KR20100120833A - Method for forming ion barrier film on microchannel plate for the use of image intensifier tubes - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 영상증폭관에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는, 영상증폭관용 MCP(microchannel plate)의 이온 장벽 필름 형성 방법에 관한 것이다.The present invention relates to an image amplifier, and more particularly, to a method for forming an ion barrier film of an MCP (microchannel plate) for an image amplifier.
영상증폭관은 야간 투시경내에 포함되는 핵심 부품으로서, 야간에 극소적인 빛 성분을 광ㆍ전자적으로 획득하고 이를 수만 배로 증폭시키는 장치이다. 도 1에는 종래의 영상증폭관의 단면도가 도시되어 있다. 영상증폭관(1)은 포토캐소드(photocathode)(10), MCP(microchannel plate)(20), 형광막(phosphor screen)(30), 및 광섬유(40)를 포함한다. 포토캐소드(10)의 한쪽 면에는 세슘(cesium; Cs)과 같은 금속층(11)이 대략 1㎚의 두께로 코팅되어 있다. 포토캐소드(10)는 외부로부터의 입력광을 전자(51)로 전환한다. 도 1에 도시된 것과 같이, 전압(V1)이 포토캐소드(10)의 금속층(11)에 인가되고, 전압(V2, V3)이 MCP(20)의 양쪽 단면에 각각 인가되고, 전압(V4)이 형광막(30)에 인가된다. 예를 들어, 전압(V1)은 대략 -2KV이고, 전압(V2)은 대략 -1KV이고, 전압(V3)은 0V이고, 전압(V4)은 대략 4.5KV일 수 있다.The image amplification tube is a key component included in the night vision goggles. It is a device that obtains extremely light components at night and electronically and amplifies them tens of thousands of times. 1 is a cross-sectional view of a conventional image amplifier. The image amplifier 1 includes a
포토캐소드(10)에서 빛에 의해 여기된 전자(51)는 금속층(11)과 MCP(20)에 각각 인가된 전압들(V1, V2)의 차에 의해, 화살표로 나타낸 것과 같이, MCP(20)를 향하여 진행한다. MCP(20)는 수 만개의 전자미세증폭관(즉, 홀(hole))(21)이 행렬 형태로 배열된 웨이퍼 모양의 유리섬유로 제작된 유리판이다. MCP(20)를 향하여 진행하면서 가속된 전자(51)는 MCP(20)의 홀(21)을 통과하면서 홀(21)의 내벽에 충돌하여 증폭되고, 그 결과, MCP(20)로부터 수 만개의 전자(51')들이 전자 빔(beam)의 형태로 방출된다. 전자 빔은 전압들(V3, V4)의 차에 의해 형광막(30)으로 향하여 진행한다. 형광막(30)은 MCP(20)로부터 방출된 짧은 파장의 전자 빔을 빛(출력광)으로 전환시켜 광섬유(40)를 통하여 외부로 출력한다.The
한편, MCP(20)의 홀(21) 내벽에는 이물질이 존재할 수 있다. 이 경우, 전자(51)가 이물질과 충돌하여, 양이온(52)이 발생할 수 있다. 양이온(52)은 전압들(V1, V2)의 차에 의해, 화살표로 나타낸 것과 같이, 전자(51)의 진행 방향과는 반대 방향으로, 즉, 포토캐소드(10)를 향하여 진행한다. 그 결과, 양이온(52)이 포토캐소드(10)의 금속층(11)에 충돌하여 금속층(11)을 손상시킨다. 금속층(11)은 대략 1㎚의 얇은 두께로 포토캐소드(10)의 일면에 코팅되어 있기 때문에, 아주 작은 외부의 자극에 의해서도 쉽게 손상된다. 금속층(11)이 손상될 경우, 금속층(11)의 손상된 부분에서는 전자(51)가 발생되지 않기 때문에, 영상증폭관(1)의 불량이 발생된다. 이처럼 MCP(20)에서 발생되는 양이온(52)은 영상증폭관(1)의 수명을 단축시키는 주요 원인이 된다. 따라서 MCP(20)에서 발생되는 양이온(52)으로부터 포토캐소드(10)의 금속층(11)을 보호할 수 있는 방안이 절실히 요구된다.On the other hand, foreign matter may exist in the inner wall of the
따라서, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 MCP의 한쪽 단면에 래커(lacquer) 박막을 형성하고, 래커 박막상에 세라믹(ceramic) 박막을 증착한 후, 열처리에 의해 래커 박막을 열분해 하여, MCP의 한쪽 단면에 이온 장벽 필름인 세라믹 박막을 코팅함으로써, 이온 장벽 필름에 의해 MCP 내에서 발생하는 양이온이 포토캐소드의 금속층에 충돌하는 것을 방지하여 영상증폭관의 수명을 연장시킬 수 있는 영상증폭관용 MCP의 이온 장벽 필름 형성 방법을 제공하는 데 있다.Therefore, the technical problem to be achieved by the present invention is to form a lacquer thin film on one end surface of the MCP, to deposit a ceramic thin film on the lacquer thin film, and to thermally decompose the lacquer thin film by heat treatment, one side of the MCP By coating a ceramic thin film, which is an ion barrier film, on the cross-section, the ion barrier film prevents cations generated in the MCP from colliding with the metal layer of the photocathode, thereby extending the life of the image amplifier tube. It is to provide a method of forming a barrier film.
