은 2 이상의 자연수)
  7. 제6항에 있어서, 상기 m이 2인 경우,
    첫번째 투영부를 이용하여 상기 격자무늬영상을 1회 촬영하는 동안에 두번째 투영부의 상기 격자소자를 2π/n 만큼 이송시키고, 이어서 상기 두번째 투영부를 이용하여 상기 격자무늬영상을 1회 촬영하는 동안에 상기 첫번째 투영부의 상기 격자소자를 2π/n 만큼 이송시키는 것을 특징으로 하는 3차원형상 측정방법.
  8. 제6항에 있어서, 상기 m이 3 이상인 경우,
    첫번째 투영부로부터 m번째 투영부까지를 각각 한번씩 이용하여 상기 격자무늬영상을 m회 촬영함과 동시에, 상기 m회의 촬영 기간 중에서 자신이 촬영에 이용되고 있지 않은 투영부의 상기 격자소자를 비촬영 기간 동안에 2π/n 만큼 이송시키는 것을 특징으로 하는 3차원형상 측정방법.
  9. 제8항에 있어서,
    각각의 상기 투영부가 상기 격자무늬조명을 투영하는 시기에 앞서 적어도 2회의 촬영 기간 이전에 자신의 상기 격자소자를 이송시키는 것을 특징으로 하는 3차원형상 측정방법.
  10. 제6항에 있어서,
    상기 m개의 투영부 중 어느 하나의 투영부를 이용하여 상기 격자무늬영상을 촬영한 후, 바로 이어지는 다른 투영부를 이용한 촬영 기간에 상기 어느 하나의 투영부의 격자소자를 이송시키는 것을 특징으로 하는 3차원형상 측정방법.
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