상기한 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 영상증폭관용 MCP의 이온 장벽 필름 형성 방법은 수조내에 적어도 하나의 MCP(microchannel plate)가 탑재된 테이블 지그(jig)를 설치하는 단계; 상기 적어도 하나의 MCP가 잠기도록 수조내에 탈이온화수(Deionized water)를 급수하는 단계; 상기 탈이온화수의 수면이 안정화된 후, 수면상에 래커(lacquer)를 분사하는 단계; 상기 래커가 경화될 때까지 상기 수조를 무진동 상태로 유지하는 단계; 상기 래커가 경화된 후, 상기 탈이온화수의 수면상에 존재하는 래커 박막이 상기 적어도 하나의 MCP의 상부면상에 안착되도록, 상기 수조내의 탈이온화수를 배수하는 단계; 상기 탈이온화수의 배수가 완료된 후, 상기 적어도 하나의 MCP를 상기 수조 내에서 제1 설정 시간 동안 자연 건조시키는 단계; 건조 오븐(oven) 내에서 상기 적어도 하나의 MCP를 제2 설정 시간 동안 추가로 건조시키는 단계; 상기 테이블 지그로부터 상기 적어도 하나의 MCP를 분 리하는 단계; 상기 적어도 하나의 MCP 상부면의 상기 래커 박막상에 세라믹(ceramic) 박막을 증착하는 단계; 및 상기 래커 박막의 열분해에 의해 상기 래커 박막이 제거되고, 상기 적어도 하나의 MCP의 한쪽 단면상에 이온 장벽 필름인 상기 세라믹 박막이 코팅되도록, 상기 세라믹 박막이 증착된 상기 적어도 하나의 MCP를 열처리하는 단계를 포함한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a method for forming an ion barrier film of an MCP for an image amplification tube, including: installing a table jig in which at least one MCP (microchannel plate) is mounted in a water tank; Supplying deionized water to the water bath so that the at least one MCP is submerged; After the surface of the deionized water is stabilized, spraying a lacquer on the surface of the water; Maintaining the bath in a vibration-free state until the lacquer has cured; After the lacquer has cured, draining the deionized water in the bath such that the lacquer thin film present on the water surface of the deionized water is seated on the top surface of the at least one MCP; After the draining of the deionized water is completed, naturally drying the at least one MCP in the water tank for a first set time; Further drying the at least one MCP for a second set time in a drying oven; Separating the at least one MCP from the table jig; Depositing a ceramic thin film on the lacquer thin film of the at least one MCP top surface; And heat treating the at least one MCP on which the ceramic thin film is deposited such that the lacquer thin film is removed by pyrolysis of the lacquer thin film and the ceramic thin film, which is an ion barrier film, is coated on one end surface of the at least one MCP. It includes.
상술한 것과 같이, 본 발명에 따른 영상증폭관용 MCP의 이온 장벽 필름 형성 방법은 MCP의 한쪽 단면에 얇은 이온 장벽 필름인 세라믹 박막을 코팅하므로, 이온 장벽 필름에 의해 MCP 내에서 발생하는 양이온이 포토캐소드의 금속층에 충돌하는 것이 방지되어 영상증폭관의 수명이 연장될 수 있다.As described above, the method for forming an ion barrier film of the MCP for an image amplification tube according to the present invention coats a ceramic thin film, which is a thin ion barrier film, on one end surface of the MCP, so that cations generated in the MCP by the ion barrier film are photocathode. The collision of the metal layer of the film can be prevented and the life of the image amplifier can be extended.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하기로 한다. 그러나, 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예는 본 발명의 개시가 완전하도록 하며 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described a preferred embodiment of the present invention. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below, but can be implemented in various different forms, only the embodiments are to make the disclosure of the present invention complete and to those skilled in the art the scope of the invention It is provided for complete information.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 영상증폭관용 MCP의 이온 장벽 필름 형성 과정을 나타내는 흐름도이다. 먼저, 도 3a에 도시된 것과 같이, 수조(200)내에 적어도 하나의 MCP(microchannel plate)(100)가 탑재 고정된 테이블 지그(jig)(210)가 설치된다(단계 1001). 이때, 테이블 지그(210)의 테이블(211)은 수조(200)의 바 닥면에 평행하는 수평선(H)을 기준으로 각도(θ°)만큼의 기울기로 경사지게 설치된다. 여기에서, 각도(θ°)는 0.5 ∼ 1°로 설정될 수 있다.2 is a flowchart illustrating a process of forming an ion barrier film of an MCP for an image amplification tube according to an embodiment of the present invention. First, as shown in FIG. 3A, a
수조(200)의 일측에는 배수구(201)가 형성되어 있고, 배수구(201)에는 밸브(202)가 설치된다. 밸브(202)의 개폐 동작에 의해 배수구(201)가 개방되거나 또는 밀폐된다. 테이블(211)상에는 하나 또는 복수의 MCP(100)가 탑재 고정될 수 있다. MCP(100)의 두께는 대략 250 ∼ 300㎛이고, MCP(100) 내부의 홀(101, 도 5참고)의 직경은 대략 6㎛이다. A
이 후, 도 3b에 도시된 것과 같이, MCP(100)가 잠기도록 수조(200)내에 탈이온화수(Deionized water)(300)가 급수된다(단계 1002). 이때, 테이블(211)의 최상단측에 배치된 MCP(100)의 상부면으로부터 탈이온화수(300)의 수면에 이르는 거리(D)가 2 ∼ 20㎜로 되도록, 탈이온화수(300)가 수조(200)내에 급수된다.Thereafter, as illustrated in FIG. 3B, deionized
탈이온화수(300)의 수면이 안정화된 후, 도 3c에 도시된 것과 같이, 수면상에 래커(lacquer)(110)가 분사된다(단계 1003). 이때, 래커(110)는 정량토출기(400)에 의해 탈이온화수(300)의 수면상에 분사된 후, 래커(110)의 표면장력에 의해 탈이온화수(300)의 수면상에 균일하게 확산된다. 래커(110)는 PmNa, RbNi, C7H8(톨루엔(toluene)) 등을 포함하는 40여 가지의 화학물질을 포함하는 화합물로서, 셀룰로오스(cellulose)를 더 포함한다.After the surface of the deionized
래커(110)가 경화될 때까지 수조(200)가 무진동 상태로 유지된다(단계 1004). 예를 들어, 30분 동안 수조(200)가 무진동 상태로 유지될 수 있다. 만약, 래커(110)가 경화되기 전에 수조(200)가 진동할 경우, 탈이온화수(300)가 출렁거려서 래커(110)에 울퉁불퉁하게 주름이 생길 수 있다.The
래커(110)가 경화된 후, 도 3d에 도시된 것과 같이, 탈이온화수(300)의 수면상에 존재하는 래커 박막(111)이 MCP(100)의 상부면상에 안착되도록, 수조(200)내의 탈이온화수(300)가 배수구(201)를 통하여 배수된다(단계 1005). 그 결과, MCP(100)의 상부면상에 기포가 발생되지 않은채, 래커 박막(111)이 MCP(100)의 상부면상에 고르게 밀착되고, 테이블(211)을 제외한 나머지 영역에 존재하는 래커(110)는 탈이온화수(300)의 장력에 의해 떨어져나가 수조(200)의 바닥면상에 존재하게 된다. 이때, 수조(200)로부터 배출되는 탈이온화수(300)의 유속은 0.2 ∼ 0.5 ㏄/s인 것이 바람직하다. 테이블(211)에는 복수의 배수 구멍(212)이 형성될 수 있고, 테이블(211)상의 탈이온화수(300)는 배수 구멍(212)을 통하여 수조(200)의 바닥면으로 원활하게 배수될 수 있다. 래커 박막(111)의 두께는 대략 50 ∼ 100㎚로 형성될 수 있다.After the
한편, 단계 1002에서, 수조(200)내에 탈이온화수(300) 대신 물이 채워진 경우, 물속에 포함된 여러가지 불순물들에 의해, 래커 박막(111)이 불균일하게 형성될 수 있다. 따라서, MCP(100)의 상부면상에 균일한 래커 박막(111)이 밀착되도록 하기 위해서는 탈이온화수(300)가 사용되는 것이 바람직하다.Meanwhile, in
또, 단계 1001에서, 테이블 지그(210)의 테이블(211)이 설정된 각도(θ°, 예를 들어, 0.5 ∼ 1°)로 경사지게 설치되지 않고 수조(200)의 바닥면에 평행하게 설치되거나, 또는 수조(200)로부터 배출되는 탈이온화수(300)의 유속이 너무 빠를 경우, 래커 박막(111)이 MCP(100)의 상부면에 안착되면서 탈이온화수(300)의 장력에 의해 찢겨질 수 있다. 따라서 테이블 지그(210)의 테이블(211)이 설정된 각도(0.5 ∼ 1°)로 경사지게 설치되고, 수조(200)로부터 배출되는 탈이온화수(300)의 유속은 0.2 ∼ 0.5 ㏄/s로 유지되는 것이 바람직하다.In addition, in
탈이온화수(300)의 배수가 완료된 후, 도 3e에 도시된 것과 같이, MCP(100)는 수조(200) 내에서 설정 시간(예를 들어, 대략 5 ∼ 8시간) 동안 자연 건조된다(단계 1006). 이때, 수조(200) 내부의 습도는 25 ∼ 30%로 유지되는 것이 바람직하다. 만약, MCP(100)의 자연 건조(단계 1006)가 실행되지 않은 채, 건조 오븐(oven)(500)에서의 추가의 건조(단계 1007)가 실행될 경우, 테이블 지그(210)가 건조 오븐(500) 내로 이동되는 과정에서, 테이블(211) 상에 남아 있던 탈이온화수(300)의 움직임에 의해 래커 박막(111)의 형상이 불균일해질 수 있다.After draining of the
다음으로, 도 3f에 도시된 것과 같이, 건조 오븐(500) 내에서 MCP(100)가 설정 시간(예를 들어, 대략 4 ∼ 24시간, 바람직하게는 5 ∼ 8시간) 동안 추가로 건조된다(단계 1007). 이때, 건조 오븐(500)내의 온도는 대략 25 ∼ 100℃, 바람직하게는 50 ∼ 80℃이다.Next, as shown in FIG. 3F, the
이 후, 테이블 지그(210)로부터 MCP(100)가 분리된다(단계 1008). 이때, MCP(100)의 가장자리 부분의 래커 박막(111)은 떨어져나가고, 도 3g에 도시된 것과 같이, MCP(100)의 상부면에만 래커 박막(111)이 남게 된다.Thereafter, the
테이블 지그(210)로부터 분리된 MCP(100)는 챔버(chamber)(600)내의 냉각 스테이지(stage)(601)상에 탑재되고, RF(radio frequency) 스퍼터(sputter)(602)에 의해, MCP(100) 상부면의 래커 박막(111)상에 세라믹(ceramic) 박막(120)이 증착된다(단계 1009). 이때, RF 스퍼터(602)에 의한 세라믹 박막(120)의 증착 과정에서, 열이 발생될 수 있다. 래커 박막(111)은 열에 의해 쉽게 열분해되어 녹아버릴 수 있기 때문에, MCP(100)의 온도가 낮춰진 상태에서 스퍼터링 공정이 실행되어야 한다. 하지만 MCP(100)의 온도가 너무 낮을 경우, MCP(100)에 크랙(crack)이 발생될 수 있으므로, 적정한 온도로 유지되는 것이 중요하다. 따라서, 래커 박막(111)상에 세라믹 박막(120)이 증착되는 동안, 냉각 스테이지(601)의 온도는 60 ∼ 70℃로 유지되는 것이 바람직하다.The
세라믹 박막(120)은 대략 20 ∼ 40㎚의 균일한 두께로 증착되는 것이 바람직하고, 세라믹 박막(120)에 사용되는 세라믹 재료는 Al203, Al, 및 SiO2 중 어느 하나를 포함할 수 있다. 예를 들어, Al을 포함하는 세라믹 재료가 사용될 경우, 산소(O2) 분위기에서 RF 스퍼터(602)에 의해 스퍼터링 공정이 실행되고, 이때, Al과 산소(O2)가 반응하여 Al203로 이루어진 세라믹 박막(120)이 래커 박막(111)상에 증착된다.The ceramic
이 후, 세라믹 박막(120)이 래커 박막(111)상에 증착된 MCP(100)는, 도 3i에 도시된 것과 같이, 진공 퍼니스(furnace)(700) 내에서 열처리된다(단계 1010). 열처리 공정 시, MCP(100)는 진공 퍼니스(700) 내에서 대략 350 ∼ 400℃의 온도로 대략 48 ∼ 72시간 동안 베이킹(baking) 된다.Thereafter, the
MCP(100)가 열처리되는 동안, 래커 박막(111)이 열분해에 의해 CO2 가스화되 어 제거된다. 그 결과, 도 4a에 도시된 것과 같이, MCP(100) 한쪽 단면상에 이온 장벽 필름인 세라믹 박막(120)이 코팅된다. 도 4b는 도 4a에 도시된 MCP의 평면도이다. 도 4b에서 점선(A)을 따라 절단한 MCP(100)의 단면이 도 5에 도시된다.During the heat treatment of the
도 5는 도 2에 도시된 영상증폭관용 MCP의 이온 장벽 필름 형성 과정에 따라 한쪽 단면에 이온 장벽 필름이 형성된 MCP를 포함하는 영상증폭관의 구조를 나타내는 단면도이다. 도 5를 참고하면, 영상증폭관(800)은 포토캐소드(810), MCP(100), 형광막(820), 및 광섬유(830)를 포함한다. 포토캐소드(810)의 한쪽 면에는 세슘(cesium; Cs)과 같은 금속층(811)이 대략 1㎚의 두께로 코팅되어 있다. 포토캐소드(810)는 외부로부터의 입력광을 전자(841)로 전환한다. 도 5에 도시된 것과 같이, 전압(V1)이 포토캐소드(810)의 금속층(811)에 인가되고, 전압(V2, V3)이 MCP(100)의 양쪽 단면에 각각 인가되고, 전압(V4)이 형광막(820)에 인가된다. 예를 들어, 전압(V1)은 대략 -2KV이고, 전압(V2)은 대략 -1KV이고, 전압(V3)은 0V이고, 전압(V4)은 대략 4.5KV일 수 있다.FIG. 5 is a cross-sectional view illustrating a structure of an image amplifier including an MCP in which an ion barrier film is formed on one end surface according to an ion barrier film forming process of the MCP for image amplifier shown in FIG. 2. Referring to FIG. 5, the
포토캐소드(810)에서 빛에 의해 여기된 전자(841)는 금속층(811)과 MCP(100)에 각각 인가된 전압들(V1, V2)의 차에 의해, 화살표로 나타낸 것과 같이, MCP(100)를 향하여 진행한다. MCP(100)를 향하여 진행하면서 가속된 전자(841)는 세라믹 박막(120)을 뚫고 지나가 MCP(100)의 홀(101)을 통과하면서 홀(101)의 내벽에 충돌하여 증폭되고, 그 결과, MCP(100)로부터 수 만개의 전자(841')들이 전자 빔(beam)의 형태로 방출된다. 전자 빔은 전압들(V3, V4)의 차에 의해 형광막(820)으로 향하여 진행한다. 형광막(820)은 MCP(100)로부터 방출된 짧은 파장의 전자 빔 을 빛(출력광)으로 전환시켜 광섬유(830)를 통하여 외부로 출력한다.The
한편, 전자(841)가 MCP(100)의 홀(101) 내벽에 존재하는 이물질과 충돌할 때 발생한 양이온(842)은 전압들(V1, V2)의 차에 의해, 화살표로 나타낸 것과 같이, 전자(841)의 진행 방향과는 반대 방향으로, 즉, 포토캐소드(810)를 향하여 진행한다. 하지만, 포토캐소드(810)측에 대향하는 MCP(100)의 단면에 코팅된 세라믹 박막(120)에 의해, MCP(100)의 홀(101) 내부에서 발생한 양이온(842)이 포토캐소드(810)로 향하여 진행하는 것이 차단된다. 양이온(842)은 전자(841)에 비하여 크기가 더 크기 때문에 세라믹 박막(120)을 뚫고 지나가기 어렵다. 또, 포토캐소드(810)와 MCP(100)가 설정된 간격을 두고 배치되기 때문에, 전자(841)가 포토캐소드(810)로부터 MCP(100)로 진행하는 동안 가속될 수 있지만, 양이온(842)은 홀(101) 내부만을 이동하기 때문에 전자(841)만큼 가속될 수 없다. 따라서, 양이온(842)이 세라믹 박막(120)을 뚫고 지나갈 수 없다.On the other hand, the
상술한 것과 같이, MCP(100)의 한쪽 단면에 코팅된 세라믹 박막(120)이, MCP(100)의 홀(101) 내부에서 발생한 양이온(842)이 포토캐소드(810)로 향하여 진행하는 것을 차단하므로, 포토캐소드(810)의 금속층(11)의 손상을 막을 수 있고, 그 결과, 영상증폭관(800)의 수명이 연장될 수 있다. As described above, the ceramic
상기한 실시 예들은 본 발명을 설명하기 위한 것으로서 본 발명이 이들 실시 예에 국한되는 것은 아니며, 본 발명의 범위 내에서 다양한 실시예가 가능하다. 또한, 설명되지는 않았으나, 균등한 수단도 또한 본 발명에 그대로 결합되는 것이라 할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 보호범위는 아래의 특허청구범위에 의하여 정 해져야 할 것이다.The above embodiments are for explaining the present invention, and the present invention is not limited to these embodiments, and various embodiments are possible within the scope of the present invention. In addition, although not described, equivalent means will also be referred to as being incorporated in the present invention. Therefore, the true scope of the present invention will be defined by the claims below.
도 1은 종래의 영상증폭관의 구조를 나타내는 단면도이다.1 is a cross-sectional view showing the structure of a conventional image amplifier.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 영상증폭관용 MCP의 이온 장벽 필름 형성 과정을 나타내는 흐름도이다.2 is a flowchart illustrating a process of forming an ion barrier film of an MCP for an image amplification tube according to an embodiment of the present invention.
도 3a 내지 도 3i는 도 2에 도시된 영상증폭관용 MCP의 이온 장벽 필름 형성 과정을 설명하기 위한 도면이다.3A to 3I are views for explaining a process of forming an ion barrier film of the MCP for an image amplifier shown in FIG.
도 4a는 도 2에 도시된 영상증폭관용 MCP의 이온 장벽 필름 형성 과정에 따라 한쪽 단면에 이온 장벽 필름이 형성된 MCP의 측면도이다.4A is a side view of an MCP in which an ion barrier film is formed on one end surface according to an ion barrier film forming process of the MCP for image amplification tube shown in FIG. 2.
도 4b는 도 4a에 도시된 MCP의 평면도이다.4B is a plan view of the MCP shown in FIG. 4A.
도 5는 도 2에 도시된 영상증폭관용 MCP의 이온 장벽 필름 형성 과정에 따라 한쪽 단면에 이온 장벽 필름이 형성된 MCP를 포함하는 영상증폭관의 구조를 나타내는 단면도이다.FIG. 5 is a cross-sectional view illustrating a structure of an image amplifier including an MCP in which an ion barrier film is formed on one end surface according to an ion barrier film forming process of the MCP for image amplifier shown in FIG. 2.
〈도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명〉Description of the Related Art
100: MCP 110: 래커100: MCP 110: Lacquer
111: 래커 박막 120: 세라믹 박막111: lacquer thin film 120: ceramic thin film
300: 탈이온화수 810: 포토캐소드300: deionized water 810: photocathode
811: 금속층 820: 형광막811: metal layer 820: fluorescent film
830: 광섬유 841: 전자830: optical fiber 841: electron
842: 양이온842: cation
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